KR20240051822A

KR20240051822A - Inspection socket and inspection device

Info

Publication number: KR20240051822A
Application number: KR1020230121533A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 다카히로 사카이; 다이치 오노야마
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2022-10-13
Filing date: 2023-09-13
Publication date: 2024-04-22
Also published as: CN219871495U; JP2024057787A; CN117890636A

Abstract

[과제] 접촉 신뢰성이 높은 검사 소켓 및 검사 장치를 제공하는 것.
[해결 수단] 검사 소켓이, 적어도 1개의 판상의 프로브 핀과, 하우징과, 도통 부재를 구비한다. 프로브 핀은, 제1 방향의 한쪽에 마련된 제1 단부와 제1 방향의 다른 쪽에 마련된 제2 단부를 갖는다. 하우징은, 제1 단부가 외부에 노출된 상태에서 프로브 핀을 내부에 수용한다. 도통 부재는, 하우징의 제1 방향에 있어서 제1 단부보다도 제2 단부에 가까운 부분에 마련되며, 제2 단부에 전기적으로 접속되어 있다. 하우징이, 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라서 연장되어 있고, 프로브 핀이, 제2 방향이 두께 방향이 되도록 하우징의 내부에 수용되어 있다.[Task] To provide inspection sockets and inspection devices with high contact reliability.
[Solution] A test socket includes at least one plate-shaped probe pin, a housing, and a conductive member. The probe pin has a first end provided on one side of the first direction and a second end provided on the other side of the first direction. The housing accommodates the probe pin therein with the first end exposed to the outside. The conductive member is provided in a portion closer to the second end than the first end in the first direction of the housing, and is electrically connected to the second end. The housing extends along a second direction intersecting the first direction, and the probe pin is accommodated inside the housing so that the second direction becomes the thickness direction.

Description

INSPECTION SOCKET AND INSPECTION DEVICE}

본 개시는, 검사 소켓 및 검사 장치에 관한 것이다.This disclosure relates to a test socket and a test device.

특허문헌 1에는, 태양 전지 전극용 검사 장치가 기재되어 있다.Patent Document 1 describes an inspection device for solar cell electrodes.

일본 특허 공개 제2008-071989호 공보Japanese Patent Publication No. 2008-071989

일반적으로, 특허문헌 1의 검사 장치를 포함하는 검사 장치에서는, 원통 형상의 스프링 프로브(소위 포고핀)가 사용된다. 그러나, 통상, 포고핀은, 태양 전지의 폭이 좁은 전극에 적합한 형상의 선단을 갖고 있지 않아, 검사 시에 접촉 불량을 일으키는 경우가 있다.Generally, in inspection devices including the inspection device of Patent Document 1, a cylindrical spring probe (so-called pogo pin) is used. However, pogo pins usually do not have tip shapes suitable for the narrow electrodes of solar cells, which may cause contact defects during inspection.

본 개시는, 접촉 신뢰성이 높은 검사 소켓 및 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present disclosure aims to provide a test socket and test device with high contact reliability.

본 개시의 일 양태의 검사 소켓은,The test socket of one aspect of the present disclosure includes:

제1 방향의 한쪽에 마련된 제1 단부와, 상기 제1 방향의 다른 쪽에 마련된 제2 단부를 갖는 적어도 1개의 판상의 프로브 핀과,At least one plate-shaped probe pin having a first end provided on one side in the first direction and a second end provided on the other side of the first direction;

상기 제1 단부가 외부에 노출된 상태에서 상기 프로브 핀을 내부에 수용하는 하우징과,a housing accommodating the probe pin therein with the first end exposed to the outside;

상기 하우징의 상기 제1 방향에 있어서 상기 제1 단부보다도 상기 제2 단부에 가까운 부분에 마련되며, 상기 제2 단부에 전기적으로 접속된 도통 부재를A conductive member provided in a portion of the housing closer to the second end than the first end in the first direction and electrically connected to the second end.

구비하고,Equipped with

상기 하우징이, 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라서 연장되어 있고,the housing extends along a second direction intersecting the first direction,

상기 프로브 핀이, 상기 제2 방향이 두께 방향이 되도록 상기 하우징의 내부에 수용되고,The probe pin is accommodated inside the housing so that the second direction is a thickness direction,

상기 프로브 핀의 상기 제1 단부가, 상기 제1 방향에 있어서, 상기 제2 방향을 따라서 연장되는 가늘고 긴 전극을 포함하는 검사 대상물의 상기 전극에 대향하고, 상기 전극에 교차한 상태에서 접촉 가능하게 구성되어 있다.The first end of the probe pin faces, in the first direction, the electrode of an inspection object including an elongated electrode extending along the second direction, and is capable of contacting the electrode while crossing the electrode. Consists of.

본 개시의 일 양태의 검사 장치는,The inspection device of one aspect of the present disclosure includes:

적어도 1개의 상기 양태의 검사 소켓을 구비한다.At least one test socket of the above-described aspect is provided.

본 개시에 의하면, 접촉 신뢰성이 높은 검사 소켓 및 검사 장치를 제공할 수 있다.According to the present disclosure, a test socket and test device with high contact reliability can be provided.

도 1은 본 개시의 일 실시 상태의 검사 장치를 도시하는 사시도.
도 2는 도 1의 검사 장치의 확대 정면도.
도 3은 도 2의 III-III선을 따른 단면도.
도 4는 본 개시의 일 실시 형태의 검사 소켓을 도시하는 사시도.
도 5는 도 4의 V-V선을 따른 단면도.
도 6은 도 4의 검사 소켓의 프로브 핀을 도시하는 사시도.
도 7은 누름 부재를 제거한 상태의 도 4의 검사 소켓을 도시하는 확대 사시도.
도 8은 도 4의 검사 소켓의 제1 변형예를 도시하는 단면도.
도 9는 누름 부재를 제거한 상태의 도 8의 검사 소켓을 도시하는 확대 사시도.
도 10은 도 4의 검사 소켓의 제2 변형예의 프로브 핀을 도시하는 사시도.
도 11은 도 4의 검사 소켓의 제2 변형예를 도시하는 확대 상면도.
도 12는 도 4의 검사 소켓의 제3 변형예의 프로브 핀을 도시하는 확대 평면도.
도 13은 도 4의 검사 소켓의 제4 변형예의 프로브 핀을 도시하는 확대 평면도.
도 14는 도 4의 검사 소켓의 제5 변형예를 도시하는 확대 정면.
도 15는 도 4의 검사 소켓의 제6 변형예의 도통 부재를 도시하는 저면도.
도 16은 도 4의 검사 소켓의 제6 변형예의 도통 부재를 도시하는 상면도.1 is a perspective view showing an inspection device in one embodiment of the present disclosure.
Fig. 2 is an enlarged front view of the inspection device of Fig. 1;
Figure 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in Figure 2.
4 is a perspective view showing a test socket according to one embodiment of the present disclosure.
Figure 5 is a cross-sectional view taken along line VV of Figure 4.
Figure 6 is a perspective view showing a probe pin of the test socket of Figure 4;
Fig. 7 is an enlarged perspective view showing the inspection socket of Fig. 4 with the pressing member removed;
Fig. 8 is a cross-sectional view showing a first modified example of the test socket of Fig. 4;
Fig. 9 is an enlarged perspective view showing the inspection socket of Fig. 8 with the pressing member removed;
Fig. 10 is a perspective view showing a probe pin of a second modification of the test socket of Fig. 4;
Fig. 11 is an enlarged top view showing a second modification of the inspection socket of Fig. 4;
Fig. 12 is an enlarged plan view showing a probe pin of a third modification of the test socket of Fig. 4;
Fig. 13 is an enlarged plan view showing a probe pin of a fourth modification of the test socket of Fig. 4;
Fig. 14 is an enlarged front view showing a fifth modification of the inspection socket of Fig. 4;
Fig. 15 is a bottom view showing a conductive member of a sixth modification of the inspection socket of Fig. 4;
Fig. 16 is a top view showing a conductive member of a sixth modification of the inspection socket of Fig. 4;

이하, 본 개시의 일 예를 첨부 도면에 따라서 설명한다. 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않고, 본 개시, 본 개시의 적용물, 또는, 본 개시의 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하고 있지는 않다.Hereinafter, an example of the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. The following description is merely illustrative in nature and is not intended to limit the present disclosure, applications of the present disclosure, or uses of the present disclosure. The drawings are schematic, and the ratios of each dimension do not necessarily match those of reality.

