JP2011143319A - ヘッドユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構造で、液滴吐出ヘッドのノズル面を保護することで、飛行曲がりを防止することができるヘッドユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【解決手段】ワークＷに機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッド３８と、液滴吐出ヘッド３８を、そのノズル面側部位が裏面から突出すように搭載したヘッドプレート８４と、ワークＷとの間に間隙を存してヘッドプレート８４の裏面側に設けられ、裏面が前記液滴吐出ヘッド３８のノズル面から突出し、且つ前記ノズル面側部位を囲繞するように配設したカバープレート８１と、を有している。
【選択図】図３

Description

本発明は、ワークに対し、相対的に移動しながら機能液滴を吐出して描画を実施するヘッドユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。

従来、ワークに描画を行なう液滴吐出装置に組み込まれ、複数の液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットが知られている（特許文献１参照）。
このヘッドユニットは、ワークに機能液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドと、複数の液滴吐出ヘッドを、そのノズル面側を下面から突出すように搭載したヘッドプレートと、から構成されている。また、液滴吐出装置は、ヘッドユニットをキャリッジに着脱可能に搭載したキャリッジユニットと、キャリッジユニット（ヘッドユニット）に対しワークを移動させる移動機構と、液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピング機構と、これら構成装置を収容するチャンバーと、を備えている。

特開２００３−１２７３９２号公報

しかしながら、このようなヘッドユニットでは、液滴吐出ヘッドとワークの間に所定の間隙（ワークギャップ：ペーパーギャップ）があるため、異物がワーク上に付着していると、相対的に移動する液滴吐出ヘッドのノズル面とワークとの間に異物が挟み込まれ、液滴吐出ヘッドやワークが損傷したり、吐出した機能液に混色が生ずる問題があった。また、液滴吐出ヘッドのノズル面とワークとの間隙には、チャンバーのダウンフローやワークの移動の影響を受けて乱流が発生し、いわゆる飛行曲がりが生ずる問題があった。さらに、液滴吐出ヘッドのノズル面はヘッドプレートから突出しているため、ヘッドユニットの運搬や、ヘッドユニットのキャリッジへの着脱作業において、液滴吐出ヘッドのノズル面側が他の部品等に干渉し、液滴吐出ヘッドが損傷するおそれがあった。

本発明は、簡単な構造で、液滴吐出ヘッドのノズル面を保護することができると共に、液滴吐出ヘッドの飛行曲がりを防止することができるヘッドユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題としている。

本発明のヘッドユニットは、ワークに対し、相対的に移動しながら機能液滴を吐出して描画を実施するヘッドユニットであって、液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを、そのノズル面側部位が裏面から突出すように搭載したヘッドプレートと、ワークとの間に間隙を存してヘッドプレートの裏面側に設けられ、裏面が液滴吐出ヘッドのノズル面から突出し、且つノズル面側部位を囲繞するように配設したカバープレートを備えたことを特徴とする。

この構成によれば、ヘッドプレートの裏面側に設けたカバープレートにより、ワークとヘッドプレートとの間の隙間を、ワークと液滴吐出ヘッドとの間隙（ワークギャップ）よりも狭くすることができる。これにより、ワークとヘッドユニットとの相対的移動に伴って、ワーク上に付着した異物をカバープレートにより押し退けるようにして除去することができる。したがって、液滴吐出ヘッドのノズル面とワークとの間に異物が挟み込まれることがなく、液滴吐出ヘッドやワークが損傷したり、異物による機能液の混色を防止することができる。また、ワークとヘッドプレートとの間の隙間が狭くなった分、ワークと液滴吐出ヘッドとの間のエアーの流れが抑制され、乱流に起因する飛行曲がりを有効に防止することができる。さらに、カバープレートが液滴吐出ヘッドを囲繞し、且つカバープレートの裏面が液滴吐出ヘッドのノズル面よりも突出しているため、ヘッドユニットの運搬や、着脱作業において、ノズル面が他の部品等と直接干渉するのを有効に防止することができる。

