JP2012143989A - 流延装置及び溶液製膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】溶液製膜での製造効率を上げるために流延膜の乾燥速度の向上を図りつつも、流延膜の発泡を防止する。
【解決手段】溶液製膜設備の流延装置は、バンドの流延面側に、上流側から順に、第１〜第３の流延面側給排気ユニットを備える。流延装置はさらに、バンド３０の非流延面側に、上流側から順に、第１〜第３の非流延面側給排気ユニットを備える。各給排気ユニットは、給気部６１と１対の遮風板６２とを有する。各給気部は、給気ダクトノズル６７から、流延膜３６に対して気体を吹き付ける。各遮風板６２，５４，５５は、流延膜３６の側縁の通過ラインよりも幅方向の内側に配してある。バンドの非流延面側に、上流側から順に配した遮風板８７，１０１〜１０３は、遮風板６２，５４，５５よりも中央寄りに配され、この順で下流に向かうほど、対を成す遮風板同士の間隔を狭めてある。
【選択図】図６

Description

本発明は、位相差フィルムとして用いるフィルムをドープから形成するための流延装置及び溶液製膜方法に関する。

液晶ディスプレイには位相差フィルムが用いられ、液晶ディスプレイの大画面化と高精細化によって、位相差フィルムに対する要求品質も厳しくなる一方である。要求品質として重要視されるのは光学特性である。

位相差フィルムとして用いるフィルムを製造する方法としては、上記のような光学特性の観点から溶液製膜方法が好ましいと言える。位相差フィルムの市場は拡大する一方であり、この市場の拡大に伴い、溶液製膜でのフィルムの製造効率も向上させる必要がある。

溶液製膜方法は、工業的には、連続法で行われる。すなわち、ドープを流延して流延膜とし、流延膜を剥ぎ取るまでの流延工程と、剥ぎ取られた流延膜であるフィルムを乾燥する乾燥工程とは連続して行われる。流延工程と乾燥工程とのうち流延工程での速度を上げることが、製造効率の向上につながる。

そこで、流延膜の乾燥速度を上げるために、従来は、特許文献１のように、流延膜に対して平行に乾燥風を流し、その乾燥風を流延膜の走行方向に対して対向流または追い風となるように流したり、特許文献２のように、走行する支持体の上に特定のドープから形成された流延膜に対して、流延膜に垂直に乾燥風を吹き付けることが行われてきた。

また、特許文献２では、乾燥のために流延膜に風を吹き付け、風の向きと支持体表面とのなす角を４５°〜８０°または９０°とし、特許文献３では、ノズルから流延膜に向けて出す風の向きを４５°〜９０°とする。

ところで、風をあてることにより流延膜を乾燥させる方法では、その乾燥を効果的ないし効率的に進めるために、風として吹き付ける空気を加熱して暖める。このように、加熱した空気を流延膜にあてると、支持体の流延面のうち流延膜が形成されていない露出部分は、徐々に昇温してしまう。支持体の露出部分の温度が高く上がりすぎてしまうと、流延膜の各側部の温度も上昇しすぎて発泡する。

そこで、流延膜に吹き付ける風により、このような支持体側部の露出部分の温度上昇を防止するために、特許文献４では、遮風板を設けて、風が支持体の露出部分にあたらないようにしている。

特開昭６１−１１０５２０号公報 特開昭６４−０５５２１４号公報 特開２００３−１０３５４４号公報 特開２００５−０４７１４１公報

しかし、流延膜に対して平行に風を流す方法は、風を吹き付けない場合に比べて乾燥速度は大きいものの、流延方向に延びた細かいすじが流延膜に発生するという問題がある。また、特許文献３には、流延膜に垂直に風を吹き付けると、風が流延膜に当たった後、上流側に向かってしまい。この流れによって膜厚が不均一になることが指摘されている。

ここで、特許文献３の方法では、乾燥速度をさらに大きくするためには、吹き付ける気体の温度を上げることになる。しかし、このように気体の温度を上げていくと、繰り返し流延と剥取とを行っているうちに、支持体の側部の温度が上昇しすぎてしまい、流延膜の側端部が発泡してしまう。また、特許文献４の方法では、流延膜の発泡をある程度は防止することができる。この特許文献４の方法において、フィルムの製造速度を上げる目的で乾燥速度をさらに大きくするためには、流延膜に吹き付ける風量を大きくすることになる。しかし、このように風量を大きくするに従い乾燥速度向上の効果は小さくなり、製造速度に限界がある。

そこで、上記問題に鑑み、本発明は、溶液製膜によるフィルムの製造効率を上げるために、流延膜のさらなる乾燥速度の向上を図りつつも、流延膜の発泡を防止する流延装置と溶液製膜方法とを提案することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、環状に形成されたベルト状の流延支持体の流延面にドープを流延して流延膜とし、この流延膜を剥ぎ取る剥取位置からドープが流延される流延位置に戻るように前記流延支持体が循環して連続走行する流延装置において、前記流延位置から前記剥取位置に向かう前記流延支持体の前記流延面側に、前記流延膜よりも高い温度の気体を送り出す流延面側給気手段と、前記流延支持体の走行路に沿って延びており、前記流延膜の側縁の通過ラインよりも前記流延支持体の幅方向における内側に配されて、前記流延膜の膜面近傍から前記流延支持体の両側部の露出部分への前記気体の流れ出しを抑制する１対の流延面側遮風部材と、前記流延位置から前記剥取位置に向かう前記流延支持体の非流延面に対向して設けられ、前記流延支持体を前記非流延面側から加熱する加熱手段と、前記流延支持体の走行路に沿って延びており、前記１対の流延面側遮風部材よりも前記流延支持体の幅方向における中央寄りとなるように前記加熱手段の両側に設けられ、前記非流延面の両側部への熱の伝わりを抑制する１対の伝熱抑制手段とを備えることを特徴として構成されている。

前記１対の伝熱抑制手段が前記流延支持体の走行方向に並ぶように複数設けられ、前記剥取位置に向かうほど、対を成す前記伝熱抑制手段の間隔が狭められてあることが好ましい。

前記加熱手段は、前記非流延面に対向して形成された開口から、前記流延支持体に対して前記流延膜よりも高い温度の気体を出す非流延面側給気手段であり、前記伝熱抑制手段が、前記非流延面の両側部への前記気体の流れ出しを抑制する非流延面側遮風部材であることが好ましい。非流延面側給気手段は、前記流延支持体の非流延面に対して垂直な方向で前記気体を出すことがより好ましい。

前記加熱手段と前記伝熱抑制手段とは、前記流延位置から前記剥取位置までの領域のうち下流側に設けられてあることが好ましい。

本発明の溶液製膜方法は、長手方向に連続走行する環状の流延支持体にドープを流延して流延膜を形成し、前記流延支持体から前記流延膜を剥がして乾燥し、前記流延膜を剥がした前記流延支持体にドープを再び流延する溶液製膜方法において、前記流延膜の温度よりも高い温度の気体を前記流延膜の膜面に供給して前記流延膜を乾燥し、前記流延膜の側縁の通過ラインよりも前記流延支持体の幅方向における内側に配され、前記流延支持体の走行路に沿って延びた１対の流延面側遮風部材により、前記流延膜の膜面近傍から前記流延支持体の両側部の露出部分への前記気体の流れ出しを抑制し、前記流延膜が形成されている前記流延支持体を、非流延面側から加熱し、前記１対の流延面側遮風部材よりも前記流延支持体の幅方向における中央寄りとなるように前記加熱手段の両側に設けられ、前記流延支持体の走行路に沿って延びた１対の伝熱抑制手段により、前記非流延面の両側部への熱の伝わりを抑制することを特徴として構成されている。

前記流延支持体の走行方向に並ぶように複数設けられ、下流に向かうに従い距離が小さくなるように配された前記１対の伝熱抑制手段により、前記前記非流延面の加熱すべき領域の幅を下流に向かうに従い狭めることが好ましい。

本発明によると、溶液製膜によるフィルムの製造効率を上げるために、流延膜のさらなる乾燥速度の向上を図りつつも、流延膜の発泡を防止することができる。

溶液製膜設備の概略図である。 流延装置の概略図である。 第１の流延面側給排気ユニット及び第１の非流延面側給排気ユニットの側面概略図である。 第１の流延面側給排気ユニット及び第１の非流延面側給排気ユニットの遮風板の平面概略図である。 図３及び図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。 対を成す各遮風板の距離についての説明図である。

本発明の第１の実施態様は、図１に示す溶液製膜設備１０により実施することが好ましい。溶液製膜設備１０は、流延装置１５と、第１テンタ１７と、ローラ乾燥装置２１と、第２テンタ２３と、スリッタ２６と、巻取装置２７とを、上流側から順に備える。

流延装置１５は、ポリマーが溶剤に溶解したドープ１１からポリマーフィルム（以降、単に「フィルム」と称する）１２を形成する。第１テンタ１７は、フィルム１２の各側部を保持手段１６で保持しながらフィルム１２の乾燥をすすめる。ローラ乾燥装置２１は、フィルム１２を複数のローラ２０で支持しながら乾燥する。第２テンタ２３は、フィルム１２の各側部を保持手段２２で保持し、フィルム１２に対して幅方向での張力をフィルム１２に付与する。スリッタ２６は、第１テンタ１７の保持手段１６と第２テンタ２３の保持手段２２とにより保持された各側部の保持跡を切除する。巻取装置２７は、フィルム１２を巻き芯に巻いてロール状にする。

なお、本明細書においては、溶剤含有率（単位；％）は乾量基準の値であり、具体的には、溶剤の質量をｘ、フィルム１２の質量をｙとするときに、｛ｘ／（ｙ−ｘ）｝×１００で求める百分率である。

流延装置１５の詳細と、流延装置によりドープ１１からフィルム１２を形成する流延工程の詳細とは、別の図面を用いて後述する。

流延膜３６は、剥取ローラ３７（図２参照）で剥ぎ取られる。剥ぎ取られた流延膜３６、すなわちフィルム１２は、第１テンタ１７に案内される。なお、流延装置１５と第１テンタ１７との間の搬送路には、送風装置（図示無し）を配してもよい。この送風装置からの送風により、フィルム１２の乾燥をすすめる。

第１テンタ１７は、フィルム１２を保持手段１６で保持して長手方向に搬送しながら、幅方向での張力を付与し、フィルム１２の幅を拡げる。第１テンタ１７の保持手段１６は、クリップとしてある。第１テンタ１７には、上流側から順に、予熱エリア、延伸エリア、及び緩和エリアを形成してある。なお、緩和エリアは無くてもよい。

第１テンタ１７は、１対のレール（図示無し）及びチェーン（図示無し）を備える。レールはフィルム１２の搬送路の両側に設置され１対のレールは所定の間隔で離間して配される。このレール間隔は、予熱エリアでは一定であり、延伸エリアでは下流に向かうに従って次第に広くなり、緩和エリアでは一定である。なお、緩和エリアのレール間隔は、下流に向かうに従って次第に狭くなるようにしてもよい。延伸エリアでは、レール間隔が次第に広がることにより、フィルム１２は搬送されるに従い幅方向に広がるように延伸される。緩和エリアでは、レール間隔が一定あるいは次第に狭くなることにより、幅方向の張力が緩められ、延伸エリアでの延伸工程で生じた内部応力が緩和（応力緩和）される。

チェーンは、原動スプロケット及び従動スプロケット（図示無し）に掛け渡され、レールに沿って移動自在に取り付けられている。複数の保持手段１６は、チェーンに所定の間隔で取り付けられている。原動スプロケットの回転により、保持手段１６はレールに沿って循環移動する。

保持手段１６は、第１テンタ１７の入口近傍で、案内されてきたフィルム１２の保持を開始し、出口に向かって移動して、出口近傍で保持を解除する。保持を解除した保持手段１６は再び入口近傍に移動して、新たに案内されてきたフィルム１２を保持する。

予熱エリア、延伸エリア、緩和エリアは、ダクト１８からの乾燥風の送り出しによって空間として形成されたものであり、明確な境界があるわけではない。ダクト１８はフィルム１２の搬送路の上方に設けられる。ダクト１８は、乾燥風を送り出すスリットを有し、送風機（図示無し）から供給される。送風機は、所定の温度や湿度に調整した乾燥風をダクト１８に送る。スリットがフィルム１２の搬送路と対向するようにダクト１８は配される。各スリットはフィルム１２の幅方向に長く伸びた形状であり、搬送方向で互いに所定の間隔をもって形成されている。なお、同様の構造を有するダクトを、フィルム１２の搬送路の下方に設けてもよいし、フィルム１２の搬送路の上方と下方との両方に設けてもよい。

この第１テンタ１７で、フィルムは搬送されながら、ダクト１８からの乾燥風により乾燥をすすめられるとともに、保持手段１６により幅を所定のタイミングで変えられる。

なお、延伸エリアにおけるフィルム１２の溶剤含有率は、７質量％以上３０質量％以下であることが好ましい。延伸処理における延伸率ＥＲ１（＝｛（延伸後の幅）／（延伸前の幅）｝×１００）は、５％より大きく３０％以下であることが好ましい。延伸処理におけるフィルム１２の温度は、８０℃以上１６０℃以下であることが好ましい。

ローラ乾燥装置２１の内部の雰囲気は、温度や湿度などが図示しない空調機により調節されている。ローラ乾燥装置２１では、多数のローラ２０にフィルム１２が巻き掛けられて搬送される。ローラ乾燥装置２１においても、フィルム１２から溶剤が蒸発する。ローラ乾燥装置２１では、溶剤含有率が５質量％以下となるまで、乾燥工程が行うことが好ましい。

なお、ローラ乾燥装置２１から出たフィルム１２がカールしている場合には、ローラ乾燥装置２１と第２テンタ２３との間に、カールを矯正してフィルム１２を平らにするカール矯正装置（図示無し）を設けてもよい。

第２テンタ２３は、フィルム１２を幅方向に広げるように延伸する。この延伸により、目的とする光学特性をもつフィルム１２となる。得られるフィルム１２は位相差フィルムとして利用することができる。第２テンタ２３は、第１テンタ１７と同様の構造を有する。なお、第２テンタ２３に設けられるダクト２４は、スリット（図示せず）から、所定の温度に加熱された乾燥風を流出し、フィルム１２に向かって流れる。第２テンタ２３の保持手段１６０も第１テンタ１７と同様にクリップとしてある。

第２テンタ２３での延伸における延伸率ＥＲ２（＝｛（延伸後の幅）／（延伸前の幅）｝×１００）は、１０％より大きく４０％以下であることが好ましい。延伸開始時におけるフィルム１２の溶剤含有率は、３質量％以下であることが好ましい。延伸におけるフィルム１２の温度は、１３０℃以上２００℃以下であることが好ましい。

製造目的とするフィルム１２の光学特性によっては、第２テンタ２３は用いずともよい。例えば、第１テンタ１７による延伸で、目的とする光学特性が発現する場合には第２テンタ２３は用いずともよい。

第２テンタ２３の下流のスリッタ２６は、フィルム１２が案内されてくると、第１テンタ１７や第２テンタ２３の各保持手段１６，２２による保持跡を含む側部を切除する。側部を切除したフィルム１２を巻取装置２７に送り、ロール状に巻き取る。なお、流延装置１５と第１テンタ１７との間や、第１テンタ１７とローラ乾燥装置２１との間にも、スリッタを設けてもよい。

流延装置１５の概略について、図２を参照しながら説明する。流延装置１５は、環状に形成された無端の流延支持体であるバンド３０と、周方向に回転する第１ローラ３１と第２ローラ３２とを備える。バンド３０は、第１ローラ３１と第２ローラ３２との周面に巻き掛けられる。第１，第２ローラ３１，３２の少なくともいずれか一方が、駆動手段を有する駆動ローラであればよい。この駆動ローラが周方向に回転することにより、周面に接するバンド３０が搬送される。この搬送により、バンド３０は、循環して長手方向に連続走行する。なお、第１ローラ３１から第２ローラ３２に向かうバンド３０の走行路の下にローラ３３を設け、バンド３０を下方から支持することが好ましい。この支持により、バンド３０の走行経路が一定に保持される。ローラ３３は、図２においてはひとつだけ図示してあるが、バンド３０の走行路に沿って複数配してもよい。

バンド３０の上方にはドープ１１を流出する流延ダイ３５が備えられる。搬送されているバンド３０に流延ダイ３５からドープ１１を連続的に流出することにより、ドープ１１はバンド３０上で流延されて流延膜３６が形成される。なお、ドープ１１がバンド３０に接触を開始する位置を、以下、流延位置ＰＣと称する。

第１ローラ３１と第２ローラ３２とは、それぞれ周面温度を制御する温度コントローラ（図示せず）を備える。第１ローラ３１は、周面温度が所定の範囲となるように冷却する。第１ローラ３１を冷却することにより、バンド３０は１周する毎に冷却される。これにより、連続走行して後述の第１の流延面側給排気ユニット４１と第２の流延面側給排気ユニット４２と第３の流延面側給排気４３とにより加熱され続けても、バンド３０の両側部３０ｓ（図３参照）の温度上昇がより確実に防止される。流延ダイ３５は、第１ローラ３１上のバンド３０の上方に設けており、流延位置ＰＣは第１ローラ３１上としている。第２ローラ３２は、周面温度が所定の範囲となるように加熱する。第２ローラ３２を加熱することにより、流延膜３６はより効果的に乾燥する。

第１ローラ３１の周面温度は、３℃以上３０℃以下の範囲にすることが好ましく、５℃以上２５℃以下の範囲にすることがより好ましく、８℃以上２０℃以下の範囲にすることがさらに好ましい。第２ローラ３２の周面温度は、２０℃以上５０℃以下の範囲にすることが好ましく、２５℃以上４５℃以下の範囲にすることがより好ましく、３０℃以上４０℃以下の範囲にすることがさらに好ましい。

流延ダイ３５は、第１ローラ３１上にあるバンド３０の上方に設ける態様に限定されない。例えば、第１ローラ３１から第２ローラ３２へ向かうバンド３０の上方に設けてもよい。この場合には、第１ローラ３１から第２ローラ３２へ向かうバンド３０の流延すべき位置の下方にもローラ３３を配し、このローラ３３により支持されているバンド３０の上方に流延ダイ３５を配することが好ましい。

流延ダイ３５からバンド３０に至るドープ１１、いわゆるビードに関して、バンド３０の走行方向における上流には、減圧チャンバが設けられるが図示は略す。この減圧チャンバは、流出したドープ１１の上流側エリアの雰囲気を吸引して前記エリアを減圧する。この減圧により、ビードの態様が安定し、ドープ１１の流延が安定して連続的に為される。

流延膜３６を、第１テンタ１７への搬送が可能な程度にまで固くしてから、溶剤を含む状態でバンド３０から剥がす。剥ぎ取りは、溶剤含有率が好ましくは２０質量％以上５０質量％以下の範囲、さらに好ましくは２５質量％以上４５質量％以下の範囲で行うことがより好ましい。５０質量％という低い溶剤含有率に達してから剥ぎ取ることで、５０質量％よりも大きい溶剤含有率で剥ぎ取る場合に比べて、遅相軸の方向をより確実に均一にすることができる。また、２０質量％以上で剥ぎ取る場合には、２０質量％未満で剥ぎ取る場合に比べて、製造効率をより確実に向上させることができる。

剥ぎ取りの際には、フィルム１２を剥ぎ取り用のローラ（以下、剥取ローラと称する）３７で支持し、流延膜３６がバンド３０から剥がれる剥取位置ＰＰを一定に保持する。剥取ローラ３７は、駆動手段を備え周方向に回転する駆動ローラであってもよい。なお、剥ぎ取りは、第１ローラ３１上のバンド３０で実施する。バンド３０は循環して剥取位置ＰＰから流延位置ＰＣに戻ると再び新たなドープ１１が流延される。

以降の説明においては、バンド３０の両面のうち、ドープ１１が流延されて流延膜３６が形成される面を流延面と称し、流延面とは反対側の面を非流延面と称する。また、バンド３０の走行路のうち、流延位置ＰＣから剥取位置ＰＰまでの領域を流延膜形成領域と称する。

流延位置ＰＣから剥取位置ＰＰに向かうバンド３０の流延面側には、バンド３０の走行路に沿って上流側から順に、第１の流延面側給排気ユニット４１、第２の流延面側給排気ユニット４２、第３の流延面側給排気ユニットを配してある。

バンド３０の走行路のうちバンド３０の流延面が上を向いて走行する第１走行領域は、流延膜形成領域のうち上流域を含む。また、バンド３０の走行路のうちバンド３０が流延面を下に向けて走行する第２走行領域は、流延膜形成領域のうち下流域を含む。

第１の流延面側給排気ユニット４１は、流延膜形成領域のうちの上流域に配される。第２の流延面側給排気ユニット４２は、バンド３０の第１走行領域から第２走行領域にかけて配される。すなわち第２の流延面側給排気ユニット４２は、流延膜形成領域の上流域から下流域にかけて配される。第３の流延面側給排気ユニット４３は、流延膜形成領域の下流域に配される。

第１の流延面側給排気ユニット４１は、第１給気部６１と、排気部６３と、第２給気部７６と、遮風板６２とを備える。第１給気部６１は、流延膜３６の膜面に対して垂直な向きで気体を供給する。第２給気部７６は、通過する流延膜３６に対して追い風として流延膜３６の上方を流れるように気体を出す。排気部６３は、流延膜３６周辺の雰囲気を吸引する。遮風板６２は、流延面側における遮風部材である。第１の流延面側給排気ユニット４１については、別の図面を用いて後述する。この第１の流延面側給排気ユニット４１は、流延膜３６に対して、第１給気部６１による垂直な向きの給気を主として行う。なお、第１の流延面側給排気ユニット４１の詳細については、別の図面を用いて後述する。

第２の流延面側給排気ユニット４２は、乾燥した気体を流出する給気部４６と、気体を吸引して排気する排気部４７と、コントローラ４８と、遮風板５４とを備える。コントローラ４８は、給気部４６に気体を送り、その気体の温度、湿度、給気部４６からの流量、排気部４７での吸引力を独立して調整する。第３の流延面側給排気ユニット４３も、第２の流延面側給排気ユニット４２と同様の構成及び作用をもつ給気部４９と排気部５０とコントローラ５１とを備える。

給気部４６、４９は、バンド３０の第２走行領域のうち、剥取位置ＰＰよりも上流に配してある。排気部４７は給気部４６の上流に、排気部５０は給気部４９の上流に、それぞれ配される。なお、排気部５０は、バンド３０の第１走行領域に配してある。気体が流出する給気部４６，４９の各流出口４６ａ，４９ａと、気体を吸引する排気部４７，５０の各吸引口４７ａ，５０ａとは、ともに、バンド３０の幅方向に延びたスリット状の開口である。流出口４６ａ，４９ａがバンド３０の走行方向における上流側に向くように、給気部４６，４９は配される。吸引口４７ａ，５０ａがバンド３０に対向するように、排気部４７，５０は配される。なお、本実施形態では、吸引口４７ａ，５０ａをバンド３０に正対させてあるが、対向していればよい。

以上のように給気部４６，４９と排気部４７，５０とを配することにより、給気部４６，４９からの気体は、搬送されて通過する流延膜３６の膜面に対して並行な対向流で流れる。対向流とすることで、追い風よりも効率的に流延膜３６が乾燥される。

第２ローラ３２から剥取位置ＰＰに向かうバンド３０は、下方を向くバンド面上に流延膜３６が形成されているために、支持手段による下方からの支持ができない。したがって、第２ローラ３２から剥取位置ＰＰに向かうバンド３０は、自重で、下方に凸の走行経路を採る。また、乾燥効率の点では、流延膜３６に対して垂直な向きに気体を吹き付ける方が、並行流の場合よりも優れる。しかし、乾燥効率を並行流よりも高めることができるほどの流量で、垂直な向きに気体を吹き付けるためには、流延膜３６の下方に多くの給気手段を設ける必要があり、給気手段を多く配するほど、給気手段とバンド３０との接触の懸念が高まる。そこで、給気部４６，４９を、ともに、第２ローラ３２から剥取位置ＰＰに向かうバンド３０の下方に配し、第２ローラ３２から剥取位置ＰＰに向かう流延膜３６については、並行な対向流の気体で乾燥する。

ただし、流延膜３６の膜面に対して並行流の気体を流すための給排気ユニットの数は、本実施形態のように２に限定されず、１または３以上であってもよい。

本実施形態では、第２の流延面側給排気ユニット４２と第３の流延面側給排気ユニット４３とを、コントローラ４８とコントローラ５１とによりそれぞれ独立して制御しているが、ひとつのコントローラ（図示）により独立して制御してもよい。

給気部４６，４９からの気体は、コントローラ４８，５１により加熱されてある。このように加熱された温風を流延膜３６上に流すことにより、流延膜３６を加熱し、乾燥をすすめる。

第２の流延面側給排気ユニット４２はさらに遮風板５４を備え、第３の流延面側給排気ユニット４３もさらに遮風板５５を備える。遮風板５４，５５は、非流延面側における遮風部材である。遮風板５４，５５は、給気部４６から排気部４７への気体の流れの方向、給気部４９から排気部５０への気体の流れの方向をより制御する。この制御により、流延膜３６の膜面に対して並行な対向流がより確実に保持され、流延膜３６の乾燥の効率化がより確実になる。

流延位置ＰＣから剥取位置ＰＰに向かうバンド３０の非流延面側には、上流側から順に、第１〜第３の非流延面側給排気ユニット８１〜８３を備えてある。第１の非流延面側給排気ユニット８１と第２の非流延面側給排気ユニット８２とは流延膜形成領域の上流域に、第３の流延面側給排気ユニット４３は流延膜形成領域の下流域に、配してある。

なお、非流延面３０ｂ側にも遮風板８７，８９，１０１〜１０３が、バンド３０の走行方向に並ぶように配されてある。遮風板８７，８９，１０１，１０２，１０３はそれぞれ、非流延面３０ｂ側の両側に１対以上配される。第１の非流延面側給排気ユニット８１は、遮風板８７を有し、第２の非流延面側給排気ユニット８２は、第１の非流延面側給排気ユニット８１の遮風板８７と同様の遮風板８９を有する。

