JP5781033B2 - 真空・加圧フィルム貼着装置及び真空・加圧フィルム貼着方法 - Google Patents
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Description
フィルムを複数の被加工品の上面に貼り付けるための真空・加圧貼り付け装置であって、該真空・加圧貼り付け装置は、
1)上枠体固定板の下面に気密に取り付けられた上枠体と、
2)上枠体の内方・上方に配置した加熱ランプと、
3)上枠体の下端部に固定され、かつ複数の被加工品の上面にそれぞれフィルムを貼り合わせる際に必要な複数の窓穴を有する上ガイドプレートであって、上枠体固定枠、上枠体、上ガイドプレートによって上チェンバーを画成する上ガイドプレートと、
4)下枠体固定板の上面に気密に配置された下枠体と、
5)下枠体の上端部に気密に載置され、軟化可能なフィルムを載せかつ上ガイドプレートとの間に軟化可能なフィルムを挟み、上ガイドプレートの窓穴に対応して複数の窓穴を有する下受けプレートであって、下枠体固定板、下枠体、下受けプレートによって下チェンバーを画成する下受けプレートと、
6)被加工品を下受けプレートの窓穴に対応して下受けプレートの下方に載置するための置板と、
7)下受け板と上ガイドプレートの間にフィルムを挟んだ状態で、被加工品をフィルムに押しつける第1のシリンダと、
8)上チェンバーあるいは下チェンバーを移動させてフィルムの上下に上下チェンバーを位置させ、上枠体の下端部と下枠体の上端部とを気密に接触させる第2のシリンダと、
9)上チェンバー内と下チェンバー内を真空脱気するための真空手段と、
10)上チェンバー内を高圧とする高圧手段とからなる。
(2)上枠体固定板が基台から上方に延びる支持ロッドの上部に固定され、第2のシリンダが上枠体固定板の上に配置されている、(1)に記載の真空・加圧貼り付け装置。
(3)天板が基台から上方に延びる支持ロッドの上部に固定され、第2のシリンダが天板の上に配置され、第2のシリンダは上枠体固定板を天板に対して上下動させた(1)に記載の真空・加圧貼り付け装置。
(4)前記上枠体が上枠体固定板の下面に気密に取り付けられた内側上枠体と該内側上枠体の外周面を気密に摺動する外側上摺動枠体とからなり、前記上ガイドプレートが外側上摺動枠体の下端部に固定され、前記第2のシリンダが外側上摺動枠体を内側上枠体の外周面に気密に摺動させて、下チェンバーの上端部と上チェンバーの下端部とを気密に接触させ、あるいは離間させる、(2)に記載の真空・加圧貼り付け装置。
(6)被加工品用置板の上に被加工品用置台を配置し、被加工品用置台の上に被加工品を置く、(1)乃至(5)のいずれかに記載の真空・加圧貼り付け装置。
(8)被加工品用置板にヒータが設けられている、(1)乃至(7)のいずれかに記載の真空・加圧貼り付け装置。
(9)下受けプレートの複数の窓穴の周りで上ガイドプレートに対向する面にそれぞれパッキンが設けられ、複数のフィルムをそれぞれ下受けプレートの窓穴上で窓穴h1の周囲のパッキンを若干超えて配置し、複数のフィルムを複数の被加工品にそれぞれ貼着する、(1)乃至(8)のいずれかに記載の真空・加圧貼り付け装置。
1)貼着に必要な大きさの複数の窓穴を有する上ガイドプレートと該複数の窓穴と対応する複数の窓穴を有する下受けプレートとの間に貼着用フィルムを挟み、該上ガイドプレートを含む上チェンバーと該下受けプレートを含む下チェンバーとをフィルムの上下に気密に位置させる工程と、
2)上下チェンバーを排気する工程と、
3)下受けプレートの窓穴と上ガイドプレートの窓穴に位置するフィルムを加熱し軟化させる工程と、
4)上下チェンバーを真空引きする工程と、
5)複数の被加工品をそれぞれの窓穴に位置する加熱軟化フィルムに押し当てる工程と、
6)下チェンバーを真空引きしつつ、上チェンバーを加圧し加熱軟化したフィルムを複数の被加工品に貼着する工程と、
7)加熱を停止し真空破壊し、上下チェンバーを離間させる工程と、
8)フィルムで被覆した被加工品を得る工程とからなる。
また、本発明によれば、吸着跡や汚れが付くこともなく、被加工品上へのフィルムの位置決めを確実に行うことができる。
(1)第1の実施態様
図1乃至図7に、本発明に係る真空・加圧フィルム貼着装置の第1の実施態様を示す。
図1は、被加工品W1を装置外側でセットした状態を示す(被加工品セット工程1)。基台1の上にスライドレール2が配置され、スライドレール2の上にスライドテーブル3が配置されている。左側のスライドシリンダ4によってスライドロッドを介してスライドテーブル3をスライドレール2上に沿って右側にスライドさせた状態である。スライドテーブル3の上には後述する下方構成部材が配置されている。なお、本実施態様では、被加工品は基板と基板の上に配置された抵抗・半導体等の素子からなるが、被加工品W1はこれらのものに限らず、種々のものをフィルム貼着加工、封止加工できることは言うまでもない。
図13は加圧貼着工程5を示し、加熱下に下チェンバー39を真空引きしつつ上チェンバー40に高圧ガスを導入して高圧を付加し、フィルムを被加工品の上面に貼着する。封止フィルムは窓穴h1の内表面、被加工品用置台、余熱ヒータ板9も被覆するが、窓穴h1、被加工品用置台及び余熱ヒータ板に予め剥離剤を塗布することによって封止フィルムFが貼着するのを防止する。また、封止フィルム自体は非接着性とし、被加工品の必要な面に接着剤を塗布することによって必要な箇所のみフィルムの張りあわせを行うこともできる。
図15は、真空破壊・上下チェンバー離間工程6を示し、真空破壊後、第2のシリンダ31を駆動させて下チェンバー39を上チェンバー40から離間させる。それ以降の製品取り出し、新しい被加工品W2及び封止フィルムFの被加工品セッティング工程は、前述の実施態様と同様であるので、それらの図示とその説明とは省略する。
(1)加熱ランプ
図示した実施態様では加熱ランプを上枠体固定板の下面に配置したが、上枠体固定板の一部を透明として加熱ランプを上枠体固定板の上に配置することもできる。(このような構成が可能かどうかをご教授下さい)。「上枠体の内方・上方に配置した加熱ランプ」の表現は、加熱ランプが上チェンバー内部でもよいし、加熱ランプを上枠体固定板の上に配置することも包含する趣旨である。
図16乃至図18の本発明の第4の実施態様において、第1のシリンダ46を除去して、被加工品用置板8、余熱ヒータ板9、被加工品用置台10を下チェンバー5中に配置し、下チェンバーの下面と基台1との間に第1のシリンダの代わりにスプリングを配置することもできる。この場合には、まず第2のシリンダによって上チェンバーを駆動して、上枠体の下端部と下枠体の上端部をフィルムを介して気密に当接させ、フィルムを上ガイドプレートと下受けプレーとの間に挟み、フィルムの上下に上チェンバーと下チェンバーとを位置させる。さらに、上シリンダによって上枠体をさらに下方にスプリングに抗して移動することによって、被加工品をフィルムを押し当て、被加工品の上面に加熱軟化したフィルムを貼着することができる。該スプリングは第1のシリンダの機能を有するもので、この態様も本発明の範囲内である。
本発明に係る真空・加圧貼り付け装置で処理する被加工品としては、素子つき基板の封止フィルムの貼り合わせ、ガラスなどを多面カットした装飾類へのデコレーション用フィルムの貼り合わせ、ディスプレイ関連保護フィルムの貼り合わせの用途が考えられる。また、上面は上方に湾曲し下面は平坦な被加工品にも適用することができる。
(4)フィルム
フィルムとしては、封止フィルムの他に、デコレーションフィルム、装飾フィルム、偏光フィルム等の種々のフィルムを適用することができる。
Claims (10)
- フィルムを複数の被加工品の上面に貼り付けるための真空・加圧貼り付け装置であって、該真空・加圧貼り付け装置は、
1)上枠体固定板の下面に気密に取り付けられた上枠体と、
2)上枠体の内方・上方に配置した加熱ランプと、
3)上枠体の下端部に固定され、かつ複数の被加工品の上面にそれぞれフィルムを貼り合わせる際に必要な複数の窓穴を有する上ガイドプレートであって、上枠体固定板、上枠体、上ガイドプレートによって上チェンバーを画成する上ガイドプレートと、
4)下枠体固定板の上面に気密に配置された下枠体と、
