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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers
mit einer Flüssigkeit,
die dazu dient, einen auf eine Trennmembran einwirkenden Druck auf
einen im Druckmessaufnehmer befindlichen Drucksensor zu übertragen.
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Druckmessaufnehmer
werden in nahezu allen Industriezweigen zum Messen von Drücken eingesetzt.
Die gemessen Druckwerte werden z. B. zum Steuern, Regeln und/oder Überwachen
eines industriellen Herstellungs- und/oder Verarbeitungsprozesses
eingesetzt.
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In
der Druckmesstechnik werden gerne so genannte Halbleiter-Sensoren,
z. B. Silizium-Chips mit eindotierten Widerstandselementen, als
druckempfindliche Elemente eingesetzt. Üblicherweise weist ein solcher
Drucksensor einen membran-förmigen
Drucksensor-Chip auf, der in einer Druckmesskammer auf einem Grundkörper aufgebracht
ist. Drucksensoren sind in der Regel sehr empfindlich und werden
deshalb nicht direkt einem Medium ausgesetzt, dessen Druck aufgenommen
werden soll. Stattdessen ist ein mit einer Flüssigkeit gefüllter Druckmittler
mit einer äußeren Trennmembran
vorgeschaltet. Im Betrieb wird der zu messende Druck an die Trennmembran
angelegt und über
den Druckmittler in die Druckmesskammer übertragen. Das gilt sowohl
für die
Messung von absoluten Drücken,
als auch für
die Messung von Relativdrücken
und Differenzdrücken.
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Druckmessaufnehmer
sind für
den Einsatz in einem vorgegebenen Temperaturbereich ausgelegt, der
nach oben durch eine maximale und nach unten durch eine minimale
Einsatztemperatur begrenzt ist. Die minimale Einsatztemperatur kann
beispielsweise –40°C und die
maximale Einsatztemperatur +85°C betragen.
Innerhalb dieses Temperaturbereiches ist durch die Flüssigkeit
eine hydraulische Druckübertragung
eines auf die Trennmembran einwirkenden zu messenden Druckes auf
die Membran des Drucksensors zu gewährleisten.
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Die
Trennmembran und deren Membranbett umschließen eine Druckempfangskammer,
die im Betrieb mit der Flüssigkeit
gefüllt
ist. Das in der Druckempfangskammer befindliche Flüssigkeitsvolumen
wird in der Druckmesstechnik auch als Unterziehvolumen bezeichnet.
Es bildet ein Polster, das unter anderem die Aufgabe hat, auch bei
der minimalen Einsatztemperatur des Druckmessaufnehmers die hydraulische
Druckübertragung
zu gewährleisten.
Hierzu muss bei der minimalen Einsatztemperatur eine Mindestmenge
an Flüssigkeit
in der Druckempfangskammer vorhanden sein. Diese Mindestmenge ist
nachfolgend als Sicherheitsvolumen bezeichnet.
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Das
Volumen der im Druckmessaufnehmer befindlichen Flüssigkeit
steigt mit zunehmender Temperatur an. Je größer die insgesamt im Druckmessaufnehmer
befindliche Flüssigkeitsmenge
ist, um so größer ist
auch deren Volumenzunahme mit der Temperatur. Dieses zusätzliche
Volumen bewirkt einen nach außen
wirkenden Druck auf die Trennmembran.
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Wenn
diese Volumenzunahme eine aufnehmer-spezifische Obergrenze übersteigt,
kann dies zu einer Überdehnung
der Trennmembran und/oder zu einer irreversiblen Verformung derselben
führen. Dies
führt zu
bleibenden Veränderungen
der Druckübertragungseigenschaften
der Trennmembran und damit zu einer erhöhten Messungenauigkeit oder
sogar zu Messfehlern. Die Größe der zulässigen Volumenzunahme
wird als Steuervolumen der Trennmembran bezeichnet und hängt stark
von der Geometrie des Druckmessaufnehmers ab. Je kleiner ein Durchmesser
der Trennmembran ist, umso geringer ist das zur Verfügung stehende
Steuervolumen.
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Es
gilt daher, die im Druckmessaufnehmer befindliche Flüssigkeitsmenge
zu reduzieren, wobei gleichzeitig sichergestellt sein muss, dass
bei der minimalen Einsatztemperatur ein ausreichendes Sicherheitsvolumen
in der Druckempfangskammer vorhanden ist. Es gilt also beim Befüllen eine
optimal an die geometrischen Gegebenheiten des Druckmessaufnehmers
angepasste Volumenmenge der Flüssigkeit
in den Druckmessaufnehmer einzubringen.
