KR20170008154A

KR20170008154A - Pellicle storage container and method for taking out pellicle

Info

Publication number: KR20170008154A
Application number: KR1020160080136A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2015-07-13
Filing date: 2016-06-27
Publication date: 2017-01-23
Also published as: KR102610556B1; TW201704854A; CN106353967B; JP2017021229A; TWI588598B; CN106353967A; JP6351178B2

Abstract

The present invention relates to a pellicle storage container which has a simple structure amenable to easy manufacture thereof and mass production thereof and allows fixing/separation of a pin even when a cover body is coupled with a container main body. The pellicle storage container according to the present invention comprises a container main body for storing a pellicle and a cover body coupled and locked with the container main body. The container main body comprises a pin which moves in the horizontal direction so that the front end thereof is inserted into a concave portion provided in the lateral surface of a pellicle frame, and a pin supporting means for fixing the pin. The cover body comprises an opening which passes through the inner part of the container main body. In addition, the pin comprises a pin operating section which elongates from the pin main body toward the opening of the cover body, and the top end of the pin operating section is adhered and fixed to an adhesive sheet attached for sealing the opening.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a pellicle storage container,

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 이물 제거로서 사용되는 리소그래피용 펠리클을 수납, 보관, 수송하는 펠리클 수납 용기 및 이 펠리클 수납 용기로부터 펠리클을 인출하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a pellicle storage container for storing, storing, and transporting a lithographic pellicle used as a foreign object in manufacturing a semiconductor device, a printed substrate, a liquid crystal display or the like, and a method for pulling out the pellicle from the pellicle storage container.

LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이 때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 짧게 포토마스크라 기술)에 이물이 부착되어 있으면, 이 이물이 광을 흡수하거나 광을 왜곡해버리기 때문에, 전사한 패턴이 변형하거나, 엣지가 거칠어지게 된다는 문제 이외에, 하지가 검게 오염되거나 하는 등, 치수, 품질, 외관 등이 손상된다고 하는 문제가 있다.In the manufacture of semiconductors, such as LSI and super LSI, or the manufacture of liquid crystal displays and the like, a pattern is produced by irradiating a semiconductor wafer or a liquid crystal original plate with light, and a photomask or a reticle (hereinafter briefly referred to as a photomask) If foreign matter adheres, the foreign matter absorbs light or distorts the light. Therefore, in addition to the problem that the transferred pattern is deformed or the edge becomes coarse, the size, quality, appearance and the like There is a problem that it is damaged.

그 때문에 이들의 작업은 통상, 클린룸에서 행해지고 있지만, 그것으로도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵기 때문에, 포토마스크 표면에 이물 막이로서 펠리클을 부착시킨 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 상에 부착되기 때문에, 리소그래피 시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면, 펠리클 상의 이물은 전사에 무관계가 된다.For this reason, these operations are usually performed in a clean room. However, since it is difficult to keep the photomask always clean, the exposure is performed after attaching the pellicle as the foreign film on the surface of the photomask. In this case, since the foreign object is not attached directly to the surface of the photomask but attached to the pellicle, if the focus is set on the pattern of the photomask at the time of lithography, the foreign matter on the pellicle becomes irrelevant to the transfer.

이러한 펠리클은 일반적으로 광을 양호하게 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클 막을 알루미늄, 스테인레스, 수지 복합 재료 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 부착 또는 접착해서 구성되어 있다. 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부텐 수지, 폴리아세트산비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등으로 이루어지는 점착층 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 형성되어 있다.Such a pellicle is generally constituted by attaching or adhering a transparent pellicle film made of nitrocellulose, cellulose acetate or fluorocarbon resin or the like to the upper surface of a pellicle frame made of aluminum, stainless steel, resin composite material or the like. At the lower end of the pellicle frame, a release layer (separator) for protecting the pressure-sensitive adhesive layer and a pressure-sensitive adhesive layer made of polybutene resin, polyvinyl acetate resin, acrylic resin, .

그러나, 이러한 펠리클은 마스크에 부착된 후에는 그들이 형성하는 폐공간의 외부로부터 내부로의 이물의 침입을 방지하는 효과는 있지만, 펠리클 자체에 이물이 부착되어서 그것이 폐공간의 내부에 있을 경우에는 포토마스크로의 이물의 부착을 방지하는 것은 곤란하게 된다. 그 때문에 펠리클 자체에 높은 청정성이 요구되는 것은 물론, 보관, 수송에 사용하는 펠리클 수납 용기에도 그 청정성을 유지할 수 있는 성능이 강하게 요구되고 있다. 구체적으로는 대전 방지 성능이 우수하여 마찰되었을 때에도 발진(發塵)이 적은 재질인 것, 펠리클 및 구성 부품 간의 접촉을 극력 억제하는 구조인 것, 외력이 가해졌을 때의 변형을 억제하는 고강성한 구조인 것으로 한 점이 요구된다.However, after the pellicle is attached to the mask, the pellicle itself has an effect of preventing foreign matter from penetrating into the inside of the waste space formed by the pellicle itself. However, when the foreign matter is attached to the pellicle itself, It is difficult to prevent the foreign matter from adhering to the surface. Therefore, not only high purity of the pellicle itself is required, but also the ability to maintain the cleanliness of the pellicle storage container used for storage and transportation is strongly demanded. Specifically, it is a material which has excellent anti-static property and which is less likely to generate dust when rubbed, a structure which minimizes the contact between the pellicle and the component parts, a structure which suppresses deformation when an external force is applied, Structure is required.

이러한 펠리클 수납 용기는 통상, ABS, PMMA, PC 등의 수지를 사출 성형 또는 진공 성형함으로써 제조된다. 이들의 성형 방법이 이용되는 이유로서는 표면이 평활하고 이물의 부착이나 발진의 염려가 적은 것, 일체 성형이므로 이음매가 없어 발진이나 이물 침입의 우려가 적은 것, 복잡 형상의 것도 용이하게 제조할 수 있는 것, 양산성이 우수하여 저비용화가 가능한 것이라고 하는 메리트가 있기 때문이다.Such a pellicle storage container is usually manufactured by injection molding or vacuum molding of a resin such as ABS, PMMA, or PC. The reason why these molding methods are used is that the surface is smooth and there is little fear of adhesion or oscillation of foreign matter, there is little concern about the occurrence of rashes and foreign objects because there is no joint due to the integral molding, This is because it is advantageous that the mass productivity is excellent and the cost can be reduced.

예를 들면, 반도체용이나 프린트 기판용 펠리클의 수납 용기는 외형의 변 길이가 대강 200∼300mm 전후이고, 통상 사출 성형을 이용해서 제조되고 있다. 이들 변 길이가 200∼300mm인 펠리클 수납 용기에서는 펠리클 수납 용기의 청정성을 유지하기 위해서, 외력이 가해졌을 때에도 변형하기 어렵다고 하는 고강성이 요구되지만, 원래 소형이고 강성이 확보되기 쉽고, 또한 사출 성형에서는 두께를 국소적으로 변경하는 것이 용이하여 요소로 두꺼운 보강을 가할 수 있기 때문에, 강성의 점에서 문제가 되는 경우는 적다.For example, pellets for semiconductors and pellets for printed boards are generally manufactured by injection molding, with the side lengths of the outline being approximately 200 to 300 mm. In order to maintain the cleanliness of the pellicle storage container with the side lengths of 200 to 300 mm, it is required to have a high rigidity that is hard to be deformed even when an external force is applied. However, the pellicle storage container is originally small and easy to secure rigidity. Since it is easy to locally change the thickness and thick reinforcement can be applied to the element, it is less likely to be a problem in terms of rigidity.

한편, 주로 액정용 펠리클에 사용되는 변 길이가 500mm를 초과하는 대형의 펠리클 수납 용기는 일반적으로, ABS, PMMA 등의 합성 수지 시트를 진공 성형해서 제조되고 있다. 왜냐하면, 1개소 또는 수개소의 게이트로부터 금형내에 수지를 고속 주입하는 사출 성형에서는 수지의 유동 거리가 지나치게 길기 때문에, 제법적으로 곤란하기 때문이다. 무엇보다, 진공 성형의 경우에는 금형에 가열된 수지 시트를 씌우고, 진공 처리하는 것만으로 대형품도 용이하게 성형이 가능하지만, 두꺼운 것이 성형 가능하지 않은 것, 리브인 정도의 보강은 할 수 있지만, 기본적으로는 동일한 판두께의 시트를 절곡하는 것만으로 고강성의 것이 제작되기 어렵다고 하는 문제가 있다.On the other hand, a large-sized pellicle storage container mainly used for a liquid crystal pellicle having a side length exceeding 500 mm is generally manufactured by vacuum-molding synthetic resin sheets such as ABS and PMMA. This is because, in the injection molding in which the resin is injected at high speed into the mold from one or several gates, the flow distance of the resin is excessively long, and therefore it is difficult to formulate. Above all, in the case of vacuum molding, it is possible to easily mold a large-sized article simply by putting a heated resin sheet on the mold and performing a vacuum treatment, but it is possible to reinforce the rib- Basically, there is a problem that it is difficult to produce a sheet having a high rigidity only by bending a sheet having the same sheet thickness.

