KR101911005B1

KR101911005B1 - Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus

Info

Publication number: KR101911005B1
Application number: KR1020180012053A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2018-01-11
Filing date: 2018-01-31
Publication date: 2018-10-24
Also published as: CN111602062B; WO2019138507A1; CN111602062A; JPWO2019138507A1; KR20190085835A; JP6988920B2

Abstract

The present invention provides a probe pin capable of being in contact with an inspection object and an inspection device under different contact loads, an inspection jig having the probe pin, an inspection unit having the inspection jig, and an inspection device having the inspection unit. The probe pin comprises: a first contact part and a second contact part; an intermediate part located between the first contact part and the second contact part; a first elastic part connected to the first contact part and the intermediate part, and extending and contracting along an arrangement direction of the first contact part and the second contact part; and a second elastic part connected to the intermediate part and the second contact part, and extending and contracting along the arrangement direction of the first contact part and the second contact part. A spring constant of the first elastic part is made smaller than the spring constant of the second elastic part.

Description

[0001] PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS [0002]

본 발명은, 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한다.The present invention relates to a probe pin, an inspection jig having the probe pin, an inspection unit having the inspection jig, and an inspection apparatus having the inspection unit.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.In an electronic component module such as a camera or a liquid crystal panel, conduction inspection and operation characteristic inspection are generally performed in the manufacturing process. These inspections are performed by connecting probe units to electrode units such as an FPC contact electrode or a mounted board-to-board connector for connection to a main substrate provided on the electronic component module using a probe pin.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 사행부에 의해 각 콘택트와 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자 사이의 접압을 확보하여, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대한 접촉 신뢰성을 높이고 있다.As such a probe pin, for example, there is one described in Patent Document 1. The probe pin has a pair of contacts each capable of being brought into contact with an electrode terminal of the electronic component and an electrode terminal of the electronic component to be connected and a meandering portion interposed between the pair of contacts to connect the pair of contacts. In the probe pin, the meandering portion secures contact pressure between the contacts and the electrode terminals of the electronic component and the electrode terminals of the electronic component to be connected, so that the contact reliability with respect to the electrode terminals of the electronic component and the electrode terminals of the electronic component to be connected It is increasing.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-134202

근년, 검사 대상물의 다양화 등에 따라, 예를 들어 검사 대상물의 파손 등을 방지하기 위해 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 각각 상이한 접촉 하중으로 접촉할 것이 프로브 핀에 요구되는 경우가 있다.In recent years, depending on the diversification of objects to be inspected, for example, in order to prevent breakage or the like of the object to be inspected, there is a case where the probe pin is required to contact the object to be inspected and the inspection apparatus with different contact loads.

특허문헌 1의 프로브 핀에서는, 각 콘택트가 전체로 1개의 탄성부를 구성하는 사행부의 양단부에 각각 접속되어 있으므로, 전자 부품 및 피접속 전자 부품에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉할 수 없는 경우가 있다.In the probe pin of Patent Document 1, since the contacts are connected to both ends of the meandering portion constituting one elastic portion as a whole, there are cases where the contact portions can not contact the electronic component and the connected electronic component with different contact loads.

본 발명은, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉가능한 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛, 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a probe pin which can be brought into contact with an object to be inspected and an inspection apparatus under different contact loads, an inspection jig having the probe pin, an inspection unit having the inspection jig, and an inspection apparatus having the inspection unit .

본 발명의 일례의 프로브 핀은,In an exemplary embodiment of the present invention,

판형 제1 접촉부 및 판형 제2 접촉부와,A plate-like first contact portion and a plate-like second contact portion,

상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 사이에 배치된 중간부와,An intermediate portion disposed between the first contact portion and the second contact portion,

상기 제1 접촉부 및 상기 중간부에 접속되며, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부와,A first elastic portion connected to the first contact portion and the intermediate portion and extending and contracting along an arrangement direction connecting the first contact portion and the second contact portion,

상기 중간부 및 상기 제2 접촉부에 접속되며, 상기 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부A second elastic part connected to the intermediate part and the second contact part and extending and contracting along the arrangement direction,

를 구비하고,And,

상기 제1 탄성부의 스프링 상수가 상기 제2 탄성부의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다.The spring constant of the first elastic portion is smaller than the spring constant of the second elastic portion.

또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,Further, in the inspection jig of an example of the present invention,

상기 프로브 핀과,The probe pin,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓A socket having a housing portion capable of accommodating the probe pin,

을 구비하고,And,

상기 소켓이,Wherein,

상기 수용부에 수용된 상기 프로브 핀의 상기 중간부의 그 연장 방향의 양단부를, 상기 배열 방향을 따라 상기 제2 접촉부로부터 상기 제1 접촉부를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 갖고 있다.And a latching support portion for latching both end portions of the probe pin in the extending direction of the intermediate portion of the probe pin accommodated in the accommodating portion in the direction from the second contact portion to the first contact portion along the arrangement direction.

또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,Further, in the inspection unit according to an example of the present invention,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one of the inspection jigs was provided.

또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,Further, in an inspection apparatus according to an example of the present invention,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.And at least one inspection unit.

상기 프로브 핀에 의하면, 제1 접촉부 및 중간부에 접속되며 또한 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부의 스프링 상수가, 중간부 및 제2 접촉부에 접속되며 또한 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀을 실현할 수 있다.According to the probe pin, the spring constant of the first elastic portion connected to the first contact portion and the intermediate portion and extending and contracting along the arrangement direction connecting the first contact portion and the second contact portion is connected to the intermediate portion and the second contact portion, Is smaller than the spring constant of the second elastic portion extending and contracting along the arrangement direction connecting the first contact portion and the second contact portion. Thereby, it is possible to realize a probe pin which can be brought into contact with the object to be inspected and the inspection apparatus with different contact loads.

또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.Further, according to the inspection jig, the inspection object can be contacted to the inspection apparatus by the probe pins, which have different required contact loads, and the inspection jig can be realized.

또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 유닛을 실현할 수 있다.Further, according to the inspection unit, the inspection object can be brought into contact with the inspection object and the inspection object having different contact loads required by the inspection jig.

또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.Further, according to the inspection apparatus, it is possible to realize the inspection object which can be contacted to the inspection object and the object to be inspected which have different contact loads required by the inspection unit.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태의 검사 지그를 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다.
도 5는 도 4의 프로브 핀의 평면도이다.
도 6은 도 4의 프로브 핀의 제1 탄성부, 제2 탄성부 및 중간부의 확대 평면도이다.
도 7은 도 4의 프로브 핀의 제1 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 8은 도 7의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 9는 도 4의 프로브 핀의 제2 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 10은 도 9의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 11은 도 4의 프로브 핀의 제3 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 12는 도 11의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 13은 도 4의 프로브 핀의 제4 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 14는 도 13의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 15는 도 4의 프로브 핀의 제5 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 16은 도 15의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 17은 도 4의 프로브 핀의 제6 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 18은 도 17의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 19는 도 4의 프로브 핀의 제7 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 20은 도 19의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 21은 도 4의 프로브 핀의 제8 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 22는 도 21의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 23은 도 21의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 22의 XXIII-XXIII선을 따른 단면도이다.1 is a perspective view showing an inspection unit of an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing a test jig according to an embodiment of the present invention.
3 is a sectional view taken along the line III-III in Fig.
4 is a perspective view showing a probe pin according to an embodiment of the present invention.
5 is a plan view of the probe pin of FIG.
6 is an enlarged plan view of the first elastic portion, the second elastic portion and the middle portion of the probe pin of FIG.
Fig. 7 is a perspective view showing a first modification of the probe pin of Fig. 4;
FIG. 8 is a cross-sectional view of the test jig housing the probe pin of FIG. 7 along the line III-III of FIG. 2;
Fig. 9 is a perspective view showing a second modification of the probe pin of Fig. 4;
10 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 2 of the test jig housing the probe pin of FIG. 9;
11 is a perspective view showing a third modification of the probe pin of Fig.
12 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 2 of the test jig housing the probe pin of FIG.
13 is a perspective view showing a fourth modification of the probe pin of FIG.
14 is a cross-sectional view taken along the line III-III of Fig. 2 of the test jig housing the probe pin of Fig. 13;
15 is a perspective view showing a fifth modification of the probe pin of Fig.
16 is a cross-sectional view of the test jig housing the probe pin of Fig. 15 along line III-III in Fig. 2;
17 is a perspective view showing a sixth modification of the probe pin of Fig.
FIG. 18 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 2 of the test jig housing the probe pin of FIG. 17;
Fig. 19 is a perspective view showing a seventh modification of the probe pin of Fig. 4;
20 is a cross-sectional view taken along the line III-III of Fig. 2 of the test jig housing the probe pin of Fig. 19;
Fig. 21 is a perspective view showing a eighth modification of the probe pin of Fig. 4;
22 is a cross-sectional view taken along the line III-III of Fig. 2 of the test jig housing the probe pin of Fig. 21;
23 is a cross-sectional view taken along the line XXIII-XXIII in FIG. 22 of the test jig housing the probe pin of FIG.

이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description, terms (for example, terms including "upper", "lower", "right", "left") indicating specific directions or positions are used as necessary, Are intended to facilitate understanding of the present invention with reference to the drawings, and the technical scope of the present invention is not limited by the meanings of these terms. In addition, the following description is merely exemplary in nature and is not intended to limit the invention, its application, or uses. Also, the drawings are schematic, and the proportions of the respective dimensions and the like are not necessarily in agreement with reality.

본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은 도전성을 갖고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판형 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.The probe pin 10 of the embodiment of the present invention has conductivity and is used in a state of being accommodated in the socket 3 as shown in Fig. 1 and Fig. 2, for example. The probe pin 10, together with the socket 3, 2). In this inspection jig 2, for example, a plurality of elongated thin plate-like probe pins 10 are housed.

또한, 검사 지그(2)는 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 적어도 하나의 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체형 베이스 하우징(4)을 구비하고 있다. 이 베이스 하우징(4)은 대략 직사각형 판형 제1 하우징(5)과, 이 제1 하우징(5)의 판 두께 방향으로 적층된 제2 하우징(6)으로 구성되어 있다.Further, the inspection jig 2 constitutes a part of the inspection unit 1. As shown in Fig. 1, the inspection unit 1 is provided with a substantially rectangular parallelepiped base housing 4 in which at least one inspection jig 2 is embedded. The base housing 4 is composed of a substantially rectangular first housing 5 and a second housing 6 laminated in the thickness direction of the first housing 5.

소켓(3)은, 도 3에 도시한 바와 같이 제1 개구면(51)과, 제1 개구면(51)에 대향하는 제2 개구면(52)과, 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)에 직교하는 방향으로 각각 연장되는 복수의 수용부(7)를 갖는 대략 직육면체형 하우징(50)을 구비하고 있다. 즉, 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)은, 각각 대략 직육면체형 하우징(50)의 일면을 구성하고 있다.3, the socket 3 includes a first opening surface 51, a second opening surface 52 opposed to the first opening surface 51, a first opening surface 51, And a substantially rectangular parallelepiped housing 50 having a plurality of receiving portions 7 each extending in a direction orthogonal to the two spherical surfaces 52. That is, the first opening surface 51 and the second opening surface 52 constitute one surface of the substantially rectangular parallelepiped housing 50, respectively.

도 2에 도시한 바와 같이, 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)은 그 길이 방향을 따라 일렬로 나란히 또한 등간격으로 배치된 복수의 개구부(53, 54)를 각각 갖고 있다(도 2에는 제1 개구면(51)의 개구부(53)만 도시함). 각 수용부(7)에는, 각각 제1 개구면(51)의 개구부(53) 및 제2 개구면(52)의 개구부(54)가 1조씩 접속되어 있다.As shown in Fig. 2, the first opening surface 51 and the second opening surface 52 have a plurality of openings 53, 54 arranged in a row and in equal intervals along the longitudinal direction thereof (Only the opening 53 of the first opening surface 51 is shown in Fig. 2). A pair of openings 53 of the first opening surface 51 and openings 54 of the second opening surface 52 are connected to the respective accommodating portions 7, respectively.

각 수용부(7)는 슬릿상을 갖고, 각 프로브 핀(10)을 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하면서 유지 가능함과 함께, 수용한 프로브 핀(10)의 판면끼리가 서로 대향하도록 나란히 인접하여 배치되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 각 수용부(7)에는 제1 개구면(51)의 개구부(53)를 통해 후술하는 제1 접점부(111)가 소켓(3)의 외부로 노출되고, 제2 개구면(52)의 개구부(54)를 통해 후술하는 제3 접점부(121)가 소켓(3)의 외부로 노출되도록 각 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.Each of the receiving portions 7 has a slit shape and is capable of holding and holding the respective probe pins 10 electrically independent of each other and is arranged adjacent to and parallel to the plate surfaces of the received probe pins 10 . The first contact portion 111 described later is exposed to the outside of the socket 3 through the opening portion 53 of the first opening surface 51 in each accommodating portion 7 as shown in Fig. The respective probe pins 10 are accommodated such that the third contact portions 121 described later are exposed to the outside of the socket 3 through the openings 54 of the two spherical surfaces 52. [

도 3에 도시한 바와 같이 각 수용부(7)의 배열 방향(즉, 도 3의 지면 관통 방향)으로부터 보아, 각 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 내면 중 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)에 직교하는 한 쌍의 내측면에 각각 단차부(55)(걸림 지지부의 일례)가 마련되어 있다. 각 단차부(55)는 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)의 중간부에 서로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 단차부(55)를 경계로 하여, 각 수용부(7)의 제1 개구면(51)측의 폭(즉, 각 수용부(7)의 배열 방향으로부터 보아, 각 수용부(7)에 있어서의 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)에 평행한 방향의 길이)(W1)이 제2 개구면(52)측의 폭(W2)보다도 작게 되어 있다.As viewed from the arrangement direction of the accommodating portions 7 (that is, the through-surface passing direction in Fig. 3) as shown in Fig. 3, the first opening spherical surface of the inner surface of the housing 50 constituting each accommodating portion 7 51 and a pair of inner side surfaces orthogonal to the second opening surface 52 are provided with a stepped portion 55 (an example of the engagement supporting portion). Each of the step portions 55 is arranged so as to be opposed to each other in the middle of the first opening surface 51 and the second opening surface 52. [ The width of each accommodating portion 7 on the first opening surface 51 side (that is, the width of each accommodating portion 7 as viewed from the arrangement direction of the accommodating portions 7) The length W1 in the direction parallel to the first opening surface 51 and the second opening surface 52 in the second opening surface 52 is smaller than the width W2 on the second opening surface 52 side.

각 프로브 핀(10)은, 도 4에 도시한 바와 같이 판형 제1 접촉부(11) 및 판형 제2 접촉부(12)와, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 사이에 배치된 판형 중간부(13)와, 제1 접촉부(11) 및 중간부(13)에 접속된 제1 탄성부(14)와, 중간부(13) 및 제2 접촉부(12)에 접속된 제2 탄성부(15)를 구비하고 있다. 이 프로브 핀(10)에서는, 예를 들어 전기 주조법으로 형성되며, 제1 접촉부(11), 제2 접촉부(12), 중간부(13), 제1 탄성부(14) 및 제2 탄성부(15)가 일체로 구성되어 있다.Each of the probe pins 10 has a plate-like first contact portion 11 and a plate-like second contact portion 12 as shown in Fig. 4 and a plurality of probe pins 10 arranged between the first contact portion 11 and the second contact portion 12 A first elastic portion 14 connected to the first contact portion 11 and the intermediate portion 13 and a second elastic portion 14 connected to the intermediate portion 13 and the second contact portion 12, (15). The probe pin 10 is formed by, for example, an electroforming method and includes a first contact portion 11, a second contact portion 12, an intermediate portion 13, a first elastic portion 14, 15 are integrally formed.

제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)는, 도 5에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 긴 방향으로 연장되는 가상 직선(L3)을 따라 서로 직렬적으로 배치되어 있다.The first contact portion 11 and the second contact portion 12 are arranged in series with each other along a virtual straight line L3 extending in the longitudinal direction of the probe pin 10 as shown in Fig.

제1 접촉부(11)는, 도 5에 도시한 바와 같이 직선(L3)을 따라 연장되어 있고, 그 연장 방향의 일단부(즉, 제1 접촉부(11)의 연장 방향에 있어서의 중간부(13)로부터 먼 쪽의 단부)에 제1 접점부(111)가 마련되고, 그 연장 방향의 타단부(즉, 제1 접촉부(11)의 연장 방향에 있어서의 중간부에 가까운 쪽의 단부)에 제1 탄성부(14)가 접속되어 있다.The first contact portion 11 extends along the straight line L3 as shown in Fig. 5 and has one end in the extending direction (i.e., the middle portion 13 in the extending direction of the first contact portion 11 (That is, the end closer to the intermediate portion in the extending direction of the first contact portion 11) is provided with the first contact portion 111 at the other end One elastic portion 14 is connected.

제2 접촉부(12)는, 도 5에 도시한 바와 같이 직선(L3)을 따라 연장되어 있고, 그 연장 방향의 일단부(즉, 제2 접촉부(12)의 연장 방향에 있어서의 중간부(13)로부터 먼 쪽의 단부)에 제2 접점부(121)가 마련되어 있다.The second contact portion 12 extends along the straight line L3 as shown in Fig. 5 and has one end in the extending direction (that is, the middle portion 13 in the extending direction of the second contact portion 12) The second contact portion 121 is provided at the end of the second contact portion 121. [

또한, 각 수용부(7)에 수용된 상태에서는, 각 프로브 핀(10)의 제1 접점부(111) 및 제2 접점부(121)는 도 2에 도시한 바와 같이, 각 수용부(7)의 배열 방향에 평행한 가상 직선(L1, L2) 상에 각각 배치되어 있다.The first contact portion 111 and the second contact portion 121 of each probe pin 10 are accommodated in the respective receiving portions 7 as shown in Fig. On the imaginary straight lines L1 and L2 parallel to the arrangement direction of the light emitting diodes.

중간부(13)는, 도 5에 도시한 바와 같이 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향(즉, 직선(L3)의 연장 방향)에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 대략 직사각형 판형으로 되어 있다. 이 중간부(13)는, 그 길이 방향의 길이(W3)가 프로브 핀(10)의 폭(즉, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향(즉, 도 5의 지면 관통 방향)으로부터 보아 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향의 길이)의 최댓값이 되도록 구성되어 있다.5, the intermediate portion 13 is formed so as to extend in a direction intersecting the arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected (that is, the extending direction of the straight line L3) In the direction perpendicular to the longitudinal direction). The intermediate portion 13 is formed so that the length W3 in the longitudinal direction of the intermediate portion 13 is equal to or greater than the width W1 of the probe pin 10 L3 in the direction orthogonal to the extending direction).

제1 탄성부(14)는, 도 5에 도시한 바와 같이 가늘고 긴 띠 형상을 갖고, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향으로 신축하도록 구성되어 있다.The first elastic portion 14 has an elongated strip shape as shown in Fig. 5, and is configured to expand and contract in the arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected.

상세하게는, 도 6에 도시한 바와 같이 제1 탄성부(14)는 복수의 직선 띠부(161) 및 복수의 만곡 띠부(162)(이 실시 형태에서는, 일례로서 5개의 직선 띠부(161) 및 6개의 만곡 띠부(162))가 직선(L3)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고 있다. 각 직선 띠부(161)는 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있음과 함께, 적어도 그 연장 방향의 단부 한쪽이 만곡 띠부(162)에 접속되어 있다. 각 만곡 띠부(162)는 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향을 따라 직선(L3)으로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있음과 함께, 적어도 그 연장 방향의 단부 한쪽이 직선 띠부(161)에 접속되어 있다. 또한, 각 만곡 띠부(162)는 그 돌출 방향이 직선(L3)의 연장 방향을 따라 교대로 반전되도록 배치되어 있다.6, the first elastic portion 14 includes a plurality of straight band portions 161 and a plurality of curved band portions 162 (in this embodiment, five straight band portions 161 and six straight band portions 161 in this embodiment) Six curved band portions 162) have a meandering shape alternately connected along the extending direction of the straight line L3. Each of the straight strip portions 161 extends in a direction perpendicular to the extending direction of the straight line L3 and at least one end portion in the extending direction is connected to the curved strip portion 162. [ Each of the curved band portions 162 extends in an arc shape protruding in a direction away from the straight line L3 along a direction orthogonal to the extending direction of the straight line L3 and at least one end portion in the extending direction extends from the straight line L3, (Not shown). In addition, each of the curved band portions 162 is arranged such that their projecting directions are alternately reversed along the extending direction of the straight line L3.

직선(L3)의 연장 방향에 있어서 중간부(13)로부터 가장 이격되어 배치된 만곡 띠부(162)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 직선 띠부(161)의 연장 방향에 있어서의 만곡 띠부(162)가 접속되어 있는 단부의 반대측의 단부)가 제1 접촉부(11)에 접속되어 있다. 또한, 직선(L3)의 연장 방향에 있어서 중간부(13)에 가장 접근하여 배치된 만곡 띠부(162)의 일단부(즉, 만곡 띠부(162)의 연장 방향에 있어서의 직선 띠부(161)가 접속되어 있는 단부의 반대측의 단부)가 중간부(13)의 연장 방향에 있어서의 일단부측(즉, 도 6의 우측)에서 중간부(13)에 접속되어 있다.One end in the extending direction of the curved band portion 162 disposed farthest from the intermediate portion 13 in the extending direction of the straight line L3 (that is, the curved band portion 162 in the extending direction of the straight band 161) ) Is connected to the first contact portion 11. The first contact portion 11 is connected to the first contact portion 11, One end of the curved band portion 162 disposed closest to the intermediate portion 13 in the extending direction of the straight line L3 (i.e., the straight band portion 161 in the extending direction of the curved band portion 162) Is connected to the intermediate portion 13 at one end side in the extending direction of the intermediate portion 13 (i.e., the right side in Fig. 6).

제2 탄성부(15)는, 도 5에 도시한 바와 같이 서로 간극(153)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는 2개의 띠 형상 탄성편)(151, 152)을 갖고, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향으로 신축하도록 구성되어 있다.As shown in Fig. 5, the second elastic portion 15 has a plurality of band-shaped elastic pieces (two band-shaped elastic pieces in this embodiment) 151 and 152 arranged with a gap 153 therebetween , The first contact portion (11), and the second contact portion (12).

도 6에 도시한 바와 같이, 각 띠 형상 탄성편(151, 152)은 가늘고 긴 띠 형상을 갖고, 복수의 직선 띠부(171) 및 복수의 만곡 띠부(172)(이 실시 형태에서는, 일례로서 3개의 직선 띠부(171) 및 3개의 만곡 띠부(172))가 직선(L3)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고 있다. 각 직선 띠부(171)는, 제1 탄성부(14)의 직선 띠부(161)와 마찬가지로 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있음과 함께, 적어도 그 연장 방향의 단부 한쪽이 만곡 띠부(172)에 접속되어 있다. 각 만곡 띠부(172)는, 제1 탄성부(14)의 만곡 띠부(162)와 마찬가지로 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향을 따라 직선(L3)으로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있음과 함께, 적어도 그 연장 방향의 단부 한쪽이 직선 띠부(171)에 접속되어 있다. 또한, 각 만곡 띠부(172)는, 그 돌출 방향이 직선(L3)의 연장 방향을 따라 교대로 반전되도록 배치되어 있다.6, each of the strip-shaped elastic pieces 151, 152 has an elongated strip shape and has a plurality of straight strip portions 171 and a plurality of curved strip portions 172 (in this embodiment, for example, 3 Three rectilinear band portions 171 and three curvilinear band portions 172) have a meandering shape alternately connected along the extending direction of the straight line L3. Each of the straight strip portions 171 extends in a direction perpendicular to the extending direction of the straight line L3 like the straight strip portion 161 of the first elastic portion 14 and at least one end portion in the extending direction is curved And is connected to the band portion 172. Like the curved band portion 162 of the first elastic portion 14, each of the curved band portions 172 has an arcuate shape protruding in a direction away from the straight line L3 along a direction orthogonal to the extending direction of the straight line L3 And at least one end portion in the extending direction is connected to the straight strip portion 171. [ Each of the curved band portions 172 is arranged so that the projecting direction thereof is alternately reversed along the extending direction of the straight line L3.

직선(L3)의 연장 방향에 있어서 중간부(13)로부터 가장 이격되어 배치된 직선 띠부(171)의 연장 방향의 타단부(즉, 직선 띠부(171)의 연장 방향에 있어서의 만곡 띠부(172)가 접속되어 있는 단부의 반대측의 단부)가 제2 접촉부(12)에 접속되어 있다. 또한, 직선(L3)의 연장 방향에 있어서 중간부(13)에 가장 접근하여 배치된 만곡 띠부(172)의 타단부(즉, 만곡 띠부(172)의 연장 방향에 있어서의 직선 띠부(171)가 접속되어 있는 단부의 반대측의 단부)가 중간부(13)의 연장 방향에 있어서의 일단부측에서 중간부(13)에 접속되어 있다.The other end in the extending direction of the rectilinear band portion 171 disposed at the most distance from the intermediate portion 13 in the extending direction of the straight line L3 (that is, the curved band portion 172 in the extending direction of the rectilinear band portion 171) Is connected to the second contact portion 12. As shown in Fig. The other end of the curved band 172 arranged closest to the intermediate portion 13 in the extending direction of the straight line L3 (i.e., the straight band 171 in the extending direction of the curved band 172) Is connected to the intermediate portion 13 at the one end side in the extending direction of the intermediate portion 13. [

즉, 상기 프로브 핀(10)에서는, 제1 탄성부(14)의 중간부(13) 및 제1 접촉부(11) 사이의 제1 경로(61)의 길이(즉, 각 직선 띠부(161) 및 각 만곡 띠부(162)의 그 연장 방향의 길이의 합계)와, 제2 탄성부(15)의 중간부(13) 및 제2 접촉부(12) 사이의 제2 경로(62)의 길이(즉, 각 직선 띠부(171) 및 각 만곡 띠부(172)의 그 연장 방향의 길이의 합계의 평균)가 상이하다.That is, in the probe pin 10, the length of the first path 61 between the intermediate portion 13 of the first elastic portion 14 and the first contact portion 11 (that is, And the length of the second path 62 between the intermediate portion 13 and the second contact portion 12 of the second elastic portion 15, that is, the length of the second path 62 between the middle portion 13 and the second contact portion 12, The average of the sum of the lengths of the respective straight band segments 171 and each of the curved band segments 172 in the extending direction).

또한, 제2 탄성부(15)의 각 띠 형상 탄성편(151, 152)은, 그 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(151, 152)의 제2 접촉부(12) 및 중간부(13) 사이의 경로 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W5, W6)의 합계가 제1 탄성부(14)의 폭(즉, 제1 탄성부(14)의 제1 접촉부(11) 및 중간부(13) 사이의 경로 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W4)보다도 커지도록 구성되어 있다.Each of the strip-shaped elastic pieces 151 and 152 of the second elastic part 15 has a width (that is, the width of the second contact part 12 and the middle part 13 of each strip- W5 and W6 are equal to the width of the first elastic portion 14 (i.e., the width of the first contact portion 11 of the first elastic portion 14 and the width of the intermediate portion 14 of the first elastic portion 14) (Length in the width direction orthogonal to the path extending direction between the outer circumferential surface 13 and the outer circumferential surface 13).

즉, 상기 프로브 핀(10)에서는 제1 경로(61)의 폭(즉, 제1 탄성부(14)의 폭(W4))과, 제2 경로(62)의 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(151, 152)의 폭(W5, W6)의 합계)이 상이하다.That is, in the probe pin 10, the width of the first path 61 (i.e., the width W4 of the first elastic part 14) and the width of the second path 62 (i.e., (The sum of the widths W5 and W6 of the pieces 151 and 152).

