KR101911002B1

KR101911002B1 - Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus

Info

Publication number: KR101911002B1
Application number: KR1020180012048A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이; 시훈 최
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2018-01-11
Filing date: 2018-01-31
Publication date: 2018-10-24
Also published as: CN114441813A; JPWO2019138504A1; CN112904057A; CN111033273B; WO2019138504A1; KR20190085893A; KR102067936B1; CN112904057B; JP6806269B2; KR20190085834A; CN111033273A; KR102007611B1

Abstract

The present invention provides a probe pin which can reduce electric resistance of a conduction path while ensuring contact reliability for an inspection object and an inspection device, an inspection jig having the probe bin, an inspection unit having the inspection jig, and an inspection device having the inspection unit. The probe pin comprises: an elastic part; a first contact part; and a second contact part. The elastic part has a plurality of strap-shaped elastic pieces. Each of the strap-shaped elastic pieces includes: a first linear part connected to the first contact part from a direction in which one end part of an extending direction thereof intersects the longitudinal direction of the probe pin; a second linear part connected to the second contact part from a direction in which one end part of the extending direction thereof intersects the longitudinal direction of the probe pin; and a curved part connected to the other end part of the first linear part and the other end part of the second linear part.

Description

[0001] PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS [0002]

본 발명은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe pin, an inspection jig having the probe pin, an inspection unit having the inspection jig, and an inspection apparatus having the inspection unit.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.In an electronic component module such as a camera or a liquid crystal panel, conduction inspection and operation characteristic inspection are generally performed in the manufacturing process. These inspections are performed by connecting probe units to electrode units such as an FPC contact electrode or a mounted board-to-board connector for connection to a main substrate provided on the electronic component module using a probe pin.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 사행부에 의해 각 콘택트와 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자의 사이의 접압을 확보하여, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대한 접촉 신뢰성을 높이고 있다.As such a probe pin, for example, there is one described in Patent Document 1. The probe pin has a pair of contacts each capable of being brought into contact with an electrode terminal of the electronic component and an electrode terminal of the electronic component to be connected and a meandering portion interposed between the pair of contacts to connect the pair of contacts. In the probe pin, the meandering portion secures contact between the contacts and the electrode terminals of the electronic component and the electrode terminals of the electronic component to be connected, so that the electrode terminal of the electronic component and the contact reliability .

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-134202

근년, 전자 부품 모듈의 전력 절약화에 따라 검사에 사용하는 프로브 핀의 저저항화가 요구되고 있다.In recent years, as the power saving of the electronic component module has been reduced, the resistance of the probe pin used for inspection has been required to be low.

특허문헌 1의 프로브 핀에 있어서, 높은 접촉 신뢰성을 확보하기 위해 사행부의 절첩의 수를 증가시키면 한 쌍의 콘택트 사이를 흐르는 전류의 경로가 길어진다. 이 경우 프로브 핀의 전기 저항이 증대되어, 저저항화를 도모하는 것이 곤란한 경우가 있다.In the probe pin of Patent Document 1, if the number of folds of the meandering portion is increased in order to secure high contact reliability, the path of the current flowing between the pair of contacts becomes long. In this case, the electrical resistance of the probe pin increases, and it may be difficult to reduce the resistance.

본 발명은, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 도통 경로의 전기 저항을 저감할 수 있는 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention relates to a probe pin capable of reducing the electrical resistance of a conduction path while ensuring contact reliability with respect to an object to be inspected and an inspection apparatus, an inspection jig having the probe pin, an inspection unit having the inspection jig, It is an object of the present invention to provide a testing apparatus having a unit.

본 발명의 일례의 프로브 핀은,In an exemplary embodiment of the present invention,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,An elastic portion extending and contracting along the longitudinal direction,

상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와, 상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부A plate-shaped first contact portion connected to the first end in the longitudinal direction of the elastic portion, and a plate-like second contact portion arranged in series with respect to the first contact portion and connected to the second end in the longitudinal direction of the elastic portion,

를 구비하고,And,

상기 탄성부가,The elastic portion,

서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,A plurality of strip-shaped elastic pieces disposed with a gap therebetween,

상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,And each of the plurality of strip-

상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,Wherein the first contact portion is disposed on one side in the width direction of the first contact portion with respect to the first contact portion and extends along a direction crossing the longitudinal direction and one end of the extending direction constitutes the first end portion, A first linear portion connected to the first contact portion from a direction crossing the longitudinal direction,

상기 제2 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와,The first contact portion is disposed on the one side in the width direction of the first contact portion with respect to the second contact portion and extends along a direction crossing the longitudinal direction and one end portion in the extending direction constitutes the second end portion A second linear portion connected to the second contact portion from a direction crossing the longitudinal direction,

상기 제1 직선부의 타단부 및 상기 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부Connected to the other end of the first rectilinear section and the other end of the second rectilinear section,

를 갖는다..

또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,Further, in the inspection jig of an example of the present invention,

상기 프로브 핀과,The probe pin,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓A socket having a housing portion capable of accommodating the probe pin,

을 구비한다.Respectively.

또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,Further, in the inspection unit according to an example of the present invention,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one of the inspection jigs was provided.

또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,Further, in an inspection apparatus according to an example of the present invention,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.And at least one inspection unit.