그런데, 펠리클 수납 용기의 경우, 상기와 같은 강성의 문제 이외에, 펠리클을 펠리클 수납 용기에 어떻게 수납할 것인가라고 하는 문제도 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는 펠리클을 적재대 상에 지지체에 의해 지지하면서 적재함과 아울러, 덮개체 내면의 접촉부에서 펠리클 프레임의 상단면을 압박함으로써 펠리클을 상하 및 수평 이동 불능하게 유지·고정하는 수납 방법이 기재되어 있다. 이 방법에 의하면, 펠리클과 용기의 각 부가 마찰해서 분진 등을 발생할 우려가 적고, 부품수도 적다고 하는 이점이 있어 소형의 반도체용 펠리클에서는 일반적으로 사용되고 있는 방법이다.However, in the case of the pellicle storage container, there is also a problem of how to store the pellicle in the pellicle storage container, in addition to the above-mentioned problem of rigidity. For example, in Patent Document 1, a pellicle is supported by a support on a support table while being pressed against the upper surface of the pellicle frame at the contact portion of the inner surface of the lid body, and the pellicle is vertically and horizontally moved, Method is described. According to this method, each part of the pellicle and the container rubs to reduce dust and the like, and the number of parts is small, which is a method generally used in a small-sized semiconductor pellicle.

그러나, 이 수납 방법을 사용하는 경우, 덮개체와 펠리클 수납 용기 본체의 모두가 고정밀도로 성형되어 있을 필요가 있기 때문에, 변 길이가 500mm를 초과하는 대형의 액정용 펠리클 수납 용기에서는 사용하지 않는다. 왜냐하면, 그러한 대형의 펠리클 수납 용기를 진공 성형으로 제조할 경우, 정밀도가 양호한 성형품이 얻어지지 않는 것에 더해서, 수납 용기 자체의 강성 확보가 어렵고, 취급 시나 반송시에 수납 용기의 변형이 회피되지 않고, 그 경우에 용기와 펠리클 프레임의 마찰이 발생해서 발진하여 품질의 저하를 초래하기 때문이다.However, when this accommodating method is used, it is necessary that both the lid body and the pellicle storage container main body are molded with high precision, so they are not used in a large liquid crystal pellicle storage container having a side length exceeding 500 mm. This is because, when such a large-sized pellicle storage container is produced by vacuum molding, it is difficult to secure a rigidity of the storage container itself, and in addition, deformation of the storage container during handling or transportation is not avoided, In this case, friction between the container and the pellicle frame is generated and oscillation occurs, resulting in deterioration of quality.

그 때문에 변 길이가 500mm를 초과하는 대형의 펠리클의 수납 방법으로서, 특허문헌 2에는 마스크 점착층을 보호하는 라이너의 일부를 외측으로 돌출시키고, 점착 테이프에 의해 용기 본체에 고정해서 수납하는 방법이 기재되어 있다. 이 수납 방법의 경우, 그 작업이 수작업으로 행하지 않을 수 없어 청정한 상태에서 트레이 상에 고정하는 것이 곤란하다는 문제가 있다. 또한, 테이프를 박리해서 인출할 때에 사람의 손이 펠리클 프레임 부근에 접근하기 때문에 이물이 부착된다고 하는 염려도 있다.Patent Literature 2 discloses a method for storing a large pellicle having a side length exceeding 500 mm and a method for partially laminating the liner for protecting the mask adhesive layer and fixing the liner to the container body by means of an adhesive tape, . In this case, there is a problem in that it is difficult to fix it on the tray in a clean state since the operation must be performed manually. In addition, there is also a concern that when a tape is peeled and taken out, a human hand approaches the vicinity of the pellicle frame, so that the foreign object is attached.

또한, 특허문헌 3에는 펠리클 프레임 외측면에 설치한 오목부에 핀을 삽입해서 용기 본체에 고정하는 수납 방법이 기재되어 있다. 이 수납 방법의 경우, 탈착에 있어서 그다지 사람 손이 펠리클에 접근하지 않기 때문에 작업자로부터의 이물의 부착이 적지만, 수송 중에 핀의 삽입 위치를 계속해서 유지할 필요가 있다고 하는 문제가 있다. 이것을 해결하기 위해서, 특허문헌 4에는 핀을 삽입 위치에서 고정하는 방법이 기재되어 있지만, 이 방법에 의하면 간단한 구조이고 게다가 수송 중에도 핀을 확실하게 고정하는 것이 가능하다.Patent Document 3 discloses a retracting method of inserting a pin into a recess provided on the outer surface of a pellicle frame and fixing the pin to the container body. In this case, there is a problem that since the human hand does not approach the pellicle at the time of detachment, the attachment of the foreign object from the worker is small, but the insertion position of the pin is required to be maintained continuously during transportation. To solve this problem, Patent Document 4 discloses a method of fixing a pin at an insertion position. However, this method has a simple structure and can securely fix the pin even during transportation.

또한, 특허문헌 5에는 핀을 분리할 때의 이물 부착을 더욱 저감하기 위해서, 용기의 덮개체가 닫혀 있는 상태에서, 용기의 외부로부터 펠리클을 고정하는 핀을 조작해서 펠리클을 용기 본체로부터 해제하는 것이 가능한 펠리클 수납 용기가 기재되어 있다. 이 펠리클 수납 용기의 경우, 펠리클에 이물이 부착될 우려가 큰 핀의 해제 작업을 덮개체가 있는 상태에서, 게다가 수납 용기의 외부로부터 행할 수 있기 때문에, 핀 해제의 조작에 따르는 작업자로부터의 이물이 펠리클에 부착되는 것을 방지할 수 있다.Further, in Patent Document 5, it is possible to release the pellicle from the container body by operating a pin for fixing the pellicle from the outside of the container in a state in which the lid of the container is closed in order to further reduce foreign matter adhered to the pin A pellicle storage container is described. In the case of this pellicle storing container, since the releasing operation of the pin which is likely to adhere to the pellicle can be carried out from the outside of the housing container with the lid body thereon, foreign matter from the worker, Can be prevented.

게다가, 이 펠리클 수납 용기에서는 펠리클이 용기 본체 상에서 프리인 상태가 되고 나서 덮개체를 열고, 그로부터 핸들링 지그 등으로 펠리클을 인출하기 때문에, 작업자가 펠리클에 접근하는 시간을 단축화할 수 있으므로, 작업자로부터 이물이 부착될 염려를 대폭 저감시킬 수 있다. 또한, 먼저 핀을 해제해 두면, 덮개체를 열어서 펠리클을 인출할때 까지의 작업을 장치화하는 것이 비교적 용이하고, 특히, 자동기에 의해 펠리클의 인출 작업을 행하는 점에서도 바람직하다.In addition, in this pellicle storage container, since the pellicle is in a free state on the container body, the cover body is opened, and the pellicle is taken out from the pellicle with a handling jig or the like, so that the time required for the operator to approach the pellicle can be shortened, It is possible to greatly reduce the risk of sticking. Also, if the pin is released first, it is relatively easy to make the operation until the pellicle is taken out by opening the lid body, and it is particularly preferable that the pellicle is pulled out by an automatic machine.

일본 실용신안 공고평 6-45965호Japan Utility Model Bulletin No. 6-45965 일본 특허공개 2004-361647호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-361647 일본 특허 4391435호Japanese Patent No. 4391435 일본 특허 5586559호Japanese Patent No. 5586559 일본 특허 5586560호Japanese Patent No. 5586560

그러나, 특허문헌 5에 기재된 펠리클 수납 용기는 특히, 펠리클 고정부(18)의 구조가 복잡하다고 하는 문제가 있다. 예를 들면, 펠리클 고정부(18)에는 핀(28)의 회동을 방지하는 회동 방지 부재로서, 핀(28)의 후단부와 요철 록킹하는 록킹부가 형성된 주상부(44)가 돌출되어 있지만, 이 회동 방지 부재의 부착 정밀도를 확보하는 것이 어렵다고 하는 제조 상 및 운용 상의 문제가 있다. 또한, 핀(28)및 핀 장착부(32) 등이나 회동 방지 부재는 제조 오차가 큰 덮개체의 측면에 설치된 개구부(14a)를 경유해서 부착되어 있기 때문에, 핀(28)의 선단부의 위치 정밀도의 관리가 어렵다고 하는 문제도 있다. 그 때문에 펠리클 수납 용기를 양산한 경우에, 핀(28)이나 회동 방지 부재 등의 위치 조정 작업을 펠리클 수납 용기마다 개별적으로 행할 필요가 있기 때문에, 양산품에 의한 운용이 실제상 곤란하다고 하는 문제가 있다.However, the pellicle storage container described in Patent Document 5 has a problem that the structure of the pellicle fixing portion 18 is complicated. For example, the pellicle fixing portion 18 is provided with a columnar portion 44 having a rear end portion of the pin 28 and a locking portion for locking and unevenly protruding as a rotation preventing member for preventing the rotation of the pin 28, There is a manufacturing problem and an operational problem that it is difficult to secure the attachment precision of the rotation preventing member. Since the pin 28 and the pin mounting portion 32 and the rotation preventing member are attached via the opening 14a provided on the side face of the cover with a large manufacturing tolerance, There is also a problem that management is difficult. Therefore, in the case where the pellicle storage container is mass-produced, it is necessary to separately perform the position adjustment work of the pin 28 and the anti-rotation member for each pellicle storage container, so that there is a problem that it is difficult to actually use the product by mass production .

그래서, 본 발명은 펠리클 수납 용기의 상기 문제점을 감안하고, 이 펠리클 수납 용기의 개량에 따르는 것이고, 그 목적은 펠리클 수납 용기의 제조의 용이화와 양산화에 적합한 간편한 구조로서, 덮개체가 용기 본체에 감합된 채의 상태에서도 핀의 감합·해제가 가능한 펠리클 수납 용기를 제공하는 것이고, 또한 펠리클 수납 용기로부터 펠리클을 인출할 때의 이물의 부착을 저감시킬 수 있는 펠리클의 인출 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems of the pellicle storage container, and is based on an improvement of the pellicle storage container. The object of the present invention is to provide a pellicle storage container which is easy to manufacture and mass- The present invention also provides a pellicle storage container capable of fitting and releasing a pin even in a state in which the pellicle is held in a pellet storage container.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해 예의 검토를 행한 바, 종래의 펠리클 고정부의 핀을 개량해서 핀의 감합·해제가 가능한 핀 조작부를 설치함과 아울러, 이 핀 조작부의 접착 수단을 연구함으로써 종래의 펠리클 고정부의 복잡한 구조의 간편화를 가능하게 한 것이다.The present inventors have intensively studied to achieve the above object. The inventors of the present invention have found that a pin operating section capable of fitting and releasing a pin by improving the pin of the conventional pellicle fixing section is provided, Thereby simplifying the complicated structure of the pellicle fixing portion of FIG.

즉, 본 발명은 펠리클을 수납하는 용기 본체와 용기 본체를 덮어서 그 가장자리부에서 감합 록킹하는 덮개체로 구성되는 펠리클 수납 용기로서, 용기 본체 상에는 수평 방향으로 가동해서 선단부가 펠리클 프레임 측면에 설치된 오목부에 삽입되는 핀과 이 핀을 고정하는 핀 지지 수단을 적재하고, 덮개체에는 용기 본체의 내부에 관통하는 개구부를 설치하고, 또한 핀에는 핀 본체로부터 덮개체의 개구부의 방향으로 연신하는 핀 조작부를 설치함과 아울러, 이 핀 조작부는 그 상단부가 개구부를 밀폐하기 위해서 부착한 점착 시트에 접착 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.That is, the present invention provides a pellicle storage container comprising a container body for storing a pellicle and a lid body covering the container body and fitted and locked at the edge thereof, wherein the container body is movable in a horizontal direction to form a concave portion provided at a side surface of the pellicle frame And the pin is provided with a pin operating portion extending from the pin body in the direction of the opening of the lid body. The lid body is provided with an opening through which the inside of the container body is inserted, And the pin operating portion is adhered and fixed to the pressure sensitive adhesive sheet to which the upper end portion is attached for sealing the opening portion.

또한, 본 발명의 핀은 핀 축부를 중심으로 하는 선회 조작에 의해 핀 지지 수단에 감합해서 고정되어 있는 것이 바람직하고, 이 핀에 설치한 돌기부가 핀 지지 수단에 설치한 노치부에 감합해서 고정되어 있는 것이 보다 바람직하다.It is also preferable that the pin of the present invention is fitted and fixed to the pin supporting means by a turning operation about the pin shaft portion and the protruding portion provided on the pin is fitted and fixed to the notch portion provided on the pin supporting means Is more preferable.

또한, 본 발명의 펠리클의 인출 방법은 상기 펠리클 수납 용기의 덮개체의 개구부에 부착된 점착 시트를 박리하고, 개구부를 개방한 후에 덮개체를 용기 본체 상에 감합 록킹한 채의 상태에서 덮개체의 외측으로부터 핀 조작부를 조작하고, 오목부에 삽입된 핀의 선단부를 인발하고, 용기 본체 상에 고정된 펠리클을 해제하고, 그 후에 덮개체를 분리해서 펠리클을 인출하는 것을 특징으로 하는 것이다.Further, in the pellicle withdrawing method of the present invention, the adhesive sheet attached to the opening of the lid of the pellicle storage container is peeled off, and after the opening is opened, the lid body is fitted and locked on the container body, The pin operating portion is operated from the outside to pull out the tip end portion of the pin inserted into the concave portion to release the pellicle fixed on the container main body and then remove the cover body to pull out the pellicle.

본 발명에 의하면, 양산화에 적합한 간편한 구조이면서도 펠리클 고정부의 핀을 확실하게 고정할 수 있음과 아울러 내부에 수납된 펠리클의 파손이나 펠리클로의 이물의 부착의 염려도 없는, 신뢰성이 높은 펠리클 수납 용기를 제공할 수 있다. 또한, 펠리클을 인출할 때에는 덮개체의 점착 시트를 박리해서 개구부를 개방하고, 펠리클 프레임의 오목부에 삽입된 핀의 선단부를 인발함으로써 덮개체가 용기 본체와 감합된 채의 상태에서 펠리클을 용기 본체로부터 용이하게 해제할 수 있기 때문에 인출 작업에 따르는 작업자로부터의 이물의 부착을 저감시킬 수 있다고 하는 효과를 기대할 수 있다.According to the present invention, it is possible to securely fix the fins of the pellicle fixing part while having a simple structure suitable for mass production, and to provide a highly reliable pellicle storage container with no fear of breakage of the pellicle stored therein or attachment of foreign matter to the pellicle. Can be provided. When the pellicle is pulled out, the adhesive sheet of the lid body is peeled off to open the opening, and the front end of the pin inserted into the concave portion of the pellicle frame is pulled out so that the pellicle is pulled out from the container body It can be easily released, so that it is possible to expect an effect that the adhesion of the foreign object from the worker in accordance with the drawing operation can be reduced.

도 1은 본 발명의 일실시형태를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시형태를 나타내는 평면도(덮개체를 투시)이다.
도 4는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도면 3의 AA 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시형태를 나타내는 도면 4의 B부 확대도(펠리클 고정부)이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 핀 지지 수단의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 돌기부를 갖는 핀의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 돌기부를 갖는 핀과 핀 지지 수단을 조합시킨 후의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 돌기부를 갖는 핀과 핀 지지 수단의 노치부를 조합시킨 펠리클 고정부의 사시도이다.
도 10은 비교예의 펠리클 고정부의 사시도이다.1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
2 is a plan view showing one embodiment of the present invention.
3 is a plan view (perspective view of the cover body) showing one embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view taken along the line AA of Fig. 3 showing one embodiment of the present invention.
5 is an enlarged view of a portion B (pellicle fixing portion) of Fig. 4 showing one embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of a pin supporting means showing another embodiment of the present invention.
7 is a perspective view of a pin having a protrusion according to another embodiment of the present invention.
Fig. 8 is a perspective view showing a combination of a pin having a projection and a pin supporting means according to another embodiment of the present invention.
9 is a perspective view of a pellicle fixing unit in which a pin having a protrusion and a notch portion of a pin supporting means are combined in accordance with another embodiment of the present invention.
10 is a perspective view of the pellicle fixing portion of the comparative example.

이하, 본 발명의 일실시형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 본 발명은 특히, 변 길이가 500mm를 초과하는 바와 같은 주로 디스플레이 제조 용도에 사용되는 대형의 펠리클을 수납하는 펠리클 수납 용기에 적용한 경우에 효과가 크지만, 변 길이가 150mm 정도의 반도체 제조용 또는 변 길이 300mm 정도의 프린트 기판 제조용의 펠리클에 적용할 수도 있는 것이고, 그 용도나 크기에서 한정되는 것은 아니다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is particularly effective when applied to a pellicle storage container that houses a large pellicle used mainly for display manufacturing applications with a side length exceeding 500 mm, but can be used for manufacturing semiconductors having a side length of about 150 mm, It can be applied to a pellicle for producing a printed board having a size of about 300 mm, and is not limited by its application and size.

펠리클 수납 용기(10)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 펠리클(20)을 적재하는 용기 본체(11)와 그것을 덮음과 아울러 가장자리부에서 감합하는 덮개체(12)로 구성된다. 덮개체(12)는 용기 본체(11)와 클립(도시하지 않음)이나 버클(도시하지 않음)로 체결하거나, 또는 점착 테이프(도시하지 않음)로 밀봉하는 것이 바람직하다.As shown in Fig. 1, the pellicle storage container 10 is composed of a container main body 11 for storing the pellicle 20, and a lid body 12 for covering the pellicle 20 and fitting at the edge portion. It is preferable that the lid body 12 is fastened to the container body 11 with a clip (not shown) or a buckle (not shown), or is sealed with an adhesive tape (not shown).

