KR20190129955A - 확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼 및 솔더 프리폼을 생성하기 위한 방법 - Google Patents

확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼 및 솔더 프리폼을 생성하기 위한 방법 Download PDF

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KR20190129955A
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외르크 스트로기스
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Abstract

본 발명은 확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼에 관한 것이다. 솔더 프리폼(11)은 솔더 재료(20)를 가지며, 이 솔더 재료(20)는 또한, 솔더 프리폼(11)의 접합 표면들(12, 13)을 형성한다. 본 발명은, 솔더 프리폼이 예컨대 입자들의 형태로 추가 상(18)을 갖도록 하며, 이 추가 상(18)의 재료가 솔더 재료(20)에 확산되고 이에 따라 확산 존(19)을 형성한다. 본 발명은, (예컨대, 열 처리를 통한 예 1의 경우) 솔더 프리폼의 생성 동안 솔더 프리폼에서 이 확산 동작이 개시되도록 하며, 그 결과로, 솔더 프리폼(11)이 후속하여 솔더링될 때, 확산 솔더 연결이 더욱 신속하게 형성된다. 게다가, 금속간 화합물에 의해 형성될 수 있는 확산 존(19)은 솔더 재료(20)가 액화되고 있는 동안 솔더 프리폼을 안정시킨다. 그럼에도 불구하고, 본 발명은, 인접 접합 파트너들로의 솔더 연결이 형성되도록 하기 위하여, 솔더 재료가 접합 표면들(12, 13)에 계속해서 이용가능하도록 한다. 본 발명은 또한, 그러한 솔더 프리폼을 생성하기 위한 방법에 관한 것이다.

Description

확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼 및 솔더 프리폼을 생성하기 위한 방법
본 발명은 확산 솔더 연결(diffusion solder connection)을 설정하기 위한 솔더 프리폼(preform)에 관한 것이다. 솔더 프리폼은, 제1 접합 파트너(joining partner)에 대한 제1 접합 표면 및 제2 접합 파트너에 대한 제2 접합 표면을 포함한다. 솔더 프리폼은, 솔더 재료로 만들어진 제1 상(phase) 및 금속성 재료로 만들어진 제2 상을 포함하는 미세구조로 구성된다. 또한, 본 발명은, 솔더 프리폼을 생성하기 위한 방법에 관한 것이며, 여기서, 솔더 프리폼을 형성하도록, 솔더 재료로 만들어진 제1 상과 금속성 재료로 만들어진 제2 상이 함께 접합된다.
2 개의 접합 파트너들을 조립하기 위한 확산 솔더 연결들의 사용은 예컨대 DE 10 2013 219 642 A1으로부터 알려져 있다. 접합 파트너들 사이에 확산 솔더 연결들이 형성될 때, 솔더 합금으로 구성된 나머지 솔더 연결보다 더 높은 용융점을 갖는 금속-간 상(inter-metallic phase)을 포함하는 솔더 연결이 확산 절차들의 결과로서 형성된다. 이러한 방식으로, 접합 파트너들 사이의 연결을 열적으로 그리고 기계적으로 안정시키는 것이 가능하다.
접합 파트너들은 예컨대 구리로 만들어진 접촉 재료들을 제공할 수 있다. 확산 솔더는 주석을 함유한 솔더 재료일 수 있다. 이어서, 솔더 연결의 형성 동안 솔더 재료로의 구리의 확산에 기인하여, 구리와 주석 사이의 금속간 화합물에 의해 형성되는 확산 존(zone)이 생긴다. 이는 대략 420°의 용융점을 가지며, 이 용융점은 따라서, 주석-기반 솔더 재료의 용융 온도를 분명하게 초과한다. 필수 확산 절차들의 결과로서, 확산 존은 솔더 재료로 임의로 깊게 연장될 수 없다. 그러므로, 형성될 솔더 연결은 특정 두께로 제한된다. 그러므로, DE 10 2013 219 642 A1에 따르면, 접합 파트너들 사이의 접합 갭(gap)의 구역에 캐비티(cavity)들이 생기는 방식으로 접합 파트너들 중 적어도 하나가 형성되는 것이 제안된다. 이들 캐비티들은, 예컨대 접합 파트너들 중 하나의 조립 표면에 함몰부들을 제공함으로써 형성될 수 있다. 이어서, 이들 캐비티들은 접합 동안 버퍼(buffer) 공간들로서 사용되고, 이 버퍼 공간들 안으로 과잉 솔더 재료가 탈출할 수 있어서, 심지어 분량 공차(quantity tolerance)들이 일어나더라도, 접합 갭의 전체 폭에 걸쳐 확산 존의 신뢰성 있는 형성을 보장하는, 접합 파트너들 사이의 갭 폭이 보증될 수 있다.
부가적으로, D. Feil: "Fuegekonzepte fuer Leistungsmodule an Kuehlkoerpern [Joining concepts for power modules on heatsinks]"(Elektronische Baugruppen und Leiterplatten [Electronic assemblies and printed circuit boards], pages 60 - 64, Berlin, Offenbach, 2016)에 따르면, 확산 솔더 연결들의 형성 동안, 가요성 프리폼, 예컨대 구리 네트(net)가 접합 갭에 삽입되면, 접합 파트너들 사이의 더 큰 접합 갭들이 또한 브리징될(bridged) 수 있다는 것이 알려져 있다. 솔더 포일(foil)이 그 상에 배치될 수 있으며, 여기서, 솔더 재료는 액화 시에 가요성 프리폼 사이의 중간 공간들을 충전한다. 이 경우, 프리폼은 솔더 재료에 확산될 수 있는 재료를 제공한다. 확산 재료가 접합 파트너의 계면들을 통해서 뿐만 아니라 오히려 솔더 연결의 내부에서도 이용가능하기 때문에, 심지어 더 큰 접합 갭의 경우에도, 접합 파트너들 사이에 연속적인 확산 존이 형성될 수 있다.
Feil은 또한, 확산 솔더 연결들의 형성의 다른 옵션(option)을 설명하며, 여기서, 가요성 프리폼 대신에 금속성 분말, 예컨대 구리 분말이 사용된다. 이 분말은 솔더 재료에 혼합되고, 솔더 재료에 분산된 상태로 분포된 재료를 제공하며, 이는 확산 존을 형성하도록 솔더 연결에 확산될 수 있다. 2 개의 접합 파트너들 사이의 갭을 브리징(bridge)하는 확산 존이 또한, 이러한 방식으로 솔더 연결에 설정될 수 있다.
US 2009/004500 A1에 따르면, 솔더링(soldering) 동안 액체상으로부터 고체상으로 구성성분들의 확산에 의해 2 개의 접합 파트너들 사이의 확산 솔더 연결들이 설정될 수 있다는 것이 알려져 있다. 이 경우, 2 개의 구성요소들을 함유한 솔더 재료가 접합 파트너들 사이에 사용된다. 솔더 연결을 설정할 수 있기 위해, 제1 구성요소의 층과 제2 구성요소의 층의 샌드위치(sandwich)로 구성된 솔더 프리폼이 접합 파트너들 사이에 배치된다. 이러한 방식으로, 확산 요소에 대한 확산 경로들을 가능한 한 짧게 유지하여서, 접합 파트너들 사이에 기계적으로 안정된 연결이 생기는 것이 가능하다.
솔더 프리폼들의 사용은 솔더 연결들의 설정 동안 높은 수준의 정밀도를 필요로 하는데, 그 이유는 접합 파트너들 둘 모두의 신뢰성 있는 접촉을 형성하기 위해 이 솔더 프리폼들이 터치(touch)해야 하고, 형성되는 솔더 연결에서의 확산 경로들이 지나치게 클 수 없기 때문이다. 이 정밀도는 소정의 제조 노력 및 이에 따라 발생하는 비용들과 관련된다. 확산 경로들을 짧게 유지하기 위해, 특히 얇은 솔더 프리폼들이 사용될 수 있다. 그러나, 이들은 접합 정확도에 대한 높은 수요들, 및 접합 파트너들의 매우 평평하고 깨끗한 표면을 필요로 한다. 또한, 확산 경로들을 단축시키는 목적을 위해 임의로 얇은 프리폼들이 생성되지 않을 수 있다. 금속간 상의 상 성장(phase growth)에 요구되는 시간이 또한, 임의로 최소화되지 않을 수 있다. 접합 파트너들의 열 변형이 또한, 고려되어야 하며, 이 열 변형은 열 처리의 허용가능 처리 시간들을 제한한다.
본 발명의 목적은, 확산 솔더링을 위한 솔더 프리폼 또는 그러한 솔더 프리폼을 생성하기 위한 방법을 각각 특정하는 것이며, 여기서, 솔더 프리폼은 확산 솔더 연결의 조작 및 조립에서 간단해야 하며, 확산 솔더 연결의 접합 동안 열 변형이 비교적 작아야 한다.
본 발명에 따르면, 이 목적은, 제1 상의 재료 및 제2 상의 재료로 구성된 확산 존이 솔더 프리폼에 형성되고, 여기서, 제1 접합 표면 및 제2 접합 표면이 제1 상에 의해 전체적으로 또는 부분적으로 형성된다는 점에서, 처음에 특정된 솔더 프리폼에 의해 달성된다. 이 경우, 제1 상과 제2 상은 서로 가용성인데, 즉, 열 에너지(energy)가 이 목적을 위해 충분하면, 바람직하게는 제2 상의 금속성 재료는 제1 상 내로 확산된다. 이는 특히, 솔더 재료로 만들어진 제1 상이 확산 솔더 연결을 형성하는 목적을 위해 용융되면 사실이다. 이 경우, 제2 상은 더 높은 용융점을 가지며, 그러므로 확산 솔더 연결의 형성 동안 용융되지 않는다. 확산 절차들은 유리하게는, 맨 마지막에 금속간 상의 형성을 야기하며, 이 금속간 상은 제1 상 및 제2 상의 구성요소들로 형성되고 솔더 재료보다 더 높은 용융점을 갖는다. 제1 상이 예컨대 주석-기반 솔더 재료(특히, 주석-은-구리 솔더, 예컨대 합금 조성 SN96.5Ag3Cu0.5를 갖는 SAC305 또는 예컨대 합금 조성 Sn99.3Cu0.7을 갖는 주석-구리 솔더)일 수 있는 한편, 제2 상은, 제1 상에 용해되고 제1 상 내부에 확산될 수 있는 금속, 바람직하게는 구리로 구성된다.
본 발명에 따른 개념은, 솔더 프리폼에 형성되는 확산 존이 아직 확산 절차의 최종 스테이지(stage)에 도달하지 않았다는 것이다. 따라서, 솔더 프리폼은 유리하게는, 확산 솔더 연결을 사용하여 2 개의 접합 파트너들을 연결하기 위해 확산 솔더 절차의 범위에서 계속해서 사용될 수 있다. 제1 접합 표면 및 제2 접합 표면은 이 목적을 위해 이용가능하며, 여기서, 제1 상은 특히 이들 2 개의 접합 표면들에 계속해서 형성된다. 따라서, 솔더 재료는 확산 존을 형성하는 데 계속해서 이용가능하며, 이 확산 존은 예컨대 접합 파트너들이, 제2 상에 또한 존재하는 금속성 재료를 확산 존의 형성에 제공한다는 점에서 형성될 수 있다.
확산 솔더 연결의 형성 동안, 솔더 프리폼은 확산 솔더 연결의 형성을 완료하는 추가 확산 절차들이 일어나는 온도로 가열된다. 특히, 접합 표면들까지 또한 연장되고 이에 따라 접합 파트너들 사이에 신뢰성 있는 확산 솔더 연결을 야기하는 금속간 상들이 형성될 수 있다. 솔더 프리폼의 솔더링 전에, 내부에 존재하는 확산 존은 또한, 금속간 상을 적어도 부분적으로 이미 포함할 수 있다. 이는 솔더 프리폼이 열 처리를 얼마나 오랫동안 겪었는지에 따라 좌우되며, 이 열 처리는 확산을 트리거(trigger)한다. 오로지, 확산 솔더 연결을 형성하기 위해 접합 표면들에서 제1 상의 충분한 솔더 재료가 계속해서 이용가능한 것만이 중요하다.
