KR20170019045A

KR20170019045A - 반도체소자 테스트용 핸들러

Info

Publication number: KR20170019045A
Application number: KR1020150112893A
Authority: KR
Inventors: 이진복; 김진수; 박선미
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2015-08-11
Filing date: 2015-08-11
Publication date: 2017-02-21
Also published as: KR20210124166A; KR102513449B1; KR20220061077A; KR102312491B1; KR102393398B1

Abstract

본 발명은 반도체소자의 테스트를 지원하는 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는 테스터 측과 전기적으로 연결되는 적어도 하나의 테스트 소켓이 탈착 가능하게 설치되며, 반도체소자가 테스트되는 테스트위치에 있거나 상기 테스트위치로부터 벗어날 수 있는 소켓 플레이트; 상기 소켓 플레이트에 설치된 상기 적어도 하나의 테스트 소켓에 적어도 하나의 반도체소자를 공급하는 소자 공급기; 상기 소켓 플레이트를 상기 테스트위치에서 벗어나도록 이동시키거나 상기 테스트위치로 되돌리는 이동기; 및 상기 소자 공급기 및 이동기를 제어하는 제어기; 를 포함한다.
본 발명에 따르면 테스트될 반도체소자의 규격 변환 시에 테스트 소켓을 교체하는 작업이 신속하고 수월하게 이루어질 수 있어서 가동률을 향상시킬 수 있다.

Description

반도체소자 테스트용 핸들러{HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR}

본 발명은 반도체소자를 테스트할 때 사용되는 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것이다.

반도체소자 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 함)는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하는 장비이다.

반도체소자 테스트용 핸들러는 대한민국 공개 특허 10-2002-0053406호 등을 통해 공개되어 있다.

공개된 특허 문헌에 의하면 테스트 소켓으로 반도체소자를 공급하는 소자 공급기(해당 문헌에는 '인덱스헤드'라 명명됨)가 하강하여 반도체소자를 테스트 소켓 측에 가압함으로써 파지한 반도체소자를 직접 테스트 소켓에 전기적으로 접속시킨다.

그런데, 대한민국 공개 특허 10-2008-0097600호에서 제시된 바와 같은 테스트 소켓의 경우에는 자체적으로 반도체소자를 가압하여 상호 전기적으로 연결되는 구조를 가진다. 이러한 테스트 소켓이 적용된 경우에는 소자 공급기가 반도체소자를 테스트 소켓으로 공급하면, 테스트 소켓의 가압 구조가 작동하여 반도체소자와 전기적으로 접속된다. 이러한 방식에서 테스트 소켓의 가압 구조가 반도체소자를 가압하는 상태로 된 경우에는 테스트 소켓으로부터 반도체소자를 회수할 수가 없고, 마찬가지 이유로 테스트 소켓으로 반도체소자를 공급할 수도 없다. 따라서 가압 구조의 가압 상태를 해제하여 테스트 소켓을 개방시킴으로써 소자 공급기에 의해 테스트 소켓으로 반도체소자를 공급하거나 테스트 소켓으로부터 반도체소자를 회수할 수 있도록 하는 개방기가 필요하다.

한편, 도 1에서와 같이 테스트 소켓(TS)은 소켓 플레이트(150)에 설치된다. 따라서 테스트될 반도체소자의 규격이 바뀌게 되면, 소켓 플레이트(150)를 교체하여야만 한다. 소켓 플레이트(150)를 교체하기 위해서는 허용된 좁고 복잡한 공간에서 별도의 도구를 사용하여 소켓 플레이트(150)의 고정을 해제시키는 등의 번거로움이 따른다.

