JP2011509911A - レーザ罫書き後に流体を除去する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
レーザビームをシート材料の表面上に線に沿って照射する工程、
レーザビームの後に、このレーザビームと実質的に同じ経路に沿って、急冷液流を表面上に送出する工程、および、
この液流を部分的に包囲する湾曲したガスカーテンを表面に向けることによって、急冷液を表面から除去する工程、
を含む。
110 ガスカーテン
200 レーザビーム
210 罫書き経路
300 導管
302 外表面
310 内部チャンバ
320 ノズル開口
330 第1端部
340 第2端部
350 中間部分
Claims (10)
- シート材料を分割するためのレーザ罫書きプロセスであって、
レーザビームを前記シート材料の表面上に線に沿って照射する工程、
前記レーザビームの後に、該レーザビームと実質的に同じ経路に沿って、急冷液流を前記表面上に送出する工程、および、
前記液流を部分的に包囲する湾曲したガスカーテンを前記表面に向けることによって、前記急冷液を前記表面から除去する工程、
を含むことを特徴とするレーザ罫書きプロセス。 - 前記湾曲したガスカーテンが、前記液流の前記表面上での所望の移動経路を実質的に変化させないことを特徴とする請求項1記載のレーザ罫書きプロセス。
- 前記シート材料がガラスを含み、かつ前記急冷液流が水を含むことを特徴とする請求項1または2記載のレーザ罫書きプロセス。
- 前記ガスカーテンが、実質的に前記表面を乾燥させることを特徴とする請求項1から3いずれか1項記載のレーザ罫書きプロセス。
- 前記ガスカーテンが、装置によって前記表面に送出されるものであり、該装置が、
外表面を有し、かつ少なくとも1つの内部チャンバを画成し、さらに該少なくとも1つのチャンバと連通している少なくとも1つのノズル開口を前記外表面の一部に画成している、導管であって、第1端部と、第2端部と、該第1および第2端部の実質的に間に位置する中間部分とを有し、該第1端部、第2端部、および中間部分が共通の直線上にないように形作られた導管を備え、
前記少なくとも1つのノズル開口が、前記少なくとも1つの内部チャンバが受け入れた加圧ガスの層流を、前記導管の形状に実質的に一致するガスカーテンを形成する形で前記シート材料の表面に向けて噴射するように構成されることを特徴とする請求項1から4いずれか1項記載のレーザ罫書きプロセス。 - 基板表面をレーザ罫書き中に乾燥させるための装置であって、該装置が、
外表面を有し、かつ少なくとも1つの内部チャンバを画成し、さらに該少なくとも1つのチャンバと連通している少なくとも1つのノズル開口を前記外表面の一部に画成している、導管であって、第1端部と第2端部と実質的に該第1および第2端部の間に位置する中間部分とを有し、該第1端部、第2端部、および中間部分が共通の直線上にないように形作られた導管を備え、
前記少なくとも1つのノズル開口が、前記少なくとも1つの内部チャンバが受け入れた加圧ガスの層流を、前記導管の形状に実質的に一致するガスカーテンを形成する形で前記基板表面に向けて噴射するように構成されることを特徴とする装置。 - 前記導管が、概してU字状、V字状、またはC字状であることを特徴とする請求項6記載の装置。
- 前記少なくとも1つの内部チャンバが、複数の内部チャンバを備えていることを特徴とする請求項6または7記載の装置。
- 前記少なくとも1つの内部チャンバが少なくとも3つの内部チャンバを備え、かつ該内部チャンバの少なくとも1つが前記導管の前記中間部分で画成され、前記内部チャンバの少なくとも1つが前記導管の前記第1端部で画成され、さらに前記内部チャンバの少なくとも1つが前記導管の前記第2端部で画成されることを特徴とする請求項6から8いずれか1項記載の装置。
- 前記少なくとも1つのノズル開口が少なくとも3つのノズル開口を備え、かつ該複数のノズル開口のうち第1ノズル開口が、前記中間部分の外表面に画成されかつ前記導管の前記中間部分に画成された前記少なくとも1つの内部チャンバと連通し、前記複数のノズル開口のうち第2ノズル開口が、前記導管の前記第1端部の外表面に画成されかつ前記導管の前記第1端部に画成された前記少なくとも1つの内部チャンバと連通し、さらに前記複数のノズル開口のうち第3ノズル開口が、前記導管の前記第2端部の外表面に画成されかつ前記導管の前記第2端部に画成された前記少なくとも1つの内部チャンバと連通していることを特徴とする請求項6から9いずれか1項記載の装置。
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