KR101851519B1

KR101851519B1 - Socket, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus

Info

Publication number: KR101851519B1
Application number: KR1020180012043A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2017-12-14
Filing date: 2018-01-31
Publication date: 2018-04-23
Also published as: WO2019116512A1

Abstract

The present invention provides a socket capable of coping with a narrow-pitch of an interval of a receiving part receiving a contact, an inspection jig having the socket, an inspection unit having the inspection jig, and an inspection device having the inspection unit. The socket provides a housing having a first receiving part and a second receiving part, which can receive the contact. The first receiving part has a first support wall part and a second support wall part which is located with a gap in a direction separated from the second receiving part with respect to the first support wall part. The first support wall part has a pair of side wall parts arranged to individually face both sides thereof and a through hole part arranged between the pair of side wall parts.

Description

SOCKET, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은 소켓, 이 소켓을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한다.The present invention relates to a socket, an inspection jig having the socket, an inspection unit having the inspection jig, and an inspection apparatus having the inspection unit.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.In an electronic component module such as a camera or a liquid crystal panel, conduction inspection and operation characteristic inspection are generally performed in the manufacturing process. These inspections are performed by connecting probe units to electrode units such as an FPC contact electrode or a mounted board-to-board connector for connection to a main substrate provided on the electronic component module using a probe pin.

이러한 접촉자를 수용하는 소켓으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 소켓은 등간격으로 배치되고, 또한 각각이 접촉자를 수용 가능한 복수 쌍의 슬릿을 구비하고 있다.As a socket for accommodating such a contact, for example, there is one described in Patent Document 1. These sockets are arranged at regular intervals and each has a plurality of pairs of slits capable of accommodating the contacts.

일본 특허 공개 제2011-196844호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 11-168444

그런데, 상기 스위치 장치에서는 인접하는 슬릿이 구획벽에 의해 대략 전체면에 걸쳐서 서로 구획되어 있어, 종렬로 배열되는 복수의 슬릿의 간격을 협피치화하기 위해서는 인접하는 슬릿을 구획하는 구획벽의 전체면을 얇게 할 필요가 있다.However, in the above-described switch device, adjacent slits are partitioned by the partition walls over substantially the entire surface, and in order to narrow the intervals of the plurality of slits arranged in rows, the entire surface of the partition wall for partitioning the adjacent slits It is necessary to reduce the thickness.

그러나, 상기 스위치 장치에서는 구획벽이 인접하는 슬릿을 대략 전체면에 걸쳐서 구획하고 있기 때문에, 구획벽이 얇아지면 얇아질수록 구획벽이 무너지거나 왜곡되기 쉬워져, 슬릿에 수용되어 있는 접촉자가 꺾이거나, 또한 슬릿에 접촉자를 수용할 수 없게 되거나 하여 복수의 슬릿의 간격의 협피치화에 대응할 수 없는 경우가 있다.However, in the above-described switch device, since the partition walls partition the adjacent slits over substantially the entire surface, as the partition wall becomes thinner, the partition wall tends to collapse or become distorted as the partition wall becomes thinner, In addition, the contactor can not be accommodated in the slit, so that it is not possible to cope with narrowing the pitch of the plurality of slits.

본 발명은, 접촉자를 수용하는 수용부의 간격의 협피치화에 대응 가능한 소켓, 이 소켓을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛, 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a socket capable of accommodating narrower pitches of the accommodating portions for accommodating contacts, an inspection jig having the socket, an inspection unit having the inspection jig, and an inspection apparatus having the inspection unit The purpose.

본 발명의 일례의 소켓은,An exemplary socket of the present invention includes:

제1 개구면과, 상기 제1 개구면에 대향하는 제2 개구면과, 상기 제1 개구면 및 상기 제2 개구면에 교차하는 방향으로 각각 연장되는 제1 수용부 및 제2 수용부를 갖고, 상기 제1 수용부 및 상기 제2 수용부의 각각이, 일단부에 제1 접점부가 마련되고 타단부에 제2 접점부가 마련된 판상의 접촉자를 상기 제1 접점부가 상기 제1 개구면의 제1 개구부로부터 노출되며 또한 상기 제2 접점부가 상기 제2 개구면의 제2 개구부로부터 노출된 상태에서 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하면서 유지 가능함과 함께, 수용한 상기 접촉자의 판면끼리가 서로 대향하도록 나란히 인접하여 배치되어 있는 하우징을 구비하고,A first accommodating portion and a second accommodating portion extending in a direction intersecting the first opening surface and the second opening surface, respectively, the first accommodating portion and the second accommodating portion having a first spherical surface, a second opening surface opposed to the first opening surface, Each of the first accommodating portion and the second accommodating portion has a first contact portion provided with a first contact portion at one end and a second contact portion provided at the other end, And the second contact portions are exposed while being exposed from the second opening portion of the second opening surface, and are held adjacent to each other such that the plate surfaces of the received contacts face each other And a housing,

상기 제1 수용부가,The first receiving portion,

상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부의 사이에 배치된 제1 지지벽부와,A first support wall portion disposed between the first accommodating portion and the second accommodating portion,

상기 제1 지지벽부에 대하여 상기 제1 수용부 및 상기 제2 수용부의 배열 방향이며 또한 상기 제2 수용부로부터 이격되는 방향으로 간극을 두고 배치된 제2 지지벽부And a second support wall portion disposed with a gap in a direction in which the first accommodating portion and the second accommodating portion are arranged with respect to the first support wall portion and in a direction away from the second accommodating portion,

를 갖고,Lt; / RTI &

상기 제1 지지벽부가,The first supporting wall portion

상기 제1 수용부의 연장 방향으로부터 보아, 상기 배열 방향에 교차하는 방향의 양측에 각각 대향하도록 마련되며, 수용된 상기 접촉자를 상기 제2 지지벽부와 함께 상기 배열 방향에 있어서 지지하는 한 쌍의 측벽부와,A pair of side wall portions provided opposite to both sides in a direction intersecting the arrangement direction as viewed from the extending direction of the first accommodating portion and supporting the accommodated contactors together with the second supporting wall portion in the arranging direction ,

상기 한 쌍의 측벽부의 사이에 마련되며, 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부에 연통되는 관통 구멍부A pair of side wall portions, and a through hole portion communicating with the first accommodation portion and the second accommodation portion,

를 갖는다..

또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,Further, in the inspection jig of an example of the present invention,

상기 소켓과,The socket,

상기 소켓의 상기 제1 수용부 및 상기 제2 수용부에 수용된 상기 접촉자The first housing portion and the second housing portion of the socket,

를 구비하고,And,

상기 제1 수용부에 수용된 상기 접촉자의 상기 제1 접점부와, 상기 제2 수용부에 수용된 상기 접촉자의 상기 제1 접점부가, 상기 배열 방향에 평행한 동일 직선 상에 배치되어 있다.The first contact portion of the contactor accommodated in the first accommodating portion and the first contact portion of the contactor accommodated in the second accommodating portion are disposed on the same straight line parallel to the arrangement direction.

또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,Further, in the inspection unit according to an example of the present invention,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one of the inspection jigs was provided.

또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,Further, in an inspection apparatus according to an example of the present invention,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.And at least one inspection unit.

상기 소켓에 의하면, 제1 수용부가, 제1 수용부와 제2 수용부의 사이에 배치된 제1 지지벽부와, 제1 지지벽부에 대하여 제1 수용부 및 제2 수용부의 배열 방향이며 또한 제2 수용부로부터 이격되는 방향으로 간극을 두고 배치된 제2 지지벽부를 갖고 있다. 그리고, 제1 지지벽부가 제1 수용부의 연장 방향으로부터 보아, 제1 수용부 및 제2 수용부의 배열 방향에 교차하는 방향의 양측에 각각 대향하도록 마련되며, 수용된 접촉자를 제2 지지벽부와 함께 배열 방향에 있어서 지지하는 한 쌍의 측벽부와, 한 쌍의 측벽부의 사이에 마련되며, 제1 수용부와 제2 수용부에 연통되는 관통 구멍부를 갖고 있다. 예를 들어, 제1 수용부에 수용된 접촉자의 제1 접점부 및 제2 접점부를 연결한 방향에 직교하는 폭 방향의 양쪽 단부 모서리를 각 측벽부로 지지하여, 제1 수용부 및 제2 수용부에 각각 수용된 접촉자끼리의 접촉을 확실하게 방지할 수 있기 때문에, 제1 수용부 및 제2 수용부의 간격의 협피치화에 대응할 수 있다.According to the socket, the first accommodating portion includes a first supporting wall portion disposed between the first accommodating portion and the second accommodating portion, and a second accommodating portion disposed between the first accommodating portion and the second accommodating portion with respect to the first support wall portion, And a second support wall portion disposed with a gap in a direction away from the accommodating portion. The first support wall portion is provided so as to oppose to both sides of the first accommodation portion and the second accommodation portion in a direction intersecting the arrangement direction as viewed from the extending direction of the first accommodation portion and the accommodated contacts are arranged And a through hole portion provided between the pair of side wall portions and communicating with the first accommodating portion and the second accommodating portion. For example, both end edges in the width direction orthogonal to the direction in which the first contact portion and the second contact portion of the contactor accommodated in the first accommodating portion are connected are supported by the respective side wall portions, so that the first accommodating portion and the second accommodating portion Contact between the housed receptacles can be surely prevented. Therefore, it is possible to cope with the narrowing of the interval between the first accommodating portion and the second accommodating portion.

