KR20130047563A

KR20130047563A - Pellicle container

Info

Publication number: KR20130047563A
Application number: KR1020120088308A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2011-10-28
Filing date: 2012-08-13
Publication date: 2013-05-08
Also published as: KR101864169B1; JP2013097047A; CN103086071A; JP5586560B2; TWI474956B; TW201345805A; CN103086071B; HK1179934A1

Abstract

PURPOSE: A pellicle container is provided to prevent impurity attachment to the pellicle by covering pellicle fixed to a container body, with a covering material, thereby authentically maintain the fixed state in transit. CONSTITUTION: A pellicle container consists of a container body(12) accommodating a pellicle(16) and a covering material(14) covering a pellicle. A pellicle fixing part is installed in the container body(18). The pellicle fixing part comprises a pin(28) which is rotatable by inserting a front end into a concave part(26) of a pellicle frame(16a); a pin mount part(32); and an opening(14a) which is formed in the covering material to rotate the pin in the pin mounting part; and a closing plate(40) of the opening. A protrusion and the notch part are located in the pin mounting part, for fixing the pin.

Description

Pellicle container {PELLICLE CONTAINER}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디바이스 디스플레이 등의 제조에 사용되는 펠리클 막이 펠리클 프레임에 부착된 펠리클을 수용하는 펠리클 수용 용기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellicle container containing a pellicle having a pellicle film attached to a pellicle frame for use in the manufacture of a semiconductor device, a printed board, or a liquid crystal device display.

LSI나 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하는 리소그래피 작업이 행하여진다. 이때, 포토마스크 또는 레티클에 먼지가 부착되어 있으면 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 굴절시켜 버리기 때문에 전사한 패턴이 변형되거나, 엣지가 울퉁불퉁하게 되는 이외에 하지가 검게 오염되거나 하는 등의 현상이 발생하는 경우가 있다. 이러한 작업은 통상 클린룸에서 행하여지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵기 때문에 투명한 펠리클 막이 펠리클 프레임에 부착된 펠리클이 사용되고 있다. 이 펠리클을 포토마스크 상에 적재해서 노광을 행함으로써 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고 펠리클 막 상에 부착되기 때문에, 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면 펠리클 막 상의 이물은 전사에 관계없게 된다. In the production of semiconductors such as LSI and ultra-LSI, or production of liquid crystal displays, a lithography operation is performed in which light is irradiated to a semiconductor wafer or a liquid crystal display plate to produce a pattern. At this time, if dust adheres to the photomask or reticle, the dust absorbs light or refracts the light, so that the transferred pattern is deformed, the edges are rugged, and the lower surface is contaminated black. There is a case. Although this operation is usually performed in a clean room, it is still difficult to keep the photomask clean at all times, so that a pellicle having a transparent pellicle film attached to the pellicle frame is used. By depositing the pellicle on the photomask and exposing it, the foreign matter does not adhere directly to the surface of the photomask but adheres to the pellicle film. Therefore, when the focus is on the pattern of the photomask during lithography, the foreign material on the pellicle film It doesn't matter to the warrior.

이러한 펠리클은 그 자체에 이물이 부착되면 포토마스크에의 이물 부착으로도 이어지기 때문에 높은 청정성이 요청된다. 이 때문에, 그 보관이나 수송시에는 펠리클 수용 용기가 사용된다. 이러한 펠리클 수용 용기 또는 펠리클의 수용 방법으로서, 예를 들면 하기 특허문헌 1, 2, 3에 기재되어 있는 것이 있다. 구체적으로는, 특허문헌 1에 경질 수지제의 용기 본체의 내저부에 펠리클 프레임의 타측면을 밀접 적재하도록 되어 있고, 용기 본체의 내저부에 내저부 상에 적재된 펠리클 프레임을 주위로부터 유지하는 복수의 지지체를 점재해서 세워서 설치하고, 또한 용기 본체 상을 경질 수지제의 덮개체로 개폐 가능하게 피복하고, 이 덮개체는 덮개를 닫았을 때에 내저부 상에 적재된 펠리클 프레임의 상기 일측면에 접촉하는 접촉부를 그 내면에 갖는 펠리클용 용기가 기재되어 있다. Such pellicles require high cleanliness because foreign matters on their own lead to foreign matters on the photomask. For this reason, a pellicle container is used at the time of the storage and transportation. As a method of accommodating such a pellicle container or a pellicle, for example, there is one described in Patent Documents 1, 2, and 3 below. Specifically, in Patent Document 1, the other side surface of the pellicle frame is closely stacked on the inner bottom of the container body made of hard resin, and the plurality of pellicle frames loaded on the inner bottom part of the inner body of the container body are kept from the surroundings. Of the pellicle frame loaded on the inner bottom when the lid is closed, and the cover body is installed so as to stand upright and covered so as to be openable and closed with a lid made of a hard resin. A container for a pellicle having a contact portion on its inner surface is described.

특허문헌 2에 프레임체와, 상기 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클 막과, 상기 프레임체의 하부 가장자리면에 도포된 점착재와, 상기 점착재를 보호하기 위해서 프레임체의 하면에 점착된 보호 필름으로 이루어지는 대형 펠리클을 트레이와 덮개로 이루어지는 케이스에 수납하는 방법에 있어서, 상기 대형 펠리클의 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시켜서 압박 부분(pressing margin)을 형성하고, 또한 상기 압박 부분을 점착 테이프를 통하여 상기 트레이에 고정해서 대형 펠리클을 케이스 내에 수납하는 것이 기재되어 있다. Patent document 2 adheres to the frame body, the pellicle film adhered to the upper edge surface of the frame body, the adhesive material applied to the lower edge surface of the frame body, and the lower surface of the frame body to protect the adhesive material. A method of storing a large pellicle made of a protective film in a case made of a tray and a lid, wherein a part or all of the outer circumferential edge of the protective film of the large pellicle is projected outward to form a pressing margin. It is described that the pressing portion is fixed to the tray via an adhesive tape to accommodate the large pellicle in the case.

특허문헌 3에 펠리클을 적재하는 용기 본체와, 펠리클을 피복함과 아울러 용기 본체와 서로 둘레가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체와, 상기 용기 본체에 접합되어 있는 금속 부품과, 펠리클 프레임의 서로 평행한 1쌍의 변의 각각의 외측면에 적어도 1개 설치된 합계 3개 이상의 구멍에 각각 삽입되는 동수의 프레임 유지핀과, 상기 프레임 유지핀을 위치 결정하는 위치 결정 부품으로 이루어지는 펠리클 수납 용기에 있어서, 상기 위치 결정 부품은 상기 금속 부품에 기계적으로 고정되어 있는 펠리클 수납 용기가 기재되어 있다.The container body which loads a pellicle in patent document 3, the cover body which coat | covers a pellicle, and is fitted and locked by the container body and a peripheral edge part, the metal parts joined to the said container main body, and a pellicle frame parallel to each other A pellicle storage container comprising a same number of frame retaining pins respectively inserted into three or more holes provided in total on at least one outer side of each pair of sides, and a positioning component for positioning the frame retaining pins. The crystalline part is described with a pellicle container which is mechanically fixed to the metal part.

일본 공개실용신안 평6-45965호 공보Japanese Utility Model Model No. 6-45965 일본 특허공개 2004-361647호 공보Japanese Patent Publication No. 2004-361647 일본 특허 제 4391435호 공보Japanese Patent No. 4391435

특허문헌 1에 기재된 펠리클용 용기는 사출성형으로 형성할 수 있어 부품 점수가 적다는 이점이 있고, 반도체용 펠리클의 수납용으로서 사용할 수 있다. 그러나, 이 펠리클용 용기는 덮개체 및 용기 본체 모두 고정밀도로 성형되어 있을 필요가 있기 때문에 변 길이가 500㎜를 초과하는 액정용 펠리클의 수납용으로서는 사용되지 않는다. 이러한 대형 용기를 진공 성형으로는 고정밀도로 형성할 수 없는 것에 추가해 용기 자체의 강성 확보가 어렵다. 이 때문에, 용기의 취급시나 반송시에 용기의 변형이 야기되고, 용기와 펠리클 프레임의 마찰이 생겨 먼지가 발생하여 품질의 저하를 초래하기 쉽기 때문이다. The container for pellicle described in patent document 1 can be formed by injection molding, and there is an advantage that there are few parts points, and it can be used for the storage of the pellicle for semiconductors. However, this container for pellicle needs to be molded with high accuracy in both a lid | cover body and a container main body, and it is not used for the storage of the pellicle for liquid crystals whose side length exceeds 500 mm. It is difficult to secure the rigidity of the container itself in addition to such a large container which cannot be formed with high precision by vacuum forming. This is because deformation of the container is caused during handling or conveyance of the container, friction between the container and the pellicle frame is generated, and dust is likely to occur, resulting in deterioration of quality.

이러한 변 길이가 500㎜를 초과하는 대형 펠리클 수납 용기로서는 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이 마스크 점착층을 보호하는 라이너의 일부를 외측으로 돌출시켜 점착 테이프에 의해 용기 본체에 고정하는 것, 또는 특허문헌 3에 기재되어 있는 바와 같이, 펠리클 프레임 외측면에 형성한 오목부에 핀을 삽입해서 용기 본체에 고정함으로써 펠리클을 용기 본체에 확실하게 고정할 수 있는 방법이 제안되어 있다. As a large sized pellicle container with such a side length of more than 500 mm, as described in Patent Literature 2, a part of the liner protecting the mask adhesive layer is projected outward and fixed to the container body with an adhesive tape, or a patent. As described in Document 3, a method has been proposed in which a pellicle can be reliably fixed to a container main body by inserting a pin into a recess formed on the outer surface of the pellicle frame and fixing the pin to the container main body.

그러나, 특허문헌 2와 같이 펠리클 보호 필름의 외주 가장자리의 일부 또는 전부를 외측으로 돌출시킨 압박 부분을 점착 테이프로 용기 본체에 부착 고정할 경우, 그 작업은 사람의 손으로 행하여만 하여 청정한 상태에서 트레이 상에 고정하는 것이 어렵다. 또한, 점착 테이프를 박리하여 인출할 때에 사람의 손이 펠리클 프레임 부근에 접근해서 이물이 부착될 우려가 있다.However, in the case of attaching and fixing the pressing portion which protrudes a part or all of the outer circumferential edge of the pellicle protective film outward as in Patent Literature 2 to the container body with an adhesive tape, the operation is performed only by a human hand and the tray is in a clean state. It is difficult to fix on the phase. In addition, when the adhesive tape is peeled off and taken out, a human hand may approach the vicinity of the pellicle frame and foreign matter may adhere.

한편, 특허문헌 3과 같이 펠리클 프레임 외측면의 구멍에 핀을 삽탈해서 펠리클을 용기 본체에 착탈할 경우 펠리클의 탈착시에 그다지 사람의 손이 펠리클에 접근하지 않아 이물 부착이 적다. On the other hand, when the pin is inserted into or removed from the hole in the outer surface of the pellicle frame as in Patent Document 3, the human body does not approach the pellicle at the time of detachment of the pellicle.

그러나, 펠리클을 수납한 펠리클 수납 용기를 수송할 때에는 펠리클 프레임 외측면의 구멍에 삽입한 핀의 삽입 위치를 계속해서 유지할 필요가 있다. 이렇게 핀의 삽입 위치를 유지하기 위해서는 핀을 또다른 나사 등의 체결 수단으로 고정하는 고정 수단, 또는 핀을 약간 테이퍼 형상으로 형성해서 감합시키고 그 마찰력으로 고정하는 고정 수단이 고려된다. 그러나, 나사 등의 체결 수단으로 핀을 고정할 경우에는 핀을 고정하는 점에서는 확실하지만 먼지가 발생할 우려가 있다. 또한, 핀을 약간 테이퍼 형상으로 형성해서 마찰력으로 고정할 경우에는 마찰력을 적절한 크기로 조절하는 것이 어려워 신뢰성이 결여되는 점이 있다.However, when transporting the pellicle container which accommodated a pellicle, it is necessary to hold | maintain the insertion position of the pin inserted in the hole of the outer surface of a pellicle frame. In order to maintain the insertion position of the pin, a fixing means for fixing the pin with a fastening means such as another screw, or a fixing means for forming the pin in a slightly tapered shape, fitting it, and fixing it with the frictional force is considered. However, when the pin is fixed by a fastening means such as a screw, there is a possibility that dust is generated although it is sure from the point of fixing the pin. In addition, when the pin is formed in a slightly tapered shape and fixed with friction force, it is difficult to adjust the friction force to an appropriate size, which results in a lack of reliability.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것이고, 용기 본체의 소정 위치에 고정된 상태의 펠리클을 덮개체로 피복해서 이물 부착을 방지하면서 수송 중에도 상기 고정 상태를 확실하게 유지할 수 있고, 또한 덮개체를 닫은 상태에서 상기 고정 상태를 해제한 후에 덮개체를 열어서 펠리클을 인출할 수 있는 펠리클 수용 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다. This invention is made | formed in order to solve the said subject, It can cover the pellicle of the state fixed to the predetermined position of a container main body with a cover body, can prevent a foreign material adhesion, can reliably hold | maintain the said fixed state during transportation, and also closed the cover body It is an object of the present invention to provide a pellicle container capable of extracting a pellicle by opening a lid after releasing the fixed state in a state.

상기 목적을 달성하기 위하여 이루어진 특허청구범위의 청구항 1에 기재된 펠리클 수용 용기는 펠리클 막이 펠리클 프레임에 부착된 펠리클이 적재되는 용기 본체와, 상기 펠리클을 피복하도록 상기 용기 본체의 둘레가장자리부에서 감합 록킹되는 덮개체로 구성되는 펠리클 수용 용기로서, 상기 펠리클 수용 용기에는 상기 용기 본체에 적재된 상기 펠리클 프레임의 외측면에 형성된 오목부에, 선단부가 삽입된 상태에서 회동 가능한 핀과, 상기 용기 본체에 장착되고 상기 펠리클 프레임의 오목부로부터 상기 선단부를 발출 가능하게 상기 핀이 장착되는 핀 장착부와, 상기 용기 본체에 피착(被着)된 상기 덮개체의 외측으로부터 상기 핀 장착부의 상기 핀을 회동시킬 수 있게 상기 덮개체에 형성된 개구부와, 상기 개구부의 폐쇄 부재를 구비한 펠리클 고정부가 복수개 설치되고, 상기 핀 장착부에 장착되고 상기 선단부가 상기 펠리클 프레임의 오목부에 삽입된 상기 핀을 소정 각도 회동시켰을 때 상기 핀의 선단부가 상기 오목부로부터 발출되지 않도록 상기 핀을 유지하는 핀 유지 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.The pellicle container according to claim 1 made to achieve the above object is fitted with a container body on which a pellicle attached to a pellicle frame is loaded with a pellicle film, and is locked at a peripheral edge of the container body to cover the pellicle. A pellicle container comprising a lid body, wherein the pellicle container includes a pin that is rotatable in a state where a tip is inserted into a recess formed in an outer surface of the pellicle frame loaded on the container body, The lid to rotate the pin from the concave portion of the pellicle frame so that the pin is mounted so as to extract the tip portion from the outer side of the lid body attached to the container body; A pellicle having an opening formed in the sieve and a closing member of the opening A plurality of pins are provided to hold the pins so that the tip of the pin is not ejected from the recess when the pin is mounted at the pin mounting portion and the tip is rotated by a predetermined angle inserted into the recess of the pellicle frame. A holding means is provided.

청구항 2에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 1에 기재된 것으로서, 상기 핀 유지 수단이 상기 핀에 형성되어 있는 돌기부와, 상기 핀 장착부에 형성되고 상기 핀이 소정 각도 회동해서 상기 돌기부와 록킹되는 노치부로 구성되는 것을 특징으로 한다. The pellicle container according to claim 2 is the pellicle container according to claim 1, wherein the pin holding means is formed of a protrusion formed on the pin, and a notch portion formed on the pin mounting portion and the pin rotates by a predetermined angle to lock the protrusion. It is characterized by.

청구항 3에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 1에 기재된 것으로서, 상기 용기 본체에 피착된 상기 덮개체의 개구부를 폐쇄하는 상기 폐쇄 부재에는 상기 용기 본체에 적재된 상기 펠리클 프레임의 오목부에 선단부가 삽입된 상기 핀의 회동을 방지하는 회동 방지부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.The pellicle container according to claim 3 is the pellicle container according to claim 1, wherein the distal end portion is inserted into a recess of the pellicle frame loaded on the container body in the closing member closing the opening of the lid body adhered to the container body. It is characterized in that a rotation preventing portion for preventing the rotation of the pin is provided.

청구항 4에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 3에 기재된 것으로서, 상기 회동 방지부가 상기 덮개체의 개구부를 폐쇄하는 폐쇄판에 돌출된 기둥 형상부와, 상기 기둥 형상부의 선단부에 형성된 상기 핀의 후단부와 맞물리는 맞물림부와, 상기 덮개체에 설치되고, 상기 개구부에 상기 기둥 형상부가 삽입된 상기 폐쇄판을 유지하는 폐쇄판 유지부로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. The pellicle container according to claim 4 is a pellicle container according to claim 3, wherein the anti-rotation part is fitted with a columnar portion protruding from a closing plate for closing the opening of the lid, and a rear end of the pin formed at the tip of the columnar portion. The physics is composed of an engaging portion and a closing plate holding portion provided on the lid and holding the closing plate into which the column-shaped portion is inserted into the opening.

청구항 5에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 2에 기재된 것으로서, 상기 핀이 30~180도 회동했을 때 상기 핀의 돌기부와 상기 핀 장착부의 노치부가 록킹되는 것을 특징으로 한다.The pellicle container according to claim 5 is described in claim 2, wherein the protrusion of the pin and the notch of the pin mounting part are locked when the pin is rotated 30 to 180 degrees.

청구항 6에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 1~5 중 어느 한 항에 기재된 것으로서, 상기 핀의 선단부에 상기 펠리클 프레임과의 접촉의 완충 부재로서의 탄성체가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.The pellicle container according to claim 6 is characterized in that any one of claims 1 to 5 is provided with an elastic body as a shock absorbing member for contact with the pellicle frame at the tip of the pin.

청구항 7에 기재된 펠리클 수용 용기는 청구항 1~6 중 어느 한 항에 기재된 것으로서, 상기 핀의 후단면에 상기 핀의 회동용 공구가 삽입되는 공구용 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The pellicle container according to claim 7 is any one of claims 1 to 6, characterized in that a recess for a tool into which the rotational tool of the pin is inserted is formed on a rear end surface of the pin.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명에 의한 펠리클 수용 용기는 간편한 구조이면서 펠리클을 용기 본체에 고정한 핀을 확실하게 유지할 수 있어 수송 중에 핀이 탈락되거나 해서 펠리클의 고정이 해제되는 일이 없고, 또한 수용한 펠리클에 파손이나 이물 부착의 우려가 없는 신뢰성이 높은 것이다. 또한, 펠리클 수용 용기로부터 펠리클을 인출할 때에는 덮개체를 용기 본체에 피착한 상태에서 폐쇄 부재를 제거해서 개구된 덮개체의 개구부를 이용하여 핀을 소정 각도 회동시켜서 핀 장착부로부터 분리시킴으로써 펠리클의 고정을 해제할 수 있다. 고정이 해제된 펠리클은 펠리클 수용 용기 본체로부터 간단하게 인출할 수 있다. 이렇게 매우 간편한 조작으로 펠리클 수용 용기로부터 펠리클의 인출이 가능해져 인출 작업에 따르는 펠리클에의 이물 부착의 우려도 적다.The pellicle container according to the present invention has a simple structure and can securely hold a pin that fixes the pellicle to the container body, so that the pin is not dropped during transport and the pellicle is not released, and damage or foreign matter adheres to the contained pellicle. There is no fear of reliability. When the pellicle is taken out of the pellicle container, the pellicle is fixed by removing the closing member while the lid is attached to the container body, and rotating the pin by a predetermined angle to separate the pin from the pin mounting portion. You can turn it off. The released pellicle can be easily taken out from the pellicle container body. With such a very simple operation, the pellicle can be withdrawn from the pellicle container, and there is little fear of foreign matter adhering to the pellicle due to the withdrawal operation.

도 1은 본 발명에 의한 펠리클 수용 용기의 일례를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)의 X-X면에서의 횡단면도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)의 펠리클 고정부(18)를 포함하는 부분의 확대 부분 단면도이다.
도 4는 도 3에 나타내는 핀(28)의 사시도이다.
도 5는 도 3에 나타내는 핀 장착부(32)의 사시도이다.
도 6은 도 3에 나타내는 폐쇄판 부재로서의 폐쇄판(40)의 사시도이다.
도 7은 도 3에 나타내는 폐쇄판 유지부(42)의 사시도이다.
도 8은 도 4에 나타내는 핀(28)을 핀 장착부(32)에 장착하는 형상을 설명하는 사시도이다.
도 9는 핀(28)이 장착된 핀 장착부(32)에 폐쇄판 유지부(42)에 설치된 덮개체(14)가 피복된 상태를 설명하는 사시도이다.
도 10은 도 9에 나타내는 덮개체(14)의 폐쇄판 유지부(42)에 폐쇄판(40)이 장착된 상태를 설명하는 사시도이다.
도 11은 펠리클 수용 용기(10) 내로부터 핀(28)을 발출하는 상태를 설명하는 사시도이다.
도 12는 핀 장착부에 장착한 핀을 장착 구멍의 마찰력을 이용해서 유지하는 비교 예를 나타내는 사시도이다.1 is a front view showing an example of a pellicle container according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view at XX plane of the pellicle container 10 shown in FIG. 1.
3 is an enlarged partial sectional view of a portion including the pellicle fixing portion 18 of the pellicle container 10 shown in FIG. 2.
4 is a perspective view of the pin 28 shown in FIG. 3.
FIG. 5: is a perspective view of the pin mounting part 32 shown in FIG.
FIG. 6 is a perspective view of the closing plate 40 as the closing plate member shown in FIG. 3.
FIG. 7 is a perspective view of the closing plate holding part 42 shown in FIG. 3.
FIG. 8: is a perspective view explaining the shape which attaches the pin 28 shown to FIG. 4 to the pin mounting part 32. FIG.
FIG. 9: is a perspective view explaining the state in which the cover body 14 provided in the closing plate holding part 42 was coat | covered with the pin mounting part 32 with which the pin 28 was mounted.
FIG. 10: is a perspective view explaining the state in which the closing plate 40 was attached to the closing plate holding part 42 of the cover body 14 shown in FIG.
FIG. 11: is a perspective view explaining the state which extracts the pin 28 from the inside of the pellicle container 10. FIG.
It is a perspective view which shows the comparative example which hold | maintains the pin attached to the pin mounting part using the frictional force of a mounting hole.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 형태에 한정되는 것은 아니다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although the form for implementing this invention is demonstrated in detail, the scope of the present invention is not limited to these forms.

본 발명에 의한 펠리클 수용 용기의 일례를 도 1에 나타낸다. 도 1에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)는 장방형상의 용기 본체(12)와 덮개체(14)로 이루어진다. 이 펠리클 수용 용기(10)의 용기 본체(12)의 중앙부에 도 1의 X-X면에서의 횡단면도인 도 2에 나타내는 바와 같이 펠리클(16)이 수용되어 있다. 펠리클(16)은 장방형상의 알루미늄 등의 금속제 펠리클 프레임(16a)에 투명한 불소 수지 등의 펠리클 막(16b)이 부착되어 있는 것이다. 펠리클(16)이 적재되어 있는 용기 본체(12)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(12)의 저부에 리브(12a, 12a)를 형성해서 보강되어 있다. 이러한 용기 본체(12)와 덮개체(14)는 ABS 수지(아크릴니트릴부타디엔스티렌 수지)나 아크릴 등의 합성수지 시트를 진공 성형한 것이 사용된다. 진공 성형 방법은 금형에 가열한 수지 시트를 피복하여 진공 처리하는 것만으로 대형 용기도 용이하게 성형할 수 있기 때문이다. 이에 대하여, 1개소 또는 수개소의 게이트로부터 금형 내에 수지를 고속 주입하는 사출성형 방법에서는 수지가 흐르는 거리가 지나치게 길기 때문에 대형 용기의 제조가 곤란해지는 경향이 있다. One example of the pellicle container according to the present invention is shown in FIG. 1. The pellicle container 10 shown in FIG. 1 consists of a rectangular container main body 12 and the lid | cover body 14. As shown in FIG. The pellicle 16 is accommodated in the center part of the container main body 12 of this pellicle container 10 as shown in FIG. 2 which is a cross-sectional view in the X-X plane of FIG. The pellicle 16 is a pellicle film 16b such as a transparent fluorine resin attached to a metal pellicle frame 16a such as rectangular aluminum. As shown in FIG. 2, the container main body 12 in which the pellicle 16 is mounted is reinforced by forming ribs 12a and 12a at the bottom of the container main body 12. As shown in FIG. The container main body 12 and the lid 14 are vacuum molded of a synthetic resin sheet such as ABS resin (acrylonitrile butadiene styrene resin) or acrylic. This is because the vacuum forming method can easily mold a large container by simply coating the mold with a heated resin sheet and vacuuming it. On the other hand, in the injection molding method in which resin is injected into the mold from one or several gates at high speed, the distance through which the resin flows is too long, making it difficult to manufacture a large container.

이 용기 본체(12)와 덮개체(14)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 그 둘레가장자리부에서 감합되어서 록킹되어 일체화되어 있다. 이러한 펠리클 수용 용기(10) 내에는 도 3에 나타내는 바와 같이 라이너(22)와 마스크 점착층(24)을 통하여 용기 본체(12)의 중앙부에 적재된 펠리클(16)이 수용되어 있다. 이 펠리클(16)은 도 1에 나타내는 바와 같이, 펠리클 수납 용기(10)의 장변측의 모서리부 근방의 4개소에 설치된 펠리클 고정부(18)에 의해 고정되어 있다. 펠리클 고정부(18)는 도 3에 나타내는 바와 같이 핀(28)과, 용기 본체(12)의 장변측을 따라서 형성된 평탄면(20)의 모서리부 근방에 설치된 핀 장착부(32)와, 덮개체(14)에서 개구하는 개구부(14a)와, 개구부(14a)를 폐쇄하는 폐쇄 부재로서의 폐쇄판(40)과, 폐쇄판(40)을 유지하는 폐쇄판 유지부(42)로 구성된다. As shown in FIG. 2, this container main body 12 and the lid | cover body 14 are fitted at the peripheral edge part, are locked, and are integrated. In the pellicle container 10, as shown in FIG. 3, the pellicle 16 mounted in the center part of the container main body 12 via the liner 22 and the mask adhesion layer 24 is accommodated. As shown in FIG. 1, this pellicle 16 is being fixed by the pellicle fixing | fixed part 18 provided in four places of the edge part vicinity of the long side of the pellicle container 10. As shown in FIG. As shown in FIG. 3, the pellicle fixing | fixed part 18 is a pin mounting part 32 provided in the vicinity of the corner part of the flat surface 20 formed along the long side of the container main body 12, and a cover body. The opening 14a which opens in 14, the closing plate 40 as a closing member which closes the opening 14a, and the closing plate holding part 42 which hold | maintains the closing plate 40 are comprised.

이러한 핀(28)은 용기 본체(12)의 소정 위치에 적재한 펠리클 프레임(16a)의 측면에 개구된 오목부(26)에 선단부를 삽입한 상태에서 회동 가능하다. 이 핀(28)은 그 선단부가 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 발출 가능하게 핀 장착부(32)에 장착되어 있다. 이렇게 핀 장착부(32)에 장착된 핀(28)은 덮개체(14)의 개구부(14a)를 경유해서 발출할 수 있다. 이러한 개구부(14a)는 덮개체(14)에 장착된 폐쇄판 유지부(42)에서 유지되는 폐쇄판(40)에 의해 폐쇄된다. 이 때문에, 펠리클 수납 용기(10) 내에 개구부(14a)로부터 진애 등이 들어가는 것을 방지할 수 있다. 이러한 폐쇄판(40)의 일면측에 도 3에 나타내는 바와 같이, 핀 장착부(32)에 장착된 핀(28)의 회동을 방지하는 회동 방지부로서 핀(28)의 후단부의 단부와 요철 록킹되는 록킹부가 선단부에 형성된 기둥 형상부(44)가 돌출되어 있다. This pin 28 can be rotated in the state which inserted the front-end | tip part into the recessed part 26 opened in the side surface of the pellicle frame 16a loaded in the predetermined position of the container main body 12. As shown in FIG. This pin 28 is attached to the pin mounting part 32 so that the front-end | tip is extractable to the recessed part 26 of the pellicle frame 16a. Thus, the pin 28 attached to the pin mounting part 32 can be taken out via the opening part 14a of the cover body 14. As shown in FIG. This opening portion 14a is closed by the closing plate 40 held by the closing plate holding part 42 mounted to the lid 14. For this reason, it is possible to prevent dust or the like from entering the pellicle container 10 from the opening 14a. As shown in FIG. 3 on one surface side of such a closing plate 40, the end portion of the rear end of the pin 28 and the concave-convex locking as the anti-rotation part for preventing the rotation of the pin 28 mounted on the pin mounting portion 32 are locked. The columnar portion 44 formed with the locking portion protrudes.

핀(28)은 도 4에 나타내는 바와 같이, 선단부(28a), 중간부(28b), 후단부(28c)로 형성되고, 중간부(28b)와 후단부(28c) 사이에 핀(28)의 유지 수단을 구성하는 돌기부(30)가 형성되어 있다. 돌기부(30)는 선단부가 끝이 좁은 형상의 경사면으로 형성되어 있다. 핀(28)의 후단부(28c)는 핀(28)에 회동 등을 실시하는 조작부이고, 선단부(28a) 및 중간부(28b)보다 굵게 형성되어 있다. 이러한 후단부(28c)의 끝부는 회동 방지부로서의 기둥 형상부(44)의 선단부와 요철 록킹되는 볼록부(28d)로 형성되어 있다. 또한, 볼록부(28d)의 끝면에는 핀(28)의 회동용 공구가 삽입되는 공구용 오목부(36)가 형성되어 있다. 도 4에 나타내는 공구용 오목부(36)는 육각 렌치의 선단부를 삽입할 수 있도록 육각형으로 형성되어 있다. 또한, 핀(28)의 중간부(28b)는 선단부(28a)보다 굵게 형성되어 있고, 핀(28)의 선단부(28a)와 중간부(28b)의 경계에 단차(28e)가 형성되어 있다. 이 단차(28e)가 펠리클 프레임(16a)의 측면과 접촉한다. 이러한 단차(28e)와 펠리클 프레임(16a)의 측면의 접촉을 완화하는 완충 부재로서 단차(28e)에 링 형상의 탄성체(34)가 장착되어 있다. 탄성체(34)로서는 니트릴고무, 에틸렌프로필렌고무, 실리콘고무, 불소고무 등의 고무를 이용할 수 있다.As shown in FIG. 4, the pin 28 is formed of a tip portion 28a, an intermediate portion 28b, and a rear end portion 28c, and the pin 28 is formed between the intermediate portion 28b and the rear end portion 28c. The projection part 30 which comprises a holding means is formed. The protruding portion 30 is formed with an inclined surface having a narrow tip portion. The rear end portion 28c of the pin 28 is an operation portion that rotates the pin 28 and the like, and is formed thicker than the tip portion 28a and the intermediate portion 28b. The end portion of the rear end portion 28c is formed of the tip portion of the columnar portion 44 as the anti-rotation portion and the convex portion 28d that is unevenly locked. Moreover, the tool recessed part 36 into which the rotating tool of the pin 28 is inserted is formed in the end surface of the convex part 28d. The recessed part 36 for tools shown in FIG. 4 is formed in the hexagon so that the front-end | tip part of a hexagon wrench can be inserted. The middle portion 28b of the pin 28 is formed thicker than the tip portion 28a, and a step 28e is formed at the boundary between the tip portion 28a and the intermediate portion 28b of the pin 28. As shown in FIG. This step 28e is in contact with the side surface of the pellicle frame 16a. A ring-shaped elastic body 34 is attached to the step 28e as a cushioning member for alleviating the contact between the step 28e and the side surfaces of the pellicle frame 16a. As the elastic body 34, rubbers such as nitrile rubber, ethylene propylene rubber, silicone rubber, and fluorine rubber can be used.

이러한 핀(28)은 수지를 사출성형, 트랜스퍼 성형 등으로 일체 성형으로 제작할 수 있다. 재질로서는 에폭시 수지, ABS 수지(아크릴니트릴부타디엔스티렌 수지), PPS 수지(폴리페닐렌술파이드 수지), PE 수지(폴리에틸렌 수지), PEEK 수지(폴리에테르에테르케톤 수지) 등을 사용할 수 있고, 필요에 따라서 유리 섬유 등의 필러 등을 혼입해서 강도를 향상시키는 것도 바람직하다. These pins 28 can be produced by integral molding of resin by injection molding, transfer molding, or the like. As a material, epoxy resin, ABS resin (acrylonitrile butadiene styrene resin), PPS resin (polyphenylene sulfide resin), PE resin (polyethylene resin), PEEK resin (polyether ether ketone resin), etc. can be used, if necessary. It is also preferable to mix fillers, such as glass fiber, and to improve strength.

핀(28)이 회동 가능하고 또한 발출 가능하게 장착되는 핀 장착부(32)는 도 3에 나타내는 바와 같이 용기 본체(12)의 평탄면(20)에 장착되는 것이다. 이러한 핀 장착부(32)는 도 5에 나타내는 바와 같이 사면체이고, 핀(28)에 형성된 돌기부(30) 및 후단부(28c)가 삽입되는 U자 홈(32a)의 일단이 사면체의 일면측에서 개구되어 있다. 이 U자 홈(32a)의 타단은 사면체의 중앙부 근방에 형성된 사각형상의 노치부(32b)의 내벽면의 일면측에서 개구되어 있다. 이러한 노치부(32b)는 핀(28)의 돌기부(30)와 핀 유지 수단을 구성하고, 핀(28)의 중간부(28b)와 후단부(28c) 사이에 형성된 돌기부(30)가 회동 가능하게 삽입된다. 또한, 노치부(32b)의 내벽면이고, U자 홈(32a)의 타단이 개구된 일면측에 대응하는 타면측에는 핀(28)의 선단부(28a) 및 중간부(28b)의 일부가 삽통되는 구멍(32c)이 개구되어 있다. 이러한 핀 장착부(32)에 발출 가능하고 또한 회동 가능하게 장착된 핀(28)을 소정 방향으로 회동시킴으로써 핀(28)의 돌기부(30)의 외주면 일부와 노치부(32b)의 내벽면 일부가 접촉하여 핀(28)을 핀 장착부(32)로부터 발출 불가능하도록 록킹해서 유지할 수 있다. As shown in FIG. 3, the pin mounting portion 32 on which the pin 28 is rotatable and extractable is attached to the flat surface 20 of the container body 12. This pin mounting part 32 is a tetrahedron as shown in FIG. 5, One end of the U-shaped groove 32a into which the projection part 30 formed in the pin 28 and the rear end part 28c are inserted is opened at one surface side of a tetrahedron. It is. The other end of this U-shaped groove 32a is opened at one surface side of the inner wall surface of the rectangular notched portion 32b formed near the center portion of the tetrahedron. This notch 32b constitutes the protrusion 30 of the pin 28 and the pin holding means, and the protrusion 30 formed between the middle portion 28b and the rear end 28c of the pin 28 is rotatable. Is inserted. In addition, a part of the tip portion 28a and the middle portion 28b of the pin 28 is inserted into the inner wall surface of the notch portion 32b and corresponding to the one surface side on which the other end of the U-shaped groove 32a is opened. The hole 32c is opened. A part of the outer circumferential surface of the protrusion part 30 of the pin 28 and a part of the inner wall surface of the notch part 32b come into contact with each other by rotating the pin 28 mounted in the pin mounting part 32 in a predetermined direction. Thus, the pin 28 can be locked and held so that the pin 28 cannot be pulled out from the pin mounting portion 32.

핀 장착부(32)는 수지를 사출성형, 트랜스퍼 성형 등으로 일체 성형으로 제작할 수 있다. 재질로서는 에폭시 수지, ABS 수지(아트릴니트릴부타디엔스티렌 수지), PPS 수지(폴리페닐렌술파이드 수지), PE 수지(폴리에틸렌 수지), PEEK 수지(폴리에테르에테르케톤 수지) 등을 사용할 수 있다. 이러한 핀 장착부(32)는 용기 본체(12)의 장변을 따라 형성된 평탄면(20)의 소정 개소에 장착한다. 이때, 후술하는 도 9에 나타내는 바와 같이 핀 장착부(32)에 핀(28)이 장착되었을 때 핀(28)의 선단부(28a)가 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입되는 위치로 한다. 이러한 장착은 나사 등의 체결 수단으로 행한다. 이 체결 수단으로서는 핀 장착부(32) 중에 금속의 인서트 부품 등으로 암나사부를 형성하고, 용기 본체(12)의 외측으로부터 볼트 고정하는 것이 펠리클 수용 용기(10) 내에 나사 등의 부품이 노출되는 일이 없어 클린도 유지의 점에서 적합하다. 또한, 볼트 고정은 수지 와셔 등을 통해서 고정하는 것이 바람직하고, 특히 핀 장착부(32)를 용기 본체(12)에 고정한 후 수지 부품끼리의 접선부를 유기 용제 등으로 용해해서 더 접착하는 것이 먼지 발생 방지의 점에서 바람직하다. The pin mounting part 32 can manufacture resin by integral molding by injection molding, transfer molding, etc. As a material, an epoxy resin, ABS resin (atrylnitrile butadiene styrene resin), PPS resin (polyphenylene sulfide resin), PE resin (polyethylene resin), PEEK resin (polyether ether ketone resin), etc. can be used. This pin mounting part 32 is attached to the predetermined location of the flat surface 20 formed along the long side of the container main body 12. As shown in FIG. At this time, as shown in FIG. 9 described later, when the pin 28 is attached to the pin mounting portion 32, the tip portion 28a of the pin 28 is inserted into the recess 26 of the pellicle frame 16a. do. Such mounting is performed by fastening means such as screws. As the fastening means, a female screw portion is formed of a metal insert component or the like in the pin mounting portion 32, and the bolt fixing from the outside of the container main body 12 does not expose components such as screws in the pellicle container 10. It is suitable in terms of maintaining cleanliness. In addition, it is preferable to fix the bolt through a resin washer, and in particular, after fixing the pin mounting portion 32 to the container body 12, dissolving the tangential portions of the resin parts with an organic solvent or the like to further prevent dust generation. It is preferable at the point of.

이러한 핀 장착부(32)에 도 3에 나타내는 바와 같이 회동 가능하게 장착된 핀(28)은 그 후단부(28c)의 단부에 형성한 볼록부(28d)가 폐쇄판(40)의 일면측에 돌출된 기둥 형상부(44)의 선단부와 요철로 맞물려 핀(28)의 회동을 방지하고 있다. 이러한 기둥 형상부(44)의 선단부는 도 6에 나타내는 바와 같이 コ자 형상의 노치부(44a)로 형성되어 있다. 이러한 노치부(44a)는 도 3에 나타내는 바와 같이 핀(28)의 볼록부(28d)와 요철로 맞물리는 것이다. 이 기둥 형상부(44)의 노치부(44a)와 볼록부(28d)는 핀(28)이 회동해서 핀 장착부(32)에 유지되었을 때 도 3에 나타내는 바와 같이 대략 수평 상태가 된 볼록부(28d)에 노치부(44a)가 요철로 맞물리도록 위치 조정되어 있는 것이 바람직하다. As shown in FIG. 3, in the pin mounting portion 32, the convex portion 28d formed at the end of the rear end portion 28c protrudes on one surface side of the closing plate 40. The pin 28 is engaged with the distal end of the columnar portion 44 to prevent rotation of the pin 28. As shown in FIG. 6, the tip end portion of the columnar portion 44 is formed of a U-shaped notch portion 44a. As shown in FIG. 3, such notch part 44a engages with the convex part 28d of the pin 28 by an unevenness | corrugation. The notch part 44a and the convex part 28d of this column-shaped part 44 are the convex part which became substantially horizontal state, as shown in FIG. 3, when the pin 28 was rotated and hold | maintained in the pin mounting part 32 ( It is preferable to adjust the position so that the notch 44a engages with unevenness | corrugation to 28d).

도 6에 나타내는 폐쇄판(40)은 도 7에 나타내는 폐쇄판 유지부(42)에서 유지된다. 폐쇄판 유지부(42)는 덮개체(14)의 외측면에 장착 구멍(42d, 42d)에 삽입되는 볼트 등으로 체결되는 판부(42a)에 오목홈(42b)이 형성되어 있다. 이 오목홈(42b)의 저면에 덮개체(14)에 형성된 개구부(14a)(도 3)와 연통되는 관통 구멍(42c)이 개구되어 있다. 이러한 오목홈(42b)은 도 6에 나타내는 폐쇄판(40)이 삽입되고, 그때 폐쇄체(40)에 돌출되어 있는 기둥 형상부(44)가 관통 구멍(42c)에 삽입된다.The closing plate 40 shown in FIG. 6 is held by the closing plate holding part 42 shown in FIG. The closing plate holding part 42 is formed with the recessed groove 42b in the plate part 42a fastened with the bolt etc. which are inserted in the mounting hole 42d, 42d in the outer surface of the cover body 14. As shown in FIG. The through hole 42c which communicates with the opening part 14a (FIG. 3) formed in the cover body 14 is opened in the bottom face of this recessed groove 42b. In this recessed groove 42b, the closing plate 40 shown in FIG. 6 is inserted, and the columnar portion 44 protruding from the closing body 40 is inserted into the through hole 42c.

도 6에 나타내는 기둥 형상부(44)가 돌출된 폐쇄판(40) 및 도 7에 나타내는 폐쇄판 유지부(42)는 스테인리스강, 알루미늄합금 등으로 제작할 수도 있지만 먼지 발생 방지 및 덮개체(14)와의 밀착성의 관점으로부터 ABS 수지(아크릴니트릴부타디엔스티렌 수지), PPS 수지(폴리페닐렌술파이드 수지), POM 수지(폴리옥시메틸렌 수지), PA 수지(폴리아미드 수지) 등을 사출성형, 트랜스퍼 성형 또는 기계 가공에 의해 제작하는 것이 바람직하다. 또한, 폐쇄판 유지부(42)는 덮개체(14)에 볼트, 너트 등의 나사 체결 기구, 접착, 또는 양자의 병용으로 고정하는 것이 바람직하다. 특히, 볼트 체결한 후에 폐쇄판 유지부(42)와 덮개체(14)의 간극을 용제로의 용해, 또는 접착제의 충전에 의해 완전히 밀봉하는 것이 바람직하다.Although the closed plate 40 in which the columnar part 44 shown in FIG. 6 protrudes, and the closed plate holding part 42 shown in FIG. 7 can also be manufactured with stainless steel, an aluminum alloy, etc., dust generation prevention and the lid | cover body 14 are carried out. Injection molding, transfer molding or machine for ABS resin (acrylonitrile butadiene styrene resin), PPS resin (polyphenylene sulfide resin), POM resin (polyoxymethylene resin), PA resin (polyamide resin), etc. It is preferable to manufacture by a process. Moreover, it is preferable to fix the closing plate holding part 42 to the lid | cover 14 by screw fastening mechanisms, such as a bolt and a nut, adhesion | attachment, or both. In particular, after the bolt is fastened, it is preferable to completely seal the gap between the closing plate holding part 42 and the lid 14 by dissolving with a solvent or filling with an adhesive.

도 5에 나타내는 핀 장착부(32)는 도 3에 나타내는 바와 같이 중앙부에 펠리클(16)이 적재된 용기 본체(12)의 평탄면(20)에 장착되어 있다. 이러한 핀 장착부(32)에 도 8에 나타내는 바와 같이 핀(28)이 발출 가능하게 장착되어 있다[도 8에서는 용기 본체(12)의 평탄면(20)의 기재를 생략했다]. 이 핀(28)의 핀 장착부(32)로의 장착은 덮개체(14)의 용기 본체(12)로의 피착 전에 행하여지고, 도 8에 나타내는 바와 같이 그 돌기부(30)를 U자 홈(32a)으로부터 노치부(32b)로 삽입함과 아울러 후단부(28c)를 U자 홈(32a)에 삽입한다. 핀 장착부(32)로부터 돌출된 선단부(28a)는 도 3에 나타내는 바와 같이 용기 본체(12)에 적재된 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입된다. 이때, 핀(28)의 단차(28e)가 링 형상의 탄성체(34)를 통해서 펠리클 프레임(16a)의 측면과 접촉한다. As shown in FIG. 3, the pin mounting part 32 shown in FIG. 5 is attached to the flat surface 20 of the container main body 12 in which the pellicle 16 was mounted in the center part. As shown in FIG. 8, the pin 28 is attached to this pin attaching part 32 so that extraction is possible. In FIG. 8, description of the flat surface 20 of the container main body 12 is abbreviate | omitted. Mounting of the pin 28 to the pin mounting portion 32 is performed before the lid 14 is deposited on the container body 12, and as shown in FIG. 8, the protrusion 30 is moved from the U-shaped groove 32a. In addition to the notch 32b, the rear end 28c is inserted into the U-shaped groove 32a. The tip portion 28a protruding from the pin mounting portion 32 is inserted into the recess 26 of the pellicle frame 16a mounted on the container body 12 as shown in FIG. 3. At this time, the step 28e of the pin 28 contacts the side surface of the pellicle frame 16a through the ring-shaped elastic body 34.

도 8에 나타내는 상태의 핀(28)은 선단부(28a)를 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)로부터 뽑을 수 있다. 이 때문에, 도 8에 나타내는 화살표 방향으로 핀(28)을 회동시켜 돌기부(30)를 도 9에 나타내는 바와 같이 돌기부(30)와 노치부(32b)의 내벽면을 록킹시킨다. 이러한 록킹에 의해, 핀(28)은 핀 장착부(32)에서 유지되어서 뽑을 수 없게 되고, 도 3에 나타내는 바와 같이 펠리클(16)은 펠리클 수용 용기(10)의 소정 위치에 고정된다.The pin 28 in the state shown in FIG. 8 can pull out the front-end | tip part 28a from the recessed part 26 of the pellicle frame 16a. For this reason, the pin 28 is rotated in the arrow direction shown in FIG. 8, and the protrusion part 30 locks the inner wall surface of the protrusion part 30 and the notch part 32b as shown in FIG. By this locking, the pin 28 is held by the pin mounting portion 32 and cannot be pulled out, and the pellicle 16 is fixed to the predetermined position of the pellicle container 10 as shown in FIG.

한편, 돌기부(30)와 노치부(32b)의 록킹을 해제할 때에는 핀(28)을 도 8에 나타내는 화살표와 반대 방향으로 회동시킴으로써 돌기부(30)와 노치부(32b)의 록킹을 해제할 수 있고, 핀(28)의 선단부(28a)를 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)로부터 발출할 수 있다. 이러한 돌기부(30)와 노치부(32b)의 록킹 또는 그 해제를 위한 핀(28)의 회동각은 조작성이나 록킹의 확실성의 관점 등에서 30~180도, 특히 45~90도의 범위로 하는 것이 바람직하다. 이 핀(28)의 회동은 핀(28)의 후단면에 형성한 공구용 오목부(36)에 육각 렌치의 선단부를 삽입해서 행해도 된다. On the other hand, when releasing the locking of the protrusions 30 and the notches 32b, the locking of the protrusions 30 and the notches 32b can be released by rotating the pin 28 in the opposite direction to the arrow shown in FIG. The tip 28a of the pin 28 can be extracted from the recess 26 of the pellicle frame 16a. It is preferable that the angle of rotation of the pin 28 for locking or releasing the protrusion 30 and the notch 32b is in the range of 30 to 180 degrees, in particular 45 to 90 degrees, from the viewpoint of operability or locking certainty. . The rotation of the pin 28 may be performed by inserting the tip of the hexagon wrench into the tool recess 36 formed on the rear end surface of the pin 28.

도 8에 나타내는 바와 같이 핀 장착부(32)에 핀(28)을 유지한 후 용기 본체(12)에 덮개체(14)를 피착한다. 이 덮개체(14)에는 도 9에 나타내는 바와 같이 폐쇄판 유지부(42)를 구성하는 판부(42a)가 장착 구멍(42d, 42d)에 삽입된 볼트 등으로 체결되어 있다. 판부(42a)에 형성된 오목홈(42b)의 저면에서 개구된 관통 구멍(42c)은 덮개체(14)의 개구부(14a)(도 3)와 연통되어 있다. 이러한 관통 구멍(42c) 및 개구부(14a)는 도 10에 나타내는 바와 같이 폐쇄판 유지부(42)의 오목홈(42b)에 도 6에 나타내는 폐쇄판(40)을 삽입함으로써 폐쇄할 수 있다. 이러한 관통 구멍(42c) 및 개구부(14a)의 폐쇄에 의해 펠리클 수용 용기(10) 내를 밀폐 상태로 할 수 있다. 이 폐쇄판(40)을 오목홈(42b)에 삽입할 때에 폐쇄체(40)에 돌출되어 있는 기둥 형상부(44)는 관통 구멍(42c) 및 덮개체(14)의 개구부(14a)를 통과하고, 도 10에 나타내는 바와 같이 그 선단부에 형성된 노치부(44a)와 핀(28)의 볼록부(28d)를 요철로 맞물리게 한다. 이렇게 요철로 맞물리게 함으로써 핀 장착부(32)에 장착된 핀(28)은 회동할 수 없게 되고, 펠리클(16)을 수용·고정한 펠리클 수용 용기(10)를 수송 등에 제공해도 핀(28)이 회동해서 펠리클(16)의 고정이 해제될 우려를 해소할 수 있다. 도 10에 나타내는 오목홈(42b)에 삽입한 폐쇄판(40)은 점착 테이프(48)의 부착에 의해 오목홈(42b)으로부터 빠지는 것을 확실하게 방지하고 있다.As shown in FIG. 8, the cover body 14 is deposited on the container main body 12, after holding the pin 28 in the pin mounting part 32. FIG. As shown in FIG. 9, the plate part 42a which comprises the closed plate holding part 42 is fastened to the lid | cover 14 by the bolt etc. which were inserted in the mounting holes 42d and 42d. The through hole 42c opened at the bottom of the concave groove 42b formed in the plate portion 42a communicates with the opening 14a (FIG. 3) of the lid 14. Such a through hole 42c and the opening part 14a can be closed by inserting the closing plate 40 shown in FIG. 6 into the recessed groove 42b of the closing plate holding part 42 as shown in FIG. By closing the through-hole 42c and the opening part 14a, the inside of the pellicle container 10 can be made closed. When inserting the closing plate 40 into the recess 42b, the columnar portion 44 protruding from the closing body 40 passes through the through hole 42c and the opening 14a of the lid 14. As shown in FIG. 10, the notch part 44a formed in the front-end | tip part and the convex part 28d of the pin 28 are engaged with unevenness | corrugation. In this way, the pin 28 mounted on the pin mounting portion 32 cannot be rotated by engaging with the unevenness, and the pin 28 rotates even when the pellicle container 10 containing the fixed pellicle 16 is provided for transportation or the like. The possibility that the pellicle 16 is released can be eliminated. The closing plate 40 inserted into the recessed groove 42b shown in FIG. 10 is reliably prevented from coming out of the recessed groove 42b by the adhesion of the adhesive tape 48.

도 1~도 10에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)에 의하면 용기 본체(12)에 장착된 핀 장착부(32)에 선단부(28a)를 용기 본체(12)에 적재한 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입하면서 핀(28)을 장착한 후 핀(28)을 회동시킴으로써 펠리클(16)을 용기 본체(12)에 확실하게 고정할 수 있다. 이어서, 폐쇄판 유지부(42)가 장착된 덮개체(14)를 용기 본체(12)에 피착시킨 후 덮개체(14)의 개구부(14a) 및 폐쇄판 유지부(42)의 관통 구멍(42c)을 폐쇄판(40)에 의해 폐쇄하여 펠리클 수용 용기(10) 내를 밀폐 상태로 함과 아울러 폐쇄판(40)에 돌출되어 있는 기둥 형상부(44)의 선단부의 노치부(44a)와 핀(28)의 후단부(28c)에 형성된 볼록부(28d)가 요철로 맞물려 핀(28)의 회동을 방지한다. 이 때문에, 펠리클(16)이 수용된 펠리클 수용 용기(10)를 수송에 제공해도 수송 중의 진동 등에 의해 핀(28)이 회동하는 것을 방지할 수 있어 수송 중에 핀(28)이 탈락하거나 해서 펠리클(16)의 고정이 해제되는 것을 확실하게 방지할 수 있다. 이러한 펠리클 수용 용기(10)는 밀폐 상태에서 수용한 펠리클(16)에 파손이나 이물 부착의 우려가 없는 신뢰성이 높은 것이다. According to the pellicle container 10 shown in FIGS. 1-10, the recessed part of the pellicle frame 16a which mounted the tip part 28a in the container main body 12 to the pin mounting part 32 attached to the container main body 12 is shown. The pellicle 16 can be reliably fixed to the container main body 12 by rotating the pin 28, after attaching the pin 28, inserting into 26. As shown in FIG. Subsequently, after attaching the lid 14 with the closing plate holding part 42 to the container body 12, the opening 14a of the lid 14 and the through hole 42c of the closing plate holding part 42 are attached. ) Is closed by the closing plate 40 to seal the inside of the pellicle container 10, and the notches 44a and the pins of the tip end of the columnar portion 44 protruding from the closing plate 40. The convex part 28d formed in the rear end part 28c of (28) engages with an uneven | corrugated surface, and the rotation of the pin 28 is prevented. For this reason, even when the pellicle container 10 containing the pellicle 16 is provided for transport, the pin 28 can be prevented from rotating due to vibration during transport or the like. ) Can be reliably prevented from being released. Such a pellicle container 10 has high reliability without fear of damage or foreign matter adhesion to the pellicle 16 accommodated in a sealed state.

