TWI750249B

TWI750249B - 工件搬送裝置及工件搬送裝置的調整方法

Info

Publication number: TWI750249B
Application number: TW106137105A
Authority: TW
Inventors: 前田峰尚; 木村哲行; 大西孝信
Original assignee: 日商昕芙旎雅股份有限公司
Priority date: 2016-12-28
Filing date: 2017-10-27
Publication date: 2021-12-21
Also published as: CN108249109B; KR102433050B1; TW201823122A; CN108249109A; KR20180076999A

Abstract

本發明提供一種所需的設計精度及調整精度被放寬到不妨礙工件搬送的程度的工件搬送裝置及其調整方法。工件搬送裝置包括：具有在載置了工件的狀態下搬送工件的搬送面（331、431、441）的搬送部（31、41）、以及至少使前述搬送面（331、431、441）產生行進波的行進波產生單元，行進波比為0.13以上，行進波比定義為前述行進波引起的前述搬送面（331、431、441）的垂直振幅中的前述搬送面（331、431、441）在預定範圍內振動最小的位置的最小振幅與在前述預定範圍內振動最大的位置的最大振幅之比。

Description

工件搬送裝置及工件搬送裝置的調整方法

[0001] 本發明涉及藉由使搬送面產生行進波來搬送工件的工件搬送裝置及工件搬送裝置的調整方法。

[0002] 作為從前的工件搬送裝置，例如在專利文獻1中有記載。這樣的工件搬送裝置如專利文獻1中所記載的原理那樣，利用壓電體使與工件接觸的搬送面撓曲而產生行進波。由於該行進波，在搬送面的各位置產生橢圓運動，載置於搬送面的工件隨著該橢圓運動而被朝著與行進波的行進方向相反的方向搬送。　　[0003] 該工件搬送裝置例如是，使配置在迴圈的形狀的大致對稱位置的兩組所屬的複數壓電體以各組不同的相位來驅動，從而由各組所屬的壓電體在搬送面產生的駐波（僅在同一位置振動的波）合成而產生行進波。但是，無法將搬送面製作成完全（理想的）對稱形狀，壓電體相對於搬送面的位置、各壓電體的驅動狀態也存在有差異，因此不可能產生完美的行進波，實際上產生迴圈方向上的不同位置的振幅存在有差異（有大小之分）的行進波，因此，在搬送面的不同位置，工件的搬送速度不一致。這裡，當迴圈方向上的不同位置的振幅的差異較大時，在局部工件會難以移動或者停止，因此妨礙搬送面對工件的流暢搬送。但是，若以產生迴圈方向上的不同位置的振幅一致的完美的行進波為目標，以高精度設計並調整工件搬送裝置會如前述那樣非常困難。 [先前技術文獻] [專利文獻] 　　[0004] 　　專利文獻1：日本特開H6-127655號公報

[發明所欲解決的問題] 　　[0005] 因此，本發明要解決的技術問題在於，提供一種能夠抑制工件的搬送速度不一致的工件搬送裝置。另外，本發明要解決的技術問題還在於，提供一種所需的設計精度及調整精度被放寬到不妨礙工件搬送的程度的工件搬送裝置及工件搬送裝置的調整方法。 [解決問題的技術手段] 　　[0006] 本發明的工件搬送裝置包括：具有在載置了工件的狀態下搬送工件的搬送面的搬送部以及至少使前述搬送面產生行進波的行進波產生單元其中，該工件搬送裝置還具備：調整行進波比的行進波比調整單元，該行進波比為前述行進波產生單元所產生的行進波的最大振幅與最小振幅之比。　　[0007] 採用本發明，若由行進波產生單元所產生的行進波的最小振幅和最大振幅接近一致，則最小振幅與最大振幅之間的振幅差接近0。由此，容易賦予在搬送面的任何位置都是相同大小的振幅之振動，能夠抑制工件的搬送速度不一致。因而，藉由調整由行進波產生單元所產生的行進波的最小振幅與最大振幅之比，亦即藉由調整行進波比的行進波比調整單元，從而能夠抑制工件的搬送速度不一致。　　[0008] 另外，前述行進波比調整單元使行進波比可以是0.13以上。　　[0009] 採用該構成，即使不以產生完美的行進波為目標，也可以形成能夠在實際使用上沒有障礙地搬送工件的工件搬送裝置。　　[0010] 另外，前述行進波比可以藉由對前述行進波產生單元進行電操作來調整輸出。　　[0011] 採用該構成，只要對行進波產生單元進行電操作即可，因此調整容易。　　[0012] 另外，前述行進波產生單元可以是在前述搬送部的工件搬送方向上的不同位置上，分成輸出相位不同的至少兩組而配置前述行進波產生單元的前述電操作為進行：前述至少兩組中的一組所屬的前述行進波產生單元與其他組所屬的前述行進波產生單元之間的相位差的變更、前述一組所屬的前述行進波產生單元與前述其他組所屬的前述行進波產生單元之間的振幅比的變更、所有的前述行進波產生單元的振動頻率的變更之中的至少一者的操作。　　[0013] 採用該構成，只要變更相位差、振幅比、振動頻率中的任一者就能夠調整行進波比，因此根據狀況選擇適合調整的變更物件，調整自由度就能得到提升。　　[0014] 另外，本發明的工件搬送裝置也可以是，前述行進波比調整單元具有調整前述搬送部的特定部分的剛性的單元、調整該搬送部的特定部分的質量的單元、調整前述搬送面的特定部分的振動的衰減特性的單元中的至少一者。　　[0015] 如前述那樣，能夠通過調整搬送部的特定部分的剛性、搬送部的特定部分的質量、搬送面的特定部分的振動的衰減特性中的至少一者，來調整行進波比。　　[0016] 另外，本發明的工件搬送裝置也可以是，調整前述搬送部的特定部分的剛性的單元安裝於前述搬送部的工件通過部分以外的部位，並且，由構成為能夠與該搬送部一起彈性變形的構件形成。　　[0017] 如前述那樣，調整搬送部的特定部分的剛性的單元安裝於搬送部的工件通過部分以外的部位，並且，由構成為能夠與搬送部一起彈性變形的構件形成，則在調整搬送部的特定部分的剛性的同時，與搬送部一起彈性變形，從而不容易妨礙行進波的行進。　　[0018] 另外，本發明是一種工件搬送裝置的調整方法，前述工件搬送裝置包括：　　具有在載置了工件的狀態下搬送工件的搬送面的搬送部以及至少使前述搬送面產生行進波的行進波產生單元其中，該方法包括：在前述搬送面的工件搬送方向上的複數位置測量前述搬送面的垂直振幅的振幅測量步驟以及將行進波比調整為預定值的行進波比調整步驟前述行進波比定義成由前述振幅測量步驟所得到的在前述搬送面中，在預定範圍內振動最小的位置的最小振幅與在前述預定範圍內振動最大的位置的最大振幅之比。　　[0019] 採用該構成，藉由振幅測量步驟和行進波比調整步驟，能夠調整為形成能夠在實際使用上沒有障礙地搬送工件的工件搬送裝置。 [發明的效果] 　　[0020] 根據本發明，能夠提供一種能夠藉由具備調整行進波比的行進波比調整單元，而能夠抑制工件的搬送速度不一致的工件搬送裝置。　　[0021] 並且，本發明能夠形成一種即使不以生成完美的行進波為目標，也能夠在實際使用上沒有障礙地搬送工件的工件搬送裝置。因此，能夠將所需的設計精度及調整精度放寬到不妨礙工件搬送的程度。

