KR20170038683A - 기판 케이스, 수납부, 및 기판 반송기 - Google Patents

기판 케이스, 수납부, 및 기판 반송기 Download PDF

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Abstract

(과제) 기판의 상면에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있고, 기판을 반송하기 위한 형태를 작게 할 수 있는 수납부를 구비한, 신규 기판 케이스를 제공한다.
(해결 수단) 기판을 수납하기 위한 수납부를 복수 갖는 기판 케이스 (30) 는, 트레이 (10) 를 복수 갖고 있고, 1 개의 트레이 (10) 의 표면부에 있어서의 계지부 (11a ∼ 11d) 의 내측에 있어서 기판 (20) 을 지지하고, 당해 트레이 (10) 의 위에 위치하는 다른 트레이 (10) 의 이면부에 있어서의 계지 볼록부 (13b, 13d, 13f 및 13h) 에 의해 기판 (20) 의 단부를 걸어 고정시킴으로써, 기판 (20) 을 유지한다.

Description

기판 케이스, 수납부, 및 기판 반송기{SUBSTRATE CASE, COMPARTMENT, AND SUBSTRATE TRANSFER CONTAINER}
본 발명은 기판 케이스, 기판 케이스를 구성하는 수납부, 및 기판 케이스를 구비한 기판 반송기에 관한 것이다.
휴대 전화, 디지털 AV 기기 및 IC 카드 등의 고기능화에 수반하여, 탑재되는 반도체 실리콘 칩 (이하, 칩) 을 소형화 및 박형화함으로써, 패키지 내에 당해 칩을 고집적화하는 요구가 높아지고 있다. 예를 들어, CSP (chip size package) 또는 MCP (multi-chip package) 로 대표되는 복수의 칩을 원 패키지화하는 집적 회로에 있어서 박형화가 요청되고 있다. 패키지 내의 칩의 고집적화를 실현하기 위해서는, 칩의 두께를 25 ∼ 150 ㎛ 의 범위까지 얇게 할 필요가 있다. 이와 같이, 고도로 박화된 웨이퍼 기판 등을 반송할 때에, 기판을 수납하는 케이스가 사용되고 있다.
예를 들어, 특허문헌 1 에는, 기판을 수납 가능한 홈상의 수납실 내에 있어서, 그 바닥면보다 얕은 위치에 있어서 그 개구 단면 (斷面) 을 대략 덮는 탄성막이 가설 (架設) 되어 있고, 당해 탄성막에 의해서 기판을 지지하는 기판 케이스에 대해서 기재되어 있다.
특허문헌 2 에는, 선단이 개방된 단면이 「く」자 형상으로 형성된 홀더에 의해서, 반도체 웨이퍼의 주연부를 협지하는 반도체 웨이퍼 수납 케이스에 대해서 기재되어 있다.
특허문헌 3 에는, 디스크체의 주연부를 유지하는 유지부가, 디스크를 수용하는 디스크 수용 공간의 내측에 형성된 수용 케이스에 대해서 기재되어 있다.
특허문헌 4 에는, 매엽식 웨이퍼 케이스로서, 웨이퍼를 수납했을 때에 웨이퍼 주연부를 하측 웨이퍼 누름구 및 상측 웨이퍼 누름구에 의해 협지함으로써, 웨이퍼를 웨이퍼 케이스에 고정시켜 유지하는 웨이퍼 케이스에 대해서 기재되어 있다.
특허문헌 5 에는, 웨이퍼가 첩착된 테이프를 프레임에 의해 유지함과 함께, 이 프레임을 가진 곤포 (梱包) 부재를 곤포 상자 안에 겹쳐 쌓을 때에 완충재를 개재하여 겹쳐 쌓도록 함으로써, 수송 중의 충격 등에 의해서 프레임으로부터 테이프가 박리되는 것을 방지하는 웨이퍼의 곤포 방법에 대해서 기재되어 있다.
일본 공개특허공보 평8-17903호 (1996년 1월 19일 공개) 일본 공개특허공보 평8-236605호 (1996년 9월 13일 공개) 일본 공개특허공보 2001-148417호 (2001년 5월 29일 공개) 일본 공개특허공보 2009-43862호 (2009년 2월 26일 공개) 일본 공개특허공보 2002-145380호 (2002년 5월 22일 공개)
그러나 특허문헌 1 ∼ 4 에 기재된 기판 케이스에서는, 기판의 상면과 바닥면에 있어서의 주연부를 협지 또는 유지함으로써 당해 기판을 고정시키고 있다. 또한, 특허문헌 5 에 기재된 기술에서는, 기판의 바닥면이 다이싱 테이프에 의해 고정되어 있다.
특허문헌 1 ∼ 4 에 기재된 기술에서는, 기판의 상면 및 바닥면의 일부가 기판을 고정시키기 위한 부재에 접촉되어 있다. 이 때문에, 기판을 기판 케이스에 수납하여 반송할 때에 있어서, 당해 기판의 상면에 흠집이 생긴다는 문제가 있다. 또한, 특허문헌 5 에 기재된 기판 케이스보다도 간편하게 기판을 수납할 수 있으며, 또한 기판의 상면에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있는 신규 기판 케이스는 유용하다.
또한, 특허문헌 1 ∼ 5 에 기재된 기판 케이스 등에서는 복수의 기판을 개별 공간에 수납하기 때문에, 다수의 기판을 반송할 때에, 그 반송 형태가 커진다는 문제가 있다.
본원발명은 상기 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 주된 목적은, 기판의 상면에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있고, 기판을 반송하기 위한 형태를 작게 할 수 있는 수납부를 구비한, 신규 기판 케이스를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 기판을 수납하기 위한 수납부를 복수 갖는 기판 케이스로서, 상기 수납부는, 상기 기판의 단부 (端部) 를 걸어 고정시키는 단차를 갖는 계지부 (係止部) 를 구비한 표면부와, 상기 기판의 단부를 걸어 고정시키는 계지 볼록부를 구비한 이면부를 구비하고 있고, 1 개의 수납부의 표면부에 있어서의 상기 계지부의 내측에 있어서 상기 기판을 지지하고, 당해 수납부의 위에 위치하는 다른 수납부의 이면부에 있어서의 계지 볼록부에 의해 상기 기판의 단부를 걸어 고정시킴으로써, 상기 기판을 유지하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명에 의하면, 기판의 상면에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있고, 기판을 반송하기 위한 형태를 작게 할 수 있는 수납부를 구비한, 신규 기판 케이스를 제공할 수 있다는 효과를 나타낸다.
도 1 은 본 발명의 일 실시형태 (제 1 실시형태) 에 관련된 수납부의 개략을 설명하는 도면이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시형태 (제 1 실시형태) 에 관련된 수납부 및 기판 케이스의 개략을 설명하는 단면도이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태 (제 1 실시형태) 에 관련된 수납부 및 기판 케이스의 개략을 설명하는 단면도이다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태 (제 1 실시형태) 에 관련된 수납부 및 기판 케이스의 개략을 설명하는 단면도이다.
도 5 는 본 발명의 일 실시형태에 관련된 수납부 및 기판 케이스의 개략을 설명하는 측면도이다.
도 6 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 수납부 및 기판 케이스의 개략을 설명하는 별도의 측면도이다.
도 7 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 반송기의 개략을 설명하는 도면이다.
도 8 은 본 발명의 일 실시형태 (제 2 실시형태) 에 관련된 수납부 및 기판 케이스의 개략을 설명하는 단면도이다.
도 9 는 본 발명의 일 실시형태 (제 3 실시형태) 에 관련된 수납부의 개략을 설명하는 도면이다.
도 10 은 본 발명의 일 실시형태 (제 3 실시형태) 에 관련된 수납부 및 기판 케이스의 개략을 설명하는 단면도이다.
<제 1 실시형태에 관련된 기판 케이스>
이하에, 일 실시형태 (제 1 실시형태) 에 관련된 기판 케이스 (30) 에 대해서 보다 상세히 설명한다.
본 실시형태에 관련된 기판 케이스 (30) 는, 도 1 에 나타내는, 기판을 수납하기 위한 트레이 (수납부) (10) 를 복수 가지고 있다.
기판 케이스 (30) 는, 1 개의 트레이 (10) 의 표면부와 다른 트레이 (10) 의 이면부의 사이에 있어서 기판 (20) 을 유지한다 (도 2 및 도 3). 기판 케이스 (30) 는, 1 개의 트레이 (10) 의 표면부에 있어서, 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 의 일부를 지지하면서, 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 계지부 (11c) 의 단차에 있어서 걸어 고정시킨다 (도 2 의 (c)). 또한, 도 2 의 (c) 에 나타내는 바와 같이 기판 (20) 을 지지한 상태에 있어서, 도 3 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 상기 1 개의 트레이 (10) 의 위에 위치하는 다른 트레이 (10) 의 이면부에 의해서 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 걸어 고정시킨다.
이로써, 기판 케이스 (30) 는, 기판 (20) 의 상면 (20b) 보다 내측에 대하여, 기판 (20) 의 위에 위치하는 트레이 (10) 의 이면부를 접촉시키지 않고서 기판 (20) 을 수납할 수 있다 (도 2 의 (c) 및 도 3 의 (c)). 이로써, 기판 (20) 을 반송할 때에 기판 (20) 의 상면 (20b) 에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다.
또한, 기판 케이스 (30) 는, 트레이 (10) 와 기판 (20) 을 교대로 겹쳐 쌓고, 이로써, 각 트레이 (10) 의 사이에 있어서 1 장씩 기판 (20) 을 수납한다. 이 때문에, 기판 케이스 (30) 는, 개별의 기판 케이스에 형성된 내부 공간에 1 장씩 기판을 수납하고 당해 기판 케이스를 겹쳐 쌓아 반송하는 형태보다도, 케이스 자체의 부피가 커지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 기판 케이스 (30) 는 기판 (20) 을 수납하는 스페이스를 대폭 삭감할 수 있어, 기판 (20) 을 반송하기 위한 형태를 작게 할 수 있다 (도 2 의 (b) 및 도 3 의 (b)).
또, 기판 케이스 (30) 는, 1 개의 트레이 (10) 의 위에 다른 트레이 (10) 를 겹쳐 쌓을 때, 아래에 위치하는 트레이 (10) 에 대하여 평행하게 180°씩 방향을 바꿔, 위에 위치하는 트레이 (10) 를 겹쳐 쌓는다. 트레이 (10) 의 상면에서 볼 때의 외주부의 형상은 대략 정방형이기 때문에, 외주부의 형상에 맞춰 각 트레이 (10) 를 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓아 가는 것이 용이하다. 또, 트레이 (10) 에는, 특정한 방향을 나타내는 표시 (도시 생략) 이 부가되어 있어도 된다.
[기판]
기판 (20) 은, 상면에서 볼 때의 형상이 원형인, 예를 들어 유리 기판이다. 또한, 기판 (20) 은 모따기되어 있다. 보다 구체적으로는, 도 2 의 (d) 에 나타내는 바와 같이, 기판 (20) 은, 단부 (20a) 의 전체 둘레에 있어서의 상면 (20b) 측에서부터 및 바닥면 (20c) 측에서부터의 양방에 있어서, c 모따기되어 있다. 이로써, 기판 (20) 에 있어서의 단부 (20a) 에는, 모따기 부위 (a1) 와 모따기 부위 (a2) 가 형성되어 있다.
또, 기판 케이스에 수납되는 기판에 있어서, c 모따기된 모따기 부위의 경사 각도는, 도 2 의 (d) 에 나타내는 바와 같은 각도에 한정되지 않는다. 또한, 기판 케이스 (30) 에 수납되는 기판 (20) 에는 c 모따기된 기판을 사용하고 있지만, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 기판 케이스에 수납되는 기판은 c 모따기된 기판에 한정되지 않는다. 기판 케이스에는, 예를 들어, 단부가 r 면취되어 있는 기판을 수납할 수도 있다.
기판 케이스 (30) 에 수납되어 반송된 기판 (20) 은, 그 후, 기판 케이스 (30) 로부터 꺼내어지고, 상면 (20b) 에 회로가 형성될 수 있다. 또한, 본 실시형태에 관련된 기판 케이스 (30) 에서는 수납하는 기판 (20) 은 유리 기판이지만, 기판은 유리 기판에 한정되지 않는다. 기판 케이스에 수납하는 기판의 재질은 한정되지 않고, 유리 기판 이외에, 실리콘 기판, 세라믹 기판, 및 수지 기판 등을 수납할 수 있다.
[트레이]
도 1 은, 본 실시형태에 관련된 기판 케이스 (30) 를 구성하는 트레이 (10) 의 개략을 설명하는 도면이다. 도 1 의 (a) 는, 트레이 (10) 의 상면도 및 3 방향에 있어서의 측면도로 이루어지는 4 면도이고, 도 1 의 (b) 는, 트레이 (10) 의 A-A' 선 화살표 방향에서 본 단면도이고, 도 1 의 (c) 는, 트레이 (10) 의 B-B' 선 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 1 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 트레이 (10) 는 상면에서 볼 때의 형상이 대략 정방형이다. 또, 본 명세서에 있어서 트레이 (수납부) 에 있어서의 표면부란, 계지부, 지지부 및 계지 오목부가 형성되어 있는 측의 면이고, 수납부에 있어서의 이면부란 계지 볼록부가 형성되어 있는 측의 면을 의미한다.
도 1 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 트레이 (10) 는, 그 표면부에 계지부 (11a ∼ 11d), 지지부 (12a ∼ 12e), 계지 오목부 (13a, 13c, 13e 및 13g), 및 제 1 맞닿음부 (17a, 17c, 17e 및 17g) 가 형성되어 있다.
도 1 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 지지부 (12a ∼ 12e) 는, 트레이 (10) 의 표면부에 형성된 계지부 (11a) 및 계지부 (11c) 의 단차의 내측에 형성되어 있다. 지지부 (12a ∼ 12e) 는 동일하게, 계지부 (11b 및 11d) 의 단차의 내측에 위치한다. 트레이 (10) 는, 그 표면부에 있어서 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 걸어 고정시키고, 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 의 일부를 지지한다.
도 1 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 트레이 (10) 는, 그 이면부에 계지 볼록부 (13b 및 13f) 가 형성되어 있다. 계지 볼록부 (13b 및 13f) 와 동일하게, 트레이 (10) 의 이면부에는, 도 1 의 (a) 에 나타내는, 계지 볼록부 (13d 및 13h) 가 형성되어 있다. 트레이 (10) 는, 그 이면부에 형성된 계지 볼록부에 의해 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 걸어 고정시킨다.
또한, 트레이 (10) 의 이면부에는, 당해 트레이 (10) 의 표면부에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17a, 17c, 17e 및 17g) 의 뒷편에 제 2 맞닿음부 (17b, 17d, 17f 및 17h) 가 형성되어 있다 (도 1 의 (a)).
또한, 트레이 (10) 는, 그 측면부에, 복수의 트레이 (10) 를 같은 쪽을 향하여 가지런하게 했을 때에만 끼워 맞추는 끼워 맞춤부 (嵌合部) (14a ∼ 14n) 를 구비하고 있다 (도 1, 5 및 6).
트레이 (10) 는, 예를 들어, 진공 성형이나 프레스 성형 등에 의해 평판을 성형함으로써 제조할 수 있다. 수납부를 성형하기 위한 평판은 한정되는 것은 아니지만, 수지제의 평판인 것이 바람직하고, 예를 들어, 발포 폴리스티렌 등을 들 수 있다. 또한, 수납부는 코팅층에 의해서 보호되어 있어도 된다.
[계지부]
도 1 및 도 2 를 사용하여 본 실시형태에 관련된 트레이 (10) 에 형성되어 있는 계지부 (11a ∼ 11d) 에 대해서 보다 상세히 설명한다. 도 2 의 (a) ∼ (c) 는, 도 1 의 (a) 에 있어서의 A-A' 선 화살표 방향에서 본 단면에 기초하여, 복수의 트레이 (10) 에 의해 기판 (20) 을 수납하는 상태를 설명하는 도면이다.
도 2 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 계지부 (11a 및 11c) 의 단차는, 지지부 (12e) 로부터 멀어질수록 넓어지도록 기울어져 있다. 계지부 (11a 및 11c) 와 동일하게 계지부 (11b 및 11d) 도, 지지부 (12e) 로부터 멀어질수록 넓어지도록 기울어져 있다. 또한, 계지부 (11a ∼ 11d) 는, 계지부 (11a ∼ 11d) 의 내측에 걸려 고정되는 기판 (20) 의 외주부의 형상을 따라 만곡되어 있다 (도 1 의 (a)). 요컨대, 트레이 (10) 의 계지부 (11a ∼ 11d) 는, 동일한 형상을 한 단차를 갖고 있고, 당해 단차의 내측에 형성된 영역에 있어서 기판 (20) 을 수납한다.
또한, 별도의 관점에서, 계지부 (11a ∼ 11d) 는, 계지 오목부 (13a, 13c, 13e 및 13g), 및 제 1 맞닿음부 (17a, 17c, 17e 및 17g) 를 형성함으로써, 트레이 (10) 의 표면부에 있어서 지지되는 기판 (20) 을 둘러싸도록 형성된 단차를, 당해 기판 (20) 의 외주부가 배치되는 위치보다 외측을 향해 잘라냄으로써 형성되어 있다. 트레이 (10) 의 표면부에 있어서, 계지부 (11a ∼ 11d) 를 형성하는 합계 4 군데의 노치는, 서로 대향하는 노치끼리, 트레이 (10) 의 표면부에 있어서 기판 (20) 을 지지하는 영역을 사이에 두고 대칭적인 형상을 하고 있다.
이상과 같이 형성되는 계지부 (11a ∼ 11d) 의 단차는, 기판 (20) 을 유지했을 때의 당해 기판 (20) 의 무게중심점으로부터 등간격으로 떨어진 위치로, 기판 (20) 의 단부 (20a) 가 걸려 고정되는 위치에 형성되어 있다. 또한, 서로 인접하는 1 개의 계지부와 다른 계지부 사이의 거리는 동등하다 (도 1 의 (a)). 이 때문에, 도 2 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 복수의 트레이 (10) 를 겹쳐 쌓을 때에 있어서, 각 트레이 (10) 를 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓으면, 같은 형상을 한 계지부 (11a) 와 계지부 (11c) 의 배치가 교체되고, 같은 형상을 한 계지부 (11b) 와 계지부 (11d) 의 배치가 교체되는 것뿐으로, 계지부 (11a ∼ 11d) 에 의해 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 걸어 고정시키는 것에는 변화가 없다. 따라서, 도 2 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 복수의 트레이 (10) 로 이루어지는 기판 케이스 (30) 는, 각 트레이 (10) 의 표면부에 있어서 동일한 상태로 1 장씩 기판 (20) 을 걸어 고정시킬 수 있다.
[지지부]
본 실시형태에 관련된 트레이 (10) 에 있어서, 지지부 (12) 는, 트레이 (10) 의 상면에서 볼 때의 형상이, 기판 (20) 을 유지했을 때의 기판 (20) 의 무게중심점을 중심으로 한, 원형상의 복수의 볼록부인 지지부 (12a ∼ 12e) 로 이루어진다 (도 1 의 (a) 및 (b)). 이로써, 지지부 (12a ∼ 12e) 는 트레이 (10) 의 표면부에 형성되어 있고, 기판 (20) 에 있어서의 바닥면 (20c) 의 일부를 지지한다 (도 2 및 도 3). 따라서, 트레이 (10) 의 표면부에 있어서, 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 을 지지하는 면적을 작게 할 수 있고, 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 에 흠집이 잘 생기지 않게 할 수 있다. 또한, 지지부 (12a ∼ 12e) 는, 기판 (20) 의 무게중심점을 중심으로 한 원형상의 복수의 볼록부인 원형상의 볼록부에 의해 구성되어 있기 때문에, 기판 (20) 을 그 바닥면 (20c) 으로부터 균등하게 지지할 수 있다.
[계지 오목부]
도 1 및 도 3 을 사용하여, 본 실시형태에 관련된 트레이 (10) 에 형성되어 있는 계지 오목부 (13a, 13c, 13e 및 13g), 그리고 제 1 맞닿음부 (17a, 17c, 17e 및 17g) 에 대해서 보다 상세히 설명한다.
도 3 의 (a) 는, 도 1 의 (a) 에 있어서의 B-B' 선 화살표 방향에서 본 단면에 기초하여, 복수의 트레이 (10) 에 의해, 기판 (20) 을 수납하는 상태를 설명하는 도면이다.
도 3 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 서로 대향하는 계지 오목부 (13a 및 13e) 는, 계지부 (11a ∼ 11d) 를 형성하는 합계 4 군데의 노치의 내측에 있어서, 트레이 (10) 의 표면부에 있어서의 기판 (20) 을 지지하는 영역을 사이에 끼고 대칭적으로 배치되어 있다 (도 1 의 (a) 및 (c)). 또한, 계지 오목부 (13a 및 13e) 의 각각은, 대략 정방형인 트레이 (10) 에 있어서, 계지 오목부 (13a) 및 계지 오목부 (13e) 의 위를 통과하는 대각선 (요컨대, 도 1 의 (a) 에 나타내는 B-B' 선) 을 사이에 끼고 비대칭적인 형상을 하고 있다.
또한, 도 3 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 서로 대향하는 계지 오목부 (13a 및 13e) 는, 계지부 (11a ∼ 11d) 가 갖고 있는 단차만큼, 유지하는 기판 (20) 에 대하여 보다 먼 측에 위치하는 단차보다, 당해 기판 (20) 에 보다 가까운 측에 위치하는 단차가 낮아지도록 그 오목부가 형성되어 있다. 여기서, 계지 오목부 (13a 및 13e) 의 오목부는, 트레이 (10) 를 수평하게 배치했을 때에 있어서 지지부 (12a ∼ 12e) 보다 낮은 위치에 형성되어 있다. 이 때문에, 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 파지하고, 계지 오목부 (13a 및 13e) 중 어느 하나에 손을 넣음으로써, 계지부 (11a ∼ 11d) 의 내측의 지지부 (12a ∼ 12e) 위에, 기판 (20) 을 순조롭게 배치할 수 있다. 또한, 계지 오목부 (13a 및 13e) 중 어느 하나에 손을 넣어 당해 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 파지하면, 계지부 (11a ∼ 11d) 에 의해서 둘러싸인 기판 (20) 을 순조롭게 꺼낼 수 있다.
또, 계지 오목부 (13c 및 13g) 는, 계지 오목부 (13a 및 13e) 와 동일하게 서로 대향하도록 형성되어 있고, 트레이 (10) 의 표면부에 있어서의 기판 (20) 을 지지하는 영역을 사이에 끼고 대칭적으로 배치되어 있다 (도 1 의 (a) 및 (c)). 또한, 계지 오목부 (13a 및 13e) 의 각각은, 계지 오목부 (13a), 계지 오목부 (13e), 트레이 (10) 의 표면부에 지지되는 기판 (20) 의 무게중심점을 지나는 대각선 (도시 생략) 을 사이에 끼고, 비대칭적인 형상을 하고 있다. 또한, 계지 오목부 (13c 및 13g) 는, 계지부 (11a ∼ 11d) 가 갖고 있는 단차만큼, 유지하는 기판 (20) 에 대하여 보다 먼 측에 위치하는 단차보다, 당해 기판 (20) 에 보다 가까운 측에 위치하는 단차가 낮아지도록, 그 오목부가 형성되어 있다. 따라서, 계지 오목부 (13c 및 13g) 에 있어서도, 계지 오목부 (13a 및 13e) 와 동일하게, 트레이 (10) 의 표면부로의 기판 (20) 의 배치, 또는 꺼냄에 사용할 수 있음은 말할 필요도 없다.
[제 1 맞닿음부]
제 1 맞닿음부 (17a, 17c, 17e 및 17g) 는, 트레이 (10) 를 상면에서 볼 때, 유지되는 기판 (20) 의 외주부의 형상을 따라, 계지 오목부 (13a, 13c, 13e 및 13g) 에 대하여 개별적으로 인접하도록 형성되어 있다.
계지부 (11a ∼ 11d) 를 형성하는 합계 4 군데의 노치의 내측에 있어서, 서로 대향하는 제 1 맞닿음부 (17a 및 17e) 는, 트레이 (10) 의 표면부에 있어서의 기판 (20) 을 지지하는 영역을 사이에 끼고 대칭적으로 배치되어 있다 (도 1 의 (a)).
또한, 도 3 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, B-B' 선 화살표 방향에서 본 단면에 있어서, 서로 대향하는 제 1 맞닿음부 (17a 및 17e) 는, 계지 오목부 (13a 및 13e) 보다 지면을 향해 안쪽에 형성되어 있고, 트레이 (10) 를 수평하게 배치했을 때에 있어서, 계지 오목부 (13a 및 13e) 의 오목부보다 높고, 지지부 (12a ∼ 12e) 보다 낮은 위치에 형성되어 있다.
또, 서로 대향하는 제 1 맞닿음부 (17c 및 17g) 는, 제 1 맞닿음부 (17a 및 17e) 와 동일하게, 트레이 (10) 의 표면부에 있어서의 기판 (20) 을 지지하는 영역을 사이에 끼고 대칭적으로 배치되어 있고, 트레이 (10) 를 수평하게 배치했을 때에 있어서, 계지 오목부 (13c 및 13g) 의 오목부보다 높고, 지지부 (12a ∼ 12e) 보다 낮은 위치에 형성되어 있다.
[계지 볼록부]
도 3 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 계지 볼록부 (13b 및 13f) 는 계지 오목부 (13a 및 13e) 에 끼워 맞추는 볼록부로서, 계지 오목부 (13a 및 13e) 의 이면을 돌출시킴으로써 형성되어 있는 볼록부이다.
또한, 계지 볼록부 (13b) 및 계지 볼록부 (13f) 의 각각은, 대략 정방형인 트레이 (10) 에 있어서, 계지 볼록부 (13b) 및 계지 볼록부 (13f) 의 위를 통과하는 대각선 (요컨대, 도 1 의 (a) 에 나타내는 B-B' 선) 을 사이에 까고 비대칭적인 형상을 하고 있다.
또한, 계지 볼록부 (13b 및 13f) 에 있어서 서로 대향하는 2 면은, 트레이 (10) 의 표면부에 배치되는 기판 (20) 의 외주부의 형상을 따라 만곡되어 있고, 트레이 (10) 의 이면부로부터 멀어질수록 넓어지는 경사를 가지고 있다 (도 1 의 (c)). 여기서, 기판 케이스 (30) 에 기판 (20) 을 유지했을 때, 도 2 의 (d) 에 나타내는 기판 (20) 에 있어서의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a1) 에 접촉하도록, 계지 볼록부 (13b 및 13f) 에 있어서 서로 대향하는 2 면의 각각에는 경사가 형성되어 있다.
또한, 계지 볼록부 (13b 및 13f) 에 있어서 서로 대향하는 2 면은, 트레이 (10) 의 표면부에 배치되는 기판 (20) 의 무게중심점으로부터 등간격으로 떨어져 있다. 이 때문에, 각 트레이 (10) 를 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓더라도, 계지 볼록부 (13b 및 13f) 에 있어서 서로 대향하는 2 면은 배치가 교체되는 것뿐이며, 기판 (20) 의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a1) 를 걸어 고정시킬 수 있다 (도 3).
또, 도 1 의 (a) 에 나타내는, 계지 볼록부 (13d 및 13h) 는 계지 오목부 (13c 및 13g) 에 끼워 맞추는 볼록부로서, 계지 오목부 (13c 및 13g) 의 이면을 돌출시킴으로써 형성되어 있다. 또한, 계지 볼록부 (13d 및 13h) 에 있어서 서로 대향하는 2 면은, 트레이 (10) 의 표면부에 배치되는 기판 (20) 의 외주부의 형상을 따라 만곡되어 있고, 트레이 (10) 의 이면부로부터 멀어질수록 넓어지는 경사를 가지고 있다. 여기서, 기판 케이스 (30) 에 기판 (20) 을 수납했을 때에, 당해 기판 (20) 에 있어서의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a1) 에 접촉하도록, 계지 볼록부 (13d 및 13h) 에 있어서 서로 대향하는 2 면의 각각에는 경사가 형성되어 있다. 또한, 계지 볼록부 (13b 및 13f) 와 동일하게, 계지 볼록부 (13d 및 13h) 는 계지 볼록부 (13d 및 13h) 의 위를 통과하는 대각선 (도시 생략) 을 사이에 끼고 비대칭적인 형상을 하고 있다. 또한, 계지 볼록부 (13d 및 13h) 에 있어서 서로 대향하는 2 면은, 트레이 (10) 의 표면부에 배치되는 기판 (20) 의 무게중심점으로부터 등간격으로 떨어져 있다.
(계지 오목부, 계지 볼록부 및 제 1 맞닿음부의 배치)
도 3 및 도 4 를 사용하여, 복수의 트레이 (10) 를 겹쳐 쌓았을 때에 있어서의, 계지 오목부, 계지 볼록부 및 제 1 맞닿음부의 배치에 대해서 설명한다. 도 4 의 (a) ∼ (d) 는, 도 1 의 (a) 에 나타내는, C-C' 선 화살표 방향에서 본 단면에 기초하여, 복수의 트레이 (10) 를 겹쳐 쌓은 상태를 설명하는 도면이다. 또, 도 4 에 있어서, 트레이 (10) 는 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓여 있다. 이 때문에, 도 4 의 (a) 및 (b) 에 나타내는, 3 개의 트레이 (10) 중 정가운데에 위치하고 있는 트레이 (10) 는, D-D' 선 화살표 방향에서 본 단면에 기초한 단면이 배치되어 있다.
계지 볼록부 (13b 및 13f) 는, 대략 정방형인 트레이 (10) 에 있어서 계지 볼록부 (13b 및 13f) 의 위를 통과하는 대각선 (요컨대, 도 1 의 (a) 에 나타내는 B-B' 선) 을 사이에 끼고 비대칭적인 형상을 하고 있다. 이 때문에, 도 4 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 각 트레이 (10) 를 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓으면, 가장 위에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 계지 볼록부 (13b) 의 아래에는, 정가운데에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17e) 가 배치된다. 또한, 정가운데에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 계지 볼록부 (13f) 의 아래에는, 그 아래에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17a) 가 배치된다. 이 때문에, 각 트레이 (10) 를 겹쳐 쌓으면, 도 4 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 가장 위에 위치하는 트레이 (10) 의 계지 볼록부 (13b) 의 일부가 정가운데에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17e) 에 맞닿고, 계지 볼록부 (13b) 와 계지 오목부 (13a) 는 끼워 맞춰지지 않는다. 동일하게, 정가운데에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 계지 볼록부 (13f) 는, 그 아래에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17a) 에 맞닿고, 계지 볼록부 (13f) 와 계지 오목부 (13e) 는 끼워 맞춰지지 않는다.
