JP7050616B2 - 制御装置および制御方法 - Google Patents

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Description

本発明は、フィードバックコントローラにフィードフォワード制御を追加適用する技術に係り、特に、オペレータの操作により任意の操作量加算あるいは操作量減算を実行する場合に適した制御装置および制御方法に関するものである。
代表的なフィードバック(Feedback)制御であるPID制御に、フィードフォワード(Feedforward)分を加算する方法(以下、フィードフォワード+フィードバック制御とする)が提案されている(特許文献1参照)。
発明者は、このようなフィードフォワード+フィードバック制御を特に図13のような加熱装置に適用する場合において、実用性を向上させるために、フィードフォワード量MV_Pをゼロに漸近的に収束させる形式のフィードフォワード方法(特願2017-233250)を提案した。
図13の加熱装置は、処理対象のワークを加熱する熱処理炉100と、電気ヒータ101と、熱処理炉100内の温度を計測する温度センサ102と、熱処理炉100内の温度を制御する温調計103と、電力調整器104と、電力供給回路105と、加熱装置全体を制御するPLC(Programmable Logic Controller)106とから構成される。温調計103は、温度センサ102が計測した温度PV(制御量)が温度設定値SPと一致するように操作量MVを算出する。電力調整器104は、操作量MVに応じた電力を決定し、この決定した電力を電力供給回路105を通じて電気ヒータ101に供給する。
次に、図14の制御系のブロック線図を用いて、発明者が特願2017-233250で提案した技術について説明する。図14のPは制御対象を示している。
操作量算出部1は、設定値SPと制御量PVとを入力として、制御量PVが設定値SPと一致するように、例えば以下の伝達関数式のようなPID制御演算を行って操作量MVを算出する。
MV=(100/Pb){1+(1/Tis)+Tds}(SP-PV)
・・・(1)
Pbは比例帯、Tiは積分時間、Tdは微分時間、sはラプラス演算子である。
加算量算出部4は、操作量MVに対するフィードフォワード分の加算量の目標値である操作量加算値FF_P(FF_P≠0)が入力されると、操作量加算値FF_Pに近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量加算量MV_Pを算出する。具体的には、加算量算出部4は、下記のような伝達関数式で操作量加算量MV_Pを算出する。
MV_P={Kxs/(1+Tfs)2}FF_P ・・・(2)
式(2)のTfは、操作量加算量MV_Pを徐々に収束させる時間を規定するパラメータである。Kxはフィードフォワードの大きさを規定するパラメータである。加算量算出部4は、パラメータTfのβ倍の値をKxとすればよい(Kx=βTf、βは例えば2.75)。操作量加算量MV_Pの変化の1例を図15に示す。図15の例では、操作量加算値FF_P=50%、パラメータTf=100sec.としている。
減算量算出部5は、操作量MVに対するフィードフォワード分の減算量の目標値である操作量減算値FF_M(FF_M≠0)が入力されると、操作量減算値FF_Mに近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量減算量MV_Mを算出する。具体的には、減算量算出部5は、下記のような伝達関数式で操作量減算量MV_Mを算出する。
MV_M={Kxs/(1+Tfs)2}FF_M ・・・(3)
式(3)のTfは、操作量減算量MV_Mを徐々に収束させる時間を規定するパラメータである。操作量変更部6は、操作量算出部1で算出された操作量MVに、加算量算出部4によって算出された操作量加算量MV_Pを加算し、さらに減算量算出部5によって算出された操作量減算量MV_Mを減算した結果を操作量MV_Fとして算出する。
MV_F=MV+MV_P-MV_M ・・・(4)
リミット処理部7は、操作量変更部6によって算出された操作量MV_Fを所定の操作量下限値OL以上の値に制限する下限リミット処理と、操作量MV_Fを所定の操作量上限値OH以下の値に制限する上限リミット処理とを行なう。このリミット処理部7でリミット処理された操作量MV_F’が制御対象Pに出力される。
次に、特許文献1に開示されたフィードフォワード+フィードバック制御の問題点について説明する。温調計のPID演算による操作量出力は、温調計で算出される操作量MVのみにより出力飽和を判断して、積分動作に対するアンチリセットワインドアップの処理が行なわれる。したがって、定常的に残留するフィードフォワード分をフィードバック分(PID演算による操作量MV)に加算したままにしておくと、温調計側では正常に機能しなくなるという課題を解決する必要がある。例えば、出力飽和には十分に余裕のある操作量MV=60%を温調計が出力しているときに、50%のフィードフォワード分が加算されると110%になり、100%を超える出力飽和状態になるが、温調計としてはアンチリセットワインドアップの処理が実行されないという不具合が発生する。
特許文献1に開示されたフィードフォワード+フィードバック制御では、上記の不具合が発生するが、図14、図15で説明した技術によれば、フィードフォワード分をフィードバック分に徐々に加算するようにしたことにより、PID演算にとっての影響は一時的かつ連続的な発生になるので、上記の不具合の発生を低減することができる。
一方で、制御技術の専門家ではない通常のオペレータ(制御技術ユーザ)が、フィードフォワード制御の実行結果を適切に評価できることはほとんどないが、フィードフォワード分を加算する動作を開始するタイミングは、適切に評価しながら調整されなければならない。しかし、このタイミング調整は、操作量加算量MV_Pまたは操作量減算量MV_Mの出力と外乱印加とのタイミングの問題であり、例えば制御対象のむだ時間が微妙に変動しただけでも、フィードフォワード制御の効果が劣化する。
制御技術の専門家ではない通常のオペレータにとって、操作量加算量MV_Pまたは操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングを適切に調整して、十分なフィードフォワード制御の効果を得ることは困難であった。
特開2007-102816号公報
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、汎用フィードバックコントローラ(例えばPID制御の温調計)にフィードフォワード制御を追加適用する場合に、フィードフォワード開始タイミングを適切に調整するための支援が可能な制御装置および制御方法を提供することを目的とする。
本発明の制御装置は、設定値と制御量とを入力としてPID制御演算により操作量を算出するように構成された操作量算出部と、外乱印加が確定した時点で外部から入力される、前記操作量に対するフィードフォワード分の加算量の目標値である操作量加算値を取得するように構成された加算値取得部と、ゼロ値と異なる前記操作量加算値を取得したときから第1の時間が経過した後に、前記操作量加算値に近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量加算量を算出するように構成された加算量算出部と、前記操作量算出部によって算出された操作量に、前記加算量算出部によって算出された操作量加算量を加算して操作量を変更するように構成された操作量変更部と、この操作量変更部によって変更された操作量を操作量下限値以上で操作量上限値以下の値に制限するリミット処理を行なうように構成されたリミット処理部と、このリミット処理された操作量を制御対象に出力するように構成された操作量出力部と、外乱印加に対する前記操作量加算量の算出・出力の結果として、前記制御量の下降が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が第1の規定値を超えた場合に、前記操作量加算量の出力開始タイミングが早いと判断するように構成された第1の判断部と、外乱印加に対する前記操作量加算量の算出・出力の結果として、前記制御量の上昇が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する下降幅が第2の規定値を超えた場合に、前記操作量加算量の出力開始タイミングが遅いと判断するように構成された第2の判断部と、前記第1、第2の判断部の判断結果を提示するように構成された判断結果提示部とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の制御装置の1構成例は、前記操作量加算量の算出・出力が行なわれている場合に、前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が前記第1の規定値に達した時点から前記制御量が下降に転じるまでの第2の時間を計測し、前記第1の判断部で前記操作量加算量の出力開始タイミングが早いと判断された場合に、前記第1の時間に前記第2の時間を加算して前記第1の時間を更新するように構成された更新部をさらに備えることを特徴とするものである。
また、本発明の制御装置は、設定値と制御量とを入力としてPID制御演算により操作量を算出するように構成された操作量算出部と、外乱印加が確定した時点で外部から入力される、前記操作量に対するフィードフォワード分の減算量の目標値である操作量減算値を取得するように構成された減算値取得部と、ゼロ値と異なる前記操作量減算値を取得したときから第1の時間が経過した後に、前記操作量減算値に近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量減算量を算出するように構成された減算量算出部と、前記操作量算出部によって算出された操作量から、前記減算量算出部によって算出された操作量減算量を減算して操作量を変更するように構成された操作量変更部と、この操作量変更部によって変更された操作量を操作量下限値以上で操作量上限値以下の値に制限するリミット処理を行なうように構成されたリミット処理部と、このリミット処理された操作量を制御対象に出力するように構成された操作量出力部と、外乱印加に対する前記操作量減算量の算出・出力の結果として、前記制御量の上昇が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する下降幅が第1の規定値を超えた場合に、前記操作量減算量の出力開始タイミングが早いと判断するように構成された第1の判断部と、外乱印加に対する前記操作量減算量の算出・出力の結果として、前記制御量の下降が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が第2の規定値を超えた場合に、前記操作量減算量の出力開始タイミングが遅いと判断するように構成された第2の判断部と、前記第1、第2の判断部の判断結果を提示するように構成された判断結果提示部とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の制御装置の1構成例は、前記操作量減算量の算出・出力が行なわれている場合に、前記制御量の前記設定値に対する下降幅が前記第1の規定値に達した時点から前記制御量が上昇に転じるまでの第2の時間を計測し、前記第1の判断部で前記操作量減算量の出力開始タイミングが早いと判断された場合に、前記第1の時間に前記第2の時間を加算して前記第1の時間を更新するように構成された更新部をさらに備えることを特徴とするものである。
また、本発明の制御方法は、設定値と制御量とを入力としてPID制御演算により操作量を算出する第1のステップと、外乱印加が確定した時点で外部から入力される、前記操作量に対するフィードフォワード分の加算量の目標値である操作量加算値を取得する第2のステップと、ゼロ値と異なる前記操作量加算値を取得したときから第1の時間が経過した後に、前記操作量加算値に近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量加算量を算出する第3のステップと、前記第1のステップで算出した操作量に、前記第3のステップで算出した操作量加算量を加算して操作量を変更する第4のステップと、この第4のステップで変更した操作量を操作量下限値以上で操作量上限値以下の値に制限するリミット処理を行なう第5のステップと、このリミット処理した操作量を制御対象に出力する第6のステップと、外乱印加に対する前記操作量加算量の算出・出力の結果として、前記制御量の下降が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が第1の規定値を超えた場合に、前記操作量加算量の出力開始タイミングが早いと判断する第7のステップと、外乱印加に対する前記操作量加算量の算出・出力の結果として、前記制御量の上昇が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する下降幅が第2の規定値を超えた場合に、前記操作量加算量の出力開始タイミングが遅いと判断する第8のステップと、前記第7、第8のステップの判断結果を提示する第9のステップとを含むことを特徴とするものである。