본 개시의 일 실시 형태의 검사 장치(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 적어도 1개의 검사 소켓(10)을 구비한다. 검사 장치(1)는, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 후술하는 검사 소켓(10)의 프로브 핀(20)의 제1 단부(21)가, 제1 방향(예를 들어, Z 방향)에 있어서, 검사 대상물(예를 들어, 솔라 패널)(100)의 가늘고 긴 전극(110)에 대향하고, 전극(110)에 교차(예를 들어, 직교)한 상태에서 접촉 가능하게 구성되어 있다. 전극(110)은, 예를 들어 제1 방향 Z에 교차하는 제2 방향(예를 들어, X 방향)을 따라서 연장되어 있다.As shown in FIG. 1, the inspection device 1 of one embodiment of the present disclosure is provided with at least one inspection socket 10. As shown in FIGS. 2 and 3, the test device 1 has the first end 21 of the probe pin 20 of the test socket 10, which will be described later, in a first direction (for example, Z direction). ), it faces the elongated electrode 110 of the inspection object (e.g., solar panel) 100 and is configured to be in contact with the electrode 110 while crossing (e.g., perpendicular to) the electrode 110. . The electrode 110 extends, for example, along a second direction (eg, X direction) that intersects the first direction Z.

본 실시 형태에서는, 검사 대상물(100)은, 제1 방향 Z 및 제2 방향 X에 교차하는 제3 방향(예를 들어, Y 방향)으로 간격을 두고, 예를 들어 등간격으로 배치된 복수의 전극(110)을 갖고, 검사 장치(1)는, 복수의 전극(110)과 동일한 수의 복수의 검사 소켓(10)을 구비하고 있다. 복수의 검사 소켓(10)은, 각 검사 소켓(10)의 프로브 핀(20)의 제1 단부(21)가 각 전극(110)에 접촉할 수 있도록, 제3 방향 Y로 간격을 두고, 예를 들어 등간격으로 배치되어 있다. 검사 장치(1)는, 모든 검사 소켓(10)이, 검사 대상물(100)을 향하여 Z 방향을 따라서 동시에 이동 가능하게 구성되어 있다.In this embodiment, the inspection object 100 is a plurality of objects arranged at equal intervals, for example, at intervals in a third direction (e.g., Y direction) intersecting the first direction Z and the second direction X. Having electrodes 110, the inspection device 1 is provided with a plurality of inspection sockets 10 in the same number as the plurality of electrodes 110. The plurality of test sockets 10 are spaced apart in the third direction Y so that the first end 21 of the probe pin 20 of each test socket 10 can contact each electrode 110, e.g. For example, they are placed at equal intervals. The inspection device 1 is configured so that all inspection sockets 10 can move simultaneously along the Z direction toward the inspection object 100.

검사 장치(1)는, 다음에 나타내는 바와 같이 구성해도 된다.The inspection device 1 may be configured as shown below.

·프로브 핀(20)의 제3 방향 Y의 치수 W1은, 전극(110)의 제3 방향 Y의 치수 W2보다도 크다.- The dimension W1 of the probe pin 20 in the third direction Y is larger than the dimension W2 of the electrode 110 in the third direction Y.

·검사 소켓(10)의 제3 방향 Y의 치수 W3이, 이웃하는 전극(110) 간의 직선 거리 W4보다도 작다.- The dimension W3 of the test socket 10 in the third direction Y is smaller than the straight line distance W4 between the adjacent electrodes 110.

검사 소켓(10)은, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 적어도 1개의 판상의 프로브 핀(20)과, 프로브 핀(20)을 내부에 수용하는 하우징(30)과, 도통 부재(40)를 구비한다. 본 실시 형태에서는, 검사 소켓(10)은, 제2 방향 X로 간격을 두고 위치하는 복수의 프로브 핀(20)을 구비하고 있다. 복수의 프로브 핀(20)은, 제1 프로브 핀(120)과, 제2 프로브 핀(220)을 포함한다. 제1 프로브 핀(120)은, 예를 들어 포스 핀이며, 제2 프로브 핀(220)은, 예를 들어 센스 핀이다. 각 프로브 핀(20)은, 단일의 부품으로 형성되어 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the test socket 10 includes at least one plate-shaped probe pin 20, a housing 30 that accommodates the probe pin 20 therein, and a conductive member 40. ) is provided. In this embodiment, the test socket 10 is provided with a plurality of probe pins 20 positioned at intervals in the second direction X. The plurality of probe pins 20 include a first probe pin 120 and a second probe pin 220 . The first probe pin 120 is, for example, a force pin, and the second probe pin 220 is, for example, a sense pin. Each probe pin 20 is formed as a single component.

프로브 핀(20)은, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 방향 Z의 한쪽에 마련된 제1 단부(21)와, 제1 방향 Z의 다른 쪽에 마련된 제2 단부(22)를 갖고 있다. 본 실시 형태에서는, 프로브 핀(20)은, 제1 단부(21)를 갖는 제1 접촉부(201)와, 제2 단부(22)를 갖는 제2 접촉부(202)와, 제1 접촉부(201) 및 제2 접촉부(202) 사이에 위치하는 탄성부(203)를 포함한다. 제1 접촉부(201) 및 제2 접촉부(202)는, 제1 방향 Z를 따라서 연장되는 가상 직선 L1에 위치하고, 탄성부(203)에 의해 접속되어 있다.As shown in FIG. 6 , the probe pin 20 has a first end 21 provided on one side of the first direction Z, and a second end 22 provided on the other side of the first direction Z. In this embodiment, the probe pin 20 includes a first contact portion 201 having a first end 21, a second contact portion 202 having a second end 22, and a first contact portion 201. and an elastic portion 203 located between the second contact portions 202. The first contact portion 201 and the second contact portion 202 are located on an imaginary straight line L1 extending along the first direction Z, and are connected by an elastic portion 203.

제1 접촉부(201)는, 제1 방향 Z를 따라서 연장되는 대략 직사각형 판상을 갖고 있다. 제1 접촉부(201)의 제1 방향 Z에 있어서 제2 접촉부(202)보다도 먼 단이 제1 단부(21)를 구성하고 있다. 일 예로서, 제1 단부(21)의 전극(110)에 접촉 가능한 면은 만곡되어 있다. 제1 접촉부(201)의 제1 방향 Z에 있어서 제2 접촉부(202)에 가까운 단에는, 탄성부(203)가 제3 방향 Y로부터 접속되어 있다.The first contact portion 201 has a substantially rectangular plate shape extending along the first direction Z. The end of the first contact portion 201 farther from the second contact portion 202 in the first direction Z constitutes the first end portion 21. As an example, the surface of the first end 21 that can be contacted with the electrode 110 is curved. An elastic portion 203 is connected to an end of the first contact portion 201 close to the second contact portion 202 in the first direction Z from the third direction Y.

제2 접촉부(202)는, 제1 방향 Z를 따라서 연장되는 대략 직사각형 판상을 갖고 있다. 제2 접촉부(202)의 제1 방향 Z의 길이는, 제1 접촉부(201)보다도 작게 되어 있다. 제2 접촉부(202)의 제1 방향 Z에 있어서 제1 접촉부(201)보다도 먼 단이 제2 단부(22)를 구성하고 있다. 제2 접촉부(202)의 제1 방향 Z에 있어서 제1 접촉부(201)에 가까운 단에는, 탄성부(203)가 제3 방향 Y로부터 접속되어 있다.The second contact portion 202 has a substantially rectangular plate shape extending along the first direction Z. The length of the second contact portion 202 in the first direction Z is smaller than that of the first contact portion 201. The end of the second contact portion 202 farther from the first contact portion 201 in the first direction Z constitutes the second end portion 22. An elastic portion 203 is connected to an end of the second contact portion 202 close to the first contact portion 201 in the first direction Z from the third direction Y.

탄성부(203)는, 서로 간극(205)을 두고 배치된 복수의 부재(204)를 포함한다. 각 부재(204)는, 복수의 제1 부분(206)과, 복수의 제2 부분(207)을 갖는다. 각 제1 부분(206)은, 제1 방향 Z를 따라서 간격을 두고 배치되며, 각각이 제3 방향 Y를 따라사 직선적으로 연장되어 있다. 각 제2 부분(207)은, 제1 방향 Z를 따라서 연장되는 대략 반원호 형상을 갖고, 양단이 이웃하는 제1 부분(206)의 단부에 각각 접속되어 있다. 각 부재(204)의 제1 방향 Z의 양단에 위치하는 제1 부분(206)이, 각각 제1 접촉부(201) 및 제2 접촉부(202)에 대하여, 제3 방향 Y의 동일한 측으로부터 접속되어 있다. 모든 제1 부분(206) 및 제2 부분(207)은, 제1 접촉부(201)의 측면(208)에 대하여 동일한 측에 위치하고 있다. 측면(208)은, 제1 접촉부(201)의 제3 방향 Y에 교차하는 한 쌍의 측면 중, 각 부재(204)의 제1 부분(206)이 접속되어 있는 측면과 반대 측의 측면이다.The elastic portion 203 includes a plurality of members 204 arranged with a gap 205 between them. Each member 204 has a plurality of first parts 206 and a plurality of second parts 207. Each first portion 206 is arranged at intervals along the first direction Z, and each extends linearly along the third direction Y. Each second part 207 has a substantially semicircular arc shape extending along the first direction Z, and both ends are connected to the ends of the adjacent first part 206, respectively. The first portions 206 located at both ends of each member 204 in the first direction Z are connected from the same side in the third direction Y to the first contact portion 201 and the second contact portion 202, respectively. there is. All of the first portions 206 and second portions 207 are located on the same side with respect to the side surface 208 of the first contact portion 201 . The side 208 is a side opposite to the side to which the first portion 206 of each member 204 is connected, among a pair of side surfaces that intersect in the third direction Y of the first contact portion 201.

하우징(30)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 제2 방향 X를 따라서 연장되어 있고, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 단부(21)가 외부로 노출된 상태에서 프로브 핀(20)을 내부에 수용 가능하게 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 하우징(30)은, 프로브 핀(20)이 수용되는 제1 하우징(31)과, 제1 하우징(31)을 수용하여 보유 지지 가능한 제2 하우징(32)을 포함한다.As shown in FIG. 4, the housing 30 extends along the second direction It is configured to be accommodated inside. In this embodiment, the housing 30 includes a first housing 31 in which the probe pin 20 is accommodated, and a second housing 32 that can accommodate and hold the first housing 31.

제1 하우징(31)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 단면 대략 T자 형상을 갖고 있다. 제1 하우징(31)은, 1개의 프로브 핀(20)을 제1 단부(21)가 외부로 노출된 상태에서 수용 가능한 슬릿상의 제1 수용부(33)를 복수 갖고 있다. 제1 하우징(31)에는, 프로브 핀(20)의 수 이상의 제1 수용부(33)가 마련되어 있다. 프로브 핀(20)은, 제2 방향 X가 그 두께 방향이 되도록, 제1 수용부(33)에 수용되어 있다. 복수의 제1 수용부(33)는, 수용된 프로브 핀(20)의 제1 단부(21)가, 제2 방향 X를 따라서 일렬로 나열되도록, 제2 방향 X를 따라서 배치되어 있다(도 3 참조).As shown in FIG. 5, the first housing 31 has a substantially T-shaped cross section. The first housing 31 has a plurality of slit-shaped first accommodating parts 33 that can accommodate one probe pin 20 with the first end 21 exposed to the outside. The first housing 31 is provided with a first accommodating portion 33 equal to or greater than the number of probe pins 20 . The probe pin 20 is accommodated in the first accommodating portion 33 so that the second direction X is its thickness direction. The plurality of first receiving portions 33 are arranged along the second direction ).

제2 하우징(32)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 대략 직육면체 형상을 갖고 있다. 제2 하우징(32)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 하우징(31)을 수용하여 보유 지지 가능한 제2 수용부(34)와, 후술하는 누름 부재(50)를 하우징(30)에 고정하기 위한 체결 부재(60)를 수용 가능한 복수의 구멍부(35)를 갖고 있다. 제2 수용부(34)는, 제2 하우징(32)을 제1 방향 Z로 관통하고 있고, 제1 방향 Z에 있어서 프로브 핀(20)의 제1 단부(21)에 가까운 저면(321)에 개구하는 개구부(341)보다도, 제2 단부(22)에 가까운 상면(322)에 개구하는 개구부(342) 쪽이 크게 되어 있다. 일 예로서, 제2 수용부(34)에 수용된 제1 하우징(31)은, 그 제1 방향 Z의 일단(311)이 개구부(341)로부터 제2 하우징(32)의 외부로 약간 돌출되어 있다. 복수의 구멍부(35)는, 제2 하우징(32)의 상면(322)에 마련되어 있다. 제2 수용부(34)에 수용된 제1 하우징(31)은, 예를 들어 위치 결정 핀(61)에 의해 제2 하우징(32)에 대하여 위치 결정되어 있다(도 7 참조).The second housing 32 has a substantially rectangular parallelepiped shape, as shown in FIG. 4 . As shown in FIG. 5, the second housing 32 includes a second receiving portion 34 capable of receiving and holding the first housing 31, and a pressing member 50, which will be described later, attached to the housing 30. It has a plurality of hole portions 35 that can accommodate fastening members 60 for fixing. The second accommodating portion 34 penetrates the second housing 32 in the first direction Z and is located on the bottom surface 321 close to the first end 21 of the probe pin 20 in the first direction Z. The opening 342 opening in the upper surface 322 closer to the second end 22 is larger than the opening 341 opening therein. As an example, the first housing 31 accommodated in the second accommodating portion 34 has one end 311 in the first direction Z slightly protruding from the opening 341 to the outside of the second housing 32. . A plurality of hole portions 35 are provided on the upper surface 322 of the second housing 32. The first housing 31 accommodated in the second housing portion 34 is positioned with respect to the second housing 32 by, for example, a positioning pin 61 (see Fig. 7).

도 4에 도시한 바와 같이, 하우징(30)의 제2 방향 X의 양단에는, 베이스 부재(36)가 설치되어 있다. 각 베이스 부재(36)는, 제2 하우징(32)의 상면(322)으로부터 제1 방향 Z를 따라서 연장되어 있다.As shown in FIG. 4, base members 36 are installed at both ends of the housing 30 in the second direction X. Each base member 36 extends from the upper surface 322 of the second housing 32 along the first direction Z.

도통 부재(40)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(30)의 제1 방향 Z에 있어서 프로브 핀(20)의 제1 단부(21)보다도 제2 단부(22)에 가까운 부분에 마련되며, 제2 단부(22)에 전기적으로 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 도통 부재(40)는, 전기적으로 독립되어 있는 2개의 도전성의 시트(이하, 제1 부재(41) 및 제2 부재(42)라 함)를 포함한다. 제1 부재(41)는, 제1 프로브 핀(120)과 전기적으로 접촉하고, 제2 부재(42)는, 제2 프로브 핀(220)과 전기적으로 접촉한다. 제1 부재(41) 및 제2 부재(42)는, 예를 들어 구리를 포함한다.As shown in FIG. 5, the conductive member 40 is provided in a portion closer to the second end 22 of the probe pin 20 than the first end 21 of the probe pin 20 in the first direction Z of the housing 30. and is electrically connected to the second end 22. In this embodiment, the conductive member 40 includes two electrically independent conductive sheets (hereinafter referred to as the first member 41 and the second member 42). The first member 41 is in electrical contact with the first probe pin 120, and the second member 42 is in electrical contact with the second probe pin 220. The first member 41 and the second member 42 contain copper, for example.

제1 부재(41)는, 도 7에 도시한 바와 같이, 제2 방향 X를 따라서 연장되는 제1 본체부(43)와, 제1 돌출부(44)를 갖고 있다. 제1 돌출부(44)는, 제1 본체부(43)로부터 제3 방향 Y이며 또한 제2 부재(42)에 접근하는 방향으로 연장되어, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 프로브 핀(120)의 제2 단부(22)에 접촉한다. 도 7에서는, 누름 부재(50)를 생략하였다.The first member 41 has a first body portion 43 extending along the second direction X and a first protrusion portion 44, as shown in FIG. 7 . The first protrusion 44 extends from the first body 43 in the third direction Y and in a direction approaching the second member 42, and as shown in FIG. 5, the first probe pin 120 ) is in contact with the second end 22. In Figure 7, the pressing member 50 is omitted.

제2 부재(42)는, 도 7에 도시한 바와 같이, 제1 부재(41)에 대하여 제3 방향 Y로 간격을 두고 위치하고 있다. 제2 부재(42)는, 제2 방향 Z를 따라서 연장되는 제2 본체부(45)와, 제2 돌출부(46)를 갖고 있다. 제2 돌출부(46)는, 제2 본체부(45)로부터 제3 방향 Y이며 또한 제1 부재(41)에 접근하는 방향으로 연장되어, 도 5에 도시한 바와 같이, 제2 프로브 핀(220)의 제2 단부(22)에 전기적으로 접촉한다.As shown in FIG. 7, the second member 42 is positioned at intervals in the third direction Y with respect to the first member 41. The second member 42 has a second body portion 45 extending along the second direction Z, and a second protrusion portion 46. The second protrusion 46 extends from the second body 45 in the third direction Y and in a direction approaching the first member 41, and as shown in FIG. 5, the second probe pin 220 ) electrically contacts the second end 22 of the .

도 5에 도시한 바와 같이, 도통 부재(40)는, 하우징(30) 및 누름 부재(50) 사이에 위치하고, 누름 부재(50)에 의해 하우징(30)에 고정되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 도통 부재(40)의 제2 방향 X의 양단에는, 각각 단자(70)가 접속되는 접속부(47)가 마련되어 있다. 접속부(47)의 한쪽은, 제1 부재(41)에 전기적으로 접속되고, 접속부(47)의 다른 쪽은, 제2 부재(42)에 전기적으로 접속되어 있다.As shown in FIG. 5 , the conductive member 40 is located between the housing 30 and the pressing member 50 and is fixed to the housing 30 by the pressing member 50 . As shown in Fig. 4, connection portions 47 to which terminals 70 are connected are provided at both ends of the conductive member 40 in the second direction X, respectively. One side of the connecting portion 47 is electrically connected to the first member 41, and the other side of the connecting portion 47 is electrically connected to the second member 42.

검사 소켓(10)은, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.The test socket 10 can exert the following effects.

검사 소켓(10)이, 적어도 1개의 판상의 프로브 핀(20)과, 하우징(30)과, 도통 부재(40)를 구비한다. 프로브 핀(20)은, 제1 방향의 한쪽에 마련된 제1 단부(21)와 제1 방향의 다른 쪽에 마련된 제2 단부(22)를 갖는다. 하우징(30)은, 제1 단부(21)가 외부로 노출된 상태에서 프로브 핀(20)을 내부에 수용한다. 도통 부재(40)는, 하우징(30)의 제1 방향에 있어서 제1 단부(21)보다도 제2 단부(22)에 가까운 부분에 마련되며, 제2 단부(22)에 전기적으로 접속되어 있다. 하우징(30)이, 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라서 연장되어 있고, 프로브 핀(20)이, 제2 방향이 두께 방향이 되도록 하우징(30)의 내부에 수용되어 있다. 프로브 핀(20)의 제1 단부(21)가, 제1 방향에 있어서, 제2 방향을 따라서 연장되는 가늘고 긴 전극(110)을 포함하는 검사 대상물(100)의 전극(110)에 대향하고, 전극(110)에 교차한 상태에서 접촉 가능하게 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 폭이 좁은 전극(110)에 대하여, 프로브 핀(20)을 보다 확실하게 접촉시킬 수 있으므로, 접촉 불량의 발생을 저감시킬 수 있다. 그 결과, 접촉 신뢰성이 높은 검사 소켓(10)을 실현할 수 있다.The inspection socket 10 includes at least one plate-shaped probe pin 20, a housing 30, and a conductive member 40. The probe pin 20 has a first end 21 provided on one side in the first direction and a second end 22 provided on the other side in the first direction. The housing 30 accommodates the probe pin 20 inside with the first end 21 exposed to the outside. The conductive member 40 is provided in a portion of the housing 30 closer to the second end 22 than the first end 21 in the first direction, and is electrically connected to the second end 22. The housing 30 extends along a second direction intersecting the first direction, and the probe pin 20 is accommodated inside the housing 30 so that the second direction becomes the thickness direction. The first end 21 of the probe pin 20 faces, in the first direction, the electrode 110 of the inspection object 100 including the elongated electrode 110 extending along the second direction, It is configured to be able to contact the electrode 110 in a crossed state. With this configuration, the probe pin 20 can be more reliably brought into contact with the narrow electrode 110, thereby reducing the occurrence of contact defects. As a result, the test socket 10 with high contact reliability can be realized.

포고핀은, 통상, 복수의 부품에 의해 구성되어 있기 때문에, 포고핀을 사용한 검사 소켓에서는, 전류 특성이 안정되지 않는다. 또한, 예를 들어 솔라 패널의 기능을 검사하는 경우, 검사 대상의 솔라 패널 전체면에 광을 조사할 필요가 있다. 이 때문에, 솔라 패널에 조사하는 광을 가능한 한 차단하지 않는 사이즈로 하기 위해, 솔라 패널의 검사에 사용하는 검사용 소켓을 소형화 또는 박형화하고자 한다고 하는 요망이 있다. 이 요망을 충족시키기 위해서는, 검사 소켓 내에 수용되는 프로브 핀도 소형화할 필요가 있지만, 프로브 핀을 소형화하면 고전류를 흐르게 하는 도통 경로가 가늘어져, 도통 시에 프로브 핀이 발열하기 때문에, 검사 소켓의 방열성을 높이고자 하는 요망이 있다. 검사 소켓(10)에서는, 단일의 부품인 판상의 프로브 핀(20)을 사용하고 있기 때문에, 전류 특성을 안정시켜, 검사에 있어서 측정값을 안정화시킬 수 있다. 또한, 판상의 프로브 핀(20)은, 포고핀보다도 공기에 접하는 면적을 크게 할 수 있기 때문에, 검사 소켓(10)의 방열성을 높여, 프로브 핀(20)의 저항값의 상승을 억제할 수 있다.Since a pogo pin is usually composed of a plurality of parts, the current characteristics are not stable in a test socket using a pogo pin. Additionally, for example, when inspecting the function of a solar panel, it is necessary to irradiate light to the entire surface of the solar panel to be inspected. For this reason, there is a desire to reduce the size or thickness of the inspection socket used for inspection of solar panels in order to make it as small as possible so as not to block the light irradiating the solar panel. In order to meet this request, it is necessary to miniaturize the probe pin accommodated in the test socket. However, if the probe pin is miniaturized, the conduction path through which high current flows becomes thinner, and the probe pin generates heat during conduction, which reduces the heat dissipation of the test socket. There is a desire to increase . In the test socket 10, since the plate-shaped probe pin 20, which is a single component, is used, the current characteristics can be stabilized and the measured value during the test can be stabilized. In addition, since the plate-shaped probe pin 20 can enlarge the area in contact with air than the pogo pin, the heat dissipation of the test socket 10 can be improved and an increase in the resistance value of the probe pin 20 can be suppressed. .

검사 소켓(10)은, 다음에 나타내는 복수의 구성 중 어느 1개 또는 복수의 구성을 임의로 채용할 수 있다. 즉, 다음에 나타내는 복수의 구성 중 어느 1개 또는 복수의 구성은, 전술한 실시 형태에 포함되어 있던 경우에는 임의로 삭제할 수 있고, 전술한 실시 형태에 포함되어 있지 않은 경우에는 임의로 부가할 수 있다. 이와 같은 구성을 채용함으로써, 접촉 신뢰성이 높은 검사 소켓(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.The test socket 10 can arbitrarily adopt any one or a plurality of configurations shown below. In other words, any one or multiple configurations among the plurality of configurations shown below can be arbitrarily deleted if they are included in the above-described embodiment, and can be arbitrarily added if they are not included in the above-described embodiment. By adopting such a configuration, the test socket 10 with high contact reliability can be more reliably realized.

검사 소켓(10)이, 제2 방향을 따라서 간격을 두고 위치하는 복수의 프로브 핀(20)을 구비한다.The test socket 10 includes a plurality of probe pins 20 positioned at intervals along the second direction.

복수의 프로브 핀(20)이, 제1 프로브 핀(120)과, 제2 프로브 핀(220)을 포함한다. 도통 부재(40)가, 제1 프로브 핀(120)과 전기적으로 접촉하는 제1 부재(41)와, 제1 부재(41)에 대하여 제3 방향으로 간격을 두고 위치하여 제1 부재(41)와는 전기적으로 독립되어 있음과 함께, 제2 프로브 핀(220)과 전기적으로 접촉하는 제2 부재(42)를 포함한다. 제1 부재(41)가, 제2 방향을 따라서 연장되는 제1 본체부(43)와, 제1 본체부(43)로부터 제3 방향이며 또한 제2 부재(42)에 접근하는 방향으로 연장되어, 제1 프로브 핀(120)의 제2 단부(22)에 전기적으로 접촉하는 제1 돌출부(44)를 갖는다. 제2 부재(42)가, 제2 방향을 따라서 연장되는 제2 본체부(45)와, 제2 본체부(45)로부터 제3 방향이며 또한 제1 부재(41)에 접근하는 방향으로 연장되어, 제2 프로브 핀(220)의 제2 단부(22)에 전기적으로 접촉하는 제2 돌출부(46)를 갖는다.The plurality of probe pins 20 include a first probe pin 120 and a second probe pin 220 . The conductive member 40 includes a first member 41 in electrical contact with the first probe pin 120, and a first member 41 positioned at intervals in a third direction with respect to the first member 41. It is electrically independent from and includes a second member 42 that is in electrical contact with the second probe pin 220. The first member 41 has a first body portion 43 extending along a second direction, and extending from the first body portion 43 in a third direction and in a direction approaching the second member 42. , has a first protrusion 44 that is in electrical contact with the second end 22 of the first probe pin 120. The second member 42 has a second body portion 45 extending along the second direction, and extending from the second body portion 45 in a third direction and in a direction approaching the first member 41. , and has a second protrusion 46 in electrical contact with the second end 22 of the second probe pin 220 .

검사 장치(1)는, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.The inspection device 1 can exert the following effects.

검사 장치(1)가, 검사 소켓(10)을 구비한다. 검사 소켓(10)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 장치(1)를 실현할 수 있다.The inspection device 1 is provided with an inspection socket 10. By using the test socket 10, the test device 1 with high contact reliability can be realized.

검사 장치(1)는, 다음에 나타내는 복수의 구성 중 어느 1개 또는 복수의 구성을 임의로 채용할 수 있다. 즉, 다음에 나타내는 복수의 구성 중 어느 1개 또는 복수의 구성은, 전술한 실시 형태에 포함되어 있던 경우에는 임의로 삭제할 수 있고, 전술한 실시 형태에 포함되어 있지 않은 경우에는 임의로 부가할 수 있다. 이와 같은 구성을 채용함으로써, 접촉 신뢰성이 높은 검사 장치(1)를 보다 확실하게 실현할 수 있다.The inspection device 1 can arbitrarily adopt any one or a plurality of configurations shown below. In other words, any one or multiple configurations among the plurality of configurations shown below can be arbitrarily deleted if they are included in the above-described embodiment, and can be arbitrarily added if they are not included in the above-described embodiment. By adopting such a configuration, the inspection device 1 with high contact reliability can be more reliably realized.

프로브 핀(20)의 제3 방향의 치수 W1이, 전극(110)의 제3 방향의 치수 W2보다도 크다.The dimension W1 of the probe pin 20 in the third direction is larger than the dimension W2 of the electrode 110 in the third direction.

검사 소켓(10)의 제3 방향의 치수 W3이, 이웃하는 전극(110) 간의 거리 W4보다도 작다.The dimension W3 of the test socket 10 in the third direction is smaller than the distance W4 between the adjacent electrodes 110.

검사 장치(1) 및 검사 소켓(10)은, 다음과 같이 구성할 수도 있다.The inspection device 1 and the inspection socket 10 may be configured as follows.

검사 소켓(10)의 프로브 핀(20)은, 1개여도 되고, 3 이상이어도 된다. 하우징(30)이 복수의 제1 하우징(31)을 포함하고, 각 제1 하우징(31)에 복수의 프로브 핀(20)이 수용된 검사 소켓(10)을 도 8 및 도 9에 도시한다. 도 9에서는, 누름 부재(50)를 생략하였다.The number of probe pins 20 of the test socket 10 may be one or three or more. The housing 30 includes a plurality of first housings 31, and a test socket 10 in which a plurality of probe pins 20 are accommodated in each first housing 31 is shown in FIGS. 8 and 9. In Figure 9, the pressing member 50 is omitted.

도 8 및 도 9의 검사 소켓(10)에서는, 복수의 프로브 핀(20)이, 4개의 제1 프로브 핀(120)과, 2개의 제2 프로브 핀(220)을 포함하고, 제2 방향 X를 따라서, 2개의 제1 프로브 핀(120), 2개의 제2 프로브 핀(220) 및 2개의 제1 프로브 핀(120)의 순으로 나란히 배치되어 있다. 도 9에 도시한 바와 같이, 도통 부재(40)는, 2개의 제1 돌출부(44)와, 1개의 제2 돌출부(46)를 갖고 있다. 제1 돌출부(44) 및 제2 돌출부(46)는, 제2 방향 X를 따라서 간격을 두고 배치되어 있고, 2개의 제1 돌출부(44)의 사이에 제2 돌출부(46)가 위치하고 있다. 도 8에 도시한 바와 같이, 각 제1 돌출부(44)에는, 2개의 제1 프로브 핀(120)이 접촉하고, 제2 돌출부(46)에는, 2개의 제2 프로브 핀(220)이 접촉하고 있다. 즉, 제1 프로브 핀(120)의 수가, 제2 프로브 핀(220)의 수보다도 많고, 제1 돌출부(44)의 수가, 제2 돌출부(46)의 수보다도 많아지도록, 검사 소켓(10)을 구성해도 된다.In the test socket 10 of FIGS. 8 and 9, the plurality of probe pins 20 include four first probe pins 120 and two second probe pins 220, and extend in the second direction Accordingly, two first probe pins 120, two second probe pins 220, and two first probe pins 120 are arranged side by side in that order. As shown in FIG. 9 , the conductive member 40 has two first protrusions 44 and one second protrusion 46 . The first protrusion 44 and the second protrusion 46 are arranged at intervals along the second direction X, and the second protrusion 46 is located between the two first protrusions 44 . As shown in FIG. 8, two first probe pins 120 contact each first protrusion 44, and two second probe pins 220 contact each second protrusion 46. there is. That is, the test socket 10 is installed such that the number of first probe pins 120 is greater than the number of second probe pins 220 and the number of first protrusions 44 is greater than the number of second protrusions 46. You may configure .

제1 프로브 핀(120) 및 제2 프로브 핀(220)은, 동일한 구성이어도 되고, 다른 구성이어도 된다. 예를 들어, 도 10에 도시한 프로브 핀(20)을 제1 프로브 핀(120)으로서 사용하고, 도 6의 프로브 핀(20)을 제2 프로브 핀(220)으로서 사용해도 된다. 도 10의 프로브 핀(20)은, 제2 접촉부(202)가 가상 직선 L1 상에 위치하고 있지 않고, 가상 직선 L1에 대하여 제3 방향 Y로 간격을 두고 배치된 가상 직선 L1에 평행인 가상 직선 L2 상에 위치하고 있다. 도 10의 프로브 핀(20)은, 도 6의 프로브 핀(20)보다도, 탄성부(203)의 각 부재(204)에 있어서의 제1 부분(206) 및 제2 부분(207)의 수가 적게 되어 있다.The first probe pin 120 and the second probe pin 220 may have the same structure or different structures. For example, the probe pin 20 shown in FIG. 10 may be used as the first probe pin 120, and the probe pin 20 shown in FIG. 6 may be used as the second probe pin 220. The probe pin 20 in FIG. 10 is a virtual straight line L2 in which the second contact portion 202 is not located on the virtual straight line L1, but is parallel to the virtual straight line L1 disposed at intervals in the third direction Y with respect to the virtual straight line L1. It is located on top. The probe pin 20 in FIG. 10 has a smaller number of first portions 206 and second portions 207 in each member 204 of the elastic portion 203 than the probe pin 20 in FIG. 6. It is done.

도 10에 도시한 프로브 핀(20)을 제1 프로브 핀(120)으로서 사용하고, 도 6의 프로브 핀(20)을 제2 프로브 핀(220)으로서 사용한 것으로 한다. 이 경우, 예를 들어 도 11에 도시한 바와 같이, 제2 돌출부(46)의 형상을 제2 프로브 핀(220)의 제2 단부(22)의 위치에 맞추어 변경해도 된다. 반대로, 도 6의 프로브 핀(20)을 제1 프로브 핀(120)으로서 사용하고, 도 10의 프로브 핀(20)을 제2 프로브 핀(220)으로서 사용한 경우에는, 예를 들어 제1 돌출부(44)의 형상을 제1 프로브 핀(120)의 위치에 맞추어 변경해도 된다. 즉, 제1 돌출부(44) 및 제2 돌출부(46)의 수 및 형상은, 검사 소켓(10)의 설계 등에 따라서 변경할 수 있다. 도 11의 검사 소켓(10)에서는, 4개의 제1 프로브 핀(120)의 제2 단부(22)가, 제2 방향 X를 따라서 연장되는 가상 직선 L3 상에 위치하고, 2개의 제2 프로브 핀(220)의 제2 단부(22)가, 가상 직선 L3에 대하여 제3 방향 Y로 간격을 두고 배치된 가상 직선 L3에 평행인 가상 직선 L4 상에 위치하고 있다.It is assumed that the probe pin 20 shown in FIG. 10 is used as the first probe pin 120, and the probe pin 20 shown in FIG. 6 is used as the second probe pin 220. In this case, for example, as shown in FIG. 11, the shape of the second protrusion 46 may be changed to match the position of the second end 22 of the second probe pin 220. Conversely, when the probe pin 20 in FIG. 6 is used as the first probe pin 120 and the probe pin 20 in FIG. 10 is used as the second probe pin 220, for example, the first protrusion ( The shape of 44) may be changed to match the position of the first probe pin 120. That is, the number and shape of the first protrusions 44 and second protrusions 46 can be changed depending on the design of the test socket 10, etc. In the test socket 10 of FIG. 11, the second ends 22 of the four first probe pins 120 are located on an imaginary straight line L3 extending along the second direction X, and the two second probe pins ( The second end 22 of 220) is located on the virtual straight line L4 parallel to the virtual straight line L3 arranged at intervals in the third direction Y with respect to the virtual straight line L3.

프로브 핀(20)은, 판상이며, 제1 단부(21) 및 제2 단부(22)를 갖고 있으면 된다. 예를 들어, 도 12에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(20)의 제1 단부(21)가, 전극(110)에 접촉 가능한 평면(211)을 갖고 있어도 된다. 도 13에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(20)의 제2 단부(22)가, 2개의 돌기(221)를 갖고 있어도 된다. 도 13의 프로브 핀(20)은, 제3 방향 Y의 양단에 각각 위치하는 2개의 제2 접촉부(202)를 포함하고, 각 제2 접촉부(202)에 1개의 돌기(221)가 마련되어 있다.The probe pin 20 is plate-shaped and may have a first end 21 and a second end 22. For example, as shown in FIG. 12 , the first end 21 of the probe pin 20 may have a flat surface 211 that can be brought into contact with the electrode 110 . As shown in FIG. 13, the second end 22 of the probe pin 20 may have two protrusions 221. The probe pin 20 in FIG. 13 includes two second contact portions 202 located at both ends of the third direction Y, and one protrusion 221 is provided on each second contact portion 202.

하우징(30)은, 도 14에 도시한 바와 같이, 내부에 수용된 프로브 핀(10)을 하우징(10)의 외부로부터 시인 가능한 창부(301)를 갖고 있어도 된다. 창부(301)를 마련함으로써, 제1 하우징(31)을 제2 하우징(32)으로부터 떼어내지 않아도, 수용되어 있는 프로브 핀(20)의 상태를 확인할 수 있음과 함께, 검사 소켓(10)의 방열성을 높일 수 있다.As shown in FIG. 14 , the housing 30 may have a window portion 301 through which the probe pin 10 housed therein can be viewed from the outside of the housing 10 . By providing the window portion 301, the state of the stored probe pin 20 can be confirmed without removing the first housing 31 from the second housing 32, and the heat dissipation effect of the inspection socket 10 can be improved. can increase.

