KR20180067403A

KR20180067403A - 단재 제거 장치

Info

Publication number: KR20180067403A
Application number: KR1020170110439A
Authority: KR
Inventors: 키요시 타카마츠
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2016-12-12
Filing date: 2017-08-30
Publication date: 2018-06-20
Also published as: JP2018094664A; CN108227258A; TW201821379A

Abstract

[과제] 기판으로부터 분단된 단재가, 기판의 분단 기구 등의 동작 불량을 일으키는 것을 억제하는 것이 가능한 단재 제거 장치를 제공한다.
[해결 수단] 단재 제거 장치(1)는 기판(10)을 지지하여 반송하는 제1 반송부(110)와, 제1 반송부(110)로부터 반출된 기판(10)을 받아들이는 동시에, 기판(10)을 지지하여 반송하는 제2 반송부(120)와, 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120) 사이에 배치되고, 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120) 사이의 공간으로 돌출하는 기판(10)의 돌출 부분을 분단하는 분단부(200)와, 분단부(200)에 의해 단재(11)가 되는 돌출 부분이 제1 반송부(110) 측으로부터 돌출하는 경우에는 기판(10)의 반송 방향 앞쪽으로부터 돌출 부분을 파지하고, 단재(11)가 되는 돌출 부분이 제2 반송부(120) 측으로부터 돌출하는 경우에는 기판(10)의 반송 방향 뒤쪽으로부터 돌출 부분을 파지하는 파지부(300)를 포함한다.

Description

단재 제거 장치{APPARATUS FOR REMOVING EDGED MATERIAL}

본 발명은 기판으로부터 분단된 단재(端材)를 제거하는 단재 제거 장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시패널 등을 제조하는 제조 공정에는, 마더 기판이라고 불리는 대면적의 기판으로부터 소망의 크기의 유닛 기판을 잘라내는 분단 공정이 포함된다. 이 경우 마더 기판에는 서로 이웃하는 유닛 기판의 사이, 또는 마더 기판의 주변 등에 여분의 영역이 형성되어 있다. 이 때문에 상기 분단 공정에 있어서 유닛 기판이 잘려나갈 때에, 이 여분의 영역이 단재가 된다. 단재는 마더 기판으로부터 분단된 후, 마더 기판의 수용대 등으로부터 낙하된다(예를 들면, 특허문헌 1).

[특허문헌 1] JP2002-338284A

그러나 상기한 바와 같이 단재가 분단된 후 그대로 낙하하면, 기판 수용대의 아래쪽에 배치된 스크라이브 유닛의 베어링 등에 단재가 들어가는 일이 일어날 수 있다. 이에 의해 스크라이브 유닛의 동작 불량 등이 발생할 경우가 있었다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 기판으로부터 분단된 단재가, 기판의 분단 기구 등의 동작 불량을 일으키는 것을 억제하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 주된 양상은 단재 제거 장치에 관한 것이다. 본 양상에 따른 단재 제거 장치는, 기판을 지지하여 반송하는 제1 반송부와, 상기 제1 반송부로부터 반출된 상기 기판을 받아들이는 동시에 상기 기판을 지지하여 반송하는 제2 반송부와, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 사이에 배치되어, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 사이의 공간에 돌출하는 상기 기판의 돌출 부분을 분단하는 분단부와, 상기 분단부에 의해 단재가 되는 상기 돌출 부분이 상기 제1 반송부 측으로부터 돌출하는 경우에는 상기 기판의 반송 방향 앞쪽으로부터 상기 돌출 부분을 파지하고, 상기 단재가 되는 상기 돌출 부분이 상기 제2 반송부 측으로부터 돌출하는 경우에는 상기 기판의 반송 방향 뒤쪽으로부터 상기 돌출 부분을 파지하는 파지부를 포함한다.

본 양상에 따른 단재 제거 장치에 따르면, 분단된 단재가 파지부에 의해 파지되어 있기 때문에, 단재가 낙하해서 장치의 기구부 등에 들어가는 일이 없다. 따라서, 단재가 원인이 되는 장치의 동작 불량을 억제할 수 있다.

본 양상에 따른 단재 제거 장치에 있어서, 상기 파지부는 상기 반송 방향 앞쪽 및 상기 반송 방향 뒤쪽의 양쪽으로부터 상기 돌출 부분을 파지하도록, 파지 방향이 180° 회전 가능하게 지지부에 지지되는 구성이 될 수 있다. 이 구성에 따르면, 파지부를 1개만 설치하면 되기 때문에 파지부를 소형화할 수 있다. 따라서, 제1 반송부와 제2 반송부 사이의 공간에 원활하게 파지부를 위치 부여할 수 있다.

이 경우, 본 양상에 따른 단재 제거 장치는 상기 지지부를 승강시키는 승강부와, 상기 지지부를 상기 기판의 반송 방향으로 이송하는 이송부를 포함하는 구성이 될 수 있다. 이와 같이 하면, 제1 반송부와 제2 반송부 사이의 공간을 넓히는 일 없이 파지부의 파지 방향을 원활하게 바꿀 수 있다.

또한, 본 양상에 따른 단재 제거 장치는 상기 지지부를 승강시키고, 또한 상기 반송 방향으로 이송할 때에 상기 파지부에 의한 파지 방향을 바꾸는 구성이 될 수 있다.

또한, 본 양상에 따른 단재 제거 장치는, 상기 분단부보다도 아래의 위치에 있을 때에 상기 파지부에 의한 파지를 해제하고, 상기 파지부에 파지된 상기 단재를 회수부에 폐기하는 구성이 될 수 있다. 이와 같이 하면, 분단부에 단재가 들어가는 것을 확실하게 억제할 수 있다.

이 경우, 본 양상에 따른 단재 제거 장치는 상기 파지부가 상기 돌출 부분의 파지 위치로부터 하강하는 공정에 있어서, 상기 파지부에 의한 파지를 해제하여, 상기 파지부에 파지된 상기 단재를 상기 회수부에 폐기하는 구성이 될 수 있다. 이와 같이 하면 단재를 계속해서 파지하는 경로를 짧게 할 수 있기 때문에, 단재의 이송 시에 잘못해서 단재가 파지부로부터 낙하하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 양상에 따른 단재 제거 장치에 있어서, 상기 분단부는 상기 분단 동작에 있어서 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 파지부는 상기 분단 동작 후에 상기 돌출 부분의 파지 위치로부터 이동하여, 상기 단재를 상기 기판으로부터 분리시키는 구성이 될 수 있다. 이와 같이 하면, 분단 동작에 의해서는 단재가 분리되지 않기 때문에, 분단 동작에 있어서 단재가 낙하하는 것을 억제할 수 있다.

본 양상에 따른 단재 제거 장치는, 상기 분단부가 상기 돌출 부분에 대한 분단 동작을 행할 때에, 상기 파지부가 상기 돌출 부분을 파지하는 구성이 될 수 있다. 이와 같이 하면, 분단 시에도 단재가 되는 돌출 부분이 파지되기 때문에, 단재가 낙하하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 기판으로부터 분단된 단재가 기판의 분단 기구 등의 동작 불량을 일으키는 것을 억제하는 것이 가능한 단재 제거 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타낸 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는 어디까지나 본 발명을 실시화할 경우의 하나의 예시로서, 본 발명은 이하의 실시형태에 기재된 것으로 하등 제한되는 것이 아니다.

도 1은 실시형태에 따른 단재 제거 장치를 Y축 부(負)방향으로 본 경우의 구성을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 2는 실시형태에 따른 단재 제거 장치를 위에서 본 경우의 구성을 모식적으로 나타낸 평면도;
도 3은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 일부를 X축 부방향으로 본 경우의 구성을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 4는 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 5는 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 6은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 7은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 8은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 9는 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 10은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 11은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 12는 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 13은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 14는 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 15는 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 16은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 17은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 18은 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 동작을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 19는 실시형태에 따른 단재 제거 장치의 구성을 나타낸 블록도;
도 20(a) 및 도 20(b)는 변경예에 따른 단재 제거 장치의 일부를 Y축 부방향으로 본 경우의 구성을 모식적으로 나타낸 측면도;
도 21은 변경예에 따른 단재 제거 장치를 위에서 본 경우의 구성을 모식적으로 나타낸 평면도.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 각 도면에는 편의상 서로 직교하는 XYZ축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 정(正)방향은 연직 아래방향이다.

도 1은 단재 제거 장치(1)를 Y축 부방향으로 본 경우의 구성을 모식적으로 나타낸 측면도이다.

단재 제거 장치(1)는 제1 반송부(110)와, 제2 반송부(120)와, 분단부(200))과, 파지부(300)와, 지지부(400)와, 승강부(500)와, 이송부(600)와, 회수부(710, 720)를 포함한다.

제1 반송부(110)와 제2 반송부(120)는, 벨트 컨베이어에 의해 구성된다. 제1 반송부(110)는 기판(10)을 지지하여 반송한다. 제2 반송부(120)는 제1 반송부(110)로부터 반출된 기판(10)을 받아들이는 동시에, 기판(10)을 지지하여 반송한다. 기판(10)의 반송 방향은 X축 정방향이다.

분단부(200)는 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120) 사이에 배치되어 있다.

분단부(200)는 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120) 사이의 공간에 돌출하는 기판(10)의 돌출 부분을 분단한다. 분단부(200)는 상하로 나열된 한 쌍의 스크라이브 유닛(210)을 포함한다. 상측의 스크라이브 유닛(210)은 기판(10)의 상부면에 스크라이브 라인을 형성하고, 하측의 스크라이브 유닛(210)은 기판(10)의 하부면에 스크라이브 라인을 형성한다. 분단부(200)는 아치 형상의 지지 부재에 의해서 지지되어 있고, 도 1에는 편의상 한 쌍의 스크라이브 유닛(210)의 Y축 정측 및 Y축 부측에 위치하는 지지 부재의 도시가 생략되어 있다. 또한, 분단부(200)의 하측은 파지부(300)와 승강부(500)가 X축 방향으로 이동할 때에 통과하는 공간(201)이 형성되어 있다.

스크라이브 유닛(210)은 커터 휠(211)과, 승강 기구(212)와, 지지 부재(213)와, 지지 부재(213)와, 레일(214)과, 볼 나사(215)를 포함한다. 커터 휠(211)은 승강 기구(212)에 설치된 휠 홀더에 회전 가능하게 되도록 장착되어 있다. 승강 기구(212)는 커터 휠(211)을 승강시킨다. 승강 기구(212)는 지지 부재(213)에 설치되어 있다. 레일(214)은 Y축 방향으로 연장되어 있고, 지지 부재(213)는 레일(214)을 따라 Y축 방향으로 이동 가능하게 되도록 레일(214)에 지지되어 있다. 볼 나사(215)는 Y축 방향으로 연장되어 있고, 지지 부재(213)를 Y축 방향으로 이동시킨다. 볼 나사(215)에 접속된 도시하지 않는 모터가 구동되는 것에 의해, 지지 부재(213)가 Y축 방향으로 이동된다.

스크라이브 동작시에는 기판(10)이 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120)에 의해서, 한 쌍의 스크라이브 유닛(210) 사이에 위치 부여된다. 다음으로, 상측의 승강 기구(212)가 상측의 커터 휠(211)을 하강시키고, 이 커터 휠(211)을 기판(10)에 꽉 누른다. 동시에, 하측의 승강 기구(212)가 하측의 커터 휠(211)을 상승시키고, 이 커터 휠(211)을 기판(10)에 꽉 누른다. 이 상태로 지지 부재(213)가 Y축 방향으로 이송된다. 이에 의해 기판(10)의 상부면 및 하부면에, Y축에 평행한 스크라이브 라인이 형성된다. 또한, 후술하는 바와 같이 기판(10)을 분단해서 기판(10)의 단부로부터 단재(11)를 떼어낼 경우에는, 통상의 스크라이브 라인의 형성시에 비하여, 커터 휠(211)이 기판(10)에 강하게 꽉 눌러진다. 이에 의해 기판(10)에 형성되는 스크라이브 라인이 깊어지기 때문에, 단재(11)의 떼어냄을 원활하게 행할 수 있다.

