KR20200013590A - 적재대 기구, 처리 장치 및 적재대 기구의 동작 방법 - Google Patents

적재대 기구, 처리 장치 및 적재대 기구의 동작 방법 Download PDF

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Abstract

종래보다 잔류 전하에 의한 기판의 어긋남이나 파손을 억제할 수 있는 기술을 제공한다.
본 개시의 일 양태에 따른 적재대 기구는, 기판의 이면과 전기적으로 접촉 가능한 도전막이 표면에 형성된 정전 척과, 상기 도전막과 전기적으로 접속되고, 상기 정전 척의 이면까지 깔린 도전 부재와, 상기 도전 부재에 접속 부재를 통하여 전기적으로 접속되고, 접지 전위에 접속되는 제1 위치와 접속되지 않는 제2 위치의 사이에서 이동 가능한 이동 부재를 갖는다.

Description

적재대 기구, 처리 장치 및 적재대 기구의 동작 방법 {STAGE MECHANISM, PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF OPERATING THE STAGE MECHANISM}
본 개시는 적재대 기구, 처리 장치 및 적재대 기구의 동작 방법에 관한 것이다.
정전 척의 흡착면에 흡착된 기판을 정전 척으로부터 이격시킬 때, 정전 척이나 기판에 축적된 잔류 전하에 의한 정전력이 남은 상태에서 승강 핀을 상승시키면, 기판의 어긋남이나 파손이 발생하는 경우가 있다. 그래서, 정전 척이나 기판에 축적된 잔류 전하를 제거하는 기술이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1, 2 참조).
일본 특허 제5323317호 공보 미국 특허 제9595464호 명세서
본 개시는, 종래보다 잔류 전하에 의한 기판의 어긋남이나 파손을 효율적으로 억제할 수 있는 기술을 제공한다.
본 개시의 일 양태에 따른 적재대 기구는, 기판의 이면과 전기적으로 접촉 가능한 도전막이 표면에 형성된 정전 척과, 상기 도전막과 전기적으로 접속되고, 상기 정전 척의 이면까지 깔린 도전 부재와, 상기 도전 부재에 접속 부재를 통하여 전기적으로 접속되고, 접지 전위에 접속되는 제1 위치와 접속되지 않는 제2 위치의 사이에서 이동 가능한 이동 부재를 갖는다.
본 개시에 따르면, 종래보다 잔류 전하에 의한 기판의 어긋남이나 파손을 억제할 수 있다.
도 1은, 처리 장치의 구성예를 도시하는 단면도.
도 2는, 적재대 기구의 일례를 도시하는 단면도.
도 3은, 정전 척의 일례를 도시하는 평면도.
도 4는, 정전 척의 일부를 확대하여 도시하는 사시도.
도 5는, 정전 척의 일부를 확대하여 도시하는 평면도.
도 6은, 정전 척의 표면에 형성된 도전막과 척 전극의 위치 관계의 설명도.
도 7은, 적재대 기구의 동작의 설명도.
도 8은, 적재대 기구의 동작의 설명도.
도 9는, 적재대 기구의 동작의 설명도.
도 10은, 적재대 기구의 동작의 설명도.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 개시의 한정적이지 않은 예시의 실시 형태에 대하여 설명한다. 첨부의 전체 도면 중, 동일하거나 또는 대응하는 부재 또는 부품에 대해서는, 동일하거나 또는 대응하는 참조 부호를 붙여, 중복되는 설명을 생략한다.
(처리 장치)
본 개시의 일 실시 형태에 관한 처리 장치에 대하여, 기판의 일례인 반도체 웨이퍼(이하 「웨이퍼」라고 함)의 표면에 대하여 경사져 배치된 타깃재로부터 웨이퍼로 스퍼터링 입자를 방사시킴으로써 웨이퍼에 막을 형성하는 스퍼터링 장치를 예로 들어 설명한다. 도 1은, 처리 장치의 구성예를 도시하는 단면도이다.
도 1에 도시되는 바와 같이, 처리 장치(10)는 처리 용기(12)를 갖는다. 처리 용기(12)는, 본체(12a) 및 덮개(12b)를 포함한다. 본체(12a)는, 대략 원통형을 갖고, 상단이 개구되어 있다. 본체(12a)는 접지되어 있다. 본체(12a)의 중심축선은 축선(C)과 일치하고 있다. 덮개(12b)는, 본체(12a) 상에 마련되어 있다. 본체(12a)의 상단의 개구는, 덮개(12b), 홀더(30) 및 홀더 지지부(32)에 의해 폐쇄되어 있다. 홀더(30) 및 홀더 지지부(32)에 대해서는 후술한다.
