KR20170004877A - 온도 센서 및 온도 센서의 제조방법 - Google Patents

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KR20170004877A
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크리스티앙 유진 에드워드 바에르츠
발렌틴 그리고로프
아스파루 파블로프 보리소프
체베토미르 라티노프 짜르코프
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센사타 테크놀로지스, 인크
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Abstract

본 발명은 온도센서(100)를 개시한다. 상기 센서는 광물-절연 공급선(108), 유저 금속 관(102) 및 지지 구조 안에 고정된 온도 센싱 소자를 포함한다. 유저 금속 관의 개방 단부(102B)는 광물-절연 공급선에 기계적으로 연결되어 있다. 와이어 커넥션은 온도 센싱 소자를 광물-절연 공급선에 기계적, 전기적으로 연결한다. 상기 지지 구조는 유저 금속 관의 하단부(102A)안에서 유저 금속 관의 축 방향으로 지속적으로 움직일 수 있다.

Description

온도 센서 및 온도 센서의 제조방법 {TEMPERATURE SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF A TEMPERATURE SENSOR}
본 발명은 온도 센서에 관한 것이다. 더욱 자세하게는, 본 발명은 고온 센서, 예를 들면 배기가스 온도 센서에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 온도 센서의 제조 방법에 관한 것이다.
대부분의 고온 센서는 측정될 매질에 노출되어 있는 외부 시팅(outer sheeting)으로 이루어져 있다. 보다 구체적으로, 내부 온도 센싱 소자가 외부에서 내부로 열속(heat-flux)을 전도 및 전달하는 내부 매질과 접촉하는 동안에 외부 시트(outer sheet)가 배기가스와 접촉하는 배기가스 온도센서에 관한 것이다. 상기 내부 온도 센싱 소자는 PTC 서미스터(PTC-thermistor) 또는 NTC 서미스터(NTC thermistor)일 수 있다.
고온 센서는 매우 높은 가열 및 냉각 구배에 의해 영향을 받는다. 상기 구배는 몇몇 내부 구성요소의 재료와 연결 리드(connections leads) 사이의 과도한 압축응력 및 인장응력의 원인이 된다. 이러한 응력은 내부 소자의 손상 및 내부 온도 센싱 소자에 의해 감지된 온도를 표시하기 위한 출력 신호를 전달하는 전도체 손상의 원인이 된다.
미국 등록특허 6639505 B2는 서미스터(thermistor) 소자와 금속 인클로져(enclosure) 사이의 길이가 0보다 작은 것은 아니지만 0.3mm보다 크지 않고, 상기 서미스터 소자와 금속 인클로저가 절연부재를 통해 서로 접촉하는 온도 센서를 개시하고 있다. 상기 절연부재는 결정화 유리 또는 세라믹 일 수 있다. 상기 절연부재는 서미스터 소자와 금속 인클로져 사이의 원하지 않는 갭(gap)을 제거한다.
미국 등록특허 6829820 B2는 온도 센서의 제조방법을 개시하고 있다. 서미스터 소자는 하우징 내에 장착될 일체형 온도 센서 구조물로서 서미스터 소자와 금속 관 사이의 슬라이드(sliding) 저항을 감소시키기 위하여, 충진재, 바람직하게는 실리콘 오일을 금속 관 내부에 충전하면서 유저 금속 관 안으로 삽입된다. 상기 서미스터 소자의 삽입 이후에 상기 금속 관은 실리콘 오일의 오일 성분이 휘발되도록 가열된다. 상기 방법은 금속 관 안에 서미스터가 배치되는 동안 서미스터의 전극 와이어의 구부러짐으로 인한 결함을 감소시킨다.
상기 언급한 온도 센서에서 온도 변화로 인한 절연체의 응력 및 측온 저항체(measurement resistor)와 공급선 케이블 사이의 진동은 절연체의 마모를 야기한다. 미국 등록특허 8328419 B2에서 이러한 문제의 해결책을 개시하고 있다. 열-분리 와이어가 측온 저항체와 공급선 케이블 사이에 배열 되어 있다. 열-분리 와이어는 광물-절연(mineral insulated, MI) 공급선 케이블 가닥 안에 나선형 용수철처럼 고정되어 있고, 측온 저항체를 공급선 케이블에 탄력적으로 연결한다.
본 발명의 목적은 신뢰성, 제조비용의 저렴성, 반자동 또는 전자동 제조공정에서의 대량 생산가능성, 오랜 지속성, 내연기관을 대표하는 높은 온도 및 진동에의 내고온성 및 내진동성 중 적어도 하나가 존재하는 개선된 온도 센서를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제1측면에 따르면, 이러한 목적은 청구항 1의 구성을 갖는 온도 센서에 의해 달성된다. 바람직한 구현예 및 본 발명을 실시하기 위한 추가적인 방법들은 종속항에 언급된 방법에 의해서 이룰 수 있다.
본 발명의 따른 온도 센서는 상기 온도 센서가 광물-절연 공급선(mineral-insulated supply line), 유저 금속 관(bottomed metal tube) 및 상기 유저 금속 관 내에 함유된 온도 센싱 소자를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 유저 금속 관은 하단부와 개방 단부를 포함한다. 상기 개방 단부는 상기 광물-절연 공급선에 기계적으로 연결된다. 상기 온도 센싱 소자는 지지 구조 안에 고정되어 있다. 상기 지지 구조는 유저 금속 관의 축 방향으로 하단부에서 지속적으로 움직일 수 있다. 와이어 커넥션은 온도 센싱 소자 소자를 광물-절연 공급선에 기계적이고 전기적으로 연결한다.
기본적인 아이디어는 내부 구성요소의 여러 재료와 광물-절연 공급선과 온도 센싱 소자 간의 연결 리드 사이에서 과도한 압축응력 및 인장응력을 유발하는 매우 높은 가열 및 냉각 구배로 인한 와이어 커넥션 내의 응력을 줄이기 위한 것이다. 상기 응력은 온도 센싱 소자와 유저 금속 관의 하단부를 기계적으로 분리시킴으로써 감소 된다. 측정하고자 하는 매질의 급격한 온도변화 동안 유저 금속 관과 연결 리드의 재료의 서로 다른 열팽장계수(CTE) 및 유저 금속 관과 연결 리드 간의 온도 차로 인해, 상기 온도 센싱 소자는 유저 금속 관 내에서 유저 금속 관의 축 방향으로 움직인다. 상기 연결 리드에 작용하는 힘은 온도 센싱 소자와 유저 금속 관 사이의 마찰력으로 한정된다. 만약 온도 센싱 소자가 유저 금속 관에 고정되어 삽입된다면, 200℃ 에서 850℃로, 다시 200℃로 내려가는 각각의 온도 사이클에서 상기 연결 리드는 더 큰 힘에 의해 늘어지고 및/또는 구부러질 수 있다. 시간이 경과 하면, 이러한 큰 힘은 연결 리드의 파손 및 제품 수명을 단축 시킨다.
일 구현예에서, 상기 지지 구조의 단면은 유저 금속 관의 하단부의 단면의 내주변과 유사한 형상으로 외주변을 갖고, 상기 지지 구조의 외주변은 하단부의 내주변보다 작다. 이러한 특징은 상기 지지 구조가 제한된 마찰력으로 축 방향을 따라 이동 가능하게 하고, 지지 구조와 유저 금속 관 사이에서 기정의된 최대한의 갭으로 인해 외부에서 내부로의 열유속(heat-flux)이 전달될 수 있도록 유저 금속 관과 지지 구조 사이에 충분한 열 접촉(thermal contact)을 제공하는 구조를 제공한다.
일 구현예에서, 상기 하단부의 축 방향으로, 유저 금속 관의 하부와 지지 구조 사이에 하부 갭(bottom gap)이 제공된다. 상기 갭은 상기 지지 구조가 모든 환경에서 축 방향으로 이동할 수 있도록 한다. 상기 지지 구조가 관의 하부로 힘을 받으면, 연결 리드가 구부러지게 되어 상기 리드에 지지 구조와 유저 금속 관 사이의 마찰력 보다 더 큰 압력이 초래하게 된다. 더 큰 압력의 결과로서, 상기 리드는 연결 리드를 약화시키는 각각의 온도 사이클에서 구부러질 것이다.
일 구현에 따르면, 상기 지지 구조는 포팅 물질로 충진된 금속 컵을 포함하고 상기 온도 센싱 소자는 포팅 물질 안에 위치된다. 금속 컵과 유저 금속 관이 거의 동일한 열팽창 계수를 갖는 것은 금속 컵과 유저 금속 관 사이의 마찰력이 온도 범위에서 많이 변하지 않는 것을 보장한다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지 구조는 포팅 물질로 채워진 금속 컵을 포함하고 상기 온도 센싱 소자는 포팅 물질 안에 위치된다. 이러한 특징은 유저 금속 관에 맞도록 외부 크기가 매우 정확하게 정해진 지지 구조 내에 상기 온도 센싱 소자를 고정 시키기 위한 간단한 방법을 제공한다.
변경된 구현예에 따르면, 상기 지지 구조는 세라믹 또는 시멘트 화합물로 제조된 몸체(body)이다. 이러한 해결책은 내장된 온도 센싱 소자를 갖는 지지 구조를 제조하는데 보다 적은 구성요소를 요구한다.
일 구현예에서, 상기 지지 구조의 말단부는 유저 금속 관의 바닥으로부터 제1거리에서 유저 금속 관의 측벽부와 접촉하고, 상기 지지 구조의 근위부는 유저 금속 관의 바닥으로부터 제2거리에서 유저 금속 관의 반대편 측벽부와 접촉한다. 하단부의 끝부분에 구부러진 지지 구조를 위치시킴으로써, 축방향으로 지지 구조를 이동시키기 위한 마찰력은 연결 리드의 강도에 의해서 제한된다. 뿐만 아니라, 상기 지지 구조는 유저 금속 관에 우수한 열접촉을 가지고 상기 지지 구조는 좌우로 자유롭게 움직일 수 없다.
일 구현예에서, 상기 유저 금속 관의 개방 단부는 광물-절연 공급선에 붙어 있고, 상기 온도 센싱 소자는 공급선의 가닥과 와이어 커넥션으로 연결되고, 상기 지지 구조는 마찰력을 가지고 유저 금속 관의 축 방향으로 이동할 수 있고, 상기 마찰력이 와이어 커넥션 상의 유저 금속 관의 축 방향으로 작용할 때 와이어 커넥션이 변형되지 않도록 상기 와이어 커넥션은 강성(stiffness)을 가진다. 이러한 특성의 결과로서, 상기 지지 구조가 축 방향으로 움직이기 위한 마찰력 때문에 발생하는 와이어 커넥션에서의 응력에 의한 와이어 커넥션 손상은 현저하게 감소된다.
일 구현예에서, 상기 센서는 지지 구조와 유저 금속 관의 하부 사이에 슬라이딩 갭(sliding gap)을 포함한다. 상기 슬라이딩 갭은 지지 구조와 하단부의 서로 다른 열팽창에 의헤 지지 구조가 하단부에 꽉 끼는 것을 방지한다.
추가 구현예에서, 상기 슬라이딩 갭은 비경화 점성물질(non-curing viscous substance)로 충진 된다. 이러한 방법에서, 지지 구조와 유저 금속 관 사이의 마찰력에 의한 마모가 감소 된다.
제2측면에 따르면, 온도 센서의 제조방법이 제공된다. 상기 제조방법은:
지지 구조에 온도 센싱 소자를 내장하는 단계;
상기 온도 센싱 소자를 광물-절연 공급선 가닥에 기계적으로 연결하는 단계;
상기 지지 구조를 유저 금속 관의 하단부에 위치시키는 단계; 및
상기 광물-절연 공급선을 상기 유저 금속 관의 개방 단부에 기계적으로 연결하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 특징과 장점들은 실시예의 다양한 특징을 도시한 첨부된 도면과 함께, 후술되는 발명의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이러한 및 다른 측면, 특성 및 이점은 도면을 참조하여 다음의 설명에 기초하여 이하 설명 될 것이다. 여기서 참조부호는 동일 또는 유사한 구성을 나타낸다.
도 1은 고온 센서의 제1구현예에 따른 단면도를 나타내고,
도 2는 고온 센서의 제2구현예에 따른 단면도를 나타내고
도 3은 조립 단계 동안 온도 센서의 단면도를 나타내고,
도 4는 도 3에서 조립 후 온도 센서의 단면도를 나타낸다.
도 1은 온도 센서(100)의 제1구현예에 따른 끝부분의 단면도를 나타낸다. 상기 온도 센서(100)는 900℃까지의 높은 온도를 측정하기에 특히 적합하다. 상기 온도 센서는 배기 가스 온도 센서일 수 있다. 본 출원은 열 사이클에서 폐쇄된 하우징 센서의 수명을 증가시키는 해결책을 개시한다. 배기관 내의 온도는 200℃ - 900℃사이에서 매우 빠르게 달라질 수 있다.
상기 온도센서(100)는 하단부(102A)와 개방 단부(102B)를 갖는 유저 금속 관(102)을 포함한다. 상기 유저 금속 관(102)은 측정될 매질에 노출되는 외부 시팅 형태(outer sheeting shape)를 형성된다. 상기 유저 금속 관(102) 안에 온도 센싱 소자(104)가 제공된다. 상기 온도 센싱 소자는 PTC 또는 NTC 장치일 수 있다. 상기 온도 센싱 소자(104)는 금속 컵(106A) 내에 위치된다. 상기 온도 센싱 소자(104)와 금속 컵(106A) 사이의 공간은 포팅(potting) 물질(106B)로 충진된다. 상기 물질은 외부에서 내부로 열속(heat-flux)을 전달하기 위하여 좋은 열 전달 특성을 가지는 한 어떠한 물질도 사용될 수 있다. 게다가, 상기 물질은 금속 컵(106A) 내의 온도 센싱 소자(104)를 고정해야 한다. 적합한 포팅 물질의 예로는 알루미나, 지르코니아, 마그네시아 또는 다른 금속 산화물 세라믹 또는 시멘트-화합물이 있다.
상기 온도 센싱 소자(104)의 전도체(104A)는 광물-절연 공급선(108)의 가닥(108A)과 와이어 커넥션에 의해 전기적이고 기계적으로 연결된다. 상기 전도체(104A)와 가닥(108A)은 납땜(soldering)에 의해 연결될 수 있다. 상기 온도 센싱 소자(104)의 전도체(104A)는 0.2 내지 0.3mm 범위의 직경을 갖는 도금선이다. 도 1에서, 전도성 원통형 구조(110)는 온도 센싱 소자(104)의 전도체(104A)를 광물-절연 공급선(108)의 가닥(108A)을 연결하기 위하여 사용된다. 전도성 원통형 구조(110)의 일단에서, 상기 온도 센싱 소자(104)의 전도체(104A)는 전도성 원통형 구조물(110)에 부착된다. 상기 전도체(104A)는 구조(110)의 개구부 안으로 미끄러지듯이 들어가고 그 다음 크림핑 또는 용접과 같은 방법으로 부착된다. 유사한 방법으로, 광물-절연 공급선(108)의 가닥(108A)이 전도성 원통형 구조물(110)에 부착된다. 참조부호 110A는 전도체(104A)와 가닥(108A) 사이의 원통형 구조 내의 빈 공간을 나타낸다.
광물-절연 공급선은 당해 기술분야에서 통상의 기술자에게 널리 알려져 있다. 예를 들면, 광물-절연 공급선(108)은 엘로이 601(니켈 60% wt%, 크롬 21 wt%, 철 15 wt%, 및 알루미늄 1.2 wt%) 또는 다른 니켈 합금으로 만들어진 가닥(108A)을 포함한다. 상기 가닥은 엘로이 601(니켈 60% wt%, 크롬 21 wt%, 철 15 wt%, 및 알루미늄 1.2 wt%) 또는 310H와 같은 다른 스테인리스 합금강으로 만들어진 보호용 금속 슬리브(108C)에 의해 둘러싸여 있는 매우 조밀한 미네랄 분말(108B)에 내장된다.
상기 유저 금속 관(102)의 개방 단부(102B)는 광물-절연 공급선(108)의 금속 슬리브(108C)와 연결된다. 이것은 크림핑 또는 용접에 의해 가능하다.
상기 금속 컵(106A)과 포팅 물질(106B)은 온도 센싱 소자(104)가 고정된 지지 구조(106)를 형성한다. 상기 금속 컵은 유저 금속 관(102)의 하단부(102A) 내주변 단면과 유사한 형상을 갖는 외주변 단면을 가진다. 상기 지지 구조의 외주변은 하단부의 내주변보다 작다. 이렇게 하여, 상기 지지 구조는 상기 유저 금속 관의 축방향으로 하단부에서(102A) 지속적으로 움직일 수 있다. 참조부호120은 상기 유저 금속 관의 몸체 축을 나타낸다. 상기 지지 구조와 유저 금속 관 사이의 슬라이딩 갭은 열팽장 계수(coefficient of thermal expansion)의 불일치 및 비등온 열(non-isothermal heating)을 흡수하는 팽창/수축 갭이다. 상기 슬라이딩 갭은 상기 유저 금속 관의 몸체 축을 따라 하단부(102A)내에서 상기 지지 구조의 움직임을 허용한다. 예를 들면, 상기 유저 금속 관이 와이어 커넥션보다 더 빨리 가열되는 경우, 상기 지지 구조는 하단부에서 위로 상승하게 되고, 유저 금속 관의 하부는 상기 지지 구조의 끝에서 멀어지게 된다.
상기 하부 갭(112A)은 유저 금속 관의 하부와 지지 구조의 끝 사이에 제공된다. 상기 하부 갭은 매질의 온도가 급속히 내려가거나 와이어 커넥션의 온도가 유저 금속 관의 온도에 비하여 매우 높을 때 와이어 커넥션이 압축응력을 받지 않도록 한다.
상기 슬라이딩 갭과 하부 갭에 의하여, 상기 지지 구조는 유저 금속 관 내에서 부체(floating body)가 된다. 상기 온도 센싱 소자가 유저 금속 관에 부착되어 있는 구현예와 비교할 때, 외부 시팅(outside sheeting)이 지지 구조에서 분리되는 구조는 측정 매질(구체적으로 배기 가스)의 변화하는 온도 쇼크에 처음 노출되는 와이어 커넥션에서의 압축 및 인장 응력을 감소시킨다.
상기 슬라이딩 갭과 하부 갭은 에어 갭 일수 있다. 그러나 상기 갭은 또한 지르코니아, 알루미나, 마그네시아로 코팅된 고온 불활성 물질 또는 가스로 충진 될 수도 있다.
도 2는 상기 온도 센서의 제2구현예에 따른 끝부분의 단면도를 나타낸다. 상기 구현예는 상기 온도 센싱 소자(104)가 세라믹 또는 시멘트 구조(106') 내에 내장되어 있다는 점에서 도 1에 나타낸 제1구현예와는 다르다. 본 구현예에서, 상기 세라믹 또는 시멘트 구조(106')는 지지 구조를 형성한다. 어떠한 고온에 강한 내화성 물질도 시멘트로 사용될 수 있다. 상기 구조(106')에 적합한 물질의 예로는 알루미나, 지르코니아, 마그네시아 또는 다른 금속 산화 세라믹 또는 시멘트-화합물이 있다. 상기 유저 금속 관(102)의 내면은 코팅(114)으로 덮여있고, 이것은 지지 구조와 유저 금속 관 사이의 마찰을 감소시킨다. 상기 코팅 재료의 예로는 스테아린산 마그네슘이 있다. 게다가, 코팅과 지지 구조(106') 사이에 작은 슬라이딩 갭이 존재한다.
상기 슬라이딩 갭에 의하여, 지지 구조의 몸체 축이 유저 금속 관의 하단부의 몸체 축과 일치하는 경우, 상기 지지 구조는 유저 금속 관 안에서 좌우로 움직일 수 있다. 상기 지지 구조의 좌우 이동은 지지 구조 및/또는 유저 금속 관 및 와이어 커넥션의 마모를 초래할 수 있다. 상기 유저 금속 관 내의 상기 지지 구조의 좌우이동을 감소시키기 위하여, 상기 유저 금속 관 내의 지지 구조의 위치 결정시, 와이어 커넥션은 약간 구부러진다. 그 결과, 상기 지지 구조는 하부 금속 관의 내면을 약하게 압박한다. 도 3과 4는 이것이 달성되는 방법에 대한 구현예를 예시한다.
도 3은 유저 금속 관(102)의 하부(102A)에 지지 구조를 삽입하기 이전에, 광물-절연 공급선(108), 전도성 원통형 구조물(110), 온도 센싱 소자(104) 및 지지 구조(106)의 조립을 도시한다. 상기 하부(102A) 내에서 지지 구조(102)의 위치 결정시, 상기 광물-절연 공급선(108)의 끝부분은 유저 금속 관(102)의 몸체 축(120)과 일치하는 몸체 축(116)을 가진다. 유저 금속 관을 광물-절연 공급선에 삽입 및 연결한 이후에, 상기 유저 금속 관 및 광물-절연 공급선의 몸체 축은 일치할 것으로 추정된다. 게다가, 상기 지지 구조는 몸체 축(118)을 가지며, 이것은 광물-절연 공급선의 몸체 축(116) 및 유저 금속 관의 몸체 축(120)과 일치하지 않는다. 현재 예에서, 상기 지지 구조의 몸체 축은 와이어 커넥션의 구부러짐에 의하여 광물-절연 공급선의 몸체 축에 대하여 비스듬히 놓여진다. 상기 온도 센싱 소자(104)는 지지 구조 내에서 일직선으로 위치한다. 이것은 또한 일직선 와이어 커넥션을 형성할 수 있고, 온도 센싱 소자를 상기 지지 구조 내에 기울어지도록 위치 시킬 수 있다. 상기 각도는 1 내지 5도 이내의 범위 이어야 한다.
상기 지지 구조(106)를 하부(102A)에 삽입할 때, 상기 지지 구조는 유저 금속 관(102)의 몸체 축(120)과 일치하는 몸체 축(118)을 갖도록 힘을 받는다. 이것은 와이어 커넥션의 구부러짐에 의하여 가능하다. 도 4는 상기 지지 구조가 유저 금속 관(102) 내에 위치한 이후의 온도 센서를 도시한다. 상기 지지 구조의 말단부(112A)는 유저 금속 관의 바닥으로부터 제1거리(d1)에서 유저 금속 관의 측벽부에 접촉하고, 상기 지지 구조의 근위부(112B)는 유저 금속 관의 바닥으로부터 제2거리(d2)에서 유저 금속 관의 반대편 측벽부와 접촉하는 것을 알 수 있다. 상기 지지 구조의 몸체 축은 유저 금속 관 및 광물-절연 공급선의 몸체 축과 거의 일치한다. 이러한 방법으로, 상기 지지 구조는 더 이상 좌우로 움직일 수 없지만, 여전히 유저 금속 관 내에서 상하로 움직일 수 있다. 와이어 커넥션의 강도는 지지 구조와 유저 금속 관 사이의 마찰력 및 그에 따라 지지 구조를 유저 금속 관 내에서 축 방향으로 이동시키기 위하여 와이어 커넥션에 가해지는 힘을 나타낸다.
지지 구조의 몸체 축이 광물-절연 공급선의 몸체 축과 불일치하기 때문에, 상기 지지 구조가 약간의 제한된 마찰력을 가지고 유저 금속 관 내에 위치할 것이라는 것은 통상의 기술자에게 자명할 것이다. 상기 지지 구조는 마찰력으로 유저 금속 관의 축 방향으로 이동할 수 있다. 상기 와이어 커넥션은 상기 마찰력이 와이어 커넥션에 작용할 때 와이어 커넥션이 변형되지 않기 위하여 와이어 커넥션은 강성(stiffness)을 가진다.
상기 언급한 온도센서의 제조방법은 지지 구조에 온도 센싱 소자를 내장하는 단계; 조립부를 얻기 위하여 상기 온도 센싱 소자를 광물-절연 공급선 가닥에 기계적으로 연결하는 단계; 상기 지지 구조를 유저 금속 관의 하단부 내에 위치시키는 단계; 및 광물-절연 공급선을 유저 금속 관의 개방 단부에 기계적으로 연결시키는 단계를 포함한다. 상기 유저 금속 관을 광물-절연 공급선에 연결시키기 이전에, 상기 지지 구조는 광물-절연 공급선 근위부의 몸체 축과 일치하지 않는 몸체 축을 가진다. 상기 조립부를 유저 금속 관에 연결한 이후에, 상기 공급선 근위부의 몸체 축은 유저 금속 관의 몸체 축과 일치한다. 삽입 이전에, 상기 지지 구조의 몸체 축은 공급선 근위부의 몸체 축에 대하여 비스듬하게 존재한다.
개시된 구현예는 다음의 효과를 나타낸다. 몇몇의 재료 및 유저 금속 관과 근접한 형상에 의해 구성될 수 있는 부동의(floating) 말단/몸체는 온도센서의 외부시팅을 형성하는 유저 금속 관으로부터 분리 됨으로써 압축응력 및 인장응력을 감소시킨다. 상기 응력은 측정 매질의 온도 쇼크 변화에 대한 일차 노출과 함께 감소된다. 이러한 감소는 배기가스 온도센서(EGTS)의 수명을 현저하게 연장 시킨다.
개시된 구현예는 전부 원통형을 가진다. 측정 매질과 접촉하게 되는 외부 시트 내에서 지지 구조의 축운동을 허용하는 어떠한 다른 형태도 사용이 가능하다는 것은 자명할 것이다.
본 발명은 몇가지 실시예에 관하여 설명하고 있으나, 대체, 변형, 치환 및 그와 대응되는 것은 당해 기술분야에서 명세서를 읽고 도면을 연구함으로써 명백해 질 것이다. 본 발명은 예시된 실시예에 한정되지 않고, 첨부된 청구범위에 의해서 정의되는 본 발명의 사상 및 범위 내에서 변형이 가능하다.

Claims (13)

  1. 광물-절연 공급선(108);
    하단부(102A) 및 상기 광물-절연 공급선에 기계적으로 연결된 개방 단부(102B)를 포함하는 유저 금속 관(bottomed metal tube)(102);
    상기 유저 금속 관 내에 포함된 온도 센싱 소자(104); 및
    상기 온도 센싱 소자를 상기 광물-절연 공급선에 기계적 및 전기적으로 연결시키는 와이어 커넥션;을 포함하고
    상기 온도 센싱 소자는 지지 구조(106) 내에 고정되고 상기 지지 구조는 하단부(102A) 내에서 유저 금속 관의 축 방향으로 지속적으로 움직일 수 있는 것인, 온도 센서(100).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지 구조의 단면은 상기 유저 금속 관의 하단부 단면의 내주변과 유사한 형상을 갖는 외주변을 가지며 상기 지지 구조의 외주변은 하단부의 내주변 보다 작은 것인, 온도센서(100).
