KR102600799B1 - Probe pins and inspection jigs - Google Patents

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Abstract

프로브 핀이, 제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와, 탄성부의 제1 방향의 일단에 마련되고, 전선의 도체부를 접속 가능한 접속부를 구비한다.The probe pin is provided at one end of the elastic portion in the first direction and has an elastic portion that can be elastically deformed along the first direction, and has a connection portion that can connect the conductor portion of the electric wire.

Description

프로브 핀 및 검사 지그Probe pins and inspection jigs

본 개시는, 프로브 핀 및 검사 지그에 관한 것이다.This disclosure relates to probe pins and inspection jigs.

전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 단자와, 검사 장치의 단자를 접속함으로써 행해진다.In electronic component modules, conduction inspection, operating characteristic inspection, etc. are generally performed during the manufacturing process. These inspections are performed by using probe pins to connect terminals for connection to the main body board installed in the electronic component module and terminals of the inspection device.

이와 같은 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재해서 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 한 쌍의 콘택트를 연결한 배열 방향을 따라서 사행부가 신축하고, 각 콘택트가 이 배열 방향을 따라서 왕복 이동하도록 구성되어 있다.As such a probe pin, there is one described in Patent Document 1. This probe pin has a pair of contacts that can respectively contact the electrode terminal of the electronic component and the electrode terminal of the connected electronic component, and a serpentine portion interposed between the pair of contacts to connect the pair of contacts. In the probe pin, the meandering portion expands and contracts along an arrangement direction connecting a pair of contacts, and each contact moves back and forth along this arrangement direction.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보Japanese Patent Publication No. 2002-134202

그런데, 근년의 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 수반하여, 검사 장치 및 검사 대상물 중에는, 전선의 도체부를 통해 프로브 핀에 접속하도록 구성된 것이 있다.However, with the recent diversification of inspection devices and inspection objects, some of the inspection devices and inspection objects are designed to be connected to a probe pin through a conductor portion of an electric wire.

상기 프로브 핀은, 각 콘택트가 전자기 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 배열 방향에서 접촉함으로써, 전자기 부품과 피접속 전자 부품이 접속되도록 구성되어 있다. 이 때문에, 예를 들어 전자기 부품 및 피접속 전자 부품의 한쪽 또는 양쪽이, 전선의 도체부를 통하지 않으면 프로브 핀에 접속할 수 없도록 구성되어 있는 경우, 상기 프로브 핀을 사용하면, 전자기 부품과 피접속 전자 부품을 접속할 수 없는 경우가 있다.The probe pin is configured so that the electromagnetic component and the connected electronic component are connected by each contact contacting the electrode terminal of the electromagnetic component and the electrode terminal of the connected electronic component in the arrangement direction. For this reason, for example, when one or both of the electromagnetic component and the connected electronic component are configured so that they cannot be connected to the probe pin without passing through the conductor portion of the wire, using the probe pin allows the electromagnetic component and the connected electronic component to be connected. There are times when you cannot connect.

본 개시는, 전선의 도체부를 접속 가능한 프로브 핀, 및 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.The purpose of this disclosure is to provide a probe pin capable of connecting a conductor portion of an electric wire, and an inspection jig provided with this probe pin.

본 개시의 일례의 프로브 핀은,An example probe pin of the present disclosure is:

제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와,an elastic portion elastically deformable along a first direction;

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련되고, 전선의 도체부를 접속 가능한 접속부를A connection part is provided at one end of the elastic part in the first direction and is capable of connecting a conductor part of an electric wire.

구비한다.Equipped with

또한, 본 개시의 일례의 검사 지그는,Additionally, an example inspection jig of the present disclosure includes:

상기 프로브 핀과,The probe pin,

상기 접속부가 외부에 노출되도록 상기 프로브 핀이 수용된 수용부를 갖는 하우징을A housing having a receiving portion in which the probe pin is accommodated so that the connecting portion is exposed to the outside.

구비한다.Equipped with

상기 프로브 핀에 의하면, 제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와, 이 탄성부의 제1 방향의 일단에 마련되어 전선의 도체부를 접속 가능한 접속부를 구비하고 있다. 이 접속부에 의해, 전선의 도체부를 접속 가능한 프로브 핀을 실현할 수 있다.According to the probe pin, it has an elastic portion that can be elastically deformed along a first direction, and a connection portion that is provided at one end of the elastic portion in the first direction and is capable of connecting a conductor portion of an electric wire. With this connection portion, a probe pin capable of connecting the conductor portion of an electric wire can be realized.

상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 한쪽 또는 양쪽이, 전선의 도체부를 통하지 않으면 접속할 수 없도록 구성되어 있었다고 해도, 검사 장치 및 검사 대상물을 접속 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.According to the inspection jig, even if one or both of the inspection device and the inspection object are configured by the probe pin so that they cannot be connected without passing through the conductor portion of the electric wire, an inspection jig capable of connecting the inspection device and the inspection object can be realized. there is.

도 1은 본 개시의 제1 실시 형태의 검사 지그를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 단면도.
도 3은 본 개시의 제1 실시 형태의 프로브 핀을 나타내는 사시도.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도.
도 5는 도 1의 검사 지그의 제1 변형예를 나타내는 평면도.
도 6은 도 1의 검사 지그의 제2 변형예를 나타내는 평면도.
도 7은 본 개시의 제2 실시 형태의 검사 지그를 나타내는 사시도.
도 8은 도 7의 Ⅶ-Ⅶ선을 따른 단면도.
도 9는 본 개시의 제2 실시 형태의 프로브 핀을 나타내는 사시도.
도 10은 도 9의 프로브 핀의 평면도.1 is a perspective view showing an inspection jig according to a first embodiment of the present disclosure.
Figure 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in Figure 1.
Figure 3 is a perspective view showing a probe pin of the first embodiment of the present disclosure.
Figure 4 is a top view of the probe pin of Figure 3;
Fig. 5 is a plan view showing a first modified example of the inspection jig of Fig. 1;
Fig. 6 is a plan view showing a second modification of the inspection jig of Fig. 1;
Figure 7 is a perspective view showing an inspection jig according to a second embodiment of the present disclosure.
Figure 8 is a cross-sectional view taken along line VII-VII of Figure 7.
Figure 9 is a perspective view showing a probe pin according to a second embodiment of the present disclosure.
Figure 10 is a top view of the probe pin of Figure 9;

이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 불과하며, 본 개시, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하지는 않는다.Hereinafter, an example of the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, in the following description, terms indicating specific directions or positions (for example, terms including “up”, “down”, “right”, and “left”) are used as necessary, but the use of these terms are intended to facilitate understanding of the present disclosure with reference to the drawings, and the technical scope of the present disclosure is not limited by the meaning of these terms. In addition, the following description is merely illustrative in nature and is not intended to limit the present disclosure, its applications, or its uses. Additionally, the drawings are schematic, and the ratios of each dimension do not necessarily match those of reality.

(제1 실시 형태)(First Embodiment)

본 개시의 제1 실시 형태 프로브 핀(10)은, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 하우징(100)에 수용된 상태에서 사용되고, 하우징(100)과 함께 검사 지그(1)를 구성한다. 이 검사 지그(1)에는, 일례로서, 가늘고 긴 박판형의 도전성의 프로브 핀(10)이 복수 수용되어 있다.The probe pin 10 of the first embodiment of the present disclosure is used in a state accommodated in the housing 100, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, and the inspection jig 1 is used together with the housing 100. Compose. As an example, a plurality of thin, thin plate-shaped conductive probe pins 10 are accommodated in this inspection jig 1.

하우징(100)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 일례로서, 대략 사각 기둥형을 갖고 있다. 이 하우징(100)의 내부에는, 도 2에 도시한 바와 같이, 후술하는 프로브 핀(10)의 접속부(30)가 하우징(100)의 외부에 노출된 상태에서 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(110)가 마련되어 있다. 각 수용부(110)는, 제1 방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 연장되어 있음과 함께, 수용된 프로브 핀(10)의 판 두께 방향(예를 들어, X 방향)으로 간격을 두고 나열되어 배치되어 있다. 제1 실시 형태에서는, 수용된 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로 나열되어 배치된 4개의 수용부(110)로 구성된 열이, 4개의 수용부(110)의 열 배열 방향으로 직교하는 방향(예를 들어, Z 방향)으로 간격을 두고 2개 마련되어 있다.As shown in FIG. 1, the housing 100 has a substantially square pillar shape as an example. As shown in FIG. 2, inside the housing 100, a connection portion 30 of the probe pin 10, which will be described later, is provided to accommodate the probe pin 10 while being exposed to the outside of the housing 100. Part 110 is provided. Each accommodating portion 110 extends along the first direction (e.g., Y direction) and is arranged at intervals in the plate thickness direction (e.g., X direction) of the accommodated probe pin 10. and is placed. In the first embodiment, a row composed of four accommodation parts 110 arranged in a row in the plate thickness direction of the received probe pins 10 is arranged in a direction orthogonal to the row arrangement direction of the four accommodation parts 110 (e.g. For example, two are provided at intervals in the Z direction.

각 수용부(110)의 제1 방향의 양단부에는, 각각 제1 개구부(111) 및 제2 개구부(112)가 마련되어 있다. 제1 개구부(111)는, 하우징(100)의 Y 방향에 상대하는 한 쌍의 면의 한쪽인 제1 면(101)으로 개구되어 있다. 이 제1 개구부(111)를 통해 프로브 핀(10)의 접속부(30)가 하우징(100)의 외부에 노출되어 있다.A first opening 111 and a second opening 112 are provided at both ends of each accommodating portion 110 in the first direction, respectively. The first opening 111 is open to the first surface 101, which is one of a pair of surfaces opposing the Y direction of the housing 100. The connection part 30 of the probe pin 10 is exposed to the outside of the housing 100 through the first opening 111.

또한, 하우징(100)의 내부에는, Y 방향에 있어서의 제1 면(101)의 반대측의 제2 면(102)으로부터 Y 방향을 따라서 연장되는 단자 구멍(120)이 마련되어 있다. 이 단자 구멍(120)의 저면(121)에는, 제2 개구부(112)가 개구되어 있다. 이 제2 개구부(112)를 통해 후술하는 프로브 핀(10)의 접촉부(40)가, 단자 구멍(120)의 내부를 향해 돌출되어, 예를 들어 단자 구멍(120)에 삽입된 검사 장치의 접속 단자(300)(도 4 참조)에 접촉 가능하게 배치되어 있다.Additionally, inside the housing 100, a terminal hole 120 is provided extending along the Y direction from the second surface 102 on the opposite side to the first surface 101 in the Y direction. A second opening 112 is opened in the bottom surface 121 of this terminal hole 120. Through this second opening 112, the contact portion 40 of the probe pin 10, which will be described later, protrudes toward the inside of the terminal hole 120, for example, to connect an inspection device inserted into the terminal hole 120. It is arranged to be able to contact the terminal 300 (see FIG. 4).

각 프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 판 형상이며, Y 방향(제1 방향의 일례)을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 Y 방향의 양단에 각각 마련된 접속부(30) 및 접촉부(40)를 구비하고 있다. 각 프로브 핀은, 예를 들어 전주법으로 형성되고, 탄성부(20), 접속부(30) 및 접촉부(40)가, Y 방향을 따라서 직렬식으로 배치되고 또한 일체로 구성되어 있다.As shown in FIG. 3, each probe pin 10 is plate-shaped and includes an elastic portion 20 elastically deformable along the Y direction (an example of the first direction), and the Y direction of the elastic portion 20. It is provided with a connection part 30 and a contact part 40 provided at both ends, respectively. Each probe pin is formed, for example, by electroforming, and the elastic portion 20, the connecting portion 30, and the contact portion 40 are arranged in series along the Y direction and are integrally formed.

탄성부(20)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 서로 간극을 두고 배치된 복수의 탄성편(제1 실시 형태에서는, 4개의 탄성편)(21, 22, 23, 24)을 갖고 있다. 각 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 가늘고 긴 띠 형상이며, 접속부(30) 및 접촉부(40)에 각각 접속된 2개의 연장부(201, 202)와, 2개의 연장부(201, 202)에 접속된 1개의 만곡부(203)를 갖고 있다. 각 연장부(201, 202)는, 일례로서, 접속부(30)의 본체부(31) 또는 접촉부(40)의 본체부(41)의 폭 방향(예를 들어, Z 방향)의 일방측에 배치되고, 제1 방향에 교차하는 방향을 따라서 대략 직선형으로 연장되어 있다. 또한, 연장부(201)의 그 연장 방향의 일단부가, 탄성부(20)의 접속부(30)측의 단부를 구성하고, 연장부(202)의 그 연장 방향의 일단부가, 탄성부의 접촉부(40)측의 단부를 구성하고 있다. 각 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 일례로서, 대략 동일한 단면 형상을 갖고 있다.As shown in Fig. 4, the elastic portion 20 has a plurality of elastic pieces (four elastic pieces in the first embodiment) 21, 22, 23, and 24 arranged with a gap from each other. As shown in FIG. 4, each elastic piece (21, 22, 23, 24) is in the shape of a long, thin strip, and has two extension portions (201, 202) connected to the connecting portion (30) and the contact portion (40), respectively. and one curved portion 203 connected to two extension portions 201 and 202. Each of the extension parts 201 and 202 is, as an example, disposed on one side of the main body 31 of the connecting part 30 or the main body 41 of the contact part 40 in the width direction (for example, Z direction). and extends approximately in a straight line along a direction intersecting the first direction. In addition, one end of the extension portion 201 in the extension direction constitutes an end of the elastic portion 20 on the connection portion 30 side, and one end of the extension portion 202 in the extension direction constitutes the contact portion 40 of the elastic portion. ) It constitutes the end of the side. As an example, each elastic piece 21, 22, 23, and 24 has substantially the same cross-sectional shape.

접속부(30)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 전선의 도체부(200)를 접속 가능하게 구성되어 있다. 상세하게는, 접속부(30)는, Y 방향으로 연장되는 본체부(31)와, 이 본체부(31)의 Y 방향의 타단으로부터 제1 방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 연장되어 서로 이격되는 방향(예를 들어, Z 방향)으로 탄성 변형 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)을 갖고 있다. 본체부(31)는, Y 방향의 일단이 탄성부(20)에 접속되어 있다. 각 탄성 끼움 지지편(32, 33)은, 제1 방향에 직교하는 제2 방향(예를 들어, Z 방향)으로 서로 간극(34)을 두고 배치되어 있다. 이 간극(34)에 전선의 도체부(200)를 삽입함으로써, 전선의 도체부(200)가 각 탄성 끼움 지지편(32, 33)에 의해 끼움 지지된다. 바꾸어 말하면, 접속부(30)는, 전선의 도체부(200)를 끼움 지지 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)을 갖고 있다. As shown in FIG. 4, the connection portion 30 is configured to be able to connect the conductor portion 200 of the electric wire. In detail, the connection portion 30 includes a main body portion 31 extending in the Y direction and a main body portion 31 extending along a first direction (e.g., Y direction) from the other end of the main body portion 31 in the Y direction. It has a pair of elastic fitting support pieces 32 and 33 that are elastically deformable in a spaced apart direction (for example, Z direction). One end of the main body portion 31 in the Y direction is connected to the elastic portion 20. Each of the elastic fitting pieces 32 and 33 is arranged with a gap 34 between each other in the second direction (for example, Z direction) perpendicular to the first direction. By inserting the conductor portion 200 of the electric wire into this gap 34, the conductive portion 200 of the electric wire is clamped and supported by the elastic fitting pieces 32 and 33. In other words, the connection portion 30 has a pair of elastic clamping pieces 32 and 33 capable of clamping the conductor portion 200 of the electric wire.

또한, 접속부(30)는, 접속부(30)를 그 판 두께 방향으로 관통하는 대략 C자형의 관통 구멍(36)을 갖고 있다. 간극(34)의 본체부(31)측의 단부(341)는, 판 두께 방향(예를 들어, X 방향)에서 보아, 대략 원 형상을 갖고 있다. 이 간극(34)의 본체부(31)측의 단부(341) 둘레에, 관통 구멍(36)이 배치되어 있다. 이 관통 구멍(36)에 의해, 각 탄성 끼움 지지편(32, 33)의 Z 방향에 있어서의 탄성 변형을 용이하게 하고 있다.Additionally, the connection portion 30 has a substantially C-shaped through hole 36 that penetrates the connection portion 30 in the thickness direction. The end portion 341 of the gap 34 on the main body portion 31 side has a substantially circular shape when viewed from the plate thickness direction (for example, the X direction). A through hole 36 is disposed around the end 341 of the gap 34 on the main body 31 side. This through hole 36 facilitates elastic deformation of each elastic fitting piece 32, 33 in the Z direction.

접촉부(40)는, 도 4에 도시한 바와 같이, Y 방향으로 연장됨과 함께 Y 방향의 일단이 탄성부(20)에 접속된 본체부(41)와, 이 본체부(41)의 Y 방향의 타단으로부터 Y 방향으로 연장되어 서로 이격되는 방향(예를 들어, Z 방향)으로 휨 가능한 한 쌍의 다리부(42, 43)와, 검사 대상물의 볼록 접점에 접촉 가능하게 한 쌍의 다리부(42, 43)의 선단에 배치된 한 쌍의 접점부(421, 431)를 갖고 있다. 각 다리부(42, 43)의 서로 대향하는 대향면에는, 스토퍼(44)가 각각 마련되어 있다. 각 스토퍼(44)는, 각 다리부(42, 43)의 대향면으로부터 서로 접근하는 방향으로 돌출되어 있다. 이 스토퍼(44)에 의해, 예를 들어 검사 장치의 접속 단자(300)의 과잉 삽입을 방지할 수 있다.As shown in FIG. 4, the contact portion 40 includes a main body portion 41 extending in the Y direction and one end of the Y direction connected to the elastic portion 20, and a A pair of leg parts 42, 43 extending in the Y direction from the other end and bendable in directions spaced apart from each other (for example, the Z direction), and a pair of leg parts 42 capable of contacting the convex contact point of the inspection object , 43) has a pair of contact portions 421 and 431 disposed at the tip. Stoppers 44 are provided on opposite surfaces of the leg portions 42 and 43 that face each other. Each stopper 44 protrudes from opposing surfaces of each leg portion 42, 43 in a direction approaching each other. This stopper 44 can prevent, for example, excessive insertion of the connection terminal 300 of the inspection device.

또한, 접속부(30) 및 접촉부(40)에는, 각각 지지부(50)가 마련되어 있다. 각 지지부(50)는, 본체부(31, 41)로부터 Z 방향으로 연장되어 있으며, 도 2에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(10)이 하우징(100)의 수용부(110)에 수용되었을 때, 수용부(110)의 내주면에 맞닿도록 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 각 지지부(50)에 의해, 프로브 핀(10)이 수용부(110)에 보유 지지된다.Additionally, a support portion 50 is provided at the connection portion 30 and the contact portion 40, respectively. Each support portion 50 extends in the Z direction from the main body portions 31 and 41, and as shown in FIG. 2, when the probe pin 10 is accommodated in the receiving portion 110 of the housing 100, , is arranged to contact the inner peripheral surface of the receiving portion 110. In other words, the probe pin 10 is held in the receiving portion 110 by each support portion 50 .

제1 실시 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, Y 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 Y 방향의 일단에 마련되어 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 접속부(30)를 구비하고 있다. 이 접속부(30)에 의해, 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the first embodiment, an elastic portion 20 capable of elastic deformation along the Y direction is provided at one end of the elastic portion 20 in the Y direction to enable connection to the conductor portion 200 of an electric wire. It is provided with a connection part (30). With this connection portion 30, the probe pin 10 capable of connecting the conductor portion 200 of the electric wire can be realized.

제1 실시 형태에서는, 접속부(30)는, Y 방향을 따라서 연장됨과 함께, 서로 이격되는 방향으로 탄성 변형되어 전선의 도체부(200)를 끼움 지지 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)을 갖고 있다. 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)에 의해, 전선의 도체부(200)를 끼움 지지할 수 있으므로, 전선의 도체부(200)를 압착에 의해 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.In the first embodiment, the connection portion 30 extends along the Y direction and includes a pair of elastic fitting pieces 32 and 33 that are elastically deformed in directions spaced apart from each other and capable of clamping the conductor portion 200 of the electric wire. ) has. Since the conductor portion 200 of the electric wire can be clamped by the pair of elastic fitting pieces 32 and 33, the probe pin 10 that can be connected by crimping the conductive portion 200 of the electric wire can be realized. there is.

또한, 검사 지그(1)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 한쪽 또는 양쪽이, 전선의 도체부(200)를 통하지 않으면 접속할 수 없도록 구성되어 있었다고 해도, 검사 장치 및 검사 대상물을 접속 가능한 검사 지그(1)를 실현할 수 있다.In addition, according to the inspection jig 1, even if one or both of the inspection device and the inspection object are configured by the probe pin 10 so that they cannot be connected without passing through the conductor portion 200 of the electric wire, the inspection device and An inspection jig 1 capable of connecting inspection objects can be realized.

또한, 하우징(100)의 각 수용부(110)에 수용되는 프로브 핀(10)은, 1개에 한정되지 않고, 복수여도 된다. 예를 들어, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 수용부(110)에는, 복수의 프로브 핀(10)(도 5에서는, 3개의 프로브 핀(10))이 서로 접촉한 상태에서 판 두께 방향으로 적층되고, 1개의 전선의 도체부(200)가 접속되는 프로브 핀 적층체(2)를 수용할 수 있다. 이와 같이, 프로브 핀 적층체(2)를 사용함으로써, 예를 들어 1개의 프로브 핀(10)이 수용 유지된 검사 지그(1)와 비교하여, 큰 전류를 흐르게 할 수 있는 검사 지그(1)를 얻을 수 있다.Additionally, the number of probe pins 10 accommodated in each accommodating portion 110 of the housing 100 is not limited to one, and may be plural. For example, as shown in FIG. 5, in each receiving portion 110, a plurality of probe pins 10 (in FIG. 5, three probe pins 10) are in contact with each other in the plate thickness direction. It can accommodate the probe pin stack 2, which is stacked and to which the conductor portion 200 of one wire is connected. In this way, by using the probe pin laminate 2, for example, a test jig 1 capable of flowing a large current compared to a test jig 1 in which one probe pin 10 is accommodated and held is provided. You can get it.

또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 각 수용부(110)는, 예를 들어 수용된 프로브 핀(10)의 판 두께 방향(예를 들어, X 방향)으로 간격을 두고 나열되어 배치되어 있음과 함께, Z 방향으로 접속부(30)가 교대로 어긋난 지그재그 형상으로 배치할 수 있다. 이와 같이, 각 수용부(110)는, 수용되는 프로브 핀(10)의 형상 및 크기, 혹은 검사 장치 및 검사 대상물의 접속 단자의 배치 등에 따라 그 형상, 크기 및 배치를 변경할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 6, each accommodating portion 110 is arranged in a row at intervals in the thickness direction (e.g., X direction) of the accommodated probe pin 10. , the connection parts 30 can be arranged in a zigzag shape with the connection parts 30 alternately shifted in the Z direction. In this way, each accommodating part 110 can change its shape, size, and arrangement depending on the shape and size of the probe pin 10 accommodated, or the arrangement of the connection terminals of the inspection device and the inspection object.

검사 지그(1)는, 적어도 하나의 프로브 핀(10)과, 이 프로브 핀(10)을 내부에 수용하는 하우징(100)을 구비하고 있으면 된다.The inspection jig 1 need only be provided with at least one probe pin 10 and a housing 100 that accommodates the probe pin 10 therein.

(제2 실시 형태)(Second Embodiment)

본 개시의 제2 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 도 7 내지 도 10에 도시한 바와 같이, 접속부(30)가, 납땜에 의해 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 납땜부(35)를 갖도록 구성되어 있는 점에서, 제1 실시 형태와는 다르다. 제2 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일 부분에 동일 참조 번호를 부여하여 설명을 생략하고, 제1 실시 형태와 상이한 점에 대하여 설명한다.As shown in FIGS. 7 to 10, the probe pin 10 of the second embodiment of the present disclosure has a soldering portion 35 in which the connecting portion 30 can connect the conductor portion 200 of the electric wire by soldering. It is different from the first embodiment in that it is configured to have. In the second embodiment, the same reference numerals are given to the same parts as those in the first embodiment, description is omitted, and points different from the first embodiment are explained.

도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 제2 실시 형태에서는, 검사 지그(1)는, 제1 방향(예를 들어, Y 방향)을 따른 단면이 대략 L자형의 하우징(100)을 구비하고 있다. 이 하우징(100)에는, 15개의 수용부(110)가 수용된 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로 간격을 두고 일렬로 나열되어 배치되어 있다.As shown in FIGS. 7 and 8, in the second embodiment, the inspection jig 1 has a housing 100 whose cross-section along the first direction (for example, Y direction) is approximately L-shaped, there is. In this housing 100, 15 accommodating portions 110 are arranged in a row at intervals in the thickness direction of the probe pin 10 in which they are accommodated.

각 프로브 핀(10)의 탄성부(20)는, 도 10에 도시한 바와 같이, 서로 간극을 두고 배치된 복수의 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 탄성편)(25, 26)으로 구성되어 있다. 각 탄성편(25, 26)은, 도 10에 도시한 바와 같이, 가늘고 긴 띠 형상이며, Z 방향으로 연장되는 복수의 연장부(제2 실시 형태에서는, 일례로서, 10개의 연장부(28))와, 인접하는 연장부(28)에 양단이 접속된 복수의 만곡부(27)(제2 실시 형태에서는, 일례로서, 9개의 만곡부(27))가, Z 방향을 따라서 교대로 접속된 사행 형상을 갖고 있다. 각 탄성편(25, 26)의 Y 방향의 양단의 연장부(28)가, 접속부(30)의 본체부(31) 및 접촉부(40)의 본체부(41)에 각각 접속되어 있다. 각 연장부(28)는, 일례로서, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향을 따라 보았을 때, 본체부(41)의 폭 방향의 한쪽단보다도 다른 쪽 단측에 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 각 연장부(28)는, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향을 따라 보았을 때, 본체부(41)의 폭 방향에 있어서의 Z 방향의 하측의 단보다도, Z 방향의 상측에 배치되어 있다. 또한, 각 연장부(28)는, 제1 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교하는 방향)을 따라 대략 직선형으로 연장되어 있으며, 연장부(201)의 그 연장 방향의 일단부가, 탄성부(20)의 접속부(30)측의 단부를 구성하고, 연장부(202)의 그 연장 방향의 일단부가, 탄성부의 접촉부(40)측의 단부를 구성하고 있다.The elastic portion 20 of each probe pin 10 is composed of a plurality of elastic pieces (in this embodiment, two elastic pieces) 25 and 26 arranged with a gap from each other, as shown in FIG. 10. It is done. As shown in FIG. 10, each elastic piece 25, 26 is in the shape of a long, thin strip and has a plurality of extension parts extending in the Z direction (in the second embodiment, as an example, 10 extension parts 28) ) and a plurality of curved portions 27 (in the second embodiment, nine curved portions 27 as an example), both ends of which are connected to adjacent extension portions 28, have a meandering shape in which they are alternately connected along the Z direction. has. Extension portions 28 at both ends of the elastic pieces 25 and 26 in the Y direction are connected to the main body portion 31 of the connecting portion 30 and the main body portion 41 of the contact portion 40, respectively. As an example, each extension portion 28 is disposed on the other end of the body portion 41 in the width direction when viewed along the thickness direction of the probe pin 10. In other words, each extension portion 28 is disposed above the Z direction rather than the lower end of the Z direction in the width direction of the main body portion 41 when viewed along the thickness direction of the probe pin 10. It is done. Additionally, each extension portion 28 extends in a substantially straight line along a direction intersecting the first direction (for example, a direction perpendicular to the first direction), and one end of the extension portion 201 in the extension direction is an elastic portion. The end portion of 20 on the side of the connecting portion 30 is formed, and one end of the extension portion 202 in its extension direction constitutes an end portion on the contact portion 40 side of the elastic portion.

각 프로브 핀(10)의 접속부(30)는, 도 10에 도시한 바와 같이, Y 방향으로 연장됨과 함께 Y 방향의 일단이 탄성부(20)에 접속된 본체부(31)와, 이 본체부(31)의 Y 방향의 타단에 접속된 납땜부(35)를 갖고 있다. 이 납땜부(35)는, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향(예를 들어, X 방향)에서 보아, 대략 사각 환 형상을 갖고 있다. 제2 실시 형태에서는, 도 8에 도시한 바와 같이, 각 프로브 핀(10)의 접속부(30)는, 납땜부(35)가, 수용부(110)의 제1 개구부(111)를 통해 하우징(100)의 외부로 돌출되어 있다.As shown in FIG. 10, the connection portion 30 of each probe pin 10 includes a main body portion 31 extending in the Y direction and one end of the Y direction connected to the elastic portion 20, and this main body portion It has a soldering portion (35) connected to the other end of (31) in the Y direction. This soldering portion 35 has a substantially square ring shape when viewed from the thickness direction of the probe pin 10 (for example, the X direction). In the second embodiment, as shown in FIG. 8, the connection portion 30 of each probe pin 10 has a soldering portion 35 connected to the housing ( It protrudes to the outside of 100).

각 프로브 핀(10)의 접촉부(40)는, 도 10에 도시한 바와 같이, Y 방향으로 연장됨과 함께 Y 방향의 일단이 탄성부(20)에 접속된 본체부(41)와, 이 본체부(41)의 Y 방향의 타단으로부터 Y 방향으로 돌출되는 한 쌍의 접점부(421, 431)를 갖고 있다.As shown in FIG. 10, the contact portion 40 of each probe pin 10 includes a main body portion 41 extending in the Y direction and one end of the Y direction connected to the elastic portion 20, and this main body portion It has a pair of contact portions 421 and 431 protruding in the Y direction from the other end of (41) in the Y direction.

제2 실시 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 접속부(30)가, 납땜에 의해 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 납땜부(35)를 갖고 있다. 이 납땜부(35)에 의해, 전선의 도체부(200)를 납땜에 의해 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the second embodiment, the connecting portion 30 has a soldering portion 35 capable of connecting the conductor portion 200 of the electric wire by soldering. With this soldering portion 35, it is possible to realize a probe pin 10 that can be connected to the conductor portion 200 of the electric wire by soldering.

또한, 납땜부(35)는, 제2 실시 형태에 한정되지 않고, 납땜에 의해 전선의 도체부(200)를 접속 가능하면, 임의의 구성을 채용할 수 있다.Additionally, the soldering portion 35 is not limited to the second embodiment, and any configuration can be adopted as long as the conductor portion 200 of the electric wire can be connected by soldering.

접속부(30)는, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에 한정되지 않고, 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 다른 구성을 채용할 수도 있다.The connection portion 30 is not limited to the first and second embodiments, and other configurations capable of connecting the conductor portion 200 of the electric wire may be adopted.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세히 설명하였지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서, 참조 부호도 붙여 기재한다.While various embodiments of the present disclosure have been described in detail with reference to the drawings, finally, various embodiments of the present disclosure will be described. In addition, in the following description, reference numerals are used as examples.

본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the first aspect of the present disclosure,

제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와,an elastic portion 20 that is elastically deformable along a first direction;

상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향의 일단에 마련되고, 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 접속부(30)를A connection part 30 is provided at one end of the elastic part 20 in the first direction and is capable of connecting the conductor part 200 of the electric wire.

구비한다.Equipped with

제1 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 접속부(30)에 의해, 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the first aspect, the probe pin 10 capable of connecting the conductor portion 200 of the electric wire can be realized by the connection portion 30.

본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the second aspect of the present disclosure,

상기 접속부(30)가, 상기 제1 방향을 따라서 연장됨과 함께, 서로 이격되는 방향으로 탄성 변형되어 상기 도체부(200)를 끼움 지지 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)을 갖고 있다.The connection portion 30 extends along the first direction and has a pair of elastic fitting pieces 32 and 33 that are elastically deformed in directions spaced apart from each other and capable of holding the conductor portion 200. .

제2 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)에 의해, 전선의 도체부(200)를 끼움 지지 할 수 있으므로, 전선의 도체부(200)를 압착에 의해 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the second aspect, the conductor portion 200 of the electric wire can be clamped and supported by the pair of elastic fitting pieces 32 and 33, so that the conductive portion 200 of the electric wire can be pressed. It is possible to realize a connectable probe pin 10.

본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the third aspect of the present disclosure,

상기 접속부(30)가, 납땜에 의해 상기 도체부(200)를 접속 가능한 납땜부(35)를 갖고 있다.The connecting portion 30 has a soldering portion 35 capable of connecting the conductor portion 200 by soldering.

제3 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 납땜부(35)에 의해, 전선의 도체부(200)를 납땜에 의해 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the third aspect, the probe pin 10 that can be connected to the conductor portion 200 of the electric wire by soldering can be realized by the soldering portion 35.

본 개시의 제4 양태의 검사 지그(1)는,The inspection jig 1 of the fourth aspect of the present disclosure,

상기 양태의 프로브 핀(10)과,A probe pin (10) of the above aspect,

상기 접속부(30)가 외부에 노출되도록 상기 프로브 핀(10)이 수용된 수용부(110)를 갖는 하우징(100)을A housing 100 having a receiving portion 110 in which the probe pin 10 is accommodated so that the connecting portion 30 is exposed to the outside.

구비한다.Equipped with

제4 양태의 검사 지그(1)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 한쪽 또는 양쪽이, 전선의 도체부(200)를 통하지 않으면 접속할 수 없도록 구성되어 있었다고 해도, 검사 장치 및 검사 대상물을 접속 가능한 검사 지그(1)를 실현할 수 있다.According to the inspection jig 1 of the fourth aspect, even if one or both of the inspection device and the inspection object are configured by the probe pin 10 so that they cannot be connected without passing through the conductor portion 200 of the electric wire, inspection is possible. An inspection jig 1 capable of connecting a device and an inspection object can be realized.

본 개시의 제5 양태의 검사 지그(1)는,The inspection jig 1 of the fifth aspect of the present disclosure,

상기 프로브 핀(10)이, 복수의 상기 프로브 핀(10)이 서로 접촉한 상태에서 판 두께 방향으로 적층되고, 1개의 상기 전선의 상기 도체부(200)가 접속되는 프로브 핀 적층체(2)이며,A probe pin laminate (2) in which the probe pins (10) are stacked in the plate thickness direction with a plurality of the probe pins (10) in contact with each other, and the conductor portion (200) of one of the electric wires is connected. and

상기 수용부(110)가, 상기 프로브 핀 적층체(2)를 수용 가능하다.The receiving portion 110 can accommodate the probe pin laminate 2.

제5 양태의 검사 지그(1)에 의하면, 프로브 핀 적층체(2)에 의해, 예를 들어 1개의 프로브 핀(10)이 수용 유지된 검사 지그(1)와 비교하여, 큰 전류를 흐르게 할 수 있는 검사 지그(1)를 얻을 수 있다.According to the inspection jig 1 of the fifth aspect, compared to the inspection jig 1 in which, for example, one probe pin 10 is accommodated and held by the probe pin laminate 2, a large current can be passed. You can obtain an inspection jig (1) that can be used.

본 개시의 제6 양태의 검사 지그(1)는,The inspection jig 1 of the sixth aspect of the present disclosure,

상기 프로브 핀(10)이, 복수의 상기 프로브 핀(10)이며,The probe pins 10 are a plurality of probe pins 10,

상기 수용부(110)가, 각각에 상기 프로브 핀(10)을 적어도 1개 수용 가능한 복수의 상기 수용부(110)이며,The accommodating part 110 is a plurality of accommodating parts 110, each of which can accommodate at least one probe pin 10,

상기 수용부(110)의 각각이, 수용된 상기 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로 간격을 두고 나열되어 배치되어 있음과 함께, 상기 제1 방향에서 보아, 상기 판 두께 방향으로 교차하는 제2 방향으로 상기 접속부(30)가 교대로 어긋난 지그재그 형상으로 배치되어 있다.Each of the accommodating portions 110 is arranged at intervals in the thickness direction of the probe pin 10 accommodated, and a second direction intersecting the thickness direction when viewed from the first direction. The connection portions 30 are arranged in a zigzag shape that is alternately shifted.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각의 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.In addition, by appropriately combining any of the above various embodiments or modifications, each effect can be achieved. In addition, a combination of embodiments, a combination of examples, or a combination of an embodiment and an example is possible, and a combination of features in other embodiments or examples is also possible.

본 개시는, 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련자들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정은 명백하다. 그와 같은 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 개시의 범위로부터 벗어나지 않는 한, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.Although the present disclosure has been fully described in relation to preferred embodiments with reference to the accompanying drawings, various variations and modifications will be apparent to those skilled in the art. It should be understood that such changes and modifications are included therein, as long as they do not depart from the scope of the present disclosure as defined by the appended claims.

본 개시의 프로브 핀은, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.The probe pin of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection jig used for inspection of semiconductors such as camera devices, USB devices, or QFN devices and SON devices.

본 개시의 검사 지그는, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection jig of the present disclosure can be applied to an inspection device used to inspect semiconductors such as camera devices, USB devices, QFN devices, and SON devices, for example.

1: 검사 지그
2: 프로브 핀 적층체
10: 프로브 핀
20: 탄성부
201, 202: 연장부
203: 만곡부
21, 22, 23, 24: 탄성편
25, 26: 탄성편
27: 만곡부
28: 연장부
30: 접속부
31: 본체부
32, 33: 탄성 끼움 지지편
34: 간극
341: 단부
35: 납땜부
36: 관통 구멍
40: 접촉부
41: 본체부
42, 43: 다리부
44: 스토퍼
50: 지지부
100: 하우징
101: 제1 면
102: 제2 면
110: 수용부
111: 제1 개구부
112: 제2 개구부
120: 단자 구멍
200: 도체부
300: 접속 단자1: Inspection jig
2: Probe pin stack
10: Probe pin
20: elastic part
201, 202: extension part
203: curved portion
21, 22, 23, 24: Elastic piece
25, 26: elastic piece
27: curved part
28: extension part
30: connection part
31: main body
32, 33: Elastic fitting support piece
34: gap
341: end
35: Soldering part
36: Through hole
40: contact part
41: main body
42, 43: Legs
44: stopper
50: support part
100: housing
101: side 1
102: Side 2
110: Receiving part
111: first opening
112: second opening
120: terminal hole
200: conductor part
300: connection terminal

Claims (6)

제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련되고, 전선의 도체부를 접속 가능한 접속부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련되는 접촉부를
구비하고,
상기 탄성부가, 서로 간극을 두고 배치된 복수의 탄성편을 갖고,
상기 접촉부가, 볼록 접점에 접촉 가능한 한 쌍의 접점부를 갖고,
상기 접속부가, 상기 제1 방향을 따라 각각 연장되어 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 서로 간극을 두고 배치되어 있고, 서로 이격되는 방향으로 탄성 변형되어 상기 도체부를 끼움 지지 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편을 갖고,
상기 간극의 상기 탄성부의 가까이에 위치하는 단부 둘레에 관통 구멍이 설치되어 있고, 판 형상인, 프로브 핀.an elastic portion elastically deformable along a first direction;
a connection portion provided at one end of the elastic portion in the first direction and capable of connecting a conductor portion of an electric wire;
A contact portion provided at the other end of the elastic portion in the first direction
Equipped with
The elastic portion has a plurality of elastic pieces arranged with a gap from each other,
The contact portion has a pair of contact portions capable of contacting the convex contact point,
The connection portions each extend along the first direction and are disposed with a gap from each other in a second direction perpendicular to the first direction, and are elastically deformed in directions spaced apart from each other, so as to be capable of sandwiching the conductor portion. Having a fitting support piece,
A probe pin having a plate shape and having a through hole provided around an end located near the elastic portion of the gap. 제1항에 있어서,
상기 관통 구멍이 상기 단부 둘레에 위치하는 C자형을 갖는, 프로브 핀.According to paragraph 1,
A probe pin, wherein the through hole has a C shape located around the end. 제2항에 있어서,
상기 단부는 원 형상을 갖는, 프로브 핀.According to paragraph 2,
A probe pin, wherein the end has a circular shape. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 프로브 핀과,
상기 접속부가 외부에 노출되도록 상기 프로브 핀이 수용된 수용부를 갖는 하우징을
구비하는, 검사 지그.The probe pin of any one of claims 1 to 3,
A housing having a receiving portion in which the probe pin is accommodated so that the connecting portion is exposed to the outside.
Equipped with an inspection jig. 제4항에 있어서,
상기 프로브 핀이, 복수의 상기 프로브 핀이 서로 접촉한 상태에서 판 두께 방향으로 적층되고, 1개의 상기 전선의 상기 도체부가 접속되는 프로브 핀 적층체이며,
상기 수용부가, 상기 프로브 핀 적층체를 수용 가능한, 검사 지그.According to paragraph 4,
The probe pin is a probe pin laminate in which a plurality of probe pins are stacked in the thickness direction while in contact with each other, and the conductor portion of one of the electric wires is connected,
An inspection jig wherein the receiving portion can accommodate the probe pin laminate. 제4항에 있어서,
상기 프로브 핀이, 복수의 상기 프로브 핀이며,
상기 수용부가, 각각에 상기 프로브 핀을 적어도 1개 수용 가능한 복수의 상기 수용부이며,
상기 수용부의 각각이, 수용된 상기 프로브 핀의 판 두께 방향으로 간격을 두고 나열되어 배치되어 있음과 함께, 상기 제1 방향에서 보아, 상기 판 두께 방향으로 교차하는 제2 방향에 상기 접속부가 교대로 어긋난 지그재그 형상으로 배치되어 있는, 검사 지그.According to paragraph 4,
The probe pins are a plurality of the probe pins,
The accommodating portion is a plurality of accommodating portions each capable of accommodating at least one probe pin,
Each of the receiving portions is arranged at intervals in the sheet thickness direction of the probe pin accommodated, and when viewed from the first direction, the connecting portions are alternately shifted in a second direction intersecting the sheet thickness direction. An inspection jig arranged in a zigzag shape.
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