동일하게, 도 4 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 각 트레이 (10) 를 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓으면, 가장 위에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 계지 볼록부 (13h) 의 아래에는, 정가운데에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17c) 가 배치된다. 또한, 정가운데에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 계지 볼록부 (13d) 의 아래에는, 그 아래에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17g) 가 배치된다. 이 때문에, 각 트레이 (10) 를 겹쳐 쌓으면, 도 4 의 (d) 에 나타내는 바와 같이, 가장 위에 위치하는 트레이 (10) 의 계지 볼록부 (13h) 의 일부가 정가운데에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17c) 에 맞닿고, 계지 볼록부 (13h) 와 계지 오목부 (13c) 는 끼워 맞춰지지 않는다. 동일하게, 정가운데에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 계지 볼록부 (13d) 는, 그 아래에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서의 제 1 맞닿음부 (17g) 에 맞닿고, 계지 볼록부 (13d) 와 계지 오목부 (13g) 는 끼워 맞춰지지 않는다.
이와 같이, 트레이 (10) 의 이면부에 있어서, 기판 (20) 의 외주의 형상을 따라 형성된 계지 볼록부 (13b, 13d, 13f 및 13h) 를 트레이 (10) 의 표면부에 제 1 맞닿음부 (17a, 17c, 17e 및 17g) 에 맞닿게 함으로써, 각 트레이 (10) 에 있어서의 표면부와 이면부 사이에 있어서, 기판 (20) 을 유지하는 영역에 충분한 공간을 얻을 수 있다 (도 3 의 (b)). 또, 도 4 의 (a) ∼ (d) 에 나타내는 바와 같이, 각 트레이 (10) 에 있어서의 제 2 맞닿음부 (17b, 17d, 17f 및 17h) 는, 이들의 아래에 위치하는 트레이 (10) 의 표면부의 일부에 맞닿아 있다.
(기판 케이스 (30) 에 있어서의 기판 (20) 의 배치)
도 4 의 (a) ∼ (d) 에 나타내는 바와 같이 겹쳐 쌓은 각 트레이 (10) 의 사이에 있어서, 기판 (20) 은, 1 개의 트레이 (10) 의 표면부와 다른 트레이 (10) 의 이면부의 사이에 기판 (20) 을 수납하고 있다 (도 2 의 (b) 및 도 3 의 (b)).
이 상태에 있어서, 도 3 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 위에 위치하는 트레이 (10) 의 이면부에 형성되어 있는 계지 볼록부 (13b) 는, 그 아래에 위치하는 다른 트레이 (10) 에 형성된 지지부 (12e) 보다 낮은 위치에 있어서 제 1 맞닿음부 (17e) 에 맞닿아 있다. 다른 계지 볼록부에 대해서도, 마찬가지로, 그 아래에 위치하는 다른 트레이 (10) 에 형성된 지지부 (12e) 보다도 낮은 위치에 있어서 제 1 맞닿음부에 맞닿아 있다. 이 때문에, 각 트레이를 겹쳐 쌓았을 때에, 1 개의 트레이 (10) 의 이면부에 형성된 계지 볼록부 (13b, 13d, 13f 및 13h) 의 경사를 갖는 면에 의해서 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 상면 (20b) 측에서부터 걸어 고정시킨 상태에 있어서, 당해 1 개의 트레이 (10) (또는, 겹쳐 쌓인 복수의 트레이 (10) 및 복수의 기판 (20)) 의 하중이 가해지는 것을, 제 1 맞닿음부에 계지 볼록부 (13b, 13d, 13f 및 13h) 를 맞닿게 함으로써 방지할 수 있다. 따라서, 기판 케이스 (30) 에 수납된 기판 (20) 의 단부 (20a) 가 파손되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 1 개의 트레이 (10) 의 이면부에 형성되어 있는 계지 볼록부 (13b, 13d, 13f 및 13h) 는, 그 아래에 위치하는 다른 트레이 (10) 의 표면부에 있어서 지지부 (12a ∼ 12e) 에 지지되어 있는 기판 (20) 의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a1) 를 걸어 고정시키기 때문에, 기판 (20) 에 있어서의 상면 (20b) 에 대하여 트레이 (10) 를 접촉시키지 않고, 기판 (20) 을 유지할 수 있어, 기판 (20) 의 상면 (20b) 에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다 (도 3 의 (c)).
[끼워 맞춤부]
도 5 및 도 6 을 사용하여, 본 실시형태에 관련된 트레이 (10) 가 갖고 있는 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 에 대해서 보다 상세히 설명한다. 도 5 의 (a) 및 (b) 는, 1 개의 트레이 (10) 의 위에 다른 트레이 (10) 를 180°방향을 바꿔 겹쳐 쌓은 상태를 설명하는 측면도이다. 도 6 의 (a) 및 (b) 는, 도 5 의 (a) 및 (b) 와는 상이한 측면으로부터, 1 개의 트레이 (10) 의 위에 다른 트레이 (10) 를 180°방향을 바꿔 겹쳐 쌓은 상태를 설명하는 별도의 측면도이다.
도 5 의 (a) 및 도 5 의 (a) 에 나타내는, 트레이 (10) 의 측면부에 형성된 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 는, 각 도면의 지면의 앞쪽을 향하여 돌출하는 볼록부와, 트레이 (10) 의 이면부에 있어서 당해 볼록부에 끼워 맞춰지도록 형성된 오목부에 의해 구성된다. 또한, 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 는, 측면에서 볼 때에, 2 단의 단차를 적어도 1 개 갖는 볼록형을 하고 있다.
도 5 의 (a) 에 나타내는 측면부에서는, 1 개의 트레이 (10) 의 위에 위치하는 다른 트레이 (10) 는 180°방향을 바꿔 배치되어 있기 때문에, 위에 위치하는 트레이 (10) 의 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14e) 와 아래에 위치하는 트레이 (10) 의 끼워 맞춤부 (14h, 14i, 14l ∼ 14n) 가 같은 쪽을 향하게 배치된다. 또, 도 5 의 (a) 에 나타내는 일 측면의 반대측에 위치하는 측면부에서는, 위에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서 끼워 맞춤부 (14h, 14i, 14l ∼ 14n) 가 배치되고, 아래에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14e) 가 배치되어 있다. 따라서, 도 5 의 (a) 에 있어서의 지면의 앞쪽 및 안쪽에 위치하는 측면부 어디에 있어서도, 끼워 맞춤부의 형상이 일치하고 있지 않다.
이와 같이, 평행하게 180°방향을 바꿔 트레이 (10) 를 배치하면, 도 6 의 (a) 에 나타내는 별도의 측면부에서는, 위에 위치하는 트레이 (10) 의 끼워 맞춤부 (14e ∼ 14h) 와 아래에 위치하는 트레이 (10) 의 끼워 맞춤부 (14i ∼ 14k 및 14a) 가 같은 쪽을 향하여 배치된다. 또, 도 6 의 (a) 에 나타내는 측면부의 반대측에 위치하는 측면부에서는, 위에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서 끼워 맞춤부 (14i ∼ 14k 및 14a) 가 배치되고, 아래에 위치하는 트레이 (10) 에 있어서 끼워 맞춤부 (14e ∼ 14h) 가 배치되어 있다. 따라서, 도 6 의 (a) 에 있어서의 지면의 앞쪽 및 안쪽에 위치하는 측면부 어디에 있어서도, 끼워 맞춤부의 형상이 일치하고 있지 않다.
요컨대, 트레이 (10) 를 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓으면, 외주부의 형상이 대략 정방형인 트레이 (10) 의 4 측면에 형성된 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 가 서로 끼워 맞춰지지 않도록 배치된다.
[제 3 맞닿음부]
도 5 의 (a) 에 나타내는 일 측면에서는, 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14e, 14h, 14i, 14l ∼ 14n) 의 각각은 2 단의 단차를 갖는 볼록형을 하고 있고, 끼워 맞춤부 (14h, 14i, 14l ∼ 14n) 에 있어서 위에서부터 첫 번째 단의 단차와 두 번째 단의 단차 사이에는, 제 3 맞닿음부 (15b, 15d, 15f 및 15h) 가 형성되어 있다.
또한, 도 6 의 (a) 에 나타내는 별도의 측면에서는, 끼워 맞춤부 (14e ∼ 14h, 14i, 14k 및 14a) 의 각각은 2 단의 단차를 적어도 1 개 갖는 볼록형을 하고 있고, 끼워 맞춤부 (14i, 14k, 14a) 에 있어서 위에서부터 첫 번째 단의 단차와 두 번째 단의 단차 사이에는, 제 3 맞닿음부 (16b, 16d 및 16f) 가 형성되어 있다.
도 5 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 이와 같이 2 개의 트레이를 평행하게 180°방향을 바꿔 배치하면, 위에 위치하는 트레이 (10) 에 형성된 제 3 맞닿음부 (15a, 15c, 15e 및 15g) 와, 위에 위치하는 트레이 (10) 의 끼워 맞춤부 (14h, 14l ∼ 14n) 에 형성된 제 3 맞닿음부 (15b, 15d, 15f 및 15h) 가 쌍이 되도록 배치된다.
동일하게, 도 6 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 위에 위치하는 트레이 (10) 에 형성된 제 3 맞닿음부 (16a, 16c 및 16e) 와, 아래에 위치하는 트레이 (10) 의 끼워 맞춤부 (14h, 14l ∼ 14n) 에 형성된 제 3 맞닿음부 (16b, 16d 및 16f) 가 쌍이 되도록 배치된다. 또, 도 5 의 (a) 및 도 6 의 (a) 에 있어서 도시하지 않은 측면부에 있어서도, 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 에 형성된 맞닿음부가 쌍이 되도록 배치된다.
도 5 의 (a) 에 나타내는 상태로부터 상하 2 개의 트레이 (10) 를 포개면, 도 6 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 제 3 맞닿음부 (15a 와 15b), 제 3 맞닿음부 (15c 와 15d), 제 3 맞닿음부 (15e 와 15f), 제 3 맞닿음부 (15g 와 15h) 가 쌍이 되어 맞닿는다.