또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 소켓에 의해, 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.Further, according to the inspection jig, the inspection jig capable of inspecting an object to be inspected having, for example, narrowed-pitch terminals can be realized by the socket.

또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능하며 또한 범용성이 높은 검사 유닛을 실현할 수 있다. Further, according to the inspection unit, it is possible to realize an inspection unit which is capable of inspecting an object to be inspected having, for example, narrowed-pitch terminals by the inspection jig, and which is highly versatile.

또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능하며 또한 범용성이 높은 검사 장치를 실현할 수 있다.Further, according to the inspection apparatus, it is possible to realize an inspection apparatus capable of inspecting an object to be inspected having, for example, narrowed-pitch terminals by the inspection unit and having high versatility.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 지그를 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태의 소켓을 도시하는 사시도이다.
도 5는 도 4의 소켓을 도 4와는 상이한 방향으로부터 본 사시도이다.
도 6은 도 4의 VI-VI선을 따른 단면도이다.
도 7은 도 5의 VII-VII선을 따른 단면도이다.
도 8은 도 1의 VIII-VIII선을 따른 단면도이다.
도 9는 도 4의 소켓의 변형예를 도시하는 도 5의 VII-VII선을 따른 단면도이다.1 is a perspective view showing a test jig according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing an inspection unit according to an embodiment of the present invention.
3 is a sectional view taken along the line III-III in Fig.
4 is a perspective view showing a socket of an embodiment of the present invention.
Fig. 5 is a perspective view of the socket of Fig. 4 viewed from a direction different from that of Fig.
6 is a sectional view taken along the line VI-VI in Fig.
7 is a cross-sectional view taken along the line VII-VII in FIG.
8 is a cross-sectional view taken along the line VIII-VIII in Fig.
9 is a cross-sectional view taken along line VII-VII of Fig. 5 showing a modification of the socket of Fig. 4;

이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Further, although the following description uses terms (for example, terms including "upper", "lower", "right", "left") indicating specific directions or positions as necessary, The present invention is not limited to the technical scope of the present invention by the meaning of these terms. In addition, the following description is merely exemplary in nature and is not intended to limit the invention, its application, or uses. Also, the drawings are schematic, and the proportions of the respective dimensions and the like are not necessarily in agreement with reality.

본 발명의 일 실시 형태의 소켓(10)은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이 판상의 접촉자의 일례의 프로브 핀(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성하고 있다. 이 실시 형태에서는, 검사 지그(2)는 복수의 프로브 핀(3)을 구비하고 있다. 또한, 검사 지그(2)는, 예를 들어 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다.The socket 10 of the embodiment of the present invention constitutes the inspection jig 2 together with the probe pins 3 as an example of a plate-like contact as shown in Fig. In this embodiment, the inspection jig 2 is provided with a plurality of probe pins 3. The inspection jig 2 constitutes a part of the inspection unit 1 as shown in Figs. 2 and 3, for example.

검사 유닛(1)은, 도 2에 도시한 바와 같이 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체상의 베이스 하우징(20)을 구비하고 있다. 베이스 하우징(20)은, 도 3에 도시한 바와 같이 베이스부(21), 커버부(22) 및 덮개부(23)로 구성되어 있다. 베이스부(21) 및 커버부(22)는 각각 대략 직사각형 판상을 갖고 있으며, 판면끼리가 대향한 상태로 고정되어 있다.As shown in Fig. 2, the inspection unit 1 is provided with a base housing 20 having a substantially rectangular parallelepiped shape in which the inspection jig 2 is embedded. The base housing 20 is constituted by a base portion 21, a cover portion 22 and a lid portion 23 as shown in Fig. The base portion 21 and the cover portion 22 each have a substantially rectangular plate-like shape, and their plate surfaces are fixed so as to face each other.

베이스부(21)는, 예를 들어 검사 장치 혹은 검사 대상물에 설치되어, 도 3에 도시한 바와 같이 대략 직사각형 판상의 베이스 본체(211)와, 베이스 본체(211)의 길이 방향의 대략 중앙부에 마련된 돌출부(212)로 구성되어 있다.As shown in Fig. 3, the base portion 21 is provided on, for example, an inspection apparatus or an object to be inspected. The base portion 211 has a substantially rectangular plate-like base body 211, And a protruding portion 212.

돌출부(212)는, 베이스 본체(211)의 길이 방향으로 연장되어 있음과 함께, 베이스 본체(211)의 판 두께 방향에 있어서의 커버부(22)에 대향하는 면으로부터 베이스 본체(211)의 판 두께 방향으로 돌출되어 있다. 이 돌출부(212)에는, 돌출부(212)를 베이스 본체(211)의 판 두께 방향으로 관통하는 관통 구멍부(213)가 마련되고, 베이스 본체(211)측의 개구부(242)에 탈락 방지 커버(28)가 설치되어 있다. 즉, 돌출부(212)에는 그 돌출 방향의 단부측에 개구부(241)를 갖는 오목부(24)가 마련되어 있다. 이 오목부(24)에는 검사 지그(2)가 수용되어 유지되어 있다. 또한, 오목부(24)의 개구부(241)에 대향하는 저부를 구성하는 탈락 방지 커버(28)에는, 베이스 본체(211)의 길이 방향으로 연장되는 관통 구멍부(281)가 마련되어 있다. 이 관통 구멍부(281)로부터 검사 지그(2)에 수용된 프로브 핀(3)의 일단부(즉, 후술하는 제2 접점부(32))가 노출되어 있다.The protruding portion 212 extends in the longitudinal direction of the base body 211 and extends from the surface opposite to the cover portion 22 in the plate thickness direction of the base body 211, And protrudes in the thickness direction. The projecting portion 212 is provided with a through hole portion 213 which penetrates the projecting portion 212 in the thickness direction of the base body 211 and is provided with an anti- 28 are provided. That is, the protruding portion 212 is provided with the concave portion 24 having the opening portion 241 on the end side in the projecting direction. The inspection jig 2 is accommodated and held in the recess 24. The fall-off prevention cover 28 constituting the bottom portion opposed to the opening portion 241 of the recess portion 24 is provided with a through hole portion 281 extending in the longitudinal direction of the base body 211. One end portion of the probe pin 3 accommodated in the inspection jig 2 (that is, a second contact portion 32 described later) is exposed from the through hole portion 281. [

커버부(22)는, 도 3에 도시한 바와 같이 그 길이 방향의 대략 중앙부에 마련된 개구부(25)를 갖고 있다. 이 개구부(25)에는, 베이스부(21)의 돌출부(212)가 수용되어 있다.As shown in Fig. 3, the cover portion 22 has an opening portion 25 provided at a substantially central portion in the longitudinal direction thereof. The protrusion 212 of the base portion 21 is accommodated in the opening 25.

또한, 베이스부(21)의 돌출부(212) 둘레에 있어서의 베이스부(21)와 커버부(22)의 사이에는 후술하는 덮개부(23)의 가압력 수용부(232)와, 이 가압력 수용부(232)를 가압하는 가압부(26)를 수용하는 수용 공간(27)이 형성되어 있다. 이 수용 공간(27)은 베이스 본체(211)의 판 두께 방향으로 이동 가능하지만, 베이스 본체(211)의 긴 방향 및 짧은 방향으로는 이동할 수 없도록 가압력 수용부(232)의 이동을 규제하고 있다.Between the base portion 21 and the cover portion 22 around the protruding portion 212 of the base portion 21 is formed a pressing force receiving portion 232 of the lid portion 23 to be described later, (27) for accommodating the pressing portion (26) for pressing the pressing portion (232). The accommodating space 27 is movable in the thickness direction of the base body 211 but restricts the movement of the pressing force receiving portion 232 so that it can not move in the longitudinal direction and the short direction of the base body 211.