この場合、ワークとカバープレートの間隙が、０．１ｍｍ〜０．２ｍｍであることが好ましい。

この構成によれば、ワーク上に付着した異物を効率良く除去することができ、且つワークと液滴吐出ヘッドとの間に発生する乱流を十分に抑制することができる。また、カバープレートの厚みや取付けの精度があまくても、ワークへの接触を確実に防止することができる。

また、液滴吐出ヘッドの複数個が、ヘッドプレートに搭載され、カバープレートは、ヘッドプレートと略同一の平面形状にされていることが好ましい。

この構成によれば、単一のカバープレートで、ヘッドプレートに搭載されている全ての液滴吐出ヘッドを保護することができると共に、カバープレート自体、プレス加工等により簡単に製造することができる。

これらの場合、カバープレートは、裏面が液滴吐出ヘッドのノズル面から突出する突出位置と、裏面が液滴吐出ヘッドのノズル面から没入する没入位置との間で、表裏方向に進退自在に支持する複数本の支持ピンと、カバープレートを、突出位置に向かって付勢する付勢部材と、を更に備えることが好ましい。

また、付勢部材は、各支持ピンに巻回するように設けた複数のコイルばねで構成されていることが好ましい。

この構成によれば、カバープレートに外力が作用すると、カバープレートは、付勢部材に抗して突出位置から没入位置に向って移動（後退）する。このため、運搬等において、液滴吐出ヘッドを保護することができるだけでなく、誤ってカバープレートと他の部品が干渉することがあっても、その損傷を防止することができる。また、カバープレートを液滴吐出ヘッドのノズル面から没入する没入位置まで押し込むことができ、必要に応じて液滴吐出ヘッドをカバープレートの裏面から突出させることで、液滴吐出ヘッドのワイピング等を適切に行うことができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記したヘッドユニットと、ヘッドユニットを着脱可能に搭載したキャリッジと、キャリッジを介して、ヘッドユニットをワークに対し相対的に移動させる移動手段と、液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピング手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、ワークへの描画に際し、ワークと液滴吐出ヘッドとの間に異物が挟み込まれるのを防止することができると共に、飛行曲がりを防止することができるため、品質の高い描画を安定的に行なうことができる。また、ヘッドユニットの交換に際し、誤ってヘッドユニットと他の部品が干渉することがあっても、液滴吐出ヘッドの損傷を有効に防止することができる。

実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。 キャリッジユニット（ヘッドユニット）の裏面図である。 キャリッジユニット廻りの断面図である。 液滴吐出ヘッドの斜視図である。 ワイピング動作を表した断面図である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係るヘッドユニット、およびこれを備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。また、ヘッドユニットは、描画動作時に、ワーク上に付着した異物を排除する機能を有している。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、Ｘ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル（移動手段）３と、複数の液滴吐出ヘッド３８を搭載したキャリッジユニット４と、複数本の支柱５を介してＸ軸テーブル３を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース６上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在してキャリッジユニット４をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル（移動手段）７と、ＲＧＢ３色の機能液タンク８を有し液滴吐出ヘッド３８に機能液を供給する機能液供給ユニット９と、を備えている。Ｘ軸テーブル３およびＹ軸テーブル７の駆動と同期して、液滴吐出ヘッド３８を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット９から供給された機能液を吐出させて、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。なお、Ｙ軸方向は、水平面内においてＸ軸方向に直交する方向である。

また、液滴吐出装置１は、上記の構成装置を収容しその雰囲気の温度および湿度を管理するチャンバー（図示省略）と、各部を統括制御する制御装置（制御手段）１０とを備えている。チャンバーは、雰囲気調和装置を有し、管理された雰囲気を上部からＨＥＰＡフィルターを介して内部に常時送り、下部から常時排気する。これにより、チャンバー内の雰囲気はダウンフローとなり、所定の温度に管理され、且つ塵埃の浮遊が防止される。もっとも、チャンバー内は、メンテナンス等においてオペレーターが出入りすることがあり、その際に持ち込んだ塵埃等が後述する異物となると考えられる。

さらに、液滴吐出装置１は、吸引ユニット２２やワイピングユニット（ワイピング手段）２３等から成るメンテナンス装置２５を備えており、これらユニットによって、各液滴吐出ヘッド３８を保守し、各液滴吐出ヘッド３８の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル３とＹ軸テーブル７とが交わる領域（描画エリア）にキャリッジユニット４を臨ませてワークＷの描画処理を行う。また、Ｙ軸テーブル７とメンテナンス装置２５が交わる領域（メンテナンスエリア）にキャリッジユニット４を臨ませて、液滴吐出ヘッド３８のメンテナンス処理（機能維持および機能回復）を行う。

吸引ユニット２２は、液滴吐出ヘッド３８を吸引して、液滴吐出ヘッド３８の吐出ノズルから機能液を強制的に排出させるものである。詳細は図示しないが、吸引ユニット２２は、キャリッジユニット４に下側から臨み、キャリッジユニット４に搭載された複数の各液滴吐出ヘッド３８のノズル面に、対応する各キャップをそれぞれに密着させるキャップユニットと、キャップユニットを昇降させ、液滴吐出ヘッド３８に対してキャップを離接させるキャップ昇降機構と、密着させたキャップを介して各液滴吐出ヘッド３８に吸引力を作用させる吸引手段と、を備えている。

ワイピングユニット２３は、洗浄液を噴霧したワイピングシート９９で液滴吐出ヘッド３８のノズル面を拭き取るものである。詳細は図示しないが、ワイピングユニット２３は、ロール上に巻回したワイピングシート９９を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニットと、ワイピングシート９９で液滴吐出ヘッド３８ノズル面を拭き取る、拭き取りユニット１００（図５参照）と、を備えている。拭き取りユニット１００は、上方に付勢された押圧ローラ９８を有し、この押圧ローラ９８でワイピングシート９９を液滴吐出ヘッド３８のノズル面に押し付けると共に、キャリッジユニット４を相対的に移動して払拭を行う（図５参照）。ワイピング動作は、吸引ユニット２２による吸引後などに行われ、ノズル面に付着した汚れを払拭する。

Ｘ軸テーブル３は、ワークＷをセットするセットテーブル３１と、セットテーブル３１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダー３２と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル３１をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）とを備えている。一対のＸ軸リニアモーターを駆動することで、一対のＸ軸スライダー３２上のセットテーブル３１をＸ軸方向に移動し、ワークＷをＸ軸方向に移動する。これによって、Ｘ軸テーブル３は、描画時にワークＷを主走査方向であるＸ軸方向に移動させる。

Ｙ軸テーブル７は、一対のＹ軸支持ベース６に支持されると共に、キャリッジユニット４をＹ軸方向に移動自在に吊設する一対のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース６上に設置され、キャリッジユニット４をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモーターを駆動することで、一対のＹ軸スライダー上のキャリッジユニット４をＹ軸方向に移動する。これによって、Ｙ軸テーブル７は、各キャリッジユニット４を介して、描画時に液滴吐出ヘッド３８を副走査方向であるＹ軸方向に移動させるほか、メンテナンス時に液滴吐出ヘッド３８をメンテナンス装置２５に臨ませる。

図１ないし図３に示すように、キャリッジユニット４は、キャリッジ本体（キャリッジ）９４と、キャリッジ本体９４の下端部に着脱可能にボルト止めしたヘッドユニット８５と、を備えている。キャリッジ本体９４は、上記の一対のＹ軸スライダー間に渡したブリッジプレート８７と、ブリッジプレート８７に支持された吊設部材８８と、吊設部材８８に支持されたθ回転機構８６と、θ回転機構８６にの支持された取付け部材８９と、を有し、この取付け部材８９にヘッドユニット８５が垂設されている。そして、液滴吐出ヘッド３８の交換は、ヘッドユニット８５の単位で実施される。

図２および図３に示すように、ヘッドユニット８５は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の液滴吐出ヘッド３８と、１２個の液滴吐出ヘッド３８を、当該各液滴吐出ヘッド３８が同一の水平面内に配設されるように支持するヘッドプレート８４と、ヘッドプレート８４の下面に取り付けたカバープレート８１と、ヘッドプレート８４を上側から支持するフレーム枠９０と、を有し、このフレーム枠９０の部分でキャリッジ本体９４の下端部に着脱可能に支持されている。詳細は後述するが、各液滴吐出ヘッド３８は、子プレート９１を介してヘッドプレート８４に取り付けられている。また、カバープレート８１は、後述する６個のコイルばね８３と６本の段付きねじ（支持ピン）８２により、ヘッドプレート８４に取り付けられている。

図示では省略したが、キャリッジ本体９４のブリッジプレート８７には、機能液を一時的に貯留する機能液供給ユニット９のサブタンクが搭載され、またヘッドプレート８４のフレーム枠９０には、サブタンクの機能液を液滴吐出ヘッド３８に大気圧基準で減圧供給する圧力調整弁が搭載されている。そして、このサブタンクおよび圧力調整弁により、各液滴吐出ヘッド３８に対して一定圧力で機能液が供給されるようになっている。

ヘッドプレート８４は、ステンレス等で構成された方形の厚板であり、１２個の液滴吐出ヘッド３８を装着するための１２個の装着開口９３が、６個ずつ２分されそれぞれ階段状に形成されている。各液滴吐出ヘッド３８は、上側から装着開口９３に挿入され、下側から装着開口９３に宛がった子プレート９１を介して、ヘッドプレート８４に取り付けられている。そして、ヘッドプレート８４に取り付けられた各液滴吐出ヘッド３８は、子プレート９１の下面から１０ｍｍ程度突出している。また、ヘッドプレート８４の長辺方向の両端部には、その下面の短辺方向の中間部に位置して一対のアライメントピン９２が突設されている。各アライメントピン９２の下面は、液滴吐出ヘッド３８のノズル面と面一に配設されており、この一対のアライメントピン９２を基準に、１２個の液滴吐出ヘッド３８（の吐出ノズル）が位置決めされるようになっている。さらに、ヘッドプレート８４の下面には、長辺に沿って、３個ずつ計６個のねじ穴が形成され、この６個のねじ穴を介してカバープレート８１がヘッドプレート８４に取り付けられている。

このヘッドユニット８５において、色ごとの各４個の液滴吐出ヘッド３８は、Ｙ軸方向に延在し、ワークＷの描画領域における最大幅の３分の１の長さを有する各色の分割描画ライン（描画ライン）を構成している。すなわち描画処理では、まず、ワークＷをＸ軸方向に往動移動（図３中右側に移動）しつつ液滴吐出ヘッド３８を駆動する「往動描画動作」を行い、その後１分割描画ライン分だけ液滴吐出ヘッド３８を副走査した後、ワークＷをＸ軸方向に復動移動（図３中左側に移動）しつつ液滴吐出ヘッド３８を駆動する「復動描画動作」を行う。その後、更に１分割描画ライン分だけ液滴吐出ヘッド３８を副走査した後、再度、「往動描画動作」を行う。この３回の描画動作によって、ワークＷの描画領域に描画パターンに基づく描画を実施する。

図４に示すように、各液滴吐出ヘッド３８は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針４４を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４２と、ヘッド基板４２に連なり機能液を吐出するヘッド本体４３と、を備えている。機能液導入部４１は、ノズル列４９の数に対応した２連の接続針４４を有しており、サブタンク（図示省略）からの機能液が供給されるようになっている。また、ヘッド本体４３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部４５と、複数の吐出ノズル４７が形成されたノズル面を有するノズルプレート４６と、を有している。ノズルプレート４６のノズル面に形成された多数の吐出ノズル４７は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された２列のノズル列４９を構成しており、各ノズル列４９は、Ｙ軸方向（主走査方向に対し直交する方向）に列設し、且つ等ピッチで並べられた１８０個の吐出ノズル４７で構成されている。そして、制御装置１０（図１参照）から出力された駆動波形が書くポンプ部４５に印加されることで、各吐出ノズル４７からの機能液が吐出される。一方、ヘッドプレート８４に装着された液滴吐出ヘッド３８は、そのヘッド本体４３の下部、すなわちノズル面側部位がヘッドプレート８４の下面から突出する。

図２および図３に示すように、カバープレート８１は、ステンレス等で構成された方形の厚板であり、ヘッドプレート８４と略同一の平面形状に形成されている。カバープレート８１には、ヘッドプレート８４と同様に、各液滴吐出ヘッド３８のヘッド本体４３（ノズル面側部位）が遊挿される１２個のヘッド用開口９５が形成され、またヘッドプレート８４の各アライメントピン９２に対応して、各アライメントピン９２が遊挿される一対のピン用開口９６が形成されている。カバープレート８１の下面は、液滴吐出ヘッド３８のノズル面およびアライメントピン９２の下端面より幾分突出しており、相対的に、液滴吐出ヘッド３８はヘッド用開口９５内に没入し、アライメントピン９２はピン用開口９６内に没入している。この場合、液滴吐出ヘッド３８のノズル面は、０．１ｍｍ以上没入していることが好ましい（アライメントピン９２も同様となる）。言い換えれば、カバープレート８１の下面は、液滴吐出ヘッド３８のノズル面から、０．１ｍｍ以上突出していることが好ましい。これにより、各ヘッド用開口９５の開口縁部は、液滴吐出ヘッド３８（のノズル面）を囲繞しこれを保護する。同様に、各ピン用開口９６の開口縁部は、アライメントピン９２（下端面）を囲繞しこれを保護する。

また、カバープレート８１には、上記ヘッドプレート８４の６個のねじ穴に対応する６個の挿通穴９７が形成されており、この各挿通穴９７に挿通した６本の段付きねじ（支持ピン）８２により、カバープレート８１がヘッドプレート８４に支持されている。各挿通穴９７には、段付きねじ８２の頭部が収容されるざぐり穴が形成され、カバープレート８１は、この頭部とざぐり穴との係合により下降端位置を規制された状態で、段付きねじ８２にスライド自在に支持されている。すなわち、カバープレート８１は、カバープレート８１の裏面が液滴吐出ヘッド３８のノズル面からワークＷ側に突出する突出位置と、裏面が液滴吐出ヘッド３８のノズル面から没入する没入位置との間で、６本の段付きねじ８２によって上下方向（表裏方向）に進退自在に支持されている。

また、各段付きねじ８２には、ヘッドプレート８４を受けとしてカバープレート８１を下方に付勢する（突出位置に向かって付勢する）６個のコイルばね（付勢部材）８３が、巻回するように取り付けられている。すなわち、カバープレート８１は、６個のコイルばね８３のばね力を受けて常時、突出位置にあり、後述するワイピング動作等において、下側からの外力を受け没入位置に上動する。この場合、突出位置におけるカバープレート８１の下面（裏面）は、ワークＷの上面との間に０．１ｍｍ〜０．２ｍｍの間隙を有している。また、没入位置では、液滴吐出ヘッド３８のノズル面が、ワイピング動作に支障を生じない程度にカバープレート８１の下面から十分に突出する。

図５に示すように、ワイピングユニット２３には、押圧ローラ９８の払拭方向の先方に位置して、一対の押上げ部材１０１が設けられている。キャリッジユニット４に対しワイピングユニット２３が相対的に払拭移動すると、先ず一対の押上げ部材１０１がカバープレート８１を没入位置に押し上げる。カバープレート８１が没入位置に押し上げられると、相対的に液滴吐出ヘッド３８の下端部が露出し、これに押圧ローラ９８を介してワイピングシート９９が接触して、液滴吐出ヘッド３８のノズル面が払拭される。すなわち、液滴吐出ヘッド３８（のノズル面）のワイピング動作に先行して、カバープレート８１が上動するため、カバープレート８１があっても、ワイピング動作を適切に行うことができる。

本実施形態のワークギャップ、すなわち液滴吐出ヘッド３８のノズル面とワークＷの表面（上面）との間隙は、０．３ｍｍ〜０．４ｍｍに設定されている。このため、カバープレート８１により、ワークギャップと同等以上の径の異物が、ワークＷとヘッドユニット８５との相対的移動に伴って押し退けられる。したがって、ワークＷの付着した異物の挟み込みによる液滴吐出ヘッド３８やワークＷの損傷を防止することができる。同様に、異物の引き摺りによる混色を防止することができる。また、カバープレート８１によりワークＷ上面とヘッドプレート８４の裏面の間の隙間が狭くなった分、ワークＷと液滴吐出ヘッド３８間へのエアーの流れが抑制され、乱流に起因する吐出液の飛行曲がりを有効に防止することができる。さらに、カバープレート８１の裏面が液滴吐出ヘッド３８のノズル面よりもワークＷ側に突出する位置でヘッドプレート８４の裏面（下面）に設置されていることで、ヘッドユニット８５をキャリッジユニット４から着脱する際に、液滴吐出ヘッド３８への干渉、衝突を防止することができる。

なお、本実施形態においては、液滴吐出装置１として、特殊なインク等の機能液を描画する装置に本発明を適用したが、液滴吐出装置１として、紙やフィルム等の記録媒体にインクを描画するインクジェットプリンターに本発明を適用しても良い。

１：液滴吐出装置、 ３：Ｘ軸テーブル、 ４：キャリッジユニット、７：Ｙ軸テーブル、 ３８：液滴吐出ヘッド、 ４３：ヘッド本体、 ４６：ノズルプレート、 ８１：カバープレート、 ８２：段付きねじ、 ８３：コイルばね、 ８４：ヘッドプレート、 ８５：ヘッドユニット、 ９４：キャリッジ本体、 Ｗ：ワーク

Claims (6)

1. ワークに対し、相対的に移動しながら機能液滴を吐出して描画を実施するヘッドユニットであって、
   前記ワークに機能液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
   前記液滴吐出ヘッドを、そのノズル面側部位が裏面から突出すように搭載したヘッドプレートと、
   前記ワークとの間に間隙を存して前記ヘッドプレートの裏面側に設けられ、裏面が前記液滴吐出ヘッドのノズル面から突出し、且つ前記ノズル面側部位を囲繞するように配設したカバープレートと、を備えたことを特徴とするヘッドユニット。
2. 前記ワークと前記カバープレートと前記間隙が、０．１ｍｍ〜０．２ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニット。
3. 前記液滴吐出ヘッドの複数個が、前記ヘッドプレートに搭載されており、
   前記カバープレートは、前記ヘッドプレートと略同一の平面形状にされていることを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニット。
4. 前記ヘッドプレートに対し前記カバープレートを、裏面が前記液滴吐出ヘッドのノズル面から突出する突出位置と、裏面が前記液滴吐出ヘッドのノズル面から没入する没入位置との間で、表裏方向に進退自在に支持する複数本の支持ピンと、
   前記カバープレートを、前記突出位置に向かって付勢する付勢部材と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のヘッドユニット。
5. 前記付勢部材は、各支持ピンに巻回するように設けた複数のコイルばねで構成されていることを特徴とする請求項４に記載のヘッドユニット。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドユニットと、
   前記ヘッドユニットを着脱可能に搭載したキャリッジと、
   前記キャリッジを介して、前記ヘッドユニットを前記ワークに対し相対的に移動させる移動手段と、
   前記液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピング手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。

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