[0023] 關於本發明，取一實施方式作為主實施方式與圖式一起進行以下說明。　　[0024] 如圖1所示，作為本實施方式的工件搬送裝置的零件送料器1在基底部2上設有圓盤狀的振動盤送料器3、以朝向振動盤送料器3的徑向外側延伸的方式連接的直進式送料器4。　　[0025] 振動盤送料器3包括作為圓盤狀構件的振動盤送料器側搬送部31。該振動盤送料器側搬送部31利用位於中央的固定部32來固定於基底部2。在本實施方式中，該固定是藉由中介了圓板的一個螺栓緊固來實現的，但是螺栓的數量並沒有限制，另外，也能夠利用其他手段來固定。振動盤送料器側搬送部31的上表面如圖示那樣從中央開始先下降，之後朝向周緣上升。要搬送的工件W能夠被投入到振動盤送料器側搬送部31的凹陷部分。在振動盤送料器3中，作為用於搬送工件W的搬送軌道，在振動盤送料器側搬送部31的上表面從振動盤送料器側搬送部31的內周位置到外周位置形成有成為螺旋狀槽的螺旋軌道33。螺旋軌道33具有與工件W接觸的搬送面331。該搬送面331因行進波產生單元5而撓曲變形，進而搬送工件W。螺旋軌道33的外周端部332形成在能夠將工件W交接到直進式送料器4的主軌道43的位置。在振動盤送料器3的運轉過程中，工件W如圖2中箭頭所示那樣在螺旋軌道33上以逐漸升起的方式移動，從作為工件W的搬送方向上的下游端的外周端部332交接到主軌道43。　　[0026] 直進式送料器4包括平面視呈長方形狀的直進式送料器側搬送部41。該直進式送料器側搬送部41藉由位於寬度方向中央的固定部42來固定於基底部2。在本實施方式中，該固定是由複數螺栓緊固來實現的，但是也能夠利用其他手段來固定。直進式送料器4的搬送軌道包括主軌道43和返回軌道44。主軌道43具有在直進式送料器側搬送部41的上表面的給料側沿著長度方向延伸的直線狀的槽。返回軌道44具有整體呈U字形的槽，該整體呈U字形的槽具有：在直進式送料器側搬送部41的上表面的寬度方向的一側（以下，稱為“給料側”）及寬度方向的另一側（以下，稱為“返回側”）沿著長度方向延伸的直線狀的槽、以及在直進式送料器4的遠離振動盤送料器3的一側的端部附近將前述各槽連接起來的彎曲的槽。返回側的槽與振動盤送料器側搬送部31相連。搬送軌道不限於這種以迴圈的方式閉合的形狀，也可以是一端或兩端開放的形狀。主軌道43及返回軌道44具有與工件W接觸的搬送面431、441。這些搬送面431、441因行進波產生單元5而撓曲變形，從而搬送工件W。　　[0027] 在本實施方式中，主軌道43和返回軌道44的一部分平行地形成，要從主軌道43返回振動盤送料器3的工件W藉由未圖示的移動單元（空氣噴嘴等）的作用來移動，進而從主軌道43換到返回軌道44。　　[0028] 像這樣，振動盤送料器3及直進式送料器4是繞著固定部32、42迴圈的形狀，具有前述形狀的部分之中的至少一部分成為被作為在載置了工件W的狀態下搬送工件W的搬送面331、431、441的搬送部（振動盤送料器側搬送部31、直進式送料器側搬送部41）。各搬送部31、41具有能夠在後述的行進波產生單元5的作用下而波動變形的程度的彈性。其中，前述“迴圈的形狀”不是指搬送面331、431、441及搬送軌道33、43、44連續地繞一周的形狀，而是指產生行進波的部分迴圈的形狀。因此，圓盤狀的振動盤送料器側搬送部31自然符合該“迴圈的形狀”，就連在固定部42的周圍存在長圓狀的區域的直進式送料器側搬送部41也符合該“迴圈的形狀”。　　[0029] 振動盤送料器3及直進式送料器4包括行進波產生單元5，行進波產生單元5使各搬送面331、431、441波動地撓曲、彈性振動，從而使前述各搬送面331、431、441產生沿迴圈方向行進的行進波（關於直進式送料器4，參照圖3）。本實施方式的行進波產生單元5以超音波範圍（具體而言，20kHz以上）的頻率被驅動。作為行進波產生單元5的具體例，能夠例示出經通電而伸縮或彎曲地發生變形的壓電元件，也能夠採用經通電而呈現各種動作的振動器、偏心馬達、螺線管等其他構件。行進波產生單元5設於振動盤送料器側搬送部31及直進式送料器側搬送部41的背側，亦即與形成有前述各搬送面331、431、441的一側相反的一側。　　[0030] 在直進式送料器4中，複數行進波產生單元5如圖3中所概略圖示的那樣，輸出相位不同的給料側的組5F與返回側的組5B這兩組分別位在直進式送料器側搬送部41的迴圈方向（工件搬送方向）上的不同位置，分別沿著長度方向排列。在圖3中，在各組中示出了4個行進波產生單元5，但是行進波產生單元5的數量並不限於此。各組5F、5B所屬的複數行進波產生單元5在振動波型（波形）的波腹的位置以1/2波長間隔，且以相鄰的行進波產生單元5的極性（圖示“＋”、“-”）呈相反的方式排列。因此，給料側的組5F所屬的複數行進波產生單元5形成給料側的振動區域（第1振動區域），返回側的組5B所屬的複數行進波產生單元5形成返回側的振動區域（第2振動區域）。並且，在直進式送料器4中，給料側的組5F所屬的複數行進波產生單元5和返回側的組5B所屬的複數行進波產生單元5在直進式送料器側搬送部41的長度方向上以錯開1/4波長（圖示“λ/4”）的方式配置。並且，如圖3所示，給料側的組5F所屬的複數行進波產生單元5與第1放大器611相連接，返回側的組5B所屬的複數行進波產生單元5與第2放大器612相連接。第1放大器611與第1振幅調整單元621相連接。第2放大器612與第2振幅調整單元622相連接。並且，第1振幅調整單元621與振動頻率調整單元63相連接。第2振幅調整單元622經由電相位調整單元64而與振動頻率調整單元63相連接。並且，振動頻率調整單元63與波形選擇單元65相連接。在本實施方式中，第1振幅調整單元621、第2振幅調整單元622、振動頻率調整單元63、電相位調整單元64、波形選擇單元65形成為一體，構成信號發送器6A。　　[0031] 利用電相位調整單元64能夠由給料側的行進波產生單元5和返回側的行進波產生單元5產生在時間上相位錯開90°的正弦波振動。在本實施方式中，將利用第1放大器611產生的振動波型為“90°波型”、利用第2放大器612產生的振動波型為“0°波型”來進行說明。　　[0032] 雖未圖示，但振動盤送料器3也是同樣地，隔著振動盤送料器側搬送部31的中央，一側的半周部分和另一側的半周部分之間的關係為與直進式送料器4的給料側、返回側為相同的關係。　　[0033] 驅動各行進波產生單元5，從而能夠使各搬送面331、431、441波動地撓曲、彈性振動。這裡，採用前述那樣的構成，能夠藉由給料側的行進波產生單元5和返回側的行進波產生單元5來產生在時間上相位錯開90°的正弦波振動。因此，在各搬送部31、41產生的駐波（在一定的位置僅上下振動的波）在空間上且在時間上重合，從而能夠使前述各搬送面331、431、441產生沿著振動盤送料器3及直進式送料器4的迴圈方向行進的行進波。本實施方式的行進波平面視時以逆時針行進。對於本實施方式的零件送料器1，在各搬送面331、431、441並非呈現在各搬送部31、41的迴圈方向上的不同位置的振幅都一致的完美的行進波，而是產生在迴圈方向上的不同位置的振幅存在有差異（大小之分）的行進波。　　[0034] 正在產生行進波的各搬送面331、431、441上的一點產生橢圓運動。該橢圓運動的運動方向在橢圓運動的軌跡的頂部處與行進波的行進方向相反。於是，由於各搬送面331、431、441與工件W之間的摩擦，對各搬送面331、431、441上的工件W產生推進力，將工件W朝向與行進波相反的方向搬送。　　[0035] 在本實施方式的各搬送部31、41的上部，以預定間隔形成有複數縫槽34、45。振動盤送料器3的縫槽34形成為沿徑向延伸，直進式送料器4的縫槽45形成為沿寬度方向延伸。藉由形成這些縫槽34、45，中立軸線（成為各搬送部31、41彎曲時的彎曲中心的假想軸線）位於下方，容易使各搬送部31、41朝向行進波的行進方向變形，能夠使前述橢圓運動的橢圓變形成橫長形狀。因此，作用於工件W的力的水平分量增大，並且垂直分量減小。因此，與使用沒有形成縫槽34、45的搬送部的情況相比，在搬送面上不會使工件W跳起來，能夠提高搬送速度，高效地使工件W移動。　　[0036] 對於如以上那樣構成的本實施方式的零件送料器1，在各搬送面331、431、441並非呈現完美的行進波，而是產生在各搬送部31、41的迴圈方向上的不同位置的振幅存在有差異（大小之分）的行進波。因此，在各搬送面331、431、441交替出現振幅較大的位置（波形如圖4中的“最大時”所示）和振幅較小的位置（波形如圖4中的“最小時”所示）。在本實施方式中，行進波比設定為0.13以上，行進波比定義為行進波引起的各搬送面331、431、441的垂直振幅中的前述各搬送面331、431、441的在預定範圍內振動最小的位置的最小振幅與在前述預定範圍內振動最大的位置的最大振幅之比。該設定值優選設定為0.20以上，更優選設定為0.25以上。另外，在各搬送面331、431、441呈現完美的行進波的情況下的行進波比為1。另外，根據工件W的質量不同，搬送面上的工件W跳起的難易程度會有所不同。工件W的跳躍成為阻礙工件W流暢搬送的主要原因。因此，前述設定的行進波比的條件為：利用第1振幅調整單元621及第2振幅調整單元622進行振幅的調整，抑制搬送面上的工件W的跳躍。　　[0037] 0°波型和90°波型的固有頻率為互不相同的值。關於固有頻率的差異，固有頻率（f2）與固有頻率（f1）之差相對於固有頻率（f1）之比，亦即固有頻率差比（Δf）如下式所示。Δf=（f2-f1）/f1×100（其中，f2＞f1）　　[0038] 另外，圖5示出了行進波比與固有頻率差比Δf的關係。圖5的圖表的橫軸（固有頻率差比Δf）以百分比（%）表示。根據前述式及圖5可知：關於本實施方式進行了說明的行進波比為0.13以上的固有頻率差比Δf的值為固有頻率差比Δf≤1.54。因而，若固有頻率差比Δf≤1.54，則能夠形成能夠在實際使用上沒有障礙地搬送工件W的工件搬送裝置（零件送料器1）。　　[0039] 這裡，本申請的發明人利用實驗確認了工件W的搬送流暢性。供實驗的工件W是大小為3.2mm×1.6mm、厚度1.6mm、重量大約50mg的板狀體，具體而言，該工件W是在陶瓷板上安裝有金屬電極的晶片電容。實驗利用直進式送料器4來進行。基於表1所示的條件，觀察者用肉眼觀察了在直進式送料器4的主軌道43上搬送的工件W的移動狀況。評價為：將工件W在主軌道43的中途停止的情況記作“×”，可以看出移動速度並非恆定不變的情況記作“△”，看起來工件W沒有延遲，而流暢地移動的情況記作“○”。實驗以改變行進波比的八個模式進行。　　[0040]