덮개부(23)는, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 베이스부(21)의 돌출부(212)를 덮는 덮개 본체(231)와, 덮개 본체(231)의 길이 방향의 양단부에 각각 마련된 가압력 수용부(232)로 구성되어 있다. 덮개 본체(231)는 오목부(24)에 수용된 검사 지그(2)에 대향하는 부분에 마련되고, 베이스 본체(211)의 길이 방향을 따라 일렬로 나란히 또한 등간격으로 배치된 복수의 관통 구멍부(233)를 갖고 있다. 각 관통 구멍부(233)는 덮개 본체(231)를 베이스 본체(211)의 판 두께 방향으로 각각 관통하고, 검사 지그(2)의 소켓(10)에 수용된 프로브 핀(3)의 타단부(즉, 후술하는 제1 접점부(31))가 각각 수용되어 있다. 즉, 각 관통 구멍부(233)로부터 검사 지그(2)에 수용된 프로브 핀(3)의 제1 접점부(31)가 노출되어 있다. 또한, 가압력 수용부(232)는 수용 공간(27)에 수용되어, 가압부(26)(예를 들어, 코일 스프링)에 의해 베이스 본체(211)의 판 두께 방향이며 또한 베이스 본체(211)로부터 이격되는 방향으로 가압되고 있다.2 and 3, the lid portion 23 includes a lid body 231 that covers the protruding portion 212 of the base portion 21 and a lid body 231 that is provided at both ends in the longitudinal direction of the lid body 231, And a receiving portion 232. The lid body 231 is provided at a portion opposed to the test jig 2 housed in the recess 24 and is provided with a plurality of through holes 25 arranged in a line along the longitudinal direction of the base body 211, (233). Each of the through holes 233 penetrates the lid body 231 in the thickness direction of the base body 211 and is connected to the other end of the probe pin 3 accommodated in the socket 10 of the test jig 2 (First contact portion 31 described later) are accommodated, respectively. That is, the first contact portions 31 of the probe pins 3 housed in the test jig 2 are exposed from the through-hole portions 233. The pressing force receiving portion 232 is received in the receiving space 27 and is pressed by the pressing portion 26 (for example, a coil spring) in the thickness direction of the base body 211 and also from the base body 211 And is urged in a direction in which it is spaced apart.

즉, 덮개부(23)에 대하여 베이스부(21)에 접근하는 방향의 외력을 가하면, 덮개부(23)가 베이스부(21)를 향해 밀려 내려가 프로브 핀(3)의 제1 접점부(31)가 덮개 본체(231)의 각 관통 구멍부(233)로부터 노출된다. 또한, 덮개부(23)에 가했던 베이스부(21)에 접근하는 방향의 외력을 해방하면, 가압부(26)의 가압력에 의해 덮개부(23)가 베이스부(21)로부터 이격되는 방향으로 밀어올려져 프로브 핀(3)의 제1 접점부(31)가 덮개 본체(231)의 각 관통 구멍부(233)에 수용된다.The lid part 23 is pushed down toward the base part 21 and the first contact part 31 of the probe pin 3 Are exposed from the respective through holes 233 of the lid body 231. [ When the external force in the direction of approaching the base portion 21 that is applied to the lid portion 23 is released, the lid portion 23 is moved in the direction away from the base portion 21 by the pressing force of the pressing portion 26 The first contact portion 31 of the probe pin 3 is received in the through hole portion 233 of the lid body 231.

또한, 상기 검사 유닛(1)에서는, 검사 지그(2)는 베이스 하우징(20)에 대하여 위치 결정되어 있다. 이로 인해, 예를 들어 검사 장치 혹은 검사 대상물의 가공에 오차가 있는 경우에도 검사 장치 혹은 검사 대상물에 맞추어 베이스 하우징(20)에 대한 검사 지그(2)의 위치 결정을 조정하면 되고, 검사 지그(2)를 정확하게 위치 결정할 수 있다.Further, in the inspection unit 1, the inspection jig 2 is positioned with respect to the base housing 20. Thus, even if there is an error in the machining of the inspection apparatus or the object to be inspected, for example, the positioning of the inspection jig 2 with respect to the base housing 20 can be adjusted in accordance with the inspection apparatus or the object to be inspected, Can be accurately positioned.

소켓(10)은, 도 4 내지 도 6에 도시한 바와 같이 대략 직사각 형상의 제1 개구면(12)과, 제1 개구면(12)에 대향하는 대략 직사각 형상의 제2 개구면(13)과, 제1 개구면(12) 및 제2 개구면(13)에 교차하는 방향(예를 들어, 제1 개구면(12) 및 제2 개구면(13)에 직교하는 방향)으로 각각 연장되는 복수의 수용부(14)를 갖는 대략 직육면체상의 하우징(11)을 구비하고 있다.4 to 6, the socket 10 includes a first opening surface 12 having a substantially rectangular shape and a second opening surface 13 having a substantially rectangular shape opposed to the first opening surface 12, And extending in a direction intersecting the first opening surface 12 and the second opening surface 13 (for example, a direction orthogonal to the first opening surface 12 and the second opening surface 13) And has a substantially rectangular parallelepiped housing 11 having a plurality of accommodating portions 14. As shown in Fig.

도 4에 도시한 바와 같이, 제1 개구면(12)에는 그 길이 방향을 따라 일렬로 나란히 또한 등간격으로 배치된 복수의 개구부(121)(제1 개구부의 일례)가 마련되어 있다. 이 개구부(121)를 통해 프로브 핀(3)의 제1 접점부(31)가 소켓(10)의 외부로 노출 가능하게 되어 있다(도 1 참조). 또한, 하우징(11)의 제1 개구면(12)의 개구부(121)에 있어서의 제1 개구면(12)의 길이 방향의 양측에는 각각 보조 지지벽부(15)가 마련되어 있다. 이 보조 지지벽부(15)는, 도 6에 도시한 바와 같이 각 수용부(14)의 연장 방향 가장자리를 제1 개구면(12)으로부터 이격되는 방향(즉, 도 6의 상향)으로 연장되어 있다. 이 보조 지지벽부(15)에 의해 프로브 핀(3)을 소켓(10)에 수용했을 때에 프로브 핀(3)의 개구부(121)로부터 하우징(11)의 외부로 노출되는 부분에 있어서의 응력이 집중되기 쉬운 기초부(즉, 제1 개구면(12)측의 단부)(35)(도 8에 도시함)를 지지할 수 있다.As shown in Fig. 4, the first opening surface 12 is provided with a plurality of openings 121 (an example of the first openings) arranged in a line along the longitudinal direction at equal intervals. The first contact portion 31 of the probe pin 3 is exposed through the opening 121 to the outside of the socket 10 (see FIG. 1). Supporting wall portions 15 are provided on both sides of the first opening surface 12 in the longitudinal direction of the opening 121 of the first opening surface 12 of the housing 11. As shown in Fig. 6, the auxiliary support wall portion 15 extends in the extending direction edge of each accommodating portion 14 in a direction away from the first opening surface 12 (i.e., upward in Fig. 6) . When the probe pin 3 is received in the socket 10 by the auxiliary support wall portion 15, the stress in the portion exposed from the opening portion 121 of the probe pin 3 to the outside of the housing 11 is concentrated (That is, the end on the first spherical surface 12 side) 35 (shown in Fig. 8).

도 5에 도시한 바와 같이, 제2 개구면(13)에는 제2 개구면(13)의 짧은 방향의 대략 중앙부에 마련되고, 제2 개구면(13)의 긴 방향을 따라 연장되는 대개구부(131)와, 이 대개구부(131)로부터 제2 개구면(13)의 짧은 방향을 따라 서로 반대 방향으로 연장되는 복수 쌍의 소개구부(132)가 마련되어 있다. 각 쌍의 소개구부는, 서로 대향하며 또한 제2 개구면(13)의 긴 방향으로 일렬로 나란히 또한 등간격으로 배치되어 있다. 또한, 대개구부(131) 및 소개구부(132)는 제2 개구부의 일례이다.5, the second opening surface 13 is provided with a large opening (not shown) extending substantially along the center of the second opening surface 13 in the short direction and extending along the long direction of the second opening surface 13 And a plurality of pairs of introduction bores 132 extending in the opposite directions along the shorter direction of the second opening surface 13 from the large opening 131 are provided. Each pair of introduction bosses are opposed to each other and are arranged in a line in the longitudinal direction of the second opening surface 13 and also at regular intervals. In addition, the large opening 131 and the introduction opening 132 are examples of the second opening.