상기 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고, 각 띠 형상 탄성편이 제1 접촉부에 대하여 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 제2 접촉부에 대하여 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와, 제1 직선부의 타단부 및 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부를 갖고 있다. 이 탄성부에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 제1 접촉부 및 제2 접촉부간의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감할 수 있다.According to the probe pin, the elastic portion has a plurality of strip-shaped elastic pieces, each strip-shaped elastic piece is disposed on one side in the width direction of the first contact portion with respect to the first contact portion, And a second linear portion connected to the second contact portion at one side in the width direction of the first contact portion and having one end in the extending direction crossing the longitudinal direction of the probe pin And a curved portion connected to the other end of the first rectilinear portion and the other end of the second rectilinear portion. This elastic portion can reduce the electrical resistance in the conduction path between the first contact portion and the second contact portion while ensuring the contact reliability with respect to the object to be inspected and the inspection apparatus.

또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그를 실현할 수 있다.Further, according to the inspection jig, it is possible to realize the inspection jig having high contact reliability with respect to the object to be inspected and the inspection apparatus, and low contact resistance when connected to the object to be inspected and the inspection apparatus.

또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛을 실현할 수 있다.Further, according to the inspection unit, the inspection jig can realize an inspection unit having high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection apparatus, and low contact resistance when connected to the object to be inspected and the inspection apparatus.

또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 검사 대상물에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.Further, according to the inspection apparatus, it is possible to realize the inspection apparatus having a high contact reliability with respect to the object to be inspected and a low contact resistance when the object is connected to the object to be inspected.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 프로브 핀의 탄성부 주변의 확대 평면도이다.1 is a perspective view showing an inspection unit of an embodiment of the present invention.
2 is a sectional view taken along line II-II in Fig.
3 is a perspective view showing a probe pin according to an embodiment of the present invention.
4 is a plan view of the probe pin of Fig.
5 is an enlarged plan view of the vicinity of the elastic portion of the probe pin of Fig.

이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description, terms (for example, terms including "upper", "lower", "right", "left") indicating specific directions or positions are used as necessary, Are intended to facilitate understanding of the present invention with reference to the drawings, and the technical scope of the present invention is not limited by the meanings of these terms. In addition, the following description is merely exemplary in nature and is not intended to limit the invention, its application, or uses. Also, the drawings are schematic, and the proportions of the respective dimensions and the like are not necessarily in agreement with reality.

본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은 도전성을 갖고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판 상의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.The probe pin 10 of the embodiment of the present invention has conductivity and is used in a state of being accommodated in the socket 3 as shown in Fig. 1 and Fig. 2, for example. The probe pin 10, together with the socket 3, 2). In this inspection jig (2), for example, a plurality of elongated thin plate-like probe pins (10) are accommodated.

또한, 검사 지그(2)는 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 적어도 하나의 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체상의 베이스 하우징(4)을 구비하고 있다. 이 베이스 하우징(4)은 대략 직사각형 판상의 제1 하우징(5)과, 이 제1 하우징(5)의 판 두께 방향으로 적층된 제2 하우징(6)으로 구성되어 있다.Further, the inspection jig 2 constitutes a part of the inspection unit 1. As shown in Fig. 1, the inspection unit 1 is provided with a base housing 4 having a substantially rectangular parallelepiped with at least one inspection jig 2 embedded therein. The base housing 4 is composed of a first housing 5 having a substantially rectangular plate shape and a second housing 6 laminated in the thickness direction of the first housing 5.

소켓(3)은, 도 2에 도시한 바와 같이 각 프로브 핀(10)을 수용 가능한 복수의 수용부(7)를 갖고, 제1 하우징(5) 및 제2 하우징(6)으로 유지되어 있다. 각 수용부(7)는 소켓(3)과 베이스 하우징(4)의 제2 하우징(6)으로 둘러싸여 있고, 후술하는 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)의 외부로 각각 노출된 상태에서 각 프로브 핀(10)을 수용 가능하게 구성되어 있다.The socket 3 has a plurality of accommodating portions 7 capable of accommodating the respective probe pins 10 and is held by the first housing 5 and the second housing 6 as shown in Fig. Each accommodating portion 7 is surrounded by the socket 3 and the second housing 6 of the base housing 4. The first contact portion 121 and the second contact portion 131, And the outer surface of the base housing 4, respectively.

각 프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이 그 길이 방향(즉, 도 3의 상하 방향)을 따라 신축하는 탄성부(11)와, 탄성부(11)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 한쪽의 단부인 제1 단부(111)에 접속된 판상의 제1 접촉부(12)와, 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되어 탄성부(11)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 타단부인 제2 단부(112)에 접속된 판상의 제2 접촉부(13)를 구비하고 있다.Each of the probe pins 10 includes an elastic portion 11 extending and contracting along a longitudinal direction thereof (that is, a vertical direction in FIG. 3), and an elastic portion 11 extending along the longitudinal direction of the probe pin 10 of the elastic portion 11 A first contact portion 12 in the form of a plate connected to the first end portion 111 at one end in the longitudinal direction and a second contact portion 12 arranged in series with respect to the first contact portion 12 and connected to the probe pin Like second contact portion 13 connected to the second end portion 112 which is the other end portion in the longitudinal direction of the first contact portion 10.

탄성부(11)는, 도 4에 도시한 바와 같이 서로 간극(61, 62, 63)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는 4개의 띠 형상 탄성편)(21, 22, 23, 24)을 갖고 있다. 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 도 5에 도시한 바와 같이 가늘고 긴 띠 형상이며, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와, 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와, 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖고 있다. 또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 일례로서 대략 동일한 단면 형상을 갖고 있다.As shown in Fig. 4, the elastic portion 11 includes a plurality of strip-shaped elastic pieces (four strip-shaped elastic pieces) 21, 22, and 22 arranged with gaps 61, 62, 23, and 24, respectively. As shown in Fig. 5, each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 is in the form of an elongated strip and includes first straight portions 31, 32, 33, and 34, second straight portions 41 42, 43, and 44, and curved portions 51, 52, 53, and 54, respectively. Each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 has substantially the same cross-sectional shape as an example.

각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)는, 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상을 갖고, 제1 접촉부(12)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측(즉, 도 5의 우측)에 배치되고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)는, 그 연장 방향의 일단부가 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241)(즉, 탄성부(11)의 제1 단부(111))를 구성하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제1 방향(A)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속되어 있다.As shown in Fig. 5, each of the first rectilinear sections 31, 32, 33, and 34 has a band-like shape. The first linear portions 31, 32, 33, (Right side in Fig. 5), and extends along the direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10. [ Each of the first straight portions 31, 32, 33, and 34 has one end in the extending direction of the first end portions 211, 221, 231, and 241 of the belt-like elastic pieces 21, 22, 23, (The first end 111 of the elastic part 11) and is also connected to the first contact part 12 from the first direction A intersecting with the longitudinal direction of the probe pin 10. [

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241)와 제1 접촉부(12)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있다. 즉, 제1 직선(L1)은, 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향(즉, 제1 방향(A))에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.As shown in Fig. 5, one end portion of each of the first straight line portions 31, 32, 33, and 34 in the extending direction thereof The first end portions 211, 221, 231 and 241 and the first contact portion 12 are connected on a first straight line L1 extending in a direction (for example, orthogonal direction) crossing the longitudinal direction of the probe pin 10 The first straight line L1 extends in a direction perpendicular to the connection direction (that is, the first direction A) of the first end portions 211, 221, 231, and 241 with respect to the first contact portion 12 Respectively.

각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)는 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상을 갖고, 제2 접촉부(13)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측(즉, 도 5의 우측)에 배치되고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)는, 그 연장 방향의 일단부가 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 단부(212, 222, 232, 242)(즉, 탄성부(11)의 제2 단부(112))를 구성하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제2 방향(B)으로부터 제2 접촉부(13)에 접속되어 있다.As shown in FIG. 5, each of the second linear portions 41, 42, 43, and 44 has a strip shape. The second linear portions 41, 42, 43, 5), and extend along a direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10. [0064] As shown in Fig. Each of the second straight portions 41, 42, 43, and 44 has one end in the extending direction of the second end portions 212, 222, 232, 242 of the belt- (The second end 112 of the elastic part 11) and is also connected to the second contact part 13 from the second direction B which intersects the longitudinal direction of the probe pin 10. [

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 단부(212, 222, 232, 242)와 제2 접촉부(13)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다. 즉, 제2 직선(L2)은, 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향(즉, 제2 방향(B))에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.As shown in Fig. 5, one end portion of each of the second straight line portions 41, 42, 43, and 44 in the extending direction thereof The two ends 212, 222, 232 and 242 and the second contact portion 13 are connected on a second straight line L2 extending in a direction (for example, orthogonal direction) crossing the longitudinal direction of the probe pin 10 The second straight line L2 is formed in a direction perpendicular to the connection direction (that is, the second direction B) of the second end portions 212, 222, 232, and 242 to the second contact portion 13 Respectively.

또한, 제1 접촉부(12)의 폭 방향은, 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향(즉, 도 4 및 도 5의 지면 관통 방향)으로부터 보아 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 방향(즉, 도 4 및 도 5의 좌우 방향)이다.The width direction of the first contact portion 12 is a direction orthogonal to the longitudinal direction of the probe pin 10 as seen from the plate thickness direction of the first contact portion 12 (i.e., the paper through direction in Figs. 4 and 5) (I.e., the left and right directions in Figs. 4 and 5).

각 만곡부(51, 52, 53, 54)는 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상이며, 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아 대략 S자상을 갖고, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 그 연장 방향의 타단부 및 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 각 만곡부(51, 52, 53, 54)는, 제1 만곡부(511, 521, 531, 541)와, 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)와, 제1 만곡부(511, 521, 531, 541) 및 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)를 접속하는 접속부(513, 523, 533, 543)를 갖고 있다.As shown in Fig. 5, each of the curved portions 51, 52, 53 and 54 is in the shape of a strip and has a substantially S-shape when viewed from the plate thickness direction of the first contact portion 12, and the first straight portions 31, 33 and 34 and the other ends of the second straight portions 41, 42, 43, and 44 in the extending direction thereof. Each of the curved portions 51, 52, 53 and 54 includes first bending portions 511, 521, 531 and 541, second bending portions 512, 522, 532 and 542, first bending portions 511, 521 and 531 523, 533, and 543 that connect the first and second bending portions 512, 522, 532, and 542 to each other.

제1 만곡부(511, 521, 531, 541)는, 그 곡률 중심(CP1)이 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 사이에 배치되며, 180도보다도 크고 360도보다도 작은 중심각 θ1에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)는, 그 곡률 중심(CP2)이 탄성부(11)에 대하여 상이한 측(즉, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)보다도 제2 직선부(41, 42, 43, 44)로부터 이격된 위치)에 배치되며, 제로보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ2에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 접속부(513, 523, 533, 543)는 대략 직선상으로 연장되어 있다.The first bend sections 511, 521, 531 and 541 are arranged such that the curvature center CP1 of the first bend section 511, 521, 531 and 541 is parallel to the first straight line sections 31, 32, 33 and 34 and the second straight line section 41, 42, 43, 44, and extends along an arc of greater than 180 degrees and smaller than 360 degrees to a central angle? 1. The second curved portions 512, 522, 532 and 542 are formed such that the curvature center CP2 is different from the elastic portion 11 (i.e., in the longitudinal direction of the probe pin 10, 42, 43, 44), and extends along an arc of greater than zero and smaller than 180 degrees to a central angle? 2. The connection portions 513, 523, 533, and 543 extend substantially in a straight line.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241) 및 제2 단부(212, 222, 232, 242) 사이의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W1, W2, W3, W4)은 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다.5, the width of each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 (i.e., the width of the first end portions 211, W1, W2, W3, and W4, which are lengths in the width direction perpendicular to the extending direction of the path between the first end portions 221, 231, and 241 and the second end portions 212, 222, 232, and 242, 21, 22, 23, and 24, respectively.

또한, 도 5에는, 일례로서 제1 만곡부(511, 521, 531, 541)의 곡률 원의 반경 방향에 있어서의 곡률 중심(CP1)에 가장 가까운 띠 형상 탄성편(24)의 만곡부(54)와, 이 띠 형상 탄성편(24)에 인접하는 띠 형상 탄성편(23)의 만곡부(53)의 사이의 직선 거리를 최단 거리(W5)로서 나타내고 있다.5 shows the curved portion 54 of the band-shaped elastic piece 24 closest to the center of curvature CP1 in the radial direction of the curvature circle of the first bend portions 511, 521, 531 and 541 as an example And the straight line distance between the curved portions 53 of the strip-shaped elastic piece 23 adjacent to the strip-shaped elastic piece 24 is represented as the shortest distance W5.

제1 접촉부(12)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제1 단부(111)에 접속되어 있다. 제1 접촉부(12)의 연장 방향의 타단부에는 제1 접점부(121)가 마련되어 있다. 또한, 제2 접촉부(13)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제2 단부(112)에 접속되어 있다. 제2 접촉부(13)의 연장 방향의 타단부에는 제2 접점부(131)가 마련되어 있다.The first contact portion 12 extends along the longitudinal direction of the probe pin 10 as shown in Fig. 4 and one end in the extending direction is connected to the first end portion 111 of the elastic portion 11 . The first contact portion 121 is provided at the other end of the first contact portion 12 in the extending direction. 4, the second contact portion 13 extends along the longitudinal direction of the probe pin 10 and one end in the extending direction thereof is connected to the second end portion 112 of the elastic portion 11 . The second contact portion 131 is provided at the other end of the second contact portion 13 in the extending direction.

제1 접점부(121)는, 일례로서 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판(BtoB) 커넥터)의 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 또한, 제2 접점부(131)는, 일례로서 검사 장치의 기판(예를 들어, PCB 패드)에 설치된 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다.The first contact portion 121 is configured to be able to contact a terminal of an inspection object (for example, a substrate-to-board (BtoB) connector) as an example. The second contact portion 131 is configured to be able to contact a terminal provided on a substrate (for example, a PCB pad) of an inspection apparatus as an example.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각은, 프로브 핀(10)의 길이 방향 가장자리로 연장되는 가상 직선(L3)을 따라 직렬적으로 배치되어 있다. 즉, 탄성부(11)의 제1 단부(111) 및 제2 단부(112)는, 가상 직선(L3)에 대한 동일한 측(즉, 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측)으로부터 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)에 각각 접속되어 있다.Each of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 is arranged in series along a virtual straight line L3 extending to the longitudinal edge of the probe pin 10. [ That is, the first end 111 and the second end 112 of the elastic portion 11 extend from the same side with respect to the virtual straight line L3 (i.e., from one side in the width direction of the first contact portion 12) 1 contact portion 12 and the second contact portion 13, respectively.

제1 접촉부(12)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(11)측에는 지지부(122)가 마련되고, 제2 접촉부(13)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(11)측에는 지지부(132)가 마련되어 있다. 각 지지부(122, 132)는 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)로부터 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)이며 또한 가상 직선(L3)에 대한 탄성부(11)측을 향해 돌출되어 있다.A supporting portion 122 is provided on the side of the elastic portion 11 in the middle portion of the extending direction of the first contacting portion 12 and the supporting portion 122 is provided on the side of the elastic portion 11 A support portion 132 is provided. The support portions 122 and 132 are arranged in a direction intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10 from the first contact portion 12 and the second contact portion 13 as viewed from the plate thickness direction of the first contact portion 12 In the perpendicular direction) and protrudes toward the elastic portion 11 side with respect to the imaginary straight line L3.

도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)의 수용부(7)에 프로브 핀(10)을 수용했을 때, 제1 접촉부(12)의 지지부(122)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 접점부(121)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 소켓(3)의 내면에 맞닿도록 구성되고, 제2 접촉부(13)의 지지부(132)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제2 접점부(131)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 제2 하우징(6)에 맞닿도록 구성되어 있다. 즉, 각 지지부(122, 132)에 의해 프로브 핀(10)이 수용부(7)의 내부에서 지지되도록 구성되어 있다.2, when the probe pin 10 is received in the receiving portion 7 of the socket 3, the supporting portion 122 of the first contacting portion 12 is positioned in the longitudinal direction of the probe pin 10 And the support portion 132 of the second contact portion 13 is configured to abut against the inner surface of the socket 3 constituting the accommodating portion 7, And the surface on the side of the second contact portion 131 in the longitudinal direction abuts against the second housing 6 constituting the accommodating portion 7. [ That is, the probe pins 10 are supported by the supporting portions 122, 132 inside the receiving portion 7.

또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는 제1 접촉부(12)의 폭(W6) 및 제2 접촉부(13)의 폭(W7)이 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 각각 구성되어 있다. 여기서, 제1 접촉부(12)의 폭(W6)은 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 제1 접촉부(12)의 최단 거리로 하고, 제2 접촉부(13)의 폭(W7)은 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 제2 접촉부(13)의 최단 거리로 한다. 또한, 탄성부(11)의 폭(W8)은, 탄성부(11)의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 양측의 띠 형상 탄성편(21, 24)의 외면(즉, 인접하는 띠 형상 탄성편(22, 23)에 대향하는 내면의 탄성부(11)의 폭 방향에 있어서의 반대측의 면) 사이의 최단 거리로 한다.4, the first contact portion 12 and the second contact portion 13 are formed so that the width W6 of the first contact portion 12 and the width W7 of the second contact portion 13 are equal to each other, Is larger than the width (W8) of the wirings (11). The width W6 of the first contact portion 12 is the shortest distance of the first contact portion 12 in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the probe pin 10 and the width W2 of the second contact portion 13 (W7) is the shortest distance of the second contact portion (13) in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the probe pin (10). The width W8 of the elastic portion 11 is set to be equal to or greater than the width W8 of the outer side of the band-shaped elastic pieces 21 and 24 on both sides in the width direction orthogonal to the extending direction of the path of the elastic portion 11 (The surface on the opposite side in the width direction of the elastic portion 11 on the inner surface opposed to the strip-shaped elastic pieces 22, 23).

이상과 같이, 상기 프로브 핀(10)에 의하면 탄성부(11)가 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 갖고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 제1 접촉부(12)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 제1 방향(A)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와, 제2 접촉부(13)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제2 방향(B)으로부터 제2 접촉부(13)에 접속된 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 타단부 및 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 타단부에 접속된 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖고 있다. 이 탄성부(11)에 있어서, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보 가능한 탄성력을 유지하면서, 탄성부(11)의 경로의 길이를 삭감하며 또한 탄성부(11)의 경로의 단면적을 크게 할 수 있으므로, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13) 사이의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감할 수 있다.As described above, according to the probe pin 10, the elastic portion 11 has a plurality of band-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24, and each of the band-shaped elastic pieces 21, 22, 23, (A) from one side in the width direction of the first contact portion (12) with respect to the first contact portion (12) and one end of the first contact portion And one end portion in the extending direction of the first contact portion 12 is disposed on one side in the width direction of the first contact portion 12 with respect to the second contact portion 13. The first straight portion 31, Second linear portions 41, 42, 43, 44 connected to the second contact portion 13 from the second direction B intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10 and first and second straight portions 31, 32 52, 53, 54 connected to the other end of the second linear portion 41, 42, 43, 44 and the other end of the second linear portion 41, 42, 43, In this elastic portion 11, the length of the path of the elastic portion 11 is reduced while maintaining the elastic force capable of ensuring the contact reliability with respect to the object to be inspected and the inspection apparatus, and the sectional area of the path of the elastic portion 11 is increased The electrical resistance in the conduction path between the first contact portion 12 and the second contact portion 13 can be reduced.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)가, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 일단부와 제2 접촉부(13)가, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다. 이에 의해 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 예를 들어 대략 동일한 단면 형상의 부재가 서로 간극을 두고 병렬로 배치되게 되므로, 그 휨량이 대략 균일해진다. 이로 인해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.One end of each of the first straight portions 31, 32, 33 and 34 and the first contact portion 12 of each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23 and 24 are arranged in the longitudinal direction of the probe pin 10 Shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 and a first straight line L1 extending in a direction intersecting the first straight line portions 41, 42, 43, and 44 of the belt- The second contact portions 13 are connected on the second straight line L2 extending in the direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10. [ As a result, the belt-like elastic pieces 21, 22, 23, and 24 are arranged in parallel with each other with, for example, substantially the same cross-sectional shape. For example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 is brought into contact with the object to be inspected and the inspection apparatus, so that each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, It is possible to realize a probe pin 10 that can prevent contact between the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 and ensure high contact reliability even when compressed in the longitudinal direction of the probe 10 have.

또한, 제1 직선(L1)이 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되고, 제2 직선(L2)이 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 이에 의해, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 보다 균일하게 할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.The first straight line L1 extends in a direction orthogonal to the connecting direction of the first end portions 211, 221, 231 and 241 to the first contact portion 12 and the second straight line L2 extends in the direction perpendicular to the connecting direction to the first contact portion 12, (212, 222, 232, 242) to the second contact portion (13). As a result, the amount of deflection of each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 can be made more uniform, and the probe pin 10 capable of ensuring high contact reliability can be more reliably realized.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)이 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.The widths W1, W2, W3 and W4 of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23 and 24 correspond to the shortest distance W5 between the adjacent strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23 and 24, . As a result, for example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 is brought into contact with the object to be inspected and the inspection apparatus, and each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, Like elastic pieces 21, 22, 23, and 24 can be prevented from being brought into contact with each other even when they are compressed in the longitudinal direction of the probe 10, and a high contact reliability can be ensured .