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유저 금속 관(102)의 하부와 상기 지지 구조(106) 사이에 하단부(102A)의 축 방향으로 하부 갭(112A)이 제공되는 것인, 온도센서.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지 구조는 포팅(potting) 물질(106B)로 충진된 금속 컵(106A)을 포함하고, 상기 온도 센싱 소자는 포팅(potting) 물질 내에 위치하는 것인, 온도센서.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지 구조는 세라믹 또는 시멘트-화합물로 만들어지는 몸체(106')인 것인, 온도센서.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지 구조의 말단부(112A)는 상기 유저 금속 관의 바닥으로부터 제1거리에서 상기 유저 금속 관의 측벽부와 접촉하고, 상기 지지 구조의 근위부(112B)는 상기 유저 금속 관의 바닥으로부터 제2거리에서 유저 금속 관의 반대편 측벽부와 접촉하는 것인, 온도센서.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유저 금속 관의 개방 단부는 광물-절연 공급선(108)과 부착되고, 상기 와이어 커넥션(110)은 상기 광물-절연 공급선 가닥(108A)에 연결되고, 상기 지지 구조는 마찰력으로 상기 유저 금속 관의 축 방향으로 이동할 수 있고, 상기 와이어 커넥션은 마찰력이 와이어 커넥션에 작용할 때 와이어 커넥션이 변형되지 않도록 강성(stiffness)을 가지는 것인, 온도센서.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 지지 구조와 유저 금속 관의 하부 사이에 슬라이딩 갭(sliding gap)을 포함하는 것인, 온도센서.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 슬라이딩 갭은 고온 코팅제 또는 가스로 충진되는 것인, 온도센서.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 온도센서는 고온센서인 것인, 온도센서.
  11. 지지 구조에 온도 센싱 소자를 내장하는 단계;
    상기 온도 센싱 소자를 광물-절연 공급선 가닥에 기계적으로 연결하는 단계;
    상기 지지 구조를 유저 금속 관의 하단부 내에 위치시키는 단계; 및
    상기 광물-절연 공급선을 유저 금속 관의 개방 단부에 기계적으로 연결시키는 단계를 포함하는, 온도센서 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 온도 센싱 소자는 와이어 커넥션에 의해 상기 광물-절연 공급선에 연결되고, 상기 지지 구조는 광물-절연 공급선 근위부의 몸체 축과 일치하지 않는 몸체 축을 가지고, 상기 공급선 근위부의 몸체 축이 유저 금속 관의 몸체 축과 일치하도록 조립부를 유저 금속 관에 연결하는 단계를 포함하는 것인, 온도센서 제조방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 지지 구조의 몸체 축은 상기 공급선 근위부의 몸체 축에 대하여 비스듬하게 존재하는 것인, 온도센서 제조방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210121722A (ko) * 2020-03-31 2021-10-08 주식회사 유라테크 온도센서 및 온도센서 제조 방법
KR20210126980A (ko) * 2020-04-13 2021-10-21 주식회사 유라테크 온도센서 및 그 제조 방법

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107219009A (zh) * 2017-08-02 2017-09-29 武汉优斯特汽车传感器科技有限公司 一种温度传感器
DE102018111167A1 (de) * 2018-05-09 2019-11-14 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg Messeinsatz mit Schutzrohr
DE102019117865A1 (de) * 2018-07-13 2020-01-16 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Temperatursensor
CN109060152B (zh) * 2018-07-19 2020-10-09 中国航发沈阳发动机研究所 一种用于燃烧室出口温场测试的热电偶传感器
CN109813454A (zh) * 2019-01-23 2019-05-28 浙江泰索科技有限公司 含半剖管状中间导体的高温连接棒及由其制得的探测器
CN109738080A (zh) * 2019-01-23 2019-05-10 浙江泰索科技有限公司 端部盲孔的高温连接棒及由其制得的探测器
DE102019124606A1 (de) * 2019-09-12 2021-03-18 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg Thermometer
US20220252465A1 (en) 2021-02-05 2022-08-11 Sensata Technologies, Inc. System and method for improving temperature detectors using expansion/contraction devices
DE102021111975A1 (de) * 2021-05-07 2022-11-10 Fte Automotive Gmbh Flüssigkeitspumpe

Family Cites Families (177)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1461574A (en) * 1922-08-23 1923-07-10 Caplan Meyer Camping trailer
US3691842A (en) 1970-09-08 1972-09-19 Beckman Instruments Inc Differential pressure transducer
GB1461574A (en) 1973-03-26 1977-01-13 Smiths Industries Ltd Temperature-sensing probes
US4080027A (en) 1976-07-30 1978-03-21 Gte Sylvania Incorporated Electrical contact and connector
US4131088A (en) 1976-11-08 1978-12-26 The Bendix Corporation Multiple function pressure sensor
US4274125A (en) 1979-01-23 1981-06-16 The Bendix Corporation Temperature compensated capacitance pressure transducer
US4347745A (en) 1980-12-22 1982-09-07 Bourns Instruments, Inc. Pressure measuring apparatus
US4984461A (en) 1984-03-14 1991-01-15 Alco Standard Corporation Fluid flow sensor
US4716492A (en) 1986-05-05 1987-12-29 Texas Instruments Incorporated Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer
DE3823449A1 (de) 1988-07-11 1990-01-18 Bosch Gmbh Robert Messeinrichtung zur erfassung des drucks und der temperatur
DE3832568A1 (de) 1988-09-24 1990-03-29 Philips Patentverwaltung Schaltungsanordnung zur temperaturkompensation von kapazitiven druck- und differenzdrucksensoren
US4875135A (en) 1988-12-02 1989-10-17 Texas Instruments Incorporated Pressure sensor
US4955380A (en) 1988-12-15 1990-09-11 Massachusetts Institute Of Technology Flexible measurement probes
US5259248A (en) 1990-03-19 1993-11-09 Hitachi Ltd. Integrated multisensor and static and differential pressure transmitter and plant system using the integrated multisensor
US5231301A (en) 1991-10-02 1993-07-27 Lucas Novasensor Semiconductor sensor with piezoresistors and improved electrostatic structures
US5193912A (en) 1991-11-18 1993-03-16 Saunders Roger I Probe for sensing and measuring temperature
US5189591A (en) 1992-06-12 1993-02-23 Allied-Signal Inc. Aluminosilicate glass pressure transducer
JP2546255Y2 (ja) 1992-07-08 1997-08-27 矢崎総業株式会社 雌型端子金具
EP0616395B1 (en) 1993-03-16 1997-09-10 Hewlett-Packard Company Method and system for producing electrically interconnected circuits
EP0616394A1 (en) 1993-03-16 1994-09-21 Hewlett-Packard Company Method and system for producing electrically interconnected circuits
US5308249A (en) 1993-06-16 1994-05-03 The Whitaker Corporation Backplane connector utilizing flexible film circuitry
