KR20190008089A

KR20190008089A - 워크 반송 장치

Info

Publication number: KR20190008089A
Application number: KR1020180072673A
Authority: KR
Inventors: 미네타카 마에다
Original assignee: 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
Priority date: 2017-07-13
Filing date: 2018-06-25
Publication date: 2019-01-23
Also published as: CN109250431A; JP6871515B2; JP2019018946A; TW201908224A

Abstract

[과제] 워크의 반송 안정성을 향상시키는 것.
[해결 수단] 리니어 피더(3)는, 워크(W)가 놓이는 반송면(30)을 갖는 진동부(21b)와, 반송면(30)에 제1 정재파를 발생시키는 제1 가진부(51)와, 반송면(30)에 제2 정재파를 발생시키는 제2 가진부(52)를 가지고, 반송면(30)에 제1 정재파 및 제2 정재파를 발생시킴으로써 반송면(30)에 진행파를 발생시키는 진행파 생성 수단(22)을 구비한다. 진동부(21b)는, 제1 가진부(51)가 설치되는 제1 영역(102)과, 제2 가진부(52)가 설치되는 제2 영역(103)을 가지고, 제1 영역(102)과 제2 영역(103)이 진행파의 진행 방향에 있어서 적어도 부분적으로 겹쳐 있다.

Description

워크 반송 장치{WORK TRANSFER DEVICE}

본 발명은, 진행파에 의해 워크를 반송하는 워크 반송 장치에 관한 것이다.

특허문헌 1에는, 초음파 영역의 진행파를 이용하여 전자 부품 등의 워크를 반송하는 부품 피더가 개시되어 있다. 상기 부품 피더는 반송로(반송 부재)와 복수의 압전체를 구비한다. 반송 부재는 평면에서 보아 소정 방향으로 긴 환상의 진동부를 갖는다. 즉, 진동부는 평면에서 보아, 2개의 직선 부분(제1 직선 부분, 제2 직선 부분)과 2개의 반원상 부분을 갖는다. 복수의 압전체는 진동부의 이면에 부착되어 있으며, 그 절 및 배의 위치가 서로 다른 2개의 정재파(제1 정재파, 제2 정재파)를 발생시키게 배치되어 있다.

보다 상세하게는, 제1 정재파를 발생시키기 위한 압전체(제1 압전체)는 제1 직선 부분에 부착되어 있고, 제2 정재파를 발생시키기 위한 압전체(제2 압전체)는 제2 직선 부분에 부착되어 있다. 이에 의해, 제1 압전체 및 제2 압전체에, 시간적인 위상이 서로 다른 고주파 전압을 각각 인가함으로써, 진동부의 표면에 형성된 반송면에 있어서, 시간적인 위상이 서로 다른 제1 정재파 및 제2 정재파가 발생한다. 상기 2개의 정재파가 중첩됨으로써, 소정의 진행 방향으로 진행하는 진행파가 발생하고, 당해 진행파에 의한 반송면의 진동에 의해 워크가 반송된다.

일본 특허 공개 제2017-43431호 공보

제1 압전체는 제1 직선 부분에 부착되어 있으며 제2 압전체는 제2 직선 부분에 부착되어 있다. 이 때문에, 제1 압전체에 의해 발생하는 제1 정재파는 제2 직선 부분에 전파하는 도중에 감쇠한다. 마찬가지로, 제2 압전체에 의해 발생하는 제2 정재파는 제1 직선 부분에 전파하는 도중에 감쇠한다. 즉, 제1 정재파의 진폭은 제1 직선 부분의 근방에서는 비교적 커지고, 제2 직선 부분의 근방에서는 비교적 작아진다. 제2 정재파의 진폭은 그 반대로 된다. 이와 같이, 제1 정재파 및 제2 정재파의 진폭이 위치에 따라서 서로 다른 경우, 파가 일정하게 전해지는 이상적인 진행파가 발생하는 것이 아니고, 진행파와 정재파가 혼재된 파를 발생할 수 있다. 이러한 파가 발생하면, 워크의 정체나 도약 등의 문제가 발생하여, 안정된 워크 반송을 할 수 없게 될 우려가 있다. 그렇다고 해서, 상술한 반송 속도의 차를 해소하기 위해서, 제2 정재파의 진폭이 커지도록 고주파 전압을 조정하면, 반대로 제2 직선 부분의 근방에 있어서, 제1 정재파의 진폭과 제2 정재파의 진폭의 차가 커진다는 문제가 발생한다.

본 발명의 목적은 워크의 반송 안정성을 향상시키는 것이다.

제1 발명의 워크 반송 장치는, 워크가 놓이는 반송면을 갖는 진동부와, 상기 반송면에 제1 정재파를 발생시키는 제1 가진부와, 상기 반송면에 제2 정재파를 발생시키는 제2 가진부를 가지고, 상기 반송면에 상기 제1 정재파 및 상기 제2 정재파를 발생시킴으로써 상기 반송면에 진행파를 발생시키는 진행파 생성 수단을 구비하고, 상기 진행파에 의해 워크를 반송하는 워크 반송 장치이며, 상기 진동부는, 상기 제1 가진부가 설치되는 제1 영역과, 상기 제2 가진부가 설치되는 제2 영역을 가지고, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이, 상기 진행파의 진행 방향에 있어서 적어도 부분적으로 겹쳐 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에서는, 제1 정재파를 반송면에 발생시키는 제1 가진부가 설치되는 제1 영역과, 제2 정재파를 반송면에 발생시키는 제2 가진부가 설치되는 제2 영역이, 진행파의 진행 방향에 있어서 적어도 부분적으로 겹쳐 있다. 즉, 제1 영역과 제2 영역이 진행 방향에 있어서 서로 가까운 위치에 배치되어 있다. 이에 의해, 진행 방향에 있어서, 반송면 상의 임의의 개소로부터 제1 영역까지의 진행 방향에 있어서의 거리와, 당해 개소로부터 제2 영역까지의 진행 방향에 있어서의 거리의 차를 작게 할 수 있다. 이 때문에, 제1 정재파가 제1 영역으로부터 당해 개소로 전파될 때까지의 진폭의 감쇠율과, 제2 정재파가 제2 영역으로부터 당해 개소로 전파될 때까지의 진폭의 감쇠율의 차를 작게 할 수 있다. 이에 의해, 제1 정재파의 진폭과 제2 정재파의 진폭의 비가 진행 방향의 위치에 따라서 변동되는 것을 억제하고, 나아가서는, 진행파의 진폭이 위치에 따라서 크게 변동되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 워크의 반송 안정성을 향상시킬 수 있다.

제2 발명의 워크 반송 장치는, 상기 제1 발명에 있어서, 상기 제1 가진부는 상기 진행 방향으로 나열되며, 또한 상기 제1 정재파를 여기하는 복수의 제1 가진 소자를 가지고, 상기 제2 가진부는 상기 진행 방향으로 나열되며, 또한 상기 제2 정재파를 여기하는 복수의 제2 가진 소자를 가지고, 상기 제1 가진 소자와 상기 제2 가진 소자가, 상기 진행 방향에 있어서 교대로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에서는 진행 방향에 있어서, 제1 가진 소자와 제2 가진 소자가 교대로 배치되어 있다. 즉, 제1 영역과 제2 영역의 대부분이 진행 방향에 있어서 서로 중첩되어 있다. 따라서, 제1 정재파의 진폭과 제2 정재파의 진폭의 비가 진행 방향의 위치에 따라서 변동되는 것을, 더욱 억제할 수 있다.

제3 발명의 워크 반송 장치는, 상기 제1 또는 제2 발명에 있어서, 상기 제1 가진부 및 상기 제2 가진부는 상기 진동부의 상기 진행 방향에 있어서의 일부의 영역에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에서는, 제1 가진부 및 제2 가진부가 진동부의 전체 영역이 아니라, 진행 방향에 있어서의 일부의 영역에 설치되어 있다. 이 때문에, 제1 가진부 및 제2 가진부의 재료비를 삭감할 수 있다. 또한, 예를 들어 반송면이 직선 부분과 곡선 부분을 갖는 경우, 곡선 부분에도 제1 가진부 및 제2 가진부를 설치하고자 하면, 가진부의 제조에 들어가는 수고나 비용이 증가될 우려가 있다. 본 발명에서는, 직선 부분에 대응하는 영역에만 제1 가진부 및 제2 가진부를 설치함으로써, 가진부의 제조의 수고 등을 삭감할 수 있다.

제4 발명의 워크 반송 장치는, 상기 제3 발명에 있어서, 상기 반송면은, 워크 공급원으로부터 워크 공급처에 워크가 반송되는 제1 반송면과, 상기 제1 반송면으로부터 제거된 워크가 상기 워크 공급원으로 복귀되는 제2 반송면을 가지고, 상기 제1 가진부 및 상기 제2 가진부는, 상기 진동부 중, 상기 진행 방향에 있어서 상기 제1 반송면이 형성되어 있지 않으며, 또한 상기 제2 반송면이 형성된 영역에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

진동부의, 제1 가진부 또는 제2 가진부가 설치되어 있는 영역과 기타 영역은, 강성이나 질량이 상이할 수 있다. 이 때문에, 제1 영역이나 제2 영역과 기타 영역의 경계선에 있어서, 제1 정재파나 제2 정재파(나아가서는, 진행파)의 진폭이 크게 변하고, 진행 방향에 있어서의 위치에 따라서 반송 속도가 크게 변동되어, 워크의 반송이 불안정해질 우려가 있다. 본 발명에서는 제1 가진부 및 제2 가진부는, 진동부 중, 진행 방향에 있어서, 제1 반송면이 형성되어 있지 않으며, 또한 제2 반송면이 형성된 영역에 배치되어 있다. 이 때문에, 워크 공급원으로부터 워크 공급처까지 워크가 반송되는(즉, 워크의 원활한 반송이 요구되는) 제1 반송면에 있어서는, 상기와 같은 반송 속도의 변동을 피할 수 있다. 한편, 제2 반송면에 있어서는, 상기와 같은 반송 속도의 변동이 일어날 수 있다. 단, 제2 반송면은 워크 공급원에 워크를 복귀시키기 위한 것이고, 제1 반송면과 비교하면, 반송 속도의 변동에 의한 문제는 작다. 따라서, 워크의 원활한 반송이 필요한 제1 반송면에 있어서, 워크의 반송을 안정시킬 수 있다.

도 1은 본 실시 형태에 따른 부품 피더의 사시도이다.
도 2는 리니어 피더의 평면도이다.
도 3의 (a)는 리니어 피더의 단면 사시도이며, (b)는 도 2의 III(a)-III(b) 단면도이다.
도 4는 진행파 생성 수단의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 5는 가진부의 모식도이다.
도 6은 가진부의 배치 영역을 나타내는 설명도이다.
도 7은 정재파에 의한 진행파의 발생을 나타내는 설명도이다.
도 8은 반송면 상의, 어떤 질점의 움직임을 나타내는 설명도이다.
도 9는 진동부 및 가진부를 나타내는 설명도이다.
도 10은 정재파의 감쇠를 나타내는 설명도이다.
도 11은 변형예에 관한 가진부의 모식도이다.

이어서, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도 1 내지 도 10을 참조하면서 설명한다. 또한, 설명의 편의상, 도 1에 나타내는 방향을 전후 좌우 상하 방향으로 한다.

(부품 피더의 개략 구성)

먼저, 본 실시 형태에 따른 부품 피더(1)의 개략 구성에 대해서, 도 1을 사용하여 설명한다. 도 1은 부품 피더(1)의 사시도이다. 부품 피더(1)는 워크(W)를 공급하기 위한 볼 피더(2)(본 발명의 워크 공급원)와, 볼 피더(2)의 전단부에 접속된 리니어 피더(3)(본 발명의 워크 반송 장치)를 구비한다. 볼 피더(2) 및 리니어 피더(3)는 모두, 굴곡 진행파를 이용하여 워크(W)를 반송한다. 본 실시 형태에서는, 리니어 피더(3)에 대하여 본 발명을 적용한 경우에 대하여 설명하지만, 볼 피더(2)에 본 발명을 적용하는 것도 물론 가능하다.

볼 피더(2)는, 워크(W)가 수용되는 볼 본체(11) 등을 갖는다. 볼 본체(11)는, 상부가 개구된 대략 역원추대 형상의 부재이다. 볼 본체(11)의 내주벽에는, 저부로부터 나선상으로 상승하는 나선 트랙(12)이 형성되어 있다. 볼 본체(11)는 볼 구동 수단(도시하지 않음)에 의해 진동된다. 워크(W)는 나선 트랙(12)을 따라서 리니어 피더(3)를 향해 상승한다.

리니어 피더(3)는 볼 피더(2)로부터 공급된 워크(W)를 전방으로 반송하기 위한 것이다. 리니어 피더(3)는, 굴곡 진행파가 생성되는 부재인 반송부(21)와, 반송부(21)를 초음파 진동시키기 위한 진행파 생성 수단(22)(도 4 등 참조)을 구비한다. 진행파 생성 수단(22)에 의해 반송부(21)가 진동하면, 반송부(21)의 상면에 형성된 반송면(30)에 굴곡 진행파가 발생한다. 이 굴곡 진행파에 의해, 워크(W)는 반송면(30)을 따라서 반송된다. 리니어 피더(3)의 상세에 대해서는 후술한다.