図２では、流延膜形成領域の上流域には、バンド３０の非流延面３０ｂ（図３参照）側に、図示の煩雑化を避けるため及び説明の便宜上、２つの給排気ユニット８１，８２を図示してある。流延膜形成領域の上流域でのバンド３０を下方から支持するローラ３３の数等に応じて、非流延面３０ｂ側の給排気ユニットのバンド走行方向における長さや数等は決定すればよい。すなわち、流延膜形成領域の上流域における給排気ユニットの数は２に限定されない。下流域の給排気ユニットについても同様に、バンド走行方向における長さや数等は適宜決定すればよい。

第１の流延面側給排気ユニット４１及び第１の非流延面側給排気ユニット８１について、図３〜図５を参照しながら説明する。第２の非流延面側給排気ユニット８２、第３の非流延面側給排気ユニット８３の構成及び作用は第１の非流延面側給排気ユニット８１と基本的に同じであるので、説明は略す。なお、図の煩雑化を避けるために、図４，図５では第１ローラ３１及びローラ３３の図示は略す。

バンド３０の流延面３０ａ側に配される第１の流延面側給排気ユニット４１は、給気部６１と、遮風部材としての遮風板６２と、排気部６３とを備える。給気部６１は、給気部６１は、バンド３０の上に形成された流延膜３６の膜面に対して垂直な方向に、気体を吹き付ける。図４に示すように、流延ダイ３５に形成されてあるスリット状のドープ流出口３５ａの長さは、バンド３０の幅よりも小さい。これにより、バンド３０の側部３０ｓが露出するように、流延膜３６はバンド３０の幅方向における中央部３０ｃに形成される。遮風板６２は、流延膜３６の膜面近傍からバンド３０の流延面３０ａの露出部分である側部３０ｓへの気体の流れ出しを抑制する。排気部６３は、流延膜３６周辺の雰囲気を吸引する。これらの給気部６１，遮風板６２，排気部６３のそれぞれについて以下に詳細に説明する。

給気部６１は、給気ダクト６６と、給気ダクト６６に設けた複数のノズル６７と、送風機６８と、送風コントローラ６９とを有する。送風機６８は、給気ダクト６６に気体を送り出す。送風コントローラ６９は、送風機６８から給気ダクト６６へ送り出す気体の温度、湿度、流量を制御する。この制御によりノズル６７からの気体の流量及び流速を調整する。気体は送風コントローラ６９により加熱され、この加熱された気体を温風として流延膜３６に吹き付けることにより、流延膜３６の乾燥をすすめる。

給気ダクト６６は、通過する流延膜３６を覆うように、底面６６ａがバンド３０に対向する箱状のダクトである。複数のノズル６７は、バンド３０の走行方向に、間隔をもって並ぶように配される。各ノズル６７は、バンド３０の幅方向に長い形状とされ、先端をバンド３０に向けて、給気ダクト６６の底面６６ａに突出して設けられる。バンド３０に対向する先端に、給気ダクト６６の中の気体を外部に出す開口６７ａが形成されてある。開口６７ａは、バンド３０の幅方向に長いスリット状である。

バンド３０に対向する開口６７ａから気体を送ることにより、流延膜３６の膜面に対して垂直な向きで気体を送ることができる。気体を垂直な向きで吹き付けることにより、膜面に並行な流れで吹き付けるよりも、効率よく流延膜３６を乾燥することができる。このため、フィルム１２の製造効率が向上する。なお、垂直な向きで気体を送るためには、ノズル６７からの送風でなくてもよく、例えば、給気ダクト６６の底面６６ａに開口（図示せず）を形成して、この開口からの送風であってもよい。

また、膜面に気体を垂直な向きで吹き付けることで乾燥効率が高まり、これにより、剥ぎ取り時における流延膜３６、すなわち剥取位置ＰＰにおける流延膜３６の溶媒含有率をより低く下げることができる。剥取位置ＰＰにおける流延膜３６の溶媒含有率が２０質量％以上５０質量％以下の範囲となるように流延膜３６の乾燥をすすめることが好ましい。

開口６７ａの形状は、スリット状とすることが好ましいが、必ずしもスリットでなくてもよい。例えば、ノズル６７の先端に、円形あるいは矩形の複数の開口（図示せず）をバンド３０の幅方向に並ぶように形成してもよい。

図４，図５では、開口６７ａの長さを、離間してバンド３０の両側に設けた１対の遮風板６２の距離よりも短く図示してある。しかし、ノズル６７の開口６７ａを、１対の遮風板６２の距離よりも長く形成しておいて、開口６７ａの遮風板６２よりも外側を塞ぐことにより、１対の遮風板６２の距離よりも短くして使用してもよい。

本実施形態では、給気ダクト６６を、バンド３０の走行路に沿って複数並べて設けてあるが、第２ローラ３２に至るようにバンド３０の走行方向に長く延びたひとつの給気ダクトを用い、この給気ダクトに多数のノズルを設けてもよい。また、本実施形態における個々の給気ダクト６６には、６つのノズル６７を設けてあるが、ノズル６７の数は特に限定されない。

給気ダクト６６からの気体の温度は、流延膜３６の温度よりも高くしてある。これにより、流延膜３６の乾燥効率はより確実に高まる。なお、本実施形態では、流延膜３６の搬送路の上方に、非接触で流延膜３６の温度を測定する温度測定機（図示せず）を配し、この温度測定機により流延膜３６の温度を検出する。温度測定機としては、公知の各種温度測定機を用いることができ、特に限定されない。

ノズル６７からの気体の吹き出しの速度、すなわち流速は、５ｍ／秒以上２５ｍ／秒以下の範囲とすることが好ましい。５ｍ／秒以上の流速とすることで、流延膜３６の乾燥効率はより確実に高まる。また、２５ｍ／秒以下の流速とすることで、流延膜３６の発泡をより確実に防ぐことができたり、表面の平滑なフィルム１２をより確実に得ることができる。

第１の流延面側給排気ユニット４１の遮風板６２は、バンド３０の走行路に沿って延びており、流延膜３６の側縁の通過ラインよりもバンド３０の幅方向における内側に、起立した姿勢で配される。これにより、給気ダクト６６からの加熱された気体が流延膜３６の膜面近傍からバンド３０の露出部分である側部３０ｓへ流れ出すことを、抑制する。加熱気体の側部３０ｓへの流れ出しを抑制することで、側部３０ｓの温度上昇が抑制される。このため、バンド３０の側部３０ｓの温度上昇によるフィルムの側端部の温度上昇が抑制され、発泡が生じなくなる。

遮風部材としては、遮風板６２に代えて、流延膜３６の側縁３６ｅからバンド３０の側部３０ｓにかけての領域を底面で覆うようなブロック形状のものを用いてもよい。

バンド３０の流延面３０ａを高さの基準として、遮風板６２は、給気ダクト６６よりも低く設けられている。つまり、遮風板６２のバンド３０から最も遠い縁部の高さは、給気ダクト６６の底面の高さよりも低い。したがって、図２に示すように、給気ダクト６６の底面６６ａに配されているノズル６７は、バンド３０の側方から見たときに、遮風板６２に覆われずに、遮風板６２と給気ダクト６６との間に見える。このように、ノズル６７とノズル６７との各間の空間は、遮風板６２と給気ダクト６６との間を介して、遮風板６２の上方あるいは側方の空間に通ずる。したがって、流延膜３６の膜面近傍の空間は、遮風板６２の上方あるいは側方の空間との、空間的に接続し、これにより、給気ダクト６６からの気体は、流延膜３６や遮風板６２の内壁に当たると、遮風板６２の上方や側方へ案内される。

流延膜３６の両側縁３６ｅ近傍の配される１対の遮風板６２に挟まれる空間は、遮風板６２よりも側方の外部空間よりも、給気ダクト６６からの給気により圧力が高く、さらに、前述のように、流延膜３６の膜面近傍の空間と、遮風板６２の上方あるいは側方の外部空間とは空間的に接続する。これらにより、流延膜３６の周辺の雰囲気は、給気ダクト６６から新たに流出される気体に迅速に置き換わるので、流延膜３６の乾燥はより一層効率的にすすむ。

遮風板６２は、バンド３０との距離Ｄ１が１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲となるように配されることが好ましい。Ｄ１を１０ｍｍ以上とすることで、遮風板６２とバンド３０との接触をより確実に防止することができる。Ｄ１を５０ｍｍ以下とすることで、５０ｍｍよりも大きい場合に比べて、流延膜３６の膜面近傍からバンド３０の側部３０ｓへの気体の流れ出しを、より確実に抑制する。

遮風板６２は、流延膜３６の側縁３６ｅの通過ラインよりも内側の上方に配する。これにより、流延膜３６の膜面近傍からバンド３０の側部３０ｓへの気体の流れ出しを、より確実に抑制することができる。

排気部６３は、吸引ダクト７２と、吸引機７３と、排気コントローラ７４とを有する。吸引機７３は、気体を吸引する。排気コントローラ７４は、吸引機７３における吸引力を制御する。この制御により、吸引ダクト７２に形成された開口７２ａからの気体の吸引力を調整する。気体は、排気コントローラ６９により、清浄化され、排気される。

複数の吸引ダクト７２は、遮風板６２よりも高い位置に設けられる。各吸引ノズルの各開口７２ａは、ノズル６７とノズル６７との間に対向する。このように、開口６７ａは、空間的に接続する流延膜３６の膜面近傍の空間と遮風板６２の上方あるいは側方の外部空間との間に配されるので、流延膜３６周辺の雰囲気は、より迅速に、遮風板６２の上方へ案内される。これにより、流延膜３６周辺の雰囲気は、給気ダクト６６からの新たな気体に、より迅速に置き換わり、流延膜３６の乾燥がさらに効率的にすすむ。また、吸引ダクト７２は、遮風板６２よりも高い位置に設けられるので、流延膜３６の膜面近傍からバンド３０の側部３０ｓの露出部分への気体の流れ出しが、より確実に抑制され、側部３０ｓの温度上昇がより確実に防止される。

なお、吸引ダクト７２は、バンド３０の表面の法線方向においては、遮風板６２よりも高い位置になるように配されていればよい。例えば、本実施形態のように、開口７２ａの下端が、給気ダクト６６の底面６６ａよりも低くなるように吸引ダクト７２を配してもよいし、あるいは、吸引ダクト７２の底面が給気ダクト６６の底面６６ａと同じ高さであって開口７２ａの下端が給気ダクト６６の底面６６ａよりも高くてもよい。また、吸引ダクト７２は、バンド３０の走行方向においては、ノズル６７とノズル６７との間に開口７２ａが位置するように配されていればよい。

第１の流延面側給排気ユニット４１は、給気部６１の上流、すなわち流延位置ＰＣと給気部６１との間に、さらに第２給気部７６を備えることが好ましい。第２給気部７６は、図３に示すように、ノズル７７と、送風機７８と、送風コントローラ７９とを有する。送風機７８は、ノズル７７に気体を送り出す。送風コントローラ７９は、送風機７８からノズル７７へ送り出す気体の温度、湿度、流量を制御する。この制御によりノズル７７からの気体の流量及び流速を調整する。気体は送風コントローラ７９により加熱され、この加熱された気体を温風として流延膜３６に吹き付けることにより、流延膜３６の乾燥をすすめる。

ノズル７７は、開口７７ａがバンド３０の走行方向における下流側に向くように配される。これにより、開口７７ａからの気体は、通過する流延膜３６に対して追い風として流延膜３６の上方を流れる。追い風となることで、ビードへの気流の影響が抑制される。ただし、開口７７ａの向きは、流延膜３６側に多少傾いた向きでもよく、気体の流れが流延膜３６へ追い風となれば、流延膜３６の膜面に対して並行な流れでなくてもよい。

ノズル７７からの気体は、給気ダクト６６の底面と流延膜３６との間に流れ込み、そのほとんどは、吸引ダクト７２のうち最も上流側のひとつに吸引される。このように、第２給気部７６を設け、形成直後から流延膜３６の乾燥を行うことで、流延膜３６の乾燥効率はさらに向上し、フィルム１２の製造効率はさらに高まる。

流延膜形成領域の上流域では、流延膜３６が形成されてあるバンド３０の中央部３０ｃは、流延膜３６からの溶媒の蒸発潜熱で温度が上がりにくい。そこで、第１の非流延面側給排気ユニット８１及び第２の非流延面側給排気ユニット８２（図２参照）を、流延膜３６を加熱する加熱手段として設けてある。第１の非流延面側給排気ユニット８１及び第２の非流延面側給排気ユニット８２は、流延位置ＰＣの下流に設けられ、バンド３０を挟んで第１の流延面側給排気ユニット４１に対向して配される。すなわち、第１の非流延面側給排気ユニット８１及び第２の非流延面側給排気ユニット８２は、バンド３０の非流延面３０ｂに対向して配される。

第１の非流延面側給排気ユニット８１は、第１の流延面側給排気ユニット４１と同様に、加熱手段としての給気部８６と、遮風部材としての遮風板８７と、排気部８８とを備える。

給気部８６と、排気部８８との各構成は、第１の流延面側給排気ユニット４１の給気部６１と、排気部６３と基本的に同じであるので、異なる点のみを以下に説明する。給気部８６は、給気部６１と同様に、給気ダクト９０、給気ダクト９０に設けた複数のノズル９１、送風機９２、送風コントローラ９３とを有する。給気ダクト９０及びノズル９１は、バンド３０に関して給気ダクト６６及びノズル６７と略対称に配されてあり、ノズルは、給気ダクト９０の上面９０ａに形成されてある。ノズル９１の開口９１ａは非流延面３０ｂに正対する。ただし、ノズル６７とノズル９１とは、必ずしも正対する必要はなく、図３，４に示すように、バンド３０の走行方向でずれた位置関係であってもよい。なお、図４では、図の煩雑化を避けるために給気ダクト９０及び排気部８８の図示は略してある。

給気部８６は、走行してきたバンド３０のノズル９１に対向する箇所に対して、流延膜３６よりも高い温度の気体を吹き付ける。これにより、バンド３０は非流延面３０ｂ側から加熱される。バンド３０が加熱されることにより、バンド３０上の流延膜３６が加熱されて乾燥が促進する。乾燥促進の観点から、非流延面３０ｂに対して垂直な方向に、気体を吹き付けることが好ましい。

排気部８８は、排気部６３と同様に、吸引ダクト９５と、吸引機９６と、排気コントローラ９７とを有する。

遮風板８７は、バンド３０の非流延面３０ｂに対向して、起立した姿勢で設けられる。遮風板８７は、非流延面３０ｂとの距離Ｄ３が、遮風板６２と流延面３０ａとの距離Ｄ１と同様に、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲となるように配されることが好ましい。この遮風板８７は、給気部８６のノズル９１から出る気体が側部３０ｓの非流延面３０ｂへ流れ出すことを抑制する。非流延面３０ｂ側の遮風板８７は、バンド３０の幅方向において、流延面３０ａ側の遮風板６２よりも中央寄りに配してある。これにより、側部３０ｓの非流延面３０ｂの昇温がより確実に抑制され、流延膜３０の側端部の発泡がより確実に防止される。このように、遮風板８７は、給気部８６のノズル９１から出る気体の流れを遮ることで、気体の熱が側部３０ｓの非流延面３０ｂに伝わることを抑制する伝熱抑制手段である。なお、側部３０ｓの非流延面３０ｂは、側部３０ｓの流延面３０ａに対応しており、側部３０ｓの流延面３０ａの裏側にあたる領域である。

遮風板８７は、その内壁と遮風板６２の内壁との距離Ｄ４が５ｍｍ以上３００ｍｍ以下の範囲となるように、遮風板６２よりも中央寄りに配されることが好ましい。

複数のノズル９１は、給気ダクト９０の非流延面に対向する対向面に設けられる。排気部の吸引ダクト９５は、バンド３０の走行方向においては、開口９５ａがノズル９１とノズル９１との間に対向するように、設けられる。排気部は、吸引ダクト９５の開口から流延膜３６周辺の雰囲気を吸引する。

第２の非流延面側給排気ユニット８２の遮風板８９は第１の非流延面側給排気ユニット８１の遮風板８７の下流に配される。

このように、第１の非流延面側給排気ユニット８１と第２の非流延面側給排気ユニット８２とを用いることにより、流延膜３６が形成されているバンド３０の中央部３０ｃをより確実に暖めることができる。このため、側部３０ｓの昇温を防止して流延膜３６の側端部の発泡をより確実に防止しながらも、流延膜３６の乾燥効率がさらに向上し、フィルム１２の製造効率が上がる。

第３の非流延面側給排気ユニット８３は、遮風板１０１〜１０３（図１参照）を備える。図６に示すように、第１の流延面側給排気ユニット４１の１対の遮風板６２と、第２の流延面側給排気ユニット４２の１対の遮風板５４と、第３の流延面側給排気ユニット４３の１対の遮風板５５とは、互いに等しい間隔でバンド３０の両側に配される。すなわち、一方の遮風板６２と他方の遮風板６２との距離をＤ６２、一方の遮風板５４と他方の遮風板５４との距離をＤ５４、一方の遮風板５５と他方の遮風板５５との距離をＤ５５とするときに、Ｄ６２とＤ５４とＤ５５とを互いに等しく（Ｄ６２＝Ｄ５４＝Ｄ５５）してある。

第１の非流延面側給排気ユニット８１の１対の遮風板８７と、第２の非流延面側給排気ユニット８２の１対の遮風板１０１と、第３の非流延面側給排気ユニット８３の各１対の遮風板１０２，１０３とは、いずれも遮風板６２，５４，５５よりも狭い間隔でバンド３０の両側に配される。すなわち、一方の遮風板８７と他方の遮風板８７との距離をＤ８７、一方の遮風板８９と他方の遮風板８９との距離をＤ８９、一方の遮風板１０１と他方の遮風板１０１との距離をＤ１０１、一方の遮風板１０２と他方の遮風板１０２との距離をＤ１０２、一方の遮風板１０３と他方の遮風板１０３との距離をＤ１０３とするときに、Ｄ８７とＤ８９とＤ１０１とＤ１０２とＤ１０３とを、Ｄ６２とＤ５４とＤ５５とよりも小さくしてある。なお、第３の非流延面側給排気ユニット８３は、対を成す各遮風板１０１〜１０３の間に気体を送るように、各ノズルの開口の長手方向の長さが調節されてある。したがって、一方の遮風板１０１と他方の遮風板１０１との間、一方の遮風板１０２と他方の遮風板１０２との間、一方の遮風板１０３と他方の遮風板１０３との間がそれぞれ給気される領域となり、この領域のバンド３０の非流延面３０ｂが第３の非流延面側給排気ユニット８３により加熱される。このように、非流延面３０ｂの加熱すべき領域の幅を下流に向かうに従い狭めることが好ましい。

流延位置ＰＣから剥取位置ＰＰに向かって並ぶように配され、それぞれ対を成す遮風板８７、遮風板１０１，１０２，１０３は、この順で間隔を狭めるように配してあることが好ましい。すなわち、Ｄ８７＞Ｄ１０１＞Ｄ１０２＞Ｄ１０３であり、各遮風板８７，１０１〜１０３は、下流に向かうに従い、この順で中央寄りになるように配してあることが好ましい。このように配した遮風板８７，１０１〜１０３により、非流延面３０ｂ側から加熱されるバンド３０の加熱領域の幅が剥取位置に向かうに従い徐々に狭くなる。これにより、流延膜３６の側端部における発泡がより確実に防止される。なお、１対の遮風板８９の距離Ｄ８９は、本実施形態では１対の遮風板８７の距離Ｄ８７と同じにしてあるが、Ｄ８７より小さくてもよい。

本実施形態では、非流延面３０ｂ側の加熱手段として加熱した気体を出す給気部８６を用いたが、これに限定されず、他の加熱手段を用いてもよい。また、非流延面３０ｂ側の伝熱抑制手段として遮風板８７，１０１〜１０３を用いたが、これに限定されず、他の伝熱抑制手段を用いてもよい。加熱手段としては、輻射熱を発する輻射熱装置（図示無し）や、温水が供給されてその温水の熱でバンド３０を非流延面３０ｂ側から加熱する温水加熱装置（図示無し）がある。温水加熱装置としては、例えば、バンド３０の非流延面側３０ｂに周面が接するように配され、内部に温水の流路が形成されたローラ（図示無し）がある。このローラは、所定の温度に加熱された水（温水）が供給される供給口と、外部へ温水を出すための排出口とが形成されたものがある。このローラは、長手方向がバンド３０の幅方向に一致するように配される。加熱手段として輻射熱装置を用いた場合には、遮風板８７，１０１〜１０３と同様に板等を配することで、伝熱が抑制される。加熱手段として温水加熱装置を用いた場合には、遮風板８７，１０１〜１０３を用いる必要は無い。この場合には、例えば、上記のローラを、流延位置ＰＣから剥取位置ＰＰへ至る範囲に複数並ぶように配し、剥取位置ＰＰに近いローラほど、長さが短いものにするとよい。

本発明は、バンド３０の幅が広いほど効果があり、製造するフィルムの幅が広い場合ほど効果がある。また、幅が１０００ｍｍ〜２３００ｍｍの範囲のフィルム、厚みが２０〜８０μｍの範囲のフィルムを製造する場合に特に効果がある。

本発明は、液晶ディスプレイ等の位相差フィルムとして用いるフィルムを製造する場合に特に好ましい。

セルロースアシレートは特に限定されない。セルロースアシレートのアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基を有していても良い。アシル基が２種以上であるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の全てを満足するものが好ましい。なお、以下の式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）において、Ａ及びＢは、アシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。

（Ｉ） ２．０≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ） １．０≦ Ａ ≦３．０
（ＩＩＩ） ０ ≦ Ｂ ≦２．０

アシル基の全置換度Ａ＋Ｂは、２．２０以上２．９０以下であることがより好ましく、２．４０以上２．８８以下であることが特に好ましい。また、炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度Ｂは、０．３０以上であることがより好ましく、０．５以上であることが特に好ましい。中でも、本発明は、セルロースアシレートとしてセルロースジアセテート（ＤＡＣ）を用いた場合に特に大きな効果がある。

１０ 溶液製膜設備
１１ ドープ
１２ フィルム
１５ 流延装置
３０ バンド
４１〜４３ 第１〜第３の流延面側給排気ユニット
４２，４３ 第１，第２の下流域給排気ユニット
６１，７６，４６，４９ 給気部
９１ ノズル
５４，５５，６２，８７，１０１〜１０３ 遮風板

Claims (7)

1. 環状に形成されたベルト状の流延支持体の流延面にドープを流延して流延膜とし、この流延膜を剥ぎ取る剥取位置からドープが流延される流延位置へ戻るように前記流延支持体が循環して連続走行する流延装置において、
   前記流延位置から前記剥取位置に向かう前記流延支持体の前記流延面側に、前記流延膜よりも高い温度の気体を送り出す流延面側給気手段と、
   前記流延支持体の走行路に沿って延びており、前記流延膜の側縁の通過ラインよりも前記流延支持体の幅方向における内側に配されて、前記流延膜の膜面近傍から前記流延支持体の両側部の露出部分への前記気体の流れ出しを抑制する１対の流延面側遮風部材と、
   前記流延位置から前記剥取位置に向かう前記流延支持体の非流延面に対向して設けられ、前記流延支持体を前記非流延面側から加熱する加熱手段と、
   前記流延支持体の走行路に沿って延びており、前記１対の流延面側遮風部材よりも前記流延支持体の幅方向における中央寄りとなるように前記加熱手段の両側に設けられ、前記非流延面の両側部への熱の伝わりを抑制する１対の伝熱抑制手段とを備えることを特徴とする流延装置。
2. 前記１対の伝熱抑制手段が前記流延支持体の走行方向に並ぶように複数設けられ、
   前記剥取位置に向かうほど、対を成す前記伝熱抑制手段の間隔が狭められたことを特徴とする請求項１記載の流延装置。
3. 前記加熱手段は、前記非流延面に対向して形成された開口から、前記流延支持体に対して前記流延膜よりも高い温度の気体を出す非流延面側給気手段であり、
   前記伝熱抑制手段が、前記非流延面の両側部への前記気体の流れ出しを抑制する非流延面側遮風部材であることを特徴とする請求項１または２記載の流延装置。
4. 前記非流延面側給気手段は、前記流延支持体の非流延面に対して垂直な方向で前記気体を出すことを特徴とする請求項３記載の流延装置。
5. 前記加熱手段と前記伝熱抑制手段とは、前記流延位置から前記剥取位置までの領域のうち下流側に設けられてあることを特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載の流延装置。
6. 長手方向に連続走行する環状の流延支持体にドープを流延して流延膜を形成し、前記流延支持体から前記流延膜を剥がして乾燥し、前記流延膜を剥がした前記流延支持体にドープを再び流延する溶液製膜方法において、
   前記流延膜の温度よりも高い温度の気体を前記流延膜の膜面に供給して前記流延膜を乾燥し、
   前記流延膜の側縁の通過ラインよりも前記流延支持体の幅方向における内側に配され、前記流延支持体の走行路に沿って延びた１対の流延面側遮風部材により、前記流延膜の膜面近傍から前記流延支持体の両側部の露出部分への前記気体の流れ出しを抑制し、
   前記流延膜が形成されている前記流延支持体を、非流延面側から加熱し、
   前記１対の流延面側遮風部材よりも前記流延支持体の幅方向における中央寄りとなるように前記加熱手段の両側に設けられ、前記流延支持体の走行路に沿って延びた１対の伝熱抑制手段により、前記非流延面の両側部への熱の伝わりを抑制することを特徴とする溶液製膜方法。
7. 前記流延支持体の走行方向に並ぶように複数設けられ、下流に向かうに従い距離が小さくなるように配された前記１対の伝熱抑制手段により、前記非流延面の加熱すべき領域の幅を下流に向かうに従い狭めることを特徴とする請求項６記載の溶液製膜方法。

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