KR20100113551A

KR20100113551A - 레이저 스코링 후 유체 제거 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20100113551A
Application number: KR1020107017555A
Authority: KR
Inventors: 아나톨리 에이 아브라모프; 웨이웨이 루오; 패트릭 에이 팍스; 라시드 에이 라만; 나이유 저우
Original assignee: 코닝 인코포레이티드
Priority date: 2008-01-15
Filing date: 2009-01-09
Publication date: 2010-10-21
Also published as: CN101970364B; JP2011509911A; US20090178298A1; TWI389858B; TW200948731A; JP5576295B2; CN101970364A; WO2009091510A1; KR101487050B1

Abstract

레이저 스코링 동안 기판(50)의 표면을 건조하기 위한 장치가 제공된다. 레이저 스코링 공정 동안, 좁은 냉각액 제트(100)는 레이저 빔(200)이 부분적인 벤트를 생성 및 전파하게 한다. 스코링의 정밀도 및 공정의 전체 안정성은 레이저 빔의 정렬의 정확도 및 유체 스트림에 달려 있다. 한 형태에 있어서, 장치는 적어도 하나의 노즐 오리피스(320)와 소통하는 적어도 하나의 내부 챔버(310)를 갖는 도관을 갖춘다. 도관은 내부 챔버 내로 압축가스를 도입하기 위해 압축가스원과 소통되도록 구성된다. 압축가스는 기판의 표면으로부터 냉각유체를 세정하기 위해 사용된 가스의 커튼(110)을 형성한다.

Description

레이저 스코링 후 유체 제거 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR FLUID REMOVAL AFTER LASER SCORING}

본 출원은 2008년 1월 15일 출원된 미국특허출원 제12/008892호에 대한 이점 및 우선권을 청구하며, 그 내용들은 참조에 의해 여기에 반영된다.

본 발명은 글래스 구조의 레이저 스코링에 관한 것으로, 특히 레이저 스코링 후 냉각액의 제거를 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.

LCD 글래스의 제조에 있어서는 글래스 구조를 절단할 필요가 있다. 기계적인 스크라이빙(scribing) 및 브레이킹(breaking)에 의한 기존의 글래스 분리에 있어서는, 만약 에지(edge)가 좀더 처리되지 않을 경우 매크로크랙(macrocrack)으로 발전할 수 있는 마이크로크랙(microcrack)이 에지를 따라 형성된다. 글래스 구조의 표면을 스코어(score)하기 위한 레이저의 사용은 마이크로크랙킹을 피할 수 있게 하여 레이저 스코어된 에지의 품질을 향상시킨다. 이는 레이저-절단 취성재료(brittle material)의 에지 강도를 기존의 방법에 의해 얻어진 것보다 30% 상승시킬 것이다. 또한, 그 레이저-절단 취성재료의 밴딩 강도는 100%까지 향상될 수 있다.

동작에 있어서, 열 유도식 레이저 분리는 파티클을 생성하지 않는 비접촉 방법이며, 레이저를 글래스에 비례적으로 향하게 하는 유연성으로 인해 가상의 절단 윤곽의 생성을 가능하게 한다. 통상, 글래스 표면의 영역은 적외선 스펙트럼 범위의 CO₂ 레이저 작업에 의해 가열된다. 그 레이저 빔은 글래스를 따라 이동하고, 이후 그 레이저에 노출된 글래스 표면은 최적 거리에서 냉각된다. 한 형태에 있어서, 그 "가열된" 절단 라인을 따라 로컬 표면이 갑자기 냉각되도록 냉각제가 인가된다.

냉각 공정 동안 발생된 인장 스트레스는 부분적인 벤트(vent)를 형성하는 글래스 표면 상에 초기 유동을 전파한다. 많은 타입의 냉각제의 사용이 가능하며, 한편 LCD 기판과 같은 매우 낮은 팽창계수를 갖는 스코링 글래스의 경우, 보통 그 냉각제는 물 또는 물 에어로솔(water aerosol)이 된다. 이러한 형태에 있어서, 레이저 빔에 의해 발생된 열로 인해 공정 동안 많은 양의 물이 증발된다. 그러나, 몇몇의 적용에 있어서는, 표면의 건조 및 청결을 유지하도록 보장하기 위해 제거되는 냉각제가 스코어 라인 주변 영역의 기판 상에 어느 정도 남는다.

