JP6044489B2 - Contact, measuring device - Google Patents

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Description

本発明は、例えば樹脂封止型のパワーデバイスの電気的特性の測定に用いられる接触子、及びその接触子を含む測定装置に関する。   The present invention relates to a contact used for measuring electrical characteristics of, for example, a resin-encapsulated power device, and a measuring apparatus including the contact.

特許文献1には、ICパッケージの電気的特性を測定する際にICパッケージのリード端子に接触させる接触子が開示されている。この接触子の一部には、他の接触子との電気的接触を避ける目的で、非導電性のプラスチック材料が塗布されている。非導電性のプラスチック材料は、接触子の先端部分を360°露出させている。   Patent Document 1 discloses a contactor that is brought into contact with a lead terminal of an IC package when measuring the electrical characteristics of the IC package. A part of this contact is coated with a non-conductive plastic material for the purpose of avoiding electrical contact with other contacts. The nonconductive plastic material exposes the tip portion of the contact 360 °.

特開平02−051882号公報Japanese Patent Laid-Open No. 02-051882

被測定物の端子に接触させた接触子を介して被測定物の電気的特性を測定する場合、端子と接触子の接触抵抗が高いと端子と接触子の接触部が高温となる。これにより、当該接触部で端子と接触子が溶解して結合したり、接触子の表面が合金を形成するなどして変質し端子と接触子の接触抵抗を上昇させたりする問題があった。   When measuring the electrical characteristics of the object to be measured through the contact that is brought into contact with the terminal of the object to be measured, if the contact resistance between the terminal and the contact is high, the contact portion between the terminal and the contact becomes high temperature. As a result, there is a problem that the terminal and the contact are melted and bonded at the contact portion, or the contact surface between the terminal and the contact is increased by changing the surface of the contact to form an alloy.

本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、端子と接触子の接触抵抗を低くできる接触子、及びその接触子を用いた測定装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a contact that can reduce the contact resistance between the terminal and the contact, and a measuring device using the contact.

本願の発明に係る接触子は、前面、後面、第1側面、及び第2側面を有する先細形状の金属で形成されたコンタクト部と、被測定物の端子に刺された該コンタクト部を、該端子の表面と平行、かつ該第1側面の先端部分を該端子に押し当てる方向にワイピングさせるワイピング機構と、該先端部分を除く該第1側面、該前面、該後面、及び該第2側面を覆う絶縁コーティングと、を備えたことを特徴とする。   The contact according to the invention of the present application includes a contact portion formed of a tapered metal having a front surface, a rear surface, a first side surface, and a second side surface, and the contact portion stabbed in a terminal of an object to be measured. A wiping mechanism for wiping the tip portion of the first side surface in parallel with the surface of the terminal and pressing the terminal portion against the terminal, and covering the first side surface, the front surface, the rear surface, and the second side surface excluding the tip portion. And an insulating coating.

本願の発明に係る測定装置は、前面、後面、第1側面、及び第2側面を有する先細形状の金属で形成されたコンタクト部と、被測定物の端子に刺された該コンタクト部を、該端子の表面と平行、かつ該第1側面の先端部分を該端子に押し当てる方向にワイピングさせるワイピング機構と、該先端部分を除く該第1側面、該前面、該後面、及び該第2側面を覆う絶縁コーティングと、を有した接触子と、該接触子に固定されたソケットと、該接触子と電気的に接続された測定部と、該被測定物をのせるステージと、を備えたことを特徴とする。   The measuring device according to the invention of the present application includes a contact portion formed of a tapered metal having a front surface, a rear surface, a first side surface, and a second side surface, and the contact portion stabbed in a terminal of the object to be measured. A wiping mechanism for wiping the tip portion of the first side surface in parallel with the surface of the terminal and pressing the terminal portion against the terminal, and covering the first side surface, the front surface, the rear surface, and the second side surface excluding the tip portion. A contact having an insulating coating; a socket fixed to the contact; a measuring unit electrically connected to the contact; and a stage on which the object to be measured is placed. Features.