また、本発明の制御方法は、設定値と制御量とを入力としてPID制御演算により操作量を算出する第1のステップと、外乱印加が確定した時点で外部から入力される、前記操作量に対するフィードフォワード分の減算量の目標値である操作量減算値を取得する第2のステップと、ゼロ値と異なる前記操作量減算値を取得したときから第1の時間が経過した後に、前記操作量減算値に近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量減算量を算出する第3のステップと、前記第1のステップで算出した操作量から、前記第3のステップで算出した操作量減算量を減算して操作量を変更する第4のステップと、この第4のステップで変更した操作量を操作量下限値以上で操作量上限値以下の値に制限するリミット処理を行なう第5のステップと、このリミット処理した操作量を制御対象に出力する第6のステップと、外乱印加に対する前記操作量減算量の算出・出力の結果として、前記制御量の上昇が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する下降幅が第1の規定値を超えた場合に、前記操作量減算量の出力開始タイミングが早いと判断する第7のステップと、外乱印加に対する前記操作量減算量の算出・出力の結果として、前記制御量の下降が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が第2の規定値を超えた場合に、前記操作量減算量の出力開始タイミングが遅いと判断する第8のステップと、前記第7、第8のステップの判断結果を提示する第9のステップとを含むことを特徴とするものである。
本発明によれば、加算値取得部と加算量算出部と操作量変更部とを設けることにより、操作量算出部によるフィードバック制御にフィードフォワード制御を追加適用する場合に、フィードバック制御にとっての不具合の発生を低減することができる。さらに、本発明では、操作量加算量の出力開始タイミングが早いか遅いかを判断する第1、第2の判断部を設けることにより、オペレータが操作量加算量の出力開始タイミングを適切に調整するための支援を実現することができる。
また、本発明では、更新部を設けることにより、第1の判断部で操作量加算量の出力開始タイミングが早いと判断された場合に、第1の時間を更新して操作量加算量の出力開始タイミングを自動調整することが可能となる。
また、本発明では、減算値取得部と減算量算出部と操作量変更部とを設けることにより、操作量算出部によるフィードバック制御にフィードフォワード制御を追加適用する場合に、フィードバック制御にとっての不具合の発生を低減することができる。さらに、本発明では、操作量減算量の出力開始タイミングが早いか遅いかを判断する第1、第2の判断部を設けることにより、オペレータが操作量減算量の出力開始タイミングを適切に調整するための支援を実現することができる。
また、本発明では、更新部を設けることにより、第1の判断部で操作量減算量の出力開始タイミングが早いと判断された場合に、第1の時間を更新して操作量減算量の出力開始タイミングを自動調整することが可能となる。
図1は、本発明の実施例に係る制御装置の構成を示すブロック図である。 図2は、本発明の実施例に係る制御装置の制御動作を説明するフローチャートである。 図3は、本発明の実施例に係る制御装置の判断部と判断結果提示部と更新部の動作を説明するフローチャートである。 図4は、フィードフォワード制御を実行せずにフィードバック制御のみで温度制御した場合の制御量と操作量の変化の1例を示す図である。 図5は、本発明の実施例に係る制御装置によって温度制御した場合の制御量と操作量の変化の1例を示す図である。 図6は、本発明の実施例に係る制御装置によって温度制御した場合の操作量加算量の変化の1例を示す図である。 図7は、本発明の実施例に係る制御装置によって温度制御した場合の制御量と操作量の変化の他の例を示す図である。 図8は、本発明の実施例に係る制御装置によって温度制御した場合の操作量加算量の変化の他の例を示す図である。 図9は、本発明の実施例に係る制御装置によって温度制御した場合の制御量と操作量の変化の他の例を示す図である。 図10は、本発明の実施例に係る制御装置によって温度制御した場合の操作量加算量の変化の他の例を示す図である。 図11は、本発明の実施例に係る制御装置の判断結果提示部による表示例を示す図である。 図12は、本発明の実施例に係る制御装置を実現するコンピュータの構成例を示すブロック図である。 図13は、加熱装置の構成を示すブロック図である。 図14は、フィードバック+フィードフォワードの制御系のブロック線図である。 図15は、フィードバック+フィードフォワード制御における操作量加算量の変化の1例を示す図である。
[発明の原理]
加熱による温度制御系を事例として、本発明の原理について説明する。まず、例えば降温外乱に対する操作量加算量(フィードフォワード量)MV_Pであれば、フィードバック制御のみの操作量MVの上昇量を目安に適正化できるので、このような操作量加算量MV_Pの適正化が予め行なわれていることを前提とするのが合理的である。具体的には、前述の式(2)において、Kx,Tf,FF_Pが適正化されていることを前提とする。
この前提に立って、降温外乱に対するプラス側の操作量加算量MV_Pであれば、外乱印加による降温が早いか、操作量加算量MV_Pによる昇温が早いかを判断指標として、フィードフォワード開始タイミングの妥当性を判断できる。すなわち、降温外乱に対するプラス側のフィードフォワード制御の結果として、制御対象の温度上昇が先に規定値(例えば整定目標幅)を超える場合には、フィードフォワード開始タイミングが早いと判断できる。反対に温度下降が先に規定値(例えばフィードバック制御のみの場合の温度下降量の半分以上)を超える場合には、フィードフォワード開始タイミングが遅いと判断できる。
発明者は、このような判断を応用することで、オペレータがフィードフォワード開始タイミングを適切に調整するための支援を実現できることに想到した。
なお、フィードフォワード開始タイミングが早い場合に限れば、温度上昇が始まった時点から温度下降に転じるまでの時間に基づいて、フィードフォワード開始タイミングを自動調整することも可能である。
[実施例]
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。図1は本実施例に係る制御装置の構成を示すブロック図である。制御装置は、設定値SPと制御量PVとを入力としてPID制御演算により操作量MVを算出する操作量算出部1と、外乱印加が確定した時点で外部から入力される、操作量MVに対するフィードフォワード分の加算量の目標値である操作量加算値FF_Pを取得するFF加算値取得部2と、外乱印加が確定した時点で外部から入力される、操作量MVに対するフィードフォワード分の減算量の目標値である操作量減算値FF_Mを取得するFF減算値取得部3と、ゼロ値と異なる操作量加算値FF_Pを取得したときに、特定の時間TH1が経過した後に、操作量加算値FF_Pに近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量加算量MV_Pを算出する加算量算出部4と、ゼロ値と異なる操作量減算値FF_Mを取得したときに、特定の時間TH2が経過した後に、操作量減算値FF_Mに近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量減算量MV_Mを算出する減算量算出部5と、加算量算出部4によって操作量加算量MV_Pが算出されたときに、この操作量加算量MV_Pを操作量算出部1によって算出された操作量MVに加算し、減算量算出部5によって操作量減算量MV_Mが算出されたときに、この操作量減算量MV_Mを操作量算出部1によって算出された操作量MVから減算する操作量変更部6と、操作量変更部6で算出された操作量MV_Fを操作量下限値OL以上で操作量上限値OH以下の値に制限するリミット処理を行なうリミット処理部7と、リミット処理された操作量MV_F’を出力する操作量出力部8とを備えている。
さらに、制御装置は、フィードフォワード開始タイミングの適正化のための構成として、外乱印加に対する操作量加算量MV_Pの算出・出力の結果として、制御量PVの下降が現れる前に制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U1を超えた場合に、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが早いと判断する判断部9と、外乱印加に対する操作量加算量MV_Pの算出・出力の結果として、制御量PVの上昇が現れる前に制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D1を超えた場合に、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが遅いと判断する判断部10と、外乱印加に対する操作量減算量MV_Mの算出・出力の結果として、制御量PVの上昇が現れる前に制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D2を超えた場合に、操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが早いと判断する判断部11と、外乱印加に対する操作量減算量MV_Mの算出・出力の結果として、制御量PVの下降が現れる前に制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U2を超えた場合に、操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが遅いと判断する判断部12と、判断部9~12の判断結果を提示する判断結果提示部13と、操作量加算量MV_Pの算出・出力が行なわれている場合に、制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U1に達した時点から制御量PVが下降に転じるまでの時間TD1を計測し、判断部9で操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが早いと判断された場合に、時間TH1に時間TD1を加算して時間TH1を更新する更新部14と、操作量減算量MV_Mの算出・出力が行なわれている場合に、制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D2に達した時点から制御量PVが上昇に転じるまでの時間TD2を計測し、判断部11で操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが早いと判断された場合に、時間TH2に時間D2を加算して時間TH2を更新する更新部15とを備えている。
本実施例においても、制御系のブロック線図は図14と同様である。次に、本実施例の制御装置の制御動作を図2を参照して説明する。
設定値SP(例えば温度設定値)は、制御装置のオペレータなどによって設定され、操作量算出部1に入力される(図2ステップS100)。
制御量PV(例えば温度計測値)は、図示しない計測器(例えば被加熱物の温度を計測する温度センサ)によって計測され、操作量算出部1に入力される(図2ステップS101)。
操作量算出部1は、設定値SPと制御量PVとを入力として、制御量PVが設定値SPと一致するように、例えば式(1)に示した伝達関数式のようなPID制御演算を行って操作量MVを算出する(図2ステップS102)。
FF加算値取得部2は、外乱印加が確定した時点で外部から入力される、操作量MVに対するフィードフォワード分の加算量の目標値である操作量加算値FF_Pを取得する。外乱印加は、フィードバック制御系の外部における特定の操作に起因して発生するものであれば、その特定の操作が実行された時点が、外乱印加が確定した時点になる。このとき、外乱印加が確定した時点でフィードバック制御系に即座に外乱の影響が現れるとは限らない。
同様に、FF減算値取得部3は、外乱印加が確定した時点で外部から入力される、操作量MVに対するフィードフォワード分の減算量の目標値である操作量減算値FF_Mを取得する。FF加算値取得部2とFF減算値取得部3とは、予め規定されたタイミングで通信により送られた値を取得したり、オペレータが入力機能を利用して適宜入力した値を取得したり、操作量算出部1に入力される設定値SPの変更に伴い自動生成される値を取得したりすることで、FF_P,FF_Mを取得する。
つまり、本実施例の制御装置が適用されるシステムにおいて、例えば制御中に想定される外乱を抑制するために、上位装置から制御装置に対して規定のタイミングまたは設定値SPの変更のタイミングで操作量加算値FF_P、操作量減算値FF_Mを自動的に入力したり、制御中にオペレータが操作量加算値FF_P、操作量減算値FF_Mを手動で入力したりすることが考えられる。
また、本実施例では、上記のとおり、式(2)のKx,Tf,FF_Pがフィードバック制御のみの場合の操作量MVの上昇量を目安にして予め適正化されていることを前提とする。同様に、本実施例では、式(3)のKx,Tf,FF_Mがフィードバック制御のみの場合の操作量MVの下降量を目安にして予め適正化されていることを前提とする。
加算量算出部4は、FF加算値取得部2が、ゼロ値と異なる操作量加算値FF_Pを取得したときから特定の時間TH1以上が経過しているときに(図2ステップS103においてYES)、操作量加算値FF_Pに近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量加算量MV_Pを式(2)により算出する(図2ステップS104)。したがって、特定の時間TH1の設定次第でフィードフォワード開始のタイミングの適否が決まる。
上記のとおり、式(2)のTfは、操作量加算量MV_Pの時間に関するパラメータである。加算量算出部4は、操作量算出部1に設定されているPIDパラメータ、具体的には積分時間Tiのα倍の値をTfとすればよい(Tf=αTi、所定値αは例えばα=0.1~2.0)。これにより、操作量加算量MV_Pが加算された操作量MVの、フィードフォワード分の変化が、制御の上下動が発生する際の周期と概ね一致するようになる。また、操作量MVにフィードフォワード分が加算された時点からフィードフォワード分が最大変更量に到達するまでの経過時間が、パラメータTfの時間に概ね一致するようになる。
式(2)のKxはフィードフォワードの大きさを規定するパラメータである。加算量算出部4は、パラメータTfのβ倍の値をKxとすればよい(Kx=βTf、所定値βは例えば2.75)。これにより、操作量MVのフィードフォワード分の最大変更量が、操作量加算値FF_Pに概ね一致するようになる。なお、FF加算値取得部2が操作量加算値FF_Pを取得したときから特定の時間TH1が経過するまでの操作量加算量MV_Pの初期値はゼロである。
減算量算出部5は、FF減算値取得部3が、ゼロ値と異なる操作量減算値FF_Mを取得したときから特定の時間TH2以上が経過しているときに(図2ステップS105においてYES)、操作量減算値FF_Mに近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量減算量MV_Mを式(3)により算出する(図2ステップS106)。したがって、特定の時間TH2の設定次第でフィードフォワード開始のタイミングの適否が決まる。
加算量算出部4と同様に、減算量算出部5は、積分時間Tiのα倍の値をTfとすればよい(Tf=αTi、所定値αは例えば0.1~2.0)。また、減算量算出部5は、パラメータTfのβ倍の値をKxとすればよい(Kx=βTf、所定値βは例えば2.75)。これにより、操作量MVのフィードフォワード分の最大変更量が、操作量減算値FF_Mに概ね一致するようになる。なお、FF減算値取得部3が操作量減算値FF_Mを取得したときから特定の時間TH2が経過するまでの操作量減算量MV_Mの初期値はゼロである。
操作量変更部6は、操作量算出部1で算出された操作量MVに、加算量算出部4によって算出された操作量加算量MV_Pを加算し、さらに減算量算出部5によって算出された操作量減算量MV_Mを減算した結果を操作量MV_Fとして算出する(図2ステップS107)。操作量MV_Fの算出式は、式(4)と同じである。
リミット処理部7は、操作量変更部6によって算出された操作量MV_Fを所定の操作量下限値OL以上の値に制限する下限リミット処理と、操作量MV_Fを所定の操作量上限値OH以下の値に制限する上限リミット処理とを行なう(図2ステップS108)。
IF MV_F<OL THEN MV_F’=OL ・・・(5)
IF MV_F>OH THEN MV_F’=OH ・・・(6)
つまり、リミット処理部7は、MV_Fが操作量下限値OLより小さい場合、操作量MV_F’=OLとし、操作量MV_Fが操作量上限値OHより大きい場合、操作量MV_F’=OHとする。
操作量出力部8は、リミット処理部7でリミット処理された操作量MV_F’を制御対象に出力する(図2ステップS109)。操作量MV_F’の出力先は、ヒータやバルブなどの操作部(不図示)である。ヒータの場合には、操作量MV_F’の実際の出力先は、ヒータに電力を供給する電力調整器(不図示)となる。
制御装置は、図2のステップS100~S109の処理を例えばオペレータの指示によって制御が終了するまで(図2ステップS110においてYES)、制御周期毎に実行する。
なお、前述のとおり、操作量加算量MV_Pは操作量加算値FF_Pに近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する値であり、操作量減算量MV_Mは操作量減算値FF_Mに近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する値である。したがって、FF加算値取得部2がゼロ値と異なる操作量加算値FF_Pを取得したときから特定の時間TH1以上が経過した後は常にステップS103において判定YESとなり、加算量算出部4は操作量加算量MV_Pの算出を繰り返し実行する。操作量加算量MV_Pは最終的にゼロ値に収束するので、加算量算出部4は操作量加算量MV_Pがゼロ値になった時点で算出を停止しても構わない。
同様に、FF減算値取得部3がゼロ値と異なる操作量減算値FF_Mを取得したときから特定の時間TH2以上が経過した後は常にステップS105において判定YESとなり、減算量算出部5は操作量減算量MV_Mの算出を繰り返し実行する。操作量減算量MV_Mは最終的にゼロ値に収束するので、減算量算出部5は操作量減算量MV_Mがゼロ値になった時点で算出を停止しても構わない。
以上の動作は、発明者が特願2017-233250で提案した技術と同等である。次に、本実施例の判断部9~12と判断結果提示部13と更新部14,15の動作を図3を参照して説明する。
判断部9は、外乱印加に対する操作量加算量MV_Pの算出・出力の結果として、外乱の影響である制御量PVの下降が現れる前に制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U1を超えた(PV>(SP+U1))場合(図3ステップS200においてYES)、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが早い(外乱の影響である制御量PVの下降が現れるタイミングに対してフィードフォワード開始タイミングが早い)と判断する(図3ステップS201)。規定値U1は、例えば整定目標幅に設定されている。
一方、判断部10は、外乱印加に対する操作量加算量MV_Pの算出・出力の結果として、制御量PVの上昇が現れる前に外乱の影響により制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D1を超えた(PV<(SP-D1))場合(図3ステップS202においてYES)、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが遅い(外乱の影響である制御量PVの下降が現れるタイミングに対してフィードフォワード開始タイミングが遅い)と判断する(図3ステップS203)。規定値D1は、例えばフィードフォワード制御を実行せずにフィードバック制御(PID制御)のみで温度制御した場合に、外乱の影響により制御量PVが設定値SPに対して下降するときの想定される下降幅の半分以上の値に設定されている。