그 결과, 제1 탄성부(14)의 스프링 상수와 제2 탄성부(15)의 스프링 상수가 상이하다. 구체적으로는, 제1 탄성부(14)의 스프링 상수가 제2 탄성부(15)의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 제1 접점부(111)의 검사 대상물 또는 검사 장치에 대한 접압을 제2 접점부(121)의 검사 대상물 또는 검사 장치에 대한 접압보다도 작게 할 수 있다. 즉, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.As a result, the spring constant of the first elastic portion 14 and the spring constant of the second elastic portion 15 are different. Specifically, the spring constant of the first elastic portion 14 is made smaller than the spring constant of the second elastic portion 15. Thus, the contact pressure of the first contact portion 111 with respect to the inspection object or the inspection apparatus can be made smaller than the contact pressure of the second contact portion 121 with respect to the inspection object or the inspection apparatus. That is, it is possible to realize the probe pin 10 which can be contacted with the object to be inspected and the inspection apparatus by different contact loads.

또한, 상기 프로브 핀(10)에서는, 각 탄성부(14, 15)의 사행 형상의 굽이의 수(즉, 만곡 띠부(162, 172)의 수)를 상이하게 함으로써 제1 탄성부(14)의 제1 경로(61)의 길이와 제2 탄성부(15)의 제2 경로(62)의 길이를 상이하게 하고, 또한 제1 경로(61)의 폭과 제2 경로(62)의 폭을 상이하게 하여 제1 탄성부(14)의 스프링 상수와 제2 탄성부(15)의 스프링 상수를 상이하게 하고 있지만, 이것으로 제한되지 않는다. 제1 탄성부(14)의 스프링 상수와 제2 탄성부(15)의 스프링 상수가 상이한 구성이면, 임의의 구성을 채용할 수 있다. 예를 들어, 프로브 핀(10)이 동일한 도전성의 재료로 구성되어 있는 경우, 경로(61, 62)의 길이, 경로(61, 62)의 폭, 경로(61, 62)의 판 두께 및 각 탄성부(14, 15)의 만곡 띠부(162, 172)의 수 중 적어도 어느 것이 상이하도록 제1 탄성부(14) 및 제2 탄성부(15)를 구성해도 된다. 즉, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.In the probe pin 10, the number of turns of the serpentine shape of each of the elastic portions 14, 15 (that is, the number of the curved band portions 162, 172) The length of the first path 61 and the length of the second path 62 of the second elastic part 15 are made different from each other and the width of the first path 61 and the width of the second path 62 are different from each other The spring constant of the first elastic portion 14 is different from the spring constant of the second elastic portion 15, but the present invention is not limited thereto. Any configuration may be adopted as far as the spring constant of the first elastic portion 14 and the spring constant of the second elastic portion 15 are different from each other. For example, when the probe pins 10 are made of the same conductive material, the length of the paths 61 and 62, the width of the paths 61 and 62, the thickness of the paths 61 and 62, The first elastic portion 14 and the second elastic portion 15 may be configured so that at least one of the curved band portions 162 and 172 of the portions 14 and 15 is different from each other. That is, the probe pin 10 having a high degree of freedom in designing can be realized.

또한, 상기 프로브 핀(10)에 의하면, 제1 탄성부(14) 및 제2 탄성부(15)의 각각이 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향으로 교차하는 직선 띠부(161, 171)와, 직선 띠부(161, 171)에 접속된 만곡 띠부(162, 172)가 교대로 연속되는 사행 형상을 갖고 있다. 이에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.According to the probe pin 10, each of the first elastic portion 14 and the second elastic portion 15 is formed so as to be in contact with the first contact portion 11 and the second contact portion 12, And the curved band portions 162 and 172 connected to the straight band portions 161 and 171 are alternately juxtaposed in a serpentine shape. Thereby, the probe pin 10 which can be brought into contact with the object to be inspected and the inspection apparatus with different contact loads can be easily realized.

또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.Further, according to the inspection jig 2, it is possible to realize the inspection object having different contact loads required by the probe pin 10 and the inspection jig 2 capable of contacting the inspection device.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 검사 지그(2)에서는 프로브 핀(10)은 중간부(13)의 그 연장 방향으로, 양단부가 소켓(3)의 하우징(50)의 내측면에 마련된 단차부(55)에 접촉한 상태로 수용부(7)에 수용되어 있다. 즉, 프로브 핀(10)은, 걸림 지지부의 일례의 단차부(55)에 의해 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향을 따라 스프링 상수가 큰 제2 탄성부(15)에 접속된 제2 접촉부(12)로부터, 스프링 상수가 작은 제1 탄성부(14)에 접속된 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 지지되면서 걸림 지지되어 있다. 이에 의해, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 지그(2)를 확실하게 실현할 수 있다.3, the probe pins 10 of the test jig 2 are arranged in the extending direction of the intermediate portion 13 with both end portions provided on the inner surface of the housing 50 of the socket 3 And is accommodated in the accommodating portion 7 in a state of being in contact with the stepped portion 55. That is, the probe pin 10 is fixed to the second elastic portion 15 having a large spring constant along the arrangement direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12 by the step portion 55 of the hook supporting portion, While being supported in a direction from the second contact portion 12 connected to the first contact portion 11 connected to the first elastic portion 14 having a smaller spring constant. Thereby, it is possible to reliably realize the inspection object having different required contact loads and the inspection jig 2 capable of contacting with the inspection apparatus.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.Further, according to the inspection unit 1, it is possible to realize the inspection object 1 which can contact the inspection object and the inspection apparatuses having different contact loads required by the inspection jig 2. [

또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.Further, the inspection unit 1 may constitute a part of the inspection apparatus. According to such an inspection apparatus, it is possible to realize an inspection object which can be contacted to an inspection object and inspection objects having different contact loads required by the inspection unit 1.

또한, 검사 지그(2)에 수용된 프로브 핀(10)은, 제1 탄성부(14)의 제1 접촉부(11)에 가장 가까운 위치에 배치된 직선 띠부(161)가 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿고, 제2 탄성부(15)의 제2 접촉부(12)에 가장 가까운 위치에 배치된 직선 띠부(171)가 베이스 하우징(4)의 제1 하우징(5)에 맞닿아 있다. 즉, 상기 검사 유닛(1)에서는, 프로브 핀(10)은 제1 탄성부(14)의 직선 띠부(161) 및 제2 탄성부(15)의 직선 띠부(171)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)에 지지되어 수용부(7)에 유지되어 있다.The probe pin 10 housed in the inspection jig 2 is configured such that the straight band 161 disposed at a position closest to the first contact portion 11 of the first elastic portion 14 constitutes the receiving portion 7 A linear band portion 171 that is in contact with the inner surface 503 of the housing 50 facing the second opening surface 52 and is located closest to the second contact portion 12 of the second elastic portion 15, Is in contact with the first housing (5) of the base housing (4). That is, in the inspection unit 1, the probe pin 10 is formed such that the straight band 161 of the first elastic part 14 and the straight band 171 of the second elastic part 15 are connected to the socket 3 and the base And is held by the housing portion 7 by being supported by the housing 4.

제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1 접점부(111) 및 제2 접점부(121)의 각각은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.The shape of the first contact portion 11 and the second contact portion 12 can be appropriately changed according to the design of the probe pin 10 or the like. For example, each of the first contact portion 111 and the second contact portion 121 can appropriately change the shape, position, and the like according to various forms of the inspection apparatus or the object to be inspected.

각 탄성부(14, 15)는 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향으로 신축하고, 또한 스프링 상수가 서로 상이하도록 구성되어 있으면 된다.The elastic portions 14 and 15 may be configured so as to extend and contract in the arranging direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12 and to have different spring constants.

예를 들어, 도 7 내지 도 10에 도시한 바와 같이 제1 탄성부(14)를 서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 되고, 제2 탄성부(15)를 단일의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 된다.For example, as shown in Figs. 7 to 10, the first elastic portion 14 may be composed of a plurality of band-shaped elastic pieces arranged with a gap therebetween, and the second elastic portion 15 may be formed of a single band Shaped elastic piece.

상세하게는, 도 7 및 도 8에 도시하는 프로브 핀(10)은 제2 탄성부(15)가 단일의 띠 형상 탄성편(154)으로 구성되어 있다. 도 7 및 도 8의 프로브 핀(10)의 제2 탄성부(15)의 띠 형상 탄성편(154)은 3개의 직선 띠부(171) 및 3개의 만곡 띠부(172)가 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고, 그 폭(W7)이 도 6에 도시하는 각 띠 형상 탄성편(151, 152)의 폭(W5, W6)보다도 커지도록 구성되어 있다.Specifically, in the probe pin 10 shown in Figs. 7 and 8, the second elastic portion 15 is constituted by a single strip-shaped elastic piece 154. The elastic strips 154 of the second elastic portion 15 of the probe pin 10 of Figs. 7 and 8 have three straight strips 171 and three curved strips 172, Shaped elastic pieces 151 and 152 shown in Fig. 6, and the width W7 thereof is larger than the widths W5 and W6 of the strip-shaped elastic pieces 151 and 152 shown in Fig.

도 9 및 도 10에 도시하는 프로브 핀(10)은, 제1 탄성부(14)가 서로 간극(143)을 두고 배치된 2개의 띠 형상 탄성편(141, 142)으로 구성되고, 제2 탄성부(15)가 단일의 띠 형상 탄성편(154)으로 구성되어 있다. 도 9 및 도 10의 프로브 핀(10)의 제1 탄성부(14)의 각 띠 형상 탄성편(141, 142)은 3개의 직선 띠부(161)와, 4개의 만곡 띠부(162)가 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 각각 갖고 있다. 또한, 도 9 및 도 10의 프로브 핀(10)의 제2 탄성부(15)의 띠 형상 탄성편(154)은 4개의 직선 띠부(171)와, 4개의 만곡 띠부(172)가 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고, 그 폭(W8)이 도 7 및 도 8의 프로브 핀(10)에 있어서의 제2 탄성부(15)의 띠 형상 탄성편(154)의 폭(W7)보다도 커지도록 구성되어 있다.The probe pins 10 shown in Figs. 9 and 10 are configured such that the first elastic portion 14 is composed of two band-shaped elastic pieces 141 and 142 disposed with a gap 143 therebetween, And the portion 15 is composed of a single strip-shaped elastic piece 154. Each of the strip-shaped elastic pieces 141 and 142 of the first elastic portion 14 of the probe pin 10 shown in Figs. 9 and 10 includes three straight strip portions 161 and four curved strip portions 162, And has a serpentine shape alternately connected along the extending direction of the main body 10. The band-shaped resilient piece 154 of the second elastic portion 15 of the probe pin 10 of Figs. 9 and 10 has four straight band portions 171 and four curved band portions 172, 10 and the width W8 of the strip-shaped elastic piece 154 (see Fig. 10) of the second elastic portion 15 in the probe pin 10 of Figs. 7 and 8, The width W7 of the first and second wirings.

도 9 및 도 10에 도시하는 프로브 핀(10)의 중간부(13)에는, 중간부(13)의 연장 방향의 양단부로부터 중간부(13)의 연장 방향을 따라 서로 반대 방향으로 돌출되는 돌기부(190)가 각각 마련되어 있다. 도 9 및 도 10에 도시하는 프로브 핀(10)은, 중간부(13)의 돌기부(190)를 통해 소켓(3)의 하우징(50)의 내측면(501)을 압박한 상태로 수용부(7)에 수용되어 있다. 또한, 도 10에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)이 하우징(50)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서, 제1 탄성부(14)의 제1 접촉부(11)에 가장 가까운 위치에 배치된 띠 형상 탄성편(141)의 직선 띠부(161)가 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿아 있다. 즉, 프로브 핀(10)은, 걸림 지지부의 일례의 하우징(50)의 내측면(501) 및 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 의해, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향을 따라 스프링 상수가 큰 제2 탄성부(15)에 접속된 제2 접촉부(12)로부터 스프링 상수가 작은 제1 탄성부(14)에 접속된 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지되어 있다.9 and 10 are provided with protrusions protruding in opposite directions along the extending direction of the intermediate portion 13 from both end portions in the extending direction of the intermediate portion 13 190, respectively. The probe pins 10 shown in Figs. 9 and 10 press the inner side surface 501 of the housing 50 of the socket 3 through the protrusions 190 of the intermediate portion 13, 7). 10, in a state in which the probe pin 10 is accommodated in the accommodating portion 7 of the housing 50, the probe pin 10 is located at a position closest to the first contact portion 11 of the first elastic portion 14 The straight strip 161 of the strip-shaped elastic piece 141 abuts against the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the receiving portion 7. That is, the probe pin 10 is fixed to the first contact portion 11 and the second contact portion 12 by the inner surface 503 of the housing 50 and the inner surface 503 facing the second opening surface 52, A first contact portion 11 connected to the first elastic portion 14 having a small spring constant from the second contact portion 12 connected to the second elastic portion 15 having a large spring constant along the arrangement direction of the two contact portions 12, As shown in Fig.

또한, 도 10에 도시하는 소켓(3)의 하우징(50)에는, 하우징(50)의 내측면(501) 및 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 의해 프로브 핀(10)이 걸림 지지되어 있기 때문에 단차부(55)를 마련하지 않았지만, 단차부(55)를 갖는 하우징(50)을 사용해도 상관없다.The housing 50 of the socket 3 shown in Fig. 10 is provided with the probe pin 10 by the inner surface 503 of the housing 50 and the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52, The stepped portion 55 is not provided. However, the housing 50 having the stepped portion 55 may be used.

또한, 예를 들어 도 11 및 도 12에 도시한 바와 같이, 제2 탄성부(15)를 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 직렬적으로 연결된 2개의 탄성 유닛(155)으로 구성해도 된다.11 and 12, the second elastic portion 15 may be composed of two elastic units 155 connected in series along the extending direction of the probe pin 10. In this case,

상세하게는, 도 12에 도시한 바와 같이 각 탄성 유닛(155)은 프로브 핀(10)의 연장 방향으로 연장되어 있는 연결 띠부(180)와, 프로브 핀(10)의 연장 방향에 직교하는 폭 방향으로 연장됨과 함께 프로브 핀(10)의 연장 방향에 간극을 두고 배치된 한 쌍의 직선 띠부(181)와, 각 직선 띠부(181)의 연결 띠부(180)에 대하여 동일한 측에 배치된 단부를 각각 접속하는 만곡 띠부(182)로 구성되어 있다. 만곡 띠부(182)는, 프로브 핀(10)의 연장 방향의 직교 방향이며 또한 연결 띠부(180)로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있다.12, each of the elastic units 155 has a connecting strip 180 extending in the extending direction of the probe pin 10 and a connecting strip 180 extending in the width direction perpendicular to the extending direction of the probe pin 10. [ A pair of rectilinear band portions 181 extending in the direction of extension of the probe pin 10 and arranged on the same side with respect to the connecting strip portion 180 of each rectilinear band portion 181, And a curved band portion 182 connected thereto. The curved strip portion 182 extends in an arcuate shape protruding in a direction orthogonal to the extending direction of the probe pin 10 and spaced apart from the connecting strip portion 180. [

프로브 핀(10)의 연장 방향에 있어서의 제1 접촉부(11)측의 탄성 유닛(155)(이하, 제1 탄성 유닛(155)이라고 함)의 연결 띠부(180)는 중간부(13)의 그 연장 방향의 대략 중앙부와, 제1 탄성 유닛(155)의 제1 접촉부(11)측의 직선 띠부(181)의 대략 중앙부에 접속되어 있다. 또한, 프로브 핀(10)의 연장 방향에 있어서의 제2 접촉부(12)측의 탄성 유닛(155)(이하, 제2 탄성 유닛(155)이라고 함)의 연결 띠부(180)는, 제1 탄성 유닛(155)의 제2 접촉부(12)측의 직선 띠부(181)의 대략 중앙부와, 제2 탄성 유닛(155)의 제1 접촉부(11)측의 직선 띠부(181)에 접속되어 있다. 또한, 제2 탄성 유닛(155)의 제2 접촉부(12)측의 직선 띠부(181)의 대략 중앙부에는 제2 접촉부(12)가 접속되어 있다.The connecting band 180 of the elastic unit 155 (hereinafter referred to as the first elastic unit 155) on the first contact portion 11 side in the extending direction of the probe pin 10 is connected to the connecting portion 180 of the intermediate portion 13 And is connected to a substantially central portion of the extending direction and a substantially central portion of the straight strip portion 181 on the first contact portion 11 side of the first elastic unit 155. [ The connection band portion 180 of the elastic unit 155 (hereinafter referred to as the second elastic unit 155) on the side of the second contact portion 12 in the extending direction of the probe pin 10 has the first elasticity Is connected to the substantially central portion of the linear band portion 181 on the second contact portion 12 side of the unit 155 and the linear band portion 181 on the first contact portion 11 side of the second elastic unit 155. [ The second contact portion 12 is connected to a substantially central portion of the straight band portion 181 of the second elastic unit 155 on the second contact portion 12 side.

즉, 각 탄성부(14, 15)는 직선 띠부(161, 171) 및 만곡 띠부(162, 172)로 구성된 사행 형상으로 한정되지 않으며, 각 접점부(111, 121)와 검사 장치 혹은 검사 대상물 사이의 접압을 확보 가능한 다른 구성을 채용할 수도 있다.That is, each of the elastic portions 14 and 15 is not limited to a meandering shape composed of the straight line portions 161 and 171 and the curved line portions 162 and 172, and the contact portions 111 and 121, May be employed.

또한, 제2 탄성부(15)는, 2개의 탄성 유닛(155)을 연결하여 구성하는 경우로 한정되지 않으며, 1개의 탄성 유닛(155)만으로 구성해도 되고, 3개 이상의 탄성 유닛(155)을 연결하여 구성해도 된다. 또한, 제1 탄성부(14)를 복수의 탄성 유닛(155)으로 구성해도 된다.The second elastic portion 15 is not limited to the case where two elastic units 155 are connected to each other and may be composed of only one elastic unit 155 or three or more elastic units 155 Or may be connected and configured. Further, the first elastic portion 14 may be composed of a plurality of elastic units 155.

또한, 예를 들어 도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로부터 보아, 프로브 핀(10)의 연장 방향에 직교하는 방향에 있어서 제2 접촉부(12)가 직선(L3)으로부터 이격되어 배치되도록(즉, 제1 접점부(111) 및 제2 접점부(121)가 오프셋되도록) 제2 탄성부(15)를 구성해도 된다.13 and 14, when the second contact portion 12 is in a straight line (in the direction perpendicular to the extending direction of the probe pin 10) as viewed from the plate thickness direction of the probe pin 10 The second elastic portion 15 may be configured so as to be spaced apart from the first contact portion 111 and the second contact portion 121 (i.e., the first contact portion 111 and the second contact portion 121 are offset).

상세하게는, 도 13 및 도 14의 프로브 핀(10)은, 제2 접촉부(12)가 단일의 띠 형상 탄성편(156)으로 구성되어 있다. 도 13 및 도 14의 프로브 핀(10)의 제2 탄성부(15)의 띠 형상 탄성편(156)은, 2개의 직선 띠부(171) 및 3개의 만곡 띠부(172)가 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상이며, 제1 탄성부(14)의 폭(W4)과 대략 동일한 폭을 갖고 있다.Specifically, in the probe pin 10 of Figs. 13 and 14, the second contact portion 12 is composed of a single strip-shaped elastic piece 156. Shaped elastic piece 156 of the second elastic part 15 of the probe pin 10 of Figs. 13 and 14 is formed such that the two straight band parts 171 and the three curved band parts 172 are connected to the probe pin 10, And has a width substantially equal to the width W4 of the first elastic portion 14. The width W4 of the first elastic portion 14 is substantially equal to the width W4 of the first elastic portion 14,

도 13 및 도 14의 프로브 핀(10)을 수용하는 소켓(3)은, 직선(L3)에 직교하는 방향에 있어서 직선(L3)으로부터 먼 쪽의 하우징(50)의 측벽(502)에 개구부(56)가 마련되어 있다. 이 개구부(56)는, 직선(L3)의 연장 방향에 있어서 단차부(55)로부터 제2 개구면(52)까지 연장되어 수용부(7) 및 제2 개구면(52)의 개구부(54)에 접속되어 있다. 도 13 및 도 14에 도시하는 프로브 핀(10)은, 제2 접촉부(12)가 제2 개구면(52)의 개구부(54) 및 하우징(50)의 측벽(502)의 개구부(56)로부터 하우징(50)의 외부로 노출된 상태로 수용부(7)에 수용되어 있다.The socket 3 accommodating the probe pins 10 of Figs. 13 and 14 is provided with an opening (not shown) in the side wall 502 of the housing 50 farther from the straight line L3 in the direction orthogonal to the straight line L3 56 are provided. The opening portion 56 extends from the stepped portion 55 to the second opening surface 52 in the extending direction of the straight line L3 to form the opening portion 54 of the accommodating portion 7 and the second opening surface 52, Respectively. The probe pins 10 shown in Figs. 13 and 14 are arranged such that the second contact portions 12 are spaced from the openings 54 of the second opening surface 52 and the openings 56 of the side walls 502 of the housing 50 And is accommodated in the accommodating portion 7 in a state exposed to the outside of the housing 50.

또한, 제2 탄성부(15) 대신에 제1 탄성부(14)를 제1 접점부(111) 및 제2 접점부(121)가 오프셋되도록 구성해도 된다.Instead of the second elastic portion 15, the first elastic portion 14 may be configured such that the first contact portion 111 and the second contact portion 121 are offset.

중간부(13)는, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 판상인 경우로 제한되지 않는다. 예를 들어, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 중간부(13)는 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향의 직교 방향으로 연장되는 판형 본체부(130)와, 본체부(130)의 그 연장 방향의 양단부에 각각 설치된 제1 아암부(131) 및 제2 아암부(132)로 구성할 수 있다. 제1 아암부(131)는, 중간부(13)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 도 16의 우측 단부)에 있어서의 제1 접촉부(11)측의 면으로부터 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 제1 접촉부(11)를 향해 연장되어 있다. 또한, 제2 아암부(132)는, 중간부의 그 연장 방향의 타단부(즉, 도 16의 좌측 단부)에 있어서의 제2 접촉부(12)측의 면으로부터 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 제2 접촉부(12)를 향해 연장되어 있다.The intermediate portion 13 is not limited to the plate-like shape extending in the direction crossing the arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected. 15 and 16, the intermediate portion 13 includes a plate-shaped main body portion 130 extending in a direction orthogonal to the arrangement direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12, And a first arm portion 131 and a second arm portion 132 provided at both ends of the body portion 130 in the extending direction thereof. The first arm portion 131 extends from the surface on the side of the first contact portion 11 at one end in the extending direction of the intermediate portion 13 (i.e., the right end in Fig. 16) And extends toward the first contact portion 11 along the direction of the first contact. The second arm portion 132 has an extending direction of the probe pin 10 from the surface on the side of the second contact portion 12 at the other end in the extending direction of the intermediate portion (i.e., the left end in Fig. 16) And extends toward the second contact portion 12.

도 16에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(10)이 하우징(50)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서, 제1 아암부(131)의 선단부(133)는 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿고, 제2 아암부(132)의 선단부(134)는 베이스 하우징(4)의 제1 하우징(5)에 맞닿는다. 즉, 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)이, 수용부(7)에 수용된 프로브 핀(10)의 중간부(13)를 배열 방향을 따라 제2 접촉부(12)로부터 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 구성하고 있다. 또한, 도 15 및 도 16에 도시하는 프로브 핀(10)은, 중간부(13)의 제1 아암부(131) 및 제2 아암부(132)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)에 지지되어, 수용부(7)에 유지되도록 구성되어 있다.16, the distal end portion 133 of the first arm portion 131 is engaged with the receiving portion 7 of the housing 50 in a state in which the probe pin 10 is received in the receiving portion 7 of the housing 50, The distal end portion 134 of the second arm portion 132 comes into contact with the inner surface 503 of the housing 50 which faces the second opening surface 52 of the housing 7 And abuts against the housing (5). The inner surface 503 of the housing 50 which opposes the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the housing portion 7 of the housing 50 is positioned in the middle of the probe pin 10 housed in the housing portion 7 (13) in the direction from the second contact portion (12) to the first contact portion (11) along the arrangement direction. The probe pins 10 shown in Figs. 15 and 16 are arranged such that the first arm portion 131 and the second arm portion 132 of the intermediate portion 13 are connected to the socket 3 and the base housing 4 And is held by the receiving portion 7.

또한, 도 16에 도시하는 소켓(3)의 하우징(50)에는, 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 의해 프로브 핀(10)이 걸림 지지되어 있기 때문에 단차부(55)를 마련하지 않았지만, 단차부(55)를 갖는 하우징(50)을 사용해도 상관없다.In the housing 50 of the socket 3 shown in Fig. 16, the probe pin 10 is held by the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52 of the housing 50 The stepped portion 55 is not provided, but the housing 50 having the stepped portion 55 may be used.

또한, 예를 들어 도 17 및 도 18에 도시한 바와 같이, 중간부(13)는 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향의 직교 방향으로 연장되는 판형 본체부(130)와, 본체부(130)의 그 연장 방향의 일단부에 마련되며, 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 중간부(13)에 대하여 반대 방향으로 연장되는 제3 아암부(135) 및 제4 아암부(136)로 구성할 수 있다. 제3 아암부(135)는, 중간부(13)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 도 18의 우측 단부)에 있어서의 제1 접촉부(11)측으로부터 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 제1 접촉부(11)를 향해 연장되어 있다. 또한, 제3 아암부(135)의 선단부에는, 제3 아암부(135)로부터 제1 접촉부(11)를 향해 본체부(130)와 대략 평행으로 연장되는 맞닿음부(137)가 마련되어 있다. 또한, 제4 아암부(136)는, 중간부(13)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 도 18의 우측 단부)에 있어서의 제2 접촉부(12)측으로부터 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 제2 접촉부(12)를 향해 연장되어 있다. 또한, 제4 아암부(136)의 선단부에는, 제4 아암부(136)로부터 제2 접촉부(12)를 향해 본체부(130)와 대략 평행으로 연장되는 맞닿음부(138)가 마련되어 있다. 또한, 제1 탄성부(14) 및 제2 탄성부(15)와 중간부(13)는, 본체부(130)의 그 연장 방향의 타단부(즉, 도 18의 좌측 단부)에서 접속되어 있다.17 and 18, the intermediate portion 13 includes a plate-shaped main body portion 130 extending in a direction orthogonal to the arrangement direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12, A third arm portion 135 which is provided at one end in the extending direction of the main body portion 130 and extends in the opposite direction to the intermediate portion 13 along the extending direction of the probe pin 10, And an arm portion 136. The third arm portion 135 is extended from the first contact portion 11 side at one end in the extending direction of the intermediate portion 13 (i.e., the right end portion in Fig. 18) to the extending direction of the probe pin 10 And extends toward the first contact portion 11. An abutment portion 137 extending substantially parallel to the main body portion 130 from the third arm portion 135 toward the first abutment portion 11 is provided at the distal end of the third arm portion 135. The fourth arm portion 136 extends from the second contact portion 12 side at one end in the extending direction of the intermediate portion 13 (i.e., the right end portion in Fig. 18) And extends toward the second contact portion 12 along the direction of the first contact. An abutment portion 138 extending substantially parallel to the main body portion 130 from the fourth arm portion 136 toward the second abutment portion 12 is provided at the distal end of the fourth arm portion 136. [ The first elastic portion 14 and the second elastic portion 15 and the intermediate portion 13 are connected to each other at the other end in the extending direction of the main body 130 (i.e., the left end in Fig. 18) .