(리니어 피더의 구성)

이어서, 리니어 피더(3)의 구성에 대해서, 도 1 내지 도 6을 사용하여 설명한다. 전술한 바와 같이, 리니어 피더(3)는 반송부(21)와 진행파 생성 수단(22) 등을 갖는다.

반송부(21)에 대해서, 도 2 및 도 3을 사용하여 설명한다. 도 2는 리니어 피더(3)의 평면도이다. 도 3의 (a)는 리니어 피더(3)의 단면 사시도이다. 도 3의 (b)는 리니어 피더(3)의 전후 방향에 직교하는 단면도이다.

반송부(21)는 예를 들어 금속제의 평면에서 보아 대략 직사각형상의 부재이다. 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 반송부(21)의 평면에서 보아 중앙부에는, 평면에서 보아 주변부보다도 두께가 작은 대략 타원 형상의 고정부(21a)가 형성되어 있다. 또한, 고정부(21a)보다도 평면에서 보아 외측에, 평면에서 보아 트랙 형상이며, 또한 고정부(21a)보다도 두께가 큰 진동부(21b)가 형성되어 있다. 즉, 반송부(21)는 길이 방향에 직교하는 단면이 대략 오목 형상으로 되어 있다(도 3 참조). 도 3의 (b)에 있어서, 일점 쇄선으로 둘러싸인 부분이 고정부(21a)이며, 이점 쇄선으로 둘러싸인 부분이 진동부(21b)이다. 고정부(21a)는 누름판(38)과 누름판(39)에 의해 상하로부터 끼워지고, 복수의 고정 도구(40)에 의해 고정되어 있다.

진동부(21b)는, 상술한 바와 같이, 평면에서 보아 트랙 형상을 갖는다(도 2 참조). 진동부(21b)의 좌우 양측 부분은 전후 방향으로 연장되는 긴 부분(직선 부분)이다. 진동부(21b)의 전후 양측 부분은 좌우 방향에 따른 짧은 부분이다. 또한, 도 3의 (b)에 나타내는 바와 같이, 진동부(21b)는 단면에서 보아 대략 직사각형상이다. 진동부(21b)의 상면에는, 워크(W)가 반송되는 홈인 반송 트랙(27)이 형성되어 있다. 도 2에 있어서, 해칭된 부분이 반송 트랙(27)에 해당한다. 반송 트랙(27)은, 워크(W)가 놓이는 반송면(30)을 갖는다. 반송 트랙(27)은 메인 트랙(28)과 리턴 트랙(29)으로 나뉘어져 있다. 메인 트랙(28)은 볼 피더(2)로부터 공급된 워크(W)를 다음 공정의 장치(4)(본 발명의 워크 공급처)에 공급하기 위한 것이고, 진동부(21b)의 좌측 부분의 후단부로부터 전단부에 걸쳐 연장된 경로이다. 메인 트랙(28)의 반송면(30)을 제1 반송면(31)으로 한다. 리턴 트랙(29)은 메인 트랙(28)으로부터 제거된 워크(W)를 볼 피더(2)로 복귀시키기 위한 것이고, 평면에서 보아 대략 U자상의 경로이다. 즉, 리턴 트랙(29)은, 진동부(21b)의 좌측 부분의 후단부로부터, 메인 트랙(28)과 나란히 전방으로 연장되어, 고정부(21a)의 전단부를 따라서 둘러싸고, 진동부(21b)의 우측 부분에 있어서 후방으로 연장되어, 진동부(21b)의 후단부로 복귀하는 경로로 되어 있다. 리턴 트랙(29)의 반송면(30)을 제2 반송면(32)으로 한다.

또한, 도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 리니어 피더(3)에는 선별부(49)가 설치되어 있다. 선별부(49)는, 병설된 메인 트랙(28) 및 리턴 트랙(29)의 상방에 배치된 센서(49a)와, 도시하지 않은 에어 분출부를 갖는다. 센서(49a)는 메인 트랙(28) 상에 반송되는 워크(W)의 자세를 검출하기 위한 것이다. 에어 분출부는, 메인 트랙(28) 상의 워크(W)로 옆에서 에어를 분사하여, 워크(W)를 리턴 트랙(29)으로 날리기 위한 것이다. 센서(49a)에 의해, 메인 트랙(28) 상의 워크(W)의 자세가 정상과 다르다고 검지된 경우, 에어 분출부가 그 워크(W)를 리턴 트랙(29)으로 날려버린다. 이에 의해, 그 워크(W)는 제1 반송면(31) 상으로부터 제거되고, 제2 반송면(32) 상에 반송되어 볼 피더(2)로 복귀된다. 또한, 메인 트랙(28)을 반송되는 워크(W)의 자세가 정상적인 경우에는, 에어 분출부는 작동하지 않는다. 즉, 정상적인 자세로 메인 트랙(28)을 반송되어 오는 워크(W)만이, 그대로 다음 공정의 장치(4)에 공급된다.

진행파 생성 수단(22)에 대해서, 도 4를 사용하여 설명한다. 도 4는 진행파 생성 수단(22)의 구성을 나타내는 모식도이다. 진행파 생성 수단(22)은 가진부(23)와, 신호 발신기(41)와, 증폭기(42, 43) 등을 갖는다.

가진부(23)는 진동부(21b)를 따라서 신축됨으로써 진동부(21b)를 가진하고, 반송면(30)에 정재파를 발생시키기 위한 것이다. 가진부(23)는 진동부(21b)의 이면(25)에 부착되어 고정되어 있다(도 3의 (b) 참조). 가진부(23)는, 제1 정재파(상세한 것은 후술)를 반송면(30)에 발생시키기 위한 제1 가진부(51)와, 제1 정재파와는 배 및 절의 위치가 다른 제2 정재파(상세한 것은 후술)를 반송면(30)에 발생시키기 위한 제2 가진부(52)를 갖는다. 제1 가진부(51) 및 제2 가진부(52)의 상세에 대해서는 후술한다.

신호 발신기(41)는 초음파 영역의 주파수의 신호를 생성하여 가진부(23)로 출력함으로써, 진동부(21b)를 가진하기 위한 것이다. 신호 발신기(41)는 소정의 진폭 및 주파수를 갖는 제1 신호를 제1 가진부(51)로 출력 가능한 구성으로 되어 있다. 또한, 신호 발신기(41)는 제1 신호와 위상이 다른 제2 신호를 제2 가진부(52)로 출력 가능한 구성으로 되어 있다.

신호 발신기(41)는, 생성하는 신호의 파형을 선택하는 파형 선택부(44)와, 신호의 주파수(즉, 진동부(21b)를 가진하는 가진 주파수)를 조정하는 가진 주파수 조정부(45)와, 신호의 위상을 조정하는 전기적 위상 조정부(46)와, 신호의 진폭을 조정하는 진폭 조정부(47, 48)를 갖는다. 파형 선택부(44)는 가진 주파수 조정부(45)와 전기적으로 접속되어 있다. 가진 주파수 조정부(45)는 전기적 위상 조정부(46) 및 진폭 조정부(47)와 전기적으로 병렬로 접속되어 있다. 전기적 위상 조정부(46)는 진폭 조정부(48)와 전기적으로 접속되어 있다.

제1 신호는, 파형 선택부(44)에 의해 선택된 파형과, 가진 주파수 조정부(45)에 의해 조정된 가진 주파수와, 진폭 조정부(47)에 의해 조정된 진폭을 가지고, 증폭기(42)로 출력된다. 제2 신호는, 파형 선택부(44)에 의해 선택된 파형과, 가진 주파수 조정부(45)에 의해 조정된 가진 주파수와, 전기적 위상 조정부(46)에 의해 조정된 위상과, 진폭 조정부(48)에 의해 조정된 진폭을 가지고, 증폭기(43)로 출력된다. 제2 신호의 위상은, 전기적 위상 조정부(46)에 의해 변경된 만큼, 제1 신호의 위상과 상이하다. 또한, 제1 신호 및 제2 신호는, 예를 들어 정현파 신호이다. 제1 신호의 주파수와 제2 신호의 주파수는 대략 동등하다.

증폭기(42)는 제1 신호를 증폭시키기 위한 것이고, 신호 발신기(41)와 제1 가진부(51) 사이에 배치되어 있다. 증폭기(43)는 제2 신호를 증폭시키기 위한 것이고, 신호 발신기(41)와 제2 가진부(52) 사이에 배치되어 있다. 제1 신호는 증폭기(42)에 의해 증폭되어 제1 가진부(51)에 인가되고, 제2 신호는 증폭기(43)에 의해 증폭되어 제2 가진부(52)에 인가된다.

이상의 구성에 있어서, 제1 가진부(51)가 진동부(21b)를 가진함으로써 제1 정재파가, 제2 가진부(52)가 진동부(21b)를 가진함으로써 제2 정재파가, 각각 반송면(30)에 발생한다. 이들 정재파의 중첩에 의해, 트랙 상의 진동부(21b)의 주회 방향으로 진행하는 진행파가 반송면(30)에 발생한다.

여기서, 종래 제1 가진부(51)와 제2 가진부(52)는, 상기 주회 방향(즉, 진행파의 진행 방향)에 있어서 서로 다른 위치에 배치되는 것이 일반적이었다. 예를 들어, 제1 가진부(51)가 진동부(21b)의 우측 방향측의 직선 부분의 이면에 배치되고, 제2 가진부(52)가 진동부(21b)의 좌측 방향측의 직선 부분의 이면에 배치되어 있었다. 그러나, 이 구성에는 이하 2개의 문제점이 있다.

첫번째 문제점은 정재파의 감쇠에 의한 영향이다. 상기 종래의 구성에 있어서 제1 정재파는, 진동부(21b)의 우측 방향측의 직선 부분으로부터 좌측 방향측의 직선 부분(즉, 제2 가진부(52)가 배치된 영역)에 전파하는 도중에 감쇠한다. 반대로, 제2 정재파는, 진동부(21b)의 좌측 방향측의 직선 부분으로부터 우측 방향측의 직선 부분에 전파하는 도중에 감쇠한다. 이 때문에, 반송면(30)의 진행 방향에 있어서의 위치에 따라서, 제1 정재파의 진폭과 제2 정재파의 진폭이 상이하기 쉽다(즉, 2개의 정재파의 진폭비가 변동되기 쉽다). 제1 정재파 및 제2 정재파의 진폭이 위치에 따라서 서로 다른 경우, 반송면(30)에는, 파가 일정하게 전해지는 이상적인 진행파가 발생하는 것이 아니라, 진행파와 정재파가 혼재된 파를 발생할 수 있다. 이러한 파가 발생하면, 워크(W)의 정체나 도약 등의 문제가 발생하여, 안정된 워크 반송을 할 수 없게 될 우려가 있다.

두번째 문제점은 가진부(23)의 강성과 진동부(21b)의 강성의 차에 의한 영향이다. 진동부(21b)의, 가진부(23)가 부착된 부분의 강성과, 부착되지 않은 부분의 강성이, 서로 상이하면(즉, 양자의 진동의 용이함이 서로 상이하면), 양자의 경계 부분에서 진행파의 진폭이 상이함으로써, 워크(W)의 반송 속도가 변동될 우려가 있다. 특히, 진동부(21b) 중, 워크(W)를 다음 공정에 공급하기 위한 제1 반송면(31)이 형성된 영역에 가진부(23)가 설치되어 있으면, 제1 반송면(31) 상에서 반송이 불안정해져, 다음 공정에도 악영향을 미칠 우려가 있다.

(가진부의 상세 구성)

그래서, 본 실시 형태의 진행파 생성 수단(22)은, 워크(W)의 반송의 안정성을 향상시키기 위해서 이하의 구성을 갖는다. 먼저, 가진부(23)의 상세 구성에 대해서, 도 5를 사용하여 설명한다. 도 5는 가진부(23)의 모식도이다. 도 5의 (a)는 가진부(23)의 평면도이며, 도 5의 (b)는 동일 측면도이며, 도 5의 (c)는 동일 이면도이다.

가진부(23)는 상술한 바와 같이, 제1 가진부(51)와 제2 가진부(52)를 갖는다. 본 실시 형태에서는, 제1 가진부(51)와 제2 가진부(52)는, 도 5의 (a) 내지 (c)에 나타내는 바와 같이, 1개의 가진부(23)에 있어서 일체적으로 형성되어 있다.

제1 가진부(51)는, 소정의 파장(이하, λ라 함)을 갖는 제1 정재파를 반송면(30)에 발생시키기 위한 것이다. 제1 가진부(51)는 4개의 제1 압전 소자(53)(본 발명의 제1 가진 소자)를 갖는다. 4개의 제1 압전 소자(53)는 제1 정재파를 여기하기 위한 것이다. 4개의 제1 압전 소자(53)는, 직사각형의 박판상의 세라믹스부(61)와, 세라믹스부(61)의 한쪽 면(편의상, 표면이라 함)에 부착된 4개의 제1 전극(62)과, 세라믹스부(61)의 다른쪽 면(마찬가지로, 이면이라 함)에 부착된 공통 전극(64)을 갖는다. 또한, 도 5의 (a)에 있어서 해칭된 부재가 4개의 제1 전극(62)이다.

세라믹스부(61)는, 전압이 인가됨으로써 휘는 압전체 세라믹스의 부재이다. 세라믹스부(61)는 4개의 제1 압전 소자(53)에 있어서 공통으로 사용된다. 세라믹스부(61)에는, λ/2의 피치로, 극성(+, -)이 교대로 반전하도록 분극 처리가 실시되어 있다(도 5의 (a), 도 5의 (b) 참조). 4개의 제1 전극(62)은, 세라믹스부(61)의 길이 방향에 있어서의 사이즈가 각각 λ/4보다도 작다. 4개의 제1 전극(62)은, 세라믹스부(61)의 길이 방향에 있어서 λ/2의 피치로, 세라믹스부(61)의 분극되어 있는 부분에 부착되어 있다. 공통 전극(64)은 세라믹스부(61)의 이면 전위를 공통 전위로 하기 위한 것이고, 세라믹스부(61)의 이면과 대략 동등한 면적을 갖는다. 공통 전극(64)도, 세라믹스부(61)와 마찬가지로, 4개의 제1 압전 소자(53)에 있어서 공통으로 사용된다. 이와 같이, 4개의 제1 압전 소자(53)가, λ/2의 피치로, 극성을 교대로 반전시키면서 나열되어 있다.

제2 가진부는 제1 정재파와 대략 동등한 파장을 가지고, 또한 배 및 절의 진행 방향에 있어서의 위치가 제1 정재파와 λ/4 어긋난 제2 정재파를 반송면(30)에 발생시키기 위한 것이다. 제2 가진부(52)는 4개의 제2 압전 소자(54)(본 발명의 제2 가진 소자)를 갖는다. 4개의 제1 압전 소자(53)는 제2 정재파를 여기하기 위한 것이다. 4개의 제2 압전 소자(54)는 상술한 세라믹스부(61)와, 세라믹스부(61)의 표면에 부착된 4개의 제2 전극(63)과, 상술한 공통 전극(64)을 갖는다. 즉, 4개의 제2 압전 소자(54)는 세라믹스부(61) 및 공통 전극(64)을 4개의 제1 압전 소자(53)와 공유하고 있다. 4개의 제2 전극(63)은 4개의 제1 전극(62)과 대략 동등한 사이즈를 갖는다. 4개의 제2 전극(63)은, 세라믹스부(61)의 길이 방향에 있어서 λ/2의 피치로, 세라믹스부(61)의, 분극되어 있으며 또한 제1 전극이 부착되지 않은 부분에 부착되어 있다. 이와 같이, 4개의 제2 압전 소자(54)가, λ/2의 피치로, 극성을 교대로 반전시키면서 나열되어 있다.

제1 전극(62)과 제2 전극(63)은, 세라믹스부(61)의 길이 방향에 있어서, λ/4의 피치로 교대로 배치되어 있다. 이에 의해, 제1 압전 소자(53)와 제2 압전 소자가 λ/4의 피치로 교대로 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 제1 가진부(51)와 제2 가진부(52)는, 세라믹스부(61)의 길이 방향에 있어서, 서로 λ/4만큼 어긋나게 배치되어 있다.

이상과 같이, 가진부(23)는 제1 가진부(51)와 제2 가진부(52)를 가지고, 제1 가진부(51)는 4개의 제1 압전 소자(53)를, 제2 가진부는 4개의 제2 압전 소자(54)를 각각 갖는다. 제1 압전 소자(53)와 제2 압전 소자(54)는, 세라믹스부(61)의 길이 방향에 있어서 교대로, 일렬로 나열되어 있다. 즉, 세라믹스부(61)의 길이 방향에 있어서 총 8개의 압전 소자가 일렬로 나열되어 있다. 상기 8개의 압전 소자는, 길이 방향의 일단부로부터 +, +, -, -과 같이, 한쪽 극성의 것과 다른쪽 극성의 것이, 각각 2개씩 교대로 나열된 구성으로 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 가진부(23)의 강성은 진동부(21b)의 강성보다도 크다.

(가진부의 배치)

이어서, 가진부(23)의 배치 위치에 대해서, 도 6을 사용하여 설명한다. 도 6은 가진부(23)의 배치 영역을 나타내는 설명도이다. 도 6의 (a)는, 진동부(21b)의 가진부(23)가 부착되는 영역을 나타내는 평면도이며, 도 6의 (b)는, 가진부(23)가 부착된 진동부(21b)를 나타내는 평면도이다.

가진부(23)는 진동부(21b)의 우측 방향측 직선 부분의 이면(25)에 부착되어 있다(도 3의 (b) 참조). 상세하게는, 가진부(23)는 진동부(21b)의 이면(25) 중, 표면에 제1 반송면(31)이 형성되어 있지 않으며, 또한 제2 반송면(32)이 형성된 영역(101)에 배치되어 있다(도 6의 (a) 참조). 이와 같이, 제1 가진부(51) 및 제2 가진부(52)는, 진행파의 진행 방향(도 6의 (a)의 실선 화살표 참조. 이하 간단히 진행 방향라고도 칭함)에 있어서, 진동부(21b)의 일부의 영역에 설치되어 있다. 영역(101)은, 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제1 가진부(51)가 배치되는 제1 영역(102)과, 제2 가진부(52)가 배치되는 제2 영역(103)을 갖는다. 제1 영역(102)과 제2 영역(103)은 진행 방향에 있어서 부분적으로 겹쳐 있다. 또한, 도 6의 (a)에 있어서의 해칭된 영역(104)이 제1 영역(102)과 제2 영역(103)의 중복 영역이다.

도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제1 압전 소자(53)와 제2 압전 소자(54)는, 진행 방향에 있어서 서로 λ/4 어긋난 상태에서 교대로 나열되어 있다. 4개의 제1 압전 소자(53)의 제1 전극(62)은 배선(71)에 의해 서로 도통하고 있다. 4개의 제2 압전 소자의 제2 전극(63)은 배선(72)에 의해 서로 도통하고 있다. 배선(71)과 배선(72)은 전기적으로 절연되어 있으며, 제1 전극(62)과 제2 전극(63)은 도통하고 있지 않다. 또한, 상술한 바와 같이, 가진부(23)의 강성은 진동부(21b)의 강성보다도 크기 때문에, 가진부(23)와 진동부(21b)가 서로 고정된 부분의 강성은, 진동부(21b)의, 가진부(23)가 설치되지 않은 부분의 강성보다도 크게 되어 있다.

(리니어 피더의 동작)

이어서, 이상과 같은 구성을 갖는 리니어 피더(3)의 동작에 대하여 설명한다.

우선, 진행파의 발생, 및 진행파에 의한 워크 반송의 개요에 대하여 설명한다. 상술한 신호 발신기(41)(도 4 참조)에 의해 생성된 제1 신호가, 증폭기(42)를 통해 제1 가진부(51)에 인가되면, 진동부(21b)의 이면에 설치된 4개의 제1 압전 소자(53)의 신축에 의해, 제1 정재파가 여기된다. 이에 의해, 상하 방향으로만 진동하는 제1 정재파가 발생한다. 제1 정재파의 파장을 λ로 하고, 주기를 T로 한다. 마찬가지로, 제2 신호가 증폭기(43)를 통해 제2 가진부(52)에 인가되면, 4개의 제2 가진부(52)에 의해 제2 정재파가 여기된다. 이하, 설명의 간단화를 위해, 제1 정재파와 마찬가지로, 제2 정재파의 파장을 λ로 하고, 주기를 T로 한다.

제1 압전 소자(53)와 제2 압전 소자(54)는 상술한 바와 같이, 진행 방향에 있어서의 배치 위치가 서로 λ/4만큼 어긋나 있는 점에서, 제1 정재파와 제2 정재파는, 진행 방향에 있어서의 배 및 절의 위치가 서로 λ/4만큼 어긋나 있다. 바꾸어 말하면, 제1 정재파의 배의 위치와 제2 정재파의 절의 위치가 대략 동일하고, 제1 정재파의 절의 위치와 제2 정재파의 배의 위치가 대략 동일하다. 또한, 제1 정재파의 위상과 제2 정재파의 위상은 서로 대략 90° 상이하다. 또한, 제1 정재파와 제2 정재파의 위상차는, 반드시 제1 신호와 제2 신호의 위상차 그 자체는 아니다. 신호간의 위상차와 정재파간의 위상차의 관계는, 예를 들어 진동부(21b)의 형상(대칭성 등)에 따라서 변할 수 있다. 이 때문에, 상술한 전기적 위상 조정부(46)에 의해, 제1 정재파의 위상과 제2 정재파의 위상이 대략 90° 상이하도록, 제2 신호의 위상이 조정되어 있다. 이러한 제1 정재파 및 제2 정재파가, 진동부(21b) 전체에 전파함으로써, 이하에 나타내는 진행파가 진동부(21b) 전체에 발생한다.

반송면(30)에 있어서의 진행파의 발생에 대해서, 도 7을 사용하여 개략적으로 설명한다. 도 7은 제1 정재파 및 제2 정재파에 의한 진행파의 발생을 나타내는 설명도이다. 도 7에 있어서, 횡축은 진행파의 진행 방향에 있어서의 좌표를 나타낸다. 제1 정재파의 배의 위치를 원점(x=0)으로 한다. 종축은 각 좌표에 있어서의 반송면(30)의 상하 방향의 변위를 나타낸다. 또한, 여기에서는, 파의 감쇠는 고려하지 않는다.

도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이, 시각 t=0에 있어서, 제1 정재파의 배의 위치(x=0, λ/2, λ 등)에 있어서 반송면(30)이 상하 방향으로 변위되어 있다(블록 화살표 참조). 한편, 절의 위치(x=λ/4, 3λ/4 등)에 있어서는 반송면(30)이 변위되어 있지 않다. 즉, 시각 t=0에 있어서는, 제1 정재파만이 반송면(30)에 발생하고 있으며, 제1 정재파와 위상이 대략 90° 어긋난 제2 정재파는 발생하지 않았다.

시간 경과에 수반하여, 제1 정재파에 의한 반송면(30)의 상하 방향의 변위가 작아지고, 제2 정재파에 의한 반송면(30)의 상하 방향의 변위가 커진다. 제1 정재파의 절의 위치(x=λ/4, 3λ/4 등)와 제2 정재파의 배의 위치가 동일하기 때문에, 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이, 시각 t=T/4에 있어서는, 그들의 위치에 있어서 반송면(30)이 상하 방향으로 변위되어 있다. 이 때, 시각 t=0일 때와 비교하여, 반송면(30)에 발생하고 있는 파 전체가 λ/4만큼 지면 우측 방향으로 진행된 상태로 되어 있다(실선 화살표 참조). 시각 t=2T/4(도 7의 (c) 참조)에 있어서는, 다시 제1 정재파가 발생하고 있다. 또한, 상하 방향에 있어서의 진동의 방향은 시각 t=0일 때와 역방향이다. 마찬가지로, 시각 t=3T/4(도 7의 (d) 참조)에 있어서는, 다시 제2 정재파가 여기되어 있다. 이와 같이, 시간이 경과함에 따라서, 파가 실선 화살표로 나타내는 방향으로 진행함으로써, 반송면(30)에 진행파가 발생한다. 또한, 실제로는, 반송면(30)에는 이하와 같은 굴곡 진행파가 발생하고 있다.

굴곡 진행파에 의한 워크(W)의 반송 원리에 대해서, 도 8을 사용하여 개략적으로 설명한다. 도 8은 반송면(30)에 발생하는 굴곡 진행파를 측면으로부터 본 도면이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 굴곡 진행파는 진행 방향(도 8의 (a)의 실선 화살표 참조)으로 주기 T로 진행한다. 또한, 도 8에 있어서, 진동부(21b)의 진동의 중립축 N의 위치는, 진동부(21b)의 상하 방향의 중심에 있는 것으로 한다. 시각 t=0에 있어서, 반송면(30) 상의 어느 위치(예를 들어, 상술한 x=0)의 질점 Z가, 가장 상승한 상태인 것으로 한다(도 8의 (a) 참조). 그 후, 질점 Z는 하강함과 함께 전방으로 이동하고, 시각 t=T/4에 있어서 가장 전방에 위치한다(도 8의 (b) 참조). 또한, 질점 Z는 시각 t=2T/4에 있어서는 가장 하방에 위치하고(도 8의 (c) 참조), 시각 t=3T/4에 있어서는 가장 후방에 있다(도 8의 (d) 참조). 이와 같이, 질점 Z는 타원 궤도(100)를 그리도록 상하 방향 및 전후 방향으로 운동한다. 타원 궤도(100)에 있어서, 질점 Z가 가장 상방에 있을 때, 반송면(30)과 워크(W) 사이의 마찰력에 의한 수평 방향의 추진력이 발생하고, 굴곡 진행파의 진행 방향과는 역방향으로 워크(W)가 반송된다. 이와 같이, 반송면(30) 상의 각 부분이, 수평 방향(워크(W)의 반송 방향)의 속도 성분과 상하 방향의 속도 성분을 갖도록 타원 운동함으로써 워크(W)가 반송된다. 본 실시 형태에서는, 워크(W)는 메인 트랙(28)에 있어서는 전방으로 반송되고, 리턴 트랙(29)에 있어서는 반시계 방향으로 반송된다(도 2의 이점 쇄선의 화살표 참조). 즉, 진동부(21b)에 있어서는, 평면에서 보아 시계 방향으로 굴곡 진행파가 발생하고, 반시계 방향으로 워크(W)의 추진력이 발생한다. 여기서, 상기 추진력은 굴곡 진행파의 진폭에 따라서 변한다. 즉, 굴곡 진행파를 발생시키기 위한 정재파 진폭이 변하면, 상기 추진력이 변하고, 워크(W)의 반송 속도가 변한다.

