JP6255595B2 - 割断装置 - Google Patents
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Description
前記被加工部材上に設定された加熱域に前記レーザ照射部からレーザ光を照射して該加熱域を加熱しつつ、該被加工部材を前記移動手段によって予め設定された方向に相対移動させ、加熱した前記加熱域上に設定された冷却域に、前記冷却剤噴射部から冷却剤を噴射して該冷却域を冷却する割断装置であって、
前記加工台の、前記被加工部材が相対移動する移動方向における該被加工部材の前方に、前記冷却剤噴射部からの冷却剤の噴射を受けて該冷却剤を飛散させる飛散部材を設けたことを特徴とする。
前記被加工部材上に設定された加熱域に前記レーザ照射部からレーザ光を照射して該加熱域を加熱しつつ、前記加工台を前記移動手段によって予め設定された方向に相対移動させることにより、該被加工部材を予め設定された方向に相対移動させ、加熱した前記加熱域上に設定された冷却域に、前記冷却剤噴射部から冷却剤を噴射して該冷却域を冷却する割断装置であって、
前記加工台の、該加工台が相対移動する移動方向における先端側に、該加工台より前記移動方向側に延出して、前記冷却剤噴射部からの冷却剤の噴射を受けて該冷却剤を飛散させる飛散部材を設けたことを特徴とする。
前記遮蔽体と前記被加工部材との間の隙間に向けて、該レーザ光通過領域側からガスを噴射するガス噴射部が設けられていることが好ましい。
したがって、被加工部材の先端側が冷却剤噴射部の下方に到達することで冷却剤噴射による冷却とレーザ光照射による加熱とがそれぞれ異なる領域で同時になされる中期加工時以降において、冷却剤が被加工部材によって飛散させられるのと同じ条件となり、冷却剤噴射部からの冷却剤がレーザ通過領域に及ぼす影響が、初期加工時と中期加工時以降との間でほぼ同じになる。よって、レーザ光照射による加熱条件を初期加工時と中期加工時以降との間でほぼ同じに、すなわち所定の範囲内に管理することができ、これにより所望の割断精度を得ることができる。
図1(a)、(b)は、本発明の割断装置の第1実施形態を示す概略構成図であり、(a)は側面図、(b)は平面図である。
噴射ノズル19から噴射される冷却剤Cは、前記レーザ照射部3によって被加工部材Wに形成された加熱域18を急激に冷却するためのもので、水に空気などのガスが混入されて形成される。
一方、飛散部材22が無い場合には、前述したようにこのような加熱強度の低下が起こらない。
したがって、図3(a)、(b)に示すように、被加工部材Wの先端側が冷却剤噴射部4の下方に到達することで冷却剤噴射による冷却とレーザ光照射による加熱とがそれぞれ異なる領域で同時になされる中期加工時以降において、冷却剤Cが被加工部材Wによって飛散させられるのとほぼ同じ条件となる。
図4(a)、(b)は、本発明の割断装置の第2実施形態を示す概略構成図であり、(a)は側面図、(b)は平面図である。なお、以下の第2実施形態の説明では、第1実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
一方、飛散部材43が無い場合には、第1実施形態と同様に冷却剤Cの跳ね返りがないため、このような加熱強度の低下が起こらない。
したがって、このき裂の進展方向を制御することにより、最終的には被加工部材Wの割断予定線16上に1本の筋状(溝状)の割断線29が形成される。すなわち、レーザ照射部3、冷却剤噴射部4、気体噴射ノズル26をそれぞれ作動させたまま、被加工部材Wを一定速度で連続的に移動させることにより、被加工部材W(加工台41)の移動方向に沿って割断線29が形成される。
したがって、図4(a)、(b)に示すように、被加工部材Wの先端側が冷却剤噴射部4の下方に到達することで冷却剤噴射による冷却とレーザ光照射による加熱とがそれぞれ異なる領域で同時になされる中期加工時以降において、冷却剤Cが被加工部材Wによって飛散させられるのとほぼ同じ条件となる。
例えば、前記第1実施形態では、レーザ照射部3、冷却剤噴射部4に対して被加工部材Wを移動手段5で移動させるようにしたが、被加工部材Wを固定し、この固定した被加工部材Wに対して加工台2やレーザ照射部3、冷却剤噴射部4を移動させるようにしてもよい。同様に、第2実施形態でも、レーザ照射部3、冷却剤噴射部4に対して加工台41を移動手段42で移動させるようにしたが、加工台41を固定し、この固定した加工台41に対してレーザ照射部3、冷却剤噴射部4を移動させるようにしてもよい。
さらに、前記実施形態では、本発明に係る遮蔽体を平板状のバッフル25によって形成したが、遮蔽体としては、レーザ光通過領域17と冷却剤通過領域23との間に配設されて、冷却剤噴射部4によって噴射された冷却剤Cが跳ね返り、その飛沫やミストがレーザ光通過領域17に飛散するのを抑制することができれば、その形状等については前記の平板状に限定されることなく、種々の形態を採用することができる。
例えば、遮蔽体として、底のない略箱形状を有し、前記冷却剤通過領域23を取り囲むように配置される遮蔽フードからなっていてもよい。
Claims (3)
- 板状の被加工部材を浮上させる加工台と、
前記被加工部材上にレーザ光を照射するレーザ照射部と、
前記被加工部材上に冷却剤を噴射する冷却剤噴射部と、
前記被加工部材を前記レーザ照射部及び前記冷却剤噴射部に対して予め設定された方向に相対移動させる移動手段と、を備え、
前記被加工部材上に設定された加熱域に前記レーザ照射部からレーザ光を照射して該加熱域を加熱しつつ、該被加工部材を前記移動手段によって予め設定された方向に相対移動させ、加熱した前記加熱域上に設定された冷却域に、前記冷却剤噴射部から冷却剤を噴射して該冷却域を冷却する割断装置であって、
前記被加工部材は、前記被加工部材が相対移動する移動方向における前記冷却域の後方に配置され、
前記加工台の、前記被加工部材が相対移動する移動方向における該被加工部材の前方であって前記冷却剤噴射部からの冷却剤が当たる位置に、前記冷却剤噴射部からの冷却剤の噴射を受けて該冷却剤を飛散させる飛散部材を設けたことを特徴とする割断装置。 - 板状の被加工部材を載置する加工台と、
前記被加工部材上にレーザ光を照射するレーザ照射部と、
前記被加工部材上に冷却剤を噴射する冷却剤噴射部と、
前記加工台を前記レーザ照射部及び前記冷却剤噴射部に対して予め設定された方向に相対移動させる移動手段と、を備え、
前記被加工部材上に設定された加熱域に前記レーザ照射部からレーザ光を照射して該加熱域を加熱しつつ、前記加工台を前記移動手段によって予め設定された方向に相対移動させることにより、該被加工部材を予め設定された方向に相対移動させ、加熱した前記加熱域上に設定された冷却域に、前記冷却剤噴射部から冷却剤を噴射して該冷却域を冷却する割断装置であって、
前記被加工部材は前記被加工部材が相対移動する移動方向における前記冷却域の後方に配置され、
前記加工台の、該加工台が相対移動する移動方向における先端側に、該加工台より前記移動方向側に延出すると共にレーザ光が前記被加工部材の端部に当たったときに前記冷却剤噴射部から噴射された冷却剤が当たる位置まで延在し、前記冷却剤噴射部からの冷却剤の噴射を受けて該冷却剤を飛散させる飛散部材を設けたことを特徴とする割断装置。 - 前記飛散部材は、前記被加工部材が前記移動手段によって相対移動する方向の長さが、前記冷却域の前記相対移動する方向における先端と前記加熱域の前記相対移動する方向における後端との間の距離より長いことを特徴とする請求項2に記載の割断装置。
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