또한, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)이 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 전기 저항을 저감할 수 있다.The widths W6 and W7 of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 are configured to be larger than the width W8 of the elastic portion 11. [ Thereby, the electrical resistance of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 can be reduced.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 만곡부(51, 52, 53, 54)가 중심각 θ1, θ2가 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖고, 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)의 곡률 중심(CP1, CP2)이 탄성부(11)에 대하여 상이한 측에 각각 배치되어 있다. 이에 의해, 탄성부(11)에 발생하는 응력을 분산할 수 있다.The curved portions 51, 52, 53 and 54 of the respective band-like elastic pieces 21, 22, 23 and 24 have two curved portions 511, 521, 531, 541, 512, 522, 532 and 542 and the curvature centers CP1 and CP2 of the two curved portions 511, 521, 531, 541, 512, 522, 532 and 542 are arranged on different sides with respect to the elastic portion 11 . Thereby, the stress generated in the elastic portion 11 can be dispersed.

또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.According to the inspection jig 2, the contact reliability of the inspection object and the inspection apparatus is high by the probe pin 10, the inspection jig 2 having low contact resistance when connected to the inspection object and the inspection apparatus, Can be realized.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.According to the inspection unit 1, since the inspection unit 1 having a high contact reliability with the inspection object and the inspection apparatus by the inspection jig 2 and a low contact resistance when connected to the inspection object and the inspection apparatus, Can be realized.

또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.Further, the inspection unit 1 may constitute a part of the inspection apparatus. According to such an inspection apparatus, it is possible to realize an inspection apparatus having a high contact reliability to an object to be inspected and an inspection apparatus by the inspection unit 1, and a low contact resistance when connected to the object to be inspected and the inspection apparatus.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각은 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.The shape of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 can be appropriately changed according to the design of the probe pin 10 or the like. For example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 can appropriately change the shape, position, and the like according to various forms of the inspection apparatus or the inspection object.

탄성부(11)는 서로 간극을 두고 배치되며, 제1 직선부(31, 32, 33, 34), 제2 직선부(41, 42, 43, 44) 및 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖는 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 구비하고 있으면 된다.The elastic portions 11 are arranged with a gap therebetween and are provided with first linear portions 31, 32, 33 and 34, second linear portions 41, 42, 43 and 44 and curved portions 51, 52, 53 and 54 Like elastic pieces 21, 22, 23, and 24 having a plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24, respectively.

예를 들어, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)는, 제1 직선(L1) 이외의 직선 상에서 접속되어도 되고, 모든 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)가 동일 직선상에서 접속되지 않아도 된다. 제2 직선부(41, 42, 43, 44)에 대해서도 마찬가지이다.For example, one end of each of the first rectilinear sections 31, 32, 33, and 34 of the respective strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 and the first contact section 12 are connected to the first straight line L1, And one end of the first rectilinear sections 31, 32, 33, 34 of all the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 and the first contact section 12 are connected to each other on the same straight line It may not be connected. The same applies to the second rectilinear sections 41, 42, 43, and 44.

제1 직선(L1)은, 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있는 경우로 제한되지 않는다. 제2 직선(L2)에 대해서도 마찬가지이다.The first straight line L1 is not limited to the case where the first straight line L1 extends in a direction orthogonal to the connection direction of the first end portions 211, 221, 231, and 241 with respect to the first contact portion 12. [ The same applies to the second straight line L2.

각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)은, 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작은 경우로 한정되지 않으며, 커도 된다.The widths W1, W2, W3 and W4 of the respective strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23 and 24 are smaller than the shortest distance W5 between the adjacent strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23 and 24 It is not limited to a small case, and it may be large.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)은, 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 큰 경우로 한정되지 않으며, 작아도 된다.The widths W6 and W7 of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 are not limited to the width W8 of the elastic portion 11 and may be small.

만곡부(51, 52, 53, 54)는 중심각 θ1, θ2가 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖는 경우로 제한되지 않는다. 예를 들어, 만곡부(51, 52, 53, 54)는 1개의 만곡부로 구성해도 된다.The curved portions 51, 52, 53 and 54 are not limited to the case of having two curved portions 511, 521, 531, 541, 512, 522, 532 and 542 having different central angles? 1 and? 2. For example, the curved portions 51, 52, 53, and 54 may be formed of one curved portion.

검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)을 범용화하여, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.The inspection jig 2 and the base housing 4 can appropriately change their configurations in accordance with various types of inspection apparatuses or objects to be inspected. That is, the inspection jig 2 and the base housing 4 can be generalized to improve the productivity of the inspection unit 1 (and hence the inspection apparatus).

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.Various embodiments of the present invention have been described in detail above with reference to the drawings. Lastly, various forms of the present invention will be described. In the following description, reference numerals are also added as an example.

본 발명의 제1 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the first embodiment of the present invention,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부(11)와,An elastic portion 11 extending and contracting along the longitudinal direction,

상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제1 단부(111)에 접속된 판상의 제1 접촉부(12)와,A plate-like first contact portion 12 connected to the longitudinal first end 111 of the elastic portion 11,

상기 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제2 단부(112)에 접속된 판상의 제2 접촉부(13)A plate-like second contact portion 13 connected in series to the first contact portion 12 and connected to the second end portion 112 of the elastic portion 11 in the longitudinal direction,

를 구비하고,And,

상기 탄성부(11)가,The elastic portion (11)

서로 간극(61, 62, 63)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 갖고,Like elastic pieces (21, 22, 23, 24) arranged with gaps (61, 62, 63)

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각이,Wherein each of the plurality of strip-shaped elastic pieces (21, 22, 23, 24)

상기 제1 접촉부(12)에 대하여 상기 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부(111)를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와,(12) extending in a direction intersecting with the longitudinal direction, and one end of the first contact portion (12) extends in a direction crossing the longitudinal direction, First straight portions (31, 32, 33, 34) constituting the end portion (111) and connected to the first contact portion (12)

