DE102004048367A8 - Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers - Google Patents

Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers Download PDF

Info

Publication number
DE102004048367A8
DE102004048367A8 DE102004048367A DE102004048367A DE102004048367A8 DE 102004048367 A8 DE102004048367 A8 DE 102004048367A8 DE 102004048367 A DE102004048367 A DE 102004048367A DE 102004048367 A DE102004048367 A DE 102004048367A DE 102004048367 A8 DE102004048367 A8 DE 102004048367A8
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
filling
pressure measuring
measuring transducer
transducer
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE102004048367A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102004048367B4 (de
DE102004048367A1 (de
Inventor
Wolfgang Dannhauer
Harri Notacker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Endress and Hauser SE and Co KG
Original Assignee
Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress and Hauser SE and Co KG filed Critical Endress and Hauser SE and Co KG
Priority to DE102004048367A priority Critical patent/DE102004048367B4/de
Publication of DE102004048367A1 publication Critical patent/DE102004048367A1/de
Publication of DE102004048367A8 publication Critical patent/DE102004048367A8/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102004048367B4 publication Critical patent/DE102004048367B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
DE102004048367A 2004-10-01 2004-10-01 Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers Expired - Fee Related DE102004048367B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004048367A DE102004048367B4 (de) 2004-10-01 2004-10-01 Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004048367A DE102004048367B4 (de) 2004-10-01 2004-10-01 Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE102004048367A1 DE102004048367A1 (de) 2006-04-06
DE102004048367A8 true DE102004048367A8 (de) 2007-04-19
DE102004048367B4 DE102004048367B4 (de) 2010-10-28

Family

ID=36062204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102004048367A Expired - Fee Related DE102004048367B4 (de) 2004-10-01 2004-10-01 Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102004048367B4 (de)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006057829A1 (de) * 2006-12-06 2008-06-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdruckaufnehmer
DE102006057828A1 (de) * 2006-12-06 2008-06-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdruckmeßaufnehmer
DE102008043175A1 (de) * 2008-10-24 2010-04-29 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Relativdrucksensor
CN104024817B (zh) * 2011-12-28 2016-09-07 Posco公司 传感器设备及包括其的冷却设备的性能评估装置
DE102012110771A1 (de) * 2012-11-09 2014-05-15 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Befülleinrichtung und Verfahren zum Befüllen von Druckmittlern
US9915577B2 (en) * 2014-12-02 2018-03-13 Sensata Technologies, Inc. Case isolated oil filled MEMS pressure sensor
DE102014119432A1 (de) * 2014-12-22 2016-06-23 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Befüllen eines Druckmittlers
EP3112830B1 (de) 2015-07-01 2018-08-22 Sensata Technologies, Inc. Temperatursensor und verfahren zur herstellung eines temperatursensors
US9638559B1 (en) 2016-02-10 2017-05-02 Sensata Technologies Inc. System, devices and methods for measuring differential and absolute pressure utilizing two MEMS sense elements
CN107290099B (zh) 2016-04-11 2021-06-08 森萨塔科技公司 压力传感器、用于压力传感器的插塞件和制造插塞件的方法
EP3236226B1 (de) 2016-04-20 2019-07-24 Sensata Technologies, Inc. Verfahren zur herstellung eines drucksensors
US10428716B2 (en) 2016-12-20 2019-10-01 Sensata Technologies, Inc. High-temperature exhaust sensor
US10545064B2 (en) 2017-05-04 2020-01-28 Sensata Technologies, Inc. Integrated pressure and temperature sensor
US10502641B2 (en) 2017-05-18 2019-12-10 Sensata Technologies, Inc. Floating conductor housing
US10323998B2 (en) 2017-06-30 2019-06-18 Sensata Technologies, Inc. Fluid pressure sensor
US10724907B2 (en) 2017-07-12 2020-07-28 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response
US10557770B2 (en) 2017-09-14 2020-02-11 Sensata Technologies, Inc. Pressure sensor with improved strain gauge
DE102017127138A1 (de) 2017-11-17 2019-05-23 Endress+Hauser SE+Co. KG Druckmessaufnehmer

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4928376A (en) * 1989-07-31 1990-05-29 Motorola Inc. Method for filling a cavity, such as a sensor cavity, with an incompressible fluid
DD284757A5 (de) * 1989-06-02 1990-11-21 Veb Geraete- Und Regler-Werke Teltow,Dd Verfahren zum fuellen einer kammer mit einem definierten fluessigkeitsvolumen
DE4032955A1 (de) * 1990-10-17 1992-04-23 Otmar Greisinger Elektrischer drucksensor sowie verfahren zu dessen herstellung
US5625151A (en) * 1994-12-27 1997-04-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Silicone oil-filled semiconductor pressure sensor
DE19744208C1 (de) * 1997-09-30 1998-12-03 Siemens Ag Verfahren zum Befüllen einer Meßkammer eines Druck- oder Druckdifferenz-Meßumformers mit einer Druckübertragungsflüssigkeit und Druck- oder Druckdifferenz-Meßumformer
US5999082A (en) * 1998-03-25 1999-12-07 Kulite Semiconductor Products, Inc. Compensated oil-filled pressure transducers
DE10252247A1 (de) * 2002-11-07 2004-05-27 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zum Befüllen von hydraulischen Druckmesswerken

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD284757A5 (de) * 1989-06-02 1990-11-21 Veb Geraete- Und Regler-Werke Teltow,Dd Verfahren zum fuellen einer kammer mit einem definierten fluessigkeitsvolumen
US4928376A (en) * 1989-07-31 1990-05-29 Motorola Inc. Method for filling a cavity, such as a sensor cavity, with an incompressible fluid
DE4032955A1 (de) * 1990-10-17 1992-04-23 Otmar Greisinger Elektrischer drucksensor sowie verfahren zu dessen herstellung
US5625151A (en) * 1994-12-27 1997-04-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Silicone oil-filled semiconductor pressure sensor
DE19744208C1 (de) * 1997-09-30 1998-12-03 Siemens Ag Verfahren zum Befüllen einer Meßkammer eines Druck- oder Druckdifferenz-Meßumformers mit einer Druckübertragungsflüssigkeit und Druck- oder Druckdifferenz-Meßumformer
US5999082A (en) * 1998-03-25 1999-12-07 Kulite Semiconductor Products, Inc. Compensated oil-filled pressure transducers
DE10252247A1 (de) * 2002-11-07 2004-05-27 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zum Befüllen von hydraulischen Druckmesswerken

Also Published As

Publication number Publication date
DE102004048367B4 (de) 2010-10-28
DE102004048367A1 (de) 2006-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102004048367A8 (de) Verfahren zur Befüllung eines Druckmessaufnehmers
DE602005015060D1 (de) Verfahren zur Abdichtung eines Anschlusses
AT505197A3 (de) Verfahren zur aktivierung eines photosensibilisators
DE50205041D1 (de) Verfahren zur Erfassung eines Differenzdruckes
DE502005002357D1 (de) Verfahren zur Bestimmung der Rechtwinkligkeit zwischen den Achsen eines 3D-Koordinatenmessgerätes
DE602005021088D1 (de) Verfahren zur herstellung eines quartz-sensorsystems
DE602005023930D1 (de) Verfahren zur Anzeige der Klassifizierung eines Kommunikationsflusses
DE502007002942D1 (de) Verfahren zur herstellung eines einteiligen kolbens
DE602008000073D1 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines Gassensors
DE502007002925D1 (de) Verfahren zum herstellen einer fluiddruckmesseinheit und komponente zum einsatz in einer fluiddruckmesseinheit
DE602006019217D1 (de) Verfahren zum messen eines strahlwinkels
DE502004012091D1 (de) Verfahren zur ermittlung des innendrucks eines fahrzeugreifens
DE602007012868D1 (de) Verfahren zur erhaltung eines konstanten schleifprozesses
DE602005001999D1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung eines Fahrzeugaufpralls
DE50301175D1 (de) Verfahren zur Beladung eines Verladezuges
DE50214305D1 (de) Verfahren zur überprüfung der funktionsfähigkeit eines drucksensors
DE502005007931D1 (de) Verfahren zum adaptieren eines messwertes eines luftmassensensors
DE502005002725D1 (de) Verfahren zum erkennen eines sensortyps
DE502004009755D1 (de) Verfahren zum Betreiben eines Radarsensors
DE102004044717B8 (de) Verfahren und Kit zur Kalibrierung eines Photolumineszenzmesssystems
DE502006003718D1 (de) Verfahren zur bestimmung der masse eines fahrzeugs
DE602005015400D1 (de) Verfahren zur Feststellung eines Überrollens des Fahrzeugs
DE112007002183A5 (de) Verfahren zur Bewertung der Funktionsfähigkeit eines Sensorsystems
DE602005010182D1 (de) Verfahren zur Beendigung eines kontinuierlichen Polymerisationsprozesses
DE602006015751D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Beendigung eines Gangwechsels

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
ON Later submitted papers
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8181 Inventor (new situation)

Inventor name: DANNHAUER, WOLFGANG, 14513 TELTOW, DE

Inventor name: NOTACKER, HARRI, 14548 SCHWIELOWSEE, DE

OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
ON Later submitted papers
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee