KR20170110508A

KR20170110508A - 용액 제막 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20170110508A
Application number: KR1020170028117A
Authority: KR
Inventors: 가즈히데 가네무라
Original assignee: 후지필름 가부시키가이샤
Priority date: 2016-03-23
Filing date: 2017-03-06
Publication date: 2017-10-11
Also published as: JP6538600B2; CN107225717A; JP2017170740A; KR102210074B1; CN107225717B

Abstract

본 발명은 생산 효율의 저하를 억제하며, 또한, 두께 불균일을 방지할 수 있는 용액 제막 장치 및 방법을 제공한다.
용액 제막 장치(10)에서는, 벨트(30)상에 도프(12)를 유연(流延)함으로써 유연막(14)을 형성하는 유연막 형성 스텝, 유연막(14)을 건조시키면서 박리 위치까지 이송하는 이송 스텝, 박리 위치에 있어서 유연막(14)을 벨트(30)로부터 벗겨내는 박리 스텝을 거쳐 필름이 제조된다. 이송 스텝에서는, 건조 케이스(64)에 의해 덮인 내측 영역(74)으로부터 용매 가스를 흡인하고, 유연막(14)의 건조를 진행시키면서, 차풍판(68, 70)과 벨트(30)의 극간(隙間)에 용매 가스를 공급함으로써 내측 영역(74)으로 신선풍이 유입되는 것을 저지한다.

Description

용액 제막 장치 및 방법{SOLUTION FILM-FORMING APPARATUS AND METHOD}

본 발명은 용액 제막 장치 및 방법에 관한 것이다.

스마트폰 또는 태블릿 단말 등에 탑재되는 중소형 디스플레이의 시장에 있어서는, 새로운 고정세화(高精細化)가 요구되고 있다. 그 때문에 그들 디스플레이에 이용되는 필름에 대해서는, 필름면에 있어서의 평활도를 종래보다 더 높게 하는 것이 요청되고 있다. 또한, 그들 디스플레이에 이용하는 필름에 대해서는, 두께를 보다 얇게 하는 것, 구체적으로는 40㎛ 이하로 하는 것도 아울러 요구되고 있다.

통상, 필름은, 장척(長尺)으로 제조되고, 목적으로 하는 크기로 커트되고 나서, 사용에 제공된다. 장척의 필름의 제조 방법으로서는, 크게 분류하여, 용액 제막 방법과 용융 제막 방법이 있다. 이 중, 용액 제막 방법은, 필름면이 보다 평활한 필름을 제조할 수 있는 점에서, 용융 제막 방법보다 우위로 되어 왔다. 용액 제막 방법은, 폴리머가 용매에 용해된 도프를, 주행하는 지지체상에 유연(流延) 다이로부터 유출시킴으로써 유연막을 형성하고, 이 유연막을 유연 지지체로부터 벗김으로써 필름을 제조하는 방법이다. 지지체상의 유연막은, 지지체로부터 벗겨내지는 박리 위치를 향하여 이송될 동안에 건조풍이 송풍되는 등에 의해 용매가 휘발(증발)되고, 박리 후에 반송 가능한 정도까지 건조된다.

한편, 유연막, 특히 유연 직후의 유연막은, 표면이 불안정하기 때문에, 급격하게 용매를 휘발(증발)시켜 버리면, 두께 불균일이 발생해 버린다는 문제가 있다. 이 때문에, 일본국 특개2013-156488호 공보에서는, 유연막에 대하여 용매를 포함하는 용매 가스를 분사함으로써 두께 불균일을 방지하고 있다. 또한, 일본국 특개2005-096182호 공보에서는, 용매 가스의 흡인과 용매 가스의 공급을 동시에 행하고, 용매의 급격한 휘발(증발)을 억제함으로써 두께 불균일을 방지하고 있다.

그러나, 일본국 특개2013-156488호 공보와 같이 유연막에 용매 가스를 분사하는 것만으로는, 유연막의 건조가 진행되지 않아, 박리까지의 시간이 길어져 버려, 생산 효율이 나쁘다는 문제가 있었다. 이에 대하여, 일본국 특개2005-096182호 공보에서는, 소정의 에어리어 내에 있어서 용매 가스의 공급뿐만 아니라 흡인도 행하기 때문에, 이 에어리어 내의 용매의 농도를 유연막의 건조가 적절하게 진행될 정도로 제어함으로써, 생산 효율의 저하를 억제하는 것도 가능하다.

그러나, 일본국 특개2005-096182호 공보에서는, 에어리어 내의 각 위치에 있어서의 용매 가스의 농도가 달라, 이에 기인하여 유연막의 각 위치에 있어서의 건조의 정도가 달라져 버려, 두께 불균일이 생겨 버린다는 문제가 있었다.

본 발명은 생산 효율의 저하를 억제하며, 또한, 두께 불균일을 방지할 수 있는 용액 제막 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 용액 제막 장치는, 한 쌍의 차풍판(遮風板)과, 용매 가스 흡인 기구와, 용매 가스 공급 기구를 구비하고, 폴리머가 용매에 용해된 폴리머 용액을, 주행하는 지지체상에 유연시킴으로써 유연막을 형성한다. 한 쌍의 차풍판은, 유연막의 측연(側緣)을 따라 마련되고, 지지체의 위쪽의 공간을, 유연막의 유연되는 내측 영역과 유연막의 외측의 외측 영역으로 구획한다. 용매 가스 흡인 기구는, 내측 영역 내에 배치된 흡기구로부터 흡기를 행하고, 유연막으로부터 휘발된 용매를 포함하는 용매 가스를 흡인한다. 용매 가스 공급 기구는, 폴리머를 용해시키는 용매를 포함하는 용매 가스를, 지지체와 차풍판 사이의 극간(隙間)에 공급한다.

유연막 중의 용매의 질량을 MS, 유연막의 질량을 MF로 했을 때에, {MS/(MF-MS)}×100으로 나타나는 용매 함유율이 200％ 이상인 에어리어에 있어서, 용매 가스 흡인 기구에 의한 흡인과, 용매 가스 공급 기구에 의한 공급을 행하는 것이 바람직하다.

한쪽의 차풍판의 상단부와, 다른쪽의 차풍판의 상단부를 접속하는 덮개 부재가 마련되고, 덮개 부재에 의해 내측 영역을 위쪽으로부터 덮는 것이 바람직하다.

내측 영역에는, 적외선 조사기가 마련되어 있어도 되고, 적외선 조사기는, 유연막에 대하여 적외선을 조사함으로써, 유연막에 포함되는 용매의 휘발을 촉진시킨다.

용매 가스 공급 기구는, 차풍판의 하단부의 측방에 마련된 공급구로부터, 공급을 행하는 것이어도 된다.

용매 가스 공급 기구는, 폴리머를 용해시키는 용매를 포함하는 용매 가스를, 공급구로부터 아래쪽의 지지체를 향하여 수직으로 공급하는 것이어도 된다.

