KR20160023565A - 캐리어 박리 장치 - Google Patents

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KR20160023565A
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도시하루 기시무라
다케시 이시다
유키노리 나카야마
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가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
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Abstract

캐리어의 표면에 플렉시블 패널이 형성된 복합 패널로부터 캐리어를 효율적으로 박리하는 캐리어 박리 장치를 제공한다.
상측 캐리어(101), 패널(102) 및 하측 캐리어(103)로 이루어지는 복합 패널(100)을 재치하는 유지 테이블(10)과, 유지 테이블(10)에 설치되어, 상하동 가능한 제 1 축체부(13) 및 제 1 축체부(13)의 단부에 설치된 제 1 점착부(14)를 가지는 제 1 점착 승강핀(12A)과, 유지 테이블(10)에 설치되어, 상하동 가능한 제 2 축체부(13) 및 제 2 축체부(13)의 단부에 설치된 제 2 점착부(14)를 가지는 제 2 점착 승강핀(12B)과, 제 3 점착부(23) 및 고무 흡착부(24)를 가지는 활 형상의 박리 테이블(21)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

캐리어 박리 장치{APPARATUS FOR PEELING CARRIER}
본 발명은, 캐리어 박리 장치에 관한 것으로, 특히, 캐리어의 표면에 플렉시블 패널이 형성된 복합 패널로부터 캐리어를 박리하는 캐리어 박리 장치에 관한 것이다.
플렉시블 OLED(Organic Light-Emitting Diode;유기발광 다이오드) 패널 등의 플렉시블 패널의 생산 공정으로서, 캐리어 유리의 표면에 성막하고, 성막된 캐리어 유리를 성막면으로 맞붙임으로써, 양면이 캐리어 유리에 의해 끼인 플렉시블 패널의 복합 패널을 형성하고, 그 후, 복합 패널로부터 캐리어 유리를 박리함으로써 플렉시블 패널을 생산하는 방법이 고안되어 있다. 이 때문에, 깨지기 쉬운 캐리어 유리를 안정적으로 고속으로 박리하는 캐리어 박리 장치가 요구되고 있다.
이와 같은 캐리어의 박리에 관하여, 특허문헌 1(일본국 공개특허 특개2004-17623호 공보)에는, 세라믹 그린 시트가 캐리어 필름의 표면에 형성된 복합 시트에 있어서, 상기 세라믹 그린 시트로부터 상기 캐리어 필름을 박리하기 위한 캐리어 필름 박리 방법에 있어서, 상기 복합 시트의 단부(端部)로부터 도중까지의 구간에 있어서 상기 세라믹 그린 시트로부터 분리된 상기 캐리어 필름의 일부분인 박리 부분을 형성하는 박리 부분 형성 공정과, 상기 박리 부분의 영역 중 상기 단부를 피한 위치에, 외주면에 점착성을 가지는 점착 롤을 눌러 상기 캐리어 필름을 유지한 후에, 상기 점착 롤을 회전시켜 상기 캐리어 필름을 상기 세라믹 그린 시트로부터 떼어내는 캐리어 필름 제거 공정을 포함하는, 캐리어 필름 박리 방법이 개시되어 있다(청구항 1 참조).
또, 특허문헌 2(일본국 특허 제4482757호 공보)에는, 대지(臺紙) 위에 연속하여 부착된 시트재를, 그 하면에 유지하여 박리 에지와 피부착물의 사이를 직동(直動) 가능한 부착 헤드에 의해, 상기 박리 에지 위치에서 상기 대지로부터 박리하는 시트재 부착 장치(대지로부터 시트재를 박리하는 박리 장치)가 개시되어 있다(청구항 1 참조).
일본국 공개특허 특개2004-17623호 공보 일본국 특허 제4482757호 공보
인용문헌 1에 개시된 박리 방법에서는, 점착 롤을 이용하여 캐리어 필름을 박리하기 때문에, 점착 롤로부터 박리된 캐리어 필름을 제거할 필요가 있다. 이 때문에, 박리 부분 형성 공정과, 캐리어 필름 제거 공정으로 나누어, 캐리어 필름 제거 공정에 있어서 캐리어 필름의 단부가 점착 롤에 유지되어 있지 않은 상태로 함으로써, 점착 롤로부터 캐리어 필름을 제거 가능한 구성으로 되어 있다. 그러나, 인용문헌 1에 개시된 박리 방법에서는, 캐리어 필름의 박리에 필요로 하는 시간이 길어지기 때문에, 생산성을 향상시키는 것이 곤란하다.
또, 인용문헌 2에 개시된 박리 방법에서는, 박리 에지를 이용하여 대지로부터 시트재를 박리하기 때문에, 이것을, 양면이 캐리어 유리에 의해 끼인 플렉시블 패널로부터 캐리어 유리를 박리하는 공정에 적용하면, 허용 굽힘 한계를 넘어, 캐리어 유리나 플렉시블 패널이 파손될 우려가 있다.
그래서, 본 발명은, 캐리어의 표면에 플렉시블 패널이 형성된 복합 패널로부터 캐리어를 효율적으로 박리하는 캐리어 박리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
이와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 상측 캐리어, 패널 및 하측 캐리어로 이루어지는 복합 패널을 재치하는 유지 테이블과, 상기 유지 테이블에 설치되어, 상하동 가능한 제 1 축체부 및 당해 제 1 축체부의 단부에 설치된 제 1 점착부를 가지는 제 1 점착 승강핀과, 상기 유지 테이블에 설치되어, 상하동 가능한 제 2 축체부 및 당해 제 2 축체부의 단부에 설치된 제 2 점착부를 가지는 제 2 점착 승강핀과, 제 3 점착부 및 고무 흡착부를 가지는 활 형상의 박리 테이블을 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리어 박리 장치.
본 발명에 의하면, 캐리어의 표면에 플렉시블 패널이 형성된 복합 패널로부터 캐리어를 효율적으로 박리하는 캐리어 박리 장치를 제공할 수 있다.
도 1은, 복합 패널 및 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치의 모식도이다.
도 2는, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치의 박리 동작을 나타낸 플로우 차트이다.
도 3은, 상측 캐리어 유리를 박리하는 모습을 나타낸 캐리어 박리 장치의 동작도이다.
도 4는, 박리된 상측 캐리어 유리를 박리 테이블로부터 회수하는 모습을 나타낸 캐리어 박리 장치의 동작도이다.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태(이하 「실시 형태」라고 한다)에 대하여, 적절히 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서, 공통되는 부분에는 동일한 부호를 붙여 중복된 설명을 생략한다.
《복합 패널》
먼저, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)를 설명하기 전에, 복합 패널(100)에 대하여 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은, 복합 패널(100) 및 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)의 모식도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 복합 패널(100)은, 상측 캐리어 유리(101)와, 플렉시블 패널(102)과, 하측 캐리어 유리(103)가 적층되어 구성되어 있다. 즉, 복합 패널(100)은, 플렉시블 패널(102)의 양면이 캐리어 유리(101, 103)에 의해 끼인 구조를 가지고 있다.
《캐리어 박리 장치》
다음에, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)에 대하여 설명한다. 여기에서, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)는, 복합 패널(100)(플렉시블 패널(102))로부터 상측 캐리어 유리(101)를 박리하는 장치이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)는, 유지 테이블(10)과, 박리 유닛(20)과, 베이스부(30)와, 제어부(도시 생략)로 구성되어 있다.
유지 테이블(10)은, 진공 흡착부(11)와, 점착 승강핀(12)과, 슬라이드 이동 기구(15)를 구비하고 있다.
진공 흡착부(11)는, 유지 테이블(10)의 상면에 형성되어 있다. 복합 패널(100)이 유지 테이블(10)의 상면에 재치된 상태에 있어서, 진공 흡착부(11)는, 감압 수단(도시 생략)을 이용하여 유지 테이블(10)의 상면과 복합 패널(100)의 하면의 사이를 감압함으로써, 복합 패널(100)을 유지 테이블(10)의 상면에 진공 흡착할 수 있도록 되어 있다. 또한, 제어부(도시 생략)는, 감압 수단(도시 생략)의 동작을 제어함으로써, 진공 흡착부(11)에 있어서의 복합 패널(100)의 진공 흡착 및 해제를 제어할 수 있도록 되어 있다.
점착 승강핀(12)은, 구동부(도시 생략)에 의해 상하동하는 축체부(13)와, 축체부(13)의 상단부에 설치된 점착 부재로 이루어지는 점착부(14)를 가지고 있다. 복합 패널(100)이 유지 테이블(10)의 상면에 재치된 상태에 있어서, 점착 승강핀(12)은, 구동부(도시 생략)를 이용하여 축체부(13)를 상승시킴으로써, 점착부(14)를 복합 패널(100)의 하면에 점착시켜, 복합 패널(100)을 유지할 수 있도록 되어 있다. 또, 구동부(도시 생략)를 이용하여 축체부(13)를 하강시킴으로써, 점착부(14)를 복합 패널(100)의 하면으로부터 박리하여, 복합 패널(100)의 유지를 해제할 수 있도록 되어 있다. 또한, 제어부(도시 생략)는, 구동부(도시 생략)의 동작을 제어함으로써, 점착 승강핀(12)의 상하동을 제어할 수 있도록 되어 있다.
또, 점착 승강핀(12)은, 후술하는 박리 테이블(21)에 의한 상측 캐리어 유리(101)의 박리 방향(도 1에 있어서 좌우 방향)으로 보아, 진공 흡착부(11)의 양측에 설치되어 있다. 이하의 설명에 있어서, 도 1에 있어서 진공 흡착부(11)의 좌측의 점착 승강핀(12)을 점착 승강핀(12A)으로 칭하기로 하고, 도 1에 있어서 진공 흡착부(11)의 우측의 점착 승강핀(12)을 점착 승강핀(12B)으로 칭하기로 한다. 또한, 점착 승강핀(12)의 수는, 2개로 한정되는 것이 아니라, 적절히 변경해도 된다.
슬라이드 이동 기구(15)는, 유지 테이블(10)의 하단에 형성되어 있고, 베이스부(30)의 가이드 레일(31)을 따라 유지 테이블(10)을 M1 방향(도 1에 있어서 좌우 방향)으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 구체적으로는, 유지 테이블(10)은, 슬라이드 이동 기구(15)에 의해, 도 1에 있어서 실선으로 나타낸 위치(복합 패널(100)을 유지 테이블(10)에 세트하는 위치)인 원점 위치와, 도 1에 있어서 2점 쇄선으로 나타낸 위치(후술하는 박리 유닛(20)에 의해 복합 패널(100)로부터 상측 캐리어 유리(101)를 박리하는 위치)인 박리 위치를, 이동할 수 있도록 되어 있다. 또한, 제어부(도시 생략)는, 슬라이드 이동 기구(15)의 동작을 제어함으로써, 유지 테이블(10)의 M1 방향(도 1에 있어서 좌우 방향)의 이동을 제어할 수 있도록 되어 있다.
박리 유닛(20)은, 베이스부(30)로부터 세워 설치된 지지 기둥(32)에 의해 자유롭게 요동할 수 있도록 지지되어 있고, 또, 신축 가능한 직동 구동 액추에이터(33)에 의해 지지되어 있다. 이것에 의해, 직동 구동 액추에이터(33)를 신축함으로써, 박리 유닛(20)의 좌측 단부를 M2 방향(도 1에 있어서 대략 상하 방향)으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 구체적으로는, 직동 구동 액추에이터(33)를 신장시킴으로써 박리 유닛(20)을 도 1에 있어서 실선으로 나타낸 위치인 상승 위치(튀어오름 위치)로 이동시키고, 직동 구동 액추에이터(33)를 축소시킴으로써 박리 유닛(20)을 도 1에 있어서 2점 쇄선으로 나타낸 위치인 하강 위치로 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 또한, 제어부(도시 생략)는, 직동 구동 액추에이터(33)의 동작을 제어함으로써, 박리 유닛(20)의 M2 방향(도 1에 있어서 대략 상하 방향)의 이동을 제어할 수 있도록 되어 있다.
박리 유닛(20)은, 박리 테이블(21)과, 롤러 유닛(25)과, 가이드 레일(28)을 구비하고 있다.
박리 테이블(21)은, 활 형상 판부(22)와, 점착부(23)와, 고무 흡착부(24)를 가지고 있다. 활 형상 판부(22)는, 만곡한 판 부재이다. 활 형상 판부(22)의 하면에는, 점착 부재로 이루어지는 점착부(23)와, 고무 시트로 이루어지는 고무 흡착부(24)가 설치되어 있다.
여기서, 점착부(23)는, 후술하는 박리 테이블(21)에 의한 상측 캐리어 유리(101)의 박리 방향(도 1에 있어서 좌우 방향)의 전측(도 1에 있어서 좌측)에 배치되어 있고, 고무 흡착부(24)는, 박리 방향의 중간부로부터 후측(도 1에 있어서 우측)에 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 유지 테이블(10)이 박리 위치(도 1에 있어서 2점 쇄선으로 나타낸 유지 테이블(10)의 위치)에 있는 경우, 진공 흡착부(11)로부터 좌측의 점착 승강핀(12A)과 대응하는 위치에 점착부(23)가 설치되고, 진공 흡착부(11)와 대응하는 위치 및 진공 흡착부(11)로부터 우측의 점착 승강핀(12B)과 대응하는 위치에 고무 흡착부(24)가 설치되어 있다. 또한 바꾸어 말하면, 박리 유닛(20)을 튀어오름 가능하게 지지하는 지지 기둥(32)으로부터 떨어진 측에 점착부(23)가 설치되고, 지지 기둥(32)에 가까운 측에 고무 흡착부(24)가 설치되어 있다.
또한, 박리 테이블(21)은, 박리 테이블 계지(係止) 수단(29)(후술하는 도 3 참조)에서 제한된 범위 내이면 내부를 자유롭게 움직일 수 있도록 되어 있고, 또, 박리 유닛(20)이 튀어 올랐을 때에도 박리 테이블 계지 수단(29)에 의해 박리 유닛(20)과 함께 박리 테이블(21) 역시 튀어 올려지도록 되어 있다.
롤러 유닛(25)은, 하방에 설치된 롤러(26)와, 상방에 설치된 슬라이드 이동 기구(27)를 가지고 있다. 슬라이드 이동 기구(27)는, 가이드 레일(28)을 따라 롤러 유닛(25)을 M3 방향(도 1에 있어서 대략 좌우 방향)으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 또한, 제어부(도시 생략)는, 슬라이드 이동 기구(27)의 동작을 제어함으로써, 롤러 유닛(25)의 M3 방향(도 1에 있어서 대략 좌우 방향)의 이동을 제어할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 롤러 유닛(25)이 M3 방향으로 이동할 때, 롤러(26)가 박리 테이블(21)(활 형상 판부(22))의 상면과 접하면서 이동함으로써, 박리 테이블(21)의 단부가 M4 방향(도 1에 있어서 대략 상하 방향)으로 이동하도록 되어 있다.
제어부(도시 생략)는, 진공 흡착부(11)의 감압 수단(도시 생략)과, 점착 승강핀(12)(12A, 12B)의 구동부(도시 생략)와, 유지 테이블(10)의 슬라이드 이동 기구(15)와, 롤러 유닛(25)의 슬라이드 이동 기구(27)와, 직동 구동 액추에이터(33)를 제어함으로써, 캐리어 박리 장치(1)에 의한 박리 동작의 전체를 제어할 수 있도록 되어 있다.
《캐리어 박리 장치에 의한 박리 동작》
다음에, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)의 동작에 대하여, 도 2에서 도 4를 이용하여 설명한다. 도 2는, 본 실시형태에 관련된 박리 장치(1)의 박리 동작을 나타낸 플로우 차트이다. 도 3은, 상측 캐리어 유리(101)를 박리하는 모습을 나타낸 캐리어 박리 장치(1)의 동작도이다. 도 4는, 박리된 상측 캐리어 유리(101)를 박리 테이블(21)로부터 회수하는 모습을 나타낸 캐리어 박리 장치(1)의 동작도이다.
또한, 도 2에 나타낸 제어의 개시시에 있어서, 유지 테이블(10)은 원점 위치에 있고, 점착 승강핀(12)은 하강 위치에 있고, 박리 유닛(20)은 상승 위치(튀어오름 위치)에 있고, 롤러 유닛(25)은 박리 테이블(21)의 점착부(23)의 위치에 있는 것으로 한다. 또, 진공 흡착부(11)의 감압 수단(도시 생략)은 정지하고 있는 것으로 한다.
먼저, 캐리어 박리 장치(1)의 외부에 설치된 반송 수단(도시 생략)에 의해 복합 패널(100)이 유지 테이블(10)의 상면에 재치된다.
단계 S1에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 유지 테이블(10)의 위에 복합 패널(100)이 재치되었는지의 여부를 판정한다. 복합 패널(100)이 재치되어 있지 않은 경우(S1·No), 재치될 때까지 단계 S1을 반복한다. 복합 패널(100)이 재치된 경우(S1·Yes), 제어부(도시 생략)의 처리는 단계 S2로 진행된다.
단계 S2에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 점착 승강핀(12)의 구동부(도시 생략)를 제어하여, 점착 승강핀(12)을 상승시킨다. 이것에 의해, 점착부(14)를 복합 패널(100)의 하면에 점착시켜, 복합 패널(100)을 유지한다.
단계 S3에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 진공 흡착부(11)의 감압 수단(도시 생략)을 제어하여, 유지 테이블(10)의 상면과 복합 패널(100)의 하면의 사이를 감압한다. 이것에 의해, 복합 패널(100)을 유지 테이블(10)의 상면에 진공 흡착한다.
단계 S4에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 유지 테이블(10)의 슬라이드 이동 기구(15)를 제어하여, 복합 패널(100)을 유지한 유지 테이블(10)을 원점 위치로부터 박리 위치까지 이동시킨다.
단계 S5에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 직동 구동 액추에이터(33)를 제어하여, 박리 유닛(20)을 상승 위치(튀어오름 위치)로부터 하강 위치로 이동시킨다. 여기에서, 롤러 유닛(25)은 박리 테이블(21)의 점착부(23)의 위치에 있기 때문에, 박리 유닛(20)을 하강시킴으로써, 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 박리 테이블(21)의 점착부(23)가 복합 패널(100)(상측 캐리어 유리(101))의 단부를 포함하는 상면에 눌러져(도 3(a)의 화살표 참조), 상측 캐리어 유리(101)가 박리 테이블(21)의 점착부(23)에 흡착된다.
단계 S6에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 롤러 유닛(25)의 슬라이드 이동 기구(27)를 제어하여, 롤러 유닛(25)을 박리 방향(도 3(b)의 화살표 참조)으로 이동시킨다. 여기에서, 도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 롤러 유닛(25)이 박리 방향(도 3(b)의 화살표 참조)으로 이동함으로써, 박리 테이블(21)은, 활 형상 판부(22)의 만곡 형상을 따라 상측 캐리어 유리(101)의 위를 이동한다. 이때, 활 형상 판부(22)의 만곡 형상에 의해, 점착부(23)가 들어 올려진 상태가 된다. 한편, 하측 캐리어 유리(103)의 하면은, 점착 승강핀(12)(12A, 12B)의 점착부(14) 및 진공 흡착부(11)에 의해 유지되어 있다. 이 때문에, 점착부(23)와 흡착한 상측 캐리어 유리(101)의 단부(도 3(b)에 있어서 좌측)를 기점으로 하여, 상측 캐리어 유리(101)는 플렉시블 패널(102)로부터 박리된다.
단계 S7에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 롤러 유닛(25)의 슬라이드 이동 기구(27)를 제어하여, 롤러 유닛(25)을 박리 방향(도 3(b)의 화살표 참조)의 종단부까지 이동시켜 정지한다. 이것에 의해, 도 3(c)에 나타낸 바와 같이, 상측 캐리어 유리(101)의 상면은, 박리 테이블(21)의 점착부(23)와 고무 흡착부(24)에 흡착된 상태가 된다. 또한, 상측 캐리어 유리(101)가 박리된 플렉시블 패널(102) 및 하측 캐리어 유리(103)를 이하의 설명에 있어서 복합 패널(100A)로 칭하기로 한다.
단계 S8에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 직동 구동 액추에이터(33)를 제어하여, 박리 유닛(20)을 하강 위치로부터 상승 위치(튀어오름 위치)로 이동시킨다. 여기에서, 상측 캐리어 유리(101)는, 박리 테이블(21)의 점착부(23) 및 고무 흡착부(24)에 의해 유지된다. 또한, 롤러 유닛(25)이 도 3(c)에 나타낸 위치에서 정지하고 있기 때문에, 박리 테이블(21)의 점착부(23)의 측은 활 형상 판부(22)의 만곡 형상에 의해, 고무 흡착부(24)의 측보다 들어 올려진 상태로 되어 있고, 또한, 점착부(23)가 박리 유닛(20)을 튀어오름 가능하게 지지하는 지지 기둥(32)으로부터 떨어진 측에 설치되어 있기 때문에, 박리 유닛(20)을 상승 위치(튀어오름 위치)로 이동시킨 상태에 있어서도 점착부(23)가 고무 흡착부(24)보다 높은 위치가 되도록 되어 있다. 이 때문에, 상측 캐리어 유리(101)의 상측을 흡착력이 높은 점착부(23)에서 흡착하고, 중간부에서 하측을 고무 흡착부(24)에 의해 흡착할 수 있는 구조로 되어 있다. 이것에 의해, 상측 캐리어 유리(101)는, 유지 테이블(10)에 유지된 복합 패널(100A)로부터, 완전히 박리된다.
단계 S9에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 유지 테이블(10)의 슬라이드 이동 기구(15)를 제어하여, 복합 패널(100A)을 유지한 유지 테이블(10)을 박리 위치로부터 원점 위치까지 이동시킨다.
단계 S10에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 진공 흡착부(11)의 감압 수단(도시 생략)을 제어하여, 진공 흡착부(11)의 진공 흡착을 해제함과 함께, 점착 승강핀(12)의 구동부(도시 생략)를 제어하여, 점착 승강핀(12)을 하강시킨다. 이것에 의해, 점착 승강핀(12)의 점착부(14)가 복합 패널(100A)의 하면으로부터 떨어져, 복합 패널(100A)의 유지가 해제된다.
단계 S10의 다음에, 캐리어 박리 장치(1)의 외부에 설치된 반송 수단(도시 생략)에 의해 복합 패널(100A)이 유지 테이블(10)의 상면으로부터 회수된다.
단계 S11에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 유지 테이블(10)의 위에서 복합 패널(100A)이 회수되었는지의 여부를 판정한다. 복합 패널(100A)이 회수되어 있지 않은 경우(S11·No), 회수될 때까지 단계 S11을 반복한다. 복합 패널(100A)이 회수된 경우(S11·Yes), 제어부(도시 생략)의 처리는 단계 S12로 진행된다.
단계 S12에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 유지 테이블(10)의 슬라이드 이동 기구(15)를 제어하여, 빈 유지 테이블(10)을 원점 위치로부터 박리 위치까지 이동시킨다.
단계 S13에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 점착 승강핀(12)의 구동부(도시 생략)를 제어하여, 점착 승강핀(12)을 상승시킨다.
단계 S14에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 직동 구동 액추에이터(33)를 제어하여, 박리 유닛(20)을 상승 위치(튀어오름 위치)로부터 하강 위치로 이동시킨다. 여기에서, 롤러 유닛(25)은 박리 테이블(21)의 고무 흡착부(24)의 측의 위치에 있기 때문에, 박리 유닛(20)을 하강시킴으로써, 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 유지 테이블(10)의 점착 승강핀(12B)의 점착부(14)가 상측 캐리어 유리(101)의 하면에 눌러져(도 4(a)의 화살표 참조), 상측 캐리어 유리(101)가 점착 승강핀(12B)의 점착부(24)에 흡착된다.
단계 S15에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 롤러 유닛(25)의 슬라이드 이동 기구(27)를 제어하여, 롤러 유닛(25)을 회수 방향(도 4(b)의 화살표 참조)으로 이동시킨다. 여기에서, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 롤러 유닛(25)이 회수 방향(도 4(b)의 화살표 참조)으로 이동함으로써, 상측 캐리어 유리(101)를 흡착한 박리 테이블(21)은, 활 형상 판부(22)의 만곡 형상을 따라 유지 테이블(10)의 위를 이동한다. 이때, 활 형상 판부(22)의 만곡 형상에 의해, 박리 테이블(21)의 고무 흡착부(24)의 측이 들어 올려진 상태가 된다. 여기에서, 박리 테이블(21)의 고무 흡착부(24)의 흡착력보다 점착 승강핀(12B)의 점착부(14)의 흡착력의 쪽이 강하기 때문에, 상측 캐리어 유리(101)가 박리 테이블(21)로부터 박리된다.
단계 S16에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 롤러 유닛(25)의 슬라이드 이동 기구(27)를 제어하여, 롤러 유닛(25)을 회수 방향(도 4(b)의 화살표 참조)의 종단부까지 이동시켜 정지한다. 이것에 의해, 도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 상측 캐리어 유리(101)의 하면은, 점착 승강핀(12A)의 점착부(14)와 점착 승강핀(12B)의 점착부(14)에 흡착된 상태가 된다. 즉, 상측 캐리어 유리(101)는, 유지 테이블(10)에 흡착된 상태가 된다.
단계 S17에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 직동 구동 액추에이터(33)를 제어하여, 박리 유닛(20)을 하강 위치로부터 상승 위치(튀어오름 위치)로 이동시킨다. 여기에서, 박리 테이블(21)의 점착부(23)의 흡착력보다 점착 승강핀(12A, 12B)의 점착부(14)의 흡착력의 쪽이 강하기 때문에, 상측 캐리어 유리(101)가 박리 테이블(21)로부터 박리된다. 이것에 의해, 상측 캐리어 유리(101)는, 박리 테이블(21)로부터 완전히 박리된다.
단계 S18에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 유지 테이블(10)의 슬라이드 이동 기구(15)를 제어하여, 상측 캐리어 유리(101)를 유지한 유지 테이블(10)을 박리 위치로부터 원점 위치까지 이동시킨다.
단계 S19에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 점착 승강핀(12)의 구동부(도시 생략)를 제어하여, 점착 승강핀(12)을 하강시킨다. 이것에 의해, 점착 승강핀(12)의 점착부(14)가 상측 캐리어 유리(101)의 하면으로부터 떨어져, 상측 캐리어 유리(101)의 유지가 해제된다.
단계 S19의 다음에, 캐리어 박리 장치(1)의 외부에 설치된 반송 수단(도시 생략)에 의해 상측 캐리어 유리(101)가 유지 테이블(10)의 상면으로부터 회수된다.
단계 S20에 있어서, 제어부(도시 생략)는, 유지 테이블(10)의 위에서 상측 캐리어 유리(101)가 회수되었는지의 여부를 판정한다. 상측 캐리어 유리(101)가 회수되어 있지 않은 경우(S20·No), 회수될 때까지 단계 S20을 반복한다. 상측 캐리어 유리(101)가 회수된 경우(S20·Yes), 제어부(도시 생략)의 처리를 종료한다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)에 의하면, 복합 패널(100)로부터 상측 캐리어 유리(101)를 안정적으로 고속으로 박리할 수 있다. 또, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)의 박리 동작은, 점착 승강핀(12)의 구동부(도시 생략), 슬라이드 이동 기구(15), 슬라이드 이동 기구(27), 직동 구동 액추에이터(33)에 의한 왕복동 운동으로 실현할 수 있고, 특허문헌 1과 같은 복잡한 제어를 필요로 하지 않아, 장치의 내구성을 높일 수 있다.
《변형예》
또한, 본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)는, 상기 실시형태의 구성에 한정되는 것이 아니라, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.
본 실시형태에 관련된 캐리어 박리 장치(1)의 유지 테이블(10)은, 진공 흡착부(11)를 구비하고 있는 것으로서 설명하였으나, 이것에 한정되는 것이 아니라, 진공 흡착부(11)를 구비하고 있지 않아도 된다.
또, 단계 S15에 있어서, 상측 캐리어 유리(101)를 유지 테이블(10)에 흡착시킨 후에, 진공 흡착부(11)를 동작시켜 한층 더 진공 흡착하도록 해도 된다. 이것에 의해, 단계 S17에 있어서, 박리 유닛(20)을 상승 위치(튀어오름 위치)로 이동시켰을 때, 박리 테이블(21)의 점착부(23)의 흡착력보다, 점착 승강핀(12A, 12B)의 점착부(14)의 흡착력 및 진공 흡착부(11)의 진공 흡착력의 합의 쪽을 확실히 강하게 할 수 있기 때문에, 상측 캐리어 유리(101)를 확실히 박리 테이블(21)로부터 박리할 수 있다.
1: 캐리어 박리 장치
10: 유지 테이블
11: 진공 흡착부
12, 12A, 12B: 점착 승강핀
13: 축체부(제 1 축체부, 제 2 축체부)
14: 점착부(제 1 점착부, 제 2 점착부)
15: 슬라이드 이동 기구
20: 박리 유닛
21: 박리 테이블
22: 활 형상 판부
23: 점착부(제 3 점착부)
24: 고무 흡착부
25: 롤러 유닛
26: 롤러
27: 슬라이드 이동 기구
28: 가이드 레일
29: 박리 테이블 계지 수단
30: 베이스부
31: 가이드 레일
32: 지지 기둥
33: 직동 구동 액추에이터(튀어오름 수단)
100, 100A: 복합 패널
101: 상측 캐리어 유리(상측 캐리어)
102: 플렉시블 패널(패널)
103: 하측 캐리어 유리(하측 캐리어)
M1: 방향(유지 테이블의 이동 방향)
M2: 방향(박리 유닛 단부의 이동 방향)
M3: 방향(롤러 유닛의 이동 방향)
M4: 방향(박리 테이블 단부의 이동 방향)

Claims (5)

  1. 상측 캐리어, 패널 및 하측 캐리어로 이루어지는 복합 패널을 재치하는 유지 테이블과,
    상기 유지 테이블에 설치되고, 상하동 가능한 제 1 축체부 및 당해 제 1 축체부의 단부에 설치된 제 1 점착부를 가지는 제 1 점착 승강핀과,
    상기 유지 테이블에 설치되고, 상하동 가능한 제 2 축체부 및 당해 제 2 축체부의 단부에 설치된 제 2 점착부를 가지는 제 2 점착 승강핀과,
    제 3 점착부 및 고무 흡착부를 가지는 활 형상의 박리 테이블을 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리어 박리 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 점착 승강핀 및 상기 제 2 점착 승강핀을 상승시키고, 상기 제 1 점착부 및 상기 제 2 점착부에서 상기 복합 패널의 상기 하측 캐리어를 유지함과 함께,
    상기 박리 테이블의 상기 제 3 점착부에서 상기 복합 패널의 상기 상측 캐리어에 눌러 흡착시키고,
    상기 박리 테이블을 당해 박리 테이블의 형상을 따라 상기 상측 캐리어의 위를 이동시킴으로써, 상기 상측 캐리어를 박리하는 것을 특징으로 하는 캐리어 박리 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 점착 승강핀은, 상기 박리 테이블의 상기 제 3 점착부의 측에 설치되고,
    상기 제 2 점착 승강핀은, 상기 박리 테이블의 상기 고무 흡착부의 측에 설치되어 있고,
    상기 유지 테이블로부터 상기 패널 및 상기 하측 캐리어를 회수한 후에,
    상기 제 1 점착 승강핀 및 상기 제 2 점착 승강핀을 상승시키고,
    상기 박리 테이블에 흡착한 상기 상측 캐리어를 상기 박리 테이블의 상기 고무 흡착부의 측에서 상기 제 2 점착 승강핀의 상기 제 2 점착부에 눌러 흡착시키고,
    상기 박리 테이블을 당해 박리 테이블의 형상을 따라 상기 유지 테이블의 위를 이동시킴으로써, 상기 상측 캐리어를 상기 유지 테이블에 흡착시키는 것을 특징으로 하는 캐리어 박리 장치.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    슬라이드 이동 기구에 의해 가이드 레일을 따라 왕복 운동 가능한 롤러 유닛을 더 구비하고,
    당해 롤러 유닛에 의해 상기 박리 테이블이 당해 박리 테이블의 활 형상의 형상을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 캐리어 박리 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 박리 테이블 및 상기 롤러 유닛을 가지는 박리 유닛이 튀어오름 가능한 튀어오름 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 캐리어 박리 장치.
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