처리 용기(12)의 내부에는, 적재대 기구(100)가 마련되어 있다. 적재대 기구(100)는, 적재대(110)를 포함한다. 적재대 기구(100)의 상세에 대해서는 후술한다.
적재대(110)에는, 축체(22)가 결합되어 있다. 축체(22)는, 적재대(110)로부터 하방으로 연장되어 있다. 축체(22)는, 본체(12a)의 저부를 통과하여, 처리 용기(12)의 외부까지 연장되어 있다. 축체(22)와 본체(12a)의 저부의 사이에는, 처리 용기(12)의 내부를 기밀하게 밀봉하기 위한 시일 기구(23)가 마련되어 있다. 축체(22)의 중심축선은, 축선(C)과 대략 일치하고 있다.
축체(22)는, 처리 용기(12)의 외부에 있어서 구동 장치(24)에 접속되어 있다. 구동 장치(24)는, 축체(22)를 당해 축체(22)의 중심축선을 회전축으로 하여 회전시키며, 또한 축체(22)를 상하 이동시킨다. 구동 장치(24)는, 적재대(110) 상에 웨이퍼(W)를 적재할 때에는, 적재대(110)를 처리 용기(12) 내의 비교적 하방의 위치에 배치한다. 그리고, 반송 장치(도시하지 않음)에 의해 처리 용기(12) 내로 반송된 웨이퍼(W)는, 정전 척(114)에 의해 흡착된다. 이후, 구동 장치(24)는, 웨이퍼(W)에 대한 성막을 위해 적재대(110)를 상방으로 이동시킨다. 적재대(110)의 상방으로의 이동 중에, 마스크(26)가 적재대(110) 상에 배치된다. 마스크(26)는, 대략 환 형상을 갖는 판형체이다. 마스크(26)는, 웨이퍼(W)의 직경보다 약간 작은 직경의 개구(26a)를 갖는다. 마스크(26)의 외측 에지부(26e)는, 하방으로 돌출되어 있다.
처리 용기(12) 내에는, 마스크 지지체(28)가 마련되어 있다. 마스크 지지체(28)는, 처리 용기(12)로부터 현수되어 있다. 마스크 지지체(28)는, 적재대(110)의 상하 이동을 저해하지 않도록, 적재대(110)가 이동하는 영역(축선(C)을 따른 영역)에 있어서 개구되어 있다. 마스크 지지체(28)는, 지지부(28a)를 갖는다. 지지부(28a)는, 상방으로 개구되고, 축선(C)에 대하여 둘레 방향으로 연장되는 오목부를 형성한다. 지지부(28a)에 의해 형성되는 오목부에는, 마스크(26)의 외측 에지부(26e)가 배치된다. 이에 의해, 마스크(26)는, 적재대(110)로부터 이격되어 있을 때, 마스크 지지체(28)에 의해 지지된다.
처리 장치(10)는, 가스 공급부(29)를 갖는다. 가스 공급부(29)는, 처리 용기(12)의 내부에 가스를 공급한다. 또한, 처리 장치(10)는, 홀더(30) 및 홀더 지지부(32)를 갖는다. 홀더 지지부(32)는 절연체이며, 덮개(12b)에 설치되어 있다. 홀더 지지부(32)는 홀더(30)를 지지하고, 홀더(30)를 덮개(12b)로부터 전기적으로 절연시키고 있다. 홀더(30)는, 타깃재(34)를 보유 지지한다. 홀더(30)에는, 전원(36)이 접속되어 있다. 전원(36)에 의해 홀더(30)에 전압이 인가되면, 타깃재(34)의 근방에 있어서 전계가 발생한다. 이에 의해, 가스 공급부(29)로부터 공급된 가스가 해리되고, 이온이 생성된다. 생성된 이온은, 타깃재(34)에 충돌하고, 타깃재(34)로부터 물질이 방출된다. 방출된 물질은 웨이퍼(W) 상에 퇴적된다.