용매 가스 흡인 기구가 흡인하는 용매 가스인 흡인 가스의 농도를 A, 용매 가스 공급 기구가 공급하는 용매 가스인 공급 가스의 농도를 B로 했을 때에, A/5≤B를 충족시키는 것이 바람직하다.

용매 가스 흡인 기구가 흡인하는 용매 가스인 흡인 가스의 농도를 A, 용매 가스 공급 기구가 공급하는 용매 가스인 공급 가스의 농도를 B로 했을 때에, B≤A를 충족시키는 것이 바람직하다.

용매 가스 흡인 기구가 흡인한 용매 가스의 농도를 측정하는 센서와, 센서의 측정 결과에 의거하여, 용매 가스 공급 기구로부터 공급하는 용매 가스의 농도를 제어하는 공급 가스 농도 제어 기구를 구비하는 것이 바람직하다.

용매 가스 흡인 기구가 흡인한 용매 가스를, 용매 가스 공급 기구로부터 공급해도 된다.

지지체로부터 유연막을 벗겨냄으로써 제조되는 필름의 두께가 40㎛ 이하여도 된다.

본 발명의 용액 제막 방법은, 유연막 형성 스텝과, 이송 스텝과, 박리 스텝을 갖는다. 유연막 형성 스텝은, 폴리머가 용매에 용해된 폴리머 용액을, 주행하는 지지체상에 유연하여 유연막을 형성한다. 이송 스텝은, 유연막을 지지체로부터 벗겨내는 박리 위치까지 이송한다. 박리 스텝은, 박리 위치에 있어서 유연막을 지지체로부터 벗겨낸다. 이송 스텝에 있어서, 유연막의 측연을 따라 마련된 한 쌍의 차풍판에 의해, 지지체의 위쪽의 공간을, 유연막의 유연되는 내측 영역과 유연막의 외측의 외측 영역으로 구획하여, 내측 영역 내에 배치된 흡기구로부터 흡기를 행하고, 유연막으로부터 휘발된 용매를 포함하는 용매 가스를 흡인하고, 폴리머를 용해시키는 용매를 포함하는 용매 가스를, 지지체와 차풍판 사이의 극간으로부터 공급한다.

본 발명에 의하면, 유연막의 위쪽의 영역(내측 영역)으로부터 용매 가스를 흡인하고, 유연막의 건조를 진행시킴으로써 생산 효율의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 용매 가스의 흡인에 수반하여 새로운 공기가 유입되는 부위, 즉, 차풍판과 지지체의 극간으로부터 용매 가스를 공급함으로써 유연막의 표면 근방의 각 위치에 있어서의 용매 농도를 균제화(均齊化)할 수 있고(유연막의 측연부 근방의 용매 농도가 유연막의 중앙부 근방의 용매 농도에 대하여 저하되어 버리는 것을 방지할 수 있고), 두께 불균일도 방지할 수 있다.

상기 목적, 이점은, 첨부하는 도면을 참조하여, 바람직한 실시예의 상세한 설명을 읽음으로써, 당업자가 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 용액 제막 장치의 개략도.
도 2는 용매 가스 흡인 기구의 구성을 나타내는 설명도.
도 3은 용매 가스 공급 기구의 구성을 나타내는 설명도.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 용액 제막 장치(10)는, 도프(12)를 지지체상에 유연하여 유연막(14)을 형성하고, 유연막(14)을 건조시킨 후에 지지체로부터 벗겨냄으로써 필름(16)을 제조하기 위한 것이다. 용액 제막 장치(10)는, 상류측으로부터 순서대로, 유연 장치(20), 텐터(22), 롤러 건조 장치(24), 슬리터(26), 권취(卷取) 장치(28)가 마련되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 용액 제막 장치(10)에 의해, 두께가 10㎛ 이상 40㎛ 이하의 필름(16)을 제조하고 있다.

도프(12)는, 폴리머가 용매에 용해된 폴리머 용액이며, 본 실시형태에서는 폴리머로서 셀룰로오스트리아세테이트(TAC, triacetylcellulose)를 이용하고 있다. 폴리머 용액에는, 필름(16)이 되는 고형분으로서 폴리머 이외의 것이 포함되어 있어도 된다. 폴리머 이외의 고형분으로서는, 예를 들면 가소제, 자외선 흡수제, 리타데이션 제어제, 미립자 등이 있고, 본 실시형태에서는 가소제를 포함시키고 있다. 미립자는, 필름(16)에 슬라이딩성 및/또는 내상성(耐傷性)을 부여하거나, 필름(16)을 겹쳤을 때의 첩부(貼付) 등을 억제하는 등의 목적으로 사용되는 소위 매트제이다. 도프(12)에 있어서의 고형분은, 고형분의 질량을 MP로 하고, 용매의 질량을 MS로 할 때에, MP/(MP+MS)×100으로 나타나는 백분율로, 10％ 이상 23％ 이하의 범위 내가 되고, 본 실시형태에서는 19％로 하고 있다.

용매로서는, 본 실시형태에 있어서는, 디클로로메탄과 메탄올의 혼합물을 이용하고 있다. 용액 제막에 있어서 이용되는 용매는, 기체 상태에 있어서 분위기(예를 들면 공기)보다 무거운 것이 이용되는 것이 보통이며, 본 실시형태의 용매도 기체 상태에 있어서 분위기(예를 들면 공기)보다 무겁다. 용매는 본 실시형태의 예에 한정되지 않고, 예를 들면 부탄올, 에탄올, 프로판올 등이 이용되고, 이들은 혼합물로서 2종 이상을 병용해도 된다.

또한, 본 명세서에 있어서는, 필름(16)(또는 유연막(14))의 용매 함유율(단위; ％)은 건량 기준의 값이다. 구체적으로는, 임의의 에어리어 A에 있어서의 필름(16)(또는 유연막(14))의 용매 함유율(단위; ％)은, 에어리어 A에 있어서의 용매의 질량을 MS, 에어리어 A에 있어서의 필름(16)(또는 유연막(14))의 질량을 MF로 할 때에, {MS/(MF-MS)}×100으로 나타나는 백분율이다.

유연 장치(20)는, 환상(環狀)으로 형성된 무단(無端)의 유연 지지체인 벨트(30)와, 원주 방향으로 회전하는 제1 롤러(32) 및 제2 롤러(34)를 구비한다. 벨트(30)는, 제1 롤러(32)와 제2 롤러(34)의 둘레면에 걸어감긴다. 제1, 제2 롤러(32, 34)의 적어도 한쪽은, 구동 수단으로부터 구동력의 공급을 받아 회전하는 구동 롤러이며, 본 실시형태에서는 제1 롤러(32)와 제2 롤러(34) 양쪽이 구동 롤러로 되어 있다. 이 구동 롤러가 원주 방향으로 회전함으로써, 둘레면에 접하는 벨트(30)가 길이 방향으로 주행하고, 순환한다.

벨트(30)의 위쪽에는, 도프(12)를 유출하는 유연 다이(36)가 마련되어 있다. 유연 다이(36)로부터, 주행하고 있는 벨트(30)에, 도프(12)가 연속적으로 유출됨으로써, 도프(12)가 벨트(30)상에 유연되고, 이에 따라 유연막(14)이 형성된다. 또한, 도프(12)가 벨트(30)에 접촉을 개시(開始)하는 위치를, 이하, 유연 위치(PC)라고 한다.

본 실시형태에 있어서는, 유연 다이(36)를 제1 롤러(32)상의 벨트(30)의 위쪽에 마련하고 있고, 유연 위치(PC)는 제1 롤러(32)상으로 되어 있다. 그러나, 유연 다이(36)의 위치는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면 제1 롤러(32)와 제2 롤러(34) 사이의 벨트(30)의 위쪽에 유연 다이(36)를 마련해도 된다. 이 경우에는, 제1 롤러(32)와 제2 롤러(34) 사이의 벨트(30)의 아래쪽에 배치된 롤러(38)에 의해 지지되고 있는 벨트(30)의 위쪽에 유연 다이(36)를 배치하는 것이 바람직하다.

제1 롤러(32)와 제2 롤러(34)는, 각각 둘레면 온도를 제어하는 온도 컨트롤러(도시 생략)를 구비한다. 예를 들면 제1 롤러(32)는, 온도 컨트롤러에 의해 둘레면 온도가 소정의 범위가 되도록 냉각된다. 제1 롤러(32)를 냉각함으로써, 벨트(30)는 1주 할 때마다 냉각된다. 이에 따라, 연속 주행하여 후술하는 흡기 건조 유닛(40)과 송풍 건조 유닛(42)에 의해 계속해서 가열되어도, 벨트(30), 특히 양측부의 온도 상승이 억제된다. 또한, 제2 롤러(34)는, 온도 컨트롤러에 의해 둘레면 온도가 소정의 범위가 되도록 가열된다. 제2 롤러(34)를 가열함으로써, 유연막(14)은 보다 효과적으로 건조된다.

또한, 제1 롤러(32)의 둘레면 온도는, 3℃ 이상 30℃ 이하의 범위로 하는 것이 바람직하고, 5℃ 이상 25℃ 이하의 범위로 하는 것이 보다 바람직하고, 8℃ 이상 20℃ 이하의 범위로 하는 것이 더 바람직하다. 또한, 제2 롤러(34)의 둘레면 온도는, 20℃ 이상 50℃ 이하의 범위로 하는 것이 바람직하고, 25℃ 이상 45℃ 이하의 범위로 하는 것이 보다 바람직하고, 30℃ 이상 40℃ 이하의 범위로 하는 것이 더 바람직하다.

유연 다이(36)로부터 벨트(30)에 이르는 도프(12), 소위 비드에 관하여, 벨트(30)의 주행 방향에 있어서의 상류측에는, 감압 챔버가 마련되어 있다(도시 생략). 감압 챔버는, 비드의 상류측 에어리어(도 1에 있어서 비드의 우측의 에어리어)의 분위기를 흡인하고, 이에 따라 이 에어리어를 감압한다. 이에 따라, 비드가 상류측으로 견인되기 때문에, 유연막(14)이 하류측으로 이동해도 유연 위치(PC)가 변화하지 않고 일정해진다(유연 위치(PC)가 안정된다).

벨트(30)상의 유연막(14)은, 후술하는 흡기 건조 유닛(40)과 송풍 건조 유닛(42)을 거쳐, 텐터(22)로의 반송이 가능한 정도로까지 굳어진(겔화된) 후, 용매를 포함하는 상태에서 벨트(30)로부터 벗겨내지고, 이 박리에 의해 필름(16)이 된다. 박리는, 용매 함유율이 70％ 이하가 되고 나서 행하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10％ 이상 70％ 이하의 범위 내, 더 바람직하게는 20％ 이상 50％ 이하의 범위 내에서 행하는 것이 보다 바람직하다.

박리시에는, 박리 롤러(44)로 필름(16)을 지지하고, 유연막(14)이 벨트(30)로부터 벗겨지는 박리 위치(PP)를 일정하게 유지한다. 박리 롤러(44)는, 구동 수단을 구비하여 원주 방향으로 회전하는 구동 롤러여도 된다. 또한, 박리는, 제1 롤러(32)상의 벨트(30)에서 행하고 있다. 벨트(30)는 순환하여 박리 위치(PP)로부터 유연 위치(PC)로 되돌아가면 유연 위치(PC)에 있어서 다시 새로운 도프(12)가 유연된다.

유연 위치(PC)와 박리 위치(PP) 사이에는, 흡기 건조 유닛(40)과 송풍 건조 유닛(42)이 마련되어 있다. 흡기 건조 유닛(40)은, 유연 위치(PC)로부터 제2 롤러(34)를 향하는 벨트(30)의 위쪽에 배치되고, 유연막(14)으로부터 휘발(증발)한 용매를 포함하는 용매 가스를 흡인함으로써 유연막(14)의 건조를 진행시킨다. 흡기 건조 유닛(40)은, 유연막(14)의 용매 함유율이 200％ 이상이 되는 에어리어의 위쪽에 마련하는 것이 바람직하고, 본 실시형태에서는 흡기 건조 유닛(40)에 의해, 용매 함유율이 300％가 될 때까지 유연막(14)을 건조시키고 있다. 즉, 본 실시형태에서는 용매 함유율이 300％ 이상이 되는 에어리어의 위쪽에 흡기 건조 유닛(40)을 배치하고 있다. 또한, 흡기 건조 유닛(40)의 상세는, 다른 도면을 이용하여 후술한다.

송풍 건조 유닛(42)은, 흡기 건조 유닛(40)의 하류측에 마련되고, 상류측으로부터 제1 송풍부(46), 배기부(48), 제2 송풍부(50)의 순서대로, 벨트(30)의 주행 방향을 따라 나열한 상태로 배치되어 있다. 제1 송풍부(46)는, 제1 롤러(32)로부터 제2 롤러(34)를 향하는 벨트(30)의 주행로 근방에 배치되고, 배기부(48)와 제2 송풍부(50)는, 제2 롤러(34)로부터 제1 롤러(32)를 향하는 벨트(30)의 주행로 근방에 배치되어 있다.

제1 송풍부(46)와 제2 송풍부(50)는 건조한 기체를 유출하고, 배기부(48)는 기체를 흡인하고, 배기한다. 송풍 건조 유닛(42)은, 컨트롤러(52)를 구비하고, 컨트롤러(52)는, 제1 송풍부(46)와 제2 송풍부(50)에 건조한 기체(이하, 건조 기체라고 함), 예를 들면 공기를 보내고, 그 기체의 온도, 습도, 제1 송풍부(46)와 제2 송풍부(50)로부터의 유량, 배기부(48)에서의 기체의 흡인력을 독립적으로 조절한다. 본 실시형태에 있어서는, 제1 송풍부(46)와 제2 송풍부(50)로부터의 건조 기체는, 컨트롤러(52)에 의해 대략 100℃로 가열되어 있다. 이와 같이 가열된 기체를 온풍으로 하여 유연막(14)상에 흘림으로써, 유연막(14)을 가열하고, 건조를 진행시킨다. 건조 기체의 온도는, 50℃ 이상 140℃ 이하의 범위 내인 것이 바람직하다.

제1 송풍부(46)는, 건조 기체를 유출하는 유출구(46a)가 벨트(30)의 주행 방향을 향하도록 배치되어 있고, 이에 따라 반송되고 있는 유연막(14)에 대하여 건조 기체를 순풍으로 공급한다. 이 건조 기체는 유연막(14)의 막면(膜面)에 대하여 병행인 흐름이 된다. 제2 송풍부(50)는, 건조 기체를 유출하는 유출구(50a)가 벨트(30)의 주행 방향과는 반대측을 향하도록 배치되어 있고, 이에 따라, 반송되고 있는 유연막(14)에 대하여 건조 기체를 역풍으로 공급한다. 이 건조 기체도 유연막(14)의 막면에 대하여 병행인 흐름이 된다. 배기부(48)는, 기체를 흡인하는 흡기구(48a)가 통과하는 유연막(14)을 향하도록 배치되어 있고, 제1 송풍부(46)와 제2 송풍부(50) 사이에서 기체를 흡인한다. 유출구(46a), 유출구(50a), 흡기구(48a)는, 벨트(30)의 폭 방향(도 1의 지면(紙面) 깊이 방향)으로 연장된 슬릿 형상의 개구(開口)이다.

또한, 본 실시형태에서는 제1 송풍부(46)와 배기부(48)와 제2 송풍부(50)를 컨트롤러(52)에 의해 각각 독립적으로 제어하고 있지만, 이 태양에 한정되지 않는다. 예를 들면 제1 송풍부(46)와 배기부(48)와 제2 송풍부(50)에 각각 컨트롤러(도시 생략)를 마련하고, 각 컨트롤러에 의해 제1 송풍부(46)와 배기부(48)와 제2 송풍부(50)를 제어해도 된다.

이와 같이, 흡기 건조 유닛(40)과 송풍 건조 유닛(42)에 의해 건조된 유연막(14)은, 박리 롤러(44)에 의해 벨트(30)로부터 벗겨내져 필름(16)이 되어 텐터(22)에 안내된다. 유연 장치(20)와 텐터(22) 사이의 반송로에는, 송풍 장치(도시 생략)를 배치해도 된다. 이 송풍 장치로부터의 송풍에 의해, 필름(16)의 건조가 진행된다.

텐터(22)는, 필름(16)을 반송하면서 건조를 진행시키는 제1 필름 건조 장치이다. 본 실시형태의 텐터(22)는, 필름(16)의 각 측부를 유지 부재로서의 클립(22a)으로 유지하여 길이 방향으로 반송하면서, 폭 방향에서의 장력을 부여함으로써, 필름(16)을 폭 방향으로 연신(延伸)하는 연신 처리도 행한다. 텐터(22)에는, 상류측으로부터 순서대로, 예열 에어리어, 연신 에어리어, 및 완화 에어리어가 형성되어 있다. 또한, 완화 에어리어는 없어도 된다.

텐터(22)는, 한 쌍의 레일(도시 생략) 및 체인(도시 생략)을 구비한다. 레일은 필름(16)의 반송로의 양측에 설치되고 한 쌍의 레일은 소정의 간격으로 이간한 상태로 배치된다. 이 레일 간격은, 예열 에어리어에서는 일정하며, 연신 에어리어에서는 하류를 향함에 따라 점차 넓어지고, 완화 에어리어에서는 일정하다. 또한, 완화 에어리어의 레일 간격은, 하류를 향함에 따라 점차 좁아지도록 해도 된다.

체인은, 원동(原動) 스프로킷(도시 생략) 및 종동(從動) 스프로킷(도시 생략)에 걸쳐져 있고, 레일을 따라 이동 가능하게 부착되어 있다. 복수의 클립(22a)은, 체인에 소정의 간격으로 부착되어 있다. 원동 스프로킷의 회전에 의해, 클립(22a)은 레일을 따라 순환 이동한다. 클립(22a)은, 텐터(22)의 입구 근방에서, 안내되어 온 필름(16)의 유지를 개시하고, 출구를 향하여 이동하고, 출구 근방에서 유지를 해제한다. 유지를 해제한 클립(22a)은 다시 입구 근방으로 이동하고, 새롭게 안내되어 온 필름(16)을 유지한다.

또한, 텐터(22)는, 송풍기(22b)를 구비한다. 송풍기(22b)는 필름(16)의 반송로의 위쪽에 마련된다. 송풍기(22b)는, 건조 기체(예를 들면 건조한 공기)를 송출하는 슬릿(도시 생략)을 갖고, 건조 기체는 송풍부(도시 생략)로부터 공급된다. 송풍부는, 소정의 온도 및/또는 습도로 조정한 건조풍을 송풍기(22b)에 보낸다. 슬릿이 필름(16)의 반송로와 대향한 상태로 송풍기(22b)는 배치된다. 각 슬릿은 필름(16)의 폭 방향으로 길게 연장된 형상이며, 반송 방향에서 서로 소정의 간격을 갖고 형성되어 있다. 또한, 마찬가지의 구조를 갖는 송풍기를, 필름(16)의 반송로의 아래쪽에 마련해도 되고, 필름(16)의 반송로의 위쪽과 아래쪽의 양쪽에 마련해도 된다.

롤러 건조 장치(24)는, 필름(16)을 더 건조시키기 위한 제2 건조 장치이다. 롤러 건조 장치(24)의 내부의 분위기는, 온도 및/또는 습도 등이 공조기(도시 생략)에 의해 조절되어 있다. 롤러 건조 장치(24)에서는, 다수의 롤러(24a)에 필름(16)이 걸어감겨, 반송된다.

슬리터(26)는, 필름(16)의 양측부를 절제(切除)하여, 목적으로 하는 폭으로 하기 위한 것이다. 이 절제에서는, 필름(16)의 클립(22a)에 의한 유지 자국을 포함하는 양측부를 절제한다. 권취 장치(28)는, 필름(16)을 권심(卷芯)에 감아 롤 형상으로 한다.

이하, 흡기 건조 유닛(40)에 대해서, 도 2와 도 3을 참조하면서 보다 상세하게 설명한다. 도 2에 나타내는 바와 같이 흡기 건조 유닛(40)은, 한 쌍의 래비린스 시일(60, 62)과 건조 케이스(64)를 구비하고, 이들이 유연 위치(PC)의 하류측에 배치되어 있다. 한 쌍의 래비린스 시일(labyrinth seal)(60, 62)은, 유연막(14)의 길이 방향(반송 방향) 상류측과 하류측에 배치되어 있다. 건조 케이스(64)는, 래비린스 시일(60)과 래비린스 시일(62) 사이에 끼워진 위치에 배치되어 있고, 유연막(14)을 위쪽으로부터 덮는다.

래비린스 시일(60, 62)은, 유연막(14)의 폭 방향으로 길고, 벨트(30)에 대하여 수직인 기립 자세로 배치되는 복수의 시일판(66)을 구비하고, 이들 복수의 시일판(66)이, 유연막(14)의 길이 방향(반송 방향)을 따라 나열된 것이다. 이들 래비린스 시일(60, 62)에 의해, 유연막(14)의 길이 방향(반송 방향) 상류측 및 하류측으로부터 건조 케이스(64) 내에 외기가 유입되는 것이 방지된다.

도 3에 나타내는 바와 같이 건조 케이스(64)는, 유연막(14)의 폭 방향에서 마주하는 한 쌍의 차풍판(68, 70)과, 차풍판(68, 70)의 상단부를 접속한 상태로 마련된 천장판(덮개 부재)(72)으로 구성된다. 차풍판(68, 70)은, 유연막(14)의 측연을 따라 유연막(14)의 길이 방향(반송 방향)으로 길게(연장된 태양으로) 형성되고, 벨트(30)에 대하여 수직인 기립 자세로 배치되어 있다. 이 차풍판(68, 70)에 의해, 벨트(30)의 위쪽의 공간이, 유연막(14)의 유연되는 내측 영역(74)과, 유연막(14)의 외측의 외측 영역(76)(도 3 참조)으로 구획된다. 또한, 천장판(72)에 의해, 내측 영역(74)의 상단부는 폐단(閉端)되어 있다. 이와 같이, 건조 케이스(64)에 의해, 유연막(14)의 위쪽의 공간(내측 영역(74))이 덮여 있다.

또한, 흡기 건조 유닛(40)에는, 용매 가스 흡인 기구(80)(도 2 참조)가 마련되어 있다. 용매 가스 흡인 기구(80)는, 적외선 히터(적외선 조사기)(82)와, 흡기 덕트(84)와, 흡기 팬(86)과, 흡기 컨트롤러(88)와, 콘덴서(90)를 구비하고 있다. 적외선 히터(82)는, 예를 들면 건조 케이스(64)의 천장판(72)의 내측 부분에 매트릭스 형상으로 배치되고, 유연막(14)을 향하여 적외선을 조사하여, 유연막(14)을 가열함으로써, 유연막(14)의 건조를 진행시킨다.

흡기 덕트(84)는, 천장판(72)을 관통한 상태로 형성되고, 일단부(一端部)에 마련된 흡기구(84a)가 내측 영역(74) 내에 배치되고, 타단부(他端部)가 콘덴서(90)에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는 흡기구(84a)를 유연막(14)의 폭 방향으로 긴 슬릿 형상으로 형성하고, 건조 케이스(64)의 천장판(72) 중, 유연막(14)의 길이 방향(반송 방향) 중앙부에 배치하고 있다. 또한, 흡기구(84a)의 배치 위치와 형상은 자유롭게 설정할 수 있으므로, 예를 들면 유연막(14)의 반송 방향으로 긴 슬릿 형상의 개구를, 천장판(72) 중, 유연막(14)의 폭 방향 중앙부에 마련해도 된다.

흡기 팬(86)은, 흡기 덕트(84)의 내부에 배치되고, 흡기 컨트롤러(88)의 제어 원(元)으로 회전한다. 이 회전에 의해, 내측 영역(74)의 분위기(즉, 유연막(14)으로부터 휘발(증발)한 용매를 포함하는 용매 가스)가 흡기구(84a)로부터 흡인되고, 흡기 덕트(84)를 개재(介在)하여 콘덴서(90)로 보내진다. 흡기 컨트롤러(88)는, 흡기 팬(86)에 공급하는 구동력(전력 등)을 제어함으로써, 용매 가스의 흡인력(단위 시간당 흡인량)을 컨트롤한다. 콘덴서(90)는, 예를 들면 용매 가스를 냉각함으로써, 용매 가스 중의 용매를 액화한다. 액화된 용매는, 회수되어 도프(12)로서 재이용, 또는, 후술하는 용매 가스 생성 장치(102)로 보내져, 용매 가스의 생성에 이용된다.

이와 같이, 내측 영역(74)으로부터 용매 가스를 흡인함으로써, 유연막(14)의 건조를 효율적으로 진행시킬 수 있다. 한편, 용매 가스를 흡인하는 것만으로는 흡인에 의해 감압된 내측 영역(74)에, 내부 영역(74)보다 용매 가스의 농도가 낮은(예를 들면 용매 가스의 농도가 거의 0％) 외기(신선풍)가, 외측 영역(76)으로부터 흘러들어온다. 본 실시형태의 경우, 용매 가스를 흡인하는 것만으로는, 차풍판(68, 70)과 벨트(30) 사이의 극간, 즉, 유연막(14)의 양측부로부터 신선풍이 내측 영역(74)으로 흘러들어온다.

그리고, 이와 같이 내측 영역(74)으로 흘러들어온 신선풍의 영향으로, 내측 영역(74) 내의 용매 가스의 농도에 편차가 생겨, 유연막(14)의 각 위치에 있어서의 건조의 진행 정도가 달라져 버려, 유연막(14) 및/또는 필름(16)에 두께 불균일이 발생해 버린다는 문제가 있었다. 본 실시형태의 경우, 용매 가스를 흡인하는 것만으로는, 신선풍이 흘러들어오는 유연막(14)의 양측부와, 신선풍이 흘러들어오지 않는 중앙부에서 용매 가스의 농도가 다른 것에 기인하여 유연막(14)(필름(16))에 두께 불균일이 생겨 버린다.

이와 같은 신선풍의 영향에 의한 두께 불균일을 방지하기 위해, 흡기 건조 유닛(40)에는, 용매 가스 공급 기구(100)가 마련되어 있다. 용매 가스 공급 기구(100)는, 용매 가스 생성 장치(102)와, 용매 가스 공급 덕트(104)와, 송기 팬(106)과, 공급 가스 컨트롤러(공급 가스 농도 제어 기구)(108)를 구비하고 있다.

용매 가스 생성 장치(102)는, 예를 들면 용매를 분무하거나, 혹은 용매를 가열함으로써 휘발(증발)시키는 등에 의해, 용매를 포함하는 용매 가스를 생성한다. 또한, 용매 가스 생성 장치(102)에서 이용하는 용매는, 도프(12)의 용매와 동일 조성인 것이어도 되고, 도프(12)의 용매와는 조성이 다른 것이어도 된다. 또한, 상술한 콘덴서(90)에 의해 회수된 용매를 용매 가스 생성 장치(102)에서 이용해도 된다.

용매 가스 공급 덕트(104)는, 일단이 용매 가스 생성 장치(102)에 접속되고, 타단이 한 쌍의 공급 박스(110, 112)에 접속되어 있다. 공급 박스(110, 112)는, 유연막(14)의 길이 방향(반송 방향)으로 길게(연장된 태양으로) 형성되고, 차풍판(68, 70)의 외측에 배치되어 있다. 공급 박스(110)의 하면의 차풍판(68)측에는, 유연막(14)의 길이 방향(반송 방향)으로 긴 슬릿 형상의 공급구(110a)가 형성되어 있다. 마찬가지로, 공급 박스(112)의 하면의 차풍판(70)측에는, 유연막(14)의 길이 방향(반송 방향)으로 긴 슬릿 형상의 공급구(112a)가 형성되어 있다. 용매 가스 공급 덕트(104)의 내부에는, 송기 팬(106)이 마련되어 있고, 용매 가스 생성 장치(102)에 의해 생성된 용매 가스는, 송기 팬(106)에 의해 공급 박스(110, 112)로 보내져, 공급구(110a, 112a)로부터 아래쪽의 벨트(30)를 향하여 수직으로 공급된다.

또한, 공급구(110a, 112a)는, 복수의 미세한 구멍의 집합으로 이루어지는 다공질 형상의 개구로 해도 된다. 또한, 공급구(110a, 112a)로부터 아래쪽에 수직으로 용매 가스를 공급하는 예로 설명을 했지만, 공급구(110a, 112a)로부터 내측(내측 영역(74)) 및/또는 외측(외측 영역(76))을 향하여 용매 가스를 공급하는 구성으로 해도 된다.

이와 같이 용매 가스를 공급함으로써, 공급된 용매 가스가 차풍판(68, 70)과 벨트(30) 사이의 극간을 덮는 에어 커튼으로서 기능하여, 신선풍이 내측 영역(74)으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 용매 가스 흡인 기구(80)에 의해 내측 영역(74)의 용매 가스가 흡인되고, 이 흡인에 의해 내측 영역(74)이 감압되어도, 차풍판(68, 70)과 벨트(30) 사이의 극간으로부터 내측 영역(74)으로 유입되는 것이 신선풍이 아니라 공급구(110a, 112a)로부터 공급된 용매 가스가 된다. 이에 따라, 상술한 두께 불균일을 방지할 수 있다.

공급 가스 컨트롤러(108)는, 공급구(110a, 112a)로부터 공급하는 용매 가스의 양과 농도를 컨트롤하여, 보다 확실하게 두께 불균일을 방지하기 위해 마련되고 있다. 공급 가스 컨트롤러(108)에는, 상술한 송기 팬(106)이 접속되어 있고, 공급 가스 컨트롤러(108)는, 송기 팬(106)에 공급하는 구동력(전력 등)을 제어함으로써, 용매 가스의 공급량(단위 시간당 공급량)을 컨트롤한다. 또한, 용매 가스의 공급량은, 용매 가스 흡인 기구(80)가 흡인하는 용매 가스의 흡인량 이상인 것이 바람직하다.

또한, 공급 가스 컨트롤러(108)에는, 상술한 용매 가스 생성 장치(102)에 더하여, 센서(114)가 접속되어 있다. 센서(114)는, 내측 영역(74) 내에 배치되고, 내측 영역(74) 내의 용매 농도, 즉, 용매 가스 흡인 기구(80)에 의해 흡인되는 용매 가스의 농도를 검출한다. 본 실시형태에서는 건조 케이스(64)의 상류측 단부이며 또한 유연막(14)의 폭 방향 중앙부에, 벨트(30)로부터 약 2㎝ 떨어진 위치에(벨트(30)의 약 2㎝ 위쪽에) 센서(114)를 배치하고 있다. 또한, 센서(114)의 배치 위치는, 이에 한정되지 않고, 내측 영역(74) 내이면 자유롭게 설정할 수 있지만, 가능한 한 상류측에 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 유연막(14)의 폭 방향 중앙부에 배치하는 것이 바람직하다.

공급 가스 컨트롤러(108)는, 센서(114)에 의해 검출된 용매 가스 농도, 그리고 송기 팬(106)에 의해 공급되는 용매 가스의 공급량에 의거하여, 용매 가스 생성 장치(102)를 제어(용매의 분무량 및/또는 가열 온도(휘발(증발)량) 등을 제어)하여, 공급구(110a, 112a)로부터 공급하는 용매 가스의 농도를 컨트롤한다.

또한, 공급구(110a, 112a)로부터 공급하는 용매 가스의 농도가 연해질수록, 두께 불균일을 방지하는 효과가 저하된다. 이 때문에, 용매 가스 흡인 기구(80)가 흡인하는 용매 가스(이하, 흡인 가스라고 할 경우가 있음)의 농도를 「A」, 공급구(110a, 112a)로부터 공급하는 용매 가스(이하, 공급 가스라고 할 경우가 있음)의 농도를 「B」로 했을 때에, 「A/5≤B」를 충족시키는 것, 즉, 공급 가스의 농도 B를, 흡인 가스의 농도 A의 1/5 이상으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 농도 A와 농도 B는, 모두 체적 농도이다.

또한, 공급구(110a, 112a)로부터 공급하는 용매 가스의 농도가 진해질수록, 유연막(14)의 건조가 진행되기 어려워진다. 이 때문에, 「B≤A」를 충족시키는 것, 즉, 공급 가스의 농도 B를, 흡인 가스의 농도 A 이하로 하는 것이 바람직하다.

이상과 같이, 용액 제막 장치(10)에서는, 유연 다이(36)로부터 벨트(30)상에 도프(12)를 유연시킴으로써 유연막(14)을 형성하는 스텝(유연막 형성 스텝), 유연막(14)을, 흡기 건조 유닛(40)과 송풍 건조 유닛(42)을 경유시킴으로써 건조시키면서 박리 위치(PP)까지 반송(이송)하는 스텝(이송 스텝), 박리 위치(PP)에 있어서 유연막(14)을 벨트(30)로부터 벗겨내는 스텝(박리 스텝)을 거쳐 필름(16)이 제조된다.

그리고, 이송 스텝에서는, 건조 케이스(64)에 의해 덮인 내측 영역(74)으로부터 용매 가스를 흡인하여 유연막(14)의 건조를 진행시키면서, 건조 케이스(64)(차풍판(68, 70))와 벨트(30)의 극간에 용매 가스를 공급함으로써 내측 영역(74)에 신선풍이 유입되는 것을 저지한다. 이렇게 해서 두께 불균일의 발생이 방지된다.

또한, 상기 실시형태에서는 용매 가스 흡인 기구(80)와 용매 가스 공급 기구(100)를 독립적으로 마련하고, 용매 가스의 흡인과 공급을 독립적으로 행하는 구성을 예로 설명을 했지만, 용매 가스 흡인 기구(80)와 용매 가스 공급 기구(100)의 적어도 일부를 연결하고, 용매 가스의 흡인과 공급을 연동하여 행하는 구성으로 해도 된다.

구체적으로는, 흡기 덕트(84)(도 2 참조)와 용매 가스 공급 덕트(104)(도 3 참조)를 접속, 또한, 흡기 덕트(84)를 분기(分岐)시켜 분기시킨 덕트의 적어도 1개를 용매 가스 공급 덕트(104)에 접속하고, 흡기 덕트(84)에서 흡인한 용매 가스를 용매 가스 공급 덕트(104)로부터 공급하는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 흡기 덕트(84)에서 흡인한 용매 가스의 농도를 조정하는 농도 조정 기구를 마련하는 것이 바람직하다. 농도 조정 기구는, 용매 가스의 농도를 연하게 할 경우, 예를 들면 용매 가스를 냉각하여 용매의 일부를 액화, 또는, 흡기 덕트(84)에서 흡인한 용매 가스보다 용매 농도가 낮은 기체(예를 들면 신선풍)를, 흡기 덕트(84)에서 흡인한 용매 가스와 합류시킨다. 또한, 농도 조정 기구는, 용매 가스의 농도를 진하게 할 경우, 예를 들면 용매를 분무 또는 가열함으로써 흡기 덕트(84)에서 흡인한 용매 가스보다 고농도의 용매 가스를 생성하고, 흡기 덕트(84)에서 흡인한 용매 가스와 합류시킨다.

이와 같이, 용매 가스 흡인 기구(80)와 용매 가스 공급 기구(100)의 적어도 일부를 연결함으로써, 예를 들면 흡기 팬(86)(도 2 참조) 및/또는 송기 팬(106)(도 3 참조)을 일체화(한쪽을 폐지)하거나, 콘덴서(90) 및/또는 용매 가스 생성 장치(102)를 상술한 농도 조정 기구로서 일체화하거나 할 수 있으므로, 용액 제막 장치의 소형화 및/또는 비용 절감이 가능하다.

또한, 상기 실시형태에서는 도프(12)의 폴리머로서, 셀룰로오스트리아세테이트(TAC)를 이용했지만, TAC를 대신하여 다른 셀룰로오스아실레이트를 이용해도 된다. 셀룰로오스아실레이트의 아실기는 1종류만이어도 되고, 혹은 2종류 이상의 아실기를 갖고 있어도 된다. 아실기가 2종 이상일 때에는, 그 1개가 아세틸기인 것이 바람직하다. 셀룰로오스의 수산기를 카르복시산으로 에스테르화하고 있는 비율, 즉, 아실기의 치환도가 하기 식(Ⅰ)∼(Ⅲ) 모두를 만족하는 것이 바람직하다. 또한, 이하의 식(Ⅰ)∼(Ⅲ)에 있어서, A 및 B는 아실기의 치환도를 나타내고, A는 아세틸기의 치환도, 또한 B는 탄소 원자수 3∼22인 아실기의 치환도이다.

(Ⅰ) 2.0≤A+B≤3.0

(Ⅱ) 1.0≤A≤3.0

(Ⅲ) 0≤B≤2.0

아실기의 전체 치환도 A+B는, 2.20 이상 2.90 이하인 것이 보다 바람직하고, 2.40 이상 2.88 이하인 것이 특히 바람직하다. 또한, 탄소 원자수 3∼22의 아실기의 치환도 B는, 0.30 이상인 것이 보다 바람직하고, 0.5 이상인 것이 특히 바람직하다.

또한, 도프(12)의 폴리머는 셀룰로오스아실레이트에 한정되지 않는다. 예를 들면 아크릴 수지, 환상 올레핀 수지(예를 들면 JSR(주)제의 아톤(등록상표)) 등이어도 된다.

이하, 본 발명의 실시예, 및 실시예와 비교하기 위한 비교예에 대해서 설명을 행한다.

모든 실시예 및 비교예에서는, 필름(16)이 되는 고형분을, 용매의 제1 성분으로서의 디클로로메탄 92질량부와 용매의 제2 성분으로서의 메탄올 8질량부의 혼합물에 용해하여, 고형분이 19.0질량％의 도프(12)를 만들었다. 고형분은, 이하의 TAC와 제1 가소제와 제2 가소제이다. 제1 가소제는 트리페닐포스페이트이며, 제2 가소제는 비페닐디페닐포스페이트이다. 만든 도프(12)는, 정치 탈포한 후에, 송액 펌프에 의해 필터를 통해 이물을 제거하고, 이물 제거 후의 도프(12)를 유연에 제공했다.

TAC 100질량부

제1 가소제 7질량부

제2 가소제 5질량부

이 도프(12)를 이용하여, 두께가 40㎛인 필름(16)을 제조했다. 필름(16)의 제조에는, 용액 제막 장치(10)(도 1 참조)를 이용하고, 벨트(30)의 주행 속도는 50m/분으로 했다.

그리고, 실시예에서는, 용매 가스 공급 기구(100)(도 3 참조)를 작동시켜 필름(16)을 제조했다. 즉, 실시예에서는, 용매 가스 흡인 기구(80)(도 2 참조)에 의한 흡인으로 건조 케이스(64) 내가 감압되어도, 차풍판(68, 70)과 벨트(30)의 극간으로부터 건조 케이스(64) 내에 신선풍이 유입되지 않은 구성으로 필름(16)을 제조했다.

다른 한편, 비교예에서는, 용매 가스 공급 기구(100)를 정지시켜 필름(16)을 제조했다. 즉, 비교예에서는, 용매 가스 흡인 기구(80)에 의한 흡인으로 건조 케이스(64) 내가 감압되었을 경우에, 차풍판(68, 70)과 벨트(30)의 극간으로부터 건조 케이스(64) 내에 신선풍이 유입되는 구성으로 필름(16)을 제조했다.

각 실시예 및 각 비교예는, 흡인 가스 농도 A(흡인 가스 중의 용매 가스의 농도이며, 센서(114)로 측정된 농도), 공급 가스 농도 B(공급 가스 중의 용매 가스의 농도), 필름상 풍속(필름상의 기체의 풍속이며, 흡인 가스의 흡인량에 의거하여 변화함)을 변경하여, 필름(16)의 제조를 행한 것이다. 각 실시예 및 각 비교예 각각의 흡인 가스 농도 A, 공급 가스 농도 B, 가스 농도 비율(A/B), 필름상 풍속은, 표 1, 표 2에 나타내는 바와 같다.

[표 1]

[표 2]

표 1, 표 2에 나타내는 각 조건으로 제조된 각 실시예 및 각 비교예의 필름(16)의 두께 불균일을 평가했다. 평가 결과는, 마찬가지로 표 1, 표 2에 나타낸다. 평가는 「A」, 「B」, 「C」 3단계로 했다. 평가 A는 가장 높은 평가이며, 평가 C는 가장 낮은 평가이다. 평가는, 종래의 구성, 즉, 용매 가스 공급 기구(100)를 정지시켜 필름(16)을 제조한 비교예 1-4를 기준으로 하여 평가 C로 하고, 종래보다 두께 불균일이 개선되었을 경우에는 평가 B로 하고, 보다 개선이 진행되어, 거의 두께 불균일이 없는 평활한 필름(16)이 얻어졌을 경우에는 평가 A로 했다.

구체적으로는, 필름의 배면측으로부터 광을 조사하고, 투과광의 농담차(濃淡差)를 육안으로 관찰함으로써 평가했다. 또한, 농담차는, 미소한 것으로서 확인(관찰)되는 것이며, 상술한 바와 같이, 비교예 1-4에서 인정된 농담차를 기준으로 하여 평가 C로 했다. 또한, 비교예 1-4와 비교하여 농담차가 작아져 있을 경우, 평가 B로 했다. 또한, 농담차가 육안으로 인정되지 않았을 경우, 두께 불균일이 없는 것으로 하여 평가 A로 했다.

표 1, 표 2에 나타내는 바와 같이 용매 가스 공급 기구(100)를 작동시킨 각 실시예는, 용매 가스 공급 기구(100)를 작동시키지 않은 비교예와 비교하여, 두께 불균일을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다. 또한, 실시예 1a∼1d, 2a∼2e, 3a∼3e, 4a, 4b와, 이들 이외의 실시예의 비교로부터, 「A/5≤B」를 충족시키는 것, 즉, 공급 가스의 농도 B를, 흡인 가스의 농도 A의 1/5 이상으로 함으로써, 보다 두께 불균일을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다.

또한, 제조하는 필름(16)의 두께를 상술한 40㎛로부터 25㎛로 변경하고, 마찬가지의 검증을 행했다. 이 경우도 상술한 40㎛의 경우와 결과는 마찬가지였다(표 1, 표 2 참조). 이에 따라, 필름(16)의 두께가 25㎛일 경우에도 본 발명이 유효함을 확인할 수 있었다.

Claims

폴리머가 용매에 용해된 폴리머 용액을, 주행하는 지지체상에 유연(流延)시킴으로써 유연막을 형성하는 용액 제막 장치에 있어서,
상기 유연막의 측연(側緣)을 따라 마련되고, 상기 지지체의 위쪽의 공간을, 상기 유연막의 유연되는 내측 영역과 상기 유연막의 외측의 외측 영역으로 구획하는 한 쌍의 차풍판(遮風板)과,
상기 내측 영역 내에 배치된 흡기구로부터 흡기를 행하고, 상기 유연막으로부터 휘발된 용매를 포함하는 용매 가스를 흡인하는 용매 가스 흡인 기구와,
상기 폴리머를 용해시키는 용매를 포함하는 용매 가스를, 상기 지지체와 상기 차풍판 사이의 극간(隙間)에 공급하는 용매 가스 공급 기구를 구비한 용액 제막 장치.
제1항에 있어서,
상기 유연막 중의 용매의 질량을 MS, 상기 유연막의 질량을 MF로 했을 때에,
{MS/(MF-MS)}×100
으로 나타나는 용매 함유율이 200％ 이상인 에어리어에 있어서, 상기 용매 가스 흡인 기구에 의한 흡인과, 상기 용매 가스 공급 기구에 의한 공급을 행하는 용액 제막 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
한쪽의 상기 차풍판의 상단부와, 다른쪽의 상기 차풍판의 상단부를 접속하는 덮개 부재가 마련되고,
상기 덮개 부재에 의해 상기 내측 영역을 위쪽으로부터 덮는 용액 제막 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 내측 영역에는, 상기 유연막에 대하여 적외선을 조사함으로써 상기 유연막에 포함되는 용매의 휘발을 촉진시키는 적외선 조사기가 설치되어 있는 용액 제막 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용매 가스 공급 기구는, 상기 차풍판의 하단부의 측방에 마련된 공급구로부터, 상기 공급을 행하는 용액 제막 장치.
제5항에 있어서,
상기 용매 가스 공급 기구는, 상기 폴리머를 용해시키는 용매를 포함하는 용매 가스를, 상기 공급구로부터 아래쪽의 상기 지지체를 향하여 수직으로 공급하는 용액 제막 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용매 가스 흡인 기구가 흡인하는 용매 가스인 흡인 가스의 농도를 A,
상기 용매 가스 공급 기구가 공급하는 용매 가스인 공급 가스의 농도를 B로 했을 때에,
A/5≤B
를 충족시키는 용액 제막 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용매 가스 흡인 기구가 흡인하는 용매 가스인 흡인 가스의 농도를 A,
상기 용매 가스 공급 기구가 공급하는 용매 가스인 공급 가스의 농도를 B로 했을 때에,
B≤A
를 충족시키는 용액 제막 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용매 가스 흡인 기구가 흡인한 용매 가스의 농도를 측정하는 센서와,
상기 센서의 측정 결과에 의거하여, 상기 용매 가스 공급 기구로부터 공급하는 용매 가스의 농도를 제어하는 공급 가스 농도 제어 기구를 구비한 용액 제막 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용매 가스 흡인 기구가 흡인한 용매 가스를, 상기 용매 가스 공급 기구로부터 공급하는 용액 제막 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 지지체로부터 상기 유연막을 벗겨냄으로써 제조되는 필름의 두께가 40㎛ 이하인 용액 제막 장치.
폴리머가 용매에 용해된 폴리머 용액을, 주행하는 지지체상에 유연시킴으로써유연막을 형성하는 유연막 형성 스텝과, 상기 유연막을 상기 지지체로부터 벗겨내는 박리 위치까지 이송하는 이송 스텝과, 상기 박리 위치에 있어서 상기 유연막을 상기 지지체로부터 벗겨내는 박리 스텝을 갖는 용액 제막 방법으로서,
상기 이송 스텝에 있어서,
상기 유연막의 측연을 따라 마련된 한 쌍의 차풍판에 의해, 상기 지지체의 위쪽의 공간을, 상기 유연막의 유연되는 내측 영역과 상기 유연막의 외측의 외측 영역으로 구획하고,
상기 내측 영역 내에 배치된 흡기구로부터 흡기를 행하고, 상기 유연막으로부터 휘발된 용매를 포함하는 용매 가스를 흡인하고,
상기 폴리머를 용해시키는 용매를 포함하는 용매 가스를, 상기 지지체와 상기 차풍판 사이의 극간으로부터 공급하는 용액 제막 방법.