KR20180054728A

KR20180054728A - 변위 검출 장치

Info

Publication number: KR20180054728A
Application number: KR1020187010611A
Authority: KR
Inventors: 마사시 카와다
Original assignee: 파나소닉 디바이스 썬크스 주식회사
Priority date: 2015-10-19
Filing date: 2016-07-26
Publication date: 2018-05-24
Also published as: DE112016004765T5; JP2017078586A; WO2017068830A1; CN108139192A

Abstract

홀더에 출몰 가능하게 지지된 스핀들의 선단부를 피측정물에 맞닿게 하여, 그 피측정물의 변위를 검출하는 센서 헤드와, 센서 헤드의 검출신호에 기초한 측정값을 표시하는 표시부를 구비한 제어 유닛을 구비한 변위 검출 장치에 있어서, 제어 유닛(6)에는, 스핀들 위치의 측정값과 미리 설정한 문턱값을 비교하는 비교 수단(9)과, 측정값이 문턱값을 초과할 때, 알람 신호를 출력하는 알람 신호 생성부(9)를 구비한다.

Description

변위 검출 장치

본 발명은, 피측정물의 형상 변위를 검출하는 변위 검출 장치에 관한 것이다.

피측정물의 외형 형상의 변위를 검출하는 변위 검출 장치는, 피측정물의 기계적 변위량을 검출하여 전기신호로 변환하는 복수의 센서 헤드와, 각 센서 헤드로부터 출력되는 검출신호가 각각 입력되는 복수의 제어 유닛을 구비하고 있다.

센서 헤드는, 홀더에 스핀들이 출몰 가능하게 지지되고, 그 스핀들의 선단부에 접촉자가 구비되어 있다. 그리고, 센서 헤드의 설치 위치에 피측정물이 반송되어, 접촉자가 피측정물에 맞닿았을 때, 기준 위치에 대한 스핀들의 변위량이 홀더 내의 검출부에서 검출되어 전기신호로 변환된다.

통상의 측정 동작시에는, 각 제어 유닛은 각 센서 헤드로부터 출력되는 검출신호에 기초하여 변위량이 정상인지 여부를 판정하고, 그 판정 결과가 각 제어 유닛에 구비된 디스플레이에 표시된다.

또한, 통상의 측정 동작에 앞서, 센서 헤드의 설치 위치의 조정이 수행된다. 설치 위치의 조정은, 기준이 되는 피측정물에 접촉자를 맞닿게 했을 때, 검출신호로서 출력되는 변위량이 문턱값 이내에 들어가도록 조정된다.

특허 문헌 1에는, 피측정물에 대해 가동부를 접촉시켜 피측정물의 변위량을 검출하는 변위 검출 장치가 개시되어 있다.

일본국 특허공개 2007-240225호 공보

상기와 같은 변위 검출 장치에서는, 센서 헤드의 설치 위치의 조정시에, 디스플레이에 표시되는 변위량이 문턱값 이내에 들어가도록 조정된다. 그러나, 조정 후의 스핀들의 위치는, 스핀들의 가동 범위 내에서 어디에 위치하는지는 표시되어 있지 않다.

따라서, 스핀들의 가동 범위의 단부에서 기준이 되는 피측정물의 변위량이 문턱값 이내가 되도록 설정해 버리면, 통상의 측정 동작시에 스핀들이 가동 범위를 넘어 버려, 정확한 측정을 할 수 없는 경우가 있다.

예를 들어, 의도하지 않은 자세로 반송된 워크를 측정하는 경우, 혹은 의도하지 않은 높이 치수의 워크를 측정하는 등의 경우이다.

이 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 피측정물의 변위량을 정확하게 검출 가능하게 하도록, 센서 헤드의 설치 위치의 조정 작업을 용이하게 수행할 수 있음과 아울러, 통상 측정 동작에 있어서 안정된 측정 동작을 가능하게 하는 변위 검출 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하는 변위 검출 장치는, 홀더에 출몰 가능하게 지지된 스핀들의 선단부를 피측정물에 맞닿게 하여, 상기 피측정물의 변위를 검출하는 센서 헤드와, 상기 센서 헤드의 검출신호에 기초한 측정값을 표시하는 표시부를 구비한 제어 유닛을 구비한 변위 검출 장치에 있어서, 상기 제어 유닛에는, 상기 스핀들 위치의 측정값과 미리 설정한 문턱값을 비교하는 비교 수단과, 상기 스핀들 측정값이 문턱값을 초과할 때, 알람 신호를 출력하는 알람 신호 생성부를 구비한 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의해, 스핀들 위치의 측정값이 문턱값을 초과하면, 알람 신호가 출력된다.

또한, 상기의 변위 검출 장치에서는, 상기 제어 유닛에는, 상기 문턱값을 설정하는 문턱값 설정 수단을 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의해, 문턱값 설정 수단에서 문턱값이 설정된다.

또한, 상기의 변위 검출 장치에서는, 상기 제어 유닛에는, 상기 알람 신호의 입력에 기초하여 알람 표시를 수행하는 알람 표시부를 접속한 것이 바람직하다.

이 구성에 의해, 알람 신호가 출력되면, 알람 표시부에서 알람 표시가 수행된다.

또한, 상기의 변위 검출 장치에서는, 상기 비교 수단은, 상기 스핀들 위치의 측정값과 상기 문턱값의 비교를 상시 수행하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의해, 스핀들 위치의 측정값과 문턱값의 비교 타이밍을 새로이 설정하는 일 없이, 상시 비교된다.

또한, 상기의 변위 검출 장치에서는, 상기 제어 유닛에는, 미리 설정된 다수의 설정 모드 중에서 알람 설정 모드를 선택하는 키와, 상기 알람 설정 모드에서, 알람 설정의 온 오프를 선택하는 키를 구비하고, 상기 알람 설정이 온일 때, 상기 알람 신호 생성부는 상기 알람 신호를 출력하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의해, 알람 설정이 오프되었을 때에는 알람 신호가 출력되지 않는다.

또한, 상기의 변위 검출 장치에서는, 상기 키는, 상기 표시부의 측방에 설치한 복수의 키로 구성하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의해, 표시부를 확인하면서, 알람 설정 모드의 선택 조작과, 알람 설정의 온 오프 조작이 가능해진다.

본 발명의 변위 검출 장치에 따르면, 피측정물의 변위량을 정확하게 검출 가능하게 하도록, 센서 헤드의 설치 위치의 조정 작업을 용이하게 수행할 수 있음과 아울러, 안정된 측정 동작을 수행할 수 있다.

도 1은 변위 검출 장치를 나타내는 개요도이다.
도 2는 변위 검출 장치의 전기적 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 3은 제어 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 4는 제어 유닛의 조작 패널을 나타내는 정면도이다.
도 5는 표시부의 동작을 나타내는 정면도이다.
도 6은 표시부의 동작을 나타내는 정면도이다.
도 7은 표시부의 동작을 나타내는 정면도이다.
도 8은 제어 유닛의 동작을 나타내는 흐름도이다.
도 9는 초기 설정 조작시의 표시부의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 10은 초기 설정 조작시의 표시부의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 11은 초기 설정 조작시의 표시부의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 12는 초기 설정 조작시의 표시부의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 13은 초기 설정 조작시의 표시부의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 14는 복사 항목 설정 조작시의 제어 유닛의 동작을 나타내는 흐름도이다.
도 15는 복사 항목 설정 조작시의 제어 유닛의 동작을 나타내는 흐름도이다.
도 16은 알람 설정 조작시의 표시부의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 17은 알람 설정 조작시의 표시부의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 18은 알람 설정 조작시의 표시부의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 19는 알람 설정 조작시의 제어 유닛의 동작을 나타내는 흐름도이다.
도 20은 알람 판정 동작시의 제어 유닛의 동작을 나타내는 흐름도이다.

이하, 변위 검출 장치의 일 실시 형태를 도면에 따라 설명한다. 도 1에 도시하는 변위 검출 장치는, 미리 DIN 레일 등을 사용하여 소정의 위치에 설치된 센서 헤드(1)의 홀더(2)로부터 하방을 향해 스핀들(3)이 출몰 가능하게 지지되어 있다. 스핀들(3)의 선단에는 접촉자(4)가 설치되어 있다.

센서 헤드(1)는, 접속 케이블(5)을 통해 제어 유닛(6)에 접속되어 있다. 그리고, 예를 들어 센서 헤드(1)의 설치 위치에 피측정물(W)이 반송되어, 그 표면에 접촉자(4)가 맞닿으면, 스핀들(3)의 몰입 변위량을 검출한 검출신호가 센서 헤드(1)로부터 제어 유닛(6)으로 출력된다.

제어 유닛(6)에는 주 제어장치(MC)가 접속된다. 그리고, 제어 유닛(6)은 주 제어장치(MC)로부터 출력되는 제어신호에 기초하여 동작하며, 제어 유닛(6)에서 측정된 각종 데이터가 주 제어장치(MC)로 송신된다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 센서 헤드(1)의 홀더(2) 내에는, 복수의 투광(投光) 소자(7)와, 각 투광 소자(7)에 대향하는 위치에 복수의 수광(受光) 소자(8)가 각각 배설되어 있다. 그리고, 상하 방향으로 이동하는 스핀들(3)로 차단되는 빛을 수광 소자(8)에서 검출함으로써, 스핀들(3)의 변위량이 전기신호로 변환되어 출력된다.

수광 소자(8)로부터 출력되는 검출신호는 제어 유닛(6) 내의 CPU(9)로 출력된다. CPU(9)에는 표시부(10)가 접속되며, 소요의 표시를 수행한다. 또한, CPU(9)에는 설정부(11)가 접속되며, 소요의 설정 조작 및 선택 조작을 수행하도록 되어 있다. CPU(9)에 접속되는 메모리(12)에는, CPU(9)의 동작을 제어하는 프로그램이나, 설정부(11)의 조작에 기초하여 설정되는 설정값 등이 기억된다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 제어 유닛(6)은 직육면체 형상의 케이스의 조작 패널에 표시부(10)가 설치되어 있다. 표시부(10)의 일측에는 시프트 키(13), enter 키(14), 및 exit 키(15)가 배설되고, 표시부(10)의 타측에는 각종 표시등(16) 및 프리셋 키(17)가 설정부(11)로서 배설되어 있다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 시프트 키(13)는, 상방으로의 시프트를 선택하는 up 키(13a)와, 하방으로의 시프트를 선택하는 down 키(13b)와, 우측으로의 시프트를 선택하는 right 키(13c)와, 좌측으로의 시프트를 선택하는 left 키(13d)가 구비되어 있다.

제어 유닛(6)의 한쪽 측면에는 커넥터(18)가 돌출되고, 다른쪽 측면에는 커넥터(18)를 끼워맞춤 가능하게 한 커넥터 홀이 설치되어 있다. 그리고, 다수의 제어 유닛(6)이 커넥터(18)를 통해 두께 방향으로 중첩하여 연결되고, 각 제어 유닛(6)이 개별의 센서 헤드(1)에 각각 접속 케이블(5)을 통해 접속된다.

또한, 각 제어 유닛(6)은, 어느 한 대를 본체(친기(親機))(6a)로서 설정하고, 다른 제어 유닛(6)을 부속기기(자기(子機))(6b)로서 설정 가능하다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 표시부(10)에는 각각 복수 자릿수의 숫자 혹은 알파벳을 점등 표시 가능하게 한 메인 표시부(19)와 서브 표시부(20)가 상하 2단으로 인접하여 마련되어 있다. 서브 표시부(20)의 일측에는 제1 가이드 마크(21)가 마련되고, 제1 가이드 마크(21)의 하방에는 제2 가이드 마크(22)가 마련되어 있다.

제1 가이드 마크(21)는 4개의 유효한 시프트 키가 표시되며, 제2 가이드 마크(22)는 enter 키(14)가 유효할 때 점등된다.

메인 표시부(19)와 서브 표시부(20)의 타측에는 서클 미터(23)가 마련되어 있다. 서클 미터(23)는, 측정값을 13개의 세그먼트의 점등에 기초하여 표시하거나, 혹은 시프트 키(13)의 길게 누름 조작시에, 세그먼트를 순차적으로 소등시킴으로써, 길게 누름 조작의 지속 시간을 표시한다.

서클 미터(23)의 내측에는 복사 마크(24)가 마련되어 있다. 복사 마크(24)는, 복사 설정 조작시에 대칭이 되는 설정 항목에서 본체(6a)로부터 부속기기(6b)로의 복사가 선택되었을 때 점등 표시된다.

[센서 헤드(1)의 설치 조작시의 제어 유닛(6)의 작용]

센서 헤드(1)의 설치 위치를 조정하는 경우에는, 먼저 up 키(13a)를 3초 길게 누른다. 그러면, 도 5에 도시하는 바와 같이, 표시부(10)에 표시 설정 화면이 표시되고, 서브 표시부(20)에 표시되는 항목을 선택하는 모드가 된다. 또한, up 키(13a)의 길게 누름 조작시에는, 서클 미터(23)의 세그먼트가 순차적으로 소등되어, 길게 누름 조작의 지속 시간이 표시된다.

이 상태에서 right 키(13c) 혹은 left 키(13d)를 반복해서 누르면, 도 6에 도시하는 바와 같이, 서브 표시부(20)에 표시되는 항목이 순차적으로 전환된다. 표시되는 항목은, 노멀 측정값(NORM.V), 연산값(CALC), 라벨(LABEL), LOW 설정값(LO.SET), HIGH 설정값(HI.SET), 센서 헤드 측정값(HEAD.V)이다.

여기서, 서브 표시부(20)에 센서 헤드 측정값(HEAD.V)을 표시시킨 상태에서 enter 키(14)를 누르면, 서브 표시부(20)의 표시값은 센서 헤드 측정값(HEAD.V)으로 확정된다.

그러면, 도 7에 도시하는 바와 같이, 스핀들(3)의 위치가 그 가동 범위 중 어디에 위치하는지를 나타내는 절대값을 스핀들 측정값으로서 표시하는 모드로 설정된다.

이어서, 센서 헤드(1)의 설치 위치 조정 작업으로 이행한다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 표준 피측정물을 센서 헤드(1)의 아래쪽에 올려놓고 스핀들(3)의 접촉자(4)를 맞닿게 하면, 측정 동작이 개시되고(단계 1), 스핀들(3)의 스핀들 측정값이 취득된다(단계 2).

이어서, 메인 표시부(19)에 표시되어 있는 측정값이 표준 피측정물의 측정에 의한 표준값이 되도록 표시값의 조정을 수행한다(단계 3). 그리고, 표준 피측정물의 측정을 수행하면(단계 4), 메인 표시부(19)에 표준 피측정물의 측정값이 표시되고, 서브 표시부(20)에는 스핀들 측정값이 표시된다(단계 5).

따라서, 단계 1부터 단계 5를 반복하여, 스핀들 측정값이 스핀들(3)의 가동 범위의 중간이 되도록 센서 헤드(1)의 설치 위치를 조정하며, 또한 측정값이 표준이 되는 측정값으로서 타당하도록 조정하는 것도 용이하다.

[제어 유닛(6)의 초기 설정 조작시의 작용]］

다음에, 본체가 되는 제어 유닛(6a)에서 각종 초기 설정을 수행하는 경우의 조작에 대해서 설명한다.

도 9에 도시하는 바와 같이, 각종 초기 설정을 수행하는 경우에는, right 키(13c)를 3초 이상 길게 누른다. 그러면, 기본 설정을 선택하기 위한 설정 메뉴 화면 중 하나인 BASIC 화면(25a)이 서브 표시부(20)에 표시된다. 그리고, 이 상태에서 down 키(13b)를 누르고, 또한 right 키(13c) 및 left 키(13d)의 조작에 의해, BASIC 화면(25a)의 하층으로 이어지는 12 항목의 기본 설정 항목(26) 중 어느 하나를 순차적으로 선택 가능하다.

각 기본 설정 항목(26)을 선택하고, up 키(13a), down 키(13b) 및 enter 키(14)를 사용하여 각 항목에서 원하는 설정값을 설정 가능하다.

BASIC 화면(25a)의 하층으로 이어지는 항목을 모두 설정한 후, BASIC 화면(25a)으로 복귀하여, right 키(13c) 혹은 left 키(13d)를 조작하면, BASIC 화면(25a)과 동층의 각 메뉴 화면(25b~25h)으로 이행 가능하다.

그리고, 각 메뉴 화면(25b~25h)의 하층에 각각 다수의 설정 항목이 이어지고, 상기 기본 설정 항목(26)과 마찬가지로 각각 설정 가능하다.

기본 설정 항목(26) 및 각 메뉴 화면(25b~25h)의 하층으로 이어지는 설정 항목의 설정시에, 당해 설정 항목의 설정값을 부속기기가 되는 제어 유닛(6b)으로 복사할지 여부를 설정 가능하다.

도 10에 도시하는 바와 같이, 각 설정 항목의 설정 종료시에, 프리셋 키(17)를 누르면, 도 11에 도시하는 바와 같이 복사 마크(24)가 표시되고, 당해 설정 항목의 본체(6a)로부터 부속기기(6b)로의 복사가 설정된다. 프리셋 키(17)가 눌러지지 않는 경우에는, 도 12에 도시하는 바와 같이, 복사 마크(24)는 표시되지 않는다.

도 13에 도시하는 바와 같이, BASIC 화면(25a)과 동층의 메뉴 화면(25b~25h)에서 복사 설정 화면(25d)을 선택하면, 복사 항목 선택 화면(27a), 복사 전체 선택 설정 화면(27b), 및 복사 실행 화면(27c) 중 어느 하나를 순차적으로 선택 가능해진다.

복사 항목 선택 화면(27a)에서는, BASIC 화면(25a) 및 그 외의 메뉴 화면(25b~25h)의 하층의 각 항목에 있어서, 복사를 수행할 항목을 개별적으로 선택 가능하다. 이 조작에서는, 상기 프리셋 키(17)에 의한 복사 선택 조작을 변경하는 것도 가능하다.

복사 전체 선택 설정 화면(27b)에서는, BASIC 화면(25a) 및 그 외의 메뉴 화면(25b~25h)의 하층의 전(全) 항목을 설정 가능하다. 복사 실행 화면(27c)에서는 선택된 항목의 복사를 실행 가능하다.

또한, 부속기기(6b)의 경우에는, 복사 설정 화면(25d)의 하층에서 복사 잠금 설정 화면(28)이 표시되고, 본체(6a)로부터의 복사를 거절하도록 설정하는 것도 가능하다.

다음에, 상기와 같은 초기 설정 조작시의 본체(6a)의 CPU(9)의 처리 동작을 설명한다.

도 14에 도시하는 바와 같이, right 키(13c)가 길게 눌러지면, 서브 표시부(20)에 BASIC 화면(25a) 및 그 외의 메뉴 화면(25b~25h) 중 어느 하나가 표시된다(단계 11).

이어서, BASIC 화면(25a) 및 그 외의 메뉴 화면(25b~25h) 중 어느 하나를 선택하고, 설정 항목을 선택한다(단계 12). 그러면, 예를 들어 도 10에 도시하는 바와 같이, 메인 표시부(19)에 표시된 설정값이 점멸하여, up 키(13a), down 키(13b), right 키(13c) 및 left 키(13d)의 조작에 의해 설정값을 선택 가능해진다(단계 13, 14, 15, 16).

또한, 단계 15에서 프리셋 키(17)가 눌러지면, 복사 마크(24)에 체크 마크를 넣고(단계 17, 18), 프리셋 키(17)가 눌러지지 않는 경우에는, 복사 마크(24)에 체크 마크를 넣지 않는다(단계 19). 그리고, 이러한 동작이 반복되어, BASIC 화면(25a)과 그 외의 메뉴 화면(25b~25h)의 하층으로 이어지는 다수의 항목의 초기 설정 조작과, 각 항목에서 본체(6a)에 설정된 값을 부속기기(6b)로 복사할지 여부의 선택 조작이 수행된다.

단계 15에서, enter 키(14)가 눌러지면, 설정값이 확정되어(단계 20), 초기 설정 동작이 종료된다.

도 15는 본체(6a)에서 복사 설정 화면(25d)을 선택한 경우의 동작을 나타낸다. 메뉴 화면 중 복사 설정 화면(25d)이 선택되면(단계 21), 복사 항목 선택 화면(27a)이 표시된다(단계 22).

여기서, right 키(13c) 혹은 left 키(13d)가 눌러지면, 각 메뉴 화면의 하층의 각 항목의 초기 설정값이 메인 표시부(19) 및 서브 표시부(20)에 순차적으로 표시된다(단계 23~25). 원하는 항목이 표시된 상태에서 enter 키(14)가 눌러지면, 당해 항목의 설정값의 본체(6a)로부터 부속기기(6b)로의 복사가 선택된다(단계 26, 27). 또한, 단계 26에서 enter 키(14)가 눌러지지 않는 경우에는 부속기기(6b)로의 복사는 비선택이 된다(단계 28).

그리고, 단계 24에서 exit 키(15)가 눌러지면, 입력된 복사 설정이 확정되어(단계 29), 설정 조작이 종료된다.

[제어 유닛(6)의 알람 설정시의 작용]

상기 변위 검출 장치의 제어 유닛(6)에는, 센서 헤드(1)의 설치 위치가 조정된 후, 당해 센서 헤드(1)의 설치 위치가 부적합한 경우에, 알람 신호를 출력하는 알람 기능이 구비되어 있다.

먼저, 알람 기능의 설정 조작에 대해서 설명한다. 도 16 및 도 19에 도시하는 바와 같이, 먼저 right 키(13c)를 3초 길게 누르면(단계 31), 표시부(10)에 BASIC 화면(기본 설정 모드)(25a)이 표시된다(단계 32).

이어서, right 키(13c)를 누르면(단계 33), 메뉴 화면(25b) 즉 확장 설정 모드가 선택 가능해진다(단계 34). 그리고, up 키(13a)를 누르면(단계 35), 메뉴 화면(25b)의 하층에 미리 설정되어 있는 다수의 설정 모드(29) 중 어느 하나를 선택 가능해진다(단계 36).

이어서, left 키(13d)를 2회 누르면(단계 37), 알람 설정 화면(알람 설정 모드)(29a)이 선택되어 알람 설정 모드가 된다(단계 38). 여기서, enter 키(14)를 누르고(단계 39), 또 right 키(13c)를 누르면, 도 17에 도시하는 바와 같이, 지연 횟수 설정 화면(30a)을 거쳐 알람 사용 설정 화면(30b)에 이른다(단계 40, 41, 42).

이어서, enter 키(14)를 누르고(단계 43), right 키(13c) 혹은 left 키(13d)를 누르면, 알람 사용의 온/오프 설정 화면(31a, 31b) 중 어느 하나가 표시된다(단계 44~46).

그리고, 온/오프 설정 화면(31a, 31b) 중 어느 하나에서 enter 키(14)를 누르면(단계 47), 알람 설정의 온/오프를 나타내는 플래그가 설정된다(단계 48).

단계 41에서 right 키(13c)가 눌러지면(단계 49), 도 18에 도시하는 바와 같이, 알람 문턱값 설정 화면(30c)이 표시된다(단계 50). 여기서, enter 키(14)를 누르면(단계 51), 알람 초기값 설정 화면(32)이 표시된다(단계 52).

그리고, 메인 표시부(19)에 표시되는 수치를 각 키(13a~13c)의 압압(押壓) 조작에 의해 원하는 수치로 설정하고(단계 53), enter 키(14)를 누르면(단계 54), 알람 문턱값이 설정된다(단계 55). 이 알람 문턱값은, 스핀들 위치의 스핀들 측정값이 정상인지 여부를 판정하는 문턱값이다.

이와 같이 하여 알람 문턱값이 설정된 상태에서, 센서 헤드(1)의 설치 위치를 조정하는 경우, 혹은 통상 동작시에 알람 판정을 수행하는 제어 유닛(6)의 동작을 도 20에 따라 설명한다.

제어 유닛(6)은, 스핀들(3)의 위치를 측정하고(단계 61), 스핀들 위치의 측정값을 취득한다(단계 62). 그리고, 스핀들 측정값과 알람 문턱값을 상시 비교하고(단계 63), 스핀들 측정값이 문턱값을 초과하는 경우에는 알람 신호를 주 제어장치(MC)로 출력한다(단계 64, 65). 주 제어장치(MC)에서는, 알람 신호의 수신에 기초하여, 알람 표시를 수행한다. 또한, 제어 유닛(6)의 표시부(10)에 알람 표시를 수행하는 것도 가능하다.

스핀들 측정값이 문턱값을 초과하지 않는 경우에는, 단계 66에서 단계 61로 이행하여, 스핀들 측정값과 문턱값의 비교 동작을 반복한다.

상기와 같은 변위 검출 장치에서는, 다음에 나타내는 효과를 얻을 수 있다.

(1) 표준이 되는 피측정물의 변위량을 측정하여, 센서 헤드(1)의 설치 위치를 조정하는 경우에는, 제어 유닛(6)의 메인 표시부(19)와 서브 표시부(20)에, 피측정물의 변위량의 측정값과, 스핀들(3)의 가동 범위 내에서의 위치를 나타내는 절대값을 스핀들 측정값으로서 동시에 표시할 수 있다. 따라서, 스핀들(3)의 가동 범위의 중앙부에서, 피측정물의 변위량을 검출할 수 있도록, 센서 헤드(1)의 설치 위치를 용이하게 조정할 수 있다.