상기 제2 접촉부(13)에 대하여 상기 제1 접촉부(12)의 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부(112)를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부(13)에 접속된 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와,(12) is disposed on the one side in the width direction of the first contact portion (12) with respect to the second contact portion (13), and extends along a direction crossing the longitudinal direction, Second straight portions (41, 42, 43, 44) constituting the second end portion (112) and connected to the second contact portion (13) from a direction crossing the longitudinal direction,

상기 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 타단부 및 상기 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 타단부에 접속된 만곡부(51, 52, 53, 54)52, 53, and 54 connected to the other ends of the first rectilinear sections 31, 32, 33, and 34 and the other ends of the second rectilinear sections 41, 42, 43,

를 갖는다..

제1 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(11)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13) 사이의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감하여, 프로브 핀(10)의 저저항화를 도모할 수 있다.According to the first embodiment of the probe pin 10, it is possible to secure the reliability of contact with the inspection object and the inspection apparatus by the elastic portion 11, The electric resistance in the probe pin 10 can be reduced and the resistance of the probe pin 10 can be reduced.

본 발명의 제2 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the second embodiment of the present invention,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 상기 제1 접촉부(12)가 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있고,Wherein one end of each of the first rectilinear sections (31, 32, 33, 34) of each of the plurality of strip-shaped elastic pieces (21, 22, 23, 24) and the first contact section (12) On the first straight line (L1)

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 일단부와 상기 제2 접촉부(13)가 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다.Wherein one end of each of the second straight line portions (41, 42, 43, 44) of each of the plurality of strip-shaped elastic pieces (21, 22, 23, 24) and the second contact portion (13) On the second straight line L2 extending in the direction of the first straight line L2.

제2 형태의 프로브 핀(10)에 의하면 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 균일하게 하여, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.The first contact portion 121 and the second contact portion 131 can be made uniform by making the amount of bending of each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 uniform, Shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 are pressed in the lengthwise direction of the probe pin 10 by contacting each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 23 and 24 can be prevented from being brought into contact with each other, and a probe pin 10 capable of securing high contact reliability can be realized.

본 발명의 제3 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the third embodiment of the present invention,

상기 제1 직선(L1)이 상기 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 상기 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되고,The first straight line L1 extends in a direction perpendicular to the connection direction of the first end portions 211, 221, 231, and 241 with respect to the first contact portion 12,

상기 제2 직선(L2)이 상기 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 상기 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.The second straight line L2 extends in a direction orthogonal to the connection direction of the second end portions 212, 222, 232, 242 to the second contact portion 13. [

제3 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 보다 균일하게 할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.The probe pin 10 according to the third embodiment has a probe pin 10 capable of more uniform warpage of each strip-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 and ensuring high contact reliability It is possible to realize more surely.

본 발명의 제4 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the fourth embodiment of the present invention,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)이 인접 하는 상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다.Wherein widths W1, W2, W3 and W4 of the plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23 and 24 are the shortest distance between the adjacent plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23 and 24, (W5).

제4 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the fourth embodiment, for example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 is brought into contact with the object to be inspected and the inspection apparatus, and each of the strip- Like elastic pieces 21, 22, 23, and 24 can be prevented from being in contact with each other even when they are compressed in the lengthwise direction of the probe pin 10, The probe pin 10 can be realized.

본 발명의 제5 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the fifth embodiment of the present invention,

상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)이 상기 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 구성되어 있다.The widths W6 and W7 of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 are larger than the width W8 of the elastic portion 11. [

제5 형태의 프로브 핀(10)에 의하면 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 전기 저항을 저감할 수 있으므로, 프로브 핀(10)의 저저항화를 도모할 수 있다.According to the probe pin 10 of the fifth embodiment, since the electrical resistance of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 can be reduced, the resistance of the probe pin 10 can be reduced.

본 발명의 제6 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the sixth embodiment of the present invention,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 만곡부(51, 52, 53, 54)가 중심각 θ1, θ2이 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖고,Wherein each of the curved portions (51, 52, 53, 54) of each of the plurality of band-shaped elastic pieces (21, 22, 23, 24) has two curved portions (511, 521, 531, 541, 512 , 522, 532, and 542,

상기 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)의 곡률 중심(CP1, CP2)이 상기 탄성부(11)에 대하여 상이한 측에 각각 배치되어 있다.The curvature centers CP1 and CP2 of the two curved portions 511, 521, 531, 541, 512, 522, 532 and 542 are arranged on different sides of the elastic portion 11, respectively.

제6 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(11)에 발생하는 응력을 분산할 수 있다.According to the probe pin 10 of the sixth embodiment, the stress generated in the elastic portion 11 can be dispersed.

본 발명의 제7 형태의 검사 지그(2)는,In the inspection jig (2) of the seventh aspect of the present invention,

상기 프로브 핀(10)과,The probe pin 10,

상기 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(7)를 갖는 소켓(3)A socket (3) having a housing part (7) capable of accommodating the probe pin (10)

을 구비했다..

제7 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.According to the inspection jig 2 of the seventh aspect, the contact reliability is high with respect to the object to be inspected and the inspection apparatus by the probe pin 10, and the inspection jig 2 with low contact resistance when connected to the object to be inspected and the inspection apparatus ) Can be realized.

