KR20180076999A - 워크 반송 장치 및 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법 - Google Patents

Abstract

요구되는 설계 정밀도 및 조정 정밀도가, 워크의 반송에 지장이 발생하지 않을 정도로 완화된, 워크 반송 장치 및 그 조정 방법을 제공한다.
워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면(331, 431, 441)을 갖는 반송부(31, 41)와, 적어도 상기 반송면(331, 431, 441)에 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서, 상기 진행파에 의한 상기 반송면(331, 431, 441)에 있어서의 수직 진폭 중, 상기 반송면(331, 431, 441) 중 소정 범위에서 가장 크게 진동하는 위치에 있어서의 최대 진폭에 대한, 상기 소정 범위에서 가장 작게 진동하는 위치에 있어서의 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비가, 0.13 이상이다.

Description

워크 반송 장치 및 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법{WORK CONVEYING APPARATUS AND ADJUSTMENT METHOD IN WORK CONVEYING APPARATUS}

본 발명은 반송면에 진행파를 발생시킴으로써 워크를 반송하는 워크 반송 장치 및, 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법에 관한 것이다.

종래의 워크 반송 장치로서, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이러한 워크 반송 장치는, 특허문헌 1에 원리가 기재되어 있는 바와 같이, 워크가 접촉하는 반송면을 압전체에 의해 휘게 함으로써 진행파를 발생시킨다. 이 진행파에 의해, 반송면의 각 위치에 타원 운동이 발생하게 되고, 반송면에 적재된 워크는 이 타원 운동에 수반하여, 진행파의 진행 방향과는 역방향으로 반송되어 간다.

이 워크 반송 장치는, 예를 들어 주회하는 형상에 있어서의 대략 대칭 위치에 배치된 2군에 속하는 복수의 압전체를, 군마다 상이한 위상으로 구동시킴으로써, 각 군에 속하는 압전체에 의해 반송면에 발생한 정재파(동일 위치에서 진동할 뿐인 파)가 합성되어 진행파를 발생시킨다. 그러나, 반송면을 완전한(이상적인) 대칭 형상으로 제작할 수는 없고, 반송면에 대한 압전체의 위치나 각 압전체의 구동 형태에도 변동이 있기 때문에, 완전한 진행파를 발생시키는 것은 불가능하며, 실제로는 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동(대소)이 있는 진행파가 발생한다. 여기서, 주회 방향의 위치에 따른 진폭의 변동이 크면, 부분적으로 워크의 이동이 되기 어려워지거나 멈추거나 하는 점에서, 반송면에 있어서의 워크의 원활한 반송이 저해되어 버린다. 그러나, 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동이 없는, 완전한 진행파를 발생시키는 것을 목표로 하여, 높은 정밀도로 워크 반송 장치를 설계해서 조정하는 것은, 상술한 바와 같이 매우 곤란하다.

일본 특허 공개 평6-127655호 공보

그래서 본 발명은 요구되는 설계 정밀도 및 조정 정밀도가, 워크의 반송에 지장이 발생하지 않을 정도로 완화된, 워크 반송 장치 및, 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 워크 반송 장치는, 워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면을 갖는 반송부와, 적어도 상기 반송면에 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서, 상기 진행파 발생 수단에 의해 발생하는 진행파의 최대 진폭에 대한 최소 진폭의 비인 진행파 비를 조정하는 진행파 비 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 진행파 발생 수단에 의해 발생하는 진행파의 최소 진폭과 최대 진폭이 동일하게 가까워지면, 최소 진폭과 최대 진폭의 진폭 차가 0에 가까워지게 된다. 이에 의해, 반송면의 어느 위치에 있어서도 동일한 크기의 진폭의 진동이 부여되기 쉬워져, 워크의 반송 속도의 변동을 억제할 수 있다. 따라서, 진행파 발생 수단에 의해 발생하는 진행파의 최대 진폭에 대한 최소 진폭의 비인 진행파 비를 조정하는 진행파 비 조정 수단에 의해, 진행파 비를 조정함으로써, 워크의 반송 속도의 변동을 억제할 수 있다.

그리고, 상기 진행파 비 조정 수단은, 진행파 비가, 0.13 이상인 것을 특징으로 하는 워크 반송 장치이다.

이 구성에 의하면, 완전한 진행파의 발생을 목표로 하지 않아도, 실용상 지장없이 워크를 반송 가능한 워크 반송 장치를 형성할 수 있다.

그리고, 상기 진행파 비는, 상기 진행파 발생 수단을 전기적으로 조작함으로써 출력이 조정되는 것으로 할 수 있다.

이 구성에 의하면, 진행파 발생 수단을 전기적으로 조작하면 되므로, 조정이 용이하다.

그리고, 상기 진행파 발생 수단은, 상기 반송부의 워크 반송 방향에 있어서의 상이한 위치에, 출력 위상이 상이한 적어도 두개의 군으로 나뉘어서 배치되어 있고, 상기 진행파 발생 수단의 상기 전기적인 조작은, 상기 적어도 두개의 군 중 한쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단과 다른 쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단 사이의 위상차 변경, 상기 한쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단과 상기 다른 쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단 사이의 진폭비의 변경, 모든 상기 진행파 발생 수단의 가진 주파수의 변경, 중 적어도 하나를 행하는 조작인 것으로 할 수 있다.

이 구성에 의하면, 위상차, 진폭비, 가진 주파수 중 어느 변경을 행하면 진행파 비를 조정할 수 있으므로, 상황에 따라 조정에 적합한 변경 대상을 선택할 수 있어, 조정의 자유도를 높일 수 있다.

또한, 본 발명의 워크 반송 장치는, 상기 진행파 비 조정 수단이, 상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단, 당해 반송부의 특정 부분의 질량을 조정하는 수단, 상기 반송면의 특정 부분 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단 중 적어도 하나의 수단을 갖고 있어도 된다.

상기한 바와 같이 반송부의 특정 부분의 강성, 반송부의 특정 부분의 질량, 반송면의 특정 부분 진동의 감쇠 특성 중 적어도 하나를 조정함으로써, 진행파 비를 조정할 수 있다.

또한, 본 발명의 워크 반송 장치는, 상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단이, 상기 반송부의 워크 통과 부분 이외에 설치되며, 또한, 당해 반송부와 함께 탄성 변형 가능하게 구성되는 부재로 구성되어 있어도 된다.