본 발명의 추가 실시예에 따르면, 확산 존(19)과 제1 접합 표면(12) 사이에, 그리고 확산 존(19)과 제2 접합 표면(13) 사이에, 적어도 1 ㎛ 내지 최대 30 ㎛, 바람직하게는 적어도 5 ㎛ 내지 최대 10 ㎛의 범위의 최소 거리가 존재하는 것이 규정된다. 본 발명에 따라 제공된 거리에 의해, 접합 파트너들과 솔더 프리폼 사이의 확산 솔더 연결들이 비교적 적은 열의 유입으로 마무리될 수 있다는 것이 보장된다. 그러므로, 유리하게는, 확산 솔더 연결들이 전자 조립체의 추가 솔더 연결들과 공동으로 제조되는 것이 가능하다. 확산 솔더 연결들을 설정하기 위해서는, 종래의 솔더 연결들을 위한 것보다 실질적으로 더 높은 온도가 대개 요구된다. 그러나, 예컨대 열 처리에 기인하여 솔더 프리폼에서 이미 개시되었던 확산 절차들에 기인하여, 금속간 화합물을 갖는 확산 존의 형성이 솔더 절차에 의해 완전히 설정될 필요는 없다. 그러므로, 종래의 솔더링의 프로세싱(processing) 시간들 및 온도들이 유리하게는 충분하며, 이 때문에, 심지어 확산 솔더 연결들에 부가하여 종래의 솔더 연결들이 또한 제조되어야 하더라도 조립체는 단일 솔더링 절차로 제조될 수 있다. 예컨대, 그러한 전자 조립체는 리플로우 솔더링 퍼니스(reflow soldering furnace)에서 솔더링될(soldered) 수 있다.
하나의 접합 표면으로부터 다른 접합 표면까지 연장되는 확산 솔더 연결에 확산 존을 설정하기 위해, 최소 거리가 접합 표면의 전체 표면에 걸쳐 분포될 필요는 없다. 그러나, 본 발명의 하나의 유리한 구성에 따르면, 최소 거리는 적어도, 접합 표면 아래의 하위구역들에 존재해야 한다.
본 발명의 추가 실시예에 따르면, 확산 존(19)과 제1 접합 표면(12) 사이에, 그리고 또한 확산 존(19)과 제2 접합 표면(13) 사이에, 적어도 1 ㎛ 내지 최대 30 ㎛, 바람직하게는 적어도 5 ㎛ 내지 최대 10 ㎛의 범위의 거리가 존재하는 것이 제공되고, 여기서, 확산 존(19)과 제1 접합 표면(12) 사이의, 그리고 또한 확산 존(19)과 제2 접합 표면(13) 사이의 상기 거리는 접합 표면(12) 아래의 구역의 적어도 50%, 바람직하게는 적어도 70%, 그리고 더욱 더 바람직하게는 적어도 90%로 존재한다. 이러한 방식으로, 유리하게는, 적어도 접합 표면의 주요 부분에 확산 연결이 형성되는 것이 보장될 수 있다. 이는, 심지어 솔더 재료의 잔여물들이 솔더 연결에 계속해서 존재하더라도, 솔더 연결을 효과적으로 안정시킨다.
본 발명의 추가 실시예에 따르면, 제1 접합 표면(12)으로부터 제2 접합 표면(13)까지 확산 존에 의한 솔더 프리폼의 완전 투과(complete permeation)가 300 초 미만의 솔더링 시간에, 특히 60-150 초의 솔더링 시간에 형성될 수 있기에 충분한 정도로 금속간 화합물이 형성되는 것이 규정된다. 그 이유는, 확산 존과 접합 표면들 사이의 거리들을 치수화함으로써 솔더링 시간이 직접적으로 영향받을 수 있다는 것이 보여 졌기 때문이다. 이러한 방식으로, 특히 종래의 솔더 연결들을 이용하여 솔더 프리폼이 솔더링될 수 있도록 솔더 프리폼을 설계하는 것이 가능하다.
본 발명의 추가 실시예에 따르면, 제1 접합 표면(12)으로부터 제2 접합 표면(13)까지 확산 존에 의한 솔더 프리폼의 완전 투과가 270 ℃ 미만의 온도 범위에서, 특히 220 ℃ 내지 260 ℃의 온도 범위에서 수행될 수 있기에 충분한 정도로 금속간 화합물이 형성되는 것이 규정된다. 그 이유는, 확산 존과 접합 표면들 사이의 거리들의 적절한 치수화에 의해 솔더링 온도의 감소가 가능하다는 것이 보여 졌기 때문이며, 여기서, 이 온도는 확산 연결이 종래의 솔더 연결들과 공동으로 솔더링될 수 있도록 세팅될(set) 수 있다.
솔더 프리폼을 형성하도록, 솔더 재료로 만들어진 제1 상과 금속성 재료로 만들어진 제2 상이 접합되는, 솔더 프리폼을 생성하기 위한 방법에서, 금속간 화합물을 갖는 확산 존을 형성하기 위해, 열 처리가 수행되는 것이 제공될 수 있다(이와 관련하여, 이후에 추가로 논의됨). 이 방법의 적용 동안, 위에서 언급된 조건들이 접합 표면들과 확산 존 사이의 거리에 대해 발생하는 방식으로, 열 처리는 이 열 처리의 매개변수들(온도, 열 처리 지속기간)에 대해 세팅될 수 있다.
