KR101401984B1 - Apparatus for attaching coverlay film - Google Patents

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coverlay film
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김세영
김천희
윤기환
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세호로보트 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a coverlay film attaching apparatus and, more specifically, to a coverlay film attaching apparatus attaching a coverlay film protecting such a board pattern. The purpose of the present invention is to provide the coverlay film attaching apparatus composed to be compact to take up a relatively narrow space and to attach the coverlay film to a board at high speeds. The coverlay film attaching apparatus of the present invention is comprised to be compact and have the effects of taking up a relatively narrow space. The coverlay film attaching apparatus of the present invention has the effects of performing the coverlay film attaching work at high speeds.

Description

커버레이 필름 부착 장치{Apparatus for attaching coverlay film}[0001] Apparatus for attaching coverlay film [0002]

본 발명은 커버레이 필름 부착 장치에 관한 것으로, 기판의 패턴 등을 보호하기 위한 커버레이 필름(coverlay film)을 부착하는 커버레이 필름 부착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for attaching a coverlay film, and more particularly, to a coverray film attaching apparatus for attaching a coverlay film for protecting a pattern or the like of a substrate.

인쇄회로기판(Printed circuit board), 연성인쇄회로기판(Flexible printed circuit board) 등의 기판에는 회로를 구성하는 도전성을 갖는 패턴(Pattern)이 인쇄되어 있다. 기판의 제조 공정 및 사용 중에 패턴을 보호하기 위하여 폴리이미드 필름(Polyimide film)과 같은 커버레이 필름을 기판의 표면에 가접(Pre-attach)한다. 커버레이의 일면에는 점착제(Adhesive)가 도포되어 있으며, 이 점착제는 열이 가해지면 녹아 기판의 표면에 부착된다. 커버레이의 점착제는 이형지에 의하여 보호된다. 커버레이, 그 커버레이에 도포된 점착제 및 이형지로 구성되는 커버레이 시트(Coverlay sheet)는 롤(Roll)로 감겨져 있다. BACKGROUND ART [0002] A conductive pattern constituting a circuit is printed on a substrate such as a printed circuit board or a flexible printed circuit board. A coverlay film such as a polyimide film is pre-attached to the surface of the substrate to protect the pattern during the manufacturing process and use of the substrate. One side of the coverlay is coated with an adhesive, which melts when adhered to the surface of the substrate. The adhesive of the coverlay is protected by a release paper. A coverlay sheet composed of a coverlay, a pressure-sensitive adhesive applied to the coverlay, and a release sheet is wound in a roll.

커버레이 시트의 커버레이는 기판에 부착하기 위한 형상으로 프레스에 의해 커버레이 블랭크(Coverlay blank) 가공된다. 커버레이 필름은 이형지로부터 박리되어 기판에 부착된다.The coverlay of the coverlay sheet is covered and blanked by a press in a shape for attachment to the substrate. The coverlay film is peeled from the release paper and attached to the substrate.

종래의 커버레이 필름 부착 장치(특히, 롤 형태의 기판에 커버레이 필름을 부착하는 장치)는 비교적 넓은 면적을 차지하는 문제점이 있다. 기판이 풀려 나오는 언와인더와 커버레이 필름을 부착하기 위해 기판을 지지하는 메인 테이블과 기판이 되감기는 리와인더를 일체로 움직여서 커버레이 필름에 대한 기판의 위치를 보정하기 때문에, 언와인더, 메인 테이블 및 리와인더를 이송하는 구성의 부피가 크고 속도가 느린 문제점이 있다. 이로 인해 전체적인 커버레이 필름 부착장치의 점유 면적도 넓어지고 작동 속도는 느린 문제점이 있다.There is a problem that a conventional cover-lay film attaching device (particularly, a device for attaching a cover-lay film to a roll-shaped substrate) occupies a relatively large area. A main table for supporting the substrate for attaching the coverlay film and a rewinder for rewinding the substrate are integrally moved to fix the position of the substrate with respect to the coverlay film, And the configuration for transferring the rewinder is bulky and slow. As a result, the overall coverage area of the apparatus for attaching a coverlay film is widened and the operation speed is slow.

본 발명은 콤팩트하게 구성되어 비교적 좁은 면적을 차지하면서 고속으로 커버레이 필름을 기판에 부착할 수 있는 커버레이 필름 부착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide an apparatus for attaching a coverlay film to a substrate which can be attached to a substrate at a high speed while occupying a relatively small area.