○：流暢，△：速度並非恆定不變，×：中途停止　　[0041] 在表1中，行進波比用平均值和最小值（最小振幅值除以最大振幅值所得到的值）來表示。平均值是與主軌道43的搬送面431的垂直振幅的測量有關的複數測量區域（在本實驗中為分別將給料側和返回側以上游側、下游側一分為二而成的4個區域）的行進波比的平均值。最小值是複數測量區域的行進波比的最小值。　　[0042] 實驗的結果確認出：在排列複數工件W來進行搬送的情況下，用沿著主軌道43的行進波比的最小值來進行評價時，若為0.13以上，則能夠流暢地進行搬送。亦即，搬送界限行進波比為0.13。另外，確認出：在將工件W以單個來進行搬送的情況下，用沿著主軌道43的行進波比的最小值來進行評價時，若為0.20以上，則能夠流暢地進行搬送。另外，對於搬送複數工件W的情況下以較小的行進波比就能夠實現流暢的搬送，推測其原因在於複數工件W彼此在移動方向的前後相抵接，被後方的工件W推動，而有助於移動。　　[0043] 在完美的行進波的情況下，各搬送部31、41的迴圈方向上的不同位置的振幅一致，因此行進波比為1。另一方面，在完全沒有產生行進波、僅有駐波的情況下，最小振幅為0（波形的波節部分），因此行進波比為0。因此，對於本實施方式中作為最低值（搬送界限行進波比）設定的行進波比0.13，若以完美的行進波為基準，行進波的產生程度較輕，因此可以說是相當寬鬆的數值。利用這種程度的設定，能夠有效地搬送工件W，能夠提供在實際使用上不存在問題的零件送料器1。因此，能夠放寬在設計以及調整零件送料器1中的用於產生行進波的機構時的嚴密度（設計精度、調整精度），結果，有可能降低零件送料器1的製造成本。　　[0044] 能夠藉由對行進波產生單元5進行電操作來調整行進波比的輸出。該電操作是例如利用連接於行進波產生單元5（更具體而言，連接於使行進波產生單元5驅動的第1放大器611及第2放大器612）的調整單元來變更相位差、振幅比、振動頻率中的至少一者的操作。具體而言，是進行：給料側的組5F所屬的行進波產生單元5與返回側的組5B所屬的行進波產生單元5之間的相位差的變更、給料側的組5F所屬的行進波產生單元5與返回側的組5B所屬的行進波產生單元5之間的振幅比的變更、所有行進波產生單元5的振動頻率的變更中的至少一者的操作。只要變更相位差、振幅比、振動頻率中的任一者就能夠調整行進波比，因此能夠根據狀況選擇適合調整的變更物件，調整的自由度得到提升。　　[0045] 本實施方式的具體的調整單元是圖3所示的第1振幅調整單元621及第2振幅調整單元622、振動頻率調整單元63、電相位調整單元64。相位差能夠由電相位調整單元64來調整。另外，振幅比能夠由第1振幅調整單元621及第2振幅調整單元622來調整。振動頻率能夠由振動頻率調整單元63來調整。進而，在本實施方式中，還能夠利用波形選擇單元65調整波形。這些調整單元的調整通過電操作就可以了，因此，與物理變更零件送料器1的構成的情況相比，優點為容易調整。　　[0046] 行進波比能夠通過物理變更各搬送部31、41的構成而改變各搬送部31、41所產生的行進波的發生狀況來進行調整。關於物理變更，只要不對變更後的構成進行再次變更，變更後的構成就能夠持續下去，因此，作為相對而言的優點能夠舉出：與可能會因停電等而使變更復位的電操作進行的調整相比，能夠實現穩定性較高的調整。具體而言，該調整能夠藉由在各搬送部31、41的局部安裝調整構件來進行調整。調整構件能夠採用例如板狀體（調整板），但是不對形狀進行限定。另外，各搬送部31、41中的調整構件的安裝位置例如可以是背面，但並不特別限定。調整構件的安裝可以是將複數構件安裝在不同的部位，也可以是在相同部位重疊安裝複數構件。安裝形態可以是利用黏接劑等進行的黏貼、螺紋固定、嵌合、焊接等各種形態。另外，也可以與前述相反而設為如下構成：開始時就將調整構件預先安裝成能夠卸下，根據需要來卸下調整構件。　　[0047] 以下，參照圖式對本發明的追加實施方式進行說明。並且，在以下的說明中，對與前述主實施方式相應或相同的部分標注相同的圖式標記並省略說明。　　[0048] 對設於前述振動盤送料器側搬送部31及直進式送料器側搬送部41的背側的行進波產生單元之中的設於直進式送料器側搬送部41的行進波產生單元進行說明，如圖6所示，對於複數行進波產生單元5來說，輸出相位不同的給料側的組5F和返回側的組5B這兩組分別位於直進式送料器側搬送部41的迴圈方向上的不同位置，分別沿長度方向排列。在圖6中，為了便於說明，以每組4個行進波產生單元5來進行說明，但是，實際上，在直進式送料器側搬送部41的背側如圖8所示那樣每組設有8個行進波產生單元5。該行進波產生單元5的數量根據直進式送料器側搬送部41的大小、設定的工件搬送速度等來決定。返回圖6，各組5F、5B所屬的複數行進波產生單元5在振動波型的波腹的位置以1/2波長間隔且以相鄰的行進波產生單元5的極性（圖示“＋”、“-”）呈相反的方式排列。