용기 본체(11)와 덮개체(12)에 대해서는 ABS, PC, PMMA, PVC 등의 수지를 사출 성형 또는 진공 성형으로 제작된 것이고, 용기 본체(11)는 부착 이물의 시인을 용이하게 하기 위해서 흑색으로 하고, 덮개체(12)는 내부를 확인하기 용이하게 하기 위해서 투명으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 이물의 부착 방지의 관점으로부터, 수지 재료에 도전 물질의 혼련 또는 표면으로의 코팅에 의해 대전 방지 기능을 부여하는 것이 바람직하다.The container body 11 and the lid body 12 are made of resin such as ABS, PC, PMMA, and PVC by injection molding or vacuum molding. The container body 11 is made of black And the cover body 12 is preferably made transparent so as to make the inside easily visible. From the viewpoint of preventing the adhesion of foreign matter, it is preferable that the resin material is provided with an antistatic function by kneading a conductive material or coating the surface with a conductive material.

펠리클의 변 길이가 1000mm를 초과하는 바와 같은 특히, 대형의 수납 용기에서는 강성을 확보하기 위해서, 용기 본체(11)의 외측에 금속이나 섬유 강화 플라스틱 등으로 제작한 보강체를 부착할 수도 있지만, 펠리클 수납 용기(10)의 본체 자체를 알루미늄 합금 등의 경량 금속으로 제작해도 좋다.In order to ensure rigidity, a reinforcing member made of metal, fiber reinforced plastic, or the like may be attached to the outside of the container body 11, particularly in a large-sized storage container having a side length of the pellicle exceeding 1000 mm. The body of the storage container 10 itself may be made of a light metal such as aluminum alloy.

용기 본체(11) 상에는 도 3에 나타내는 바와 같이, 4개소의 핀 지지 수단(14)이 볼트(도시하지 않음)에 의해 부착되어 있다. 또한 여기에는 핀(13)의 핀 축부(13a)가 삽입되어 있고, 이들은 덜컹거림이 적고 게다가 스무스하게 끼고 뺄 수 있는 간극으로 형성되어 있다.On the container main body 11, as shown in Fig. 3, four pin supporting means 14 are attached by bolts (not shown). In addition, the pin shaft portion 13a of the pin 13 is inserted therein, and these are formed with a gap that is less jolt and smoothly removable.

핀(13)에 대해서는 에폭시 수지, ABS, PPS, PE, PEEK 등의 수지를 사출 성형 또는 트랜스퍼 성형 등으로 일체 성형으로 제작할 수 있다. 필요에 따라서, 유리 섬유 등의 필러 등을 혼입해서 강도를 향상시키는 것도 바람직하다. 또한, 핀(13)의 핀 축부(13a)를 강성 확보를 위해 스테인레스강 등의 금속으로 구성하고, 수지로 제작한 핀 본체(13b)에 압입 또는 접착 등 해서 구성하는 것도 좋다.For the pin 13, a resin such as an epoxy resin, ABS, PPS, PE, or PEEK can be integrally molded by injection molding or transfer molding. It is also preferable to add a filler such as glass fiber or the like to improve the strength, if necessary. The pin shaft portion 13a of the pin 13 may be made of a metal such as stainless steel for securing rigidity and may be formed by press-fitting or bonding the pin main body 13b made of resin.

핀 지지 수단(14)에 대해서는 핀(13)과 같이 에폭시 수지, ABS, PPS, PE, PEEK 등의 수지를 사출 성형, 트랜스퍼 성형 등으로 일체 성형으로 제작하는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임(21)을 고정하는 핀(13)의 수는 이들의 실시형태에서는 4개소로 되어 있지만, 그 밖의 수, 예를 들면 변 길이가 특히 긴 펠리클 프레임에 관해서는 6개소 또는 8개소이어도 상관없다. 또한, 이들의 실시형태에서는 장변에 설치되어 있지만, 단변이어도 또는 장변과 단변의 양쪽에 있어도 상관없다.It is preferable that the pin supporting means 14 is integrally formed with a resin such as epoxy resin, ABS, PPS, PE, or PEEK by injection molding, transfer molding or the like like the pin 13. Although the number of the pins 13 for fixing the pellicle frame 21 is four in these embodiments, the number of the pins 13 is not limited to six or eight for the pellicle frame having a particularly long side length none. In these embodiments, although they are provided on the long side, they may be provided on both of the short side and the long side or the short side.

핀(13)의 선단부에는 단차부(13c)가 설치되고, 그 단차부(13c)에는 탄성체(15)가 끼워 넣어져서 펠리클 프레임(21)의 오목부(22)에 직접 핀 부재가 접촉하지 않도록 되어 있는 것이 바람직하고, 이것에 의해 발진을 방지할 수 있기 때문이다. 그 형상은 도 5에 예시한 것 같은 링형상의 것을 핀 선단의 가는 직경부에 끼워 넣는 방법 외에, 단차부 자체를 탄성체로 형성해서 부착해도 좋다(도시하지 않음). 탄성체(15)의 재질로서는 니트릴 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 실리콘 고무, 불소 고무 등을 이용할 수 있다.A step portion 13c is provided at the tip end of the pin 13 and the elastic member 15 is inserted into the step portion 13c so that the pin member does not directly contact the concave portion 22 of the pellicle frame 21. [ And it is possible to prevent oscillation. The shape may be a ring shape as shown in Fig. 5, a step of fitting the stepped portion itself into a thin-diameter portion of the tip of the pin, or an elastic body (not shown). As the material of the elastic body 15, nitrile rubber, ethylene propylene rubber, silicone rubber, fluorine rubber and the like can be used.

도 5는 본 발명의 펠리클 고정부에 관한 일실시형태를 나타내는 사시도이다. 펠리클(20)은 도 5에 나타내는 바와 같이, 펠리클 프레임(21)의 각부(角部) 근방에 설치된 오목부(22)에 삽입한 핀(13)에 의해 지지되고, 핀(13)은 용기 본체(11) 상의 핀 지지 수단(14)에 지지된다. 여기서, 핀(13)에는 핀 본체(13b)로부터 덮개체(12)쪽으로 연신한 핀 조작부(13d)가 설치되어 있다. 핀 조작부(13d)는 핀(13) 전체와 동일한 수지로 일체 성형되어 있어도 되고, 핀 본체(13b)에 구멍을 형성하고, 스테인레스 강 등의 금속으로 이루어지는 막대 형상의 부품을 압입하거나, 접착해서 구성해도 된다.5 is a perspective view showing an embodiment of the pellicle fixing unit of the present invention. 5, the pellicle 20 is supported by a pin 13 inserted in a concave portion 22 provided in the vicinity of a corner of the pellicle frame 21, Is supported by the pin support means (14) on the base (11). Here, the pin 13 is provided with a pin operating portion 13d extending from the pin body 13b toward the lid body 12. The pin operating portion 13d may be formed integrally with the same resin as the whole of the pin 13 or may be formed by forming a hole in the pin body 13b and pressing or sticking a rodlike component made of metal such as stainless steel You can.

핀 조작부(13d)의 직상 부근의 덮개체(12)에는 도 5에 나타내는 바와 같이, 내부와 관통하는 개구부(12a)가 설치되어 있음과 아울러, 개구부(12a)는 점착 시트(12b)를 부착해서 밀폐되어 있다. 개구부(12a)는 덮개체(12)를 성형한 후에 절삭 가공에 의해 형성하고, 덮개체(12)의 강성 저하를 최소한으로 억제하기 위해서, 그 크기는 핀 조작부(13d)의 조작에 있어서 필요 최소한의 크기로 하는 것이 좋다.또한, 그 형상은 원형, 타원형, 직사각형 등 여러가지 것이 생각되지만, 청정도 향상의 관점으로부터 각이 없는 형상으로 하여 대체로 20×20mm∼40×40mm의 범위의 것이 바람직하다.As shown in Fig. 5, the lid body 12 in the vicinity of the pin operating portion 13d is provided with an opening portion 12a passing through the inside thereof. In addition, the opening portion 12a is provided with an adhesive sheet 12b It is sealed. The opening 12a is formed by cutting after the lid body 12 is formed and the size of the opening 12a is set to at least the minimum necessary in the operation of the pin operating portion 13d in order to minimize the deterioration of the rigidity of the lid body 12. [ It is preferable that the shape is a circle, an ellipse, a rectangle, and the like, but it is preferably in the range of 20 x 20 mm to 40 x 40 mm in the angleless shape from the viewpoint of improvement in cleanliness.

핀 본체(13b)로부터 연신하는 핀 조작부(13d)는 그 선단이 덮개체(12)의 외측 평면과 면일한 위치까지 달하는 길이를 갖고, 개구부(12a)를 밀폐하도록 부착된 점착 시트(12b)에 접촉(접착)함으로써 고정되어 있다.The pin operating portion 13d extending from the pin main body 13b has a length reaching a position where the tip end thereof reaches the position where it is flush with the outer flat surface of the lid body 12 and the pinching portion 13d is provided on the adhesive sheet 12b And are fixed by contact (adhesion).