本発明によれば、端子と接触子の接触抵抗を低くできる。   According to the present invention, the contact resistance between the terminal and the contact can be reduced.

本発明の実施の形態1に係る接触子の正面図である。It is a front view of the contactor concerning Embodiment 1 of the present invention. コンタクト部の斜視図である。It is a perspective view of a contact part. コンタクト部の正面図と側面図である。It is the front view and side view of a contact part. 本発明の実施の形態1に係る測定装置の正面図である。It is a front view of the measuring apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 測定装置の使用方法を示す正面図である。It is a front view which shows the usage method of a measuring apparatus. ワイピング動作中のコンタクト部と端子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the contact part and terminal in wiping operation | movement. 本発明の実施の形態2に係るコンタクト部の斜視図である。It is a perspective view of the contact part which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態3に係る非導通コンタクト部とコンタクト部の斜視図である。It is a perspective view of the non-conductive contact part and contact part which concern on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態4に係るコンタクト部の斜視図である。It is a perspective view of the contact part which concerns on Embodiment 4 of this invention.

本発明の実施の形態に係る接触子と測定装置について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。   A contact and a measuring apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, and repeated description may be omitted.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る接触子10の正面図である。接触子10は、本体部12を備えている。本体部12は上端部12aと固定部12bを有している。本体部12にはばね部14がつながっている。ばね部14は湾曲した形状を有している。ばね部14にはコンタクト部16がつながっている。コンタクト部16は被測定物の端子と接触する部分である。このように、接触子10は本体部12、ばね部14、及びコンタクト部16を備えている。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a front view of a contact 10 according to Embodiment 1 of the present invention. The contact 10 includes a main body 12. The main body portion 12 has an upper end portion 12a and a fixing portion 12b. A spring portion 14 is connected to the main body portion 12. The spring part 14 has a curved shape. A contact portion 16 is connected to the spring portion 14. The contact part 16 is a part in contact with the terminal of the object to be measured. As described above, the contact 10 includes the main body portion 12, the spring portion 14, and the contact portion 16.

図2は、コンタクト部16の斜視図である。コンタクト部16は、前面16a、後面16b、第1側面16c、及び第2側面16dを有する先細形状の金属で形成されている。前面16aと後面16bは対向し、第1側面16cと第2側面16dは対向している。第1側面16cと第2側面16dの接する部分がコンタクト部16の先端となっている。   FIG. 2 is a perspective view of the contact portion 16. The contact portion 16 is formed of a tapered metal having a front surface 16a, a rear surface 16b, a first side surface 16c, and a second side surface 16d. The front surface 16a and the rear surface 16b face each other, and the first side surface 16c and the second side surface 16d face each other. A contact portion between the first side surface 16 c and the second side surface 16 d is the tip of the contact portion 16.

第1側面16cの先端部分16Aを除く部分、前面16a、後面16b、及び第2側面16dは絶縁コーティング18で覆われている。つまり、コンタクト部16においては、第1側面16cの先端部分16Aのみが絶縁コーティング18に覆われない。なお、絶縁コーティング18の材料は、電気絶縁性を示す材料であれば特に限定されないが、例えばポリイミドコーティング又はDLC(ダイアモンドライクカーボン)である。   A portion of the first side surface 16c excluding the tip portion 16A, the front surface 16a, the rear surface 16b, and the second side surface 16d are covered with an insulating coating 18. That is, in the contact portion 16, only the tip portion 16 </ b> A of the first side surface 16 c is not covered with the insulating coating 18. The material of the insulating coating 18 is not particularly limited as long as it is a material exhibiting electrical insulation, but is, for example, polyimide coating or DLC (diamond-like carbon).

図3Aはコンタクト部の正面図である。コンタクト部16を正面から見ると全体が絶縁コーティング18に覆われている。図3Bはコンタクト部を第1側面16c側から見た側面図である。コンタクト部16を第1側面16c側から見ると先端部分16Aだけが絶縁コーティング18に覆われていない。   FIG. 3A is a front view of the contact portion. When the contact portion 16 is viewed from the front, the whole is covered with an insulating coating 18. FIG. 3B is a side view of the contact portion viewed from the first side surface 16c side. When the contact portion 16 is viewed from the first side surface 16c side, only the tip portion 16A is not covered with the insulating coating 18.

