KR20200030453A

KR20200030453A - 묘화 장치 및 묘화 방법

Info

Publication number: KR20200030453A
Application number: KR1020190108897A
Authority: KR
Inventors: 가즈히토 미야자키; 요시하루 오타
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2018-09-12
Filing date: 2019-09-03
Publication date: 2020-03-20
Also published as: JP7257760B2; CN110893385A; JP2023025079A; JP2020040029A; TW202035030A

Abstract

[과제] 묘화 장치의 장치 면적을 작게 하는 기술을 제공한다.
[해결수단] 실시형태에 따른 묘화 장치는, 묘화부와, 메인터넌스부를 구비한다. 묘화부는, 반송 방향을 따라 이동하는 워크에 기능액을 토출하여 워크에 묘화를 행한다. 메인터넌스부는, 반송 방향을 따라 묘화부의 하방으로 이동한 상태로 묘화부의 헤드를 메인터넌스한다.

Description

묘화 장치 및 묘화 방법{DRAWING APPARATUS AND DRAWING METHOD}

본 개시는 묘화 장치 및 묘화 방법에 관한 것이다.

특허문헌 1에는, 반송되는 기판에 잉크젯 방식으로 도포액의 액적을 도포하는 것이 개시되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2018-49805호 공보

본 개시는 묘화 장치의 장치 면적을 작게 하는 기술을 제공한다.

본 개시의 일양태에 따른 묘화 장치는, 묘화부와, 메인터넌스부를 구비한다. 묘화부는, 반송 방향을 따라 이동하는 워크에 기능액을 토출하여 워크에 묘화를 행한다. 메인터넌스부는, 반송 방향을 따라 묘화부의 하방으로 이동한 상태로 묘화부의 헤드를 메인터넌스한다.

본 개시에 따르면, 묘화 장치의 장치 면적을 작게 할 수 있다.

도 1은 실시형태에 따른 묘화 시스템의 개략 구성을 나타내는 블록도이다.
도 2a는 실시형태에 따른 묘화 유닛의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2b는 실시형태에 따른 묘화 유닛의 개략 구성을 나타내는 우측면도이다.
도 3은 실시형태에 따른 캐리지의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 4는 실시형태에 따른 흡인부의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 5는 실시형태에 따른 묘화 장치에 있어서, 전달 영역에 기판이 반송된 상태를 나타내는 개략도이다.
도 6은 실시형태에 따른 묘화 장치에 있어서, 묘화부의 하방에 롤지를 배치한 상태를 나타내는 개략도이다.
도 7은 실시형태에 따른 묘화 장치에 있어서, 촬상 장치의 하방에 롤지를 배치한 상태를 나타내는 개략도이다.
도 8은 실시형태에 따른 묘화 장치에 있어서, 묘화부의 하방에 제2 메인터넌스부가 배치된 상태를 나타내는 개략도이다.
도 9는 실시형태에 따른 제2 메인터넌스부의 메인터넌스 작업에 있어서의 흡인부 및 와이핑부의 움직임을 설명하는 도면이다.
도 10은 실시형태에 따른 제2 메인터넌스부의 메인터넌스 작업 처리를 나타내는 흐름도이다.
도 11은 변형예에 따른 제2 메인터넌스부의 구성을 나타내는 평면도이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원이 개시하는 묘화 장치 및 묘화 방법의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시형태에 의해 개시되는 묘화 장치 및 묘화 방법이 한정되는 것은 아니다.

이하 참조하는 각 도면에서는, 설명을 알기 쉽게 하기 위해, 서로 직교하는 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향을 규정하고, Z축 정방향을 연직 상향 방향으로 하는 직교 좌표계를 나타낸다.

또한, 여기서는, Y축 정방향을 전방으로 하고, Y축 부방향을 후방으로 하는 전후 방향을 규정하고, X축 부방향을 우방으로 하고, X축 정방향을 좌방으로 하는 좌우 방향을 규정한다. 또한, Z축 정방향을 상방으로 하고, Z축 부방향을 하방으로 하는 상하 방향을 규정한다. Y축 방향, 즉 전후 방향은, 기판(S)이 반송되는 반송 방향과 일치한다.

<전체 구성>

실시형태에 따른 묘화 시스템(1)에 대해서 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1은 실시형태에 따른 묘화 시스템(1)의 개략 구성을 나타내는 블록도이다.

실시형태에 따른 묘화 시스템(1)은, 예컨대, 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 라인에 편입된다. 묘화 시스템(1)은, R(적), G(녹), B(청)의 3색으로 이루어지는 컬러 필터의 착색층을 형성하는 3개의 묘화 장치(2)를 구비한다.

묘화 장치(2)는, 묘화 유닛(3)과, 제어 장치(4)를 구비한다. 묘화 유닛(3)은, 기판(S)(도 2 참조)에 대하여 기능액인 액적(이하, 「잉크」라고 칭함)을 토출하여, 기판(S)에 묘화를 행한다. 묘화 유닛(3)의 상세에 대해서는, 후술한다. 또한, 묘화 장치(2)는, 일정한 온도 조건으로 기판(S)에 대하여 잉크를 토출하여, 묘화를 행하도록, 온도 관리된 방이나, 챔버 내에 마련된다.

묘화 장치(2)에는, 예컨대, 로보트 아암 등의 반송 장치(5)에 의해 기판(S)이 반입된다. 또한, 묘화가 종료한 기판(S)은, 반송 장치(5)에 의해 묘화 장치(2)로부터 반출된다. 반송 장치(5)는, 묘화 유닛(3)보다 전방에 배치된다.

제어 장치(4)는, 예컨대, 컴퓨터이고, 제어부(도시하지 않음)와 기억부(도시하지 않음)를 구비한다. 기억부는, 예컨대, RAM(Random Access Memory), 플래시 메모리(Flash Memory) 등의 반도체 메모리 소자, 또는, 하드 디스크, 광 디스크 등의 기억 장치에 의해 실현된다.

제어부는, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM, 입출력 포트 등을 포함하는 마이크로 컴퓨터나 각종 회로를 포함한다. 마이크로 컴퓨터의 CPU는, ROM에 기억되어 있는 프로그램을 읽어내어 실행함으로써, 묘화 장치(2)나, 반송 장치(5)의 제어를 실현한다.

또한, 프로그램은, 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기억 매체에 기록되어 있고, 기억 매체로부터 제어 장치(4)의 기억부에 인스톨된 것이어도 좋다. 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기억 매체로서는, 예컨대 하드 디스크(HD), 플렉시블 디스크(FD), 컴팩트 디스크(CD), 마그넷 옵티컬 디스크(MO), 메모리 카드 등이 있다.

<묘화 유닛의 구성>

다음에, 실시형태에 따른 묘화 유닛(3)에 대해서 도 2a 및 도 2b를 참조하여 설명한다. 도 2a는 실시형태에 따른 묘화 유닛(3)의 개략 구성을 나타내는 평면도이다. 도 2b는 실시형태에 따른 묘화 유닛(3)의 개략 구성을 나타내는 우측면도이다.

묘화 유닛(3)은, 반송부(10)와, 묘화부(11)와, 제1 메인터넌스부(12)와, 제2 메인터넌스부(13)를 구비한다.

반송부(10)는, 예컨대, 전후 방향으로 연장 설치되는 레일(도시하지 않음)을 따라 이동한다. 반송부(10)는, 기판(S)을 유지하는 유지 기구(도시하지 않음)나, 반송 장치(5)와의 사이에서 기판(S)의 전달을 행할 때에 기판(S)을 리프트 핀에 의해 하방으로부터 지지하여 들어올리는 리프트 기구(도시하지 않음) 등을 구비한다.

반송부(10)는, 반송 장치(5)(도 1 참조)측, 즉 전방에 마련된 전달 영역(A)에서 기판(S)을 수취하여, 기판(S)을 유지한다. 반송부(10)는, 기판(S)을 유지한 상태로 전달 영역(A)으로부터 전후 방향을 따라 왕복한다. 그리고, 반송부(10)는, 묘화가 종료한 기판(S)을 전달 영역(A)에 있어서 반송 장치(5)에 전달한다. 또한, 도 2a, 및 도 2b에서는, 전달 영역(A)에 있어서의 반송부(10) 및 기판(S)을 일점 쇄선으로 나타내고 있다.

묘화부(11)는, 반송 방향을 따라 이동하는 기판(S)(워크의 일례)에 잉크(기능액의 일례)를 토출하여 기판(S)에 묘화를 행한다. 즉, 묘화부(11)는, 반송부(10)에 의해 전후 방향을 따라 왕복하는 기판(S)에 대하여 잉크를 토출하여, 기판(S)에 묘화를 행한다.

묘화부(11)는, 전후 방향에 있어서의 위치가 고정된다. 또한, 묘화부(11)는, 상하 방향으로 이동 가능하다. 구체적으로는, 묘화부(11)는, 상하 방향을 따라 형성된 지지 부재(20)에 부착된 지지 프레임(21)에 지지되어, 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 상하 방향을 따라 이동한다. 묘화부(11)는, 기판(S)에 묘화를 행하는 묘화 위치와, 묘화 위치보다 상방의 메인터넌스 위치 사이를 이동한다.

묘화부(11)는, 복수의 캐리지(22)를 구비한다. 캐리지(22)는, 좌우 방향으로 배열되어 마련된다. 여기서는, 일례로서, 3개의 캐리지(22)를 구비하는 묘화부(11)를 이용하여 설명하지만, 캐리지(22)의 수는, 이에 한정되는 일은 없다.

캐리지(22)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 복수의 헤드(23)를 구비한다. 즉, 묘화부(11)는, 복수의 헤드(23)를 각각 가지고, 좌우 방향(반송 방향과 직교하는 수평 방향의 일례)을 따라 배치되는 복수의 캐리지(22)를 구비한다. 도 3은 실시형태에 따른 캐리지(22)의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.

헤드(23)는, 하방을 향하여 잉크를 토출한다. 헤드(23)는, 좌우 방향을 따라 2열 마련된다. 또한, 헤드(23)는, 전후 방향을 따라 6열 마련된다. 또한, 전후 방향에 인접하는 헤드(23)는, 좌우 방향에 있어서의 위치를 어긋나게 하여 마련된다. 예컨대, 전후 방향에 인접하는 헤드(23)는, 후방으로부터 전방이 됨에 따라 우방(X축 부방향)에 위치하도록 마련된다.

