KR20160070695A - 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지 - Google Patents

불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지 Download PDF

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Abstract

[과제] 높은 자기 실드 효과를 가지는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지를 제공.
[해결수단] 연자성 재료로 이루어지는 지지판(12)과, 지지판 상에 형성된 제1의 절연 재료층(13)과, 제1의 절연 재료층 상에 소자 회로면과 반대측의 면이 고착된 불휘발성 자기 메모리 소자(11)와, 불휘발성 자기 메모리 소자 및 그 주변을 밀봉하는 제2의 절연 재료층(14)과, 제2의 절연 재료층 내에 형성된 배선층(15)과, 제2의 절연 재료층 내에 형성된 연자성 재료로 이루어지는 연자성체층(15b 또는 25)과, 제2의 절연 재료층 내에 설치되어 불휘발성 자기 메모리 소자의 소자 회로면의 전극과 배선층을 접속하는 도전부(16)와, 불휘발성 자기 메모리 소자 측면에서 간격을 두고 불휘발성 자기 메모리 소자 측면의 일부 또는 전부를 둘러싸도록 벽 형상으로 배치된 연자성 재료를 포함하는 자기 실드 부재(17)를 포함하며, 연자성체층과 상기 자기 실드 부재는 자기적으로 접속되어 있는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.

Description

불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지{MAGNETIC SHIELDING PACKAGE OF NON-VOLATILE MAGNETIC MEMORY ELEMENT}
본 발명은 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지에 관한 것이며, 특히 불휘발성 자기 메모리 소자에 대한 외부 자계의 영향을 억제하기 위한 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지에 관한 것이다.
자성체를 이용한 메모리인 MRAM(Magnetoresistive　Random　Access　Memory)은, 외부로부터의 전력 공급 없이 기억을 유지할 수 있는 불휘발성 메모리이기 때문에, 대기 전력을 필요로 하지 않고, 무한한 고쳐쓰기 내성이나 고속성을 가지며, 저소비 전력·대용량화가 기대되는 메모리이다.
그렇지만, MRAM의 기본 소자가 자성체의 자발 자화의 방향으로 정보를 기억하고 있기 때문에, MRAM 소자의 반전 자계 강도인 10∼50[Oe] 정도의 외부 자계가 조사되면 기억 정보가 지워지거나, 고쳐쓸 수 있거나 할 가능성이 있다.
통상, MRAM 소자가 실장되는 것은 전자기기 내부의 기판상이다. 그리고, 기판상에는 MRAM 소자 외에, 반도체소자, 통신용 소자, 초소형 모터 등이 조밀하게 실장되어 있다. 또, 전자기기 내부에도 전원이나 안테나 소자 등이 실장되어 있다. 그 때문에, MRAM 소자의 주위에는 100∼300[Oe] 정도의 비교적 저주파의 자계가 존재하기 때문에, MRAM 실용화에는 자계 차단 실드가 필요하다.
종래, 자계 차단 실드를 구비한 자기 불휘발성 메모리 소자(또는 불휘발성 자기 메모리 소자)가 제안되어 있다(특허 문헌 1∼4).
특허 문헌 1에 기재된 자기 불휘발성 메모리 소자의 구조를 도 13에 나타낸다. 도 13에 있어서, 자기 실드 패키지(10a) 내에, MRAM 소자(11)가, 와이어(12)로 리드 프레임(13)에 선이 연결되어 있고, MRAM 소자(11)의 주위는 연자성 재료를 포함한 밀봉 수지(14)에 의하여 밀봉되어 있다. 이 자기 실드 패키지(10a)는, 리드 프레임(13)으로부터 연장하는 리드로 기판(20)에 접속되어 있다.
특허 문헌 2에 기재된 자기 불휘발성 메모리 소자의 구조를 도 14에 나타낸다.
자기 불휘발성 메모리 소자(11)는 와이어(12)로 리드 프레임(13)에 선이 연결되어 있다. 그리고, MRAM 소자(11)는, 그 주위 전체가 연자성 금속 또는 연자성 합금으로 이루어지는 연자성 재료를 이용하여 형성된 성형체끼리를 접착하여 이루어지는 자기적으로 연속한 자기 실드 부재(14)로 둘러싸여, 자기적으로 밀폐 상태로 배치되어 있다. 이 자기 실드 구조는, MRAM칩을 투자율이 낮은 재료(공기)로 덮고, 그 외주를 투자율이 높은 연자성체 재료로 덮는 구조이다. 이 경우, 정자계(static magnetic field)·저주파 자장은 투자율이 높은 연자성 재료를 통과하고, MRAM칩과 연자성 재료의 사이에 있는 투자율이 낮은 재료가 MRAM측에의 자속의 진입을 막기 때문에, MRAM칩에 대하여 보다 높은 실드 효과를 얻을 수 있다.
특허 문헌 3에 개시된 자성체 장치는, 그 제조가 용이하고, 또한 자기 실드 성능의 향상을 목적으로 제공된 것으로서, 상기 자성체 장치는 자성체 소자와, 개구부를 가지는 자기 실드를 구비하며, 상기 자기 실드는, 실드 영역에 있어서 서로 오버랩하는 상부 및 하부와, 상기 상부와 하부 사이를 물리적으로 접속하는 측부를 구비하고, 상기 자성체 소자는, 상기 실드 영역으로부터 비죽 나오는 일 없이 상기 상부와 상기 하부 사이에 배치되어 있다.
특허 문헌 4에는, 외부 자계의 영향을 억제하기 위한 자기 실드 구조를 구비한 자기 불휘발성 메모리 소자(MRAM 소자)를 개시하고 있다. 이 MRAM 소자는, 소자 표면에, 연자성 금속을 이용하여 형성되어 소자 내부로의 자속의 침입을 억제하는 자기 실드층을 가짐으로써, 소자 내부로의 자속의 침입이 억제된다. 또한, 자기 실드층의 형성에 연자성 금속을 이용함으로써, 페라이트 등의 연자성 금속산화물을 이용한 경우에 비하여 고투자율의 자기 실드층을 얻을 수 있음이 기재되어 있다. 한편, 도 13, 도 14에 있어서, 참조 번호는 특허 문헌 1, 특허 문헌 2와 동일하게 나타나 있다.
일본특허 제 3879566호 공보 일본 특허 제 3879576호 공보 국제 공개 제2011/111789호 일본 공개특허공보 2004-047656호
또, 특허 문헌 1에 기재된 자기 실드 구조에서는 자성체와 MRAM칩이 접촉하고 있어, 고주파 자계에 대해서는 효과가 있다고 생각되지만, 정자계·저주파자계에 대해서는 자속을 자성체 영역에 집중시키기 때문에, MRAM에 도달하는 자계를 늘릴 위험성이 있다.
특허 문헌 2에 기재된 자기 실드 구조는, 실드 재료로서 퍼멀로이 등의 투자율이 높은 금속·합금으로 이루어지는 연자성 재료를 사용하기 때문에, 자성체 필러 함유 수지나 페라이트 등의 절연성 연자성 재료를 이용하는 경우에 비해 큰 자기 실드 효과를 기대할 수 있다. 이 구조에 있어서는 연자성 금속 재료에 의한 MRAM칩의 전방위 실드가 바람직하지만, 금속으로 둘러싸기 때문에, 배선의 인출 쪽을 고려할 필요가 있다.
본 발명은, 제작이 용이하고 높은 자기 실드 효과를 가지는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자들은, 예의 검토를 행한 결과, 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지를, 연자성 재료로 이루어지는 지지판 상에 제1의 절연 재료층을 사이에 두고 불휘발성 자기 메모리 소자가 배치되며, 또, 이 불휘발성 자기 메모리 소자 및 그 주변이 제2의 절연 재료층에 의하여 밀봉되어 있고, 불휘발성 자기 메모리 소자의 측면 측의 제2의 절연 재료층에는 불휘발성 자기 메모리 소자 측면의 일부 또는 전부를 둘러싸는 도랑 형상(channel shape)의 개구가 형성되며, 상기 개구 내에 연자성 재료를 포함하는 도전부가 형성되어 있으며, 제2의 절연 재료층 상에 배선층이 형성되어 있는 구조로 함으로써, 상기한 과제를 해결할 수 있는 것을 찾아내어 본 발명을 완성시켰다.
즉, 본 발명은 이하에 기재한 바와 같이 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지에 관한 것이다.
(1) 불휘발성 자기 메모리 소자에 대한 외부 자계의 영향을 억제하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지로서,
연자성 재료로 이루어지는 지지판과,
상기 지지판 상에 형성된 제1의 절연 재료층과,
상기 제1의 절연 재료층 상에 소자 회로면과 반대측의 면이 고착된 불휘발성 자기 메모리 소자와,
상기 불휘발성 자기 메모리 소자 및 그 주변을 밀봉하는 제2의 절연 재료층과,
상기 제2의 절연 재료층 내에 형성된 배선층과,
상기 제2의 절연 재료층 내에 형성된 연자성 재료로 이루어지는 연자성체층과,
상기 제2의 절연 재료층 내에 설치되며, 상기 불휘발성 자기 메모리 소자의 소자 회로면의 전극과 상기 배선층을 접속하는 도전부와,
상기 불휘발성 자기 메모리 소자 측면에서 간격을 두고 상기 불휘발성 자기 메모리 소자 측면의 일부 또는 전부를 둘러싸도록 벽 형상으로 배치된 연자성 재료를 포함하는 자기 실드 부재를 포함하고,
상기 연자성체층과 상기 자기 실드 부재는 자기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
(2) 상기 배선층은, 전도성 재료로 이루어지는 도전체층과 연자성 재료롤 이루어지는 상기 연자성체층으로 이루어지는 2층 적층 구조를 가지는 것을 특징으로 하는, 상기 (1)에 기재된 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
(3) 상기 자기 실드 부재는 도전성 재료로 이루어지는 도전체층과 연자성 재료로 이루어지는 연자성체층으로 이루어지는 2층 구조를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는, 상기 (1) 또는 (2)에 기재된 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
(4) 상기 연자성체층은, 상기 불휘발성 자기 메모리 소자와 상기 배선층과의 사이의 상기 제2의 절연 재료층 내에 형성되어 있고, 상기 불휘발성 자기 메모리 소자의 소자 회로면의 전극에 대응하는 부분에 개구를 가지고 있으며, 상기 개구에 상기 도전부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 상기 (1)에 기재된 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
(5) 상기 벽 형상으로 배치된 연자성 재료는 상기 지지판과 일체적으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 상기 (1)∼(4) 중 어느 하나에 기재된 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
(6) 상기 지지판이 평판에 캐비티를 마련한 것이며, 상기 캐비티를 형성하는 주위의 부재가 상기 벽 형상으로 배치된 연자성 재료를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는, 상기 (5)에 기재된 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
(7) 상기 제2의 절연 재료층 내에 형성된 배선층의 재료가 도전성의 연자성 재료이며, 상기 배선층이 상기 연자성체층을 겸하는 것을 특징으로 하는, 상기 (1)에 기재된 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
본 발명의 자기 실드 패키지는 이하에 기재하는 바와 같은 효과를 가져 올 수 있다.
■ 불휘발성 자기 메모리 소자는 배선의 절연을 겸용하는 비교적 저투자율의 절연 수지 재료로 덮여지고, 또한 외주를 고투자율 재료로 덮어서, 불휘발성 자기 메모리 소자와 고투자율 재료 사이에는 비교적 저투자율의 재료가 존재하기 때문에, 고투자율 재료 내에 집중되는 자속이 불휘발성 자기 메모리까지 도달하는 것이 상당히 방지된다. 이 때문에, 정자계/저주파 자계의 메모리 소자에의 진입을 억제하는 실드 효과를 얻을 수 있다.
■ 불휘발성 자기 메모리 소자를 둘러싸는 각 연자성 재료는, 절연 재료에 의해 적당히 절연된 구조를 가지고 있고, 절연성의 연자성 재료보다 높은 투자율을 가질 수 있는 연자성 금속 재료를 사용할 수 있기 때문에, 실드 효과의 향상이 도모된다.
■ 반도체 장치의 강성 유지에 필요한 지지판에 연자성 재료를 이용하여 하부 실드와 겸용하고, 상부의 실드는 배선층과 동시에 형성하든지, 또는 배선층 내에 형성되어 있기 때문에, 여분의 공정이 증가하지 않아 저비용을 실현할 수 있다.
도 1은, 실시형태 1의 자기 실드 패키지의 구조예를 나타내는 도면이다.
도 2A~ 도 2C는, 실시형태 1의 자기 실드 패키지의 제조 공정의 일부를 나타내는 도면이다.
도 3A~ 도 3C는, 실시형태 1의 자기 실드 패키지의 제조 공정의 일부를 나타내는 도면이다.
도 4는, 대면적의 지지판(12) 상에 다수의 MRAM(11)이 배열되어 고착되어 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는, 도 3B 상태의 자기 실드 패키지의 상면도이며, 배선 도금 전의 절연 재료층의 개구 위치의 예를 나타내는 도면이다.
도 6은, 도 3B 상태의 자기 실드 패키지의 상면도이며, 배선 도금 전의 절연 재료층의 개구 위치의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 7은, 실시형태 2의 자기 실드 패키지의 구조예를 나타내는 도면이다.
도 8A~ 도 8D는, 실시형태 2의 자기 실드 패키지의 제조 공정을 나타내는 도면이다.
도 9는, 실시형태 3의 자기 실드 패키지의 구조예를 나타내는 도면이다.
도 10A~ 도 10D는, 실시형태 3의 자기 실드 패키지의 제조 공정의 일부를 나타내는 도면이다.
도 11A~ 도 11D는, 실시형태 3의 자기 실드 패키지의 제조 공정의 일부를 나타내는 도면이다.
도 12는, 실시형태 4의 자기 실드 패키지의 구조예를 나타내는 도면이다.
도 13은, 종래의 자기 실드 패키지를 나타내는 도면이다.
도 14는, 종래의 자기 실드 패키지를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 설명한다. 한편, 이하의 기재에서는 실시형태를 도면에 기초하여 설명하지만, 그들 도면은 도해를 위해서 제공되는 것이며, 본 발명은 그들 도면에 나타낸 것으로 한정되는 것은 아니다.
(실시형태 1)
도 1에 실시형태 1의 자기 실드 패키지의 구조를 나타낸다.
도 1은 본 발명에 관련되는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지(이하에서는 단순히 「자기 실드 패키지」라고도 한다.)의 종단면도이다.
도 1에 나타낸 자기 실드 패키지(10)는, 전극(18)을 구비한 불휘발성 자기 메모리 소자(11), 연자성 재료로 이루어지는 지지판(12), 제1의 절연 재료층(13), 제2의 절연 재료층(14), 배선층(15), 도전부(16) 및 자기 실드 부재(17)를 구비하고 있다.
불휘발성 자기 메모리 소자(11)는 지지판(12) 상에 형성된 제1의 절연 재료층(13) 상에 고착되어 있다. 불휘발성 자기 메모리 소자(11) 및 그 주변은 제2의 절연 재료층(14)에 의하여 밀봉되어 있다. 배선층(15)은 Cu 등의 도전성이 높은 재료로 이루어지는 도전체층(15a)과, 연자성 재료로 이루어지는 연자성체층(15b)으로 이루어지는 적층 구조를 가지고 있다.
자기 실드 부재(17)는 도전성이 높은 재료로 이루어지는 도전체층(17a)과 연자성체층(17b)의 적층 구조를 가지고 있다.
연자성 재료는 보자력이 작고 투자율이 큰 것을 특징으로 하는 재료이다. 도전성을 가지는 연자성 재료로서는, Fe, Co, Ni 등의 연자성 금속이나 FeNi, FeCo, FeAl, FeSi, FeSiAl, FeSiB, CoSiB 등의 연자성 합금을 들 수 있다. 또, 절연성의 연자성 재료로서는, NiZn 페라이트, MnZn 페라이트, MgMn 페라이트, NiZnCu 페라이트, NiZnCo 페라이트 등을 들 수 있다.
지지판(12)에 이용하는 연자성 재료로서는 시판의 퍼멀로이판 등을 이용할 수 있다. 지지판(12)의 두께는, 자기 실드 패키지(10)의 제조 공정 중에 있어서의 휨 등을 막기 위해 강성을 가질 필요가 있기 때문에, 200㎛ 정도 이상의 두께를 가지는 것이 바람직하다.
제1의 절연 재료층(13)으로서는 다이 부착 필름(Die Attach Film, DAF)을 이용할 수 있다.
불휘발성 자기 메모리 소자(이하에서는 「MRAM」이라고도 한다)는 이 다이 부착 필름을 이용함으로써 지지판(12) 상에 마운트할 수 있다.
MRAM(11)의 측면 및 상면을 덮는 제2의 절연 재료층(14)을 형성하는 재료는 휨 방지를 위해, 저팽창율, 도금액에 대한 약품 내성 및 실장시의 땜납 리플로우 내열성 등을 구비할 필요가 있다.
이러한 재료로서는 Fan-Out 패키지칩 매립용의 에폭시·하이브리드재나, 진공 라미네이션용의 실리콘·하이브리드재로 이루어지는 필름 몰드재 등을 사용할 수 있다.
배선층(15)을 도전체층(15a)과 연자성체층(15b)의 2층 구조로 하는 이유는 이하와 같다.
자기 실드의 성능을 높이는 관점으로는, 배선층(15)은 연자성 재료로 구성하는 것이 바람직하다. 그렇지만, 퍼멀로이 등의 연자성 재료는 고저항이기 때문에, 배선층(15)의 저항값을 작게 하기 위해서 도전체층(15a)과 연자성체층(15b)의 2층 구조로 한다.
도 1에 나타낸 것은, 배선층(15)을 2층 구조로 하기 위해서 구체적으로는 도금법을 채용하고 있으므로, 후술하는 바와 같이 제조 공정상, 자기 실드 부재(17)도 도전성이 높은 재료로 이루어지는 도전체층(17a)과 그 외측의 연자성체층(17b)의 적층구조를 가지고 있다.
한편, 배선층(15)이 높은 저항값의 것이라도 제품상 문제가 없으면 배선층(15)을 연자성 재료만으로 구성할 수 있다. 배선층(15)을 연자성 재료만으로 구성하는 실시형태에 대해서는 실시형태 4로서 후술한다.
＜제조방법＞
도 1에 나타낸 자기 실드 패키지의 제조방법을 도 2A~ 도 2C 및 도 3A~ 도 3C에 기초하여 공정순으로 설명한다.
■ 소자 회로면에 전극(18)을 가지는 MRAM(11)과 연자성 재료로 이루어지는 지지판(12)을 준비한다. MRAM(11)의 소자 회로면과 반대측의 면에 제1의 절연 재료층(13)을 형성한다. 제1의 절연 재료층으로서는 다이 부착 필름을 이용한다(도 2A).
■ 지지판(12)의 표면에 MRAM(11)을 고착시킨다(도 2B).
■ MRAM(11) 및 그 주변(소자 회로면 및 지지판면)을 제2의 절연 재료층(14)에 의하여 밀봉한다(도 2C).
■ 밀봉 수지(14)에 대하여, MRAM(11)의 전극(18)의 위치에 맞추어 도전부(비어부)를 형성하기 위한 개구(21)를 형성한다(도 3A).
또, MRAM(11)의 측면에서 간격을 두고 MRAM의 측면의 일부 또는 전부를 둘러싸도록 홈(22)을 형성한다.
개구(21), 및 홈(22)은 레이저 가공에 의하여 형성해도 좋다. 이 경우, 홈(22)의 면적이 넓기 때문에, 핀 포인트의 가공으로는 생산성이 나빠, 마스크 이메징법 등에 의한 패턴 전사를 사용해도 좋다. 마스크 이메징법이란, 집광 전의 레이저광을 마스크에 통과한 후에 집광하여 조사하는 것으로, 마스크 패턴을 가공 대상에 축소 전사하는 수법이다. 또, 레이저광의 종류는, 열영향 저감의 관점에서 단파장 레이저광이 바람직하고, 이것에 의한 어블레이션(ablation) 가공이 바람직하다. 또는, 홈(22)은 다이싱 블레이드(dicing blade)나, 엔드밀을 설치한 밀링머신 등에 의해 기계적으로 형성해도 좋다.
■ 필요에 따라서 비어(via) 바닥의 디스미어(desmear)를 실시한 후, 무전해도금이나 스퍼터 등에 의해 Cu 등의 시드층을 형성하고, 레지스트 패터닝 후, 퍼멀로이와 Cu의 2층 도금을 행하여 자성체와 도전체의 매립을 행하고, 배선층(15)(15a, 15b)을 형성함과 함께, 개구(21)(비어) 내에 도전부(16)를 형성하고, 홈(22) 내에 자기 실드 부재(17)(17a, 17b)를 형성한다(도 3B).
한편, 레지스트 제거 후, 시드층은 에칭에 의해 제거한다.
■ 배선층(15) 상에 솔더 레지스트 등을 도포하여 배선 보호층(19)을 형성한 후, 배선 보호층(19)에 개구를 형성하고, 필요에 따라서, 양호한 땜납 젖음성을 얻기 위해서 Cu층 표면을 OSP(Organic　Solderabi1ity　Preservative) 처리 등의 산화 방지 처리를 하여 외부 전극으로 한다(도 3C).
상기에서는 홈(22) 내에의 자성체의 매립을 도금으로 행하고 있지만, 연자성체층(17b)이 얇아 자기 실드 효과가 충분하지 않는 경우에는, 도금 전에 인쇄에 의해 연자성체 입자와 열경화성 수지를 함유하는 연자성체 페이스트를 홈(22) 내에 매립해도 좋다.
실제의 제조 공정에 있어서는 대면적의 지지판을 이용하여 다수의 자기 실드 패키지를 제작한다.
도 4는 대면적의 지지판(12) 상에 다수의 MRAM(11)가 배열되어 고착되어 있는 상태를 나타내는 도면이다. 도 2C는, 도 4의 중앙부의 사각 파선으로 나타낸 부분을 A-B로 나타낸 절단선으로 절단했을 때의 단면을 나타내고 있다.
도 5 및 도 6은 도 3A에 나타낸 것의 상면도이며, 홈(22)의 형상 및 전극(18)과 개구(21)의 위치를 나타낸 것이다.
또한, 도 5, 도 6은, MRAM(11) 및 전극(18)에 대해서는 투시한 상태의 것을 나타내고 있다.
도 5에 나타낸 것은 다이싱 블레이드를 이용하여 홈(22)을 형성한 예이며, 홈(22)이 패키지 밖으로 비어져 나와 있다.
도 6은, 레이저 가공에 의하여 홈(22)을 형성한 예이다. 레이저 가공의 경우는 도 6에 나타내는 바와 같이 홈(22)을 패키지 밖으로 비어져 나오지 않도록 형성할 수 있다.
(실시형태 2)
도 7에 실시형태 2의 자기 실드 패키지의 구조를 나타낸다.
실시형태 1에 있어서는 배선층을 도전체층(15a)과 연자성체층(15b)으로 이루어지는 적층 구조로 했지만, 본 실시형태에 있어서는, 도 7에 나타내는 바와 같이 도전체층과 연자성체층을 분리하고, 도전체층과 연자성체층을 각각 다른 층으로 하여 제2의 절연 재료층(14) 내에 배선층(15) 및 연자성체층(25)으로서 형성한 것이다. 이 연자성체층(25)에는 도전부(16)가 배치되어 있는 부분에 개구(26)가 형성되어 있다.
이러한 구조로 함으로써, MRAM의 상면은 도전부(16)가 배치되어 있는 개구(26)의 부분을 제외하고 연자성체층으로 완전히 덮을 수 있으므로 정자장·저주파 자장 실드 효과가 향상된다.
배선층(15)으로서의 도전체층 및 연자성체층(25)은 실시형태 1과 마찬가지로 도금법으로 제작할 수 있다.
또, 배선층(15)은 실시형태 1에서 채용한 바와 같은 도전체층과 연자성체층의 2층 구조의 것으로 해도 좋다.
본 실시형태에 있어서의 연자성체층(25)은 개구(26) 부분 이외는 패터닝의 필요가 없기 때문에, 도금법 이외의 방법에 의해서도 형성하는 것이 가능하고, 실시형태 1에 비하면 연자성체층의 두께를 두껍게 하는 것이 용이하다.
예를 들면, 자기 실드 부재(17) 및 연자성체층(25)을 함께 인쇄 등으로 연자성체 페이스트를 주입함으로써 형성할 수 있다.
또, 연자성체층(25)을 퍼멀로이 등의 박(foil)에 의하여 형성할 수도 있다.
도 8A~ 도 8D에 퍼멀로이 등의 박(25')에 의하여 연자성체층(25)을 형성한 자기 실드 패키지를 나타낸다.
또, 도 8A~ 도 8D에 박(25')을 이용한 자기 실드 패키지의 제조 공정을 이하에 나타낸다.
한편, 도 8A~ 도 8D의 단면도는 도 8B 오른쪽 도면에 나타낸 파선을 따라서 절단한 단면을 나타내고 있다.
■ 미리 패턴 형성한 박(25')을 준비한다(도 8A 참조).
박(25')은 도 8A에 나타내는 바와 같이, 도전부에 대응하는 영역을 에칭 제거하여 개구(26)를 형성함과 함께, 영역 외에도 다이싱 블레이드를 통과하기 쉽게 이음 부분(27)이 남도록 에칭하여 절결(notch)(28)을 형성하고 있다.
■ 절연 재료층(14)의 상면에 박(25')을 고정밀도 부착장치로 라미네이트하여 연자성체층(25)을 형성한다(도 8B 참조).
■ 불휘발성 자기 메모리 소자의 외주의 절연 재료층(14)에 자기 실드 부재(17)용 홈을 형성한다(도 8C 참조).
홈의 형성에는 엔드밀을 설치한 밀링머신을 이용할 수 있다.
■ 상기 홈 내에 디스펜서(31)를 이용하여 연자성체 페이스트(32)를 주입한다.
■ 배선층(15) 및 배선 보호층(19)을 형성한 후, 다이싱 선(33)을 따라서 패키지 다이싱을 행하여, 낱개(singulation)로 한다(도 8D 참조).
(실시형태 3)
도 9에 실시형태 3의 자기 실드 패키지의 구조를 나타낸다.
본 실시형태는 캐비티(29)를 가지는 지지판(12)을 이용하여 자기 실드 패키지를 구성한 것이다.
캐비티(29)에는 MRAM(11)가 제2의 절연 재료층(14a)에 의하여 밀봉되어 있다.
제2의 절연 재료층(14a)의 상면에는 도 8에 나타낸 자기 실드 패키지에서와 마찬가지로 박(25')으로 이루어지는 연자성체층(25)이 라미네이트 되어 제2의 절연 재료층(14b)에 의하여 밀봉되어 있다.
연자성체층(25)과 지지판(12)은 접속부(30)에 의하여 자기적으로 접속되어 있다.
본 실시형태에서는 캐비티(29)를 가지는 지지판(12)의 측벽 부분을 자기 실드층으로서 이용하고 있으므로, 지지판(12)의 측벽을 두껍게 함으로써, 보다 높은 정자계·저주파 자계 실드 효과를 얻을 수 있다.
＜제조방법＞
실시형태 3의 자기 실드 패키지의 제조방법을 도 10A~ 도 10D 및 도 11A~ 도 11D에 기초하여 공정순으로 설명한다.
■ 캐비티를 가지는 연자성 재료로 이루어지는 지지판(12)의 캐비티(29)의 바닥면에 제1의 절연성 재료층(13)을 사이에 두고 MRAM(11)을 고착시킨다(도 10A).
■ MRAM(11) 및 그 주위를 제2의 절연 재료층(14a)으로 밀봉한다(도 10B).
■ 제2의 절연 재료층(14a)의 상면에, 패턴이 형성된 박(25')을 라미네이트 한다(도 10C).
■ 지지판(12)의 상단 외주부의 절연 재료를 브레이드(31)에 의하여 제거한다(도 10D).
■ 브레이드(31)에 의하여 절연 재료가 제거된 부분에 연자성체 입자와 열경화성 수지를 함유하는 연자성체 페이스트(32)를 디스펜서(31)에 의해 도포하여 접속부(30)를 형성한다(도 11A).
■ 연자성체층 및 접속부(30)를 절연성 재료층(14b)에 의하여 밀봉한다(도 11B).
■ 절연 재료층(14b)의 상면에 배선층(15)을 형성한다(도 11C).
■ 배선층(15)의 상면에 배선 보호층(19)을 형성한다(도 11D).
상기에서는 제2의 절연 재료층(14a)의 상면에 박(25')에 의하여 연자성체층(25)을 형성했지만, 도금법에 따라 연자성체층(25)을 형성해도 좋다.
또, 도금법을 이용하는 경우에는 실시형태 1과 마찬가지로 배선층(15)과 연자성체층(25)을 일체화하여 적층구조로 해도 좋다.
또한, 접속부(30)는 패키지 밖으로 노출해도 좋다.
(실시형태 4)
도 12에 실시형태 4의 자기 실드 패키지의 구조를 나타낸다.
본 실시형태의 자기 실드 패키지는 실시형태 1의 변형예이다.
상기 실시형태 1에서는 배선층(15)을 도전성이 높은 재료로 이루어지는 도전체층(15a)과, 연자성 재료로 이루어지는 연자성체층(15b)의 적층 구조로 했다.
그렇지만, 배선층(15)이 높은 저항값의 것이라도 제품상 특히 문제가 없으면 배선층(15)을 연자성 재료만으로 구성할 수 있다.
본 실시형태에서는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제2의 절연성 재료층(14) 상에 도전성을 가지는 연자성체층만을 형성하여 단층의 배선층(15)으로 하고, 이 위에 배선 보호층(19)을 형성한다.
이 경우, 배선층(15)을 형성할 때에, MRAM(11)의 전극에 접속하는 배선부분은 구리 등의 저저항재료만으로 제작함으로써 배선층의 도전율을 양호하게 유지하는 것이 바람직하다.
또, 배선층(15)을 연자성 재료만으로 구성하는 경우에는, 자기 실드 부재(17)에 대해서도 연자성 재료만으로 구성해도 좋다.
10 자기 실드 패키지
11 불휘발성 자기 메모리 소자
12 지지판
13 제1의 절연 재료층
14, 14a, 14b 제2의 절연 재료층
15 배선층
15a 도전체층
15b 연자성체층
16 도전부
17 자기 실드 부재
17a 도전체층
17b 연자성체층
18 전극
19 배선 보호층
21 개구
22 홈
25 연자성체층
25' 박
26 개구
27 이음 부분
28 절결
29 캐비티
30 접속부
31 디스펜서
32 연자성체 페이스트
33 다이싱 선

Claims (8)

  1. 불휘발성 자기 메모리 소자에 대한 외부 자계의 영향을 억제하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지로서,
    연자성 재료로 이루어지는 지지판과,
    상기 지지판 상에 형성된 제1의 절연 재료층과,
    상기 제1의 절연 재료층 상에 소자 회로면과 반대측의 면이 고착된 불휘발성 자기 메모리 소자와,
    상기 불휘발성 자기 메모리 소자 및 그 주변을 밀봉하는 제2의 절연 재료층과,
    상기 제2의 절연 재료층 내에 형성된 배선층과,
    상기 제2의 절연 재료층 내에 형성된 연자성 재료로 이루어지는 연자성체층과,
    상기 제2의 절연 재료층 내에 설치되며, 상기 불휘발성 자기 메모리 소자의 소자 회로면의 전극과 상기 배선층을 접속하는 도전부와,
    상기 불휘발성 자기 메모리 소자 측면에서 간격을 두고 상기 불휘발성 자기 메모리 소자 측면의 일부 또는 전부를 둘러싸도록 벽 형상으로 배치된 연자성 재료를 포함하는 자기 실드 부재를 포함하고,
    상기 연자성체층과 상기 자기 실드 부재는 자기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 배선층은, 도전성 재료로 이루어지는 도전체층과 연자성 재료로 이루어지는 상기 연자성체층으로 이루어지는 2층 적층 구조를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 자기 실드 부재는 도전성 재료로 이루어지는 도전체층과 연자성 재료로 이루어지는 연자성체층으로 이루어지는 2층 구조를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 자기 실드 부재는 도전성 재료로 이루어지는 도전체층과 연자성 재료로 이루어지는 연자성체층으로 이루어지는 2층 구조를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 연자성체층은, 상기 불휘발성 자기 메모리 소자와 상기 배선층과의 사이의 상기 제2의 절연 재료층 내에 형성되어 있고, 상기 불휘발성 자기 메모리 소자의 소자 회로면의 전극에 대응하는 부분에 개구를 가지고 있으며, 상기 개구에 상기 도전부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 벽 형상으로 배치된 연자성 재료는 상기 지지판과 일체적으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 지지판이 평판에 캐비티를 마련한 것이며, 상기 캐비티를 형성하는 주위의 부재가 상기 벽 형상으로 배치된 연자성 재료를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2의 절연 재료층 내에 형성된 배선층의 재료가 도전성의 연자성 재료이며, 상기 배선층이 상기 연자성체층을 겸하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 자기 메모리 소자의 자기 실드 패키지.
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