처리 장치(10)는, 처리 장치(10)의 전체 동작을 제어하기 위한 컴퓨터 등의 제어부(40)를 갖는다. 제어부(40)는, 처리 장치(10)의 각 부의 동작을 제어한다.
제어부(40)에는, 처리 장치(10)에서 실행되는 각종 처리를 제어부(40)에서 실현하기 위한 제어 프로그램이나, 처리 조건에 따라 처리 장치(10)의 각 부에 처리를 실행시키기 위한 각종 프로그램이 저장된 기억부가 접속되어 있다. 각종 프로그램은 기억 매체에 기억되어, 기억부에 저장될 수 있다. 기억 매체는, 하드 디스크나 반도체 메모리여도 되고, CD-ROM, DVD, 플래시 메모리 등의 가반성의 것이어도 된다. 또한, 유선 또는 무선 등의 통신 수단에 의해, 다른 장치나 호스트 컴퓨터로부터 기억부로 적절하게 전송되도록 해도 된다.
상기 처리 장치(10)에 있어서는, 우선, 구동 장치(24)에 의해 적재대(110)가 성막 시의 위치보다 하방의 위치에 배치된다. 이어서, 웨이퍼(W)가 반송 장치(도시하지 않음)에 의해 적재대(110) 상에 적재되고, 정전 척(114)에 흡착된다. 계속해서, 구동 장치(24)에 의해 적재대(110)가 상승되어, 마스크(26)가 적재대(110)에 대하여 고정된다. 계속해서, 구동 장치(24)에 의해 적재대(110)가 더 상승되어, 성막 시의 위치로 이동한다. 계속해서, 구동 장치(24)에 의해 적재대(110)가 회전됨과 함께, 가스 공급부(29)로부터 처리 용기(12)의 내부로 가스가 공급되고, 전원(36)으로부터 홀더(30)로 전압이 인가된다. 이에 의해, 타깃재(34)로부터 방출된 물질이 웨이퍼(W) 상에 퇴적되어, 원하는 막이 형성된다.
(적재대 기구)
도 1의 처리 장치(10)에 있어서의 적재대 기구(100)의 일례에 대하여 설명한다. 도 2는, 적재대 기구(100)의 일례를 도시하는 단면도이다. 도 2에서는, 복수의 승강 핀 중 1개가 마련되어 있는 부분을 확대하여 도시한다. 또한, 다른 승강 핀이 마련되어 있는 부분에 대해서도 마찬가지이다. 도 3은, 정전 척(114)의 일례를 도시하는 평면도이다. 도 4는, 정전 척(114)의 일부를 확대하여 도시하는 사시도이며, 도 3에 있어서의 영역 A를 확대하여 도시한다. 도 5는, 정전 척(114)의 일부를 확대하여 도시하는 평면도이며, 도 3에 있어서의 영역 B를 확대하여 도시한다. 도 6은, 정전 척(114)의 표면에 형성된 도전막과 척 전극(114a)의 위치 관계의 설명도이다.
도 2에 도시되는 바와 같이, 적재대 기구(100)는, 적재대(110), 도전 부재(120), 승강 핀 기구(130) 및 압박 부재(140)를 갖는다.
적재대(110)는, 베이스부(112) 및 정전 척(114)을 갖는다.
베이스부(112)는, 대략 원반 형상을 갖는다. 베이스부(112) 내에는, 히터(112a)가 매립되어 있다. 히터(112a)에는, 전원(112b)이 접속되어 있다. 전원(112b)으로부터 히터(112a)로 전력이 공급됨으로써, 적재대(110)를 소정의 온도로 조정할 수 있다. 또한, 히터(112a)는, 정전 척(114) 내에 매립되어 있어도 되고, 적재대(110)에 첩부 가능한 시트형 히터여도 된다. 또한, 히터(112a)는 복수의 존으로 분할되어 있어도 된다. 히터(112a)가 복수의 존으로 분할되어 있는 경우, 분할된 존별로 적재대(110)의 온도를 조정할 수 있다.
