KR20180129660A

KR20180129660A - 컨트롤러 조정 시스템 및 조정 방법

Info

Publication number: KR20180129660A
Application number: KR1020180058203A
Authority: KR
Inventors: 하야토 모토하시; 도루 다카기; 후미히로 스가와라; 나오토시 다니구치
Original assignee: 아즈빌주식회사
Priority date: 2017-05-25
Filing date: 2018-05-23
Publication date: 2018-12-05
Also published as: JP2018198032A; TWI677775B; CN108958213A; KR102161039B1; TW201907258A; CN108958213B; JP6858077B2

Abstract

[과제] 존 사이의 간섭 강도를 구하여, 가열 장치의 실제 가동 시에 워크의 표면 온도를 균일하게 한다.
[해결수단] 조정 장치(7)는, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 설정하는 목표치 설정부(75)와, 제1 존의 제어량에 일시 오프셋을 더하여, 일시 오프셋의 인가 후에 제2 존에 관해서 컨트롤러(3)로부터 출력되는 조작량과, 일시 오프셋의 인가 전에 제2 존에 관해서 컨트롤러(3)로부터 출력되는 조작량에 기초하여, 제1 존이 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 산출하는 오프셋 설정부(70) 및 간섭 강도 산출부(71)와, 대상 존에 대응하는 위치에 있는, 워크 센서(4)의 온도 센서의 측정치와 목표치에 기초하여 대상 존의 오프셋을 산출하여 컨트롤러(3)에 설정하는 처리를, 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 행하는 오프셋 산출부(72) 및 오프셋 설정부(73)를 포함한다.

Description

컨트롤러 조정 시스템 및 조정 방법{CONTROLLER ADJUSTMENT SYSTEM AND ADJUSTMENT METHOD}

본 발명은, 제어 루프 사이에 간섭이 발생하는 다(多)입출력 제어계에 있어서의 컨트롤러의 조정 시스템 및 조정 방법에 관한 것이다.

종래부터, 워크를 가열 장치로 처리하는 경우, 가열 장치의 내부를 복수의 가열 존으로 나눠 가열 존마다 온도 제어를 행하고 있다. 예컨대 라미네이트 코팅 필름과 같이 평면적인 워크를 대상으로 하는 경우, 워크의 크기에 따라서 복수의 가열 존을 둘 필요가 있지만, 인접하는 가열 존에 온도 간섭과 같은 상태량 간섭이 발생하기 때문에 워크의 표면 온도를 균일하게 하기는 어렵다. 그러나, 라미네이트 코팅 필름의 경우에는 온도 얼룩이 있으면 필름의 품질이 저하하여 버린다고 하는 문제가 있다.

워크의 표면 온도를 균일하게 하는 방법으로서, 도 15에 도시한 것과 같이, 워크를 가열하는 복수의 전열체(히터나 펠티에 소자 등)(100-1∼100-9)로 이루어지는 전열 유닛(101)과 전열 유닛(101)을 제어하는 컨트롤러(102)를 포함한 가열 장치에 있어서, 전열체(100-1∼100-9)에 의해서 각각 가열되는 존(Z1∼Z9)에 대응하는 워크 표면의 각 영역에 고정밀도의 온도 센서(104-1∼104-9)를 설치한 온도 센서를 갖춘 워크(이하, 워크 센서)(103)를 이용하여 가열 시험을 행하여, 각 존(Z1∼Z9)의 워크 표면 온도를 측정하고, 그 측정 결과를 기초로 컨트롤러(102)의 제어량에 오프셋을 부여함으로써 워크의 표면 온도를 균일하게 한다고 하는 방법을 생각할 수 있다(특허문헌 1 참조).

컨트롤러의 오프셋 조정 과정에서는 존 사이의 간섭도를 유도할 필요가 있다. 그러나, 특허문헌 1에 개시된 온도 제어 장치에서는, 존 사이의 간섭도 도출 방법이 개시되어 있지 않아, 워크의 표면 온도를 균일하게 하기 위한 컨트롤러의 조정 방법을 실현할 수 없었다고 하는 문제점이 있었다.

또한, 이상과 같은 문제점은 가열 장치에 한하지 않고, 냉각 장치에 있어서도 마찬가지로 발생한다.

특허문헌 1: 일본 특허공개 평4-59371호 공보

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 존 사이의 간섭 강도를 구할 수 있어, 가열 장치의 실제 가동 시 또는 냉각 장치의 실제 가동 시에 워크의 표면 온도를 균일하게 할 수 있는 컨트롤러 조정 시스템 및 조정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 컨트롤러 조정 시스템은, 워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 목표치 설정부와, 각 존 중 하나의 제1 존의 제어량에 미리 지정된 일시 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 처리를, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하도록 구성된 일시 오프셋 설정부와, 상기 일시 오프셋의 인가 후에 상기 제1 존 이외의 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량과, 상기 일시 오프셋의 인가 전에 상기 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하도록 구성된 간섭 강도 측정부와, 오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하도록 구성된 오프셋 산출부와, 상기 대상 존의 제어량에 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 오프셋 설정부와, 미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부의 처리를 반복하여 실행시키도록 구성된 판정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템은, 워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 목표치 설정부와, 상기 컨트롤러가 출력하는 조작량을 설정하도록 구성된 조작량 설정부와, 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 상기 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 상기 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제1 존 이외의 제2 존의 제어량의 피크의 폭 및 상기 제1 존의 제어량의 피크의 폭에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 상기 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하도록 구성된 간섭 강도 측정부와, 오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하도록 구성된 오프셋 산출부와, 상기 대상 존의 제어량에 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 오프셋 설정부와, 미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부의 처리를 반복하여 실행시키도록 구성된 판정부를 포함하고, 상기 조작량 설정부는, 모든 존의 조작량을 상기 제1 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시한 후, 상기 제1 존의 조작량을 상기 제2 값으로 한 후에 상기 제3 값으로 하거나 또는 상기 제4 값으로 한 후에 상기 제5 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하고, 상기 간섭 강도의 산출이 종료된 제1 존에 관해서 조작량의 설정을 해제하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템은, 워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 목표치 설정부와, 상기 컨트롤러가 출력하는 조작량을 설정하도록 구성된 조작량 설정부와, 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 상기 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 상기 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제1 존 이외의 제2 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭 및 상기 제1 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 상기 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하도록 구성된 간섭 강도 측정부와, 오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하도록 구성된 오프셋 산출부와, 상기 대상 존의 제어량에 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 오프셋 설정부와, 미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부의 처리를 반복하여 실행시키도록 구성된 판정부를 포함하고, 상기 조작량 설정부는, 모든 존의 조작량을 상기 제1 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시한 후, 상기 제1 존의 조작량을 상기 제2 값으로 한 후에 상기 제3 값으로 하거나 또는 상기 제4 값으로 한 후에 상기 제5 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하고, 상기 간섭 강도의 산출이 종료된 제1 존에 관해서 조작량의 설정을 해제하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 간섭 강도 측정부는, 상기 일시 오프셋의 인가 후에 상기 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량을 Aij, 상기 일시 오프셋의 인가 전에 상기 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량을 Bij, 상기 일시 오프셋을 S로 했을 때, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 |(Aij-Bij)/S|에 의해 산출하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 간섭 강도 측정부는, 각 존의 조작량이 상기 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 상기 제1 존의 조작량이 상기 제2 값으로 변경된 후에 상기 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 상기 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 상기 제1 존의 조작량이 상기 제4 값으로 변경된 후에 상기 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제2 존의 제어량의 피크의 폭을 Pij, 상기 제1 존의 제어량의 피크의 폭을 Pii로 했을 때, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 Pij/Pii에 의해 산출하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 간섭 강도 측정부는, 각 존의 조작량이 상기 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 상기 제1 존의 조작량이 상기 제2 값으로 변경된 후에 상기 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 상기 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 상기 제1 존의 조작량이 상기 제4 값으로 변경된 후에 상기 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제2 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭을 Pij, 상기 제1 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭을 Pii로 했을 때, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 Pij/Pii에 의해 산출하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 오프셋 산출부는, 각 존에 관해서 각각 상기 오프셋의 조정을 복수 회 행하는 경우에, 직전의 조정까지의 상기 오프셋을 전부 유지한 상태에서 상기 대상 존의 제어량에 더욱 더하는 오프셋을 산출하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 판정부는, 각 존에 관해서 상기 오프셋의 조정을 실행한 후의 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치끼리의 차가 미리 정해진 범위 내인 경우에, 상기 오프셋 조정 종료 조건이 성립되었다고 판정하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 판정부는, 각 존의 상기 오프셋의 조정의 실행 횟수가 미리 정해진 횟수에 도달한 경우에, 상기 오프셋 조정 종료 조건이 성립되었다고 판정하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 일시 오프셋 설정부는, 모든 존에 관해서 순차적으로 상기 일시 오프셋의 인가를 행할 때에, 미리 등록된 복수의 존을 동시에 상기 제1 존으로 하고, 상기 오프셋 산출부는, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 상기 오프셋의 산출을 행할 때에, 상기 등록된 복수의 존을 동시에 상기 대상 존으로 하여, 이들 대상 존의 각각에 관해서 상기 오프셋을 산출하고, 상기 오프셋 설정부는, 상기 등록된 복수의 존의 제어량에, 각각 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 대응하는 오프셋을 동시에 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 조작량 설정부는, 모든 존에 관해서 순차적으로 상기 조작량의 설정을 행할 때에, 미리 등록된 복수의 존을 동시에 상기 제1 존으로 하고, 상기 오프셋 산출부는, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 상기 오프셋의 산출을 행할 때에, 상기 등록된 복수의 존을 동시에 상기 대상 존으로 하여, 이들 대상 존의 각각에 관해서 상기 오프셋을 산출하고, 상기 오프셋 설정부는, 상기 등록된 복수의 존의 제어량에, 각각 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 대응하는 오프셋을 동시에 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 목표치 설정부와 상기 일시 오프셋 설정부와 상기 간섭 강도 측정부와 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부와 상기 판정부는, 미리 등록된 복수의 상기 목표치의 각각에 관해서 처리를 행하고, 상기 오프셋을 존마다 및 목표치마다 기억하도록 구성된 기억부와, 이 기억부에 기억되어 있는 오프셋을 기초로, 오프셋 조정을 행하지 않은 목표치에 관해서 오프셋을 존마다 선형 보간에 의해 산출하여, 상기 기억부에 기억시키도록 구성된 보간부를 더 포함하고, 상기 오프셋 설정부는, 상기 가열 장치의 실제 가동 시 또는 상기 냉각 장치의 실제 가동 시에, 각 존의 제어량과 동일한 값의 목표치에 대응하는 오프셋을 상기 기억부로부터 취득하여 상기 컨트롤러에 설정하는 것을 존마다 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 시스템의 1 구성예에 있어서, 상기 목표치 설정부와 상기 조작량 설정부와 상기 간섭 강도 측정부와 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부와 상기 판정부는, 미리 등록된 복수의 상기 목표치의 각각에 관해서 처리를 행하고, 상기 오프셋을 존마다 및 목표치마다 기억하도록 구성된 기억부와, 이 기억부에 기억되어 있는 오프셋을 기초로, 오프셋 조정을 행하지 않은 목표치에 관해서 오프셋을 존마다 선형 보간에 의해 산출하여, 상기 기억부에 기억시키도록 구성된 보간부를 더 포함하고, 상기 오프셋 설정부는, 상기 가열 장치의 실제 가동 시 또는 상기 냉각 장치의 실제 가동 시에, 각 존의 제어량과 동일한 값의 목표치에 대응하는 오프셋을 상기 기억부로부터 취득하여 상기 컨트롤러에 설정하는 것을 존마다 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 방법은, 워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제1 단계와, 각 존 중 하나의 제1 존의 제어량에 미리 지정된 일시 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 처리를, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하는 제2 단계와, 상기 일시 오프셋의 인가 후에 상기 제1 존 이외의 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량과, 상기 일시 오프셋의 인가 전에 상기 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하는 제3 단계와, 오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하는 제4 단계와, 상기 대상 존의 제어량에 상기 제4 단계에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제5 단계와, 미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 제4 단계와 상기 제5 단계의 처리를 반복하여 실행시키는 제6 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 방법은, 워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제1 단계와, 상기 컨트롤러가 출력하는 조작량을 설정하는 제2 단계와, 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 상기 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 상기 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제1 존 이외의 제2 존의 제어량의 피크의 폭 및 상기 제1 존의 제어량의 피크의 폭에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 상기 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하는 제3 단계와, 오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하는 제4 단계와, 상기 대상 존의 제어량에 상기 제4 단계에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제5 단계와, 미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 제4 단계와 상기 제5 단계의 처리를 반복하여 실행시키는 제6 단계를 포함하고, 상기 제2 단계는, 모든 존의 조작량을 상기 제1 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 단계와, 상기 제1 존의 조작량을 상기 제2 값으로 한 후에 상기 제3 값으로 하거나 또는 상기 제4 값으로 한 후에 상기 제5 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하는 단계와, 상기 간섭 강도의 산출이 종료된 제1 존에 관해서 조작량의 설정을 해제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