본 발명의 커버레이 필름 부착 장치는, 기판에 커버레이 필름을 순차적으로 가압하여 부착하는 커버레이 필름 부착 장치에 있어서, 베이스; 롤 형태로 감겨 있는 상기 기판을 풀어서 제1방향으로 공급하는 언와인더를 구비하고 상기 베이스에 설치되는 언와인딩 유닛; 상기 제1방향을 따라 상기 언와인더와 마주하도록 배치되어 상기 언와인더에서 공급되는 기판을 되감는 리와인더를 구비하고 상기 베이스에 설치되는 리와인딩 유닛; 상기 언와인딩 유닛과 리와인딩 유닛의 사이에 배치되어 상기 언와인더에서 풀려 나온 기판이 배치되어 흡착되는 메인 테이블, 상기 메인 테이블을 상기 베이스에 대해 상기 제1방향으로 이송하는 테이블 이송부를 구비하는 기판 지지 유닛; 상기 제1방향에 수직하는 제2방향으로 연장되도록 상기 베이스의 상측에 배치되는 지지 가이드와, 상기 지지 가이드를 상기 베이스에 대해 각각 지지하는 한쌍의 다리부를 구비하는 지지 프레임; 커버레이 필름을 흡착하는 메인 헤드와, 상기 메인 헤드를 승강시키는 커버레이 승강부와, 상기 커버레이 승강부를 상기 지지 가이드를 따라 상기 제2방향으로 이송하는 커버레이 이송부를 구비하고 상기 지지 프레임에 설치되는 커버레이 이송 유닛; 상기 메인 테이블에 고정된 기판을 촬영할 수 있도록 상기 기판 지지 유닛의 상측에 배치되는 기판 카메라와, 상기 기판 카메라를 상기 제1방향으로 이송하는 제1방향 이송부와, 상기 기판 카메라를 상기 제2방향으로 이송하는 제2방향 이송부를 구비하며 상기 지지 프레임의 지지 가이드에 설치되는 기판 촬영 유닛; 상기 커버레이 이송 유닛의 메인 헤드에 흡착된 상기 커버레이 필름을 촬영할 수 있도록 상기 메인 헤드의 하측에 배치되는 커버레이 카메라를 구비하는 커버레이 촬영 유닛; 및 상기 기판 카메라와 커버레이 카메라에서 전달 받은 영상을 이용하여 상기 기판과 커버레이 필름의 위치를 파악한 후 그 위치 오차를 보정하여 상기 커버레이 필름을 상기 기판에 부착하도록 상기 기판 지지 유닛과 커버레이 이송 유닛과 기판 촬영 유닛과 커버레이 촬영 유닛을 제어하는 제어부;를 포함하는 점에 특징이 있다.An apparatus for attaching a coverlay film according to the present invention is a device for attaching a coverray film to a substrate by sequentially pressing the coverray film thereon, the apparatus comprising: a base; An unwinding unit provided on the base and having an unwinder for unwinding the substrate wound in a roll form and feeding the substrate in a first direction; A rewinding unit disposed on the base and having a rewinder arranged to face the unwinder along the first direction and rewinding the substrate fed from the unwinder; A main table disposed between the unwinding unit and the rewinding unit and arranged and adsorbed by the substrate unwound from the unwinder; a table transferring unit for transferring the main table to the base in the first direction; A support unit; A support frame disposed above the base so as to extend in a second direction perpendicular to the first direction, and a pair of legs each supporting the support guide with respect to the base; A cover raising and lowering portion for raising and lowering the main head; and a cover lay transferring portion for carrying the cover raising and lowering portion in the second direction along the support guide, A cover-laying unit that is provided with a cover; A substrate camera disposed above the substrate supporting unit so as to take a picture of the substrate fixed to the main table; a first direction transferring unit for transferring the substrate camera in the first direction; A substrate photographing unit having a second direction transferring unit for transferring the first directional transferring unit and installed on a support guide of the support frame; A cover ray photographing unit having a cover ray camera disposed below the main head so as to photograph the cover ray film attracted to the main head of the cover raythening unit; And a controller for detecting the position of the substrate and the coverlay film by using the image received from the substrate camera and the coverlay camera and correcting the positional error to attach the coverlay film to the substrate, And a control unit for controlling the unit, the substrate photographing unit, and the coverlay photographing unit.

