KR20150104028A - 라비린스 시일, 유연장치, 용액제막 설비 및 방법 - Google Patents

Abstract

박막 필름을 고속제막할 때의 단 편차 고장의 발생과 공기의 휘말림을 억제할 수 있는 라비린스 시일, 유연장치, 용액제막 설비 및 방법을 제공한다.
밴드(23)의 주행방향 상류측에서, 밴드(23)에 근접시키고 또한 비드(31)를 따라 배치되는 차풍블록(27)에 의하여, 비드(31)로의 동반풍(58)을 차풍한다. 차풍블록(27)의 밴드 대향면(27A)에, 라비린스 시일(59)을 형성한다. 라비린스 시일(59)은, 제1~제3 시일부(61~63)를 가진다. 제1~제3 시일부(61~63)는, 3개의 치(65A~67A)와, 홈(65B~67B)으로 이루어지는 시일 유닛(65~67)을 가진다. 각 홈(65B~67B)의 깊이(H1), 폭(L31, L32, L33)이, 동반풍(58)의 공기압 진동의 주파수대에 맞추어 결정되어 있다. 각 홈(65B~67B)에 의하여, 비드(31)의 진동이 억제되어, 유연막의 단 편차가 없어진다.

Description

라비린스 시일, 유연장치, 용액제막 설비 및 방법{LABYRINTH SEAL, CASTING APPARATUS, SOLUTION FILM FORMING FACILITY AND METHOD}

본 발명은, 라비린스 시일, 유연장치, 용액제막 설비 및 방법에 관한 것이다.

광투과성을 가지는 폴리머 필름(이하, 필름이라고 칭함)은, 편광판의 보호 필름, 위상차 필름, 반사 방지 필름, 투명 도전성 필름 등 광학 필름으로서 다방면으로 이용되고 있다. 필름에는, 두께의 균일성이나 광학특성이 요구된다. 종래에는 두께가 80μm 이상인 후막 필름이 주로 이용되었지만, 최근에는, 필름의 박막화의 요망이 강해지고 있어, 두께가 40μm 이하인 박막 필름이 요구되고 있다.

필름의 제조방법으로서는, 용액제막 방법이 있다. 용액제막 방법은, 예를 들면, 폴리머를 용제에 용해한 용액(이하, 도프라고 칭함)을 금속제의 드럼이나 밴드 등의 유연지지체(이하, 지지체라고 칭함) 상에 유연다이(이하, 다이라고 칭함)에 의하여 유연하여 유연막을 형성하고, 건조시켜 박리함으로써 필름을 얻는 방법이다.

용액제막의 생산성을 높이기 위해서는, 도프로부터 유연막을 형성하는 유연공정의 고속화가 과제가 된다. 유연공정을 고속으로 행하기 위하여, 예를 들면, 지지체의 주행 속도를 높게 하면, 주행하는 지지체의 표면 근방에서는, 지지체의 주행에 따라 지지체와 함께 주행방향으로 흐르는 바람(이하, 동반풍이라고 칭함)이 발생한다. 이 동반풍이 비드에 닿으면, 비드가 진동한다. 이 비드의 진동은, 제조된 필름의 유연방향(지지체의 주행방향)에 두께편차를 발생시킨다. 이로 인하여, 예를 들면 일본 공개특허공보 2004-114328호에서는, 비드에 대하여 지지체 주행방향 상류측에서 비드에 근접시켜 차풍물을 배치하여, 동반풍의 비드로의 진입을 방지하고 있다.

또, 일본 공개특허공보 2010-158834호에서는, 비드에 대하여 지지체 주행방향 상류측에서 비드에 근접시켜 감압챔버를 배치하고, 동반풍을 부압에 의하여 흡인하여, 동반풍에 의한 비드의 진동을 억제하고 있다. 마찬가지로, 일본 공개특허공보 2000-79621호에서는, 비드를 유인하기 위한 흡인박스를 마련하고 있다. 이 흡인박스는, 제1 부압영역~제3 부압영역으로 구획되어 개별적으로 감압한다. 제1 부압영역에서는 비드의 폭방향 전체에 걸쳐 비드의 주변을 흡인하고, 제2 부압영역에서는 비드의 폭방향 양 측부의 주변을 흡인하며, 제3 부압영역에서는 비드의 양 측방향으로부터 흡인한다. 이 흡인에 의하여, 공기물림이라고 불리는 유연막과 지지체와의 사이로의 공기의 휘말림(이하, 공기 휘말림이라고 칭하는 경우가 있음)을 억제하고, 또한 비드가 지지체에 접하는 유연선을 안정화시키고 있다.

흡인박스 등의 흡인장치를 이용하면, 비드의 폭방향 단부의 옆으로부터 공기의 휘말림이 있어, 유연 속도(지지체의 주행 속도)를 높여 가면, 휘말린 공기가 유연막에 기포가 되어 나타나고, 이 기포가 원인으로 연신 시에 찢어짐 등이 발생하여, 생산성이 저하된다. 이로 인하여, 일본 공개특허공보 평10-264185호에서는, 비드에 대하여 지지체 주행방향의 하류측에 분사노즐이나 가압박스를 배치하여, 공기의 휘말림을 억제하고 있다.

또, 일본 공개특허공보 2005-104148호에서는, 다이에 대하여 지지체 주행방향 상류측 및 하류측에는, 차풍판을 배치하여, 비드로의 바람의 휘말림을 저지하고 있다. 이 차풍판은, 지지체와의 사이에 라비린스 시일을 가진다.

그런데, 최근의 플랫패널 디스플레이의 대형화나 경량화에 따라, 제막하는 필름도 박막화가 진행되고 있다. 박막 필름을 효율적으로 제조하려면, 제막 후의 연신공정에서 연신에 의하여 얇게 형성하는 것 이외에, 비드 단계에서부터 두께를 얇게 하는 것이 좋아, 비드의 박막화에 대해서도 개량이 검토되고 있다.

비드를 얇게 하려면, 예를 들면, 다이의 토출구의 비드 두께는 변경하지 않고, 지지체의 주행 속도를 높여, 비드가 지지체에 접하기 직전의 두께를 얇게 한다. 또, 다이의 토출구의 비드 두께를 종래의 것보다 얇게 한다. 그러나, 비드를 얇게 하여 유연하면, 지금까지의 비드 두께에서는 문제가 없던 경우에도, 비드가 얇아진 정도만큼 동반풍의 영향을 받기 쉬워진다.

예를 들면, 일본 공개특허공보 2004-114328호에 기재된 차풍물에 의하여, 지지체의 이동에 따른 동반풍을 차단하는 경우에는, 비드를 얇게 하면, 폭방향으로 길게 두께편차가 생긴다. 이 두께편차는, 지지체의 주행방향에서 변화하기 때문에, 주행방향으로 파형으로 변화하는 단(段) 편차 고장이 되어 나타나, 개선의 요청이 있다. 다만, 단 편차란, 유연방향으로 발생하는 비드의 진동에 기인하는 주기적인 두께편차이며, 악화되면, 이후에 설명하는 평가방법에 의하여 육안으로 확인하는 것이 가능해진다.

일본 공개특허공보 2010-158834호에 기재된 감압챔버에서는, 비드의 박막화에 따라 부압에 의하여 발생한 공기압 진동에 의하여 비드가 진동하기 쉬워져, 동일한 면 형상 고장이 나타나 있다. 또, 비드의 진동에 의하여 공기의 휘말림이 발생하기 쉬워진다. 지지체와 비드의 사이에 공기가 남으면, 지지체 상에 비드가 유연되어 형성되는 유연막과 지지체와의 사이에 공기가 기포가 되어 들어온다. 이 공기의 휘말림은, 유연막이 건조된 후에 지지체로부터 벗길 때에 유연막의 찢어짐으로 발전하는 경우도 있다. 이 경우에는 유연정지가 되어, 유연을 개시하기까지 많은 시간과 노력을 필요로 한다. 따라서, 공기의 휘말림을 억제하고자 하는 요청이 있다.

일본 공개특허공보 2000-79621호에 기재된 흡인박스에 의하여, 내부를 3개의 부압에리어로 구획하여 비드의 주변을 흡인하는 경우에는, 3개의 부압에리어로 나누어 흡인을 행하기 때문에, 흡인박스 자체가 복잡한 구조가 되어 버리는 것 이외에, 각 부압에리어의 압력의 설정을 미묘하게 조절할 필요가 있다. 또, 3개의 부압에리어를 가지기 때문에 3개의 블로어가 필요하게 되어, 설비 코스트가 증가해 버린다. 또한, 지지체의 주행 속도가 50m/min 이상인 고속유연이 되면, 비드의 박막화에 따라 3개의 부압에리어에 의한 흡인으로 유연선을 안정적으로 유지하는 것이 곤란하게 되어, 공기 휘말림이 발생해 버린다.

일본 공개특허공보 평10-264185호에 기재된 분사노즐이나 가압박스에서는, 비드에 대하여 지지체 주행방향 하류측에 배치되고, 비드를 상류측인 다이측으로 되밀어낼 수 있어, 그만큼, 비드와 지지체가 접하는 라인인 유연선이 안정된다. 그러나, 비드를 상류측으로 되밀어내기 위하여, 분사노즐이나 가압박스의 풍압을 높게 할 필요가 있어, 비드의 박막화에 따라 비드가 진동하기 쉬워진다. 이 진동에 의하여 폭방향으로 길게 두께편차가 생기고, 이것이 지지체 주행방향에서 변화하기 때문에, 주행방향으로 파형으로 변화하는 단 편차 고장이 된다.

일본 공개특허공보 2005-104148호에서는 차풍판에 라비린스 시일을 마련하여, 비드로의 바람의 진입을 억제하고 있지만, 다이로부터 먼 지지체 주행방향 상류측 및 하류측에 라비린스 시일을 배치하고 있기 때문에, 다이 근방에서 발생하는 공기압 진동을 억제할 수 없다. 또, 감압챔버에 대하여 지지체 주행방향 상류측 및 하류측에서, 라비린스 시일을 배치하고 있기 때문에, 감압챔버에 기인하는 공기압 진동을 억제할 수 없다. 이로 인하여, 얻어지는 필름이 이송방향에서 두께가 변화하는 단 편차 고장이 된다.

또, 라비린스 시일 자체도, 지지체의 주행에 의한 동반풍의 공기압 변동에 대하여, 그 주파수대 성분별로 제거할 수 없어, 공기압 진동을 효율적으로 억제할 수 없다.

본 발명은, 공기압 진동을 효율적으로 제거하여, 박막 필름을 용액제막함에 있어서, 고속유연을 가능하게 하여 생산성을 높일 수 있고, 또한, 단 편차 고장이나 공기 휘말림에 의한 유연정지 등의 발생을 억제할 수 있는 라비린스 시일, 유연장치, 용액제막 설비 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 라비린스 시일은, 제1 시일부와 제2 시일부를 구비하고, 주행하는 주행체의 표면에 근접하여 배치되며, 표면에 동반하는 동반풍을 차단하는 차풍부재에 마련된다. 제1 시일부는, 차풍부재의 표면에 대향하는 면에 형성되어 제1 홈을 가진다. 제1 홈은, 주행체의 주행방향에 교차하는 방향으로 길게 형성된다. 제1 홈은, 상기 서술한 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다. 제2 시일부는, 제1 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제2 홈을 가진다. 제2 홈은 상기 서술한 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다.

라비린스 시일은, 제3 시일부를 더욱 구비하는 것이 바람직하다. 제3 시일부는, 제2 시일부에 인접한다. 제3 시일부는, 제1 홈 및 제2 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제3 홈을 가진다. 제3 홈은, 상기 서술한 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다.

상기의 홈폭 및 홈깊이는, 동반풍에 의한 공기압 진동의 주파수대에 맞추어 결정되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 유연장치는, 주행하는 지지체와, 다이와, 차풍부재와, 라비린스 시일을 구비한다. 다이는, 지지체를 향하여 토출구로부터 도프를 토출한다. 다이는, 지지체와의 사이에 비드를 형성하면서 지지체의 표면 상에 유연막을 형성한다. 차풍부재는, 지지체의 주행에 의한 동반풍을 차단한다. 차풍부재는, 비드보다 지지체의 주행방향 상류측에서 지지체의 표면에 근접하고 또한 비드를 따라 배치된다. 라비린스 시일은, 차풍부재의 지지체로의 대향면에 배치된다. 라비린스 시일은, 제1 시일부와 제2 시일부를 가진다. 제1 시일부는, 상기 서술한 대향면에 형성되어, 제1 홈을 가진다. 제1 홈은, 상기 서술한 주행방향에 교차하는 방향으로 길게 형성된다. 제1 홈은, 상기 서술한 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다. 제2 시일부는, 제1 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제2 홈을 가진다. 제2 홈은, 상기 서술한 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다.

홈폭은 3mm 이상 30mm 이하이고, 홈깊이는 1mm 이상 20mm 이하인 것이 바람직하다.

본 발명의 용액제막 설비는, 주행하는 지지체와, 다이와, 차풍부재와, 라비린스 시일과, 건조장치를 구비한다. 다이는, 지지체를 향하여 토출구로부터 도프를 토출한다. 다이는, 지지체와의 사이에 비드를 형성하면서 지지체의 표면 상에 유연막을 형성한다. 차풍부재는, 지지체의 주행에 의한 동반풍을 차단한다. 차풍부재는, 비드보다 지지체의 주행방향 상류측에서 지지체의 표면에 근접하고 또한 비드를 따라 배치된다. 라비린스 시일은, 차풍부재의 지지체로의 대향면에 배치된다. 라비린스 시일은, 제1 시일부와 제2 시일부를 가진다. 제1 시일부는, 상기 서술한 대향면에 형성되어 제1 홈을 가진다. 제1 홈은, 상기 서술한 주행방향에 교차하는 방향으로 길게 형성된다. 제1 홈은, 상기 서술한 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다. 제2 시일부는, 제1 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제2 홈을 가진다. 제2 홈은, 상기 서술한 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다. 건조장치는, 지지체로부터 유연막을 벗겨 건조한다.

본 발명의 용액제막 방법은, 유연막 형성스텝과, 건조스텝을 포함한다. 유연막 형성스텝은, 유연장치를 이용하여 유연막을 형성한다. 유연장치는, 주행하는 지지체와, 다이와, 차풍부재와, 라비린스 시일을 가진다. 유연막은, 지지체 상에 형성된다. 다이는, 지지체를 향하여 토출구로부터 도프를 토출한다. 다이는, 지지체와의 사이에 비드를 형성하면서 지지체의 표면 상에 유연막을 형성한다. 차풍부재는, 지지체의 주행에 의한 동반풍을 차단한다. 차풍부재는, 비드보다 지지체의 주행방향 상류측에서 지지체의 표면에 근접하고 또한 비드를 따라 배치된다. 라비린스 시일은, 차풍부재의 지지체로의 대향면에 배치된다. 라비린스 시일은, 제1 시일부와, 제2 시일부를 가진다. 제1 시일부는, 상기 서술한 대향면에 형성되어, 제1 홈을 가진다. 제1 홈은, 상기 서술한 주행방향에 교차하는 방향으로 길게 형성된다. 제1 홈은, 상기 서술한 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다. 제2 시일부는, 제1 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제2 홈을 가진다. 제2 홈은, 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있다. 건조스텝은, 지지체로부터 유연막을 벗겨 건조한다.

본 발명에 의하면, 주행하는 둘레면에 동반하는 동반풍의 공기압 진동을 그 주파수대별로 없앨 수 있다. 본 발명의 라비린스 시일을 차풍부재에 이용한 유연장치, 용액제막 설비 및 방법에 의하면, 동반풍에 의한 비드의 진동을 억제할 수 있어, 단 편차 고장의 발생을 억제하면서, 박막 필름을 효율적으로 제조할 수 있다.

상기 목적, 이점은, 첨부하는 도면을 참조하여, 바람직한 실시예의 상세한 설명을 읽음으로써, 당업자가 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
도 1은, 본 발명의 용액제막 설비의 개요를 나타내는 측면도이다.
도 2는, 유연장치의 다이 주위의 개요를 나타내는 사시도이다.
도 3은, 제1 실시형태에 있어서의 다이, 비드, 흡인박스의 관계를 나타내는 종단면도이다.
도 4는, 흡인박스의 경사판의 일부를 절결하여 나타내는 사시도이다.
도 5는, 흡인박스의 경사판의 일부를 절결하여 나타내는 평면도이다.
도 6은, 비드에 대한 흡인박스의 배치를 나타내는 정면도이다.
도 7은, 비드의 양 단부를 흡인박스에 의하여 흡인한 상태의 비드의 유연선과 유연막을 나타내는 평면도이다.
도 8은, 비드의 양 단부를 흡인하지 않는 종래 타입의 비드의 유연선과 유연막을 나타내는 평면도이다.
도 9는, 차풍블록의 라비린스 시일을 나타내는 측면도이다.
도 10은, 차풍블록의 라비린스 시일의 다른 실시형태를 나타내는 단면도이다.
도 11은, 차풍블록의 라비린스 시일의 다른 실시형태를 나타내는 단면도이다.
도 12는, 하나의 회동(回動)축으로 복수의 구획판을 이동시키는 다른 실시형태의 흡인박스를, 경사판의 일부를 절결하여 나타내는 평면도이다.
도 13은, 차풍판과 흡인박스를 가지는 차풍판 일체형 흡인박스를 나타내는 저면도이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 용액제막 설비(10)는, 유연장치(11)와, 텐터(12)와, 슬리터(14)와, 건조장치(13)와, 슬리터(15)와, 권취장치(16)를 구비하며, 이들은 상류측으로부터 차례로 직렬로 접속되어 있다.

유연장치(11)는, 엔드리스 밴드(지지체)(23)와, 가이드롤러(24)와, 다이(25)와, 흡인박스(흡인부재)(26A, 26B)와, 차풍블록(차풍부재)(27)과, 덕트(막건조기)(28A, 28B, 28C)와, 박리롤러(29)를 구비한다. 밴드(23)는, 환상으로 형성되어 있으며, 금속제의 유연지지체로서 기능한다. 이 밴드(23)는 제1 드럼(21)과 제2 드럼(22)과의 둘레면에 걸쳐진다. 제1 드럼(21)은 모터(도시 생략)에 의하여 회전 구동되어, 밴드(23)가 화살표(Y)로 나타내는 방향으로 주행한다. 다만, 이후의 설명에 있어서는, 밴드(23)의 주행방향(Y)을, 밴드 주행방향(Y) 또는 Y방향이라고 칭하는 경우가 있다. 가이드롤러(24)는, 상측의 밴드(23)를 이면측으로부터 지지한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 드럼(21)의 상방에는 다이(25)가 배치된다. 다이(25)는, 주행하고 있는 밴드(23)의 표면에 대하여, 도프(30)를 비드(31)로 하여 토출구(25A)(도 3 참조)로부터 연속적으로 흘려보낸다. 이로써, 밴드(23) 상에는 유연막(32)이 형성된다. 도프(30)는, 도시하지 않은 도프 제조라인에서, 예를 들면 셀룰로오스아실레이트를 용제에 용해시켜 제조되어, 다이(25)에 공급된다.

다이(25)로부터의 비드(31)에 대하여, 밴드(23)의 주행방향(Y)에 있어서의 상류에는, 1쌍의 흡인박스(26A, 26B)가 배치된다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 속도를 향상시키기 위하여, 박리롤러(29)를 향하는 유연막(32)은, 제2 드럼(22) 및 밴드(23)에 의하여 가열된다. 또, 유연위치에서는, 제1 드럼(21)에 의하여 밴드(23)가 냉각되어, 과도한 승온이 억제된다. 이로 인하여, 제1 드럼(21), 제2 드럼(22)은 도시하지 않은 온도조절장치를 가진다.

덕트(28A, 28B, 28C)는, 밴드(23)의 주행로를 따라 나란히 배치되어 있으며, 건조풍을 분출한다. 온풍 컨트롤러(도시하지 않음)는, 건조풍의 온도, 습도, 유량을 독립적으로 제어한다. 건조풍의 온도 및 유량의 제어와, 제1 드럼(21), 제2 드럼(22) 자체의 온도조절장치에 의한 온도 제어에 의하여, 유연막(32)의 온도가 조절되고, 유연막(32)으로부터 용제가 증발하여, 유연막(32)의 건조가 진행된다. 그리고, 텐터(12)에서의 반송이 가능한 정도로까지 유연막(32)이 고화된다.

다이(25)에 대하여 밴드(23)의 주행방향(Y)의 상류측에서 제1 드럼(21)의 둘레면 근처에는, 박리롤러(29)가 배치된다. 박리롤러(29)는, 용제를 포함하는 상태의 건조가 진행된 유연막(32)을 밴드(23)로부터 벗길 때에, 유연막(32)을 지지한다. 박리된 유연막(32)은 필름(33)으로서 텐터(12)로 안내된다.

텐터(12)에서는, 클립(34)에 의하여 필름(33)의 양 측부를 파지하고, 덕트(36)로부터 건조풍을 보냄으로써, 필름(33)을 반송하면서, 화살표(X)로 나타내는 필름폭방향(X)으로의 장력을 부여하여, 필름(33)의 폭을 넓힌다. 다만, 필름(33), 유연막(32), 비드(31)의 각 폭방향은 서로 일치하고 있으므로, 이들 폭방향을 모두 부호 X로 나타내며, 본 명세서 내에서는 X방향이라고 칭하는 경우도 있다.

슬리터(14)는, 텐터(12)의 클립(34)에 의한 지지자국을 포함하는 양 측부를 절제한다. 양 측부가 절제된 필름(33)은, 건조장치(13)로 보내진다.

건조장치(13)에서는, 다수의 롤러(38)에 필름(33)이 감겨 반송된다. 건조장치(13)의 내부의 분위기는, 온도나 습도 등이 도시하지 않은 온조기에 의하여 조절되고 있어, 필름(33)이 반송되고 있는 동안에, 필름(33)으로부터 용제가 증발한다.

건조장치(13)를 거친 필름은, 슬리터(15)에 의하여, 예를 들면 목적으로 하는 제품폭 등이 되도록 양 측부가 절제된다. 양 측부가 절제된 필름(33)은, 권취장치(16)에 의하여 롤 형상으로 권취된다. 본 발명에 의하여 얻어지는 롤 형상 필름(33A)은, 특히, 위상차 필름이나 편광판 보호 필름에 이용할 수 있다.

다만, 건조장치(13)의 필름 주행 하류측에, 제2 텐터(도시하지 않음)를 마련해도 된다. 제2 텐터는 텐터(12)와 동일한 구조이고, 클립 및 덕트를 가지며, 필름(33)을 클립에 의하여 지지하여 폭방향으로 연신한다. 연신 시에, 연신배율이나 온도 조건 등을 제어함으로써, 원하는 광학특성을 가지는 필름(33)이 얻어진다. 제2 텐터를 마련하는 경우에는, 슬리터(15)는 제2 텐터의 하류에 배치하여 제2 텐터의 클립에 의한 지지자국을 포함하는 양 측부를 절제하는 것이 바람직하다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 흡인박스(26A, 26B)는, 비드(31)에 근접시켜 유연막(32)의 폭방향(X)의 양 단부에 배치된다. 흡인박스(26A, 26B)는, 다이(25)에 브래킷(40)을 통하여 장착되어 있다. 흡인박스(26A, 26B)의 밴드 대향면은, 밴드(23)의 둘레면에 대하여 평행을 유지하는 평활면으로 형성되어 있다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 비드(31)의 폭방향(X)의 일단부에 배치되는 흡인박스(26A)는, 수평판(43A), 수직판(43B), 경사판(43C)으로 이루어지는 삼각통체(43)의 양 단부를 측판(44A, 44B)으로 막아, 삼각기둥 형상으로 형성되어 있다. 수평판(43A)은 밴드(23)에 대략 평행으로 배치된다. 또, 경사판(43C)은 다이(25)의 선단면에 평행으로 배치된다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 수평판(43A)과 경사판(43C)과의 사이에는, 슬릿 형상의 간극이 마련되어 있다. 이 간극에 의하여 흡인박스(26A)의 흡인구(45)가 형성되어 있다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 흡인박스(26A) 내에는, 2매의 구획판(46, 47)이, 비드(31)의 폭방향(X)에 대하여 이동 가능하게 장착되어 있다. 이하의 설명에서는, 부호 46을 제1 구획판, 부호 47을 제2 구획판이라고 칭한다. 제1 구획판(46) 및 제2 구획판(47)은, 측판(44A, 44B)과 동일한 형상으로, 측판(44A, 44B)보다 약간 작게 형성되어 있으며, 흡인박스(26A) 내에서 슬라이딩할 수 있다. 제1 구획판(46) 및 제2 구획판(47)에는, 가이드링(51), 암나사링(52)을 이용하여, 제1 회동축(53) 및 제2 회동축(54)이 장착되어 있다. 이들 제1 구획판(46), 제2 구획판(47) 사이에 있는 흡인박스 공간이 흡인실(48)이 된다. 제1 회동축(53), 제2 회동축(54)은, 베어링(50)에 의하여 측판(44A, 44B)에 회전 가능하게 장착되어 있다.

도 5에 있어서, 제1 회동축(53)은, 우측 절반에만 수나사부(53A)가 형성되어 있고, 좌측 절반은 가이드부(53B)로 되어 있다. 수나사부(53A)에는 암나사링(52)의 암나사부(52A)가 나사결합하고, 가이드부(53B)에는 가이드링(51)의 가이드구멍(51A)이 끼워맞춰져 있다. 이로써, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 회동축(53)을 시계방향으로 돌리면, 제1 구획판(46)이 X방향에서 우측으로 이동하고, 반시계방향으로 돌리면 제1 구획판(46)이 좌측으로 이동한다. 마찬가지로, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제2 회동축(54)은, 배면(수직판(43B))측에서 보아, 좌측 절반에만 수나사부(54A)가 형성되어 있고, 우측 절반은 가이드부(54B)로 되어 있다. 그리고, 수나사부(54A)에는 암나사링(52)의 암나사부(52A)가 나사결합하고, 가이드부(54B)에는 가이드링(51)의 가이드구멍(51A)이 끼워맞춰져 있으므로, 제2 회동축(54)의 회동에 의하여 제2 구획판(47)이 X방향에서 우측 또는 좌측으로 이동한다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 제1 구획판(46) 및 제2 구획판(47)의 X방향의 이동에 따라, 흡인구(45)의 X방향에 있어서의 길이(이하, 흡인구 길이라고 칭함)(L1) 및, 비드(31)의 단부로부터 흡인구(45)까지의 X방향에 있어서의 오프셋량(이하, 오프셋 길이라고 칭함)(OS)을 변경할 수 있다. 흡인구 길이(L1)는, 예를 들면 10mm 이상 50mm 이하이다. 또, 오프셋 길이(OS)는 예를 들면 5mm 이상 30mm 이하이다. 이로써, 흡인박스(26A, 26B)는, 비드(31)의 양 단부로부터 중앙부를 향하여 예를 들면 10mm 이상 50mm 이하의 범위를 흡인할 수 있다. 다만, 오프셋 길이(OS)는, 도프(30)의 종류나 점도, 비드(31)의 두께나 폭, 길이 등에 따라 적절히 변경하는 것이 바람직하다. 또, 흡인구 길이(L1)를 변경함으로써, 흡인풍량을 조절할 수 있기 때문에, 예를 들면 일본 공개특허공보 2000-79621호에서 나타나는 바와 같이, 제1~제3 부압영역에 대하여 상이한 부압을 발생시키기 위하여 3개의 블로어를 마련할 필요가 없어, 설비 코스트를 억제할 수 있다.

제2 구획판(47)에는, 도 5에 나타내는 바와 같이 플랜지부(55A)에 의하여 흡인관(55)이 장착되어 있다. 흡인관(55)은 외측에 위치하는 측판(44B)의 관통링(56)을 관통하고 있으며, 외부의 흡인원, 예를 들면 도 4에 나타내는 석션펌프(57)에 연결되어 있다.

비드(31)의 폭방향(X)의 타단부에 배치되는 흡인박스(26B)도, 흡인박스(26A)와 동일하게 구성되어 있다. 단, 흡인박스(26B)에 마련되어 있는 제1 회동축(53), 제2 회동축(54)이나, 흡인관(55)은, 비드(31)의 폭방향(X)의 중앙부에 관하여 흡인박스(26A)의 제1 회동축(53), 제2 회동축(54), 흡인관(55)이 돌출되어 있는 측과는 반대측의 외측을 향하여 돌출되어 있다.

본 실시형태에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 비드(31)에 대하여, 밴드 주행방향(Y)의 상류측에서, 비드(31)의 양 단부에 근접시켜, 흡인박스(26A, 26B)를 배치하고 있다. 이들 흡인박스(26A, 26B)에 의하여, 비드 양 단부 에리어(BSA)에서 비드(31)의 양 단부가 흡인된다. 따라서, 비드(31)와 밴드(23)가 접촉하는 유연선(BLN)이 밴드 주행방향(Y)으로 볼록 형상으로 만곡하는 종래 타입의 유연선(BLO)(도면 중 2점쇄선 표시)에 비하여, 파선으로 나타내는 바와 같이, 비드 양 단부 에리어(BSA)를 지난 비드 중앙부 에리어(BCA)에서 직선 형상이 된다. 이로 인하여, 도 8에 나타내는 종래 타입의 유연선(BLO)과 같이, 볼록 형상으로 만곡된 정점부 에리어(BTA)로부터 공기가 들어와, 유연막(32)과 밴드(23)와의 사이에서 공기가 기포(32A)가 되는 일이 없어, 공기 휘말림의 발생이 억제된다.

도 8은, 평면으로부터 본 종래의 유연선(BLO)을 나타내고 있다. 유연선(BLO)은, 비드(105)의 폭방향(X)의 중앙이 정점(T1)이 되고, 고속제막에 의하여 밴드 주행방향(Y)으로 길어지는 대략 원호형이 된다. 이로 인하여, 볼록 형상으로 만곡된 정점부 에리어(BTA)로부터 공기가 들어와, 밴드(23)와 유연막(106)과의 사이에서 기포(32A)가 밴드 주행방향(Y)으로 나란히 발생한다. 이에 대하여, 본 실시형태에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 비드 양 단부 에리어(BSA)가 흡인됨으로써, 유연선(BLN)이 실선으로 나타내는 바와 같이, 비드 양 단부 에리어(BSA)를 지난 비드 중앙부 에리어(BCA)에서 직선 형상이 된다. 따라서, 도 8에 나타내는 종래 타입과 같이, 볼록 형상으로 만곡된 정점부 에리어(BTA)로부터 공기가 들어와, 밴드(23)와 유연막(106)과의 사이에서 기포(32A)가 되는 일이 없어, 공기 휘말림의 발생이 억제된다. 따라서, 기포(32A)에 기인하는 박리롤러(29)(도 1 참조)에 있어서의 유연막(32)의 박리 잔사가 없어, 박리 잔사에 기인하는 유연정지 등이 발생하지 않는다.

그런데, 필름(33)의 박막화의 요청에 따라, 밴드(23)를 고속, 예를 들면 50m/min 이상 100m/min 이하의 범위 내로 주행시킬 필요가 있다. 이 밴드(23)의 고속 주행에 의하여, 밴드(23)는 공기를 동반시키게 되어, 밴드(23)의 표면에는 동반풍(58)이 발생한다. 이 동반풍(58)의 영향을 배제하기 위하여, 본 실시형태에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 흡인박스(26A, 26B)의 사이에, 차풍블록(27)을 배치하고 있다. 차풍블록(27)은, 비드(31)의 상류측에서 동반풍(58)을 차단하기 때문에, 동반풍(58)이 비드(31)에 닿지 않는다. 차풍블록(27)은, 다이(25)에 브래킷(41)을 통하여 장착되어 있다.

밴드(23)와 차풍블록(27)과의 사이에는 간극(G)(도 9 참조)이 마련되어 있어, 주행하는 밴드(23)에 차풍블록(27)이 접촉하지 않는다. 이로 인하여, 밴드(23)와 차풍블록(27)과의 간극(G)을, 완전하게는 차풍되지 않은 동반풍(58)의 하층부분이 통과한다.

밴드(23)의 주행 속도가 30m/min 정도인 종래의 경우에는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 밴드(23)의 주행에 따른 동반풍은 비드(105)에 끼치는 영향이 적어, 유연막(106)의 단 편차 등의 면 형상 고장으로 발전하는 경우가 적다. 한편, 박막화의 요청에 따라, 밴드(23)의 주행 속도를 50m/min 이상의 고속으로 하면, 이 고속화에 따라 비드(105)도 얇아져, 동반풍의 영향을 받기 쉬워진다. 종래는, 일본 공개특허공보 2004-114328호에 기재된 차풍블록에 의하여 동반풍을 차단하고 있지만, 차풍블록과 밴드(23)와의 간극을 통과하는 동반풍의 하층부분이 차풍블록을 통과한 후에 소용돌이를 일으켜 버린다. 이 소용돌이의 발생이나, 소용돌이에 의한 비드(105)로의 진동 부여 등이 본 발명자의 실험에 의하여 확인되고 있다.

이로 인하여, 도 9에 나타내는 바와 같이, 차풍블록(27)의 밴드 대향면(27A)에는, 라비린스 시일(59)이 형성되어 있다. 라비린스 시일(59)은, 제1, 제2, 제3 시일부(61, 62, 63)를 가진다. 제1 시일부(61)는, X방향에 평행한 치(齒)(판 형상 돌기)(65A)와, 이 치(65A)에 Y방향에서 인접하고, X방향에 평행한 홈(65B)을 가지는 하나의 시일 유닛(65)을 Y방향으로 3개 가지고 있다. 치(65A)의 높이(H1)는, 홈(65B)의 깊이와 동일하고, 바람직하게는 1mm 이상 20mm 이하이며, 보다 바람직하게는 3mm 이상 15mm 이하이다.

치(65A)의 Y방향 길이(폭)(L2)는, 바람직하게는 1mm 이상 10mm 이하이고, 보다 바람직하게는 1mm 이상 5mm 이하이다. 또, 홈(65B)의 Y방향 길이(폭)(L31)는 바람직하게는 3mm 이상 30mm 이하이고, 보다 바람직하게는 3mm 이상 20mm 이하이다.

제1 시일부(61)에 있어서의 각 시일 유닛(65)의 병렬 개수는 3개로 했지만, 3개 이상이면 된다. 다만, 시일 유닛(65)의 병렬 개수의 상한은 특별히 없지만, 설비 효율의 관점으로부터 보면, 10개 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 5개 이하이다.

제2 시일부(62), 제3 시일부(63)도, 제1 시일부(61)와 마찬가지로, 3개의 시일 유닛(66, 67)을 가진다. 시일 유닛(66, 67)은, 치(66A, 67A)와 홈(66B, 67B)을 가진다. 각 시일 유닛(66, 67)은, 홈(66B, 67B)의 폭(L32, L33)이, 제1 시일부(61)의 홈폭(L31)에 비하여, Y방향에서 비드(31)를 향함에 따라 점차 넓어지는 점에서 상이한 것 이외에는, 동일한 구성이다.

각 시일 유닛(65~67)의 홈(65B~67B)의 폭 및 깊이, 홈(65B~67B)과 치(65A~67A), 또는 치(65A~67A)와 홈(65B~67B)의 반복 수를 일정 범위로 함으로써, 차풍블록(27)의 밴드 대향면(27A)과 밴드(23)와의 간극(G)으로부터 진입하는 동반풍(58)에 의한 특정 주파수대의 공기압 진동을 억제할 수 있다. 이 지견은, 라비린스 시일(59)의 치(65A~67A)와 홈(65B~67B)의 사이즈나, 이들의 Y방향에 있어서의 반복 수(병렬 개수)를 변경한 각종 실험에 의하여 얻어졌다. 즉, 각종 실험을 행하여, 홈(65B~67B)의 폭(L31~L33) 및 깊이(H1), 홈(65B~67B)과 치(65A~67A), 또는 치(65A~67A)와 홈(65B~67B)의 반복 수를 일정 범위로 함으로써, 특정 주파수대의 공기압 진동이 효과적으로 억제된다는 지견이 얻어졌다. 이로써, 동반풍(58)의 특정 주파수대의 공기압 진동을 라비린스 시일(59)로 억제하거나 또는 차단할 수 있다.

간극(G)은, 3mm 이하가 아니면, 동반풍(58)이 간극(G)을 통과해버려, 공기압 진동의 저감 효과가 낮아진다. 다만, 하한치는 0mm에 가까워질수록, 바람직하다. 그러나, 0mm에 가까워지면, 밴드(23)의 두께 오차나, 제1 드럼(21)의 둘레면 오차 등에 기인하여, 차풍블록(27)의 밴드 대향면(27A)과 밴드(23)가 접촉할 우려가 있다. 이로 인하여, 하한치는 1mm 이상이 바람직하다.

홈(65B, 66B, 67B)의 깊이(H1)(치(65A, 66A, 67A)의 높이(H1))는, 바람직하게는 1mm 이상 20mm 이하이고, 보다 바람직하게는 3mm 이상 15mm 이하이다. 1mm 미만에서는, 홈(65B~67B) 내에서 바람의 난류를 만들 수 없어, 압력 손실이 상승하지 않기 때문에, 차풍 효과가 저하된다. 20mm를 넘으면, 공기압 진동의 저감 효과가 포화한 상태가 되어, 홈(65B~67B)을 깊게 하는 가공 부하의 증대에 비하여, 그 이상의 효과를 얻을 수 없게 된다.

홈(65B, 66B, 67B)의 폭(L31, L32, L33)은, 바람직하게는 3mm 이상 30mm 이하이고, 보다 바람직하게는 3mm 이상 20mm 이하이다. 3mm 미만에서는 홈(65B, 66B, 67B) 내에 바람의 난류를 만들 수 없어, 압력 손실이 상승하지 않아, 공기압 진동의 저감 효과가 낮아진다. 30mm를 넘으면, 공기압 진동의 저감 효과가 포화한 상태가 되어, 그 이상의 효과를 기대할 수 없게 된다. 또, 가공 부하도 커진다.

홈(65B, 66B, 67B)의 폭(L31, L32, L33)은, 동반풍(58)에 의한 공기압 진동에 있어서의 차단하고 싶은 주파수대에 맞추어 결정되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 홈폭(L31, L32, L33)을 3mm로 함으로써, 공기압 진동 중의 주파수대가 100Hz 이상 150Hz 미만인 공기압 진동을 차단할 수 있다. 또, 홈폭(L31, L32, L33)을 10mm로 함으로써, 공기압 진동 중의 주파수대가 50Hz 이상 100Hz 미만인 공기압 진동을 차단할 수 있다. 또한, 홈폭(L31, L32, L33)을 20mm로 함으로써, 50Hz 미만인 공기압 진동을 차단할 수 있다. 다만, 차단하고 싶은 공기압 진동 중의 주파수대와 홈폭(L31, L32, L33)은, 상기 관계에 한정되는 것은 아니다. 홈폭(L31, L32, L33)을 변경함으로써, 차단하고 싶은 공기압 진동 중의 주파수대를 변경할 수 있다. 이들의 관계는 홈의 폭이나, 그에 더하여 홈의 깊이(H1) 등을 변경한 치 및 홈을 형성하여 실험을 행함으로써, 차단 효과가 있는 주파수대를 특정할 수 있다.

치(65A, 66A, 67A)의 폭(L2)은 1mm 이상 20mm 이하가 바람직하다. 1mm 미만에서는 강도 부족이 되어, 내구성이 저하된다. 20mm를 넘으면, 라비린스 시일(59)의 Y방향 길이가 증가할 뿐이며, 공기압 진동의 저감 효과는 낮아진다.

다만, 라비린스 시일(59)의 각 홈(65B~67B)의 양 단부는 개방 또는 폐쇄 중 어느 하나여도 된다. 단, 개방시킨 쪽이, 각 홈(65B~67B)에 들어간 바람이 양 단부로부터 빠져나가기 쉬워지기 때문에, 비드(31)에 대한 차풍 효과는 높아진다.

도 10은, 시일 유닛(65~67)의 치(65A~67A) 및 홈(65B~67B)을 Y방향으로 변경한 제1~제3 시일부(71~73)를 가지는 제2 실시형태의 라비린스 시일(69)을 나타내고 있다. 이와 같이, 치(65A~67A) 및 홈(65B~67B)을 Y방향으로 변경해도, 특정 주파수대의 진동을 차단할 수 있다. 다만, 상기 실시형태와 동일 구성부재에는 동일 부호를 붙여 중복된 설명을 생략하고 있다. 제1 시일부(61, 71), 제2 시일부(62, 72), 제3 시일부(63, 73)의 밴드 주행방향(Y)에 있어서의 배열의 순서는 적절히 변경해도 된다. 각 홈(65B~67B)은, 밴드 주행방향(Y)에 대하여 직교하는 X방향으로 뻗어 형성되어 있지만, 홈(65B~67B)의 형성방향은, 밴드 주행방향(Y)에 대하여 교차하고 있으면 되며, 교차 각도는 직각에 한정되지 않는다. 도 10에 있어서는, 라비린스 시일(69)이 마련되어 있는 차풍블록에 부호 70을 붙인다.

도 11은, 라비린스 시일(74)의 각 홈(75B~77B)을 제1 실시형태의 라비린스 시일(59)에 있어서보다 얕게 형성한 다른 실시형태의 차풍블록(78)의 제1~제3 시일부(81~83)를 나타내고 있다. 제1~제3 시일부(81~83)는, Y방향으로 3개 연속하여 형성되는 시일 유닛(75~77)을 가진다. 도 11에 있어서는, 시일 유닛(75, 76, 77)의 각 치에는 부호 75A, 76A, 77A를 붙인다. 각 홈(75B~77B)의 깊이(H1)가 제1 실시형태에 비하여 얕은 경우에도, 특정 주파수대의 진동을 차단할 수 있다.