정전 척(114)은, 베이스부(112) 상에 마련되어 있다. 정전 척(114)은, 대략 원반 형상을 갖고, 그 중심은 축선(C) 상에 대략 위치하고 있다. 정전 척(114)은, 도전막에 의해 형성되는 척 전극(114a)을 한 쌍의 유전체막의 사이에 끼워 넣은 것이다. 척 전극(114a)에는, 전원(114b)이 접속되어 있다. 정전 척(114)은, 전원(114b)으로부터 인가되는 전압에 의해, 정전력으로 웨이퍼(W)를 정전 척(114) 상에 흡착 보유 지지한다. 정전 척(114)의 표면에는, 도 3에 도시되는 바와 같이, 가스 구멍(114c), 가스 홈(114d), 패드(114e), 시일 밴드(114f), 제전부(114g) 및 접촉부(114h)가 형성되어 있다. 패드(114e), 시일 밴드(114f), 제전부(114g) 및 접촉부(114h)는, 예를 들어 TiN 등의 도전막에 의해 형성되어 있다.
가스 구멍(114c)은, 정전 척(114)의 흡착면에 형성되어 있다. 가스 구멍(114c)은, 외부의 전열 가스 공급원에 접속되어 있고, 헬륨 가스(He), 아르곤 가스(Ar) 등의 전열 가스를 가스 홈(114d)에 공급한다. 일 실시 형태에서는, 가스 구멍(114c)은, 정전 척(114)의 흡착면의 중심 근방에 1개 형성되어 있다. 단, 가스 구멍(114c)은, 정전 척(114)의 흡착면에 복수 형성되어 있어도 된다.
가스 홈(114d)은, 정전 척(114)의 흡착면에 형성되어 있다. 가스 홈(114d)은, 가스 구멍(114c)으로부터 공급되는 전열 가스의 유로로서 기능한다. 일 실시 형태에서는, 가스 홈(114d)은, 정전 척(114)의 흡착면의 전체면에 걸쳐 형성되어 있다. 이에 의해, 정전 척(114)의 전체면에 전열 가스가 공급되므로, 정전 척(114)의 흡착면에 흡착되는 웨이퍼(W)의 균열성이 향상된다.
패드(114e)는, 정전 척(114)의 흡착면에 형성되어 있다. 패드(114e)는, 정전 척(114)의 흡착면에 웨이퍼(W)를 흡착할 때, 웨이퍼(W)의 이면과 접촉 가능하게 형성되어 있다. 패드(114e)는, 정전 척(114)의 흡착면에 웨이퍼(W)를 흡착할 때 웨이퍼 미끄럼을 발생시켜, 웨이퍼(W)에 대한 스트레스를 경감한다. 일 실시 형태에서는, 정전 척(114)의 흡착면의 전체면에 걸쳐 다수의 원 형상의 패드(114e)가 형성되어 있다.
시일 밴드(114f)는, 정전 척(114)의 흡착면의 외주를 따라 전체 둘레에 걸쳐 형성되어 있다. 시일 밴드(114f)는, 정전 척(114)의 흡착면에 웨이퍼(W)를 흡착할 때, 웨이퍼(W)의 이면과 접촉 가능하게 형성되어 있다. 시일 밴드(114f)는, 정전 척(114)의 흡착면에 형성된 승강 핀(136)을 삽입 관통하기 위한 삽입 관통 구멍(114i)의 주위에 형성되어 있다. 시일 밴드(114f)는, 정전 척(114)의 흡착면에 웨이퍼(W)가 적재되었을 때 웨이퍼(W)의 이면과 접촉한다. 이에 의해, 정전 척(114)의 흡착면에 흡착된 웨이퍼(W)의 이면과 정전 척(114)의 흡착면의 사이의 공간에 공급된 전열 가스가 공간으로부터 누설되는 것을 억제한다.
제전부(114g)는, 정전 척(114)의 흡착면에, 정전 척(114)의 중심부로부터 직경 방향을 따라 외측 에지부까지 라인형으로 연장되어 형성되어 있고, 외측 에지부에 있어서 시일 밴드(114f)와 접속되어 있다. 제전부(114g)는, 정전 척(114)의 흡착면에 웨이퍼(W)가 적재되었을 때 웨이퍼(W)의 이면과 접촉한다. 이에 의해, 정전 척(114)의 중심부와 외측 에지부가 동일 전위로 된다. 또한, 정전 척(114)이 한 쌍의 척 전극(114a)을 갖는 쌍곡형인 경우, 도 6에 도시되는 바와 같이, 제전부(114g)는, 평면으로 보아 한쪽의 척 전극(114a1)과 겹치고, 다른 쪽의 척 전극(114a2)과 겹치지 않는 위치에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 제전부(114g)가 정전 척(114)의 정전력에 영향을 미치는 것을 억제할 수 있다.
접촉부(114h)는, 정전 척(114)의 흡착면에 형성된 시일 밴드(114f)로부터 적재대(110)의 외측 에지부에 걸쳐 형성되어 있다. 접촉부(114h)에는, 도전 부재(120)가 전기적으로 접속된다.
도전 부재(120)는, 적재대(110)의 표면에 형성된 접촉부(114h)와 전기적으로 접속되고, 적재대(110)의 이면까지 깔려 있다. 도전 부재(120)는, 알루미늄 등의 도전 재료에 의해 형성되어 있다.
승강 핀 기구(130)는, 하우징(132), 샤프트(134), 승강 핀(136) 및 접속 부재(138)를 갖는다.
하우징(132)은, 원통 형상을 갖고, 세라믹스 등의 절연 부재를 통하여 축체(22)에 고정되어 있다. 이에 의해, 하우징(132)은, 처리 용기(12)에 대하여 전기적으로 부유됨과 함께, 축체(22)와 일체로 되어 승강한다. 하우징(132)은, 예를 들어 스테인리스에 의해 형성되어 있다.
샤프트(134)는, 이동 부재의 일례이며, 하우징(132)에 대하여 상하로 미끄럼 이동 가능하게 마련되어 있다. 샤프트(134)는, 예를 들어 스테인리스 등의 도전 재료에 의해 형성되어 있다. 샤프트(134)는, 접지 전위에 접속되는 위치와 접지 전위에 접속되지 않는 위치의 사이에서 이동 가능하다. 일 실시 형태에서는, 접지 전위에 접속되는 위치는, 처리 용기(12)와 전기적으로 접속되는 위치이며, 처리 용기(12)의 저부에 마련된 도전성 돌기부(12c)의 상단과 접촉하는 위치이다. 한편, 접지 전위에 접속되지 않는 위치는, 처리 용기(12)와 전기적으로 절연되는 위치이며, 처리 용기(12)의 저부에 마련된 도전성 돌기부(12c)의 상단으로부터 이격되는 위치이다. 또한, 도 2에서는, 샤프트(134)가 돌기부(12c)의 상단과 접촉하고 있는 상태를 도시하고 있다. 돌기부(12c)는, 적재대(110)의 하강 시의 스트로크를 길게 할 수 있다고 하는 관점에서, 탄성체(12d)(예를 들어 코일 스프링)의 탄성 변형에 의해 상하로 이동 가능한 것이 바람직하다. 이 경우, 접속 부재(138)가 완전히 줄어들었을 때 적재대(110)와 승강 핀(136)의 위치 관계가 고정되는 것이 바람직하기 때문에, 돌기부(12c)를 이동시키는 탄성체의 반력은, 접속 부재(138)의 반력보다 크게 설정된다.
승강 핀(136)은, 샤프트(134)의 상단에 설치되어 있다. 이에 의해, 승강 핀(136)은, 샤프트(134)와 일체로 되어 승강한다. 승강 핀(136)은, 티타늄(Ti) 등의 도전 재료에 의해 형성되어 있다. 승강 핀(136)은, 샤프트(134)가 돌기부(12c)에 압출됨으로써 샤프트(134)와 일체로 되어 상방으로 이동한다. 이에 의해, 승강 핀(136)은, 정전 척(114)의 흡착면의 하방의 위치로부터 상방의 위치까지 승강 가능하게 되어 있다. 승강 핀(136)이 상방으로 이동하여 그 상단이 웨이퍼(W)의 이면에 접촉하면, 정전 척(114)이나 웨이퍼(W)에 축적된 잔류 전하가 승강 핀(136), 샤프트(134), 돌기부(12c) 및 처리 용기(12)를 통하여 제전된다. 또한, 승강 핀(136)의 상단이 정전 척(114)의 흡착면보다 상방으로 이동함으로써, 승강 핀(136)의 상단에서 웨이퍼(W)를 지지하여 웨이퍼(W)가 정전 척(114)의 흡착면으로부터 이격된다.