따라서, 비접촉이면서 냉각제 제트(coolant jet)와 간섭하지 않거나 글래스의 편향 또는 진동을 야기하지 않는 장치가 필요하다. 더욱이, 글래스 표면에서 상대적으로 높은 속도의 동작으로 냉각제를 매우 효과적으로 포함 및 제거하는 장치가 필요하다.

본 발명은 레이저 스코링 후 냉각액의 제거를 위한 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명 공정의 소정 실시예에서는 표면으로부터 냉각액을 제거하는 단계를 포함한다. 일 실시예에 있어서, 좁은 냉각액 제트는 레이저 빔이 레이저 스코링 공정 동안 부분적인 벤트를 생성 및 전파하게 한다. 일반적으로, 스코링의 정밀도 및 공정의 전체 안정성은 레이저 빔의 정렬의 정확도 및 냉각액 제트에 달려 있다. 글래스로부터의 유체의 제거는 냉각액 제트의 위치 및 안정성에 영향을 주지 않는다.

본 발명의 제1형태에 따른 시트 재료를 분리하기 위한 레이저 스코링 공정은:

상기 시트 재료의 표면 상의 라인을 따라 레이저 빔을 이동시키는 단계;

레이저 빔 이후 레이저 빔의 동일 경로를 따라 표면 상에 냉각액 스트림을 전달하는 단계;

표면에 가스의 곡선 커튼을 진행시킴으로써 표면으로부터 냉각액을 제거하는 단계를 포함하고,

상기 가스의 곡선 커튼은 부분적으로 냉각액 스트림을 둘러싼다.

본 발명의 제2형태에 따른 장치는 적어도 하나의 노즐 오리피스(nozzle orifice)와 유체 소통하는 적어도 하나의 내부 챔버를 갖는 도관을 포함한다. 상기 도관은 압축가스를 내부 챔버로 유도하기 위해 압축가스와 소통되도록 구성된다. 한 형태에 있어서, 상기 도관은 제1단부 및 제2단부를 갖추고, 상기 제1단부 및 제2단부는 이 제1단부와 제2단부 사이에 위치될 수 있는 중간부의 각각의 단부에 연결된다. 다른 형태에 있어서, 상기 도관은 각각의 제1단부, 제2단부, 및 중간부가 서로 동일 선상에 있지 않도록 형성될 수 있다.

상기와 같이 이루어진 본 발명은 레이저 스코링 후 냉각액의 제거를 위한 장치 및 방법을 제공할 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 바람직한 실시예의 특징들 및 다른 특징들은 수반되는 도면을 참조하여 상세한 설명에 의해 보다 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 표면을 건조하기 위한 장치의 일 실시예의 부분 투시도이다.
도 2는 도 1의 건조 장치의 정면 절단 상승도로, 다수의 내부 챔버, 다수의 노즐 오리피스, 및 출사각을 나타낸다.
도 3은 도 1의 건조 장치의 정면 절단 상승도로, 약 90˚의 출사각을 나타낸다.
도 4는 도 1의 건조 장치의 좌측 절단 상승도로, 장치의 중간부의 내부 챔버를 나타낸다.
도 5는 도 1의 건조 장치의 상부 평면도이다.
도 6은 도 1의 건조 장치의 일 실시예의 사시도로, 장치로부터 기판 쪽으로 방출되는 가스의 커튼을 나타낸다.
도 7은 냉각액 제트 및 레이저 빔에 상대적으로 위치된 도 1 장치의 상부 평면도이다.
도 8은 도 1의 건조 장치의 정면 절단 상승도로, 짧아진 연장의 노즐 오리피스를 나타낸다.
도 9는 기판으로부터 약 4mm의 거리에서 도 3 장치를 도시한 기판 상의 정압의 윤곽을 도식적으로 나타낸 도면이다.
도 10은 기판으로부터 약 10mm의 거리에서 도 3 장치를 도시한 기판 상의 정압의 윤곽을 도식적으로 나타낸 도면이다.
도 11은 기판으로부터 약 20mm의 거리에서 도 3 장치를 도시한 기판 상의 정압의 윤곽을 도식적으로 나타낸 도면이다.
도 12는 기판으로부터 약 20mm의 거리에서 도 8 장치를 도시한 기판 상의 정압의 윤곽을 도식적으로 나타낸 도면이다.

본 발명은 이하의 상세한 설명, 예들, 도면, 및 청구항들과, 이전 및 다음의 설명에 대한 참조에 의해 용이하게 이해될 수 있다. 그러나, 본 발명의 장치, 시스템, 및/또는 방법들을 개시 및 기술하기 전에, 본 발명이 변경과 같이 특정 언급이 없는 한 개시된 장치, 시스템, 및/또는 방법들로 한정하지 않는다는 것을 이해해야 한다. 또한, 여기에 사용된 용어들은 특정 형태를 기술하기 위한 것으로 그것으로 한정하려는 것이 아니라는 것을 이해해야 한다.

이하, 현재 가장 잘 알려진 실시예로 본 발명의 가능한 교시와 같이 이하 본 발명의 설명이 제공된다. 이에 따라, 본 발명의 장점의 결과를 얻으면서 여기에 기술된 본 발명의 여러 형태들로 많은 변경이 이루어질 수 있다는 것을 당업자라면 알 수 있을 것이다. 또한, 다른 특징들을 이용하지 않고 본 발명의 몇몇 특징들을 선택함으로써 본 발명의 몇몇 원하는 장점들이 얻어질 수 있다는 것은 자명하다. 따라서, 본 발명에 대한 많은 변형 및 변경이 가능하고, 심지어 소정 환경에서도 바람직할 수 있으며, 본 발명의 일부가 될 수 있다는 것을 당업자라면 알 수 있을 것이다. 따라서, 이하의 설명은 본 발명의 원리의 설명으로서 제공되며 그에 대한 제한은 두지 않는다.

전체적으로 사용된 바와 같이, 단일 형태의 표현"a", "an" 및 "the"는 달리 명확하게 나타내지 않는 한 복수의 지시 대상을 포함한다. 따라서, 예컨대 "노즐 오리피스(a nozzle orifice)"는 달리 나타내지 않는 한 2개 또는 그 이상의 노즐 오리피스를 포함할 수 있다.

"약(about)" 하나의 특정치에서, 및/또는 "약" 또 다른 특정치까지와 같이 범위들이 표현될 수 있다. 그와 같은 범위가 표현될 경우, 또 다른 형태는 하나의 특정치에서 및/또는 또 다른 특정치까지 포함할 수 있다. 유사하게, 이전의 "약"의 사용에 의한 근사치로서 값들이 표현될 경우, 특정치가 또 다른 형태를 형성한다는 것을 이해해야 한다. 또한, 각 범위의 종료점들이 또 다른 종료점과 관련되기도 하고 또 다른 종료점과 독립적이기도 하다는 것을 이해해야 한다.

여기서 사용한 바와 같이, 용어 "선택적인" 또는 "선택적으로"는 기술된 경우(event)나 상황(circumstance)이 일어나거나 일어나지 않는다는 것과, 그 설명이 상기 경우나 상황이 일어나는 예 및 그 경우나 상황이 일어나지 않는 예를 포함한다는 것을 의미한다.