接触子10は、例えば以下のように製造する。まず金属板を打ち抜いて図1の形状の金属部材を得る。次いで、当該金属部材にメッキ処理を施す。次いで、図2に示されるように絶縁コーティング18を施す。   The contact 10 is manufactured as follows, for example. First, a metal plate is punched to obtain a metal member having the shape shown in FIG. Next, the metal member is plated. Then, an insulating coating 18 is applied as shown in FIG.

図4は、本発明の実施の形態1に係る測定装置の正面図である。接触子10はソケット30に固定されている。固定部12bがソケット30にあたることで、接触子10とソケット30の相対位置を確定している。ソケット30は接触子10を定位置に保つものである。接触子10の上端部12aには測定部32が電気的に接続されている。測定部32は、被測定物の電気的特性を測定する部分である。コンタクト部16の下方には、被測定物をのせるステージ34が設けられている。   FIG. 4 is a front view of the measuring apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. The contact 10 is fixed to the socket 30. The relative position between the contact 10 and the socket 30 is determined by the fixed portion 12 b hitting the socket 30. The socket 30 keeps the contact 10 in a fixed position. A measuring unit 32 is electrically connected to the upper end 12 a of the contact 10. The measuring unit 32 is a part that measures the electrical characteristics of the object to be measured. Below the contact portion 16, a stage 34 on which an object to be measured is placed is provided.

図5は、測定装置の使用方法を示す正面図である。まず、被測定物40をステージ34にのせる。被測定物40は、例えば、定格電流が300A程度の樹脂封止型のパワーデバイスである。被測定物40はリード端子(以後、端子40aという)を備えている。次いで、ステージ34を上昇させて接触子10と被測定物40とを近づけ、コンタクト部16の一部で端子40aを刺す。これにより、先端部分16Aは端子40aの内部に埋まる。   FIG. 5 is a front view showing how to use the measuring apparatus. First, the DUT 40 is placed on the stage 34. The DUT 40 is, for example, a resin-encapsulated power device having a rated current of about 300A. The DUT 40 includes a lead terminal (hereinafter referred to as a terminal 40a). Next, the stage 34 is raised to bring the contact 10 and the DUT 40 close to each other, and the terminal 40 a is inserted into a part of the contact portion 16. Thereby, the tip portion 16A is buried in the terminal 40a.

ステージ34の上昇を継続すると、たわんだばね部14からコンタクト部16へ弾性力が及ぼされ、コンタクト部16がワイピング(X方向に動くことをいう、以下同じ)する。ここで、ばね部14は第1側面16cの前方と反対方向に凸となるように湾曲して形成されている。従って、ばね部14は、コンタクト部16を端子40aの表面と平行、かつ第1側面16cの先端部分16Aを端子40aに押し当てる方向にワイピングさせる。   If the stage 34 continues to rise, an elastic force is exerted from the bent spring portion 14 to the contact portion 16, and the contact portion 16 is wiped (referred to as moving in the X direction, hereinafter the same). Here, the spring portion 14 is formed to be curved so as to protrude in the direction opposite to the front side of the first side surface 16c. Therefore, the spring portion 14 wipes the contact portion 16 in a direction parallel to the surface of the terminal 40a and pressing the tip portion 16A of the first side surface 16c against the terminal 40a.

図6は、ワイピング動作中のコンタクト部16と端子40aを示す断面図である。端子40aに刺されたコンタクト部16は、図6の矢印方向にワイピングする。コンタクト部16の先端部分16Aは、ワイピング中常に端子40aに押し当てられる。図6には、異物40bがコンタクト部16に接していることが示されている。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing the contact portion 16 and the terminal 40a during the wiping operation. The contact portion 16 pierced by the terminal 40a is wiped in the direction of the arrow in FIG. The tip end portion 16A of the contact portion 16 is always pressed against the terminal 40a during wiping. FIG. 6 shows that the foreign material 40 b is in contact with the contact portion 16.

