JP5540032B2 - ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法 - Google Patents
ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5540032B2 JP5540032B2 JP2012047868A JP2012047868A JP5540032B2 JP 5540032 B2 JP5540032 B2 JP 5540032B2 JP 2012047868 A JP2012047868 A JP 2012047868A JP 2012047868 A JP2012047868 A JP 2012047868A JP 5540032 B2 JP5540032 B2 JP 5540032B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casting
- cleaning
- gas
- cleaned
- labyrinth seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/44—Compression means for making articles of indefinite length
- B29C43/46—Rollers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Moulding By Coating Moulds (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Description
特許文献1に記載される洗浄装置を用いて、周面21aを洗浄した。すなわち、ラビリンスシール76,77に代えて、孔101〜104が形成されていないラビリンスシールを用いた。ラビリンスシールには、集合管111、管82を設けていない。吸引は、ケーシング本体の周面21aに対向して設けた開放口からのみである。したがって、表1のD2、L1、第2通過路の数、管82の数の各欄には「−」と記載する。
ラビリンスシール76,77に代えて、特許文献2の図4に記載される空気流除去部を用い、この空気流除去部をドラム21の回転方向におけるノズル55の上流側に配した。空気流除去部のラビリンス構造の溝の数は3つであり、吸引は、ラビリンス構造に関してノズル55とは反対側で実施した。ドラム21の回転方向におけるラビリンス構造の上流側にある3つのスリットには、それぞれ吸引機構を設けた。吸引するスリットの開口は、ドラム21の周面21aの幅方向に細長い矩形のスリット状である。
11 流延装置
21 ドラム 21a 周面
36 流延膜
41 フィルム
51 洗浄機
64 ケーシング本体
71 排気部
76,77 ラビリンスシール
85〜88 フィン
91〜93 溝
101〜104 孔
Claims (6)
- 互いに離間して略平行に設けられる複数のシールフィンを備え、
気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が前記複数のシールフィンの間の溝に開口し、気体を吸引する吸引手段が前記孔の他端に接続され、
前記孔が前記溝の長手方向に複数形成されていることを特徴とするラビリンスシール。 - ドライアイス粒子を噴出して被洗浄物の表面に当てることにより、被洗浄物の表面を洗浄する洗浄手段と、
前記ドライアイス粒子が当てられる前記被洗浄物の表面を覆うケーシングと、
前記ケーシングの前記被洗浄物に対向する対向部に設けられ、複数のシールフィンが互いに離間して略平行に設けられ、気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が前記複数のシールフィンの間の溝に開口し、前記孔の他端が前記ケーシングの内部に接続し、前記孔が前記溝の長手方向に複数形成されているラビリンスシールと、
前記ケーシングの内部の気体を吸引することにより、前記被洗浄物の表面から脱離した汚染物を回収し、前記孔を通じて前記シールフィンの周辺の気体を吸引する吸引手段とを備えることを特徴とする洗浄装置。 - 前記被洗浄物は、溶液製膜のドープの流延と流延により形成された流延膜の剥ぎ取りとが繰り返し為される無端の流延支持体であり、
前記流延膜が剥がされる剥取位置から前記ドープが流延される流延位置へ向かう前記流延支持体の表面に対向して設けられ、前記溝の長手方向を前記流延支持体の幅方向と略一致させたことを特徴とする請求項2記載の洗浄装置。 - 前記ラビリンスシールは、前記流延支持体の表面の移動方向における前記洗浄手段の上流と下流との少なくともいずれか一方に配されることを特徴とする請求項3記載の洗浄装置。
- ドライアイス粒子を被洗浄物の表面に当てて被洗浄物の表面を洗浄し、
前記洗浄中に、前記ドライアイス粒子が当てられる前記被洗浄物の表面を覆うように設けたケーシングの内部の気体を吸引することにより、前記被洗浄物の表面から脱離した汚染物を回収するとともに、
気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が互いに離間して略平行に配された複数のシールフィンの間の溝に開口するとともに前記孔の他端が前記ケーシングの内部に接続し、前記孔が前記溝の長手方向に複数形成されており、前記ケーシングの前記被洗浄物に対向する対向部に設けられたラビリンスシールの前記孔を通じて、前記複数のシールフィンの周辺の気体を吸引することを特徴とする洗浄方法。 - 長手方向に移動する無端の流延支持体の上に、ポリマーと溶媒とが含まれるドープを流延する流延工程と、
前記流延工程により形成された流延膜を前記流延支持体から剥ぎ取る剥取工程と、
前記剥取工程により剥ぎ取られた流延膜を乾燥してフィルムとする乾燥工程と、
前記流延膜が剥ぎ取られる剥取位置から前記ドープが流延される流延位置に向かう前記流延支持体の前記ドープが流延される表面にドライアイス粒子を当てて前記表面を洗浄する洗浄工程とを有し、
前記洗浄中に、前記ドライアイス粒子が当てられる前記流延支持体の表面を覆うように設けたケーシングの内部の気体を吸引することにより、前記表面から脱離した汚染物を回収するとともに、
気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が互いに離間して略平行に配された複数のシールフィンの間の溝に開口するとともに前記孔の他端が前記ケーシングの内部に接続し、前記孔が前記溝の長手方向に複数形成されており、前記ケーシングの前記被洗浄物に対向する対向部に設けられたラビリンスシールの前記孔を通じて、前記複数のシールフィンの周辺の気体を吸引することを特徴とする溶液製膜方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012047868A JP5540032B2 (ja) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法 |
KR1020130013761A KR101999406B1 (ko) | 2012-03-05 | 2013-02-07 | 래비린스 씰, 세정유닛 및 방법, 용액제막방법 |
TW102106413A TWI599465B (zh) | 2012-03-05 | 2013-02-23 | 迷宮式密封件、清洗單元及方法、溶液製膜方法 |
CN201310060701.XA CN103307285B (zh) | 2012-03-05 | 2013-02-26 | 迷宫式密封件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012047868A JP5540032B2 (ja) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013181648A JP2013181648A (ja) | 2013-09-12 |
JP5540032B2 true JP5540032B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=49132830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012047868A Expired - Fee Related JP5540032B2 (ja) | 2012-03-05 | 2012-03-05 | ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5540032B2 (ja) |
