KR20150135094A

KR20150135094A - Exposure device

Info

Publication number: KR20150135094A
Application number: KR1020150067909A
Authority: KR
Inventors: 아키라 모리타; 마사아키 마츠다; 사토루 미도리카와
Original assignee: 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼
Priority date: 2014-05-23
Filing date: 2015-05-15
Publication date: 2015-12-02
Also published as: JP2015222370A; CN105093861B; TWI662373B; JP6510768B2; CN105093861A; TW201546574A; KR102333945B1

Abstract

The purpose of the present invention is to provide a roll-to-roll-type apparatus which can reduce tact time without generating a scratch on a long work and has appropriate joining precision of a formed pattern. The provide a roll-to-roll-type exposure apparatus includes: a light exposure stage (31) for storing and maintaining the long work (W); a stage transfer unit (32) for reciprocating the light exposure stage (31); a supply side holding roller (15), arranged on a downstream side of a supply reel (11) and an upstream side of the light exposure means (51), for holding the long work (W); and a winding side holding roller (25), arranged on a downstream side of the light exposure means (51) and an upstream side of a winding reel (21), for holding the long work (W). At least one side of the supply side holding roller (15) and the winding side holding roller (25) has a roller driving means.

Description

EXPOSURE DEVICE [0002]

본 발명은, 공급측으로부터 장척 워크(플렉서블 기판)를 노광부로 반송하고, 해당 노광부에서 장척 워크에 패턴을 노광하고, 장척 워크를 권취측으로 반송하는, 이른바 롤 투 롤(roll-to-roll) 방식의 노광 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a so-called roll-to-roll system in which a long work (flexible substrate) is conveyed from a supply side to an exposure section, a pattern is exposed to an elongated work in the exposure section, To an exposure apparatus.

일반적으로, 휴대 전화, 모바일 기기 등의 각종의 소형 전기 기기에 이용되는 전자 회로 기판(프린트 회로 기판)의 전기 회로 베이스 소재는, 기체가 경박단소(輕薄短小)하므로 얇고 고정밀도인 장척 워크가 사용된다.In general, an electric circuit base material of an electronic circuit substrate (printed circuit board) used in various small electric devices such as mobile phones and mobile devices is thin and has a long and narrow precision, do.

이러한 장척 워크의 소재는, 그 두께가 0.1 mm 정도에서 0.06 mm로 박형화 경향이 되고 있다. 또한, 최근에는, 두께가 0.05 mm 이하이고 폭이 550mm, 그리고 길이가 100m의 얇고 폭넓은 장척 워크형으로 매우 긴 장척 워크가 이용되고 있다.The material of such an elongated workpiece tends to be thinned from a thickness of 0.1 mm to 0.06 mm. In addition, recently, a very long elongated workpiece is used as a thin and wide elongated workpiece having a thickness of 0.05 mm or less, a width of 550 mm, and a length of 100 m.

장척 워크는 통상은 롤형으로 감겨 다루어지고 있다.The elongated work is usually handled in a roll shape.

이러한 장척 워크에 전자 회로를 형성하는 장치로서, 공급 릴과, 권취 릴과, 이 공급 릴과 권취 릴의 사이에 위치하는 노광부를 구비하고, 공급 릴과 권취 릴의 사이에 걸쳐 놓여진 장척 워크를 그 길이 방향으로 반송하면서, 노광부에 의해서 장척 워크의 표면에 패턴을 노광하는, 이른바 롤 투 롤(roll to roll) 방식의 것이 알려져 있다.An apparatus for forming an electronic circuit in such a long work, comprising: a supply reel; a take-up reel; and an exposure unit positioned between the supply reel and the take-up reel, A so-called roll-to-roll method is known in which a pattern is exposed on the surface of a long workpiece by an exposure section while being transported in the longitudinal direction.

또, 노광부에 DMD(Digital Micro-mirror Device) 등의 광변조 소자 어레이를 구비하고, 롤 투 롤 방식의 마스크레스(maskless) 노광 장치도 알려져 있다. 마스크레스 노광에 의해서, 장척 워크의 반송에 동기(同期)하여 광변조 소자 어레이의 구동 데이터를 순서대로 바꿈으로써, 예를 들면 1 m를 넘는 장척 패턴을 노광 형성할 수 있다.A roll-to-roll type maskless exposure apparatus having an optical modulation element array such as a DMD (Digital Micro-mirror Device) is also known in the exposure section. By changing the driving data of the optical modulator array in synchronization with the conveyance of the long work by the maskless exposure, it is possible to expose a long pattern exceeding 1 m, for example.

마스크레스 노광 장치의 경우, 일반적으로 노광 광학계의 초점심도의 관계로, 노광 스테이지를 이용하여 워크의 평면을 유지한 상태로 노광할 필요가 있다. 특허문헌 1의 롤 투 롤 방식의 마스크레스 노광 장치에서는, 장척 워크를 노광 스테이지에 흡착 고정하고 노광부와 장척 워크 표면과의 광축 방향의 거리를 일정하게 유지한 상태로, 광변조 소자와 장척 워크를 상대 이동시키면서 장척 워크 표면에 고착한 감광제층에 패턴광을 투영한다.
In the case of a maskless exposure apparatus, it is generally necessary to expose a work while keeping the plane of the work using the exposure stage in terms of the depth of focus of the exposure optical system. In the mask-less exposure apparatus of the roll-to-roll type in Patent Document 1, in the state in which the elongate workpiece is held by suction on the exposure stage and the distance between the exposure section and the surface of the elongate workpiece is kept constant, The pattern light is projected onto the photosensitive agent layer fixed on the surface of the elongated work.

일본 공개특허 특개2006-102991호 공보Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2006-102991

특허문헌 1과 같은 롤 투 롤 방식의 마스크레스 노광 장치에서는, 장척 워크의 반송 방향에 대한 1회의 노광 거리는 노광 스테이지의 스트로크에 의해서 제한된다. 제한을 넘은 길이의 패턴을 형성하기 위해서는, 1회의 노광 공정을 끝낸 후에, 장척 워크와 노광 스테이지를, 각각의 노광 개시 위치에 개별적으로 이동시킬 필요가 있다.In the mask-less exposure apparatus of the roll-to-roll type as in Patent Document 1, the exposure distance for the long workpiece in the transport direction is limited by the stroke of the exposure stage. In order to form a pattern with a length exceeding the limit, it is necessary to individually move the elongated work and the exposure stage to the respective exposure start positions after completing one exposure step.

그렇지만, 특허문헌 1의 롤 투 롤 방식의 마스크레스 노광 장치에서는, 장척 워크의 이동을 노광 스테이지에서 실시하기 때문에, 노광 스테이지를 고속으로 노광의 개시 위치로 되돌리려고 하면, 권출부 및 권취부에 설치되어 있는 댄서 롤러(dancer roller)가 기판의 복귀 속도를 추종하지 못하고 미끄러짐이 생겨, 장척 워크에 찰과흔이 생긴다.However, in the mask-less exposure apparatus of the roll-to-roll type in Patent Document 1, the movement of the long work is performed in the exposure stage. Therefore, when the exposure stage is to be returned to the exposure start position at high speed, The dancer roller does not follow the return speed of the substrate and slips, resulting in scratches and scratches on the long workpiece.

그렇다고 해서, 장척 워크의 복귀 속도에 댄서 롤러가 추종할 수 있도록 노광 스테이지의 가속도를 낮추는 경우는, 택트 타임에 큰 영향을 주게 되어, 생산성에 악영향을 일으킨다.However, when the acceleration of the exposure stage is lowered so that the dancer roller can follow the return speed of the long work, the tact time is greatly influenced, and the productivity is adversely affected.

또, 장척 워크의 복귀량과 노광 스테이지의 복귀량이 다르기(노광 스테이지가, 대략 노광 스테이지의 반송 방향 길이분 정도, 많이 복귀한다) 때문에, 노광 스테이지가 장척 워크의 흡착 고정을 해제하고, 노광 스테이지만이 이동하는 공정이 존재하지만, 그 때에 댄서 롤러의 무게나, 장척 워크의 자중(自重)이 균형 잡히지 않고, 장척 워크가 반송 방향으로 이동해 버린다. 이 때문에, 형성된 패턴의 1회째의 종료 위치와, 다음 번의 개시 위치가 합치하지 않는다고 하는 문제가 있었다.In addition, since the return amount of the long work and the return amount of the exposure stage are different (the exposure stage returns substantially as much as the length of the exposure stage in the carrying direction of the exposure stage), the exposure stage releases the suction fixation of the long work, At this time, the weight of the dancer roller or the weight of the elongated work is not balanced, and the elongated workpiece is moved in the carrying direction. Therefore, there is a problem that the first end position of the formed pattern does not match the next start position.