次いで、ステージ34の上昇を停止させる。ここでは、図6に示す状態でステージの上昇を停止させたとする。次いで、測定部32により、被測定物40の電気的特性を測定する。   Next, the raising of the stage 34 is stopped. Here, it is assumed that the raising of the stage is stopped in the state shown in FIG. Next, the electrical characteristics of the DUT 40 are measured by the measurement unit 32.

本発明の実施の形態1に係る接触子10は、コンタクト部16に絶縁コーティング18を施したので、コンタクト部16の先端部分16Aだけが端子40aと電気的に接続される。そして、コンタクト部16をワイピングさせることで、端子40aの酸化膜、異物、及び端子から剥がれかけた端子材料が先端部分16Aにあたることを回避できる。しかも、コンタクト部16のワイピング方向は先端部分16Aを端子40aに押し当てる方向であるので、先端部分16Aを端子40aに密着させることができる。従って、端子40aと先端部分16Aの接触抵抗を低くできる。   In the contact 10 according to the first embodiment of the present invention, since the insulating coating 18 is applied to the contact portion 16, only the tip portion 16A of the contact portion 16 is electrically connected to the terminal 40a. And by wiping the contact part 16, it can avoid that the oxide film of the terminal 40a, a foreign material, and the terminal material which peeled off from the terminal hit the front-end | tip part 16A. Moreover, since the wiping direction of the contact portion 16 is a direction in which the tip portion 16A is pressed against the terminal 40a, the tip portion 16A can be brought into close contact with the terminal 40a. Therefore, the contact resistance between the terminal 40a and the tip portion 16A can be lowered.

コンタクト部16の前面16a、後面16b、及び第2側面16dは、ワイピング方向を向く面ではないので、ワイピング時に端子40aに押し当てられる面ではない。故に、これらの面では端子40aとの接触抵抗を低くできないので、これらの面は全て絶縁コーティング18で覆った。   Since the front surface 16a, the rear surface 16b, and the second side surface 16d of the contact portion 16 are not surfaces that face the wiping direction, they are not surfaces that are pressed against the terminal 40a during wiping. Therefore, since the contact resistance with the terminal 40 a cannot be lowered on these surfaces, all of these surfaces are covered with the insulating coating 18.

また、第1側面16cの先端部分16A以外の部分についても、異物等との接触により接触抵抗が高くなる可能性があるので、絶縁コーティング18で覆った。例えば、図6の場合には、第1側面16cの先端部分16A以外の部分に絶縁コーティング18を施したことで、異物40bによる接触抵抗への悪影響を回避できている。先端部分16Aの範囲は、コンタクト部の端子への侵入深さを考慮して、先端部分が端子のある程度深い場所に位置するように定めることが好ましい。   Further, the portions other than the tip portion 16A of the first side surface 16c are also covered with the insulating coating 18 because the contact resistance may increase due to contact with foreign matter or the like. For example, in the case of FIG. 6, since the insulating coating 18 is applied to the portion other than the tip portion 16A of the first side surface 16c, the adverse effect on the contact resistance due to the foreign matter 40b can be avoided. The range of the tip portion 16A is preferably determined so that the tip portion is positioned at a certain depth of the terminal in consideration of the penetration depth of the contact portion into the terminal.

ばね部14は、他のものに置き換えてもよい。つまり、端子40aに刺したコンタクト部16を、端子40aの表面と平行、かつ第1側面16cの先端部分16Aを端子40aに押し当てる方向にワイピングさせるワイピング機構を備える限り、上記効果を得ることができる。そのようなワイピング機構として、接触子を動かす電動装置を設けても良い。   The spring portion 14 may be replaced with another one. That is, as long as a wiping mechanism that wipes the contact portion 16 pierced into the terminal 40a in a direction parallel to the surface of the terminal 40a and pressing the tip portion 16A of the first side surface 16c against the terminal 40a, the above-described effect can be obtained. it can. As such a wiping mechanism, an electric device that moves the contact may be provided.

