KR20200125424A - Probe pin, inspection jig and inspection unit - Google Patents

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KR20200125424A
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오므론 가부시키가이샤
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Abstract

Provided are a probe pin having high contact reliability, an inspection jig including the probe pin, and an inspection unit having the inspection jig. The probe pin includes an elastic portion which is elastically deformable along a first direction, a first contact portion provided at one end of the elastic portion in the first direction, and a second contact portion provided at the other end of the elastic portion in the first direction. The elastic portion has a plurality of horizontal band parts and at least one curved band part. Each of the first contact portion and the second contact portion is disposed on the same side with respect to a first center line passing through the center of the second direction of the elastic portion and extending in the first direction. At least the side surface of the first contact portion has a shape which is asymmetric with respect to the second center line extending in the first direction and passing through the center of a third direction as viewed in the second direction.

Description

프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛{PROBE PIN, INSPECTION JIG AND INSPECTION UNIT}Probe pin, inspection jig, and inspection unit {PROBE PIN, INSPECTION JIG AND INSPECTION UNIT}

본 개시는, 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛에 관한 것이다.The present disclosure relates to a probe pin, an inspection jig, and an inspection unit.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행하여진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 단자와, 검사 장치의 단자를 접속함으로써 행하여진다.In an electronic component module such as a camera or a liquid crystal panel, in general, a conduction inspection and an operation characteristic inspection are performed in the manufacturing process. These inspections are performed by connecting a terminal for connection to a main body board provided on the electronic component module and a terminal of the inspection device using a probe pin.

이러한 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다.As such a probe pin, there is one described in Patent Document 1. The probe pin includes a pair of contacts each of which can be contacted with an electrode terminal of an electronic component and an electrode terminal of a connected electronic component, and a meandering portion for connecting the pair of contacts through the pair of contacts.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2002-134202

상기 프로브 핀에서는, 각 콘택트가, 전극 단자에 대하여 1점에서 접촉하도록 구성되어 있기 때문에, 예를 들어 각 콘택트의 선단에 부도체인 이물이 부착된 경우, 이 이물에 의해, 상기 프로브 핀과 전극 단자 사이에서 도통 불량이 발생하여, 접촉 신뢰성이 저하되는 경우가 있다.In the probe pin, since each contact is configured to contact the electrode terminal at one point, for example, when a non-conductor foreign material adheres to the tip of each contact, the probe pin and the electrode terminal In some cases, a conduction failure occurs between the two, and the contact reliability may decrease.

본 개시는, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 및 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present disclosure is to provide a probe pin having high contact reliability, an inspection jig including the probe pin, and an inspection unit including the inspection jig.

본 개시의 일례의 프로브 핀은,The probe pin of an example of the present disclosure,

제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와,An elastic portion that is elastically deformable along the first direction,

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와,A first contact part provided at one end of the elastic part in the first direction,

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부를A second contact portion provided at the other end of the elastic portion in the first direction

구비하고,Equipped,

상기 탄성부가,The elastic part,

상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장됨과 함께 상기 제1 방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 횡대부와, 인접하는 상기 횡대부에 접속된 적어도 하나의 만곡대부를 갖고,It has a plurality of transverse ribs extending in a second direction crossing the first direction and arranged at intervals in the first direction, and at least one curved section connected to the adjacent transverse ribs,

상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 각각이,Each of the first contact portion and the second contact portion,

상기 탄성부의 상기 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향을 따라서 연장되는 제1 중심선에 대하여 동일한 측에 배치되고,The elastic portion is disposed on the same side with respect to the first center line passing through the center of the second direction and extending along the first direction,

상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향으로 대향하는 한 쌍의 판면과, 상기 한 쌍의 판면에 교차하는 측면을 갖고,It has a pair of plate surfaces facing in a third direction crossing the first direction and the second direction, and a side surface crossing the pair of plate surfaces,

적어도 상기 제1 접촉부의 상기 측면이, 상기 제2 방향으로 보아서, 상기 제3 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 중심선에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다.At least the side surface of the first contact portion has a shape that is asymmetric with respect to a second center line extending in the first direction and passing through the center in the third direction, as viewed in the second direction.

또한, 본 개시의 일례의 검사 지그는,In addition, the inspection jig of an example of the present disclosure,

상기 프로브 핀과,The probe pin,

상기 프로브 핀이 내부에 수용된 하우징Housing in which the probe pin is accommodated

을 구비한다.It is equipped with.

또한, 본 개시의 일례 검사 유닛은,In addition, an example inspection unit of the present disclosure,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비한다.At least one inspection jig is provided.

상기 프로브 핀에 의하면, 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 각각이, 탄성부의 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 제1 방향을 따라서 연장되는 제1 중심선에 대하여 동일한 측에 배치되어 있다. 또한, 적어도 제1 접촉부의 측면이, 제2 방향으로 보아서, 제3 방향의 중심을 통과하고 또한 제1 방향으로 연장되는 제2 중심선에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 예를 들어 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자를 제1 접촉부에 접촉시킨 상태에서, 제1 방향을 따라 제2 접촉부를 향하여 이동시키면, 제1 접촉부는, 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자에 접촉한 채, 제1 방향 및 제2 방향을 포함하는 제1 평면 상에서 제2 접촉부에 대하여 회전하면서, 제1 방향 및 제3 방향을 포함하는 제1 평면에 교차하는 제2 평면 상에서도 제2 접촉부에 대하여 회전한다. 즉, 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자에 대하여, 다른 두 방향의 와이핑 동작을 동시에 발생시킬 수 있다. 그 결과, 예를 들어 제1 접촉부의 접속 단자에 접촉하는 부분에 부도체의 이물이 부착하더라도, 이 이물을 용이하게 제거 할 수 있으므로, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀을 실현할 수 있다.According to the probe pin, each of the first contact portion and the second contact portion is disposed on the same side with respect to the first center line passing through the center of the second direction of the elastic portion and extending along the first direction. In addition, at least the side surface of the first contact portion has a shape that is asymmetric with respect to the second center line extending in the first direction and passing through the center of the third direction, as viewed in the second direction. With such a configuration, for example, in a state in which the connection terminal of the inspection object or the inspection device is brought into contact with the first contact portion, when moving toward the second contact portion in the first direction, the first contact portion is the inspection object or the inspection device While in contact with the connection terminals of, rotating with respect to the second contact portion on the first plane including the first direction and the second direction, also on the second plane crossing the first plane including the first direction and the third direction It rotates with respect to the second contact. That is, the wiping operation in two different directions can be simultaneously generated with respect to the test object or the connection terminal of the test apparatus. As a result, for example, even if a foreign material of a non-conductor adheres to a portion in contact with the connection terminal of the first contact portion, the foreign material can be easily removed, so that a probe pin having high contact reliability can be realized.

상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그를 실현할 수 있다.According to the inspection jig, the probe pin can realize an inspection jig with high contact reliability.

상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛을 실현할 수 있다.According to the inspection unit, by the inspection jig, an inspection unit having high contact reliability can be realized.

도 1은 본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도.
도 2는 도 1의 프로브 핀을 구비한 검사 지그의 단면도.
도 3은 도 1의 프로브 핀의 제1 접촉부를 도시하는 확대 측면도.
도 4는 도 1의 프로브 핀의 제1 변형예를 도시하는 확대 측면도.
도 5는 도 1의 프로브 핀의 제2 변형예를 도시하는 확대 측면도.
도 6은 도 1의 프로브 핀의 제3 변형예를 도시하는 확대 측면도.1 is a perspective view showing a probe pin according to an embodiment of the present disclosure.
2 is a cross-sectional view of an inspection jig having a probe pin of FIG. 1;
3 is an enlarged side view showing a first contact portion of the probe pin of FIG. 1;
Fig. 4 is an enlarged side view showing a first modified example of the probe pin of Fig. 1;
5 is an enlarged side view showing a second modified example of the probe pin of FIG. 1.
6 is an enlarged side view showing a third modified example of the probe pin of FIG. 1.

이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정한 방향 또는 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않고, 본 개시, 그 적용물, 혹은, 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이고, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하고 있지는 않다.Hereinafter, an example of the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description, terms indicating a specific direction or position (e.g., terms including ``top'', ``bottom'', ``right'', and ``left'') are used as necessary, but the use of these terms Is intended to facilitate understanding of the present disclosure with reference to the drawings, and the technical scope of the present disclosure is not limited by the meaning of these terms. In addition, the following description is essentially merely an illustration, and is not intended to limit the present disclosure, its application, or its use. In addition, the drawings are schematic, and the ratios of the dimensions and the like are not necessarily consistent with the actual ones.

본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀은, 일례로서, 도 1에 도시한 바와 같이, 가늘고 긴 박판상으로 도전성을 갖고 있다. 이 프로브 핀(10)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 절연성의 하우징(100)에 수용된 상태에서 사용되고, 하우징(100)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 검사 지그(2)에는, 일례로서, 복수의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.A probe pin according to an embodiment of the present disclosure has conductivity in the shape of an elongated thin plate as shown in Fig. 1 as an example. As shown in FIG. 2, the probe pin 10 is used in a state accommodated in the insulating housing 100, and together with the housing 100, the inspection jig 2 is formed. In the inspection jig 2, as an example, a plurality of probe pins 10 are accommodated.

또한, 검사 지그(2)는, 검사 유닛(1)의 일부를 구성할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 검사 지그(2)로 검사 유닛(1)을 구성한 경우, 각 검사 지그(2)는, 후술하는 프로브 핀(10)의 각 접점부가, 프로브 핀(10)이 연장되고 있는 제1 방향 X에 교차(예를 들어, 직교)하는 제2 방향 Y에 인접하도록 배치된다.In addition, the inspection jig 2 can constitute a part of the inspection unit 1. For example, as shown in Fig. 2, when the inspection unit 1 is configured with a pair of inspection jigs 2, each inspection jig 2 includes each contact portion of the probe pin 10 described later, The probe pin 10 is disposed to be adjacent to the second direction Y intersecting (eg, orthogonal) to the extending first direction X.