동일하게, 도 6 의 (a) 에 나타내는 상태로부터 상하 2 개의 트레이 (10) 를 포개면, 도 6 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 제 3 맞닿음부 (16a 와 16b), 제 3 맞닿음부 (16c 와 16d), 제 3 맞닿음부 (16e 와 16f) 가 쌍이 되어 맞닿는다. 또한, 도 5 의 (b) 및 도 6 의 (b) 에 있어서 도시하지 않은 측면부에 있어서도, 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 에 형성된 맞닿음부와, 트레이 (10) 의 측면부의 바닥면에 형성된 맞닿음부가 맞닿는다. 이와 같이, 외주부의 형상이 대략 정방형인 트레이 (10) 의 4 측면부에 있어서 각 제 3 맞닿음부를 맞닿게 하고, 또한, 각 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 에 있어서의 2 단의 단차 중 상측에 위치하는 단차를, 위에 위치하는 트레이 (10) 의 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 의 내측의 일부에 걸어 고정시킴으로써, 위에 위치하는 트레이 (10) 와 아래에 위치하는 트레이 (10) 를 걸어 맞춘다.
또한, 도 5 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 제 3 맞닿음부 (15c 와 15d) 가 서로 맞닿아 있는 상태에 있어서, 도 4 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 맞닿음부 (17a) 에 계지 볼록부 (13f) 가 맞닿고, 제 1 맞닿음부 (17e) 에 계지 볼록부 (13b) 가 맞닿아 있다. 동일하게, 제 3 맞닿음부 (15i 와 15j) 가 쌍이 되어 맞닿아 있다. 요컨대, 제 3 맞닿음부가 서로 맞닿아 있는 상태에 있어서, 제 1 맞닿음부와 계지 볼록부가 서로 맞닿아 있다. 이와 같이, 본 실시형태에 관련된 기판 케이스 (30) 에서는, 제 1 맞닿음부와 계지 볼록부를 서로 맞닿게 하고, 쌍이 된 제 3 맞닿음부를 서로 맞닿게 함으로써, 위에 위치하는 트레이 (10) (또는, 겹쳐 쌓인 복수의 트레이 (10) 및 복수의 기판 (20)) 의 중량에 의해, 아래에 위치하는 트레이 (10) 의 지지부 (12a ∼ 12e) 에 지지된 기판 (20) 에 대하여, 단부 (20a) 를 통해 과도하게 힘이 가해지는 것을 방지할 수 있다.
(끼워 맞춤부에 의한 트레이의 끼워맞춤)
도 4 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 상하에 배치되는 2 개의 트레이 (10) 를 같은 쪽을 향하게 배치하면, 트레이 (10) 의 측면부에 있어서의 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14e) (대향하는 측면부에서는 끼워 맞춤부 (14h, 14i, 14l ∼ 14n)) 의 배치가 일치한다. 이 때문에, 도 5 의 (d) 에 나타내는 바와 같이, 상하에 위치하는 2 개의 트레이 (10) 를 서로 끼워 맞출 수 있다.
동일하게, 도 6 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 상하에 배치되는 2 개의 트레이 (10) 를 같은 쪽을 향하게 배치하면, 트레이 (10) 의 측면부에 있어서의 끼워 맞춤부 (14e ∼ 14h) (대향하는 측면부에서는 끼워 맞춤부 (14i ∼ 14k 및 14a)) 의 배치가 일치한다. 이 때문에, 도 6 의 (d) 에 나타내는 바와 같이, 상하에 위치하는 2 개의 트레이 (10) 를 서로 끼워 맞출 수 있다.
또한, 도 5 의 (c) 및 도 6 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 복수의 트레이 (10) 를 같은 쪽을 향하게 하여 겹쳐 쌓으면, 계지 오목부 (13a) 와 계지 볼록부 (13b) 가 끼워 맞춰진다. 동일하게, 계지 오목부 (13c) 와 계지 볼록부 (13d), 계지 오목부 (13e) 와 계지 볼록부 (13f), 계지 오목부 (13g) 와 계지 볼록부 (13h) 를 서로 끼워 맞출 수 있다. 그리고, 트레이 (10) 의 표면부에 형성되어 있는 계지부 (11a ∼ 11d) 가 갖고 있는 단차에 둘러싸임으로써 형성되는 오목부도, 트레이 (10) 의 이면부에 있어서, 당해 단차에 의해 형성되는 볼록부에 끼워 맞출 수 있다.
따라서, 같은 쪽을 향하게 하여 복수의 트레이 (10) 를 포갬으로써 부피가 커지지 않도록 복수의 트레이 (10) 를 수납할 수 있다 (도 5 의 (d) 및 도 6 의 (d)).
<기판 반송기>
도 7 을 사용하여, 본 실시형태에 관련된 기판 반송기 (50) 에 대해서 보다 상세히 설명한다. 도 7 의 (a) 는, 본 실시형태에 관련된 기판 반송기 (50) 의 상면도이고, 도 7 의 (b) 는, 본 실시형태에 관련된 기판 반송기 (50) 의 측면도이다.
도 7 의 (a) 및 (b) 에 나타내는 바와 같이, 기판 반송기 (50) 는, 기판 케이스 (30), 한 쌍의 플레이트 (판부) (40), 및 결속 (結束) 밴드 (밴드부) (41) 를 구비하고 있다.
이와 같이, 복수의 트레이 (10) 로 이루어지는 기판 케이스 (30) 를 한 쌍의 플레이트 (40) 에 의해 파지하고, 결속 밴드 (41) 에 의해서 결속한다. 이로써, 기판 케이스 (30) 를 무너지지 않도록 하여 바람직하게 반송할 수 있다.
[플레이트]
도 7 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 플레이트 (40) 는, 상면에서 볼 때의 형상이 대략 정방형이고, 플레이트 (40) 의 외주를 구성하는 4 변의 중앙 부분에 노치부 (40a) 가 형성되어 있다. 플레이트 (40) 는 알루미늄 등의 금속으로 제작되어 있다. 플레이트 (40) 는, 기판 케이스 (30) 를 무너뜨리지 않고서 반송함과 함께, 반송시 등에 있어서의 기판 케이스 (30) 의 파손을 방지하기 위해, 기판 케이스 (30) 의 상하에 배치된다. 노치부 (40a) 의 형상은 특별히 한정되지 않고, 결속 밴드 (41) 에 의한 결속이 바람직하게 이루어지는 형상이면 된다.
플레이트 (40) 에 형성된 노치부 (40a) 에 결속 밴드 (41) 를 통과시킴으로써, 플레이트 (40) 에 의해 기판 케이스 (30) 를 상하로 파지하여 결속할 때에, 결속 밴드 (41) 가 플레이트 (40) 에 있어서 위치가 어긋나게 되는 것을 방지할 수 있다. 이로써, 기판 반송기 (50) 를 반송할 때에 있어서, 기판 케이스 (30) 의 결속이 느슨해지는 것을 방지할 수 있다.
[결속 밴드]
결속 밴드 (41) 는, 플레이트 (40) 를 개재하여 기판 케이스 (30) 를 결속한다. 결속 밴드 (41) 는, 기판 케이스 (30) 와 한 쌍의 플레이트 (40) 를 결속할 수 있는 것이면 한정되지 않고, 예를 들어, 일반적인 포장에 사용되고 있는, 버클식의 결속 밴드나, 가열함으로써 융착되는 폴리프로필렌 밴드, 고무 등을 사용할 수 있다.
본 실시형태에 관련된 기판 반송기 (50) 에서는, 2 개의 결속 밴드를 사용하여 한 쌍의 플레이트 (40) 와 기판 케이스 (30) 를 결속한다. 기판 반송기 (50) 에서는, 기판 케이스 (30) 의 최상면과 최하면에 플레이트 (40) 를 배치하고, 최상면의 플레이트 (40) 에 있어서의 서로 대향하는 노치부 (40a) 와, 당해 대향하는 노치부 (40a) 에 대하여 최하면의 플레이트 (40) 에 있어서 서로 대향하는 노치부 (40a) 에 결속 밴드를 통과시켜, 기판 케이스 (30) 를 결속한다.
도 7 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 기판 반송기 (50) 는, 한 쌍의 플레이트 (40) 에 의해서, 수지에 의해 성형되어 있는 트레이 (10) 로 이루어지는 기판 케이스 (30) 를, 당해 기판 케이스 (30) 의 최상면과 최하면을 개재하여 파지한다. 이로써, 기판 케이스 (30) 를 반송하기 위해서 들어 올릴 때, 기판 케이스 (30) 가 자체 무게에 의해 휘는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 기판 케이스 (30) 에 의해 기판 (20) 을 바람직하게 반송할 수 있다. 또한, 결속 밴드 (41) 에 의해 한 쌍의 플레이트 (40) 를 개재하여 기판 케이스 (30) 를 결속하기 때문에, 기판 케이스 (30) 를 결속하기 위해서 결속 밴드 (41) 에 의해 가해지는 힘이, 기판 케이스 (30) 의 최상면 및 최하면에 균등하게 가해진다. 따라서, 결속 밴드 (41) 에 의해서 가해지는 힘이 기판 케이스 (30) 의 일부에 집중함으로써 기판 케이스 (30) 를 구성하는 트레이 (10) 가 파손되는 것을 바람직하게 방지할 수 있다.
<제 2 실시형태에 관련된 기판 케이스>
본 발명에 관련된 기판 케이스는, 상기 실시형태 (제 1 실시형태) 에 한정되지 않는다. 예를 들어, 일 실시형태 (제 2 실시형태) 에 관련된 기판 케이스에서는, 1 개의 트레이 (수납부) 는, 그 표면부가 구비하고 있는 계지부의 단차에 의해서 기판의 단부를 당해 기판의 바닥면측에서부터 지지하고, 당해 수납부의 위에 위치하는 다른 수납부의 이면부에 있어서의 계지 볼록부에 의해서 기판의 단부를 당해 기판의 상면측에서부터 걸어 고정시킴으로써, 기판을 유지한다.
본 실시형태에 관련된 기판 케이스 (30') 는, 1 개의 트레이 (10') 의 표면부에 있어서의 계지부의 단차의 도중에서 기판 (20) 에 있어서의 단부 (20a) 를 걸어 고정시키는 점에서 트레이 (10) 와 상이하다 (도 8 의 (a) 및 (c)). 또한, 트레이 (10') 는, 1 개의 트레이 (10') 의 계지부의 단차의 도중에 있어서 걸어 고정되어 있는 기판 (20) 의 단부 (20a) 를, 당해 기판 (20) 의 상면측에서부터 걸어 고정시키도록, 당해 트레이 (10') 의 위에 위치하는 다른 트레이 (10') 의 이면부에 형성된 계지 볼록부의 배치가 조정되어 있고, 이에 따라서, 계지 볼록부와 표리 일체로 성형되어 있는 계지 오목부의 배치가 조정되어 있는 점에서 트레이 (10) 와 상이하다 (도 8 의 (b) 및 (d)). 이들 2 가지 점 이외에, 트레이 (10') 는, 제 1 맞닿음부, 제 3 맞닿음부, 및 지지부에 대해서 도 1 에 나타내는 트레이 (10) 와 동일한 배치를 갖는다.
따라서, 트레이 (10') 는, 트레이 (10) 와 동일하게, 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓을 수 있다. 또, 트레이 (10) 와 동일한 기능을 갖는 트레이 (10') 에 있어서의 끼워 맞춤부, 제 1 맞닿음부, 제 3 맞닿음부, 및 계지 오목부에 대해서는 그 설명을 생략한다.
도 8 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 기판 케이스 (30') 에 있어서의 트레이 (10') 는, 각 트레이 (10') 의 표면부에 형성된 단차의 도중에 있어서, 기판 (20) 에 있어서의 단부를 바닥면측에서부터 걸어 고정시킨다. 또한, 도 8 의 (a) 에 나타내는 상태에 있어서, 1 개의 트레이 (10') 의 표면부에 있어서, 기판 (20) 에 있어서의 단부를 지지하고 있는 트레이 (10) 의 위에 위치하는 다른 트레이 (10') 의 계지 볼록부에 의해, 당해 기판의 단부를 기판 (20) 에 있어서의 단부를 상면측에서부터 걸어 고정시킨다 (도 8 의 (b)). 이로써, 기판 (20) 은, 1 개의 트레이 (10') 의 표면부와 당해 1 개의 트레이 (10') 의 위에 위치하는 다른 트레이 (10') 의 이면부의 사이에 수납된다 (도 8 의 (a) 및 (b)).
1 개의 트레이 (10') 에 있어서의 계지부 (11'c) 의 단차는, 기판 (20) 의 외주부의 형상을 따라 만곡되어 있고, 지지부 (12'e) 로부터 멀어질수록 넓어지는 경사를 가지고 있다. 여기서, 계지부 (11'c) 의 단차는, 트레이 (10') 의 표면부에 기판 (20) 이 수납되었을 때, 도 2 의 (d) 에 나타내는 기판 (20) 에 있어서의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a2) 가 평행하게 배치되도록 경사져 있다. 또, 다른 계지부도, 도 8 의 (c) 에 나타내는 계지부 (11'c) 와 동일하게, 기판 (20) 의 외주부의 형상을 따라 만곡되어 있고, 지지부 (12'e) 로부터 멀어질수록 넓어지는 경사를 가지고 있다. 또한, 다른 계지부의 단차도, 도 2 의 (d) 에 나타내는 기판 (20) 에 있어서의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a2) 가 평행하게 배치되도록 경사져 있다. 이로써, 당해 트레이 (10') 의 표면부에 있어서, 기판 (20) 에 있어서의 단부 (20a) 를 당해 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 측에서부터 모따기 부위 (a2) 를 통해서 걸어 고정시킨다 (도 8 의 (c)).
또한, 도 8 의 (d) 에 나타내는 바와 같이, 계지 볼록부 (13'b) 는, 제 1 맞닿음부 (17'e) 에 맞닿은 상태로, 그 경사를 갖는 면에 있어서 기판 (20) 의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a1) 를 걸어 고정시키고 있다. 또한, 계지 볼록부 (13'b) 와 동일하게, 다른 계지 볼록부도, 그 경사를 갖는 면에 있어서 기판 (20) 의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a1) 를 걸어 고정시키고 있다. 이 상태에 있어서, 기판 케이스 (30') 에서는, 아래에 위치하는 트레이 (10') 의 지지부 (12'd 및 12'e) 와 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 과의 사이, 및, 당해 기판 (20) 의 상면 (20b) 와 당해 기판 (20) 의 위에 위치하는 트레이 (10') 의 이면부와의 사이의 양방에 있어서 공간이 형성되어 있다. 따라서, 기판 케이스 (30') 에서는, 기판 (20) 에 있어서의 단부 (20a) 의 모따기 부위 (a1 및 a2) 보다도 내측에 트레이 (10') 가 접촉함으로써, 기판 (20) 의 상면 (20b) 및 바닥면 (20c) 에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다. 또한, 트레이 (10') 에 있어서도 제 1 맞닿음부가 형성되어 있기 때문에, 기판 (20) 의 단부 (20a) 에 트레이 (10') (또는, 겹쳐 쌓인 복수의 트레이 (10') 및 복수의 기판 (20)) 의 중량에 의해, 아래에 위치하는 트레이 (10') 의 계지부의 단차에 걸려 고정된 기판 (20) 에 대하여, 단부 (20a) 를 통해서 과도하게 힘이 가해지는 것을 방지할 수 있다.
또, 본 실시형태에 관련된 기판 케이스 (30') 에 있어서, 트레이 (10') 에 형성된 지지부는, 수납된 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 에 항상 접촉하여 지지하고 있는 것은 아니다. 지지부는, 기판 케이스 (30') 를 반송할 때, 충격에 의해서 기판 (20) 이 휘었을 때나, 기판 (20) 이 자체 무게에 의해 휘었을 때 등에, 기판 (20) 을 이면에서부터 지지하기 위해서 형성해 두는 것이 바람직하다.
<제 3 실시형태에 관련된 기판 케이스>
본 발명에 관련된 기판 케이스는, 상기 실시형태 (제 1 실시형태 및 제 2 실시형태) 에 한정되지 않는다. 예를 들어, 일 실시형태 (제 3 실시형태) 에 관련된 기판 케이스에서는, 이면부는 계지 볼록부 (13''b, 13''d, 13''f 및 13''h) 에 인접하며, 또한, 트레이 (10'') 를 수평하게 배치했을 때에, 이면부에 있어서의 가장 낮은 면보다 높고, 이면부의 가장 높은 면보다 낮은 위치에 있어서, 다른 트레이 (10'') 의 표면부에 있어서의 가장 높은 면의 일부 (a ∼ h) 에 맞닿을 수 있는 제 2 맞닿음부 (18a ∼ 18h) 를 구비하고 있는 구성이다.
이로써, 복수의 트레이 (10'') 를 평행하게 180°씩 방향을 바꿔 겹쳐 쌓았을 때에, 각 트레이 (10'') 의 표면부와 이면부의 사이에 있어서, 기판 (20) 을 유지하는 영역에 충분한 공간을 얻을 수 있다.
도 9 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 트레이 (10'') 는 표면부에, 단차를 갖는 계지부 (11''a ∼ 11''d) 와, 복수의 오목부 (r) 를 구비한 지지부 (12f) 와, 계지 오목부 (13''a, 13''c, 13''e 및 13''h) 를 구비하고 있다. 트레이 (10'') 는 그 이면부에, 계지 볼록부 (13''b, 13''d, 13''f 및 13''h) 와, 제 2 맞닿음부 (18a ∼ 18g) 를 구비하고 있다. 또한, 트레이 (10'') 는 그 측면부에, 제 1 실시형태에 관련된 트레이 (10) 와 동일하게 끼워 맞춤부 (14a ∼ 14n) 를 갖고 있고, 각 끼워 맞춤부는 제 3 맞닿음부를 구비하고 있다.
또, 트레이 (10'') 가 구비하고 있는 끼워 맞춤부 및 제 3 맞닿음부의 형상 및 기능은 제 1 실시형태에 관련된 트레이 (10) 가 구비하고 있는 끼워 맞춤부 및 제 3 맞닿음부와 동일하기 때문에, 그 설명을 생략한다.
도 9 의 (b) 는, 도 9 의 (a) 에 있어서의 트레이 (10'') 의 E-E' 선 화살표 방향에서 본 단면도이다. 도 9 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 트레이 (10'') 에서는, E-E' 선 화살표 방향에서 본 단면에 있어서, 계지부 (11''a) 의 단차와 계지부 (11''c) 의 단차가 서로 대향하고 있고, 지지부 (12f) 로부터 멀어질수록 넓어지는 경사를 가지고 있다. 또한, 도 9 의 (a) 에 있어서의 계지부 (11''b) 의 단차와 계지부 (11''d) 의 단차가 서로 대향하고 있다. 요컨대, 계지부 (11''a ∼ 11''d) 는, 표면부에 형성된 단차를 계지 오목부 (13''a, 13''c, 13''e 및 13''g) 에 의해서 잘려지도록 형성되어 있는 것 이외에는, 트레이 (10) 의 계지부 (11a ∼ 11d) 와 동일하다.
도 9 의 (c) 는, 도 9 의 (a) 에 있어서의 F-F' 선 화살표 방향에서 본 단면도이다. 도 9 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 트레이 (10'') 의 표면부에는, 계지 오목부 (13''a 및 13''e) 가 형성되어 있다. 또한, 트레이 (10'') 의 이면부에 있어서, 계지 오목부 (13''a 및 13''e) 의 이면을 돌출시키도록 하여 계지 볼록부 (13''b 및 13''f) 가 형성되어 있다. 또한, 도 9 의 (a) 에 나타내는, 트레이 (10'') 의 표면부에 형성된 계지 오목부 (13''c 및 13''g) 를 이면부에 있어서 돌출시킴으로써, 계지 볼록부 (13''d 및 13''h) 가 형성되어 있다.
계지 오목부 (13''a, 13''c, 13''e 및 13''g) 는, 상면에서 볼 때의 형상이 대략 정방형인 것, 및, 계지 오목부 (13''a) 와 계지 오목부 (13''e) 가 트레이 (10'') 의 무게중심점을 사이에 끼고 대칭적인 형상을 하고 있고, 계지 오목부 (13''c) 와 계지 오목부 (13''g) 가 트레이 (10'') 의 무게중심점을 사이에 끼고 대칭적인 형상을 하고 있는 것 이외에는, 트레이 (10) 에 있어서의 계지 오목부 (13a, 13c, 13e 및 13g) 와 동일한 기능을 갖고 있다.
동일하게, 계지 볼록부 (13''b, 13''d, 13''f, 13''h) 도 대략 정방형인 것, 및, 계지 볼록부 (13''b) 와 계지 볼록부 (13''f) 가 트레이 (10'') 의 무게중심점을 사이에 끼고 대칭적인 형상을 하고 있고, 계지 볼록부 (13''d) 와 계지 볼록부 (13''h) 가 트레이 (10'') 의 무게중심점을 사이에 끼고 대칭적인 형상을 하고 있는 것 이외에는, 트레이 (10) 에 있어서의 계지 볼록부 (13b, 13d, 13f, 13h) 와 동일한 기능을 갖고 있다.
[지지부 (제 3 실시형태)]
도 9 의 (a) ∼ (c) 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 트레이 (10'') 에서는, 복수의 오목부 (r) 를 구비한 지지부 (12f) 에 의해서 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 을 지지한다. 이러한 구성에 의해서도, 트레이 (10'') 의 표면부에 있어서, 기판 (20) 의 바닥면 (20c) 을 지지하는 면적을 작게 할 수 있다. 도 9 의 (b) 및 (c) 에 나타내는 바와 같이, 지지부 (12f) 에 형성된 오목부 (r) 는, 트레이 (10'') 의 이면부에 있어서 돌출되는 볼록부를 형성하고 있지만, 당해 볼록부는, 아래에 위치하는 다른 트레이 (10'') 의 표면부에 수납된 기판 (20) 의 상면 (20b) 에 접촉하지 않는다.
또, 지지부에 오목부를 형성하는 경우, 오목부의 크기 및 수는, 수납하는 기판의 형상 등에 따라서 적절히 조정하면 된다.
[제 2 맞닿음부]
도 10 을 사용하여, 본 실시형태에 관련된 트레이 (10'') 가 구비하고 있는 제 2 맞닿음부에 대해서 보다 상세히 설명한다. 도 10 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 맞닿음부의 각각은, 상면에서 볼 때에 대략 정방형인 계지 오목부 (13''a, 13''c, 13''e 및 13''h) 의 각각에 있어서, 서로 대향하는 2 변에 인접하도록 형성되어 있다. 요컨대, 제 2 맞닿음부의 각각은, 대략 정방형인 계지 볼록부 (13''b, 13''d, 13''f 및 13''g) 의 각각에 있어서, 서로 대향하는 2 변에 인접하도록 형성되어 있는 것이기도 하다. 여기서, 트레이 (10'') 를 평행하게 180°씩 회전시키면서 겹쳐 쌓았을 때, 위에 위치하는 트레이 (10'') 에 있어서의 제 2 맞닿음부의 각각은, 아래에 위치하는 다른 트레이 (10'') 에 있어서의 제 2 맞닿음부와는 서로 겹치지 않고, 당해 다른 트레이 (10'') 의 표면부의 일부에 맞닿는다.
도 10 의 (a) 는, 도 9 의 (a) 에 있어서의 트레이 (10'') 의 G-G' 선 화살표 방향에서 본 단면도와, H-H' 선 화살표 방향에서 본 단면도에 기초하여, 복수의 트레이 (10'') 를 180°씩 평행하게 회전시키면서 겹쳐 쌓았을 때에 있어서의, 제 2 맞닿음부와 트레이 (10'') 의 표면부의 일부의 배치를 설명하기 위한 개략도이다. 또, 도 10 의 (a) 에 도시되어 있는 3 개 트레이 (10'') 중, 위에서 첫 번째 및 세 번째 트레이 (10'') 는, G-G' 화살표 방향의 선에 기초하는 단면이 나타나 있고, 위에서 두 번째 트레이 (10'') 는, G-G' 화살표 방향의 선에 기초하는 단면이 나타나 있다.
도 10 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 3 개의 트레이 (10'') 를 평행하게 180°씩 회전시켜 배치하면, 위에 위치하는 트레이 (10'') 의 이면에 형성된 제 2 맞닿음부 (18g) 가, 정가운데에 위치하는 트레이 (10'') 의 표면부의 가장 높은 면에 위치하고, 계지 오목부 (13''g) 의 개구의 외주 부분의 일부 (d) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다. 여기서, 위에 위치하는 트레이 (10'') 에 있어서의 계지 오목부 (13''e) 의 1 변에 형성된 제 2 맞닿음부 (18e) 가, 정가운데에 위치하는 다른 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''a) 의 개구의 외주 부분의 일부 (h) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다. 또한, 위에 위치하는 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''e) 의 1 변에 형성된 제 2 맞닿음부 (18f) 가, 정가운데에 위치하는 다른 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''a) 의 개구의 외주 부분의 일부 (g) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다.
이 상태에 있어서, 정가운데에 위치하는 트레이 (10'') 의 이면에 형성된 제 2 맞닿음부 (18a) 가, 아래에 위치하는 트레이 (10'') 의 표면부의 가장 높은 면에 위치하고, 계지 오목부 (13''g) 의 개구의 외주 부분의 일부 (a) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다. 여기서, 정가운데에 위치하는 트레이 (10'') 에 있어서의 계지 오목부 (13''c) 의 1 변에 형성된 제 2 맞닿음부 (18c) 가, 아래에 위치하는 다른 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''g) 의 개구의 외주 부분의 일부 (e) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다. 또한, 정가운데에 위치하는 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''c) 의 1 변에 형성된 제 2 맞닿음부 (18d) 가, 정가운데에 위치하는 다른 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''a) 의 개구의 외주 부분의 일부 (f) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다.
도 10 의 (b) 는, 도 9 의 (a) 에 있어서의 트레이 (10'') 의 I-I' 선 화살표 방향에서 본 단면도와, J-J' 선 화살표 방향에서 본 단면도에 근거하여, 복수의 트레이 (10'') 를 180°씩 평행하게 회전시키면서 겹쳐 쌓았을 때에 있어서의, 제 2 맞닿음부와 트레이 (10'') 의 표면부의 일부와의 배치를 설명하기 위한 개략도이다. 또, 도 10 의 (a) 에 도시되어 있는 3 개 트레이 (10'') 중, 위에서 첫 번째 및 세 번째 트레이 (10'') 는 I-I' 화살표 방향의 선에 기초한 단면이 나타나 있고, 위에서 두 번째 트레이 (10'') 는, J-J' 화살표 방향의 선에 기초한 단면이 나타나 있다. 즉, 도 10 의 (a) 에 나타내는 바와 같이, 3 개의 트레이 (10'') 를 포개었을 때에 있어서, 도 10 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, I-I' 선 화살표 방향에서 본 단면 및 J-J' 선 화살표 방향에서 본 단면에 기초하여, 복수의 트레이 (10'') 는 포개진다.
도 10 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 3 개의 트레이 (10'') 를 평행하게 180°씩 회전시켜 배치하면, 위에 위치하는 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''a) 의 이면에 형성된 제 2 맞닿음부 (18a) 가 정가운데에 위치하는 트레이 (10'') 의 표면부의 가장 높은 면에 위치하고, 계지 오목부 (13''e) 의 개구의 외주 부분의 일부 (a) 에 맞닿을 수 있도록 배치되고, 제 2 맞닿음부 (18b) 가 표면부의 일부 (b) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다. 동일하게, 위에 위치하는 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''g) 의 이면에 형성된 제 2 맞닿음부 (18h) 가, 정가운데에 위치하는 트레이 (10'') 의 표면부의 가장 높은 면에 위치하고, 계지 오목부 (13''g) 의 개구의 외주 부분의 일부 (c) 에 맞닿을 수 있도록 배치되고, 제 2 맞닿음부 (18g) 가 표면부의 일부 (d) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다.
이 상태에 있어서, 정가운데에 위치하는 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''e) 의 이면에 형성된 제 2 맞닿음부 (18e) 가, 아래에 위치하는 트레이 (10'') 의 표면부의 가장 높은 면에 위치하고, 계지 오목부 (13''a) 의 개구의 외주 부분의 일부 (h) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다. 또한, 동일하게, 정가운데에 위치하는 트레이 (10'') 의 계지 오목부 (13''c) 의 이면에 형성된 제 2 맞닿음부 (18d) 가, 아래에 위치하는 트레이 (10'') 의 표면부의 가장 높은 면에 위치하고, 계지 오목부 (13''g) 의 개구의 외주 부분의 일부 (f) 에 맞닿을 수 있도록 배치된다.
이상과 같이, 제 2 맞닿음부 (18a ∼ 18h) 를 배치함으로써, 트레이 (10'') 를 평행하게 180°씩 회전시켜 포개면, 제 2 맞닿음부 (18a ∼ 18h) 가, 계지 오목부 (13''a, 13''c, 13''e, 13''g) 의 개구의 외주 부분에 위치하고, 트레이 (10'') 의 표면부에 있어서 가장 높은 면의 일부 (a ∼ g) 에 맞닿을 수 있다.
또, 트레이 (10'') 에 있어서도, 트레이 (10) 및 트레이 (10'') 의 경우와 동일하게, 계지부 (11''a ∼ 11''d) 의 배치를 기판 (20) 의 크기에 맞춰 조정함으로써, 계지부 (11''a ∼ 11''d) 에 기판 (20) 의 단부 (20a) 를 걸어 고정시키는 것도 가능함은 물론이다.
<별도의 실시형태에 관련된 기판 케이스>
본 발명에 관련된 기판 케이스는, 상기 실시형태 (제 1 실시형태 및 제 2 실시형태) 에 한정되지 않는다. 예를 들어, 수납부에 형성되는 계지 볼록부는, 서로 대향하는 2 쌍의 볼록부에 한정되지 않는다.
수납부의 계지 볼록부는, 기판의 외주의 형상에 따라서 당해 기판의 단부를 걸어 고정시키도록 적절히 설계하면, 그 배치 및 수는 한정되지 않는다. 동일하게, 수납부의 계지부의 배치 및 수도 한정되지 않는다. 기판 케이스를 구성하는 수납부는, 그 표면부에 있어서 기판을 지지하고, 다른 수납부의 이면부에 형성된 계지 볼록부에 의해 기판의 단부를 걸어 고정시킴으로써 당해 기판을 유지할 수 있으면 되고, 계지 볼록부 및 계지부의 배치 및 수는 한정되지 않는다.