또한, 본 발명의 컨트롤러 조정 방법은, 워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제1 단계와, 상기 컨트롤러가 출력하는 조작량을 설정하는 제2 단계와, 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 상기 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 상기 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제1 존 이외의 제2 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭 및 상기 제1 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 상기 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하는 제3 단계와, 오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하는 제4 단계와, 상기 대상 존의 제어량에 상기 제4 단계에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제5 단계와, 미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 제4 단계와 상기 제5 단계의 처리를 반복하여 실행시키는 제6 단계를 포함하고, 상기 제2 단계는, 모든 존의 조작량을 상기 제1 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 단계와, 상기 제1 존의 조작량을 상기 제2 값으로 한 후에 상기 제3 값으로 하거나 또는 상기 제4 값으로 한 후에 상기 제5 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하는 단계와, 상기 간섭 강도의 산출이 종료된 제1 존에 관해서 조작량의 설정을 해제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 따르면, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 한 상태에서, 제1 존의 제어량에 일시 오프셋을 더하고, 일시 오프셋의 인가 후에 제2 존에 관해서 컨트롤러로부터 출력되는 조작량과, 일시 오프셋의 인가 전에 제2 존에 관해서 컨트롤러로부터 출력되는 조작량에 기초하여, 제1 존이 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하고, 대상 존에 대응하는 위치에 있는 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 목표치에 기초하여 대상 존의 오프셋을 산출하여 컨트롤러에 설정하는 처리를, 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행함으로써, 존 사이의 간섭 강도를 구할 수 있어, 가열 장치의 실제 가동 시 또는 냉각 장치의 실제 가동 시에 워크의 표면 온도를 균일하게 할 수 있다. 또한, 본 발명에서는, 제어를 행한 상태에서 제어량의 일시 오프셋을 더하기 때문에, 간섭 강도의 취득까지의 기간을 단축할 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 제1 존의 조작량이 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 제1 존의 조작량이 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 제2 존의 제어량의 피크의 폭 및 제1 존의 제어량의 피크의 폭에 기초하여, 제1 존이 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하여, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 설정하고, 대상 존에 대응하는 위치에 있는 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 목표치에 기초하여 대상 존의 오프셋을 산출하여 컨트롤러에 설정하는 처리를, 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행함으로써, 존 사이의 간섭 강도를 구할 수 있고, 가열 장치의 실제 가동 시 또는 냉각 장치의 실제 가동 시에 워크의 표면 온도를 균일하게 할 수 있다. 또한, 본 발명에서는, 제1 존의 조작량을 제2 값/제3 값으로 전환하고, 제1, 제2 존의 제어량이 셋팅될 때까지 기다리지 않고서 제어량의 편차량으로부터 간섭 강도를 산출하기 때문에, 간섭 강도의 취득까지의 기간을 단축할 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 제1 존의 조작량이 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 제1 존의 조작량이 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 제2 존에 대응하는 위치에 있는 온도 센서의 측정치의 피크의 폭 및 제1 존에 대응하는 위치에 있는 온도 센서의 측정치의 피크의 폭에 기초하여, 제1 존이 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하여, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 설정하고, 대상 존에 대응하는 위치에 있는 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 목표치에 기초하여 대상 존의 오프셋을 산출하여 컨트롤러에 설정하는 처리를, 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행함으로써, 존 사이의 간섭 강도를 구할 수 있어, 가열 장치의 실제 가동 시 또는 냉각 장치의 실제 가동 시에 워크의 표면 온도를 균일하게 할 수 있다. 또한, 본 발명에서는, 제1 존의 조작량을 제2 값/제3 값으로 전환하고, 제1, 제2 존에 대응하는 위치에 있는 온도 센서의 측정치가 셋팅될 때까지 기다리지 않고서 측정치의 편차량으로부터 간섭 강도를 산출하기 때문에, 간섭 강도의 취득까지의 기간을 단축할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가열 장치의 컨트롤러 조정 시스템의 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 가열 장치의 전열 유닛의 가열부의 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 컨트롤러 조정 시스템의 조정 장치의 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 컨트롤러 조정 시스템의 동작을 설명하는 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 가열 장치의 컨트롤러 조정 시스템의 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 컨트롤러 조정 시스템의 조정 장치의 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 컨트롤러 조정 시스템의 동작을 설명하는 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 있어서의 간섭 강도의 측정 처리를 설명하는 도면이다.
도 9는 가열 장치의 존의 별도의 배치예를 도시하는 평면도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 가열 장치의 컨트롤러 조정 시스템의 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 컨트롤러 조정 시스템의 조정 장치의 구성을 도시하는 블럭도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 컨트롤러 조정 시스템의 동작을 설명하는 흐름도이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 조정 장치의 보간부의 보간 처리를 설명하는 도면이다.
도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 가열 장치의 실제 가동 시에 있어서의 컨트롤러 조정 시스템의 동작을 설명하는 흐름도이다.
도 15는 컨트롤러의 오프셋 조정 방법에 관해서 설명하는 도면이다.

