KR970706915A - 흡입에 의한 고압 젯트 스트립핑 장치(high pressure jet stripping system with sugtion) - Google Patents
흡입에 의한 고압 젯트 스트립핑 장치(high pressure jet stripping system with sugtion)Info
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- B08B2203/0229—Suction chambers for aspirating the sprayed liquid
Abstract
노즐 및 노즐주위 원주방향으로 놓인 적어도 하나의 브러시를 갖는 엔드 -에팩터 및 노즐과 브러시 사이에 전공을 만들기 위한 진공 장치를 가지는 스트립핑 장치는 기판의 플래시 러스팅(liash rusting)을 막기위해 완전 유출물 회수를 갖고 기판에서 물질을 제거할 수 있다, 상기 노즐은 오리피스에 대해 원하는 액체압 및 액체량을 유지하기에 충분히 큰 플리넘 챔버, 오리피스에 다다름에 있어서 층류 유동으로 액체가 흐르도록 하는 충분한 길이를 갖는 구멍, 및 액체가 기판을 때릴 때 평평한 에너지 곡선을 만들도록 노즐 면상에 크기와 방향이 결정되는 오리피스를 갖는다. 상기 브러시는 메이크-업 공기를 진공내로 향하도록 충분한 터프트 밀도 및 강모 강도를 가지며 한편 유출물의 탈출을 막는다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 엔드-에팩터의 일 실시예를 도시한 사시도, 제2도는 제1도의 엔드-에팩터의 정면도 제3도는 본 발명에 따른 노즐의 일 실시예로 일부가 절단된 측면도, 제4도는 제3도의 노즐 정면도, 제5도는 제4도의 노즐의 일부가 절단된 측면도 제6도는 기판 표면을 가로지르는 종래기술의 회전 노즐의 입사 에너지를 도시한 도면 제7도는 정연한 에너지 곡선을 나타내는 노즐에 대해 개개의 오리피스 세기분포를 도시하는 스펙트럼양을 도시하는 도면 제8도는 제7도의 노즐에 관한 것으로 노즐이 회전하고 및 가로지를 때 입사 에너지를 도시한 도면 제9도는 본 발명에 따른 스트립핑 장치 하나의 사용 실시예를 도시한 도면.
Claims (16)
- 표면으로부터 물질을 제거하기 위한 스트립핑 장치에 있어서, 노즐과, 상기 노즐로부터 충부한 거리에서 진공을 형성하도록 상기 노즐주위 원주방향으로 놓인 적어도 하나의 브러시를 가지는 엔드-에팩터와, 상기 노즐에 연결된 액체 서플라이, 및 유출물을 회수하도록 상기 노즐주위로 충분한 진공을 형성할 수 있는 상기 엔드-에팩터에 연결된 진공 장치를 포함하는 스트립핑 장치로서, 상기 브러시는 적어도 하나의 강모의 터프트에 배치된 강모와 엔드-에팩터로부터 유출물의 누출을 막기에 충분한 터프트 밀도를 가지며, 상기 브러시는 배향되며 상기 진공은 상기 노즐사이에 형성되며 실제적으로 상기 브러시는 표면으로부터 유출물을 완벽히 회수하기에 충분한 스트립핑 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 터프트가 교차된 열로 배치된 스트립핑 장치
- 제1항에 있어서, 상기 노즐이 a, 적어도 하나의 오리피스와 b, 유지압 및 상기 오리피스에 균일한 액체서플라이를 위한 플리넘 챕버와 c, 각 오리피스를 상기 플리넘 챔버에 연결하는 구멍 여기서 상기 구멍은 액체가 상기 오리피스에 다다르기까지 층류 유동 패턴을 갖기 위해 상기 플리넘 챔버에서 오리피스로 흐르도록 하는 충분한 거리를 갖는 스트립핑 장치.
- 제3항에 있어서, 상기 구멍이 원뿔형 또는 원통형 형상인 벽을 갖는 스트립형 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 벽이 상기 플리넘 챔버로부터 상기 오리피스로 약 25°의 각도로 수렴하는 스트립핑 장치.
- 제3항에 있어서 상기 구멍의 길이 대 직경 비가 약 4: 1 내지 약 20: 1 스트립핑 장치.
- 제3항에 있어서 상기 오피스는 표면과 접하는 액체의 평평한 에너지 분포를 만들도록 크기 및 방향이 정해지는 스트립핑 장치.
- 제3항에 있어서 상기 플리넘 챔버(11)의 체적은 충분하여 원하는 압력과 각 오리피스로의 충분한 액체공급을 유지하며 챔버(11)의 크기는 충분하여 액체 경로내에 굴곡이 상기 플리넘 챔버로부터 각 오리피스까지 직접 경로를 형성하는 스트립핑 장치.
- 노즐에 있어서 a, 적어도 하나의 오리피스와, b, 유지압 및 상기 오리피스에 균일한 액체 서플라이를 위한 플리넘 챔버와 c, 각 오리피스를 상기 플리넘 챔버에 연결하는 구멍을 포함하며; 상기 구멍은 액체가 상기 오리피스에 다다르기까지 층류 유동 패턴을 갖기 위해 상기 플리넘챔버에서 오리피스로 흐르도록하는 충분한 거리를 갖는 노즐.
- 제9항에 있어서, 상기 구멍이 원뿔형 또는 원통형 형상인 벽을 갖는 노즐
- 제10항에 있어서, 상기 벽이 상기 프리넘 챔버로부터 상기 오리피스로 약 25°의 각도로 수렴하는 노즐.
- 제9항에 있어서, 상기 구멍의 길이 대 직경 비가 약 4 ;1 내지 약 20 ;1 인 노즐.
- 제9항에 있어서, 상기 오리피스는 표면과 접하는 액체의 평평한 에너지 분포를 만들도록 크기 및 방향이 정해지는 노즐.
- 제9항에 있어서, 상기 플리넘 챔버(11)의 체적은 충분하여 원하는 압력과 각 오리피스로의 충분한 액체공급을 유지하며, 챔버(11)의 크기는 충분하여 액체 경로내에 굴곡이 상기 플리넘 챔버로부터 각 오리피스까지 직접 경로를 형성하는 노즐 .
- 표면으로부터 물질을 스트립핑하기 위한 방법에 있어서 ,a,노즐과 상기 노즐주위 원주방향으로 놓인 적어도 하나의 브러시 사이에 진공을 만드는 단계와, b, 상기 브러시와 상기 표면사이에 접촉을 유지하는 단계와, c, 액체를 표면상에 분사해 물질을 제거하는 노즐에 액체를 서플라이하는 단계와, d, 실제적으로 모든 분사된 액체 및 제거된 물질을 회수하는 단계를 포함하는 스트립핑 방법.
- 제15항에 있어서, 액체가 상기 노즐을 빠져나가기 전에 층류 유동 패턴을 지향하는 것을 더 포함하는 스트립핑 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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