따라서 근자에는 테스트 소켓(TS)을 소켓 플레이트(150)에 탈착 가능하게 설치함으로써, 테스트될 반도체소자의 규격이 바뀌더라도 테스트 소켓(TS)만을 교체하면 될 수 있는 구조가 제안되었다. 그런데, 이러한 경우에도 소켓 플레이트(150) 주변의 다른 구성 부품들로 인하여 허용된 비좁은 공간에서 이루어지는 테스트 소켓(TS)의 교체 작업이 매우 힘들고 번거로운 점이 있었다. 예를 들어, 장비의 외벽의 일부를 분해하거나 장비의 외벽의 일부에 개구부 또는 도어를 두어 그 사이에 팔정도를 집어넣어 테스트 소켓(TS)을 교체하는 형태였기 때문에, 교체 작업이 번거롭고 작업이 까다로운 점이 있었던 것이다. 특히 테스트 소켓(TS)을 개방시키기 위한 개방기가 구비되는 경우에는 더욱 테스트 소켓(TS)의 교체가 더욱 불편한 점이 있었다.

본 발명의 제1 목적은 작업자가 작업하기 수월한 위치에서 테스트 소켓을 교체하는 작업을 수행할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.

본 발명의 제2 목적은 테스트 소켓의 교체 작업이 수월하게 이루어질 수 있는 구조를 제공하는 것이다.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는, 테스터 측과 전기적으로 연결되는 적어도 하나의 테스트 소켓이 탈착 가능하게 설치되며, 반도체소자가 테스트되는 테스트위치에 있거나 상기 테스트위치로부터 벗어날 수 있는 소켓 플레이트; 상기 소켓 플레이트에 설치된 상기 적어도 하나의 테스트 소켓에 적어도 하나의 반도체소자를 공급하는 소자 공급기; 상기 소켓 플레이트를 상기 테스트위치에서 벗어나도록 이동시키거나 상기 테스트위치로 되돌리는 이동기; 및 상기 소자 공급기 및 이동기를 제어하는 제어기; 를 포함한다.

상기 이동기는, 상기 소켓 플레이트가 결합되어 있는 결합프레임; 상기 결합프레임을 이동시킴으로써 상기 소켓 플레이트를 테스트위치에서 벗어나도록 하거나 테스트위치로 복귀시키는 이동원; 및 상기 결합프레임의 이동을 안내하는 안내부재; 를 포함한다.

상기 테스트위치에 있는 상기 소켓 플레이트를 고정시키거나 고정을 해제시키는 클램퍼; 를 더 포함하고, 상기 제어기는 상기 소켓 플레이트를 상기 테스트위치로부터 벗어나는 방향으로 이동시키기 전에 상기 적어도 하나의 클램퍼에 의한 상기 소켓 플레이트의 고정 상태를 해제시킨다.

상기 적어도 하나의 테스트 소켓은 상기 소켓 플레이트에 탈착 가능하게 결합된다.

상기 적어도 하나의 테스트 소켓을 개방함으로써 상기 소자 공급기에 의해 상기 테스트 소켓으로 적어도 하나의 반도체소자를 공급하거나 상기 테스트 소켓으로부터 적어도 하나의 반도체소자를 회수할 수 있게 하는 개방기; 를 더 포함할 수 있다.

상기 개방기는, 상기 테스트 소켓을 조작하기 위한 조작블록; 및 상기 조작블록이 상기 테스트 소켓을 조작하여 상기 테스트 소켓이 개방되도록 상기 조작블록을 구동시키는 구동원; 을 포함하며, 상기 조작블록은 상기 소켓 플레이트와 상기 소자 공급기 사이에 구비된다.

상기 조작블록은 상기 소자 공급기에 의해 공급되는 적어도 하나 이상의 반도체소자가 통과될 수 있는 통과구멍을 가진다.

상기 개방기는, 상기 조작블록을 지지하는 지지레일; 및 상기 지지레일에 상기 조작블록을 고정시키는 고정부재; 를 포함하고, 상기 조작블록은 상기 고정부재에 의한 고정이 해제된 경우에는 상기 지지레일을 따라 이동될 수 있어서 상기 소켓 플레이트와 상기 소자 공급기 사이에서 벗어날 수 있다.

본 발명에 따르면 테스트 소켓의 교체 작업이 작업자가 편리하게 작업할 수 있는 위치에서 수월하게 이루어지기 때문에, 테스트 소켓의 교체 시간을 줄임으로써 인력 낭비를 줄이고 가동률을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 소켓 플레이트에 대한 일예이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러에 대한 개념적인 평면 구성도이다.
도 3은 도 2의 핸들러의 주요 부위에 대한 개념적인 측면 구성도이다.
도4는 도 2의 핸들러에 적용된 소자 공급기(240)에 대한 개략적인 구조도이다.
도 5는 도 2의 핸들러에 적용된 소켓 플레이트에 개한 개략적인 사시도이다.
도 6은 도 2의 핸들러에 적용된 이동기에 대한 개략적인 발췌 사시도이다.
도 7은 도2의 핸들러에 적용된 클램퍼에 대한 개략적인 발췌 사시도이다.
도 8은 도2의 핸들러에 적용된 개방기에 대한 개략적인 발췌 사시도이다.
도 9의 도 8의 개방기의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도 10은 도 6의 이동기의 작동을 보여주는 개략적인 작동 상태도이다.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 참고로 설명의 간결함을 위해 공지되었거나 중복되는 설명이나 도면의 부호 표기는 가급적 생략하거나 압축한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러(200, 이하 '핸들러'라 약칭함)에 대한 개념적인 평면 구성도이고, 도 3은 도 2의 핸들러(200)의 주요 부위에 대한 개념적인 측면 구성도이다.

도 2 및 도 3에서 참조되는 바와 같이 본 발명에 따른 핸들러(200)는 셔틀(shuttle, 210), 로딩 부분(220) 및 언로딩 부분(230), 소자 공급기(240), 소켓 플레이트(250), 이동기(260, 도3 참조), 클램퍼(270, 도3 참조), 개방기(280) 및 제어기(290)를 포함하여 구성된다.

셔틀(210)은 로딩 위치(LP), 파지 위치(DP) 및 언로딩 위치(UP)를 좌우 방향으로 잇는 직선상에서 왕복 이동하는 포켓 테이블(211)을 가진다. 그리고 포켓 테이블(211)은 반도체소자의 적재가 가능한 8개의 로딩 포켓(211a)과 8개의 언로딩 포켓(211b)을 가진다. 여기서 로딩 포켓(211a)은 포켓 테이블(211)의 왕복 이동에 의해 로딩 위치(LP)와 파지 위치(DP) 사이를 왕복 이동하고, 언로딩 포켓(211b)은 포켓 테이블(211)의 왕복 이동에 의해 파지 위치(DP)와 언로딩 위치(UP) 사이를 왕복 이동한다. 로딩 부분(220)은 셔틀(210))의 로딩 포켓(211a)들로 테스트가 이루어져야 할 반도체소자를 로딩(loading)시킨다.

언로딩 부분(230)은 셔틀(210)의 언로딩 포켓(211b)들로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩(unloadin)시킨다.

참고로 반도체소자의 로딩/언로딩 기술과 관련하여서는 이미 다양한 형태로 공개되고 주지되어 있어서 그 자세한 설명은 생략한다.

소자 공급기(240)는 8개의 반도체소자를 소켓 플레이트(250)로 공급한다. 이를 위해 도 4의 개략적인 구조도에서와 같이, 소자 공급기(240)는 파지 헤드(241), 수평 이동기(242) 및 수직 이동기(243)를 포함한다.

파지 헤드(241)는 8개의 반도체소자를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 각각 한 개의 반도체소자를 진공압에 의해 파지하거나 파지를 해제할 수 있는 8개의 픽커(P)를 가진다.

수평 이동기(242)는 파지 헤드(241)를 전후 수평 방향으로 이동시킨다.

수직 이동기(243)는 파지 헤드(241)를 상하 방향으로 이동시킨다.

소켓 플레이트(250)에는 도 5에서와 같이 8개의 테스트 소켓(TS)들이 탈착 가능하게 설치된다. 그리고 소켓 플레이트(250)에 설치된 각각의 테스트 소켓(TS)들은 하방에 상당한 간격으로 이격되게 위치하는 테스터(TESTER) 측과 케이블(C)에 의해 전기적으로 연결되어 있다. 이러한 테스트 소켓(TS)들은 도 3과 같이 소켓 플레이트(250)가 테스트위치(TP)에 있을 때, 소자 공급기(240)에 의해 공급되어 온 반도체소자와 전기적으로 접속된다.

이동기(260)는 테스트위치(TP)에 있는 소켓 플레이트(250)를 소자 공급기(240)로부터 멀어지는 하방으로 이동시키거나 테스트위치(TP)로 되돌린다. 즉, 이동기(260)는 소켓 플레이트(250)를 승강 이동시킴으로써 소켓 플레이트(250)가 테스트위치(TP)로부터 벗어나게 위치될 수 있게 하거나 테스트위치(TP)로 복귀시킨다. 이를 위해 이동기(260)는 도 6의 발췌도에서와 같이 결합프레임(261), 이동원(262) 및 안내부재(263)를 포함한다.

결합프레임(261)에는 그 상면에 소켓 플레이트(250)가 결합된다. 그리고 결합프레임(261)은 이동원(262)에 의해 승강 이동한다. 따라서 결합프레임(261)에 결합된 소켓 플레이트(250)도 결합프레임(261)과 함께 승강 이동하게 된다.

이동원(262)은 결합프레임(261)을 승강 이동시다. 이러한 이동원(262)은 로드리스 실린더로 구비될 수 있다. 물론, 실시하기에 따라서는 모터나 일반 실린더 등으로 대체될 수도 있다. 그러나 로드리스 실린더가 모터보다 저렴하고, 단순하게 승강 구조를 구현해 낼 수 있다는 점에서 장점이 있고, 정밀도나 공간 활용도 면에서도 일반 실린더보다 더 우수하다. 특히 구조적인 면에서 모터는 LM가이드, 벨트나 볼스크류가 더 들어가서 복잡하고, 실린더는 1M의 이동 거리를 구현하기 위해서는 2M의 설치 길이가 필요할뿐더러 하부에 보드도 위치시켜야 하는 공적적인 취약함이 있다. 따라서 이동원(262)으로서 로드리스 실린더가 구비되는 것이 가장 바람직하다.

안내부재(263)는 결합프레임(261)의 승강 이동을 안내하며, 2개의 안내봉(263a, 263b)으로 구성된다.

클램퍼(270)는 소켓 플레이트(250)를 단단히 고정시키기 위해 마련된다. 이를 위해 클램퍼(270)는 도 7의 상하를 뒤바꾼 발췌도에서와 같이 설치판(271), 4개의 진퇴부재(272a 내지 272d), 4개의 실린더(273a 내지 273d) 및 4개의 방지부재(274a 내지 274d)를 포함한다.

설치판(271)에는 4개의 실린더(273a 내지 273d)와 4개의 방지부재(272a 내지 272d)가 고정 설치된다. 그리고 설치판(271)에는 소켓 플레이트(250)를 상방으로 노출시키기 위한 노출구멍(EH)이 형성되어 있다.

진퇴부재(272a 내지 272d)는 실린더(273a 내지 273d)에 의해 소켓 플레이트(250) 측으로 이동 시에는 소켓 플레이트(250)를 단단히 가압하여 소켓 플레이트(250)를 고정시키고, 반대 반향으로 이동 시에는 소켓 플레이트(250)에 대한 고정을 해제시킨다. 물론, 실시하기에 따라서는 진퇴부재가 소켓 플레이트를 고정하는 것이 아니라 소켓 플레이트의 임의적인 하방 이탈을 방지하기 위해 소켓 플레이트를 받치기만 하도록 구성되는 것도 고려될 수 있다.

실린더(273a 내지 273d)는 진퇴부재(272a 내지 272d)를 진퇴시키는 진퇴원으로서 마련된다.

방지부재(272a 내지 272d)는 진퇴부재(272a 내지 272d)의 이동을 안내함과 함께 진퇴부재(272a 내지 272d)가 하방으로 처지는 것을 방지한다. 즉, 방지부재(272a 내지 272d)는 설치판과 결합 고정됨으로써 진퇴부재(272a 내지 272d)가 이동될 수 있는 이동구멍을 형성한다. 따라서 진퇴부재(272a 내지 272d)는 이동구멍에 삽입된 상태로 방지부재(272a 내지 272d)에 지지되면서 진퇴하게 된다.

개방기(280)는 소자 공급기(240)가 테스트 소켓(TS)으로 반도체소자를 공급할 수 있도록 하거나 테스트 소켓(TS)으로부터 반도체소자를 회수할 수 있도록 테스트 소켓(TS)을 조작하여 테스트 소켓(TS)이 개방되도록 한다. 이를 위해 개방기(280)는 도 8의 발췌도에서와 같이 2개의 조작블록(281a, 281b), 캠봉(282), 한 쌍의 이동판(283a, 283b), 한 쌍의 지지레일(284a, 284b), 4개의 고정부재(285a 내지 285d) 및 회전원(286)을 포함한다.

2개의 조작블록(281a, 281b)은 소자 공급기(240)와 소켓 플레이트(250) 사이에서 상호 나란히 구비되며, 소자 공급기(240)를 통해 상방에서 하방의 소켓 플레이트(250)로 공급되는 반도체소자가 통과될 수 있는 통과구멍(TH)들을 각각 4개씩 가진다.

캠봉(282)은 양 측에 캠부분(282a, 282b)이 형성되어 있어서 회전에 따라서 캠부분(282a, 282b)이 이동판(283a, 283b)을 승강 이동시킬 수 있다.

한 쌍의 이동판(283a, 283b)에는 캠구멍(CH)이 형성되어 있다. 이러한 이동판(283a, 283b)의 캠구멍(CH)에 캠봉(282)의 캠부분(282a, 282b)이 삽입되어 있다. 따라서 캠봉(282)의 회전에 따라서 한 쌍의 이동판(283a, 283b)이 승강 이동하게 된다.

한 쌍의 지지레일(284a, 284b)은 조작블록(281a, 281b)들의 좌우 양단을 지지하며, 조작블록(281a, 281b)들의 전후 방향으로의 이동을 안내한다. 또한, 지지레일(284a, 284b)은 이동판(283a, 283b)에 결합되어 있어서 이동판(283a, 283b)의 승강 이동에 따라 함께 승강 이동하게 된다.

4개의 고정부재(285a 내지 285d)는 조작블록(281a, 281b)들을 지지레일(284a, 284b)에 고정시킨다. 이러한 4개의 고정부재(285a 내지 285d)들은 원터치 버튼식으로 구비되어서, 조작블록(281a, 281b)들을 지지레일(284a, 284b)들에 고정시키거나 고정을 해제시키는 작업이 버튼을 1회 눌러줌에 의해 쉽게 이루어질 수 있다.

회전원(286)은 설치판(271)에 고정되게 설치되며, 캠봉(282)을 회전시킨다. 이러한 회전원(286)은 조작블록(281a, 281b)을 승강 구동시키기 위한 구동원이다.

따라서 도 9의 (a)에서와 같이 캠봉(282)의 회전상태에 따라서 캠부분(282a, 282b)의 볼록한 부위가 회전축(RS)에 대하여 상측에 위치하면 이동판(283b), 지지레일(284b) 및 조작블록(281a, 281b)이 상승함으로써 조작블록(281a, 281b)이 테스트 소켓(TS)과 이격된다.

그런데, 도 9의 (b)에서와 같이 캠봉(282)의 회전상태에 따라서 캠부분(282a, 282b)의 볼록한 부위가 회전축(RS)에 대하여 하측에 위치하면 이동판(283b), 지지레일(284b) 및 조작블록(281a, 281b)이 하강함으로써 조작블록(281a, 281b)이 테스트 소켓(TS)을 상단을 하방으로 가압한다. 이에 따라 테스트 소켓(TS)이 조작되어 테스트 소켓(TS)가 개방된다. 참고로 테스트 소켓(TS)의 상단은 승강 가능한 누름부재가 구비되어서, 누름부재의 하강에 따라서 테스트 소켓(TS)의 가압장치가 조작되어 테스트 소켓(TS)이 열리게 된다.