도통 부재(40)는, 시트에 한하지 않고, 예를 들어 기판(이하, 제3 부재(48)라 함)이어도 된다. 제3 부재(48)는, 예를 들어 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 전극 패턴이 형성된 제1 방향 Z에 교차하는 한 쌍의 면(481, 482)을 갖고 있다. 제3 부재(48)의 면(481)은, 하우징(30)에 대향하는 면이며, 제3 부재(48)의 면(482)은, 누름 부재(50)에 대향하는 면이다. 전극 패턴은, 제1 프로브 핀(120)에 전기적으로 접속되는 제1 전극 패턴(483)과, 제2 프로브 핀(220)에 전기적으로 접속되는 제2 전극 패턴(484)을 포함한다.The conductive member 40 is not limited to a sheet, and may be, for example, a substrate (hereinafter referred to as the third member 48). The third member 48 has a pair of surfaces 481 and 482 that intersect in the first direction Z in which the electrode pattern is formed, as shown in FIGS. 15 and 16, for example. The surface 481 of the third member 48 is a surface facing the housing 30, and the surface 482 of the third member 48 is a surface facing the pressing member 50. The electrode pattern includes a first electrode pattern 483 electrically connected to the first probe pin 120 and a second electrode pattern 484 electrically connected to the second probe pin 220.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명하였지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 양태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일 예로서, 참조 부호도 첨부하여 기재한다.While various embodiments of the present disclosure have been described in detail with reference to the drawings, finally, various aspects of the present disclosure will be described. In addition, in the following description, reference signs are attached and described as an example.

본 개시의 제1 양태의 검사 소켓(10)은,The test socket 10 of the first aspect of the present disclosure,

제1 방향의 한쪽에 마련된 제1 단부(21)와, 상기 제1 방향의 다른 쪽에 마련된 제2 단부(22)를 갖는 적어도 1개의 판상의 프로브 핀(20)과,At least one plate-shaped probe pin (20) having a first end (21) provided on one side in the first direction and a second end (22) provided on the other side in the first direction;

상기 제1 단부(21)가 외부에 노출된 상태에서 상기 프로브 핀(20)을 내부에 수용하는 하우징(30)과,a housing 30 accommodating the probe pin 20 therein with the first end 21 exposed to the outside;

상기 하우징(30)의 상기 제1 방향에 있어서 상기 제1 단부(21)보다도 상기 제2 단부(22)에 가까운 부분에 마련되며, 상기 제2 단부(22)에 전기적으로 접속된 도통 부재(40)를A conductive member (40) provided in a portion of the housing (30) closer to the second end (22) than the first end (21) in the first direction and electrically connected to the second end (22). )cast

구비하고,Equipped with

상기 하우징(30)이, 상기 제2 방향을 따라서 연장되어 있고,The housing 30 extends along the second direction,

상기 프로브 핀(20)이, 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향이 두께 방향이 되도록 상기 하우징(30)의 내부에 수용되고,The probe pin 20 is accommodated inside the housing 30 so that a second direction crossing the first direction is a thickness direction,

상기 프로브 핀(20)의 상기 제1 단부(21)가, 상기 제1 방향에 있어서, 상기 제2 방향을 따라서 연장되는 가늘고 긴 전극을 포함하는 검사 대상물의 상기 전극에 대향하고, 상기 전극에 교차한 상태에서 접촉 가능하게 구성되어 있다.The first end 21 of the probe pin 20 faces, in the first direction, the electrode of the object to be inspected including an elongated electrode extending along the second direction, and crosses the electrode. It is configured so that it can be contacted in one state.

본 개시의 제2 양태의 검사 소켓(10)은, 제1 양태의 검사 소켓(10)에 있어서,The test socket 10 of the second aspect of the present disclosure is, in the test socket 10 of the first aspect,

상기 제2 방향을 따라서 간격을 두고 위치하는 복수의 상기 프로브 핀(20)을 구비한다.It is provided with a plurality of probe pins 20 positioned at intervals along the second direction.

본 개시의 제3 양태의 검사 소켓(10)은, 제2 양태의 검사 소켓(10)에 있어서,The test socket 10 of the third aspect of the present disclosure includes the test socket 10 of the second aspect,

복수의 상기 프로브 핀(20)이, 제1 프로브 핀(120)과, 상기 제1 프로브 핀(120)과는 다른 제2 프로브 핀(220)을 포함한다.The plurality of probe pins 20 include a first probe pin 120 and a second probe pin 220 that is different from the first probe pin 120.

본 개시의 제4 양태의 검사 소켓(10)은, 제2 양태의 검사 소켓(10)에 있어서,The test socket 10 of the fourth aspect of the present disclosure is the test socket 10 of the second aspect,

복수의 상기 프로브 핀(20)이, 제1 프로브 핀(120)과, 제2 프로브 핀(220)을 포함하고,The plurality of probe pins 20 include a first probe pin 120 and a second probe pin 220,

상기 도통 부재(40)가,The conductive member 40 is,

상기 제1 프로브 핀(120)과 전기적으로 접촉하는 제1 부재(41)와,a first member 41 in electrical contact with the first probe pin 120;

상기 제1 부재(41)에 대하여 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향으로 간격을 두고 위치하여 상기 제1 부재(41)와는 전기적으로 독립되어 있음과 함께, 상기 제2 프로브 핀(220)과 전기적으로 접촉하는 제2 부재(42)를 포함하고,The second probe is located at intervals in a third direction crossing the first direction and the second direction with respect to the first member 41 and is electrically independent from the first member 41. It includes a second member (42) in electrical contact with the pin (220),

상기 제1 부재(41)가,The first member 41 is,

상기 제2 방향을 따라서 연장되는 제1 본체부(43)와,a first body portion 43 extending along the second direction;

상기 제1 본체부(43)로부터 상기 제3 방향이며 또한 상기 제2 부재(42)에 접근하는 방향으로 연장되어, 상기 제1 프로브 핀(120)의 상기 제2 단부(22)에 전기적으로 접촉하는 제1 돌출부(44)를 갖고,It extends from the first body portion 43 in the third direction and in a direction approaching the second member 42, and electrically contacts the second end 22 of the first probe pin 120. It has a first protrusion 44,

상기 제2 부재(42)가,The second member 42 is,

상기 제2 방향을 따라서 연장되는 제2 본체부(45)와,a second body portion 45 extending along the second direction;

상기 제2 본체부(45)로부터 상기 제3 방향이며 또한 상기 제1 부재(41)에 접근하는 방향으로 연장되어, 상기 제2 프로브 핀(220)의 상기 제2 단부(22)에 전기적으로 접촉하는 제2 돌출부(46)를 갖는다.It extends from the second body portion 45 in the third direction and in a direction approaching the first member 41, and electrically contacts the second end 22 of the second probe pin 220. It has a second protrusion 46.

본 개시의 제5 양태의 검사 소켓(10)은, 제3 양태 또는 제4 양태의 검사 소켓(10)에 있어서,The test socket 10 of the fifth aspect of the present disclosure is the test socket 10 of the third or fourth aspect,

상기 제1 프로브 핀(120)의 수가, 상기 제2 프로브 핀(220)의 수보다도 많고,The number of first probe pins 120 is greater than the number of second probe pins 220,

상기 제1 돌출부(44)의 수가, 상기 제2 돌출부(46)의 수보다도 많다.The number of the first protrusions 44 is greater than the number of the second protrusions 46.