본 발명의 노광 장치는, 공급 릴로부터 권취 릴까지 장척이고 가소성(可塑性)이 있는 피(被) 노광체를 반송하는 반송 수단과, 공급 릴보다 하류측의 피노광체 상방에 설치되어, 복수의 공간 광변조 수단을 구비하는 노광 수단과, 피노광체의 일부분을 보관 유지하는 노광 스테이지와, 노광 스테이지를 반송 수단의 피노광체의 반송 방향에 따라서 왕복 이동시키는 이동 수단을 구비한다.The exposure apparatus of the present invention is characterized in that the exposure apparatus comprises conveying means for conveying a long and plastically exposed photoreceptor from a supply reel to a takeup reel, An exposure stage having an optical modulating means, an exposure stage for holding a part of the object to be exposed, and a moving means for reciprocating the exposure stage in the conveying direction of the object to be exposed by the conveying means.

또, 본 발명의 노광 장치는, 공급 릴의 하류측이고 노광 수단의 상류측에 설치되어, 피노광체를 구속(拘束)하는 공급측 구속 롤러와, 노광 수단의 하류측이고 권취 릴의 상류측에 설치되어, 피노광체를 구속하는 권취측 구속 롤러를 구비하고, 공급측 구속 롤러와 권취측 구속 롤러의 적어도 일방은 롤러 구동 수단을 구비한다.In addition, the exposure apparatus of the present invention is provided with a supply side restraining roller which is provided on the downstream side of the supply reel and on the upstream side of the exposing means and which restrains the object to be exposed, And at least one of the supply side restraint roller and the winding side restraint roller includes a roller driving means.

공급측 구속 롤러와 권취측 구속 롤러는, 노광 스테이지가 피노광체를 보관 유지하고 있을 때에는, 피노광체의 구속을 해제하고, 피노광체가 노광 스테이지의 이동에 따라 자유롭게 이동하는 것을 방해하지 않는다.The supply side restraint roller and the winding side restraining roller release the restraint of the object to be exposed when the exposure stage holds the object to be exposed and does not prevent the object to be moved freely in accordance with the movement of the exposure stage.

또, 본 발명의 노광 장치는, 노광 스테이지가 반송 개시 위치에서 반송 종료 위치까지 피노광체를 보관 유지한 상태로 이동하는 동안에 노광 수단이 피노광체에 패턴을 노광하고, 노광 수단의 노광 종료 후, 노광 스테이지가 반송 종료 위치로부터 반송 개시 위치까지 피노광체를 보관 유지하지 않도록 이동한다. 동시에, 공급측 구속 롤러가 피노광체를 공급측으로 이동시킨다.In the exposure apparatus of the present invention, the exposure means exposes the pattern to the object while the exposure stage moves from the transport start position to the transport end position while keeping the object, and after exposing the exposure means, The stage moves from the carrying end position to the carrying start position so as not to hold the object to be exposed. At the same time, the supply side restricting roller moves the object to be supplied to the supply side.

노광 스테이지는, 피노광체의 폭 방향의 단면(端面)(반송 방향에 따르는 단면)을 노광 스테이지에 압압하는 클램프 기구를 구비한다. 클램프 기구와 노광 스테이지와의 사이에 피노광체의 폭 방향의 양(兩) 단면이 협지됨으로써, 피노광체의 노광면이 평면이 되도록 보관 유지된다.The exposure stage is provided with a clamping mechanism for pressing the end face (cross section along the conveying direction) of the exposed object in the width direction against the exposure stage. Both cross sections in the width direction of the object to be exposed are sandwiched between the clamp mechanism and the exposure stage so that the exposure surface of the object to be exposed is kept flat.

또, 본 발명의 노광 장치는, 촬상 수단과, 촬상 수단이 촬상한 화상을 표시 가능한 표시 수단을 구비하고, 촬상 수단은, 위치 결정 스텝에서 피노광체에 설치된 위치 결정 마크의 촬상에 이용됨과 동시에, 노광된 패턴을 확인하는 스텝에서의 패턴의 관찰에도 이용된다.Further, the exposure apparatus of the present invention includes the imaging means and the display means capable of displaying the image picked up by the imaging means, and the imaging means is used for imaging the positioning mark provided on the object in the positioning step, It is also used to observe the pattern in the step of confirming the exposed pattern.

본 발명에 의하면, 장척 워크에 흠을 내는 일 없이 택트 타임을 단축할 수 있고, 또 형성된 패턴의 이음 정밀도(精度)가 양호한 롤 투 롤 방식의 노광 장치를 실현할 수 있다.
According to the present invention, it is possible to realize a roll-to-roll type exposure apparatus capable of shortening the tact time without scratching the long work and further improving the joining accuracy (precision) of the formed pattern.

[도 1] 본 발명의 일 실시 형태에 따른 노광 장치의 개략 구성을 나타내는 측면 투시도이다.
[도 2] 노광 스테이지의 워크 클램프부를 나타내는 평면도이다.
[도 3a] 노광 장치의 동작을 나타내는 제1 공정도이다.
[도 3b] 노광 장치의 동작을 나타내는 제2 공정도이다.
[도 3c] 노광 장치의 동작을 나타내는 제3 공정도이다.
[도 3d] 노광 장치의 동작을 나타내는 제4 공정도이다.
[도 3e] 노광 장치의 동작을 나타내는 제5 공정도이다.
[도 3f] 노광 장치의 동작을 나타내는 제6 공정도이다.
[도 3g] 노광 장치의 동작을 나타내는 제7 공정도이다.
[도 3h] 노광 장치의 동작을 나타내는 제8 공정도이다.
[도 3i] 노광 장치의 동작을 나타내는 제9 공정도이다.
[도 3j] 노광 장치의 동작을 나타내는 제10 공정도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a side perspective view showing a schematic structure of an exposure apparatus according to an embodiment of the present invention. Fig.
2 is a plan view showing a work clamping portion of an exposure stage.
3A is a first process diagram showing the operation of the exposure apparatus.
Fig. 3B is a second process chart showing the operation of the exposure apparatus. Fig.
Fig. 3c is a third process chart showing the operation of the exposure apparatus. Fig.
[Fig. 3d] A fourth process chart showing the operation of the exposure apparatus.
Fig. 3E is a fifth process chart showing the operation of the exposure apparatus. Fig.
FIG. 3F is a sixth process chart showing the operation of the exposure apparatus. FIG.
Fig. 3g is a seventh process chart showing the operation of the exposure apparatus. Fig.
Fig. 3H is an eighth process chart showing the operation of the exposure apparatus. Fig.
Fig. 3I is a ninth process chart showing the operation of the exposure apparatus. Fig.
Fig. 3j is a tenth process diagram showing the operation of the exposure apparatus. Fig.

≪제1 실시 형태≫&Lt; First Embodiment >

도 1~도 2를 참조하여, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 노광 장치(1)에 대해 설명한다. 노광 장치(1)는, 이른바 롤 투 롤(roll to roll) 방식의 노광 장치이며, 장척 워크(W)의 반송 방향의 상류측으로부터 하류측을 향해 순서대로, 장척 워크(W)를 공급하는 공급부(10)와, 장척 워크(W)의 표면에 패턴을 노광하여 전자 회로를 형성하는 노광부(30)와, 노광이 끝난 장척 워크(W)를 회수하는 권취부(20)를 구비하고 있다.An exposure apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 2. Fig. The exposure apparatus 1 is a so-called roll-to-roll type exposure apparatus and includes a supply unit for supplying the elongated work W in order from the upstream side to the downstream side in the transport direction of the longitudinal work W, An exposure unit 30 for exposing a pattern on the surface of the elongate workpiece W to form an electronic circuit and a winding unit 20 for recovering the elongated workpiece W after exposure.