並且，在直進式送料器4中，設於給料側的複數行進波產生單元5和設於返回側的複數行進波產生單元5在直進式送料器側搬送部41的長度方向上以具有1/4波長（圖示“λ/4”）的空間上的相位差的狀態配置。並且，如圖6所示，給料側的組5F所屬的複數行進波產生單元5與第1放大器611相連接，返回側的組5B所屬的複數行進波產生單元5與第2放大器612相連接。這些第1放大器611及第2放大器612與用於供給雙相交流信號的雙相交流信號發送器6A相連接。　　[0049] 利用雙相交流信號發送器6A能夠由給料側的行進波產生單元5和返回側的行進波產生單元5產生在時間上相位錯開90°的正弦波振動。在本實施方式中，利用第1放大器611產生的振動波型為“90°波型”、利用第2放大器612產生的振動波型為“0°波型”。　　[0050] 利用各行進波產生單元5能夠使各搬送面431、441波動地振動。這裡，採用前述那樣的構成，能夠由給料側的行進波產生單元5和返回側的行進波產生單元5產生在時間上相位錯開90°的正弦波振動。因此，在搬送部31、41產生的在空間上且在時間上錯開的兩駐波（在一定的位置僅上下振動的波）重疊（合成），從而能夠使前述各搬送面431、441產生在振動盤送料器3及直進式送料器4上沿前述迴圈的方向行進的行進波。本實施方式的行進波平面視時以逆時針行進。對於本實施方式的零件送料器1，在各搬送面431、441並非呈現完美的行進波，而是呈現在搬送面的不同位置振幅大小有所變動的行進波。這不僅是因為無法將兩搬送面431、441製作成完全對稱形狀，還因為行進波產生單元5（這裡是壓電元件）的安裝位置、各行進波產生單元5（這裡是壓電元件）的驅動狀況也存在有差異。　　[0051] 正在產生行進波的各搬送面431、441上的一點產生橢圓運動。該橢圓運動的運動方向在頂部處與行進波的行進方向相反。於是，由於各搬送面431、441與工件W之間的摩擦，對各搬送面431、441上的工件W產生推進力，將工件W朝向與行進波相反的方向搬送。　　[0052] 雖未圖示，振動盤送料器3也是同樣地，隔著振動盤送料器側搬送部31的中央，一側的半周部分和另一側的半周部分之間的關係為與直進式送料器4的給料側、返回側為相同的關係，行進波產生單元與前述直進式送料器4的情況一樣地配置、驅動。　　[0053] 在本實施方式的各搬送部31、41的上部，以預定間隔形成有複數縫槽34、45。振動盤送料器3的縫槽34形成為沿徑向延伸，直進式送料器4的縫槽45形成為沿寬度方向延伸。藉由形成這些縫槽34、45，中立軸線（成為搬送部31、41彎曲時的彎曲中心的假想軸線）位於下方，容易使搬送部31、41向行進波的行進方向變形，能夠使前述橢圓運動的橢圓變形為橫長。因此，作用於工件W的力的水平分量增大，並且垂直分量減小。因此，與使用沒有形成縫槽的搬送部的情況相比，能夠使工件W不會跳起地、高效地移動。　　[0054] 對於如以上那樣構成的本實施方式的零件送料器1，在各搬送面331、431、441並非呈現完美的行進波，而是呈現在搬送面的不同位置振幅的大小會發生變動的行進波。因此，在各搬送面331、431、441交替出現振幅較大的位置（波形如圖4中的“最大時”所示）和振幅較小的位置（波形如圖4中的“最小時”所示）。因此，設有對行進波比進行調整的行進波比調整單元，行進波比定義為行進波引起的各搬送面331、431、441的垂直振幅中的振動最小的位置的最小振幅與振動最大的位置的最大振幅之比，行進波比＝最小振幅/最大振幅。在雙相的駐波是空間上的相位差、時間上的相位差均為90度且振幅相等的駐波時形成完美的行進波。　　[0055] 在完美的行進波的情況下，行進波比為1，在完全沒有產生行進波、僅駐波的情況下，行進波比為0。因而，以行進波比接近1的方式藉由行進波比調整單元進行來調整。該行進波比調整單元能夠包括：調整搬送部31、41的特定部分的剛性的單元、調整搬送部31、41的特定部分的質量增減的單元、調整搬送面331、431、441的振動的衰減特性的單元中的至少一者。　　[0056] 圖7及圖8示出了調整搬送部31、41中的直進式送料器側搬送部41的特定部分的剛性的剛性調整單元7。在圖7及圖8中，由以不與行進波產生單元（壓電元件）5重疊的方式安裝於搬送部41的4張板構件71、72、73、74構成剛性調整單元7。這裡，4張板構件71、72、73、74利用黏接劑或者螺釘等來進行向搬送部41的安裝。　　[0057] 前述4張板構件71、72、73、74安裝於搬送部41的工件通過部分以外的部位，並且是構成為能夠與搬送部41一起彈性變形的構件。具體而言，4張板構件71、72、73、74安裝於搬送部41的背面。在搬送部41的背面的寬度方向（搬送部41的短邊方向）兩端部各配置有8個行進波產生單元（壓電元件）5，8個行進波產生單元5以在直進式送料器側搬送部41的長度方向上具有1/4波長的空間的相位差的狀態配置。並且，在沒有安裝該各8個行進波產生單元（壓電元件）5的直進式送料器側搬送部41的寬度方向兩端部且是搬送部41的長度方向的兩端部這四個部位安裝板構件71、72、73、74。