파지부(300)는 기판(10)의 돌출 부분을 파지한다. 파지부(300)는 한 쌍의 파지 부재(311)와, 한 쌍의 축(312)과, 한 쌍의 탄성체(313)와, 수용 부재(314)를 포함한다. 파지 부재(311)는 축(312)에 고정되어 있다. 축(312)은 Y축 방향으로 연장되어 있고, 축(312)의 중심축을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 되도록 수용 부재(314)에 지지되어 있다. 파지 부재(311)는 모터(322)(도 3 참조)에 의해서 축(312)이 회전되는 것에 의해, 축(312)을 회전 중심으로 하여 회전한다. 2개의 파지 부재(311)는 서로 다른 방향으로 회전한다. 탄성체(313)는 파지 부재(311)의 단부에 설치되어 있고, 탄성을 지니는 동시에 마찰력을 높이는 부재(예를 들면, 고무 등)에 의해서 구성되어 있다. 또한, 도 2를 참조해서 설명하는 바와 같이, 파지부(300)는 Y축 방향으로 3개 설치되어 있다.

지지부(400)는, 파지부(300)가 Y축 방향을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 되도록 파지부(300)를 지지하고 있다. 지지부(400)는 축(401)과 지지 부재(402, 403)를 포함한다. 파지부(300)의 수용 부재(314)는 축(401)에 고정되어 있다. 축(401)은 Y축 방향으로 연장되어 있고, 축(401)의 중심축을 회전 중심으로 하여 회전 가능하게 되도록 지지 부재(402)에 지지되어 있다. 파지부(300)의 수용 부재(314)는 모터(411)(도 3 참조)에 의해 축(401)이 회전되는 것에 의해, 축(401)을 회전 중심으로 하여 회전한다. 축(401)은 1개의 파지부(300)에 대하여 1개 설치되어 있다. 지지 부재(402)는 1개의 축(401)에 대하여 2개 설치되어 있다. 지지 부재(403)는 Y축 방향으로 연장되어 있고, 지지 부재(402)의 하단을 지지하고 있다.

승강부(500)는 레일(501)과 지지 부재(502)를 포함하고 있다. 레일(501)은 지지 부재(403)의 Y축 정측 및 Y축 부측에 있어서 1개씩 설치되어 있다. 지지 부재(502)는, Y축 방향으로 연장되어 있다. 2개의 레일(501)은 지지 부재(502)의 상부면에 설치되어 있다. 지지부(400)는 2개의 레일(501)을 따라서 Z축 방향으로 이동 가능하게 되도록 2개의 레일(501)에 지지되어 있다. 승강부(500)는 모터(513)(도 3 참조)에 의해 지지부(400)를 레일(501)을 따라서 Z축 방향으로 승강시킨다.

이송부(600)는 X축 방향으로 연장된 2개의 레일(601)을 포함한다. 2개의 레일(501)은, Y축 방향으로 나열되어 있다. 이송부(600)는 모터(613)(도 2 참조)에 의해 승강부(500)를 레일(601)을 따라서 X축 방향으로 이송한다.

회수부(710)는 제2 반송부(120)의 X축 부측의 단부의 바로 아래 부근에 설치되어 있고, 회수부(720)는 제1 반송부(110)의 X축 정측의 단부의 바로 아래 부근에 설치되어 있다. 회수부(710, 720)는 상부가 상측 방향으로 개방되어 있고, 단재(11)(도 9 및 도 17 참조)를 수용한다.

도 2는 단재 제거 장치(1)를 위에서 본 경우의 구성을 모식적으로 나타낸 평면도이다.

커터 휠(211)은 레일(214)(도 1 참조)을 따라서 Y축 방향으로 이동한다. 파지부(300)는 지지 부재(403)의 상부면 측에 있어서, Y축 방향으로 3개 배치되어 있다. 이송부(600)는 벨트(611)와, 한 쌍의 풀리(612)와, 모터(613)를 포함한다. 벨트(611)는 한 쌍의 풀리(612)에 걸쳐져 있다. 한 쌍의 풀리(612)는 간격을 두고 X축 방향으로 나열되도록 배치되어 있다. X축 부측의 풀리(612)는, 제1 반송부(110)의 X축 정측의 단부의 바로 아래 부근에 배치되어 있고, X축 정측의 풀리(612)는, 제2 반송부(120)의 X축 부측의 단부의 바로 아래 부근에 배치되어 있다. 모터(613)의 구동축은, X축 부측의 풀리(612)에 접속되어 있다. 승강부(500)의 지지 부재(502)의 하부면은, 벨트(611)에 고정되어 있다. 모터(613)가 구동되면, 벨트(611)가 X축 방향으로 이동하고, 벨트(611)에 고정된 승강부(500)가 X축 방향으로 이송된다.

도 3은, 단재 제거 장치(1)의 일부를 X축 부방향으로 본 경우의 구성을 모식적으로 나타낸 측면도다.

파지부(300)는 수용 부재(314)의 내부에, 2개의 기어(321)와, 모터(322)를 포함한다. 기어(321)는 2개의 축(312)에 각각 고정되어 있고, 2개의 기어(321)는 서로 맞물려 있다. 모터(322)의 구동축은 2개의 축(312) 중 한쪽의 축(312)에 접속되어 있다.

모터(322)가 구동되면, 모터(322)의 구동축이 접속된 축(312)이 Y축 방향으로 회전한다. 이때, 2개의 기어(321)는 서로 맞물려 있기 때문에, 한쪽의 축(312)의 회전에 맞추어, 다른 쪽의 축(312)도 회전한다. 이에 의해 2개의 파지 부재(311)가, 각각 설치된 축(312)을 회전 중심으로 하여 회전한다. 또한, 이때, 기어(321)의 회전 방향은 서로 역방향이 되기 때문에, 파지 부재(311)의 선단 부분은 서로 근접되거나 또는 서로 이간한다. 파지 부재(311)의 선단 부분이 서로 근접되는 것에 의해, 한 쌍의 파지 부재(311)에 의해 기판(10)의 돌출 부분이 파지된다. 파지 부재(311)의 선단 부분이 서로 이간하는 것에 의해, 한 쌍의 파지 부재(311)에 의해 파지된 단재(11)(도 9 및 도 17 참조)가 떨어지게 된다.

지지부(400)는 3개의 파지부(300)에 각각 대응하는 모터(411)를 포함한다.