본 발명의 커버레이 필름 부착 장치는 컴팩트하게 구성되어 비교적 좁은 면적을 차지하는 커버레이 필름 부착 장치를 제공하는 효과가 있다.The apparatus for attaching a coverlay film of the present invention is effective in providing a device for attaching a coverlay film, which is compact and occupies a relatively small area.

본 발명의 커버레이 필름 부착 장치는 커버레이 필름을 부착하는 작업을 고속으로 수행할 수 있는 커버레이 필름 부착 장치를 제공하는 효과가 있다.The apparatus for attaching a coverlay film of the present invention has an effect of providing a device for attaching a coverlay film which can perform the operation of attaching the coverray film at a high speed.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 커버레이 필름 부착 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 커버레이 필름 부착 장치의 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 커버레이 필름 부착 장치의 일부분에 대한 정면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 커버레이 필름 부착 장치의 일부분에 대한 저면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 커버레이 필름 부착 장치의 작동을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 커버레이 필름 부착 장치의 작동을 설명하기 위한 측면도이다.1 is a plan view of an apparatus for attaching a coverlay film according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view of the apparatus for attaching a coverlay film shown in Fig.
3 is a front view of a part of the apparatus for attaching a coverlay film shown in Fig.
4 is a bottom view of a portion of the apparatus for attaching a coverlay film shown in Fig.
5 is a plan view for explaining the operation of the apparatus for attaching a coverlay film shown in Fig.
6 is a side view for explaining the operation of the apparatus for attaching a coverlay film shown in Fig.

이하, 본 발명에 따른 커버레이 필름 부착 장치의 일실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of an apparatus for attaching a coverlay film according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 커버레이 필름 부착 장치의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 커버레이 필름 부착 장치의 측면도이다.1 is a plan view of an apparatus for attaching a coverlay film according to an embodiment of the present invention, and Fig. 2 is a side view of the apparatus for attaching a coverlay film shown in Fig.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예의 커버레이 필름 부착 장치는 베이스(101)와 언와인딩 유닛(210)과 리와인딩 유닛(220)과 기판 지지 유닛(230)을 포함하여 이루어진다.1 and 2, the apparatus for attaching a coverlay film of the present embodiment includes a base 101, an unwinding unit 210, a rewinding unit 220, and a substrate supporting unit 230.

베이스(101)의 상면에는 한쌍의 가이드 레일(102, 103)이 서로 나란하게 전후 방향(제1방향; 도 1 및 도 2의 Y방향)으로 배치된다. 언와인딩 유닛(210)과 리와인딩 유닛(220)과 기판 지지 유닛(230)은 각각 가이드 레일(102, 103) 위에 제1방향을 따라 이동 가능하게 설치된다. 언와인딩 유닛(210)과 리와인딩 유닛(220)은 제1방향을 따라 서로 마주하도록 배치되고 기판 지지 유닛(230)은 언와인딩 유닛(210)과 리와인딩 유닛(220)의 사이에 배치된다.On the upper surface of the base 101, a pair of guide rails 102 and 103 are arranged in the front-rear direction (first direction; Y direction in Fig. 1 and Fig. The unwinding unit 210, the rewinding unit 220 and the substrate supporting unit 230 are movably installed on the guide rails 102 and 103 along the first direction, respectively. The unwinding unit 210 and the rewinding unit 220 are disposed to face each other along the first direction and the substrate supporting unit 230 is disposed between the unwinding unit 210 and the rewinding unit 220.

커버레이 필름(C)을 부착하기 위한 롤 형태의 기판(R)이 언와인딩 유닛(210)에서 풀려나와 기판 지지 유닛(230)에서 커버 레이 필름이 부착되어 리와인딩 유닛(220)에 되감긴다.The roll type substrate R for attaching the coverlay film C is released from the unwinding unit 210 and the coverlay film is attached to the substrate support unit 230 and rewound to the rewinding unit 220 .

언와인딩 유닛(210)은 언와인더(211)와 언와인더 이송부(212)를 구비한다. 언와인더(211)는 롤 형태로 감겨 있는 기판(R)을 풀어서 제1방향으로 공급한다. 언와인더 이송부(212)는 가이드 레일(102, 103)을 이용하여 언와인더(211)를 베이스(101)에 대해 제1방향으로 이송한다. 언와인더 이송부(212)의 작동에 의해 언와인더(211)의 기판 지지 유닛(230)에 대한 거리가 조절된다.The unwinding unit 210 has an unwinder 211 and an unwinder feeder 212. The unwinder 211 unwinds the substrate R wound in a roll form and feeds it in a first direction. The unwinder feeder 212 feeds the unwinder 211 to the base 101 in the first direction by using the guide rails 102 and 103. [ The distance of the unwinder 211 to the substrate supporting unit 230 is adjusted by the operation of the unwinder feeder 212. [

리와인딩 유닛(220)은 리와인더(221)와 리와인더 이송부(222)와 리니어 피더(223)를 구비한다. 리와인더(221)는 제1방향을 따라 언와인더(211)와 마주하도록 배치되어 베이스(101)의 상면에 설치된다. 리와인더 이송부(222)는 리와인더(221)를 베이스(101)에 대해 제1방향으로 이송하여 기판 지지 유닛(230)에 대한 거리를 조절한다. 리니어 피더(223)는 기판(R)을 정해진 길이만큼 언와인더(211)에서 멀어지는 방향으로 피치 이송시킨다. 리니어 피더(223)의 작동에 의해 기판(R)을 언와인더(211)에서 풀려 나오고 리와인더(221)에 감기게 된다.The rewinding unit 220 includes a rewinder 221, a rewinder feeder 222, and a linear feeder 223. The rewinder 221 is disposed on the upper surface of the base 101 so as to face the unwinder 211 along the first direction. The rewinder transport unit 222 transports the rewinder 221 in the first direction relative to the base 101 to adjust the distance to the substrate support unit 230. The linear feeder 223 feeds the substrate R in a pitch direction away from the unwinder 211 by a predetermined length. The substrate R is unrolled from the unwinder 211 by the operation of the linear feeder 223 and wound around the rewinder 221. [

기판 지지 유닛(230)은 메인 테이블(231)과 테이블 이송부(232)와 고정 클램프(233)와 장력 클램프(234)를 구비한다. 메인 테이블(231)은 언와인더(211)에서 풀려 나온 기판(R)을 흡착하여 고정한다. 테이블 이송부(232)는 가이드 레일(102, 103)을 이용하여 메인 테이블(231)을 베이스(101)에 대해 제1방향으로 이송한다. 메인 테이블(231)에 대하여 리와인더(221) 방향에는 고정 클램프(233)가 설치되고 언와인더(211) 방향에는 장력 클램프(234)가 설치된다. 고정 클램프(233)는 리와인더(221) 방향에서 기판(R)을 클램핑하여 고정하고, 장력 클램프(234)는 언와인더(211) 방향에서 기판(R)을 클램핑하여 고정 클램프(233)에서 멀어지는 방향으로 잡아 당긴다. 공압 장치에 의해 비교적 약한 힘으로 기판(R)을 잡아당기는 장력 클램프(234)에 의해 커버레이 필름(C)이 부착될 기판(R)은 메인 테이블(231) 위에 팽팽하게 펼쳐진 상태로 고정된다. 이와 같이 고정 클램프(233)와 장력 클램프(234)가 메인 테이블(231)의 양측에서 기판(R)을 클램핑한 상태에서 테이블 이송부(232)가 메인 테이블(231)을 고정 클램프(233) 및 장력 클램프(234)와 함께 제1방향으로 전후진시킴으로써 기판(R)의 위치 오차를 보정하게 된다. 언와인더(211)에서 풀려 나온 기판(R)이 메인 테이블(231)에 고정되는 과정에 발생한 제1방향 위치 오차를 테이블 이송부(232)의 작동에 의해 보정하는 것이므로, 테이블 이송부(232)에 의한 메인 테이블(231)의 이송 범위는 대체로 1mm 이내이다.The substrate supporting unit 230 includes a main table 231, a table transferring unit 232, a fixing clamp 233, and a tension clamp 234. The main table 231 sucks and fixes the substrate R released from the unwinder 211. The table transferring unit 232 transfers the main table 231 to the base 101 in the first direction by using the guide rails 102 and 103. [ A fixing clamp 233 is provided in the direction of the rewinder 221 with respect to the main table 231 and a tension clamp 234 is provided in the direction of the unwinder 211. [ The fixed clamp 233 clamps and fixes the substrate R in the direction of the rewinder 221 and the tension clamp 234 clamps the substrate R in the direction of the unwinder 211 to move away from the fixed clamp 233. [ Pull in the direction. The substrate R on which the coverlay film C is to be attached is fixed in an unfolded state on the main table 231 by the tension clamp 234 pulling the substrate R with relatively weak force by the pneumatic device. The table clamping unit 233 clamps the substrate R on both sides of the main table 231 and the table transfer unit 232 transfers the main table 231 to the stationary clamp 233 and the tension The position error of the substrate R is corrected by moving the clamp 234 back and forth in the first direction. Since the first directional position error generated in the course of fixing the substrate R released from the unwinder 211 to the main table 231 is corrected by the operation of the table transferring unit 232, The conveying range of the main table 231 is generally within 1 mm.

지지 프레임(310)은 기판 지지 유닛(230)을 가로지르도록 베이스(101) 위에 설치된다. 지지 프레임(310)은 지지 가이드(312)와 한쌍의 다리부(311)를 구비한다. 지지 가이드(312)는 제1방향과 수직하는 제2방향(좌우방향, X방향)으로 연장되어 베이스(101)의 상측에 배치되고, 다리부(311)는 지지 가이드(312)의 양단을 베이스(101)에 대해 각각 지지한다.The support frame 310 is mounted on the base 101 so as to traverse the substrate support unit 230. The support frame 310 includes a support guide 312 and a pair of legs 311. The support guide 312 extends in a second direction (left-right direction, X direction) perpendicular to the first direction and is disposed on the upper side of the base 101. The leg 311 supports both ends of the support guide 312, (101).

커버레이 이송 유닛(320)은 지지 프레임(310)에 설치된다. 커버레이 이송 유닛(320)은 커버레이 공급 장치(400)로부터 커버레이 필름(C)을 전달받아 메인 테이블(231) 위의 기판(R)에 부착한다. 커버레이 이송 유닛(320)은 메인 헤드(321)와 커버레이 승강부(322)와 커버레이 이송부(323)와 커버레이 회전부(324)를 구비한다. 메인 헤드(321)는 커버레이 필름(C)을 흡착할 수 있도록 구성된다. 커버레이 회전부(324)는 메인 헤드(321)를 회전시켜 기판(R)에 대한 커버레이 필름(C)의 각도를 정렬한다. 커버레이 승강부(322)는 커버레이 회전부(324)를 승강시킨다. 커버레이 승강부(322)가 커버레이 회전부(324)를 하강시킴으로써 메인 헤드(321)에 흡착된 커버레이 필름(C)을 메인 테이블(231) 상면에 배치된 기판(R)에 대해 가압함으로써 커버레이 필름(C)을 기판(R)에 부착한다. 커버레이 이송부(323)는 커버레이 승강부(322)를 제2방향으로 이송한다. 도 3에 도시한 것과 같이 지지 가이드(312)의 측면에 제2방향을 따라 연장되도록 설치된 볼 스크류에 의해 구성된 커버레이 이송부(323)는 커버레이 승강부(322)를 제2방향으로 움직임으로써, 커버레이 필름(C)의 기판(R)에 대한 제2방향 위치를 조정한다.The cover-laying unit 320 is installed in the support frame 310. The coverlay transfer unit 320 receives the coverlay film C from the coverlay supply device 400 and attaches the coverlay film C to the substrate R on the main table 231. The cover-laying unit 320 includes a main head 321, a cover-raising / lowering portion 322, a cover-laying portion 323 and a cover-laying portion 324. The main head 321 is configured to absorb the coverlay film (C). The cover-lay rotating portion 324 rotates the main head 321 to align the angle of the coverlay film C with respect to the substrate R. The cover raising and lowering portion 322 lifts and lowers the cover lay rotating portion 324. The coverlay elevating portion 322 lowers the cover lay rotating portion 324 to press the coverlay film C adsorbed on the main head 321 against the substrate R disposed on the upper surface of the main table 231, A ray film (C) is attached to the substrate (R). The cover-laying section 323 transports the cover-layup section 322 in the second direction. As shown in Fig. 3, the cover-laying portion 323 configured by the ball screws extending along the second direction on the side surface of the support guide 312 moves the cover-raising / lowering portion 322 in the second direction, Thereby adjusting the position of the coverlay film (C) in the second direction with respect to the substrate (R).