通過安裝4張板構件71、72、73、74，提高了安裝部分的剛性。由此，安裝部分處的振幅會發生變化，從而，直進式送料器側搬送部41的特定部分的振動特性發生變化，能夠調整行進波比。尤其是在與駐波的波腹相當的部分安裝板構件71、72、73、74，會使振動特性發生較大的變化。　　[0058] 板構件71、72、73、74形成為與行進波產生單元（壓電元件）5大致相同的寬度且大致相同的厚度，但也可以以使直進式送料器側搬送部41的剛性在任何部分都大致相同的方式來對板構件71、72、73、74的寬度、厚度進行設定。另外，4張板構件71、72、73、74中的安裝於直進式送料器側搬送部41的寬度方向一端側的板構件71、72的長度與安裝於直進式送料器側搬送部41的寬度方向另一端側的板構件73、74的長度大致相同，從而容易使直進式送料器側搬送部41的寬度方向一端的剛性和寬度方向另一端的剛性一致。另外，對於構成板構件71、72、73、74的材料，若是由與直進式送料器側搬送部41的材料相同的金屬（例如鋁）形成，則在行進波的作用下能夠與搬送部同樣地彈性變形，但是也可以由與行進波產生單元（壓電元件）5相同的材料（相同的物質）來形成。另外，可以在振動盤送料器側搬送部31的特定部分也安裝板構件，安裝部分處的振幅會發生變化，從而，振動盤送料器側搬送部31的特定部分的振動特性發生變化，對行進波比進行調整。這裡，將板構件安裝於搬送部的背面，但是也可以安裝於搬送部的側面。　　[0059] 作為使搬送部31的特定部分的質量增減的單元，例如可以包括向搬送部31、41的特定部分附加錠子的單元。即，是在搬送部31、41的背面的一部分黏上或者掛上錠子的單元。由此，以使搬送部31、41的重量局部增加的方式進行調整，從而，搬送部31、41的特定部分的振動特性會發生變化，能夠調整行進波比。另外，也可以是，例如藉由切削搬送部31、41而使搬送部31、41的厚度變薄，從而使搬送部31的特定部分的質量減少。　　[0060] 作為對搬送面331、431、441的振動的衰減特性進行調整的單元，能夠是向搬送部31、41安裝減振器而使衰減特性變化的單元。由此，搬送部31、41的特定部分的振動特性會發生變化，能夠調整行進波比。　　[0061] 另外，也能夠藉由將用於固定搬送部31、41的固定部32、42中的一部分固定部32、42卸下或者對一部分或者全部的固定部32、42的緊固力進行調整，來使搬送部31、41的特定部分的振動特性發生變化，調整行進波比。　　[0062] 另外，還能夠從電學角度調整行進波比。例如，如圖9所示，給料側的組5F所屬的各行進波產生單元5與放大器61及電壓調整單元62串聯連接，返回側的組5B所屬的各行進波產生單元5也與放大器61及電壓調整單元62串聯連接。因而，調整電壓調整單元62的電壓，從而從電學角度調整行進波比。另外，給料側的電壓調整單元62與振動頻率調整單元63相連接。並且，返回側的電壓調整單元62經由電相位調整單元64與振動頻率調整單元63相連接。並且，振動頻率調整單元63與波形選擇單元65相連接。　　[0063] 接著，與流程圖（圖10）一起說明本實施方式的零件送料器1的調整方法。首先，實施在各搬送面331、431、441的迴圈方向（工件搬送方向）上的複數位置測量垂直振幅的振幅測量步驟（與圖10所示的步驟S1～步驟S3相當）。更詳細而言，該振幅測量步驟依以下順序進行。首先，測量0°波型及90°波型的固有頻率（f1、f2）（步驟S1）。固有頻率的測量是這樣進行的：分別單獨驅動0°波型、90°波型，針對各波型，一邊使頻率變化，一邊探索各搬送面331、431、441的某點（波形的波腹的位置）的振幅成為最大的頻率。該探索出的頻率為固有頻率。然後，使振動頻率為前述固有頻率的各測量值的中間值，將振幅比設定為1，電相位設定為90°，對零件送料器1施加振動（步驟S2）。然後，將各搬送部31、41劃分為複數測量區域，在各測量區域測量垂直振幅，求出行進波比（步驟S3）。垂直振幅的測量是這樣進行的：在各區域在搬送軌道的上方使測量單元沿工件W的搬送方向掃描，進行複數位置的測量。在本實施方式中，使用了都普勒振動計作為測量單元，但不限於此，能夠使用能夠測量振動的各種工具。　　[0064] 接著，實施將由前述振幅測量步驟得到的行進波比調整為預定值的行進波比調整步驟（與圖10所示的步驟S3（迴圈時）～步驟S9相當）。更詳細而言，該行進波比調整步驟按以下順序進行。　　[0065] 首先，判斷前述各測量區域的行進波比（TWR）中的最小值是否是作為搬送界限行進波比的0.13以上（步驟S4）。在0.13以上的情況下（流程圖上的“Y”），結束調整。否則（流程圖上的“N”），操作電相位調整單元64，來變更電相位差（步驟S5）。變更後，返回前述步驟S3。　　[0066] 若是僅變更電相位差無法實現期望的調整的情況下（例如步驟S3～S5的重複次數成為預定次數以上的情況下），操作第1振幅調整單元621及第2振幅調整單元622，來變更振幅比（步驟S6）。