複数の端子を有する被測定物については、当該複数の端子それぞれに対し本発明の実施の形態1に係る接触子10を接触させて電気的特性を測定することができる。これらの変形は、以下の実施の形態に係る接触子と測定装置についても応用できる。なお、以下の実施の形態に係る接触子と測定装置については、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。   With respect to an object to be measured having a plurality of terminals, the electrical characteristics can be measured by bringing the contact 10 according to Embodiment 1 of the present invention into contact with each of the plurality of terminals. These modifications can also be applied to contacts and measuring devices according to the following embodiments. In addition, since there are many common points with Embodiment 1 about the contactor and measuring device which concern on the following embodiment, it demonstrates centering on difference with Embodiment 1. FIG.

実施の形態2.
図7は、本発明の実施の形態2に係るコンタクト部50の斜視図である。コンタクト部50は、前面50a、後面50b、第1側面50c、及び第2側面50dを有している。第1側面50cには先端部分50Aが形成されている。コンタクト部50は、第1側面50cの前方に非導通コンタクト部52を備えている。非導通コンタクト部52は全体が絶縁コーティング54で覆われている。コンタクト部50で絶縁コーティング54から露出しているのは先端部分50Aだけである。なお、図7の矢印は、コンタクト部50のワイピング方向を示す。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 7 is a perspective view of the contact portion 50 according to Embodiment 2 of the present invention. The contact part 50 has a front surface 50a, a rear surface 50b, a first side surface 50c, and a second side surface 50d. A tip portion 50A is formed on the first side surface 50c. The contact part 50 includes a non-conductive contact part 52 in front of the first side face 50c. The non-conductive contact portion 52 is entirely covered with an insulating coating 54. Only the tip portion 50 </ b> A is exposed at the contact portion 50 from the insulating coating 54. 7 indicates the wiping direction of the contact portion 50.

このコンタクト部50によれば、非導通コンタクト部52が先端部分50Aに先行してワイピングする。従って、非導通コンタクト部52が、端子の酸化膜、異物、及び端子から剥がれかけた端子材料をワイピング方向の左右へ除去する。そして、非導通コンタクト部52が通って清浄化された部分に先端部分50Aが当たる。従って、端子と接触子の接触抵抗を低くできる。   According to the contact portion 50, the non-conductive contact portion 52 is wiped prior to the tip portion 50A. Accordingly, the non-conductive contact portion 52 removes the oxide film of the terminal, the foreign material, and the terminal material that has been peeled off from the terminal to the left and right in the wiping direction. Then, the tip portion 50A hits the cleaned portion through the non-conductive contact portion 52. Therefore, the contact resistance between the terminal and the contact can be lowered.

非導通コンタクト部は、先端部分に先行してワイピングできるものであれば特に限定されない。例えば、先端部分を有するコンタクト部から独立した部品として非導通コンタクト部を設けてもよい。あるいは、非導通コンタクト部と、先端部分を有するコンタクト部とを別々のばね部につなげ、2つのばね部は1つの本体部につなげてもよい。   The non-conductive contact portion is not particularly limited as long as it can be wiped prior to the tip portion. For example, a non-conductive contact portion may be provided as a component independent of the contact portion having the tip portion. Alternatively, the non-conductive contact portion and the contact portion having the tip portion may be connected to separate spring portions, and the two spring portions may be connected to one main body portion.

実施の形態3.
本発明の実施の形態3に係る接触子は、非導通コンタクト部と、コンタクト部を備えている。図8は、本発明の実施の形態3に係る非導通コンタクト部60とコンタクト部62の斜視図である。コンタクト部62は非導通コンタクト部60より細くなっている。つまり、コンタクト部62の厚みT2は非導通コンタクト部60の厚みT1より小さく、かつコンタクト部62のワイピング方向長さ(図8の矢印方向の長さ)は非導通コンタクト部60のワイピング方向長さより小さい。なお、非導通コンタクト部は全体が絶縁コーティングに覆われていることと、非導通コンタクト部の機能は、実施の形態2で述べたとおりである。
Embodiment 3 FIG.
The contact according to the third embodiment of the present invention includes a non-conductive contact portion and a contact portion. FIG. 8 is a perspective view of the non-conductive contact portion 60 and the contact portion 62 according to Embodiment 3 of the present invention. The contact part 62 is thinner than the non-conductive contact part 60. That is, the thickness T2 of the contact portion 62 is smaller than the thickness T1 of the non-conductive contact portion 60, and the length of the contact portion 62 in the wiping direction (the length in the arrow direction in FIG. 8) is larger than the length of the non-conductive contact portion 60 in the wiping direction. small. The non-conductive contact portion is entirely covered with an insulating coating, and the function of the non-conductive contact portion is as described in the second embodiment.