[제1 실시예]

이하 본 발명의 실시예에 관해서 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가열 장치의 컨트롤러 조정 시스템의 구성을 도시하는 블럭도이다. n개(n은 자연수, 본 실시예에서는 n=9)의 존(Z1∼Z9)의 각각에 워크(14)를 가열하는 가열부(1-1∼1-9)를 포함한 전열 유닛(2)과 전열 유닛(2)을 가열부(1-1∼1-9)마다(존마다) 제어하는 컨트롤러(3)는 가열 장치를 구성하고 있다.

컨트롤러 조정 시스템은, 존(Z1∼Z9)에 대응하는 워크 표면의 각 영역에 각각 온도 센서(5-1∼5-9)를 설치한 워크 센서(4)와, 온도 센서(5-1∼5-9)로부터 측정치(워크 표면 온도 측정치[℃])를 취득하는 측정기(6)와, 측정기(6)의 측정 결과를 토대로 컨트롤러(3)의 오프셋 조정을 행하는 조정 장치(7)로 구성된다.

도 2는 전열 유닛(2)의 가열부(1-1)의 구성을 도시하는 블럭도이다. 가열부(1-1)는, 히터나 펠티에 소자 등의 전열체(10)와, 컨트롤러(3)로부터의 조작량에 따라서 전열체(10)에 전력을 공급하는 전력 조정기나 제어용 릴레이 등의 전력 제어기(11)와, 전열체(10)의 온도[℃]를 검출하는 온도 센서(12)로 구성된다. 도 2의 예에서는 가열부(1-1)의 구성만을 도시하고 있지만, 다른 가열부(1-2∼1-9)의 구성도 가열부(1-1)와 마찬가지다.

컨트롤러(3)는, 전열 유닛(2)의 가열부(1-1∼1-9)의 각 온도 센서(12)가 계측한 제어량(온도)(PV1∼PV9)이 각각 목표치(온도 설정치)(SP1∼SP9)와 일치하도록 조작량(MV1∼MV9)을 산출한다. 전열 유닛(2)의 가열부(1-1∼1-9)의 각 전력 제어기(11)는 각각 조작량(MV1∼MV9)에 따른 전력을 가열부(1-1∼1-9)의 전열체(10)에 공급한다. 본 실시예의 가열 장치에 있어서는, 제어량(PV1∼PV9)을 제어하는 제어 루프가 n=9개 형성되어 있게 된다. 컨트롤러(3)의 제어 연산 알고리즘으로서는 예컨대 PID가 있다. 이러한 컨트롤러(3)의 온도 제어 동작은 주지된 기술이기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

또한, 각 가열부(1-1∼1-9)의 전력 제어기(11)를 컨트롤러(3)의 내부에 설치하도록 하여도 좋다.

워크 센서(4)는 워크(14)의 표면에 존(Z1∼Z9)마다 온도 센서(5-1∼5-9)를 설치한 것이다. 워크(14)가 예컨대 라미네이트 코팅 필름인 경우, 워크(14)에 온도 센서(5-1∼5-9)를 고정하는 방법으로서는 예컨대 테이프에 의한 점착이 있다. 또한, 워크 센서(4)는 컨트롤러(3)의 조정 시에 사용되는 것으로, 가열 장치의 실제 가동 시의 워크(14)에는 온도 센서(5-1∼5-9)를 설치하지 않음은 물론이다.

도 3은 조정 장치(7)의 구성을 도시하는 블럭도이다. 조정 장치(7)는 일시 오프셋 설정부(70)와 간섭 강도 측정부(71)와 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)와 판정부(74)와 목표치 설정부(75)와 기억부(76)로 구성된다.

또한, 컨트롤러(3)의 처리 능력에 여유가 있으면, 조정 장치(7)를 컨트롤러(3)의 내부에 설치하도록 하여도 좋다.

도 4는 본 실시예의 컨트롤러 조정 시스템의 동작을 설명하는 흐름도이다. 맨 처음에, 조정 장치(7)의 목표치 설정부(75)는, 모든 존(Z1∼Z9)의 목표치(SP)[℃]를 동일한 값으로 하여, 일정한 목표치(SP)로 온도 제어를 행하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(도 4의 단계 S100). 이 때, 컨트롤러(3)에 설정하는 목표치(SP)는, 가열 장치의 실제 가동 시에 워크(14)를 가열 처리할 때의 목표치인 것이 바람직하다.

이어서, 조정 장치(7)의 일시 오프셋 설정부(70)와 간섭 강도 측정부(71)는, 가열 장치의 각 존(Z1∼Z9)이 다른 존에 부여하는 온도 간섭의 강도(C)를 측정한다(도 4의 단계 S101∼S105). 구체적으로는, 일시 오프셋 설정부(70)는, 각 존(Z1∼Z9)의 제어량(온도)(PV1∼PV9)이 셋팅되어 있는 상황에서, 존(Z1∼Z9) 중 하나의 제1 존(Zi)(i=1∼n)의 제어량(PVi)에 미리 지정된 양의 일시 오프셋(S)[℃]을 더하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(도 4의 단계 S102).

이 경우, 컨트롤러(3)는, 제1 존(Zi)에 관해서는, 가열부(1-i)의 온도 센서(12)가 계측한 제어량(PVi)에 일시 오프셋(S)을 더한 값이 목표치(SP)와 일치하도록 조작량(MVi)을 산출한다. 또한, 컨트롤러(3)는, 제1 존(Zi) 이외의 제2 존(Zj)(j=1∼n, i≠j)에 관해서는, 가열부(1-j)의 온도 센서(12)가 계측한 제어량(PVj)이 목표치(SP)와 일치하도록 조작량(MVj)을 산출한다.

간섭 강도 측정부(71)는, 일시 오프셋(S) 인가 후의 온도 제어에 의해서 제1 존(Zi) 이외의 제2 존(Zj)의 제어량(PVj)이 셋팅되었을 때의 제2 존(Zj)의 조작량 MVj=Aij과 일시 오프셋(S)의 인가 전에 제어량(PVj)이 셋팅되어 있었을 때의 제2 존(Zj)의 조작량 MVj=Bij에 기초하여, 제1 존(Zi)이 제2 존(Zj)에 부여하는 간섭 강도(Cij)를 다음 식과 같이 산출한다(도 4의 단계 S103).

Cij=|(Aij-Bij)/S| ··· (1)

일시 오프셋 설정부(70)와 간섭 강도 측정부(71)는, 이러한 간섭 강도(Cij)의 측정 처리를, i=1, 즉 존(Z1)을 제1 존(Zi)으로 하여 행한다(도 4의 단계 S101∼S103). 그리고, 일시 오프셋 설정부(70)는, 이 측정의 종료 후에, 각 존(Z1∼Z9)을 제1 존(Zi)으로 하는 간섭 강도(Cij)의 측정 처리가 끝났는지 여부를 판정한다(도 4의 단계 S104).

일시 오프셋 설정부(70)는, 단계 S104에 있어서 i<n, 즉 각 존(Z1∼Z9)을 제1 존(Zi)으로 하는 간섭 강도(Cij)의 측정 처리가 끝나지 않은 경우에는, i=i+1로 하고(도 4의 단계 S105), 단계 S102로 되돌아가, 다음 제1 존(Zi)에 관해서 간섭 강도(Cij)의 측정 처리를 행한다.

이 때, 일시 오프셋 설정부(70)는, 간섭 강도(Cij)의 측정 처리가 끝난 존에 관해서는 이 존의 제어량(PVi)에 더해져 있었던 일시 오프셋(S)을 0으로 되돌린다.

이렇게 해서, 단계 S104에 있어서 i=n이 되어, 각 존(Z1∼Z9)을 제1 존(Zi)으로 하는 간섭 강도(Cij)의 측정 처리가 끝날 때까지, 제1 존(Zi)을 바꾸면서 단계 S102∼S105의 처리를 반복하여 실행한다. 예컨대 존(Z1)을 제1 존(Zi)으로 하는 측정에서는, C12, C13, C14, C15, C16, C17, C18, C19의 8개의 간섭 강도를 얻을 수 있다. 또한, 존(Z2)을 제1 존(Zi)으로 하는 측정에서는, C21, C23, C24, C25, C26, C27, C28, C29의 8개의 간섭 강도를 얻을 수 있다.

단계 S103에 있어서 i=n이 되어, 각 존(Z1∼Z9)을 제1 존(Zi)으로 하는 간섭 강도(C)의 측정 처리가 끝나면, 조정 장치(7)의 오프셋 산출부(72)는, 간섭 강도 측정부(71)가 측정한 간섭 강도(C)가 가장 큰 존을 오프셋 조정의 대상 존(Zk)(k=1∼n)으로 하여, 이 대상 존(Zk)의 제어량(PVk)에 더하는 오프셋(Gk)[℃]을 다음 식과 같이 산출한다(도 4의 단계 S106).