도 6에 도시한 바와 같이 각 수용부(14)는 슬릿상을 갖고, 판상의 프로브 핀(3)을 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하면서 유지 가능함과 함께, 수용한 프로브 핀(3)의 판면끼리가 서로 대향하도록 나란히 인접하여 배치되어 있다. 또한, 각 수용부(14)는 그 연장 방향의 일단부가 제1 개구면(12)의 개구부(121)에 접속되고, 그 연장 방향의 타단부가 제2 개구면(13)의 대개구부(131) 및 소개구부(132)에 접속되어 있다. 각 수용부(14)에는 제1 수용부(141)와, 이 제1 수용부(141)에 인접하는 제2 수용부(142)가 포함되어 있다.As shown in Fig. 6, each accommodating portion 14 has a slit-like shape, and the plate-like probe pins 3 can be received and held independently of each other electrically, and the plate surfaces of the probe pins 3 So as to face each other. One end of the accommodating portion 14 in the extending direction is connected to the opening 121 of the first opening surface 12 and the other end of the accommodating portion 14 in the extending direction is connected to the large opening portion 131 of the second opening surface 13 And an introducing bore 132. [0050] Each accommodating portion 14 includes a first accommodating portion 141 and a second accommodating portion 142 adjacent to the first accommodating portion 141.

제1 수용부(141)는, 도 6에 도시한 바와 같이 제1 수용부(141)와 제2 수용부(142)의 사이에 배치된 제1 지지벽부(143)와, 제1 지지벽부(143)에 대하여 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향(즉, 도 6의 좌우 방향)이며 또한 제2 수용부(142)로부터 이격되는 방향으로 간극(145)을 두고 배치된 제2 지지벽부(144)를 갖고 있다.6, the first accommodating portion 141 includes a first supporting wall portion 143 disposed between the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142, The gap 145 is formed in the direction in which the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 are arranged (that is, the lateral direction in FIG. 6) and in the direction away from the second accommodating portion 142 And a second support wall portion 144 disposed in a standing position.

제1 지지벽부(143)는, 도 7에 도시한 바와 같이 한 쌍의 측벽부(146)와, 한 쌍의 측벽부(146) 사이에 마련된 관통 구멍부(147)를 갖고 있다.The first supporting wall portion 143 has a pair of side wall portions 146 and a through hole portion 147 provided between the pair of side wall portions 146 as shown in Fig.

한 쌍의 측벽부(146)는 제1 수용부(141)의 연장 방향(즉, 도 7의 상하 방향)으로부터 보아, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 배열 방향에 직교하는 방향)의 양측에 각각 대향하도록 마련되며, 수용된 프로브 핀(3)을 제2 지지벽부(144)와 함께 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 있어서 지지한다.The pair of sidewall portions 146 are arranged in the array direction of the first receiving portion 141 and the second receiving portion 142 as viewed from the extending direction of the first receiving portion 141 The probe pins 3 are provided so as to oppose to both sides in the direction of intersection (for example, a direction orthogonal to the array direction), and the received probe pins 3 are fixed to the first receiving portion 141 and the second receiving portion 141 And is supported in the arranging direction of the accommodating portion 142.

각 측벽부(146)는 제1 개구면(12)으로부터 제2 개구면(13)까지 연장되어 있고, 제1 개구면(12)측의 단부가 보조 측벽부(148)에 의해 접속되어 있다. 이 보조 측벽부(148)는, 제1 개구면(12)의 보조 지지벽부(15)에 접속되어 있다. 또한, 각 측벽부(146)는 제1 수용부(141)에 수용된 프로브 핀(3)의 폭 방향(즉, 후술하는 제1 접점부(31) 및 후술하는 제2 접점부(32)를 연결한 방향에 직교하는 방향)의 양쪽 단부 모서리를 지지하도록 구성되어 있다(도 8 참조). 이에 의해, 각 측벽부(146)는 예를 들어 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)를 대략 전체면에 걸쳐서 구획하는 측벽부와 비교하여 넘어지거나 왜곡되기 어렵게 되어 있다.Each side wall portion 146 extends from the first opening surface 12 to the second opening surface 13 and the end on the first opening surface 12 side is connected by the auxiliary side wall portion 148. The auxiliary side wall portion 148 is connected to the auxiliary supporting wall portion 15 of the first opening face 12. Each of the side wall portions 146 is connected to the probe pin 3 in the width direction of the probe pin 3 accommodated in the first accommodating portion 141 (that is, the first contact portion 31 described later and the second contact portion 32 described later) (I.e., a direction orthogonal to one direction) (see Fig. 8). As a result, the respective side wall portions 146 are less likely to fall or be distorted as compared with, for example, the side wall portions that partition the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 over substantially the entire surface.

관통 구멍부(147)는 한 쌍의 측벽부(146)의 사이에 마련되며, 제1 수용부(141)와 제2 수용부(142)에 연통되어 있다. 이 관통 구멍부(147)는, 제1 수용부(141)의 연장 방향(즉, 도 7의 상하 방향)으로 연장되는 대략 직사각 형상을 갖고, 그 연장 방향의 제2 개구면(13)측의 단부가 제2 개구면(13)의 대개구부(131)에 접속되어 있다.The through hole portion 147 is provided between the pair of side wall portions 146 and communicates with the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142. The through hole portion 147 has a substantially rectangular shape extending in the extending direction of the first accommodating portion 141 (that is, the up-and-down direction in Fig. 7) And the end portion is connected to the large opening portion 131 of the second spherical surface 13.

또한, 하우징(11)은, 도 5에 도시한 바와 같이 제1 지지벽부(143) 및 제2 지지벽부(144)를 접속하는 제1 접속벽부(16) 및 제2 접속벽부(17)를 갖고 있다. 제1 지지벽부(143) 및 제2 지지벽부(144)는 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향으로 각각 연장되어 있음과 함께, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향의 교차하는 방향(예를 들어, 배열 방향에 직교하는 방향)의 양측에 각각 대향하도록 배치되어 있다.5, the housing 11 has a first connecting wall portion 16 and a second connecting wall portion 17 for connecting the first supporting wall portion 143 and the second supporting wall portion 144 have. The first supporting wall portion 143 and the second supporting wall portion 144 extend respectively in the arranging direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 and extend in the direction of arrangement of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142, (For example, a direction orthogonal to the arrangement direction) of the second accommodating portions 142. The second accommodating portions 142 are arranged to face each other in the direction intersecting the arrangement direction of the second accommodating portions 142 (for example,

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 접속벽부(16) 및 제2 접속벽부(17)에는 확인 창(40)이 마련되어 있다. 상세하게는, 확인 창(40)은 도 5에 도시한 바와 같이 제1 접속벽부(16)의 제1 개구면(12)측의 코너부와, 도 4에 도시한 바와 같이 제2 접속벽부(17)의 제1 개구면(12)측의 단부 및 제2 개구면(13)측의 단부에 각각 마련되어 있다. 각 확인 창(40)은, 복수의 수용부(14)의 그 배열 방향에 있어서의 일단부로부터 타단부까지 연장되어 있다. 또한, 각 확인 창(40)은, 도 7에 도시한 바와 같이 제1 수용부(141)의 연장 방향으로부터 보아, 제1 접속벽부(16) 또는 제2 접속벽부(17)를 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 배열 방향에 직교하는 방향)으로 관통하고 있다. 즉, 각 확인 창(40)에 의해 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)를 포함하는 모든 수용부(14)의 내부를 하우징(11)의 외부로부터 확인 가능하게 구성되어 있다. 이 확인 창(40)에 의해, 예를 들어 제1 수용부(141)에 수용된 프로브 핀(3)의 변형 혹은 손상되기 쉬운 부분(예를 들어, 탄성부(30)의 직선부(33) 및 만곡부(34)의 전환 부분)을 용이하게 확인할 수 있으므로, 각 수용부(14)에 수용된 프로브 핀(3)의 수용 상태의 확인(예를 들어, 프로브 핀(3)이 손상되는 일 없이 각 수용부(14)에 수용되어 있는지 여부의 확인)이 용이해진다.4 and 5, a check window 40 is provided on the first connecting wall portion 16 and the second connecting wall portion 17. 5, the confirmation window 40 is formed by a corner portion on the first opening surface 12 side of the first connecting wall portion 16 and a second connecting wall portion 17 on the side of the first spherical surface 12 and the end on the side of the second opening surface 13, respectively. Each confirmation window 40 extends from one end to the other end in the arrangement direction of the plurality of accommodating portions 14. [ As shown in Fig. 7, each of the check windows 40 has a first connecting wall portion 16 or a second connecting wall portion 17, as viewed from the extending direction of the first receiving portion 141, (For example, in a direction orthogonal to the arrangement direction) of the second accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142. [ That is to say, the inside of all the accommodating portions 14 including the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 can be confirmed from the outside of the housing 11 by the respective check windows 40 . This confirmation window 40 allows the probe pin 3 accommodated in the first accommodating portion 141 to be deformed or damaged easily (for example, the straight portion 33 of the elastic portion 30 and / It is possible to easily confirm the accommodating state of the probe pins 3 accommodated in the accommodating portions 14 (for example, without deteriorating the probe pins 3, It is easy to confirm whether or not it is housed in the housing 14).