<장척 워크(W)의 구성>&Lt; Configuration of Long Work W >

장척 워크(W)는, 예를 들면, 휴대 전화나 모바일 기기 등에 이용되는 전자 회로 기판(프린트 회로 기판)의 베이스 소재가 되는 감광성 장척 필름(표면에 감광체를 도포한 합성 수지제 유연 필름)을 롤형으로 한 것이다. 포토레지스트(photoresist) 등의 감광 재료가 도포된 장척 워크(W)는, 동장적층판(銅張積層板) 등에 의한 시트형태로 형성되어, 수십~수백 미터의 길이를 가진다. 이하에서는, 장척 워크(W)의 표리면 중, 도면 중의 상방을 향하는 면을 「표면」이라 하고, 도면 중의 하방을 향하는 면을 「이면」이라 한다.The elongated work W is a roll type photosensitive film that is a base material for an electronic circuit board (printed circuit board) used in, for example, a cellular phone or a mobile device, . The elongate work W to which a photosensitive material such as a photoresist is applied is formed in a sheet form by a copper-clad laminate or the like, and has a length of several tens to several hundred meters. Hereinafter, of the front and back surfaces of the elongate workpiece W, the upwardly facing surface is referred to as the " surface ", and the downwardly facing surface is referred to as the back surface.

이하에서는, 반송 방향(M)에 따른 방향을 "X", 반송 방향(M)에 수직인 장척 워크(W)의 폭 방향을 "Y", X와 Y의 쌍방과 수직인 방향(연직 방향)을 "Z"로 나타낸다. 또, 노광 장치(1)에서의 요소의 위치 관계를 나타낼 때에, 공급 릴에 가까운 쪽을 상류측, 권취 릴에 가까운 쪽을 하류측이라고 칭한다.Hereinafter, the direction along the carrying direction M is referred to as "X", the width direction of the elongated workpiece W perpendicular to the carrying direction M is referred to as "Y", the direction perpendicular to both the X and Y directions Quot; Z ". Further, when showing the positional relationship of the elements in the exposure apparatus 1, the side closer to the supply reel is referred to as the upstream side, and the side closer to the take-up reel is referred to as the downstream side.

<공급부(10) 및 권취부(20)의 구성><Configuration of Supply Unit 10 and Winding Unit 20>

공급부(10)는, 장척 워크(W)의 반송 방향의 상류측으로부터 하류측을 향해 순서대로, 공급 릴(11), 가이드 롤러(12), 공급측 댄서 롤러(dancer roller)(13), 가이드 롤러(14), 공급측 제동 롤러(15), 및 단면 위치 센서(16)를 구비하고, 장척 워크(W)를 노광부(30)에 공급하기 위한 워크 공급계를 구성한다. 권취부(20)는, 장척 워크(W)의 반송 방향의 상류측으로부터 하류측을 향해 순서대로, 권취측 제동 롤러(25), 가이드 롤러(24), 권취측 댄서 롤러(23), 가이드 롤러(22), 및 권취 릴(21)을 구비하고, 노광부(30)에 의해 노광된 장척 워크(W)를 감기 위한 워크 권취계를 구성한다.The supply section 10 sequentially supplies the supply reel 11, the guide roller 12, the supply side dancer roller 13, the guide roller 12, A supply side braking roller 15 and a cross sectional position sensor 16 to constitute a workpiece supply system for supplying the elongated workpiece W to the exposure section 30. [ The winding section 20 is constituted by the winding side braking roller 25, the guide roller 24, the winding side dancer roller 23 and the guide roller 24 in this order from the upstream side to the downstream side in the conveying direction of the longitudinal work W, And a take-up reel 21 to constitute a work winding system for winding the elongated work W exposed by the exposure unit 30. [

공급 릴(11)은, 롤형으로 감겨진 장척 워크(W)를 보관 유지하고 있고, 자신의 회전축을 중심으로 하여 회전함으로써, 장척 워크(W)를 하류측을 향하여 공급하는(내보내는) 것이다. 권취 릴(21)은, 자신의 회전축을 중심으로 하여 회전함으로써, 상류측으로부터 공급되어 온 장척 워크(W)를 롤형으로 감아 이를 보관 유지하는 것이다. 공급 릴(11)과 권취 릴(21)은, 상기 공급 릴(11)과 권취 릴(21)을 간헐적으로 회전 구동하는 회전 구동 수단(도시하지 않음)을 구비하고 있다. 공급 릴(11)과 권취 릴(21)은, 장척 워크(W)의 반송에 수반하여 상기 장척 워크(W)의 공급량과 권취량이 변화함으로써, 그 외경(外徑)이 변화한다.The supply reel 11 holds the elongated work W wound in the form of a roll and rotates about its own axis of rotation so as to supply (discharge) the elongated work W toward the downstream side. The take-up reel 21 rotates about its own axis of rotation so that the elongated workpiece W supplied from the upstream side is rolled up and held. The supply reel 11 and the take-up reel 21 are provided with rotation drive means (not shown) for intermittently rotating the supply reel 11 and the take-up reel 21. The supply reel 11 and the take-up reel 21 change their outer diameters by changing the supply amount and the winding amount of the elongated work W as the elongate work W is conveyed.

가이드 롤러(12, 14, 22, 24), 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)는, 공급 릴(11)과 권취 릴(21)의 사이에 장척 워크(W)를 걸쳐 놓여져 있고, 자신의 회전축을 중심으로 하여 회전함으로써, 공급 릴(11)로부터의 장척 워크(W)를 권취 릴(21)을 향해서 반송하는 것이다.The guide rollers 12, 14, 22 and 24, the supply side braking roller 15 and the take-up side brake roller 25 are arranged such that a long workpiece W is placed between the supply reel 11 and the take- And rotates about its own axis of rotation so that the elongated workpiece W from the supply reel 11 is transported toward the take-up reel 21.

공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)는, 각각의 회전축이 수평 방향으로 대략 일직선으로 나란하게 배치되어 있다. 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)는, 장척 워크(W)를 사이에 두고 대향해서 배치된 2개의 롤러로 이루어지는 닙 롤러(nip roller)로 구성된다. 이 2개의 롤러는 장척 워크(W)를 협지, 또는 해방하는 것처럼, 미도시의 기구(機構)로 상하 방향(Z 방향)으로 각각 이동 가능하게 되어 있다.The supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25 are arranged such that their rotational axes are arranged substantially in a straight line in the horizontal direction. The supply side braking roller 15 and the winding side braking roller 25 are constituted by nip rollers composed of two rollers arranged opposite to each other with the elongated work W interposed therebetween. These two rollers are movable in the vertical direction (Z direction) by a mechanism (not shown) such as sandwiching or releasing the elongated workpiece W, respectively.

공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)는, 닙 롤러가 장척 워크(W)를 협지하고, 닙 롤러가 회전하지 않게 브레이크를 거는 것으로, 장척 워크(W)에 제동을 걸 수 있다. 한편, 장척 워크(W)를 개방한 상태에서는, 장척 워크(W)의 이동을 저해하지 않게 닙 롤러를 장척 워크(W)의 표리면으로부터 이간시킨다.The supply side brake roller 15 and the winding side brake roller 25 can brake the longitudinal work W by nipping the longitudinal workpiece W and braking the nip roller so as not to rotate . On the other hand, when the elongate workpiece W is opened, the nip roller is separated from the front and back surfaces of the elongate workpiece W so as not to inhibit the movement of the elongate workpiece W.

또, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)는, 롤러를 회전 구동하는 회전 구동 수단(도시하지 않음)을 각각 구비하고 있다. 장척 워크(W)를 협지한 상태로, 회전 구동 수단이 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)를 간헐적으로 대략 동일한 회전 구동량으로 회전 구동함으로써, 공급 릴(11)과 권취 릴(21)의 사이에 걸쳐 놓여진 장척 워크(W)를 소정 장(長)씩 반송(프레임 넘김)할 수 있다. 회전 구동 수단은 예를 들면 스테핑 모터가 이용되고, 장척 워크(W)의 이송량이나 가속도 등이 정밀도 좋게 컨트롤되는 것으로 한다.The supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25 are each provided with a rotation driving means (not shown) for rotationally driving the rollers. The rotary drive means rotatably drives the supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25 intermittently at substantially the same rotational drive amount while sandwiching the elongate work W. The supply reel 11 and the take- It is possible to transport (frame turn) the elongated work W placed between the first and second movable bodies 21 by a predetermined length. The rotation driving means is, for example, a stepping motor, and it is assumed that the feed amount and acceleration of the elongated work W are accurately controlled.

또한, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)는, 장척 워크(W)를 협지하는 닙 롤러를 대신하여 장척 워크(W)의 이면을 흡착하는 흡착 수단을 구비한 흡착 롤러를 이용해도 좋다. 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)가 장척 워크(W)의 이면을 흡착한 상태로 회전 구동 수단이 회전 구동함으로써, 장척 워크(W)를 반송할 수 있다.The supply side braking roller 15 and the winding side braking roller 25 may be replaced by a suction roller having an adsorption means for adsorbing the back surface of the elongated work W in place of the nip roller for sandwiching the elongate work W It is also good. The elongated work W can be carried by the rotary drive means being driven to rotate while the supply side brake roller 15 and the take-up side brake roller 25 adsorb the back surface of the elongate work W. [

또, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)의 쌍방으로 회전 구동 수단이 있는 경우를 예시했지만, 제동 롤러가 한 방향으로만 장척 워크(W)를 반송하는 경우는, 인입측(공급측)의 제동 롤러에만 회전 구동 수단을 갖고, 타방의 제동 롤러에는 브레이크만을 갖게 해도 좋다. 그 경우, 인입측의 제동 롤러가 회전 구동할 때에는, 타방의 제동 롤러는 장척 워크(W)를 협지한 채로 브레이크를 해제하고, 장척 워크(W)의 이동에 맞춰서 닙 롤러가 함께 돌도록 하면 좋다.Although the case where the supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25 are provided with rotational drive means is exemplified, when the braking roller conveys the elongated work W only in one direction, Only the braking roller on the supply side may have the rotation drive means and the other braking roller may have only the brake. In this case, when the drawing-side braking roller is driven to rotate, the other braking roller releases the braking while sandwiching the elongated workpiece W, and the nip rollers are caused to rotate together with the movement of the elongate workpiece W .

가이드 롤러(12, 14, 22, 24)는, 공급 릴(11)로부터 공급된(내보내진) 장척 워크(W)를 하류측으로 안내하는 보조 롤러이다. 가이드 롤러 중, 적어도 가이드 롤러(14 및 24)는, 각각의 회전축이 수평 방향으로 대략 일직선으로 나란하게 배치되어 있다. 공급 가이드 롤러(12, 14, 22, 24)는, 장척 워크(W)가 폭 방향(도 1, 도 3 중의 지면 수직 방향, 도 2 중의 좌우 방향)으로 어긋나는 것을 방지하는 플랜지(도시하지 않음)를 가지고 있어도 된다.The guide rollers 12, 14, 22 and 24 are auxiliary rollers for guiding the longitudinal work W supplied (fed out) from the supply reel 11 to the downstream side. Of the guide rollers, at least guide rollers 14 and 24 are arranged such that their respective rotation axes are arranged substantially in a straight line in the horizontal direction. The supply guide rollers 12, 14, 22 and 24 are provided with a flange (not shown) for preventing the elongated workpiece W from deviating in the width direction (the vertical direction of the paper surface in Figs. 1 and 3, .

공급측 댄서 롤러(13) 및 권취측 댄서 롤러(23)는, 장척 워크(W)의 반송에 따라서 승강하고, 장척 워크(W)에 대해서 장력을 거는 것으로 장척 워크(W)에 처짐이나 주름이 생기는 것을 방지함과 동시에, 후술하는 노광부에서의 주사(走査) 노광을 위해서, 장척 워크(W)를 노광부(30)에서 이동시키기 위한 버퍼로서의 기능을 가지고 있다.The supply side dancer roller 13 and the winding side dancer roller 23 move up and down in accordance with the conveyance of the elongate workpiece W and apply tensile force to the elongate workpiece W to cause sagging or wrinkling of the elongate workpiece W And has a function as a buffer for moving the elongate workpiece W in the exposure section 30 for scanning exposure in the exposure section described later.

공급부(10)는, 장척 워크(W)의 단면 위치를 검지하기 위한 단면 위치 센서(16)를 구비하고 있다. 단면 위치 센서(16)의 출력에 따라서, 공급부(10)는 미도시의 기구에 의해, 장척 워크(W)의 사행(蛇行)을 보정하는 단면 위치 제어를 실시한다. 단면 위치 제어는 예를 들면 공급 릴(11)로부터 공급측 제동 롤러(15)까지를 일체로 해서 지지하는 프레임(미도시)을 마련하고, 그 프레임을 장척 워크(W)의 폭 방향(Y 방향)으로 이동시키는 것에 의해서 실시한다. 단면 위치 제어는 기존의 기술이며, 일반적으로 공지의 콘트롤러를 이용해 실현 가능하다.The supply unit 10 is provided with a cross-sectional position sensor 16 for detecting the cross-sectional position of the longitudinal work W. In accordance with the output of the one-sided position sensor 16, the supplying unit 10 performs a one-sided position control for correcting the meandering of the elongate work W by a mechanism not shown. The cross-sectional positional control is carried out, for example, by providing a frame (not shown) which integrally supports the supply reel 11 to the supply side braking roller 15, and arranging the frame in the width direction (Y direction) To the user. One-sided position control is an existing technique, and can be realized using a generally known controller.

<노광부(30)의 구성><Configuration of Exposure Portion 30>

노광부(30)는, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)의 사이에 배치되어 있다. 노광부(30)는, 노광 스테이지(31), 얼라이먼트 카메라(41) 및 노광 유닛(51)을 구비하고 있다.The exposure section 30 is disposed between the supply-side braking roller 15 and the take-up-side braking roller 25. The exposure unit 30 includes an exposure stage 31, an alignment camera 41, and an exposure unit 51.

노광 유닛(51)은, 복수의 노광 헤드(미도시)를 구비하고, 장척 워크(W)로부터 소정 거리만큼 연직 상방으로 떨어진 장소에 규칙적으로 배치되어 있다. 각 노광 헤드에 대해, 광원 및 조명 광학계(도시하지 않음)가 배치되어 있고, 광원으로부터 방사된 광은, 각각 대응하는 조명 광학계를 통해서 대응하는 노광 헤드로 유도된다. 각 노광 헤드는, 복수의 마이크로 미러(Micro-mirror)를 2 차원 배열시킨 DMD(Digital Micro-mirror Device)와, DMD의 상(像)을 장척 워크 상에 결상하는 결상 광학계를 구비한다.The exposure unit 51 includes a plurality of exposure heads (not shown) and is regularly arranged at a position vertically upward from the longitudinal work W by a predetermined distance. For each exposure head, a light source and an illumination optical system (not shown) are disposed, and the light emitted from the light source is guided to the corresponding exposure head through a corresponding illumination optical system. Each exposure head has a DMD (Digital Micro-mirror Device) in which a plurality of micro-mirrors are two-dimensionally arranged and an imaging optical system for imaging an image of the DMD on a long work.

DMD의 마이크로 미러는, 광을 장척 워크(W) 상으로 유도하는 제1 자세와 장척 워크(W) 밖으로 유도하는 제2 자세 중 어느 하나에 선택적으로 위치 결정되고, 각 마이크로 미러는 독립하여 제어된다.The micromirror of the DMD is selectively positioned in either a first posture for guiding light onto the long work W and a second posture for guiding the light out of the longitudinal work W, and each micromirror is independently controlled .

각 노광 헤드에는, 장척 워크(W)를 반송 방향(M)에 따라서 분할함으로써 규정되는 노광 영역이 각각 할당되고, 각 노광 헤드에 대해서 주사 밴드가 규정된다. 각 노광 헤드로부터의 광의 조사 영역인 노광 에어리어(area)는, 각각 주사 밴드의 폭에 따라서 형성되고, 노광 에어리어에 의해서 장척 워크(W)에 광이 조사된다.In each of the exposure heads, exposure regions defined by dividing the elongated work W in the conveying direction M are respectively assigned, and scanning bands are defined for the respective exposure heads. An exposure area, which is an irradiation area of light from each exposure head, is formed in accordance with the width of the scanning band, and light is irradiated to the long work W by the exposure area.