US5606513A (en) 1993-09-20 1997-02-25 Rosemount Inc. Transmitter having input for receiving a process variable from a remote sensor
US5443394A (en) 1994-05-04 1995-08-22 The Whitaker Corporation Card edge connector having positive lock and extractor
CN1133435A (zh) * 1994-12-14 1996-10-16 Tdk株式会社 感热装置
JPH08178778A (ja) 1994-12-27 1996-07-12 Mitsubishi Electric Corp 半導体圧力検出装置
US5676559A (en) 1995-07-06 1997-10-14 The Whitaker Corporation Zero insertion force (ZIF) electrical connector
US5800186A (en) 1997-03-13 1998-09-01 Framatome Connectors Usa, Inc. Printed circuit board assembly
JP3379747B2 (ja) 1997-05-20 2003-02-24 矢崎総業株式会社 低挿入力端子
JP3404257B2 (ja) 1997-07-11 2003-05-06 三菱電機株式会社 圧力センサ装置
US5974893A (en) 1997-07-24 1999-11-02 Texas Instruments Incorporated Combined pressure responsive transducer and temperature sensor apparatus
FR2775075B1 (fr) 1998-02-18 2000-05-05 Theobald Sa A Capteur de pression differentielle
US6412977B1 (en) 1998-04-14 2002-07-02 The Goodyear Tire & Rubber Company Method for measuring temperature with an integrated circuit device
US6308694B1 (en) 1999-01-11 2001-10-30 Ford Global Technologies, Inc. Flow measurement and control
JP4409114B2 (ja) 1999-03-12 2010-02-03 日本発條株式会社 導電性接触子アセンブリ
US6220749B1 (en) * 1999-04-02 2001-04-24 Carrier Corporation Self-adjusting temperature sensor
JP2001041838A (ja) 1999-08-03 2001-02-16 Yamatake Corp 圧力センサおよびその製造方法
US6473711B1 (en) 1999-08-13 2002-10-29 Rosemount Inc. Interchangeable differential, absolute and gage type of pressure transmitter
JP2001093634A (ja) 1999-09-21 2001-04-06 Kato Spring Works Co Ltd 半導体パッケージ用ソケット
US6313523B1 (en) 1999-10-28 2001-11-06 Hewlett-Packard Company IC die power connection using canted coil spring
US6341962B1 (en) 1999-10-29 2002-01-29 Aries Electronics, Inc. Solderless grid array connector
JP3619413B2 (ja) 2000-01-18 2005-02-09 株式会社エンプラス 電気部品用ソケット
DE10031120A1 (de) 2000-06-30 2002-01-17 Grieshaber Vega Kg Druckmittler
DE10031124C2 (de) 2000-06-30 2002-05-16 Heraeus Electro Nite Int Sensor zur Temperaturerfassung eines Fluids
US6363922B1 (en) 2000-10-11 2002-04-02 Detroit Diesel Corp Exhaust gas recirculation pressure differential sensor error compensation
US6625029B2 (en) 2000-11-06 2003-09-23 Skg Italiana Spa Sensor unit
JP2002170617A (ja) 2000-12-04 2002-06-14 Yokowo Co Ltd コイルばねコネクタ
US6588931B2 (en) 2000-12-07 2003-07-08 Delphi Technologies, Inc. Temperature sensor with flexible circuit substrate
US6668632B2 (en) 2001-03-05 2003-12-30 Delphi Technologies, Inc. Spark apparatus with pressure signal response amplification
JP2002289407A (ja) * 2001-03-23 2002-10-04 Denso Corp 温度センサおよびその製造方法
JP3788363B2 (ja) 2001-03-23 2006-06-21 株式会社デンソー 温度センサ
WO2003008921A1 (en) 2001-07-17 2003-01-30 Measurement Specialties, Inc. Isolation technique for pressure sensing structure
JP4721582B2 (ja) 2001-09-14 2011-07-13 株式会社センサータ・テクノロジーズジャパン ソケット
JP2003100375A (ja) 2001-09-26 2003-04-04 Yokowo Co Ltd スプリングコネクタ
JP2003168532A (ja) 2001-11-29 2003-06-13 Texas Instr Japan Ltd 半導体装置用ソケットおよび半導体装置のソケットへの取付け方法
JP4138305B2 (ja) 2001-12-12 2008-08-27 株式会社エンプラス 電気部品用ソケット
JP2003234203A (ja) 2002-02-07 2003-08-22 Denso Corp 温度センサの製造方法
US6701790B2 (en) 2002-06-13 2004-03-09 Mykrolis Corporation Temperature regulator for use with a pressure sensing device
US6952042B2 (en) 2002-06-17 2005-10-04 Honeywell International, Inc. Microelectromechanical device with integrated conductive shield
US6857776B2 (en) * 2002-12-12 2005-02-22 Ametek, Inc. Connectorized high-temperature thermocouple
FI115109B (fi) 2003-01-22 2005-02-28 Nokia Corp Tunnistusjärjestely ja tunnistusjärjestelyn käsittävä matkaviestin
JP3942176B2 (ja) 2003-03-17 2007-07-11 日本特殊陶業株式会社 燃焼圧検知機能付きグロープラグ及びその製造方法
JP4041018B2 (ja) 2003-06-25 2008-01-30 Tdk株式会社 温度センサ
US6776668B1 (en) 2003-08-01 2004-08-17 Tyco Electronics Corporation Low profile coaxial board-to-board connector
US7938783B2 (en) 2003-08-19 2011-05-10 Advanced Monitors Corporation Medical body core thermometer
DE10343521A1 (de) 2003-09-19 2005-04-21 Beru Ag Druckmessglühkerze für einen Dieselmotor
US6909975B2 (en) 2003-11-24 2005-06-21 Mks Instruments, Inc. Integrated absolute and differential pressure transducer
JP2005156307A (ja) 2003-11-25 2005-06-16 Denso Corp 圧力センサ
US6948372B2 (en) 2004-01-08 2005-09-27 Delphi Technologies, Inc. Method of connection to a spark plug pressure sensor
US7021954B2 (en) 2004-04-16 2006-04-04 Hon Hai Precision Ind. Co., Ltd. Test connector with metallic stiffener
DE102004021041A1 (de) 2004-04-29 2005-11-24 Robert Bosch Gmbh Kombinierter Absolutdruck- und Relativdrucksensor
JP2005327628A (ja) 2004-05-14 2005-11-24 Three M Innovative Properties Co Icソケット
US7073375B2 (en) 2004-07-02 2006-07-11 Honeywell International Inc. Exhaust back pressure sensor using absolute micromachined pressure sense die
US7077008B2 (en) 2004-07-02 2006-07-18 Honeywell International Inc. Differential pressure measurement using backside sensing and a single ASIC
ATE544034T1 (de) 2004-09-15 2012-02-15 Beru Ag Druckmessglühkerze für einen dieselmotor
DE102004048367B4 (de) 2004-10-01 2010-10-28 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers
US7302855B2 (en) 2004-10-28 2007-12-04 Denso Corporation Pressure detection device
JP4742593B2 (ja) 2005-01-19 2011-08-10 株式会社デンソー 圧力検出装置の製造方法
US7000478B1 (en) 2005-01-31 2006-02-21 Texas Instruments Incorporated Combined pressure and temperature transducer
US7884432B2 (en) 2005-03-22 2011-02-08 Ametek, Inc. Apparatus and methods for shielding integrated circuitry
JP2006307834A (ja) 2005-03-31 2006-11-09 Ngk Spark Plug Co Ltd 燃焼圧センサおよびそれを備えたグロープラグ
FR2884298B1 (fr) 2005-04-12 2007-08-10 Siemens Vdo Automotive Sas Bougie de prechauffage a capteur de pression integre
JP2006324326A (ja) 2005-05-17 2006-11-30 Elpida Memory Inc 半導体装置
JP4421511B2 (ja) 2005-05-30 2010-02-24 三菱電機株式会社 半導体圧力センサ
DE102006022620B4 (de) 2005-08-19 2014-05-22 Otto Egelhof Gmbh & Co. Kg Temperatursensor
US7316507B2 (en) 2005-11-03 2008-01-08 Covidien Ag Electronic thermometer with flex circuit location
JP2007132697A (ja) 2005-11-08 2007-05-31 Denso Corp 圧力センサ
JP4765871B2 (ja) 2005-11-09 2011-09-07 株式会社デンソー 温度センサ
US7467891B2 (en) 2005-11-29 2008-12-23 Sensata Technologies, Inc. Sensor arrangement for measuring a pressure and a temperature in a fluid
DE102005060651A1 (de) 2005-12-19 2007-06-28 Robert Bosch Gmbh Kombinierter Druck- und Temperatursensor
TWI286383B (en) 2005-12-23 2007-09-01 Delta Electronics Inc Semiconductor piezoresistive sensor and operation method thereof
US20070193362A1 (en) 2006-02-06 2007-08-23 Ferguson Stephen K Fiber optic strain gage
US7675409B2 (en) 2006-02-28 2010-03-09 Paksense, Inc. Environmental sensing
CA2648024C (en) 2006-04-03 2012-11-13 Exxonmobil Upstream Research Company Wellbore method and apparatus for sand and inflow control during well operations
JP4867437B2 (ja) 2006-04-05 2012-02-01 株式会社デンソー 温度センサ
US7597668B2 (en) 2006-05-31 2009-10-06 Medisim Ltd. Non-invasive temperature measurement
JP2008064529A (ja) 2006-09-06 2008-03-21 Denso Corp 圧力センサ
DE102006043324A1 (de) 2006-09-15 2008-03-27 Robert Bosch Gmbh Steckfühler zur kombinierten Druck- und Temperaturmessung
EP2056087A4 (en) 2006-10-02 2011-11-30 Panasonic Elec Works Co Ltd PRESSURE SENSOR
JP4867559B2 (ja) 2006-10-04 2012-02-01 株式会社デンソー 圧力センサおよび圧力センサの取付構造
DE102006050451A1 (de) 2006-10-20 2008-04-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Druckmessgerät
US7814893B2 (en) 2006-11-17 2010-10-19 Continental Automotive Canada, Inc. Exhaust gas recirculation system module with integral vacuum
US20080219319A1 (en) 2007-01-05 2008-09-11 Jay Buckalew Biological parameter monitoring system and method therefor
US7748898B2 (en) * 2007-02-27 2010-07-06 Denso Corporation Temperature sensor and method of producing the temperature sensor
DE102007010403B4 (de) 2007-03-01 2016-02-11 Heraeus Sensor Technology Gmbh Temperatursensor und dessen Verwendung in einer Turboladerüberhitzungssicherung
JP4858293B2 (ja) 2007-05-08 2012-01-18 住友電装株式会社 雌端子金具
JP4854612B2 (ja) 2007-07-09 2012-01-18 センサータ テクノロジーズ マサチューセッツ インコーポレーテッド ソケット用アダプタ
US7651366B2 (en) 2007-07-16 2010-01-26 Tyco Electronics Corporation Electrical connector assembly with shorting contacts
DE102007042789A1 (de) * 2007-09-07 2009-03-12 Robert Bosch Gmbh Steckfühler zur Messung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums
JP2009074905A (ja) 2007-09-20 2009-04-09 Denso Corp エンジン用温度センサ装置
JP2009097926A (ja) 2007-10-15 2009-05-07 Denso Corp 圧力センサおよびその取付構造
US8303173B2 (en) * 2007-10-29 2012-11-06 Smiths Medical Asd, Inc. Dual potting temperature probe
JP4868413B2 (ja) 2007-12-04 2012-02-01 センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド ソケット
EP2075557B1 (en) * 2007-12-26 2013-02-27 NGK Spark Plug Co., Ltd. Temperature sensor and method of producing the same
US7762140B2 (en) 2008-01-10 2010-07-27 Sensata Technologies, Inc. Combined fluid pressure and temperature sensor apparatus
US20090194831A1 (en) 2008-02-01 2009-08-06 Custom Sensors & Technologies, Inc. Integrated cavity in pcb pressure sensor
US7578194B1 (en) 2008-02-11 2009-08-25 Sensata Technologies, Inc. Differential fluid pressure measurement apparatus
US7743662B2 (en) 2008-02-14 2010-06-29 Kulite Semiconductor Products, Inc. Low differential pressure transducer
US8764464B2 (en) 2008-02-29 2014-07-01 Fci Americas Technology Llc Cross talk reduction for high speed electrical connectors
TWM344664U (en) 2008-04-07 2008-11-11 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Electrical contact
JP5198934B2 (ja) * 2008-05-09 2013-05-15 日本特殊陶業株式会社 温度センサ
US7591186B1 (en) 2008-05-15 2009-09-22 Honeywell International Inc. Conductive seals and method for fabricating the same
US7695285B2 (en) 2008-05-29 2010-04-13 Yokowo Co., Ltd. Spring connector and connector
ITTO20080484A1 (it) 2008-06-19 2009-12-20 Eltek Spa Dispositivo sensore di pressione
EP2138820B1 (en) 2008-06-25 2016-09-21 Sensata Technologies, Inc. A piezoresistive pressure-measuring plug for a combustion engine
DE102008002682B4 (de) 2008-06-26 2020-01-30 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung des Drucks und der Temperatur in einem Saugrohr einer Brennkraftmaschine
CH699078A1 (de) 2008-07-02 2010-01-15 Kistler Holding Ag Zündkerze im Grundaufbau mit Drucksensor.
US7878074B1 (en) 2008-07-17 2011-02-01 Strain Measurement Devices, Inc. Eccentric load sensing device used to sense differential pressures
JP5166176B2 (ja) 2008-09-04 2013-03-21 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 電子デバイス用ソケット
JP5227729B2 (ja) 2008-10-07 2013-07-03 アズビル株式会社 圧力センサ
JP5197297B2 (ja) 2008-10-17 2013-05-15 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Icソケット
JP5291585B2 (ja) 2008-11-07 2013-09-18 株式会社日本マイクロニクス 接触子及び電気的接続装置
JP2010118275A (ja) 2008-11-13 2010-05-27 Yamaichi Electronics Co Ltd 半導体装置用ソケット
CN102282731B (zh) 2008-11-14 2015-10-21 莫列斯公司 共振修正连接器
US8217309B2 (en) 2008-12-15 2012-07-10 Federal-Mogul Italy Srl. Glow plug with pressure sensing canister
JP5187188B2 (ja) 2008-12-26 2013-04-24 富士通株式会社 半導体集積回路パッケージの設置方法及び電子部品の製造方法
US7976326B2 (en) 2008-12-31 2011-07-12 Fci Americas Technology Llc Gender-neutral electrical connector
JP2010256187A (ja) 2009-04-24 2010-11-11 Panasonic Electric Works Co Ltd 圧力センサ
JP2010261860A (ja) * 2009-05-08 2010-11-18 Shibaura Electronics Co Ltd 温度センサ及び温度センサシステム
US8215176B2 (en) 2009-05-27 2012-07-10 Continental Automotive Systems, Inc. Pressure sensor for harsh media sensing and flexible packaging
US20110019714A1 (en) 2009-07-24 2011-01-27 Perry Loren R Overmolded temperature sensor and method for fabricating a temperature sensor
US8545096B2 (en) 2009-08-06 2013-10-01 Ge Infrastructure Sensing, Inc. Thermal sensor device and method of assembly
US8263879B2 (en) 2009-11-06 2012-09-11 International Business Machines Corporation Axiocentric scrubbing land grid array contacts and methods for fabrication
WO2011094753A2 (en) 2010-02-01 2011-08-04 Stoneridge, Inc. Exhaust gas temperature sensor including strain relief and/or anti-vibration sleeve
KR101673520B1 (ko) 2010-03-04 2016-11-08 삼성전자 주식회사 반도체 모듈과 반도체 모듈용 소켓 및 이들의 결합 구조체
CN201667414U (zh) 2010-04-07 2010-12-08 富士康(昆山)电脑接插件有限公司 电连接器
JP2011220927A (ja) 2010-04-13 2011-11-04 Yamatake Corp 圧力センサ
US8129624B2 (en) 2010-05-27 2012-03-06 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor
US8758067B2 (en) 2010-06-03 2014-06-24 Hsio Technologies, Llc Selective metalization of electrical connector or socket housing
US8234927B2 (en) 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement
US8132464B2 (en) 2010-07-12 2012-03-13 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors
JP5134701B2 (ja) * 2010-07-20 2013-01-30 日本特殊陶業株式会社 温度センサ
WO2012080811A1 (ja) 2010-12-15 2012-06-21 パナソニック株式会社 半導体圧力センサ
US8171800B1 (en) 2011-01-25 2012-05-08 Continental Automotive Systems, Inc. Differential pressure sensor using dual backside absolute pressure sensing
US8523432B2 (en) 2011-02-04 2013-09-03 Honeywell International Inc. Thermally isolated temperature sensor
WO2012112222A1 (en) 2011-02-16 2012-08-23 Arizant Healthcare Inc. Zero-heat-flux temperature measurement devices with peripheral skin temperature measurement
US8919656B2 (en) 2011-06-02 2014-12-30 Key Systems, Inc. Memory button mount
US8792753B2 (en) 2011-06-30 2014-07-29 General Electric Company Method and system for a fiber optic sensor
GB201113807D0 (en) 2011-08-10 2011-09-21 Isis Innovation Determining torque in a shaft
DE102011085856A1 (de) 2011-11-07 2013-05-08 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur elektrischen Kontaktierung von Elektronikeinheiten
US8893562B2 (en) 2011-11-21 2014-11-25 Methode Electronics, Inc. System and method for detecting magnetic noise by applying a switching function to magnetic field sensing coils
US9846440B2 (en) 2011-12-15 2017-12-19 Honeywell International Inc. Valve controller configured to estimate fuel comsumption
JP2013159068A (ja) 2012-02-07 2013-08-19 Brother Industries Ltd 液滴吐出装置
JP5994286B2 (ja) 2012-02-28 2016-09-21 株式会社ジェイテクト トルク検出装置およびその製造方法
US8373430B1 (en) 2012-05-06 2013-02-12 Jerzy Roman Sochor Low inductance contact probe with conductively coupled plungers
US9846085B2 (en) 2012-07-25 2017-12-19 Nxstage Medical, Inc. Fluid property measurement devices, methods, and systems
US9021787B2 (en) 2012-09-05 2015-05-05 Mi Yan Fluid delivery apparatus with flow rate sensing means
US9379465B2 (en) 2012-09-14 2016-06-28 Nhk Spring Co., Ltd. Connection terminal having a press-fitting part inserted into a hollow part of a holding member
US9027409B2 (en) 2012-12-19 2015-05-12 Kulite Semiconductor Products, Inc. Matching back pressures on differential oil-filled diaphragms
TWI633289B (zh) 2013-03-13 2018-08-21 不二工機股份有限公司 壓力感測器
US9617928B2 (en) 2013-04-24 2017-04-11 Ford Global Technologies, Llc Automotive combination sensor
DE102013209060A1 (de) 2013-05-16 2014-11-20 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung eines Drucks und einer Temperatur eines in einem Kanal strömenden fluiden Mediums
US9052011B2 (en) 2013-05-24 2015-06-09 Cnh Industrial America Llc Torque sensor system
CN103454032A (zh) 2013-08-16 2013-12-18 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种带热敏电阻的压力敏感芯体
US9312610B2 (en) 2013-09-06 2016-04-12 Sensata Technologies, Inc. Stepped spring contact
JP6522624B2 (ja) 2013-09-06 2019-05-29 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド 絶対圧差圧圧力トランスデューサー
DE102014200093A1 (de) 2014-01-08 2015-07-09 Robert Bosch Gmbh Sensor zur Erfassung einer Temperatur und eines Drucks eines fluiden Mediums
FR3035500B1 (fr) 2015-04-21 2019-07-19 Controle Mesure Regulation (Cmr) Procede de realisation d'une sonde de temperature

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210121722A (ko) * 2020-03-31 2021-10-08 주식회사 유라테크 온도센서 및 온도센서 제조 방법
KR20210126980A (ko) * 2020-04-13 2021-10-21 주식회사 유라테크 온도센서 및 그 제조 방법

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