Gk=a×(Wk-SP) ··· (2)

식(2)의 a는 점근 수속을 빠르게 하기 위한 미리 정해진 계수(a>0), Wk는 대상 존(Zk)에 대응하는 위치에 있는, 워크 센서(4)의 온도 센서(5-k)의 셋팅 시의 측정치이다. 조정 장치(7)의 기억부(76)는, 오프셋 산출부(72)가 산출한 오프셋(G)을 존마다 및 오프셋 조정의 실시 회마다 기억한다.

조정 장치(7)의 오프셋 설정부(73)는, 오프셋 산출부(72)가 산출한 오프셋(Gk)을 대상 존(Zk)의 제어량(PVk)에 더하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(도 4의 단계 S107).

또한, 본 실시예의 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)에 의한 오프셋 조정에서는, 후술하는 것과 같이 복수 회의 오프셋 조정을 행하는 경우, 직전의 조정까지의 오프셋(G)을 전부 유지한 상태에서 더 한층 오프셋 조정을 행한다. 예컨대 1회째의 오프셋 조정인 경우, 오프셋 설정부(73)는, 상기한 대로 오프셋 산출부(72)가 산출한 오프셋(Gk)을 존(Zk)의 제어량(PVk)에 더하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(단계 S107).

이에 따라, 컨트롤러(3)는, 존(Zk)에 관해서는, 가열부(1-k)의 온도 센서(12)가 계측한 제어량(PVk)에 오프셋 설정부(73)로부터 지시된 오프셋(Gk)을 더한 값이 목표치(SP)와 일치하도록 조작량(MVk)을 산출한다. 또한, 컨트롤러(3)는, 1회째의 오프셋 조정이 아직 끝나지 않은 존(Zm)(m=1∼n)에 관해서는 가열부(1-m)의 온도 센서(12)가 계측한 제어량(PVm)이 목표치(SP)와 일치하도록 조작량(MVm)을 산출한다.

2회째 이후의 오프셋 조정의 경우, 오프셋 설정부(73)는, 오프셋 조정의 대상 존(Zk)에 관해서는, 직전까지의 오프셋 조정에서 얻어진 상기 존(Zk)의 오프셋의 값을 기억부(76)로부터 전부 취득하여, 직전까지의 오프셋 조정에서 얻어진 상기 존(Zk)의 총계의 오프셋에 오프셋 산출부(72)가 이번에 산출한 최신의 오프셋(Gk)을 더한 값을, 존(Zk)의 제어량(PVk)에 더하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(단계 S107).

이에 따라, 컨트롤러(3)는, 존(Zk)에 관해서는, 가열부(1-k)의 온도 센서(12)가 계측한 제어량(PVk)에 오프셋 설정부(73)로부터 지시된 오프셋을 더한 값이 목표치(SP)와 일치하도록 조작량(MVk)을 산출한다. 또한, 컨트롤러(3)는, 이번의 오프셋 조정이 아직 끝나지 않은 존(Zm)(m=1∼n)에 관해서는, 가열부(1-m)의 온도 센서(12)가 계측한 제어량(PVm)에 직전의 오프셋 조정에서 오프셋 설정부(73)로부터 지시된 오프셋을 더한 값이 목표치(SP)와 일치하도록 조작량(MVm)을 산출한다.

오프셋 산출부(72)는, 모든 존(Z1∼Z9)에 관해서 오프셋의 조정 처리가 끝났는지 여부를 판정한다(도 4의 단계 S108). 오프셋 산출부(72)는, 미처리의 존이 남아 있는 경우에는, 단계 S106으로 되돌아가, 이어서 간섭 강도(C)가 큰 존을 대상 존(Zk)으로 하여 오프셋을 조정한다.

이렇게 해서, 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)는, 간섭 강도(C)가 큰 존에서부터 순차적으로 컨트롤러(3)의 오프셋을 조정한다. 또한, 하나의 존에 관해서 오프셋을 조정하면 다른 존의 온도 센서(5)의 측정치가 변화되기 때문에, 이어서 간섭 강도(C)가 큰 존에 관해서 오프셋을 조정하려면 온도 센서(5)의 측정치가 셋팅될 때까지 기다릴 필요가 있다.

모든 존(Z1∼Z9)에 관해서 컨트롤러(3)의 오프셋 조정을 실행한 후(단계 S108에서 '예'), 조정 장치(7)의 판정부(74)는 오프셋 조정 종료 조건이 성립되었는지 여부를 판정한다(도 4의 단계 S109).

오프셋 조정 종료 조건으로서는 워크 센서 온도의 요구 정밀도와 오프셋 조정의 횟수가 있다.

구체적으로는, 판정부(74)는, 오프셋 조정 실행 후의 각 온도 센서(5-1∼5-9)의 셋팅 시의 측정치끼리의 차가 미리 정해진 범위(예컨대 ±0.1℃) 내인 경우에, 요구 정밀도가 실현되고, 오프셋 조정 종료 조건이 성립되었다고 판정하고, 각 온도 센서(5-1∼5-9)의 측정치끼리의 차 중 적어도 하나가 미리 정해진 범위 밖인 경우에, 오프셋 조정 종료 조건이 성립되지 않았다고 판정하면 된다. 혹은, 판정부(74)는, 오프셋 조정의 실행 횟수가 미리 정해진 횟수에 도달한 경우에 오프셋 조정 종료 조건이 성립되었다고 판정하고, 오프셋 조정의 실행 횟수가 미리 정해진 횟수에 도달하지 않은 경우에 오프셋 조정 종료 조건이 성립되지 않았다고 판정하도록 하여도 좋다.

판정부(74)는, 오프셋 조정 종료 조건이 성립되지 않은 경우(단계 S109에서 '아니오'), 단계 S106으로 되돌아가, 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)에 재차 컨트롤러(3)의 오프셋 조정을 실행시킨다.

이렇게 해서, 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 단계 S106∼S109의 처리를 반복하여 실행함으로써, 워크 센서(4)의 각 온도 센서(5-1∼5-9)의 측정치를 점근적으로 가지런하게 맞출 수 있다.

상기한 대로, 본 실시예의 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)에 의한 오프셋 조정에서는, 복수 회의 오프셋 조정을 행하는 경우, 직전의 조정까지의 오프셋을 전부 유지한 상태에서 한층 더 오프셋 조정을 행한다. 따라서, 예컨대 존(Z1)의 1회째의 오프셋이 G1_1이고, 2회째의 오프셋 조정을 행하는 경우에는, 이 오프셋(G1_1)을 존(Z1)의 제어량(PV1)에 더한 상태에서, 존(Z1)의 2회째의 오프셋(G1_2)을 구하고, 3회째의 오프셋 조정을 행하는 경우에는, 이 오프셋(G1_2)과 1회째의 오프셋(G1_1)을 존(Z1)의 제어량(PV1)에 더한 상태에서, 존(Z1)의 3회째의 오프셋(G1_3)을 구하게 된다. 오프셋 조정을 3회 실행하여 오프셋 조정 종료 조건이 성립되었다고 한다면, 존(Z1)의 제어량(PV1)에 더하는 최종적인 오프셋은 G1_1+G1_2+G1_3이 된다.

오프셋 조정 종료 조건이 성립된 시점에서(단계 S109에서 '예'), 컨트롤러 조정 시스템의 동작이 종료된다. 컨트롤러 조정 시스템에 의해서 컨트롤러(3)에 설정된 오프셋의 값은 가열 장치의 실제 가동 시에 있어서도 그대로 유지된다.

이상과 같이 하여, 본 실시예에서는, 존 사이의 간섭 강도를 구할 수 있어, 가열 장치의 실제 가동 시에 워크(14)의 표면 온도를 균일하게 할 수 있는 컨트롤러(3)의 오프셋 조정을 실현할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 제어를 행한 상태에서 제어량(PV)의 일시 오프셋(S)을 더하기 때문에, 일시 오프셋(S)이 더해진 후의 제어량(PV)이 셋팅될 때까지의 시간이 짧게 끝난다. 이 때문에, 본 실시예에서는 간섭 강도의 취득까지의 기간을 단축할 수 있다.

[제2 실시예]

이어서, 본 발명의 제2 실시예에 관해서 설명한다. 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 가열 장치의 컨트롤러 조정 시스템의 구성을 도시하는 블럭도이고, 도 1과 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙여 둔다. 본 실시예의 컨트롤러 조정 시스템은 워크 센서(4)와 측정기(6)와 조정 장치(7a)로 구성된다.

도 6은 본 실시예의 조정 장치(7a)의 구성을 도시하는 블럭도이다. 조정 장치(7a)는 간섭 강도 측정부(71a)와 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)와 판정부(74)와 목표치 설정부(75)와 기억부(76)와 조작량 설정부(77)로 구성된다.

제1 실시예와 마찬가지로, 컨트롤러(3)의 처리 능력에 여유가 있으면, 조정 장치(7a)를 컨트롤러(3)의 내부에 설치하도록 하여도 좋다.