각 프로브 핀(3)은, 도 8에 도시한 바와 같이 탄성부(30)와, 탄성부(30)의 일단부에 접속된 제1 접점부(31)와, 탄성부(30)의 타단부에 접속된 제2 접점부(32)로 구성되어 있다.8, each probe pin 3 includes an elastic portion 30, a first contact portion 31 connected to one end portion of the elastic portion 30, a second contact portion 31 connected to one end of the elastic portion 30, And a second contact portion 32 connected to the second contact portion 32.

제1 접점부(31)는, 제1 개구면(12)의 개구부(121)로부터 하우징(11)의 외부로 노출되고, 제2 접점부(32)는 제2 개구면(13)의 대개구부(131) 및 소개구부(132)로부터 하우징(11)의 외부로 노출되어 있다. 또한, 프로브 핀(3)의 개구부(121)로부터 하우징(11)의 외부로 노출되는 부분에 있어서의 기초부(35)는, 보조 지지벽부(15)에 의해 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 있어서 지지되어 있다.The first contact portion 31 is exposed from the opening portion 121 of the first opening 12 to the outside of the housing 11 and the second contact portion 32 is exposed to the outside of the housing 11, And is exposed to the outside of the housing 11 from the introduction opening 131 and the introduction opening 132. The base portion 35 in the portion of the probe pin 3 exposed from the opening portion 121 of the housing 11 to the outside is connected to the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 141 by the auxiliary support wall portion 15, 2 accommodating portions 142 in the arrangement direction.

탄성부(30)는, 제1 접점부(31) 및 제2 접점부(32)를 연결한 방향으로 교차하는(예를 들어 직교하는) 직선부(33)와, 직선부(33)에 접속된 만곡부(34)가 교대로 연속되는 사행 형상을 갖고 있다. 만곡부(34)는, 제1 수용부(141)에 있어서 한 쌍의 측벽부(146)에 의해 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향(즉, 도 8의 지면 관통 방향)으로 지지되어 있다.The elastic portion 30 has a straight portion 33 that intersects (for example, orthogonally crosses) in a direction connecting the first contact portion 31 and the second contact portion 32, And the bent portions 34 have alternately continuous serpentine shapes. The curved portion 34 is formed in the first accommodating portion 141 by the pair of side wall portions 146 in the arranging direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 (I.e., the direction of penetration).

즉, 소켓(10)의 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 각각은, 일단부에 제1 접점부(31)가 마련되고 타단부에 제2 접점부(32)가 마련된 판상의 프로브 핀(3)을, 제1 접점부(31)가 제1 개구면(12)의 개구부(121)로부터 노출되며 또한 제2 접점부(32)가 제2 개구면(13)의 제2 개구부(131, 132)로부터 노출된 상태에서 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하면서 유지 가능하게 구성되어 있다.That is, each of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 of the socket 10 has the first contact portion 31 at one end and the second contact portion 32 at the other end The probe pin 3 on the plate is exposed from the opening 121 of the first spherical surface 12 and the second contact portion 32 is exposed from the second spherical surface 13 The first and second openings 131 and 132 are electrically insulated from each other in a state of being exposed from the second openings 131 and 132, respectively.

또한, 도 1에 도시한 바와 같이 제1 수용부(141)에 수용된 프로브 핀(3)의 제1 접점부(31)와, 제2 수용부(142)에 수용된 프로브 핀(3)의 제1 접점부(31)가 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 평행한 동일 직선(L)(도 1에 도시함) 상에 배치되어 있다.1, the first contact portion 31 of the probe pin 3 accommodated in the first accommodating portion 141 and the first contact portion 31 of the probe pin 3 accommodated in the second accommodating portion 142, The contact portions 31 are arranged on the same straight line L (shown in Fig. 1) parallel to the arranging direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142. [

상기 소켓(10)에 의하면, 제1 수용부(141)가 제1 수용부(141)와 제2 수용부(142)의 사이에 배치된 제1 지지벽부(143)와, 제1 지지벽부(143)에 대하여 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향이며 또한 제2 수용부(142)로부터 이격되는 방향으로 간극(145)을 두고 배치된 제2 지지벽부(144)를 갖고 있다. 그리고, 제1 지지벽부(143)가 제1 수용부(141)의 연장 방향으로부터 보아, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 교차하는 방향의 양측에 각각 대향하도록 마련되며, 수용된 프로브 핀(3)(즉, 접촉자)을 제2 지지벽부(144)와 함께 배열 방향에 있어서 지지하는 한 쌍의 측벽부(146)와, 한 쌍의 측벽부(146)의 사이에 마련되며, 제1 수용부(141)와 제2 수용부(142)에 연통되는 관통 구멍부(147)를 갖고 있다. 즉, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)를 구획하는 제1 지지벽부(143)가 한 쌍의 측벽부(146)와 관통 구멍부(147)로 구성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 제1 수용부(141)에 수용된 프로브 핀(3)의 폭 방향(즉, 제1 접점부(31) 및 제2 접점부(32)를 연결한 방향에 직교하는 방향)의 양쪽 단부 모서리를 각 측벽부(146)로 지지하여, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)에 각각 수용된 프로브 핀(3)끼리의 접촉을 확실하게 방지할 수 있으므로, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 간격의 협피치화에 대응할 수 있다.According to the socket 10, the first accommodating portion 141 includes a first supporting wall portion 143 disposed between the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142, 143 disposed with a gap 145 in the direction of arrangement of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 and in a direction away from the second accommodating portion 142 with respect to the second accommodating portion 142 ). The first supporting wall portion 143 is provided on both sides in the direction intersecting the arranging direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 as viewed from the extending direction of the first accommodating portion 141, And includes a pair of side wall portions 146 for supporting the accommodated probe pins 3 (that is, contacts) together with the second supporting wall portion 144 in the arranging direction, and a pair of side wall portions 146 And has a through hole portion 147 communicating with the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142. That is, the first supporting wall portion 143 for partitioning the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 is composed of the pair of side wall portions 146 and the through hole portions 147. This makes it possible to reduce the width of the probe pin 3 accommodated in the first accommodating portion 141 (that is, the direction orthogonal to the direction in which the first contact portion 31 and the second contact portion 32 are connected) It is possible to reliably prevent the probe pins 3 held by the first receiving portion 141 and the second receiving portion 142 from contacting each other by supporting the both end edges of the first receiving portion 141 and the second receiving portion 142 with the respective side wall portions 146, 1 accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 can be reduced.

또한, 한 쌍의 측벽부(146)가 제1 수용부(141)의 연장 방향을 따라 제1 개구면(12)으로부터 제2 개구면(13)까지 연장되어 있다. 이에 의해, 제1 수용부(141)에 수용된 프로브 핀(3)을 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 있어서 보다 확실하게 지지할 수 있으므로, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 간격의 협피치화에 보다 확실하게 대응할 수 있다.The pair of side wall portions 146 extend from the first opening surface 12 to the second opening surface 13 along the extending direction of the first accommodating portion 141. This makes it possible to more reliably support the probe pins 3 accommodated in the first accommodating portion 141 in the arranging direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142, The interval between the first receiving portion 141 and the second receiving portion 142 can be more reliably coped with.

또한, 하우징(11)의 제1 접속벽부(16) 및 제2 접속벽부(17)가 제1 수용부(141)의 내부 및 제2 수용부(142)의 내부를 하우징(11)의 외부로부터 확인 가능한 확인 창(40)을 갖고 있다. 이 확인 창(40)에 의해, 예를 들어 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)에 수용된 프로브 핀(3)의 수용 상태를 용이하게 확인할 수 있다.The first connecting wall portion 16 and the second connecting wall portion 17 of the housing 11 are located inside the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 from the outside of the housing 11 And a confirmation window 40 for confirmation. The confirmation window 40 can easily confirm the accommodating state of the probe pins 3 accommodated in the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142, for example.

또한, 하우징(11)이 제1 개구면(12)의 개구부(121)에 있어서의 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향의 양측에 마련된 보조 지지벽부(15)를 갖고 있다. 이 보조 지지벽부(15)에 의해 프로브 핀(3)의 개구부(121)로부터 하우징(11)의 외부로 노출되는 부분에 있어서의 응력이 집중되기 쉬운 기초부(35)를 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 있어서 지지할 수 있으므로, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)에 수용된 프로브 핀(3)에 발생하는 응력을 분산시킬 수 있다.The housing 11 has auxiliary supporting wall portions 15 provided on both sides in the arranging direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 in the opening 121 of the first opening surface 12, . The auxiliary supporting wall portion 15 allows the base portion 35 to be concentrated in the portion exposed from the opening portion 121 of the probe pin 3 to the outside of the housing 11 by the first receiving portion 141 And the second accommodating portion 142 so that the stress generated in the probe pin 3 accommodated in the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 can be dispersed .