外乱印加に対する操作量加算量MV_Pの算出・出力の結果として、制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U1以下(PV≦(SP+U1))、かつ制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D1以下(PV≧(SP-D1))の場合、判断部9が、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが早いと判断せず、判断部10が、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが遅いと判断しないので、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが適切という判断結果となる。
判断部11は、外乱印加に対する操作量減算量MV_Mの算出・出力の結果として、外乱の影響である制御量PVの上昇が現れる前に制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D2を超えた(PV<(SP-D2))場合(図3ステップS204においてYES)、操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが早い(外乱の影響である制御量PVの上昇が現れるタイミングに対してフィードフォワード開始タイミングが早い)と判断する(図3ステップS205)。規定値D2は、例えば整定目標幅に設定されている。
判断部12は、外乱印加に対する操作量減算量MV_Mの算出・出力の結果として、制御量PVの下降が現れる前に外乱の影響により制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U2を超えた(PV>(SP+U2))場合(図3ステップS206においてYES)、操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが遅い(外乱の影響である制御量PVの上昇が現れるタイミングに対してフィードフォワード開始タイミングが遅い)と判断する(図3ステップS207)。規定値U2は、例えばフィードフォワード制御を実行せずにフィードバック制御(PID制御)のみで温度制御した場合に、外乱の影響により制御量PVが設定値SPに対して上昇するときの想定される上昇幅の半分以上の値に設定されている。
外乱印加に対する操作量減算量MV_Mの算出・出力の結果として、制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D2以下(PV≧(SP-D2))、かつ制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U2以下(PV≦(SP+U2))の場合、判断部11が、操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが早いと判断せず、判断部12が、操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが遅いと判断しないので、操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが適切という判断結果となる。
判断結果提示部13は、オペレータに対して判断部9~12の判断結果を提示する(図3ステップS208)。提示方法としては、例えば判断部9~12の判断結果を示す情報をオペレータに対して表示する方法などがある。したがって、判断結果の提示に基づいて、オペレータは、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングを決定するパラメータ(時間TH1)、または操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングを決定するパラメータ(時間TH2)をマニュアル調整することができる。
また、以下のようにパラメータをマニュアル調整ではなく、自動で更新してもよい。具体的には、更新部14は、操作量加算量MV_Pの算出・出力が行なわれている場合に、制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U1に達した時点(PV=SP+U1)から制御量PVが下降に転じるまでの時間TD1を計測し(図3ステップS209)、判断部9で操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが早いと判断された場合に(図3ステップS210においてYES)、加算量算出部4に設定されている時間TH1を、TH1+TD1の時間に更新する(図3ステップS211)。
更新部15は、操作量減算量MV_Mの算出・出力が行なわれている場合に、制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D2に達した時点(PV=SP-D2)から制御量PVが上昇に転じるまでの時間TD2を計測し(図3ステップS212)、判断部11で操作量減算量MV_Mの出力開始タイミングが早いと判断された場合に(図3ステップS213においてYES)、減算量算出部5に設定されている時間TH2を、TH2+TD2の時間に更新する(図3ステップS214)。
判断部9~12と判断結果提示部13と更新部14,15とは、以上のステップS200~S214の処理を、FF加算値取得部2によって操作量加算値FF_Pが取得され、加算量算出部4によって操作量加算量MV_Pが算出・出力された場合、またはFF減算値取得部3によって操作量減算値FF_Mが取得され、減算量算出部5によって操作量減算量MV_Mが算出・出力された場合に実施する。
図4は、本実施例の適用対象となる外乱応答の例を示す図であり、フィードフォワード制御を実行せずにフィードバック制御のみで温度制御した場合の制御量PVと操作量MVの変化の例を示す図である。図4の例は、設定値SP=制御量PV=300℃で整定している状態で降温外乱が発生した場合を示している。規定値U1=20℃と設定され、SP+U1=320℃となっている。また、降温外乱により220℃まで下降するので、制御量PVの設定値SP=300℃に対する下降幅は80℃である。したがって、規定値D1=40℃と設定され、SP-D1=260℃となっている。
図5は、本実施例においてFF_P=80%,Kx=38.5,Tf=14.0秒として温度制御した場合の制御量PVと操作量MVの変化の例を示す図、図6はこの場合の操作量加算量MV_Pの変化を示す図である(操作量減算量MV_Mは0%で固定)。
この図5、図6の例では、フィードフォワードの開始タイミングが適切なタイミングに比べて30秒ほど遅いため、制御量PV(温度)の上昇が現れる前に制御量PVの設定値SPに対する下降幅が規定値D1=40℃を超えている。したがって、判断部10は、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが遅いと判断する。
図7は、本実施例においてFF_P=80%,Kx=38.5,Tf=14.0秒として温度制御した場合の制御量PVと操作量MVの変化の例を示す図、図8はこの場合の操作量加算量MV_Pの変化を示す図である(操作量減算量MV_Mは0%で固定)。
この図7、図8の例では、フィードフォワードの開始タイミングが適切なタイミングに比べて20秒ほど早いため、制御量PV(温度)の下降が現れる前に制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U1=20℃を超えている。したがって、判断部9は、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが早いと判断する。また、図7の例では、制御量PVの設定値SPに対する上昇幅が規定値U1=20℃に達した時点から制御量PVが下降に転じるまでの時間TD1が20秒と検出される。これにより、更新部14は、加算量算出部4に設定されている時間TH1を20秒長い時間に更新する。
図9は、本実施例においてFF_P=80%,Kx=38.5,Tf=14.0秒として温度制御した場合の制御量PVと操作量MVの変化の例を示す図、図10はこの場合の操作量加算量MV_Pの変化を示す図である(操作量減算量MV_Mは0%で固定)。
この図9、図10の例は、フィードフォワードの開始タイミングが適切な場合を示している。外乱印加によっても、制御量PVは260℃から320℃の範囲内に維持されている。したがって、判断部9は、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが早いと判断せず、判断部10は、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが遅いと判断しないことになる。すなわち、操作量加算量MV_Pの出力開始タイミングが適切という判断結果となり、フィードフォワード制御の効果が十分に得られていることが分かる。
図11は、判断結果提示部13による表示例を示す図である。この図11の例は、図7,図8の例に対応する表示例である。ただし、この図11の例では、判断結果提示部13は、画面110に、制御量PVの上昇の状態と判断部9の判断結果に加えて、更新部14による更新結果を併せて表示している。
本実施例で説明した制御装置は、CPU(Central Processing Unit)、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このコンピュータの構成例を図12に示す。コンピュータは、CPU300と、記憶装置301と、インターフェース装置(以下、I/Fと略する)302とを備えている。I/F302には、例えば温度センサや電力調整器が接続される。このようなコンピュータにおいて、本実施例の制御方法を実現させるためのプログラムは記憶装置301に格納される。CPU300は、記憶装置301に格納されたプログラムに従って本実施例で説明した処理を実行する。
本発明は、制御装置に適用することができる。
1…操作量算出部、2…FF加算値取得部、3…FF減算値取得部、4…加算量算出部、5…減算量算出部、6…操作量変更部、7…リミット処理部、8…操作量出力部、9~12…判断部、13…判断結果提示部、14,15…更新部。

Claims (6)

  1. 設定値と制御量とを入力としてPID制御演算により操作量を算出するように構成された操作量算出部と、
    外乱印加が確定した時点で外部から入力される、前記操作量に対するフィードフォワード分の加算量の目標値である操作量加算値を取得するように構成された加算値取得部と、
    ゼロ値と異なる前記操作量加算値を取得したときから第1の時間が経過した後に、前記操作量加算値に近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量加算量を算出するように構成された加算量算出部と、
    前記操作量算出部によって算出された操作量に、前記加算量算出部によって算出された操作量加算量を加算して操作量を変更するように構成された操作量変更部と、
    この操作量変更部によって変更された操作量を操作量下限値以上で操作量上限値以下の値に制限するリミット処理を行なうように構成されたリミット処理部と、
    このリミット処理された操作量を制御対象に出力するように構成された操作量出力部と、
    外乱印加に対する前記操作量加算量の算出・出力の結果として、前記制御量の下降が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が第1の規定値を超えた場合に、前記操作量加算量の出力開始タイミングが早いと判断するように構成された第1の判断部と、
    外乱印加に対する前記操作量加算量の算出・出力の結果として、前記制御量の上昇が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する下降幅が第2の規定値を超えた場合に、前記操作量加算量の出力開始タイミングが遅いと判断するように構成された第2の判断部と、
    前記第1、第2の判断部の判断結果を提示するように構成された判断結果提示部とを備えることを特徴とする制御装置。
  2. 請求項1記載の制御装置において、
    前記操作量加算量の算出・出力が行なわれている場合に、前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が前記第1の規定値に達した時点から前記制御量が下降に転じるまでの第2の時間を計測し、前記第1の判断部で前記操作量加算量の出力開始タイミングが早いと判断された場合に、前記第1の時間に前記第2の時間を加算して前記第1の時間を更新するように構成された更新部をさらに備えることを特徴とする制御装置。
  3. 設定値と制御量とを入力としてPID制御演算により操作量を算出するように構成された操作量算出部と、
    外乱印加が確定した時点で外部から入力される、前記操作量に対するフィードフォワード分の減算量の目標値である操作量減算値を取得するように構成された減算値取得部と、
    ゼロ値と異なる前記操作量減算値を取得したときから第1の時間が経過した後に、前記操作量減算値に近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量減算量を算出するように構成された減算量算出部と、