본 발명의 하나의 구성에 따르면, 제1 상 및 제2 상은 솔더 프리폼에 층들로서 형성되고, 여기서, 확산 존들은 이들 층들 사이의 중간 층들로서 각각 형성되는 것이 규정된다. 다시 말해서, 제1 상의 층과 제2 상의 층이 교번된다. 중간 층들은 열 처리에 기인하여 생긴다. 이 중간 층들은 확산 존들에 의해 형성되며, 이 확산 존들은 제1 상과 제2 상 사이의 계면으로부터 진행하여 성장하고, 또한 함께 성장할 수 있다. 확산이 충분히 멀리 진전되었다면, 확산 존들은 적어도 부분적으로 금속간 화합물들로 전환될 수 있다. 제1 상 및 제2 상으로 만들어진 포일들의 층들에 의해 생성될 수 있는, 솔더 프리폼의 간단한 구조는 유리하게는 이러한 방식으로 생긴다.
본 발명의 다른 구성은, 제1 상으로 만들어진 매트릭스(matrix)에 분포되는 입자들의 형태로 제2 상이 형성되는 것을 제공한다. 이는, 예컨대, 제2 상의 입자들이 제1 상으로 만들어진 포일들 사이에 분포되고 그로부터 솔더 프리폼을 형성하는 본드(bond)가 생성된다는 점에서 달성될 수 있다. 후속하여 설정된 확산 존은 금속간 화합물로 만들어진, 입자들을 연결하는 프레임워크(framework)를 포함하면 특히 유리하다. 이 프레임워크가 솔더 프리폼의 두께를 넘어서 연장되어서, 솔더 프리폼에 의해 형성된 확산 솔더 연결은 기계적으로 그리고 열적으로 안정된다. 솔더 프리폼의 조립 및 이 솔더 프리폼의 확산 솔더링 후에, 금속간 화합물의 프레임워크가 접합 파트너들을 향해 완성되어서, 이 프레임워크는 접합 표면들까지 연장된다. 따라서, 전체 확산 솔더 연결이 안정된다.
다른 옵션은, 제2 상이 제1 상으로 만들어진 매트릭스에 의해 둘러싸이는 일체형 공간 구조를 형성하는 것이다. 그러한 일체형 공간 구조는 제1 상에 형성되는 금속간 화합물의 프레임워크의 기하학적 구조를 미리 결정하여서, 유리하게는, 정의된 기하학적 구조 및 이에 따라 잘 예측가능한 기계적 특성들을 갖는 프레임워크가 형성될 수 있다. 공간 구조를 둘러싸는 금속간 상의 프레임워크 ―이 프레임워크의 기하학적 구조는 제2 상의 공간 구조로 배향됨― 가 또한, 본 발명의 이러한 구성을 야기한다.
게다가, 본 발명에 따르면, 솔더 프리폼이 열 처리를 겪고, 여기서, 열 처리 동안 제1 상과 제2 상 사이에 확산 존이 형성된다는 점에서, 처음에 특정된 방법을 사용하여 목적이 달성된다. 이 확산 존에서, 금속간 화합물들의 형성이 또한 일어날 수 있다. 게다가, 제1 상이 제1 접합 파트너에 대한 제1 접합 표면에, 그리고 제2 접합 파트너에 대한 제2 접합 표면에 전체적으로 또는 부분적으로 형성된 상태로 유지되도록, 열 처리는 적시에 종료된다. 이러한 방식으로, 인접 접합 파트너들로의 솔더 연결을 설정하기 위한, 접합 표면들에서의 솔더 재료가 보장된다. 제2 상 ―이러한 제2 상으로부터, 확산 존을 형성하는 재료가 제1 상으로 확산됨― 이 접합 표면들에 가까운 구역들에 사소한 정도로만 존재하거나 또는 전혀 존재하지 않는다는 점에서, 제1 상이 접합 파트너들에서 유지되는 것이 보장될 수 있다. 게다가, 열 처리를 위한 시간을 제한함으로써, 접합 표면들까지 연장되는 확산 존의 형성이 영향받을 수 있다.
장점들이 위에서 이미 설명된 솔더 프리폼은, 본 발명에 따른 방법을 사용하여 생성될 수 있다. 특히, 솔더 프리폼이 생성될 수 있고, 이 경우, 2 개의 접합 파트너들 사이의 확산 솔더 연결의 설정에서 조립 동안 발생해야 하는 확산 절차들의 완료에 더욱 빠르게 도달한다. 이 경우, 솔더 연결의 설정과 관련되는 열 응력들이 유리하게 감소될 수 있다.
본 발명에 따른 방법의 하나의 구성에 따르면, 솔더 프리폼은, 열 처리 동안, 제1 접합 표면 및 제2 접합 표면 상에 체결되는 2 개의 홀딩 디바이스(holding device)들 사이에 삽입되는 것이 규정된다. 이들 홀딩 디바이스들은 솔더 프리폼으로 확산되는 소정의 재료를 함유할 수 없어서, 이들 홀딩 디바이스들은 열 처리 후에 다시 솔더 프리폼으로부터 분리될 수 있다. 예컨대, 홀딩 디바이스들은 세라믹(ceramic)으로 구성될 수 있고, 2 개의 평평한 플레이트(plate)들에 의해 구현될 수 있다. 또한, 솔더 재료를 사용하여 홀딩 디바이스들을 습윤시키는 것이 어려워서, 이 솔더 재료가 홀딩 디바이스들의 계면들로의 연결을 형성할 수 없으면 유리하다. 개별적인 층들을 서로 연결하고 접합 표면들을 컨디셔닝(condition)하기 위해, 홀딩 디바이스들을 사용하여 열 처리 동안 솔더 프리폼에 압력이 가해질 수 있다.
또한, 생성될 솔더 프리폼들의 높이를 갖는 플레이트가 중간 생성물로서 생성되면 유리하다. 플레이트가 분할됨으로써, 열 처리의 완료 후에 이 플레이트로부터 복수의 솔더 프리폼들이 생성될 수 있다. 이는 예컨대 스탬핑(stamping), 절단, 절삭(sawing), 연마 절단 또는 레이저(laser) 절단에 의해 수행될 수 있다. 한편으로, 큰 플레이트를 생성함으로써, 개별적인 층들의 층형성(layering) 동안 프로세스(process) 신뢰성이 개선될 수 있다. 부가하여, 층들의 층형성 동안의 노력은 감소되는데, 그 이유는 복수의 솔더 프리폼들을 위해, 비교적 큰 치수들을 갖는 비교적 적은 수의 구성요소들이 조작되어야 하기 때문이다. 이어서, 수평 층 편차들이 예컨대 각각의 경우 플레이트의 가장자리에서만 일어나며, 솔더 프리폼들의 격리 동안 쉽게 절단될 수 있다.
방법의 하나의 특정 구성에 따르면, 제1 상이 층들의 형태로 사용되고 제2 상이 입자들의 형태로 사용되는 것이 규정된다. 이어서, 층들과 입자들은 교번적으로 층형성되고, 후속하여, 입자들은 층들에 매립된다. 이 매립 프로세스는 예컨대 롤링(rolling) 또는 프레싱(pressing)에 의해 기계적으로 수행될 수 있다. 부가적으로, 개별적인 층들 사이의 복합재료(composite)의 형성은 열 처리에 의해 보조되는데, 그 이유는 확산 존의 형성이 입자들과 층들 사이의 영구적인 연결을 야기하기 때문이다.
예컨대, 비드(bead)들의 형태의 구리 입자들이 얇은 솔더 포일들, 특히 주석-함유 솔더 합금에 적용될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 하나의 유리한 구성에 따르면, 바인더(binder)가 사용될 수 있고, 이 바인더를 사용하여, 입자들이 솔더 포일 상에 고정된다. 따라서, 복수의 이들 포일들이 하나의 포일이 다른 포일 위에 있는 방식으로 적층되면, 이에 따라 생성된 솔더 프리폼의 총 높이는 구리 입자들을 이용한 충분한 정도의 충전이 달성될 수 있게 한다.
본 발명의 다른 구성에 따르면, 입자들의 형태의 또는 일체형 공간 구조의 형태의 제1 상이 홀딩 디바이스들 사이에 배치되고, 후속하여, 이러한 제1 상이 앞서 용융된 제2 상에 의해 침윤되는 것이 제공될 수 있다. 이 경우, 제2 상은 제1 상보다 더 낮은 용융 온도를 가지며 모세관력들의 결과로서 제1 상의 중간 공간들로 끌어 들여진다는 사실이 활용된다. 제1 상 및 제2 상으로 만들어진 복합재료는 유리하게는, 이러한 방식으로 생기며, 여기서, 제1 상의 기하학적 구조 및 충전 정도는 정밀하게 미리 결정될 수 있다. 게다가, 솔더 재료가 액체 상태로 솔더 프리폼에 유입되기 때문에, 확산 존이 즉시 형성되도록 충분한 열이 이용가능하다. 따라서, 열 처리 단계가 솔더 프리폼의 생성 단계에 적어도 부분적으로 통합되어서, 프리폼에 대한 생성 시간이 유리하게 감소될 수 있다.
따라서, 구리 입자들이 사용되면, 이 구리 입자들은 예컨대 구리 페이스트(paste)의 형태로, 예컨대 세라믹으로 만들어진 비-습윤성 표면 상에 이 구리 페이스트를 프린팅(printing)함으로써, 프로세싱될(processed) 수 있다. 이 입자 본드(bond)의 건조 후에, 예컨대 프리폼 또는 솔더 페이스트 데포(depot) 형태의 솔더 데포가 구리 데포에 측면으로 적용될 수 있다. 상부 측을 향해 생성될 솔더 프리폼의 성형은 제2 홀딩 디바이스, 예컨대 제2 세라믹 플레이트에 의하여 범위가 정해진다. 부가하여, 생성될 솔더 프리폼의 높이의 정밀한 정의를 위해 홀딩 디바이스들 사이에 스페이서(spacer)들이 배치될 수 있다. 이어서, 솔더를 용융시킴으로써, 이 솔더는 구리 입자들의 데포에 침윤한다.
본 발명의 다른 구성에 따르면, 제2 상이 2 개의 홀딩 디바이스들 중 하나의 홀딩 디바이스 상에 일체형 공간 구조의 형태로 배치되는 것이 규정된다. 후속하여, 제2 상은 제1 상에 매립되고, 여기서, 제1 상은 솔더 페이스트의 형태로 프로세싱된다. 이는, 제2 상이 제1 상 내부에서 가압될 때 초래된다. 후속하여, 홀딩 디바이스들 중 다른 홀딩 디바이스는 생성될 솔더 프리폼 상에 배치된다. 또한, 일체형 공간 구조는 유리하게는, 충전 정도를 증가시키기 위해 솔더 페이스트의 2 개의 층들 사이에 매립될 수 있다. 이 방법에서, 스텐실 프린팅(stencil printing)의 설정된 기법들이 적용되어서, 비용-효과적인 생성 프로세스가 유리하게는, 높은 신뢰성으로 수행될 수 있다.
게다가, 본 발명의 다른 구성에 따르면, 제2 상이 일체형 공간 구조의 형태로 사용되고 이 공간 구조가 용융된 제1 상에 침지되는 것이 제공될 수 있다. 이 침지 방법에서, 일체형 공간 구조는, 솔더 재료를 사용하여 습윤되며, 여기서, 계속해서 액체 솔더 재료에서 확산 존이 즉시 형성된다. 이에 따라 생성되는, 솔더로 습윤된 공간 구조들은 후속하여, 키가 더 큰 솔더 프리폼들을 형성하도록 적층될 수 있다.
본 발명의 추가 세부사항들은 이후에 도면들을 기초로 설명된다. 도면들의 동일한 또는 대응하는 요소들 각각에는 동일한 참조 부호들이 제공되며, 이러한 도면들의 동일한 또는 대응하는 요소들은 개별적인 도면들 사이에 차이들이 발생하는 만큼 다수 번 단지 설명된다. 도면들에서:
도 1은 제2 상이 개별적인 층들에 의해 형성되는, 본 발명에 따른 솔더 프리폼의 예시적인 실시예를 단면도로 도시하고,
도 2는 제2 상이 입자들에 의해 형성되는, 본 발명에 따른 솔더 프리폼의 다른 예시적인 실시예를 부분 절개도로 도시하고,
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 방법의 예시적인 실시예의 선택된 제조 단계들(층들의 적층)을 부분 단면도로 도시하고,
도 6 및 도 7은 선택된 단계들(솔더 재료에 대한 침윤)에서 본 발명에 따른 방법의 다른 예시적인 실시예를 부분 단면도로 도시하고,
도 8 및 도 9는 선택된 단계들(공간 격자의 침지)에서 본 발명에 따른 방법의 다른 예시적인 실시예를 부분 단면도로 도시하며, 그리고
도 10 내지 도 14는 본 발명에 따른 방법의 다른 예시적인 실시예들의 선택된 단계들(솔더 페이스트 프린팅)을 부분 단면도로 도시한다.
도 1에 따르면, 솔더 프리폼(11)이 도시된다. 이 솔더 프리폼(11)은 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 표면(13)을 포함한다. 솔더 프리폼(11)은 제1 접합 표면(12)을 통해 제1 접합 파트너(14)의 제1 금속부(metallization)(15)에 연결된다. 접합 파트너(14)는 전자 구성요소에 의해 구현된다. 제2 접합 표면(13)은 제2 접합 파트너(17)의 제2 금속부(16)에 연결된다. 제2 접합 파트너(17)는 인쇄 회로 보드(board) 형태의 회로 캐리어(carrier)에 의해 형성된다.
솔더 프리폼(11)의 구조가 개략적으로 도시된다. 마무리된 솔더 프리폼(11)이 제1 접합 파트너(14)와 제2 접합 파트너(17) 사이에 배치되었지만, 아직 이들에 솔더링되지는 않은 상태가 도 1에서 도시된다. 솔더 프리폼(11)은 금속성 재료, 예컨대 구리로 형성된 제2 상(18)의 층들로 구성된다. 제2 상(18)으로부터의 구리가 확산된 주석-기반 솔더 재료를 함유하는 확산 존들(19)이, 이러한 제2 상(18)의 층들 사이에 그리고/또는 이러한 제2 상(18)의 층들에 인접하게 위치된다. 이는 솔더 프리폼의 열 처리에 의해 달성되었으며, 여기서, 이 열 처리는 확산 존들(19)이 완전히 형성되기 전에 종료되었지만, 금속간 상들은 이미 부분적으로 형성되었다. 게다가, 확산 존(19)은 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 표면(13)까지 아직 연장되지 않은 상태이며, 이 때문에, 이러한 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 표면(13)은 주석-함유 솔더 재료로 만들어진 제1 상(20)에 의해 형성된다.
확산 존들에서의 금속간 화합물들은 도시되지 않는다(이와 관련하여, 도 2에 대해 추가로 논의됨). 이들 금속간 화합물들은 계속해서 뒤를 따르는 솔더링 절차 동안 계속해서 추가로 형성되며, 그 동안, 솔더 연결을 형성하도록 제1 접합 파트너(14) 및 제2 접합 파트너(17)가 솔더 프리폼(11)에 솔더링된다. 이 경우, 재료가 제1 금속부(15) 및 제2 금속부(16)로부터 그리고 또한 솔더 프리폼의 제2 상(18)으로부터 솔더 프리폼의 제1 상(20)으로 그리고 확산 존들(19)로 확산되어서, 형성되는 확산 존에서의 구리 원자들의 농도는 금속간 화합물들을 형성하기에 충분하다. 따라서, 제1 접합 파트너(14)와 제2 접합 파트너(17) 사이에 확산 솔더 연결이 생긴다. 확산 절차들이 솔더 프리폼(11)에서 이미 시작되었기 때문에, 이 목적에 사용되는 종래의 솔더 프리폼들의 경우에서보다 확산 솔더 연결의 최종 형성에는 더 적은 에너지가 요구된다.
도 2에 따른 솔더 프리폼에서, 제2 상(18)은 제1 상(20)에 입자들의 형태로 함유된다. 확산 존(19)이 제2 상(18) 주위에 금속간 화합물로서 이미 (적어도 부분적으로) 형성되었다. 그러나, 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 표면(13)으로부터의 제2 상(18)의 거리 ―이 거리는 제1 상으로의 제2 상의 확산 경로들을 고려하여 선택됨(온도 및 지속기간과 같은 열 처리의 방법 매개변수들에 의해 결정됨)― 는, 접합 파트너들(미도시)과의 후속하는 확산 절차를 보장하기 위해 솔더 재료의 제1 상(20)이 이들 접합 표면들에 존재하는 것을 보장한다.
도 2에 따른 솔더 프리폼은 예컨대 도 3 내지 도 5의 방법을 사용하여 생성될 수 있다. 도 3은 솔더 포일들의 형태의 제1 상(20)이 입자들의 형태의 제2 상(18)과 교번적으로 층형성될 수 있다는 것을 도시한다. 이 경우, 제2 상(18)은, 단순히 흩어지거나(미도시) 또는 예시된 바인더(20a)에 의하여 제1 상(20)에(제1 상의 층들의 일 측에, 또는 도시된 바와 같이 제1 상의 층들의 양측에) 고정될 수 있다. 이 경우, 제1 상(20)의 개개의 최상층 및 최하층은 나중에 형성되는 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 표면(13)으로부터 제2 상(18)이 이격되는 것을 보장한다.
도 4는 도 3에 따른 복합재료가 세라믹 플레이트들의 형태의 2 개의 홀딩 디바이스들(21) 사이에 유지될 수 있다는 것을 도시한다. 제1 상(20)과 제2 상(18)은 서로 연결되고, 접촉 압력(22)에 의해 예비적인 방식으로 고정된다.
도 5는 도 4에 따라 생기는 솔더 프리폼이 홀딩 디바이스(21)에 고정되는 동안 이루어질 수 있는 열 처리를 완료시킨 후의 솔더 프리폼(11)을 도시한다. 확산 존(19)은 제2 상(18) 주위에 형성되었으며, 여기서, 제1 상(20)은 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 표면(13)에 인접하게 존재한다.
솔더 프리폼을 생성하기 위한 다른 방법이 도 6 및 도 7에서 도시된다. 도 6에서는, 제2 상(18)이, 홀딩 디바이스들(21) 사이에서 균일하게 층형성된 비드들의 형태를 갖는다는 것을 볼 수 있다. 솔더 재료의 제1 상(20)이 프리폼에 의해 형성되며, 이 솔더 재료의 제1 상(20)은 또한, 홀딩 디바이스들(21) 사이에 유지되며, 나중에 형성될 솔더 프리폼의 가장자리들에 위치된다. 게다가, 스페이서(23)가 제공되며, 이는 형성될 솔더 프리폼의 높이를 정의한다.
도 7은 도 6에 따른 어레인지먼트(arrangement)가 제1 상(20)이 용융되기에 충분히 가열됨을 도시한다. 솔더 재료는 이제, 제1 상(20)의 비드들 사이의 중간 공간들에 의해 생성되는 모세관력들에 기인하여 제2 상(18)에 침윤한다. 제2 상(18)의 중간 공간들에 현재 유입되고 있는 솔더 재료의 전방(front)(24)을 도 7에서 볼 수 있다.
솔더 재료가 액체이기 때문에, 제1 상(20)으로의 제2 상(18)의 재료(예컨대, 구리)의 확산이 즉시 일어나서, 금속간 화합물들로 만들어진 확산 존(19)이 생긴다. 이는 제2 상의 비드들을 둘러싸는 프레임워크(25)를 형성하고, 이 프레임워크(25)는 마무리된 솔더 프리폼을 기계적으로 안정시키며, 따라서 이 마무리된 솔더 프리폼이 솔더 연결의 나중의 형성 동안 안정된 상태로 유지되는 한편, 제1 상(20)의 나머지는 다시 용융된다. 제1 상(20)의 나머지는 특히 홀딩 디바이스들(21)로의 계면들에 위치되며, 이 홀딩 디바이스들(21)은 세라믹으로 구성되고 이에 따라 제1 상(20)에서의 확산 절차들을 트리거하지 않거나 또는 액체 제1 상(20)에 의해 습윤될 수 있다.
솔더 프리폼을 생성하기 위한 다른 방법이 도 8 및 도 9에서 도시된다. 이 방법에서, 제2 상은 3-차원 공간 구조(26), 여기서 와이어(wire) 격자로부터 형성되어야 한다. 이 공간 구조(26)로부터 솔더 프리폼을 생성하기 위해, 용기(28)에 제공되는 액체 솔더(27)에 이 공간 구조(26)가 침지된다.
도 9에서는, 도 8로부터의 공간 격자(26)가, 마무리된 솔더 프리폼(11)에 제2 상(18)을 형성하는 것을 볼 수 있다. 이러한 제2 상은 확산 존(19)에 의해 둘러싸이고, 여기서, 제1 상(20)은 제2 상(18)으로부터 거리가 증가함에 따라 확산 존(19)을 분리하여서, 제1 상(20)에 의해 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 표면(13)이 형성된다.
솔더 페이스트 프린팅에 의해 솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법이 도 10 내지 도 14에서 도시된다. 도 10에서는, 세라믹 플레이트 형태의 제1 스텐실(29)이 홀딩 디바이스(21) 상에 놓이고 솔더 페이스트 형태의 제1 상(20)이 스퀴지(squeegee)(30)에 의하여 특정 두께로 적용되는 것을 볼 수 있다. 도 11로부터 추론될 수 있는 바와 같이, 구리 포일 형태의 제2 상(18)은, 이에 따라 적용된 제1 상(20) 상에 놓일 수 있다. 후속하여, 도 12에서 도시된 바와 같이, 제1 스텐실(29)은 더 큰 높이를 갖는 제2 스텐실(31)로 대체된다. 대안적으로(미도시), 제1 스텐실(29)은 또한, 홀딩 디바이스(21) 상에 유지될 수 있고, 제1 스텐실(29) 상에 추가 스텐실이 놓일 수 있다. 어떤 경우이든, 이에 따라 제2 스텐실(31)에 기인하여 생기는 캐비티가 또한 깊어져서, 제1 상(20)을 생성하도록 추가 솔더 페이스트가 스퀴지(30)에 의하여 계량될 수 있다. 이러한 방식으로, 제2 상(18)은 제1 상(20)에 둘러싸인다. 이 절차는, 솔더 프리폼에 대한 원하는 두께에 도달할 때까지 다수 번 반복될 수 있다.
도 13은, 다음 단계에서, 도 10 내지 도 12에 따라 생성된 솔더 프리폼(11)에 제2 홀딩 디바이스(21)가 제공되고 이 솔더 프리폼(11)이 열 처리를 겪을 수 있는 방법을 도시한다. 이 경우 금속간 화합물을 갖는 확산 존(19)은 제2 상(18) 주위에 형성되고, 여기서, 제1 상(20)은 확산 존(19)을 넘어서 존재한다.
도 14에 따른 단일 솔더 프리폼(11) 대신에, 생성될 솔더 프리폼들(11)보다 실질적으로 더 큰 면적(area)을 갖는 플레이트(32)가 또한, 도 10 내지 도 13에 따른 구성요소로서 생성될 수 있다. 이어서, 이 플레이트(32)는 분리 디바이스(33)에 의하여, 예컨대 스탬핑에 의해 격리될 수 있는데, 즉, 솔더 프리폼들(11)은 서로 분리될 수 있다(쇄선들을 따른 분리). 솔더 프리폼에 필요한 구조가 존재하지 않거나 또는 수평 공차들이 영향을 갖는 가장자리 구역들(34)은 다듬어져 폐기될 수 있다.

Claims (18)

  1. 확산 솔더 연결(diffusion solder connection)을 설정하기 위한 솔더 프리폼(preform)으로서,
    - 제1 접합 파트너(joining partner)(14)에 대한 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 파트너(17)에 대한 제2 접합 표면(13)을 포함하고,
    - 솔더 재료로 만들어진 제1 상(phase)(20) 및 금속성 재료로 만들어진 제2 상(18)을 포함하는 미세구조로 만들어지며,
    상기 제1 상(20)의 재료 및 상기 제2 상(18)의 재료로 구성된 확산 존(zone)(19)이 상기 솔더 프리폼에 형성되고,
    - 상기 제1 접합 표면(12) 및 상기 제2 접합 표면(13)은 상기 제1 상(20)에 의해 전체적으로 또는 부분적으로 형성되며,
    - 상기 확산 존(19)은 금속간 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 확산 존(19)과 상기 제1 접합 표면(12) 사이에, 그리고 또한 상기 확산 존(19)과 상기 제2 접합 표면(13) 사이에, 적어도 1 ㎛ 내지 최대 30 ㎛, 바람직하게는 적어도 5 ㎛ 내지 최대 10 ㎛의 범위의 최소 거리가 존재하는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  3. 제1 항에 있어서,
    - 상기 확산 존(19)과 상기 제1 접합 표면(12) 사이에, 그리고 또한 상기 확산 존(19)과 상기 제2 접합 표면(13) 사이에, 적어도 1 ㎛ 내지 최대 30 ㎛, 바람직하게는 적어도 5 ㎛ 내지 최대 10 ㎛의 범위의 거리가 존재하고,
    - 상기 확산 존(19)과 상기 제1 접합 표면(12) 사이의, 그리고 또한 상기 확산 존(19)과 상기 제2 접합 표면(13) 사이의 상기 거리는 상기 접합 표면(12) 아래의 구역의 적어도 50%, 바람직하게는 적어도 70%, 그리고 더욱 더 바람직하게는 적어도 90%로 존재하는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 접합 표면(12)으로부터 상기 제2 접합 표면(13)까지 상기 확산 존에 의한 상기 솔더 프리폼의 완전 투과(complete permeation)가 300 초 미만의 솔더링(soldering) 시간에, 특히 60-150 초의 솔더링 시간에 형성될 수 있기에 충분한 정도로 상기 금속간 화합물이 형성되는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 접합 표면(12)으로부터 상기 제2 접합 표면(13)까지 상기 확산 존에 의한 상기 솔더 프리폼의 완전 투과가 270 ℃ 미만의 온도 범위에서, 특히 220 ℃ 내지 260 ℃의 온도 범위에서 수행될 수 있기에 충분한 정도로 상기 금속간 화합물이 형성되는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  6. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 상(20) 및 상기 제2 상(18)은 상기 솔더 프리폼에 층들로서 형성되고, 상기 확산 존들(19)은 이들 층들 사이의 중간 층들로서 각각 형성되는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  7. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 상(18)은 상기 제1 상(20)으로 만들어진 매트릭스(matrix)에 분포되는 입자들의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 확산 존은 금속간 화합물로 만들어진, 상기 입자들을 연결하는 프레임워크(framework)(25)를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  9. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 상(18)은 상기 제1 상(20)으로 만들어진 매트릭스에 의해 둘러싸이는 일체형 공간 구조(26)를 형성하는 것을 특징으로 하는,
    확산 솔더 연결을 설정하기 위한 솔더 프리폼.
  10. 솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법으로서,
    상기 솔더 프리폼을 형성하도록, 솔더 재료로 만들어진 제1 상(20)과 금속성 재료로 만들어진 제2 상(18)이 함께 접합되고,
    상기 솔더 프리폼은 열 처리를 겪고,
    - 상기 열 처리 동안, 상기 제1 상(20)과 상기 제2 상(18) 사이에 금속간 화합물을 갖는 확산 존(19)이 형성되며, 그리고
    - 상기 제1 상(20)은 제1 접합 파트너(14)에 대한 제1 접합 표면(12) 및 제2 접합 파트너(17)에 대한 제2 접합 표면(13) 상에 전체적으로 또는 부분적으로 형성된 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 솔더 프리폼(11)은, 상기 열 처리 동안, 상기 제1 접합 표면(12) 및 상기 제2 접합 표면(13) 상에 체결되는 2 개의 홀딩 디바이스(holding device)들(21) 사이에 삽입되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
  12. 제10 항 또는 제11 항에 있어서,
    중간 생성물로서 플레이트(plate)(32)가 생성되고, 상기 플레이트(32)를 분할함으로써 복수의 솔더 프리폼들이 획득되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
  13. 제10 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    - 상기 제1 상(20)은 층들의 형태로 사용되고, 상기 제2 상(18)은 입자들의 형태로 사용되고,
    - 상기 층들과 상기 입자들은 교번적으로 층형성되며(layered), 그리고
    - 상기 입자들은 상기 층들에 매립되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 입자들이 제공된 상기 층들이 층형성되기 전에, 바인더(binder)(20a)를 사용하여, 상기 입자들이 상기 층들 상에 고정되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
  15. 제11 항에 있어서,
    - 상기 제2 상(18)은 상기 홀딩 디바이스들(21) 사이에 일체형 공간 구조의 형태로 또는 입자들의 형태로 배치되며, 그리고
    - 상기 제2 상(18)은 용융된 제1 상(20)에 의해 침윤되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
  16. 제11 항에 있어서,
    - 상기 제2 상(18)은 상기 홀딩 디바이스들(21) 중 하나의 홀딩 디바이스 상에 일체형 공간 구조의 형태로 배치되고,
    - 상기 제2 상(18)은 솔더 페이스트(paste)의 형태로 상기 제1 상(20)에 매립되며, 그리고
    - 상기 홀딩 디바이스들(21) 중 다른 홀딩 디바이스는 생성될 솔더 프리폼 상에 배치되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 일체형 공간 구조(26)는 상기 솔더 페이스트의 2 개의 층들 사이에 매립되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
  18. 제10 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    - 상기 제2 상(18)은 일체형 공간 구조(26)의 형태로 사용되며, 그리고
    - 상기 공간 구조(26)는 용융된 제1 상(20)에 침지되는 것을 특징으로 하는,
    솔더 프리폼(11)을 생성하기 위한 방법.
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