도 7은 본 실시예의 컨트롤러 조정 시스템의 동작을 설명하는 흐름도이다. 맨 처음에, 조정 장치(7a)의 목표치 설정부(75)는, 모든 존(Z1∼Z9)의 목표치(SP)[℃]를 동일한 값으로 하여, 일정한 목표치(SP)로 온도 제어를 행하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(도 7의 단계 S200). 이 때, 컨트롤러(3)에 설정하는 목표치(SP)는, 가열 장치의 실제 가동 시에 워크(14)를 가열 처리할 때의 목표치인 것이 바람직하다.

이어서, 조정 장치(7a)의 조작량 설정부(77)는, 모든 존(Z1∼Z9)의 조작량(MV1∼MV9)을 동일한 값(MVcom)(제1 값)으로 하여, 일정한 조작량(MV1∼MV9)의 출력으로 온도 제어를 행하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(도 7의 단계 S201). 이에 따라, 단계 S200에서 설정된 목표치(SP)에 따른 컨트롤러(3)의 제어 연산에 의한 조작량 출력은 무효가 된다.

이어서, 조정 장치(7a)의 조작량 설정부(77)와 간섭 강도 측정부(71a)는, 가열 장치의 각 존(Z1∼Z9)이 다른 존에 부여하는 간섭 강도(C)를 측정한다(도 7의 단계 S202∼S208). 구체적으로는, 조작량 설정부(77)는, 존(Z1∼Z9) 중 하나의 제1 존(Zi)(i=1∼n, 본 실시예에서는 n=9)의 조작량(MVi)을 미리 지정된 제2 값(HIGH)으로 하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(도 7의 단계 S203). 이어서, 조작량 설정부(77)는, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)을 HIGH로 한 후에, 제1 존(Zi)의 제어량(PVi)이 미리 지정된 제1 임계치(TH1)를 상승 통과한 타이밍에 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)을 미리 지정된 제3 값(LOW)(LOW<HIGH)으로 하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(도 7의 단계 S204).

또한, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)을 HIGH로 하고 나서 미리 정해진 시간 후에 LOW로 하도록 하여도 좋다. 조작량 MVi=LOW는 다른 존의 조작량(MVcom)보다 낮은 값이다. 조작량 MVi=HIGH는 다른 존의 조작량(MVcom)보다 높은 값으로 할 필요가 있다.

간섭 강도 측정부(71a)는, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=HIGH로 변경된 후에 MVi=LOW로 변경되었을 때의 제1 존(Zi) 이외의 제2 존(Zj)(j=1∼n, i≠j)의 제어량(PVj)의 피크의 상승 폭(MVi=HIGH로 변경되기 전의 제어량(PVj)에 대한 상승 폭)(Pij)과, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=HIGH로 변경된 후에 MVi=LOW로 변경되었을 때의 제1 존(Zi)의 제어량(PVi)의 피크의 상승 폭(MVi=HIGH로 변경되기 전의 제어량(PVi)에 대한 상승 폭)(Pii)에 기초하여, 제1 존(Zi)이 제2 존(Zj)에 부여하는 간섭 강도(Cij)를 다음 식과 같이 산출한다(도 7의 단계 S205).

Cij=Pij/Pii ··· (3)

그리고, 조작량 설정부(77)는, 간섭 강도(Cij)의 산출이 종료된 제1 존(Zi)에 관해서 조작량(MVi)의 설정을 해제하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다(도 7의 단계 S206). 구체적으로는, 조작량 설정부(77)는, 제1 존(Zi)의 제어량(PVi)이 미리 지정된 제2 임계치(TH2)(TH2<TH1)를 하강 통과한 타이밍에 제1 존(Zi)에 관해서 조작량(MVi)의 설정을 해제하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시한다. 이에 따라, 이 존의 조작량(MV)은 제어 연산에 기초한 조작량으로 된다. 즉, 컨트롤러(3)는, 조작량(MV)의 설정이 해제된 존의 제어량(PV)이 단계 S200에서 설정된 목표치(SP)와 일치하도록 조작량(MV)을 산출한다.

조작량 설정부(77)와 간섭 강도 측정부(71a)는, 이러한 간섭 강도(Cij)의 측정 처리를 i=1, 즉 존(Z1)을 제1 존(Zi)으로 하여 행한다(도 7의 단계 S202∼S206). 그리고, 조작량 설정부(77)는, 이 측정의 종료 후에, 각 존(Z1∼Z9)을 제1 존(Zi)으로 하는 간섭 강도(Cij)의 측정 처리가 끝났는지 여부를 판정한다(도 7의 단계 S207).

조작량 설정부(77)는, 단계 S207에 있어서 i<n, 즉 각 존(Z1∼Z9)을 제1 존(Zi)으로 하는 간섭 강도(Cij)의 측정 처리가 끝나지 않은 경우에는 i=i+1로 하고(도 7의 단계 S208), 단계 S203으로 되돌아가, 다음 제1 존(Zi)에 관해서 간섭 강도(Cij)의 측정 처리를 행한다.

이렇게 해서, 단계 S207에 있어서 i=n이 되어, 각 존(Z1∼Z9)을 제1 존(Zi)으로 하는 간섭 강도(Cij)의 측정 처리가 끝날 때까지, 제1 존(Zi)을 바꾸면서 단계 S203∼S206의 처리를 반복하여 실행한다. 도 8은 이상의 간섭 강도(C)의 측정 처리를 설명하는 도면이다. 도 8의 예에서는, 시각 t1에 있어서 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=HIGH로 변경되고, 시각 t2에 있어서 MVi=LOW로 변경되고, 또한 시각 t3에 있어서 조작량(MVi)의 설정이 해제되고 있다.

또한, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=HIGH로 변경된 후에 MVi=LOW로 변경되었을 때의 제2 존(Zj)에 대응하는 위치에 있는, 워크 센서(4)의 온도 센서(5-j)의 측정치(Wj)의 피크의 상승 폭(MVi=HIGH로 변경되기 전의 측정치(Wj)에 대한 상승 폭)을 Pij로 하고, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=HIGH로 변경된 후에 MVi=LOW로 변경되었을 때의 제1 존(Zi)에 대응하는 위치에 있는, 워크 센서(4)의 온도 센서(5-i)의 측정치(Wi)의 피크의 상승 폭(MVi=HIGH로 변경되기 전의 측정치(Wi)에 대한 상승 폭)을 Pii로 하여, 식(3)의 간섭 강도(Cij)를 산출하여도 좋다.

단계 S207에 있어서 i=n이 되어, 각 존(Z1∼Z9)을 제1 존(Zi)으로 하는 간섭 강도(C)의 측정 처리가 끝나면, 각 존(Z1∼Z9)의 조작량(MV1∼MV9)을 MVcom에 고정한 상태가 전부 해제되게 된다. 상기한 대로, 컨트롤러(3)는, 전열 유닛(2)의 가열부(1-1∼1-9)의 각 온도 센서(12)가 계측한 제어량(PV1∼PV9)이 각각 목표치(SP)와 일치하도록 조작량(MV1∼MV9)을 산출한다.

도 7의 단계 S209∼S212의 오프셋 조정 처리는 제1 실시예의 단계 S106∼S109의 처리와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.

이렇게 해서, 본 실시예에서는 제1 실시예와 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)을 HIGH/LOW로 전환하는 동작은 리밋트사이클법에 의한 컨트롤러(3)의 오토 튜닝 동작과 마찬가지다. 따라서, 본 실시예에서는 범용의 컨트롤러를 이용할 수 있기 때문에 시스템 구축이 용이하고, 범용의 컨트롤러를 이용하는 가열 장치에 본 실시예를 용이하게 적용할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)을 HIGH/LOW로 전환하여, 제어량(PVi, PVj)이나 온도 센서(5-i, 5-j)의 측정치(Wi, Wj)가 셋팅될 때까지 기다리지 않고서 제어량(PVi, PVj)이나 측정치(Wi, Wj)의 편차량으로부터 간섭 강도를 산출하기 때문에, 간섭 강도의 취득까지의 기간을 단축할 수 있다.

또한, 제1, 제2 실시예에 있어서, 가열 장치의 존(Z1∼Z6)이 도 9에 도시한 것과 같은 평면 배치로 되어 있는 경우, 존(Z2∼Z5)은 존(Z1)이나 존(Z6)에 대하여 대칭으로 배치되어 있다. 이 경우, 존(Z1∼Z5)의 가열부(1-1∼1-5)의 각 전열체(10)의 전열 능력이 같은 정도인 경우에는, 존(Z1∼Z5)의 각각이 다른 존에 부여하는 간섭의 강도도 같은 정도라고 생각된다.

그래서, 제1 실시예의 일시 오프셋 설정부(70)는, 존(Z1∼Z5)의 제어량(PV1∼PV5)에 더하는 일시 오프셋(S)을 동일한 값으로 하고, 존(Z1∼Z5)을 제1 존으로 하여, 단계 S102의 처리를 존(Z1∼Z5)에 관해서 한 번에 행하도록 하여도 좋다. 제1 실시예에서 설명한 대로, 간섭 강도 측정부(71)는 제1 존마다 및 제2 존마다 간섭 강도(C)를 산출하지만, 한 번의 단계 S103의 처리로 존(Z1∼Z5)을 제1 존으로 했을 때의 간섭 강도(C)를 산출할 수 있게 된다.