제어기(290)는 셔틀(210), 로딩부분(220), 언로딩부분(240), 소자 공급기(240), 이동기(260), 클팸퍼(270) 및 개방기(280)를 제어한다.

계속하여 상기한 바와 같은 구성을 가지는 핸들러(200)의 동작에 대해서 설명한다.

로딩부분(220)이 포켓 테이블(211)의 로딩 포켓(211a)에 8개의 반도체소자를 로딩시키면, 포켓 테이블(211)이 우측으로 이동함으로써 로딩 포켓(211a)이 소자 공급기(240)의 파지 헤드(241)의 하부에 위치되도록 한다. 그리고 소자 공급기(240)가 동작하여 파지 헤드(241)가 로딩 포켓(211a)에 있는 8개의 반도체소자를 파지한 후 소켓 플레이트(250)의 상측으로 이동한다. 이 때, 개방기(280)는 테스트 소켓(TS)을 개방된 상태로 조작하여 놓고 있다. 따라서 파지 헤드(241)가 하강하면서 반도체소자가 조작 블록(281a, 281b)의 통과 구멍(TH)을 통과하여 테스트 소켓(TS)으로 공급된다. 파지 헤드(241)가 상승하면, 개방기(280)에 의한 테스트 소켓(TS)의 조작이 해제되어 테스트 소켓(TS)이 반도체소자를 가압하는 상태로 돌아간다. 따라서 반도체소자가 테스트 소켓(TS)을 통해 테스터(TESTER)와 전기적으로 접속된다. 그리고 테스트가 완료되면, 위의 역동작에 따라서 소자 공급기(240)에 의해 회수된 반도체소자는 포켓 테이블(211)의 이동에 의해 파지 위치(DP)에 있는 언로딩 포켓(211b)에 적재된다. 물론, 언로딩 포켓(211b)에 적재된 반도체소자들을 언로딩부분(230)에 의해 언로딩된다.

한편, 테스트될 반도체소자의 규격이 변환되면, 작업자는 핸들러(200)의 제어기(290)로 소켓 플레이트(250)의 하강 명령을 입력시킨다. 이에 따라 제어기(290)는 클램퍼(270)를 제어하여 소켓 플레이트(250)의 고정을 해제시키고, 이어서 이동원(260)을 작동시켜 결합프레임(261) 및 소켓 플레이트(250)를 하강 이동시킨다. 따라서 소켓 플레이트(250)는 도 10에서와 같이 테스트위치(TP)를 벗어나서 테스터(TESTER) 측으로 상당한 간격만큼 하강 이동하게 된다. 그리고 도 10과 같은 상태에서 작업자는 수월하게 테스트 소켓(TS)을 교체한 후, 제어기(290)에 소켓 플레이트(250)의 상승 명령을 입력시킨다. 그러면, 제어기(290)는 결합프레임(261) 및 소켓 플레이트(250)를 상승 이동시키고, 소켓 플레이트(250)의 상승이 완료되면 클램퍼(270)를 제어하여 소켓 플레이트(250)를 고정시킨다.

물론, 사용하기에 따라서는 소켓 플레이트(250)를 하강시키지 않고도 작업자가 약간 수월하게 테스트 소켓(TS)을 교체할 수도 있다. 예를 들면, 작업자가 고정부재(285a 내지 285d)에 의한 조작블록(281a, 281b)의 고정을 해제시킨 후, 조작블록(281a, 281b)을 지지레일(284a, 284b)을 따라 전후 방향으로 벌려 이동시킴으로써 조작블록(281a, 281b)을 소자 공급기(240)와 소켓 플레이트(250) 사이에서 벗어나도록 하거나 탈거시킨다. 그리고 테스트 소켓(TS)의 교체 작업을 수행한다.