도 18에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(10)이 하우징(50)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서, 제3 아암부(135)의 맞닿음부(137)는 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿고, 제4 아암부(136)의 맞닿음부(138)는 베이스 하우징(4)의 제1 하우징(5)에 맞닿는다. 즉, 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)이, 수용부(7)에 수용된 프로브 핀(10)의 중간부(13)를 배열 방향을 따라 제2 접촉부(12)로부터 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 구성하고 있다. 또한, 도 17 및 도 18에 도시하는 프로브 핀(10)은, 중간부(13)의 제3 아암부(135)의 맞닿음부(137) 및 제4 아암부(136)의 맞닿음부(138)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)에 지지되어, 수용부(7)에 유지되도록 구성되어 있다.18, the abutment portion 137 of the third arm portion 135 abuts against the abutment portion 137 of the housing 50 when the probe pin 10 is housed in the accommodating portion 7 of the housing 50. In this state, The abutting portion 138 of the fourth arm portion 136 comes into contact with the inner surface 503 of the housing 50 which faces the second opening surface 52 of the housing 50, Of the first housing 5, The inner surface 503 of the housing 50 which opposes the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the housing portion 7 of the housing 50 is positioned in the middle of the probe pin 10 housed in the housing portion 7 (13) in the direction from the second contact portion (12) to the first contact portion (11) along the arrangement direction. The probe pins 10 shown in Figs. 17 and 18 are arranged such that the abutment portion 137 of the third arm portion 135 of the intermediate portion 13 and the abutment portion 137 of the fourth arm portion 136 138 are supported by the socket 3 and the base housing 4 so as to be held in the receiving portion 7.

또한, 도 18에 도시하는 소켓(3)의 하우징(50)에는, 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 의해 프로브 핀(10)이 걸림 지지되어 있기 때문에 단차부(55)를 마련하지 않았지만, 단차부(55)를 갖는 하우징(50)을 사용해도 상관없다.In the housing 50 of the socket 3 shown in Fig. 18, since the probe pin 10 is held by the inner surface 503 facing the second opening surface 52 of the housing 50 The stepped portion 55 is not provided, but the housing 50 having the stepped portion 55 may be used.

또한, 제2 탄성부(15)는 2개의 띠 형상 탄성편(151, 152)으로 구성되어 있는 경우로 한정되지 않으며, 예를 들어 도 19 및 도 20에 도시한 바와 같이 4개의 띠 형상 탄성편(191, 192, 193, 194)으로 구성해도 된다. 또한, 제2 탄성부(15)는 단일의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 되고, 3개의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 되고, 5개 이상의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 된다.The second elastic portion 15 is not limited to the case where the second elastic portion 15 is composed of the two band-like elastic pieces 151 and 152. For example, as shown in Figs. 19 and 20, (191, 192, 193, 194). The second elastic portion 15 may be composed of a single band-shaped elastic piece, or may be composed of three band-shaped elastic pieces or may be composed of five or more band-shaped elastic pieces.

또한, 예를 들어 도 21 및 도 22에 도시한 바와 같이, 중간부(13)에 그 판 두께 방향으로 관통하는 관통 구멍부(139)를 마련해도 된다. 도 21 및 도 22에 도시하는 프로브 핀(10)에서는 중간부(13)는 대략 직사각 형상을 갖고, 그 중앙부에 대략 원 형상의 관통 구멍부(139)가 마련되어 있다. 또한, 도 22에 도시한 바와 같이, 중간부(13)의 프로브 핀(10)의 연장 방향에 있어서의 제1 접촉부(11)측의 면이며 또한 프로브 핀(10)의 연장 방향의 직교 방향에 있어서의 일단부(즉, 도 22의 우측 단부)에 제1 탄성부(14)가 접속되고, 중간부(13)의 프로브 핀(10)의 연장 방향의 직교 방향에 있어서의 일단부측의 면이며 또한 프로브 핀(10)의 연장 방향에 있어서의 제2 접촉부(12)측에 제2 탄성부(15)가 접속되어 있다.21 and 22, the intermediate portion 13 may be provided with a through hole portion 139 penetrating in the thickness direction thereof. In the probe pin 10 shown in Figs. 21 and 22, the intermediate portion 13 has a substantially rectangular shape, and a substantially circular through hole portion 139 is provided at a central portion thereof. 22, the surface of the intermediate portion 13 on the side of the first contact portion 11 in the extending direction of the probe pin 10 and in the direction perpendicular to the extending direction of the probe pin 10 The first elastic portion 14 is connected to one end portion (i.e., the right end portion in Fig. 22) of the intermediate portion 13 and the one end side surface of the intermediate portion 13 in the direction perpendicular to the extending direction of the probe pin 10 And the second elastic portion 15 is connected to the second contact portion 12 side in the extending direction of the probe pin 10.

도 22에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)이 하우징(50)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서, 제1 탄성부(14)의 제1 접촉부(11)에 가장 가까운 위치에 배치된 직선 띠부(161)가 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿고, 제2 탄성부(15)의 직선 띠부(171)가 베이스 하우징(4)의 제1 하우징(5)에 맞닿아 있다. 즉, 도 21 및 도 22에 도시하는 프로브 핀(10)은, 제1 탄성부(14)의 직선 띠부(161) 및 제2 탄성부(15)의 직선 띠부(171)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)에 지지되어, 수용부(7)에 유지되도록 구성되어 있다.22, the probe pin 10 is disposed at a position closest to the first contact portion 11 of the first elastic portion 14 in a state where the probe pin 10 is received in the receiving portion 7 of the housing 50 The linear band portion 161 abuts the inner surface 503 of the housing 50 constituting the receiving portion 7 and opposes the second opening face 52 and the linear band portion 171 of the second elastic portion 15 is in contact with the inner face 503, Is in contact with the first housing (5) of the base housing (4). That is, the probe pin 10 shown in Figs. 21 and 22 is configured such that the straight band 161 of the first elastic portion 14 and the straight band portion 171 of the second elastic portion 15 are connected to the socket 3 and And is supported by the base housing 4 so as to be held in the receiving portion 7.

도 21 및 도 22에 도시하는 프로브 핀(10)을 수용하는 소켓(3)의 하우징(50)은, 도 14에 도시하는 소켓(3)과 마찬가지로 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로부터 보아 직선(L3)에 직교하는 방향에 있어서 직선(L3)으로부터 먼 쪽의 하우징(50)의 측벽(502)에 개구부(56)가 마련되어 있다. 이 소켓(3)의 하우징(50)에는 각 수용부(7)의 배열 방향(즉, 도 22의 지면 관통 방향)으로 연장되어, 각 수용부(7)를 연통하는 연결용 구멍부(504)가 마련되어 있다.The housing 50 of the socket 3 for accommodating the probe pins 10 shown in Figs. 21 and 22 has a straight line 50 as seen from the plate thickness direction of the probe pin 10, like the socket 3 shown in Fig. The opening 56 is provided in the side wall 502 of the housing 50 farther from the straight line L3 in the direction perpendicular to the direction L3. The housing 50 of the socket 3 is provided with a connecting hole portion 504 which extends in the arranging direction of each accommodating portion 7 (i.e., the through-hole penetrating direction of Fig. 22) Respectively.

또한, 도 23에 도시한 바와 같이, 하우징(50)의 각 수용부(7)의 배열 방향의 양단부에는, 제2 개구면(52)으로부터 제1 개구면(51)을 향해 수용부(7)의 배열 방향의 폭이 좁아지는 단차부(57)가 마련되어 있다. 각 프로브 핀(10)은, 중간부(13)의 관통 구멍부(139)에 배치된 대략 원기둥 형상의 연결 막대부(58)에 의해 일체화되어, 대응하는 수용부(7)에 수용된다. 연결 막대부(58)는 연결용 구멍부(504)에 배치되고, 그 연장 방향의 양단부가 하우징(50)의 단차부(57)에 의해 걸림 지지되어 있다. 즉, 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)과, 연결 막대부(58)를 걸림 지지하는 단차부(57)가 수용부(7)에 수용된 프로브 핀(10)의 중간부(13)를 배열 방향을 따라 제2 접촉부(12)로부터 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 구성하고 있다.23, both ends of the accommodating portion 7 of the housing 50 in the arranging direction are provided with a receiving portion 7 from the second opening surface 52 toward the first opening surface 51, And a stepped portion 57 having a narrower width in the arrangement direction. Each probe pin 10 is unified by a substantially cylindrical connecting rod portion 58 disposed in the through hole portion 139 of the intermediate portion 13 and accommodated in the corresponding receiving portion 7. The connecting rod portion 58 is disposed in the connecting hole portion 504 and both end portions of the connecting rod portion 58 in the extending direction are hooked and supported by the stepped portion 57 of the housing 50. An inner surface 503 facing the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the housing portion 7 of the housing 50 and a stepped portion 57 for holding the connecting rod portion 58 Of the probe pin 10 accommodated in the accommodating portion 7 in the direction from the second contact portion 12 toward the first contact portion 11 along the arrangement direction .

검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)을 범용화하여, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.The inspection jig 2 and the base housing 4 can appropriately change their configurations in accordance with various types of inspection apparatuses or objects to be inspected. That is, the inspection jig 2 and the base housing 4 can be generalized to improve the productivity of the inspection unit 1 (and hence the inspection apparatus).

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.Various embodiments of the present invention have been described in detail above with reference to the drawings. Lastly, various forms of the present invention will be described. In the following description, reference numerals are also added as an example.

본 발명의 제1 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the first embodiment of the present invention,

판형 제1 접촉부(11) 및 판형 제2 접촉부(12)와,A plate-like first contact portion 11, a plate-like second contact portion 12,

상기 제1 접촉부(11) 및 상기 제2 접촉부(12)의 사이에 배치된 중간부(13)와,An intermediate portion 13 disposed between the first contact portion 11 and the second contact portion 12,

상기 제1 접촉부(11) 및 상기 중간부(13)에 접속되며, 상기 제1 접촉부(11) 및 상기 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부(14)와,A first elastic part 14 connected to the first contact part 11 and the intermediate part 13 and extending and contracting along the arrangement direction connecting the first contact part 11 and the second contact part 12, ,

상기 중간부(13) 및 상기 제2 접촉부(12)에 접속되며, 상기 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부(15)A second elastic portion (15) connected to the intermediate portion (13) and the second contact portion (12) and extending and contracting along the arrangement direction,

를 구비하고,And,

상기 제1 탄성부(14)의 스프링 상수가 상기 제2 탄성부(15)의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다.The spring constant of the first elastic portion 14 is made smaller than the spring constant of the second elastic portion 15. [

제1 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 제1 접촉부(11) 및 중간부(13)에 접속되며 또한 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부(14)의 스프링 상수가, 중간부(13) 및 제2 접촉부(12)에 접속되며 또한 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부(15)의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the first embodiment of the probe pin 10, the probe pin 10 is connected to the first contact portion 11 and the intermediate portion 13, and extends and contracts along the arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected The spring constant of the first elastic portion 14 is set such that the spring constant of the first elastic portion 14 is connected to the intermediate portion 13 and the second contact portion 12 and is expanded and contracted along the arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected Is smaller than the spring constant of the second elastic portion (15). Thereby, the probe pin 10 which can be brought into contact with the object to be inspected and the inspection apparatus with different contact loads can be realized.

본 발명의 제2 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the second embodiment of the present invention,

상기 제1 탄성부(14)의 상기 중간부(13) 및 상기 제1 접촉부(11) 사이의 제1 경로(61)의 길이와, 상기 제2 탄성부(15)의 상기 중간부(13) 및 상기 제2 접촉부(12) 사이의 제2 경로(62)의 길이가 상이하거나, 혹은 상기 제1 경로(61)의 그 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이인 제1 폭과, 상기 제2 경로(62)의 그 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이인 제2 폭이 상이하거나, 혹은 상기 제1 경로(61)의 길이와 상기 제2 경로(62)의 길이가 상이하며 또한 상기 제1 폭과 상기 제2 폭이 상이하다.The length of the first path 61 between the middle portion 13 and the first contact portion 11 of the first elastic portion 14 and the length of the first path 61 between the middle portion 13 of the second elastic portion 15, And the second width (62) between the second contact portions (12) are different from each other or a width in a width direction orthogonal to the extending direction of the first path (61) The length of the first path 61 is different from the length of the second path 62 and the length of the first path 61 is different from the length of the second path 62, The width is different from the second width.

제2 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the second embodiment, the probe pin 10 having a high degree of freedom in designing can be realized.

본 발명의 제3 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the third embodiment of the present invention,

상기 제1 탄성부(14) 및 상기 제2 탄성부(15)의 각각이 상기 배열 방향으로 교차하는 직선 띠부(161, 171)와, 상기 직선 띠부(161, 171)에 접속된 만곡 띠부(162, 172)가 교대로 연속되는 사행 형상을 갖고 있다.Wherein each of the first elastic portion and the second elastic portion intersects each other in the arranging direction and a curved band portion 162 connected to the linear band portions 161 and 171 And 172 are alternately juxtaposed in a meandering shape.

제3 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the third embodiment, the probe pin 10 which can be brought into contact with the object to be inspected and the inspection apparatus by different contact loads can be easily realized.

본 발명의 제4 형태의 프로브 핀(10)은,In the probe pin 10 of the fourth embodiment of the present invention,

상기 제1 탄성부(14)의 상기 만곡 띠부(162)의 수가 상기 제2 탄성부(15)의 상기 만곡 띠부(172)의 수보다도 많아지도록 구성되어 있다.The number of the curved band portions 162 of the first elastic portion 14 is larger than the number of the curved band portions 172 of the second elastic portion 15. [

제4 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the fourth embodiment, the probe pin 10 having a high degree of freedom in designing can be realized.

본 발명의 제5 형태의 검사 지그(2)는,In the inspection jig (2) of the fifth aspect of the present invention,

제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 프로브 핀(10)과,A probe pin (10) according to any one of claims 1 to 4,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓(3)A socket (3) having a receiving portion capable of receiving the probe pin,

을 구비하고,And,

상기 소켓(3)이The socket (3)

상기 수용부(7)에 수용된 상기 프로브 핀(10)의 상기 중간부(13)를, 상기 배열 방향을 따라 상기 제2 접촉부(12)로부터 상기 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부(55, 501, 503, 57)를 갖고 있다.The intermediate portion 13 of the probe pin 10 accommodated in the accommodating portion 7 is hooked in the direction from the second contact portion 12 toward the first contact portion 11 along the arrangement direction (55, 501, 503, 57).

제5 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.According to the inspection jig (2) of the fifth embodiment, it is possible to realize the inspection object having a different contact load required by the probe pin (10) and the inspection jig (2) capable of contacting the inspection device.

본 발명의 제6 형태의 검사 유닛(1)은,An inspection unit (1) according to a sixth aspect of the present invention,

제6 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.According to the inspection unit 1 of the sixth embodiment, it is possible to realize the inspection object 1 which can be contacted to the inspection object and the inspection object having different contact loads required by the inspection jig 2.

본 발명의 제7 형태의 검사 장치는,In the inspection apparatus of the seventh aspect of the present invention,

상기 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.And at least one inspection unit (1).

제7 형태의 검사 장치에 의하면, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.According to the inspection apparatus of the seventh aspect, it is possible to realize the inspection object which can contact the inspection object and the object to be inspected which have different required contact loads.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.Furthermore, by appropriately combining any of the above-mentioned various embodiments or modifications, any one of the effects can be exhibited. It is to be noted that the present invention is not limited to these embodiments, and various combinations of the embodiments and embodiments may be possible.

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.The probe pin of the present invention can be applied to, for example, a test jig used for inspection of a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.The inspection jig of the present invention can be applied to, for example, an inspection unit used for inspection of a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection unit of the present invention can be applied to, for example, an inspection apparatus for a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다.The inspection apparatus of the present invention can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.

1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 소켓
4 : 베이스 하우징
5 : 제1 하우징
6 : 제2 하우징
7 : 수용부
10 : 프로브 핀
11 : 제1 접촉부
111 : 제1 접점부
12 : 제2 접촉부
121 : 제2 접점부
13 : 중간부
130 : 본체부
131, 132, 135, 136 : 아암부
133, 134 : 선단부
137, 138 : 맞닿음부
139 : 관통 구멍부
14 : 제1 탄성부
141, 142 : 띠 형상 탄성편
143 : 간극
15 : 제2 탄성부
151, 152, 154, 156, 191, 192, 193, 194 : 띠 형상 탄성편
153 : 간극
155 : 탄성 유닛
161, 171, 181 : 직선 띠부
162, 172, 182 : 만곡 띠부
180 : 연결 띠부
190 : 돌기부
50 : 하우징
501 : 내측면
502 : 측벽
503 : 내면
504 : 연결용 구멍부
51 : 제1 개구면
52 : 제2 개구면
53, 54, 56 : 개구부
55, 57 : 단차부
58 : 연결 막대부
61 : 제1 경로
62 : 제2 경로
L1 내지 L3 : 직선
Wl 내지 W8 : 폭 1: Inspection unit
2: Inspection jig
3: Socket
4: Base housing
5: first housing
6: second housing
7:
10: Probe pin
11: first contact
111: first contact portion
12: second contact
121: second contact portion
13: Middle part
130:
131, 132, 135, 136:
133, 134:
137, 138:
139: through hole portion
14: first elastic part
141, 142: strip-shaped elastic piece
143: Clearance
15: second elastic part
151, 152, 154, 156, 191, 192, 193, 194:
153: clearance
155: elastic unit
161, 171, 181:
162, 172, 182:
180:
190: protrusion
50: Housing
501: My side
502: side wall
503: inner surface
504: hole for connection
51: 1st Sphere
52: 2nd spherical surface
53, 54, 56: openings
55, 57: stepped portion
58: Connecting rod part
61: First path
62: Second path
L1 to L3: straight line
Wl to W8: Width

Claims

A plate-like first contact portion and a plate-like second contact portion,
An intermediate portion disposed between the first contact portion and the second contact portion,
A first elastic portion connected to the first contact portion and the intermediate portion and extending and contracting along an arrangement direction connecting the first contact portion and the second contact portion,
A second elastic portion which is disposed separately from the first elastic portion with the intermediate portion interposed therebetween and which is connected to the intermediate portion and the second contact portion,
And,
Wherein a spring constant of the first elastic portion is smaller than a spring constant of the second elastic portion.

2. The connector according to claim 1, wherein a length of a first path between the middle portion and the first contact portion of the first elastic portion and a length of a second path between the middle portion and the second contact portion of the second elastic portion are different Or a first width which is a length in a width direction orthogonal to the extending direction of the first path and a second width which is a length in a width direction orthogonal to the extending direction of the second path, Wherein the length of the first path is different from the length of the second path, and the first width and the second width are different.

3. The stapler according to claim 1 or 2, further comprising: a rectilinear band portion in which each of the first elastic portion and the second elastic portion cross in the arranging direction; and a curved band portion connected to the rectilinear band portion, The probe pin.

The probe pin according to claim 3, wherein the number of the curved strips of the first elastic portion is larger than the number of the curved strips of the second elastic portion.

The probe pin according to claim 1 or 2,
A socket having a housing portion capable of accommodating the probe pin,
And,
Wherein,
And a latching support portion for latching the intermediate portion of the probe pin received in the accommodating portion in a direction from the second contact portion to the first contact portion along the arrangement direction.

An inspection unit comprising at least one of the inspection jigs according to claim 5.

An inspection apparatus comprising at least one inspection unit according to claim 6.