KR (1) | KR101999406B1 (ja) |
CN (1) | CN103307285B (ja) |
TW (1) | TWI599465B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6008452B2 (ja) * | 2014-03-04 | 2016-10-19 | 富士フイルム株式会社 | ラビリンスシール、流延装置、溶液製膜設備及び方法 |
KR101982158B1 (ko) * | 2015-09-25 | 2019-05-24 | 주식회사 엘지화학 | 필름의 표면 처리 장치 및 시스템 |
JP6389988B2 (ja) * | 2016-06-14 | 2018-09-19 | 株式会社新川 | 異物除去装置 |
DE102019207167B3 (de) * | 2019-05-16 | 2020-09-10 | Glatt Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung | Trennvorrichtung |
JP7287271B2 (ja) * | 2019-12-26 | 2023-06-06 | 株式会社Sumco | ワークの洗浄装置および洗浄方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4721313A (en) * | 1986-09-12 | 1988-01-26 | Atlas Copco Comptec, Inc. | Anti-erosion labyrinth seal |
JP2775454B2 (ja) * | 1989-02-14 | 1998-07-16 | キヤノン株式会社 | 真空用エアーベアリング |
JP2005104148A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-04-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | セルロースアシレートフィルム及び溶液製膜方法 |
JP4889335B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2012-03-07 | 富士フイルム株式会社 | 溶液製膜方法 |
JP2008273178A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-11-13 | Fujifilm Corp | 溶液製膜設備及び方法 |
JP2009066982A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Fujifilm Corp | 溶液製膜方法及び洗浄装置 |
JP4915812B2 (ja) * | 2007-09-26 | 2012-04-11 | 富士フイルム株式会社 | 溶液製膜方法及び洗浄装置 |
JP5022270B2 (ja) * | 2008-03-03 | 2012-09-12 | 富士フイルム株式会社 | 流延装置、溶液製膜方法及び溶液製膜設備 |
JP5510785B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2014-06-04 | 大日本印刷株式会社 | 塗布装置および塗布方法 |
-
2012
- 2012-03-05 JP JP2012047868A patent/JP5540032B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-02-07 KR KR1020130013761A patent/KR101999406B1/ko active IP Right Grant
- 2013-02-23 TW TW102106413A patent/TWI599465B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-02-26 CN CN201310060701.XA patent/CN103307285B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103307285A (zh) | 2013-09-18 |
CN103307285B (zh) | 2017-05-10 |
KR20130101454A (ko) | 2013-09-13 |
TW201336658A (zh) | 2013-09-16 |
JP2013181648A (ja) | 2013-09-12 |
KR101999406B1 (ko) | 2019-07-11 |
TWI599465B (zh) | 2017-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5540032B2 (ja) | ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法 | |
JP3432819B1 (ja) | 液体吹付付与装置、それを使用した液体の吹き付け付与方法、及び薬液 | |
US7323056B2 (en) | Coating apparatus | |
JP5634927B2 (ja) | フィルム裁断装置及び方法、フィルム製造方法 | |
WO2017034978A1 (en) | Methods of processing a glass web | |
JPH09141553A (ja) | ワイヤからコーティングを剥離する装置及びその方法 | |
EP3337771A1 (en) | Methods and apparatus for processing glass | |
WO2017034975A1 (en) | Methods and apparatus for processing glass | |
KR970706915A (ko) | 흡입에 의한 고압 젯트 스트립핑 장치(high pressure jet stripping system with sugtion) | |
JP5587158B2 (ja) | ノズル及び乾燥装置 | |
KR20100113551A (ko) | 레이저 스코링 후 유체 제거 장치 및 방법 | |
TW201534451A (zh) | 迷宮式密封件、流延裝置、溶液製膜設備及方法 | |
TWI675735B (zh) | 溶液製膜方法 | |
KR101728896B1 (ko) | 에어나이프 | |
JP2008057853A (ja) | 液体除去方法および液体除去用エアーナイフ装置 | |
KR20170110508A (ko) | 용액 제막 장치 및 방법 | |
KR102175562B1 (ko) | 디스크-유사 물체의 표면으로부터 액체를 제거하기 위한 디바이스 및 방법 | |
KR20160076398A (ko) | 코팅롤 표면 청소장치 | |
CN107846969B (zh) | 用于干燥滤嘴棒的方法 | |
TW201534450A (zh) | 流延裝置、溶液製膜設備及方法 | |
JP2010100188A (ja) | エアブロー装置 | |
JP2006289348A (ja) | シート状物の洗浄装置及びシート状物の洗浄方法 | |
JP4639705B2 (ja) | 減圧式ウエブテンションダイコート装置 | |
JP2000167909A (ja) | フィルムの製造装置 | |
JPS5971828A (ja) | 冷却装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130808 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5540032 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140501 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |