KR20200100533A

KR20200100533A - 테이프 첩착 장치

Info

Publication number: KR20200100533A
Application number: KR1020200006416A
Authority: KR
Inventors: 아츠시 이노우에
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2019-02-18
Filing date: 2020-01-17
Publication date: 2020-08-26
Also published as: JP7344647B2; TW202032696A; TWI834813B; CN111573365A; JP2020132340A

Abstract

(과제) 테이프 롤을 교환할 때의 곤란을 억제할 수 있는 테이프 첩착 장치를 제공하는 것.
(해결 수단) 테이프 첩착 장치 (1) 는, 테이프 롤 (210) 이 자유롭게 착탈할 수 있도록 삽입 통과되는 지지 롤러 (20) 와, 지지 롤러 (20) 에 지지된 테이프 롤 (210) 로부터 인출한 테이프 (200) 가 통과하는 통과 롤러 (30, 31) 와, 테이프 롤 (210) 을 지지 롤러 (20) 로부터 떼어낼 때, 통과 롤러 (30, 31) 에 걸쳐진 테이프 (200) 를 절단하는 데에 사용하는 판상의 테이프 커트대 (60) 를 구비하고, 지지 롤러 (20) 와 통과 롤러 (30) 의 축심은, 테이프 첩착 장치 (1) 의 제 1 측벽 (3) 과 평행하게 배치되고, 테이프 커트대 (60) 는, 통과 롤러 (30) 를 통과하는 테이프 (200) 로부터 테이프 첩착 장치 (1) 의 안쪽으로 퇴피한 퇴피 위치와, 테이프 첩착 장치 (1) 의 제 1 측벽 (3) 부근까지 테이프 (200) 를 압출하여 테이프 커트대 (60) 의 표면 (62) 에 테이프 (200) 를 따르게 하는 커트 위치로 자유롭게 진퇴할 수 있도록 배치된다.

Description

테이프 첩착 장치{TAPE STICKING APPARATUS}

본 발명은, 테이프 첩착 장치에 관한 것이다.

테이프 첩착 장치 (예를 들어, 특허문헌 1 참조) 는, 예를 들어 반도체 웨이퍼의 이면과 환상 프레임에 다이싱 테이프를 첩착하여 환상 프레임에 유지된 반도체 웨이퍼인 프레임 유닛을 형성하기 위해서 사용된다. 다이싱 테이프는, 기재층의 편면에 점착층이 적층되어 형성되어 있고, 소정의 길이가 통상의 심재에 감겨진 테이프 롤이 되어 공급되어, 테이프 첩착 장치의 테이프 롤 지지 롤러에 세트된다.

테이프 첩착 장치에 세트된 다이싱 테이프는, 복수의 롤러를 통과하여 인출되어 웨이퍼 등의 피착체에 첩착되고 커트되어 소비된다. 다이싱 테이프의 사용량은, 첩착 수 등에 의해 관리되고, 일정 이상의 웨이퍼에 첩착된 심재에 감겨진 테이프가 얼마 남지 않으면 장치가 알리고, 오퍼레이터가 테이프 롤을 교환한다.

일본 공개특허공보 2016-008104호

특허문헌 1 등에 나타난 테이프 첩착 장치는, 테이프 롤의 교환시, 다이싱 테이프를 복수의 롤러를 통과시키는 작업을 반복하는 것은 매우 시간과 수고가 들기 때문에, 교환 전의 다이싱 테이프가 테이프 롤러로부터 인출된 직후의 위치에서 커트해 두고, 교환 후의 다이싱 테이프는, 교환 전의 커트된 다이싱 테이프와 첩합 (貼合) 시켜 두고, 다이싱 테이프의 인출을 재개한다. 그러면, 교환된 다이싱 테이프는, 교환 전의 다이싱 테이프에 의해 소정의 경로인 롤러를 통과하여, 용이하게 교환이 완료된다.

특허문헌 등에 나타난 테이프 첩착 장치는, 교환 전에 다이싱 테이프를 커트하기 위해서는, 오퍼레이터에 의한 수작업이 필요해지지만, 통상적으로 테이프 롤이 세트되는 위치는 장치의 중앙 가까이이기 때문에, 액세스가 나쁘고 곤란하여 공수 (工數) 를 요한다.

본 발명은, 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 테이프 롤을 교환할 때의 곤란을 억제할 수 있는 테이프 첩착 장치를 제공하는 것이다.

상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 테이프 첩착 장치는, 기재층의 편면에 점착층을 구비하는 테이프가 롤상으로 감겨진 테이프 롤로부터 그 테이프를 인출하여 피가공물에 첩착하는 테이프 첩착 장치로서, 그 테이프 롤이 자유롭게 착탈할 수 있도록 삽입 통과되는 지지 롤러와, 그 지지 롤러에 지지된 테이프 롤로부터 인출한 테이프가 통과하는 통과 롤러와, 그 테이프 롤을 그 지지 롤러로부터 떼어낼 때, 그 통과 롤러에 걸쳐진 테이프를 절단하는 데에 사용하는 판상의 테이프 커트대를 구비하고, 그 지지 롤러와 그 통과 롤러는, 그 테이프 첩착 장치의 측면과 평행하게 배치되고, 그 테이프 커트대는, 그 통과 롤러를 통과하는 테이프로부터 그 테이프 첩착 장치의 안쪽으로 퇴피한 퇴피 위치와, 그 테이프 첩착 장치의 측면 부근까지 그 테이프를 압출하여 그 테이프 커트대의 표면에 테이프를 따르게 하는 커트 위치로 자유롭게 진퇴할 수 있도록 배치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 테이프 롤을 교환할 때의 곤란을 억제할 수 있다는 효과를 나타낸다.

도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩착 장치의 개략 구성을 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타난 테이프 첩착 장치에 의해 피가공물에 첩착되는 테이프의 테이프 롤의 사시도이다.
도 3 은, 도 2 중의 III-III 선을 따른 단면도이다.
도 4 는, 도 1 에 나타난 테이프 첩착 장치의 주요부를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 5 는, 도 1 에 나타난 테이프 첩착 장치가 첩착 동작을 정지하고 제 1 측벽 및 제 2 측벽이 분리되어, 테이프 커트대가 커트 위치에 위치된 상태를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 6 은, 도 5 에 나타난 테이프 첩착 장치의 주요부를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 7 은, 도 6 에 나타난 테이프 첩착 장치의 지지 롤러로부터 테이프 롤이 분리된 상태를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 8 은, 도 7 에 나타난 테이프 첩착 장치의 지지 롤러가 새로운 테이프 롤을 지지한 상태를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 9 는, 실시형태 1 의 변형예에 관련된 테이프 첩착 장치가 첩착 동작을 정지하고 제 1 측벽 및 제 2 측벽이 분리되어, 테이프 커트대가 커트 위치에 위치된 상태를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.

본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 다양한 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.

〔실시형태 1〕

본 발명의 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩착 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩착 장치의 개략 구성을 모식적으로 나타내는 측단면도이다. 도 2 는, 도 1 에 나타난 테이프 첩착 장치에 의해 피가공물에 첩착되는 테이프의 테이프 롤의 사시도이다. 도 3 은, 도 2 중의 III-III 선을 따른 단면도이다. 도 4 는, 도 1 에 나타난 테이프 첩착 장치의 주요부를 모식적으로 나타내는 평면도이다.

실시형태 1 에 관련된 도 1 에 나타내는 테이프 첩착 장치 (1) 는, 피가공물 (100) 의 이면 (101) 에 테이프 (200) 를 첩착하는 장치이다. 실시형태 1 에 있어서, 테이프 첩착 장치 (1) 에 의해 테이프 (200) 가 첩착되는 피가공물 (100) 은, 실리콘, 사파이어, 또는 갈륨비소 등을 기판으로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등의 웨이퍼이다. 피가공물 (100) 은, 기판의 표면 (102) 의 복수의 분할 예정 라인에 의해 구획된 영역에 각각 디바이스가 형성되어 있다. 디바이스는, 예를 들어, IC (Integrated Circuit), 또는 LSI (Large Scale Integration) 등의 집적 회로, CCD (Charge Coupled Device), 또는 CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) 등의 이미지 센서이다. 또한, 실시형태 1 에 있어서, 테이프 첩착 장치 (1) 는, 피가공물 (100) 의 이면 (101) 에 테이프 (200) 를 첩착하지만, 본 발명에서는, 피가공물 (100) 의 표면 (102) 에 테이프 (200) 를 붙여도 된다.

실시형태 1 에 관련된 테이프 첩착 장치 (1) 에 의해 피가공물 (100) 의 이면 (101) 에 첩착되는 테이프 (200) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 합성 수지로 구성된 기재층 (201) 과, 기재층 (201) 의 편면 (204) 상에 적층되고 또한 피가공물 (100) 에 첩착하는 점착층 (202) 을 구비하고 있다. 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (200) 는, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 장척인 시트상의 부재로서 성형되고, 점착층 (202) 에 박리 시트 (203) 가 첩착된 상태에서, 롤상으로 감겨져, 도 2 에 나타내는 테이프 롤 (210) 을 구성한다. 실시형태 1 에서는, 테이프 롤 (210) 은, 박리 시트 (203) 가 내주측에 위치하도록, 테이프 (200) 를 롤상으로 감고 있다.

또한, 박리 시트 (203) 는, 테이프 (200) 의 점착층 (202) 을 보호하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (200) 는, 테이프 첩착 장치 (1) 에 의해 단부로부터 순서대로 박리 시트 (203) 가 박리되어, 피가공물 (100) 의 이면 (101) 과 피가공물 (100) 보다 내경이 큰 환상 프레임 (103) 에 첩착됨과 함께, 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 절단시켜, 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착된다.

테이프 첩착 장치 (1) 는, 테이프 롤 (210) 로부터 테이프 (200) 를 인출하여, 피가공물 (100) 의 이면 (101) 과 환상 프레임 (103) 에 첩착하고, 테이프 (200) 를 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이에서 절단하는 장치이다. 테이프 첩착 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 장치 본체 (2) 와, 척 테이블 (10) 과, 지지 롤러 (20) 와, 복수의 통과 롤러 (30) 와, 첩착 유닛 (40) 과, 박리 시트 권취 유닛 (50) 과, 테이프 커트대 (60) 와, 도시되지 않은 절단 유닛과, 테이프 권취 유닛 (90) 을 구비한다.

장치 본체 (2) 는, 테이프 첩착 장치 (1) 의 외각을 구성하고, 척 테이블 (10), 지지 롤러 (20), 복수의 통과 롤러 (30), 첩착 유닛 (40), 박리 시트 권취 유닛 (50), 테이프 커트대 (60), 절단 유닛 및 테이프 권취 유닛 (90) 을 수용한다. 실시형태 1 에 있어서, 장치 본체 (2) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 연직 방향으로 연장되는 제 1 측벽 (3) (측면에 상당한다) 과, 연직 방향으로 연장되고 또한 제 1 측벽 (3) 에 이어지는 제 2 측벽 (4) (도 2 에 나타낸다) 이 자유롭게 착탈할 수 있도록 되어 있다.

척 테이블 (10) 은, 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 이 재치되는 유지면 (11) 을 갖고, 유지면 (11) 상에 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 을 유지한다. 또, 척 테이블 (10) 은, 도시되지 않은 이동 기구에 의해 유지면 (11) 을 따라 제 1 측벽 (3) 에 가까워지는 방향 및 제 1 측벽 (3) 으로부터 멀어지는 방향으로 이동된다.

