TWI834813B - 膠帶貼附裝置 - Google Patents

Abstract

[課題] 提供一種膠帶貼附裝置，能夠抑制交換膠帶滾輪時的困難。 [解決手段] 膠帶貼附裝置(1)具備：將膠帶滾輪(210)裝卸自如地插通的支持滾輪(20)、從支持於支持滾輪(20)的膠帶滾輪(210)拉出的膠帶(200)所通過的通過滾輪(30)、(31)、將膠帶滾輪(210)從該支持滾輪(20)卸下時，用於將跨設於該通過滾輪(30)、(31)的膠帶(200)切斷的板狀膠帶截斷台(60)；支持滾輪(20)及通過滾輪(30)的軸心，與膠帶貼附裝置(1)的第1側壁(3)平行配置；膠帶截斷台(60)，在比通過通過滾輪(30)的膠帶(200)還更退避至該膠帶貼附裝置(1)的內側的退避位置、和將膠帶(200)壓出至膠帶貼附裝置(1)的第1側壁(3)附近並在膠帶截斷台(60)的表面(62)使膠帶(200)仿形的截斷位置進退自如地配置。

Description

膠帶貼附裝置

本發明係有關於膠帶貼附裝置。

膠帶貼附裝置(例如，專利文獻1參照)，用來形成例如在半導體晶圓的裏面及環狀框貼附切割膠帶並保持於環狀框的半導體晶圓即框單元。切割膠帶在基材層的單面層積黏著層而形成，成為預定長度捲繞在筒狀芯材的膠帶滾輪並供應，設置在膠帶貼附裝置的膠帶滾輪支持滾輪。

設置在膠帶貼附裝置的切割膠帶，通過複數滾輪拉出並貼附於晶圓等被貼附體並被截斷而消耗。切割膠帶的使用量，根據貼附數等來管理，若貼附於一定以上的晶圓的芯材捲繞的膠帶只剩一點點，則裝置會通報，讓操作者交換膠帶滾輪。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]特開2016-008104號公報

[發明所欲解決的問題]

專利文獻1等所示的膠帶貼附裝置，因為在膠帶滾輪交換之時，重複使切割膠帶通過複數滾輪的作業非常需要勞力和時間，在交換前的切割膠帶從膠帶滾輪拉出後的位置預先截斷，交換後的切割膠帶，預先與交換前被截斷的切割膠帶貼合，再度開始切割膠帶的拉出。這樣，交換的切割膠帶，因交換前的切割膠帶通過預定的經路即滾輪，容易結束交換。

專利文獻等所示的膠帶貼附裝置，在交換前為了將切割膠帶截斷，雖需要操作者的人工作業，但因為設置通常膠帶滾輪的位置靠近裝置的中央，進入困難且需要工數。

本發明係鑑於該問題點而完成者，其目的為提供一種膠帶貼附裝置，能夠抑制交換膠帶滾輪時的困難。 [解決問題的手段]

為了解決上述課題達成目的，本發明的膠帶貼附裝置，係從在基材層的單面具備黏著層的膠帶被捲成滾輪狀的膠帶滾輪將該膠帶拉出並貼附至被加工物的膠帶貼附裝置，具備：將該膠帶滾輪裝卸自如地插通的支持滾輪；從支持於該支持滾輪的膠帶滾輪拉出的膠帶所通過的通過滾輪；將該膠帶滾輪從該支持滾輪卸下時，用於將跨設於該通過滾輪的膠帶切斷的板狀膠帶截斷台；該支持滾輪及該通過滾輪，與該膠帶貼附裝置的側面平行配置；該膠帶截斷台，在比通過該通過滾輪的膠帶還更退避至該膠帶貼附裝置的內側的退避位置、和將該膠帶壓出至該膠帶貼附裝置的側面附近並在該膠帶截斷台的表面使膠帶仿形的截斷位置進退自如地配置。 [發明的效果]

本發明發揮能夠抑制交換膠帶滾輪時的困難的效果。

參照圖式詳細說明關於用以實施本發明的形態(實施形態)。以下的實施形態記載的內容並非用來限定本發明。又，以下記載的構成要素中，包含該技術領域的通常知識者能夠容易想定者、實質相同者。再來，以下記載的構成能適宜組合。又，能在不逸脫本發明的要旨的範圍內進行構成的各種省略、置換或變更。

[實施形態1] 基於圖式說明本發明的實施形態1的膠帶貼附裝置。圖1為示意地表示實施形態1的膠帶貼附裝置的概略構成的側剖面圖。圖2為藉由圖1所示的膠帶貼附裝置在被加工物貼附的膠帶的膠帶滾輪的斜視圖。圖3為沿著圖2中的III-III線的剖面圖。圖4為示意地表示圖1的膠帶貼附裝置的要部的平面圖。

實施形態1的圖1所示的膠帶貼附裝置1為在被加工物100的裏面101貼附膠帶200的裝置。實施形態1中，藉由膠帶貼附裝置1貼附膠帶200的被加工物100，為將矽、藍寶石、或鎵砷等作為基板的圓板狀半導體晶圓或光學元件晶圓等晶圓。被加工物100在由基板的表面102的複數分割預定線畫分的區域分別形成裝置。裝置，例如，為IC(Integrated Circuit)、或LSI(Large Scale Integration)等積體電路、CCD(Charge Coupled Device)、或CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor)等影像感測器。此外，實施形態1中，膠帶貼附裝置1在被加工物100的裏面101貼附膠帶200，但在本發明中，在被加工物100的表面102貼附膠帶200也可以。

藉由實施形態1的膠帶貼附裝置1在被加工物100的裏面101貼附的膠帶200，如圖3所示，具備由合成樹脂構成的基材層201、在基材層201的單面204上層積且貼附在被加工物100的黏著層202。實施形態1中，膠帶200如圖2及圖3所示，以長條的片狀構件成形，以在黏著層202貼附剝離片203的狀態，捲成滾輪狀，構成圖2所示的膠帶滾輪210。實施形態1中，膠帶滾輪210以剝離片203位於內周側的方式，將膠帶200捲成滾輪狀。

此外，剝離片203為保護膠帶200的黏著層202者。實施形態1中，膠帶200，藉由膠帶貼附裝置1從端部依序剝離剝離片203，並貼附至內徑比被加工物100的裏面101及被加工物100還大的環狀框103，在環狀框103的內緣與外緣之間切斷，貼附至被加工物100及環狀框103。

膠帶貼附裝置1為從膠帶滾輪210將膠帶200拉出，貼附於被加工物100的裏面101與環狀框103，將膠帶200在環狀框103的內緣與外緣之間切斷的裝置。膠帶貼附裝置1，如圖1所示，具備：裝置本體2、切割盤10、支持滾輪20、複數通過滾輪30、貼附單元40、剝離片捲繞單元50、膠帶截斷台60、圖未示的切斷單元、膠帶捲繞單元90。

裝置本體2構成膠帶貼附裝置1的外殻，收容切割盤10、支持滾輪20、複數通過滾輪30、貼附單元40、剝離片捲繞單元50、膠帶截斷台60、切斷單元及膠帶捲繞單元90。實施形態1中，裝置本體2如圖4所示，在鉛直方向延伸的第1側壁3(相當於側面)、在鉛直方向延伸且連接第1側壁3的第2側壁4(如圖2所示)呈裝卸自如。

切割盤10具有載置被加工物100及環狀框103的保持面11，在保持面11上保持被加工物100及環狀框103。又，切割盤10藉由圖未示的移動機構沿著保持面11在接近第1側壁3的方向及從第1側壁3遠離的方向移動。

支持滾輪20形成圓柱狀，膠帶滾輪210以裝卸自如地插通，同時以繞軸心的方式旋轉自如地設置。支持滾輪20在膠帶滾輪210的中央孔內沿軸心通過，裝設膠帶滾輪210。實施形態1中，支持滾輪20的軸心與第1側壁3平行配置，與第2側壁4垂直。

複數通過滾輪30，讓從支持於支持滾輪20的膠帶滾輪210拉出的膠帶200通過，將膠帶200從支持滾輪20向切割盤10的保持面11上導引。實施形態1中，複數通過滾輪30之中一對的通過滾輪30(以下，以符號31表示)，在其之間夾持膠帶200，並且至少一者藉由馬達繞軸心旋轉，將膠帶200從支持滾輪20向切割盤10送出。複數通過滾輪30的軸心與第1側壁3平行配置。又，複數通過滾輪30、31，將從膠帶滾輪210拉出的膠帶200導引至膠帶截斷台60與第1側壁3之間。實施形態1中，通過滾輪30、31的軸心與第1側壁3平行配置，與第2側壁4垂直。

貼附單元40為將供應至切割盤10的保持面11上的膠帶200貼附於保持於切割盤10的保持面11的被加工物100及環狀框103者。貼附單元40配置於切割盤10的保持面11上方。貼附單元40具備配置於切割盤10上方的剝離板41、在該剝離板41的前端42的隣近配置的按壓滾輪43。剝離板41其前端42形成楔形狀的板狀，以隨著朝向前端42接近切割盤10的保持面11的方式配置。

剝離板41在前端42上使膠帶200折返，從膠帶200將剝離片203剝離。按壓滾輪43以繞軸心旋轉自如設置，接近剝離板41的前端42配置。按壓滾輪43的軸心與第1側壁3平行。按壓滾輪43，將藉由剝離板41剝離剝離片203的膠帶200按壓至環狀框103及被加工物100，將膠帶200貼附至保持於切割盤10的環狀框103及被加工物100。

剝離片捲繞單元50為捲繞藉由貼附單元40的剝離板41從膠帶200剝離的剝離片203者。剝離片捲繞單元50其軸心形成與第1側壁3平行的圓柱狀，藉由圖未示的馬達等驅動裝置繞軸心旋轉，在外周面上捲取從膠帶200剝離的剝離片203。

切斷單元在將膠帶200貼附至被加工物100及環狀框103後將貼附在環狀框103的膠帶200的環狀框103的內緣與外緣之間切斷，從貼附於被加工物100及環狀框103的膠帶200將不要部分除去。膠帶捲繞單元90為捲繞藉由切斷單元切斷的膠帶200的不要部分者。膠帶捲繞單元90其軸心形成與第1側壁3平行的圓柱狀，藉由圖未示的馬達等驅動裝置繞軸心旋轉，在外周面上捲取從膠帶200的不要部分。

膠帶截斷台60為將該膠帶200殘量少的膠帶滾輪210從支持滾輪20卸下時，用於將跨設於通過滾輪30的膠帶200切斷的板狀者。實施形態1中，膠帶截斷台60，配置於支持滾輪20與一對通過滾輪31之間，用來將膠帶200在支持滾輪20與一對通過滾輪31之間切斷。實施形態1中，支持滾輪20與膠帶截斷台60，如圖4所示，配置於第1側壁3與第2側壁4相連的裝置本體2的角部5附近，亦即第1側壁3與第2側壁4雙方附近。此外，在本發明中所述的配置於第1側壁3與第2側壁4的雙方附近，指的是配置在將第1側壁3及第2側壁4卸下後，操作者能目視支持滾輪20及膠帶截斷台60且能作業支持滾輪20及膠帶截斷台60的位置。