또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 소켓(10)에 의해 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.Further, according to the inspection jig 2, it is possible to realize the inspection jig 2 capable of inspecting an object to be inspected having, for example, narrowed-pitch terminals by the socket 10.

또한, 검사 지그(2)의 소켓(10)의 하우징(11)에 제1 수용부(141)의 내부 및 제2 수용부(142)의 내부를 하우징(11)의 외부로부터 확인 가능한 확인 창(40)이 마련되어 있기 때문에, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)에 수용된 프로브 핀(3)의 수용 상태를 용이하게 확인할 수 있다.The inside of the first accommodating portion 141 and the inside of the second accommodating portion 142 are fixed to the housing 11 of the socket 10 of the inspection jig 2 by a check window The accommodating state of the probe pins 3 accommodated in the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 can be easily confirmed.

또한, 소켓(10)의 제1 수용부(141)에 탄성부(30)가 제1 접점부(31) 및 제2 접점부(32)를 연결한 방향으로 교차하는 직선부(33)와, 직선부(33)에 접속된 만곡부(34)가 교대로 연속되는 사행 형상을 갖는 프로브 핀(3)이 수용되며, 이 프로브 핀(3)의 만곡부(34)가 한 쌍의 측벽부(146)에 의해 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향으로 지지되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능한 검사 지그(2)를 용이하게 실현할 수 있다.The elastic portion 30 has a linear portion 33 which intersects the first contact portion 31 and the second contact portion 32 in the direction of connecting the elastic portion 30 to the first accommodating portion 141 of the socket 10, The probe pin 3 having a serpentine shape in which the curved portions 34 connected to the linear portion 33 are alternately continuous is received and the curved portion 34 of the probe pin 3 is connected to the pair of side wall portions 146, The first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 are arranged in the direction of arrangement. Thereby, it is possible to easily realize the inspection jig 2 which can inspect an object to be inspected having, for example, narrow pitch terminals.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해, 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능하며 또한 범용성이 높은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.Further, according to the inspection unit 1, the inspection jig 2 can realize an inspection unit 1 capable of inspecting an object to be inspected having, for example, narrowed-pitch terminals and having high versatility.

또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해, 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능하며 또한 범용성이 높은 검사 장치를 실현할 수 있다.Further, the inspection unit 1 may constitute a part of the inspection apparatus. According to such an inspection apparatus, the inspection unit 1 is capable of inspecting an object to be inspected having, for example, narrowed-pitch terminals, and realizing a versatile inspection apparatus.

제1 수용부(141)는, 복수의 수용부(14)의 임의의 하나의 수용부(14)이면 되고, 제2 수용부(141)는 제1 수용부(141)에 인접하는 수용부(14)이면 된다.The first accommodating portion 141 may be any one accommodating portion 14 of the plurality of accommodating portions 14 and the second accommodating portion 141 may be any accommodating portion adjacent to the first accommodating portion 141 14).

각 측벽부(146)는, 제1 수용부(141)의 연장 방향을 따라 제1 개구면(12)으로부터 제2 개구면(13)까지 연장되어 있는 경우로 제한되지 않는다. 각 측벽부(146)는, 수용된 프로브 핀(3)을 제2 지지벽부(144)와 함께 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 있어서 지지할 수 있으면, 예를 들어 제2 개구면(13)으로부터 제1 개구면(12) 및 제2 개구면(13)의 중간까지 연장되는 측벽부여도 좋다.Each side wall portion 146 is not limited to the case where it extends from the first opening surface 12 to the second opening surface 13 along the extending direction of the first accommodating portion 141. [ Each of the side wall portions 146 can support the probe pins 3 in the arrangement direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 together with the second support wall 144, Side wall extending from the second spherical surface 13 to the middle of the first opening surface 12 and the second opening surface 13 is also preferable.

제1 지지벽부(143)는 한 쌍의 측벽부(146)와, 한 쌍의 측벽부(146)의 사이에 마련된 관통 구멍부(147)를 갖고 있으면 된다. 즉, 보조 측벽부(148)는 생략해도 좋다.The first supporting wall portion 143 may have a pair of side wall portions 146 and a through hole portion 147 provided between the pair of side wall portions 146. That is, the auxiliary side wall portion 148 may be omitted.

확인 창(40)은, 제1 접속벽부(16) 및 제2 접속벽부(17) 중 적어도 어느 것에 적어도 하나 마련되어 있으면 된다. 또한, 확인 창(40)은 생략할 수도 있다.At least one of the first connecting wall portion 16 and the second connecting wall portion 17 may be provided. Also, the confirmation window 40 may be omitted.

보조 지지벽부(15)는 도 9에 도시한 바와 같이 생략해도 좋다.The auxiliary support wall portion 15 may be omitted as shown in Fig.

검사 유닛(1)은, 적어도 하나의 검사 지그(2)를 구비하고 있으면 된다. 또한, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(20)은 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(20)을 범용화하여 검사 유닛(1)의 생산성을 향상시킬 수 있다.The inspection unit 1 may be provided with at least one inspection jig 2. Further, the inspection jig 2 and the base housing 20 can appropriately change their configurations according to various types of inspection apparatuses or inspection objects. In other words, productivity of the inspection unit 1 can be improved by generalizing the inspection jig 2 and the base housing 20.

프로브 핀(3)은 판상을 갖고, 일단부에 제1 접점부(31)가 마련되며, 타단부에 제2 접점부(32)가 마련되어 있으면 임의의 구성의 프로브 핀을 채용할 수 있다. 예를 들어, 제1 접점부(31) 및 제2 접점부(32)의 각각은 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.The probe pin 3 may have a plate shape and a probe pin having any structure may be employed as long as the first contact portion 31 is provided at one end and the second contact portion 32 is provided at the other end. For example, each of the first contact portion 31 and the second contact portion 32 can appropriately change the shape, position, and the like according to various forms of the inspection apparatus or the inspection object.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.Various embodiments of the present invention have been described in detail above with reference to the drawings. Lastly, various forms of the present invention will be described. In the following description, reference numerals are also added as an example.

본 발명의 제1 형태의 소켓(10)은,In the socket 10 of the first form of the present invention,

제1 개구면(12)과, 상기 제1 개구면(12)에 대향하는 제2 개구면(13)과, 상기 제1 개구면(12) 및 상기 제2 개구면(13)에 교차하는 방향으로 각각 연장되는 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)를 갖고, 상기 제1 수용부(141) 및 상기 제2 수용부(142)의 각각이, 일단부에 제1 접점부(31)가 마련되고 타단부에 제2 접점부(32)가 마련된 판상의 접촉자(3)를 상기 제1 접점부(31)가 상기 제1 개구면(12)의 제1 개구부(121)로부터 노출되며 또한 상기 제2 접점부(32)가 상기 제2 개구면(13)의 제2 개구부(131, 132)로부터 노출된 상태에서 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하면서 유지 가능함과 함께, 수용한 상기 접촉자(3)의 판면끼리가 서로 대향하도록 나란히 인접하여 배치되어 있는 하우징(11)을 구비하고,A first opening surface (12), a second opening surface (13) opposed to the first opening surface (12), and a second opening surface Each of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 has a first accommodating portion 141 and a second accommodating portion 142 that extend respectively from the first contact portion 141 and the second accommodating portion 142, (3) provided with a first contact portion (31) at the other end and a second contact portion (32) at the other end, the first contact portion (31) And the second contact portions 32 are exposed from the second openings 131 and 132 of the second opening surface 13 and can be held electrically and independently of each other and can be held, And a housing (11) arranged side by side so that the plate surfaces of the contactor (3) face each other,

상기 제1 수용부(141)가,The first accommodating portion 141 is provided with a through-

상기 제1 수용부(141)와 상기 제2 수용부(142)의 사이에 배치된 제1 지지벽부(143)와,A first support wall portion 143 disposed between the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142,

상기 제1 지지벽부(143)에 대하여 상기 제1 수용부(141) 및 상기 제2 수용부(142)의 배열 방향이며 또한 상기 제2 수용부(142)로부터 이격되는 방향으로 간극(145)을 두고 배치된 제2 지지벽부(144)A gap 145 is formed in the direction in which the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 are arranged with respect to the first support wall portion 143 and in a direction away from the second accommodating portion 142 The second support wall portion (144)

를 갖고,Lt; / RTI &

상기 제1 지지벽부(143)가,The first supporting wall portion (143)

상기 제1 수용부(141)의 연장 방향으로부터 보아, 상기 배열 방향에 교차하는 방향의 양측에 각각 대향하도록 마련되며, 수용된 상기 접촉자(3)를 상기 제2 지지벽부(144)과 함께 상기 배열 방향에 있어서 지지하는 한 쌍의 측벽부(146)와,The contactor 3 is provided so as to oppose to both sides in a direction intersecting with the arrangement direction as viewed from the extending direction of the first accommodating portion 141, A pair of side wall portions 146 supported on the side walls 146,

상기 한 쌍의 측벽부(146)의 사이에 마련되며, 상기 제1 수용부(141)와 상기 제2 수용부(142)에 연통되는 관통 구멍부(147)A through hole portion 147 provided between the pair of side wall portions 146 and communicating with the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142,

를 갖는다..