본 개시의 제6 양태의 검사 소켓(10)은, 제1 양태 내지 제5 양태 중 어느 것의 검사 소켓(10)에 있어서,The test socket 10 of the sixth aspect of the present disclosure is the test socket 10 of any of the first to fifth aspects,

상기 하우징(30)이, 내부에 수용된 상기 프로브 핀(20)을 외부로부터 시인 가능한 창부(301)를 갖고 있다.The housing 30 has a window 301 through which the probe pin 20 accommodated therein can be viewed from the outside.

본 개시의 제7 양태의 검사 장치(1)는,The inspection device 1 of the seventh aspect of the present disclosure includes:

적어도 1개의 제1 양태 내지 제6 양태 중 어느 것의 검사 소켓(10)을 구비한다.and at least one test socket 10 of any of the first to sixth aspects.

본 개시의 제8 양태의 검사 장치(1)는, 제7 양태의 검사 장치(1)에 있어서,The inspection device 1 of the eighth aspect of the present disclosure is the inspection device 1 of the seventh aspect,

상기 프로브 핀(20)의 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향의 치수가, 상기 전극의 상기 제3 방향의 치수보다도 크다.The dimension of the probe pin 20 in the third direction crossing the first direction and the second direction is larger than the dimension of the electrode in the third direction.

본 개시의 제9 양태의 검사 장치(1)는, 제7 양태 또는 제8 양태의 검사 장치(1)에 있어서, The inspection device 1 of the ninth aspect of the present disclosure is the inspection device 1 of the seventh or eighth aspect,

상기 프로브 핀(20)의 상기 제1 단부(21)가, 상기 전극에 접촉 가능한 평면(211)을 갖고 있다.The first end 21 of the probe pin 20 has a flat surface 211 that can be contacted with the electrode.

본 개시의 제10 양태의 검사 장치(1)는, 제7 양태 내지 제9 양태 중 어느 것의 검사 장치(1)에 있어서,The inspection device 1 of the tenth aspect of the present disclosure is the inspection device 1 of any of the seventh to ninth aspects,

상기 검사 대상물이, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 상기 전극을 포함하고,The inspection object includes a plurality of electrodes arranged at intervals in a third direction crossing the first direction and the second direction,

상기 검사 소켓(10)의 상기 제3 방향의 치수가, 이웃하는 전극간의 거리보다도 작다.The dimension of the test socket 10 in the third direction is smaller than the distance between adjacent electrodes.

전술한 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.By appropriately combining any of the various embodiments or modifications described above, the effects of each can be achieved. In addition, a combination of embodiments, a combination of examples, or a combination of an embodiment and an example is possible, and a combination of features in other embodiments or examples is also possible.

본 개시는, 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련된 사람들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정은 명백하다. 그와 같은 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 개시의 범위로부터 벗어나지 않는 한에 있어서, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.Although the present disclosure has been fully described in relation to preferred embodiments with reference to the accompanying drawings, various variations and modifications will be apparent to those skilled in the art. It should be understood that such changes and modifications are included therein as long as they do not depart from the scope of the present disclosure as defined by the appended claims.

본 개시의 검사 소켓은, 예를 들어 솔라 패널의 검사에 사용하는 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection socket of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection device used to inspect solar panels.

본 개시의 검사 장치는, 예를 들어 솔라 패널의 검사 장치로서 적용할 수 있다.The inspection device of the present disclosure can be applied, for example, as an inspection device for solar panels.

1: 검사 장치
10: 검사 소켓
10: 프로브 핀
21: 제1 단부
22: 제2 단부
30: 하우징
31: 제1 하우징
32: 제2 하우징
33: 제1 수용부
34: 제2 수용부
35: 구멍부
36: 베이스 부재
40: 도통 부재
41: 제1 부재
42: 제2 부재
43: 제1 본체부
44: 제1 돌출부
45: 제2 본체부
46: 제2 돌출부
47: 접속부
48: 제3 부재
50: 누름 부재
60: 체결 부재
61: 위치 결정 핀
70: 단자
100: 검사 대상물
110: 전극
120: 제1 프로브 핀
201: 제1 접촉부
202: 제2 접촉부
203: 탄성부
204: 부재
205: 간극
206: 제1 부분
207: 제2 부분
208: 측면
211: 평면
220: 제2 프로브 핀
221: 돌기
301: 창부
321: 저면
322: 상면
341, 342: 개구부
481, 482: 면
483: 제1 전극 패턴
484: 제2 전극 패턴1: Inspection device
10: Inspection socket
10: Probe pin
21: first end
22: second end
30: housing
31: first housing
32: second housing
33: first receptor
34: second receiving portion
35: Hole part
36: Base member
40: Absence of continuity
41: first member
42: second member
43: first main body
44: first protrusion
45: second main body
46: second protrusion
47: connection part
48: Third member
50: pressing member
60: fastening member
61: Positioning pin
70: terminal
100: Inspection object
110: electrode
120: first probe pin
201: first contact portion
202: second contact portion
203: elastic part
204: absence
205: gap
206: Part 1
207: Part 2
208: side
211: plane
220: second probe pin
221: protrusion
301: Prostitute
321: Bottom
322: upper surface
341, 342: opening
481, 482: cotton
483: first electrode pattern
484: Second electrode pattern

Claims

At least one plate-shaped probe pin having a first end provided on one side in the first direction and a second end provided on the other side of the first direction;
a housing accommodating the probe pin therein with the first end exposed to the outside;
A conductive member provided in a portion of the housing closer to the second end than the first end in the first direction and electrically connected to the second end.
Equipped with
the housing extends along a second direction intersecting the first direction,
The probe pin is accommodated inside the housing so that the second direction is a thickness direction,
The first end of the probe pin faces, in the first direction, the electrode of an inspection object including an elongated electrode extending along the second direction, and is capable of contacting the electrode while crossing the electrode. Consisting of a test socket.

According to paragraph 1,
A test socket comprising a plurality of the probe pins positioned at intervals along the second direction.

According to paragraph 2,
A test socket wherein the plurality of probe pins include a first probe pin and a second probe pin different from the first probe pin.

According to paragraph 2,
The plurality of probe pins include a first probe pin and a second probe pin,
The continuity member is
a first member in electrical contact with the first probe pin;
It is positioned at intervals in a third direction intersecting the first direction and the second direction with respect to the first member, and is electrically independent from the first member, and is in electrical contact with the second probe pin. It includes a second member,
The first member is,
a first body extending along the second direction;
a first protrusion extending from the first body portion in the third direction and in a direction approaching the second member, and electrically contacting the second end of the first probe pin;
The second member,
a second body extending along the second direction;
A test socket having a second protrusion extending from the second body portion in the third direction and in a direction approaching the first member, and electrically contacting the second end of the second probe pin.

According to clause 3 or 4,
The number of first probe pins is greater than the number of second probe pins,
An inspection socket wherein the number of the first protrusions is greater than the number of the second protrusions.

According to any one of claims 1 to 4,
An inspection socket wherein the housing has a window portion through which the probe pin housed therein can be viewed from the outside.

An inspection device comprising at least one inspection socket according to any one of claims 1 to 4.

In clause 7,
An inspection device, wherein a dimension of the probe pin in a third direction intersecting the first direction and the second direction is larger than a dimension of the electrode in the third direction.

In clause 7,
An inspection device, wherein the first end of the probe pin has a flat surface contactable with the electrode.

In clause 7,
The inspection object includes a plurality of electrodes arranged at intervals in a third direction crossing the first direction and the second direction,
An inspection device, wherein a dimension of the inspection socket in the third direction is smaller than a distance between adjacent electrodes.