지지 롤러 (20) 는, 원주상으로 형성되고, 테이프 롤 (210) 이 자유롭게 착탈할 수 있도록 삽입 통과됨과 함께, 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 형성되어 있다. 지지 롤러 (20) 는, 테이프 롤 (210) 의 중앙공 내에 축심을 따라 통과되어, 테이프 롤 (210) 이 장착된다. 실시형태 1 에 있어서, 지지 롤러 (20) 의 축심은, 제 1 측벽 (3) 과 평행하게 배치되어, 제 2 측벽 (4) 과 직교하고 있다.

복수의 통과 롤러 (30) 는, 지지 롤러 (20) 에 지지된 테이프 롤 (210) 로부터 인출된 테이프 (200) 가 통과하고, 테이프 (200) 를 지지 롤러 (20) 로부터 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 상을 향하여 안내하는 것이다. 실시형태 1 에서는, 복수의 통과 롤러 (30) 중 1 쌍의 통과 롤러 (30) (이하, 부호 31 로 나타낸다) 는, 서로 사이에 테이프 (200) 를 끼움과 함께, 적어도 일방이 모터에 의해 축심 둘레로 회전되고, 테이프 (200) 를 지지 롤러 (20) 로부터 척 테이블 (10) 을 향하여 송출한다. 복수의 통과 롤러 (30) 의 축심은, 제 1 측벽 (3) 과 평행하게 배치되어 있다. 또, 복수의 통과 롤러 (30, 31) 는, 테이프 롤 (210) 로부터 인출된 테이프 (200) 를 테이프 커트대 (60) 와 제 1 측벽 (3) 사이로 안내한다. 실시형태 1 에 있어서, 통과 롤러 (30, 31) 의 축심은, 제 1 측벽 (3) 과 평행하게 배치되어, 제 2 측벽 (4) 과 직교하고 있다.

첩착 유닛 (40) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 상에 공급된 테이프 (200) 를 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 에 유지된 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착하는 것이다. 첩착 유닛 (40) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 의 상방에 배치되어 있다. 첩착 유닛 (40) 은, 척 테이블 (10) 의 상방에 배치되는 필 플레이트 (41) 와, 이 필 플레이트 (41) 의 선단 (42) 의 옆에 배치되는 가압 롤러 (43) 를 구비한다. 필 플레이트 (41) 는, 선단 (42) 이 쐐기 형상의 판상으로 형성되어 있고, 선단 (42) 을 향함에 따라 서서히 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 에 가까워지도록 배치되어 있다.

필 플레이트 (41) 는, 선단 (42) 상에서 테이프 (200) 를 되접어 꺾어, 테이프 (200) 로부터 박리 시트 (203) 를 박리한다. 가압 롤러 (43) 는, 축심 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 형성되고, 필 플레이트 (41) 의 선단 (42) 에 근접하여 배치되어 있다. 가압 롤러 (43) 의 축심은, 제 1 측벽 (3) 과 평행하다. 가압 롤러 (43) 는, 필 플레이트 (41) 에 의해 박리 시트 (203) 가 박리된 테이프 (200) 를 환상 프레임 (103) 및 피가공물 (100) 에 가압하여, 테이프 (200) 를 척 테이블 (10) 에 유지된 환상 프레임 (103) 및 피가공물 (100) 에 첩착한다.

박리 시트 권취 유닛 (50) 은, 첩착 유닛 (40) 의 필 플레이트 (41) 에 의해 테이프 (200) 로부터 박리된 박리 시트 (203) 를 권취하는 것이다. 박리 시트 권취 유닛 (50) 은, 축심이 제 1 측벽 (3) 과 평행한 원주상으로 형성되고, 도시되지 않은 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전됨으로써, 외주면 상에 테이프 (200) 로부터 박리된 박리 시트 (203) 를 권취한다.

절단 유닛은, 테이프 (200) 를 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착한 후에 환상 프레임 (103) 에 첩착된 테이프 (200) 의 환상 프레임 (103) 의 내연과 외연 사이를 절단하여, 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 첩착된 테이프 (200) 로부터 불필요한 부분을 제거하는 것이다. 테이프 권취 유닛 (90) 은, 절단 유닛에 의해 절단된 테이프 (200) 의 불필요한 부분을 권취하는 것이다. 테이프 권취 유닛 (90) 은, 축심이 제 1 측벽 (3) 과 평행한 원주상으로 형성되고, 도시되지 않은 모터 등의 구동 장치에 의해 축심 둘레로 회전됨으로써, 외주면 상에 테이프 (200) 의 불필요한 부분을 권취한다.