상기 각 실시형태에 있어서, 흡인박스(26A, 26B)에 의한 흡인압력 BP는 -3000Pa 이상 -150Pa 이하이고, 바람직하게는 -1000Pa 이상 -500Pa 이하이다. 유연장치(11)는, 다이(25), 제1 드럼(21), 제2 드럼(22), 밴드(23) 등을 수용하는 챔버(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 흡인박스(26A, 26B)에 의한 흡인압력 BP는, 이 챔버 내에 있어서, 흡인박스(26A, 26B)의 상방에서의 근방의 압력을 기준으로 한 값이지만, 다이(25)의 상방의 근방에서의 압력을 기준으로 한 값이어도 된다. -150Pa를 넘으면 동반풍(58)의 유도를 충분히 행할 수 없다. 또, -3000Pa 미만이면, 비드 자신도 부압에 의하여 변형되어 버려, 면 형상이 악화되어 버린다.

상기 각 실시형태에서는, 다이(25)에 대하여 밴드 주행방향(Y)의 상류측에, 차풍블록(27, 70, 78)을 마련하고 있지만, 차풍블록(27, 70, 78)의 상류측에 감압챔버를 더욱 마련해도 된다. 감압챔버는, 차풍블록(27, 70, 78)의 상류측 에리어의 공기를 흡인하여 이 에리어 내를 감압하고, 비드(31)로의 동반풍(58)의 진입을 억제한다. 이 감압챔버에 의한 흡인압력은, 흡인박스(26A, 26B)의 흡인압력보다 작은 것이 바람직하다. 즉, 감압챔버 내의 압력은, 흡인박스(26A, 26B)의 각각의 내부에 있어서의 압력보다 큰 것이 바람직하다. 또, 차풍블록(27, 70, 78) 대신에, 감압챔버를 이용해도 된다.

상기 실시형태의 흡인박스(26A, 26B)는, 제1 회동축(53), 제2 회동축(54)의 2개의 회동축을 이용하여 제1 구획판(46), 제2 구획판(47)을 개별적으로 이동시키고 있다. 그러나, 이 대신에, 도 12에 나타내는 바와 같이 하나의 회동축(90)과, 하나의 가이드축(91)을 이용하여 제1 구획판(46), 제2 구획판(47)을 이동시키는 흡인박스(89)로 해도 된다. 회동축(90)은, 흡인박스(89)의 양 측판(44A, 44B)에 베어링(50)을 통하여 회동 가능하게 장착되어 있다. 가이드축(91)은 고정링(94)에 의하여, 양 측판(44A, 44B)에 고정되어 있다. 다만, 상기 실시형태와 동일 구성부재에는 동일 부호를 붙여 중복된 설명을 생략하고 있다.

회동축(90)은, 암나사링(92, 93)을 통하여, 1쌍의 구획판인 제1 구획판(46), 제2 구획판(47)을 관통하여 장착되어 있다. 회동축(90)은, 중앙으로부터 양 단부를 향하여, 서로 역방향이 되는 수나사부(90A, 90B)를 가진다. 일방의 암나사링(92)은 수나사부(90A)에 나사결합하는 암나사부(92A)를 가지고, 타방의 암나사링(93)은 수나사부(90B)에 나사결합하는 암나사부(93A)를 가진다. 가이드축(91)은, 가이드링(51)을 통하여 1쌍의 구획판인 제1 구획판(46), 제2 구획판(47)을 관통하여 장착되어 있다. 가이드링(51)은, 가이드축(91)을 슬라이딩 가능하게 지지하는 가이드구멍(51A)을 가진다.

회동축(90)을 일방으로 회전시킴으로써, 암나사링(92, 93)을 통하여 1쌍의 구획판인 제1 구획판(46), 제2 구획판(47)이 접근하고, 타방으로 회전시킴으로써 제1 구획판(46), 제2 구획판(47)이 이반한다. 이로써 흡인실(48)의 폭을 변경할 수 있다. 따라서, 도프(30)의 점도나, 비드(31)의 두께가 변경되는 경우에, 회동축(90)을 돌림으로써, 흡인박스(89)의 흡인구(45)의 폭을 최적으로 설정할 수 있다. 흡인구(45)의 폭을 변경함으로써, 블로어의 부압을 변경하지 않고, 흡인풍량을 조절할 수 있다. 다만, 제1 구획판(46), 제2 구획판(47)을 평행 이동시키는 기구는 상기의 것에 한정되지 않으며, 각종 기구를 이용할 수 있다. 또, 구획판은 1쌍에 한정되지 않고, 3매 이상 마련해도 된다. 이 경우에는, 각 구획판을 개별적으로 비드(31)의 폭방향(X)으로 이동 가능하게 마련하고, 흡인박스 내에서 각 구획판으로 구획되는 흡인실을 2개 이상 마련함으로써, 흡인풍량이나 흡인에리어를 더욱 세밀하게 설정하는 것이 가능해진다.

상기 실시형태에서는, 흡인관(55)을 제2 구획판(47)에 마련하고 있지만, 이 대신에, 도 12에 나타내는 바와 같이, 흡인박스(89)를 구성하는 수직판(43B)에 흡인관(95)을 마련해도 된다. 또, 도시는 생략했지만, 흡인박스(89)를 구성하는 경사판(43C)에 흡인관(95)을 마련해도 된다.

다만, 도시는 생략하지만, 시프트기구를 이용하여, 흡인박스(26A, 26B, 89)를, 비드(31)의 폭방향으로 이동 가능하게 장착해도 된다. 이 경우에는, 도프(30)의 점도 등에 따라, 비드(31)의 양 단부의 흡인에리어를 미조정할 수 있다. 또, 비드(31)의 폭이 변경이 되었을 경우에도, 쉽게 대응할 수 있다.

상기 실시형태에서는, 차풍블록(27)을 흡인박스(26A, 26B)의 사이에 배치했지만, 이 대신에, 도 13에 나타내는 바와 같이, 유연막(32)(도 2 참조)보다 길게, 예를 들면 다이(25)의 X방향 길이와 동일하게, 차풍판(96)을 마련해도 된다. 이 차풍판(96)의 밴드 대향면(96A)의 예를 들면 전체면에는, X방향으로 길게 라비린스 시일(59)이 형성되어 있다. 또, 차풍판(96)의 상면에서 X방향의 양 단부에는, 흡인박스(26A, 26B)가 배치된다. 이 경우에는, 흡인박스(26A, 26B)와 밴드(23)와의 간극으로부터의 동반풍(58)의 공기압 진동을 라비린스 시일(59)로 감소시킬 수 있다. 또, 차풍판(96)과 흡인박스(26A, 26B)의 일체 타입 대신에, 제1 실시형태의 흡인박스(26A, 26B)의 밴드 대향면에, 차풍블록(27)과 동일한 라비린스 시일(59)을 형성해도 된다.

상기의 예에서는, 동반풍은, 주행하는 밴드(23)의 도프(30)가 유연되는 일방의 표면(밴드면)에 따른 것이지만 이에 한정되지 않는다. 즉, 동반풍은, 주행하는 주행체의 표면에 따른 것이면 된다. 따라서, 상기 라비린스 시일(59, 69, 74)은, 밴드(23)와는 상이한 주행체의 표면에 근접하여 배치되는 차풍부재에 마련되어도 된다. 주행체로서는, 밴드(23) 대신에 지지체로서 이용되며, 둘레방향으로 회전하는 드럼이 있다. 또, 주행체의 다른 예로서는, 도포에 의하여 복층구조의 필름을 제조하는 경우에 있어서, 표면에 도포액이 도포되어 도막이 형성되는 장척물(웨브)이 있다.

본 발명의 용액제막 설비에 있어서, 제품으로서의 필름(33)의 폭은, 600mm 이상인 것이 바람직하고, 1400mm 이상 2500mm 이하인 것이 보다 바람직하다. 다만, 필름(33)의 폭이 2500mm보다 큰 경우에도 효과가 있다. 또 필름(33)의 막 두께는, 10μm 이상 80μm 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10μm 이상 40μm 이하이다. 필름(33)의 원료가 되는 폴리머는, 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, 셀룰로오스아실레이트나 환상 폴리올레핀 등이 있다.

본 발명에 있어서 셀룰로오스아실레이트에 이용되는 아실기는 1종류만이어도 되고, 혹은 2종류 이상의 아실기가 사용되고 있어도 된다. 2종류 이상의 아실기를 이용할 때는, 그 1개가 아세틸기인 것이 바람직하다. 셀룰로오스의 수산기를 카르복시산으로 에스테르화하고 있는 비율, 즉, 아실기의 치환도가 하기 식 (I)~(III) 전부를 만족하는 것이 바람직하다. 다만, 이하의 식 (I)~(III)에 있어서, A 및 B는, 아실기의 치환도를 나타내며, A는 아세틸기의 치환도, 또 B는 탄소원자수 3~22의 아실기의 치환도이다. 또, 트라이아세틸셀룰로오스(TAC)의 90중량% 이상이 0.1mm 이상 4mm 이하의 입자인 것이 바람직하다.

(I) 2.0≤A＋B≤3.0

(II) 1.0≤A≤3.0

(III) 0≤B≤2.9

아실기의 전체 치환도 A＋B는, 2.20 이상 2.90 이하인 것이 보다 바람직하고, 2.40 이상 2.88 이하인 것이 특히 바람직하다. 또, 탄소원자수 3~22의 아실기의 치환도 B는, 0.30 이상인 것이 보다 바람직하고, 0.5 이상인 것이 특히 바람직하다.

셀룰로오스아실레이트의 상세에 대해서는, 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [0140]단락부터 [0195]단락에 기재되어 있다. 이들 기재는 본 발명에도 적용할 수 있다. 또, 용제 및 가소제, 열화 방지제, 자외선 흡수제(UV제), 광학이방성 컨트롤제, 리타데이션 제어제, 염료, 매트제, 박리제, 박리 촉진제 등의 첨가제에 대해서도, 마찬가지로 일본 공개특허공보 2005-104148호의 [0196]단락부터 [0516]단락에 상세하게 기재되어 있다.

[실시예]

치(65A, 66A, 67A)의 높이(홈의 깊이)(H1)와, 치(65A, 66A, 67A)의 폭(L2)과, 홈(65B, 66B, 67B)의 폭(L31~L33)과, 간극(클리어런스)(G)과, 차단 가능한 공기압 진동과의 관계를 나타내는 실험을 행했다. 표 1은 실험결과를 나타내는 일람표이다. 실험 1은, 홈깊이(H1)를 3mm, 치폭(L2)을 1mm, 홈폭(L31)을 3mm, 홈폭(L32)을 10mm, 홈폭(L33)을 20mm, 유닛 개수를 3으로 한 경우의, 0Hz 이상 50Hz 미만, 50Hz 이상 100Hz 미만, 100Hz 이상 150Hz 미만의 공기압 진동의 주파수대에 대하여, 차단한 주파수 피크를 구한 것이다. 차단한 주파수 피크는 라비린스 시일을 구비하고 있지 않은 실험 5의 경우의 차단한 주파수 피크 0.8Pa와의 비교로 나타내고 있으며, 실험 1에서는 차단한 주파수 피크는 0.4Pa가 되었다. 실험 2는 실험 1에 대하여 홈깊이(H1)를 변경함으로써, 홈깊이(H1)가 차단 효과에 끼치는 영향을 측정하고 있다. 실험 3, 4는 실험 1에 대하여 유닛 개수를 변경함으로써, 유닛 개수가 적은 경우(실험 3), 유닛 개수가 많은 경우(실험 4)의 차단 효과에 끼치는 영향을 측정하고 있다. 다만, 차단 가능 주파수대 및 주파수 피크는, FFT 애널라이저(리온사(Rion Co., Ltd.)제 SA-01)에 공기압 진동 픽업과 앰프를 접속한 것에 의하여, 다이(25)의 근방의 유연폭 좌우 및 중앙부 총 3개소를 유연하지 않은 상태로 오프라인 운전한 상태에서 실측함으로써 얻었다. 다만, 표 1의 "홈"의 "폭(L3)"란에 있어서, 시일부 번호 "1"란은 홈폭(L31)을, 시일부 번호 "2"란은 홈폭(L32)을, 시일부 번호 "3"란은 홈폭(L33)을 나타내고 있다.

실험번호	시일부번호	치		홈		유닛 개수	차단가능 주파수대 (Hz)	차단한 주파수 피크 (Pa)
		높이(H1) (mm)	폭(L2) (mm)	깊이(H1) (mm)	폭(L3) (mm)
1	1	3	1	3	3	3	100~150	0.4
	2	3	1	3	10	3	50~100	0.4
	3	3	1	3	20	3	0~50	0.4
2	1	10	1	10	3	3	100~150	0.1
	2	10	1	10	10	3	50~100	0.1
	3	10	1	10	20	3	0~50	0.1
3	1	3	1	3	3	2	100~150	0.6
	2	3	1	3	10	2	50~100	0.6
	3	3	1	3	20	2	0~50	0.6
4	1	10	1	10	3	5	100~150	0.4
	2	10	1	10	10	5	50~100	0.4
	3	10	1	10	20	5	0~50	0.4
5	라비린스 시일 없음						-	0.8

표 1의 실험 1에서는, 차단한 주파수 피크가 0.4Pa가 되어, 동반풍(58)의 차단 효과가 있는 것을 알 수 있다. 이에 대하여, 실험 1의 홈깊이(H1) 3mm로부터, 홈깊이(H1) 10mm로 한 실험 2에서는, 차단한 주파수 피크가 0.1Pa가 되어, 차단 효과가 가장 높은 것을 알 수 있다. 또, 유닛 개수를 실험 1의 "3"에 대하여 "2"로 변경한 실험 3에서는, 차단한 주파수 피크가 0.6Pa가 되어, 차단 효과가 실험 1보다 낮다. 또한, 유닛 개수를 "5"로 한 실험 4에서는, 차단한 주파수 피크가 0.4가 되어, 유닛 개수가 3인 경우와 동일하다. 따라서, 유닛 개수는 3개 이상 5개 이하가 바람직한 것을 알 수 있다. 또, 라비린스 시일이 없는 실험 5에서는, 차단한 주파수 피크가 0.8Pa가 되어, 차단 효과가 없는 것을 알 수 있다.

흡인박스(26A, 26B)에 의한 효과를 확인하기 위하여, 실험을 행했다. 이 결과를 표 2에 나타낸다.

실험번호	필름		흡인박스 차풍블록	감압챔버	공기 휘말림의 발생	단 편차
	폭 (mm)	두께 (μm)
11	200	10	유	무	A	A
	200	30	유	무	A	A
	200	60	유	무	A	A
12	400	10	유	무	A	A
	400	30	유	무	A	A
	400	60	유	무	A	A
13	800	10	유	무	A	A
	800	30	유	무	A	A
	800	60	유	무	A	A
14	200	10	무	무	B	A
	200	30	무	무	B	A
	200	60	무	무	B	A
15	200	10	무	유	A	B
	200	30	무	유	A	B
	200	60	무	유	A	B

실험 11~13에서는, 도 2~도 4에 나타내는 흡인박스(26A, 26B)를 이용하여, 비드(31)의 양 단부를 밴드 주행방향(Y)의 상류측에서 흡인하여, 도 7에 나타내는 바와 같이, 유연선(BLN)의 직선화를 도모했다. 또, 차풍블록(27)을 이용하여, 동반풍(58)에 의한 비드(31)의 진동의 영향을 배제했다. 도 1에 나타내는 용액제막 설비(10)에 의하여, 밴드(23) 상에 유연막(32)을 형성한 후에, 이 유연막(32)을 벗겨 필름(33)으로 하고, 텐터(12), 건조장치(13)를 거쳐, 필름(33)을 제조하여, 롤 형상으로 필름(33)을 권취했다. 필름(33)은 TAC로 이루어지며, 실험 11은 폭을 200mm, 실험 12는 400mm, 실험 13은 800mm로 하고, 각 실험 11~13에 있어서 두께를 10μm, 30μm, 60μm로 했다.

실험 14에서는, 실험 11의 흡인박스(26A, 26B) 및 차풍블록(27)을 없앤 것 이외에는, 실험 11과 동일한 조건에서 필름(33)을 제조했다.

실험 15에서는, 실험 11의 흡인박스(26A, 26B) 및 차풍블록(27) 대신에 도 1에 2점 쇄선으로 나타내는 감압챔버(35)를 마련한 것 이외에는, 실험 11과 동일한 조건에서 필름(33)을 제조했다.