헤드(23)는, 좌우 방향에 있어서 1열이어도 좋고, 또한, 3열 이상의 복수열 마련되어도 좋다.

도 2a 및 도 2b로 되돌아가서, 제1 메인터넌스부(12)는, 반송부(10)보다 후방에 마련된다. 제1 메인터넌스부(12)는, 예컨대, 전후 방향으로 연장 설치되는 레일(도시하지 않음)을 따라 이동한다. 제1 메인터넌스부(12)는, 메인터넌스 작업을 행하지 않는 경우에는, 후단의 대기 위치에 있고, 메인터넌스 작업을 행하는 경우에는, 대기 위치로부터 전방으로 이동한다.

제1 메인터넌스부(12)는, 롤지(30)와, 중량 계측부(31)를 구비한다. 제1 메인터넌스부(12)는, 묘화부(11)에 의해 기판(S)에 묘화가 행해진 후에, 묘화부(11)의 하방에 롤지(30)가 위치하도록 대기 위치로부터 이동한다. 또한, 제1 메인터넌스부(12)는, 묘화부(11)로부터 잉크가 토출된 롤지(30)가, 묘화부(11)보다 전방에 배치된 촬상 장치(32)의 하방에 위치하도록 이동한다. 촬상 장치(32)는, 롤지(30)에 토출된 잉크의 토출 상태를 촬영한다.

또한, 촬상 장치(32)는, 상하 방향으로 이동 가능하다. 구체적으로는, 촬상 장치(32)는, 지지 부재(20)에 부착된 지지 아암(33)에 지지되어, 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 상하 방향을 따라 이동한다.

중량 계측부(31)는, 미리 설정된 제1 정해진 타이밍, 예컨대, 일주일에 1회의 타이밍으로 헤드(23)로부터 토출되는 잉크의 중량 계측을 행한다. 또한, 잉크의 중량 계측은, 작업자의 조작에 기초하여 행할 수도 있다.

제2 메인터넌스부(13)는, 반송부(10)보다 후방에 마련된다. 제2 메인터넌스부(13)는, 예컨대, 전후 방향으로 연장 설치되는 레일(도시하지 않음)을 따라 이동한다. 제2 메인터넌스부(13)는, 메인터넌스 작업을 행하지 않는 경우에는, 후단의 대기 위치에 있고, 메인터넌스 작업을 행하는 경우에는, 대기 위치로부터 전방의 메인터넌스 위치로 이동한다.

제2 메인터넌스부(13)는, 대기 위치에서는, 제1 메인터넌스부(12)의 상방에 위치한다. 즉, 제1 메인터넌스부(12) 및 제2 메인터넌스부(13)가 각 대기 위치에 있는 경우에는, 제1 메인터넌스부(12) 및 제2 메인터넌스부(13)는, 상하 방향으로 적층된 상태가 된다. 이에 의해, 묘화 장치(2)는, 전후 방향의 길이를 짧게 할 수 있다.

제2 메인터넌스부(13)(메인터넌스부의 일례)는, 반송 방향을 따라 묘화부(11)의 하방으로 이동한 상태로 묘화부(11)의 헤드(23)를 메인터넌스한다. 제2 메인터넌스부(13)는, 미리 설정된 제2 정해진 타이밍, 예컨대, 하루에 수회, 메인터넌스 작업으로서 정기 플러싱 처리, 흡인 처리 및 와이핑 처리를 행한다.

정기 플러싱 처리는, 헤드(23) 내에 남은 잉크를 토출시키는 처리이다. 흡인 처리는, 헤드(23) 내에 남은 잉크를 흡인하여, 잉크를 강제적으로 배출시키는 처리이다. 와이핑 처리는, 잉크가 흡인된 헤드(23)를 불식(拂拭)하는 처리이다.

또한, 정기 플러싱 처리, 흡인 처리 및 와이핑 처리는, 헤드(23)의 교환 시 등에도 행해진다. 또한, 정기 플러싱 처리, 흡인 처리 및 와이핑 처리는, 작업자의 조작에 기초하여 행할 수도 있다.

제2 메인터넌스부(13)는, 복수의 흡인부(40)와, 와이핑부(41)를 구비한다.

흡인부(40)는, 캐리지(22)에 대응하여 마련되고, 캐리지(22)의 배치 방향인 좌우 방향으로 배열되어 마련된다. 예컨대, 도 2a에 나타내는 바와 같이, 캐리지(22)가 3개 마련된 경우에는, 흡인부(40)는, 3개 마련된다.

흡인부(40)는, 지지대(43)에 대하여 전후 방향을 따라 이동 가능하다. 흡인부(40)는, 예컨대, 전후 방향으로 연장 설치되는 레일(도시하지 않음)을 따라 이동한다.

흡인부(40)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 복수의 캡(42)을 구비한다. 도 4는 실시형태에 따른 흡인부(40)의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.