또한, 펠리클 수용 용기(10)로부터 펠리클(16)을 인출할 때에는 최초에 점착 테이프(48)를 박리해서 폐쇄판(40)을 폐쇄판 유지부(42)의 오목홈(42b)으로부터 폐쇄판(40)을 분리한다. 그때, 폐쇄판(40)에 돌출되어 있는 기둥 형상부(44)도 폐쇄판 유지부(42)의 관통 구멍(42c) 및 덮개체(14)의 개구부(14a)로부터 발출되어 관통 구멍(42c) 및 개구부(14a)가 해방된다. 이어서, 해방된 관통 구멍(42c) 및 개구부(14a)로 육각 렌치(46)를 삽입하고, 핀(28)의 후단면의 공구용 오목부(36)에 선단부를 삽입한 육각 렌치(46)를 소정 각도 회동시킴으로써 펠리클(16)의 고정 상태를 해제할 수 있다. 이 때문에, 도 11에 나타내는 바와 같이 덮개체(14)를 용기 본체(12)에 피착한 상태에서 핀(28)을 핀 장착부(32)로부터 분리할 수 있다. 또한, 덮개체(14)를 개방함으로써 펠리클(16)을 용기 본체(12)로부터 인출할 수 있다. 이 때문에, 펠리클 수용 용기(10)로부터의 펠리클(16)의 인출시에 펠리클(16)의 파손이나 이물 부착의 우려를 해소하면서 펠리클(16)의 인출 작업을 간단하게 행할 수 있다. In addition, when withdrawing the pellicle 16 from the pellicle container 10, the adhesive tape 48 is first peeled off so that the closing plate 40 is closed from the recessed groove 42b of the closing plate holding part 42. 40). At that time, the columnar portion 44 protruding from the closing plate 40 is also extracted from the through hole 42c of the closing plate holding part 42 and the opening portion 14a of the lid 14 to form the through hole 42c. And the opening 14a is released. Subsequently, the hexagon wrench 46 is inserted into the released through-hole 42c and the opening part 14a, and the hexagon wrench 46 which inserted the front-end | tip part into the tool recessed part 36 of the rear surface of the pin 28 was inserted. The fixed state of the pellicle 16 can be released by rotating a predetermined angle. For this reason, as shown in FIG. 11, the pin 28 can be isolate | separated from the pin mounting part 32 in the state which the cover body 14 adhered to the container main body 12. As shown in FIG. In addition, the pellicle 16 can be taken out from the container main body 12 by opening the lid 14. For this reason, when the pellicle 16 is taken out from the pellicle container 10, the pellicle 16 can be easily taken out while removing the fear of damage to the pellicle 16 or foreign matter adhesion.

도 1~도 6에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)에서는 그 장변의 각 모서리부 근방에 설치한 4개의 펠리클 고정부(18)에 의해 수용한 펠리클(16)을 고정하고 있지만, 4개 이상의 펠리클 고정부(18)를 설치해도 된다. 또한, 펠리클 고정부(18)의 설치는 펠리클 수용 용기(10)의 단변을 따라 설치해도 되고, 장변 및 단변의 각 변을 따라 설치해도 된다. 또한, 도 6에 나타내는 폐쇄판(40)으로서는 선단부에 노치부(44a)가 형성된 기둥 형상부(44)가 돌출되어 있는 것을 사용하고 있다. 그러나, 펠리클(16)을 수용한 펠리클 수용 용기(10)를 공장 내에서의 반송 등에 제공할 때에는 그 반송 등이 조심스럽게 행하여지기 때문에 기둥 형상부(44)가 설치되어 있지 않은 폐쇄판(40)을 사용할 수 있다. In the pellicle container 10 shown in FIGS. 1-6, although the pellicle 16 accommodated by the four pellicle fixing parts 18 installed in each corner part of the long side is fixed, four or more pellicle heights are fixed. The government 18 may be provided. In addition, the installation of the pellicle fixing | fixed part 18 may be provided along the short side of the pellicle container 10, or may be provided along each side of a long side and a short side. In addition, as the closing plate 40 shown in FIG. 6, the column-shaped part 44 by which the notch part 44a was formed protrudes. However, when the pellicle container 10 containing the pellicle 16 is provided to the factory for conveyance or the like, since the conveyance is performed carefully, the closing plate 40 without the columnar portion 44 is provided. Can be used.

[실시예 1]Example 1

이하, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, although the Example of this invention is described in detail, the scope of the present invention is not limited to these Examples.

(실시예 1) (Example 1)

대전 방지 ABS 수지제의 시트재를 사용하고, 진공 성형법에 의해 도 1에 나타내는 형상의 용기 본체(12) 및 덮개체(14)를 제작했다. 용기 본체(12)와 덮개체(14)는 그 둘레가장자리부에서 감합 록킹되어서 도 1에 나타내는 펠리클 수용 용기(10)를 형성한다. 이러한 덮개체(14)의 각 길이 방향의 모서리부 근방의 4개소에 개구부(14a)가 형성되어 있다. 이 펠리클 수용 용기(10) 용기의 크기는 외형 1005×937㎜, 높이 70㎜이다. 성형에 사용한 시트재는 덮개체(14)용으로서는 투명한 5㎜의 것이고, 용기 본체(12)용으로서는 흑색의 5㎜의 것이다. The container main body 12 and the lid | cover body 14 of the shape shown in FIG. 1 were produced by the vacuum molding method using the sheet material made from antistatic ABS resin. The container main body 12 and the lid 14 are locked to fit at the peripheral edge thereof to form the pellicle container 10 shown in FIG. 1. The opening part 14a is formed in four places of the edge part of each said cover body 14 in the longitudinal direction. The size of this pellicle container 10 is 1005 x 937 mm and height 70 mm. The sheet | seat material used for shaping | molding is a thing of transparent 5 mm for the lid | cover 14, and a thing of black 5 mm for the container main body 12.

또한, 사출성형에 의해 ABS 수지를 이용하여 도 5에 나타내는 핀 장착부(32)와, PPS수지를 이용하여 도 4에 나타내는 핀(28)을 제작했다. 핀(28)은 선단부(28a), 중간부(28b), 후단부(28c)로 형성되고, 중간부(28b)와 후단부(28c) 사이에 핀(28)의 유지 수단을 구성하는 돌기부(30)가 형성되어 있다. 돌기부(30)는 선단부가 끝이 좁은 형상의 경사면으로 형성되어 있다. 핀(28)의 후단부(28c)는 핀(28)에 회동 등을 실시하는 조작부이고, 선단부(28a) 및 중간부(28b)보다 굵게 형성되어 있다. 이 후단부(28c)의 끝면에는 핀(28)의 회동용 육각 렌치의 선단부가 삽입되는 공구용 오목부(36)가 형성되어 있다. 이러한 핀(28)에 있어서, 중간부(28b)는 선단부(28a)보다 굵게 형성되어 있고, 핀(28)의 선단부(28a)와 중간부(28b)의 경계에 단차(28e)가 형성되어 있다. 이 단차(28e)에는 두께 0.5㎜의 불소고무제의 링 형상의 탄성체(34)를 장착했다. In addition, by injection molding, the pin mounting part 32 shown in FIG. 5 was produced using ABS resin, and the pin 28 shown in FIG. 4 was produced using PPS resin. The pin 28 is formed of a tip portion 28a, an intermediate portion 28b, and a rear end portion 28c, and a projection portion constituting a holding means of the pin 28 between the intermediate portion 28b and the rear end portion 28c. 30) is formed. The protruding portion 30 is formed with an inclined surface having a narrow tip portion. The rear end portion 28c of the pin 28 is an operation portion that rotates the pin 28 and the like, and is formed thicker than the tip portion 28a and the intermediate portion 28b. On the end surface of the rear end 28c, a tool recess 36 into which the leading end of the rotating hexagonal wrench of the pin 28 is inserted is formed. In the fin 28, the intermediate portion 28b is formed thicker than the tip portion 28a, and a step 28e is formed at the boundary between the tip portion 28a and the intermediate portion 28b of the fin 28. . The stepped body 28e was provided with a ring-shaped elastic body 34 made of fluororubber having a thickness of 0.5 mm.

또한, 핀 장착부(32)는 사면체이고, 핀(28)의 돌기부(30) 및 후단부(28c)가 삽입되는 U자 홈(32a)의 일단이 사면체의 일면측에서 개구되어 있다. 이 U자 홈(32a)의 타단은 사면체의 중앙부 근방에 형성된 사각형상의 노치부(32b)의 내벽면의 일면측에서 개구되어 있다. 이러한 노치부(32b)는 핀(28)의 돌기부(30)와 유지 수단을 구성하고, 핀(28)의 중간부(28b)와 후단부(28c) 사이에 형성된 돌기부(30)가 회동 가능하게 삽입된다. 또한, 노치부(32b)의 내벽면이고, U자 홈(32a)의 타단이 개구된 일면측에 대응하는 타면측에는 핀(28)의 선단부(28a) 및 중간부(28b)가 삽통되는 구멍(32c)이 개구되어 있다. 이러한 핀 장착부(32)의 하면측에는 횡으로 된 구리제의 인서트 너트(도시 생략)를 4개소 설치했다. The pin mounting portion 32 is a tetrahedron, and one end of the U-shaped groove 32a into which the projection 30 and the rear end 28c of the pin 28 are inserted is opened at one surface side of the tetrahedron. The other end of this U-shaped groove 32a is opened at one surface side of the inner wall surface of the rectangular notched portion 32b formed near the center portion of the tetrahedron. This notch part 32b constitutes the protrusion part 30 and the holding means of the pin 28, and the protrusion part 30 formed between the intermediate part 28b and the rear end part 28c of the pin 28 is rotatable. Is inserted. In addition, a hole through which the front end portion 28a and the middle portion 28b of the pin 28 are inserted into the other wall side which is an inner wall surface of the notch portion 32b and corresponds to one surface side on which the other end of the U-shaped groove 32a is opened ( 32c) is open. Four insert nuts (not shown) made of horizontal copper were provided on the lower surface side of the pin mounting part 32.

도 6에 나타내는 폐쇄판(40)과, 도 7에 나타내는 폐쇄판 유지부(42)를 대전 방지 POM 수지를 이용하여 기계 가공에 의해 제작했다. 폐쇄판(40)에는 선단부에 노치부(44a)가 형성된 기둥 형상부(44)가 돌출되어 있다. 또한, 폐쇄판 유지부(42)는 판부(42a)에 형성한 장착 구멍(42d, 42d)과, 덮개체(14)에 기계 가공에 의해 천공한 천공 구멍(도시 생략)을 이용해서 볼트 및 캡너트(도시 생략)로 체결했다. 이 너트는 덮개체(14)의 내측에 설치하고, 너트 외면은 모두 ABS 수지로 피복된 것을 사용했다. 너트 체결 후 너트 주변은 밀봉성 향상과 풀림 방지를 도모하기 위해 유기 용제(MEK)로 용해해 접착했다. 또한, 덮개체(14)의 외면에 접촉하는 판부(42a)의 접촉면은 덮개체(14)와의 간극에 접착제(상품명; MOS8, 코니시가부시키가이샤)를 충전하여 밀봉성을 확보했다. 이렇게 덮개체(14)에 폐쇄판 유지부(42)를 장착할 때에 폐쇄판 유지부(42)의 오목홈(42b)의 저면에 기계 가공으로 형성한 관통 구멍(42c)과, 덮개체(14)의 개구부(14a)가 일치하도록 위치 조정을 행했다. 이렇게 형성한 용기 본체(12)와 덮개체(14)를 Class10의 클린룸에 반입하고, 계면활성제와 순수로 잘 세정한 후 완전히 건조시켰다. The closed plate 40 shown in FIG. 6 and the closed plate holding part 42 shown in FIG. 7 were produced by machining using antistatic POM resin. A columnar portion 44 having a notch 44a formed at the distal end thereof protrudes from the closing plate 40. In addition, the closing plate holding part 42 is a bolt and a cap using the mounting holes 42d and 42d formed in the plate part 42a, and the drilling hole (not shown) which drilled the cover body 14 by the machining process. Tighten with nuts (not shown). This nut was provided inside the lid | cover 14, and the nut outer surface used the thing coat | covered with ABS resin all. After the nut was tightened, it was melted and bonded with an organic solvent (MEK) in order to improve sealing and prevent loosening. Moreover, the contact surface of the board part 42a which contact | connects the outer surface of the cover body 14 filled the adhesive agent (brand name: MOS8, Konishi Co., Ltd.) in the clearance gap with the cover body 14, and ensured the sealing property. Thus, when attaching the closing plate holding part 42 to the cover body 14, the through-hole 42c formed by the machining process in the bottom face of the recessed groove 42b of the closing plate holding part 42, and the cover body 14 The position adjustment was performed so that the opening part 14a of () may match. The container main body 12 and the cover body 14 thus formed were brought into a Class 10 clean room, washed well with a surfactant and pure water, and then completely dried.

이러한 펠리클 수용 용기(10)의 제조와 별도로 클린룸 내에서 바깥치수 910×750㎜, 안치수 902×740㎜, 높이 7.0㎜의 펠리클(16)을 제작했다. 이 펠리클(16)은 탄소강 S45C제 펠리클 프레임(16a)(두께 5.8㎜, 표면 흑색 크롬 도금)의 일면측에 두께 3㎛의 불소 수지로 이루어지는 펠리클 막(16b)을 실리콘 점착제로 부착하고, 또한 펠리클 프레임(16a)의 타면측에 마스크 점착층(24)을 형성했다. 또한, 펠리클 프레임(16a)의 각 장변에 860㎜의 간격으로 직경 2.5㎜×깊이 1.8㎜의 오목부(26)를 2개소 형성했다.Apart from the manufacture of such a pellicle container 10, a pellicle 16 having an outer dimension of 910 × 750 mm, an inner dimension of 902 × 740 mm, and a height of 7.0 mm was produced in a clean room. This pellicle 16 adheres a pellicle film 16b made of a fluorine resin having a thickness of 3 µm to one surface of a pellicle frame 16a made of carbon steel S45C (thickness 5.8 mm, surface black chromium plating) with a silicone adhesive, and furthermore, a pellicle The mask adhesion layer 24 was formed in the other surface side of the frame 16a. Further, two recesses 26 each having a diameter of 2.5 mm and a depth of 1.8 mm were formed on each long side of the pellicle frame 16a at intervals of 860 mm.

이 펠리클(16)을 암실 내에서의 집광 램프에 의한 이물 검사한 후에 용기 본체(12)의 중앙부에 적재하고, 도 8에 나타내는 바와 같이 핀(28)을 핀 장착부(32)에 장착하고, 핀(28)의 선단부(28a)를 대응하는 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26) 내에 삽입했다. 또한, 핀(28)을 회동시켜서 핀(28)의 돌기부(30)와 핀 장착부(32)의 노치부(32b)를 록킹하여 핀(28)을 핀 장착부(32)에 고정했다. 이어서, 도 9에 나타내는 바와 같이 용기 본체(12)에 덮개체(14)를 피착한 후 도 10에 나타내는 바와 같이 폐쇄판 유지부(42)의 오목홈(42b)에 도 6에 나타내는 폐쇄판(40)을 삽입했다. 그때, 폐쇄체(40)에서 돌출되어 있는 기둥 형상부(44)는 관통 구멍(42c) 및 덮개체(14)의 개구부(14a)를 통과하여 도 10에 나타내는 바와 같이 기둥 형상부(44)의 선단부에 형성된 노치부(44a)와 핀(28)의 볼록부(28d)를 요철로 맞물리게 했다. 이러한 폐쇄판(40)을 PVC 점착 테이프(48)에 의해 폐쇄판 유지부(42)에 고정했다. After the pellicle 16 is inspected by a condensing lamp in the dark room, the pellicle 16 is placed in the center of the container body 12, and the pin 28 is mounted on the pin mounting portion 32 as shown in FIG. The tip portion 28a of (28) was inserted into the recessed portion 26 of the corresponding pellicle frame 16a. Moreover, the pin 28 was rotated, the protrusion part 30 of the pin 28 and the notch part 32b of the pin mounting part 32 were locked, and the pin 28 was fixed to the pin mounting part 32. As shown in FIG. Next, as shown in FIG. 9, after attaching the lid | cover body 14 to the container main body 12, as shown in FIG. 10, the closed plate shown in FIG. 6 in the recessed groove 42b of the closed plate holding part 42 is shown. 40) was inserted. At that time, the columnar portion 44 protruding from the closure 40 passes through the through hole 42c and the opening portion 14a of the lid 14, and as shown in FIG. The notches 44a formed at the tip and the convex portions 28d of the pins 28 were engaged with the unevenness. This closure plate 40 was fixed to the closure plate holding part 42 by the PVC adhesive tape 48.

또한, 펠리클(16)을 수용하는 펠리클 수용 용기(10)의 둘레가장자리부를 폭 35㎜의 PVC제 점착 테이프(도시 생략)로 점착 고정한 후 우레탄제 클립(도시 생략)을 각 장변에 2개소씩 장착했다. 그리고, 최후에 내부를 청정하게 클리닝한 대전 방지 PE제 봉투로 2중으로 곤포하고, 내부에 쿠션재를 배치한 강화 골판지제 곤포 상자(도시 생략)에 수납했다. Further, the peripheral edge of the pellicle container 10 containing the pellicle 16 is adhesively fixed with a 35 mm wide PVC adhesive tape (not shown), and then two urethane clips (not shown) are attached to each long side. did. And finally, it packaged in double with the antistatic PE bag which cleaned the inside cleanly, and was accommodated in the reinforced cardboard packing box (not shown) which arrange | positioned the cushioning material inside.

이렇게 펠리클 수용 용기(10)를 곤포한 강화 골판지제 곤포 상자를 군마로부터 후쿠오카까지(군마켄⇔토쿄는 트럭, 토쿄⇔후쿠오카 간은 항공기)를 왕복시키는 수송 테스트를 행했다. 수송 후의 펠리클 수용 용기(10)를 클린룸에 반입하고, 용기 본체(12)에 덮개체(14)를 피착한 상태에서 펠리클 수용 용기(10) 내부의 확인을 행했다. 핀(28)은 핀 장착부(32)에서 확실하게 유지되고, 그 선단부(28a)도 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 삽입된 그대로 펠리클(16)은 확실하게 용기 본체(12)에 고정되어 있었다. 그대로의 상태에서 집광 램프를 조사해서 용기 본체(12) 상의 먼지 발생 상황을 확인했지만 펠리클 고정부(18) 부근 및 용기 본체(12) 상에 이물의 발생은 보이지 않았다. In this way, a transport test was performed in which a reinforced cardboard packing box packed with the pellicle container 10 was reciprocated from Gunma to Fukuoka. The pellicle container 10 after transport was carried in to the clean room, and the inside of the pellicle container 10 was confirmed in the state which attached the lid | cover body 14 to the container main body 12. As shown in FIG. The pin 28 is reliably held at the pin mounting portion 32, and the pellicle 16 is reliably attached to the container body 12 as the tip portion 28a is also inserted into the recess 26 of the pellicle frame 16a. It was fixed. Although the dust generation condition on the container main body 12 was confirmed by irradiating a condensing lamp in the state as it is, the generation of the foreign material was not seen in the vicinity of the pellicle fixing part 18 and on the container main body 12.

또한, 점착 테이프(48)를 박리하여 폐쇄판(40)을 폐쇄판 유지부(42)의 오목홈(42b)으로부터 분리함과 아울러 기둥 형상부(44)를 폐쇄판 유지부(42)의 관통 구멍(42c) 및 덮개체(14)의 개구부(14a)로부터 뽑아냈다. 이어서, 해방된 관통 구멍(42c) 및 덮개체(14)로 육각 렌치(46)를 삽입하여 핀(28)의 후단면의 공구용 오목부(36)에 선단부를 삽입해서 회동시켜 핀(28)의 돌기부(30)와 핀 장착부(32)의 노치부(32b)의 록킹을 해제했다. 또한, 도 11에 나타내는 바와 같이 관통 구멍(42c) 및 덮개체(14)로부터 핀(28)을 뽑은 후 용기 본체(12)로부터 덮개체(14)를 분리해서 개봉하고, 펠리클(16)을 인출했다. 인출한 펠리클(16)을 암실 내로 반송해서 집광 램프에 의해 표면에 부착된 이물의 검사를 행했다. 그 결과, 펠리클(16)에 이물의 부착은 전혀 보이지 않고, 지극히 청정한 상태가 유지되어 있었다. In addition, the adhesive tape 48 is peeled off to separate the closing plate 40 from the recessed groove 42b of the closing plate holding part 42, and the columnar portion 44 penetrates through the closing plate holding part 42. It pulled out from the hole 42c and the opening part 14a of the cover body 14. As shown in FIG. Subsequently, the hexagonal wrench 46 is inserted into the released through-hole 42c and the lid 14, and the tip 28 is inserted into the tool recess 36 on the rear end of the pin 28 to rotate the pin 28. The locking of the notch part 32b of the protrusion part 30 and the pin mounting part 32 of this was canceled. 11, after pulling out the pin 28 from the through-hole 42c and the cover body 14, the cover body 14 is removed from the container main body 12, and it opens, and the pellicle 16 is pulled out. did. The withdrawn pellicle 16 was conveyed into a dark room, and the foreign material adhering to the surface by the condensing lamp was performed. As a result, adhesion of the foreign matter to the pellicle 16 was not seen at all, and the extremely clean state was maintained.