테이프 커트대 (60) 는, 테이프 (200) 가 얼마 남지 않은 테이프 롤 (210) 을 지지 롤러 (20) 로부터 분리할 때, 통과 롤러 (30) 에 걸쳐진 테이프 (200) 를 절단하는 데에 사용하는 판상의 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 테이프 커트대 (60) 는, 지지 롤러 (20) 와 1 쌍의 통과 롤러 (31) 사이에 배치되어, 테이프 (200) 를 지지 롤러 (20) 와 1 쌍의 통과 롤러 (31) 사이에서 절단하는 데에 사용된다. 실시형태 1 에 있어서, 지지 롤러 (20) 와 테이프 커트대 (60) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 측벽 (3) 과 제 2 측벽 (4) 과 이어지는 장치 본체 (2) 의 모서리부 (5) 의 근방, 즉, 제 1 측벽 (3) 과 제 2 측벽 (4) 의 쌍방의 근방에 배치되어 있다. 또한, 본 발명에서 말하는, 제 1 측벽 (3) 과 제 2 측벽 (4) 의 쌍방의 근방에 배치되어 있다는 것은, 제 1 측벽 (3) 및 제 2 측벽 (4) 을 분리하면, 오퍼레이터가 지지 롤러 (20) 및 테이프 커트대 (60) 를 육안으로 볼 수 있고 또한 지지 롤러 (20) 및 테이프 커트대 (60) 를 작업 가능한 위치에 배치되어 있는 것이다.

테이프 커트대 (60) 는, 지지 부재 (61) 상으로 통과 롤러 (30) 를 통과하는 테이프 (200) 로부터 테이프 첩착 장치 (1) 의 장치 본체 (2) 의 안쪽으로 퇴피한 도 1 에 나타내는 퇴피 위치와, 테이프 첩착 장치 (1) 의 제 1 측벽 (3) 부근까지 테이프 (200) 를 압출하여, 테이프 커트대 (60) 의 표면 (62) 에 테이프 (200) 를 따르게 하는 커트 위치로 자유롭게 진퇴할 수 있도록 배치되어 있다. 테이프 커트대 (60) 는, 퇴피 위치와 커트 위치에 걸쳐 통과 롤러 (30) 를 통과하는 테이프 (200) 의 이동 방향에 대해 교차하는 방향 (실시형태 1 에서는, 평면에서 보아 직교하는 방향) 으로 지지 부재 (61) 상에서 진퇴한다. 테이프 커트대 (60) 는, 퇴피 위치보다 커트 위치에 있어서, 제 1 측벽 (3) 에 가까워진다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 테이프 커트대 (60) 는, 지지 롤러 (20) 및 통과 롤러 (30, 31) 의 축심에 대해 직교하는 방향으로 퇴피 위치와 커트 위치에 걸쳐 자유롭게 진퇴할 수 있다.

테이프 커트대 (60) 는, 평판상으로 형성되고, 제 1 측벽 (3) 에 가까워짐에 따라 서서히 하방을 향하도록 경사져 있다. 테이프 커트대 (60) 는, 제 1 측벽 (3) 가까이의 선단부가 단면 원호상으로 형성되고, 커트 위치에 있어서 선단부에서 테이프 (200) 를 제 1 측벽 (3) 부근까지 압출한다. 또, 테이프 커트대 (60) 는, 표면 (62) 에 오목홈 (63) 이 형성되어 있다. 오목홈 (63) 은, 테이프 커트대 (60) 의 표면 (62) 으로부터 오목하게 형성되고, 평면에서 보아, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 측벽 (3) 에 대해 경사지는 방향으로 직선상으로 연장되어 있다.