캡(42)은, 헤드(23)에 대응하여 마련되고, 상하 방향에서 헤드(23)에 대치 가능해지도록 마련된다. 예컨대, 캡(42)은, 좌우 방향을 따라 2열 및 전후 방향을 따라 6열 마련된다. 또한, 전후 방향에 인접하는 캡(42)은, 좌우 방향에 있어서의 위치가 어긋나게 마련된다.

캡(42)은, 승강 기구(도시하지 않음)에 의해 상하 방향으로 이동하여, 헤드(23)에 밀착 가능하다. 캡(42)은, 헤드(23)로부터 토출되는 잉크를 받는다. 구체적으로는, 캡(42)은, 정기 플러싱 처리 시에는, 헤드(23)에 밀착하지 않고 헤드(23)로부터 토출되는 잉크를 받는다. 또한, 캡(42)은, 흡인 처리 시에는, 헤드(23)에 밀착하여, 헤드(23)로부터 흡인되는 잉크를 받는다.

또한, 흡인 처리 시에는, 헤드(23)에 밀착한 캡(42) 내가 흡인 기구(도시하지 않음)에 의해 부압이 됨으로써, 헤드(23) 내에 남은 잉크가 흡인된다. 또한, 캡(42)은, 정기 플러싱 처리 시에, 헤드(23)와 밀착하여 잉크를 받아도 좋다.

복수의 흡인부(40)는, 복수의 캐리지(22)에 대응하여 좌우 방향(복수의 캐리지의 배치 방향의 일례)을 따라 배치되어, 헤드(23)로부터 잉크(기능액의 일례)를 흡인한다.

와이핑부(41)는, 흡인부(40)에 의해 잉크(기능액의 일례)가 흡인된 헤드(23)를 불식한다. 와이핑부(41)는, 흡인부(40)보다 우방에 배치된다. 와이핑부(41)는, 지지대(43)에 대하여 좌우 방향을 따라 이동 가능하다. 와이핑부(41)는, 예컨대, 좌우 방향으로 연장 설치되는 레일(도시하지 않음)을 따라 이동한다. 즉, 와이핑부(41)는, 좌우 방향(배치 방향의 일례)을 따라 이동 가능하며, 흡인부(40)에 의해 잉크(기능액의 일례)가 흡인된 헤드(23)를 불식한다.

와이핑부(41)는, 복수의 롤부(44)와, 와이핑 시트(45)를 구비한다. 롤부(44)는, 예컨대, 스펀지 고무이며, 좌우 방향의 양단에 배치되어, 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 회전한다. 와이핑 시트(45)는, 롤부(44)에 걸쳐져, 롤부(44)의 회전에 따라 회전하여, 잉크를 닦아내는 불식면이 새로워진다.

와이핑부(41)는, 불식면이 우방으로부터 좌방을 향하여 이동하도록, 롤부(44)를 회전시킨다. 와이핑부(41)는, 와이핑 시트(45)에 의해 헤드(23)의 선단에 부착된 잉크를 닦아내어, 헤드(23)를 불식한다.

<묘화 처리>

묘화 장치(2)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 전달 영역(A)에 의해 반송 장치(5)로부터 기판(S)이 전달되면, 반송부(10)에 의해 기판(S)을 전후 방향으로 왕복시켜, 묘화부(11)에 의해 잉크를 기판(S)을 향하여 토출하여, 기판(S)에 묘화를 행한다. 도 5는 실시형태에 따른 묘화 장치(2)에 있어서, 전달 영역(A)에 기판(S)이 반송된 상태를 나타내는 개략도이다. 묘화 장치(2)는, 묘화가 종료하면, 반송부(10)에 의해 기판(S)을 전달 영역(A)에 반송한다.

또한, 묘화 장치(2)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제1 메인터넌스부(12)를 대기 위치로부터 전방으로 이동시켜, 묘화부(11)의 하방에 롤지(30)를 배치하고, 묘화부(11)로부터 롤지(30)에 잉크를 토출한다. 도 6은 실시형태에 따른 묘화 장치(2)에 있어서, 묘화부(11)의 하방에 롤지(30)를 배치한 상태를 나타내는 개략도이다. 또한, 묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)에 있어서 흡인부(40)를 전방으로 이동시킨다.

그리고, 묘화 장치(2)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 제1 메인터넌스부(12)를 전방으로 이동시켜, 촬상 장치(32)의 하방에 롤지(30)를 배치하고, 잉크의 토출 상태를 촬상 장치(32)에 의해 촬영한다. 도 7은 실시형태에 따른 묘화 장치(2)에 있어서, 촬상 장치(32)의 하방에 롤지(30)를 배치한 상태를 나타내는 개략도이다.

묘화 장치(2)는, 제2 정해진 타이밍이 된 경우에는, 묘화 후의 기판(S)을 전달 영역(A)에 반송하여, 잉크의 토출 상태를 촬영한 후에, 제2 메인터넌스부(13)에 의한 정기 플러싱 처리, 흡인 처리 및 와이핑 처리를 실행한다.