접속 부재(138)는, 스테인리스 등의 도전 재료에 의해 형성되어 있다. 접속 부재(138)는, 일단이 샤프트(134)의 상단에 고정되고, 타단이 도전 부재(120)에 고정되어 있다. 이에 의해, 샤프트(134)와 도전 부재(120)는, 접속 부재(138)를 통하여 항상 전기적으로 접속되어 동전위의 상태로 된다. 일 실시 형태에서는, 접속 부재(138)는 코일 스프링이다. 이에 의해, 샤프트(134)와 도전 부재(120)의 사이의 상대 위치가 변화해도, 샤프트(134)와 도전 부재(120)가 전기적으로 접속된 상태가 유지된다. 또한, 접속 부재(138)는, 예를 들어 전선이어도 된다.
압박 부재(140)는, 도전 부재(120)를 정전 척(114)에 형성된 접촉부(114h)로 압박한다. 이에 의해, 부품 공차의 흡수를 도모함과 함께, 일정한 접촉력을 부여할 수 있다. 일 실시 형태에서는, 압박 부재(140)는, 예를 들어 스프링을 포함하고, 스프링의 탄성력에 의해 도전 부재(120)를 접촉부(114h)로 압박한다.
(적재대 기구의 동작 방법)
상기 처리 장치(10)의 적재대 기구(100)의 동작 방법에 대하여, 정전 척(114)의 흡착면에 흡착된 웨이퍼(W)를 승강 핀(136)으로 들어올려 흡착면으로부터 이격시킬 때의 동작을 예로 들어 설명한다.
도 7 내지 도 10은, 적재대 기구(100)의 동작의 설명도이다. 도 7은, 적재대(110)가 정전 척(114)의 흡착면에 웨이퍼(W)를 흡착시키는 위치에 있는 경우의 적재대 기구(100)의 각 부의 위치 관계를 도시한다. 도 8은, 샤프트(134)의 하단과 돌기부(12c)의 상단이 접촉하는 위치에 있는 경우의 적재대 기구(100)의 각 부의 위치 관계를 도시한다. 도 9는, 승강 핀(136)과 웨이퍼(W)의 이면이 접촉하는 위치에 있는 경우의 적재대 기구(100)의 각 부의 위치 관계를 도시한다. 도 10은, 승강 핀(136)에 의해 웨이퍼(W)를 정전 척(114)의 흡착면으로부터 이격시켜 지지하는 위치에 있는 경우의 적재대 기구(100)의 각 부의 위치 관계를 도시한다. 또한, 도 7 내지 도 10에 있어서의 화살표 L은, 정전 척(114)과 처리 용기(12)의 사이의 전기적 접속 상태를 나타낸다. 또한, 도 7 내지 도 10에 있어서는, 적재대(110)에 웨이퍼(W)를 적재하지 않고 적재대 기구(100)를 동작시켰을 때의 상태를 도시한다.
우선, 도 7에 도시되는 바와 같이, 적재대(110)가 정전 척(114)의 흡착면에 웨이퍼(W)를 흡착시키는 위치에 있는 경우, 승강 핀(136)의 상단이 정전 척(114)의 흡착면으로부터 인입되며, 또한 샤프트(134)의 하단과 돌기부(12c)의 상단이 이격되어 있다. 그 때문에, 승강 핀 기구(130) 및 정전 척(114)은 지락하는 일이 없다.
계속해서, 도 8에 도시되는 바와 같이, 적재대(110)를 하강시켜 샤프트(134)와 돌기부(12c)를 접촉시킨다. 이에 의해, 정전 척(114)(시일 밴드(114f), 제전부(114g) 및 접촉부(114h)), 도전 부재(120), 접속 부재(138), 샤프트(134), 돌기부(12c) 및 처리 용기(12)가 전기적으로 접속된다. 그 때문에, 웨이퍼(W)의 이면 및 정전 척(114)이 처리 용기(12)를 통하여 지락한다. 그 결과, 웨이퍼(W)나 정전 척(114)에 축적된 잔류 전하가, 도전 부재(120), 접속 부재(138), 샤프트(134), 돌기부(12c) 및 처리 용기(12)를 통하여 제전된다.
이어서, 도 9에 도시되는 바와 같이, 적재대(110)를 더 하강시킴으로써, 승강 핀(136)의 상단을, 정전 척(114)의 흡착면과 동일한 높이, 또는 정전 척(114)의 흡착면으로부터 약간 돌출시켜 웨이퍼(W)의 이면에 접촉시킨다. 이에 의해, 웨이퍼(W)에 축적된 잔류 전하가, 승강 핀(136), 샤프트(134), 돌기부(12c) 및 처리 용기(12)를 통하여 제전된다.