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In
der Deutschen Patentschrift
DE-C1 197 44 208 ist ein Verfahren zur Befüllung eines
Druckmessaufnehmers mit einer Flüssigkeit
beschrieben. Der Druckmessaufnehmer weist einen Einfüllkanal
auf, in den ein über
einen Teil seiner Gesamtlänge
einen Längskanal
aufweisender Füllstift
soweit eingeführt wird,
dass eine noch offene Verbindung nach außen besteht. Der Druckmessaufnehmer
wird evakuiert und die unter Druck stehende Flüssigkeit unter Schwerkrafteinfluss über den
Längskanal
und den Einfüllkanal
eingebracht. Anschließend
wird zum Herstellen eines definierten Flüssigkeitsvolumens durch Einpressen
des Füllstifts über das
Ende des Längskanals
hinaus eine Ergänzungsmenge
an Flüssigkeit
eingefüllt.
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Um
zu gewährleisten,
dass immer ein ausreichendes Sicherheitsvolumen vorhanden ist, muss das
definierte Flüssigkeitsvolumen
so groß sein, dass
auch dann genügend
Flüssigkeit
vorhanden ist, wenn das Innenvolumen ein durch Toleranzen bei der Herstellung
bedingtes Maximum erreicht. Das bedeutet aber, dass immer dann,
wenn das Innenvolumen aufgrund von Toleranzen nicht das vorgenannte Maximum
erreicht, mehr Flüssigkeit
eingefüllt
wird, als unbedingt notwendig ist.
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Zusätzlich muss
der Druckmessaufnehmer bei diesem Verfahren eine Mindestgröße aufweisen, damit
ein ausreichendes Raumangebot zur Aufnahme des Füllstifts im Druckmessaufnehmer
vorhanden ist.
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In
der Deutschen Patentschrift
DD-A5
284 757 ist ein weiteres Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers
mit einer Flüssigkeit
beschrieben, bei dem der Druckmessaufnehmer zunächst evakuiert wird und mit
der Flüssigkeit
befüllt wird.
Anschließend
wird ein mit der Flüssigkeit
gefüllter
Vorratsbehälter
auf die Befüllöffnung geschraubt und
die Trennmembran einem Unterdruck ausgesetzt, durch den sie gegen
ein formgleiches Gegenlager gesaugt wird. Das Gegenlager ist dabei
so ausgebildet, dass unter Trennmembran ein vorgegebenes Volumen
eingeschlossen ist, wenn die Trennmembran am Gegenlager anliegt.
Bei dem Ansaugvorgang wird dieses vorgegebene Volumen aus dem Vorratsbehälter unter
die Trennmembran gezogen. Anschließend wird unter Aufrechterhaltung
des Unterdrucks der Vorratsbehälter
herausgeschraubt und die Befüllöffnung derart
verschlossen, dass das Innere des Druckmessaufnehmers nicht unter
Druck gesetzt wird.
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Es
ist eine Aufgabe der Erfindung ein Verfahren zur Befüllung eines
Druckmessaufnehmers anzugeben, bei dem eine optimal an die geometrischen Gegebenheiten
des Druckmessaufnehmers angepasste Volumenmenge in den Druckmessaufnehmer eingebracht
wird.
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Hierzu
besteht die Erfindung in einem Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers mit
einer Flüssigkeit,
die dazu dient, einen auf eine Trennmembran einwirkenden Druck auf
einen im Druckmessaufnehmer befindlichen Drucksensor zu übertragen,
bei dem
- – ein
Innenraum des Druckmessaufnehmers durch eine Befüllöffnung befüllt wird,
- – der
befüllte
Druckmessaufnehmer auf eine Verschlusstemperatur abgekühlt wird,
die unterhalb einer minimalen Einsatztemperatur des Druckmessaufnehmers
liegt,
- – ein Überdruck
an die Trennmembran angelegt wird, durch den die Trennmembran an
deren Membranbett angelegt wird, und
- – die
Befüllöffnung verschlossen
wird, während der Überdruck
an der Trennmembran anliegt und der Druckmessaufnehmer auf die Verschlusstemperatur
abgekühlt
ist.
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Gemäß einer
Weiterbildung des Verfahrens weist die Befüllöffnung endseitig eine Ausnehmung auf,
in die nach dem Befüllen
eine Kugel eingedrückt wird,
die die Ausnehmung über
deren Umfang abdichtet.
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Gemäß einer
anderen Weiterbildung des Verfahrens weist die Befüllöffnung endseitig
eine Ausnehmung mit einem Kugelbett auf, in das nach dem Befüllen eine
Kugel eingelegt wird. Die Befüllöffnung wird
verschlossen, indem die Kugel mittels einer Befestigung gegen das
Kugelbett gepresst wird.
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Die
Erfindung und weitere Vorteile werden nun anhand der Figuren der
Zeichnung, in denen zwei Ausführungsbeispiele
dargestellt sind, näher
erläutert;
gleiche Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen
versehen.
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1 zeigt
einen Schnitt durch einen Druckaufnehmer;
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2 zeigt
einen Schnitt durch einen Differenzdruckaufnehmer;
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3 zeigt
einen Schnitt durch eine mittels einer eingepressten Kugel verschlossene
Befüllöffnung;
und
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4 zeigt
einen Schnitt durch eine mittels einer Kugel und deren Befestigung
verschlossene Befüllöffnung.
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1 zeigt
einen Schnitt durch einen Druckmessaufnehmer. Er weist einen Drucksensor 1,
z. B. einen Halbleiter-Sensor auf. Hierzu eignen sich z. B. Silizium-Chips
mit eindotierten Widerstandselementen. Der Chip bildet eine Membran 3,
die auf einem Grundkörper 5 aufgebracht
ist. Der Grundkörper 5 befindet
sich auf einem metallischen Träger 7,
der in ein Gehäuse 9 derart
eingebaut, dass das Gehäuse 9 in
zwei Hälften
unterteilt ist. Eine erste Hälfte
bildet eine Druckmesskammer 11, in der sich die Membran 3 befindet.
Daran ist ein Druckmittler angeschlossen, über den ein zu messender Druck
p auf die Membran 3 übertragen
wird.
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Der
Druckmittler umfasst eine Trennmembran 13, die den Druckmessaufnehmer
frontbündig abschließt. Es ist
ein Membranbett 15 vorgesehen, dessen Form der Form der
Trennmembran 13 nachempfunden ist. Im Betrieb liegt der
zu messende Druck p an der Trennmembran 13 an. Die Trennmembran 13 und
deren Membranbett 15 bilden eine Druckempfangskammer 17,
die über
eine Druckübertragungsleitung 19 mit
der Druckmesskammer 11 in Verbindung steht. Der gesamte
Druckmittler, d. h. die Druckempfangskammer 17, die Druckübertragungsleitung 19 und
die Druckmesskammer 11 sind ist mit einer Flüssigkeit 21 gefüllt, die
dazu dient, einen auf die äußere Trennmembran 13 einwirkenden
zu messenden Druck p auf die Membran 3 des Drucksensors 1 zu übertragen.
Dies ist vorzugsweise eine inkompressible Flüssigkeit mit einem geringen
thermischen Ausdehnungskoeffizienten, z. B. ein Silikonöl.
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Eine
zweite Hälfte
des Gehäuses 9 ist
durch den Träger 7 völlig getrennt
von der ersten Hälfte
und eignet sich daher zur Aufnahme einer elektronischen Schaltung
zur Aufnahme und/oder Verarbeitung von vom Drucksensor 1 erzeugten
druckabhängigen elektrischen
Messgrößen. Hierzu
sind Kontaktstifte 23 vorgesehen, die durch Glasdurchführungen 25 durch
den Träger 7 hindurch
geführt
sind und mit Anschlussleitungen 27 an in dem Silizium-Chip
verlaufende Leitungen angeschlossen sind.
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Soll
der Druckmessaufnehmer als Relativdruckaufnehmer arbeiten, d. h.
soll er einen zu messenden Druck bezogen auf einen Referenzdruck
pR, z. B. einen in der Umgebung des Druckmessaufnehmers
herrschenden Atmosphärendruck,
erfassen, so ist zusätzlich
eine Referenzdruckzufuhr vorzusehen. In 1 ist dies
durch eine durch den metallischen Träger 7 und den Grundkörper 5 hindurch
führende Bohrung 29 realisiert.
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Der
Druckmessaufnehmer weist eine Befüllöffnung 31 auf, durch
die die Flüssigkeit 21 in
einen Innenraum des Druckmessaufnehmers eingebracht wird. Der zu
befüllende
Innenraum entspricht in dem dargestellten Ausführungsbeispiel dem Innenraum des
Druckmittlers und umfasst die Druckempfangskammer 17, die
Druckübertragungsleitung 19 und
die Druckmesskammer 11.
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Der
Innenraum wird durch die Befüllöffnung 31 befüllt. Heute
wird eine Vielzahl verschiedener Verfahren zum Befüllen eingesetzt,
die hier ebenfalls einsetzbar sind. Es kann beispielsweise der Druckmessaufnehmer
in eine trockene Wanne eingebracht werden, die zunächst evakuiert
und anschließend
mit der Flüssigkeit
geflutet wird. Der Druckmessaufnehmer befindet sich dadurch in einem
Flüssigkeitsbad. Wird
nachfolgend das Vakuum aufgehoben, so dringt die Flüssigkeit
in den Druckmessaufnehmer ein und füllt alle inneren Hohlräume desselben.
Die Befüllung kann
bei Raumtemperatur vorgenommen werden. Anschließend wird der Druckmessaufnehmer
in dem Bad auf eine Verschlusstemperatur abgekühlt, die unterhalb einer minimalen
Einsatztemperatur des Druckmessaufnehmers liegt. Hierzu wird die
Wanne beispielsweise in einen Tiefkühlschrank eingebracht.
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Anschließend wird
ein Überdruck
an die Trennmembran 13 angelegt, durch den die Trennmembran 13 an
deren Membranbett 15 angelegt wird.
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Abschließend wird
die Befüllöffnung 31 verschlossen,
während
der Überdruck
an der Trennmembran 13 anliegt und der Druckmessaufnehmer auf
die Verschlusstemperatur abgekühlt
ist.
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2 zeigt
ein weiteres Ausführungsbeispiel eines
Druckmessaufnehmers. Im Unterschied zu dem in 1 dargestellten
Druckmessaufnehmer, der dazu dient einen Druck p zu erfassen, dient
der in 2 dargestellte Druckmessaufnehmer zur Erfassung
eines Differenzdruckes, d. h. der Differenz zwischen einem ersten
Druck p1 und einem zweiten Druck p2. Entsprechend weist der in 2 dargestellte
Druckmessaufnehmer als Drucksensor einen Differenzdrucksensor 33 auf.
Als Sensorelement dient z. B. ein Siliziumchip vom Membrantyp, an
den eine erste und eine zweite Druckmesskammer 35, 37 angrenzen.
Ein in der ersten Druckmesskammer 35 herrschender Druck
liegt an einer Seite der Membran, ein in der zweiten Druckmesskammer 37 herrschender
Druck liegt an der gegenüberliegenden Seite
der Membran an. Die resultierende Durchbiegung der Membran ist ein
Maß für den auf
sie einwirkenden Differenzdruck. Als elektromechanische Wandler
dienen z. B. in die Membran integrierte zu einer Brückenschaltung
zusammengefasste piezoresistive Elemente, die ein differenzdruck-proportionales
Ausgangssignal erzeugen, zur Messwerterzeugung. Das Ausgangssignal
steht über
eine Leitung 39 zu einer weiteren Verarbeitung und/oder
Anzeige zur Verfügung.
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Die
Differenzdruckaufnahmeeinheit weist eine von einer ersten Trennmembran 41 abgeschlossene
erste Druckempfangskammer 43 und eine von einer zweiten
Trennmembran 45 abgeschlossene zweiten Druckempfangskammer 47 auf.
Im Betrieb liegt an der ersten Trennmembran 41 der erste
Druck p1 und an der zweiten Trennmembran 45 der zweite Druck
p2 an.
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Der
Druckmessaufnehmer weist zwei miteinander verbundene massive Blocks
auf zwischen denen eine Überlastmembran 49 eingespannt
ist. Zu beiden Seiten der Überlastmembran 49 weist
der jeweils benachbarte Block eine Ausnehmung auf. Die Überlastmembran
weist einen geschlossenen äußeren Rand
und einen geschlossenen inneren Rand auf und ist entlang deren äußerem und
deren innerem Rand fest eingespannt. Die Ausnehmungen bilden zusammen
mit der Überlastmembran 49 eine
erste und eine zweite Überlastkammer 51, 53.
Die erste Überlastkammer 51 ist über eine
erste Leitung 55 mit der ersten Druckempfangskammer 43 verbunden
ist. Eine zweite Leitung 57 bildet eine Verbindung zwischen
der ersten Überlastkammer 51 und
der ersten Druckmesskammer 35.
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Analog
ist die zweite Überlastkammer 53 mittels
einer dritte Leitung 59 mit der zweiten Druckempfangskammer 47 verbunden.
Eine vierte Leitung 61 bildet eine Verbindung zwischen
der zweiten Überlastkammer 53 und
der zweiten Druckmesskammer 37.
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Die
erste und die zweite Druckempfangskammer 43, 47,
die erste und die zweite Überlastkammer 51, 53,
die erste und die zweite Druckmesskammer 35, 37 sowie
die erste, die zweite, die dritte und die vierte Leitung 55, 57, 59, 61 sind
mit der Flüssigkeit 21 ausgefüllt.
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Die
Befüllung
des beschriebenen Differenzdruckmessaufnehmers erfolgt völlig analog
zu der Befüllung
des zuvor anhand von 1 beschriebenen Druckmessaufnehmers.
Da der Differenzdruckmessaufnehmer zwei völlig getrennte Druckmittler aufweist,
sind auch zwei Befüllöffnungen 31a, 31b vorgesehen.
Die erste Befüllöffnung 31a führt zu der ersten
Leitung 55, die zweite zur zweiten Leitung 59. Über die
erste Befüllöffnung 31a wird
die Flüssigkeit 21 in
die erste Druckempfangskammer 43, die erste Leitung 55,
die erste Überlastkammer 51,
die zweite Leitung 57 und die erste Druckmesskammer 35 eingebracht. Über die
zweite Befüllöffnung 31b wird
die Flüssigkeit 21 in
die zweite Druckempfangskammer 47, die dritte Leitung 56,
die zweite Überlastkammer 53,
die vierte Leitung 61 und die zweite Druckmesskammer 37 eingebracht.
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Erfindungsgemäß werden
die Innenräume durch
die Befüllöffnungen 31a, 31b befällt. Hierzu wird
der Druckmessaufnehmer wie bereits anhand des zuvor angeführten Ausführungsbeispiels
beschrieben in eine Wanne eingebracht, die dann evakuiert und geflutet
wird. Nachfolgend wird der befüllte Druckmessaufnehmer
auf die Verschlusstemperatur abgekühlt, die unterhalb einer minimalen
Einsatztemperatur des Druckmessaufnehmers liegt. Anschließend wird
ein Überdruck
an die Trennmembranen 41, 45 angelegt, durch den
die Trennmembranen 41, 45 an deren Membranbetten
angelegt werden.
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Abschließend werden
die Befüllöffnungen 31a, 31b verschlossen,
während
der Überdruck
an den Trennmembranen 41, 45 anliegt und der Druckmessaufnehmer
auf die Verschlusstemperatur abgekühlt ist.
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Vorzugsweise
erfolgt das Verschließen
auf eine Art und Weise, bei der kein zusätzliches Volumen der Flüssigkeit 21 in
die Befüllöffnung 31, 31a, 31b eingedrückt wird.
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Hierzu
wird vorzugsweise eine Kugel 63 verwendet. In 3 ist
ein erstes Ausführungsbeispiel einer
verschlossenen Befüllöffnung 31c dargestellt. Die
Befüllöffnung 31 weist
einen Befüllkanal 65 auf, der
in den Innenraum des Druckmessaufnehmers führt. An dessen vom Innenraum
abgewandten Ende grenzt an den Befüllkanal 65 eine Ausnehmung 67 an,
deren Durchmesser größer als
der des Befüllkanals 65 ist.
In diese Ausnehmung 67 wird nach dem Befüllen die
Kugel 63 eingedrückt.
Die Durchmesser der Kugel 63 und der Ausnehmung 67 sind
dabei so bemessen, dass die Kugel 63 die Ausnehmung 65 und
damit die Befüllöffnung 31 über deren
Umfang abdichtet.
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Alternativ
kann die Kugel 63 mittels einer Befestigung 69 gegen
ein Kugelbett 71 gepresst werden. Dies ist in 4 dargestellt.
Die dort gezeigte Befüllöffnung 31d weist
ebenfalls einen Befüllkanal 65 auf,
der in einer Ausnehmung 73 mit geringfügig größerem Durchmesser mündet. Die
Ausnehmung 73 ist kanalseitig als Kugelbett 71 ausgebildet,
in das die Kugel 63 eingelegt ist. Auf deren kanal-abgewandten
Seite grenzt an die Ausnehmung 73 eine endseitig offene
Bohrung 75 an, die der Aufnahme der Befestigung 69 dient.
In dem dargestellten Ausführungsbeispiel
ist die Bohrung 75 eine Gewindebohrung und die Befestigung 69 eine
Schraube, beispielsweise eine Madenschraube mit einem Innensechskant
oder eine Hohlschraube. Die Befestigung 69 wird in die
Bohrung 75 eingeschraubt. Hierdurch wird die Kugel 63 gegen
das Kugelbett 71 gepresst und verschließt hierdurch den Befüllkanal 65 und
damit die Befüllöffnung 31d.
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Durch
das erfindungsgemäße Verfahren zum
Befüllen
der Druckmessaufnehmer ist gewährleistet,
dass sich bei der minimalen Einsatztemperatur nur das wirklich notwendige
Volumen unter den Trennmembranen 13, 41, 45 befindet.
Fertigungsbedingte Toleranzen der zu befüllenden Hohlräume werden
automatisch berücksichtigt.
Besteht aufgrund von Toleranzen nur ein geringes Innenvolumen im Druckmessaufnehmer,
so ist auch der Volumenzuwachs, der bei der Erwärmung von der Verschlusstemperatur
auf die minimale Einsatztemperatur auftritt gering. Ist das Volumen
größer, so
ist auch der Volumenzuwachs entsprechend größer, so dass automatisch ein
ausreichend großes
Sicherheitsvolumen vorhanden ist.
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Zusätzlich können mit
dem erfindungsgemäßen Verfahren
durch den verwendeten Drucksensor bedingte Veränderungen des Innenvolumens über den
gesamten Messbereich berücksichtigt
werden. Diese entstehen z. B., wenn die Membran des Drucksensors
unter Druckeinwirkung ausgelenkt wird und hierdurch ein Volumenhub
entsteht, der das Innenvolumen des Druckmessaufnehmers vergrößert. Bei Drucksensoren,
die nur einen vernachlässigbar
geringen Volumenhub über
den gesamten Messbereich erfahren, wie z. B. die eingangs beschriebenen
Silizium-Chips, genügt
es, wenn die Verschlusstemperatur beispielsweise ca. 10°C unterhalb
der minimalen Einsatztemperatur liegt. Werden dagegen Drucksensoren
eingesetzt, die über
den Messbereich einen deutlichen Volumenhub ausführen, z. B. auf eine Messingmembran
aufgebrachte Dünnfilm-Elemente oder
Sensoren mit Federelementen, so wird durch eine weitere Absenkung
der Verschlusstemperatur das Sicherheitsvolumen soweit vergrößert, dass
trotz dieses zusätzlichen
Volumenhubs eine ausreichende Flüssigkeitsmenge
eingefüllt
wird.
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Durch
das erfindungsgemäß realisierte
Minimalvolumen der Flüssigkeit 21 steht
das gesamte Steuervolumen der Trennmembranen 13, 41, 43 im Bereich
der maximalen Einsatztemperatur zur Verfügung. Dies bietet den Vorteil,
dass mechanische Beanspruchungen, wie z. B. Spannungen und Dehnungen,
insb. der Trennmembranen 13, 41, 43 und
der Membranen der Drucksensoren 3, 33, bei hohen Temperaturen
deutlich geringer sind. Dies führt
zu einer Verringerung einer Temperaturhysterese der Drucksensoren 3, 33 und
damit zu einer Verbesserung der erzielbaren Messgenauigkeit. Durch
das erfindungsgemäße Verfahren
wird es möglich,
Druckmessaufnehmer mit geringeren Trennmembrandurchmessern auszustatten.
Ebenso ist es durch die erhöhte
erzielbare Messgenauigkeit möglich
geringere Drücke
bzw. Druckdifferenzen zu erfassen.
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Ein
weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass für die Befüllung lediglich
ein sehr geringer Raumbedarf besteht. Es muss nur ausreichend Platz für die die
Befüllöffnung 31 und
deren Verschluss vorhanden sein, nicht jedoch für zusätzliche Bauteile. Erfindungsgemäß befüllte Druckmessaufnehmer können somit
sehr klein ausgebildet sein.