KR101869821B1

KR101869821B1 - Roll To Roll Exposure System

Info

Publication number: KR101869821B1
Application number: KR1020170117725A
Authority: KR
Inventors: 황병문
Original assignee: 주식회사 넥서스원; 황병문
Priority date: 2017-09-14
Filing date: 2017-09-14
Publication date: 2018-07-19

Abstract

The present invention relates to a roll-to-roll (RTR) light exposure system which is optimally maintaining tension state of a base material in a light exposure treatment process on a film-shaped base material used as a base material of a flexible circuit board. The RTR light exposure system comprises: a light exposure member including a light source and an illumination optical system; a supply member supplying the base material toward the light exposure member; a winding member winding a base material treated by the light exposure member; a stage member holding the base material by adsorbing the base material supplied from the supply member to perform a light exposure treatment process by the light exposure member; a sensing member sensing a state of the base material; and a control means controlling operating states of the supply member, the winding member, and the stage member according to the state of the base material sensed by the sensing member. The sensing member is provided at each of the supply member and the winding member in order to sense tensile strength of the base material supplied from the supply member and tensile strength of the base material wound on the winding member, and sense a state of the base material supplied from the supply member and a state of the base material wound on the winding member at the same time, thereby optimizing a light exposure operation for the base material.

Description

RTR exposure system (Roll To Roll Exposure System)

본 발명은 RTR(Roll To Roll) 노광 시스템에 관한 것으로, 특히 노광 부재에 의한 노광 처리 과정에서 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 필름 형상의 기재의 장력 상태를 최적으로 유지하면서 실행할 수 있는 RTR 노광 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a RTR (Roll To Roll) exposure system, and more particularly, to a RTR (Exposure RTR) exposure system capable of performing a RTR &Lt; / RTI >

최근 전자산업 기술분야에서 반도체 집적회로의 집적도 발전, 소형 칩 부품을 직접 탑재하는 표면 실장 기술의 발전 및 전자장비들의 소형화 추세에 따라, 보다 복잡하고 협소한 공간에서도 내장이 용이한 인쇄회로기판의 필요성이 증대되었으며, 이러한 요구에 부응하여 연성인쇄회로기판이 개발되었다. 이러한 연성 인쇄회로기판은 휴대단말기, LCD, PDP, 카메라, 프린터 헤드 등 전자장비들의 발전으로 인하여 사용이 급격히 증가하면서 그 요구는 더욱 늘어가고 있다. 즉, 휴대 전화, 모바일 기기 등의 각종의 소형 전기 기기에 이용되는 전자 회로 기판(프린트 회로기판)의 전기 회로 베이스 소재는 기기가 경박단소로 발전하므로, 얇고 고정밀도인 필름 형태의 연성 기판이 사용된다.Recently, with the development of integrated density of semiconductor integrated circuits in the field of electronic industry, development of surface mounting technology for directly mounting small chip components, and miniaturization of electronic equipment, there is a need for a printed circuit board which is easy to be embedded even in a more complicated and narrow space And a flexible printed circuit board was developed in response to this demand. Such flexible printed circuit boards are being used more and more because of the development of electronic devices such as portable terminals, LCDs, PDPs, cameras, and printer heads. That is, since the electric circuit base material of an electronic circuit substrate (a printed circuit board) used in various small electric apparatuses such as a mobile phone and a mobile device develops as a light and thin die, a thin and highly accurate film- do.

이러한 필름 형태의 연성 기판은 폴리이미드(Polyimide) 수지와 같은 절연성 필름의 일면 또는 양면에 동박 층이 형성된 동박 적층판에 관통 홀을 형성한 후, 상기 관통 홀을 동 도금한 후, 상기 동박 적층판에 드라이 필름(Dry film)을 라미네이팅(Laminating) 한 후, 순차적으로 노광, 현상 및 에칭으로 회로패턴을 형성한 다음, 동박 적층판의 외측에 커버레이 필름(Coverlay film)을 가접하고 열 프레스를 이용하여 적층하는 과정을 거쳐 제조되며, 그 두께가 0.1㎜ 정도에서 0.06㎜로 박형화 경향이 되고 있다. 또한, 최근에는 두께가 0.05㎜ 이하이고 폭이 550㎜, 그리고 길이가 100m의 얇고 폭이 넓으며 매우 긴 기판이 이용되고, 통상적으로 롤(Roll) 형으로 감겨 다루어지고 있다.Such a film type flexible substrate is obtained by forming a through hole in a copper-clad laminate on which a copper foil layer is formed on one surface or both surfaces of an insulating film such as a polyimide resin, then copper-plating the through hole, After a dry film is laminated, a circuit pattern is formed by exposure, development and etching in sequence, and then a coverlay film is bonded to the outside of the copper-clad laminate and laminated using a hot press And the thickness thereof tends to be thinned from about 0.1 mm to 0.06 mm. In recent years, a very thin substrate having a thickness of 0.05 mm or less, a width of 550 mm, and a length of 100 m is used, and a very long substrate is used and is usually handled as a roll.

또 필름 형태의 연성 기판의 제작 시, 다층의 기능성 잉크를 중첩하여 인쇄하며, 중첩정밀도(registration)를 균일하게 유지시켜야 생산 수율을 높이고 안정적인 소자성능을 구현할 수 있다. 중첩정밀도를 측정하고 제어하기 위하여 일반적으로 인쇄층 별로 고유한 모양의 레지스터마크(registration mark)를 인쇄하고, 광학센서를 이용하여 인쇄층 간의 상대적인 거리와 정렬도(alignment)를 인식하는 방법을 사용한다. 정밀한 중첩정밀도 제어를 위하여 레지스터마크의 위치 계측과 롤러 구동에 따른 위치변화의 경향성을 예측한다.Further, in the production of a flexible substrate in the form of a film, multiple layers of functional ink are superimposed and printed, and uniform registration of registration is required to maintain uniform device performance. In order to measure and control the superimposing accuracy, a method of printing a registration mark having a unique shape for each print layer and recognizing the relative distance and alignment between the print layers using an optical sensor is generally used . In order to precisely control the superposition accuracy, the position measurement of the register mark and the tendency of the position change due to the roller driving are predicted.

또한, 상술한 연성 기판 생산 방식을 이용할 경우 피코팅체는 권출 수단(예: unwinding roll)과 권취 수단(예: winding roll) 사이에서 일정한 장력이 인가된 상태에서 풀리고 감겨지는 동작이 반복되게 되는데, 이때, 롤과의 접촉 압력이 사용자 설정에 맞게 조절되며, 피코팅체와 코팅 롤 간의 접촉 압력은 코팅 구간에서의 피코팅체에 대한 장력 제어에 의해 실현된다.In addition, when the above-described flexible substrate production method is used, the coated body is repeatedly unwound and wound in a state in which a predetermined tension is applied between the unwinding roll (e.g. unwinding roll) and the winding means (e.g., At this time, the contact pressure with the roll is adjusted according to the user's setting, and the contact pressure between the coating body and the coating roll is realized by controlling the tension on the coated body in the coating section.

이러한 기술의 일 예가 하기 문헌 1 내지 3 등에 개시되어 있다.One example of such a technique is described in documents 1 to 3 below.

예를 들어, 하기 특허문헌 1에는 공급 릴로부터 권취 릴까지, 장척이고 가소성이 있는 피 노광체를 반송하는 반송 수단, 공급 릴로부터 권취 릴에 이르는 동안에 설치된 노광 수단, 상기 피노광체의 일부분을 보관 유지하는 노광 스테이지 부재, 상기 노광 스테이지 부재를 상기 반송 수단의 상기 피노광체의 반송 방향에 따라서 왕복 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 상기 노광 수단과 상기 노광 스테이지 부재와의 상대 이동에 의해 상기 피노광체에 패턴을 노광하는 노광 장치이며, 상기 반송 수단이 상기 공급 릴의 하류측이고 상기 노광 수단의 상류측에 설치되어, 상기 피노광체를 구속하는 공급측 구속 롤러, 상기 노광 수단의 하류측이고 상기 권취 릴의 상류측에 설치되어, 상기 피노광체를 구속하는 권취측 구속 롤러를 구비하고, 상기 공급측 구속 롤러와 상기 권취측 구속 롤러의 적어도 일방에 롤러 구동 수단을 마련한 노광 장치에 대해 개시되어 있다.For example, the following Patent Document 1 discloses an image forming apparatus including a conveying means for conveying a long and tentative exposed object from a supply reel to a take-up reel, an exposure means provided during a period from the supply reel to the take-up reel, And a moving means for reciprocating the exposure stage member in the conveying direction of the object to be exposed in the conveying direction of the object to be exposed. The relative movement between the exposure means and the exposure stage member causes a pattern Wherein the conveying means is disposed downstream of the supply reel and upstream of the exposing means and includes a supply side restraining roller for restraining the object to be exposed, Side restraining roller which is provided on the side of the supply side And a roller driving means is provided on at least one of the speed roller and the winding-side restraining roller.

또 하기 특허문헌 2에는 모든 단계가 RTR(Roll To Roll) 방식으로 이루어지며, 동박 적층판에 드라이 필름을 밀착하는 드라이 필름 밀착단계, 상기 드라이 필름이 밀착된 상기 동박 적층판을 제1폭으로 노광, 현상, 부식, 및 박리하여 회로패턴을 형성하는 회로패턴 형성 단계 및 상기 동박적층판을 상기 제1폭의 중앙선을 따라 슬리팅(slitting) 하는 슬리팅 단계를 포함하는 FPCB의 제조 방법에 대해 개시되어 있다.In Patent Document 2, all the steps are performed in the RTR (Roll To Roll) system, and a dry film adhering step for adhering a dry film to the copper clad laminate, a step for exposing the copper clad laminate, A circuit pattern forming step of forming a circuit pattern by etching, corrosion, and peeling, and a slitting step of slitting the copper clad laminate along the center line of the first width.

또 하기 특허문헌 3에는 하부 프레임과 상기 하부 프레임에 마련된 잉크통의 상단에서 코팅 롤이 회동 가능하도록 축 연결되며, 공급되는 피코팅체에 외주면이 접촉하여 잉크를 코팅시키는 코팅 롤 유닛, 상기 하부 프레임의 상측에 배치된 상부 프레임과 적어도 한 쌍이 상기 코팅 롤을 기준으로 전후 이격 배치되어 상기 상부 프레임의 하단에서 나란히 회전하도록 축 연결되는 텐션 조절 롤을 포함하는 텐션 조절 롤 유닛 및 회전 구동부와 상기 상부 프레임과 연결 고정되며 상기 회전 구동부로부터 회전력을 전달받아 상기 상부 프레임을 승강시켜 상기 텐션 조절 롤이 피코팅체를 가압하는 힘을 조절하는 이동 블록과 상기 이동 블록을 이동 경로를 제공하여 승강을 안내해주는 지지 가이드를 포함하는 텐션 조절 구동 유닛을 구비한 텐션 조절 기능 코팅처리부를 포함하는 롤 코팅 장치에 대해 개시되어 있다.In addition, Patent Document 3 discloses a coating roll unit that is rotatably connected at the upper end of a lower frame and an ink container provided at the lower frame so that the coating roll is rotatable, and the outer circumferential surface is in contact with the supplied coating material to coat the ink, And at least one pair of upper frames arranged on the upper side are spaced apart from each other with respect to the coating roll, and are connected to each other so as to rotate in parallel at the lower end of the upper frame, and a rotation driving unit and a rotation driving unit, A moving block which is connected and fixed and receives a rotational force from the rotary driving part to elevate the upper frame so as to adjust a force of the tension adjusting roll to press the coating body, And a tension control unit A roll coating apparatus including a coating processing section.

대한민국 공개특허공보 제2015-0135094호(2015.12.02 공개)Korean Patent Laid-Open Publication No. 2015-0135094 (published on December 12, 2015) 대한민국 등록특허공보 제10-1373330호(2014.02.28 등록)Korean Registered Patent No. 10-1373330 (Registered on February 28, 2014) 대한민국 등록특허공보 제10-1320895호(2013.10.16 등록)Korean Registered Patent No. 10-1320895 (registered on October 16, 2013)

그러나 상술한 바와 같은 특허문헌 1에 개시된 기술에서는 공급측 댄서 롤러 및 권취측 댄서 롤러를 마련하고, 장척 워크의 반송에 따라서 승강하고, 장척 워크에 대해서 장력을 거는 구조로서, 공급 동작 또는 권취 동작 도중에 장척 워크의 처짐이나 주름이 생기는 것을 방지하는 구조로서, 노광 작업의 도중에 워크의 장력을 균일하게 유지하는 것이 곤란하며, 공급 릴 또는 감기 릴 자체에서 워크의 불균일한 감기 및 공급을 조절할 수 없다는 문제도 있었다.However, in the technique disclosed in the above-described Patent Document 1, the supply side dancer roller and the winding side dancer roller are provided, and a structure for lifting and lowering in accordance with the conveyance of the elongated workpiece and applying tension to the elongate workpiece, There is a problem that it is difficult to uniformly maintain the tension of the work during the exposure operation and it is impossible to control the uneven winding and supply of the work in the supply reel or the reel reel itself .

또 상기 특허문헌 2에 개시된 기술에서는 FPCB의 제조 방법으로서 모든 단계가 롤루롤 방식으로 이루어짐으로써, 모든 단계가 연속적으로 이루어지는 구성에 대해 개시되어 있지만, 작업 과정에서 필름의 장력 조절, 감기 상태 및 공급 상태의 제어에 대해서는 전혀 개시되어 있지 않았다.In the technique disclosed in the Patent Document 2, all of the steps are performed in the roll rheol system so that all the steps are continuously performed. However, in the course of the work, the film tension control, the winding state, Have not been disclosed at all.

또한, 상기 특허문헌 3에 개시된 기술에서는 코팅 롤의 상측에 대향 배치된 한 쌍의 텐션 조절 롤의 위치 변위를 감지하기 위해 로드 셀을 사용하므로, 장치의 구조가 복잡하여 제조 비용이 증가하게 된다는 문제가 있었다. 또, 특허문헌 3에 개시된 기술에서는 피코팅체의 공급 측에서만 텐션 조절을 하므로, 코팅 장치 전체에서 피코팅체의 장력을 균일하게 유지할 수 없다는 문제도 있었다.In the technique disclosed in Patent Document 3, since the load cell is used to detect the positional displacement of a pair of tension adjusting rolls disposed opposite to the upper side of the coating roll, the problem is that the manufacturing cost is increased due to the complicated structure of the device . In the technique disclosed in Patent Document 3, since the tension is controlled only on the supply side of the coated body, there is a problem that the tension of the coated body can not be uniformly maintained throughout the coating apparatus.

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 필름 형상의 기재에 관한 노광 처리 공정에서 기재의 장력 상태를 최적으로 유지시킬 수 있는 RTR 노광 시스템을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an RTR exposure system capable of optimally maintaining a tension state of a base material in an exposure process related to a film-like base material used as a base material of a flexible circuit board .

본 발명의 다른 목적은 RTR 방식에 따라 연속적으로 실행되는 노광 처리 과정에서 공급 릴에서 공급되는 기재, 공급 릴에 되감기는 기재 및 감기 릴에 감기는 기재를 정상 상태로 유지시킬 수 있는 RTR 노광 시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a RTR exposure system capable of maintaining a substrate supplied from a supply reel in an exposure process continuously executed in accordance with the RTR system, a substrate rewound on a supply reel, and a substrate wound on the reel in a steady state .

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템은 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 감광성 필름 형태의 기재에 대해 노광 처리를 실행하는 RTR(Roll To Roll) 노광 시스템으로서, 광원 및 조명 광학계를 구비한 노광 부재, 상기 노광 부재를 향해 기재를 공급하는 공급 부재, 상기 노광 부재에 의해 처리된 기재를 감는 감기 부재, 상기 노광 부재에 의한 노광 처리를 위해 상기 공급 부재에서 공급된 상기 기재를 흡착하여 유지시키는 스테이지 부재, 상기 기재의 상태를 감지하는 감지 부재, 상기 감지 부재에서 감지된 기재의 상태에 따라 상기 공급 부재, 감기 부재 및 스테이지 부재의 작동 상태를 제어하는 제어 수단을 포함하고, 상기 감지 부재는 상기 공급 부재와 감기 부재에 각각 마련되고, 상기 공급 부재에서 공급되는 기재의 인장력과 상기 감기 부재에서 감기는 기재의 인장력을 감지함과 동시에 공급 부재에서 공급되는 기재의 상태와 감기 부재에 감긴 기재의 상태를 감지하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an RTR exposure system according to the present invention is an RTR (Roll To Roll) exposure system that performs exposure processing on a substrate of a photosensitive film type used as a base material of a flexible circuit board, A supplying member for supplying a substrate toward the exposing member, a winding member for winding the substrate processed by the exposing member, and a fixing member for sucking the substrate supplied from the supplying member for exposure processing by the exposing member And a control means for controlling an operation state of the supply member, the winding member and the stage member in accordance with the state of the substrate detected by the sensing member, Is provided on the feeding member and the winding member, respectively, and the tension of the base material fed from the feeding member And in it said winding member winding is characterized by sensing a condition of the substrate wound around the winding member and the state of the base material supplied by the supply and upon detecting the tensile force of the base member.

또 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에서, 상기 감지 부재는 회전 가능하고 로드 셀이 장착된 감지 롤러를 포함하고, 상기 공급 부재는 회전 가능하고 롤 형상으로 감긴 기재를 노광 부재로 공급하는 공급 릴, 상기 기재를 사이에 두고 2개의 롤러로 이루어지고 상기 기재의 공급 또는 유지시키는 공급측 피더 롤러, 상기 기재의 이동에 따라 승강 가능하고 상기 기재에 장력을 인가하는 공급측 댄서 롤러(dancer roller) 및 상기 공급 릴, 공급측 피더 롤러와 공급측 댄서 롤러를 구동시키는 제1 롤러 구동 수단을 포함하고, 상기 감기 부재는 회전 가능하고 상기 노광 부재에서 노광 처리된 기재를 감아 보관 유지하는 감기 릴, 상기 기재를 사이에 두고 2개의 롤러로 이루어지고 상기 기재의 공급 또는 유지시키는 감기측 피더 롤러, 상기 기재의 이동에 따라 승강 가능하고 상기 기재에 장력을 인가하는 감기측 댄서 롤러 및 상기 감기 릴, 감기측 피더 롤러와 감기측 댄서 롤러를 구동시키는 제2 롤러 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, in the RTR exposure system according to the present invention, the sensing member may include a sensing roller that is rotatable and equipped with a load cell, the supply member may include a supply reel that supplies a rotatable and roll- A supply side feeder roller which is composed of two rollers with a base therebetween and feeds or holds the base material, a supply side dancer roller which is movable up and down according to the movement of the base material and applies a tension to the base material, And a first roller driving means for driving a feed side feeder roller and a feed side dancer roller, wherein the winding member is a rotatable reel for winding and holding a substrate subjected to exposure processing in the exposure member, A feed-side feeder roller which is made of a roller and feeds or holds the base material, Function and is characterized in that a second roller drive means for driving the cold-side dancer roller and said winding reel, the cold side feeder roller and a cold-side dancer roller for applying a tension to the base material.

또 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에서, 상기 감지 롤러는 상기 공급 릴과 공급측 피더 롤러 사이에 장착된 제1 감지 롤러 및 상기 감기 릴과 감기측 피더 롤러 사이에 장착된 제2 감지 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the RTR exposure system according to the present invention, the detection roller includes a first sensing roller mounted between the supply reel and a feeder-side feeder roller, and a second sensing roller mounted between the winding reel and the winding-side feeder roller .

또 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에서, 상기 기재에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하는 촬영 수단을 더 포함하고, 상기 제어 수단은 상기 촬영 수단에 의해 촬영된 얼라인먼트 마크의 정보에 따라 상기 스테이지 부재의 이동을 제어하는 것을 특징으로 한다.Further, in the RTR exposure system according to the present invention, it is preferable that the apparatus further comprises photographing means for photographing an alignment mark provided on the substrate, wherein the control means controls the movement of the stage member in accordance with the information of the alignment mark photographed by the photographing means .

또 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에서, 상기 감지 부재는 상기 공급 릴에서 공급되는 기재 또는 감기 릴에 감기는 기재의 위치를 감지하도록 상기 공급 릴과 감기 릴에 각각 장착된 제1 및 제2 EPC(Edge Position Controller) 센서를 더 포함하고, 상기 제어 수단은 상기 제1 및 제2 EPC 센서에서의 감지 값에 따라 상기 제1 롤러 구동 수단과 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 상기 공급 릴과 감기 릴의 상태를 조절하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the RTR exposure system according to the present invention, the sensing member may include first and second EPCs (not shown) mounted on the supply reel and the reel reel, respectively, for sensing the position of the base material fed from the supply reel, Wherein the control means controls the first roller driving means and the second roller driving means in accordance with the sensed values in the first and second EPC sensors, And the state is adjusted.

또 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에서, 상기 제1 롤러 구동 수단과 제2 롤러 구동 수단은 상기 제어 수단의 제어에 따라 상기 공급 릴, 공급측 피더 롤러와 공급측 댄서 롤러 및 상기 감기 릴, 감기측 피더 롤러와 감기측 댄서 롤러를 각각 구동하는 모터 액추에이터, 서보 모터 및 파우더 클러치를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the RTR exposure system according to the present invention, the first roller driving means and the second roller driving means are controlled by the control means such that the supply reel, the supply side feeder roller, the supply side dancer roller and the winding reel, And a motor actuator, a servo motor, and a powder clutch that drive a winding-side dancer roller, respectively.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에 의하면, 공급 부재에서 공급되는 기재의 인장력과 감기 부재에서 감기는 기재의 인장력을 감지함과 동시에 공급 부재에서 공급되는 기재의 상태와 감기 부재에 감긴 기재의 상태를 감지하여 기재의 상태를 제어하는 것에 의해 기재에 관한 노광을 최적의 상태로 실현할 수 있다는 효과가 얻어진다.As described above, according to the RTR exposure system of the present invention, while detecting the tensile force of the base material fed from the feeding member and the tensile force of the base material wound on the winding member, the state of the base material fed from the feeding member, It is possible to obtain an effect of realizing exposure in the optimum state by controlling the state of the substrate by sensing the state of the substrate.

또, 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에 의하면, 연속적인 노광 처리를 위해 이동하는 필름 형상의 기재에 대한 장력을 정확하게 감지하여 제어하는 것에 의해 노광 작업의 정밀도를 향상시킬 수 있다는 효과도 얻어진다.Further, according to the RTR exposure system of the present invention, the accuracy of the exposure work can be improved by precisely detecting and controlling the tension on the moving film-like base material for continuous exposure processing.

또한, 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에 의하면, RTR 방식에 따라 연속적으로 실행되는 노광 처리 과정에서 기재가 균일한 장력을 유지하므로 불량율을 최소화할 수 있다는 효과도 얻어진다.Further, according to the RTR exposure system of the present invention, since the substrate maintains a uniform tension in the exposure process that is continuously performed in accordance with the RTR system, the defect rate can be minimized.

도 1은 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템의 블록도,
도 2는 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에서 공급 부재와 감기 부재의 배치 상태를 나타내는 설명도,
도 3은 도 1에 도시된 RTR 노광 시스템의 제어 구성도,
도 4 내지 도 15는 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템을 적용하여 기재에 노광 실행을 위한 동작을 설명하기 위한 설명도.1 is a block diagram of a RTR exposure system in accordance with the present invention;
FIG. 2 is an explanatory view showing the arrangement state of the supply member and the winding member in the RTR exposure system according to the present invention;
FIG. 3 is a control block diagram of the RTR exposure system shown in FIG. 1,
FIGS. 4 to 15 are explanatory diagrams for explaining an operation for performing exposure on a substrate by applying the RTR exposure system according to the present invention. FIG.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.These and other objects and novel features of the present invention will become more apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

본 발명에 적용되는 용어 "기재(basic materials, 基材)"는 휴대 전화, 모바일 기기 등의 각종의 소형 전기 기기에 이용되는 전자회로 기판으로서의 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되고, 롤-투-롤(Roll To Roll) 인쇄전자소자 생산 방식에 사용될 감광성 필름을 의미하며, 기재의 "표면"은 노광 부재를 향한 부분을, "이면"은 스테이지 부재를 향한 부분을 의미한다. 또 본 발명에 적용되는 용어 "노광(exposure, 露光)"은 노광 장치에 의해 포토레지스트(Photoresist) 등의 감광 재료를 도포한 기재에 소정의 패턴을 감광 인화시키는 과정을 의미한다. 또한, 상기 기재의 이동 방향은 이하 설명하는 도면상의 우측에서 좌측을 향해 이동하는 구조로 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니고 그 반대로 이동하는 구성에 적용할 수도 있다. 2개의 롤러로 이루어진 피더 롤러에서 "개방 상태"는 2개의 롤러 중 상부 롤러가 상승하여 기재가 피더 롤러와 관계없이 이동할 수 있는 상태를 의미하고, "유지 상태"는 상부 롤러가 하강하여 기재가 유지된 상태를 의미하며, "회전 상태"는 기재가 피더 롤러에 의해 이동되는 상태를 의미한다. The term "basic materials " used in the present invention is used as a base material of a flexible circuit board as an electronic circuit substrate used in various small electric devices such as mobile phones and mobile devices, (Roll To Roll) refers to a photosensitive film to be used in a printing electronic device production method, and the "surface" of the substrate means a portion facing the exposure member and the "back" means a portion facing the stage member. The term "exposure " used in the present invention means a process of sensitizing a predetermined pattern to a base material coated with a photosensitive material such as a photoresist by an exposure apparatus. The movement direction of the base material is described as a structure moving from the right side to the left side in the drawings described below, but the present invention is not limited thereto, and the present invention can be applied to a configuration in which the movement is reversed. In the feeder roller made up of two rollers, the "open state" means that the upper roller of the two rollers rises to allow the substrate to move independently of the feeder roller, and the "holding state" Quot; rotation state "means a state in which the substrate is moved by the feeder roller.

이하, 본 발명의 실시 예를 도 1 내지 도 3에 따라서 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to Figs.

도 1은 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템의 블록도 이고, 도 2는 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에서 공급 부재와 감기 부재의 배치 상태를 나타내는 설명도 이며, 도 3은 도 1에 도시된 RTR 노광 시스템의 제어 구성도 이다.FIG. 1 is a block diagram of a RTR exposure system according to the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing the arrangement of a supply member and a winding member in the RTR exposure system according to the present invention, and FIG. 3 is a cross- Fig.

본 발명에 따른 RTR(Roll To Roll) 노광 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이, 연성회로 기판의 베이스 소재로 사용되는 감광성 필름 형태의 기재(100)에 대해 노광 처리를 실행하는 RTR(Roll To Roll) 노광 시스템으로서, 광원 및 조명 광학계를 구비한 노광 부재(10), 상기 노광 부재(10)를 향해 기재(100)를 공급하는 공급 부재(20), 상기 노광 부재(10)에 의해 처리된 기재(100)를 감는 감기 부재(30), 상기 노광 부재(10)에 의한 노광 처리를 위해 상기 공급 부재(20)에서 공급된 상기 기재(100)를 흡착하여 유지시키는 스테이지 부재(40), 상기 기재(100)의 상태를 감지하는 감지 부재(50), 상기 감지 부재(50)에서 감지된 기재(100)의 상태에 따라 상기 공급 부재(20), 감기 부재(30) 및 스테이지 부재(40)의 작동 상태를 제어하는 제어 수단(60)을 포함한다.As shown in FIG. 1, the RTR (Roll To Roll) exposure system according to the present invention includes a RTR (Roll To Roll) process for performing exposure processing on a photosensitive film type substrate 100 used as a base material of a flexible circuit board ) An exposure system comprising: an exposure member (10) having a light source and an illumination optical system; a supply member (20) for supplying a substrate (100) toward the exposure member (10); a substrate A stage member 40 for sucking and holding the substrate 100 supplied from the supply member 20 for exposure processing by the exposure member 10; The detection member 50 senses the state of the feeding member 20 and the stage member 40 according to the state of the substrate 100 sensed by the sensing member 50. The sensing member 50 senses the state of the feeding member 20, And control means (60) for controlling the operating state.

또 상기 노광 부재(10)에 인접해서는 도 2에 도시된 바와 같이, 얼라인먼트 마크를 촬영하는 촬영 수단(70)이 마련된다. As shown in Fig. 2, adjacent to the exposure member 10, an image pickup means 70 for photographing an alignment mark is provided.

상기 노광 부재(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, 공급 부재(20)와 감기 부재(30)의 사이에서 기재(100)의 표면상에 배치되며, 이 노광 부재(10)의 내부에는 다수의 노광 헤드가 마련되며, 각각의 노광 헤드는 기재(100)로부터 소정 거리만큼 수직 상방으로 떨어진 장소에 규칙적으로 배치된다. 또 각각의 노광 헤드에는 광원 및 조명 광학계가 배치되며, 광원으로부터 방사된 광은 각각 대응하는 조명 광학계를 통해서 대응하는 노광 헤드로 유도되고, 각 노광 헤드는 복수의 마이크로 미러(Micro-mirror)를 2차원 배열시킨 DMD(Digital Micro-mirror Device)와 DMD의 상을 기재(100) 상에 결상하는 결상 광학계를 구비할 수 있다. 또한, 각각의 노광 헤드에는 기재(100)를 반송 방향에 따라서 분할함으로써 규정되는 노광 영역이 각각 할당되고, 각 노광 헤드에 대해서 주사 밴드가 규정되며, 각 노광 헤드로부터의 광의 조사 영역인 노광 영역은 각각 주사 밴드의 폭에 따라서 형성되고, 노광 영역에 의해 기재(100)에 광이 조사되어 노광 작업을 실행할 수 있게 된다.The exposure member 10 is disposed on the surface of the substrate 100 between the supply member 20 and the winding member 30 as shown in Fig. And each of the exposure heads is regularly arranged at a position vertically upwardly away from the substrate 100 by a predetermined distance. Each of the exposure heads is provided with a light source and an illumination optical system, and the light emitted from the light source is guided through a corresponding illumination optical system to a corresponding exposure head, and each of the exposure heads includes a plurality of micro-mirrors A DMD (Digital Micro-mirror Device) arranged in a dimension and an imaging optical system for imaging an image of the DMD on the substrate 100. [ Each of the exposure heads is assigned with an exposure region defined by dividing the substrate 100 along the conveying direction, a scanning band is defined for each exposure head, and an exposure region, which is an irradiation region of light from each exposure head, Are formed in accordance with the widths of the scanning bands, and the substrate 100 can be irradiated with light by the exposure area to perform the exposure operation.

상기 공급 부재(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 회전 가능하고 롤 형상으로 감긴 기재(100)를 노광 부재로 공급하는 공급 릴(21), 상기 기재(100)를 사이에 두고 상하 2개의 롤러로 이루어지며 상기 기재(100)의 공급 또는 유지시키는 공급측 피더 롤러(22), 상기 기재(100)의 이동에 따라 업/다운 실린더에 의해 승강 가능하고 기재(100)에 장력을 인가하는 공급측 댄서 롤러(dancer roller, 23), 보조 롤러로서 상기 공급측 댄서 롤러(23)와 스테이지 부재(40) 사이에 마련되어 기재(100)를 유지시키는 공급측 가이드 롤러(24) 및 상기 공급 릴(21), 공급측 피더 롤러(22)와 공급측 댄서 롤러(23)를 구동시키는 제1 롤러 구동 수단을 포함한다. 상기 제1 롤러 구동 수단은 도 3에 도시된 바와 같이, 서보 모터, 모터 액추에이터, 제1 파우더 클러치와 결합된 서보 모터(25)를 구비하고, 상기 공급 릴(21)은 제어 수단(60)의 제어에 따른 서보 모터와 모터 액추에이터에 의해 작동되며, 상기 공급측 피더 롤러(22)와 공급측 댄서 롤러(23)는 감지 부재(30)의 감지 정보에 의한 제어 수단(60)의 제어에 따른 파우더 클러치와 결합된 서보 모터(25)에 의해 작동된다.2, the supply member 20 includes a supply reel 21 for supplying a rotatable and roll-wound base material 100 to an exposure member, A feeder side feeder roller 22 which is made up of a roller and feeds or holds the base material 100, a supply side dancer 22 which is movable up and down by the up / down cylinder according to the movement of the base material 100 and applies tension to the base material 100, A supply side guide roller 24 provided between the supply side dancer roller 23 and the stage member 40 to hold the substrate 100 as an auxiliary roller and a supply side guide roller 24 which is provided between the supply side reel 21, And a first roller driving means for driving the roller 22 and the supply side dancer roller 23. 3, the first roller driving means includes a servomotor, a motor actuator, and a servo motor 25 coupled to the first powder clutch. The supply reel 21 is connected to the control means 60 The feeder-side feeder roller 22 and the supply-side dancer roller 23 are operated by a servomotor and a motor actuator according to the control, And is operated by the combined servo motor 25. [

상기 감기 부재(30)는 도 2에 도시된 바와 같이, 회전 가능하고 상기 노광 부재(10)에서 노광 처리된 기재(100)를 롤 형상으로 감아 보관 유지하는 감기 릴(31), 상기 기재(100)를 사이에 두고 상하 2개의 롤러로 이루어지며 상기 기재(100)의 공급 또는 유지시키는 감기측 피더 롤러(32), 상기 기재(100)의 이동에 따라 업/다운 실린더에 의해 승강 가능하고 기재(100)에 장력을 인가하는 감기측 댄서 롤러(33), 보조 롤러로서 상기 공급측 댄서 롤러(33)와 스테이지 부재(40) 사이에 마련되어 기재(100)를 유지시키는 공급측 가이드 롤러(34) 및 상기 감기 릴(31), 감기측 피더 롤러(32)와 감기측 댄서 롤러(33)를 구동시키는 제2 롤러 구동 수단을 포함한다. 상기 제2 롤러 구동 수단은 도 3에 도시된 바와 같이, 서보 모터, 모터 액추에이터, 제2 파우더 클러치와 결합된 서보 모터(35)를 구비하고, 상기 감기 릴(31)은 제어 수단(60)의 제어에 따른 서보 모터와 모터 액추에이터에 의해 작동되며, 상기 감기측 피더 롤러(32)와 감기측 댄서 롤러(33)는 감지 부재(30)의 감지 정보에 의한 제어 수단(60)의 제어에 따른 파우더 클러치와 결합된 서보 모터(35)에 의해 작동된다. 2, the winding member 30 includes a winding reel 31 that is rotatable and holds and holds a substrate 100 exposed in the exposure unit 10 in the form of a roll, Side feeder roller 32 which is composed of two upper and lower rollers and which feeds or holds the base material 100; and a feed-side feeder roller 32 which is movable up and down by the up / down cylinder in accordance with the movement of the base material 100, A supply side guide roller 34 provided between the supply side dancer roller 33 and the stage member 40 as an auxiliary roller for holding the base material 100 and a winding side guide roller 34 for holding the base material 100, And a second roller driving means for driving the reel (31), the winding-side feeder roller (32) and the winding-side dancer roller (33). 3, the second roller driving means includes a servomotor 35 coupled with a servo motor, a motor actuator, and a second powder clutch, and the winding reel 31 is connected to the control means 60 Side feeder roller 32 and the winding-side dancer roller 33 are operated by the servo motor and the motor actuator according to the control, And is operated by a servo motor 35 coupled with the clutch.

상기 스테이지 부재(40)는 도 2에 도시된 바와 같이 기재(100)의 이면을 흡착하고, 노광 부재(10)에 대향하여 평탄하게 유지하게 하며, 노광 처리될 기재(100)의 하나의 프레임에 대응하는 폭과 길이를 갖도록 마련된다. 이 스테이지 부재(40)는 구동 수단(미 도시)에 의해 기재(100)의 이면에 접촉하는 상단 위치와 기재(100)와 분리되는 하단 위치와의 사이에 승강 가능함과 동시에 기재(100)의 이동 방향에 따라 왕복 이동하고, 주사 또는 스텝-앤드-리피트(step-and-repeat) 방식에 의해 기재(100)의 반송 방향에 따른 단면을 협지하는 클램프 기구를 구비할 수 있다. 즉 기재(100)가 얇은 필름 형상으로 이루어지므로, 기재의 폭 방향으로의 휘어짐을 방지하기 위해 클램프기구가 마련되어 촬영 수단(70)에 의한 얼라인먼트 마크의 촬영 영역 또는 노광 부재(10)의 노광 영역에서 기재(100)를 평탄하게 유지할 수 있다.2, the stage member 40 adsorbs the back surface of the substrate 100, keeps it flat against the exposure member 10, and holds the stage member 40 on one frame of the substrate 100 to be exposed And has a corresponding width and length. The stage member 40 can be moved up and down between an upper position where the stage member 40 contacts the back surface of the base material 100 and a lower end position where the base material 100 is separated from the base material 100 by the driving means And a clamping mechanism for clamping a cross section along the conveying direction of the base material 100 by a scanning or step-and-repeat method. That is, since the substrate 100 is formed in a thin film shape, a clamp mechanism is provided to prevent warpage of the substrate in the width direction, so that the imaging area of the alignment mark by the imaging means 70 or the exposure area of the exposure member 10 The substrate 100 can be kept flat.

상기 감지 부재(50)는 상기 공급 부재(20)와 감기 부재(30) 부분에 각각 마련되어 상기 공급 부재(20)에서 공급되는 기재(100)의 인장력과 상기 감기 부재(30)에서 감기는 기재의 인장력을 감지한다. 즉, 상기 감지 부재(50)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)이 각각 장착되며 회전 가능한 감지 롤러를 포함하고, 이 감지 롤러는 상기 공급 릴(21)과 공급측 피더 롤러(22) 사이에 장착된 제1 감지 롤러(51) 및 상기 감기 릴(31)과 감기측 피더 롤러(32) 사이에 장착된 제2 감지 롤러(52)를 포함한다. 또 상기 감지 부재(50)는 상기 공급 릴(21)에서 공급되는 기재(100) 또는 감기 릴(31)에 감기는 기재(100)의 위치를 감지하도록 상기 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에 각각 장착된 제1 및 제2 EPC(Edge Position Controller) 센서(53, 54)를 더 포함한다. 상기 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)는 초음파 센서 또는 광전 센서 등의 비접촉식 센서로서, 상기 공급 릴(21)과 감기 릴(31)과 일치되게 설치되어 좌우로 이송하며 동작 가능하다. The sensing member 50 is provided on the feeding member 20 and the winding member 30 so that the tensile force of the base material 100 supplied from the supplying member 20 and the tensile force of the base material 100 wound on the winding member 30 Detect the tensile force. That is, as shown in FIGS. 2 and 3, the sensing member 50 includes a sensing roller that is mounted with the first and second load cells 511 and 521, respectively, A first sensing roller 51 mounted between the reel 21 and the feeder feeder roller 22 and a second sensing roller 52 mounted between the reel 31 and the feeder roller 32 do. The sensing member 50 may be disposed between the supply reel 21 and the reel 31 to sense the position of the substrate 100 wound on the substrate 100 or the reel 31 supplied from the supply reel 21, And first and second EPC (Edge Position Controller) sensors 53 and 54, respectively, The first and second EPC sensors 53 and 54 are non-contact type sensors such as an ultrasonic sensor or a photoelectric sensor. The first and second EPC sensors 53 and 54 are installed coincident with the feed reel 21 and the reel 31,

상기 설명에서는 공급 릴(21)과 공급측 피더 롤러(22) 사이에 장착된 제1 감지 롤러(51)의 구성에 대해 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고 공급 또는 되감기는 기재의 평탄성 등을 유지하기 위해 상기 공급 릴(21)과 제1 감지 롤러(51) 사이에 다수의 가이드 롤러가 마련될 수 있다. 또 상기 설명에서는 감기 릴(31)과 감기측 피더 롤러(32) 사이에 장착된 제2 감지 롤러(52)의 구성에 대해 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고 감기는 기재의 평탄성 등을 유지하기 위해 상기 감기 릴(31)과 제2 감지 롤러(52) 사이에 다수의 가이드 롤러가 마련될 수 있다.In the above description, the configuration of the first sensing roller 51 mounted between the supply reel 21 and the feeder-side feeder roller 22 has been described. However, the present invention is not limited to this, and the supply or rewinding may be performed in order to maintain the flatness of the substrate A plurality of guide rollers may be provided between the supply reel 21 and the first sensing roller 51. In the above description, the configuration of the second sensing roller 52 mounted between the winding reel 31 and the winding-side feeder roller 32 has been described. However, the present invention is not limited to this, A plurality of guide rollers may be provided between the reel 31 and the second sensing roller 52.

상기 제어 수단(60)은 도 3에 도시된 바와 같이, 공급측 장력 제어기(61), 공급측 EPC(63), 감기측 장력 제어기(62), 감기측 EPC(64), 공급측 및 감기측 터치스크린, 마이크로프로세서, 메모리 등을 포함한다. 상기 메모리에는 기재(100)에 대한 정보, 기재의 이동 거리 및 이동 속도에 대한 정보, 기재의 종류에 따른 장력의 인가에 대한 정보, 노광 부재(10), 공급 부재(20), 감기 부재(30) 및 스테이지 부재(40)에 대한 정보 등이 저장되며, 마이크로프로세서는 상기 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)에서 감지된 기재(100)의 인장력에 대한 정보, 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)에서 감지된 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서의 기재(100)의 상태 정보 등과 메모리에 저장된 정보를 비교 판단하여 공급측 장력 제어기(61), 공급측 EPC(63), 감기측 장력 제어기(62), 감기측 EPC(64)가 상기 제1 롤러 구동 수단과 제2 롤러 구동 수단을 각각 제어하도록 명령을 출력한다. 예를 들어, 상기 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)에서 감지된 기재(100)의 인장력에 대한 정보에 따라 업/다운 실린더에 의해 승강 가능한 공급측 댄서 롤러(23) 또는 감기측 댄서 롤러(33)의 승강 상태를 제어하는 것에 의해 노광 처리 공정 도중에 기재(100)에 인가되는 장력을 일정하게 유지할 수 있으며, 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)에서 감지된 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서의 기재(100)의 상태 정보에 따라 모터 액추에이터를 제어하는 것에 의해 공급 릴(21)에서 공급되는 기재, 공급 릴(21)에 되감기는 기재 및 감기 릴(31)에 감기는 기재가 사행 처리 등을 방지하여 정상 상태로 유지시킬 수 있다. 또 본 발명에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 공급측 터치스크린 및 감기측 터치스크린을 각각 마련하는 것에 의해 별도의 키도드와 마우스 없이 시스템을 운영할 수 있다.3, the control means 60 includes a supply side tension controller 61, a supply side EPC 63, a winding side tension controller 62, a winding EPC 64, a supply side and a winding side touch screen, A microprocessor, a memory, and the like. The memory stores information on the substrate 100, information on the moving distance and moving speed of the substrate, information on the application of the tensile force depending on the type of the substrate, the exposure member 10, the supplying member 20, And the stage member 40. The microprocessor stores information about the tensile force of the substrate 100 sensed by the first and second load cells 511 and 521, The supply side tension controller 61 and the supply side EPC 63 compare the state information of the base material 100 and the information stored in the memory on the feed reel 21 and the reel 31 detected by the sensors 53 and 54, The winding-side tension controller 62, and the winding-side EPC 64 control the first roller driving means and the second roller driving means, respectively. The supply side dancer roller 23 or the winding side dancer roller 23 which can be lifted by the up / down cylinder according to the information about the tensile force of the base material 100 sensed by the first and second load cells 511 and 521, The tension applied to the base material 100 during the exposure process can be kept constant by controlling the lifting state of the supply reel 21 detected by the first and second EPC sensors 53 and 54, And rewinding the supply reel 21 to the substrate supplied from the supply reel 21 by controlling the motor actuator in accordance with the state information of the base 100 on the reel 31, The winding can prevent the base material from being subjected to warping or the like, and can be kept in a steady state. In the present invention, as shown in FIG. 3, the system can be operated without a separate key-dock and a mouse by providing the supply-side touch screen and the winding-side touch screen, respectively.

한편, 상기 촬영 수단(70)은 얼라인먼트 마크를 촬영하는 얼라이먼트 카메라(41)를 구비하고, 기재(100)에 마련된 얼라이먼트 마크를 촬영하여 기재(100)의 위치 정보를 취득한다. 이러한 얼라이먼트 마크의 촬영은 기재(100)를 공급 부재(20)에서 감기 부재(30)의 방향으로 이동시키면서 실시하며, 상기 제어 수단(60)은 촬영 수단(70)에 의해 촬영된 얼라인먼트 마크의 정보에 따라 상기 스테이지 부재(40)의 이동을 제어한다.On the other hand, the photographing means 70 includes an alignment camera 41 for photographing an alignment mark, and acquires position information of the base 100 by photographing an alignment mark provided on the base plate 100. The photographing of such an alignment mark is carried out while moving the base material 100 in the direction of the winding member 30 from the supplying member 20 and the control means 60 sets the information of the alignment mark photographed by the photographing means 70 And controls the movement of the stage member 40 in accordance with the movement of the stage member 40.

다음에 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템의 작동에 대해 도 2 및 도 4 내지 도 15에 따라 설명한다.Next, the operation of the RTR exposure system according to the present invention will be described with reference to FIG. 2 and FIG. 4 to FIG.

도 4 내지 도 15는 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템에서 기재에 노광 실행을 위한 동작을 설명하기 위한 설명도 이다.FIGS. 4 to 15 are explanatory diagrams for explaining an operation for performing exposure on a substrate in the RTR exposure system according to the present invention. FIG.

도 4 내지 도 15에서 스테이지 부재(40) 근방의 화살표는 스테이지 부재(40)의 이동을 나타내고, 기재(100) 상부의 화살표는 기재의 이동을 나타내며, 공급 부재(20), 감기 부재(30) 및 감지 부재(50)에서의 화살표는 기재(100)에 장력이 인가되는 것을 나타낸다. 또 도 4 내지 도 15에서는 설명의 편의상 공급 부재(20)에 마련된 공급측 피더 롤러(22), 공급측 댄서 롤러(23), 공급측 가이드 롤러(24) 및 제1 감지 롤러(51)가 동일 평면상에 배치된 구조를 나타내었지만, 이에 한정되는 것은 아니고 다수의 가이드 롤러를 거쳐 공급측 피더 롤러(22), 공급측 댄서 롤러(23), 공급측 가이드 롤러(24) 및 제1 감지 롤러(51)가 상하로 마련될 수 있다. 또한, 감기 부재(30)에 마련된 감기측 피더 롤러(32), 감기측 댄서 롤러(33), 감기측 가이드 롤러(34) 및 제2 감지 롤러(52)가 동일 평면상에 배치된 구조를 나타내었지만, 이에 한정되는 것은 아니고 다수의 가이드 롤러를 거쳐 감기측 피더 롤러(32), 감기측 댄서 롤러(33), 감기측 가이드 롤러(34) 및 제2 감지 롤러(52)도 상하로 마련될 수 있다. The arrows near the stage member 40 in FIGS. 4 to 15 indicate the movement of the stage member 40 and the arrows on the substrate 100 indicate the movement of the substrate. The feeding member 20, the winding member 30, And the arrows in the sensing member 50 indicate that a tension is applied to the substrate 100. 4 to 15, the supply side feeder roller 22, the supply side dancer roller 23, the supply side guide roller 24 and the first sensing roller 51 provided on the supply member 20 are provided on the same plane The feed side feeder roller 22, the supply side dancer roller 23, the supply side guide roller 24 and the first sensing roller 51 are arranged vertically via a plurality of guide rollers . The winding side feeder roller 32, the winding side dancer roller 33, the winding side guide roller 34 and the second sensing roller 52 provided on the winding member 30 are arranged on the same plane But the present invention is not limited to this. The feed side feeder roller 32, the winding side dancer roller 33, the winding side guide roller 34 and the second detection roller 52 may be provided up and down via a plurality of guide rollers have.

먼저, 기재(100)의 초기 장착 상태에 대해 도 2를 참조하여 설명한다. 가공 전의 새로운 소재인 롤 형태의 기재(100)는 공급 릴(21)에 감진 상태로 유지되고, 공급 릴(21)에서 기재(100)의 선단부를 인출하여 제1 감지 롤러(51)의 상부를 거쳐 상하 2개의 롤러로 이루어진 공급측 피더 롤러(22)의 사이를 통과시키고, 공급측 댄서 롤러(23)의 하부와 공급측 가이드 롤러(24)의 상부를 통해 스테이지 부재(40)의 상부를 경유하고, 이어서 감기측 가이드 롤러(34), 감기측 댄서 롤러(33), 감기측 피더 롤러(32), 제2 감지 롤러(52)를 거쳐 감기 릴(31)에 고정한다. 이와 같은 초기 장착 상태에서, 상하 2개의 롤러로 이루어진 공급측 피더 롤러(22)와 감기측 피더 롤러(32)의 상부 롤러는 개방된 상태로 유지되며, 도 2에서 스테이지 부재(40)가 기재(100)의 이면과 밀착된 상태를 나타내었지만, 스테이지 부재(40)는 기재(100)의 이면과 분리된 상태로 유지될 수 있다.First, an initial mounting state of the base material 100 will be described with reference to Fig. The substrate 100 in the form of a roll which is a new material before processing is held in a state of being depressed on the supply reel 21 and the leading end of the substrate 100 is taken out from the supply reel 21, Side feeder roller 22 consisting of two upper and lower rollers and passes through the upper portion of the stage member 40 through the lower portion of the supply side dancer roller 23 and the upper portion of the supply side guide roller 24, And is fixed to the winding reel 31 via the winding side guide roller 34, the winding side dancer roller 33, the winding side feeder roller 32, and the second sensing roller 52. In this initial mounting state, the supply side feeder roller 22 of the upper and lower rollers and the upper roller of the feeder side feeder roller 32 are kept open, and in FIG. 2, the stage member 40 is in contact with the substrate 100 But the stage member 40 can be kept separated from the back surface of the base material 100. In this case,

상술한 바와 같이 기재(100)가 노광 시스템에 장착된 후, 본 발명에 따른 RTR 노광 시스템이 작동하면, 공급측 피더 롤러(22)가 개방되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하고, 스테이지 부재(40)의 상부로 이동하여 기재(100)의 이면에 흡착되며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 기재(100)의 유지 상태로 되어 도 2에 도시된 바와 같은 상태로 유지된다. When the RTR exposure system according to the present invention is operated after the substrate 100 is mounted on the exposure system as described above, the feed side feeder roller 22 is opened and the feed side dancer roller 23 is also separated from the substrate 100 And moves to the upper portion of the stage member 40 to be adsorbed on the back surface of the base material 100. The second roller driving means causes the feed side feeder roller 32 to be in the holding state of the base material 100 And is maintained in a state as shown in Fig.

다음에, 기재(100)에 노광 작업을 실행하기 위해, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 롤러 구동 수단에 의해 공급측 피더 롤러(22)가 개방 상태로 되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하고, 공급 릴(21)에서 공급측 가이드 롤러(24)와 감기측 가이드 롤러(34)를 거쳐 기재(100)가 공급되며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 소정의 회전 구동량 예를 들어 500㎜/sec의 회전량을 갖는 상태로 됨과 동시에 감기 릴(31)이 기재를 감는 것에 의해 기재(100)는 예를 들어 300㎜ 정도 이동하게 된다. 이와 같은 기재(100)의 이동과 동기하여 스테이지 부재(40)도 촬영 수단(70)에 의한 하나의 프레임의 선단에 마련된 얼라인먼트 마크 측정 지점까지 이동하게 된다. 상기 기재(100)와 스테이지 부재(40)의 이동 속도는 감기측 피더 롤러(32)의 회전량에 대응하여 예를 들어 500㎜/sec로 실행된다. 한편 기재(100)의 이동과 동시에 기재(100)에 적절한 장력을 부가하기 위해 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 댄서 롤러(33)가 하향으로 이동하며, 이에 따라 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에 각각 마련된 로드 셀(511. 521)은 도 4에 도시된 바와 같은 과정에서 기재(100)의 인장력을 검출한다. 상기 로드 셀(511. 521)에서 감지된 기재(100)의 인장력에 따라 제어 수단(60)이 제2 롤러 구동 수단을 통해 감기측 피드 롤러(32)와 감기 릴(31)의 회전량을 제어하는 것에 의해 기재(100)는 노광을 위한 최적의 상태를 유지하게 된다. 또한, 제어 수단(60)은 공급 릴(21)에 마련된 제1 EPC 센서(53)를 통해 공급 릴(21)에서 기재(100)가 정상 상태로 공급되는 지를 감지함과 동시에, 감기 릴(31)에 마련된 제2 EPC 센서(54)를 통해 감기 릴(31)에서 기재(100)가 정상 상태로 감기는 지를 감지하고, 기재(100)의 가장자리 부분이 어긋나게 감기는 등의 비정상적인 상태인 경우, 공급측 EPC(63)와 감기측 EPC(64)를 통해 각각 공급 릴(21)과 감기 릴(31)의 자세를 제어하는 것에 의해 정상적인 기재(100)의 공급 및 감기를 실현할 수 있다. Next, as shown in Fig. 4, the feeder side feeder roller 22 is opened by the first roller driving means, and the supply side dancer roller 23 is also rotated And the substrate 100 is supplied from the supply reel 21 via the supply side guide roller 24 and the winding side guide roller 34 while the second roller driving means maintains the separated state from the winding side When the feeder roller 32 is rotated with a predetermined amount of rotation, for example, 500 mm / sec, and the winding reel 31 winds the base material, the base material 100 is moved, for example, by about 300 mm . In synchronism with the movement of the base material 100, the stage member 40 is also moved to the alignment mark measurement point provided at the tip of one frame by the photographing means 70. The moving speed of the base 100 and the stage member 40 is, for example, 500 mm / sec corresponding to the amount of rotation of the feed-side feeder roller 32. On the other hand, in order to impart appropriate tension to the base material 100 simultaneously with the movement of the base material 100, the winding-side dancer roller 33 is moved downward by the second roller driving means, whereby the first sensing roller 51 The load cells 511, 521 provided on the second sensing roller 52 detect the tensile force of the base material 100 in the process as shown in Fig. The control means 60 controls the amount of rotation of the winding side feed roller 32 and the winding reel 31 via the second roller driving means in accordance with the tensile force of the base material 100 sensed by the load cell 511. 521 The substrate 100 is maintained in an optimal state for exposure. The control means 60 detects whether the base material 100 is supplied in a steady state from the supply reel 21 through the first EPC sensor 53 provided in the supply reel 21, When the base 100 is in an abnormal state such as the edge portion of the base material 100 is shifted or wound up by detecting whether the base material 100 is wound in the normal state from the reel 31 through the second EPC sensor 54 provided in the base material 100, The supply and winding of the normal substrate 100 can be realized by controlling the posture of the supply reel 21 and the winding reel 31 via the supply side EPC 63 and the winding side EPC 64, respectively.

상기 제어 수단(60)에 의해 기재(100)가 최적의 상태로 유지된 것으로 판단되면, 제어 수단(60)은 감기측 EPC(64)와 제2 롤러 구동 수단을 통해 도 5에 도시된 바와 같이, 감기측 피더 롤러(32)가 유지 상태로 되어 기재(100)도 정지 상태를 유지하며, 스테이지 부재(40)도 정지 상태로 된다. 이와 같은 상태에서 제어 수단(60)은 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)가 최적의 인장력을 유지한 것으로 판단한다. 도 5에 도시된 상태에서 촬영 수단(70)은 기재(100)에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하여 기재(100)의 위치를 측정하고, 얼라이먼트 마크의 촬영에 의해 얻은 기재(100)의 위치 정보에 따라 기재(100)와 노광되는 패턴과의 얼라이먼트가 실행된다. 즉, 기재(100)의 위치 정보가 노광 부재(10)의 노광 제어부에 송신되어, 노광 부재(10)가 기재(100)에 패턴을 노광하기 위한 노광 데이터의 좌표에 대해 보정 처리가 실행되며, 노광 데이터의 보정 처리를 하고 있는 동안, 스테이지 부재(40)는 기재(100)를 유지한 채로, 노광 개시 위치에서 일시정지 한다. When it is determined by the control means 60 that the base material 100 is maintained in the optimum state, the control means 60 controls the roll-up EPC 64 and the second roller driving means The feeder side feeder roller 32 is kept in the holding state, the base material 100 is kept in the stopped state, and the stage member 40 is also in the stopped state. In this state, the control means 60 determines that the first sensing roller 51 and the second sensing roller 52 maintain the optimum tensile force. 5, the photographing means 70 photographs an alignment mark provided on the base material 100 and measures the position of the base material 100. In accordance with the position information of the base material 100 obtained by photographing the alignment mark, Alignment of the base material 100 with a pattern to be exposed is executed. That is, the positional information of the substrate 100 is transmitted to the exposure control unit of the exposure member 10, and the correction processing is performed on the coordinates of the exposure data for exposing the pattern to the substrate 100 by the exposure member 10, While the exposure data is being corrected, the stage member 40 temporarily stops at the exposure start position while holding the substrate 100. [

그 후, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 롤러 구동 수단에 의해 공급측 피더 롤러(22)가 개방 상태로 되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 소정의 회전 구동량 예를 들어 500㎜/sec의 회전량을 갖는 상태로 됨과 동시에 감기 릴(31)이 기재(100)를 감는 것에 의해 기재(100)는 다시 예를 들어 300㎜ 정도 이동하게 된다. 이와 같은 기재(100)의 이동과 동기하여 스테이지 부재(40)도 촬영 수단(70)에 의한 하나의 프레임의 후단에 마련된 얼라인먼트 마크 측정 지점까지 이동하게 된다. 상기 기재(100)와 스테이지 부재(40)의 이동 속도도 감기측 피더 롤러(32)가 회전 구동량과 일치하여 500㎜/sec로 실행된다. 한편 기재(100)의 이동과 동시에 기재(100)에 적절한 장력을 부가하기 위해 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 댄서 롤러(33)가 하향으로 이동하며, 이에 따라 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에 각각 마련된 로드 셀(511. 521)은 도 6에 도시된 바와 같은 과정에서 기재(100)의 인장력을 검출한다. 상기 로드 셀(511. 521)에서 감지된 기재(100)의 인장력에 따라 제어 수단(60)이 제2 롤러 구동 수단을 통해 감기측 피드 롤러(32)와 감기 릴(31)의 회전량을 제어하는 것에 의해 기재(100)는 노광을 위한 최적의 상태를 유지하게 된다. 이때에도 제어 수단(60)은 공급 릴(21)에 마련된 제1 EPC 센서(53)를 통해 공급 릴(21)에서 기재(100)가 정상 상태로 공급되는 지를 감지함과 동시에, 감기 릴(31)에 마련된 제2 EPC 센서(54)를 통해 감기 릴(31)에서 기재(100)가 정상 상태로 감기는 지를 감지하고, 비정상적인 상태인 경우 공급측 EPC(63)와 감기측 EPC(64)를 통해 각각 공급 릴(21)과 감기 릴(31)의 자세를 제어하는 것에 의해 정상적인 기재(100)의 공급 및 감기를 실현할 수 있다. Then, as shown in Fig. 6, the supply side feeder roller 22 is opened by the first roller driving means, the supply side dancer roller 23 is kept separated from the base material 100, Side feeder roller 32 is brought into a state of having a predetermined rotational drive amount, for example, a rotation amount of 500 mm / sec by the two-roller driving means, and the winding reel 31 winds the base material 100, For example, about 300 mm. In synchronism with the movement of the base material 100, the stage member 40 is also moved to the alignment mark measuring point provided at the rear end of one frame by the photographing means 70. The moving speed of the base material 100 and the stage member 40 is also 500 mm / sec in accordance with the rotation drive amount of the feed side feeder roller 32. On the other hand, in order to impart appropriate tension to the base material 100 simultaneously with the movement of the base material 100, the winding-side dancer roller 33 is moved downward by the second roller driving means, whereby the first sensing roller 51 The load cells 511, 521 provided on the second sensing roller 52 detect the tensile force of the base material 100 in the process as shown in Fig. The control means 60 controls the amount of rotation of the winding side feed roller 32 and the winding reel 31 via the second roller driving means in accordance with the tensile force of the base material 100 sensed by the load cell 511. 521 The substrate 100 is maintained in an optimal state for exposure. The control means 60 detects whether the substrate 100 is supplied in a steady state from the supply reel 21 through the first EPC sensor 53 provided in the supply reel 21 and at the same time, Side EPC 63 and the winding-side EPC 64 in the abnormal state through the second EPC sensor 54 provided on the winding-side reel 31, The supply and winding of the base material 100 can be realized normally by controlling the posture of the supply reel 21 and the winding reel 31, respectively.

다음에, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제어 수단(60)에 의해 기재(100)가 최적의 상태로 유지된 것으로 판단되면, 제어 수단(60)은 감기측 피더 롤러(32)가 유지 상태로 하고 기재(100)도 정지 상태를 유지하며, 스테이지 부재(40)도 정지 상태로 된다. 이와 같은 상태에서 촬영 수단(70)은 하나의 프레임의 후단에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하여 기재(100)의 위치를 측정하고, 노광 부재(10)는 얼라이먼트 마크의 촬영에 의해 얻은 기재(100)의 위치 정보에 따라 기재(100)에서 노광 처리할 거리를 판단하고 패턴과의 얼라이먼트를 실행한다.Next, as shown in Fig. 7, when it is determined by the control means 60 that the base material 100 is maintained in the optimum state, the control means 60 determines that the feed side feeder roller 32 is in the holding state So that the substrate 100 is kept stationary, and the stage member 40 is also stopped. In this state, the photographing means 70 photographs an alignment mark provided at the rear end of one frame to measure the position of the base material 100, and the exposure member 10 measures the position of the base material 100 obtained by photographing the alignment mark Determines the distance to be exposed in the substrate 100 according to the positional information, and performs alignment with the pattern.

이어서, 상술한 바와 같이, 얼라인먼트 처리가 완료되면, 도 8에 도시된 바와 같이, 기재(100)와 스테이지 부재(40)는 노광 부재(10)에 의해 노광될 시점으로 이동한다. 즉, 공급측 피더 롤러(22)가 개방 상태로 되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 소정의 회전 구동량 예를 들어 500㎜/sec의 회전량을 갖는 상태로 됨과 동시에 감기 릴(31)이 기재(100)를 감는 것에 의해 기재(100)와 스테이지 부재(40)는 밀착된 상태를 유지하면서 500㎜/sec의 이동속도로 하나의 프레임에 대응하는 길이, 예를 들어 300㎜ 정도 이동하게 된다. Subsequently, as described above, when the alignment process is completed, the substrate 100 and the stage member 40 are moved to the point of exposure by the exposure member 10, as shown in Fig. That is, the supply side feeder roller 22 is in the open state, the supply side dancer roller 23 is kept separated from the base material 100, and the second roller drive means moves the feed side feeder roller 32 to the predetermined For example, 500 mm / sec, and the winding reel 31 winds the base material 100 to keep the base material 100 and the stage member 40 in close contact with each other For example, about 300 mm at a moving speed of 500 mm / sec.

계속해서 도 9에 도시된 바와 같이, 노광 부재(10)에서 기재(100)에 대해 노광 처리를 실행한다. 노광 처리에서는 공급측 피더 롤러(22)가 개방 상태로 되고, 공급측 댄서 롤러(23)도 기재(100)와 분리된 상태를 유지하며, 제2 롤러 구동 수단에 의해 감기측 피더 롤러(32)가 노광 양에 따른 기재(100)와 스테이지 부재(40)의 이동 속도에 동기한 회전 속도로 구동된다. 이러한 노광 처리 도중에서 감기측 댄서 롤러(33)는 하강하여 감기측 피더 롤러(32)에 의해 감기 릴(31)에 감겨질 기재(100)에 장력을 부여하며, 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에 각각 마련된 로드 셀(511. 521)은 기재(100)의 인장력을 검출하여 노광 처리 과정에서도 기재(100)를 최적의 상태로 유지하게 된다. 또 이와 같은 노광 처리 도중에서도 제어 수단(60)은 공급 릴(21)에 마련된 제1 EPC 센서(53)를 통해 공급 릴(21)에서 기재(100)가 정상 상태로 공급되는 지를 감지함과 동시에, 감기 릴(31)에 마련된 제2 EPC 센서(54)를 통해 감기 릴(31)에서 기재(100)가 정상 상태로 감기는 지를 감지하여 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서 기재(100)가 정상적인 상태를 유지하게 한다.Subsequently, as shown in Fig. 9, the exposure process is performed on the base material 100 in the exposure member 10. In the exposure process, the supply side feeder roller 22 is in the open state, the supply side dancer roller 23 is kept separated from the base material 100, and the feed side feeder roller 32 is exposed by the second roller driving means And is driven at a rotational speed synchronized with the moving speed of the base member 100 and the stage member 40 according to the amount. During this exposure processing, the winding-side dancer roller 33 is lowered to apply tension to the base material 100 to be wound on the winding reel 31 by the winding-side feeder roller 32, and the first sensing roller 51 The load cells 511 and 521 provided respectively to the second detection rollers 52 detect the tensile force of the base material 100 and maintain the base material 100 in an optimal state during the exposure process. The control means 60 detects whether the substrate 100 is supplied in a steady state from the supply reel 21 through the first EPC sensor 53 provided in the supply reel 21 And the second EPC sensor 54 provided on the reel 31 detects whether the base 100 is wound in the normal state from the reel 31 and supplies the reel 31 to the base material 100) is maintained in a normal state.

상술한 바와 같은 노광 처리는 통상의 노광 처리와 같이, 스테이지 부재(40)에 흡착 유지하고 있는 기재(100)의 표면의 감광 재료층에 대해 노광 부재(10)가 전자 회로 패턴을 주사하여 노광 처리하며, 하나의 프레임 분의 기재(100)에 대해 실행된다. 도 10에 도시된 바와 같이, 노광 부재(10)에 의한 노광 처리가 완료되면, 감기측 피더 롤러(32)의 회전은 정지되고, 기재(100)와 스테이지 부재(40)의 이동도 정지된다. 또 본 발명에 따른 제어 수단(60)은 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에서 정지되어 있는 기재(100)의 인장력을 측정하고 기재(100)가 최적의 상태로 유지된 것으로 판단한다.The exposure process as described above is a process in which the exposure member 10 scans an electronic circuit pattern on the photosensitive material layer on the surface of the base material 100 adsorbed and held on the stage member 40, And is executed for the base 100 of one frame. 10, when the exposure processing by the exposure member 10 is completed, the rotation of the feeder-side feeder roller 32 is stopped, and the movement of the base member 100 and the stage member 40 is also stopped. The control means 60 according to the present invention measures the tensile force of the substrate 100 stopped at the first sensing roller 51 and the second sensing roller 52 and measures the tension of the substrate 100 .

제어 수단(60)은 기재(100)에 대해 도 10에 도시된 바와 같은 노광 처리가 완료된 것으로 판단되면, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 롤러 구동 수단을 제어하여 공급측 댄서 롤러(23)를 하강시키고, 공급측 피더 롤러(22)를 회전 상태로 함과 동시에 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 감기측 피더 롤러(32)를 개방 상태로 하여 기재(100)를 공급 릴(21)에서 소정 양, 예를 들어 900㎜ 정도 되감게 한다. 즉 제어 수단(60)은 제1 롤러 구동 수단과 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 기재(100)에서 노광 완료한 하나의 프레임에 연속된 다음의 프레임 분이 얼라이먼트 개시 위치에 오도록, 상술한 노광 처리를 위한 기재(100)의 이동 거리만큼 공급 릴(21)에서 되감게한다. 또 제어 수단(60)은 기재(100)의 되감기와 동시에 스테이지 부재(40)를 하나의 프레임의 후단에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하기 위한 도 7에 도시된 상태까지 이동시킨다. 이와 같은 기재(100)와 스테이지 부재의 이동 속도는 500㎜/sec로 노광 처리를 위한 기재(100)의 이동 속도와 동일 속도로 하는 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 제어 수단(60)은 상술한 바와 같은 기재(100)의 되감기 동작에서도 제1 감지 롤러(51)와 제2 감지 롤러(52)에서 되감겨지는 기재(100)의 인장력을 측정하고 제1 EPC 센서(53)와 제2 EPC 센서(54)를 통해 기재(100)의 되감기 상태를 감지하여 제어하는 것에 의해, 기재의 사행 이동 등을 방지하여 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서 기재(100)가 최적의 상태로 유지되도록 한다.The control means 60 controls the first roller driving means to drive the supply side dancer roller 23 as shown in Fig. 11, if it is determined that the exposure processing as shown in Fig. 10 has been completed for the base material 100 The feeder side feeder roller 22 is rotated and the second roller drive means is controlled so that the feeder side feeder roller 32 is opened and the base material 100 is fed from the feed reel 21 to a predetermined amount, For example, about 900 mm. In other words, the control means 60 controls the first roller driving means and the second roller driving means so as to perform the above-described exposure processing so that the next frame portion continuous to one frame exposed by the substrate 100 comes to the alignment start position In the supply reel 21 by the moving distance of the base material 100 for the reel. The control means 60 moves the stage member 40 to the state shown in Fig. 7 for photographing the alignment mark provided at the rear end of one frame at the same time as the rewinding of the base material 100 is performed. The moving speed of the base material 100 and the stage member is preferably 500 mm / sec, which is the same as the moving speed of the base material 100 for the exposure treatment. The control means 60 according to the present invention measures the tensile force of the substrate 100 wound on the first sensing roller 51 and the second sensing roller 52 in the rewinding operation of the base 100 as described above It is possible to prevent the substrate from moving in a skew manner by detecting and controlling the rewinding state of the base material 100 through the first EPC sensor 53 and the second EPC sensor 54 to prevent the supply reel 21 and the reel 31 So that the substrate 100 is maintained in an optimal state.

계속해서, 스테이지 부재(40)가 하나의 프레임의 후단에 마련된 얼라인먼트 마크를 촬영하기 위한 도 7에 도시된 상태까지 이동되면, 제어 수단(60)은 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 롤러 구동 수단을 제어하여 공급측 피더 롤러(22)를 유지 상태로 함과 동시에 제2 롤러 구동 수단을 제어하여 감기측 피더 롤러(32)를 유지 상태로 하여 기재(100)의 이동을 중지시키고, 스테이지 부재(40)의 이동도 중지시킨다. Subsequently, when the stage member 40 is moved to the state shown in Fig. 7 for photographing the alignment mark provided at the rear end of one frame, the control means 60, as shown in Fig. 12, Side feeder roller 22 to the holding state while controlling the second roller driving means to stop the movement of the base material 100 by keeping the winding-side feeder roller 32 in the holding state, 40).

다음에, 제어 수단(60)은 도 12에 도시된 상태에서 도 13에 도시된 바와 같이, 스테이지 부재(40)의 구동 수단을 제어하여 스테이지 부재(40)를 기재(100)에서 분리하고 소정의 위치까지 하강시킨다. 기재(100)는 공급측 피더 롤러(22)와 감기측 피더 롤러(32)에 의해 유지상태로 되므로, 스테이지 부재(40)가 기재(100)로부터 분리될 때에 기재(100)가 X 방향이나 Y 방향으로 이동하는 일 없이 제동되며, 소정의 위치를 유지할 수 있을 뿐만 아니라 바람직한 장력의 상태를 유지할 수 있다.12, the control means 60 controls the driving means of the stage member 40 to separate the stage member 40 from the substrate 100, Position. The substrate 100 is held by the feed side feeder roller 22 and the winding side feeder roller 32 so that when the stage member 40 is separated from the substrate 100, So that it is possible not only to maintain the predetermined position, but also to maintain the desirable tension state.

이어서, 공급측 피더 롤러(22)와 감기측 피더 롤러(32)에 의해 기재(100)가 유지되어 기재(100)의 이동이 정지된 상태에서, 도 14에 도시된 바와 같이, 스테이지 부재(40)의 구동 수단에 의해 스테이지 부재(40)가 노광 영역에 대응하는 길이 (다음 프레임에 대응하는 길이)만큼 공급 부재(20) 측으로 이동한다. Subsequently, the base member 100 is held by the feeder-side feeder roller 22 and the winding-side feeder roller 32, and the movement of the base material 100 is stopped. As shown in Fig. 14, The stage member 40 moves toward the supply member 20 by a length corresponding to the exposure area (a length corresponding to the next frame) by the driving means of the exposure apparatus.

스테이지 부재(40)의 이동이 완료된 후, 도 15에 도시된 바와 같이 공급측 피더 롤러(22)와 감기측 피더 롤러(32)에 의해 기재(100)가 유지되어 기재(100)의 이동이 정지된 상태에서 스테이지 부재(40)는 스테이지 부재(40)의 구동 수단에 의해 기재(100)의 이면을 향해 상승하여 도 2에 도시된 상태로 유지된다.After the movement of the stage member 40 is completed, the base material 100 is held by the feeder-side feeder roller 22 and the winding-side feeder roller 32, as shown in Fig. 15, The stage member 40 ascends toward the rear surface of the substrate 100 by the driving means of the stage member 40 and is maintained in the state shown in Fig.

이후, 공급 릴(21)에 감긴 기재(100)에 대한 노광 처리가 완료될 때까지 도 2 및 도 4 내지 도 15의 공정을 반복하여 실행하며, 기재(100)의 최종 프레임의 노광이 종료하면, 감기 릴(31)에 롤 형으로 감긴 기재(100)가 회수된다.2 and 4 to 15 are repeatedly performed until the exposure process for the base material 100 wrapped around the supply reel 21 is completed. When the exposure of the final frame of the base material 100 is finished , And the base material 100 wound in roll form on the winding reel 31 is recovered.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 RTR 노광 시스템에 의해, 제1 및 제2 로드 셀(511, 521)에서의 감지 정보에 따라 공급측 댄서 롤러(23) 또는 감기측 댄서 롤러(33)의 승강 상태를 제어하여 연속적으로 실행되는 노광 처리 공정 도중에 기재(100)에 인가되는 장력을 일정하게 유지할 수 있으며, 제1 및 제2 EPC 센서(53, 54)에서 감지된 공급 릴(21)과 감기 릴(31)에서의 기재(100)의 상태 정보에 따라 모터 액추에이터를 제어하는 것에 의해 롤 형태로 공급 릴(21)에서 공급되는 기재, 공급 릴(21)에 되감기는 기재 및 감기 릴(31)에 감기는 기재가 사행 처리 등을 방지하여 정상 상태로 유지시킬 수 있다.According to the RTR exposure system of the present invention configured as described above, the lifting / lowering state of the supply side dancer roller 23 or the winding side dancer roller 33 is controlled according to the detection information in the first and second load cells 511 and 521 The tension applied to the base material 100 can be kept constant during the continuous exposure process and the supply reel 21 and the reel 31 detected by the first and second EPC sensors 53, The base material fed from the supply reel 21 in the form of a roll by controlling the motor actuator in accordance with the state information of the base material 100 in the reel 31, It is possible to prevent the base material from being subjected to meander treatment and to maintain it in a steady state.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.Although the present invention has been described in detail with reference to the above embodiments, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.

본 발명에 따른 RTR 노광 시스템을 사용하는 것에 의해 기재에 관한 노광 작업을 최적화하여 실행할 수 있다.By using the RTR exposure system according to the present invention, it is possible to optimize and perform the exposure work related to the substrate.

10 : 노광 부재
20 : 공급 부재
30 : 감기 부재
40 : 스테이지 부재
50 : 감지 부재
60 : 제어 수단10:
20: Supply member
30: Winding member
40:
50: sensing member
60: control means

Claims

1. An RTR (Roll To Roll) exposure system for performing exposure processing on a substrate of a photosensitive film type used as a base material of a flexible circuit board,
An exposure member (10) having a light source and an illumination optical system,
A supply member (20) for supplying the substrate (100) toward the exposure member,
A winding member (30) wound around the substrate processed by the exposure member,
A stage member (40) for sucking and holding the substrate supplied from the supply member for exposure processing by the exposure member,
A sensing member 50 for sensing the state of the substrate,
Control means 60 for controlling the operating states of the supplying member 20, the winding member 30 and the stage member 40 according to the state of the substrate 100 sensed by the sensing member 50,
And imaging means (70) for photographing an alignment mark provided on the substrate adjacent to the exposure member (10)
The supply member 20 includes a supply reel 21 for supplying a rotatable and roll-wound base material 100 to an exposure member, a supply roller 21 for supplying or holding the base material, A supply side dancer roller 23 which can be lifted and lowered in accordance with the movement of the substrate and applies a tension to the base material and as an auxiliary roller between the supply side dancer roller 23 and the stage member 40 Side feed roller 24 for holding the substrate 100 and first roller driving means for driving the feed reel, the feed side feeder roller and the feed side dancer roller,
The winding member 30 includes a winding reel 31 which is rotatable and which rolls and holds a base material 100 exposed in the exposure unit 10 in the form of a roll, A feed-side feeder roller 32 which is made up of a roller and feeds or holds the base material 100, a winding-side feeder roller 32 which can be lifted and lowered by the up / down cylinder according to the movement of the base material 100, A feed side guide roller 34 provided between the winding side dancer roller 33 and the stage member 40 as an auxiliary roller to hold the base material 100 and a feed side guide roller 34 which is provided between the winding reel, And second roller driving means for driving the winding-side dancer roller,
The sensing member 50 includes a first sensing roller 51 mounted on the first load cell 511 and rotatably mounted between the supply reel 21 and the feed side feeder roller 22, A second detection roller 52 mounted on the winding reel 21 and mounted between the winding reel 31 and the winding feeder roller 32; And first and second EPC (Edge Position Controller) sensors 53 and 54 mounted on the supply reel 21 and the reel 31 to detect the position of the substrate 100 wound on the reel 31, And the first and second EPC sensors 53 and 54 are installed as an ultrasonic sensor coinciding with the supply reel 21 and the reel 31 to be moved laterally,
The control means 60 includes a supply side tension controller 61, a supply side EPC 63, a winding side tension controller 62, a winding side EPC 64, a supply side and a winding side touch screen, a microprocessor, When the tensile force detection of the substrate and the detection of the supply and the winding state of the substrate are simultaneously performed and the tensile force sensed by the first load cell 511 and the second load cell 521 does not correspond to a preset tensile force , The control means (60) controls the lowering state of the supply side dancer roller (23) according to the tensile force preset and stored in the memory and the tensile force sensed by the first load cell (511), the tensile force preset in the memory Side dancer roller 33 in accordance with the tensile force sensed by the second load cell 521. When the substrate 100 is fed or wound in an abnormal state, costume RTR to adjust the exposure system is characterized in that at the same time controlling the first driving roller means and second roller drive means according to the detected value from the first and second EPC sensors 53,54.

delete

The method of claim 1,
The first roller driving means and the second roller driving means are driven by the motor for driving the supply reel, the feed side feeder roller, the supply side dancer roller and the winding reel, the winding feeder roller and the winding side dancer roller under the control of the control means, An actuator, a servo motor, and a powder clutch.