상기한 바와 같이 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단이, 반송부의 워크 통과 부분 이외에 설치되며, 또한, 반송부와 함께 탄성 변형 가능하게 구성되는 부재로 구성되어 있으면, 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하면서도, 반송부와 함께 탄성 변형됨으로써, 진행파의 진행이 저해되기 어렵다.

그리고, 본 발명은 워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면을 갖는 반송부와, 적어도 상기 반송면에 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법이며, 상기 반송면에 있어서의 수직 진폭을, 상기 반송면의 워크 반송 방향에 있어서의 복수의 위치에서 측정하는 진폭 측정 스텝과, 상기 진폭 측정 스텝에 의해 얻어진, 상기 반송면 중 소정 범위에서 가장 크게 진동하는 위치에 있어서 최대 진폭에 대한, 상기 소정 범위에서 가장 작게 진동하는 위치에 있어서 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비를 소정값으로 조정하는 진행파 비 조정 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법이다.

이 구성에 의하면, 진폭 측정 스텝과 진행파 비 조정 스텝에 의해, 실용상 지장없이 워크를 반송 가능한 워크 반송 장치를 형성하도록 조정할 수 있다.

본 발명은 진행파 비를 조정하는 진행파 비 조정 수단을 구비함으로써, 워크의 반송 속도가 변동되는 것을 억제할 수 있고, 완전한 진행파의 생성을 목표로 하지 않아도, 실용상 지장없이 워크를 반송 가능한 워크 반송 장치를 형성할 수 있다. 따라서, 요구되는 설계 정밀도 및 조정 정밀도를, 워크의 반송에 지장이 발생하지 않을 정도로 완화할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 워크 반송 장치(파츠 피더)를 도시하는 사시도이다.
도 2는 상기 워크 반송 장치(파츠 피더)의 볼 피더와 리니어 피더의 일부를 나타내는 주요부 확대 사시도이다.
도 3은 상기 워크 반송 장치(파츠 피더)의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 4는 진행파 비의 개념을 설명하기 위한 그래프이다.
도 5는 진행파 비와 고유 진동수 차율의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 6은 상기 워크 반송 장치(파츠 피더)의 조정을 행할 때의 흐름도이다.
도 7은 다른 형태의 진행파 발생 수단을 나타내고, (a)는 평면도, (b)는 측면도, (c)은 저면도이다.
도 8은 다른 형태의 진행파 발생 수단을 나타내고, (a)는 평면도, (b)는 측면도이다.
도 9는 리니어 피더의 측면도이다.
도 10은 리니어 피더의 저면도이다.
도 11은 다른 형태의 워크 반송 장치의 블록도이다.

본 발명에 대해, 일 실시 형태를 들어, 도면과 함께 이하 설명을 행한다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 워크 반송 장치로서의 파츠 피더(1)는 베이스부(2) 위에 원반상의 볼 피더(3)와, 볼 피더(3)의 직경외로 연장되도록 접속된 리니어 피더(4)를 구비한다.

볼 피더(3)는 원반상의 부재인 볼 피더측 반송부(31)를 구비한다. 이 볼 피더측 반송부(31)는, 중앙에 위치하는 고정부(32)에서 베이스부(2)에 고정되어 있다. 이 고정은, 본 실시 형태에서는, 원판을 개재시킨 1개의 볼트 고정에 의해 이루어져 있지만, 볼트의 수량은 한정되지 않고, 또한, 다른 수단에 의한 것도 가능하다. 볼 피더측 반송부(31)의 상면은, 도시와 같이, 중앙으로부터 일단 하강한 후에 주연을 향하여 상승하고 있다. 반송해야 할 워크 W는, 볼 피더측 반송부(31)에 있어서 오목한 부분에 투입될 수 있다. 볼 피더(3)에는, 워크 W를 반송하기 위한 반송 트랙으로서, 볼 피더측 반송부(31)의 상면에 나선상의 홈인 나선 트랙(33)이, 볼 피더측 반송부(31)의 내주 위치로부터 외주 위치에 걸쳐서 형성되어 있다. 나선 트랙(33)은 워크 W가 접촉하는 반송면(331)을 갖는다. 이 반송면(331)이, 진행파 발생 수단(5)에 의해 휘듯이 변형됨으로써, 워크 W가 반송된다. 나선 트랙(33)의 외주 단부(332)는, 워크 W를 리니어 피더(4)의 메인 트랙(43)에 걸칠 수 있는 위치에 형성되어 있다. 볼 피더(3)의 운전 중, 워크 W는 도 2에 화살표로 나타낸 바와 같이 나선 트랙(33)을 밀려 올라가듯이 이동하여, 워크 W의 반송 방향에 있어서의 하류단인 외주 단부(332)로부터 메인 트랙(43)에 전달된다.

리니어 피더(4)는 평면에서 볼 때 직사각 형상인 리니어 피더측 반송부(41)를 구비한다. 이 리니어 피더측 반송부(41)는, 폭 방향 중앙에 위치하는 고정부(42)에서 베이스부(2)에 고정되어 있다. 이 고정은, 본 실시 형태에서는 복수의 볼트 고정에 의해 이루어져 있지만 다른 수단에 의한 것도 가능하다. 리니어 피더(4)에 있어서의 반송 트랙은, 메인 트랙(43)과 리턴 트랙(44)에 의해 구성되어 있다. 메인 트랙(43)은 리니어 피더측 반송부(41)의 상면에 이송측에 있어서 긴 쪽 방향으로 연장되는 직선상의 홈을 갖는다. 리턴 트랙(44)은 리니어 피더측 반송부(41)의 상면에 폭 방향의 일방측(이하 「이송측」) 및 폭 방향의 타방측(이하 「복귀측」)에 있어서 긴 쪽 방향으로 연장되는 직선상의 홈과, 상기 각 홈을 리니어 피더(4)에 있어서의 볼 피더(3)로부터 먼 측의 단부 가까이에서 접속하는 만곡된 홈, 전체로 U자형의 홈을 갖는다. 복귀측의 홈은 볼 피더측 반송부(31)에 이어져 있다. 이와 같이, 반송 트랙은 순환하도록 폐쇄된 형상에 한정되지 않고, 일단 또는 양단이 개방된 형상이면 된다. 메인 트랙(43) 및 리턴 트랙(44)은 워크 W가 접촉하는 반송면(431, 441)을 갖는다. 이들 반송면(431, 441)이, 진행파 발생 수단(5)에 의해 휘듯이 변형함으로써, 워크 W가 반송된다.