본 발명의 제8 형태의 검사 유닛(1)은,An inspection unit (1) according to an eighth aspect of the present invention comprises:

제8 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.According to the inspection unit 1 of the eighth aspect, the contact reliability with respect to the object to be inspected and the inspection apparatus is high by the inspection jig 2, and when the inspection object and the inspection apparatus are connected to the inspection unit 1 ) Can be realized.

본 발명의 제9 형태의 검사 장치는,According to a tenth aspect of the present invention,

상기 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.And at least one inspection unit (1).

제9 형태의 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.According to the inspection apparatus of the ninth aspect, it is possible to realize the inspection apparatus having a high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection apparatus by the inspection unit 1, and a low contact resistance when connected to the object to be inspected and the inspection apparatus.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.Furthermore, by appropriately combining any of the above-mentioned various embodiments or modifications, any one of the effects can be exhibited. It is to be noted that the present invention is not limited to these embodiments, and various combinations and combinations of the embodiments and embodiments may be possible without departing from the scope of the present invention.

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.The probe pin of the present invention can be applied to, for example, a test jig used for inspection of a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.The inspection jig of the present invention can be applied to, for example, an inspection unit used for inspection of a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection unit of the present invention can be applied to, for example, an inspection apparatus for a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다. The inspection apparatus of the present invention can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.

1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 소켓
4 : 베이스 하우징
5 : 제1 하우징
6 : 제2 하우징
7 : 수용부
10 : 프로브 핀
11 : 탄성부
111 : 제1 단부
112 : 제2 단부
12 : 제1 접촉부
121 : 제1 접점부
122 : 지지부
13 : 제2 접촉부
131 : 제2 접점부
132 : 지지부
21, 22, 23, 24 : 띠 형상 탄성편
211, 221, 231, 241 : 제1 단부
212, 222, 232, 242 : 제2 단부
31, 32, 33, 34 : 제1 직선부
41, 42, 43, 44 : 제2 직선부
51, 52, 53, 54 : 만곡부
511, 521, 531, 541 : 제1 만곡부
512, 522, 532, 542 : 제2 만곡부
513, 523, 533, 543 : 접속부
61, 62, 63 : 간극
A : 제1 방향
B : 제2 방향
L1 : 제1 직선
L2 : 제2 직선
θ1, θ2 : 중심각
W1 내지 W4, W6 내지 W8 : 폭
W5 : 최단 거리
CP1, CP2 : 곡률 중심1: Inspection unit
2: Inspection jig
3: Socket
4: Base housing
5: first housing
6: second housing
7:
10: Probe pin
11:
111: first end
112: second end
12: first contact
121: first contact part
122:
13: second contact portion
131: second contact portion
132:
21, 22, 23, 24: belt-like elastic piece
211, 221, 231, 241: first end
212, 222, 232, 242: second end
31, 32, 33, 34: first straight portion
41, 42, 43, 44:
51, 52, 53, 54:
511, 521, 531, 541:
512, 522, 532, and 542:
513, 523, 533, 543:
61, 62, 63: clearance
A: First direction
B: second direction
L1: 1st straight line
L2: second straight line
θ1, θ2: central angle
W1 to W4, W6 to W8: Width
W5: Shortest distance
CP1, CP2: curvature center

Claims

An elastic portion extending and contracting along the longitudinal direction,
A plate-like first contact portion connected to the first end in the longitudinal direction of the elastic portion,
A second contact portion which is arranged in series with the first contact portion and is connected to the second end portion in the longitudinal direction of the elastic portion,
And,
The elastic portion,
A plurality of strip-shaped elastic pieces disposed with a gap therebetween,
And each of the plurality of strip-
Wherein the first contact portion is disposed on one side in the width direction of the first contact portion with respect to the first contact portion and extends along a direction crossing the longitudinal direction and one end of the extending direction constitutes the first end portion, A first linear portion connected to the first contact portion from a direction crossing the longitudinal direction,
The first contact portion is disposed on the one side in the width direction with respect to the second contact portion and extends along a direction crossing the longitudinal direction and one end of the extending direction constitutes the second end portion, A second linear portion connected to the second contact portion from an intersecting direction,
And a curved portion connected to the other end of the first rectilinear portion and the other end of the second rectilinear portion,
And the one end of the first rectilinear portion of each of the plurality of strip-shaped elastic pieces is connected on the first straight line extending in the direction crossing the longitudinal direction.

The method according to claim 1,
And one end of the second rectilinear portion of each of the plurality of strip-shaped elastic pieces is connected to the second contact portion on a second straight line extending in a direction crossing the longitudinal direction.

3. The connector according to claim 2, wherein the first straight line extends in a direction perpendicular to a connection direction of the first end to the first contact,
And the second straight line extends in a direction orthogonal to a connection direction of the second end to the second contact portion.

The probe pin according to any one of claims 1 to 3, wherein a width of the plurality of strip-shaped elastic pieces is smaller than a shortest distance between adjacent ones of the plurality of strip-shaped elastic pieces.

The probe pin according to any one of claims 1 to 3, wherein a width of each of the first contact portion and the second contact portion is larger than a width of the elastic portion.

The elastic member according to any one of claims 1 to 3, wherein the curved portion of each of the plurality of strip-shaped elastic pieces has two curved portions having different central angles,
And the centers of curvature of the two curved portions are respectively disposed on different sides with respect to the elastic portion.

A probe pin according to any one of claims 1 to 3,
A socket having a housing portion capable of accommodating the probe pin,
.

An inspection unit comprising at least one inspection jig according to claim 7.

An inspection apparatus comprising at least one inspection unit according to claim 8.