コンタクト部62は非導通コンタクト部60より細いので、コンタクト部62は非導通コンタクト部60よりも深く端子に刺さる。これによりコンタクト部62の先端部分62Aが端子の清浄部分と当たる可能性を高めることができる。   Since the contact part 62 is thinner than the non-conductive contact part 60, the contact part 62 pierces the terminal deeper than the non-conductive contact part 60. Thereby, the possibility that the tip end portion 62A of the contact portion 62 will come into contact with the clean portion of the terminal can be increased.

実施の形態4.
図9は、本発明の実施の形態4に係るコンタクト部の斜視図である。コンタクト部70は、板状の第1部分72、第2部分74、第3部分76、第4部分78、及び第5部分80が重ねられたものである。各部分の厚みT1〜T5は均一である。
Embodiment 4 FIG.
FIG. 9 is a perspective view of a contact portion according to Embodiment 4 of the present invention. The contact portion 70 is formed by stacking a plate-like first portion 72, second portion 74, third portion 76, fourth portion 78, and fifth portion 80. The thicknesses T1 to T5 of each part are uniform.

コンタクト部70の先端部分は、第1〜第5部分72、74、76、78、80の先端部分72A、74A、76A、78A,80Aからなっている。コンタクト部70の先端部分72A、74A、76A、78A,80Aを除く部分は絶縁コーティング81で覆われている。そして、追加絶縁コーティング82が先端部分の前面70a側の部分(第5部分80の先端部分80A)を覆っている。さらに追加絶縁コーティング84が先端部分の後面70b側の部分(第1部分72の先端部分72A)を覆っている。   The front end portion of the contact portion 70 is composed of first to fifth portions 72, 74, 76, 78, 80, and 72A, 74A, 76A, 78A, 80A. The portions of the contact portion 70 excluding the tip portions 72A, 74A, 76A, 78A, 80A are covered with an insulating coating 81. Further, the additional insulating coating 82 covers a portion of the tip portion on the front surface 70a side (tip portion 80A of the fifth portion 80). Further, the additional insulating coating 84 covers a portion on the rear surface 70b side of the tip portion (tip portion 72A of the first portion 72).

コンタクト部70の先端部分の前面70a側又は後面70b側は、先端部分の中央部に比べると、異物等が残留しやすい。よって、本発明の実施の形態4のように追加絶縁コーティング82、84を設けることで、端子と接触子の接触抵抗を低くできる。   The front surface 70a side or the rear surface 70b side of the front end portion of the contact portion 70 tends to leave foreign matters or the like as compared with the central portion of the front end portion. Therefore, by providing the additional insulating coatings 82 and 84 as in the fourth embodiment of the present invention, the contact resistance between the terminal and the contact can be lowered.

コンタクト部70は5枚の板状部材を重ねて形成したが、本発明はこれに限定されない。コンタクト部の厚みは、追加絶縁コーティングを形成後の先端部分がある程度広い面積で端子と接することができるように適宜調整する。なお、ここまでに説明した各実施の形態の特徴は適宜に組み合わせてよい。   The contact portion 70 is formed by overlapping five plate-like members, but the present invention is not limited to this. The thickness of the contact portion is appropriately adjusted so that the tip portion after the additional insulating coating can be in contact with the terminal over a relatively wide area. In addition, you may combine the characteristic of each embodiment demonstrated so far suitably.

10 接触子、 12 本体部、 14 ばね部、 16 コンタクト部、 18 絶縁コーティング、 30 ソケット、 32 測定部、 34 ステージ、 40 被測定物、 40a 端子、 40b 異物、 50 コンタクト部、 52 非導通コンタクト部、 54 絶縁コーティング、 60 非導通コンタクト部、 62 コンタクト部、 70 コンタクト部、 82,84 追加絶縁コーティング   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Contact, 12 Body part, 14 Spring part, 16 Contact part, 18 Insulation coating, 30 Socket, 32 Measuring part, 34 Stage, 40 Measured object, 40a Terminal, 40b Foreign object, 50 Contact part, 52 Non-conducting contact part 54 Insulating coating, 60 Non-conductive contact portion, 62 Contact portion, 70 Contact portion, 82, 84 Additional insulating coating

Claims (7)

前面、後面、第1側面、及び第2側面を有する先細形状の金属で形成されたコンタクト部と、
被測定物の端子に刺された前記コンタクト部を、前記端子の表面と平行、かつ前記第1側面の先端部分を前記端子に押し当てる方向にワイピングさせるワイピング機構と、
前記先端部分を除く前記第1側面、前記前面、前記後面、及び前記第2側面を覆う絶縁コーティングと、を備えたことを特徴とする接触子。
A contact portion formed of a tapered metal having a front surface, a rear surface, a first side surface, and a second side surface;
A wiping mechanism for wiping the contact portion pierced by the terminal of the object to be measured in a direction parallel to the surface of the terminal and in a direction of pressing the tip portion of the first side surface against the terminal;
A contactor comprising: an insulating coating covering the first side surface excluding the tip portion, the front surface, the rear surface, and the second side surface.
前記ワイピング機構は、前記第1側面の前方と反対方向に凸となるように湾曲し前記コンタクト部につながったばね部を備えたことを特徴とする請求項1に記載の接触子。   2. The contactor according to claim 1, wherein the wiping mechanism includes a spring portion that is curved to be convex in a direction opposite to the front side of the first side surface and connected to the contact portion. 前記第1側面の前方に、全体が絶縁コーティングで覆われた非導通コンタクト部を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の接触子。   The contact according to claim 1 or 2, further comprising a non-conductive contact portion entirely covered with an insulating coating in front of the first side surface. 前記コンタクト部は前記非導通コンタクト部より細いことを特徴とする請求項3に記載の接触子。   The contact according to claim 3, wherein the contact portion is thinner than the non-conductive contact portion. 前記先端部分の前記前面側の部分、及び前記先端部分の前記後面側の部分を覆う追加絶縁コーティングを備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の接触子。   5. The contactor according to claim 1, further comprising an additional insulating coating that covers the front side portion of the tip portion and the rear side portion of the tip portion. 前記絶縁コーティングは、ポリイミドコーティング又はDLC(ダイアモンドライクカーボン)であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の接触子。   The contact according to claim 1, wherein the insulating coating is a polyimide coating or DLC (diamond-like carbon). 前面、後面、第1側面、及び第2側面を有する先細形状の金属で形成されたコンタクト部と、被測定物の端子に刺された前記コンタクト部を、前記端子の表面と平行、かつ前記第1側面の先端部分を前記端子に押し当てる方向にワイピングさせるワイピング機構と、前記先端部分を除く前記第1側面、前記前面、前記後面、及び前記第2側面を覆う絶縁コーティングと、を有した接触子と、
前記接触子に固定されたソケットと、
前記接触子と電気的に接続された測定部と、
前記被測定物をのせるステージと、を備えたことを特徴とする測定装置。
A contact portion formed of a tapered metal having a front surface, a rear surface, a first side surface, and a second side surface, and the contact portion pierced by a terminal of an object to be measured are parallel to the surface of the terminal and the first A contactor comprising: a wiping mechanism that wipes a tip portion of a side surface in a direction in which the tip portion is pressed against the terminal; and an insulating coating that covers the first side surface, the front surface, the rear surface, and the second side surface excluding the tip portion. When,
A socket fixed to the contact;
A measurement unit electrically connected to the contact;
And a stage on which the object to be measured is placed.
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