본 실시 형태에서는, 메인 트랙(43)과 리턴 트랙(44)의 일부가 평행하게 형성되어 있고, 메인 트랙(43)으로부터 볼 피더(3)에 돌아와야 할 워크 W는, 도시하지 않은 이동 수단(에어 노즐 등)에 의해 이동됨으로써, 메인 트랙(43)으로부터 리턴 트랙(44)으로 바꾸어 실을 수 있다.

이와 같이, 볼 피더(3) 및 리니어 피더(4)는 고정부(32, 42)의 주위를 주회하는 형상이며, 상기 형상을 갖는 부분 중 적어도 일부가, 워크 W를 적재한 상태에서 반송하는 반송면(331, 431, 441)이 된 반송부[볼 피더측 반송부(31), 리니어 피더측 반송부(41)]로 되어 있다. 각 반송부(31, 41)는, 후술하는 진행파 발생 수단(5)에 의해 물결치듯이 변형할 수 있을 정도의 탄성을 갖고 있다. 또한, 상기 「주회하는 형상」이란, 반송면(331, 431, 441) 및 반송 트랙(33, 43, 44)이 도중에 끊어지지 않고 일주하고 있는 형상인 것을 말하는 것이 아니라, 진행파를 발생시키는 부분이 주회하는 형상으로 되어 있는 것을 말한다. 이로 인해, 이 「주회하는 형상」은, 원반상인 볼 피더측 반송부(31)는 물론이고, 고정부(42)의 주위에 타원상의 영역이 존재하는 리니어 피더측 반송부(41)도 해당하고 있다.

볼 피더(3) 및 리니어 피더(4)는 각 반송면(331, 431, 441)을 물결치듯이 휘게 하여 탄성 진동시킴으로써, 상기 각 반송면(331, 431, 441)에 주회 방향으로 진행되어 가는 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단(5)을 구비한다[리니어 피더(4)에 관하여 도 3 참조]. 본 실시 형태의 진행파 발생 수단(5)은 초음파 영역(구체적으로는 20㎑ 이상)의 주파수로 구동된다. 진행파 발생 수단(5)의 구체예로서는, 통전에 의해 신축 또는 만곡하듯이 변형되는 압전 소자를 예시할 수 있지만, 통전에 의해 다양한 동작을 이루는 다른 수단을 채용할 수도 있다. 진행파 발생 수단(5)은 볼 피더측 반송부(31) 및 리니어 피더측 반송부(41)의 이측, 즉, 상기 각 반송면(331, 431, 441)이 형성된 측과 반대측에 마련되어 있다.

복수의 진행파 발생 수단(5)은 리니어 피더(4)에 대해서는, 도 3에 대략 도시하는 바와 같이, 출력 위상이 상이한 이송측의 군(5F)과 복귀측의 군(5B)의 2군이, 리니어 피더측 반송부(41)의 주회 방향(워크 반송 방향)에 있어서의 상이한 위치로 나뉘어지고, 각각 긴 쪽 방향으로 배열되어 있다. 도 3에서는 각 군에서 4개의 진행파 발생 수단(5)이 나타나 있지만, 진행파 발생 수단(5)의 수량은 이것에 한정되지 않는다. 각 군(5F, 5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)은 진동 모드(파형)의 파복의 위치에 1/2 파장 간격으로, 또한, 인접하는 진행파 발생 수단(5)의 극성(도시 「+」 「-」)이 반대가 되도록 배열되어 있다. 이에 의해, 이송측의 군(5F)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)이 이송측의 가진 영역(제1 가진 영역)을 형성하고, 복귀측의 군(5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)이 복귀측의 가진 영역(제2 가진 영역)을 형성한다. 그리고, 리니어 피더(4)에 있어서 이송측의 군(5F)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)과, 복귀측의 군(5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)은, 리니어 피더측 반송부(41)의 긴 쪽 방향으로 1/4 파장(도시 「λ/4」) 어긋나 배치되어 있다. 또한, 도 3에 도시하는 바와 같이, 이송측의 군(5F)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)은 제1 증폭기(611)에 접속되고, 복귀측의 군(5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)은 제2 증폭기(612)에 접속되어 있다. 제1 증폭기(611)에는 제1 진폭 조정 수단(621)이 접속되어 있다. 제2 증폭기(612)에는 제2 진폭 조정 수단(622)이 접속되어 있다. 또한, 제1 진폭 조정 수단(621)에는 가진 주파수 조정 수단(63)이 접속되어 있다. 제2 진폭 조정 수단(622)에는 전기적 위상 조정 수단(64)을 통해 가진 주파수 조정 수단(63)이 접속되어 있다. 또한, 가진 주파수 조정 수단(63)에는 파형 선택 수단(65)이 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 진폭 조정 수단(621), 제2 진폭 조정 수단(622), 가진 주파수 조정 수단(63), 전기적 위상 조정 수단(64), 파형 선택 수단(65)이 일체가 되어 발신기(6A)를 구성하고 있다.

전기적 위상 조정 수단(64)에 의해, 이송측의 진행파 발생 수단(5)과 복귀측의 진행파 발생 수단(5)에 있어, 시간적으로 위상이 90° 어긋난 정현파 진동을 발생시킬 수 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 증폭기(611)에 의한 가진 모드를 「90° 모드」라 하고, 제2 증폭기(612)에 의한 가진 모드를 「0° 모드」라 하여 설명한다.

도시는 하지 않지만, 볼 피더(3)에 대해서도 마찬가지이며, 볼 피더측 반송부(31)의 중앙을 사이에 두고 일방측의 반주분과 타방측의 반주분의 관계가 리니어 피더(4)에 있어서의 이송측, 복귀측과 마찬가지의 관계가 되어 있다.

개개의 진행파 발생 수단(5)이 구동됨으로써, 각 반송면(331, 431, 441)을 물결치듯이 휘게 하여 탄성 진동시킬 수 있다. 여기서, 상술한 바와 같은 구성에 의해, 이송측의 진행파 발생 수단(5)과 복귀측의 진행파 발생 수단(5)에 있어, 시간적으로 위상이 90° 어긋난 정현파 진동을 발생시킬 수 있다. 이로 인해, 각 반송부(31, 41)에 발생한 정재파(일정한 위치에서 단순히 상하 이동하는 파)가 공간적 또한 시간적으로 중첩됨으로써, 상기 각 반송면(331, 431, 441)에, 볼 피더(3) 및 리니어 피더(4)에 있어서의 주회 방향으로 진행해 가는 진행파를 발생시킬 수 있다. 본 실시 형태의 진행파는, 평면에서 볼 때 반시계 방향으로 진행한다. 본 실시 형태의 파츠 피더(1)에서는, 각 반송면(331, 431, 441)에, 각 반송부(31, 41)의 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동이 없는, 완전한 진행파가 나타나는 것은 아니며, 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동(대소)이 있는 진행파가 발생한다.