또, 테이프 첩착 장치 (1) 는, 테이프 첩착 장치 (1) 를 구성하는 상기 서술한 각 구성 요소를 각각 제어하는 제어 유닛 (70) 과, 오퍼레이터에게 소리와 빛 중 적어도 일방에 의해 알리는 알림 유닛 (80) 을 구비한다. 제어 유닛 (70) 은, 피가공물 (100) 에 대한 테이프 (200) 의 첩착 동작을 테이프 첩착 장치 (1) 에 실행시키는 것이다. 제어 유닛 (70) 은, CPU (central processing unit) 와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM (read only memory) 또는 RAM (random access memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖고, 컴퓨터 프로그램을 실행 가능한 컴퓨터이다.

제어 유닛 (70) 의 연산 처리 장치는, ROM 에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램을 RAM 상에서 실행하여, 테이프 첩착 장치 (1) 를 제어하기 위한 제어 신호를 생성한다. 제어 유닛 (70) 의 연산 처리 장치는, 생성한 제어 신호를 입출력 인터페이스 장치를 통하여 테이프 첩착 장치 (1) 의 각 구성 요소에 출력한다. 또, 제어 유닛 (70) 은, 첩착 동작 상태나 화상 등을 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 도시되지 않은 표시 수단이나, 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 사용하는 입력 수단과 접속되어 있다. 입력 수단은, 표시 수단에 형성된 터치 패널과, 키보드 등 중 적어도 하나에 의해 구성된다.

또, 제어 유닛 (70) 은, 지지 롤러 (20) 의 테이프 롤 (210) 이 교환되고 나서의 테이프 (200) 를 첩착한 피가공물 (100) 의 수를 세어, 테이프 (200) 를 첩착한 피가공물 (100) 의 수가 미리 설정된 소정 수가 되면, 첩착 동작을 정지시키고, 알림 유닛 (80) 을 동작시켜, 오퍼레이터에게 알린다. 또한, 소정 수는, 테이프 롤 (210) 의 테이프 (200) 가 얼마 남지 않게 되는 수이다.

전술한 구성의 테이프 첩착 장치 (1) 는, 테이프 커트대 (60) 를 도 1 에 나타내는 퇴피 위치에 위치시켜, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 에 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 을 유지하여, 지지 롤러 (20) 에 지지된 테이프 롤 (210) 로부터 인출된 테이프 (200) 를 통과 롤러 (30) 에 의해 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 상까지 안내한다. 테이프 첩착 장치 (1) 는, 첩착 유닛 (40) 에 의해 환상 프레임 (103) 의 제 1 측벽 (3) 으로부터 멀어진 측의 단부에 테이프 (200) 를 첩착한 후, 척 테이블 (10) 을 이동 기구에 의해 유지면 (11) 을 따라 제 1 측벽 (3) 으로부터 멀어진 방향으로 이동시켜, 피가공물 (100) 및 환상 프레임 (103) 에 테이프 (200) 를 첩착한다.

테이프 첩착 장치 (1) 는, 테이프 (200) 의 불필요한 부분을 절단 유닛에 의해 절단하고, 테이프 (200) 로부터 박리된 박리 시트 (203) 를 박리 시트 권취 유닛 (50) 에 권취하고, 불필요한 부분이 절단된 테이프 (200) 를 테이프 권취 유닛 (90) 에 권취한다. 첩착 유닛 (40) 은, 지지 롤러 (20) 의 테이프 롤 (210) 이 교환되고 나서 테이프 (200) 를 첩착한 피가공물 (100) 의 수가 미리 설정된 소정 수가 되면 제어 유닛 (70) 이 첩착 동작을 정지시키고, 알림 유닛 (80) 을 동작시켜, 오퍼레이터에게 알린다.

그러면, 오퍼레이터는, 지지 롤러 (20) 에 지지된 테이프 롤 (210) 을 새로운 것으로 교환한다. 다음으로, 본 명세서는, 테이프 롤 (210) 의 교환 작업을 도면에 기초하여 설명한다. 도 5 는, 도 1 에 나타난 테이프 첩착 장치가 첩착 동작을 정지시키고 제 1 측벽 및 제 2 측벽이 분리되어, 테이프 커트대가 커트 위치에 위치된 상태를 모식적으로 나타내는 측단면도이다. 도 6 은, 도 5 에 나타난 테이프 첩착 장치의 주요부를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 7 은, 도 6 에 나타난 테이프 첩착 장치의 지지 롤러로부터 테이프 롤이 분리된 상태를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 8 은, 도 7 에 나타난 테이프 첩착 장치의 지지 롤러가 새로운 테이프 롤을 지지한 상태를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 교환 전후의 테이프 (200) 및 테이프 롤 (210) 을 구별할 때에는, 교환 전의 테이프 (200) 를 부호 200-1 로 나타내고, 교환 후의 테이프 (200) 를 부호 200-2 로 나타내고, 교환 전의 테이프 롤 (210) 을 부호 210-1 로 나타내며, 교환 후의 테이프 롤 (210) 을 부호 210-2 로 나타낸다. 또, 도 5 는, 테이프 권취 유닛 (90) 을 생략하고 있다.

먼저, 오퍼레이터는, 제 1 측벽 (3) 및 제 2 측벽 (4) 를 장치 본체 (2) 로부터 분리하고, 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 테이프 커트대 (60) 를 커트 위치에 위치시켜, 테이프 커트대 (60) 의 선단부에서 테이프 (200-1) 를 제 1 측벽 (3) 이 장착되어 있던 위치의 부근까지 압출하여, 테이프 (200-1) 를 테이프 커트대 (60) 의 표면 (62) 에 따르게 한다. 그 후, 오퍼레이터는, 테이프 (200-1) 를 절단하는 공구인 커터 (300) 의 날을 오목홈 (63) 을 따라 이동시키면서 테이프 (200-1) 에 절입시켜, 테이프 (200-1) 를 절단한다. 오퍼레이터는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 커트한 테이프 (200-1) 의 테이프 커트대 (60) 의 경사진 면의 상방측의 부분을 별도 점착 테이프 등으로 테이프 커트대 (60) 의 표면 (62) 에 임시 고정시킴과 함께, 테이프 커트대 (60) 의 경사진 면의 하방측에 지지된 테이프 (200-1) 를 테이프 커트대 (60) 로부터 분리한다. 그리고 테이프 롤 (210-1) 을 지지 롤러 (20) 로부터 분리한다. 또한, 지지 롤러 (20) 로부터 테이프 롤 (210-1) 을 분리할 때에는, 테이프 롤 (210-1) 을 지지 롤러 (20) 의 축심을 따라 제 2 측벽 (4) 에 가까워지는 도 6 중의 화살표 방향으로 이동시킨다.

오퍼레이터는, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 새로운 테이프 롤 (210-2) 을 지지 롤러 (20) 에 장착한다. 지지 롤러 (20) 에 테이프 롤 (210-2) 을 장착할 때에는, 제 2 측벽 (4) 이 장착되어 있던 측으로부터 테이프 롤 (210-2) 을 지지 롤러 (20) 의 축심을 따라 지지 롤러 (20) 에 가까워지는 도 7 중의 화살표 방향으로 이동시킨다. 오퍼레이터는, 테이프 롤 (210-2) 로부터 테이프 (200-2) 의 단부를 인출하여, 통과 롤러 (30) 를 통과시킨 후, 테이프 커트대 (60) 상에서 테이프 (200-1, 200-2) 의 단부끼리를 첩착한다. 오퍼레이터는, 테이프 커트대 (60) 를 퇴피 위치에 위치시켜, 장치 본체 (2) 에 제 1 측벽 (3) 및 제 2 측벽 (4) 을 장착하고, 테이프 롤 (210-1, 210-2) 의 교환 작업을 종료한다.

이상 설명한 실시형태 1 에 관련된 테이프 첩착 장치 (1) 는, 지지 롤러 (20) 와 테이프 커트대 (60) 를 장치 본체 (2) 를 자유롭게 착탈할 수 있는 제 1 측벽 (3) 과 제 2 측벽 (4) 이 이어지는 모서리부 (5) 의 근방에 배치하고, 지지 롤러 (20) 의 축심을 제 1 측벽 (3) 과 평행하게 배치하고 있으므로, 제 1 측벽 (3) 및 제 2 측벽 (4) 을 분리함으로써, 테이프 롤 (210-1, 210-2) 의 교환이 간단해진다. 또, 테이프 첩착 장치 (1) 는, 테이프 커트대 (60) 를 평면에서 보아 테이프 (200) 의 이동 방향에 대해 교차하는 방향으로 자유롭게 진퇴할 수 있도록 형성하여, 퇴피 위치보다 커트 위치에서는, 제 1 측벽 (3) 이 장착된 위치에 가까워지므로, 테이프 커트대 (60) 에 의해 정확한 테이프 (200-1) 의 커트가 가능해져, 테이프 커트대 (60) 가 퇴피 위치보다 오퍼레이터에게 가까운 위치까지 진출하므로, 테이프 (200-1) 의 커트를 용이하게 할 수 있음과 함께, 테이프 (200-1, 200-2) 의 단부끼리의 첩착을 용이하게 할 수 있다는 효과도 나타낸다. 그 결과, 테이프 첩착 장치 (1) 는, 테이프 롤 (210-1, 210-2) 을 교환할 때의 곤란을 억제할 수 있다는 효과를 나타낸다.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 테이프 첩착 장치 (1) 는, 커트 위치의 테이프 커트대 (60) 의 선단부를 제 1 측벽 (3) 이 장착되어 있던 위치보다 장치 본체의 외측에 위치시켜도 된다. 요컨대, 본 발명에서는, 커트 위치는, 퇴피 위치보다 테이프 커트대 (60) 의 제 1 측벽 (3) 에 가까운 선단부가 장치 본체의 외측에 위치하고 있으면 된다. 또한, 도 9 는, 실시형태 1 의 변형예에 관련된 테이프 첩착 장치가 첩착 동작을 정지시키고 제 1 측벽 및 제 2 측벽이 분리되어, 테이프 커트대가 커트 위치에 위치된 상태를 모식적으로 나타내는 측단면도이다. 또, 도 9 는, 실시형태 1 과 동일 부분에 동일 부호를 부여하고 있다.

1 : 테이프 첩착 장치
3 : 제 1 측벽 (측면)
20 : 지지 롤러
30, 31 : 통과 롤러
60 : 테이프 커트대
62 : 표면
100 : 피가공물
200, 200-1, 200-2 : 테이프
201 : 기재층
202 : 점착층
204 : 편면
210, 210-1, 210-2 : 테이프 롤

Claims

기재층의 편면에 점착층을 구비하는 테이프가 롤상으로 감겨진 테이프 롤로부터 그 테이프를 인출하여 피가공물에 첩착하는 테이프 첩착 장치로서,
그 테이프 롤이 자유롭게 착탈할 수 있도록 삽입 통과되는 지지 롤러와,
그 지지 롤러에 지지된 테이프 롤로부터 인출한 테이프가 통과하는 통과 롤러와,
그 테이프 롤을 그 지지 롤러로부터 떼어낼 때, 그 통과 롤러에 걸쳐진 테이프를 절단하는 데에 사용하는 판상의 테이프 커트대를 구비하고,
그 지지 롤러와 그 통과 롤러는, 그 테이프 첩착 장치의 측면과 평행하게 배치되고,
그 테이프 커트대는,
그 통과 롤러를 통과하는 테이프로부터 그 테이프 첩착 장치의 안쪽으로 퇴피한 퇴피 위치와, 그 테이프 첩착 장치의 측면 부근까지 그 테이프를 압출하여 그 테이프 커트대의 표면에 테이프를 따르게 하는 커트 위치로 자유롭게 진퇴할 수 있도록 배치되는, 테이프 첩착 장치.