묘화 장치(2)는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 묘화부(11) 및 촬상 장치(32)를 상방으로 이동시킨다. 그리고, 묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)를 대기 위치로부터 메인터넌스 위치로 이동시켜, 묘화부(11)의 캐리지(22)의 하방에 제2 메인터넌스부(13)의 흡인부(40)를 배치한다. 즉, 제2 메인터넌스부(13)(메인터넌스부의 일례)는, 상방으로 이동한 묘화부(11)의 하방으로 이동한다. 도 8은 실시형태에 따른 묘화 장치(2)에 있어서, 묘화부(11)의 하방에 제2 메인터넌스부(13)가 배치된 상태를 나타내는 개략도이다.

구체적으로는, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22)의 헤드(23)(도 3 참조)와, 흡인부(40)의 캡(42)(도 4 참조)이 대치하도록, 제2 메인터넌스부(13)를 이동시킨다.

여기서, 제2 메인터넌스부(13)의 메인터넌스 작업에 대해서 도 9를 참조하여 설명한다. 도 9는 실시형태에 따른 제2 메인터넌스부(13)의 메인터넌스 작업에 있어서의 흡인부(40) 및 와이핑부(41)의 움직임을 설명하는 도면이다. 도 9에서는, 캐리지(22)를 2점 쇄선으로 나타내고 있다. 또한, 도 9에서는, 흡인 처리가 행해지고 있는 캐리지(22)에 해칭을 입히고 있다.

또한, 여기서는, 3개의 캐리지(22)를 구별하기 위해, 3개의 캐리지(22)를 우방측부터 순서대로, 캐리지(22A), 캐리지(22B) 및 캐리지(22C)라고 칭한다. 또한, 마찬가지로, 3개의 흡인부(40)를 구별하기 위해, 3개의 흡인부(40)를 우방측부터 순서대로, 흡인부(40A), 흡인부(40B) 및 흡인부(40C)라고 칭한다.

묘화 장치(2)는, 먼저, 캐리지(22A∼22C)의 하방에 흡인부(40A∼40C)를 각각 배치하고, 캐리지(22A∼22C)에 있어서 정기 플러싱 처리를 행하여, 캐리지(22A∼22C)의 각 헤드(23)(도 3 참조)로부터 잉크를 토출한다. 헤드(23)로부터 토출된 잉크는, 흡인부(40A∼40C)의 캡(42)(도 4 참조)을 통해 회수된다. 회수된 잉크는, 폐액관(도시하지 않음)을 통하여 폐액된다.

묘화 장치(2)는, 와이핑부(41)에 가장 가까운 우방단의 흡인부(40A)에 의해 캐리지(22A)에 흡인 처리를 행한다. 또한, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22B) 및 캐리지(22C)에서는, 정기 플러싱 처리를 계속한다.

묘화 장치(2)는, 캐리지(22A)에 있어서의 흡인 처리가 종료하면, 흡인부(40A)를 후퇴 위치로 이동시킨다. 구체적으로는, 묘화 장치(2)는, 흡인부(40A)를 후방으로 이동시킨다.

또한, 묘화 장치(2)는, 와이핑부(41)를 좌방으로 이동시켜, 와이핑부(41)를 캐리지(22A)의 하방에 배치하여, 캐리지(22A)에 와이핑 처리를 행한다. 와이핑부(41)는, 캐리지(22A)의 헤드(23)의 선단에 부착된 잉크를 와이핑 시트(45)에 의해 닦아내어, 캐리지(22A)의 헤드(23)를 불식한다.

예컨대, 와이핑부(41)는, 좌방으로 이동한 후에 롤부(44)에 의해 와이핑 시트(45)를 이동시킴으로써, 헤드(23)의 선단에 부착된 잉크를 닦아낸다. 또한, 와이핑부(41)는, 좌방으로 이동하면서, 롤부(44)에 의해 와이핑 시트(45)를 이동시켜, 헤드(23)의 선단에 부착된 잉크를 닦아내어도 좋다.

또한, 묘화 장치(2)는, 와이핑부(41)에 의해 캐리지(22A)에 와이핑 처리를 행하면서, 흡인부(40B)에 있어서 캐리지(22B)의 흡인 처리를 행한다. 예컨대, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22A)의 헤드(23)의 불식을 행함과 동시에, 캐리지(22B)의 헤드(23)의 흡인을 행한다. 또한, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22C)에서는, 정기 플러싱 처리를 계속한다.

묘화 장치(2)는, 캐리지(22B)에 있어서의 흡인 처리가 종료하면, 흡인부(40B)를 후퇴 위치로 이동시킨다.

또한, 묘화 장치(2)는, 와이핑부(41)를 좌방으로 이동시켜, 와이핑부(41)를 캐리지(22B)의 하방에 배치하여, 캐리지(22B)에 와이핑 처리를 행한다. 와이핑부(41)는, 캐리지(22B)의 헤드(23)의 선단에 부착된 잉크를 와이핑 시트(45)에 의해 닦아내어, 캐리지(22B)의 헤드(23)를 불식한다. 또한, 닦아내기 방법은, 캐리지(22A)에 있어서의 닦아내기 방법과 동일하다.

또한, 묘화 장치(2)는, 와이핑부(41)에 의해 캐리지(22B)에 와이핑 처리를 행하면서, 흡인부(40C)에 있어서 캐리지(22C)의 흡인 처리를 행한다. 예컨대, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22B)의 헤드(23)의 불식을 행함과 동시에, 캐리지(22C)의 헤드(23)의 흡인을 행한다.