(정재파의 감쇠)

이어서, 정재파의 감쇠에 대해서, 도 9 및 도 10을 사용하여 설명한다. 도 9는, 도 6의 (b)와 마찬가지인, 진동부(21b) 및 가진부(23)를 나타내는 도면이다. 도 10은 제1 정재파 및 제2 정재파의 감쇠를 나타내는 설명도이다. 도 7과 마찬가지로, 횡축은 진행파의 진행 방향에 있어서의 좌표를, 종축은 진동부(21b)의 상하 방향의 변위를, 각각 나타낸다.

정재파는 가진부(23)에 의해 여기된 후, 진동부(21b)의 다른 영역에 전파된다. 정재파는 전파하는 도중에 감쇠한다. 즉, 제1 정재파 및 제2 정재파는, 예를 들어 도 9에 나타내는 바와 같이, 진동부(21b)의 우측 방향측 직선 부분의 영역(105)으로부터 좌측 방향측 직선 부분의 영역(106)에 전파하는 도중에 감쇠한다. 도 10의 (a)는 영역(105)에 있어서의 제1 정재파를 나타내는 도면이다. 도 10의 (b)는 동일 영역(106)에 있어서의 제2 정재파를 나타내는 도면이다. 여기서, 상술한 바와 같이, 제1 가진부(51)와 제2 가진부(52)는, 진행 방향에 있어서의 배치 위치가 서로 λ/4만큼 어긋나 있다. 이 때문에, 제1 가진부(51)에 인가되는 전압의 진폭과 제2 가진부(52)에 인가되는 전압의 진폭이 동등해지도록 전압 조정함으로써, 영역(105)에 있어서의 제1 정재파의 진폭 A1과 제2 정재파의 진폭 A2를 대략 동등하게 하는 것이 가능하다.

도 10의 (c)는, 영역(106)에 전파되어 감쇠한 제1 정재파를 나타내는 도면이다. 감쇠 후의 제1 정재파의 진폭 A3은 진폭 A1보다도 작아진다. 도 10의 (d)는, 영역(106)에 전파되어 감쇠한 제2 정재파를 나타내는 도면이다. 감쇠 후의 제2 정재파의 진폭 A4도 진폭 A2보다도 작아진다. 여기서, 제1 가진부(51)와 제2 가진부(52)는 진행 방향에 있어서 서로 대부분 겹쳐 있기 때문에, 진폭 A1에 대한 진폭 A3의 비율(제1 정재파의 감쇠율)과, 진폭 A2에 대한 진폭 A4의 비율(제2 정재파의 감쇠율)은, 대략 동등하다. 이 때문에, 감쇠 후의 진폭 A3과 진폭 A4도, 감쇠 전의 진폭 A1과 진폭 A2와 마찬가지로, 대략 동등해진다. 바꾸어 말하면, 진폭 A3과 진폭 A4의 비가 거의 1이다. 상술한 바와 같이, 제1 가진부(51)와 제2 가진부(52)가 진행 방향에 있어서 대부분 겹쳐 있기 때문에, 진행 방향의 임의의 위치에 있어서, 제1 정재파의 진폭과 제2 정재파의 진폭의 비(진행파비)는, 거의 1이 된다. 이에 의해, 진행 방향에 있어서의 위치에 따라서 진행파의 진폭이 크게 변동되는 것이 억제되어, 반송이 안정된다.

(제1 반송면 및 제2 반송면에 있어서의 반송 속도의 변동)

이어서, 제1 반송면(31)과 제2 반송면(32)에 있어서의 반송 속도의 변동에 대하여 설명한다. 진동부(21b)의, 가진부(23)가 설치된 부분은, 상술한 바와 같이, 다른 부분의 강성보다도 큰 강성을 갖고 있으며, 진동되기 어렵다. 이 때문에, 특히 가진부(23)가 설치된 부분과 설치되지 않은 부분의 경계선에 있어서, 반송면(30)에 발생하는 진행파의 진폭이 변동됨으로써, 워크(W)의 반송 속도가 변동될 수 있다. 본 실시 형태에서는, 가진부(23)는 진동부(21b)의 우측 방향측 직선 부분(즉, 제1 반송면(31)이 형성되어 있지 않으며, 또한 제2 반송면(32)이 형성된 영역)에 배치되어 있다(도 2, 도 3 참조). 이 때문에, 제1 반송면(31)에 있어서는, 상기와 같은 워크(W)의 반송 속도의 변동은 일어나지 않는다. 한편, 진동부(21b)의 우측 방향측 직선 부분에 있어서, 제2 반송면(32) 상의 워크(W)의 반송 속도는 상기 요인에 의해 변동될 수 있지만, 제2 반송면(32)은 제1 반송면으로부터 제거된 워크(W)를 볼 피더(2)로 복귀시키기 위한 것이기 때문에, 반송 속도의 변동에 의한 악영향은 적다.

이상과 같이, 제1 정재파를 반송면(30)에 발생시키는 제1 가진부(51)가 설치되는 제1 영역(102)과, 제2 정재파를 반송면(30)에 발생시키는 제2 가진부(52)가 설치되는 제2 영역(103)이, 진행파의 진행 방향에 있어서 적어도 부분적으로 겹쳐 있다. 즉, 제1 영역(102)과 제2 영역(103)이 진행 방향에 있어서 서로 가까운 위치에 배치되어 있다. 이에 의해, 진행 방향에 있어서, 반송면(30) 상의 임의의 개소로부터 제1 영역(102)까지의 진행 방향에 있어서의 거리와, 당해 개소로부터 제2 영역(103)까지의 진행 방향에 있어서의 거리의 차를 작게 할 수 있다. 이 때문에, 제1 정재파가 제1 영역(102)으로부터 당해 개소에 전파될 때까지의 진폭의 감쇠율과, 제2 정재파가 제2 영역으로부터 당해 개소에 전파될 때까지의 진폭의 감쇠율의 차를 작게 할 수 있다. 이에 의해, 제1 정재파의 진폭과 제2 정재파의 진폭의 비가 진행 방향의 위치에 따라서 변동되는 것을 억제하고, 나아가서는, 진행파의 진폭이 위치에 따라서 크게 변동되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 워크(W)의 반송의 안정성을 향상시킬 수 있다.