펠리클(20)의 인출에 있어서는 점착 시트(12b)를 박리함으로써 개구부(12a)가 나타남과 아울러 핀 조작부(13d)의 고정이 해제된다. 그리고, 핀 조작부(13d)의 후퇴 조작에 의해, 펠리클 프레임(21)의 오목부(22)로부터 핀(13)의 선단부를 인발하고, 용기 본체(11) 상에 있어서의 펠리클(20)의 고정을 해제할 수 있다.In pulling out the pellicle 20, the adhesive sheet 12b is peeled off to reveal the opening 12a, and the pin operating portion 13d is released from the fixing. The tip end portion of the pin 13 is pulled out from the concave portion 22 of the pellicle frame 21 by the retreating operation of the pin operating portion 13d to fix the pellicle 20 on the container body 11 Can be released.

또한, 덮개체(12)를 분리하기 전에, 개구부(12a)를 통하여 펠리클 수납 용기(10)의 내외에서 통기가 도모되기 때문에, 덮개체(12)의 분리에 의해 용기내가 부압이 되는 경우는 없고, 분리가 용이해지는 것 외, 이물의 혼입 방지도 기대할 수 있다.Before the lid body 12 is separated, air is ventilated inside and outside the pellicle containing container 10 through the opening 12a. Therefore, there is no case where the lid body 12 is detached, , Separation can be facilitated, and prevention of foreign matter can be expected.

본 발명의 펠리클(20)은 펠리클 프레임(21)의 측면에 오목부(22)를 설치할 필요가 있는 것 외는 특별히 제한 사항은 없다. 또한, 오목부(22)는 핀(13)의 선단부와의 감합이나 가공의 용이함으로부터, 직경 0.5∼4mm, 깊이 1∼5mm의 원 구멍으로 하는 것이 바람직하지만, 그 밖의 형상이어도 상관없다.The pellicle 20 of the present invention is not particularly limited as long as it is necessary to provide the concave portion 22 on the side surface of the pellicle frame 21. [ It is preferable that the concave portion 22 is a round hole having a diameter of 0.5 to 4 mm and a depth of 1 to 5 mm because of the fitting with the tip portion of the pin 13 and the ease of machining.

펠리클 프레임(21)은 알루미늄 합금을 비롯한 금속, 수지 또는 수지 복합 재료 등으로 이루어지고, 거기에 통기 구멍(도시하지 않음)과, 그 표면을 덮는 필터(도시하지 않음)가 부착되어 있어도 된다. 또한, 그 측면에는 핸들링을 위해서 각 개소에 홈이나 오목부 등을 형성해도 된다.The pellicle frame 21 is made of a metal, resin, resin composite material or the like including an aluminum alloy, and may have a vent hole (not shown) and a filter (not shown) covering the surface thereof. Further, grooves or concave portions may be formed on each side of the side surface for handling.

펠리클 프레임(21)의 일면에는 도 5에 나타내는 바와 같이, 마스크 점착층(23)이 형성되고, 그 표면에는 보호용의 세퍼레이터(24)가 부착되어 있다. 펠리클 프레임(21)은 직사각형이 일반적이지만, 다각 형상, 원형 등 다른 형상이어도 좋다. 세퍼레이터(24)는 이것을 대신하는 그 밖의 수단에 의해 마스크 점착층(23)이 보호되는 것이라면, 생략되어 있어도 된다. 또한, 마스크 점착층(23)의 역측의 일면에는 펠리클 막접착층(25)이 설치되고, 펠리클 막(26)이 장설(張設)되어 있다.As shown in Fig. 5, a mask adhesive layer 23 is formed on one surface of the pellicle frame 21, and a protective separator 24 is attached to the surface thereof. The pellicle frame 21 is generally rectangular, but may be a polygonal shape, a circular shape, or another shape. The separator 24 may be omitted if the mask adhesive layer 23 is protected by other means instead of this. A pellicle film adhesive layer 25 is provided on one surface of the reverse side of the mask adhesive layer 23 and a pellicle film 26 is stretched.

도 5에 나타내는 펠리클 고정부의 일실시형태에서는 핀 지지 수단(14) 상에서의 핀(13)의 고정이 점착 시트(12b)와 핀 조작 수단(13d)의 접착에만 의지하고 있기 때문에, 약간 신뢰성이 결핍되는데가 있다.5, since the fixing of the pin 13 on the pin supporting means 14 only depends on the adhesion of the adhesive sheet 12b and the pin operating means 13d, There is a deficiency.

그래서, 핀(13)의 고정을 보다 확실하게 하기 위해서는 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같은 다른 실시형태를 채용하는 것이 보다 바람직하다. 즉, 핀(13)의 일부에 돌기부(13e)를 설치함과 아울러, 핀 지지 수단(14)에는 돌기부(13e)와 감합하는 노치부(14c)를 형성하는 것이다. 이 실시형태에서는 핀 축부(13a)를 중심으로 하는 선회 조작에 의해, 감합/해제를 가능하게 한 상에서, 핀 본체(13b)로부터 연신한 조작부(13d)를 설치하는 것이고, 이들을 조합시키고, 선회 조작으로 핀(13)을 고정하면 도 8에 나타내는 바와 같은 펠리클 고정부의 실시형태가 된다.Therefore, in order to more securely fix the pin 13, it is more preferable to adopt another embodiment as shown in Fig. 6 and Fig. That is, the protrusion 13e is provided in a part of the pin 13, and the notch 14c is formed in the pin supporting means 14 to engage with the protrusion 13e. In this embodiment, the operating portion 13d stretched from the pin main body 13b is provided on the top face enabling the fitting / releasing by the turning operation about the pin shaft portion 13a, and these are combined, , The pin 13 is fixed to the pellicle fixing portion 10 as shown in Fig.

도 9는 점착 시트(12b)와 핀 조작 수단(13d)의 접착 외에, 도 8에 나타내는 펠리클 고정부에 의해 핀 지지 수단(14) 상의 핀(13)을 보다 확실하게 고정하는 다른 실시형태를 나타내는 사시도이다.9 shows another embodiment in which the pin 13 on the pin supporting means 14 is fixed more securely by the pellicle fixing portion shown in Fig. 8, in addition to the adhesion of the adhesive sheet 12b and the pin operating means 13d It is a perspective view.

도 9에 나타내는 다른 실시형태에서는 핀 지지 수단(14)은 도 6에 나타내는 바와 같이, 구멍인 핀 삽입부(14a) 및 일방향으로 개방한 U자형의 홈인 도입부(14b)를 갖고, 도입부(14b)의 일부에는 노치부(14c)가 더 형성되어 있다. 이 돌기부(13e)는 도 8에 나타내는 바와 같이, 핀(13)을 핀 지지 수단(14)의 도입부(14b)속에 이를 때까지 삽입하고, 선회시켰을 때에 노치부(14c)에 감합되도록 설계한다. 그리고, 이 구성에 의해, 선회 조작에 의해 핀의 감합·해제를 행할 수 있다. 이 때의 선회 조작 각도는 조작성이나 감합의 확실성의 관점으로부터, 바람직하게는 30∼180도, 더욱 바람직하게는 45∼90도의 범위로 하는 것이 좋다.9, the pin supporting means 14 has a pin insertion portion 14a as a hole and a U-shaped groove-like introduction portion 14b which is opened in one direction, and the introduction portion 14b, A notch portion 14c is further formed. As shown in Fig. 8, the projecting portion 13e is designed so that the pin 13 is inserted into the introduction portion 14b of the pin supporting means 14 until it reaches the notch portion 14c when it is pivoted. With this configuration, it is possible to engage / disengage the pin by the turning operation. The turning operation angle at this time is preferably in the range of 30 to 180 degrees, and more preferably 45 to 90 degrees from the viewpoints of operability and certainty of fitting.

핀 조작부(13d)는 도 5에 나타내는 실시형태와 같이, 덮개체(12)의 외면과 면일한 위치에 달하는 길이로 하고, 개구부(12a)를 밀폐하도록 부착된 점착 시트(12b)와 접촉(접착)함으로써 고정되어 있다. 또한, 이 밖의 실시형태에서는 도 9에 나타내는 바와 같이, 핀 지지 수단(14)의 노치부(14c)와 핀(13)의 돌기부(13e)의 감합에 의해 핀(13)의 위치가 고정되는 상에 핀 조작부(13d)가 덮개체(12) 상의 점착 시트(12b)에 접촉(접착)해서 더 고정되기 때문에, 보다 확실하게 핀(13)의 위치를 고정할 수 있다.5, the pin operating portion 13d has a length reaching a position that is the same as the face of the outer surface of the lid body 12, and the pin operating portion 13d is in contact with (adhered to) the adhesive sheet 12b attached to seal the opening portion 12a ). 9, the notch 14c of the pin supporting means 14 and the protrusion 13e of the pin 13 are engaged with each other so that the position of the pin 13 is fixed. In this case, The pin operating portion 13d is further brought into contact with (adhered to) the adhesive sheet 12b on the lid body 12 and further fixed, whereby the position of the pin 13 can be more reliably fixed.

본 발명의 도 5 및 도 9에 나타내는 이들의 실시형태에서는 덮개체(12) 상에 핀(13)의 위치를 유지하기 위한 기계적인 부품을 일절 배치하고 있지 않으므로, 각 부품의 제조 오차나 조립 오차의 축적이 적다. 또한, 핀(13)의 고정이나 외부로부터의 조작은 핀 조작부(13d), 덮개체(12) 상에 설치한 개구부(12a) 및 점착 시트(12b)를 조합시킨 간편한 구성에 의해 달성되기 때문에, 치수 오차에 대한 허용도가 크고, 매우 양산화에 적합한 것이다.In the embodiments shown in Figs. 5 and 9 of the present invention, no mechanical parts for holding the position of the pin 13 on the cover body 12 are arranged at all, Is less accumulated. The fixing of the pin 13 and the operation from the outside can be achieved by a simple structure in which the pin operating portion 13d, the opening portion 12a provided on the lid body 12 and the adhesive sheet 12b are combined, The tolerance to dimensional error is large, and it is very suitable for mass production.

또한, 도 9에 나타내는 실시형태에서도 그 조작 방법은 도 5에 나타내는 실시형태와 큰 차이없고, 핀(13)의 선회 동작이 가해지는 것뿐이다. 즉, 덮개체(12)에 부착된 점착 시트(12b)를 박리해서 개구부(12a)를 해방한 후, 덮개체(12)의 외측으로부터 핀셋이나 그것과 비슷한 소도구를 사용하고, 핀 조작부(13d)를 선회 조작해서 핀(13)과 핀 지지 수단(14)의 감합을 해제하고, 그 후 후퇴시킴으로써 펠리클 프레임(21)의 오목부(22)에 삽입된 핀(13)의 선단부가 인발되고, 용기 본체(11)와 펠리클(20)의 체결이 해제되게 된다. 그리고, 그 후는 덮개체(12)를 분리하고, 핸들링 지그(도시하지 않음) 등으로 펠리클(20)을 인출하면 된다.In the embodiment shown in Fig. 9, the operation method thereof is not greatly different from the embodiment shown in Fig. 5, and only the turning operation of the pin 13 is performed. That is, after the adhesive sheet 12b attached to the lid body 12 is peeled off to release the opening 12a, a tweezers or similar props similar to the lances are used from the outside of the lid body 12, The tip end portion of the pin 13 inserted into the concave portion 22 of the pellicle frame 21 is pulled out by releasing the engagement between the pin 13 and the pin supporting means 14 and then retracting, The fastening of the main body 11 and the pellicle 20 is released. Thereafter, the lid body 12 is removed, and the pellicle 20 is taken out by a handling jig (not shown) or the like.

따라서, 도 9에 나타내는 실시형태에서도 핀 해제 작업에 따른 작업자의 손이 펠리클에 근접할 때는 펠리클(20)은 덮개체(12)로 덮어져 있는 상태이기 때문에, 작업자로부터의 이물의 부착을 대폭 저감시킬 수 있다.9, the pellicle 20 is covered with the lid body 12 when the operator's hands close to the pellicle due to the pin releasing operation are in a state of being covered with the lid body 12, .

(실시예)(Example)

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 상세하게 설명한다. 이 실시예에서는 최초에, 수지의 시트재를 이용하여 진공 성형에 의해 도 1, 도 2, 도 3 및 도 4에 나타내는 형상의 용기 본체(11) 및 이것과 감합하는 덮개체(12)를 제작했다. 도 1은 양자가 조합된 상태를 나타내는 사시도이고, 이 외수치는 외형이 1080×960mm이고, 높이가 92mm이다. 용기 본체(11)는 흑색이고 그 두께가 5mm의 난연 ABS이다. 덮개체(12)는 그 두께가 5mm의 투명한 난연 PMMA이며, 성형 후에 대전 방지 도장(상품명 SEPLEGYDA, Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. 제품)을 실시했다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. In this embodiment, first, a container body 11 having the shape shown in Figs. 1, 2, 3 and 4 and a cover body 12 to be fitted with the container body 11 are formed by vacuum molding using a sheet material made of resin did. Fig. 1 is a perspective view showing a state in which both are combined, and the other figures are 1080 x 960 mm and a height of 92 mm. The container body 11 is a flame-retardant ABS having a black color and a thickness of 5 mm. The cover body 12 was a transparent flame retardant PMMA having a thickness of 5 mm and was subjected to antistatic coating (trade name SEPLEGYDA, manufactured by Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.) after molding.

다음에 ABS를 사출 성형해서 핀 지지 수단(14)을 제작함과 아울러, PPS를 사출 성형해서 핀(13)을 제작했다. 도 6 및 도 7은 각각의 상세한 형상을 나타내는 사시도이고, 도 8은 양자를 조합시킨 상태를 나타내는 사시도이다.Next, ABS was injection-molded to manufacture the pin supporting means 14, and PPS was injection-molded to produce the pin 13. Figs. 6 and 7 are perspective views showing respective detailed shapes, and Fig. 8 is a perspective view showing a state in which both are combined.

핀(13)은 도 7에 나타내는 바와 같이, 핀 축부(13a), 핀 본체(13b), 핀 조작부(13d), 돌기부(13e)로 구성되어 있다. 핀 축부(13a)는 SUS304 스테인레스 강을 기계 절삭해서 제작한 것이고, PPS 수지를 사출 성형한 핀 본체(13b)에 압입되어 있다. 또한, 핀 조작부(13d)도, 마찬가지로 SUS304 스테인레스 강을 기계 절삭해서 제작한 것이고, 핀 본체(13b)에 형성한 구멍에 압입되어 있다. 또한, 핀 축부(13a)의 선단에는 단차부(13c)가 설치되고, 여기에는 굵기 0.5mm의 불소 고무제의 링형상 탄성체(15)가 끼워 넣어져 있다.The pin 13 is composed of a pin shaft portion 13a, a pin body 13b, a pin operating portion 13d, and a protruding portion 13e as shown in Fig. The pin shaft portion 13a is manufactured by machining SUS304 stainless steel by mechanical cutting and is press-fitted into the pin body 13b by injection molding of a PPS resin. The pin operating portion 13d is also manufactured by machining SUS 304 stainless steel in the same manner and is press-fitted into a hole formed in the pin body 13b. A stepped portion 13c is provided at the tip of the pin shaft portion 13a, and a ring-shaped elastic body 15 made of fluorine rubber and having a thickness of 0.5 mm is fitted.

한편, 핀 지지 수단(14)은 도 6에 나타내는 바와 같이 핀 삽입부(14a), 도입부(14b), 노치부(14c)로 구성되어 있다. 그리고, 핀(13)의 핀 축부(13a)를 핀 지지 수단(14)의 핀 삽입부(14a)에 삽입하고, 오른쪽 방향으로 45도 선회시켰을 때에, 돌기부(13e)가 핀 지지 수단의 노치(14c)에 감합되도록 하면, 도 8에 나타내는 바와 같은 핀(13)과 핀 지지 수단(14)의 조합 상태로 할 수 있다.On the other hand, as shown in Fig. 6, the pin supporting means 14 is constituted by a pin inserting portion 14a, an introducing portion 14b, and a notch portion 14c. When the pin shaft portion 13a of the pin 13 is inserted into the pin inserting portion 14a of the pin supporting means 14 and is turned by 45 degrees in the rightward direction, the protrusion 13e is engaged with the notch 14c, the pin 13 and the pin supporting means 14 as shown in Fig. 8 can be combined.

다음에, 도 8에 나타내는 상태로 조합시킨 부품을 용기 본체(11) 상에 두고, 도 9에 나타내는 바와 같이, 핀(13)을 펠리클 프레임(21)에 설치한 오목부(22)에 감합하는 위치에 조정하고, 외측에서 스테인레스제 볼트(도시하지 않음)를 이용하여 부착했다. 또한, 덮개체(12)에는 용기 본체(11)에 감합된 때에 핀 조작부(13d)의 직상이 되는 영역에 20×30mm의 크기의 사각 구멍(12a)을 기계 가공에 의해 형성했다.8 is placed on the container main body 11 and the pin 13 is fitted into the concave portion 22 provided on the pellicle frame 21 as shown in Fig. And was attached from the outside using a stainless steel bolt (not shown). A rectangular hole 12a having a size of 20 mm x 30 mm was formed in the lid body 12 by machining in a region immediately above the pin operating portion 13d when the lid body 12 was fitted into the container main body 11.

그리고, 이렇게 하여 조립한 펠리클 수납 용기(10)를 한번에 20대 양산하고, 실제로 펠리클(20)을 수납해서 부착 상태를 확인한 바, 부품 교환이나 재조정을 필요로 하는 경우는 없고, 20대의 전수가 그대로 사용 가능한 품질로 유지되어 있는 것이 확인되었다.Then, 20 pieces of the assembled pellicle storage containers 10 were mass-produced at one time, and the pellicle 20 was actually put in place to confirm the attachment state. In such a case, there is no need for replacement or re-adjustment of parts, It was confirmed that the quality was maintained at a usable quality.

다음에 이 펠리클 수납 용기(10)를 Class 10의 클린룸에 반입하고, 계면활성제와 순수로 잘 세정한 후, 완전하게 건조시켰다. 그리고, 이 펠리클 수납 용기(10)의 평가를 위해서, 펠리클(20)을 수납해서 수송 시험을 행했다.Next, this pellicle storage container 10 was brought into a clean room of Class 10, thoroughly washed with a surfactant and pure water, and then completely dried. In order to evaluate the pellicle storage container 10, the pellicle 20 was stored and transported.

이 시험에 사용한 펠리클(20)은 외치수가 937.5×756mm이고, 내치수가 925.5×740mm이며, 높이가 약 7.2mm이다. 또한, 사용한 펠리클 프레임(21)은 A5052 알루미늄 합금제에 표면 흑색 알루마이트 처리를 실시한 것이고, 외치수가 937.5×756mm이고, 내치수가 925.5×740mm이고, 높이가 5.8mm이다. 또한, 그 각부를 외측(R5)으로 하고, 내측(R2)으로 함과 아울러, 각 장변에는 100mm 간격으로 4개소의 φ1.5mm의 통기 구멍(도시하지 않음)과 850mm 간격으로 φ2.5mm×깊이 1.8mm의 오목부(22)를 2개 설치했다. 통기 구멍에는 PTFE제 멤브레인을 사용한 시트상 필터를 아크릴 점착제로 부착했다.The pellicle 20 used in this test had an external tooth count of 937.5 x 756 mm, an internal dimension of 925.5 x 740 mm, and a height of about 7.2 mm. The used pellicle frame 21 is made of A5052 aluminum alloy and subjected to surface black alumite treatment. The number of teeth is 937.5 x 756 mm, the internal dimension is 925.5 x 740 mm, and the height is 5.8 mm. In addition, the corners were set as the outside (R5) and the inside (R2), and ventilation holes (not shown) of? 1.5 mm in four places at intervals of 100 mm and holes Two concave portions 22 of 1.8 mm are provided. A sheet-like filter using a PTFE membrane was attached to the vent hole with an acrylic adhesive.

마스크 점착층(23)으로서는 두께 약 1.2mm의 실리콘 점착제(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 제품)를 사용함과 아울러, 표면 보호를 위해서 세퍼레이터(24)로서 이형제를 도포한 두께 0.1mm의 PET 시트를 부착했다. 펠리클 막(26)의 접착층(25)으로서는 두께 약 0.1mm의 실리콘 점착제(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 제품)를 도포하고, 이것에 펠리클 막(26)으로서 두께 3.0㎛의 불소계 수지(상품명 CYTOP, Asahi Glass Co., Ltd. 제품)를 접착했다.A silicone adhesive (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) having a thickness of about 1.2 mm was used as the mask adhesive layer 23 and a PET sheet having a thickness of 0.1 mm and a releasing agent applied as a separator 24 Respectively. A silicone pressure sensitive adhesive (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) having a thickness of about 0.1 mm was applied as the adhesive layer 25 of the pellicle film 26, and a fluorine resin having a thickness of 3.0 占 퐉 as the pellicle film 26 CYTOP, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.).

다음에, 펠리클(20)을 암실내에 반입하고, 집광 램프에 의해 이물을 검사한 상에서, 상기 펠리클 수납 용기(10)의 용기 본체(11) 상에 적재함과 아울러, 핀(13)의 선단부를 펠리클 프레임(21) 측면의 오목부(22)에 삽입하고, 선회 조작에 의해 돌기부(13e)를 핀 지지 수단(14)의 노치부(14c)에 감합해서 조립했다. 그 후, 덮개체(12)를 폐쇄하고, 개구부(12a)에 PET제 점착 테이프로 제작한 점착 시트(12b)를 부착하고, 개구부(12a)를 밀봉함과 아울러 개구부(12a)로부터 나타나고 있는 핀 조작부(13d)의 단부를 접착했다.Next, the pellicle 20 is carried into the dark room, the foreign object is inspected by the condensing lamp, and the pellicle 20 is placed on the container body 11 of the pellicle storage container 10 and the tip of the pin 13 is pelletized Is inserted into the concave portion 22 on the side of the frame 21 and the protruding portion 13e is fitted to the notch portion 14c of the pin supporting means 14 by the turning operation. Thereafter, the lid body 12 is closed, and the pressure-sensitive adhesive sheet 12b made of PET adhesive tape is attached to the opening 12a. The opening 12a is sealed, and the pin 12a, And the end of the operating portion 13d was bonded.

또한, 용기 본체(11)와 덮개체(12)의 가장자리부를 폭 35mm의 PET제 점착 테이프(도시하지 않음)로 부착 고정한 후에, 내부를 청정하게 클리닝한 대전방지 PVC제 주머니로 2중으로 곤포하고, 내부에 쿠션재를 배치한 강화 골판지제 곤포 상자 (도시하지 않음)에 수납했다.Further, the edges of the container body 11 and the lid body 12 were attached and fixed with an adhesive tape (not shown) made of PET having a width of 35 mm, and then the bag was doubly packed with an antistatic PVC bag cleaned internally, (Not shown) made of reinforced corrugated cardboard with a cushioning material disposed therein.

이렇게 곤포한 펠리클 수납 용기(10)를 트랙에 탑재하고, 약 1000km의 수송을 행했다. 그리고, 수송 후의 펠리클 수납 용기(10)를 클래스 10의 클린룸에 반입하고, 내부의 확인을 행한 바, 덮개체(12)에 부착된 점착 시트(12b)는 밀봉 상태를 유지하고 있는 것이 확인되었다.The pellicle storage container 10 thus packed was mounted on a track and transported for about 1000 km. Then, after the transportation, the pellicle storage container 10 was brought into a clean room of class 10 and confirmed inside, and it was confirmed that the pressure-sensitive adhesive sheet 12b attached to the lid body 12 maintained the sealed state .

또한, 점착 시트(12b)를 박리하고, 용기 내부를 목시 관찰한 바, 핀(13)의 돌기부(13e)는 핀 지지 수단(14)의 노치부(14c)에 감합한 채이고, 핀(13)의 선단부도, 펠리클 프레임(21)의 오목부(22)에 감합한 채인 것이 확인되었다.The protruding portion 13e of the pin 13 is engaged with the notch portion 14c of the pin supporting means 14 and the pin 13 is engaged with the notch portion 14c of the pin supporting means 14, It was confirmed that the front end portion of the pellicle frame 21 was also engaged with the concave portion 22 of the pellicle frame 21.

다음에 선단 러버를 지닌 핀셋(도시하지 않음)을 이용하여, 조작부(13d)에 의해 핀(13)을 선회하고, 후방으로 약 10mm 정도 이동시킨 후에 덮개체(12)를 분리하고, 내부를 확인한 바, 펠리클(20)은 용기 본체(11) 상에 이상없이 적재되어 있는 것이 확인되었다. 또한, 이 상태 그대로에서 주위를 어둡게 하고, 집광 램프로 용기 본체(11)와 펠리클(20)을 조사해서 표면을 관찰한 바, 이물의 부착은 확인되지 않았다.Next, the pin 13 is pivoted by the operating portion 13d by using a tweezers (not shown) having tip rubber and moved about 10 mm backward, and then the cover body 12 is detached, It was confirmed that the bar and the pellicle 20 were stacked on the container body 11 without any abnormality. In this state, the surroundings were darkened, and the surface of the container body 11 and the pellicle 20 were observed by observing the surface of the container main body 11 and the pellicle 20, and no adhesion of foreign matter was observed.

펠리클(20)은 핀(13)을 인발해서 펠리클(20)을 용기 본체(11)로부터 해제할 때 까지의 작업 사이, 덮개체(12)로 덮어져 있었기 때문에 작업자의 손으로부터 이물이 펠리클(20)에 부착될 걱정이 없어 이 작업을 매우 용이하게 행할 수 있었다. 또한, 덮개체(12)의 분리시에는 개구부(12a)로부터의 통기에 의해, 덮개체(12)를 스무스하게 들어올릴 수 있었다.Since the pellicle 20 is covered with the lid body 12 during the operation until the pellicle 20 is pulled out of the container body 11 to release the pellicle 20 from the container body 11, So that this operation can be performed very easily. When the lid body 12 was detached, the lid body 12 could be smoothly lifted by ventilation from the opening 12a.

최후에, 용기 본체(11)로부터 해제된 펠리클(20)을 전용 핸들링 지그(도시하지 않음)에 의해 암실내에 반송하고, 집광 램프에 의해 표면에 부착된 이물의 검사를 행한 바, 펠리클(20)에 이물의 부착은 전혀 보이지 않고, 매우 청정한 상태를 유지하고 있는 것이 확인되었다.Finally, the pellicle 20 released from the container main body 11 is transported into the dark room by a dedicated handling jig (not shown), and the foreign substance attached to the surface is inspected by the condenser lamp, It was confirmed that the adhesion of the foreign matter was not observed at all, and the state was maintained in a very clean state.

(비교예)(Comparative Example)

도 10은 비교를 위해 제작한 펠리클 고정부(30)를 나타내는 사시도이다. 이 비교예에서는 펠리클 고정부(30)는 핀(31)과 핀 지지 수단(14)으로 구성되어 있고, 펠리클 프레임의 오목부에 핀을 삽입해서 고정하는 방식은 상기 실시예와 같지만, 도 10에 나타내는 바와 같이 핀(31)에는 실시예의 핀 조작부(13d)에 상당하는 수단이 설치되어 있지 않고 있는 점에서 실시예와 다르다. 또한, 핀 지지 수단(14)은 실시예의 것과 동일하고, 돌기부(31e)가 설치되어 있다.10 is a perspective view showing the pellicle fixing part 30 manufactured for comparison. In this comparative example, the pellicle fixing portion 30 is composed of the pin 31 and the pin supporting means 14, and the pin is inserted and fixed in the concave portion of the pellicle frame. The pin 31 differs from the embodiment in that no means equivalent to the pin operating portion 13d of the embodiment is provided. Further, the pin supporting means 14 is the same as that of the embodiment, and the protruding portion 31e is provided.

비교예의 핀(31)은 핀 축부(31a), 핀 본체(31b), 돌기부(31e)로 구성되어 있고, PPS 수지를 사출 성형한 핀 본체(31b)에 SUS304 스테인레스 강으로 제작한 핀 축부(31a)를 압입해서 구성되어 있다. 또한, 돌기부(31e)는 핀(31)을 선회시켰을 때에 핀 지지 수단(14)의 노치부(14c)와 감합하도록 구성되어 있고, 핀(31)을 선회 고정한 상태에서 덮개체(12)를 씌웠을 때에, 이 돌기부(31e)는 덮개체(12)의 내면에 접촉하는 높이로 설정되어 있다. 또한, 핀 본체(31b)의 단부에는 조작용의 6각 구멍(31f)이 설치되어 있고, 핀 축부(31a)의 선단의 단차부(31c)에는 불소 고무로 이루어지는 탄성체(15)가 부착되어 있다.The pin 31 of the comparative example is composed of a pin shaft portion 31a, a pin main body 31b and a protruding portion 31e. The pin shaft 31a made of SUS304 stainless steel is inserted into the pin main body 31b, ). The projecting portion 31e is configured to engage with the notch portion 14c of the pin supporting means 14 when the pin 31 is pivoted. When the pin 31 is rotated, the lid body 12 is covered The protrusion 31e is set at a height that makes contact with the inner surface of the cover body 12. [ An angular hexagonal hole 31f is provided at the end of the pin body 31b and an elastic body 15 made of fluorine rubber is attached to the step 31c at the tip of the pin shaft portion 31a .

이 비교예에서는 실시예와 같이, 용기 본체에 실시예와 같은 사양의 펠리클(20)을 수납한 후, 이 용기 본체에 덮개체를 감합해서 펠리클 수납 용기를 조립했지만, 이 덮개체(12)에는 실시예의 개구부(12a)와 점착 시트(12b)에 상당하는 것은 설치되지 않는다.In this comparative example, the pellicle 20 having the same specifications as those of the embodiment is stored in the container body, and then the cover body is fitted to the container body to assemble the pellicle storage container. The opening 12a and the adhesive sheet 12b of the embodiment are not provided.

다음에, 이렇게 조립한 펠리클 수납 용기에 대해서, 완전히 동일한 수송 시험을 행함과 아울러, 수송 후의 펠리클 수납 용기를 클래스 10의 클린룸에 반입하고, 그 후, 용기 본체로부터 덮개체를 분리하고, 내부의 확인을 행한 바, 펠리클(20)은 핀(31)에 의해 용기 본체 상에 확실히 고정되어 있는 것이 확인되었다.Then, the pellet storage container thus assembled was subjected to the same transportation test, and the pellet storage container after the transportation was brought into a clean room of class 10, and thereafter, the lid body was separated from the container body, As a result of the confirmation, it was confirmed that the pellicle 20 was firmly fixed on the container body by the pin 31.

또한, 작업자의 손을 에어 블로우해서 양호하게 클리닝한 후에, 주의 깊게 육각 렌치를 핀(31)의 후단에 있는 6각 구멍(31f)에 삽입하고, 이것을 선회시켜서 감합을 해제함과 아울러, 핀(31)을 후방으로 이동시켜서 오목부(22)로부터 인발했다. 그리고, 이 상태 그대로에서 주위를 어둡게 하고, 집광 램프를 조사해서 용기 본체와 펠리클(20)의 표면상을 관찰한 바, 펠리클(20)의 막면은 청정했지만, 용기 본체상이나 펠리클 고정부(30)의 주변에는 크기가 5∼20㎛인 이물이 수개 비산하고 있는 것이 확인되었다.Further, after the operator's hand is air-blown and cleaned satisfactorily, the hexagonal wrench is carefully inserted into the hexagonal hole 31f at the rear end of the pin 31, 31 were moved backward and pulled out from the concave portion 22. The surface of the pellicle 20 was cleaned by observing the surface of the container main body and the pellicle 20 by irradiating the light condensing lamp while keeping the surroundings dark in this state. It was confirmed that several foreign objects having a size of 5 to 20 占 퐉 scattered around.

또한, 이 비교예에서는 그 핀(31)의 해제 작업이 용기 본체로부터 덮개체를 분리한 상태, 즉 펠리클 막면이 노출한 상태에서 대단히 신중하게 행해졌기 때문에, 실시예와 같이, 덮개체가 용기 본체에 감합된 채의 상태에서 행해진 해제 작업과 비교하여 그 소요시간은 약 1.5배이었다.In this comparative example, the releasing operation of the pin 31 was carried out very carefully in a state in which the lid body was separated from the container body, that is, the pellicle film surface was exposed. Therefore, Compared with the unlocking operation performed in the state of being fitted, the time required was about 1.5 times.

최후에, 용기 본체로부터 해제된 펠리클(20)을 전용의 핸들링 지그(도시하지 않음)에 의해 암실내로 반송하고, 집광 램프에 의해 표면에 부착된 이물의 검사를 행한 바, 펠리클 막 상에 직경 10∼20㎛ 정도의 이물 1개의 부착이 확인되었다. 이 이물은 압력 2kgf/cm²의 에어 블로우에 의해 용이하게 제거할 수 있었지만, 용기 본체 상의 관찰에서는 펠리클(20)의 막면은 청정했던 점으로부터, 펠리클(20)을 용기 본체(11)로부터 들어올렸을 때에 용기 본체 상에 있던 이물이 혼입되어 펠리클 막면에 부착된 것은 아닐까라고 추찰되었다.Finally, the pellicle 20 released from the container body was transported to the arm room by a dedicated handling jig (not shown), and foreign matter adhering to the surface was inspected by the condenser lamp. Adhesion of one foreign matter of about 10 to 20 mu m was confirmed. The foreign matter is, but can be easily removed by an air blow pressure 2kgf / cm ^2, the observations on the container body the film surface of the pellicle 20 is lifted to, pellicle 20 from the point that cleaning of the container body 11, It was presumed that foreign substances on the container body were mixed and adhered to the surface of the pellicle membrane.

10 : 펠리클 수납 용기 11 : 용기 본체
12 : 덮개체 12a : 개구부
12b : 점착 시트 13 : 핀
13a : 핀 축부 13b : 핀 본체
13c : 단차부 13d : 핀 조작부
13e : 돌기부 14 : 핀 지지 수단
14a : 핀 삽입부 14b : 도입부
14c : 노치부 15 : 탄성체
20 : 펠리클 21 : 펠리클 프레임
22 : 오목부 23 : 마스크 점착층
24 : 세퍼레이터 25 : 펠리클 막 접착층
26 : 펠리클 막 30 : 펠리클 고정부(비교예)
31 : 핀 31a : 핀 축부
3lb : 핀 본체 31c : 단차부
31e : 돌기부
31f : 6각 구멍10: pellicle storage container 11: container body
12: lid body 12a: opening
12b: adhesive sheet 13: pin
13a: pin shaft portion 13b: pin body
13c: stepped portion 13d: pin operating portion
13e: protruding portion 14: pin supporting means
14a: pin insertion portion 14b:
14c: Notch portion 15: Elastic body
20: Pellicle 21: Pellicle frame
22: concave portion 23: mask adhesive layer
24: Separator 25: Pellicle film adhesive layer
26: pellicle membrane 30: pellicle fixing part (comparative example)
31: pin 31a: pin shaft portion
3lb: pin body 31c: stepped portion
31e: protrusion
31f: 6 holes

Claims

A pellicle storage container comprising a container body for containing a pellicle and a lid body covering the container body and fitted and locked to the edge portion, the container body being horizontally movable on the container body and being inserted into a recess provided in a side surface of the pellicle frame And a pin holding portion for holding the pin is mounted on the cover body, and an opening portion penetrating into the container body is provided on the cover body. The pin is provided with a pin operation portion extending from the pin body in the direction of the opening of the cover body And the upper end of the pin operating portion is adhered and fixed in contact with the adhesive sheet attached to seal the opening portion.

The method according to claim 1,
Wherein the pin is fixed to the pin supporting means by a turning operation about a pin shaft portion.

3. The method of claim 2,
Wherein the pin is fixed by being fitted to a notch provided in the pin supporting means.

A method of pulling out a pellicle from the pellicle storage container according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the adhesive sheet attached to the opening of the lid body is peeled off and the opening is opened, The pin operating portion is operated from the outside of the lid body in a state of fitting and locking on the lid body to pull out the tip portion of the pin inserted into the recess and release the pellicle fixed on the container body, And removing the cover body to pull out the pellicle.