JP6373009B2 - High current probe - Google Patents

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JP6373009B2 JP2014015103A JP2014015103A JP6373009B2 JP 6373009 B2 JP6373009 B2 JP 6373009B2 JP 2014015103 A JP2014015103 A JP 2014015103A JP 2014015103 A JP2014015103 A JP 2014015103A JP 6373009 B2 JP6373009 B2 JP 6373009B2
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    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes

Description

この発明は、抵抗値や電圧値等の計測に使用される大電流用プローブに関する。   The present invention relates to a probe for large current used for measuring resistance values, voltage values, and the like.

従来、導電性の先端部を被検体に当接させることで電気的な接続を確立し、抵抗値や電圧値等を計測可能とした検査用のプローブが提供されている。特に大電流用(例えば数十アンペアから数百アンペア)のプローブにおいては、発熱等を抑制するために接触面積を確保する必要があり、プローブの先端は多点で被検体に接触するように形成されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, an inspection probe has been provided in which an electrical connection is established by bringing a conductive tip portion into contact with a subject and a resistance value, a voltage value, and the like can be measured. Especially for probes for large currents (eg, several tens of amperes to several hundreds of amperes), it is necessary to secure a contact area to suppress heat generation, etc., and the tip of the probe is formed so as to contact the subject at multiple points. Has been.

ところで、検査対象の被検体は大気中で使用されるため、被検体の表層に酸化被膜が形成されることがある。また、例えばクロメート処理など、電極部材等に高抵抗コーティングが施されている場合もある。このように被検体の表層に形成された酸化被膜や高抵抗コーティングなどの高抵抗被膜の上からプローブを押し当てると、接触抵抗が増大するため、低抵抗の安定した接触を確保することができなくなってしまう。よって、高抵抗被膜を除去又は突き破ってプローブの先端を接触させることが望ましい。   By the way, since the specimen to be examined is used in the atmosphere, an oxide film may be formed on the surface layer of the specimen. In some cases, the electrode member or the like is subjected to high resistance coating, for example, chromate treatment. Since the contact resistance increases when the probe is pressed onto the high-resistance film such as the oxide film or high-resistance coating formed on the surface of the specimen in this way, stable contact with low resistance can be ensured. It will disappear. Therefore, it is desirable to remove or break through the high resistance film to bring the probe tip into contact.

例えば特許文献1には、プローブの先端を鋭利な多頂点の形状とし、このプローブの先端を被検体の表層に押し付けることで高抵抗被膜を貫通させる方法が記載されている。   For example, Patent Document 1 describes a method of penetrating a high resistance film by making the tip of a probe have a sharp multi-vertex shape and pressing the tip of the probe against the surface layer of a subject.

しかしながら、プローブの先端を鋭利な多頂点の形状とした場合、この鋭利な多頂点を結んだ仮想平面で被検体の表層に接触するため、被検体表面の凹凸や傾斜等に追従して接触点を変えることができない。このため、傾斜のない平滑面にしか対応できず、用途が限定されるという問題がある。また、傾斜のない平滑面であっても、小さなうねり等がある場合には接触状態が安定しないという問題がある。また、複数の頂点を均等な高さに加工しなければならないため、高い加工技術が要求されて高コストとなってしまう問題がある。   However, when the tip of the probe has a sharp multi-vertex shape, it touches the surface of the subject on a virtual plane connecting these sharp multi-vertices, so the contact point follows the unevenness and inclination of the subject surface. Cannot be changed. For this reason, there is a problem that only a smooth surface having no inclination can be handled, and the application is limited. Moreover, even if it is a smooth surface without inclination, there is a problem that the contact state is not stable when there is a small undulation or the like. In addition, since a plurality of vertices must be processed to a uniform height, there is a problem that a high processing technique is required and the cost is increased.

このような問題を解決する方法として、特許文献2には、プローブの先端に放射状に分岐した複数の接触部を形成し、この複数の接触部で被検体の表層をスクラブして高抵抗被膜を除去する方法が提案されている。このような方法によれば、複数の接触部のそれぞれが被検体表面の凹凸や傾斜等に追従して接触点を変化させるので、電極の凹凸や傾斜がある場合でも安定した接触を確保することができる。また、各接触部が電極に押し付けられてスクラブすることで、電極表面の高抵抗被膜を除去することができるため、高抵抗被膜による接触抵抗の増大を防ぎ、低抵抗の安定した接触を確保することができる。更には、プローブ先端に被検体の電極材が固着している場合でも、この固着した電極材をスクラブ動作により剥離させることができるので、接触抵抗の増大を防ぎ、低抵抗の安定した接触を確保することができる。しかも、製法としてプレスの打ち抜き加工を利用することができるので、安価に製造することができる。   As a method for solving such a problem, Patent Document 2 discloses that a plurality of contact portions that diverge radially are formed at the tip of a probe, and a surface layer of a subject is scrubbed with the plurality of contact portions to form a high resistance film. A removal method has been proposed. According to such a method, each of the plurality of contact portions changes the contact point following the unevenness or inclination of the surface of the subject, so that stable contact can be ensured even when there is unevenness or inclination of the electrode. Can do. In addition, since each contact portion is pressed against the electrode and scrubbed, the high resistance film on the electrode surface can be removed, thereby preventing an increase in contact resistance due to the high resistance film and ensuring stable contact with low resistance. be able to. Furthermore, even when the electrode material of the subject is fixed to the probe tip, the fixed electrode material can be peeled off by a scrubbing operation, thereby preventing an increase in contact resistance and ensuring stable contact with low resistance. can do. In addition, since a punching process of a press can be used as a manufacturing method, it can be manufactured at low cost.