또한, 묘화 장치(2)는, 흡인부(40A)를 전방으로 이동시켜, 흡인부(40A)를 캐리지(22A)의 하방에 배치하여, 캐리지(22A)에 있어서 정기 플러싱 처리를 행한다. 묘화 장치(2)는, 흡인 처리가 종료한 캐리지(22A)에 있어서 정기 플러싱 처리를 행함으로써, 캐리지(22A)에 있어서의 잉크의 토출 상태를 유지한다.

묘화 장치(2)는, 캐리지(22C)에 있어서의 흡인 처리가 종료하면, 흡인부(40C)를 후퇴 위치로 이동시킨다.

또한, 묘화 장치(2)는, 와이핑부(41)를 좌방으로 이동시켜, 와이핑부(41)를 캐리지(22C)의 하방에 배치하고, 캐리지(22C)에 와이핑 처리를 행한다. 와이핑부(41)는, 캐리지(22C)의 헤드(23)의 선단에 부착된 잉크를 와이핑 시트(45)에 의해 닦아내어, 캐리지(22C)의 헤드(23)를 불식한다. 또한, 닦아내기 방법은, 캐리지(22A)에 있어서의 닦아내기 방법과 동일하다.

또한, 묘화 장치(2)는, 흡인부(40B)를 전방으로 이동시켜, 흡인부(40B)를 캐리지(22B)의 하방에 배치한다. 묘화 장치(2)는, 캐리지(22A) 및 캐리지(22B)에 있어서 정기 플러싱 처리를 행한다.

묘화 장치(2)는, 캐리지(22C)의 와이핑 처리가 종료하면, 와이핑부(41)를 좌방으로 이동시킨다. 또한, 묘화 장치(2)는, 흡인부(40C)를 전방으로 이동시켜, 흡인부(40C)를 캐리지(22C)의 하방에 배치한다. 묘화 장치(2)는, 캐리지(22A∼22C)에 있어서 정기 플러싱 처리를 행한다.

이와 같이, 흡인부(40A∼40C)는, 좌우 방향(배치 방향의 일례)에 있어서 와이핑부(41)로부터 가까운 순서로 흡인을 행한 후에, 캐리지(22A∼22C)의 하방으로부터 이격하도록 이동한다. 그리고, 와이핑부(41)는, 흡인이 행해진 순서로 캐리지(22A∼22C)의 헤드(23)를 불식한다.

이에 의해, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22A∼22C)에 있어서, 흡인부터 와이핑부(41)에 의한 닦아내기까지의 시간을 균일하게 할 수 있다. 그 때문에, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22A∼22C)에 있어서의 헤드(23)의 불식 상태로 균일하게 할 수 있고, 캐리지(22A∼22C)의 헤드(23)로부터 토출되는 잉크의 토출 상태를 균일하게 할 수 있어, 묘화 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 묘화 장치(2)는, 흡인 처리가 행해지지 않은 캐리지(22A∼23C)에서는 정기 플러싱 처리를 행함으로써, 캐리지(22A∼22C)의 헤드(23)의 상태를 유지할 수 있다.

또한, 제2 메인터넌스부(13)에서는, 예컨대, 메인터넌스 작업이 종료하여, 제2 메인터넌스부(13)가 대기 위치로 이동한 후에, 흡인부(40A∼40C)가 후방으로 이동하고, 와이핑부(41)가 우방으로 이동한다.

다음에, 실시형태에 따른 제2 메인터넌스부(13)의 메인터넌스 작업에 대해서 도 10의 흐름도를 참조하여 설명한다. 도 10은 실시형태에 따른 제2 메인터넌스부(13)의 메인터넌스 작업 처리를 나타내는 흐름도이다.

묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)를 대기 위치로부터 메인터넌스 위치로 이동시킨다(S10).

묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)에 의해 메인터넌스 작업을 행한다(S11). 묘화 장치(2)는, 캐리지(22)에 대하여, 정기 플러싱 처리, 흡인 처리 및 와이핑 처리를 행한다. 묘화 장치(2)는, 좌우 방향에 있어서 와이핑부(41)로부터 가까운 순서로 캐리지(22)에 흡인 처리 및 와이핑 처리를 행한다.

묘화 장치(2)는, 흡인 처리 중, 또는 와이핑 처리 중이 아닌 캐리지(22)에 정기 플러싱 처리를 행한다.

묘화 장치(2)는, 모든 캐리지(22)에 있어서 메인터넌스 작업이 종료할 때까지(S12: No), 메인터넌스 작업을 계속한다(S11).

묘화 장치(2)는, 모든 캐리지(22)에 있어서 메인터넌스 작업이 종료하면(S12: Yes), 제2 메인터넌스부(13)를 메인터넌스 위치로부터 대기 위치로 이동시켜(S13), 이번 처리를 종료한다.

<효과>

비교예에 따른 묘화 장치는, 예컨대, 제2 메인터넌스부를 기판의 반송 방향에 대하여 직교하는 좌우 방향에 배치하고, 제2 메인터넌스부, 또는 캐리지를 좌우 방향으로 이동시켜 메인터넌스 작업이 행해진다. 즉, 비교예에 따른 묘화 장치는, 좌우 방향으로의 이동 스페이스가 필요하여, 전체적인 장치 면적이 커진다.

