JP5060671B2 - 変位検出装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1による変位検出装置の概略構成の一例を示した図であり、変位検出装置の一例として測長センサー10が示されている。この測長センサー10は、ヘッドユニット20、接続ケーブル30及び制御ユニット40からなり、ヘッドユニット20の可動部21を検査対象物に接触させて表面形状の検出を行っている。
実施の形態1では、非測定期間中に変位量の検出値が閾値を検査対象物側に越えて変化したか否かで不具合の発生が検出される場合の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、非測定期間中に変位量の検出値が閾値を検査対象物とは反対側に越えて変化したか否かに基づいて不具合の発生を検出する場合について説明する。
2 検出信号生成部
3 エラー処理部
4 信号入力部
5 信号出力部
10 測長センサー
20 ヘッドユニット
21 可動部
22 コンタクト部
22a 金属球
22b 保持部
23 ロッド部
24 ダストブーツ
25 ホルダー
25a ストッパー
26 回路基板
27a ボールケージ
27b 金属ボール
28 スプリング
29 封止部材
30 接続ケーブル
40 制御ユニット
41 駆動回路
42 演算回路
51 コア
52 ボビン
53 1次コイル及び2次コイル
54 金属シールド
60 ヘッドユニット
61 ホルダー
62 可動部
63,73 スプリング
71 シリンダー部
72 ストッパー
74 エアー供給管
A1 ワーク
Claims (4)
- 測定期間中に可動部を検査対象物に接触させ、非測定期間中に上記可動部を上記検査対象物から遠ざけるように移動させる変位検出装置において、
上記測定期間及び上記非測定期間を規定するタイミング信号が外部機器から入力される信号入力手段と、
上記可動部を挿抜可能に保持するホルダーと、
上記検査対象物側における上記可動部の可動範囲を制限するストッパーと、
上記可動部を上記検査対象物側へ付勢し、上記非測定期間には上記ストッパーで係止される待機位置に上記可動部を移動させる付勢手段と、
上記ホルダーに対する上記可動部の変位量を検出する変位量検出手段と、
上記測定期間中に検出された上記変位量が許容範囲内にあるか否かに応じて検出信号を生成する検出信号生成手段と、
上記非測定期間中に検出された上記変位量を上記許容範囲よりも上記待機位置側の閾値と比較し、上記非測定期間中に上記変位量が上記閾値を越えて変化しなかった場合に、エラー信号を出力するエラー信号出力手段とを備えたことを特徴とする変位検出装置。 - 上記閾値は、上記許容範囲よりも検査対象物側の位置として予め定められ、
上記エラー信号出力手段は、上記可動部の変位量が上記閾値を上記検査対象物側に越えて変化しなかった場合に、上記エラー信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。 - 上記ストッパーを駆動し、測定時には上記許容範囲よりも上記検査対象物側にストッパーを移動させ、非測定時には上記許容範囲よりも上記検査対象物とは反対側にストッパーを移動させるストッパー駆動手段とを備え、
上記閾値は、上記許容範囲よりも検査対象物とは反対側の位置として予め定められ、
上記エラー信号出力手段は、上記可動部の変位量が上記閾値を上記検査対象物とは反対側に越えて変化しなかった場合に、上記エラー信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。 - 上記変位量検出手段が、上記ホルダーに設けられたコイルと、上記コイルに交流電流を供給する駆動回路と、上記コイルの出力に基づいて上記可動部の変位量を算出する変位量算出回路とからなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の変位検出装置。
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