実開昭62−114366号公報Japanese Utility Model Publication No. 62-114366 特開2011−137791号公報JP 2011-137791 A

しかし、上記した特許文献2記載の構造は、複数の接触部を弾性的に変形させることで被検体の表層をスクラブする構造であるため、接触部に復元不可能な歪みが残留してしまったり、接触部が疲労破壊されてしまったりといった問題が生じる可能性がある。このように接触部が歪んだり疲労破壊したりすると、安定した低抵抗接触を実現することができなくなってしまう。
そこで、本発明は、歪みや疲労破壊を生じることなく安定した低抵抗接触を長期間維持することができる大電流用プローブを提供することを課題とする。
However, since the structure described in Patent Document 2 described above is a structure that scrubs the surface of the subject by elastically deforming a plurality of contact portions, unrecoverable strain may remain in the contact portions. There is a possibility that the contact part may be damaged due to fatigue. As described above, when the contact portion is distorted or fatigued, stable low resistance contact cannot be realized.
Therefore, an object of the present invention is to provide a high-current probe that can maintain a stable low-resistance contact for a long period of time without causing distortion or fatigue failure.

本発明は、上記した課題を解決するためになされたものであり、以下を特徴とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and is characterized by the following.

請求項1記載の発明は、導電体からなる基部材の先端部に電気導通用の接触部材を設けた大電流用プローブであって、前記接触部材は、前記基部材の先端面に固定されたプレートであって、前記基部材の先端部に接触した状態で固定される固定部と、前記固定部から放射状に突出する複数の脚部と、を備え、前記接触部材を被検体に押し付けたときに、前記複数の脚部が被検体によって放射状に押し広げられて変形しつつ被検体と接触するとともに、前記複数の脚部の先端の内側のエッジで被検体の表層をスクラブするように構成されており、前記基部材の先端部には、前記接触部材を被検体に押し付けたときに被検体に当接し、前記接触部材の被検体方向への移動を規制するストッパーが突出していることを特徴とする。 The invention according to claim 1 is a high-current probe in which a contact member for electrical conduction is provided at a tip portion of a base member made of a conductor, and the contact member is fixed to a tip surface of the base member. A plate, comprising: a fixed portion that is fixed in contact with the distal end portion of the base member; and a plurality of legs that protrude radially from the fixed portion, and the contact member is pressed against the subject to, together with the plurality of legs is in contact with the object while deforming pushed apart to the subject thus radially configured to scrub the surface of the object with the tip inside edge of said plurality of legs are, at the tip portion of said base material, said contact member to contact with the subject when pressed against the subject, a stopper for restricting movement of the subject direction of the contact member is projected Features.

請求項2に記載の発明は、上記した請求項1に記載の発明の特徴点に加え、前記ストッパーは、前記接触部材の中央付近に突出して設けられていることを特徴とする。   The invention described in claim 2 is characterized in that, in addition to the feature of the invention described in claim 1, the stopper is provided so as to protrude near the center of the contact member.

請求項3に記載の発明は、上記した請求項1又は2に記載の発明の特徴点に加え、前記ストッパーは、四端子測定の電圧測定用センシングピンとして使用可能であることを特徴とする。   The invention described in claim 3 is characterized in that, in addition to the features of the invention described in claim 1 or 2, the stopper can be used as a voltage measuring sensing pin for four-terminal measurement.