위의 실시예는 소자 공급기(240)가 반도체소자를 테스트 소켓(TS)에 공급만 하고, 테스트 소켓(TS) 자체적으로 반도체소자와 전기적으로 접속되는 구조의 핸들러(200)를 참조하고 있다. 그러나 본 발명은 소자 공급기가 직접 반도체소자를 테스트 소켓 측으로 가압하는 구조의 핸들러에도 충분히 적용될 수 있다.

또한, 본 발명은 테스트 소켓(TS) 개개의 교체가 아닌, 테스트 소켓(TS)들이 설치된 소켓 플레이트(250) 채로 교체되는 경우에도 바람직하게 적용될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

200 : 반도체소자 테스트용 핸들러
240 : 소자 공급기
250 : 소켓 플레이트
260 : 이동기
261 : 결합프레임 262 : 이동원
263 : 안내부재
270 : 클램퍼
280 : 개방기
281a, 2814b : 조작블록
TH : 통과구멍
284a, 284b : 지지레일
285a 내지 285d : 고정부재
286 : 회전원
290 : 제어기

Claims

테스터 측과 전기적으로 연결되는 적어도 하나의 테스트 소켓이 탈착 가능하게 설치되며, 반도체소자가 테스트되는 테스트위치에 있거나 상기 테스트위치로부터 벗어날 수 있는 소켓 플레이트;
상기 소켓 플레이트에 설치된 상기 적어도 하나의 테스트 소켓에 적어도 하나의 반도체소자를 공급하는 소자 공급기;
상기 소켓 플레이트를 상기 테스트위치에서 벗어나도록 이동시키거나 상기 테스트위치로 되돌리는 이동기; 및
상기 소자 공급기 및 이동기를 제어하는 제어기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러
제1 항에 있어서,
상기 이동기는,
상기 소켓 플레이트가 결합되어 있는 결합프레임;
상기 결합프레임을 이동시킴으로써 상기 소켓 플레이트를 테스트위치에서 벗어나도록 하거나 테스트위치로 복귀시키는 이동원; 및
상기 결합프레임의 이동을 안내하는 안내부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.
제1 항에 있어서,
상기 테스트위치에 있는 상기 소켓 플레이트를 고정시키거나 고정을 해제시키는 클램퍼; 를 더 포함하고,
상기 제어기는 상기 소켓 플레이트를 상기 테스트위치로부터 벗어나는 방향으로 이동시키기 전에 상기 적어도 하나의 클램퍼에 의한 상기 소켓 플레이트의 고정 상태를 해제시키는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.
제1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 테스트 소켓은 상기 소켓 플레이트에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.
제1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 테스트 소켓을 개방함으로써 상기 소자 공급기에 의해 상기 테스트 소켓으로 적어도 하나의 반도체소자를 공급하거나 상기 테스트 소켓으로부터 적어도 하나의 반도체소자를 회수할 수 있게 하는 개방기; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.
제5 항에 있어서,
상기 개방기는,
상기 테스트 소켓을 조작하기 위한 조작블록; 및
상기 조작블록이 상기 테스트 소켓을 조작하여 상기 테스트 소켓이 개방되도록 상기 조작블록을 구동시키는 구동원; 을 포함하며,
상기 조작블록은 상기 소켓 플레이트와 상기 소자 공급기 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.
제6 항에 있어서,
상기 조작블록은 상기 소자 공급기에 의해 공급되는 적어도 하나 이상의 반도체소자가 통과될 수 있는 통과구멍을 가지는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.
제6 항에 있어서,
상기 개방기는,
상기 조작블록을 지지하는 지지레일; 및
상기 지지레일에 상기 조작블록을 고정시키는 고정부재; 를 포함하고,
상기 조작블록은 상기 고정부재에 의한 고정이 해제된 경우에는 상기 지지레일을 따라 이동될 수 있어서 상기 소켓 플레이트와 상기 소자 공급기 사이에서 벗어날 수 있는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.