膠帶截斷台60，在比於支持構件61上通過通過滾輪30的膠帶200還更退避至膠帶貼附裝置1的裝置本體2的內側的圖1所示的退避位置、和將膠帶200壓出至膠帶貼附裝置1的第1側壁3附近並在膠帶截斷台60的表面62使膠帶200仿形的截斷位置進退自如地配置。膠帶截斷台60，在退避位置與截斷位置通過通過滾輪30的膠帶200的移動方向交叉的方向(實施形態1中，俯視時垂直的方向)於支持構件61上進退。膠帶截斷台60比退避位置還更靠截斷位置，接近第1側壁3。又，實施形態1中，膠帶截斷台60在相對於支持滾輪20及通過滾輪30、31的軸心垂直的方向於退避位置與截斷位置進退自如。

膠帶截斷台60形成平板狀，隨著接近第1側壁3而漸漸向著下方傾斜。膠帶截斷台60，靠近第1側壁3的前端部形成剖面圓弧狀，在截斷位置於前端部將膠帶200壓出至第1側壁3附近。又，膠帶截斷台60在表面62形成凹溝63。凹溝63從膠帶截斷台60的表面62形成凹部，在俯視時如圖4所示，相對於第1側壁3於傾斜方向延伸成直線狀。

又，膠帶貼附裝置1具備分別控制構成膠帶貼附裝置1的上述各構成要素的控制單元70、對操作者以聲音或光之中的至少者通報的通報單元80。控制單元70為使膠帶貼附裝置1執行對被加工物100的膠帶200的貼附動作者。控制單元70為具有CPU(central processing unit)那種微處理器的演算處理裝置、具有ROM(read only memory)或RAM(random access memory)那種記憶體的記憶裝置、具有輸入輸出介面裝置且能執行電腦程式的電腦。

控制單元70的演算處理裝置，將在ROM中記憶的電腦程式在RAM上執行，生成用來控制膠帶貼附裝置1的控制信號。控制單元70的演算處理裝置將生成的控制信號通過輸入輸出介面裝置輸出至膠帶貼附裝置1的各構成要素。又，控制單元70連接由顯示貼附動作的狀態及影像等的液晶顯示裝置等構成的圖未示的顯示單元、及操作者登錄加工內容資訊等時所用的輸入單元。輸入單元由設於顯示單元的觸控面板、鍵盤等之中的至少一者構成。

又，控制單元70，計算貼附交換支持滾輪20的膠帶滾輪210後的膠帶200的被加工物100之數，貼附膠帶200的被加工物100之數成為預先設定的預定數後，使貼附動作停止，使通報單元80動作，通報操作者。此外，預定數為膠帶滾輪210的膠帶200成為一點點之數。

前述構成的膠帶貼附裝置1，使膠帶截斷台60位於圖1所示的退避位置，在切割盤10的保持面11保持被加工物100及環狀框103，將從支持於支持滾輪20的膠帶滾輪210拉出的膠帶200藉由通過滾輪30導引至切割盤10的保持面11上。膠帶貼附裝置1，藉由貼附單元40在從環狀框103的第1側壁3遠離之側的端部貼附膠帶200後，將切割盤10藉由移動機構沿著保持面11移動至從第1側壁3遠離的方向，在被加工物100及環狀框103貼附膠帶200。

膠帶貼附裝置1，將膠帶200的不要部分藉由切斷單元切斷，將從膠帶200剝離的剝離片203捲繞至剝離片捲繞單元50，將切斷不要部分的膠帶200捲繞至膠帶捲繞單元90。貼附單元40，在交換支持滾輪20的膠帶滾輪210後貼附膠帶200的被加工物100之數成為預先設定的預定數後，控制單元70使貼附動作停止，使通報單元80動作，通報操作者。