진행파가 발생하고 있는 각 반송면(331, 431, 441)의 한점에는 타원 운동이 발생하고 있다. 이 타원 운동이 움직이는 방향은, 타원 운동의 궤적에 있어서의 정상부에 있어서 진행파의 진행 방향과 반대로 되어 있다. 그리고, 각 반송면(331, 431, 441)과 워크 W의 사이의 마찰에 의해, 각 반송면(331, 431, 441) 위의 워크 W에 추진력이 발생하고, 워크 W는 진행파와는 역방향으로 반송되어 간다.

본 실시 형태의 각 반송부(31, 41)에 있어서의 상부에는, 소정 간격을 두고 복수의 슬릿(34, 45)이 형성되어 있다. 볼 피더(3)에 있어서의 슬릿(34)은 직경 방향으로 연장되도록 형성되어 있고, 리니어 피더(4)에 있어서의 슬릿(45)은 폭 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 이들 슬릿(34, 45)이 형성됨에 따라, 중립축[각 반송부(31, 41)가 만곡할 때의 굽힘 중심이 되는 가상축]이 하방에 위치하게 되어, 각 반송부(31, 41)를 진행파의 진행 방향으로 변형시키기 쉽게 해서, 상기 타원 운동에 관한 타원을 가로로 긴 형상으로 변형할 수 있다. 이로 인해, 워크 W에 작용하는 힘의 수평 성분을 증대시킴과 함께, 수직 성분을 저감시킬 수 있다. 따라서, 슬릿(34, 45)이 형성되어 있지 않은 반송부를 사용한 경우와 비교하면, 반송면 위에서 워크 W를 튀어 오르게 하지 않고, 반송 속도를 향상시켜서 효율적으로 이동시킬 수 있다.

이상과 같이 구성된 본 실시 형태의 파츠 피더(1)에서는, 각 반송면(331, 431, 441)에 완전한 진행파가 나타나는 것은 아니며, 각 반송부(31, 41)의 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동(대소)이 있는 진행파가 발생한다. 이로 인해, 각 반송면(331, 431, 441)에는, 진폭이 큰 위치(파형을 도 4의 「최대 시」로 나타냄)와 진폭이 작은 위치(파형을 도 4의 「최소 시」로 나타냄)가 교대로 나타난다. 본 실시 형태에서는, 진행파에 의한 각 반송면(331, 431, 441)에 있어서의 수직 진폭 중, 상기 각 반송면(331, 431, 441) 중 소정 범위에서 가장 크게 진동하는 위치에 있어서의 최대 진폭에 대한, 상기 소정 범위에서 가장 작게 진동하는 위치에 있어서의 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비가, 0.13 이상으로 설정되어 있다. 이 설정값은, 바람직하게는 0.20 이상, 보다 바람직하게는 0.25 이상으로 설정할 수 있다. 덧붙여서 말하면, 각 반송면(331, 431, 441)에 완전한 진행파가 나타나는 경우의 진행파 비는 1이다. 또한, 워크 W의 질량에 따라 반송면 위에서의 워크 W의 튀어 오르기 쉬움은 상이하다. 워크 W의 도약은 워크 W의 원활한 반송을 저해하는 요인이 된다. 이로 인해, 상기 설정되는 진행파 비는, 제1 진폭 조정 수단(621) 및 제 2 진폭 조정 수단(622)에 의한 진폭의 조정이 이루어지고, 반송면 위에서의 워크 W의 도약이 억제되어 있는 것이 조건이 된다.

0° 모드와 90° 모드에 있어서의 고유 진동수는 서로 상이한 값이 된다. 고유 진동수의 차에 대해서는, 고유 진동수(f1)에 대한 고유 진동수(f2)의 차의 비율인 고유 진동수 차율(Δf)로서, 다음 식과 같이 나타낼 수 있다.

Δf=(f2-f1)/f1×100(단 f2>f1로 함)

또한 도 5에, 진행파 비와 고유 진동수 차율 Δf의 관계를 나타낸다. 도 5의 그래프에 있어서의 횡축(고유 진동수 차율 Δf)은 백분율(％)로 표시되어 있다. 상기 식 및 도 5로부터, 본 실시 형태에 대하여 설명한, 진행파 비가 0.13 이상이 되는 고유 진동수 차율 Δf의 값이, 고유 진동수 차율 Δf≤1.54가 되는 것을 알 수 있다. 따라서, 고유 진동수 차율 Δf≤1.54이면, 실용상 지장 없이 워크 W를 반송 가능한 워크 반송 장치[파츠 피더(1)]를 형성할 수 있다.

여기서, 본원의 발명자가 워크 W의 반송의 원활함을 실험으로 확인하였다. 실험에 제공한 워크 W의 크기는 3.2㎜×1.6㎜이고, 두께 1.6㎜, 중량이 약 50㎎인 판상체, 구체적으로 이 워크 W는 세라믹판에 금속 전극이 설치된 칩 콘덴서이다. 실험은 리니어 피더(4)로 행하였다. 표 1에 나타나는 조건 하에서, 리니어 피더(4)의 메인 트랙(43)에서 반송되는 워크 W의 이동 상황을 관찰자가 육안 관찰하였다. 평가는, 워크 W가 메인 트랙(43)의 도중에 멈추어 버렸을 경우를 「×」, 이동 속도가 일정하지 않다고 보였을 경우를 「△」, 워크 W가 정체 없이 원활하게 이동하고 있는 것처럼 보이는 경우를 「○」로 하였다. 실험은 진행파 비를 바꾼 8패턴으로 행하였다.

표 1에 있어서 진행파 비는, 평균값과 최솟값(최소 진폭값을 최대 진폭값으로 나눈 값)을 나타냈다. 평균값은, 메인 트랙(43)의 반송면(431)에 있어서의 수직 진폭의 측정에 관한, 복수의 측정 에어리어(본 실험에서는 이송측과 복귀측을 상류측, 하류측에서 각각 1/2로 나눈 4에어리어)에 있어서의 진행파 비의 평균값이다. 최솟값은, 복수의 측정 에어리어에 있어서의 진행파 비의 최솟값이다.