도 1 내지 도 4를 참조하면, 지지 프레임(310)에는 기판 촬영 유닛(330)이 설치된다. 기판 촬영 유닛(330)은 메인 테이블(231)에 흡착된 기판(R)을 그 기판(R)의 상측에서 촬영하여 기판(R)의 위치를 파악한다. 기판 촬영 유닛(330)은 기판 카메라(331)와 제1방향 이송부(332)와 제2방향 이송부(333)를 구비한다. 기판 카메라(331)는 기판(R)에 표시된 마크를 촬영하여 그 위치를 후술하는 제어부(600)에 전달한다. 제1방향 이송부(332)는 볼 스크류를 이용하여 구성되고 기판 카메라(331)를 제1방향을 따라 이송한다. 제2방향 이송부(333)는 볼 스크류를 이용하여 구성되고 제1방향 이송부(332)를 제2방향으로 이송한다. 도 3에 도시한 것과 같이, 제2방향 이송부(333)는 커버레이 이송부(323)와 별도로 마련되어 지지 가이드(312)의 측면에 설치된 볼 스크류를 이용하여 제1방향 이송부(332)를 제2방향으로 이송한다. 이와 같은 제1방향 이송부(332)와 제2방향 이송부(333)로 인해 기판 카메라(331)는 메인 헤드(321)와는 별도로 기판(R)에 대하 전후좌우로 움직이면서 기판(R)을 촬영하여 그 영상을 제어부(600)에 전달할 수 있다. 종래의 커버레이 필름 부착 장치와 달리 기판 카메라(331)는 메인 헤드(321)와는 별도로 독립적으로 움직이기 때문에 메인 헤드(321)가 커버레이 필름(C)을 전달 받기 위하여 메인 테이블(231)의 상측에서 벗어나 있는 동안에도 기판(R)을 촬영하여 기판(R)의 위치를 파악할 수 있다. 또한, 제1방향 이송부(332)에 의해 기판 카메라(331)는 제1방향으로 움직이는 것이 가능하므로 메인 테이블(231)을 제1방향으로 움직이지 않고 고정시킨 상태에서 기판(R)을 촬영할 수 있다. 롤 형태의 기판(R)에 대해 커버레이 필름(C)을 부착하는 장치를 구성함에 있어서, 제1방향 이송부(332)로 인해 전체적인 장치의 구성이 소형화되고 단순해지는 장점이 있다.1 to 4, a support frame 310 is provided with a substrate photographing unit 330. The substrate photographing unit 330 photographs the substrate R adsorbed on the main table 231 from above the substrate R to grasp the position of the substrate R. [ The substrate photographing unit 330 includes a substrate camera 331, a first direction transfer unit 332, and a second direction transfer unit 333. The substrate camera 331 photographs the mark displayed on the substrate R and transfers the position to the control unit 600 described later. The first direction feed portion 332 is configured using a ball screw and feeds the substrate camera 331 along the first direction. The second direction conveying portion 333 is constructed using a ball screw and conveys the first direction conveying portion 332 in the second direction. 3, the second direction transferring unit 333 is provided separately from the cover transferring unit 323 so that the first direction transferring unit 332 can be moved in the second direction . The substrate camera 331 moves the substrate R in the forward, backward, left and right directions with respect to the substrate R separately from the main head 321 by the first direction transfer unit 332 and the second direction transfer unit 333, And can transmit the image to the control unit 600. The substrate camera 331 moves independent of the main head 321 and thus the main head 321 is moved to the upper side of the main table 231 in order to receive the cover film C The position of the substrate R can be grasped by photographing the substrate R even when the substrate R is off. The substrate camera 331 can be moved in the first direction by the first direction transfer unit 332 so that the substrate R can be photographed while the main table 231 is fixed without moving in the first direction . In constructing the apparatus for attaching the coverlay film (C) to the substrate (R) in the form of a roll, there is an advantage that the overall configuration of the device is reduced and simplified due to the first direction transferring part (332).

커버레이 공급 장치(400)는 베이스(101)에 설치되어 기판(R)에 부착하기 위한 커버레이 필름(C)을 공급한다. 커버레이 공급 장치(400)는 다양한 구성이 사용될 수 있으며, 본 실시예에서는 이미 공지된 형태의 커버레이 공급 장치(400)를 사용하는 경우를 예로 들어 설명한다. The coverlay supply device 400 is installed in the base 101 and supplies a coverlay film C for attachment to the substrate R. [ Various configurations can be used for the coverlay supply device 400. In this embodiment, a coverlay supply device 400 of a known type is used as an example.

도 1를 참조하면, 상기 커버레이 공급 장치(400)는 웨지 테이블(402)과 롤피더(404)와 절단 장치(403)와 보조 테이블(410)을 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 1, the coverlay feeder 400 includes a wedge table 402, a roll feeder 404, a cutting device 403, and an ancillary table 410.

이형 필름에 부착된 상태의 커버레이 필름(C)은 롤러(401)에서 풀려나와 웨지 테이블(402)로 공급된다. 웨지 테이블(402)에서 이형 필름으로부터 분리된 커버레이 필름(C)은 롤피더(404)에 의해 당겨지고 절단 장치(403)에 의해 일정한 길이로 절단된다. 절단된 커버레이 필름(C)은 커버레이 클램프(405)에 의해 보조 테이블(410)로 이송되고, 보조 테이블(410)은 커버레이 필름(C)을 흡착한다. 경우에 따라 보조 테이블(410)에는 회전 실린더가 설치되어 보조 테이블(410)을 상하 방향(Z 방향) 중심축에 대해 회전시킬 수 있도록 되어 있다.The coverlay film C attached to the release film is released from the roller 401 and fed to the wedge table 402. [ The coverlay film C separated from the release film in the wedge table 402 is pulled by the roll feeder 404 and cut to a certain length by the cutting device 403. [ The cut coverlay film C is conveyed to the sub table 410 by the cover layer clamp 405 and the sub table 410 absorbs the cover film film C. [ In some cases, the sub-table 410 is provided with a rotating cylinder so that the sub-table 410 can be rotated about the central axis in the vertical direction (Z direction).

이와 같이 커버레이 필름(C)이 보조 테이블(410)에 흡착된 상태에서 메인 헤드(321)가 보조 테이블(410)에 근접하여 커버레이 필름(C)을 전달받아 메인 테이블(231) 위의 기판(R) 위에 부착한다. 커버레이 필름(C)은 미리 기판(R)에 부착하기 위한 형상으로 커버레이 블랭킹된 상태이므로 메인 헤드(321)는 블랭킹된 커버레이 필름(C)만을 분리하여 기판(R)으로 전달한다.The main head 321 receives the cover film C close to the sub-table 410 in a state in which the cover film C is attracted to the sub-table 410, (R). The cover film C is in a state where the cover film B is previously blanked in a shape for attachment to the substrate R so that the main head 321 separates only the blanked cover film C and transfers it to the substrate R.

메인 헤드(321)가 커버레이 필름(C)을 흡착하여 메인 테이블(231)로 이송하는 경로의 하측에는 커버레이 촬영 유닛(340)이 배치된다.A cover-ray photographing unit 340 is disposed below the path where the main head 321 sucks the cover film C and transfers it to the main table 231. [

커버레이 촬영 유닛(340)은 커버레이 카메라(341)와 커버레이 카메라 이송부(342)를 구비하며, 베이스(101) 상면에 설치된다. 커버레이 카메라 이송부(342)는 커버레이 카메라(341)를 베이스(101)에 대해 제1방향으로 이송한다. 커버레이 촬영 유닛(340)은 메인 헤드(321)에 흡착되어 이동하는 커버레이 필름(C)의 위치와 각도를 제어부(600)에서 파악할 수 있도록 커버레이 필름(C)을 하측에서 촬영하여 그 영상을 제어부(600)로 전달한다.The cover-ray photographing unit 340 has a cover-ray camera 341 and a cover-ray camera transferring unit 342, and is installed on the upper surface of the base 101. [ The cover-ray camera feeder 342 feeds the cover-ray camera 341 to the base 101 in the first direction. The coverlay photographing unit 340 photographs the coverlay film C from the lower side so that the control unit 600 can grasp the position and the angle of the coverlay film C that is attracted to the main head 321 and moves, To the controller (600).

제어부(600)는 기판 카메라(331)와 커버레이 카메라(341)에서 촬영한 영상을 이용하여 언와인딩 유닛(210), 리와인딩 유닛(220), 기판 지지 유닛(230), 기판 촬영 유닛(330), 커버레이 이송 유닛(320), 커버레이 이송 유닛(320), 커버레이 공급 장치(400)의 작동을 제어한다.The control unit 600 controls the unwinding unit 210, the rewinding unit 220, the substrate supporting unit 230, the substrate photographing unit 330 ), The cover-laying unit 320, the cover-laying unit 320, and the cover-laying supply unit 400, respectively.