    前記操作量算出部によって算出された操作量から、前記減算量算出部によって算出された操作量減算量を減算して操作量を変更するように構成された操作量変更部と、
    この操作量変更部によって変更された操作量を操作量下限値以上で操作量上限値以下の値に制限するリミット処理を行なうように構成されたリミット処理部と、
    このリミット処理された操作量を制御対象に出力するように構成された操作量出力部と、
    外乱印加に対する前記操作量減算量の算出・出力の結果として、前記制御量の上昇が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する下降幅が第1の規定値を超えた場合に、前記操作量減算量の出力開始タイミングが早いと判断するように構成された第1の判断部と、
    外乱印加に対する前記操作量減算量の算出・出力の結果として、前記制御量の下降が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が第2の規定値を超えた場合に、前記操作量減算量の出力開始タイミングが遅いと判断するように構成された第2の判断部と、
    前記第1、第2の判断部の判断結果を提示するように構成された判断結果提示部とを備えることを特徴とする制御装置。
  4. 請求項3記載の制御装置において、
    前記操作量減算量の算出・出力が行なわれている場合に、前記制御量の前記設定値に対する下降幅が前記第1の規定値に達した時点から前記制御量が上昇に転じるまでの第2の時間を計測し、前記第1の判断部で前記操作量減算量の出力開始タイミングが早いと判断された場合に、前記第1の時間に前記第2の時間を加算して前記第1の時間を更新するように構成された更新部をさらに備えることを特徴とする制御装置。
  5. 設定値と制御量とを入力としてPID制御演算により操作量を算出する第1のステップと、
    外乱印加が確定した時点で外部から入力される、前記操作量に対するフィードフォワード分の加算量の目標値である操作量加算値を取得する第2のステップと、
    ゼロ値と異なる前記操作量加算値を取得したときから第1の時間が経過した後に、前記操作量加算値に近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量加算量を算出する第3のステップと、
    前記第1のステップで算出した操作量に、前記第3のステップで算出した操作量加算量を加算して操作量を変更する第4のステップと、
    この第4のステップで変更した操作量を操作量下限値以上で操作量上限値以下の値に制限するリミット処理を行なう第5のステップと、
    このリミット処理した操作量を制御対象に出力する第6のステップと、
    外乱印加に対する前記操作量加算量の算出・出力の結果として、前記制御量の下降が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が第1の規定値を超えた場合に、前記操作量加算量の出力開始タイミングが早いと判断する第7のステップと、
    外乱印加に対する前記操作量加算量の算出・出力の結果として、前記制御量の上昇が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する下降幅が第2の規定値を超えた場合に、前記操作量加算量の出力開始タイミングが遅いと判断する第8のステップと、
    前記第7、第8のステップの判断結果を提示する第9のステップとを含むことを特徴とする制御方法。
  6. 設定値と制御量とを入力としてPID制御演算により操作量を算出する第1のステップと、
    外乱印加が確定した時点で外部から入力される、前記操作量に対するフィードフォワード分の減算量の目標値である操作量減算値を取得する第2のステップと、
    ゼロ値と異なる前記操作量減算値を取得したときから第1の時間が経過した後に、前記操作量減算値に近づいた後にゼロ値へと徐々に収束する操作量減算量を算出する第3のステップと、
    前記第1のステップで算出した操作量から、前記第3のステップで算出した操作量減算量を減算して操作量を変更する第4のステップと、
    この第4のステップで変更した操作量を操作量下限値以上で操作量上限値以下の値に制限するリミット処理を行なう第5のステップと、
    このリミット処理した操作量を制御対象に出力する第6のステップと、
    外乱印加に対する前記操作量減算量の算出・出力の結果として、前記制御量の上昇が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する下降幅が第1の規定値を超えた場合に、前記操作量減算量の出力開始タイミングが早いと判断する第7のステップと、
    外乱印加に対する前記操作量減算量の算出・出力の結果として、前記制御量の下降が現れる前に前記制御量の前記設定値に対する上昇幅が第2の規定値を超えた場合に、前記操作量減算量の出力開始タイミングが遅いと判断する第8のステップと、
    前記第7、第8のステップの判断結果を提示する第9のステップとを含むことを特徴とする制御方法。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100077970A1 (en) 2008-09-29 2010-04-01 General Electric Company Inter-stage attemperation system and method
JP2014013607A (ja) 2013-09-18 2014-01-23 Omron Corp フィードフォワード量調整支援装置およびフィードフォワード量調整支援プログラム

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0769723B2 (ja) * 1988-03-30 1995-07-31 株式会社東芝 プロセス制御装置
JP6585950B2 (ja) * 2015-07-23 2019-10-02 アズビル株式会社 制御装置および制御方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100077970A1 (en) 2008-09-29 2010-04-01 General Electric Company Inter-stage attemperation system and method
JP2014013607A (ja) 2013-09-18 2014-01-23 Omron Corp フィードフォワード量調整支援装置およびフィードフォワード量調整支援プログラム

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