실험의 결과, 복수의 워크 W를 연이어서 반송하는 경우에는, 메인 트랙(43)에 따르는 진행파 비의 최솟값으로 평가하여 0.13 이상이면 원활하게 반송할 수 있음을 확인할 수 있었다. 즉, 반송 한계 진행파 비는 0.13이다. 또한, 워크 W를 단독으로 반송하는 경우에는, 메인 트랙(43)에 따르는 진행파 비의 최솟값으로 평가하여 0.20 이상이면 원활하게 반송할 수 있음을 확인할 수 있었다. 또한, 복수의 워크 W를 반송하는 경우 쪽이 작은 진행파 비로 원활한 반송이 가능한 것은, 복수의 워크 W끼리가 이동 방향의 전후에 맞닿고 있어, 후방의 워크 W에 눌려서 이동이 도움을 받기 때문이라 추정된다.

완전한 진행파의 경우, 각 반송부(31, 41)의 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동이 없기 때문에, 진행파 비는 1이다. 한편, 진행파가 전혀 발생하지 않고 정재파뿐인 경우에는, 최소 진폭이 0(파형의 파절 부분)이기 때문에, 진행파 비는 0이다. 이로 인해, 본 실시 형태에서 최저값(반송 한계 진행파 비)으로서 설정한 진행파 비 0.13은, 완전한 진행파를 기준으로 하면 진행파의 발생 상태가 작기 때문에, 상당히 완만한 수치라고 할 수 있다. 이 정도의 설정으로, 워크 W를 유효하게 반송할 수 있고, 실용상 문제가 없는 파츠 피더(1)를 제공할 수 있는 것이다. 따라서, 파츠 피더(1)에 있어서 진행파를 발생시키기 위한 기구를 설계 및 조정할 때의 엄밀도(설계 정밀도, 조정 정밀도)를 완화할 수 있어, 결과적으로 파츠 피더(1)의 제조 비용을 저감할 수 있을 가능성이 있다.

진행파 비는, 진행파 발생 수단(5)을 전기적으로 조작함으로써 출력이 조정되는 것으로 할 수 있다. 이 전기적인 조작은, 예를 들어 진행파 발생 수단(5)에 접속된[보다 구체적으로는 진행파 발생 수단(5)을 구동시키는 제1 증폭기(611) 및 제 2 증폭기(612)에 접속된] 조정 수단으로 위상차, 진폭비, 가진 주파수 중 적어도 하나를 변경하기 위한 조작이다. 구체적으로는, 이송측의 군(5F)에 속하는 진행파 발생 수단(5)과 복귀측의 군(5B)에 속하는 진행파 발생 수단(5) 사이의 위상차의 변경, 이송측의 군(5F)에 속하는 진행파 발생 수단(5)과 복귀측의 군(5B)에 속하는 진행파 발생 수단(5) 사이의 진폭비의 변경, 모든 진행파 발생 수단(5)의 가진 주파수의 변경, 중 적어도 하나를 행하는 조작이다. 위상차, 진폭비, 가진 주파수 중 어느 것을 변경하면 진행파 비를 조정할 수 있으므로, 상황에 따라 조정에 적합한 변경 대상을 선택할 수 있어, 조정의 자유도를 높일 수 있다.

본 실시 형태의 구체적인 조정 수단은, 도 3에 도시하는 제1 진폭 조정 수단(621) 및 제 2 진폭 조정 수단(622), 가진 주파수 조정 수단(63), 전기적 위상 조정 수단(64)이다. 위상차는 전기적 위상 조정 수단(64)으로 조정할 수 있다. 또한, 진폭비는 제1 진폭 조정 수단(621) 및 제 2 진폭 조정 수단(622)으로 조정할 수 있다. 가진 주파수는 가진 주파수 조정 수단(63)으로 조정할 수 있다. 또한 본 실시 형태에서는, 파형에 대해서도 파형 선택 수단(65)으로 조정할 수 있다. 이들 조정 수단의 조정은 전기적인 조작으로 충분하기 때문에, 파츠 피더(1)의 구성을 물리적으로 변경하는 것에 비해, 조정이 용이한 점을 이점으로서 들 수 있다.

진행파 비는, 각 반송부(31, 41)의 구성을 물리적으로 변경함으로써, 각 반송부(31, 41)에 발생하는 진행파의 발생 상황이 변하도록 조정되는 것으로도 할 수 있다. 물리적인 변경은, 변경된 구성이 다시 변경되지 않는 한 지속되기 때문에, 정전 등에 의해 변경이 리셋되어 버릴 가능성이 있는 전기적 조작에 의한 조정에 비해, 안정성이 높은 조정이 가능한 점을 상대적인 이점으로서 들 수 있다. 이 조정은, 구체적으로는 각 반송부(31, 41)에 부분적으로 조정 부재를 설치함으로써 조정할 수 있다. 조정 부재는 예를 들어 판상체(조정판)로 할 수 있지만, 형상은 한정되지 않는다. 또한, 각 반송부(31, 41)에 있어서의 조정 부재의 설치 위치는 예를 들어 이면으로 할 수 있지만, 특별히 한정되지 않는다. 조정 부재의 설치는, 복수를 다른 개소에 설치할 수도 있고, 동일 개소에 복수를 중복하여 설치할 수도 있다. 설치 형태는, 접착제 등에 의한 부착, 나사 고정, 끼워 넣기, 용접 등의 다양한 형태로 할 수 있다. 또한, 상기와는 반대로, 당초부터 분리 가능하게 조정 부재를 설치해 두고, 필요에 따라 조정 부재를 떼어내도록 구성할 수도 있다.

이어서, 본 실시 형태의 파츠 피더(1)의 조정 방법에 대해서, 흐름도(도 6)와 함께 설명한다. 먼저, 수직 진폭을, 각 반송면(331, 431, 441)의 주회 방향(워크 반송 방향)에 있어서의 복수의 위치에서 측정하는 진폭 측정 스텝(도 6에 나타내는 스텝 S1 내지 스텝 S3에 상당)을 실시한다. 이 진폭 측정 스텝은, 보다 상세하게는 이하의 순으로 행한다. 먼저, 0° 모드 및 90° 모드에 있어서의 고유 진동수(f₁, f₂)를 측정한다(스텝 S1). 고유 진동수의 측정은, 0° 모드, 90° 모드 각각 단독으로 구동시키고, 각각의 모드에 대해서, 주파수를 변화시키면서, 각 반송면(331, 431, 441)이 있는 점(파형의 파복의 위치)의 진폭이 최대가 되는 주파수를 탐색함으로써 이루어진다. 이 탐색된 주파수가 고유 진동수이다. 그리고, 가진 주파수를 상기 고유 진동수의 각 측정값의 중간값으로 하고, 진폭비를 1, 전기적 위상을 90°로 설정하여 파츠 피더(1)를 가진한다(스텝 S2). 그리고, 각 반송부(31, 41)를 복수의 측정 에어리어로 나누고, 각 측정 에어리어에서 수직 진폭을 측정하여, 진행파 비를 구한다(스텝 S3). 수직 진폭은, 각 에어리어에서 반송 트랙의 상방에서 측정 수단을 워크 W의 반송 방향으로 스캔함으로써, 복수의 위치에서의 측정이 행해진다. 본 실시 형태에서는 측정 수단으로서 도플러 진동계를 사용하고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 진동을 측정 가능한 다양한 수단을 사용할 수 있다.