계속해서, 도 10에 도시되는 바와 같이, 적재대(110)를 더 하강시킴으로써, 정전 척(114)의 흡착면으로부터 승강 핀(136)을 더 돌출시켜 웨이퍼(W)의 이면을 지지하고, 웨이퍼(W)를 정전 척(114)의 흡착면으로부터 이격시킨다. 이때, 웨이퍼(W) 및 정전 척(114)이 제전되어 있으므로, 웨이퍼(W)의 어긋남이나 파손을 억제할 수 있다.
이상에 설명한 바와 같이, 본 개시의 일 실시 형태에서는, 승강 핀(136)에 의해 웨이퍼(W)를 들어올리기 전에 웨이퍼(W)의 이면 및 정전 척(114)의 흡착면을 지락시킨다. 이에 의해, 승강 핀(136)에 의해 웨이퍼(W)를 들어올리기 전에, 웨이퍼(W)나 정전 척(114)에 축적된 잔류 전하를 제전할 수 있다. 그 때문에, 웨이퍼(W)를 들어올릴 때의 웨이퍼(W)의 어긋남이나 파손을 억제할 수 있다. 또한, 샤프트(134)와 돌기부(12c)를 접촉시켜 웨이퍼(W)의 이면 및 정전 척(114)의 흡착면을 지락시킴으로써 웨이퍼(W)나 정전 척(114)에 축적된 잔류 전하를 제전하므로, 제전용 회로나 스위치 기구ㆍ회로 등을 별도 마련할 필요가 없다. 즉, 심플한 구조로 웨이퍼(W)나 정전 척(114)에 축적된 잔류 전하를 제전할 수 있다.
또한, 본 개시의 일 실시 형태에서는, 척 전극(114a)에 전압을 인가하여 정전 척(114)의 흡착면에 웨이퍼(W)를 흡착시킬 때, 샤프트(134)와 돌기부(12c)가 이격되어 있다. 이에 의해, 정전 척(114) 및 승강 핀 기구(130)는 지락하지 않고, 전기적으로 부유된 상태로 된다. 그 때문에, 정전 척(114)의 정전력에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 개시의 일 실시 형태에서는, 정전 척(114)의 흡착면에, 정전 척(114)의 중심부로부터 직경 방향을 따라 외측 에지부까지 라인형으로 연장되어 형성되고, 외측 에지부에 있어서 시일 밴드(114f)와 접속된 제전부(114g)가 마련되어 있다. 이에 의해, 웨이퍼(W)의 이면의 중심 부근에 축적된 잔류 전하가 제전부(114g)를 통하여 제전되므로, 웨이퍼(W)의 이면 전체를 효과적으로 제전할 수 있음과 함께, 정전 척(114)의 표면에 잔류한 전하도 효과적으로 제거할 수 있다.
또한, 본 개시의 일 실시 형태에서는, 평면으로 보아, 제전부(114g)가 쌍곡형의 척 전극(114a)의 한쪽의 척 전극(114a)과 겹치고, 다른 쪽의 척 전극(114a)과 겹치지 않는 위치에 형성되어 있다. 이에 의해, 제전부(114g)가 마련됨에 따른 정전 척(114)의 정전력에 대한 영향을 억제할 수 있다.
또한, 본 개시의 일 실시 형태에서는, 도전 부재(120)를 정전 척(114)의 접촉부(114h)로 압박하는 압박 부재(140)가 마련되어 있다. 이에 의해, 부품 공차의 흡수를 도모함과 함께, 일정한 접촉력을 부여할 수 있다.
금회 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시이지 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 상기 실시 형태는, 첨부의 청구범위 및 그 취지를 일탈하지 않고, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경되어도 된다.
10: 처리 장치
12: 처리 용기
12c: 돌기부
12d: 탄성체
100: 적재대 기구
110: 적재대
114: 정전 척
114a: 척 전극
114f: 시일 밴드
114g: 제전부
114h: 접촉부
120: 도전 부재
130: 승강 핀 기구
134: 샤프트
136: 승강 핀
138: 접속 부재
140: 압박 부재
W: 웨이퍼

Claims (12)

  1. 기판의 이면과 전기적으로 접촉 가능한 도전막이 표면에 형성된 정전 척과,
    상기 도전막과 전기적으로 접속되고, 상기 정전 척의 이면까지 깔린 도전 부재와,
    상기 도전 부재에 접속 부재를 통하여 전기적으로 접속되고, 접지 전위에 접속되는 제1 위치와 접속되지 않는 제2 위치의 사이에서 이동 가능한 이동 부재
    를 포함하는, 적재대 기구.
  2. 제1항에 있어서,
    당해 적재대 기구는, 처리 용기 내에 마련되어 있고,
    상기 접지 전위에 접속되는 상기 제1 위치는, 상기 처리 용기와 전기적으로 접속되는 위치이고,
    상기 접지 전위에 접속되지 않는 상기 제2 위치는, 상기 처리 용기와 전기적으로 절연되는 위치인,
    적재대 기구.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 도전막은, 상기 정전 척의 흡착면에, 상기 정전 척의 중심부로부터 직경 방향을 따라 외측 에지부까지 라인형으로 연장되어 형성되어 있는,
    적재대 기구.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 정전 척은, 한 쌍의 척 전극을 포함하는 쌍곡형이고,
    상기 도전막은, 평면으로 보아, 한쪽의 척 전극과 겹치고, 다른 쪽의 척 전극과 겹치지 않는 위치에 형성되어 있는,
    적재대 기구.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도전 부재를 상기 도전막으로 압박하는 압박 부재를 포함하는
    적재대 기구.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동 부재에는, 상기 기판의 이면과 접촉 가능한 승강 핀이 설치되어 있고,
    상기 이동 부재는, 상기 접지 전위에 접속되는 상기 제1 위치에 있어서 상기 승강 핀과 상기 기판의 이면이 접촉하고, 상기 접지 전위에 접속되지 않는 상기 제2 위치에 있어서 상기 승강 핀과 상기 기판의 이면이 이격하는,
    적재대 기구.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접속 부재는 탄성체인,
    적재대 기구.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 탄성체는 코일 스프링인,
    적재대 기구.
  9. 처리 용기와,
    상기 처리 용기 내에 마련되고, 기판을 적재하는 적재대 기구
    를 포함하고,
    상기 적재대 기구는,
    기판의 이면과 전기적으로 접촉 가능한 도전막이 표면에 형성된 정전 척과,
    상기 도전막과 전기적으로 접속되고, 상기 정전 척의 이면까지 깔린 도전 부재와,
    상기 도전 부재에 접속 부재를 통하여 전기적으로 접속되고, 접지 전위에 접속되는 제1 위치와 접속되지 않는 제2 위치의 사이에서 이동 가능한 이동 부재
    를 포함하는 처리 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 처리 용기의 저부에 마련되고, 상하로 이동 가능한 도전성 돌기부를 포함하고,
    상기 접지 전위에 접속되는 상기 제1 위치는, 상기 이동 부재와 상기 돌기부가 접촉하는 위치이고,
    상기 접지 전위에 접속되지 않는 상기 제2 위치는, 상기 이동 부재와 상기 돌기부가 이격하는 위치인,
    처리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 접속 부재는, 제1 탄성체에 의해 형성되어 있고,
    상기 돌기부는, 제2 탄성체의 탄성 변형에 의해 상하로 이동 가능하고,
    상기 제2 탄성체의 반력은, 상기 제1 탄성체의 반력보다 큰,
    처리 장치.
  12. 기판의 이면과 전기적으로 접촉 가능한 도전막이 표면에 형성된 정전 척과,
    상기 도전막과 전기적으로 접속되고, 상기 정전 척의 이면까지 깔린 도전 부재와,
    상기 도전 부재에 접속 부재를 통하여 전기적으로 접속되고, 접지 전위에 접속되는 제1 위치와 접속되지 않는 제2 위치의 사이에서 이동 가능한 이동 부재와,
    상기 이동 부재에 설치되고, 상기 기판의 이면과 접촉 가능한 승강 핀
    을 포함하는 적재대 기구의 동작 방법이며,
    상기 이동 부재를 상기 접지 전위에 접속되는 상기 제1 위치로 이동시킨 후, 상기 승강 핀을 상기 기판의 이면에 접촉시키는,
    적재대 기구의 동작 방법.
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