일시 오프셋 설정부(70)와 간섭 강도 측정부(71)와 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)에는, 처리를 동시에 행하는 존(Z1∼Z5)의 번호를 미리 등록해 두면 좋다. 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)는, 간섭 강도(C)가 큰 존에서부터 순차적으로 단계 S106, S107의 처리를 행하지만, 미리 등록된 존(Z1∼Z5) 중 어느 하나가 오프셋 조정의 대상 존으로 된 시점에서, 단계 S106, S107의 처리를 존(Z1∼Z5)에 관해서 한 번에 행하도록 하면 된다. 이렇게 해서, 간섭 강도의 산출과 오프셋 조정에 드는 처리 시간을 단축할 수 있다.

또한, 제2 실시예의 조작량 설정부(77)는, 존(Z1∼Z5)을 제1 존으로 하여, 단계 S203∼S206의 처리를 존(Z1∼Z5)에 관해서 한 번에 행하도록 하여도 좋다. 이 경우, 존(Z1∼Z5)의 조작량(MV1∼MV5)의 HIGH/LOW 전환 타이밍을 가지런하게 맞출 필요가 있기 때문에, 존(Z1∼Z5)의 조작량(MV1∼MV5)을 HIGH로 하고 나서 미리 정해진 시간 후에 LOW로 하면 된다. 또한, 존(Z1∼Z5)의 조작량(MV1∼MV5)을 HIGH로 하고 나서 존(Z1∼Z5)의 제어량(PV1∼PV5) 중 어느 하나가 제1 임계치(TH1)를 상승 통과한 타이밍에 존(Z1∼Z5)의 조작량(MV1∼MV5)을 LOW로 하여도 좋다. 제2 실시예에서 설명한 대로, 간섭 강도 측정부(71a)는 제1 존마다 및 제2 존마다 간섭 강도(C)를 산출하지만, 한 번의 단계 S205의 처리로 존(Z1∼Z5)을 제1 존으로 했을 때의 간섭 강도(C)를 산출할 수 있게 된다. 그리고, 조작량 설정부(77)는, 존(Z1∼Z5)의 제어량(PV1∼PV5) 중 어느 하나가 제2 임계치(TH2)를 하강 통과한 타이밍에 존(Z1∼Z5)에 관해서 조작량(MV1∼MV5)의 설정을 해제하면 된다(단계 S206).

조작량 설정부(77)와 간섭 강도 측정부(71a)와 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)에는, 처리를 동시에 행하는 존(Z1∼Z5)의 번호를 미리 등록해 두면 좋다. 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73)는, 간섭 강도(C)가 큰 존에서부터 순차적으로 단계 S209, S210의 처리를 행하지만, 미리 등록된 존(Z1∼Z5) 중 어느 하나가 오프셋 조정의 대상 존으로 된 시점에서, 단계 S209, S210의 처리를 존(Z1∼Z5)에 관해서 한 번에 행하도록 하면 된다. 이렇게 해서, 간섭 강도의 산출과 오프셋 조정에 드는 처리 시간을 단축할 수 있다.

[제3 실시예]

이어서, 본 발명의 제3 실시예에 관해서 설명한다. 제1, 제2 실시예에서는, 목표치(SP)가 하나의 값이고, 오프셋 조정의 결과가 가열 장치의 실제 가동 시에 그대로 반영되는 경우에 관해서 설명했지만, 가열 장치에서는, 워크(14)의 가열 처리가 한창일 때에 목표치(SP)를 변경하는 경우가 있기 때문에, 복수의 목표치(SP) 각각에 관해서 오프셋을 조정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 그러나, 복수의 목표치(SP) 각각에 관해서 오프셋을 조정하면, 오프셋 조정에 시간이 걸린다고 하는 문제가 있다. 그래서, 이러한 경우에 처리 시간을 단축하는 예에 관해서 설명한다.

도 10은 본 실시예에 따른 가열 장치의 컨트롤러 조정 시스템의 구성을 도시하는 블럭도이며, 도 1과 동일한 구성에는 동일한 부호를 붙여 놓는다. 본 실시예의 컨트롤러 조정 시스템은 워크 센서(4)와 측정기(6)와 조정 장치(7b)로 구성된다.

도 11은 본 실시예의 조정 장치(7b)의 구성을 도시하는 블럭도이다. 조정 장치(7b)는 일시 오프셋 설정부(70)와 간섭 강도 측정부(71)와 오프셋 산출부(72)와 오프셋 설정부(73b)와 판정부(74)와 목표치 설정부(75)와 기억부(76b)와 보간부(78)로 구성된다.

도 12는 본 실시예의 컨트롤러 조정 시스템의 동작을 설명하는 흐름도이다. 우선 도 12의 단계 S300의 오프셋 조정 처리는 제1 실시예의 도 4에서 설명한 처리와 마찬가지다. 조정 장치(7b)의 목표치 설정부(75)가 미리 등록된 복수의 목표치(SP)를 순차적으로 설정함으로써, 도 4의 처리(단계 S300)가 목표치(SP)마다 행해진다.

본 실시예의 조정 장치(7b)의 기억부(76b)는, 제1 실시예의 기억부(76)와 마찬가지로, 오프셋 산출부(72)가 산출한 오프셋(G)을 존마다 및 오프셋 조정의 실시 회마다 기억한다. 단, 본 실시예에서는, 목표치(SP)마다 오프셋 조정을 행하기 위해서 목표치(SP)마다 오프셋을 기억할 필요가 생긴다. 즉, 기억부(76b)는, 오프셋 산출부(72)가 산출한 오프셋(G)을 존마다, 오프셋 조정의 실시 회마다 및 목표치(SP)마다 기억한다.

본 실시예의 조정 장치(7b)의 오프셋 설정부(73b)는, 제1 실시예에서 설명한 오프셋 설정부(73)의 기능에 더하여, 가열 장치의 실제 가동 시에 목표치(SP)에 따른 오프셋(G)을 컨트롤러(3)에 설정하는 기능을 포함하고 있다.

미리 등록된 복수의 목표치(SP)에 관해서 단계 S300의 오프셋 조정 처리가 종료된 후(도 12의 단계 S301에서 '예'), 조정 장치(7b)의 보간부(78)는, 기억부(76b)에 기억되어 있는 오프셋(G)을 기초로, 오프셋 조정을 행하지 않은 목표치(SP)에 관해서 오프셋(G)을 존마다 선형 보간에 의해 산출한다(도 12의 단계 S302).

도 13은 보간부(78)의 보간 처리를 설명하는 도면이다. 예컨대 미리 등록된 목표치 SP=90℃, 150℃의 2점에 관해서 오프셋 조정을 행한 결과로서, 목표치 SP=90℃일 때에, 어떤 존의 총계의 오프셋 G=G_90, 목표치 SP=150℃일 때에, 동 존의 총계의 오프셋 G=G_150이라는 결과를 얻을 수 있었다고 하자. 보간부(78)는, 가열 장치의 실제 가동 시에 목표치(SP)로서 90℃, 150℃ 외에, SP=120℃를 이용하는 경우, SP=120℃일 때의 오프셋(G_120)을 선형 보간으로 구한다. 이러한 보간 처리를 존마다 및 오프셋 조정의 실시 회마다 행하면 된다. 보간 처리로 오프셋을 도출하여야 할 목표치(SP)에 관해서는 미리 보간부(78)에 설정해 두면 된다.

기억부(76b)는, 보간부(78)의 보간 결과를 존마다, 오프셋 조정의 실시 회마다 및 목표치(SP)마다 기억한다. 또한, 본 실시예에서는, 보간 처리를 행하기 위해서, 2점 이상의 목표치(SP)로 단계 S300의 오프셋 조정 처리를 행할 필요가 있다.

가열 장치의 실제 가동 시에는, 조정 장치(7b)의 오프셋 설정부(73b)는, 각 존의 제어량(PV)과 동일한 값의 목표치(SP)에 대응하는 오프셋(G)을 기억부(76b)로부터 전부 취득한다. 그리고, 오프셋 설정부(73b)는, 설정 대상의 존의 총계의 오프셋(G)을 그 존의 제어량(PV)에 더하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시하는 것을 존마다 행한다(도 14의 단계 S400).

이렇게 해서, 컨트롤러(3)에 의한 온도 제어가 종료될 때까지(도 14의 단계 S401에서 '예'), 도 14의 처리가 행해진다.

본 실시예에 따르면, 제어 중에 변화되는 제어량(PV)의 시시각각에 적응한 오프셋 조정이 가능하게 되어, 워크(14)의 고정밀도의 온도 제어가 가능하게 됨과 더불어, 복수의 제어량(PV)(목표치(SP))에 관한 오프셋 조정에 드는 처리 시간을 단축할 수 있다.

상기한 설명에서는 본 실시예를 제1 실시예에 적용한 경우에 관해서 설명하고 있지만, 제2 실시예에 적용하여도 좋다. 제2 실시예에 적용하는 경우에는, 오프셋 설정부(73b)와 기억부(76b)와 보간부(78)를 제2 실시예의 조정 장치(7)에 두도록 하면 된다. 이 경우, 도 12의 단계 S300의 오프셋 조정 처리는 제2 실시예의 도 7에서 설명한 처리와 마찬가지다. 목표치 설정부(75)가 미리 등록된 복수의 목표치(SP)를 순차적으로 설정함으로써, 도 7의 처리(단계 S300)가 목표치(SP)마다 행해진다.

제1∼제3 실시예에서는 가열 장치에 적용하는 경우에 관해서 설명하고 있지만, 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여 제1∼제3 실시예를 적용하도록 하여도 좋다.

제1∼제3 실시예를 냉각 장치에 적용하는 경우, 전열 유닛(2)의 존(Z1∼Z9)마다의 가열부(1-1∼1-9)를 존(Z1∼Z9)마다의 냉각부로 치환하도록 하면, 제1∼제3 실시예의 전열 유닛(2)의 설명을 냉각 장치의 전열 유닛에 적용할 수 있다. 각 냉각부의 구성은, 도 2에 도시한 전열체(10)로서 예컨대 펠티에 소자 등을 사용하면 된다.

제2 실시예를 냉각 장치에 적용하는 경우, 조작량 설정부(77)는, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)을 제4 값(LOW)으로 하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시하고(도 7의 단계 S203에 상당), 조작량(MVi)을 LOW로 한 후에, 제1 존(Zi)의 제어량(PVi)이 미리 지정된 제3 임계치(TH3)를 하강 통과한 타이밍에 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)을 제5 값(HIGH)으로 하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시하면 된다(도 7의 단계 S204에 상당). 상기한 것과 같이 미리 등록된 복수의 존(Z1∼Z5)을 동시에 제1 존으로 하는 경우에는, 존(Z1∼Z5)의 조작량(MV1∼MV5)을 LOW로 하고 나서 존(Z1∼Z5)의 제어량(PV1∼PV5) 중 어느 하나가 제3 임계치(TH3)를 하강 통과한 타이밍에 존(Z1∼Z5)의 조작량(MV1∼MV5)을 HIGH로 하면 된다. 또한, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)을 LOW로 하고 나서 미리 정해진 시간 후에 HIGH로 하도록 하여도 좋다.

제2 실시예를 냉각 장치에 적용하는 경우, 간섭 강도 측정부(71a)는, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=LOW로 변경된 후에 MVi=HIGH로 변경되었을 때의 제2 존(Zj)의 제어량(PVj)의 피크의 하강 폭(MVi=LOW로 변경되기 전의 제어량(PVj)에 대한 하강 폭)을 Pij, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=LOW로 변경된 후에 MVi=HIGH로 변경되었을 때의 제1 존(Zi)의 제어량(PVi)의 피크의 하강 폭(MVi=LOW로 변경되기 전의 제어량(PVi)에 대한 하강 폭)을 Pii로 하여, 식(3)의 간섭 강도(Cij)의 산출을 행하면 된다(도 7의 단계 S205에 상당).

또한, 제2 실시예를 냉각 장치에 적용하는 경우, 간섭 강도 측정부(71a)는, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=LOW로 변경된 후에 MVi=HIGH로 변경되었을 때의 제2 존(Zj)에 대응하는 위치에 있는, 워크 센서(4)의 온도 센서(5-j)의 측정치(Wj)의 피크의 하강 폭(MVi=LOW로 변경되기 전의 측정치(Wj)에 대한 하강 폭)을 Pij로 하고, 제1 존(Zi)의 조작량(MVi)이 MVi=LOW로 변경된 후에 MVi=HIGH로 변경되었을 때의 제1 존(Zi)에 대응하는 위치에 있는, 워크 센서(4)의 온도 센서(5-i)의 측정치(Wi)의 피크의 하강 폭(MVi=LOW로 변경되기 전의 측정치(Wi)에 대한 하강 폭)을 Pii로 하여, 식(3)의 간섭 강도(Cij)의 산출을 행하여도 좋다.

그리고, 제2 실시예를 냉각 장치에 적용하는 경우, 조작량 설정부(77)는, 제1 존(Zi)의 제어량(PVi)이 미리 지정된 제4 임계치(TH4)(TH3<TH4)를 상승 통과한 타이밍에 제1 존(Zi)에 관해서 조작량(MVi)의 설정을 해제하도록 컨트롤러(3)에 대하여 지시하면 된다(도 7의 단계 S206에 상당). 상기한 것과 같이 미리 등록된 복수의 존(Z1∼Z5)을 동시에 제1 존으로 하는 경우에는, 존(Z1∼Z5)의 제어량(PV1∼PV5) 중 어느 하나가 제4 임계치(TH4)를 상승 통과한 타이밍에 존(Z1∼Z5)에 관해서 조작량(MV1∼MV5)의 설정을 해제하면 된다. 그 밖의 구성은 가열 장치에 적용하는 경우와 같다.

제1∼제3 실시예에서 설명한 조정 장치(7, 7a, 7b)는, CPU(Central Processing Unit), 기억 장치 및 인터페이스를 포함한 컴퓨터와, 이들의 하드웨어 자원을 제어하는 프로그램에 의해서 실현할 수 있다. 이러한 컴퓨터에 있어서, 본 발명의 조정 방법을 실현시키기 위한 프로그램은 플렉시블 디스크, CD-ROM, DVD-ROM, 메모리 카드 등의 기록 매체에 기록된 상태로 제공되어, 기억 장치에 저장된다. CPU는 기억 장치에 저장된 프로그램에 따라서 제1∼제3 실시예에서 설명한 처리를 실행한다.

본 발명은 다입출력 제어계에 있어서의 컨트롤러를 조정하는 기술에 적용할 수 있다.

1-1∼1-9: 가열부, 2: 전열 유닛, 3: 컨트롤러, 4: 워크 센서, 5-1∼5-9, 12: 온도 센서, 6: 측정기, 7, 7a, 7b: 조정 장치, 10: 전열체, 11: 전력 제어기, 14:워크, 70: 일시 오프셋 설정부, 71, 71a: 간섭 강도 측정부, 72: 오프셋 산출부, 73, 73b: 오프셋 설정부, 74: 판정부, 75: 목표치 설정부, 76, 76b: 기억부, 77: 조작량 설정부, 78: 보간부.