이어서, 상기 진폭 측정 스텝에 의해 얻어진 진행파 비를 소정값으로 조정하는 진행파 비 조정 스텝[도 6에 도시하는 스텝 S3(반복 시) 내지 스텝 S9에 상당]을 실시한다. 이 진행파 비 조정 스텝은, 보다 상세하게는 이하의 순으로 행한다.

먼저, 상기 각 측정 에어리어에 있어서의 진행파 비(TWR) 중 최솟값이, 반송 한계 진행파 비인 0.13 이상인지 여부를 판단한다(스텝 S4). 0.13 이상인 경우(흐름도 상의 「Y」), 조정을 종료한다. 그렇지 않을 경우(흐름도 상의 「N」), 전기적 위상 조정 수단(64)을 조작하여 전기적 위상차를 변경한다(스텝 S5). 변경 후 상기 스텝 S3으로 복귀한다.

만약 전기적 위상차의 변경만으로는 조정 불가능할 경우(예를 들어 스텝 S3 내지 S5의 반복 횟수가 소정 횟수 이상이 되었을 경우), 제1 진폭 조정 수단(621) 및 제 2 진폭 조정 수단(622)을 조작하여 진폭비를 변경한다(스텝 S6). 변경 후 상기 스텝 S3으로 복귀된다.

만약 전기적 위상차 및 진폭비의 변경만으로는 조정 불가능할 경우(예를 들어 스텝 S3 내지 S6의 반복 횟수가 소정 횟수 이상이 되었을 경우), 가진 주파수 조정 수단(63)을 조작하여 가진 주파수를 변경한다(스텝 S7). 가진 주파수의 변경은, 0° 모드에 있어서의 고유 진동수의 주파수와 90° 모드에 있어서의 고유 진동수의 주파수의 범위를 내외로 예를 들어 1％ 확장한 범위 내에서 행한다. 변경 후 상기 스텝 S3으로 복귀된다.

만약 전기적 위상차, 진폭비, 가진 주파수의 변경으로도 조정 불가능할 경우(예를 들어 스텝 S3 내지 S7의 반복 횟수가 소정 횟수 이상이 되었을 경우), 진동 모드의 차수를 변경한다(스텝 S8). 진동 모드의 차수 변경은, 파수(파장)가 바뀌는 진동 모드(고유 진동수)에서 가진할 수 있도록, 스텝 S7이 행해지는 주파수의 변경 범위를 초과하여 주파수를 크게 변경한다. 변경 후 상기 스텝 S3으로 복귀된다.

만약 전기적 위상차, 진폭비, 가진 주파수, 진동 모드의 차수 변경으로도 조정 불가능할 경우(예를 들어 스텝 S3 내지 S8의 반복 횟수가 소정 횟수 이상이 되었을 경우), 진행파 발생 수단(5)을 전기적으로 조작하는 것에 의한 진행파 비의 조정은 단념된다. 이 경우, 각 반송부(31, 41)의 구성을 물리적으로 변경함으로써 진행파 비가 조정된다(스텝 S9). 예를 들어, 각 반송부(31, 41)의 이면에 조정판이 부착됨으로써, 각 반송부(31, 41)의 일부의 진동 형태를 변화시킨다.

이와 같이, 상기 진폭 측정 스텝과 진행파 비 조정 스텝에 의해, 실용상 지장 없이 워크 W를 반송 가능한 파츠 피더(1)를 형성하도록 조정할 수 있다.

또 다른 실시형태로 파츠 피더(1)에서는, 각 반송면(331, 431, 441)에 완전한 진행파가 나타나는 것은 아니고, 반송면의 위치에 따라 진폭의 크기가 변동된 진행파가 나타난다. 이로 인해, 각 반송면(331, 431, 441)에는, 진폭이 큰 위치(파형을 도 4의 「최대 시」로 나타냄)와 진폭이 작은 위치(파형을 도 4의 「최소 시」로 나타냄)가 교대로 나타난다. 그래서, 진행파에 의한 각 반송면(331, 431, 441)에 있어서의 수직 진폭 중, 가장 크게 진동하는 위치에 있어서의 최대 진폭에 대한, 가장 작게 진동하는 위치에 있어서의 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비=최소 진폭/최대 진폭을 조정하는 진행파 비 조정 수단을 구비하고 있다. 완전한 진행파는, 2상의 정재파가 모두 공간적 위상차, 시간적 위상차가 모두 90도이며 또한 진폭이 동등할 때 형성된다.

진행파 비는, 완전한 진행파인 경우에는 1이 되고, 진행파가 완전히 발생하지 않고 정재파만인 경우에는 0이 된다. 따라서, 진행파 비가 1에 가까워지도록, 진행파 비 조정 수단에 의해 조정하게 된다. 이 진행파 비 조정 수단은, 반송부(31, 41)의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단, 반송부(31, 41)의 특정 부분의 질량을 증감시키는 수단, 반송면(331, 431, 441) 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단 중 적어도 하나의 수단으로 구성할 수 있다.

반송부(31, 41) 중 리니어 피더측 반송부(41)의 특정 부분의 강성을 조정하는 강성 조정 수단(7)을 도 9 및 도 10에 도시하고 있다. 도 9 및 도 10에서는, 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)에 중복되지 않도록 반송부(41)에 설치된 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)로 강성 조정 수단(7)을 구성하고 있다. 또한, 반송부(41) 4장에 대한 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)의 설치는, 접착제 또는 비스 등에 의해 행한다.