5)下枠体の上端部に気密に載置され、軟化可能なフィルムを載せかつ上ガイドプレートとの間に軟化可能なフィルムを挟み、上ガイドプレートの窓穴に対応して複数の窓穴を有する下受けプレートであって、下枠体固定板、下枠体、下受けプレートによって下チェンバーを画成する下受けプレートと、
6)被加工品を下受けプレートの窓穴に対応して下受けプレートの下方に載置するための置板と、
7)下受け板と上ガイドプレートの間にフィルムを挟んだ状態で、被加工品をフィルムに押しつける第1のシリンダと、
8)上チェンバーあるいは下チェンバーを移動させてフィルムの上下に上下チェンバーを位置させ、上枠体の下端部と下枠体の上端部とを気密に接触させる第2のシリンダと、
9)上チェンバー内と下チェンバー内を真空脱気するための真空手段と、
10)上チェンバー内を高圧とする高圧手段とからなる、真空・加圧貼り付け装置。
- 上枠体固定板が基台から上方に延びる支持ロッドの上部に固定され、第2のシリンダが上枠体固定板の上に配置されている、請求項1に記載の真空・加圧貼り付け装置。
- 天板が基台から上方に延びる支持ロッドの上部に固定され、第2のシリンダが天板の上に配置され、第2のシリンダは上枠体固定板を天板に対して上下動させる、請求項1に記載の真空・加圧貼り付け装置。
- 前記上枠体が上枠体固定板の下面に気密に取り付けられた内側上枠体と該内側上枠体の外周面を気密に摺動する外側上摺動枠体とからなり、前記上ガイドプレートが外側上摺動枠体の下端部に固定され、前記第2のシリンダが外側上摺動枠体を内側上枠体の外周面に気密に摺動させて、下チェンバーの上端部と上チェンバーの下端部とを気密に接触させ、あるいは離間させる、請求項2に記載の真空・加圧貼り付け装置。
- 断熱マスクプレートが上枠体の内側かつ上ガイドプレートの上方に取り付けられ、ガイドプレートの窓穴と対応して設けられ同一かその前後寸法の窓穴を有し、上ガイドプレートの過熱を防止する、請求項1乃至4のいずれかに記載の真空・加圧貼り付け装置。
- 被加工品用置板の上に被加工品用置台を配置し、被加工品用置台の上に被加工品を置く、請求項1乃至5のいずれかに記載の真空・加圧貼り付け装置。
- 被加工品は、被加工品を被加工品用置板上面あるいは被加工品用置台上面に置いたとき、被加工品と被加工品用置板上面あるいは被加工品用置台上面との間に中空空間が形成される形状を有し、高圧手段によって上チェンバー内を高圧とする際に該中空空間を高圧とする、請求項6に記載の真空・加圧貼り付け装置。
- 被加工品用置板にヒータが設けられている、請求項1乃至7のいずれかに記載の真空・加圧貼り付け装置。
- 下受けプレートの複数の窓穴の周りで上ガイドプレートに対向する面にそれぞれパッキンが設けられ、複数のフィルムをそれぞれ下受けプレートの窓穴上に窓穴h1の周囲のパッキンを若干超えて配置し、複数のフィルムを複数の被加工品にそれぞれ貼着する、請求項1乃至8のいずれかに記載の真空・加圧貼り付け装置。
- 1)貼着に必要な大きさの複数の窓穴を有する上ガイドプレートと該複数の窓穴と対応する複数の窓穴を有する下受けプレートとの間に貼着用フィルムを挟み、該上ガイドプレートを含む上チェンバーと該下受けプレートを含む下チェンバーとをフィルムの上下に気密に位置させる工程と、
2)上下チェンバーを排気する工程と、
3)下受けプレートの窓穴と上ガイドプレートの窓穴に位置するフィルムを加熱し軟化させる工程と、
4)上下チェンバーを真空引きする工程と、
5)複数の被加工品をそれぞれの窓穴に位置する加熱軟化フィルムに押し当てる工程と、
6)下チェンバーを真空引きしつつ、上チェンバーを加圧し加熱軟化したフィルムを複数の被加工品に貼着する工程と、
7)加熱を停止し真空破壊し、上下チェンバーを離間させる工程と、
8)フィルムで被覆した被加工品を得る工程とからなる、フィルムを被加工品上に真空・加圧貼り付ける方法。
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JP2021041639A (ja) | 熱成形装置および熱成形方法 |
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