제1 형태의 소켓(10)에 의하면, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)를 구획하는 제1 지지벽부(143)가 한 쌍의 측벽부(146)와 관통 구멍부(147)로 구성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 제1 수용부에 수용된 접촉자(3)의 폭 방향(즉, 제1 접점부(31) 및 제2 접점부(32)를 연결한 방향에 직교하는 방향)의 양쪽 단부 모서리를 각 측벽부(146)로 지지하여, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)에 각각 수용된 접촉자(3)끼리의 접촉을 확실하게 방지할 수 있으므로, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 간격의 협피치화에 대응할 수 있다.The first supporting wall portion 143 partitioning the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 is provided with the pair of side wall portions 146 and the through holes 147). Thereby, for example, both end edges in the width direction of the contactor 3 accommodated in the first accommodating portion (i.e., the direction orthogonal to the direction in which the first contact portion 31 and the second contact portion 32 are connected) It is possible to reliably prevent the contacts 3 held by the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 from contacting each other, And the second accommodating portion 142 can be reduced.

본 발명의 제2 형태의 소켓(10)은 제1 형태의 소켓(10)에 있어서,The socket 10 of the second embodiment of the present invention is a socket 10 of the first type,

상기 한 쌍의 측벽부(146)가 상기 연장 방향을 따라 상기 제1 개구면(12)으로부터 상기 제2 개구면(13)까지 연장되어 있다.The pair of side wall portions 146 extend from the first opening surface 12 to the second opening surface 13 along the extending direction.

제2 형태의 소켓(10)에 의하면, 제1 수용부(141)에 수용된 접촉자(3)를 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 있어서 보다 확실하게 지지할 수 있으므로, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 간격의 협피치화에 보다 확실하게 대응할 수 있다.According to the socket 10 of the second embodiment, the contacts 3 accommodated in the first accommodating portion 141 can be more reliably supported in the arranging direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 The interval between the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 can be more reliably reduced.

본 발명의 제3 형태의 소켓(10)은 제1 형태 또는 제2 형태의 소켓(10)에 있어서,The socket 10 of the third form of the present invention is a socket 10 of the first or second type,

상기 하우징(11)이,The housing (11)

상기 배열 방향에 교차하는 방향의 양측에 각각 대향하도록 배치되어, 상기 제1 지지벽부(143) 및 상기 제2 지지벽부(144)를 각각 접속하는 제1 접속벽부(16) 및 제2 접속벽부(17)를 갖고,The first connecting wall portion 16 and the second connecting wall portion 14 which are disposed so as to oppose to both sides in the direction intersecting the arrangement direction and connect the first supporting wall portion 143 and the second supporting wall portion 144, 17,

상기 제1 접속벽부(16) 및 상기 제2 접속벽부(17) 중 적어도 어느 것이,At least one of the first connecting wall portion (16) and the second connecting wall portion (17)

상기 제1 접속벽부(16) 또는 상기 제2 접속벽부(17)를 상기 연장 방향으로부터 보아 상기 배열 방향에 교차하는 방향으로 관통하여, 상기 제1 수용부(141)의 내부 및 상기 제2 수용부(142)의 내부를 상기 하우징(11)의 외부로부터 확인 가능한 확인 창(40)을 갖고 있다.The first connecting wall portion (16) or the second connecting wall portion (17) passing through the first receiving portion (141) in a direction intersecting with the arranging direction as viewed from the extending direction, And a check window 40 for checking the inside of the housing 11 from the outside of the housing 11.

제3 형태의 소켓(10)에 의하면, 확인 창(40)에 의해 예를 들어 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)에 수용된 접촉자(3)의 수용 상태를 용이하게 확인할 수 있다.According to the socket 10 of the third embodiment, for example, the state of accommodating the contacts 3 accommodated in the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 can be easily confirmed by the check window 40 have.

본 발명의 제4 형태의 소켓(10)은, 제1 형태 내지 제3 형태 중 어느 하나의 소켓(10)에 있어서,A socket (10) of a fourth aspect of the present invention is the socket (10) of any one of the first to third aspects,

상기 하우징(11)이,The housing (11)

상기 제1 개구면(12)의 상기 제1 개구부(121)에 있어서의 상기 배열 방향의 양측에 마련되고, 상기 연장 방향 가장자리를 상기 제1 개구면(12)으로부터 이격되는 방향으로 연장되는 보조 지지벽부(15)를 갖고 있다.(12) is provided on both sides of the arrangement direction in the first opening (121) of the first opening surface (12), and the extending direction edge is formed by an auxiliary support And a wall portion 15.

제4 형태의 소켓(10)에 의하면, 보조 지지벽부(15)에 의해 접촉자(3)의 개구부(121)로부터 하우징(11)의 외부로 노출되는 부분에 있어서의 응력이 집중되기 쉬운 기초부(35)를 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)의 배열 방향에 있어서 지지할 수 있으므로, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)에 수용된 접촉자(3)에 발생하는 응력을 분산시킬 수 있다.According to the socket 10 of the fourth aspect of the present invention, the auxiliary supporting wall portion 15 is provided on the base portion which is likely to be stressed in the portion exposed from the opening portion 121 of the contactor 3 to the outside of the housing 11 35 can be supported in the arranging direction of the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 so that the contacts 3 accommodated in the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 The generated stress can be dispersed.

본 발명의 제5 형태의 검사 지그(2)는,In the inspection jig (2) of the fifth aspect of the present invention,

제1 형태 내지 제4 형태 중 어느 하나의 소켓(10)과,A socket (10) of any one of the first to fourth aspects,

상기 소켓(10)의 상기 제1 수용부(141) 및 상기 제2 수용부(142)에 각각 수용된 복수의 상기 접촉자(3)A plurality of said contacts (3) accommodated in said first accommodating portion (141) and said second accommodating portion (142) of said socket (10)

를 구비하고,And,

상기 제1 수용부(141)에 수용된 상기 접촉자(3)의 상기 제1 접점부(31)와, 상기 제2 수용부(142)에 수용된 상기 접촉자(3)의 상기 제1 접점부(32)가 상기 배열 방향에 평행한 동일 직선(L) 상에 배치되어 있다.The first contact portion 31 of the contactor 3 accommodated in the first accommodating portion 141 and the first contact portion 32 of the contactor 3 accommodated in the second accommodating portion 142, Are arranged on the same straight line (L) parallel to the arrangement direction.

제5 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 소켓(10)에 의해 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.According to the inspection jig (2) of the fifth embodiment, the inspection jig (2) capable of inspecting an object to be inspected having, for example, narrowed pitch by the socket (10) can be realized.

본 발명의 제6 형태의 검사 지그(2)는,In the inspection jig (2) of the sixth aspect of the present invention,

제3 형태 또는 제3 형태를 포함하는 제4 형태의 소켓(10)과,A socket 10 of a fourth form including a third or a third form,

상기 소켓(10)의 상기 제1 수용부(141) 및 상기 제2 수용부(142)에 수용된 복수의 상기 접촉자(3)A plurality of said contacts (3) received in said first receiving portion (141) and said second receiving portion (142) of said socket (10)

를 구비하고,And,

상기 제1 수용부(141)에 수용된 상기 접촉자(3)의 상기 제1 접점부(31)와, 상기 제2 수용부(142)에 수용된 상기 접촉자(3)의 상기 제1 접점부(31)가 상기 배열 방향에 평행한 동일 직선(L) 상에 배치되어 있음과 함께,The first contact portion 31 of the contactor 3 accommodated in the first accommodating portion 141 and the first contact portion 31 of the contactor 3 accommodated in the second accommodating portion 142, Are arranged on the same straight line (L) parallel to the arrangement direction,

상기 확인 창(40)을 통해 상기 제1 수용부(141) 및 상기 제2 수용부(142)에 수용된 상기 접촉자(3)의 수용 상태를 확인 가능하게 구성되어 있다.And the accommodation state of the contactor 3 accommodated in the first accommodation portion 141 and the second accommodation portion 142 can be confirmed through the confirmation window 40. [

제6 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 제1 수용부(141)의 내부 및 제2 수용부(142)의 내부를 하우징(11)의 외부로부터 확인 가능한 확인 창(40)이 마련되어 있기 때문에, 제1 수용부(141) 및 제2 수용부(142)에 수용된 접촉자(3)의 수용 상태를 용이하게 확인할 수 있다.According to the inspection jig 2 of the sixth embodiment, since the check window 40 is provided in which the inside of the first accommodating portion 141 and the inside of the second accommodating portion 142 can be checked from the outside of the housing 11 The accommodating state of the contactor 3 housed in the first accommodating portion 141 and the second accommodating portion 142 can be easily confirmed.

본 발명의 제7 형태의 검사 지그(2)는 제5 형태 또는 제6 형태의 검사 지그(2)에 있어서,A test jig (2) of a seventh aspect of the present invention is the test jig (2) of the fifth or sixth aspect,

상기 접촉자(3)가 상기 제1 접점부(31) 및 상기 제2 접점부(32)에 접속된 탄성부(30)를 갖고,The contactor 3 has an elastic portion 30 connected to the first contact portion 31 and the second contact portion 32,

상기 탄성부(30)가 상기 제1 접점부(31) 및 상기 제2 접점부(32)를 연결한 방향으로 교차하는 직선부(33)와, 상기 직선부(33)에 접속된 만곡부(34)가 교대로 연속되는 사행 형상을 갖고,A straight line portion 33 in which the elastic portion 30 intersects the first contact portion 31 and the second contact portion 32 in a connecting direction and a curved portion 34 connected to the straight line portion 33 ) Alternately have a meandering shape,

상기 제1 수용부(141)에 있어서, 상기 만곡부(34)가 상기 한 쌍의 측벽부(146)에 의해 상기 배열 방향으로 지지되어 있다.In the first accommodating portion 141, the curved portion 34 is supported by the pair of side wall portions 146 in the arranging direction.

제7 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 소켓(10) 및 접촉자(3)에 의해 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능한 검사 지그(2)를 용이하게 실현할 수 있다.According to the inspection jig 2 of the seventh aspect, it is possible to easily realize the inspection jig 2 which can inspect the object to be inspected having, for example, narrowed-pitch terminals by the socket 10 and the contactor 3.

본 발명의 제8 형태의 검사 유닛(1)은,An inspection unit (1) according to an eighth aspect of the present invention comprises:

제5 형태 내지 제7 형태 중 어느 하나의 검사 지그(2)를 적어도 하나 구비했다.At least one of the inspection jigs (2) of any one of the fifth to seventh aspects is provided.

제8 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능하며 또한 범용성이 높은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.According to the inspection unit 1 of the eighth aspect, it is possible to realize the inspection unit 1 which is capable of inspecting an object to be inspected having, for example, narrowed-pitch terminals by the inspection jig 2 and which is highly versatile.

본 발명의 제9 형태의 검사 장치는,According to a tenth aspect of the present invention,

제8 형태의 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.At least one inspection unit 1 of the eighth embodiment is provided.

제9 형태의 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 예를 들어 협피치화된 단자를 갖는 검사 대상물을 검사 가능하며 또한 범용성이 높은 검사 장치를 실현할 수 있다.According to the inspection apparatus of the nineteenth aspect, the inspection unit 1 can, for example, inspect an object to be inspected having terminals narrowed in pitch and realize a versatile inspection apparatus.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.Furthermore, by appropriately combining any of the above-mentioned various embodiments or modifications, any one of the effects can be exhibited. It is to be noted that the present invention is not limited to these embodiments, and various combinations of the embodiments and embodiments may be possible.

본 발명의 소켓은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.The socket of the present invention can be applied to, for example, a test jig used for inspection of a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.The inspection jig of the present invention can be applied to, for example, an inspection unit used for inspection of a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection unit of the present invention can be applied to, for example, an inspection apparatus for a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다.The inspection apparatus of the present invention can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.

1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 프로브 핀
10 : 소켓
11 : 하우징
12 : 제1 개구면
121 : 개구부
13 : 제2 개구면
131 : 대개구부
132 : 소개구부
14 : 수용부
141 : 제1 수용부
142 : 제2 수용부
143 : 제1 지지벽부
144 : 제2 지지벽부
145 : 간극
146 : 측벽부
147 : 관통 구멍부
148 : 보조 측벽부
15 : 보조 지지벽부
16 : 제1 접속벽부
17 : 제2 접속벽부
20 : 베이스 하우징
21 : 베이스부
211 : 베이스 본체
212 : 돌출부
22 : 커버부
23 : 덮개부
231 : 덮개 본체
232 : 가압력 수용부
233 : 관통 구멍부
24 : 오목부
241, 242 : 개구부
25 : 개구부
26 : 가압부
27 : 수용 공간
28 : 탈락 방지 커버
281 : 관통 구멍부
30 : 탄성부
31 : 제1 접점부
32 : 제2 접점부
33 : 직선부
34 : 만곡부
35 : 기초부
L : 직선1: Inspection unit
2: Inspection jig
3: Probe pin
10: Socket
11: Housing
12: 1st Sphere
121: opening
13: 2nd spherical surface
131: Large opening
132: Introduction Bend
14:
141: First accommodating portion
142: second accommodating portion
143: first supporting wall portion
144: second supporting wall portion
145: Clearance
146:
147: Through hole portion
148:
15: auxiliary supporting wall portion
16: first connecting wall portion
17: second connecting wall portion
20: Base housing
21: Base portion
211: Base body
212: protrusion
22:
23:
231:
232: pressing force receiving portion
233: through hole portion
24:
241, 242:
25: opening
26:
27: accommodation space
28: Fall-off prevention cover
281: through hole portion
30:
31: first contact part
32: second contact portion
33: Straight line
34: biceps
35: Foundation
L: straight line

Claims

A first accommodating portion and a second accommodating portion extending in a direction intersecting the first opening surface and the second opening surface, respectively, the first accommodating portion and the second accommodating portion having a first spherical surface, a second opening surface opposed to the first opening surface, Each of the first accommodating portion and the second accommodating portion has a first contact portion provided with a first contact portion at one end and a second contact portion provided at the other end, And the second contact portions are exposed while being exposed from the second opening portion of the second opening surface, and are held adjacent to each other such that the plate surfaces of the received contacts face each other And a housing,
The first receiving portion,
A first support wall portion disposed between the first accommodating portion and the second accommodating portion,
And a second support wall portion disposed with a gap in a direction in which the first accommodating portion and the second accommodating portion are arranged with respect to the first support wall portion and in a direction away from the second accommodating portion,
Lt; / RTI &
The first supporting wall portion
A pair of side wall portions provided opposite to both sides in a direction intersecting the arrangement direction as viewed from the extending direction of the first accommodating portion and supporting the accommodated contactors together with the second supporting wall portion in the arranging direction ,
A pair of side wall portions, and a through hole portion communicating with the first accommodation portion and the second accommodation portion,
Lt; / RTI >

The socket according to claim 1, wherein the pair of side wall portions extend from the first opening surface to the second opening surface along the extending direction.

3. The apparatus according to claim 1 or 2,
And a first connecting wall portion and a second connecting wall portion which are arranged so as to oppose to both sides in a direction intersecting the arrangement direction and connect the first supporting wall portion and the second supporting wall portion,
At least one of the first connecting wall portion and the second connecting wall portion,
The first connecting wall portion or the second connecting wall portion penetrating the first connecting wall portion or the second connecting wall portion in a direction intersecting with the arranging direction as viewed from the extending direction to confirm whether the inside of the first accommodating portion and the inside of the second accommodating portion can be confirmed from the outside of the housing Socket with window.

3. The apparatus according to claim 1 or 2,
And an auxiliary supporting wall portion provided on both sides of the arrangement direction of the first opening portion of the first opening surface and extending in the direction away from the first opening surface.

The socket according to claim 1 or 2,
And a plurality of said contacts accommodated in said first accommodating portion and said second accommodating portion of said socket,
And,
Wherein the first contact portion of the contactor accommodated in the first accommodating portion and the first contact portion of the contactor accommodated in the second accommodating portion are disposed on the same straight line parallel to the arrangement direction.

The socket according to claim 3,
And a plurality of said contacts housed in said first housing portion and said second housing portion of said socket,
And,
The first contact portion of the contactor accommodated in the first accommodating portion and the first contact portion of the contactor accommodated in the second accommodating portion are arranged on the same straight line parallel to the arrangement direction,
And the accommodation state of the contactor accommodated in the first accommodation portion and the second accommodation portion can be confirmed through the confirmation window.

6. The connector according to claim 5, wherein the contact has an elastic portion connected to the first contact portion and the second contact portion,
Wherein the elastic portion has a meandering shape in which a straight portion crossing in a direction connecting the first contact portion and the second contact portion and a curved portion connected to the straight portion are alternately continuous,
Wherein in the first accommodating portion, the curved portion is supported in the arranging direction by the pair of side wall portions.

An inspection unit comprising at least one of the inspection jigs according to claim 5.

An inspection apparatus comprising at least one inspection unit according to claim 8.