於是，操作者將支持於支持滾輪20的膠帶滾輪210交換成新的。接著，本說明書基於圖示說明膠帶滾輪210的交換作業。圖5為示意地表示圖1所示的膠帶貼附裝置停止貼附動作卸下第1側壁及第2側壁，膠帶截斷台位於截斷位置的狀態的側剖面圖。圖6為示意地表示圖5的膠帶貼附裝置的要部的平面圖。圖7為示意地表示從圖6所示的膠帶貼附裝置的支持滾輪將膠帶滾輪卸下的狀態的平面圖。圖8為示意地表示從圖7所示的膠帶貼附裝置的支持滾輪支持新的膠帶滾輪的狀態的平面圖。此外，在以下的說明中，區別交換前後的膠帶200及膠帶滾輪210時，將交換前的膠帶200以符號200-1表示、將交換後的膠帶200以符號200-2表示、將交換前的膠帶滾輪210以符號210-1表示、將交換後的膠帶滾輪210以符號210-2表示。又，圖5省略膠帶捲繞單元90。

首先，操作者將第1側壁3及第2側壁4從裝置本體2卸下，如圖5及圖6所示，使膠帶截斷台60位於截斷位置，在膠帶截斷台60的前端部將膠帶200-1壓出至安裝第1側壁3的位置附近，使膠帶200-1在膠帶截斷台60的表面62仿形。之後，操作者使切斷膠帶200-1的工具即切刀300之刃沿著凹溝63移動且切入膠帶200-1，將膠帶200-1切斷。操作者如圖7所示，將截斷的膠帶200-1的膠帶截斷台60的傾斜面的上方側部分另外以黏著膠等暫固定於膠帶截斷台60的表面62，同時將支持於膠帶截斷台60的傾斜面的下方側的膠帶200-1從膠帶截斷台60卸下。接著將膠帶滾輪210-1從支持滾輪20卸下。此外，從支持滾輪20將膠帶滾輪210-1卸下時，使膠帶滾輪210-1沿著支持滾輪20的軸心在接近第2側壁4的圖6中的箭頭方向移動。

操作者如圖8所示，將新的膠帶滾輪210-2安裝於支持滾輪20。在支持滾輪20安裝膠帶滾輪210-2時，從安裝第2側壁4之側將膠帶滾輪210-2沿著支持滾輪20的軸心在接近支持滾輪20的圖7中的箭頭方向移動。操作者從膠帶滾輪210-2將膠帶200-2的端部拉出，使其通過通過滾輪30後，在膠帶截斷台60上將膠帶200-1、200-2的端部彼此貼附。操作者使膠帶截斷台60位於退避位置，在裝置本體2安裝第1側壁3及第2側壁4，結束膠帶滾輪210-1、210-2的交換作業。

以上說明的實施形態1的膠帶貼附裝置1，因為將支持滾輪20及膠帶截斷台60配置於裝置本體2的裝卸自如的第1側壁3及第2側壁4相連的角部5附近，將支持滾輪20的軸心與第1側壁3平行配置，將第1側壁3及第2側壁4卸下，膠帶滾輪210-1、210-2的交換變得簡單。又，膠帶貼附裝置1將膠帶截斷台60在相對於俯視時的膠帶200移動方向交叉的方向以進退自如設置，比退避位置還靠截斷位置，因為接近安裝第1側壁3的位置，藉由膠帶截斷台60能正確截斷膠帶200-1，因為膠帶截斷台60在比退避位置更接近操作者的位置進出，能夠容易截斷膠帶200-1，同時也達到能夠容易貼附膠帶200-1、200-2的端部彼此的效果。其結果，膠帶貼附裝置1發揮能夠抑制交換膠帶滾輪210-1、210-2時的困難的效果。

此外，本發明並不限定於上述實施形態。亦即，可以在不脫離本發明的架構的範圍內進行各種變形實施。例如，如圖9所示，本發明的膠帶貼附裝置1，使截斷位置的膠帶截斷台60的前端部位於比安裝第1側壁3的位置還靠裝置本體的外側也可以。重要的是在本發明中，截斷位置位於比退避位置還靠近膠帶截斷台60的第1側壁3的前端部位於裝置本體的外側也可以。此外，圖9為示意地表示實施形態1的變形例的膠帶貼附裝置停止貼附動作卸下第1側壁及第2側壁，膠帶截斷台位於截斷位置的狀態的側剖面圖。又，圖9與實施形態1相同的部分附加相同符號。

1:膠帶貼附裝置 3:第1側壁(側面) 20:支持滾輪 30,31:通過滾輪 60:膠帶截斷台 62:表面 100:被加工物 200,200-1,200-2:膠帶 201:基材層 202:黏著層 204:單面 210,210-1,210-2:膠帶滾輪

[圖1]圖1為示意地表示實施形態1的膠帶貼附裝置的概略構成的側剖面圖。 [圖2]圖2為藉由圖1所示的膠帶貼附裝置在被加工物貼附的膠帶的膠帶滾輪的斜視圖。 [圖3]圖3為沿著圖2中的III-III線的剖面圖。 [圖4]圖4為示意地表示圖1的膠帶貼附裝置的要部的平面圖。 [圖5]圖5為示意地表示圖1所示的膠帶貼附裝置停止貼附動作卸下第1側壁及第2側壁，膠帶截斷台位於截斷位置的狀態的側剖面圖。 [圖6]圖6為示意地表示圖5的膠帶貼附裝置的要部的平面圖。 [圖7]圖7為示意地表示從圖6所示的膠帶貼附裝置的支持滾輪將膠帶滾輪卸下的狀態的平面圖。 [圖8]圖8為示意地表示從圖7所示的膠帶貼附裝置的支持滾輪支持新的膠帶滾輪的狀態的平面圖。 [圖9]圖9為示意地表示實施形態1的變形例的膠帶貼附裝置停止貼附動作卸下第1側壁及第2側壁，膠帶截斷台位於截斷位置的狀態的側剖面圖。

1:膠帶貼附裝置

2:裝置本體

3:第1側壁(側面)

10:切割盤

11:保持面

20:支持滾輪

30,31:通過滾輪

40:貼附單元

41:剝離板

42:前端

43:按壓滾輪

50:剝離片捲繞單元

60:膠帶截斷台

61:支持構件

62:表面

63:凹溝

70:控制單元

80:通報單元

90:膠帶捲繞單元

100:被加工物

101:裏面

102:表面

103:環狀框

200:膠帶

203:剝離片

210:膠帶滾輪

Claims (2)

1. 一種膠帶貼附裝置，係從在基材層的單面具備黏著層的膠帶被捲成滾輪狀的膠帶滾輪將該膠帶拉出並貼附至被加工物的膠帶貼附裝置，具備：將該膠帶滾輪裝卸自如地插通的支持滾輪；從支持於該支持滾輪的膠帶滾輪拉出的膠帶所通過的通過滾輪；將該膠帶滾輪從該支持滾輪卸下時，用於將跨設於該通過滾輪的膠帶切斷的板狀膠帶截斷台；收容該支持滾輪、該通過滾輪、及該膠帶截斷台的裝置本體；該支持滾輪及該通過滾輪，與能從該膠帶貼附裝置的該裝置本體裝卸自如的第1側壁平行配置；該支持滾輪及該膠帶截斷台，配置於該第1側壁、和與該第1側壁垂直的第2側壁相連的該裝置本體的角部附近；該膠帶截斷台，在比通過該通過滾輪的膠帶還更退避至該膠帶貼附裝置的內側的退避位置、和將該膠帶壓出至該膠帶貼附裝置的該第1側壁附近並在該膠帶截斷台的表面使膠帶仿形的截斷位置進退自如地配置，比該退避位置在該截斷位置更接近該第1側壁，使該膠帶比該退避位置在該截斷位置更接近該第1側壁。
2. 如請求項1記載的膠帶貼附裝置，其中， 該膠帶截斷台，在該截斷位置，壓出該膠帶的複數該通過滾輪之中最靠該第1側壁的通過滾輪的該膠帶的通過方向的下游側的位置。

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