Claims

컨트롤러 조정 시스템에 있어서,
워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 목표치 설정부와,
각 존 중 하나의 제1 존의 제어량에 미리 지정된 일시 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 처리를, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하도록 구성된 일시 오프셋 설정부와,
상기 일시 오프셋의 인가 후에 상기 제1 존 이외의 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량과, 상기 일시 오프셋의 인가전에 상기 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하도록 구성된 간섭 강도 측정부와,
오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하도록 구성된 오프셋 산출부와,
상기 대상 존의 제어량에 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 오프셋 설정부와,
미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부의 처리를 반복하여 실행시키도록 구성된 판정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
컨트롤러 조정 시스템에 있어서,
워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 목표치 설정부와,
상기 컨트롤러가 출력하는 조작량을 설정하도록 구성된 조작량 설정부와,
각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 상기 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 상기 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제1 존 이외의 제2 존의 제어량의 피크의 폭 및 상기 제1 존의 제어량의 피크의 폭에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 상기 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하도록 구성된 간섭 강도 측정부와,
오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하도록 구성된 오프셋 산출부와,
상기 대상 존의 제어량에 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 오프셋 설정부와,
미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부의 처리를 반복하여 실행시키도록 구성된 판정부를 포함하고,
상기 조작량 설정부는, 모든 존의 조작량을 상기 제1 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시한 후, 상기 제1 존의 조작량을 상기 제2 값으로 한 후에 상기 제3 값으로 하거나 또는 상기 제4 값으로 한 후에 상기 제5 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하고, 상기 간섭 강도의 산출이 종료된 제1 존에 관해서 조작량의 설정을 해제하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
컨트롤러 조정 시스템에 있어서,
워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 목표치 설정부와,
상기 컨트롤러가 출력하는 조작량을 설정하도록 구성된 조작량 설정부와,
각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 상기 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 상기 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제1 존 이외의 제2 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭 및 상기 제1 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 상기 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하도록 구성된 간섭 강도 측정부와,
오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하도록 구성된 오프셋 산출부와,
상기 대상 존의 제어량에 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하도록 구성된 오프셋 설정부와,
미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부의 처리를 반복하여 실행시키도록 구성된 판정부를 포함하고,
상기 조작량 설정부는, 모든 존의 조작량을 상기 제1 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시한 후, 상기 제1 존의 조작량을 상기 제2 값으로 한 후에 상기 제3 값으로 하거나 또는 상기 제4 값으로 한 후에 상기 제5 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하고, 상기 간섭 강도의 산출이 종료된 제1 존에 관해서 조작량의 설정을 해제하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제1항에 있어서, 상기 간섭 강도 측정부는, 상기 일시 오프셋의 인가 후에 상기 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량을 Aij, 상기 일시 오프셋의 인가 전에 상기 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량을 Bij, 상기 일시 오프셋을 S로 했을 때, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 |(Aij-Bij)/S|에 의해 산출하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제2항에 있어서, 상기 간섭 강도 측정부는, 각 존의 조작량이 상기 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 상기 제1 존의 조작량이 상기 제2 값으로 변경된 후에 상기 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 상기 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 상기 제1 존의 조작량이 상기 제4 값으로 변경된 후에 상기 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제2 존의 제어량의 피크의 폭을 Pij, 상기 제1 존의 제어량의 피크의 폭을 Pii로 했을 때, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 Pij/Pii에 의해 산출하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제3항에 있어서, 상기 간섭 강도 측정부는, 각 존의 조작량이 상기 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 상기 제1 존의 조작량이 상기 제2 값으로 변경된 후에 상기 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 상기 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 상기 제1 존의 조작량이 상기 제4 값으로 변경된 후에 상기 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제2 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭을 Pij, 상기 제1 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭을 Pii로 했을 때, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 Pij/Pii에 의해 산출하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 오프셋 산출부는, 각 존에 관해서 각각 상기 오프셋의 조정을 복수 회 행하는 경우에, 직전의 조정까지의 상기 오프셋을 전부 유지한 상태에서 상기 대상 존의 제어량에 추가로 가하는 오프셋을 산출하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 판정부는, 각 존에 관해서 상기 오프셋의 조정을 실행한 후의 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치끼리의 차가 미리 정해진 범위 내인 경우에, 상기 오프셋 조정 종료 조건이 성립되었다고 판정하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 판정부는, 각 존의 상기 오프셋의 조정의 실행 횟수가 미리 정해진 횟수에 도달한 경우에, 상기 오프셋 조정 종료 조건이 성립되었다고 판정하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제1항에 있어서, 상기 일시 오프셋 설정부는, 모든 존에 관해서 순차적으로 상기 일시 오프셋의 인가를 행할 때에, 미리 등록된 복수의 존을 동시에 상기 제1 존으로 하고,
상기 오프셋 산출부는, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 상기 오프셋의 산출을 행할 때에, 상기 등록된 복수의 존을 동시에 상기 대상 존으로 하여, 이들 대상 존의 각각에 관해서 상기 오프셋을 산출하고,
상기 오프셋 설정부는, 상기 등록된 복수의 존의 제어량에, 각각 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 대응하는 오프셋을 동시에 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 조작량 설정부는, 모든 존에 관해서 순차적으로 상기 조작량의 설정을 행할 때에, 미리 등록된 복수의 존을 동시에 상기 제1 존으로 하고,
상기 오프셋 산출부는, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 상기 오프셋의 산출을 행할 때에, 상기 등록된 복수의 존을 동시에 상기 대상 존으로 하여, 이들 대상 존의 각각에 관해서 상기 오프셋을 산출하고,
상기 오프셋 설정부는, 상기 등록된 복수의 존의 제어량에, 각각 상기 오프셋 산출부에 의해서 산출된 대응하는 오프셋을 동시에 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제1항에 있어서, 상기 목표치 설정부와 상기 일시 오프셋 설정부와 상기 간섭 강도 측정부와 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부와 상기 판정부는, 미리 등록된 복수의 상기 목표치의 각각에 관해서 처리를 행하고,
상기 오프셋을 존마다 및 목표치마다 기억하도록 구성된 기억부와,
이 기억부에 기억되어 있는 오프셋을 기초로, 오프셋 조정을 행하지 않은 목표치에 관해서 오프셋을 존마다 선형 보간에 의해 산출하여, 상기 기억부에 기억시키도록 구성된 보간부를 더 포함하고,
상기 오프셋 설정부는, 상기 가열 장치의 실제 가동 시 또는 상기 냉각 장치의 실제 가동 시에, 각 존의 제어량과 동일한 값의 목표치에 대응하는 오프셋을 상기 기억부로부터 취득하여 상기 컨트롤러에 설정하는 것을 존마다 행하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 목표치 설정부와 상기 조작량 설정부와 상기 간섭 강도 측정부와 상기 오프셋 산출부와 상기 오프셋 설정부와 상기 판정부는, 미리 등록된 복수의 상기 목표치의 각각에 관해서 처리를 행하고,
상기 오프셋을 존마다 및 목표치마다 기억하도록 구성된 기억부와,
이 기억부에 기억되어 있는 오프셋을 기초로, 오프셋 조정을 행하지 않은 목표치에 관해서 오프셋을 존마다 선형 보간에 의해 산출하여, 상기 기억부에 기억시키도록 구성된 보간부를 더 포함하고,
상기 오프셋 설정부는, 상기 가열 장치의 실제 가동 시 또는 상기 냉각 장치의 실제 가동 시에, 각 존의 제어량과 동일한 값의 목표치에 대응하는 오프셋을 상기 기억부로부터 취득하여 상기 컨트롤러에 설정하는 것을 존마다 행하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 시스템.
컨트롤러 조정 방법에 있어서,
워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제1 단계와,
각 존 중 하나의 제1 존의 제어량에 미리 지정된 일시 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 처리를, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하는 제2 단계와,
상기 일시 오프셋의 인가 후에 상기 제1 존 이외의 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량과, 상기 일시 오프셋의 인가전에 상기 제2 존에 관해서 온도 제어의 셋팅 시에 상기 컨트롤러로부터 출력되는 조작량에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하는 제3 단계와,
오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하는 제4 단계와,
상기 대상 존의 제어량에 상기 제4 단계에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제5 단계와,
미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 제4 단계와 상기 제5 단계의 처리를 반복하여 실행시키는 제6 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 방법.
컨트롤러 조정 방법에 있어서,
워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제1 단계와,
상기 컨트롤러가 출력하는 조작량을 설정하는 제2 단계와,
각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 상기 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 상기 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제1 존 이외의 제2 존의 제어량의 피크의 폭 및 상기 제1 존의 제어량의 피크의 폭에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 상기 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하는 제3 단계와,
오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하는 제4 단계와,
상기 대상 존의 제어량에 상기 제4 단계에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제5 단계와,
미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 제4 단계와 상기 제5 단계의 처리를 반복하여 실행시키는 제6 단계를 포함하고,
상기 제2 단계는,
모든 존의 조작량을 상기 제1 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 단계와,
상기 제1 존의 조작량을 상기 제2 값으로 한 후에 상기 제3 값으로 하거나 또는 상기 제4 값으로 한 후에 상기 제5 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하는 단계와,
상기 간섭 강도의 산출이 종료된 제1 존에 관해서 조작량의 설정을 해제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 방법.
컨트롤러 조정 방법에 있어서,
워크를 가열하는 복수의 존 각각에 가열부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 가열 장치, 또는 워크를 냉각하는 복수의 존 각각에 냉각부를 포함한 전열 유닛과 이 전열 유닛을 존마다 제어하는 컨트롤러로 구성되는 냉각 장치에 대하여, 상기 컨트롤러의 오프셋의 조정 시에 상기 워크의 표면에 존마다 온도 센서가 고정된 상태에서, 모든 존의 목표치를 동일한 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제1 단계와,
상기 컨트롤러가 출력하는 조작량을 설정하는 제2 단계와,
각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 큰 제2 값으로 변경된 후에 상기 제2 값보다 작은 제3 값으로 변경되었을 때, 또는 각 존의 조작량이 제1 값으로 설정되어 있는 상태에서 하나의 제1 존의 조작량이 상기 제1 값보다 작은 제4 값으로 변경된 후에 상기 제4 값보다 큰 제5 값으로 변경되었을 때의 상기 제1 존 이외의 제2 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭 및 상기 제1 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 측정치의 피크의 폭에 기초하여, 상기 제1 존이 상기 제2 존에 부여하는 간섭의 강도를, 상기 제1 존을 바꾸면서 제1 존마다 및 제2 존마다 산출하는 제3 단계와,
오프셋 조정의 대상 존에 대응하는 위치에 있는 상기 온도 센서의 셋팅 시의 측정치와 상기 목표치에 기초하여 상기 대상 존의 오프셋을 산출하는 처리를, 상기 간섭의 강도가 큰 존에서부터 순차적으로 모든 존에 관해서 행하는 제4 단계와,
상기 대상 존의 제어량에 상기 제4 단계에 의해서 산출된 오프셋을 더하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 제5 단계와,
미리 정해진 오프셋 조정 종료 조건이 성립될 때까지 상기 제4 단계와 상기 제5 단계의 처리를 반복하여 실행시키는 제6 단계를 포함하고,
상기 제2 단계는,
모든 존의 조작량을 상기 제1 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 단계와,
상기 제1 존의 조작량을 상기 제2 값으로 한 후에 상기 제3 값으로 하거나 또는 상기 제4 값으로 한 후에 상기 제5 값으로 하도록 상기 컨트롤러에 대하여 지시하는 것을, 상기 제1 존을 바꾸면서 모든 존에 관해서 행하는 단계와,
상기 간섭 강도의 산출이 종료된 제1 존에 관해서 조작량의 설정을 해제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컨트롤러 조정 방법.