變更後，返回前述步驟S3。　　[0067] 若是僅變更電相位差和振幅比無法實現期望的調整的情況下（例如步驟S3～S6的重複次數成為預定次數以上的情況下），操作振動頻率調整單元63，來變更振動頻率（步驟S7）。振動頻率的變更在將0°波型的固有頻率的頻率和90°波型的固有頻率的頻率的範圍向內外擴張例如1%的範圍內進行。變更後，返回前述步驟S3。　　[0068] 若是變更電相位差、振幅比、振動頻率也無法實現期望的調整的情況下（例如步驟S3～S7的重複次數成為預定次數以上的情況下），變更振動波型的次數（步驟S8）。振動波型的次數的變更這樣進行：超過步驟S7進行的頻率的變更範圍地使頻率較大程度地變更，以能夠以波數（波長）發生改變那樣的振動波型（固有頻率）施加振動。變更後，返回前述步驟S3。　　[0069] 若是變更電相位差、振幅比、振動頻率、振動波型的次數也無法實現期望的調整的情況下（例如步驟S3～S8的重複次數成為預定次數以上的情況下），放棄藉由電操作行進波產生單元5來調整行進波比。在該情況下，藉由物理變更各搬送部31、41的構成來調整行進波比（步驟S9）。例如，通過在各搬送部31、41的背面黏貼調整板，使各搬送部31、41的一部分的振動狀態變化。　　[0070] 像這樣，能夠通過前述振幅測量步驟和行進波比調整步驟調整為形成能夠在實際使用上沒有障礙地搬送工件W的零件送料器1。　　[0071] 以上，列舉實施方式對本發明進行了說明，但是本發明不限於前述實施方式，在不脫離本發明的主旨的範圍內能夠進行各種變更。　　[0072] 另外，前述實施方式的行進波產生單元（壓電元件）5包括作為用於電絕緣的絕緣體的陶瓷部和形成在陶瓷部的兩側面的電極，通常，將在1張陶瓷部的兩側面分別黏貼電極而構成的壓電元件按所需數量黏貼於搬送部，但是，也可以如圖11的（a）、（b）、（c）那樣構成並實施。即，也可以使用陶瓷部531形成為一體的壓電元件5。在該情況下，如圖11的（a）中用“＋”、“-”所示那樣，對於每1/2波長（λ/2），其極化方向不同。並且，與陶瓷部531的兩側面中的向搬送部（導體）黏貼的黏貼面側的電極51相反的一側的電極52一體化。這樣，能夠謀求電極51、52向陶瓷部531的黏貼精度的提高以及前述相反側的電極52的公共作業的削減。另外，向搬送部（導體）黏貼的複數（圖中為8個）電極51在向搬送部（導體）黏貼時與搬送部導通而成為公共電極，因此不需要公共作業。另外，也可以將向搬送部（導體）黏貼的黏貼面側的複數（圖中為8個）電極51也一體化。但是，使複數（圖中為8個）電極51一體化的工序為製作複數（圖中為8個）電極51之後的工序，因此，從消減製造成本來考量，如圖11的（a）、（b）、（c）那樣，僅將與搬送部的黏貼面相反的一側的電極52形成為一體比較有利。　　[0073] 另外，也可以將前述實施方式的行進波產生單元（壓電元件）5如圖12的（a）、（b）那樣構成。亦即，也可以是與圖11的（a）、（b）、（c）一樣，使用將陶瓷部531形成為一體的壓電元件5。在該情況下，如圖12的（a）中用“＋”、“-”所示那樣，對於每1/2波長（λ/2），極化方向不同。這樣，能夠謀求電極51、52向陶瓷部531的黏貼精度的提高。在該情況下，向搬送部（導體）黏貼的複數（圖中為8個）電極51在向搬送部（導體）黏貼時與搬送部導通而成為公共電極，因此不需要公共作業，但是，對於與前述電極51相反一側的複數（圖中為8個）電極521，需要公共作業。　　[0074] 另外，在前述實施方式中，將複數行進波產生單元5分成兩組，由一組和另一組驅動的相位差（指示行進波產生單元5的相位差）設定為90°，但是不限於此，相位差也可以設定為其他角度。另外，也能夠將複數行進波產生單元5分為3組以上。　　[0075] 另外，在前述實施方式中，給料側的組5F所屬的複數行進波產生單元5與第1放大器611及第1振幅調整單元621相連接，返回側的組5B所屬的複數行進波產生單元5與第2放大器612及第2振幅調整單元622相連接。但是，除此之外，也能夠在複數行進波產生單元5中的各行進波產生單元5上連接放大器及振幅調整單元，能夠通過操作各振幅調整單元來調整行進波比。　　[0076] 另外，在前述實施方式中，利用行進波產生單元5在各搬送面331、431、441產生的振動的波在前述實施方式中為正弦波，但是也可以是矩形波、三角波等、其他形狀的波。　　[0077] 另外，本實施方式的各搬送部31、41形成為迴圈的形狀，但搬送部的形狀不限於此，也可以是直線狀、不迴圈一周的彎曲線狀。　　[0078] 另外，在前述實施方式中，在各搬送部31、41排列有複數行進波產生單元5，但是不限於此，例如，也可以是僅對被彈性支承的搬送部的兩端帶有相位差地施加振動，或者在一端施加振動，在另一端吸收振動，進而產生行進波。　　[0079] 另外，作為調整搬送部31、41的特定部分的剛性的其他手段，也能夠加設彈簧來調整搬送部的特定部分的剛性。

[0080]1‧‧‧工件搬送裝置、零件送料器2‧‧‧基底部3‧‧‧振動盤送料器31‧‧‧搬送部、振動盤送料器側搬送部32‧‧‧固定部（振動盤送料器）33‧‧‧搬送軌道、螺旋軌道、軌道331‧‧‧搬送面（螺旋軌道）

4:直進式送料器

41:搬送部、直進式送料器側搬送部

42:固定部(直進式送料器)

43:搬送軌道、主軌道

431:搬送面(主軌道)

44:搬送軌道、返回軌道

441:搬送面(返回軌道)

5:行進波產生單元

S1~S3:振幅測量步驟

S3~S9:行進波比調整步驟

5B:返回側的組

5F:給料側的組

6A:雙相交流信號發送器

7:剛性調整單元

34、35:縫槽

45:縫槽

51、52、521:電極

53、531:陶瓷部

61:放大器

62:電壓調整單元

63:振動頻率調整單元

64:電相位調整單元

65:波形選擇單元

71、72、73、74:板構件

332:外周端部

611:第1放大器

612:第2放大器

W:工件

[0022] 　　圖1是表示本發明的主實施方式的工件搬送裝置（零件送料器）的立體圖。　　圖2是表示前述工件搬送裝置（零件送料器）的振動盤送料器和直進式送料器的一部分的主要部分放大立體圖。　　圖3是表示主實施方式的工件搬送裝置（零件送料器）的構成的方塊圖。　　圖4是用於說明行進波比的概念的圖表。　　圖5是表示行進波比與固有頻率差比的關係的圖表。　　圖6是追加的實施方式的工件搬送裝置的方塊圖。　　圖7是直進式送料器的側視圖。　　圖8是直進式送料器的底面圖。　　圖9是另一實施方式的工件搬送裝置的方塊圖。　　圖10是調整前述工件搬送裝置（零件送料器）時的流程圖。　　圖11表示另一實施方式的行進波產生單元，其中，（a）是平面圖，（b）是側視圖，（c）是底面圖。　　圖12表示另一實施方式的行進波產生單元，其中，（a）是平面圖，（b）是側視圖。

4‧‧‧直進式送料器

5‧‧‧行進波產生單元

5B‧‧‧返回側的組

5F‧‧‧給料側的組

7‧‧‧剛性調整單元

71、72、73、74‧‧‧板構件

Claims

一種工件搬送裝置，包括：具有在載置工件的狀態下搬送工件的搬送面的搬送部；以及至少使前述搬送面產生行進波的行進波產生單元；該工件搬送裝置藉由前述行進波產生單元產生的行進波來搬送工件；其中，該工件搬送裝置更具備：調整行進波比的行進波比調整單元，該行進波比為在使前述行進波產生時，於前述搬送面交替出現振幅較大的位置和振幅較小的位置，在前述搬送面產生的振幅之中振動最小的位置的最小振幅與振動最大的位置的最大振幅之比。
如請求項1所記載的工件搬送裝置，其中，前述行進波比調整單元使行進波比為0.13以上。
如請求項1或2所記載的工件搬送裝置，其中，前述行進波比係藉由對前述行進波產生單元進行電操作來調整輸出。
如請求項1或2所記載的工件搬送裝置，其中，前述行進波產生單元在前述搬送部的工件搬送方向上的不同位置上，分成輸出相位不同的至少兩組而配置；前述行進波產生單元的前述電操作為進行：前述至少兩組中的一組所屬的前述行進波產生單元與其他組所屬的前述行進波產生單元之間的相位差的變更、前述一組所屬的前述行進波產生單元與前述其他組所屬的前述行進波產生單元之間的振幅比的變更、所有的前述行進波產生單元的振動頻率的變更之中的至少一者的操作。
如請求項1或2所記載的工件搬送裝置，其中，前述行進波比調整單元具有：調整前述搬送部的特定部分的剛性的單元、調整該搬送部的特定部分的質量的單元、調整前述搬送面的特定部分的振動的衰減特性的單元中的至少一者。
如請求項5所記載的工件搬送裝置，其中，調整前述搬送部的特定部分的剛性的單元安裝於前述搬送部的工件通過部分以外的部位，並且，由構成為能夠與該搬送部一起彈性變形的構件所形成。
一種工件搬送裝置的調整方法，前述工件搬送裝置包括：具有在載置了工件的狀態下搬送工件的搬送面的搬送部；以及至少使前述搬送面產生行進波的行進波產生單元；該工件搬送裝置藉由前述行進波產生單元產生的行進波來搬送工件；其中，該方法包括：在前述搬送面的工件搬送方向上的複數位置測量前述搬送面的垂直振幅的振幅測量步驟；以及調整行進波比的行進波比調整步驟，該行進波比為在使前述行進波產生時，於前述搬送面交替出現振幅較大的位置和振幅較小的位置，藉由振幅測量步驟得到的在前述搬送面產生的振幅之中振動最小的位置的最小振幅與振動最大的位置的最大振幅之比。