모터(411)는 지지 부재(402)에 설치되어 있고, 모터(411)의 구동축은 축(401)에 접속되어 있다. 모터(411)가 구동되면, 축(401)에 고정된 파지부(300)가 축(401)을 회전 중심으로 하여 회전한다.

승강부(500)는, 벨트(511)와, 한 쌍의 풀리(512)와, 모터(513)와, 고정 부재(514)를 포함한다. 벨트(511)는 한 쌍의 풀리(512)에 걸쳐져 있다. 한 쌍의 풀리(512)는 간격을 두고 Z축 방향으로 나열되도록 배치되어 있다. 모터(513)의 구동축은 Z축 정측의 풀리(512)에 접속되어 있다. 고정 부재(514)는 벨트(511)와 지지부(400)의 지지 부재(403)를 접속하고 있다. 모터(513)가 구동되면, 벨트(511)가 Z축 방향으로 이동하고, 벨트(511)에 고정된 지지부(400)가 Z축 방향으로 승강한다.

다음에, 도 4 내지 18을 참조하여 단재 제거 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 우선 파지부(300)가 분단부(200)와 제2 반송부(120) 사이의 공간에 있어서, 반송되는 기판(10)과 같은 높이에 위치 부여된다. 그리고, 제1 반송부(110)에 지지된 기판(10)이, 제1 반송부(110)에 의해 X축 정방향으로 반송되고, 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120) 사이의 공간에 돌출되게 된다. 제1 반송부(110)로부터 돌출된 기판(10)의 돌출 부분이, 파지부(300)의 파지 부재(311)까지 이동하면, 파지 부재(311)가 축(312)을 중심으로 하여 회전된다. 이에 의해, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판(10)의 돌출 부분이 파지 부재(311)에 의해 파지된다.

계속해서, 도 5에 나타낸 바와 같이 통상의 스크라이브 라인의 형성시에 비하여 강한 힘으로, 상측의 커터 휠(211)이, 기판(10)의 상부면에 꽉 눌러지고, 하측의 커터 휠(211)이 기판(10)의 하부면에 꽉 눌러진다. 이 상태로 한 쌍의 커터 휠(211)이 Y축 방향으로 이송된다. 이에 의해 기판(10)의 상부면과 하부면에는, Y축에 평행하고, 또한 깊은 스크라이브 라인이 형성된다. 여기서, 이 스크라이브 라인의 형성에 의해서 기판(10)은 완전히 분단되어 있지 않고, 스크라이브 라인보다도 X축 정측에 위치하는 기판(10)은, 스크라이브 라인보다도 X축 부측에 위치하는 기판(10)과 근소하게 연결되어 있다.

계속해서, 도 6에 나타낸 바와 같이 한 쌍의 커터 휠(211)이 기판(10)으로부터 떨어지게 된다. 그리고, 승강부(500)가 이송부(600)에 의해 X축 정방향으로 근소하게 이송되고, 지지부(400)가 승강부(500)에 의해 Z축 정방향으로 근소하게 이송된다. 이에 의해 파지부(300)가 오른쪽 아래로 소정의 거리만큼 이동된다. 이 동작에 의해, 기판(10)이 분단부(200)에 의해서 형성된 스크라이브 라인에 있어서 분단되고, 파지부(300)에 의해 파지된 기판(10)의 돌출 부분이 단재(11)가 된다. 단재(11)는 불필요하기 때문에, 그 후의 동작에 의해 회수부(710)에 폐기된다.

계속해서, 도 7에 나타낸 바와 같이 Y축 부방향으로 보아서 축(401)이 시계방향으로 90° 회전되는 것에 의해, 파지부(300)가 Y축 부방향으로 보아서 시계방향으로 90° 회전된다. 이에 의해 파지부(300)에 파지된 단재(11)가 상측 방향으로 들어 올려진다.

계속해서, 도 8에 나타낸 바와 같이 지지부(400)가 승강부(500)에 의해 Z축 정방향으로 이송된다. 이에 의해 단재(11)를 파지하는 파지부(300)가 하측 방향으로 이송된다.

이어서, 도 9에 나타낸 바와 같이, Y축 부방향으로 보아서 축(401)이 시계방향으로 90° 회전되는 것에 의해, 파지부(300)가 Y축 부방향으로 보아서 시계방향으로 90° 회전된다. 이에 의해 파지부(300)에 파지된 단재(11)가, 회수부(710)의 위쪽에 위치 부여된다. 그리고, 파지 부재(311)가 축(312)을 중심으로 하여 회전된다. 이에 의해 도 9에 나타낸 바와 같이, 단재(11)가 파지부(300)로부터 떨어지고, 회수부(710)에 회수된다.

계속해서, 도 10에 나타낸 바와 같이, 승강부(500)가 이송부(600)에 의해 X축 부방향으로 소정의 거리만큼 이송된다. 이에 의해 파지부(300)와 지지부(400)와 승강부(500)가, 제1 반송부(110)와 분단부(200) 사이의 공간에 위치 부여된다. 또한, 이때, 파지부(300)와 지지부(400)와 승강부(500)는, 분단부(200)의 아래에 위치하는 공간(201)을 통과하여, 분단부(200)의 X축 정측으로부터 X축 부측으로 이송된다.

또한, 도 9, 10에 나타낸 바와 같이, 파지부(300)가, 분단부(200)보다도 아래에 위치 부여되면, 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120)에 의해 기판(10)이 X축 정방향으로 반송되고, 순차로 분단부(200)가 기판(10)의 상부면과 하부면에 Y축에 평행한 스크라이브 라인을 형성한다. 이 경우, 통상의 강도로 커터 휠(211)이 기판(10)에 꽉 눌러진다.

스크라이브 라인의 형성에 있어서 기판(10)이 X축 정방향으로 반송됨에 의해, 기판(10)의 X축 부측의 단부가 분단부(200)의 위치까지 반송되면, 도 11에 나타낸 바와 같이, 지지부(400)가 승강부(500)에 의해 Z축 부방향으로 소정의 거리만큼 이송된다. 이에 의해 파지부(300)가, 제1 반송부(110)와 분단부(200) 사이의 공간에 있어서, 반송되는 기판(10)과 같은 높이에 위치 부여된다.