請求項1に記載の発明は上記の通りであり、接触部材を被検体に押し付けたときに、複数の脚部が被検体に押し広げられて変形しつつ被検体と接触するものである。すなわち、複数の脚部が電極の凹凸や傾斜に沿って変形するので、電極の凹凸や傾斜に左右されずに安定した接触を確保することができる。また、各脚部の先端が電極に押し付けられてスクラブすることで電極表面の高抵抗被膜を除去するので、低抵抗で安定した接触を確保することができる。更には、脚部の先端に被検体の電極材が固着している場合でも、この固着した電極材をスクラブ動作により剥離させることができるので、低抵抗で安定した接触を確保することができる。しかも、製法としてプレスの打ち抜き加工を利用することができるので、安価に製造することができる。また、仮に接触部材が摩耗や劣化した場合でも、接触部材のみを交換すればよいので、大電流用プローブの運用コストを大幅に低減することができる。   The invention described in claim 1 is as described above, and when the contact member is pressed against the subject, the plurality of leg portions are spread and deformed by the subject and come into contact with the subject. That is, since the plurality of leg portions are deformed along the unevenness and inclination of the electrode, stable contact can be ensured regardless of the unevenness and inclination of the electrode. In addition, since the tip of each leg is pressed against the electrode and scrubbed, the high resistance film on the electrode surface is removed, so that stable contact with low resistance can be ensured. Further, even when the electrode material of the subject is fixed to the tip of the leg portion, the fixed electrode material can be peeled off by the scrubbing operation, so that stable contact can be ensured with low resistance. In addition, since a punching process of a press can be used as a manufacturing method, it can be manufactured at low cost. Further, even if the contact member is worn or deteriorated, it is only necessary to replace the contact member, so that the operating cost of the high-current probe can be greatly reduced.

更には、前記基部材の先端部には、接触部材を被検体に押し付けたときに被検体に当接し、前記接触部材の被検体方向への移動を規制するストッパーが突出しているので、脚部の変形量が制限されており、脚部の変形時に発生する応力を脚部の弾性域内(好ましくは疲労限度内)とすることができる。よって、大電流用プローブを繰り返し使用した場合でも、歪みや疲労破壊を抑え、安定した低抵抗接触を長期間維持することができる。   Furthermore, a stopper that abuts the subject when the contact member is pressed against the subject and restricts movement of the contact member in the subject direction protrudes from the distal end portion of the base member. The deformation amount of the leg portion is limited, and the stress generated when the leg portion is deformed can be within the elastic region of the leg portion (preferably within the fatigue limit). Therefore, even when the high-current probe is repeatedly used, distortion and fatigue breakdown can be suppressed and stable low-resistance contact can be maintained for a long time.

また、請求項2に記載の発明は上記の通りであり、前記ストッパーは、前記接触部材の中央付近に突出して設けられているので、ストッパーによる変形抑制をすべての脚部に対してほぼ均等に作用させることができる。   Further, the invention according to claim 2 is as described above, and the stopper is provided so as to protrude near the center of the contact member, so that the deformation suppression by the stopper is substantially evenly applied to all the leg portions. Can act.

また、請求項3に記載の発明は上記の通りであり、前記ストッパーは、四端子測定の電圧測定用センシングピンとして使用可能であるので、大電流用プローブを四端子測定にも使用することができ、精度の高い計測を行うことができる。   Further, the invention according to claim 3 is as described above, and the stopper can be used as a voltage measuring sensing pin for four-terminal measurement, so that a high-current probe can also be used for four-terminal measurement. Can be performed with high accuracy.

大電流用プローブの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the probe for large currents. 円形プレート(接触部材)の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a circular plate (contact member). 大電流用プローブの断面図である。It is sectional drawing of the probe for large currents. 大電流用プローブの一部拡大断面図である。It is a partially expanded sectional view of the probe for large currents. 脚部によって被検体の表層をスクラブする様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a mode that the surface layer of a subject is scrubbed with a leg part. 脚部の数を変えた変形例に係る大電流用プローブの側面図である。It is a side view of the probe for large currents which concerns on the modification which changed the number of legs. 矩形プレート(接触部材)を使用した変形例に係る大電流用プローブの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the probe for large currents which concerns on the modification using a rectangular plate (contact member). 矩形プレート(接触部材)の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a rectangular plate (contact member). 変形例に係る大電流用プローブの断面図である。It is sectional drawing of the probe for large currents which concerns on a modification. 変形例に係る大電流用プローブの一部拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the probe for large currents concerning a modification.

本発明の実施形態について、図を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施形態に係る大電流用プローブ10は、導電性の先端を被検体30に当接させることで被検体30との電気的な接続を確立し、被検体30の抵抗値や電圧値等を計測するために使用される。この大電流用プローブ10は、図1に示すように、先端において多点で被検体30に接触することで接触面積を確保し、大電流(例えば数十アンペアから数百アンペア)で使用した場合でも発熱を抑制することができるようになっている。   The high-current probe 10 according to the present embodiment establishes an electrical connection with the subject 30 by bringing a conductive tip into contact with the subject 30, and determines the resistance value, voltage value, and the like of the subject 30. Used to measure. As shown in FIG. 1, the large current probe 10 ensures a contact area by contacting the subject 30 at multiple points at the tip, and is used at a large current (for example, several tens to several hundreds of amperes). But heat generation can be suppressed.

この大電流用プローブ10は、図1及び図2に示すように、スリーブ11と、付勢部材12と、プランジャ13と、円形プレート14と、ストッパー15と、絶縁カラー16,17と、を備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the large current probe 10 includes a sleeve 11, a biasing member 12, a plunger 13, a circular plate 14, a stopper 15, and insulating collars 16 and 17. ing.