(비교예 1) (Comparative Example 1)

도 12에 나타내는 펠리클 고정부(100)를 제작했다. 도 12에 나타내는 펠리클 고정부(100)를 구성하는 핀(102)은 PPS 수지제의 원기둥 형상 부재에 의해 형성되어 있고, 선단부(102a), 중간부(102b) 및 후단부(102c)로 이루어진다. 굵기는 선단부(102a)<중간부(102b)<후단부(102c)의 순서이고, 선단부(102a)와 중간부(102b)의 경계에 단차가 형성되어 있으며, 불소고무제의 링 형상 탄성체(106)가 장착되어 있다. 이러한 핀(102)에는 도 5에 나타내는 핀(28)에 형성되어 있었던 돌기부(30)는 형성되어 있지 않다. 이 핀(102)이 장착되는 핀 장착부(104)는 ABS 수지를 이용하여 사출성형에 의해 형성했다. 핀 장착부(104)는 핀(28)의 선단부(102a) 및 중간부(102b)의 일부가 통과 가능하고, 중간부(102b)의 잔부 및 후단부(102c)가 삽입되는 관통 구멍(108)이 형성되어 있다. 이러한 핀 장착부(104)에는 도 5에 나타내는 핀 장착부(32)와 같이 U자 홈(32a) 및 노치부(32b)는 형성되어 있지 않다. 이 때문에, 핀 장착부(104)에서는 관통 구멍(108)에 삽입한 핀(102)이 그 외벽면과 관통 구멍(108)의 내벽면의 마찰력에 의해 핀(28)이 고정되도록 관통 구멍(108)의 내경이 핀(102)의 삽입 방향으로 점차로 소경으로 형성되어 있다. 이렇게 도 12에 나타내는 펠리클 고정부(100)는 핀 장착부(104)의 관통 구멍(108)에 마찰력에 의해 핀(102)이 고정된다. The pellicle fixing | fixed part 100 shown in FIG. 12 was produced. The pin 102 constituting the pellicle fixing part 100 shown in FIG. 12 is formed of a cylindrical member made of PPS resin, and is composed of a front end portion 102a, an intermediate portion 102b, and a rear end portion 102c. The thickness is in the order of the front end 102a <middle part 102b <the rear end 102c, and a step is formed in the boundary between the front end 102a and the middle part 102b, and the ring-shaped elastic body 106 made of fluororubber is made. ) Is installed. In the fin 102, the protrusion part 30 formed in the fin 28 shown in FIG. 5 is not formed. The pin mounting part 104 to which this pin 102 is mounted was formed by injection molding using ABS resin. The pin mounting portion 104 has a through hole 108 through which a part of the front end portion 102a and the middle portion 102b of the pin 28 can pass, and the remaining portion and the rear end portion 102c of the middle portion 102b are inserted. Formed. The U-shaped groove 32a and the notch part 32b are not formed in the pin mounting part 104 like the pin mounting part 32 shown in FIG. For this reason, in the pin mounting part 104, the through hole 108 is fixed so that the pin 102 inserted into the through hole 108 may be fixed by the frictional force of the outer wall surface and the inner wall surface of the through hole 108. The inner diameter of is gradually formed in the small diameter in the insertion direction of the pin (102). Thus, in the pellicle fixing part 100 shown in FIG. 12, the pin 102 is fixed to the through-hole 108 of the pin mounting part 104 by a frictional force.

도 12에 나타내는 펠리클 고정부(100)를 실시예 1과 마찬가지로 해서 용기 본체(12)에 장착했다. 이어서, 용기 본체(12)에 적재한 펠리클(16)의 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)에 펠리클 고정부(100)를 구성하는 핀(102)의 선단부(102a)를 삽입하고, 펠리클(16)을 용기 본체(12)에 고정했다. 또한, 용기 본체(12)에 덮개체(14)를 피착해서 펠리클(16)을 수용한 펠리클 수용 용기(10)를 형성했다. 그 후, 실시예 1과 마찬가지로 해서 펠리클 수용 용기(10)를 곤포해 수송 시험을 행했다.The pellicle fixing part 100 shown in FIG. 12 was attached to the container main body 12 similarly to Example 1. FIG. Next, the distal end portion 102a of the pin 102 constituting the pellicle fixing portion 100 is inserted into the concave portion 26 of the pellicle frame 16a of the pellicle 16 loaded on the container body 12, and the pellicle (16) was fixed to the container main body 12. Moreover, the lid | cover body 14 was deposited on the container main body 12, and the pellicle container 10 which accommodated the pellicle 16 was formed. Then, the pellicle container 10 was packed in the same manner as in Example 1, and a transport test was performed.

수송 후의 펠리클 수용 용기(10)를 클린룸에 반입하고, 내부의 확인을 행했다. 그러자, 펠리클(16)은 용기 본체(12) 상에 머무르고 있었지만 4개소의 펠리클 고정부(100) 중 1개소에서 핀(102)이 핀 장착부(104)로부터 빠지려하고 있는 것이 확인되었다. 또한, 그 선단부(102a)도 펠리클 프레임(16a)의 오목부(26)로부터 빠져 있고, 선단부(102a)가 펠리클 프레임(16a)의 외면에 스쳐서 직경 수십㎛의 이물이 수십개 부착되어 있었다. 또한, 그대로의 상태에서 집광 램프를 조사해서 용기 본체(12) 상의 먼지 발생 상황을 확인한 결과 빠지려하고 있었던 펠리클 고정부(100)와 대향하는 펠리클 고정부(100)의 주변에서도 이물의 부착이 보였다. 또한, 핀(102)에 대해서 니트릴제 글러브를 낀 손으로 장착부(104)로부터 주의를 기울이며 뽑아 펠리클(16)을 암실 내로 반송해서 집광 램프에 의해 표면에 부착된 이물의 검사를 행했다. 그 결과, 펠리클 막(16b) 상에 직경 10~20㎛ 정도의 이물이 12개 부착되어 있었다. 또한, 그들 중 약 반수는 펠리클 고정부(100)의 주변에 분포하고 있었다.The pellicle container 10 after transport was carried in to the clean room, and the inside was confirmed. Then, although the pellicle 16 stayed on the container main body 12, it was confirmed that the pin 102 is coming out of the pin mounting part 104 in one place of four pellicle fixing parts 100. As shown in FIG. Moreover, the tip part 102a also came out of the recessed part 26 of the pellicle frame 16a, and the tip part 102a rubbed on the outer surface of the pellicle frame 16a, and several dozen foreign objects with a diameter of several tens of micrometers were attached. Moreover, as a result of confirming the dust generation condition on the container main body 12 by irradiating a condensing lamp in the state as it was, the foreign material adhesion was seen also around the pellicle fixing part 100 which opposes the pellicle fixing part 100 which was going to be taken out. In addition, with respect to the pins 102, a nitrile glove was pulled out with care, from the mounting portion 104, and the pellicle 16 was conveyed into the dark room to inspect the foreign matter adhered to the surface by the condensing lamp. As a result, 12 foreign substances about 10-20 micrometers in diameter adhered to the pellicle film 16b. About half of them were distributed around the pellicle fixing part 100.

본 발명에 의한 펠리클 수용 용기는 반도체 장치용 펠리클의 수용 용기로서 사용할 수 있고, 반도체 장치용 펠리클보다 대형인 액정용 펠리클의 수용 용기로서 사용할 수 있다.The pellicle container according to the present invention can be used as a container for a pellicle for a semiconductor device, and can be used as a container for a liquid crystal pellicle that is larger than a pellicle for a semiconductor device.

10 : 펠리클 수용 용기 12 : 용기 본체
12a : 리브 14 : 덮개체
14a : 개구부 16 : 펠리클
16a : 펠리클 프레임 16b : 펠리클 막
18, 100 : 펠리클 고정부 20 : 평탄면
22 : 라이너 24 : 마스크 점착층
26 : 오목부 28, 102 : 핀
28a, 102a : 선단부 28b, 102b : 중간부
28c, 102c : 후단부 28d : 볼록부
28e : 단차 30 : 돌기부
32, 104 : 핀 장착부 32a : U자 홈
32b : 노치부 32c : 구멍
34, 106 : 탄성체 36 : 공구용 오목부
40 : 폐쇄판 42 : 폐쇄판 유지부
42a : 판부 42b : 오목홈
42c : 관통 구멍 42d : 장착 구멍
44 : 기둥 형상부 44a : 노치부
46 : 육각 렌치 48 : 점착 테이프
108 : 관통 구멍10 pellicle container 12: container body
12a: Rib 14: Cover
14a: opening 16: pellicle
16a: pellicle frame 16b: pellicle membrane
18, 100: pellicle fixing part 20: flat surface
22 liner 24 mask adhesive layer
26: recess 28, 102: pin
28a, 102a: tip 28b, 102b: middle
28c, 102c: rear end 28d: convex
28e: step 30: protrusion
32, 104: pin mounting portion 32a: U-shaped groove
32b: notch 32c: hole
34, 106: elastic body 36: recesses for tools
40: closing plate 42: closing plate holding unit
42a: plate portion 42b: concave groove
42c: through hole 42d: mounting hole
44: pillar shape 44a: notch
46: hexagon wrench 48: adhesive tape
108: through hole

Claims

A pellicle container comprising a container body in which a pellicle film is loaded with a pellicle attached to a pellicle frame, and a cover body fitted at the circumferential edge of the container body to cover the pellicle:
The pellicle container includes a pin that is rotatable in a state where the tip portion is inserted into a recess formed in an outer surface of the pellicle frame loaded on the container body, and the tip portion is attached to the container body and is recessed from the recess of the pellicle frame. A pin mounting portion to which the pin is mounted to be retractable, an opening formed in the lid so as to rotate the pin of the pin mounting portion from an outer side of the lid attached to the container body, and a closing member of the opening. One pellicle fixture is installed,
When the pin is mounted on the pin mounting portion and the tip portion is rotated by the pin inserted in the recess of the pellicle frame at a predetermined angle, pin holding means is provided so as to hold the pin so that the tip portion of the pin is not ejected from the recess. A pellicle container, characterized in that.

The method of claim 1,
And the pin holding means comprises a protrusion formed in the pin and a notch formed in the pin mounting portion and the pin rotates by a predetermined angle to lock the protrusion.

The method of claim 1,
The closing member for closing the opening of the lid body attached to the container body is provided with a rotation preventing portion for preventing the rotation of the pin is inserted into the recess of the pellicle frame loaded on the container body. A pellicle container.

The method of claim 3, wherein
The anti-rotation part includes a pillar-shaped portion protruding from a closing plate that closes the opening of the lid, an engaging portion engaged with a rear end of the pin formed at the tip of the pillar, and provided at the lid and provided at the opening. A pellicle container comprising: a closed plate holding portion for holding the closed plate into which the pillar-shaped portion is inserted.

The method of claim 2,
A pellicle container, characterized in that the protrusion of the pin and the notch of the pin mounting portion is locked when the pin is rotated 30 to 180 degrees.

6. The method according to any one of claims 1 to 5,
A pellicle container, characterized in that an elastic body as a cushioning member for contact with the pellicle frame is provided at the tip of the pin.

7. The method according to any one of claims 1 to 6,
A pellicle container, characterized in that the recess for the tool is inserted into the rear end surface of the pin is inserted into the rotating tool of the pin.