각 하우징(100)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 그 내부에 복수의 수용부(101)(도 2에는, 1개만 도시함)를 갖고 있다. 각 수용부(101)는, 슬릿상을 갖고, 각각 1개의 프로브 핀(10)을 전기적으로 독립적으로 수용 가능 및 유지 가능하게 구성되어 있다. 또한, 각 수용부(101)는, 제1 방향 X 및 제2 방향 Y에 교차(예를 들어, 직교)하는 제3 방향 Z(도 3에 도시함)를 따라 일렬로 배열되고 또한 등간격으로 배치되어 있다.As shown in FIG. 2, each housing 100 has a plurality of accommodating portions 101 (only one is shown in FIG. 2) therein. Each accommodation part 101 has a slit shape, and is comprised so that each one probe pin 10 can be electrically independently accommodated and held. In addition, each receiving portion 101 is arranged in a line along the third direction Z (shown in Fig. 3) intersecting (eg, orthogonal) to the first direction X and the second direction Y, and at equal intervals. It is placed.

각 프로브 핀(10)은, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 제1 방향 X의 양단에 각각 마련된 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)를 구비하고 있다. 각 프로브 핀(10)은, 일례로서, 전주법으로 형성되고, 탄성부(20), 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)가, 제1 방향 X를 따라 직렬식으로 배치되고 또한 일체로 구성되어 있다.As shown in FIGS. 1 and 2, each probe pin 10 has an elastic portion 20 that can be elastically deformable along a first direction X, and at both ends of the elastic portion 20 in the first direction X, respectively. The provided first contact portion 30 and the second contact portion 40 are provided. Each probe pin 10 is formed by an electric pole method as an example, and the elastic part 20, the first contact part 30, and the second contact part 40 are arranged in series along the first direction X, and It is composed integrally.

탄성부(20)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 일례로서, 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠형 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠형 탄성편)(21, 22)으로 구성되어 있다. 각 띠형 탄성편(21, 22)은, 제2 방향 Y로 각각 연장함과 함께 제1 방향 X로 간격을 두고 배치된 복수의 횡대부(24)(이 실시 형태에서는, 7개의 횡대부(24))와, 양단이 인접하는 횡대부(24)에 접속된 적어도 하나의 만곡대부(25)(이 실시 형태에서는, 6개의 만곡대부(25))가, 제1 방향 X를 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고 있다. 각 띠형 탄성편(21, 22)에 있어서의 제1 방향 X의 양단의 횡대부(24)가, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)에 각각 접속되어 있다.As shown in Fig. 2, as an example, the elastic portion 20 is formed of a plurality of band-shaped elastic pieces (two strip-shaped elastic pieces in this embodiment) 21 and 22 arranged with a gap 23 with each other. Consists of. Each of the belt-shaped elastic pieces 21 and 22 extends in the second direction Y, and is arranged at intervals in the first direction X (in this embodiment, the seven lateral legs 24 )), and at least one curved band portion 25 (in this embodiment, six curved band portions 25) connected to the horizontal band portion 24 adjacent at both ends thereof, are alternately connected along the first direction X It has a meandering shape. The horizontal base portions 24 at both ends of the first direction X in each of the belt-shaped elastic pieces 21 and 22 are connected to the first contact portion 30 and the second contact portion 40, respectively.

제1 방향 X에 있어서 제2 접촉부(40)로부터 먼 쪽의 띠형 탄성편(21)에 있어서의 제1 접촉부(30)에 접속되어 있는 횡대부(24)에는, 접촉면(241)이 마련되어 있다. 이 접촉면(241)은, 프로브 핀(10)을 하우징(100)의 수용부(101)에 수용했을 때에, 수용부(101)를 구성하는 하우징(100)의 내면에 대하여 접촉하도록 구성되어 있다. 제1 접촉부(30)에 접속되어 있는 횡대부(24)에는, 각 띠형 탄성편(21, 22)을 접속하는 리브(242)가 마련되어, 각 띠형 탄성편(21, 22) 사이의 접촉을 회피하고 있다.In the first direction X, a contact surface 241 is provided in the side base portion 24 connected to the first contact portion 30 in the belt-shaped elastic piece 21 on the far side from the second contact portion 40. This contact surface 241 is configured to contact the inner surface of the housing 100 constituting the housing 100 when the probe pin 10 is accommodated in the housing portion 101 of the housing 100. A rib 242 connecting each of the band-shaped elastic pieces 21 and 22 is provided in the horizontal base portion 24 connected to the first contact portion 30 to avoid contact between the respective strip-shaped elastic pieces 21 and 22 Are doing.

제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 도 2에 도시한 바와 같이, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 제1 중심선 CL1에 대하여 동일한 측에 배치되어 있다. 또한, 이 실시 형태에서는, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(30)에 접속되어 있는 횡대부(24)와, 이 횡대부(24)에 접속되어 있는 만곡대부(25)를 합친 부분의 제2 방향 Y에 있어서의 최대 거리 L의 중심을 통과하고, 또한, 제1 방향 X로 연장되는 직선을 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 제1 중심선 CL1로 하고 있다.Each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 is disposed on the same side with respect to the first center line CL1 of the elastic portion 20 in the second direction Y as shown in FIG. 2. In addition, in this embodiment, as shown in FIG. 2, a portion in which the hex portion 24 connected to the first contact portion 30 and the curved portion 25 connected to the hex portion 24 are combined. A straight line that passes through the center of the maximum distance L in the second direction Y of and extends in the first direction X is taken as the first center line CL1 in the second direction Y of the elastic portion 20.

제1 접촉부(30)는, 일례로서, 제1 방향 X로 연장되는 대략 직사각형 판상을 갖고, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 단에 배치되어 있다. 제1 접촉부(30)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(20)에 먼 쪽의 단부는, 제2 방향 Y에 있어서 탄성부(20)의 제1 중심선 CL1로부터 가장 떨어진 위치에 정점을 갖는 대략 직각삼각 형상으로, 그 정점이 접촉 대상물(예를 들어, 검사 대상물 또는 검사 장치)의 접속 단자(110)에 접촉 가능한 접점부(31)을 구성하고 있다. 제1 접촉부(30)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(20)에 가까운 쪽의 단부에는, 관통 구멍(32)이 마련되어 있다. 이 관통 구멍(32)은, 각 띠형 탄성편(21, 22) 사이의 간극(23)에 접속되어 있다.The first contact portion 30 has, as an example, a substantially rectangular plate extending in the first direction X, and is disposed at an end of the elastic portion 20 in the second direction Y. The end of the first contact part 30 on the far side of the elastic part 20 in the first direction X has a vertex at a position farthest from the first center line CL1 of the elastic part 20 in the second direction Y. It has a substantially right-angled triangle shape, and its apex constitutes the contact part 31 which can contact the connection terminal 110 of the contact object (for example, an inspection object or an inspection apparatus). A through hole 32 is provided at an end portion of the first contact portion 30 near the elastic portion 20 in the first direction X. This through hole 32 is connected to the gap 23 between each of the belt-shaped elastic pieces 21 and 22.

도 3에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(30)의 제3 방향 Z에 대향하는 한 쌍의 판면(33, 34)에 교차하는 측면(35)은, 제2 방향 Y로 보아서, 제3 방향 Z의 중심을 통과하고 또한 제1 방향 X로 연장되는 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다. 상세하게는, 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 제3 방향 Z에 있어서 한쪽의 판면(33)으로부터 다른 쪽의 판면(34)을 향함에 따라, 제1 방향 X에 있어서 탄성부(20)로부터 이격되도록 직선적으로 경사져 있다. 또한, 도 3은, 제1 접촉부(30)를 도 2의 화살표 A 방향으로 본 측면도이다.As shown in FIG. 3, the side surface 35 intersecting the pair of plate surfaces 33 and 34 facing the third direction Z of the first contact portion 30 is a third direction as viewed in the second direction Y. It has a shape that is asymmetric with respect to the second center line CL2 passing through the center of Z and extending in the first direction X. Specifically, as the side surface 35 of the first contact portion 30 faces from one plate surface 33 to the other plate surface 34 in the third direction Z, the elastic portion in the first direction X It is inclined linearly to be spaced from (20). 3 is a side view of the first contact portion 30 as viewed in the direction of arrow A in FIG. 2.

제2 접촉부(40)는, 일례로서, 제2 방향 Y로 연장되는 본체부(41)와, 본체부(41)의 제2 방향 Y의 일단에 마련된 접속부(42)와, 본체부(41)의 제2 방향 Y의 타단에 마련된 접점부(43)를 갖고 있다. 본체부(41)는, 프로브 핀(10)을 하우징(100)의 수용부(101)에 수용했을 때에, 수용부(101)를 구성하는 하우징(100)의 내면에 대하여 접촉하는 접촉면(411)을 갖고 있다. 접속부(42)는, 본체부(41)로부터 제1 방향 X로 또한 제1 접촉부(30)를 향하여 연장되고, 탄성부(20)의 횡대부(24)가 접속되어 있다. 접점부(43)는, 본체부(41)로부터 제1 방향 X로 또한 제1 접촉부(30)로부터 이격되는 방향으로 연장되고, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여 접촉 가능하게 구성되어 있다.The second contact portion 40 is, for example, a body portion 41 extending in the second direction Y, a connection portion 42 provided at one end of the body portion 41 in the second direction Y, and the body portion 41 It has a contact portion 43 provided at the other end of the second direction Y of. The body portion 41 is a contact surface 411 that contacts the inner surface of the housing 100 constituting the housing portion 101 when the probe pin 10 is accommodated in the housing portion 101 of the housing 100 Has. The connecting portion 42 extends from the body portion 41 in the first direction X and toward the first contact portion 30, and the cross-beam portion 24 of the elastic portion 20 is connected. The contact portion 43 extends in the first direction X from the body portion 41 and in a direction spaced apart from the first contact portion 30, and is configured to be able to contact the connection terminal 110 of the object to be contacted.

또한, 도시하고 있지 않으나, 제2 접촉부(40)의 측면도, 제1 접촉부(30)의 측면과 마찬가지로, 제3 방향 Z에 있어서 한쪽의 판면으로부터 다른 쪽의 판면을 향함에 따라, 제1 방향 X에 있어서 탄성부(20)로부터 이격되도록 직선적으로 경사져 있다.In addition, although not shown, the side surface of the second contact portion 40 is also similar to the side surface of the first contact portion 30, in the third direction Z from one plate surface toward the other, in the first direction X It is inclined linearly so as to be spaced apart from the elastic part 20.

이어서, 접촉 대상물의 접속 단자(110)를 제1 접촉부(30)의 접점부(31)에 접촉시킨 상태에서, 제1 방향 X를 따라 제2 접촉부(40)를 향해서(즉, 도 2 및 도 3의 화살표 B 방향으로) 이동시켰을 때의 프로브 핀(10)의 동작을 설명한다.Subsequently, in a state in which the connection terminal 110 of the object to be contacted is brought into contact with the contact portion 31 of the first contact portion 30, along the first direction X, toward the second contact portion 40 (i.e., FIGS. 2 and 2 The operation of the probe pin 10 when moved in the direction of arrow B of 3) will be described.

접속 단자(110)를 제1 접촉부(30)의 접점부(31)에 접촉시킨 상태에서 화살표 B 방향으로 이동시켜 가면, 탄성부(20)가 제1 접촉부(30)를 거쳐 압축된다. 이때, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 탄성부(20)의 제1 중심선 CL1에 대하여 동일한 측에 배치되어 있기(즉, 탄성부(20)의 제1 중심선 CL1 상에는 배치되어 있지 않기) 때문에, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 접촉한 채, 제1 방향 X 및 제2 방향 Y를 포함하는 제1 평면(즉, 도 2에 도시하는 XY 평면) 상에서 제2 접촉부(40)에 대하여 도 2의 화살표 C 방향으로 회전한다. 또한, 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 직선적으로 경사져 있기 때문에, 제1 방향 X 및 제3 방향 Z를 포함하는 제1 평면에 교차하는 제2 평면(즉, 도 3에 도시하는 XZ 평면) 상에서도 제2 접촉부(40)에 대하여 도 3의 화살표 D 방향으로 회전한다. 즉, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여, 다른 두 방향의 와이핑 동작이 동시에 발생한다.When the connection terminal 110 is moved in the direction of arrow B in a state in which it is brought into contact with the contact portion 31 of the first contact portion 30, the elastic portion 20 is compressed through the first contact portion 30. At this time, each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 is disposed on the same side with respect to the first center line CL1 of the elastic portion 20 (that is, the first center line CL1 of the elastic portion 20 ). It is not disposed on the image), so while in contact with the connection terminal 110 of the object to be contacted, the second plane includes the first direction X and the second direction Y (that is, the XY plane shown in Fig. 2). The contact part 40 rotates in the direction of arrow C in FIG. 2. In addition, since the side surface 35 of the first contact portion 30 is inclined linearly, the second plane intersecting the first plane including the first direction X and the third direction Z (i.e., XZ plane) also rotates in the direction of arrow D in FIG. 3 with respect to the second contact portion 40. That is, with respect to the connection terminal 110 of the object to be contacted, the wiping operation in two different directions occurs simultaneously.

이와 같이, 프로브 핀(10)에서는, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각이, 탄성부의 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 제1 방향을 따라서 연장되는 제1 중심선 CL1에 대하여 동일한 측에 배치되어 있다. 또한, 적어도 제1 접촉부(30)의 측면(35)이, 제2 방향 Y로 보아서, 제3 방향 Z의 중심을 통과하고 또한 제1 방향 X로 연장되는 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여, 다른 두 방향의 와이핑 동작을 동시에 발생시킬 수 있다. 그 결과, 예를 들어 제1 접촉부(30)의 접속 단자(110)에 접촉하는 부분(즉, 접점부(31))에 부도체의 이물이 부착하더라도, 이 이물을 용이하게 제거할 수 있으므로, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.In this way, in the probe pin 10, each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 passes through the center of the second direction of the elastic portion and extends along the first direction. On the same side. In addition, at least the side surface 35 of the first contact portion 30 has a shape that is asymmetric with respect to the second center line CL2 passing through the center of the third direction Z and extending in the first direction X, as viewed in the second direction Y. I have. With this configuration, wiping operations in two different directions can be simultaneously generated with respect to the connection terminal 110 of the object to be contacted. As a result, for example, even if a foreign material of a non-conductor adheres to a part that contacts the connection terminal 110 of the first contact part 30 (that is, the contact part 31), the foreign material can be easily removed. The probe pin 10 with high reliability can be realized.

또한, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각이, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 단에 배치되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 예를 들어 제1 접촉부(30)가, 제1 평면 상에서의 제1 접촉부(30)의 제2 접촉부(40)에 대한 회전량을 증가시켜서, 와이핑 성능을 높일 수 있다.In addition, each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 is disposed at an end of the elastic portion 20 in the second direction Y. With such a configuration, for example, the first contact part 30 increases the amount of rotation of the first contact part 30 with respect to the second contact part 40 on the first plane, thereby increasing the wiping performance. .

이러한 프로브 핀(10)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다. 또한, 이러한 프로브 핀(10)을 구비한 검사 지그(2)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.With such a probe pin 10, the inspection jig 2 with high contact reliability can be realized. Further, by the inspection jig 2 provided with the probe pin 10, the inspection unit 1 with high contact reliability can be realized.

또한, 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 제2 방향 Y로 보아서, 제3 방향 Z의 중심을 통과하고 또한 제1 방향 X로 연장되는 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있으면 되고, 직선적으로 경사져 있는 경우에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 제2 방향 Y(즉, 도 4의 지면 관통 방향)로 보아서, 삼각 형상을 갖고 있어도 된다. 이 경우, 삼각 형상의 정점(351)은, 제3 방향 Z에 있어서 제2 중심선 CL2로부터 이격된 위치(도 4에서는, 제2 중심선 CL2보다도 판면(34)에 가까운 위치)에 배치된다.Further, the side surface 35 of the first contact portion 30 has a shape that is asymmetric with respect to the second center line CL2 passing through the center of the third direction Z and extending in the first direction X, as viewed in the second direction Y. It just needs to be, and it is not limited when it is inclined linearly. For example, as shown in FIG. 4, the side surface 35 of the first contact portion 30 may have a triangular shape when viewed in the second direction Y (that is, the paper penetrating direction in FIG. 4 ). In this case, the triangular vertex 351 is disposed at a position separated from the second center line CL2 in the third direction Z (in Fig. 4, a position closer to the plate surface 34 than the second center line CL2).

또한, 예를 들어 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 제2 방향 Y(즉, 도 5의 지면 관통 방향)로 보아서, 오목 만곡 형상을 갖고 있어도 된다.In addition, for example, the side surface 35 of the first contact portion 30 may have a concave curved shape as viewed in the second direction Y (that is, the paper penetrating direction in FIG. 5 ), as shown in FIG. 5. .

또한, 예를 들어 도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 제2 방향 Y로 보아서, 한 쌍의 판면(33, 34)의 각각과 측면(35)에서 형성되는 모서리부(36)가, 모따기되어 있어도 된다.In addition, for example, as shown in Figs. 5 and 6, when viewed in the second direction Y, each of the pair of plate surfaces 33 and 34 and the corners 36 formed on the side surfaces 35 are chamfered. It may be.

이와 같이, 제1 접촉부(30)의 측면(35)의 형상은, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 변경할 수 있다. 즉, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.In this way, the shape of the side surface 35 of the first contact portion 30 can be changed according to the design of the probe pin 10 or the like. That is, it is possible to realize the probe pin 10 with a high degree of design freedom.

적어도 제1 접촉부(30)의 측면(35)이, 제2 방향 Y로 보아서, 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있으면 된다. 즉, 제2 접촉부(40)의 측면은, 제2 방향 Y로 보아서, 제2 중심선 CL2에 대하여 대칭인 형상을 갖고 있어도 된다.At least the side surface 35 of the first contact portion 30 may have a shape that is asymmetric with respect to the second center line CL2 as viewed in the second direction Y. That is, the side surface of the second contact portion 40 may have a shape symmetrical with respect to the second center line CL2 as viewed in the second direction Y.

제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 탄성부(20)의 제1 중심선 CL1에 대하여 동일한 측에 배치되어 있으면 된다. 즉, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 단에 배치되어 있는 경우에 한하지 않고, 예를 들어 탄성부(20)의 중심선 CL1과 제2 방향 Y의 단의 중간에 배치되어 있어도 된다.Each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 may be disposed on the same side with respect to the first center line CL1 of the elastic portion 20. That is, each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 is not limited to the case where it is disposed at the end of the elastic portion 20 in the second direction Y, for example, of the elastic portion 20 It may be disposed in the middle of the center line CL1 and the end of the second direction Y.

탄성부(20)는, 복수의 띠형 탄성편(21, 22)으로 구성되어 있는 경우에 한하지 않고, 1개의 띠형 탄성편으로 구성해도 된다.The elastic portion 20 is not limited to the case where it is composed of a plurality of band-shaped elastic pieces 21 and 22, and may be composed of one strip-shaped elastic piece.

제1 접촉부(30)의 접점부 및 제2 접촉부(40)의 접점부의 각각은, 1개에 한하지 않고, 복수 마련되어 있어도 된다. 즉, 제1 접촉부(30)의 접점부 및 제2 접촉부(40)의 접점부의 각각은, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여, 1점에 한하지 않고, 2점 이상으로 접촉 가능하게 구성할 수 있다.Each of the contact portions of the first contact portion 30 and the contact portion of the second contact portion 40 is not limited to one, and may be provided in plural. That is, each of the contact portion of the first contact portion 30 and the contact portion of the second contact portion 40 is configured to be able to contact not only one point but two or more points with respect to the connection terminal 110 of the object to be contacted. can do.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 여러가지 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서, 참조 부호도 추가로 기재한다.As described above, various embodiments of the present disclosure have been described in detail with reference to the drawings, but finally, various embodiments of the present disclosure will be described. In addition, in the following description, as an example, reference numerals are also further described.

본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the first aspect of the present disclosure,

제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와,An elastic portion 20 capable of elastically deforming along the first direction X,

상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X의 일단에 마련된 제1 접촉부(30)와,A first contact part 30 provided at one end of the elastic part 20 in the first direction X,

상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X의 타단에 마련된 제2 접촉부(40)를The second contact portion 40 provided at the other end of the elastic portion 20 in the first direction X

구비하고,Equipped,

상기 탄성부(20)는,The elastic part 20,

상기 제1 방향 X에 교차하는 제2 방향 Y로 연장됨과 함께 상기 제1 방향 X로 간격을 두고 배치된 복수의 횡대부(24)와, 인접하는 상기 횡대부(24)에 접속된 적어도 하나의 만곡대부(25)를 갖고,A plurality of transverse ribs 24 arranged at intervals in the first direction X while extending in a second direction Y crossing the first direction X, and at least one connected to the adjacent transverse ribs 24 With a curved loan (25),

상기 제1 접촉부(30) 및 상기 제2 접촉부(40)의 각각이,Each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40,

상기 탄성부(20)의 상기 제2 방향 Y의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향 X를 따라 연장되는 제1 중심선CL1에 대하여 동일한 측에 배치되고,It is disposed on the same side with respect to the first center line CL1 passing through the center of the second direction Y of the elastic part 20 and extending along the first direction X,

상기 제1 방향 X 및 상기 제2 방향 Y에 교차하는 제3 방향 Z에 대향하는 한 쌍의 판면(33, 34)과, 상기 한 쌍의 판면(33, 34)에 교차하는 측면(35)을 갖고,A pair of plate surfaces (33, 34) facing the third direction Z crossing the first direction X and the second direction Y, and a side surface (35) intersecting the pair of plate surfaces (33, 34). Have,

적어도 상기 제1 접촉부(30)의 상기 측면(35)이, 상기 제2 방향 Y로 보아서, 상기 제3 방향 Z의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향 X로 연장되는 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다.At least the side surface 35 of the first contact part 30 is asymmetric with respect to a second center line CL2 that passes through the center of the third direction Z and extends in the first direction X, as viewed in the second direction Y. It has a phosphorus shape.

제1 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여, 다른 두 방향의 와이핑 동작을 동시에 발생시킬 수 있다. 그 결과, 예를 들어 제1 접촉부(30)의 접속 단자(110)에 접촉하는 부분(즉, 접점부(31))에 부도체인 이물이 부착하더라도, 이 이물을 용이하게 제거할 수 있으므로, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the first aspect, the wiping operation in two different directions can be simultaneously generated with respect to the connection terminal 110 of the object to be contacted. As a result, for example, even if a foreign material, which is a non-conductor, adheres to a part that contacts the connection terminal 110 of the first contact part 30 (that is, the contact part 31), the foreign material can be easily removed, The probe pin 10 with high reliability can be realized.

본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the second aspect of the present disclosure,

상기 제1 접촉부(30) 및 상기 제2 접촉부(40)의 각각이, 상기 탄성부(20)의 상기 제2 방향 Y의 단에 배치되어 있다.Each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 is disposed at an end of the elastic portion 20 in the second direction Y.

제2 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 예를 들어 제1 접촉부(30)가, 제1 평면 상에서의 제1 접촉부(30)의 제2 접촉부(40)에 대한 회전량을 증가시켜서, 와이핑 성능을 높일 수 있다.According to the probe pin 10 of the second aspect, for example, the first contact portion 30 increases the amount of rotation of the first contact portion 30 with respect to the second contact portion 40 on the first plane, Ping performance can be improved.

본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the third aspect of the present disclosure,

상기 측면(35)이, 상기 제2 방향 Y로 보아서, 삼각 형상을 갖고 있다.The side surface 35 has a triangular shape as viewed in the second direction Y.

제3 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the third aspect, the probe pin 10 having a high degree of design freedom can be realized.

본 개시의 제4 양태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the fourth aspect of the present disclosure,

상기 제2 방향 Y로 보아서, 상기 한 쌍의 판면(33, 34)의 각각과 상기 측면(35)에서 형성되는 모서리부(36)가, 모따기되어 있다.As viewed in the second direction Y, each of the pair of plate surfaces 33 and 34 and a corner portion 36 formed on the side surface 35 are chamfered.

제4 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the fourth aspect, the probe pin 10 with a high degree of design freedom can be realized.

본 개시의 제5 양태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the fifth aspect of the present disclosure,

상기 측면(35)이, 상기 제2 방향 Y로 보아서, 오목 만곡 형상을 갖고 있다.The side surface 35 has a concave curved shape as viewed in the second direction Y.

제5 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the fifth aspect, the probe pin 10 having a high degree of design freedom can be realized.

본 개시의 제6 양태의 검사 지그(2)는,The inspection jig 2 of the sixth aspect of the present disclosure,

상기 프로브 핀(10)과,The probe pin 10,

상기 프로브 핀(10)이 내부에 수용된 하우징(100)을The probe pin 10 is accommodated in the housing 100

구비한다.Equipped.

제6 양태의 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.According to the inspection jig 2 of the sixth aspect, the inspection jig 2 having high contact reliability can be realized by the probe pin 10.

본 개시의 제7 양태의 검사 유닛(1)은,The inspection unit 1 of the seventh aspect of the present disclosure,

상기 검사 지그(2)를 적어도 1개 구비한다.At least one inspection jig 2 is provided.

제7 양태의 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.According to the inspection unit 1 of the seventh aspect, by the inspection jig 2, the inspection unit 1 with high contact reliability can be realized.

또한, 상기 여러가지 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하게 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.In addition, by appropriately combining any of the above various embodiments or modifications, the effects of each can be exhibited. In addition, a combination of embodiments, a combination of examples, or a combination of embodiments and examples is possible, and combinations of features in other embodiments or examples are also possible.

본 개시의 프로브 핀은, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은, QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.The probe pin of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection jig used for inspection of semiconductors such as a camera device, a USB device, an HDMI device, or a QFN device and a SON device.

본 개시의 검사 지그는, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은, QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.The inspection jig of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection unit used for inspection of semiconductors such as camera devices, USB devices, HDMI devices, or QFN devices and SON devices.

본 개시의 검사 유닛은, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은, QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection unit of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection apparatus used for inspection of semiconductors such as a camera device, a USB device, an HDMI device, or a QFN device and a SON device.

1: 검사 유닛
2: 검사 지그
10: 프로브 핀
20: 탄성부
21, 22: 띠형 탄성편
23: 간극
24: 횡대부
241: 접촉면
242: 리브
25: 만곡대부
30: 제1 접촉부
31: 접점부
32: 관통 구멍
33, 34: 판면
35: 측면
351: 정점
40: 제2 접촉부
41: 본체부
411: 접촉면
42: 접속부
43: 접점부
100: 하우징
101: 수용부
110: 접속 단자1: inspection unit
2: inspection jig
10: probe pin
20: elastic part
21, 22: belt-shaped elastic piece
23: gap
24: horizontal loan
241: contact surface
242: rib
25: Curved Godfather
30: first contact
31: contact part
32: through hole
33, 34: plate surface
35: side
351: vertex
40: second contact portion
41: main body
411: contact surface
42: connection
43: contact part
100: housing
101: receiving part
110: connection terminal

Claims (7)

제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부를
구비하고,
상기 탄성부는,
상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장됨과 함께 상기 제1 방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 횡대부와, 인접하는 상기 횡대부에 접속된 적어도 하나의 만곡대부를 갖고,
상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 각각이,
상기 탄성부의 상기 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향을 따라서 연장되는 제1 중심선에 대하여 동일한 측에 배치되고,
상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향으로 대향하는 한 쌍의 판면과, 상기 한 쌍의 판면에 교차하는 측면을 갖고,
적어도 상기 제1 접촉부의 상기 측면이, 상기 제2 방향으로 보아서, 상기 제3 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 중심선에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있는, 프로브 핀.An elastic portion that is elastically deformable along the first direction,
A first contact part provided at one end of the elastic part in the first direction,
A second contact portion provided at the other end of the elastic portion in the first direction
Equipped,
The elastic part,
It has a plurality of transverse ribs extending in a second direction crossing the first direction and arranged at intervals in the first direction, and at least one curved section connected to the adjacent transverse ribs,
Each of the first contact portion and the second contact portion,
The elastic portion passes through the center of the second direction and is disposed on the same side with respect to the first center line extending along the first direction,
It has a pair of plate surfaces facing in a third direction crossing the first direction and the second direction, and a side surface crossing the pair of plate surfaces,
A probe pin, wherein at least the side surface of the first contact portion has a shape that is asymmetric with respect to a second center line extending in the first direction and passing through a center in the third direction, as viewed in the second direction. 제1항에 있어서, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 각각이, 상기 탄성부의 상기 제2 방향의 단에 배치되어 있는, 프로브 핀.The probe pin according to claim 1, wherein each of the first contact portion and the second contact portion is disposed at an end of the elastic portion in the second direction. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 측면이, 상기 제2 방향으로 보아서, 삼각 형상을 갖고 있는, 프로브 핀.The probe pin according to claim 1 or 2, wherein the side surface has a triangular shape when viewed in the second direction. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 방향으로 보아서, 상기 한 쌍의 판면의 각각과 상기 측면에서 형성되는 모서리부가, 모따기되어 있는, 프로브 핀.The probe pin according to claim 1 or 2, wherein, when viewed in the second direction, each of the pair of plate surfaces and corner portions formed on the side surfaces are chamfered. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 측면이, 상기 제2 방향으로 보아서, 오목 만곡 형상을 갖고 있는, 프로브 핀.The probe pin according to claim 1 or 2, wherein the side surface has a concave curved shape as viewed in the second direction. 제1항 또는 제2항의 프로브 핀과,
상기 프로브 핀이 내부에 수용된 하우징을
구비하는, 검사 지그.The probe pin of claim 1 or 2, and
The housing in which the probe pin is accommodated
Equipped with, inspection jig. 제6항의 검사 지그를 적어도 하나 구비하는, 검사 유닛.An inspection unit comprising at least one inspection jig of claim 6.
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