スリーブ11は、図3に示すような導電体からなる筒状部材であり、中空部にプランジャ13を摺動可能に保持している。このスリーブ11は、例えば合成樹脂製のボードに孔を形成し、この孔に挿通した状態で固定されて使用される。このようにスリーブ11を固定したボードは、被検体30(電極)に対して離接可能となるように対向配置される。電気的な接続を確立したい場合には、ボードを被検体30に対して接近させることで、大電流用プローブ10の先端(より具体的には後述する円形プレート14)を被検体30に押し付けて接触させることができる。一方、大電流用プローブ10の先端を被検体30に対して非接触の状態としたい場合には、ボードを被検体30から離れる方向に移動させることで、大電流用プローブ10の先端を被検体30に対して非接触の状態とすることができる。   The sleeve 11 is a cylindrical member made of a conductor as shown in FIG. 3, and holds a plunger 13 in a hollow portion so as to be slidable. The sleeve 11 is used, for example, by forming a hole in a board made of synthetic resin and inserting the hole into the hole. The board to which the sleeve 11 is fixed in this manner is disposed so as to face and separate from the subject 30 (electrode). When it is desired to establish an electrical connection, the tip of the high current probe 10 (more specifically, a circular plate 14 described later) is pressed against the subject 30 by bringing the board close to the subject 30. Can be contacted. On the other hand, when the tip of the high current probe 10 is desired to be in a non-contact state with respect to the subject 30, the tip of the high current probe 10 is moved by moving the board away from the subject 30. 30 can be in a non-contact state.

付勢部材12は、後述するプランジャ13を付勢するためのバネ部材であり、スリーブ11に対して突出する方向にプランジャ13を付勢している。この付勢部材12が設けられることによって、プランジャ13の先端を被検体30に押し付けたときに付勢部材12の弾発力によって安定した接触を確保することができるようになっている。   The urging member 12 is a spring member for urging a plunger 13 which will be described later, and urges the plunger 13 in a direction protruding from the sleeve 11. By providing the urging member 12, stable contact can be secured by the elastic force of the urging member 12 when the tip of the plunger 13 is pressed against the subject 30.

プランジャ13(基部材)は、導電体からなり、図3に示すようにスリーブ11に挿通されて前後移動可能に保持されている。このプランジャ13は、後端部13cに電線を接続可能となっており、電線によって測定機器(図示せず)と電気的に接続可能となっている。プランジャ13の先端部13aには、後述する電気導通用の円形プレート14が固定されている。また、プランジャ13は、図3に示すような中空部材であり、長手方向に貫通孔13bが貫通形成されている。   The plunger 13 (base member) is made of a conductor, and is inserted into the sleeve 11 and held so as to be movable back and forth as shown in FIG. The plunger 13 can connect an electric wire to the rear end portion 13c, and can be electrically connected to a measuring device (not shown) by the electric wire. A circular plate 14 for electrical conduction, which will be described later, is fixed to the distal end portion 13a of the plunger 13. Further, the plunger 13 is a hollow member as shown in FIG. 3, and a through hole 13b is formed in the longitudinal direction.

円形プレート14(接触部材)は、導電体からなり、図1等に示すようにプランジャ13の先端部13aに接触した状態で固定されている。具体的には、後述する絶縁カラー16とプランジャ13とによって挟み込まれることで、プランジャ13の先端面に固定されている。この円形プレート14は、例えばベリリウム銅合金を加工して製造することができる。また、時効処理により剛性を高めることで耐久性を向上させてもよい。また、ニッケル金めっきを施すことで耐久性と電気伝導度を向上させてもよい。   The circular plate 14 (contact member) is made of a conductor, and is fixed in a state where it contacts the tip portion 13a of the plunger 13 as shown in FIG. Specifically, it is fixed to the distal end surface of the plunger 13 by being sandwiched between an insulating collar 16 and a plunger 13 which will be described later. The circular plate 14 can be manufactured by processing, for example, a beryllium copper alloy. Further, durability may be improved by increasing rigidity by aging treatment. Moreover, durability and electrical conductivity may be improved by applying nickel gold plating.

この円形プレート14は、図2に示すように、一枚板を王冠状に加工した形状をしており、例えばプレスの打ち抜き加工によって製造される。この円形プレート14は、中央の円形の固定部14aと、この固定部14aから放射状に突出する複数の脚部14cと、を備えている。   As shown in FIG. 2, the circular plate 14 has a shape obtained by processing a single plate into a crown shape, and is manufactured, for example, by punching a press. The circular plate 14 includes a central circular fixing portion 14a and a plurality of leg portions 14c projecting radially from the fixing portion 14a.

固定部14aは、プランジャ13の先端部13aに接触した状態で固定される部分であり、後述する絶縁カラー16とプランジャ13とによって挟み込まれて保持される部分である。この固定部14aの中央には丸孔14bが形成されており、後述するストッパー15の軸部15cを貫通させることができるようになっている。   The fixing portion 14a is a portion that is fixed in contact with the distal end portion 13a of the plunger 13, and is a portion that is sandwiched and held between an insulating collar 16 and a plunger 13 described later. A round hole 14b is formed in the center of the fixed portion 14a so that a shaft portion 15c of a stopper 15 described later can be passed therethrough.

脚部14cは、固定部14aの外周縁から等間隔に突出形成された部位であり、固定部14aから被検体30の方向へ斜め外方向に突出して形成されている。この脚部14cは、図5に示すように、プランジャ13を被検体30に押し付けたときに、被検体30に押し広げられて変形しつつ被検体30と接触する。このとき、図5に示すように、脚部14c先端のエッジが被検体30の表層をスクラブし、被検体30の表層に形成された高抵抗被膜を除去することができるようになっている。   The leg portion 14c is a portion that is formed to protrude from the outer peripheral edge of the fixed portion 14a at equal intervals, and is formed to protrude obliquely outward from the fixed portion 14a toward the subject 30. As shown in FIG. 5, when the plunger 13 is pressed against the subject 30, the leg portion 14 c is expanded by the subject 30 and contacts the subject 30 while being deformed. At this time, as shown in FIG. 5, the edge of the leg 14 c tip scrubs the surface layer of the subject 30, and the high resistance film formed on the surface layer of the subject 30 can be removed.

なお、脚部14cの数は、図6に示すように、電流の大きさなどに応じて適宜変更してもよい。また、脚部14cの数が異なる複数の円形プレート14を提供し、この円形プレート14を交換することで使用環境に合わせて脚部14cの数を変更可能としてもよい。   Note that the number of the leg portions 14c may be appropriately changed according to the magnitude of the current as shown in FIG. Further, a plurality of circular plates 14 having different numbers of leg portions 14c may be provided, and the circular plates 14 may be replaced to change the number of leg portions 14c according to the use environment.

ストッパー15は、図3に示すような棒状部材であり、軸部15cの先端部に平坦面15aが形成され、この平坦面15aの中央部に円錐状の突起15bを形成したものである。このストッパー15は、軸部15cがプランジャ13の貫通孔13bを貫通するように配置され、先端部の平坦面15aがプランジャ13の先端方向に突出するようになっている。また、平坦面15aから突出した突起15bは、図4に示すように、円形プレート14の脚部14cと同様に被検体30の方向へ突出しているが、この突起15bの突出量は脚部14cよりも小さく設定されている(言い換えると、突起15bが脚部14cの先端を結んだ仮想平面から突出しないように形成されている)。   The stopper 15 is a rod-shaped member as shown in FIG. 3, and has a flat surface 15a formed at the tip of the shaft portion 15c, and a conical protrusion 15b formed at the center of the flat surface 15a. The stopper 15 is arranged so that the shaft portion 15 c penetrates the through hole 13 b of the plunger 13, and the flat surface 15 a of the tip portion projects in the tip direction of the plunger 13. Further, as shown in FIG. 4, the protrusion 15b protruding from the flat surface 15a protrudes toward the subject 30 in the same manner as the leg portion 14c of the circular plate 14, but the protrusion amount of this protrusion 15b is the leg portion 14c. (In other words, the protrusion 15b is formed so as not to protrude from a virtual plane connecting the tips of the leg portions 14c).

このストッパー15は、プランジャ13を被検体30に押し付けたときに、被検体30に当接し、接触部材14の被検体30方向への移動を規制するためのものである。このストッパー15が接触部材14の移動を規制することで、脚部14cが所定の範囲を超えて変形しないように抑制される。   The stopper 15 abuts on the subject 30 when the plunger 13 is pressed against the subject 30 and restricts the movement of the contact member 14 in the direction of the subject 30. The stopper 15 restricts the movement of the contact member 14, thereby suppressing the leg portion 14 c from being deformed beyond a predetermined range.

具体的には、図5に示すように、プランジャ13を被検体30に押し付けると、脚部14cが被検体30に押し広げられて変形し、ストッパー15の先端に設けられた突起15bが被検体30に突き刺さる。そして、突起15bが被検体30にある程度の位置まで突き刺さると、それ以上はプランジャ13を被検体30に押し付けることができなくなる。このように、ストッパー15が設けられていることで、プランジャ13が必要以上に被検体30に押し付けられないようになっており、脚部14cが所定の範囲を超えて押し広げられて変形することがないようになっている。   Specifically, as shown in FIG. 5, when the plunger 13 is pressed against the subject 30, the leg portion 14 c is expanded and deformed by the subject 30, and the protrusion 15 b provided at the tip of the stopper 15 is the subject 15. Pierce 30. When the protrusion 15b pierces the subject 30 to a certain position, the plunger 13 cannot be pressed against the subject 30 any more. As described above, since the stopper 15 is provided, the plunger 13 is not pressed against the subject 30 more than necessary, and the leg portion 14c is expanded beyond the predetermined range and deformed. There is no such thing.

なお、このストッパー15は、プランジャ13と同軸上に配置されており、円形プレート14の重心を通る垂線上に突起15bの頂点が設けられている。このため、このストッパー15による変形抑制は、すべての脚部14cに対してほぼ均等に作用するようになっている。なお、このストッパー15による抑制は、脚部14cの変形時に発生する最大応力が降伏点未満、更に好ましくは疲労限度未満となるように設定することが望ましい。   The stopper 15 is arranged coaxially with the plunger 13, and the apex of the protrusion 15 b is provided on a perpendicular passing through the center of gravity of the circular plate 14. For this reason, the deformation suppression by the stopper 15 acts almost uniformly on all the leg portions 14c. The suppression by the stopper 15 is desirably set so that the maximum stress generated when the leg portion 14c is deformed is less than the yield point, more preferably less than the fatigue limit.

絶縁カラー16,17は、図3及び図4に示すように、プランジャ13の貫通孔13bに嵌合固定される筒状の絶縁部材である。なお、前述したストッパー15は、この絶縁カラー16,17の孔に圧入されることでプランジャ13に固定されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the insulating collars 16 and 17 are cylindrical insulating members that are fitted and fixed in the through holes 13 b of the plunger 13. The stopper 15 described above is fixed to the plunger 13 by being press-fitted into the holes of the insulating collars 16 and 17.

ところで、本実施形態に係るストッパー15は、四端子測定の電圧測定用センシングピンとして使用可能となっている。すなわち、絶縁カラー16,17を介して固定されることで、ストッパー15はプランジャ13や円形プレート14に対して絶縁されている。また、ストッパー15の後端部15dには電線を接続可能となっており、電線によって四端子測定用の測定機器(図示せず)と電気的に接続可能となっている。このように、ストッパー15がプランジャ13や円形プレート14とは電気的に別系統で測定機器に接続できるようになっている。なお、ストッパー15は先端部に突起15bを備えているため、突起15bが突き刺さることで、被検体30の表層の高抵抗被膜を突き破ることが可能となっており、四端子測定を行った場合でも、安定した低抵抗接触を実現できるようになっている。   By the way, the stopper 15 according to the present embodiment can be used as a voltage measuring sensing pin for four-terminal measurement. That is, the stopper 15 is insulated from the plunger 13 and the circular plate 14 by being fixed via the insulating collars 16 and 17. In addition, an electric wire can be connected to the rear end portion 15d of the stopper 15, and can be electrically connected to a measuring device (not shown) for four-terminal measurement by the electric wire. In this way, the stopper 15 can be electrically connected to the measuring device by a separate system from the plunger 13 and the circular plate 14. Since the stopper 15 has a protrusion 15b at the tip, it is possible to break through the high-resistance coating on the surface of the subject 30 by the piercing of the protrusion 15b, and even when four-terminal measurement is performed. , Stable low-resistance contact can be realized.

以上説明したように、本実施形態によれば、プランジャ13を被検体30に押し付けたときに、複数の脚部14cが被検体30に押し広げられて変形しつつ被検体30と接触するようになっている。すなわち、複数の脚部14cが電極の凹凸や傾斜に沿って変形するので、電極の凹凸や傾斜に左右されずに安定した接触を確保することができる。また、各脚部14cの先端が電極に押し付けられてスクラブすることで電極表面の高抵抗被膜を除去するので、低抵抗で安定した接触を確保することができる。更には、脚部14cの先端に被検体30の電極材が固着している場合でも、この固着した電極材をスクラブ動作により剥離させることができるので、低抵抗で安定した接触を確保することができる。しかも、製法としてプレスの打ち抜き加工を利用することができるので、安価に製造することができる。また、仮に円形プレート14が摩耗や劣化した場合でも、円形プレート14のみを交換すればよいので、大電流用プローブ10の運用コストを大幅に低減することができる。   As described above, according to the present embodiment, when the plunger 13 is pressed against the subject 30, the plurality of leg portions 14 c are spread and deformed by the subject 30 so as to come into contact with the subject 30. It has become. That is, since the plurality of leg portions 14c are deformed along the unevenness or inclination of the electrode, stable contact can be ensured without being influenced by the unevenness or inclination of the electrode. Further, since the high resistance film on the electrode surface is removed by scrubbing the tip of each leg portion 14c against the electrode, stable contact can be ensured with low resistance. Furthermore, even when the electrode material of the subject 30 is fixed to the tip of the leg 14c, the fixed electrode material can be peeled off by the scrubbing operation, so that stable contact can be ensured with low resistance. it can. In addition, since a punching process of a press can be used as a manufacturing method, it can be manufactured at low cost. Further, even if the circular plate 14 is worn or deteriorated, only the circular plate 14 needs to be replaced, so that the operating cost of the high-current probe 10 can be greatly reduced.

