CN104896102B - 迷宫式密封件、流延装置、溶液制膜设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够抑制高速制造薄型薄膜时的台阶形不均故障的产生及空气卷入的迷宫式密封件、流延装置、溶液制膜设备及方法。在传送带的行走方向上游侧，通过靠近传送带且沿着液珠而配设的挡风块，遮挡朝向液珠的携带风。在挡风块的传送带对置面形成迷宫式密封件。迷宫式密封件具有第1密封部～第3密封部。第1密封部～第3密封部具有由3个齿及槽构成的密封单元。各槽的深度、宽度结合携带风的气压振动的频带而决定。通过各槽，液珠的振动得到抑制，流延膜的台阶形不均消失。

Description

迷宫式密封件、流延装置、溶液制膜设备及方法

技术领域

本发明涉及一种迷宫式密封件、流延装置、溶液制膜设备及方法。

背景技术

具有透光性的聚合物薄膜(以下，称为薄膜)广泛用作偏光板的保护膜、相位差膜、防反射膜、透明导电性薄膜等光学薄膜。对于薄膜要求厚度的均匀性和光学特性。以往，主要使用厚度为80μm以上的较厚的薄膜，但近年来，薄膜的薄膜化需求增强，要求厚度为40μm以下的薄型薄膜。

作为薄膜的制造方法有溶液制膜方法。溶液制膜方法为例如通过如下来获得薄膜的方法，即，通过流延模具(以下，称为模具)在金属制滚筒或传送带等流延支承体(以下，称为支承体)上流延将聚合物溶解于溶剂的溶液(以下，称为浓液(dope))来形成流延膜，使其干燥并剥取。

为了提高溶液制膜的生产率，由浓液形成流延膜的流延工序的高速化成为课题。为了高速进行流延工序，例如若提高支承体的行走速度，则在行走的支承体的表面附近产生随着支承体的行走而与支承体一同向行走方向流动的风(以下，称为携带风)。若该携带风吹到液珠上，则液珠振动。该液珠的振动导致在所制造的薄膜的流延方向(支承体的行走方向)上产生厚度不均。因此，例如在日本专利公开2004-114328号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的上游侧靠近液珠而配设挡风物，从而防止携带风进入液珠。

并且，在日本专利公开2010-158834号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的上游侧靠近液珠而配设减压腔室，通过负压吸引携带风，从而抑制由携带风引起的液珠的振动。同样地，在日本专利公开2000-79621号公报中，设置有用于吸引液珠的吸引箱。该吸引箱划分为第1负压区域～第3负压区域而分别进行减压。在第1负压区域中遍及液珠的整个宽度方向而吸引液珠的周边，在第2负压区域中吸引液珠的宽度方向两侧部的周边，在第3负压区域中从液珠的两侧方向吸引。通过该吸引，抑制被称为空气混入的、空气向流延膜与支承体之间的卷入(以下，有时称为空气卷入)，且使液珠与支承体相接的流延线稳定化。

若使用吸引箱等吸引装置，则从液珠的宽度方向端部的侧面发生空气的卷入，若提高流延速度(支承体的行走速度)，则被卷入的空气变成气泡而出现在流延膜上，由于该气泡，在延伸时会产生破裂等，生产率下降。因此，在日本专利公开平10-264185号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的下游侧配设喷吹喷嘴或加压箱，从而抑制空气的卷入。

并且，在日本专利公开2005-104148号公报中，相对于模具在支承体行走方向上游侧及下游侧配置挡风板，以此阻止风流向液珠。该挡风板在其与支承体之间具有迷宫式密封件。

但是，随着近年来的平板显示器的大型化和轻量化，也增进了所制造的薄膜的薄型化。为了更高效地制造薄型薄膜，除了在制膜后的延伸工序中通过延伸来形成为较薄之外，优选在液珠阶段就将厚度设为较薄，还对液珠的薄型化的改良进行了研究。

为了使液珠变薄，例如不改变模具吐出口的液珠厚度，而是提高支承体的行走速度来使液珠将要与支承体相接之前的厚度变薄，并且，将模具的吐出口的液珠厚度设为比以往薄。但是，若较薄地流延液珠，则即使在以至今为止的液珠厚度不存在问题的情况下，液珠也与变薄的量相应地容易受到携带风的影响。

例如，通过日本专利公开2004-114328号公报中记载的挡风物来截断伴随支承体的移动的携带风时，若将液珠设为较薄，则在宽度方向上出现较长的厚度不均。该厚度不均在支承体行走方向上发生变化，因此成为在行走方向上变化成波形的台阶形不均故障而出现，要求改善。另外，台阶形不均是在流延方向上产生的液珠的振动引起的周期性厚度不均，若恶化，则变得可以通过之后说明的评价方法来目视确认。

日本专利公开2010-158834号公报中记载的减压腔室中，随着液珠的薄型化，液珠因通过负压产生的气压振动而变得易振动，出现同样的面状故障。并且，由于液珠的振动，易发生空气的卷入。若在支承体与液珠之间残留有空气，则空气变成气泡而进入到在支承体上流延浓液而形成的流延膜与支承体之间。该空气的卷入有时会在流延膜干燥之后从支承体剥下时发展成流延膜的破裂。此时变成流延停止，在开始流延之前需要大量的时间和劳力。因此，要求抑制空气的卷入。

通过日本专利公开2000-79621号公报中记载的吸引箱，将内部划分为3个负压区域来吸引液珠的周边时，由于分为3个负压区域来进行吸引，因此吸引箱本身变成复杂的结构，此外还需要略微调节各负压区域的压力设定。并且，由于具有3个负压区域，因此需要3个鼓风机，导致设备成本增加。而且，若变成支承体的行走速度为50m/min以上的高速流延，则随着液珠的薄型化，由于由3个负压区域进行的吸引，很难稳定地维持流延线，导致发生空气卷入。

日本专利公开平10-264185号公报中记载的喷吹喷嘴或加压箱中，相对于液珠配设于支承体行走方向的下游侧，能够将液珠压回上游侧即模具侧，与此相应地，液珠与支承体相接的线路即流延线得以稳定。但是，为了将液珠压回上游侧，需要提高喷吹喷嘴或加压箱的风压，随着液珠的薄型化，液珠变得易振动。由于该振动，在宽度方向上出现较长的厚度不均，其在支承体行走方向上发生变化，因此成为在行走方向上变化成波形的台阶形不均故障。

日本专利公开2005-104148号公报中，在挡风板设置迷宫式密封件，从而抑制风进入液珠，但是由于在远离模具的支承体行走方向上游侧及下游侧配置迷宫式密封件，因此未能抑制在模具附近产生的气压振动。并且，由于相对于减压腔室在行走体行走方向上游侧及下游侧配置迷宫式密封件，因此未能抑制减压腔室引起的气压振动。因此，所获得的薄膜变成在传送方向上厚度发生变化的台阶形不均故障。

并且，迷宫式密封件本身也未能按其频带成分去除行走体的行走引起的携带风的气压变动，未能有效地抑制气压振动。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够有效地去除气压振动，并在溶液制造薄型薄膜时，通过实现高速流延来提高生产率，而且能够抑制发生由台阶形不均故障和空气卷入引起的流延停止等的迷宫式密封件、流延装置、溶液制膜设备及方法。

本发明的迷宫式密封件具备第1密封部及第2密封部，且靠近行走的行走体的表面而配设，并且设置于遮挡表面所携带的携带风的挡风部件。第1密封部形成于挡风部件的与表面对置的面并具有第1槽。第1槽沿与行走体的行走方向交叉的方向较长地形成。第1槽在前述行走方向上分开排列有3个以上。第2密封部具有槽宽或槽深与第1槽不同的第2槽。第2槽在前述行走方向上分开排列有3个以上。

优选迷宫式密封件还具备第3密封部。第3密封部与第2密封部相邻。第3密封部具有槽宽或槽深与第1槽及第2槽不同的第3槽。第3槽在前述行走方向上分开排列有3个以上。

优选上述槽宽及槽深结合基于携带风的气压振动的频带而决定。

本发明的流延装置具备行走的支承体、模具、挡风部件及迷宫式密封件。模具从吐出口朝向支承体吐出浓液。模具在其与支承体之间形成液珠并且在支承体的表面上形成流延膜。挡风部件遮挡支承体的行走引起的携带风。挡风部件在比液珠更靠支承体行走方向的上游侧的位置靠近支承体的表面且沿着液珠而配设。迷宫式密封件配设于挡风部件的朝向支承体的对置面。迷宫式密封件具有第1密封部及第2密封部。第1密封部形成于前述对置面并具有第1槽。第1槽沿与前述行走方向交叉的方向较长地形成。第1槽在前述行走方向上分开排列有3个以上。第2密封部具有槽宽或槽深与第1槽不同的第2槽。第2槽在前述行走方向上分开排列有3个以上。

优选槽宽为3mm以上30mm以下，槽深为1mm以上20mm以下。

本发明的溶液制膜设备具备行走的支承体、模具、挡风部件、迷宫式密封件及干燥装置。模具从吐出口朝向支承体吐出浓液。模具在其与支承体之间形成液珠并且在支承体的表面上形成流延膜。挡风部件遮挡支承体的行走引起的携带风。挡风部件在比液珠更靠支承体行走方向的上游侧的位置靠近支承体的表面且沿着液珠而配设。迷宫式密封件配设于挡风部件的朝向支承体的对置面。迷宫式密封件具有第1密封部及第2密封部。第1密封部形成于前述对置面并具有第1槽。第1槽沿与前述行走方向交叉的方向较长地形成。第1槽在前述行走方向上分开排列有3个以上。第2密封部具有槽宽或槽深与第1槽不同的第2槽。第2槽在前述行走方向上分开排列有3个以上。干燥装置从支承体剥下流延膜并进行干燥。

本发明的溶液制膜方法具备流延膜形成步骤及干燥步骤。流延膜形成步骤中利用流延装置形成流延膜。流延装置具有行走的支承体、模具、挡风部件及迷宫式密封件。流延膜形成于支承体上。模具从吐出口朝向支承体吐出浓液。模具在其与支承体之间形成液珠并且在支承体的表面上形成流延膜。挡风部件遮挡行走体的行走引起的携带风。挡风部件在比液珠更靠支承体行走方向的上游侧的位置靠近支承体的表面且沿着液珠而配设。迷宫式密封件配设于挡风部件的朝向支承体的对置面。迷宫式密封件具有第1密封部及第2密封部。第1密封部形成于前述对置面并具有第1槽。第1槽沿与前述行走方向交叉的方向较长地形成。第1槽在前述行走方向上分开排列有3个以上。第2密封部具有槽宽或槽深与第1槽不同的第2槽。第2槽在行走方向上分开排列有3个以上。干燥步骤中，从支承体剥下流延膜并进行干燥。

根据本发明，对于行走的周面所携带的携带风的气压振动，能够按其频带进行消除。根据本发明的将迷宫式密封件用于挡风部件的流延装置、溶液制膜设备及方法，能够抑制携带风引起的液珠的振动，并能够在抑制产生台阶形不均的同时有效地制造薄型薄膜。

附图说明

图1是表示本发明的溶液制膜设备的概要的侧视图。

图2是表示流延装置的模具周围的概要的立体图。

图3是表示第1实施方式中的模具、液珠、吸引箱之间的关系的纵剖视图。

图4是将吸引箱的倾斜板的一部分切开表示的立体图。

图5是将吸引箱的倾斜板的一部分切开表示的俯视图。

图6是表示吸引箱相对于液珠的配置的主视图。

图7是表示通过吸引箱吸引液珠的两端部的状态下的液珠流延线和流延膜的俯视图。

图8是表示没有吸引液珠的两端部的以往类型的液珠流延线和流延膜的俯视图。

图9是表示挡风块的迷宫式密封件的侧视图。

图10是表示挡风块的迷宫式密封件的另一实施方式的剖视图。

图11是表示挡风块的迷宫式密封件的另一实施方式的剖视图。

图12是切开倾斜板的一部分来表示用一个转动轴移动多个隔板的另一实施方式的吸引箱的俯视图。

图13是表示具有挡风板及吸引箱的挡风板一体型吸引箱的仰视图。

具体实施方式

如图1所示，溶液制膜设备10从上游侧依次具备流延装置11、拉幅机12、分切机14、干燥装置13、分切机15及卷取装置16，且该些部件串联连接。

流延装置11具备环状传送带(支承体)23、导向辊24、模具25、吸引箱(吸引部件)26A、26B、挡风块(挡风部件)27、导管(膜干燥机)28A、28B、28C及剥离辊29。传送带23形成为环状，并作为金属制流延支承体发挥作用。该传送带23绕挂在第1滚筒21和第2滚筒22的周面。第1滚筒21通过马达(省略图示)旋转驱动，环状传送带23沿以箭头Y表示的方向行走。另外，以下说明中，有时将传送带23的行走方向Y称为传送带行走方向Y或Y方向。导向辊24从里面侧支承上侧的传送带23。

如图2所示，在第1滚筒21的上方配置有模具25。模具25相对于行走中的传送带23的表面，将浓液30作为液珠31连续从吐出口25A(参考图3)流出。由此，在传送带23上形成流延膜32。浓液30在未图示的浓液制造生产线上，例如将纤维素酰化物溶解于溶剂而被制造，并供给至模具25。

相对于来自模具25的液珠31，在传送带23的行走方向Y上的上游配设有一对吸引箱26A、26B。

如图1所示，为了提高制造速度，朝向剥离辊29的流延膜32通过第2滚筒22及传送带23被加热。并且，在流延位置，传送带23通过第1滚筒21被冷却，抑制过度的升温。为此，第1滚筒21、第2滚筒22具有未图示的温度调节装置。

导管28A、28B、28C沿着传送带23的行走路线排列配设，并吹出干燥风。温风控制器(未图示)独立控制干燥风的温度、湿度、流量。通过干燥风的温度及流量的控制、及基于第1滚筒21、第2滚筒22自身的温度调节装置的温度控制，调节流延膜32的温度，溶剂从流延膜32蒸发，进行流延膜32的干燥。并且，流延膜32固化至能够以拉幅机12传送的程度。

相对于模具25，在传送带23的行走方向Y的上游侧，在第1滚筒21的周面附近配设有剥离辊29。剥离辊29在从传送带23剥下包含溶剂的状态的已进行干燥的流延膜32时，支承流延膜32。剥取的流延膜32作为薄膜33被引导至拉幅机12。

拉幅机12中，通过夹子34把持薄膜33的两侧部，并从导管36送出干燥风，由此在传送薄膜33的同时赋予朝向以箭头X表示的薄膜宽度方向X的张力，从而扩大薄膜33的宽度。另外，薄膜33、流延膜32、液珠31的各宽度方向相互一致，因此均以符号X表示它们的宽度方向，在本说明书中有时称为X方向。

分切机14切除包括由拉幅机12的夹子34引起的保持痕迹在内的两侧部。被切除两侧部的薄膜33被送往干燥装置13。

干燥装置13中，薄膜33卷绕在多个辊38上而被传送。干燥装置13内部气氛的温度或湿度等通过未图示的温度调节机调节，在薄膜33被传送期间，溶剂从薄膜33蒸发。

经过干燥装置13的薄膜通过分切机15被切除两侧部，以便例如成为目标产品宽度等。被切除两侧部的薄膜33通过卷取装置16卷取成卷状。通过本发明获得的卷状薄膜33A尤其能够用于相位差膜或偏光板保护膜。

另外，可在干燥装置13的薄膜行走下游侧设置第2拉幅机(未图示)。第2拉幅机为与拉幅机12相同的结构，具有夹子及导管，通过夹子保持薄膜33而向宽度方向延伸。延伸时，通过控制延伸倍率和温度条件等，可获得具有所希望的光学特性的薄膜33。设置第2拉幅机时，优选将分切机15配设于第2拉幅机的下游来切除包括由第2拉幅机的夹子引起的保持痕迹在内的两侧部。

如图2所示，吸引箱26A、26B靠近液珠31而配设于流延膜32的宽度方向X的两端部。吸引箱26A、26B经由支架40安装于模具25。吸引箱26A、26B的传送带对置面形成为相对于传送带23的周面保持平行的平滑面。

如图4所示，配设于液珠31的宽度方向X的一端部的吸引箱26A通过侧板44A、44B堵住由水平板43A、垂直板43B、倾斜板43C构成的三角筒体43的两端，从而形成为三角柱状。水平板43A配设成与传送带23大致平行。并且，倾斜板43C配设成与模具25的前端面平行。

如图3所示，在水平板43A与倾斜板43C之间设置有狭缝状间隙。通过该间隙形成有吸引箱26A的吸引口45。

如图4所示，在吸引箱26A内，两个隔板46、47安装成相对于液珠31的宽度方向X移动自如。以下说明中，将符号46称为第1隔板，将符号47称为第2隔板。第1隔板46及第2隔板47形成为与侧板44A、44B相同形状且稍小于侧板44A、44B，且能够在吸引箱26A内滑动。第1隔板46及第2隔板47上利用导向环51、内螺纹环52安装有第1转动轴53及第2转动轴54。被这些第1隔板46、第2隔板47夹住的吸引箱空间成为吸引室48。第1转动轴53、第2转动轴54通过轴承50旋转自如地安装于侧板44A、44B。

图5中，第1转动轴53仅在其右半部分形成有外螺纹部53A，而左半部分成为导向部53B。外螺纹部53A上螺合有内螺纹环52的内螺纹部52A，导向部53B上嵌合有导向环51的导孔51A。由此，如图4所示，若向顺时针方向转动第1转动轴53，则第1隔板46在X方向上向右移动，若向逆时针方向转动第1转动轴，则第1隔板46向左侧移动。同样地，如图5所示，从背面(垂直板43B)侧观察时，第2转动轴54仅在其左半部分形成有外螺纹部54A，而右半部分成为导向部54B。并且，在外螺纹部54A上螺合有内螺纹环52的内螺纹部52A，导向部54B上嵌合有导向环51的导孔51A，因此通过第2转动轴54的转动，第2隔板47在X方向上向右或向左移动。

如图6所示，通过第1隔板46及第2隔板47的X方向的移动，能够改变吸引口45的X方向上的长度(以下，称为吸引口长度)L1及从液珠31的端部至吸引口45为止的X方向上的偏移量(以下，称为偏移长度)OS。吸引口长度L1例如为10mm以上50mm以下。并且，偏移长度OS例如为5mm以上30mm以下。由此，吸引箱26A、26B能够从液珠31的两端朝向中央部吸引例如10mm以上50mm以下的范围。另外，优选根据浓液30的种类和粘度、液珠31的厚度和宽度、长度等而适当变更偏移长度OS。并且，通过变更吸引口长度L1，能够调节吸引风量，因此例如如日本专利公开2000-79621号公报所示，相对于第1～第3负压区域产生不同的负压，因此无需设置3个鼓风机，能够抑制设备成本。

如图5所示，第2隔板47上通过凸缘部55A安装有吸引管55。吸引管55贯穿位于外侧的侧板44B的贯穿环56，连结于外部的吸引源，例如连结于图4所示的抽吸泵57。

配设于液珠31的宽度方向X的另一端部的吸引箱26B也构成为与吸引箱26A相同。但是，设置于吸引箱26B的第1转动轴53、第2转动轴54和吸引管55在液珠31的宽度方向X的中央部，朝向吸引箱26A的第1转动轴53、第2转动轴54、吸引管55的突出侧的相反侧的外侧突出。

本实施方式中，如图7所示，相对于液珠31，在传送带行走方向Y的上游侧，靠近液珠31的两端部而配置有吸引箱26A、26B。通过这些吸引箱26A、26B，在液珠两端部区BSA，液珠31的两端部被吸引。因此，液珠31与传送带23所接触的流延线BLN与沿传送带行走方向Y以凸状弯曲的以往类型的流延线BLO(图中以双点划线表示)相比，如虚线所示，在超过液珠两端部区BSA的液珠中央部区BCA中成为直线状。因此，不会如图8所示的以往类型的流延线BLO，空气从弯曲成凸状的顶点部区BTA进入，空气不会在流延膜32与传送带23之间成为气泡32A，空气卷入的产生得到抑制。

图8表示俯视观察的以往的流延线BLO。流延线BLO上，液珠105的宽度方向X的中央成为顶点T1，且通过高速制膜成为沿传送带行走方向Y变长的大致圆弧形。因此，空气从弯曲成凸状的顶点部区BTA进入，在传送带23与流延膜106之间沿传送带行走方向Y产生气泡32A。相对于此，本实施方式中，如图7所示，通过液珠两端部区BSA被吸引，流延线BLN如实线所示，在超过液珠两端部区BSA的液珠中央部区BCA中成为直线状。因此，不会如图8所示的以往类型，空气从弯曲成凸状的顶点部区BTA进入而在传送带23与流延膜106之间成为气泡32A，空气卷入的产生得到抑制。因此，流延膜32不会因气泡32A而残留在剥离辊29(参考图1)，不会产生残留引起的流延停止等。

但是，根据薄膜33的薄膜化的要求，需要使传送带23例如以50m/min以上100m/min以下的范围内的高速行走。通过该传送带23的高速行走，传送带23会携带空气，在传送带23的表面产生携带风58。为了排除该携带风58的影响，本实施方式中，如图2所示，在一对吸引箱26A、26B之间配设有挡风块27。挡风块27在液珠31的上游侧遮挡携带风58，因此携带风58不会吹到液珠31。挡风块27经由支架41安装于模具25。

在传送带23与挡风块27之间设置有间隙G(参考图9)，挡风块27不会与行走的传送带23接触。因此，未被完全遮挡的携带风58的下层部分通过传送带23与挡风块27之间的间隙G。

在传送带23的行走速度为30m/min左右的以往的情况下，如图8所示，伴随传送带23的行走的携带风对液珠105带来的影响较少，很少会发展成流延膜106的台阶形不均等面状故障。另一方面，随着薄膜化的要求，若将传送带23的行走速度设为50m/min以上的高速，则随着该高速化，液珠105也变薄，变得易受携带风的影响。以往，通过日本专利公开2004-114328号公报中记载的挡风块来遮挡携带风，但是通过挡风块与传送带23之间的间隙的携带风的下层部分在通过挡风块之后会产生漩涡。通过本发明人的实验确认到该漩涡的产生及漩涡引起的对液珠105赋予的振动等。