묘화 장치(2)는, 반송 방향을 따라 이동하는 기판(S)(워크의 일례)에 잉크(기능액의 일례)를 토출하여 기판(S)에 묘화를 행하는 묘화부(11)와, 반송 방향을 따라 묘화부(11)의 하방으로 이동한 상태로 묘화부(11)의 헤드(23)를 메인터넌스하는 제2 메인터넌스부(13)(메인터넌스부의 일례)를 구비한다.

바꾸어 말하면, 묘화 장치(2)는, 묘화 방향으로서, 반송 방향을 따라 이동하는 기판(S)(워크의 일례)에 묘화부(11)로부터 잉크(기능액의 일례)를 토출하여 기판(S)에 묘화를 행하는 공정과, 반송 방향을 따라 묘화부(11)의 하방으로 이동하여, 묘화부(11)의 헤드(23)를 메인터넌스하는 공정을 갖는다.

이에 의해, 묘화 장치(2)는, 장치 면적을 작게 할 수 있다. 묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)를 반송 방향인 전후 방향을 따라 이동시킴으로써, 좌우 방향에 있어서의 장치 면적을 작게 하여, 전체적인 장치 면적을 작게 할 수 있다.

또한, 묘화부(11)는, 복수의 헤드(23)를 각각 가지고, 좌우 방향(반송 방향과 직교하는 수평 방향의 일례)을 따라 배치되는 복수의 캐리지(22)를 구비한다. 또한, 제2 메인터넌스부(13)(메인터넌스부의 일례)는, 복수의 캐리지(22)에 대응하여 좌우 방향[복수의 캐리지(22)의 배치 방향의 일례]을 따라 배치되고, 헤드(23)로부터 잉크(기능액의 일례)를 흡인하는 복수의 흡인부(40)와, 흡인부(40)에 의해 잉크가 흡인된 헤드(23)를 불식하는 와이핑부(41)를 구비한다.

이에 의해, 묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)를 전후 방향으로 이동시켜, 제2 메인터넌스부(13)에 의해 캐리지(22)에 있어서의 흡인 처리 등을 행할 수 있다. 그 때문에, 묘화 장치(2)는, 좌우 방향에 있어서의 장치 면적을 작게 하여, 전체적인 장치 면적을 작게 할 수 있다.

또한, 와이핑부(41)는, 좌우 방향(배치 방향의 일례)을 따라 이동 가능하고, 흡인부(40)에 의해 잉크(기능액의 일례)가 흡인된 헤드(23)를 불식한다.

이에 의해, 묘화 장치(2)는, 하나의 와이핑부(41)로 복수의 캐리지(22)의 헤드(23)를 불식할 수 있다. 또한, 묘화 장치(2)는, 복수의 캐리지(22)의 헤드(23)를 불식함으로써, 비용을 삭감할 수 있다.

또한, 흡인부(40)는, 좌우 방향(배치 방향의 일례)에 있어서 와이핑부(41)로부터 가까운 순서로 흡인을 행한 후에, 캐리지(22)의 하방으로부터 이격하도록 이동한다. 와이핑부(41)는, 흡인이 행해진 순거로 캐리지(22)의 헤드(23)를 불식한다.

이에 의해, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22)의 헤드(23)에 있어서 흡인부터 와이핑부(41)에 있어서의 잉크의 닦아내기까지의 시간을 균일하게 할 수 있다. 그 때문에, 묘화 장치(2)는, 캐리지(22)에 있어서의 헤드(23)의 불식 상태를 균일하게 할 수 있고, 캐리지(22)의 헤드(23)로부터 토출되는 잉크의 토출 상태를 균일하게 할 수 있다. 따라서, 묘화 장치(2)는, 기판(S)에 대하여 잉크를 균일하게 토출할 수 있어, 묘화 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 묘화부(11)는, 상하 방향으로 이동 가능하다. 제2 메인터넌스부(13)(메인터넌스부의 일례)는, 상방으로 이동한 묘화부(11)의 하방으로 이동한다.

이에 의해, 묘화 장치(2)는, 제1 메인터넌스부(12)와 제2 메인터넌스부(13)를 대기 위치에 있어서 상하 방향으로 적층하는 경우에, 제2 메인터넌스부(13)를 전후 방향으로 이동시킴으로써, 제2 메인터넌스부(13)에 의한 메인터넌스 작업을 행할 수 있다. 그 때문에, 묘화 장치(2)는, 전후 방향의 길이를 짧게 할 수 있다.

<변형예>

변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 제2 메인터넌스부(50)로서, 복수의 흡인부(51)와, 복수의 와이핑부(52)를 구비하여도 좋다. 도 11은 변형예에 따른 제2 메인터넌스부(50)의 구성을 나타내는 평면도이다.

와이핑부(52)는, 흡인부(51)에 대응하여 마련되며, 좌우 방향을 따라 배치된다. 흡인부(51)는, 캐리지(22)(도 2a 등 참조)에 대응하여 마련된다. 즉, 변형예에 따른 묘화 장치(2)의 제2 메인터넌스부(50)(메인터넌스부의 일례)는, 복수의 캐리지(22)에 대응하여 좌우 방향(배치 방향의 일례)을 따라 배치되는 복수의 와이핑부(52)를 구비한다.

변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 흡인부(51)에 의해 흡인 처리를 행한 후에, 제2 메인터넌스부(50)를 전방으로 이동시켜, 캐리지(22)의 하방에 와이핑부(52)를 배치한다. 그리고, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 복수의 캐리지(22)의 헤드(23)(도 3 참조)의 불식을 동시에 행한다.

이에 의해, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 복수의 캐리지(22)에 대하여 동시에 흡인 처리 및 와이핑 처리를 행할 수 있어, 메인터넌스 작업 시간을 짧게 할 수 있다.

또한, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 와이핑부(41)에 대하여 복수의 와이핑 시트(45)를 구비하여도 좋다. 예컨대, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 2개의 와이핑 시트(45)를 좌우 방향으로 배열하여 배치하고, 캐리지(22)에 있어서 좌우 방향으로 배열하여 배치된 헤드(23)를, 각 와이핑 시트(45)에 의해 불식하여도 좋다.

또한, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)를 상하 방향으로 이동 가능하여도 좋다. 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)에 의해 메인터넌스 작업을 행하는 경우에, 제2 메인터넌스부(13)를 대기 위치로부터 전방으로 이동시킨 후에, 하방으로 이동시킨다. 그리고, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 제2 메인터넌스부(13)를 하방으로 이동시킨 후에, 전방으로 이동시켜, 캐리지(22)의 하방에 제2 메인터넌스부(13)를 배치한다. 즉, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 상하 방향으로 이동 가능하며, 상방의 대기 위치로부터 하방으로 이동한 후에, 묘화부(11)의 하방으로 이동한다.

이에 의해, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 묘화부(11)를 상하 방향으로 이동시키지 않고, 제2 메인터넌스부(13)에 의해 메인터넌스를 행할 수 있다. 즉, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 묘화부(11)를 이동시키는 기구를 마련하지 않고, 묘화부(11)를 지지 부재(20)(도 2a 참조)에 고정하여 기판(S)에 묘화를 행할 수 있다. 그 때문에, 변형예에 따른 묘화 장치(2)는, 묘화부(11)의 위치가 어긋나는 것을 억제하여, 묘화 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 한다. 실제로, 상기한 실시형태는 다양한 형태로 구현될 수 있다. 또한, 상기 실시형태는, 첨부된 청구범위 및 그 취지를 일탈하는 일없이, 여러 가지 형태로 생략, 치환, 변경되어도 좋다.

Claims

반송 방향을 따라 이동하는 워크에 기능액을 토출하여 상기 워크에 묘화를 행하는 묘화부와,
상기 반송 방향을 따라 상기 묘화부의 하방으로 이동한 상태로 상기 묘화부의 헤드를 메인터넌스하는 메인터넌스부를 구비하는 묘화 장치.
제1항에 있어서,
상기 묘화부는,
복수의 헤드를 각각 가지며 상기 반송 방향과 직교하는 수평 방향을 따라 배치되는 복수의 캐리지를 구비하고,
상기 메인터넌스부는,
복수의 상기 캐리지에 대응하여 복수의 상기 캐리지의 배치 방향을 따라 배치되어, 상기 헤드로부터 상기 기능액을 흡인하는 복수의 흡인부와,
상기 흡인부에 의해 상기 기능액이 흡인된 상기 헤드를 불식(拂拭)하는 와이핑부를 구비하는 것인 묘화 장치.
제2항에 있어서,
상기 와이핑부는, 상기 배치 방향을 따라 이동 가능하며, 상기 흡인부에 의해 상기 기능액이 흡인된 상기 헤드를 불식하는 것인 묘화 장치.
제3항에 있어서,
상기 흡인부는, 상기 배치 방향에 있어서 상기 와이핑부로부터 가까운 순서로 흡인을 행한 후에, 상기 캐리지의 하방으로부터 이격하도록 이동하고,
상기 와이핑부는, 흡인이 행해진 순서로 상기 캐리지의 상기 헤드를 불식하는 것인 묘화 장치.
제2항에 있어서,
상기 메인터넌스부는, 상기 복수의 캐리지에 대응하여 상기 배치 방향을 따라 배치되는 복수의 와이핑부를 구비하는 것인 묘화 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 묘화부는, 상하 방향으로 이동 가능하고,
상기 메인터넌스부는, 상방으로 이동한 상기 묘화부의 하방으로 이동하는 것인 묘화 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 메인터넌스부는, 상하 방향으로 이동 가능하고, 상방의 대기 위치로부터 하방으로 이동한 후에, 상기 묘화부의 하방으로 이동하는 것인 묘화 장치.
반송 방향을 따라 이동하는 워크에 묘화부로부터 기능액을 토출하여 상기 워크에 묘화를 행하는 공정과,
상기 반송 방향을 따라 상기 묘화부의 하방으로 이동하여, 상기 묘화부의 헤드를 메인터넌스하는 공정을 포함하는 묘화 방법.