更には、プランジャ13の先端部13aには、円形プレート14を被検体30に押し付けたときに被検体30に当接し、前記脚部14cが所定の範囲を超えて変形しないように抑制するストッパー15が突出しているので、脚部14cの変形量が制限されており、脚部14cの変形時に発生する応力を脚部14cの弾性域内(好ましくは疲労限度内)とすることができる。よって、大電流用プローブ10を繰り返し使用した場合でも、歪みや疲労破壊を抑え、安定した低抵抗接触を長期間維持することができる。   Further, a stopper 15 that abuts the tip 13a of the plunger 13 against the subject 30 when the circular plate 14 is pressed against the subject 30, and prevents the leg 14c from deforming beyond a predetermined range. Therefore, the deformation amount of the leg portion 14c is limited, and the stress generated when the leg portion 14c is deformed can be within the elastic region (preferably within the fatigue limit) of the leg portion 14c. Therefore, even when the high-current probe 10 is repeatedly used, distortion and fatigue breakdown can be suppressed and stable low-resistance contact can be maintained for a long time.

また、前記ストッパー15は、円形プレート14の中央付近に突出して設けられているので、ストッパー15による変形抑制をすべての脚部14cに対してほぼ均等に作用させることができる。   Further, since the stopper 15 is provided so as to protrude near the center of the circular plate 14, the deformation suppression by the stopper 15 can be applied to all the leg portions 14c almost evenly.

また、前記ストッパー15は、四端子測定の電圧測定用センシングピンとして使用可能であるので、大電流用プローブ10を四端子測定にも使用することができ、精度の高い計測を行うことができる。   Further, since the stopper 15 can be used as a voltage measuring sensing pin for four-terminal measurement, the high-current probe 10 can be used for four-terminal measurement, and highly accurate measurement can be performed.

なお、上記した実施形態においては、大電流用プローブ10の基部材としてプランジャ13を使用する例について説明したが、本発明の実施形態はこれに限らない。たとえば、図7に示すように、基部材として板状部材21を用いてもよい。すなわち、2枚の板状部材21で被測定物を狭持して検査を行うような大電流用プローブ20であっても、本発明の構造を応用して上記した実施形態と同様の効果を得ることができる。   In the above-described embodiment, the example in which the plunger 13 is used as the base member of the high current probe 10 has been described. However, the embodiment of the present invention is not limited thereto. For example, as shown in FIG. 7, a plate-like member 21 may be used as the base member. That is, even in the case of the high current probe 20 in which the object to be measured is sandwiched between the two plate-like members 21 and inspected, the same effect as that of the above-described embodiment is obtained by applying the structure of the present invention. Can be obtained.

また、上記した実施形態においては、大電流用プローブ10の接触部材として円形プレート14を使用する例について説明したが、本発明の実施形態はこれに限らない。たとえば、図7及び図8に示すように、接触部材として矩形プレート22を使用してもよい。この図7及び図8に示す例では、矩形プレート22は、長方形の固定部22aと、この固定部22aの外周縁からほぼ同じ高さで突出した複数の脚部22cと、を備えている。そして、固定部22aの重心に丸孔22bが形成されている。この丸孔22bを貫通するようにストッパー23を配置することで、矩形プレート22の中央付近にストッパー23が突出して設けられるようになっている。このように、接触部材の形状を変更した場合であっても、本発明の構造を応用して上記した実施形態と同様の効果を得ることができる。   In the above-described embodiment, the example in which the circular plate 14 is used as the contact member of the high-current probe 10 has been described. However, the embodiment of the present invention is not limited thereto. For example, as shown in FIGS. 7 and 8, a rectangular plate 22 may be used as the contact member. In the example shown in FIGS. 7 and 8, the rectangular plate 22 includes a rectangular fixing portion 22a and a plurality of leg portions 22c protruding at substantially the same height from the outer peripheral edge of the fixing portion 22a. And the round hole 22b is formed in the gravity center of the fixing | fixed part 22a. By disposing the stopper 23 so as to penetrate the round hole 22b, the stopper 23 protrudes near the center of the rectangular plate 22. Thus, even when the shape of the contact member is changed, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained by applying the structure of the present invention.

また、上記した実施形態においては、ストッパー23を四端子測定の電圧測定用センシングピンとして使用可能としたが、これに限らず、ストッパー23とは別に四端子測定の電圧測定用センシングピンを設けてもよい。例えば、図9及び図10に示すように、ストッパー23を貫通するように四端子測定の電圧測定用センシングピンである四端子測定用プローブ25を設けてもよい。この図9及び図10に示す例では、四端子測定用プローブ25は、筒状の針案内部26の中空部に配置されており、針案内部26によって前後に摺動可能に保持されている。そして、四端子測定用プローブ25は、外方へ突出するように針付勢部材27によって付勢されており、被検体30に押し付けられることで内方へ摺動可能となっている。針案内部26の後方には、測定機器と接続するための接続部28が設けられており、この接続部28に測定機器を接続することで、四端子測定用プローブ25が被検体30と電気的に接続されたときに電圧測定が実行できるようになっている。なお、四端子測定用プローブ25は、プランジャ13や円形プレート14に対して絶縁されている。このように、大電流用プローブ10のプランジャ13を貫通するように四端子測定の電圧測定用センシングピンを設ければ、大電流用プローブ10を四端子測定にも使用することができ、精度の高い計測を行うことができる。   In the above embodiment, the stopper 23 can be used as a voltage measuring sensing pin for four-terminal measurement. However, the present invention is not limited to this, and a voltage measuring sensing pin for four-terminal measurement is provided separately from the stopper 23. Also good. For example, as shown in FIGS. 9 and 10, a four-terminal measurement probe 25 which is a voltage measurement sensing pin for four-terminal measurement may be provided so as to penetrate the stopper 23. In the example shown in FIGS. 9 and 10, the four-terminal measuring probe 25 is disposed in the hollow portion of the cylindrical needle guide portion 26 and is held by the needle guide portion 26 so as to be slidable back and forth. . The four-terminal measuring probe 25 is urged by a needle urging member 27 so as to protrude outward, and can be slid inward by being pressed against the subject 30. A connection portion 28 for connecting to the measurement device is provided behind the needle guide portion 26, and the four-terminal measurement probe 25 is electrically connected to the subject 30 by connecting the measurement device to the connection portion 28. Voltage measurement can be performed when connected. The four-terminal measurement probe 25 is insulated from the plunger 13 and the circular plate 14. In this way, if the voltage measuring sensing pin for four-terminal measurement is provided so as to penetrate the plunger 13 of the high-current probe 10, the high-current probe 10 can be used for four-terminal measurement, and the accuracy can be improved. High measurement can be performed.

10 大電流用プローブ
11 スリーブ
12 付勢部材
13 プランジャ(基部材)
13a 先端部
13b 貫通孔
13c 後端部
14 円形プレート(接触部材)
14a 固定部
14b 丸孔
14c 脚部
15 ストッパー
15a 平坦面
15b 突起
15c 軸部
15d 後端部
16,17 絶縁カラー
20 大電流用プローブ
21 板状部材(基部材)
21a 先端部
22 矩形プレート(接触部材)
22a 固定部
22b 丸孔
22c 脚部
23 ストッパー
25 四端子測定用プローブ
26 針案内部
27 針付勢部材
28 接続部
30 被検体
10 Probe for large current 11 Sleeve 12 Biasing member 13 Plunger (base member)
13a tip portion 13b through hole 13c rear end portion 14 circular plate (contact member)
14a Fixed portion 14b Round hole 14c Leg portion 15 Stopper 15a Flat surface 15b Protrusion 15c Shaft portion 15d Rear end portion 16, 17 Insulating collar 20 Probe for high current 21 Plate member (base member)
21a Tip 22 Rectangular plate (contact member)
22a Fixed portion 22b Round hole 22c Leg portion 23 Stopper 25 Four-terminal measurement probe 26 Needle guide portion 27 Needle biasing member 28 Connection portion 30 Subject

Claims (3)

導電体からなる基部材の先端部に電気導通用の接触部材を設けた大電流用プローブであって、
前記接触部材は、前記基部材の先端面に固定されたプレートであって、前記基部材の先端部に接触した状態で固定される固定部と、前記固定部から放射状に突出する複数の脚部と、を備え、
前記接触部材を被検体に押し付けたときに、前記複数の脚部が被検体によって放射状に押し広げられて変形しつつ被検体と接触するとともに、前記複数の脚部の先端の内側のエッジで被検体の表層をスクラブするように構成されており
前記基部材の先端部には、前記接触部材を被検体に押し付けたときに被検体に当接し、前記接触部材の被検体方向への移動を規制するストッパーが突出していることを特徴とする、大電流用プローブ。
A probe for large current in which a contact member for electrical conduction is provided at the tip of a base member made of a conductor,
The contact member is a plate fixed to a front end surface of the base member, and a fixed portion fixed in contact with the front end portion of the base member, and a plurality of legs protruding radially from the fixed portion And comprising
Said contact member when pressed against the subject, together with the plurality of legs is in contact with the object while deforming pushed apart to the subject thus radially at the tip inner edges of said plurality of legs It is configured to scrub the surface of the subject ,
A stopper that abuts on the subject when the contact member is pressed against the subject and restricts movement of the contact member in the direction of the subject protrudes from the distal end portion of the base member. High current probe.
前記ストッパーは、前記接触部材の中央付近に突出して設けられていることを特徴とする、請求項1記載の大電流用プローブ。   2. The high current probe according to claim 1, wherein the stopper is provided so as to protrude near the center of the contact member. 前記ストッパーは、四端子測定の電圧測定用センシングピンとして使用可能であることを特徴とする、請求項1又は2記載の大電流用プローブ。   3. The high current probe according to claim 1, wherein the stopper can be used as a voltage measuring sensing pin for four-terminal measurement.
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