계속해서, 도 12에 나타낸 바와 같이 제2 반송부(120)에 지지된 기판(10)이, 제2 반송부(120)에 의해 X축 부방향으로 반송된다. 제2 반송부(120)로부터 돌출된 기판(10)의 돌출 부분이 파지부(300)의 파지 부재(311)까지 이동하면, 파지 부재(311)가 축(312)을 중심으로 하여 회전된다. 이에 의해 도 12에 나타낸 바와 같이, 기판(10)의 돌출 부분이 파지 부재(311)에 의해 파지된다.

계속해서, 도 13에 나타낸 바와 같이 통상의 스크라이브 라인의 형성시에 비하여 강한 힘으로, 상측의 커터 휠(211)이 기판(10)의 상부면에 꽉 눌러지고, 하측의 커터 휠(211)이, 기판(10)의 하부면에 꽉 눌러진다. 이 상태로, 한 쌍의 커터 휠(211)이 Y축 방향으로 이송된다. 이에 의해 기판(10)의 상부면과 하부면에는 Y축에 평행하고, 또한, 깊은 스크라이브 라인이 형성된다. 이 경우에도 이 스크라이브 라인의 형성에 의해서 기판(10)은 완전히 분단되어 있지 않고, 스크라이브 라인보다도 X축 부측에 위치하는 기판(10)은 스크라이브 라인보다도 X축 정측에 위치하는 기판(10)과 근소하게 연결되어 있다.

계속해서, 도 14에 나타낸 바와 같이 한 쌍의 커터 휠(211)이 기판(10)으로부터 떨어지게 된다. 그리고, 승강부(500)가 이송부(600)에 의해 X축 부방향으로 약간 이송되고, 지지부(400)가 승강부(500)에 의해 Z축 정방향으로 근소하게 이송된다. 이에 의해 파지부(300)가 왼쪽 아래로 소정의 거리만큼 이동된다. 이 동작에 의해, 기판(10)이 분단부(200)에 의해 형성된 스크라이브 라인에 있어서 분단되고, 파지부(300)에 의해 파지된 기판(10)이 단재(11)가 된다. 단재(11)는 불필요하기 때문에, 그 후의 동작에 의해 회수부(720)에 폐기된다.

계속해서, 도 15에 나타낸 바와 같이 Y축 부방향으로 보아서 축(401)이 반시계방향으로 90° 회전되는 것에 의해, 파지부(300)가 Y축 부방향으로 보아서 반시계방향으로 90° 회전된다. 이에 의해 파지부(300)에 파지된 단재(11)가 위쪽 방향으로 들어 올려진다.

계속해서, 도 16에 나타낸 바와 같이 지지부(400)가 승강부(500)에 의해 Z축 정방향으로 소정의 거리만큼 이송된다. 이에 의해 단재(11)를 파지하는 파지부(300)가 아래 방향으로 이송된다.

계속해서, 도 17에 나타낸 바와 같이, Y축 부방향으로 보아서 축(401)이 반시계방향으로 90° 회전되는 것에 의해, 파지부(300)가 Y축 부방향으로 보아서 반시계방향으로 90° 회전된다. 이에 의해 파지부(300)에 파지된 단재(11)가 회수부(720)의 위쪽에 위치 부여된다. 그리고, 파지 부재(311)가 축(312)을 중심으로 하여 회전된다. 이에 의해 도 17에 나타낸 바와 같이, 단재(11)가 파지부(300)로부터 떨어지고, 회수부(720)에 회수된다.

X축 부측의 단재(11)가 제거된 기판(10)은, 제2 반송부(120)에 의해 X축 정방향으로 반송되고, 단재 제거 장치(1)의 X축 정측에 위치하는 브레이크 장치(도시 생략)에 의해서, 스크라이브 라인을 따라서 기판(10)이 분단된다.

계속해서, 도 18에 나타낸 바와 같이, 승강부(500)가 이송부(600)에 의해서 X축 정방향으로 소정의 거리만큼 이송된다. 이에 의해 파지부(300)와 지지부(400)와 승강부(500)가, 분단부(200)와 제1 반송부(110) 사이의 공간에 위치 부여된다.

이 경우에도, 파지부(300)와 지지부(400)와 승강부(500)는, 분단부(200)의 아래에 위치하는 공간(201)을 통과하여, 분단부(200)의 X축 부측으로부터 X축 정측으로 이송된다.

그 후, 지지부(400)가 승강부(500)에 의해 상측 방향으로 이송되고, 파지부(300)가 도 4와 마찬가지로, 반송되는 기판(10)과 동일한 높이에 위치 부여된다. 그리고, 도 4 내지 18과 마찬가지의 동작이 행하여지고, 제1 반송부(110)에 의해서 새롭게 반송된 기판(10)으로부터, 반송 방향 앞쪽의 단재(11) 및 반송 방향 뒤쪽의 단재(11)가 제거되고, 각각 회수부(710, 720)에 폐기된다.

도 19는 단재 제거 장치(1)의 구성을 나타낸 블록도이다.

단재 제거 장치(1)는 도 1 내지 3에 나타낸 제1 반송부(110)와, 제2 반송부(120)와, 분단부(200)와, 파지부(300)와, 지지부(400)와, 승강부(500)와, 이송부(600)를 포함한다. 또한, 단재 제거 장치(1)는 상기 구성에 더하여 제어부(1a)를 포함한다.

분단부(200)는 스크라이브 라인을 형성하기 위한 한 쌍의 스크라이브 유닛(210)을 포함하고 있다. 파지부(300)는 파지 부재(311)를 회전시키기 위한 모터(322)를 포함하고 있다. 지지부(400)는 파지부(300)를 회전시키기 위한 모터(411)를 포함하고 있다. 승강부(500)는 지지부(400)를 승강시키기 위한 모터(513)를 포함하고 있다. 이송부(600)는 승강부(500)를 이송하기 위한 모터(613)를 포함하고 있다.

제어부(1a)는 연산 처리부와 기억부를 포함한다. 연산 처리부는, 예를 들면, CPU, MPU 등에 의해 구성된다. 기억부는, 예를 들면 플래시 메모리, 하드 디스크 등에 의해 구성된다. 제어부(1a)는 기억부에 기억된 프로그램을 따라서, 단재 제거 장치(1)의 각 부로부터 신호를 수신하고, 단재 제거 장치(1)의 각 부를 제어한다.

<실시형태의 효과>

본 실시형태에 따르면 이하의 효과가 나타난다.

파지부(300)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 분단부(200)에 의해서 단재(11)가 되는 기판(10)의 돌출 부분이, 제1 반송부(110) 측으로부터 돌출할 경우, 기판(10)의 반송 방향 앞쪽으로부터 기판(10)의 돌출 부분을 파지한다. 또한, 파지부(300)는, 도 12에 나타낸 바와 같이, 분단부(200)에 의해서 단재(11)가 되는 기판(10)의 돌출 부분이, 제2 반송부(120) 측으로부터 돌출할 경우, 기판(10)의 반송 방향 뒤쪽으로부터 기판(10)의 돌출 부분을 파지한다. 이와 같이, 분단부(200))에 의한 분단 동작 시에, 기판(10)의 X축 정측의 단부로부터 분단되는 단재(11)와, 기판(10)의 X축 부측의 단부로부터 분단되는 단재(11)가, 파지부(300)에 의해서 파지된다. 따라서, 단재(11)가 낙하해서 장치의 기구부 등(예를 들면, 스크라이브 유닛(210)의 레일(214)이나 볼 나사(215))에 들어가는 일이 없다. 따라서, 단재(11)가 원인이 되는 장치의 동작 불량을 억제할 수 있다.

파지부(300)는, 반송 방향 앞쪽 및 반송 방향 뒤쪽의 양쪽으로부터 기판(10)의 돌출부를 파지하도록, 파지 방향이 180° 회전 가능하게 지지부(400)에 지지되어 있다. 예를 들면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판(10)이 제1 반송부(110) 측으로부터 돌출하고 있을 경우, 파지부(300)의 파지 방향은 X축 부방향이 되고, 도 12에 나타낸 바와 같이, 기판(10)이 제2 반송부(120) 측으로부터 돌출하고 있을 경우, 파지부(300)의 파지 방향은 X축 정방향이 된다. 이와 같이, 파지 방향이 180° 반전 가능하면, 반송 방향 앞쪽 및 반송 방향 뒤쪽의 양쪽으로부터 기판(10)의 돌출 부분을 파지하기 때문에, 파지부(300)를 1개만 설치하면 되므로, 단재 제거 장치(1)에 설치하는 파지부(300)를 소형화할 수 있다. 따라서, 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120) 사이의 공간에 원활하게 파지부(300)를 위치 부여할 수 있다.

지지부(400)는 파지부(300)를 지지하고 있고, 승강부(500)는 지지부(400)를 승강시키고, 이송부(600)는 승강부(500)를 기판(10)의 반송 방향으로 이송한다. 이와 같이, 지지부(400)를 승강시키는 승강부(500)와, 지지부(400)를 반송 방향으로 이송하는 이송부(600)가 설치되면, 제1 반송부(110)와 제2 반송부(120) 사이의 공간을 넓히는 일 없이, 파지부(300)의 파지 방향을 원활하게 바꿀 수 있다.

기판(10)의 X축 정측의 단부로부터 분단된 단재(11)는, 도 9에 나타낸 바와 같이 분단부(200)보다도 아래의 위치에 있을 때에, 파지부(300)에 의한 파지가 해제되고 회수부(710)에 폐기된다. 또한, 기판(10)의 X축 부측의 단부로부터 분단된 단재(11)는, 도 17에 나타낸 바와 같이 분단부(200)보다도 아래의 위치에 있을 때에, 파지부(300)에 의한 파지가 해제되고 회수부(720)에 폐기된다. 이에 의해 분단부(200)에 단재(11)가 들어가는 것을 확실하게 억제할 수 있다.

파지부(300)가 기판(10)의 돌출 부분의 파지 위치로부터 하강하는 공정에 있어서, 파지부(300)에 의한 파지가 해제되고, 파지부(300)에 파지된 단재(11)가 회수부(710, 720)에 폐기된다. 파지부(300)가 하강하는 공정이란, 도 6, 14에 나타낸 바와 같이 단재(11)의 분단이 행하여진 후, 승강부(500)에 의해서 파지부(300)가 아래 방향으로 이동되고, 이송부(600)에 의해서 X축 방향으로 이송되기 직전까지의 공정이다. 이에 의해 파지부(300)가 단재(11)를 계속해서 파지하는 경로를 짧게 할 수 있기 때문에, 단재(11)의 이송시에 잘못해서 단재(11)가 파지부(300)로부터 낙하하는 것을 억제할 수 있다.

분단부(200)는, 도 5를 참조해서 설명한 바와 같이, 분단 동작에 있어서 기판(10)에 스크라이브 라인을 형성한다. 그 후, 파지부(300)는 도 5에 나타낸 기판(10)의 돌출 부분의 파지 위치로부터, 도 6에 나타낸 위치로 이동하여, 기판(10)으로부터 단재(11)를 분리시킨다. 마찬가지로, 분단부(200)는 도 13을 참조해서 설명한 바와 같이, 분단 동작에 있어서 기판(10)에 스크라이브 라인을 형성한다. 그 후, 파지부(300)는 도 13에 나타낸 기판(10)의 돌출 부분의 파지 위치로부터, 도 14에 나타낸 위치로 이동하여, 기판(10)으로부터 단재(11)를 분리시킨다. 이와 같이, 분단부(200)의 분단 동작에 의해서는 단재(11)가 분리되지 않고, 파지부(300)가 도 6, 14의 위치로 이동하는 것에 의해서 단재(11)가 떼어내진다. 이에 의해 분단 동작에 있어서 단재(11)가 낙하하는 것을 억제할 수 있다.

분단부(200)가 기판(10)의 돌출 부분에 대한 분단 동작을 행할 때에, 파지부(300)는 도 5, 13에 나타낸 바와 같이 기판(10)의 돌출 부분을 파지한다. 이와 같이, 분단부(200)의 분단 동작시에도 기판(10)의 돌출 부분이 파지되기 때문에, 단재(11)가 낙하하는 것을 보다 확실하게 억제할 수 있다.

〈변경예〉

이상으로 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 하등 제한되는 것이 아니며, 또한, 본 발명의 실시형태도 상기 이외에 다양한 변경이 가능하다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는 회수부(710, 720)가 분단부(200)보다도 아래에 설치되고, 파지부(300)는 단재(11)를 파지한 상태로 하강하고, 단재(11)를 회수부(710, 720)에 폐기했다. 그러나 이에 한정되지 않고, 회수부(710, 720)가 분단부(200)보다도 위에 설치되고, 파지부(300)는 단재(11)를 파지한 상태로 상승하고, 단재(11)를 회수부(710, 720)에 폐기해도 된다. 이 경우, 예를 들면, 파지부(300)는 단재(11)를 폐기한 후, 분단부(200)의 상측을 통과하여 X축 방향으로 이송된다.

이 경우에 있어서도, 상기 실시형태와 마찬가지로 파지부(300)에 의해 단재(11)가 파지되어서 회수부(710, 720)에 폐기되기 때문에, 단재(11)가 낙하해서 장치의 기구부 등에 들어가는 것이 억제된다.

단, 이 변경예에서는 분단부(200)보다도 위의 위치에 있어서 파지부(300)에 의한 단재(11)의 파지가 해제되게 되기 때문에, 분단부(200)에 단재(11)가 들어갈 가능성이 높아진다. 따라서, 상기 실시형태와 같이 회수부(710, 720)는 분단부(200)보다도 아래에 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 실시형태에서는 파지부(300)가 축(401)을 회전 중심으로 하여 180° 회전하는 것에 의해, 제1 반송부(110) 측으로부터 돌출한 기판(10)과, 제2 반송부(120) 측으로부터 돌출한 기판(10)을 파지했다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 파지부(300)가, 반송 방향을 향하게 된 한 쌍의 파지 부재와, 반송 방향과 반대로 향하게 된 한 쌍의 파지 부재를 포함해도 된다. 이 경우, 제1 반송부(110) 측으로부터 돌출한 기판(10)은, 반송 방향의 반대를 향하게 된 한 쌍의 파지 부재에 의해 파지되고, 파지부(300)의 하강과 X축 부방향으로의 이동을 거쳐, 단재(11)가 회수부(720)에 회수된다. 제2 반송부(120) 측으로부터 돌출한 기판(10)은, 반송 방향을 향하게 된 한 쌍의 파지 부재에 의해 파지되고, 파지부(300)의 하강과 X축 정방향으로의 이동을 거쳐, 단재(11)가 회수부(710)에 회수된다.

이 변경예에서는, 파지부(300)의 X축 정측과 X축 부측에 각각 한 쌍의 파지 부재가 돌출하기 때문에, 파지부(300)가 X축 방향으로 커진다. 또한, 상기 실시형태에 비하여, 파지부(300)가 단재(11)를 계속해서 파지하는 경로가 길어지기 때문에, 단재(11)의 이송시에 잘못해서 단재(11)가 파지부(300)로부터 낙하할 가능성이 높아진다. 따라서, 파지부(300)를 소형화하고, 단재(11)가 낙하할 가능성을 낮게 하려면, 상기 실시형태와 같이 파지부(300)가 180° 회전하는 것이 바람직하다.

혹은, 이 변경예에 있어서 분단된 단재(11)는, 분단부(200)의 바로 아래에 설치된 회수부에 의해 회수되어도 된다. 이 경우, 파지부(300)가 단재(11)를 계속해서 파지하는 경로는 상기 실시형태와 마찬가지로 짧지만, 단재(11)를 파지하는 방향과 단재(11)를 떨어뜨리는 방향이 같기 때문에, 분단부(200)에 단재(11)가 들어갈 가능성이 높아진다. 따라서, 상기 실시형태와 같이 파지부(300)가 180° 회전하고, 단재(11)를 파지하는 방향과 단재(11)를 떨어뜨리는 방향이 반대 방향인 것이 바람직하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 파지부(300)가 180° 회전했지만, 파지부(300)가 회전하는 것을 대신하여, 도 20(a) 및 도 20(b)에 나타낸 바와 같이, 파지 부재(311)가 180° 회전해도 된다. 이 변경예에서는 축(401)이 생략되고, 파지부(300)의 수용 부재(314)가 지지 부재(402)에 고정되어 있다. 또한, 파지 부재(311)의 단부에는 상측과 하측의 양쪽에 탄성체(313)가 설치되어 있다.

이 변경예에서는, 제1 반송부(110) 측으로부터 돌출한 기판(10)은, 도 20(a)의 상태에서 파지 부재(311)에 의해서 파지되고, 파지부(300)의 하강과 X축 부방향으로의 이동을 거쳐, 단재(11)가 회수부(720)에 회수된다. 계속해서, 한 쌍의 파지 부재(311)가 도 20(a)의 상태로부터, 더욱 개방되는 방향으로 회전되고, 도 20(b)에 나타낸 상태가 된다. 그리고, 제2 반송부(120) 측으로부터 돌출한 기판(10)은, 도 20(b)의 상태에서 파지 부재(311)에 의해서 파지되고, 파지부(300)의 하강과 X축 정방향으로의 이동을 거쳐, 단재(11)가 회수부(710)에 회수된다.

도 20(a) 및 도 20(b)에 나타낸 변경예에서는, 파지부(300)를 회전시키기 위한 기구를 설치할 필요가 없기 때문에, 파지부(300)의 소형화를 실현할 수 있다. 단, 상기 실시형태에 비하여 파지부(300)가 단재(11)를 계속해서 파지하는 경로가 길어지기 때문에, 단재(11)가 낙하할 가능성을 낮추려면, 상기 실시형태와 같이 파지부(300)가 180° 회전하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 실시형태에서는 도 3에 나타낸 바와 같이, 모터(322)에 의해 축(312)이 회전되게 되는 것에 의해, 파지 부재(311)가 개폐되었다. 또한, 모터(411)에 의해 축(401)이 회전되게 되는 것에 의해, 파지부(300)가 지지부(400)에 대해서 회전했다. 그러나 이에 한정되지 않고, 축(312)이 벨트에 걸쳐지고, 이 벨트의 타단이 풀리에 걸쳐지고, 모터에 의해 풀리가 회전되게 되는 것에 의해, 파지 부재(311)가 개폐되어도 된다. 마찬가지로, 축(401)이 벨트에 걸쳐지고, 이 벨트의 타단이 풀리에 걸쳐지고, 모터에 의해 풀리가 회전되게 되는 것에 의해, 파지부(300)가 지지부(400)에 대해서 회전되어도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 파지 부재(311)의 개폐와, 파지부(300)의 회전과, 지지부(400)의 상하 방향의 이송과, 승강부(500)의 X축 방향으로의 이송이, 모터를 구동원으로 하여 행해졌다. 그러나, 구동원은 모터로 한정되지 않으며, 예를 들면 에어 실린더이어도 된다. 또한, 파지 부재(311)의 개폐와, 파지부(300)의 회전이, 별개의 모터를 구동원으로 하여 행하여졌지만, 1개의 모터를 구동원으로 하여 행하여져도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 단재(11)를 떼어내기 직전에 행하여지는 스크라이브 라인의 형성에 있어서 기판(10)은 완전히 분단되지 않지만, 이에 한정되지 않고, 기판(10)은 완전히 분단되어도 된다. 상기 실시형태에서는, 도 4, 12에 나타낸 바와 같이, 미리 기판(10)의 돌출 부분이 파지부(300)에 의해 파지되어 있기 때문에, 단재(11)를 떼어내기 직전에 행하여지는 스크라이브 라인의 형성에 있어서 기판(10)이 완전히 분단되었다고 해도, 단재(11)가 낙하하는 것이 억제된다. 또한, 스크라이브 라인의 형성 후에 파지부(300)에 의한 파지가 행하여질 경우에는, 단재(11)의 낙하를 방지하기 위해서, 상기 실시형태와 마찬가지로 기판(10)은 완전히 분단되지 않는 것이 바람직하다.

또한, 상기 실시형태에서는 상하에 한 쌍의 스크라이브 유닛(210)이 설치되었지만, 어느 한쪽의 스크라이브 유닛(210)만 설치되어도 된다. 예를 들면, 상측의 스크라이브 유닛(210)만 설치되어도 된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 제1 반송부(110) 및 제2 반송부(120)가 벨트 컨베이어에 의해 구성되었지만, 이에 한정되지 않고, 도 21에 나타낸 바와 같이 제1 반송부(110)는 2개의 벨트 컨베이어(111)와 3개의 테이블(112)을 포함하고, 제2 반송부(120)는 2개의 벨트 컨베이어(121)와 3개의 테이블(122)을 포함해도 된다. 테이블(112, 122)의 상부면에는, 기판(10)을 흡착하기 위한 다수의 구멍이 형성되어 있다. 도시하지 않는 공압원에 의해, 테이블(112, 122)의 구멍에 압력이 부여된다. 스크라이브 라인의 형성 시에는, 테이블(112, 122)의 구멍에 부압이 부여되는 것에 의해서 기판(10)이 테이블(112)에 흡착된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 분단부(200)는 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛(210)을 포함하지만, 이것을 대신하여 브레이크 바에 의해 스크라이브 라인을 눌러서 브레이크하는 구성을 포함해도 된다. 이 경우, 단재 제거 장치(1)의 상류의 장치에 있어서 스크라이브 라인이 형성되고, 스크라이브 라인이 형성된 기판(10)이 제1 반송부(110)에 의해서 X축 정방향으로 반송된다. 그리고, 파지부(300)가 기판(10)의 X축 정측 또는 X축 부측의 단부를 파지한 상태로, 분단부(200)의 브레이크 바에 의해서, 스크라이브 라인을 따라서 기판(10)이 분단된다. 이 경우에도 기판(10)으로부터 떼어내진 단재(11)는, 파지부(300)에 의해서 파지되어 회수부(710, 720)에 폐기된다.

1: 단재 제거 장치 10: 기판
11: 단재 110: 제1 반송부
120: 제2 반송부 200: 분단부
300: 파지부 400: 지지부
500: 승강부 600: 이송부
710, 720: 회수부

Claims

기판을 지지하여 반송하는 제1 반송부와,
상기 제1 반송부로부터 반출된 상기 기판을 받아들이는 동시에, 상기 기판을 지지하여 반송하는 제2 반송부와,
상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 사이에 배치되어, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 사이의 공간에 돌출하는 상기 기판의 돌출 부분을 분단하는 분단부와,
상기 분단부에 의해서 단재가 되는 상기 돌출 부분이 상기 제1 반송부 측으로부터 돌출하는 경우에는 상기 기판의 반송 방향 앞쪽으로부터 상기 돌출 부분을 파지하고, 상기 단재가 되는 상기 돌출 부분이 상기 제2 반송부 측으로부터 돌출하는 경우에는 상기 기판의 반송 방향 뒤쪽으로부터 상기 돌출 부분을 파지하는 파지부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 단재 제거 장치.
제1항에 있어서, 상기 파지부는, 상기 반송 방향 앞쪽 및 상기 반송 방향 뒤쪽의 양쪽으로부터 상기 돌출 부분을 파지하도록, 파지 방향이 180° 회전 가능하게 지지부에 지지되어 있는, 단재 제거 장치.
제2항에 있어서, 상기 지지부를 승강시키는 승강부와, 상기 지지부를 상기 기판의 반송 방향으로 이송하는 이송부를 포함하는, 단재 제거 장치.
제3항에 있어서, 상기 지지부를 승강시키고, 또한, 상기 반송 방향으로 이송할 때에, 상기 파지부에 의한 파지 방향을 바꾸는 단재 제거 장치
제3항에 있어서, 상기 분단부보다도 아래의 위치에 있을 때에, 상기 파지부에 의한 파지를 해제하여, 상기 파지부에 파지된 상기 단재를 회수부에 폐기하는, 단재 제거 장치.
제5항에 있어서, 상기 파지부가 상기 돌출 부분의 파지 위치로부터 하강하는 공정에 있어서, 상기 파지부에 의한 파지를 해제하여, 상기 파지부에 파지된 상기 단재를 상기 회수부에 폐기하는, 단재 제거 장치.
제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분단부는 상기 분단 동작에 있어서 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하고,
상기 파지부는, 상기 분단 동작 후에 상기 돌출 부분의 파지 위치로부터 이동하여, 상기 단재를 상기 기판으로부터 분리시키는, 단재 제거 장치.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분단부가 상기 돌출 부분에 대한 분단 동작을 행할 때에, 상기 파지부가 상기 돌출 부분을 파지하는, 단재 제거 장치.