(2) 제어 유닛(6)의 본체(6a)에서 항목마다 설정한 초기 설정값을 부속기기(6b)로 복사하는 경우, 각 항목에서의 초기 설정 조작시에 당해 항목의 초기 설정값을 복사할지 여부를 미리 설정할 수 있다. 따라서, 초기 설정값의 설정 후에 복사 항목 선택 화면(27a)에서 새로이 각 항목에서 복사를 선택할지 여부를 설정할 필요가 없기 때문에, 복사 항목 설정 조작을 용이하게 수행할 수 있다.

(3) 복사 항목 선택 조작시에, 복사가 선택된 항목에서 복사 마크(24)가 표시되므로, 복사 선택의 유무를 용이하게 인식 가능하다.

(4) 센서 헤드(1)의 설치 위치를 조정하는 경우, 혹은 통상 동작시에 스핀들(3)의 위치의 측정값이 문턱값 이내인지 여부를 판정하고, 문턱값을 초과하는 경우에는 주 제어장치(MC)에서 알람 표시를 수행할 수 있다. 따라서, 스핀들(3)의 위치를 최적의 위치에 유지하는 것이 용이해진다.

(5) 스핀들(3) 위치의 측정값을 상시 검출하여 문턱값과 비교함으로써, 통상 동작시에 어떠한 장해에 의해 스핀들(3)의 위치가 어긋난 경우에도, 스핀들 측정값의 이상을 검출하여 알람 표시를 수행할 수 있다. 따라서, 센서 헤드(1)의 설치 위치 혹은 스핀들(3)의 위치를 재조정하여, 피측정물(W)의 변위 측정을 정상적으로 수행하도록 복귀시키는 것이 용이하다.

(6) 알람 설정 모드에서 알람 설정을 오프 상태로 하는 것도 선택 가능하다. 따라서, 알람 출력이 불필요한 경우에는 무용(無用)의 알람 신호의 출력을 캔슬할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태는 이하와 같이 변경할 수도 있다.

- 센서 헤드(1)의 설치 위치의 조정 작업시에, 단계 4에서 취득되는 측정값을, 미리 설정된 연산 처리에 기초하여 취득하도록 할 수도 있다.

본 발명을 상세하게 또한 특정의 실시 형태를 참조하여 설명하였으나, 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않고 다양한 변경이나 수정을 가할 수 있는 것은 당업자에게 있어 명백하다.

본 출원은, 2015년 10월 19일 출원된 일본 특허 출원(특원 2015-205519)에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 도입된다.

1: 센서 헤드 2: 홀더
3: 스핀들 6: 제어 유닛
6a: 본체 6b: 부속기기
9: 비교 수단(알람 신호 생성부, 문턱값 설정 수단, CPU)
MC: 주 제어장치 W: 피측정물

Claims

홀더에 출몰 가능하게 지지된 스핀들의 선단부를 피측정물에 맞닿게 하여, 상기 피측정물의 변위를 검출하는 센서 헤드와,
상기 센서 헤드의 검출신호에 기초한 측정값을 표시하는 표시부를 구비한 제어 유닛을 구비한 변위 검출 장치에 있어서,
상기 제어 유닛에는,
상기 스핀들 위치의 측정값과 미리 설정한 문턱값을 비교하는 비교 수단과,
상기 측정값이 문턱값을 초과할 때, 알람 신호를 출력하는 알람 신호 생성부를 구비한 것을 특징으로 하는 변위 검출 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어 유닛에는, 상기 문턱값을 설정하는 문턱값 설정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 변위 검출 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어 유닛에는,
상기 알람 신호의 입력에 기초하여 알람 표시를 수행하는 알람 표시부를 접속한 것을 특징으로 하는 변위 검출 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 비교 수단은, 상기 스핀들 위치의 측정값과 상기 문턱값의 비교를 상시 수행하는 것을 특징으로 하는 변위 검출 장치.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어 유닛에는,
미리 설정된 다수의 설정 모드 중에서 알람 설정 모드를 선택하는 키와,
상기 알람 설정 모드에서, 알람 설정의 온 오프를 선택하는 키를 구비하고,
상기 알람 신호 생성부는, 상기 알람 설정이 온일 때 상기 알람 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 변위 검출 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 키는, 상기 표시부의 측방에 설치한 복수의 키로 구성한 것을 특징으로 하는 변위 검출 장치.