따라서, 기판 케이스에 수납되는 기판의 외주부의 형상도 원형에 한정되지 않고, 정육면체나 직육면체 등이어도 된다. 수납부는, 기판의 형상에 따라서 적절히, 지지부, 계지부 및 계지 볼록부의 형상 및 배치를 설계하면 되기 때문이다.
또한, 상기 실시형태와 동일하게, 아래에 위치하는 수납부에 대하여, 위에 위치하는 수납부의 방향을 바꿔 겹쳐 쌓은 구성으로 하는 경우, 각 수납부의 표면부에 지지된 기판의 무게중심점으로부터 등간격으로 떨어진 위치이고, 기판 (20) 의 외주 단부가 배치되는 위치에 계지 볼록부의 경사를 갖는 면을 형성하면 된다. 예를 들어, 합계 3 군데에 형성된 계지 볼록부에 의해서 기판을 걸어 고정시키는 구성에서는, 이들 3 군데의 계지 볼록부에 있어서의 기판을 걸어 고정시키는 면은, 당해 기판의 무게중심점을 중심점으로 하여, 기판의 외주 단부가 배치되는 원주 상에 120°마다 각도를 바꾸어 배치되어 있으면 된다. 이와 같이, 각 수납부를 평행하게 방향을 바꾸면서 겹쳐 쌓은 실시형태에 있어서, 각 계지 볼록부의 경사를 갖는 면이, 유지되는 기판의 무게중심점을 중심점으로 하여 등간격으로 떨어져 있고, 당해 기판의 외주의 형상에 따르도록 형성되어 있으면, 수납부에 형성되는 계지 볼록부의 수는 한정되지 않는다.
그리고 별도의 실시형태에 관련된 기판 케이스에서는, 수납부에 있어서의 지지부의 형상은, 기판 (20) 을 유지했을 때의 기판 (20) 의 무게중심점을 중심으로한 원형상에 한정되지 않는다. 지지부의 형상은, 지지할 기판의 형상에 맞춰 적절히 설계하면 되고, 지지되는 기판의 무게중심점을 중심으로 한 원호상 등으로 형성되어 있어도 된다.
또, 또 다른 별도의 실시형태에 관련된 기판 케이스에서는, 계지 볼록부는, 기판의 상면에 있어서의 외주 단부에 선 접촉하는 경사를 가지고 있다. 당해 구성에 의해서도, 기판의 상면에 있어서의 외주 단부보다 내측에 대하여 수납부의 이면부가 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 기판의 상면의 외주 단부보다 내측에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다.
또한, 또 다른 별도의 실시형태에 관련된 기판 케이스에서는, 수납부의 표면부에 계지 볼록부가 형성되고, 수납부의 이면부에 단차를 갖는 계지부가 형성되어 있는 구성이어도 된다. 수납부에 있어서, 표면부와 이면부는 상대적인 표현에 불과하며, 상기 구성이더라도, 기판의 단부만을 걸어 고정시킴으로써 기판을 바람직하게 유지할 수 있음은 분명하다.
본 발명은 상기 서술한 각 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 청구항에 나타낸 범위에서 여러 가지 변경이 가능하며, 다른 실시형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절히 조합하여 얻어지는 실시형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
본 발명은, 반도체 웨이퍼 기판이나 유리 기판의 반송에 바람직하게 이용할 수 있다.
10, 10', 10'' : 트레이 (수납부)
11a, 11b, 11c, 11d : 계지부
11'a, 11'c : 계지부
11''a, 11''b, 11''c, 11''d : 계지부
12, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e : 지지부
12'd, 12'e : 지지부
12f : 지지부
13a, 13c, 13e, 13g : 계지 오목부
13'a, 13'e : 계지 오목부
13''a, 13''c, 13''e, 13''g : 계지 오목부
13b, 13d, 13f, 13h : 계지 볼록부
13'b, 13'f : 계지 볼록부
13''b, 13''d, 13''f, 13''h : 계지 볼록부
14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f, 14g, 14h, 14i, 14j, 14k, 14l, 14m, 14n : 끼워 맞춤부
15a, 15b, 15c, 15d, 15e, 15f, 15g, 15h, 15i, 15j, 15k, 15l, 16a, 16b, 16c, 16d, 16e, 16f : 제 3 맞닿음부
17a, 17c, 17e, 17g : 제 1 맞닿음부
17'a, 17'e : 제 1 맞닿음부
17b, 17d, 17f, 17h : 제 2 맞닿음부
18a, 18b, 18c, 18d, 18e, 18f, 18g, 18h : 제 2 맞닿음부
20 : 기판
20a : 단부 (기판)
20b : 바닥면 (기판)
a1 : 모따기 부위 (단부)
a2 : 모따기 부위 (단부)
30, 30' : 기판 케이스
40 : 플레이트 (판부)
40a : 노치부 (판부)
41 : 결속 밴드 (밴드부)
50 : 기판 반송기

Claims (13)

  1. 기판을 수납하기 위한 수납부를 복수 갖는 기판 케이스로서,
    상기 수납부는,
    상기 기판의 단부를 걸어 고정시키는 단차를 갖는 계지부를 구비한 표면부와,
    상기 기판의 단부를 걸어 고정시키는 계지 볼록부를 구비한 이면부를 구비하고 있고,
    1 개의 수납부의 표면부에 있어서의 상기 계지부의 내측에 있어서 상기 기판을 지지하고, 당해 수납부의 위에 위치하는 다른 수납부의 이면부에 있어서의 계지 볼록부에 의해 상기 기판의 단부를 걸어 고정시킴으로써, 상기 기판을 유지하는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 표면부는, 상기 기판의 바닥면의 일부를 지지하는 지지부를 구비하고 있고,
    1 개의 수납부의 표면부에 있어서의 상기 지지부에 의해 상기 기판의 바닥면의 일부를 지지하고, 당해 수납부의 위에 위치하는 다른 수납부의 이면부에 있어서의 계지 볼록부에 의해 상기 기판의 단부를 걸어 고정시킴으로써 상기 기판을 유지하는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  3. 제 1 항에 있어서,
    1 개의 수납부는, 상기 표면부가 구비하고 있는 상기 계지부의 단차에 의해서 상기 기판의 단부를 지지하고, 당해 수납부의 위에 위치하는 다른 수납부의 이면부에 있어서의 계지 볼록부에 의해서 상기 기판의 단부를 걸어 고정시킴으로써, 상기 기판을 유지하는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부는, 상기 표면부의 상면에서 볼 때의 형상이, 상기 기판을 유지했을 때의 당해 기판의 무게중심점을 중심으로 한, 원형상 또는 원호상인 복수의 볼록부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 계지 볼록부는 복수의 볼록부로 이루어지고, 각 볼록부에 있어서의 상기 기판의 단부를 걸어 고정시키는 면은, 상기 기판을 유지했을 때의 당해 기판의 단부에 있어서의 모따기 부위에 접촉하도록, 경사를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 계지 볼록부는, 서로 대향하는 2 쌍의 볼록부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 표면부는, 상기 기판의 단부가 배치되는 부위에 있어서, 상기 다른 수납부의 이면부에 형성된 상기 계지 볼록부를 끼워 맞출 수 있는 계지 오목부를 구비하고 있고,
    상기 계지 볼록부와 상기 계지 오목부는, 1 개의 수납부와 다른 수납부를 특정한 배치에 있어서 포개었을 때에만, 서로 끼워 맞춰지도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 표면부는, 상기 계지 오목부에 인접하며, 또한, 상기 수납부를 수평하게 배치했을 때에, 상기 표면부에 있어서의 가장 높은 면보다 낮고, 상기 계지 오목부의 바닥면보다 높은 위치에 있어서, 상기 다른 수납부의 이면부에 형성된 상기 계지 볼록부의 단부에 맞닿을 수 있는 제 1 맞닿음부를 구비하고 있고,
    상기 계지 볼록부의 단부와 상기 제 1 맞닿음부는, 1 개의 수납부와 다른 수납부를 상기 특정한 배치와는 다른 배치에 있어서 포개었을 때에, 서로 맞닿게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 이면부는, 상기 계지 볼록부에 인접하며, 또한, 상기 수납부를 수평하게 배치했을 때에, 상기 이면부에 있어서의 가장 낮은 면보다 높고, 상기 이면부의 가장 높은 면보다 낮은 위치에 있어서, 상기 다른 수납부의 표면부에 있어서의 가장 높은 면의 일부에 맞닿을 수 있는 제 2 맞닿음부를 구비하고 있고,
    상기 제 2 맞닿음부와 상기 다른 수납부의 표면부의 일부는, 1 개의 수납부와 다른 수납부를 상기 특정한 배치와는 다른 배치에 있어서 포개었을 때에, 서로 맞닿게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 수납부는, 1 개의 수납부의 표면부와 다른 수납부의 이면부에 있어서 끼워 맞추는 복수의 끼워 맞춤부를 구비하고 있고,
    1 개의 수납부와 다른 수납부를 상기 특정한 배치에 있어서 포개었을 때에만, 상기 복수의 끼워 맞춤부가 끼워 맞춰지고, 또한 상기 계지 볼록부와 상기 계지 오목부가 끼워 맞춰지도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 복수의 끼워 맞춤부의 각각은, 다른 수납부의 끼워 맞춤부에 맞닿는 제 3 맞닿음부를 구비하고 있고,
    1 개의 수납부와 다른 수납부를 상기 다른 배치에 있어서 포개었을 때에, 상기 복수의 끼워 맞춤부의 제 3 맞닿음부와 상기 다른 수납부의 제 3 맞닿음부를 맞닿게 함으로써, 1 개의 수납부와 다른 수납부를 걸어맞춤하는 것을 특징으로 하는 기판 케이스.
  12. 제 1 항에 기재된 기판 케이스를 구성하는 수납부.
  13. 제 1 항에 기재된 기판 케이스와,
    상기 기판 케이스의 최상면과 최하면을 파지하는 한 쌍의 판부와,
    상기 기판 케이스를 상기 한 쌍의 판부에 의해 파지한 상태로 결속하는 밴드부를 구비하고 있고,
    상기 한 쌍의 판부의 각각에는, 각 판부의 단부에 있어서의 서로 대향하는 위치에, 상기 밴드부를 내측에 배치하는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송기.
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