노광 스테이지(31)는, 장척 워크(W)의 이면을 흡착하면서 이것을 평탄하게 보관 유지한다. 노광 스테이지(31)는, 승강 구동 수단(34)에 의해서, 노광 스테이지(31)가 장척 워크(W)의 이면에 접촉하는 상단 위치와, 노광 스테이지(31)가 장척 워크(W)의 이면과 이간하는 하단 위치와의 사이에 승강 가능하게 되어 있다. 또, 노광 스테이지(31)가 주사 또는 스텝·앤드·리피트(step-and-repeat)하기 위한 스테이지 이동부(32)를 구비한다.The exposure stage 31 holds the back surface of the elongate work W while keeping it flat. The exposure stage 31 is controlled by the elevation drive means 34 such that the exposure stage 31 contacts the back surface of the elongate workpiece W and the upper stage where the exposure stage 31 contacts the back surface of the elongate workpiece W. [ And a lower end position where it is spaced apart. Further, the exposure stage 31 is provided with a stage moving section 32 for scanning or step-and-repeat.

도 2에 있듯이, 노광 스테이지(31)는, 장척 워크(W)의 반송 방향(X 방향)에 따른 단면을 협지하는 워크 클램프 기구(35)를 구비하고 있다. 워크 클램프 기구(35)는 장척 워크(W)의 반송 방향(X 방향)의 단면을 스테이지와의 사이에 협지하는 클램프(35a)와 클램프(35b)로 구성된다. 클램프(35a)와 클램프(35b)는, 도시하지 않은 Y 방향 이동 기구에 장착되어 있고, 장척 워크(W)의 폭에 따라 협지 위치를 조정하는 것이 가능하다.2, the exposure stage 31 is provided with a work clamping mechanism 35 for clamping a cross section along the conveying direction (X direction) of the longitudinal work W. As shown in Fig. The work clamping mechanism 35 is constituted by a clamp 35a and a clamp 35b which sandwich a cross section of the longitudinal work W in the carrying direction (X direction) between the work and the stage. The clamp 35a and the clamp 35b are attached to a Y-direction moving mechanism (not shown), and the clamping position can be adjusted according to the width of the longitudinal work W.

장척 워크(W)는 얇은 필름 형태이기 때문에, 폭 방향(Y 방향)으로 휘어짐이 발생한다. 워크 클램프 기구(35)가, 노광 스테이지에 장척 워크(W)를 억누르도록 협지함으로써, 장척 워크(W)의 노광되는 영역을 평탄하게 교정하여 보관 유지할 수 있다.Since the elongated workpiece W is in the form of a thin film, warpage occurs in the width direction (Y direction). The work clamping mechanism 35 clamps the elongated work W to the exposure stage so as to suppress the elongated work W so that the exposed area of the elongate work W can be flatly corrected and retained.

얼라이먼트 카메라(41)는, 노광 유닛(51)보다 상류측에 설치되어, 장척 워크(W)에 설치된 얼라이먼트 마크를 촬상함으로써, 장척 워크(W)의 위치 정보를 취득한다. 얼라이먼트 마크의 촬상은, 장척 워크(W)를 X 방향으로 이동시키면서 실시한다.The alignment camera 41 is provided on the upstream side of the exposure unit 51 and captures an alignment mark provided on the longitudinal work W to acquire positional information of the longitudinal work W. [ The imaging of the alignment mark is performed while moving the elongate workpiece W in the X direction.

<노광 장치(1)에 의한 노광 반송 동작><Exposure and Conveying Operation by Exposure Apparatus 1>

도 3a~도 3j의 공정도를 참조하여, 노광 장치(1)에 의한 노광 반송 동작에 대해 상세하게 설명한다. 한편, 도면 중에서의 장척 워크(W) 근방의 화살표는 장척 워크(W)의 이동을 나타낸다. 또, 장척 워크(W) 상의 점 A는 제1회째의 노광 때의 선두 위치를 나타내고, 점 B는 제1회째의 노광 시의 종단 위치이고, 제2회째의 노광 시의 선두 위치를 나타내는 것이다.The exposure transport operation by the exposure apparatus 1 will be described in detail with reference to the process charts of Figs. 3A to 3J. On the other hand, an arrow in the vicinity of the longitudinal work W in the drawing indicates the movement of the longitudinal work W. Point A on the long work W indicates the head position at the first exposure, point B indicates the end position at the first exposure, and head position at the second exposure.

스텝 S1: 가공 전의 새로운 소재인 롤형의 장척 워크(W)를 공급 릴(11)에 세트하고, 장척 워크(W)의 선단부를 내보내서 가이드 롤러(12), 공급측 댄서 롤러(13), 가이드 롤러(14), 공급측 제동 롤러(15), 권취측 제동 롤러(25), 가이드 롤러(24), 권취측 댄서 롤러(23), 가이드 롤러(22)에 걸쳐 놓아 가고, 권취 릴(21)에 고정한다. 이 초기 세트 상태에서, 공급측 댄서 롤러(13) 및 권취측 댄서 롤러(23)에서는, 장척 워크(W)는 버퍼되어 있지 않다.(도 3a)Step S1: A long workpiece W of a roll type as a new raw material before processing is set on the supply reel 11 and the leading end of the elongate work W is fed out to feed the guide roller 12, the supply side dancer roller 13, Is wound on the take-up reel 21, the take-up reel 21, the supply side braking roller 15, the take-up side brake roller 25, the guide roller 24, the take-up side dancer roller 23 and the guide roller 22, do. In this initial set state, the elongate work W is not buffered on the supply side dancer roller 13 and the take-up side dancer roller 23 (Fig. 3A)

스텝 S2: 노광 장치의 자동 운전 모드를 개시한다. 얼라이먼트 개시 위치에서 대기하고 있던 노광 스테이지(31)가 상단 위치까지 상승하고, 1 프레임 분의 장척 워크(W)의 이면을 흡착하면서 이것을 평탄하게 보관 유지한다. 또, 노광 스테이지(31)의 워크 클램프 기구(35)가 장척 워크(W)를 스테이지와의 사이에서 협지한다.(도 3b)Step S2: The automatic operation mode of the exposure apparatus is started. The exposure stage 31 waiting at the alignment start position rises to the upper end position and holds the back surface of the elongated work W for one frame while keeping it flat. Further, the work clamping mechanism 35 of the exposure stage 31 sandwiches the elongated work W between the stage and the stage (Fig. 3B)

스텝 S3: 공급 릴(11)의 회전 구동 수단(도시하지 않음)이 소정의 회전 구동량만큼 회전함으로써, 공급 릴(11)이 장척 워크(W)를 노광 스테이지(31)의 1 스트로크분(약 2 프레임)만큼 내보낸다. 내보내진 장척 워크(W)는, 공급 가이드 롤러(12)를 경유하여 공급측 댄서 롤러(13)에 들어간다. 여기서, 장척 워크(W)는 하류측에 있어서 노광 스테이지(31)에서 흡착되고 있기 때문에, 장척 워크(W)는 적당한 장력을 유지하면서 댄서 롤러(13)에 버퍼된다.(도 3c)Step S3: The rotation drive means (not shown) of the supply reel 11 is rotated by a predetermined rotational drive amount so that the supply reel 11 can move the elongated work W to the exposure stage 31 for one stroke 2 frames). The extruded work W is fed into the supply side dancer roller 13 via the supply guide roller 12. Since the elongated work W is attracted to the exposure stage 31 on the downstream side, the elongated work W is buffered in the dancer roller 13 while maintaining a proper tension (Fig. 3C)

스텝 S4: 노광 스테이지(31)가 X 방향으로 구동되어, 장척 워크(W)를 흡착 보관 유지한 채로 얼라이먼트 카메라(41)의 하방을 통과한다. 그 때에, 노광 스테이지(31)의 이동에 따라, 공급측 댄서 롤러(13)에 버퍼되고 있던 장척 워크(W)가 인출되고, 동시에 권취측 댄서 롤러(23)부에서 장척 워크(W)의 U자 형상이 깊어지고, 장척 워크(W)가 버퍼된다.(도 3c→도 3d)Step S4: The exposure stage 31 is driven in the X direction to pass under the alignment camera 41 while keeping the long work W adsorbed. At this time, as the exposure stage 31 is moved, the elongated workpiece W buffered in the supply side dancer roller 13 is pulled out, and at the same time, the U side of the elongate workpiece W in the take- The shape becomes deeper, and the elongated work W is buffered (Fig. 3C to Fig. 3D).

장척 워크(W)에 내층 패턴이 존재하는 경우(빌드업 기판의 세컨드 층 이후 등) 노광하는 패턴과 내층 패턴과의 위치 맞춤을 위한 얼라이먼트 마크가 장척 워크(W)에 설치되어 있다. 노광 스테이지(31)의 이동에 맞추어, 장척 워크(W)에 형성된 얼라이먼트 마크를 얼라이먼트 카메라(41)로 촬상한다. 또, 장척 워크(W)에 내층 패턴이 없는 경우(빌드업 기판의 퍼스트 층 등)는 얼라이먼트 마크가 설치되지 않은 경우가 있지만, 그 경우는 노광 장치(1)가 얼라이먼트(노광 데이터에 의한 노광 위치 보정)를 실시하지 않기 때문에 얼라이먼트 마크의 촬상은 행해지지 않는다.Alignment marks for aligning the exposed pattern with the inner layer pattern are provided on the elongated work W when the inner layer pattern exists in the elongated work W (such as after the second layer of the build-up substrate). Alignment marks formed on the long work W are picked up by the alignment camera 41 in accordance with the movement of the exposure stage 31. [ In the case where the elongate workpiece W does not have the inner layer pattern (the first layer of the build-up substrate), the alignment mark may not be provided. In this case, the exposure apparatus 1 may be arranged in alignment Correction) is not performed, so that the imaging of the alignment mark is not performed.

스텝 S5: 얼라이먼트 마크의 촬상에 의해 얻은 장척 워크(W)의 위치 정보에 근거하여, 장척 워크와 노광되는 패턴과의 얼라이먼트가 행해진다. 구체적으로는, 장척 워크(W)의 위치 정보가 노광 유닛(51)의 노광 제어부(미도시)에 송신되어, 노광 유닛(51)이 장척 워크(W)에 패턴을 노광하기 위한 노광 데이터의 좌표에 대해 보정 처리가 행해진다. 노광 데이터의 보정 처리를 하고 있는 동안, 노광 스테이지(31)는 장척 워크(W)를 보관 유지한 채로, 노광 개시 위치에서 일시정지 한다.(도 3d)Step S5: Alignment of the long work and the pattern to be exposed is performed based on the positional information of the long work W obtained by imaging of the alignment mark. More specifically, the position information of the longitudinal work W is transmitted to an exposure control section (not shown) of the exposure unit 51, and the exposure unit 51 calculates the coordinates of the exposure data for exposing the long work W The correction processing is performed. While the exposure data is being corrected, the exposure stage 31 temporarily stops at the exposure start position while keeping the long work W. (Fig. 3D)

스텝 S6: 노광 스테이지(31)가 하류 방향으로 이동을 개시하고, 노광부(30)에서는, 기존의 다중 노광 기술에 의해서 노광 유닛(75)이, 노광 스테이지(31)가 흡착 보관 유지하는 장척 워크(W)의 표면의 감광 재료층에 전자 회로 패턴을 주사 노광한다(도 3d→도 3e). 점 A로부터 점 B까지의 1 프레임 분의 장척 워크(W)의 노광이 완료되면, 노광 스테이지(31)는 하류 방향으로의 이동을 종료하고, 노광 종료 위치에서 정지한다.(도 3e)Step S6: The exposure stage 31 starts to move in the downstream direction. In the exposure section 30, the exposure unit 75 is moved by the conventional multiple exposure technique to the longitudinal stage 31 The electronic circuit pattern is scanned and exposed on the photosensitive material layer on the surface of the wafer W (Fig. 3D to Fig. 3E). When the exposure of the long work W for one frame from the point A to the point B is completed, the exposure stage 31 finishes the movement in the downstream direction and stops at the exposure end position (Fig. 3E)

스텝 S7: 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)가 장척 워크(W)를 협지하고, 장척 워크(W)를 고정한다(도 3f). 그 후, 노광 스테이지(31)에 의한 장척 워크(W)의 흡착을 해제함과 동시에, 워크 클램프 기구(35)가 장척 워크(W)의 고정을 해제하고, 승강 구동 수단(34)이 노광 스테이지(31)를 하단 위치로 하강시킨다(도 3g). 장척 워크(W)는 롤러(15 및 25)에 의해 협지되므로, 스테이지(31)가 장척 워크(W)로부터 이간할 때에 장척 워크(W)가 X 방향이나 Y 방향으로 이동하는 일 없이 제동되어, 소정의 위치를 유지할 수 있다.Step S7: The supply side brake roller 15 and the take-up side brake roller 25 hold the elongated workpiece W and fix the elongate workpiece W (Fig. 3F). Thereafter, the adsorption of the longitudinal work W by the exposure stage 31 is released, the work clamping mechanism 35 releases the fixing of the longitudinal work W, and the elevation drive means 34 moves the exposure stage (See Fig. 3G). The elongated work W is held by the rollers 15 and 25 so that the elongated work W is braked without moving in the X or Y direction when the stage 31 moves away from the elongate work W, The predetermined position can be maintained.

스텝 S8: 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)의 회전 구동 수단(도시하지 않음)이 소정의 회전 구동량만큼 회전함으로써, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)가 장척 워크(W)를 소정량 되감아, 장척 워크(W)의 노광 완료한 1 프레임 다음의 1 프레임 분이 얼라이먼트 개시 위치에 오도록(즉 점 B가 스텝 S2에서의 점 A의 위치에 오도록), 장척 워크(W)를 이동시킨다. 그 때에는, 단면 위치 센서(16)의 출력을 이용하여 장척 워크(W)의 사행을 보정하면서 장척 워크(W)의 이동을 실시한다(도 3g→도 3h).Step S8: The supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25 are rotated by a predetermined rotational drive amount by the rotation drive means (not shown) of the supply side braking roller 15 and the take- The predetermined length of the elongated work W is rewound so that the next frame of one frame after the exposure of the elongate work W comes to the alignment start position (that is, the point B is located at the position of the point A in step S2) Thereby moving the elongated work W. At this time, the longitudinal workpiece W is moved while correcting the meandering of the longitudinal workpiece W by using the output of the cross-sectional position sensor 16 (Fig. 3G to Fig. 3H).

공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)가 장척 워크(W)를 복귀 방향으로 이동시키면, 장척 워크(W)는 공급측 댄서 롤러(13)에 있어서 U자 형상이 깊어져 가는 동시에, 권취측 댄서 롤러(23)에 있어서 U자 형상이 얕아져 간다. 그 때에, 장척 워크(W)를 구동하는 가속도가 급하고 험난한 경우, 댄서 롤러가 장척 워크 상에서 슬립하고, 장척 워크(W)에 흠집을 내서 불량품이 될 우려가 있으므로, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)는 적절한 가감속을 행하도록 회전 구동된다.When the supply side braking roller 15 and the take-up side brake roller 25 move the longitudinal work W in the return direction, the elongated work W deepens in the U-shape in the supply side dancer roller 13, The U-shape of the take-up side dancer roller 23 becomes shallow. At this time, when the acceleration for driving the elongate workpiece W is sudden and steep, the dancer roller slips on the elongated workpiece, and there is a possibility that the elongate workpiece W is scratched and becomes defective. The winding-side brake roller 25 is rotationally driven so as to perform appropriate acceleration and deceleration.

또, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)에 의한 장척 워크(W)의 되감기와 동시에, 노광 스테이지(31)가 노광 종료 위치로부터 얼라이먼트 개시 위치까지 이동한다.(도 3g→도 3h) 또 장척 워크(W)의 노광 완료한 1 프레임 분의 되돌림량과 스테이지(31)의 되돌림량은 다르고, 후자 쪽이 그 양이 큰 것에 주의하기 바란다. 장척 워크(W)의 이동이 완만한 가감속으로 행해지는데 대해, 되돌림량이 큰 노광 스테이지(31)의 이동은 고가속이고 고속으로 행한다. 이 때문에, 양자는 거의 동시에 되돌림 이동을 종료한다.The exposure stage 31 is moved from the exposure end position to the alignment start position at the same time as the elongated workpiece W is rewound by the supply side brake roller 15 and the winding side brake roller 25 3h) It should also be noted that the amount of return for one frame of the elongated work W is different from the amount of return of the stage 31, and the amount of the latter is large. Movement of the elongate work W is performed with gentle acceleration and deceleration, the movement of the exposure stage 31 with a large amount of return is performed at high speed and at high speed. Therefore, both ends the return movement at about the same time.

스텝 S9: 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)에 의한 장척 워크(W)의 이동과, 노광 스테이지(31)의 이동이 종료한 후, 노광 스테이지(31)가 상단 위치까지 상승하고, 방금 전 노광한 1 프레임의 다음에 위치하는 1 프레임 분의 장척 워크(W)의 이면을 흡착하면서 이것을 평탄하게 보관 유지한다(도 3i). 또, 노광 스테이지(31)의 워크 클램프 기구(35)가 장척 워크(W)를 스테이지와의 사이에서 협지한다. 이 때, 도 3i에 나타내듯이, 점 B가 스텝 S2에서의 점 A의 위치에 와 있는 것을 알 수 있다.Step S9: After the movement of the elongate work W by the supply side brake roller 15 and the take-up side brake roller 25 and the movement of the exposure stage 31 are completed, the exposure stage 31 rises to the upper position And the back surface of the long workpiece W for one frame positioned next to one frame exposed just before is absorbed while being held flat (FIG. 3I). Further, the work clamping mechanism 35 of the exposure stage 31 sandwiches the elongated work W between the stage and the stage. At this time, as shown in Fig. 3 (i), it can be seen that the point B is located at the point A in step S2.

스텝 S10: 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)가 장척 워크(W)의 협지를 해제한다. 공급 릴(11) 및 권취 릴(21)의 회전 구동 수단(도시하지 않음)이 소정의 회전 구동량만큼 회전함으로써, 공급 릴(11)이 댄서 롤러(13)에 장척 워크(W)를 1 프레임 분만큼 내보냄과 동시에, 권취 릴(21)이 댄서 롤러(23)에서 1 프레임 분의 장척 워크(W)를 감는다.(도 3i→도 3j)Step S10: The supply side braking roller 15 and the take-up side brake roller 25 release the long work W from being held. The supply reel 11 and the rotation drive means (not shown) of the take-up reel 21 are rotated by a predetermined rotational drive amount so that the supply reel 11 can move the elongate work W to the dancer roller 13 in one frame And at the same time, the take-up reel 21 winds the elongated work W for one frame from the dancer roller 23 (Fig. 3I to Fig. 3J)

이후는, 생산 종료까지 스텝 S4~스텝 S10를 차례차례 반복하여 실행한다. 장척 워크(W)의 최종 프레임의 노광이 종료하면, 권취 릴(21)에 롤형으로 감긴 장척 워크(W)가 회수된다.Thereafter, steps S4 to S10 are repeatedly executed in order until the end of production. When the exposure of the final frame of the elongate work W is terminated, the elongated work W wound in the form of a roll in the take-up reel 21 is recovered.

이와 같이 본 실시 형태의 노광 장치(1)는, 항상 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)에 의한 협지, 혹은 노광 스테이지(31)에 의한 보관 유지에 의해, 장척 워크(W)를 제동한 상태를 유지한 채로 복수의 프레임 수의 노광을 실시한다. 이것에 의해, 전후의 프레임을 정밀도 좋게 연결하여 노광하는 것이 가능하게 되고, 특히 얼라이먼트 마크가 없는 장척 워크(W)에 대해 적합한 효과를 발휘한다.As described above, the exposure apparatus 1 of the present embodiment is configured such that the long work W is held by the holding by the supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25 or by the exposure stage 31, The exposure of a plurality of frames is performed while the braking state is maintained. As a result, it is possible to expose the front and rear frames with high precision, and particularly, to obtain a suitable effect for a long workpiece W having no alignment mark.

또, 1 프레임 노광한 후의 노광 스테이지(31)와 장척 워크(W)의 복귀 이동 시에, 노광 스테이지(31)와 장척 워크(W)를 분리하여 따로 따로 이동시키므로, 이동거리가 긴 노광 스테이지(31)를 고가속도에서 고속으로 이동시키는 것이 가능하게 되고, 이동거리가 짧은 장척 워크(W)는 댄서 롤러에 의한 찰과가 발생하지 않게, 가속도를 억제하여 이동시키는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해, 노광 장치(1)의 생산성이 향상한다.Since the exposure stage 31 and the elongated work W are separated and moved separately during the return movement of the exposure stage 31 and the elongate work W after one frame exposure, 31 can be moved at a high speed from a high speed and the elongated workpiece W having a short moving distance can be moved with the acceleration suppressed so as not to cause scratching by the dancer roller. As a result, the productivity of the exposure apparatus 1 is improved.

≪제2 실시 형태≫&Lt; Second Embodiment >

제2 실시 형태는, 노광 장치(1)의 구성에 대해서는 제1 실시 형태와 동일하다. 본 실시 형태에서는, 노광 장치(1)에 의한 동작의 스텝 S6 종료 후에, 이하의 스텝으로 분기(分岐)한다.In the second embodiment, the configuration of the exposure apparatus 1 is the same as that of the first embodiment. In the present embodiment, after the end of step S6 of the operation by the exposure apparatus 1, the process branches (branches) to the following steps.

스텝 S11: 노광 스테이지(31)가 장척 워크(W)를 흡착 보관 유지한 채로 얼라이먼트 카메라(41)의 하방까지 이동한다. 이 때, 노광 스테이지(31)의 이동은, 미리 정해진 위치까지 자동으로 이동해도 좋고, 오퍼레이터가 수동으로 임의의 위치로 이동해도 좋다.Step S11: The exposure stage 31 moves down to the alignment camera 41 while keeping the long work W adsorbed. At this time, the movement of the exposure stage 31 may be automatically moved to a predetermined position, or the operator may manually move to an arbitrary position.

스텝 S12: 노광 장치(1)의 오퍼레이터가, 스텝 S6의 노광에 의해서 장척 워크(W)의 감광 재료에 형성된 잠상(潛像)을, 얼라이먼트 카메라(41)와, 얼라이먼트 카메라(41)에 접속된 모니터(42)를 이용하여 관찰한다. 관찰의 결과, 노광 위치나 노광량 등의 보정의 필요가 인정되었을 경우는, 노광 장치(1)의 오퍼레이터가, 관찰 결과에 따라서 그것들의 파라미터를 보정한다.Step S12: The operator of the exposure apparatus 1 displays the latent image formed on the photosensitive material of the elongate work W by the exposure in step S6 through the alignment camera 41 and the alignment camera 41 And is observed using the monitor 42. As a result of the observation, when the necessity of correction such as the exposure position and the exposure amount is recognized, the operator of the exposure apparatus 1 corrects those parameters in accordance with the observation result.

스텝 S13: 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)가 장척 워크(W)를 협지하고, 장척 워크(W)를 고정한다. 그 후, 노광 스테이지(31)에 의한 장척 워크(W)의 흡착을 해제함과 동시에, 워크 클램프 기구(35)가 장척 워크(W)의 고정을 해제하고, 승강 구동 수단(34)이 노광 스테이지(31)를 하단 위치로 하강시킨다.Step S13: The supply side brake roller 15 and the winding side brake roller 25 hold the elongated workpiece W and fix the elongate workpiece W. [ Thereafter, the adsorption of the longitudinal work W by the exposure stage 31 is released, the work clamping mechanism 35 releases the fixing of the longitudinal work W, and the elevation drive means 34 moves the exposure stage (31) is lowered to the lower end position.

스텝 S14: 스텝 11에서의 노광 스테이지의 이동량으로부터 구해지는 장척 워크(W)의 현재 위치에 근거하여, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)가, 장척 워크(W)의 노광 완료한 1 프레임의 다음의 1 프레임 분이 얼라이먼트 개시 위치에 오도록(즉 점 B가 스텝 S2에서의 점 A의 위치에 오도록), 장척 워크(W)를 하류측으로 이동시킨다.Step S14: Based on the current position of the long work W obtained from the movement amount of the exposure stage in Step 11, the supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25 perform the exposure completion of the long work W The long work W is moved to the downstream side so that the next one frame of one frame comes to the alignment start position (that is, the point B comes to the position of the point A in step S2).

또, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)에 의한 장척 워크(W)의 이동과 동시에, 노광 스테이지(31)가 상류 방향으로 구동되어, 얼라이먼트 개시 위치로 이동한다. 이와 같이, 장척 워크(W)를 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)에 의해 이동시키면, 장척 워크(W)와 노광 스테이지(31)를 별도의 방향으로 이동시키는 것이 용이하게 된다.Simultaneously with the movement of the longitudinal workpiece W by the supply side brake roller 15 and the take-up side brake roller 25, the exposure stage 31 is driven in the upstream direction to move to the alignment start position. As described above, when the long work W is moved by the supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25, it is easy to move the long work W and the exposure stage 31 in different directions .