상기 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)는, 반송부(41)의 워크 통과 부분 이외에 설치되고, 또한, 반송부(41)와 함께 탄성 변형 가능하게 구성되는 부재이다. 구체적으로는, 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)는, 반송부(41)의 이면에 설치되어 있다. 반송부(41)의 이면의 폭 방향[반송부(41)의 짧은 방향] 양단부 각각에, 8개의 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)이 리니어 피더측 반송부(41)의 긴 쪽 방향으로 1/4 파장의 공간적 위상차가 있는 상태로 배치되어 있다. 또한, 이들 각 8개의 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)이 설치되어 있지 않은 리니어 피더측 반송부(41)의 폭 방향 양단부이며 또한 반송부(41)의 긴 쪽 방향의 양단부 4개소에 판 부재(71, 72, 73, 74)가 설치되어 있다. 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)를 설치함으로써, 설치한 부분의 강성을 높이고 있다. 이에 의해, 설치한 부분에서의 진폭이 변화함으로써, 리니어 피더측 반송부(41)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화하여, 진행파 비를 조정할 수 있다. 특히 정재파의 파복에 해당하는 부분에 판 부재(71, 72, 73, 74)를 설치하도록 함으로써, 진동 특성이 크게 변화한다.

판 부재(71, 72, 73, 74)는, 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)과 대략 동일 폭이며 또한 대략 동일 두께로 하고 있지만, 리니어 피더측 반송부(41)의 강성이 어느 부분에 있어서도 대략 동일해지도록, 판 부재(71, 72, 73, 74)의 폭이나 두께를 설정하게 된다. 또한, 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74) 중 리니어 피더측 반송부(41)의 폭 방향 일단측에 설치하는 판 부재(71, 72)의 길이와, 리니어 피더측 반송부(41)의 폭 방향 타단측에 설치하는 판 부재(73, 74)의 길이를, 대략 동일하게 함으로써, 리니어 피더측 반송부(41)의 폭 방향 일단의 강성과 폭 방향 타단의 강성을 일치시키기 쉽다. 또한, 판 부재(71, 72, 73, 74)를 구성하는 재료는, 리니어 피더측 반송부(41)의 재료와 같은 금속(예를 들어 알루미늄)으로 구성하면, 진행파에 의해 반송부와 동일하게 탄성 변형할 수 있지만, 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)과 동일한 재료[동일한 물]로 구성할 수도 있다. 또한, 볼 피더측 반송부(31)의 특정 부분에도, 판 부재를 설치하고, 설치한 부분에서의 진폭이 변화함으로써, 볼 피더측 반송부(31)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화하여, 진행파 비를 조정할 수 있다. 여기에서는, 판 부재를 반송부의 이면에 설치하고 있지만, 반송부의 측면에 설치할 수도 있다.

반송부(31)의 특정 부분의 질량을 증감시키는 수단으로서는, 예를 들어 반송부(31, 41)의 특정 부분에 추를 부가하는 수단으로 구성할 수 있다. 즉, 반송부(31, 41) 이면의 일부에 추를 부착하거나, 또는 현수하는 수단이다. 이에 의해, 반송부(31, 41)의 중량을 부분적으로 증가시키도록 조정함으로써, 반송부(31, 41)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화하여, 진행파 비를 조정할 수 있다. 또한, 예를 들어 반송부(31, 41)를 삭감하는 것에 의해, 반송부(31, 41)의 두께를 얇게 함으로써 반송부(31)의 특정 부분의 질량을 감소시켜도 된다.

반송면(331, 431, 441)의 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단으로서, 반송부(31, 41)에 댐퍼를 설치하여, 감쇠 특성을 변화시키는 수단을 들 수 있다. 이것들에 의해, 반송부(31, 41)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화하여, 진행파 비를 조정할 수 있다.

또한, 반송부(31, 41)를 고정하고 있는 고정부(32, 42) 중 일부의 고정부(32, 42)를 떼어내거나, 일부 또는 전부의 고정부(32, 42)의 체결력을 조정함으로써, 반송부(31, 41)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화되어, 진행파 비를 조정할 수도 있다.

또한, 진행파 비를 전기적으로 조정할 수도 있다. 예를 들어, 도 11에 도시하는 바와 같이, 이송측의 군(5F)에 속하는 각 진행파 발생 수단(5)에 대하여 증폭기(61) 및 전압 조정 수단(62)이 직렬로 접속되고, 복귀측의 군(5B)에 속하는 각 진행파 발생 수단(5)에 대해서도 증폭기(61) 및 전압 조정 수단(62)이 직렬로 접속되어 있다. 따라서, 전압 조정 수단(62)의 전압을 조정함으로써, 진행파 비를 전기적으로 조정한다. 또한, 이송측의 전압 조정 수단(62)에는, 가진 주파수 조정 수단(63)이 접속되어 있다. 또한, 복귀측의 전압 조정 수단(62)에는, 전기적 위상 조정 수단(64)을 통해 가진 주파수 조정 수단(63)이 접속되어 있다. 또한, 가진 주파수 조정 수단(63)에는, 파형 선택 수단(65)이 접속되어 있다.

또한, 본 발명에 관한 워크 반송 장치는, 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.

예를 들어, 반송 트랙은 순환하도록 폐쇄된 형상에 한정되지 않고, 일단 또는 양단이 개방된 형상이면 된다.

또한, 반송부(31, 41)의 특정 부분의 강성을 조정하는 다른 수단으로서, 스프링을 추가하여 반송부의 특정 부분의 강성을 조정할 수도 있다.

이상, 본 발명에 대하여 실시 형태를 다루어 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.

또한, 상기 실시 형태의 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)은, 전기적으로 절연하기 위한 절연체인 세라믹부와 세라믹부의 양측면에 형성된 전극으로 이루어져 있고, 통상은, 1매의 세라믹부의 양측면의 각각에 전극을 부착하여 구성되는 압전 소자의 필요수를 반송부에 부착하고 있지만, 도 7의 (a), (b), (c)와 같이 구성하여 실시해도 된다. 즉, 세라믹부(531)를 일체로 한 압전 소자(5)를 사용해도 된다. 이 경우, 도 7의 (a)에 「+」 「-」로 나타내듯이, 1/2 파장(λ/2)마다 분극 방향이 상이하다. 또한, 세라믹부(531)의 양측면 중 반송부(도체)에 대한 부착면측의 전극(51)과는 반대측의 전극(52)을 일체화한다. 그렇게 함으로써, 세라믹부(531)에 대한 전극(51, 52)의 부착 정밀도의 향상 및 상기 반대측 전극(52)의 커먼 작업의 삭감을 도모할 수 있다. 또한, 반송부(도체)에 부착하는 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)은, 반송부(도체)에 부착할 때, 반송부에 대하여 도통함으로써 커먼이 되기 때문에, 커먼 작업을 할 필요가 없다. 또한, 반송부(도체)에 대한 부착면측의 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)도 일체화해도 된다. 단, 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)을 일체로 하게 하는 공정은, 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)을 제작한 후의 공정이 되므로, 제조 비용의 삭감을 생각하면, 도 7의 (a), (b), (c)와 같이, 반송부의 부착면과는 반대측의 전극(52)만을 일체로 하는 편이 유리하다.

또한, 상기 실시 형태의 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)을, 도 8의 (a), (b)와 같이 구성해도 된다. 즉, 도 7의 (a), (b), (c)와 마찬가지로, 세라믹부(531)를 일체로 한 압전 소자(5)를 사용해도 된다. 이 경우, 도 8의 (a)에 「+」 「-」로 나타내듯이, 1/2 파장(λ/2)마다 분극 방향이 상이하다. 그렇게 함으로써, 세라믹부(531)에 대한 전극(51, 52)의 부착 정밀도의 향상을 도모할 수 있다. 이 경우에는, 반송부(도체)에 부착하는 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)은, 반송부(도체)에 부착할 때, 반송부에 대하여 도통함으로써 커먼이 되기 때문에, 커먼 작업을 할 필요가 없지만, 상기 전극(51)과는 반대측의 복수(도면에서는 8개)의 전극(521)에 대하여 커먼 작업이 필요해진다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 복수의 진행파 발생 수단(5)을 2군으로 나누고, 한쪽의 군과 다른 쪽의 군에서 구동시키는 위상차[진행파 발생 수단(5)에 지시하는 위상차]를 90°로 설정하고 있었지만, 이것에 한정되지 않고, 위상차를 다른 각도로 설정해도 된다. 또한, 복수의 진행파 발생 수단(5)을 3군 이상으로 나눌 수도 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 이송측의 군(5F)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)에 제1 증폭기(611) 및 제1 진폭 조정 수단(621)이 접속되고, 복귀측의 군(5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)에 제2 증폭기(612) 및 제 2 진폭 조정 수단(622)이 접속되어 있었다. 그러나 이 이외에, 복수의 진행파 발생 수단(5)의 각각에 증폭기 및 진폭 조정 수단을 접속할 수도 있고, 각 진폭 조정 수단을 조작함으로써 진행파 비를 조정할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 진행파 발생 수단(5)에 의해 각 반송면(331, 431, 441)에 발생하는 진동의 파는 상기 실시 형태에서는 정현파였지만, 구형파, 삼각파 등, 다른 형상의 파여도 된다.

또한, 본 실시 형태의 각 반송부(31, 41)는 주회하는 형상으로 되어 있었지만, 반송부의 형상은 이것에 한정되지 않고, 직선상이나 주회하지 않는 만곡 선상 이어도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 각 반송부(31, 41)에 복수의 진행파 발생 수단(5)이 배열되어 있었지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어 탄성적으로 지지된 반송부의 양단만을, 위상차를 가져서 가진하거나, 일단에서 가진하고, 타단에서 진동을 흡수하거나 함으로써 진행파를 발생시킬 수도 있다.

1: 워크 반송 장치, 파츠 피더
2: 베이스부
3: 볼 피더
31: 반송부, 볼 피더측 반송부
32: 고정부(볼 피더)
33: 반송 트랙, 나선 트랙
331: 반송면(나선 트랙)
34, 35: 슬릿
4: 리니어 피더
41: 반송부, 리니어 피더측 반송부
42: 고정부(리니어 피더)
43: 반송 트랙, 메인 트랙
431: 반송면(메인 트랙)
44: 반송 트랙, 리턴 트랙
45: 슬릿
441: 반송면(리턴 트랙)
5: 진행파 발생 수단
5B: 복귀측의 군
5F: 이송측의 군
7: 강성 조정 수단
51, 52, 521: 전극
53, 531: 세라믹부
61: 증폭기
62: 전압 조정 수단
63: 가진 주파수 조정 수단
64: 전기적 위상 조정 수단
65: 파형 선택 수단
71, 72, 73, 74: 판 부재
332: 외주 단부
414: 반송부
611: 제1 증폭기
612: 제2 증폭기
W: 워크
S1 내지 S3: 진폭 측정 스텝
S3 내지 S9: 진행파 비 조정 스텝

Claims (7)

1. 워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면을 갖는 반송부와,
   적어도 상기 반송면에 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서,
   상기 진행파 발생 수단에 의해 발생하는 진행파의 최대 진폭에 대한 최소 진폭의 비인 진행파 비를 조정하는 진행파 비 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 진행파 비 조정 수단은, 진행바 비가 0.13 이상인 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 진행파 비는, 상기 진행파 발생 수단을 전기적으로 조작함으로써 출력이 조정되는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 진행파 발생 수단은, 상기 반송부의 워크 반송 방향에 있어서의 상이한 위치에, 출력 위상이 상이한 적어도 두개의 군으로 나뉘어서 배치되어 있고,
   상기 진행파 발생 수단의 상기 전기적인 조작은, 상기 적어도 두개의 군 중 한쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단과 다른 쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단 사이의 위상차 변경, 상기 한쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단과 상기 다른 쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단 사이의 진폭비의 변경, 모든 상기 진행파 발생 수단의 가진 주파수의 변경, 중 적어도 하나를 행하는 조작인 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 진행파 비 조정 수단은, 상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단, 당해 반송부의 특정 부분의 질량을 조정하는 수단, 상기 반송면의 특정 부분 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단 중 적어도 하나의 수단을 갖는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단은, 상기 반송부의 워크 통과 부분 이외에 설치되며, 또한, 당해 반송부와 함께 탄성 변형 가능하게 구성되는 부재로 구성되는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.
7. 워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면을 갖는 반송부와,
   적어도 상기 반송면에 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법이며,
   상기 반송면에 있어서의 수직 진폭을, 상기 반송면의 워크 반송 방향에 있어서 복수의 위치에서 측정하는 진폭 측정 스텝과,
   상기 진폭 측정 스텝에 의해 얻어진, 상기 반송면 중 소정 범위에서 가장 크게 진동하는 위치에 있어서 최대 진폭에 대한, 상기 소정 범위에서 가장 작게 진동하는 위치에 있어서 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비를 소정값으로 조정하는 진행파 비 조정 스텝
   을 구비하는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법.

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