또한, 진행 방향에 있어서, 제1 압전 소자(53)와 제2 압전 소자(54)가 교대로 배치되어 있다. 즉, 제1 영역(102)과 제2 영역(103)의 대부분이, 진행 방향에 있어서 서로 중첩되어 있다. 따라서, 제1 정재파의 진폭과 제2 정재파의 진폭의 비가 진행 방향의 위치에 따라서 변동되는 것을, 더욱 억제할 수 있다.

또한, 제1 가진부(51) 및 제2 가진부(52)가, 진동부(21b)의 전체 영역이 아니라, 진행 방향에 있어서의 일부의 영역(101)에 설치되어 있다. 이 때문에, 제1 가진부(51) 및 제2 가진부(52)의 재료비를 삭감할 수 있다. 또한, 본 실시 형태와 같이 반송면(30)이 직선 부분과 곡선 부분을 갖는 경우, 직선 부분에 대응하는 영역(101)에만 제1 가진부(51) 및 제2 가진부(52)를 설치함으로써, 제조의 수고나 비용을 삭감할 수 있다.

또한, 제1 가진부(51) 및 제2 가진부(52)는, 진동부(21b) 중, 진행 방향에 있어서 제1 반송면(31)이 형성되어 있지 않으며, 또한 제2 반송면(32)이 형성된 영역에 배치되어 있다. 이 때문에, 볼 피더(2)로부터 다음 공정의 장치(4)까지 워크(W)가 반송되는(즉, 워크(W)의 원활한 반송이 요구되는) 제1 반송면(31)에 있어서는, 상기와 같은 반송 속도의 변동을 피할 수 있다. 한편, 제2 반송면(32)에 있어서는, 상기와 같은 반송 속도의 변동이 일어날 수 있다. 단, 제2 반송면(32)은 볼 피더(2)에 워크(W)를 복귀시키기 위한 것이고, 제1 반송면(31)과 비교하면, 반송 속도의 변동에 의한 문제는 작다. 따라서, 워크(W)의 원활한 반송이 필요한 제1 반송면(31)에 있어서, 워크(W)의 반송을 안정시킬 수 있다.

이어서, 상기 실시 형태에 변경을 가한 변형예에 대하여 설명한다. 단, 상기 실시 형태와 동일한 구성을 갖는 것에 대해서는, 동일한 부호를 부여하여 적절히 그 설명을 생략한다.

(1) 상기 실시 형태에 있어서, 4개의 제1 압전 소자(53)와 4개의 제2 압전 소자(54)가 세라믹스부(61)의 길이 방향에 있어서 일렬로 나열되어 있는 것으로 하였지만, 이것에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 도 11에 도시한 바와 같이, 가진부(23a)에 있어서, 제1 가진부(51a)의 제1 압전 소자(53a)와 제2 가진부(52a)의 제2 압전 소자(54a)가, 지그재그 배치되어 있는 구성으로 되어 있어도 된다. 또한, 이 경우, 1개의 가진부(23a)에 제1 가진부(51a)와 제2 가진부(52a)가 일체적으로 형성되어 있지 않아도 된다.

(2) 상기까지의 실시 형태에 있어서, 제1 가진부(51)가 4개의 제1 압전 소자(53)를, 제2 가진부(52)가 4개의 제2 압전 소자(54)를 갖는 것으로 하여 설명했지만, 압전 소자의 수는 이것으로 한정되는 것은 아니다.

(3) 상기까지의 실시 형태에 있어서, 진행파 생성 수단(22)은 2개의 정재파를 발생시키는 구성인 것으로 하였지만, 3개 이상의 정재파를 발생시키는 구성으로 되어 있어도 된다.

(4) 제1 가진 소자 및 제2 가진 소자로서, 압전 소자 이외의 것을 사용해도 된다. 예를 들어, 자계에 의해 형상 변화하는 자기 변형 소자 등을 사용해도 된다.

(5) 상기까지의 실시 형태에 있어서, 세라믹스부(61)의 이면에 1개의 공통 전극(64)이 부착되어 있는 것으로 하였지만, 이것으로 한정되지는 않는다. 예를 들어, 공통 전극(64) 대신에 공통 전극(64)과 동일한 정도의 면적을 갖는 8개의 전극이, 세라믹스부(61)를 사이에 두고 제1 전극(62) 및 제2 전극과 대향하도록 이면에 부착되어 있는 구성이어도 된다. 그 경우, 이면에 부착된 8개의 전극의 전위는, 예를 들어 점프선 등으로 공통화되어도 된다.

(6) 제1 가진부(51) 및 제2 가진부(52)에 인가되는 신호는, 직사각형파 신호나 삼각파 신호 등이어도 된다.

2 볼 피더(워크 공급원)
3 리니어 피더(워크 반송 장치)
4 장치(워크 공급처)
21b 진동부
22 진행파 생성 수단
23 가진부
30 반송면
31 제1 반송면
32 제2 반송면
51 제1 가진부
52 제2 가진부
53 제1 압전 소자(제1 가진 소자)
54 제2 압전 소자(제2 가진 소자)
101 영역
102 제1 영역
103 제2 영역
W 워크

Claims

워크가 놓이는 반송면을 갖는 진동부와,
상기 반송면에 제1 정재파를 발생시키는 제1 가진부와, 상기 반송면에 제2 정재파를 발생시키는 제2 가진부를 가지고, 상기 반송면에 상기 제1 정재파 및 상기 제2 정재파를 발생시킴으로써 상기 반송면에 진행파를 발생시키는 진행파 생성 수단을
구비하고, 상기 진행파에 의해 워크를 반송하는 워크 반송 장치이며,
상기 진동부는,
상기 제1 가진부가 설치되는 제1 영역과, 상기 제2 가진부가 설치되는 제2 영역을 가지고, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이, 상기 진행파의 진행 방향에 있어서 적어도 부분적으로 겹쳐 있는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 가진부는 상기 진행 방향으로 나열되며, 또한 상기 제1 정재파를 여기하는 복수의 제1 가진 소자를 가지고,
상기 제2 가진부는 상기 진행 방향으로 나열되며, 또한 상기 제2 정재파를 여기하는 복수의 제2 가진 소자를 가지고,
상기 제1 가진 소자와 상기 제2 가진 소자가, 상기 진행 방향에 있어서 교대로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 가진부 및 상기 제2 가진부는, 상기 진동부의 상기 진행 방향에 있어서의 일부의 영역에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
제3항에 있어서, 상기 반송면은,
워크 공급원으로부터 워크 공급처에 워크가 반송되는 제1 반송면과,
상기 제1 반송면으로부터 제거된 워크가 상기 워크 공급원으로 복귀되는 제2 반송면을
가지고,
상기 제1 가진부 및 상기 제2 가진부는,
상기 진동부 중,
상기 진행 방향에 있어서 상기 제1 반송면이 형성되어 있지 않으며, 또한 상기 제2 반송면이 형성된 영역에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.