스텝 S15: 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)에 의한 장척 워크(W)의 이동과, 스테이지 이동부(32)에 의한 노광 스테이지(31)의 이동이 종료한 후, 노광 스테이지(31)가 상단 위치까지 상승하고, 방금 전 노광한 1 프레임의 다음에 위치하는 1 프레임 분의 장척 워크(W)의 이면을 흡착하면서 이것을 평탄하게 보관 유지한다. 또, 노광 스테이지(31)의 워크 클램프 기구(35)가 장척 워크(W)의 반송 방향(X 방향)의 단면을 스테이지와의 사이에서 협지한다.Step S15: After the movement of the longitudinal workpiece W by the supply-side braking roller 15 and the winding-side brake roller 25 and the movement of the exposure stage 31 by the stage moving section 32, The upper surface 31 of the work W is lifted up to the upper position and the back surface of the long work W for one frame located next to one frame exposed just before is absorbed while being held flat. The work clamping mechanism 35 of the exposure stage 31 sandwiches the cross section of the longitudinal workpiece W in the carrying direction (X direction) with the stage.

스텝 S16: 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)가 장척 워크(W)의 협지를 해제한다. 공급 릴(11) 및 권취 릴(21)의 회전 구동 수단(도시하지 않음)이 소정의 회전 구동량만큼 회전함으로써, 공급 릴(11)이 댄서 롤러(13)에 장척 워크(W)를 1 프레임 분만큼 내보냄과 동시에, 권취 릴(21)이 댄서 롤러(23)에서 1 프레임 분의 장척 워크(W)를 감는다.Step S16: The supply side brake roller 15 and the winding side brake roller 25 release the engagement of the elongate workpiece W. The supply reel 11 and the rotation drive means (not shown) of the take-up reel 21 are rotated by a predetermined rotational drive amount so that the supply reel 11 can move the elongate work W to the dancer roller 13 in one frame And at the same time, the take-up reel 21 winds the elongated workpiece W for one frame from the dancer roller 23.

이후는, 실시 형태 1과 같이 스텝 S4 이후를 차례차례 반복하여 실행한다. 또, 스텝 S11에의 동작의 분기는, 장척 워크(W)의 최초의 1 프레임의 노광 후뿐만 아니라, 임의의 타이밍에 실행해도 좋다.Thereafter, as in the first embodiment, step S4 and subsequent steps are repeated in order. The branching of the operation to Step S11 may be performed not only after the exposure of the first frame of the long work W but also at an arbitrary timing.

이와 같이 본 실시 형태의 노광 장치(1)는, 연속 운전을 실행할 때에 노광 결과를 관찰하는 공정(스텝 S12)을 구비한다. 장척 워크(W)의 최초의 노광 결과를 관찰하고, 노광 파라미터를 조정함으로써 장척 워크(W)의 다수의 프레임의 패턴의 형성 불량을 방지할 수 있으므로, 노광 장치(1)의 생산성이 향상된다. 또, 노광 결과의 관찰 공정은 장척 워크(W)의 최초의 노광 시뿐만 아니라, 임의의 타이밍에서(예를 들면 소정 시간이 경과할 때마다) 실행해도 좋다.As described above, the exposure apparatus 1 of the present embodiment includes a step (step S12) of observing the exposure results when performing the continuous operation. It is possible to prevent formation of a pattern of a plurality of frames of the elongated work W by observing the first exposure result of the elongated work W and adjusting the exposure parameters, thereby improving the productivity of the exposure apparatus 1. [ The observation of the exposure results may be performed not only at the time of the first exposure of the elongated work W but at arbitrary timing (for example, every predetermined time elapses).

또, 노광 결과를 관찰하는 공정이 연속 운전 중에 실시될 때에도, 장척 워크(W)는, 공급측 제동 롤러(15) 및 권취측 제동 롤러(25)에 의한 협지, 혹은 노광 스테이지(31)에 의한 보관 유지에 의해 제동된다. 이것에 의해, 전후의 프레임을 정밀도 좋게 연결하여 노광하는 것이 가능하게 되고, 특히 얼라이먼트 마크가 없는 장척 워크(W)에 대해 적합한 효과를 발휘한다.Even when the step of observing the exposure results is performed during the continuous operation, the long work W is held by the supply side braking roller 15 and the take-up side braking roller 25, or stored by the exposure stage 31 And is braked by maintaining. As a result, it is possible to expose the front and rear frames with high precision, and particularly, to obtain a suitable effect for a long workpiece W having no alignment mark.

또한, 노광 결과의 관찰과 노광 파라미터의 설정은, 얼라이먼트 카메라(41)에 접속된 모니터(42)에 의해서 오퍼레이터가 수동으로 실시하는 것으로 설명했지만, 얼라이먼트 카메라(41)에 도시하지 않은 화상 처리 장치를 접속하는 것으로, 노광 장치(1)가 자동적으로 실시하게 해도 좋다.
It is to be noted that the operator of the monitor 42 monitors the exposure results and sets the exposure parameters manually. However, it is also possible to use an image processor not shown in the alignment camera 41 The exposure apparatus 1 may automatically perform the exposure.

1 노광 장치
2 발판(가대, 架臺)
10 투입부
11 공급 릴
12, 14 가이드 롤러
13 공급측 댄서 롤러(dancer roller)
15 공급측 제동 롤러
16 단면 위치 센서
21 권취 릴
22, 24 가이드 롤러
23 권취측 댄서 롤러
25 권취측 제동 롤러
30 노광부
31 노광 스테이지
32 스테이지 이동부
33 가이드 레일
34 승강 구동 수단
35 워크 클램프 기구
40 얼라이먼트부
41 얼라이먼트 카메라
42 모니터
50 노광 처리부
51 노광 유닛
W 장척 워크(감광성 기판)
A 장척 워크(W) 상의 제1회째의 노광 개시 위치(점 A)
B 장척 워크(W) 상의 제2회째의 노광 개시 위치(점 B)1 Exposure device
2 Scaffolding (stand, stand)
10 input unit
11 Supply reel
12, 14 Guide rollers
13 Supply side dancer roller (dancer roller)
15 Supply side brake roller
16 Sectional position sensor
21 retractable reel
22, 24 Guide rollers
23 Wound-side dancer roller
25 Take-up side brake roller
30 Exposure
31 exposure stage
32 stage moving part
33 Guide rails
34 lifting and driving means
35 Work clamping mechanism
40 alignment part
41 Alignment camera
42 monitor
50 exposure processing section
51 Exposure unit
W Long work (photosensitive substrate)
A First exposure start position (point A) on the elongated work W
B The second exposure start position (point B) on the elongate work W

Claims

Conveying means for conveying a long, plastic, to-be-exposed body from the supply reel to the take-up reel,
An exposing means provided during the time from the supply reel to the take-up reel,
An exposure stage for holding a part of the object to be exposed,
And moving means for reciprocating the exposure stage in the conveying direction of the object to be exposed of the conveying means,
An exposure device for exposing a pattern to the object by relative movement between the exposure means and the exposure stage,
Wherein,
A supply side restricting roller provided downstream of the supply reel and upstream of the exposing means for restraining the object,
And a winding-side restraining roller provided on the downstream side of the exposure means and upstream of the take-up reel for restraining the object,
And the roller driving means is provided on at least one of the supply side restricting roller and the winding side restricting roller.

The method according to claim 1,
Wherein when the exposure stage holds the object, the supply-side restricting roller and the winding-side restricting roller release the restraint of the object to be exposed.

3. The method of claim 2,
While the exposure stage moves from the transport start position to the transport end position in a state in which the object is held,
The exposure means exposes a pattern to the object,
When the exposure stage moves from the carrying end position to the carrying start position without holding the exposed object after the end of exposure of the exposure means,
And the supply side restricting roller moves the object to be supplied to the supply side.

The method according to claim 1,
Wherein said exposure stage comprises a clamp mechanism for pressing an end face of said object to said exposure stage.

5. The method according to any one of claims 1 to 4,
An exposure position correcting means including imaging means provided above the object to be exposed between the supply side restricting roller and the exposure means;
And display means capable of displaying an image picked up by said image pickup means,
An imaging step in which the imaging means picks up a positioning mark provided in the object to be imaged;
An exposure position correcting step of correcting exposure data based on an image picked up by the image pickup means;
An exposure step of exposing a pattern to the object in accordance with the exposure data corrected by the exposure means;
And a confirmation step of confirming a pattern exposed to the object using the imaging unit after the end of the exposure step.