본 발명은 레이저 스코링 동안 기판(50)의 표면을 건조하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 레이저 스코링 공정 동안, 좁은 냉각액 제트(100)는 레이저 빔(200)이 부분적인 벤트를 생성 및 전파하게 한다. 스코링의 정밀도 및 공정의 전체 안정성은 레이저 빔의 정렬의 정확도 및 유체 스트림에 달려 있다. 따라서, 기판으로부터의 유체의 제거는 냉각액 제트(100)의 위치 및 안정성에 영향을 주지 않는다. 한편, 바람직한 실시예에 있어서, 기판(50)의 고정을 유지하면서 레이저 빔(200) 및 건조 장치가 스코링 경로(210)를 따라 이동되고, 레이저의 고정을 유지하면서 기판이 이동되는 것을 알 수 있다. 또한, 한 형태에 있어서, 냉각액으로부터 프로펠(propel)되는 유체는 물이다. 그러나, 제한하지 않고, 다른 냉각유체, 예컨대 액체 질소, 공기-물 혼합물, 탈이온수와 혼합된 에칠알콜, 또는 이산화탄소가 고려된다. 레이저 빔은 기판 재료에 의해 흡수되면 상승된 레벨로 이동 경로를 따라 그 영역의 온도를 높인다. 냉각유체 스트림은 레이저 빔의 이동 경로를 따라감으로써 크랙이 그 경로를 따라 생성 및 전파되게 하는 냉매로 기능한다.

본 발명의 방법에 따르면, 가스의 곡선 커튼은 스코어될 기판의 표면을 따라 진행한다. 소정 실시예에 있어서, 그 커튼은 냉각액을 적어도 부분적으로 둘러싸는 것이 바람직하다. 소정 실시예에 있어서, 가스의 곡선 커튼은 본질적으로 냉각액 스트림과 동일한 방향으로 이동한다. 소정의 다른 실시예에 있어서, 가스의 곡선 커튼은 본질적으로 기판에 대해 안정적으로 유지된다. 소정의 다른 실시예에 있어서, 실질적으로 가스의 곡선 커튼은 기판 표면으로부터 냉각액을 완전히 제거한다. 소정의 다른 실시예에 있어서, 커튼 가스는 공기를 포함한다.

한 형태에 있어서, 장치는 적어도 하나의 내부 챔버(310)를 갖춘 도관(300)을 포함한다. 도관(300)의 외면(302)의 일부 내에 내부 챔버(310)와 소통하는 적어도 하나의 노즐 오리피스(320)를 구비한다. 도관은 챔버 내로 압축가스를 도입하기 위해 압축가스원과 소통되도록 구성된다. 한 형태에 있어서, 도관은 제1단부(330), 제2단부(340), 및 그 제1단부와 제2단부 사이에 위치된 중간부(350)를 갖춘다. 다른 형태에 있어서, 도관은 제1단부(330), 제2단부(340), 및 중간부(350)가 동일 선상에 있지 않도록 형성된다. 그와 같이 하나의 예시의 형태에 있어서, 도관(300)은 거의 U-형태가 된다. 또 다른 예시의 형태에 있어서, 도관은 거의 C-형태가 된다. 또 다른 예시의 형태에 있어서, 도관은 거의 V-형태가 된다. 그러나, 다른 형태의 도관도 고려된다.

도관(300)의 형태에 적합한 가스의 커튼(110)을 형성하는 방식으로 기판의 표면 쪽으로 내부 챔버에 의해 수신된 압축가스의 층 유동(laminar flow)을 프로펠하도록 구성된 다수의 노즐 오리피스 또는 하나의 노즐 오리피스(320)가 구성될 수 있다. 이는 "커튼"에 의해 가스가 층 분리를 형성하는 것을 의미한다. 이러한 커튼(110)은 단속 섹션(intermittent section) 뿐만 아니라 연속 섹션을 갖거나, 또는 거의 연속 또는 거의 단속될 수 있다.

한 형태에 있어서, 다수의 내부 챔버가 구비된다. 예컨대, 제한하지 않으며, 3개의 내부 챔버(310)가 구비될 수 있는데, 적어도 하나의 내부 챔버가 도관의 중간부에 형성되고, 적어도 하나의 내부 챔버가 제1단부에 형성되며, 적어도 하나의 내부 챔버가 제2단부에 형성된다. 각각의 챔버는 압축가스원과 소통되도록 구성되고, 각 챔버 중 하나가 압축가스원과 소통하면서 서로 소통될 수 있다. 다른 형태에 있어서, 각각의 챔버가 압축가스원과 소통되도록 구성되고, 그 각각의 챔버에 대한 압축가스의 유동이 개별적으로 제어될 수 있다. 하나의 예시의 형태에 있어서, 압축가스는 공기이지만 다른 가스들이 고려될 수도 있다.

다른 형태에 있어서, 장치는 적어도 3개의 노즐 오리피스를 포함한다. 그 노즐 오리피스 중 하나가 중간부의 외면(302)에 형성되어 도관의 중간부에 형성된 내부 챔버(310)와 소통된다. 또 다른 노즐 오리피스가 도관의 제1단부의 외면에 형성되어 도관의 제1단부에 형성된 내부 챔버와 소통된다. 세번째 노즐 오리피스(320)가 도관(300)의 제2단부의 외면에 형성되어 도관의 제2단부에 형성된 내부 챔버와 소통된다. 도면에 도시된 바와 같이, 한 형태에 있어서, 제1, 제2, 및 제3노즐 오리피스가 형성된 각각의 외면은 거의 동일 평면상에 있다.

다른 형태에 있어서, 그 노즐 오리피스는 각각 도관의 동일 평면상의 표면부에 형성된 연장 슬릿으로 형성된다. 상술한 바와 같이, 각각의 노즐 오리피스는 기판 표면 쪽으로 압축가스의 층 유동을 진행시키도록 구성된다. 하나의 예시의 형태에 있어서, 노즐 오리피스는 약 30˚~ 90˚ 범위의 출사각(α)으로 기판(50) 표면 쪽으로 압축가스의 층 유동을 진행시키도록 구성된다. 다른 형태에 있어서, 노즐 오리피스는 약 30°~ 45° 범위의 출사각(α)으로 기판 표면 쪽으로 압축가스의 층 유동을 진행시키도록 구성된다. 또 다른 형태에 있어서, 노즐 오리피스는 약 75°~ 90° 범위의 출사각으로 기판(50) 표면 쪽으로 압축가스의 층 유동을 진행시키도록 구성된다. 한 형태에 있어서, 노즐로부터의 출사각(α)은 기판 표면에 대한 투사각으로 주어진다.

출사각 외에, 외면의 형태 뿐만 아니라 챔버 및 노즐 오리피스의 특정 형태가 유체 제거 장치의 성능에 상당한 영향을 줄 수 있다. 본 발명의 적어도 2개 형태의 프로토타입 시험이 행해졌다. 한 형태에 있어서, 도 1에 나타낸 바와 같이, 노즐 오리피스는 연장 슬릿으로 이루어진다. 그 노즐 오리피스는 약 30°~ 90°범위의 몇가지 출사각으로 시험되었다. 결과적으로, 약 75°~ 90°범위의 출사각의 형태가 냉각유체 제트 상에 최소의 영향을 미쳤고, 반면 보다 작은 출사각이 가장 양호한 세정 효과를 제공하였지만, 냉각유체 제트와 좀더 충돌했다. 예상될 수 있는 바와 같이, 도 9~11은 장치가 기판으로부터 더 멀어짐에 따라 기판 상의 정압이 감소하는 것을 나타낸다. 이들 도면에서, 밝은 부분은 보다 높은 정압 영역을 나타낸다. 도 9는 장치가 4mm에 있을 때, 도 10은 10mm에 있을 때, 그리고 도 11은 20mm에 있을 때의 정압의 윤곽을 나타낸다. 볼 수 있는 바와 같이, 장치가 기판으로부터 더 멀어짐에 따라 기판 상의 정압의 윤곽이 덜 형성된다.

다른 형태에 있어서, 도 8에 도시된 바와 같이 유체 제거 장치 상의 시험이 행해지며, 그 노즐 오리피스는 도 2 및 3의 장치보다 짧은 연장 슬릿으로 이루어진다. 이러한 형태는 챔버의 내벽에 의해 도입된 가스 유동의 방해를 감소시켜, 액체 제거 장치로부터 먼 거리에서 낮은 난류 가스 유동을 제공한다. 이는 도 12에 도시되어 있으며, 여기에는 도 8의 장치가 약 25mm에 위치될 때의 기판 상의 정압의 윤곽을 나타낸다. 볼 수 있는 바와 같이, 이 장치는 도 12 대 11에 의해 증명된 바와 같이 도 2 및 3의 장치보다 긴 범위(즉, 25mm)에서 좀더 효율적이라는 것이 밝혀졌다. 또한, 기판에 좀더 가까운 거리(즉, 10mm)에서, 좀더 길게 연장된 슬릿을 포함하는 장치가 좀더 짧게 연장된 슬릿을 갖는 장치보다 좀더 효율적이다.

도 7과 관련하여, 냉각액 소스는 실질적으로 레이저 빔(200)의 스코링 경로(210)를 따라간다. 한 형태에 있어서, 도관은 적어도 도관의 각각의 제1 및 제2단부와 중간부(350)에 의해 형성된 공동(360)에 위치된 냉각액 소스를 실질적으로 에워싼다. 이러한 형태에 있어서, 알 수 있는 바와 같이, 가스의 커튼(110)은 냉각액 소스를 부분적으로 둘러싸고, 냉각액 소스가 이동할 때, 가스의 커튼은 실질적으로 냉각액의 기판을 청결하게 하여 기판을 젖게하는 것을 방지한다. 한 형태의 사용에 있어서, 장치는 기판으로부터 약 0.5mm~50mm까지 떨어져 위치된다. 다른 형태의 사용에 있어서, 장치는 기판으로부터 약 1mm~12mm까지 떨어져 위치된다.

한 형태에 있어서, 도관은 다수의 충분히 단단하면서 내구성 있는 재료로 이루어질 수 있다. 예컨대, 제한하지 않으며, 도관은 폴리머 뿐만 아니라 강철, 알루미늄, 황동, 니켈, 또는 기타 금속 합금 등으로 이루어질 수 있다. 또 다른 형태에 있어서, 외면은 도 1에 나타낸 바와 같이 약간 둥글기 때문에, 가스의 커튼의 방향으로 외부 공기 유동을 진행시키도록 코안다 효과(Coanda effect)를 생성하는데 영향을 미치는 장점을 갖는다. 장점으로 나타낸 도관에 대한 몇가지 표면 특징은 낮은 표면 거칠기(AA 거칠기 등급에서 약 32 또는 그 이하), 레이저 스코링 공정에서 통상의 외기온도에 견디는 능력, 및 내식성을 포함한다. 당업자라면 도관에 적절하거나 적절하지 않은 다양한 재료를 판단할 수 있다.

본 발명의 여러 실시예들이 상기와 같이 개시되었을 지라도, 당업자라면 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양한 변형 및 변경이 가능하다는 것을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명을 상술한 특정 실시예들로 한정하지 않고, 많은 변형 및 다른 실시예들이 부가된 청구항들의 범위 내에 포함된다는 것을 알 수 있을 것이다. 더욱이, 특정 용어들이 여기에 채용되었을 지라도, 이들 용어들은 포괄적이면서 설명적인 문장에서만 사용되고, 상술한 발명과 이하의 청구항들을 한정하려는 것은 아니다.

50 : 기판, 100 : 냉각액 제트,
200 : 레이저 빔, 210 : 스코링 경로,
300 : 도관, 320 : 노즐 오리피스,
330 : 제1단부, 340 : 제2단부,
350 : 중간부.

Claims

시트 재료를 분리하기 위한 레이저 스코링 공정에 있어서,
상기 시트 재료의 표면 상의 라인을 따라 레이저 빔을 이동시키는 단계;
레이저 빔 이후 레이저 빔의 동일 경로를 따라 표면 상에 냉각액 스트림을 전달하는 단계;
상기 표면에 가스의 곡선 커튼을 진행시킴으로써 표면으로부터 냉각액을 제거하는 단계를 포함하고,
상기 가스의 곡선 커튼은 부분적으로 냉각액 스트림을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 레이저 스코링 공정.
청구항 1에 있어서,
상기 가스의 곡선 커튼은 표면 상의 냉각액 스트림의 의도된 이동 경로를 변경하지 않는 것을 특징으로 하는 레이저 스코링 공정.
청구항 1 또는 2에 있어서,
시트 재료는 글래스를 포함하며, 냉각액 스트림은 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 스코링 공정.
청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
가스의 곡선 커튼은 표면을 건조하는 것을 특징으로 하는 레이저 스코링 공정.
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서,
가스의 곡선 커튼은 장치를 통해 표면에 전달되고,
상기 장치는 외면을 갖춤과 더불어 상기 외면의 일부 내에 적어도 하나의 노즐 오리피스 및 적어도 하나의 내부 챔버를 형성하는 도관을 포함하며, 상기 적어도 하나의 노즐 오리피스는 상기 적어도 하나의 내부 챔버와 유체 소통하고, 상기 도관은 제1단부, 제2단부, 및 상기 제1단부와 제2단부 사이의 중간부를 갖추며, 상기 도관은 제1단부, 제2단부, 및 중간부가 동일 선상에 있지 않도록 형성되며,
상기 적어도 하나의 노즐 오리피스는 상기 도관의 형태에 적합한 가스의 커튼을 형성하는 방식으로 기판의 표면 쪽으로 적어도 하나의 내부 챔버에 의해 수신된 압축가스의 층 유동을 프로펠하도록 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 스코링 공정.
레이저 스코링 동안 기판의 표면을 건조하기 위한 장치에 있어서,
외면을 갖춤과 더불어 상기 외면의 일부 내에 적어도 하나의 노즐 오리피스 및 적어도 하나의 내부 챔버를 형성하는 도관을 포함하며, 상기 적어도 하나의 노즐 오리피스는 상기 적어도 하나의 내부 챔버와 유체 소통하고, 상기 도관은 제1단부, 제2단부, 및 상기 제1단부와 제2단부 사이의 중간부를 갖추며, 상기 도관은 제1단부, 제2단부, 및 중간부가 동일 선상에 있지 않도록 형성되며,
상기 적어도 하나의 노즐 오리피스는 상기 도관의 형태에 적합한 가스의 커튼을 형성하는 방식으로 기판의 표면 쪽으로 적어도 하나의 내부 챔버에 의해 수신된 압축가스의 층 유동을 프로펠하도록 구성된 것을 특징으로 하는 장치.
청구항 6에 있어서,
상기 도관은 U-형태, V-형태 또는 C-형태인 것을 특징으로 하는 장치.
청구항 6 또는 7에 있어서,
적어도 하나의 내부 챔버는 다수의 내부 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
청구항 6 내지 8 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 하나의 내부 챔버는 적어도 3개의 내부 챔버를 포함하고, 적어도 하나의 내부 챔버는 도관의 중간부에 형성되고, 적어도 하나의 내부 챔버는 도관의 제1단부에 형성되며, 적어도 하나의 내부 챔버는 도관의 제2단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
청구항 6 내지 9 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 하나의 노즐 오리피스는 적어도 3개의 노즐 오리피스를 포함하며, 다수의 노즐 오리피스 중 제1노즐 오리피스가 중간부의 외면에 형성되어 도관의 중간부에 형성된 적어도 하나의 내부 챔버와 소통하고, 상기 다수의 노즐 오리피스 중 제2노즐 오리피스가 도관의 제1단부의 외면에 형성되고, 도관의 제1단부에 형성된 적어도 하나의 내부 챔버와 소통되며, 상기 다수의 노즐 오리피스 중 제3노즐 오리피스는 도관의 제2단부의 외면에 형성되어 도관의 제2단부에 형성된 적어도 하나의 내부 챔버와 소통되는 것을 특징으로 하는 장치.