표 2로부터 명확한 바와 같이, 실험 11~13에서는, 공기 휘말림 발생이 없고, 단 편차의 발생도 없었다. 이에 비하여, 실험 14에서는 단 편차의 발생은 없지만, 공기 휘말림이 발생했다. 또, 실험 15에서는 공기 휘말림의 발생은 없지만, 단 편차가 발생했다.

다만, 표 2에 있어서, 공기 휘말림이 발생하고 있지 않은 경우에, 공기 휘말림 발생의 평가를 "A"로 하고, 발생한 경우에 평가를 "B"로 했다. 또, 단 편차가 발생하고 있지 않은 경우에 단 편차 발생의 평가를 "A"로 하고, 발생한 경우에 평가를 "B"로 했다.

공기 휘말림은, 유연선을 포함하는 유연막(32)을 고속 카메라로 촬영하고, 이 촬영한 화상을 5~15배 정도로 확대하여 모니터에 표시했다. 공기가 조금이라도 휘말린 경우에, B로 판정하고, 공기가 휘말리지 않은 경우에 기포의 억제 효과가 있는 것으로 보아 A로 판정했다. 다만, 공기 휘말림은 모니터를 육안으로 관찰하여 행했다. 그러나, 모니터에 표시되는 화상을 화상 처리하여 패턴 인식 등에 의하여 공기의 휘말림을 자동 인식하여 판정하는 것도 가능하다.

단 편차는, 얻어진 필름을 소정의 사이즈로 샘플링하여, 투명한 필름 거치대에 샘플링한 필름을 올리고, 필름으로부터 상방으로 1500mm~2000mm 떨어뜨린 점광원(USHIO(USHIO Inc.)제 크세논 램프)을 이용하여 필름을 조명하고, 필름 및 필름 거치대를 투과한 광을 관찰대에 투영시켜, 관찰대의 투과광으로부터 단 편차가 육안으로 관찰되는지 어떤지로 평가했다. 육안 평가에 의하여 단 편차가 눈으로 확인되는 경우에 B로 판정하고, 눈으로 확인되지 않는 경우에 A로 판정했다. 다만, 필름 거치대는 관찰대에 대하여 45° 이상 60° 이하의 범위에서 기울인 상태로 평가했다.

이상의 결과로부터, 단 편차의 개선 효과와, 기포의 억제 효과가 얻어지는 것을 알 수 있다. 또, 이들의 결과로부터, 실제 제조 조건인, 폭을 예를 들면 1400mm 이상 2500mm 이하, 또는 그 이상으로 하고, 두께를 10μm 이상 60μm 이하로 하는 경우에도, 동일한 효과가 얻어지는 것이라고 추측된다.

Claims (13)

1. 주행하는 주행체의 표면에 근접하여 배치되고, 상기 표면에 동반하는 동반풍을 차단하는 차풍부재에 마련되는 라비린스 시일로서,
   상기 차풍부재의 상기 표면에 대향하는 면에 형성되어 제1 홈을 가지는 제1 시일부; 및
   상기 제1 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제2 홈을 가지는 제2 시일부
   를 구비하고,
   상기 제1 홈은 상기 주행체의 주행방향에 교차하는 방향으로 길게 형성되고, 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있으며,
   상기 제2 홈은 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있는
   라비린스 시일.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 제2 시일부에 인접하는 제3 시일부를 더욱 구비하고,
   상기 제3 시일부는 상기 제1 홈 및 제2 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제3 홈을 가지며, 상기 제3 홈은 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있는
   라비린스 시일.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 홈폭 및 홈깊이는, 상기 동반풍에 의한 공기압 진동의 주파수대에 맞추어 결정되어 있는
   라비린스 시일.
4. 주행하는 지지체;
   상기 지지체를 향하여 토출구로부터 도프를 토출하는 다이;
   상기 지지체의 주행에 의한 동반풍을 차단하는 차풍부재; 및
   상기 차풍부재의 상기 지지체로의 대향면에 배치되는 라비린스 시일
   을 구비하고,
   상기 다이는 상기 지지체와의 사이에 비드를 형성하면서 상기 지지체의 표면 상에 유연막을 형성하며,
   상기 차풍부재는 상기 비드보다 상기 지지체의 주행방향 상류측에서 상기 지지체의 표면에 근접하고 또한 상기 비드를 따라 배치되며,
   상기 라비린스 시일은 제1 시일부와 제2 시일부를 가지고, 상기 제1 시일부는 상기 대향면에 형성되어 제1 홈을 가지며, 상기 제1 홈은 상기 주행방향에 교차하는 방향으로 길게 형성되고, 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있으며, 상기 제2 시일부는 상기 제1 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제2 홈을 가지고, 상기 제2 홈은 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있는
   유연장치.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 라비린스 시일은, 상기 제2 시일부에 인접하는 제3 시일부를 가지고, 상기 제3 시일부는 상기 제1 홈 및 제2 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제3 홈을 가지며, 상기 제3 홈은 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있는
   유연장치.
6. 청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
   상기 홈폭 및 홈깊이는, 상기 동반풍에 의한 공기압 진동의 주파수대에 맞추어 결정되어 있는
   유연장치.
7. 청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
   상기 홈폭은 3mm 이상 30mm 이하이며, 상기 홈깊이는 1mm 이상 20mm 이하인
   유연장치.
8. 청구항 6에 있어서,
   상기 홈폭은 3mm 이상 30mm 이하이며, 상기 홈깊이는 1mm 이상 20mm 이하인
   유연장치.
9. 주행하는 지지체;
   상기 지지체를 향하여 토출구로부터 도프를 토출하는 다이;
   상기 지지체의 주행에 의한 동반풍을 차단하는 차풍부재;
   상기 차풍부재의 상기 지지체로의 대향면에 배치되는 라비린스 시일; 및
   상기 지지체로부터 상기 유연막을 벗겨 건조하는 건조장치
   를 구비하고,
   상기 다이는 상기 지지체와의 사이에 비드를 형성하면서 상기 지지체의 표면 상에 유연막을 형성하며,
   상기 차풍부재는 상기 비드보다 상기 지지체의 주행방향 상류측에서 상기 지지체의 표면에 근접하고 또한 상기 비드를 따라 배치되며,
   상기 라비린스 시일은 제1 시일부와 제2 시일부를 가지고, 상기 제1 시일부는 상기 대향면에 형성되어 제1 홈을 가지며, 상기 제1 홈은 상기 주행방향에 교차하는 방향으로 길게 형성되고, 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있으며, 상기 제2 시일부는 상기 제1 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제2 홈을 가지고, 상기 제2 홈은 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있는
   용액제막 설비.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 라비린스 시일은, 상기 제2 시일부에 인접하는 제3 시일부를 가지고, 상기 제3 시일부는 상기 제1 홈 및 제2 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제3 홈을 가지며, 상기 제3 홈은 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있는
    용액제막 설비.
11. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 홈폭 및 홈깊이는, 상기 동반풍에 의한 공기압 진동의 주파수대에 맞추어 결정되어 있는
    용액제막 설비.
12. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 홈폭은 3mm 이상 30mm 이하이며, 상기 홈깊이는 1mm 이상 20mm 이하인
    용액제막 설비.
13. 유연장치를 이용하여 유연막을 형성하는 스텝; 및
    지지체로부터 상기 유연막을 벗겨 건조하는 스텝
    을 포함하고,
    상기 유연장치는 상기 지지체와 다이와 차풍부재와 라비린스 시일을 가지며, 상기 다이는 주행하는 상기 지지체를 향하여 토출구로부터 도프를 토출하고, 상기 지지체와의 사이에 비드를 형성하면서 상기 지지체의 표면 상에 유연막을 형성하며, 상기 차풍부재는 상기 지지체의 주행에 의한 동반풍을 차단하고, 상기 비드보다 상기 지지체의 주행방향 상류측에서 상기 지지체의 표면에 근접하고 또한 상기 비드를 따라 배치되며, 상기 라비린스 시일은 상기 차풍부재의 상기 지지체로의 대향면에 배치되고, 제1 시일부와 제2 시일부를 가지며, 상기 제1 시일부는 상기 대향면에 형성되어 제1 홈을 가지고, 상기 제1 홈은 상기 주행방향에 교차하는 방향으로 길게 형성되며, 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있고, 상기 제2 시일부는 상기 제1 홈과는 홈폭 또는 홈깊이가 상이한 제2 홈을 가지며, 상기 제2 홈은 상기 주행방향으로 이간하여 3개 이상 나열되어 있는
    용액제막 방법.

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