因此，如图9所示，在挡风块27的传送带对置面27A上形成有迷宫式密封件59。迷宫式密封件59具有第1密封部61、第2密封部62、及第3密封部63。第1密封部61在Y方向上具有3个密封单元65，所述密封单元具有与X方向平行的齿(板状突起)65A、及在Y方向上与该齿65A相邻且与X方向平行的槽65B。齿65A的高度H1与槽65B的深度相同，优选为1mm以上20mm以下，更优选为3mm以上15mm以下。

优选齿65A的Y方向长度(宽度)L2为1mm以上10mm以下，更优选为1mm以上5mm以下。并且，优选槽65B的Y方向长度(宽度)L31为3mm以上30mm以下，更优选为3mm以上20mm以下。

将第1密封部61中的各密封单元65的排列个数设为3个，但是只要是3个以上即可。另外，密封单元65的排列个数并未特别限定上限，但若从设备效率的观点出发，优选为10个以下，更优选为5个以下。

第2密封部62、第3密封部63也与第1密封部61相同地具有3个密封单元66、67。密封单元66、67具有齿66A、67A及槽66B、67B。各密封单元66、67中，槽66B、67B的宽度L32、L33与第1密封部61的槽宽L31相比，在Y方向上随着朝向液珠31而逐渐变宽，除这一点不同之外为相同结构。

通过将各密封单元65～67的槽65B～67B的宽度及深度、槽65B～67B与齿65A～67A或者齿65A～67A与槽65B～67B的反复次数设为一定范围，能够抑制由从挡风块27的传送带对置面27A与传送带23之间的间隙G进入的携带风58引起的特定频带的气压振动。该见解通过改变迷宫式密封件59的齿65A～67A及槽65B～67B的尺寸和它们在Y方向上的反复次数(排列个数)的各种实验获得。即，进行各种实验获得如下见解：将槽65B～67B的宽度L31～L33及深度H1、槽65B～67B与齿65A～67A或齿65A～67A与槽65B～67B的反复次数设为一定范围，由此可有效抑制特定频带的气压振动。由此，能够通过迷宫式密封件59抑制或截断携带风58的特定频带的气压振动。

若间隙G并非3mm以下，则会导致携带风58不通过间隙G，气压振动的降低效果下降。另外，下限值越接近0mm越优选。但是，若接近0mm，则由于传送带23的厚度误差和第1滚筒21的周面误差等，有可能使挡风块27的传送带对置面27A与传送带23接触。因此，优选下限值为1mm以上。

槽65B、66B、67B的深度H1(齿65A、66A、67A的高度H1)优选为1mm以上20mm以下，更优选为3mm以上15mm以下。若小于1mm，则无法在槽65B～67B内产生风紊流，压力损失不会上升，因此挡风效果会降低。若超过20mm，则变成气压振动的降低效果达到饱和的状态，与加深槽65B～67B而引起的加工负载的增大相比，无法获得更好的效果。

槽65B、66B、67B的宽度L31、L32、L33优选为3mm以上30mm以下，更优选为3mm以上20mm。若小于3mm，则无法在槽65B、66B、67B内产生风紊流，压力损失不会上升，气压振动的降低效果下降。若超过30mm，则变成气压振动的降低效果达到饱和的状态，无法期待更好的效果。并且，加工负载也增大。

优选槽65B、66B、67B的宽度L31、L32、L33结合由携带风58引起的气压振动中的欲截断的频带而决定。例如，通过将槽宽L31、L32、L33设为3mm，能够截断气压振动中的频带为100Hz以上且小于150Hz的气压振动。并且，通过将槽宽L31、L32、L33设为10mm，能够截断气压振动中的频带为50Hz以上且小于100Hz的气压振动。而且，通过将槽宽L31、L32、L33设为20mm，能够截断小于50Hz的气压振动。另外，欲截断的气压振动中的频带与槽宽L31、L32、L33并不限定于上述关系。能够通过改变槽宽L31、L32、L33来改变欲截断的气压振动中的频带。这些关系能够通过形成改变了槽宽以及槽深H1等的齿及槽来进行实验，以此指定有截断效果的频带。

优选齿65A、66A、67A的宽度L2为1mm以上20mm以下。若小于1mm，则变得强度不足，耐久性下降。若超过20mm，则只会使迷宫式密封件59的Y方向长度增加，气压振动的降低效果下降。

另外，迷宫式密封件59的各槽65B～67B的两端部可开放也可封闭。但是，若使其开放，则进入各槽65B～67B的风易从两端部逃出，因此相对于液珠31的挡风效果变得更高。

图10表示具有沿Y方向调换密封单元65～67的齿65A～67A及槽65B～67B的第1密封部71～第3密封部73的第2实施方式的迷宫式密封件69。如此，即使沿Y方向调换齿65A～67A及槽65B～67B，也能够截断特定频带的振动。另外，对于与上述实施方式相同的构成部件，标注相同符号并省略重复说明。可适当改变第1密封部61、71、第2密封部62、72、第3密封部63、73的在传送带行走方向Y上的排列顺序。各槽65B～67B沿与传送带行走方向Y正交的X方向延伸而形成，但槽65B～67B的形成方向只要与传送带行走方向Y交叉即可，交叉角度并不限定于直角。图10中，对设置有迷宫式密封件69的挡风块标注符号70。

图11表示比第1实施方式的迷宫式密封件59中的槽更浅地形成迷宫式密封件74的各槽75B～77B的另一实施方式的挡风块78的第1密封部81～第3密封部83。第1密封部81～第3密封部83具有在Y方向上连续形成的3个密封单元75～77。图11中，对密封单元75、76、77的各齿标注符号75A、76A、77A。即使各槽75B～77B的深度H1比第1实施方式浅，也能够截断特定频带的振动。

上述各实施方式中，基于吸引箱26A、26B的吸引压力BP为-300Pa以上-150Pa以下，优选为-1000Pa以上-500Pa以下。流延装置11具备容纳模具25、第1滚筒21、第2滚筒22、传送带23等的腔室(未图示)。基于吸引箱26A、26B的吸引压力BP为在该腔室内将吸引箱26A、26B的上方附近的压力作为基准的值，但也可以是将模具25的上方附近的压力作为基准的值。若超过-150Pa，则无法充分进行携带风58的引导。并且，若小于-3000Pa，则液珠本身也由于负压而变形，导致面状恶化。

上述各实施方式中，相对于模具25在传送带行走方向Y的上游侧设置有挡风块27、70、78，但是还可以进一步在挡风块27、70、78的上游侧设置减压腔室。减压腔室吸引挡风块27、70、78的上游侧区的空气来对该区内进行减压，抑制携带风58进入液珠31。优选基于该减压腔室的吸引压力小于吸引箱26A、26B的吸引压力。即，优选减压腔室内的压力大于吸引箱26A、26B的各个内部的压力。并且，可使用减压腔室来代替挡风块27、70、78。

上述实施方式的吸引箱26A、26B利用第1转动轴53、第2转动轴54这两个转动轴分别移动第1隔板46、第2隔板47。但是，如图12所示，也可以设为利用一个转动轴90及一个导向轴91移动第1隔板46、第2隔板47的吸引箱89来代替上述方式。转动轴90经由轴承50转动自如地安装于吸引箱89的两侧板44A、44B。导向轴91通过固定环94固定于两侧板44A、44B。另外，对于与上述实施方式相同的构成部件标注相同符号并省略重复说明。

转动轴90经由内螺纹环92、93贯穿一对隔板即第1隔板46、第2隔板47而被安装。转动轴90从中央朝向两端部具有相互反方向的外螺纹部90A、90B。一个内螺纹环92具有与外螺纹部90A螺合的内螺纹部92A，另一个内螺纹环93具有与外螺纹部90B螺合的内螺纹部93A。导向轴91经由导向环51贯穿一对隔板即第1隔板46、第2隔板47而被安装。导向环51具有滑动自如地保持导向轴91的导孔51A。

通过使转动轴90向一侧旋转，一对隔板即第1隔板46、第2隔板47经由内螺纹环92、93而靠近，通过向另一侧旋转，第1隔板46、第2隔板47分离。由此能够改变吸引室48的宽度。因此，浓液30的粘度或液珠31的厚度发生变化时，能够通过转动转动轴90来将吸引箱89的吸引口45的宽度设为最佳。通过改变吸引口45的宽度，不改变鼓风机的负压就能够调节吸引风量。另外，使第1隔板46、第2隔板47平行移动的机构不限于上述机构，可以使用各种机构。并且，隔板不限于一对，也可设置3个以上。此时，将各隔板分别设置成沿液珠31的宽度方向X移动自如，并将在吸引箱内被各隔板隔开的吸引室设置为两个以上，由此能够更仔细地设定吸引风量和吸引区。

上述实施方式中，将吸引管55设置于第2隔板47，但如图12所示，也可以将吸引管95设置于构成吸引箱89的垂直板43B来代替上述方式。并且，虽省略图示，但可将吸引管95设置于构成吸引箱89的倾斜板43C。

另外，虽省略图示，但可使用位移机构将吸引箱26A、26B、89安装成沿液珠31的宽度方向移动自如。此时，能够根据浓液30的粘度等对液珠31的两端部的吸引区进行微调。并且，当液珠31的宽度发生变化时也能够轻松应对。

上述实施方式中，将挡风块27配置于吸引箱26A、26B之间，但如图13所示，可代替上述方式将挡风板96设为比流延膜32(参考图2)长，例如设为与模具25的X方向长度相同。在该挡风板96的传送带对置面96A的例如整个面上沿X方向较长地形成有迷宫式密封件59。并且，在挡风板96的上表面的X方向的两端部配设吸引箱26A、26B。此时，能够通过迷宫式密封件59减少来自吸引箱26A、26B与传送带23之间的间隙的携带风58的气压振动。并且，可在第1实施方式的吸引箱26A、26B的传送带对置面形成与挡风块27相同的迷宫式密封件59，以此代替挡风板96与吸引箱26A、26B的一体类型。

上述例子中，携带风是伴随行走的传送带23的流延有浓液30的一侧表面(传送带面)的携带风，但并不限于此。即，携带风只要是伴随行走的行走体的表面的携带风即可。因此，上述迷宫式密封件59、69、74也可设置于靠近与传送带23不同的行走体的表面而配设的挡风部件。作为行走体，有代替传送带23用作支承体且向周向旋转的滚筒。并且，作为行走体的另一例，有在通过涂布制造多层结构的薄膜时在表面涂布涂布液来形成涂膜的长形物(网)。

本发明的溶液制膜设备中，优选作为产品的薄膜33的宽度为600mm以上，更优选为1400mm以上2500mm以下。另外，薄膜33的宽度大于2500mm时也有效。并且，优选薄膜33的膜厚为10μm以上80μm以下，更优选为10μm以上40μm以下。成为薄膜33的原料的聚合物并没有特别限定，例如有纤维素酰化物或环状聚烯烃等。

本发明中用于纤维素酰化物的酰基可以只有一种，或者也可以使用2种以上的酰基。使用2种以上的酰基时，优选其中之一为乙酰基。优选通过羧酸对纤维素的羟基进行酯化的比例，即酰基的取代度满足下述所有公式(I)～(III)。另外，以下公式(I)～(III)中，A及B表示酰基的取代度，A为乙酰基的取代度，并且B为碳原子数为3～22的酰基的取代度。并且，优选三醋酸纤维素(TAC)的90质量％以上为0.1mm以上4mm以下的颗粒。

(I)2.0≤A+B≤3.0

(II)1.0≤A≤3.0

(III)0≤B≤2.9

更优选酰基的总取代度A+B为2.20以上2.90以下，尤其优选为2.40以上2.88以下。并且，更优选碳原子数为3～22的酰基的取代度B为0.30以上，尤其优选为0.5以上。

对于纤维素酰化物的详细内容，记载于日本专利公开2005-104148号的[0140]段至[0195]段。这些记载也能够适用于本发明。并且，对于溶剂及可塑剂、劣化防止剂、紫外线吸收剂(UV剂)、光学各向异性控制剂、延迟控制剂、染料、消光剂、剥离剂、剥离促进剂等添加剂，也同样详细记载于日本专利公开2005-104148号的[0196]段落至[0516]段落。

[实施例]

进行示出齿65A、66A、67A的高度(槽深)H1；齿65A、66A、67A的宽度L2；槽65B、66B、67B的宽度L31～L33；间隙(clearance)G；及能够截断的气压振动之间的关系的实验。表1是表示实验结果的一览表。实验1中，将槽深H1设为3mm，将齿宽L2设为1mm，将槽宽L31设为3mm，将槽宽L32设为10mm，将槽宽L33设为20mm，并将单元个数设为3个时，针对0Hz以上且小于50Hz、50Hz以上且小于100Hz、及100Hz以上且小于150Hz的气压振动的频带，求出所截断的频率峰值。所截断的频率峰值以与不具备迷宫式密封件的实验5中截断的频率峰值0.8Pa的比较来表示，实验1中所截断的频率峰值为0.4Pa。实验2与实验1相比改变了槽深H1，由此测定槽深H1对截断效果带来的影响。实验3、4与实验1相比改变了单元个数，由此测定单元个数较少时(实验3)及单元个数较多时(实验4)对截断效果带来的影响。另外，通过如下来获得能够截断的频带及频率峰值，即，通过将气压振动捡拾器及放大器连接于FFT分析器(Rion公司制SA-01)，以不在模具25附近的流延宽度左右及中央部共3处流延的状态下脱机运行状态进行实测。另外，表1的“槽”的“宽度L3”栏中，密封部编号“1”栏表示槽宽L31，密封部编号“2”栏表示槽宽L32，密封部编号“3”栏表示槽宽L33。

[表1]

表1的实验1中，所截断的频率峰值为0.4Pa，可知具有携带风58的截断效果。相对于此，在从实验1的3mm的槽深H1成为10mm的槽深H1的实验2中，所截断的频率峰值为0.1Pa，可知截断效果最高。并且，在将单元个数从实验1的“3”变更为“2”的实验3中，所截断的频率峰值为0.6Pa，截断效果低于实验1。而且，在将单元个数设为“5”的实验4中，所截断的频率峰值为0.4，与单元个数为3时相同。因此，可知单元个数优选为3个以上5个以下。并且，在没有迷宫式密封件的实验5中，所截断的频率峰值为0.8Pa，可知没有截断效果。

为了确认基于吸引箱26A、26B的效果而进行了实验。将该结果示于表2。

[表2]

实验11～13中，使用图2～图4所示的吸引箱26A、26B，在传送带行走方向Y的上游侧吸引液珠31的两端部，如图7所示，实现流延线BLN的直线化。并且，使用挡风块27排除携带风58引起的液珠31的振动的影响。通过图1所示的溶液制膜设备10，在传送带23上形成流延膜32之后，剥下该流延膜32作为薄膜33，经过拉幅机12、干燥装置13制造薄膜33，并将薄膜33卷取成卷状。薄膜33由TAC构成，实验11中将宽度设为200mm，实验12中设为400mm，实验13中设为800mm，各实验11～13中将厚度设为10μm、30μm、60μm。

实验14中，去掉了实验11的吸引箱26A、26B及挡风块27，除此以外，以与实验11相同的条件制造了薄膜33。

实验15中，设置了图1中以双点划线表示的减压腔室35来代替实验11的吸引箱26A、26B及挡风块27，除此以外，以与实验11相同的条件制造了薄膜33。

如从表2明确可知，实验11～13中，未发生空气卷入，也未产生台阶形不均。相对于此，实验14中虽未产生台阶形不均，但发生了空气卷入。并且，实验15中虽未发生空气卷入，但产生了台阶形不均。

另外，表2中，未发生空气卷入时，将空气卷入的发生评价为“A”，将发生空气卷入时评价为“B”。并且，在未产生台阶形不均时，将台阶形不均产生评价为“A”，在产生台阶形不均时，评价为“B”。

关于空气卷入，通过高速摄像机拍摄包含流延线的流延膜32，将该已拍摄的图像放大至5～15倍并显示于显示器。即使卷入有很少的空气，也判定为B，未卷入有空气时视作具有气泡抑制效果，判定为A。另外，空气卷入通过对显示器的目视确认来进行。但是，还能够对显示于显示器的图像进行图像处理并通过图案识别等来自动识别空气的卷入，从而进行判定。

对于台阶形不均，以规定尺寸对所获得的薄膜进行采样，将所采样的薄膜载置于透明薄膜放置台，利用距离薄膜上方1500mm～2000mm的点光源(USHIO制氙气灯)对薄膜进行照明，将透过薄膜及薄膜放置台的光投影到观察台上，评价从观察台的投射光能否目视观察到台阶形不均。通过目视评价确认到台阶形不均时判定为B，未确认到台阶形不均时判定为A。另外，在相对于观察台以45°以上60°以下的范围内倾斜薄膜放置台的状态下进行了评价。

从以上结果可知，能够获得台阶形不均的改善效果及气泡的抑制效果。并且，根据这些结果可推测，在实际制造条件下，即，将宽度例如设为1400mm以上2500mm以下或超过该范围，将厚度设为10μm以上60μm以下时，也能够获得相同效果。

Claims (9)

1.一种迷宫式密封件，其靠近行走的行走体的表面而配设，并且设置于遮挡所述表面所携带的携带风的挡风部件，所述迷宫式密封件具备：

第1密封部，形成于所述挡风部件的与所述表面对置的面，并具有第1槽，所述第1槽沿与所述行走体的行走方向交叉的方向较长地形成，所述第1槽在所述行走方向上分开排列有3个以上；及

第2密封部，具有槽宽或槽深与所述第1槽不同的第2槽，所述第2槽在所述行走方向上分开排列有3个以上，其中所述槽宽及槽深结合基于所述携带风的气压振动的频带而决定。

2.根据权利要求1所述的迷宫式密封件，其中，

所述迷宫式密封件还具备第3密封部，其与所述第2密封部相邻，所述第3密封部具有槽宽或槽深与所述第1槽及所述第2槽不同的第3槽，所述第3槽在所述行走方向上分开排列有3个以上。

3.一种流延装置，其具备：

行走的支承体；

模具，从吐出口朝向所述支承体吐出浓液，所述模具在其与所述支承体之间形成液珠并且在所述支承体的表面上形成流延膜；

挡风部件，遮挡所述支承体的行走引起的携带风，所述挡风部件在比所述液珠更靠所述支承体行走方向的上游侧的位置靠近所述支承体的表面且沿着所述液珠而配设；及

迷宫式密封件，配设于所述挡风部件的朝向所述支承体的对置面，所述迷宫式密封件具有第1密封部及第2密封部，所述第1密封部形成于所述对置面并具有第1槽，所述第1槽沿与所述行走方向交叉的方向较长地形成，所述第1槽在所述行走方向上分开排列有3个以上，所述第2密封部具有槽宽或槽深与所述第1槽不同的第2槽，所述第2槽在所述行走方向上分开排列有3个以上，其中所述槽宽及槽深结合基于所述携带风的气压振动的频带而决定。

4.根据权利要求3所述的流延装置，其中，

所述迷宫式密封件具有与所述第2密封部相邻的第3密封部，所述第3密封部具有槽宽或槽深与所述第1槽及第2槽不同的第3槽，所述第3槽在所述行走方向上分开排列有3个以上。

5.根据权利要求3或4所述的流延装置，其中，

所述槽宽为3mm以上30mm以下，所述槽深为1mm以上20mm以下。

6.一种溶液制膜设备，其具备：

行走的支承体；

模具，从吐出口朝向所述支承体吐出浓液，所述模具在其与所述支承体之间形成液珠并且在所述支承体的表面上形成流延膜；

挡风部件，遮挡所述支承体的行走引起的携带风，所述挡风部件在比所述液珠更靠所述支承体行走方向的上游侧的位置靠近所述支承体的表面且沿着所述液珠而配设；

迷宫式密封件，配设于所述挡风部件的朝向所述支承体的对置面，所述迷宫式密封件具有第1密封部及第2密封部，所述第1密封部形成于所述对置面并具有第1槽，所述第1槽沿与所述行走方向交叉的方向较长地形成，所述第1槽在所述行走方向上分开排列有3个以上，所述第2密封部具有槽宽或槽深与所述第1槽不同的第2槽，所述第2槽在所述行走方向上分开排列有3个以上，其中所述槽宽及槽深结合基于所述携带风的气压振动的频带而决定；及

干燥装置，从所述支承体剥下所述流延膜并进行干燥。

7.根据权利要求6所述的溶液制膜设备，其中，

所述迷宫式密封件具有与所述第2密封部相邻的第3密封部，所述第3密封部具有槽宽或槽深与所述第1槽及第2槽不同的第3槽，所述第3槽在所述行走方向上分开排列有3个以上。

8.根据权利要求6或7所述的溶液制膜设备，其中，

所述槽宽为3mm以上30mm以下，所述槽深为1mm以上20mm以下。

9.一种溶液制膜方法，其具备如下步骤：

使用流延装置形成流延膜的步骤，所述流延装置具有支承体、模具、挡风部件及迷宫式密封件，所述模具从吐出口朝向行走的所述支承体吐出浓液，所述模具在其与所述支承体之间形成液珠并且在所述支承体的表面上形成流延膜，所述挡风部件遮挡所述支承体的行走引起的携带风，所述挡风部件在比所述液珠更靠所述支承体行走方向的上游侧的位置靠近所述支承体的表面且沿着所述液珠而配设，所述迷宫式密封件配设于所述挡风部件的朝向所述支承体的对置面，所述迷宫式密封件具有第1密封部及第2密封部，所述第1密封部形成于所述对置面并具有第1槽，所述第1槽沿与所述行走方向交叉的方向较长地形成，所述第1槽在所述行走方向上分开排列有3个以上，所述第2密封部具有槽宽或槽深与所述第1槽不同的第2槽，所述第2槽在所述行走方向上分开排列有3个以上，其中所述槽宽及槽深结合基于所述携带风的气压振动的频带而决定；及

从所述支承体剥下所述流延膜并进行干燥的步骤。