베이스(101)에는 시트 형태로 공급되는 기판(S)에 대해서도 커버레이 필름(C)을 부착하는 작업을 수행할 수 있도록 기판 로딩부(510)와 기판 언로딩부(520)가 설치될 수 있다. 기판 로딩부(510)에는 기판 지지 유닛(230)의 메인 테이블(231)에 공급할 시트 형태의 기판(S)이 적재되고, 기판 언로딩부(520)에는 기판 지지 유닛(230)에서 커버레이 필름(C)의 부착이 완료된 후 전달 받은 시트 형태의 기판(S)이 적재된다. 기판 로딩부(510)에서 시트 형태의 기판(S)을 메인 테이블(231)에 전달하고, 메인 테이블(231)에서 시트 형태의 기판(S)을 기판 언로딩부(520)로 전달하는 구성은 첨부하는 도면에는 도시하지 않았으나 공지의 다양한 구성이 사용될 수 있다.The substrate loading unit 510 and the substrate unloading unit 520 may be installed on the base 101 so as to perform the operation of attaching the coverlay film C to the substrate S supplied in a sheet form . A substrate S in the form of a sheet to be supplied to the main table 231 of the substrate supporting unit 230 is loaded on the substrate loading unit 510 and the substrate S is loaded on the substrate unloading unit 520, After the attachment of the substrate C is completed, the transferred substrate S in a sheet form is loaded. The configuration in which the substrate S in a sheet form is transferred to the main table 231 in the substrate loading section 510 and the substrate S in the form of a sheet is transferred from the main table 231 to the substrate unloading section 520 Although not shown in the accompanying drawings, various known configurations can be used.

이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 실싱예의 커버레이 필름 부착 장치를 이용하여 커버레이 필름(C)을 기판(R)에 가접하는 과정을 설명한다.Hereinafter, a process of bringing the coverlay film C into contact with the substrate R using the apparatus for attaching a coverlay film of the present invention having the above-described construction will be described.

먼저, 도 1 및 도 2에 도시한 것과 같이, 언와인더 이송부(212)는 언와인더(211)를 메인 테이블(231)에 근접시킨다. 리와인더 이송부(222)로 리와인더(221)를 메인 테이블(231)에 근접하도록 이동시킨다. 이와 같이 언와인더(211)와 리와인더(221)를 메인 테이블(231)에 근접시킴으로써 커버레이 필름(C)이 부착되지 않고 버려지게 되는 기판(R)의 양을 최소화할 수 있다. First, as shown in FIGS. 1 and 2, the unwinder feeder 212 brings the unwinder 211 close to the main table 231. The rewinder 221 is moved toward the main table 231 by the rewinder transfer unit 222. [ The amount of the substrate R to be discarded without being attached to the coverlay film C can be minimized by bringing the unwinder 211 and the rewinder 221 close to the main table 231. [

이와 같은 상태에서 기판(R)은 언와인더(211)에서 풀려 나와 메인 테이블(231)을 거쳐 리와인더(221)에 감긴 상태로 배치된다. 고정 클램프(233)와 장력 클램프(234)가 열려 있는 상태에서 리니어 피더(223)가 기판(R)을 클램핑하여 제1방향으로 피치 이송한다.In this state, the substrate R is unwound from the unwinder 211 and is wound around the rewinder 221 through the main table 231. [ The linear feeder 223 clamps the substrate R and feeds the pitch in the first direction while the stationary clamp 233 and the tension clamp 234 are open.

다음으로, 고정 클램프(233)와 장력 클램프(234)가 메인 테이블(231) 양측에서 기판(R)을 클램핑한다. 장력 클램프(234)가 메인 테이블(231)에서 멀어지는 방향으로 미세하게 움직여서 기판(R)에 장력을 주면서 메인 테이블(231) 위의 기판(R)이 평평하게 펴지도록 한다. 메인 테이블(231)은 기판(R)을 흡착한다.Next, the stationary clamp 233 and the tension clamp 234 clamp the substrate R on both sides of the main table 231. Then, The tension clamp 234 moves finely in a direction away from the main table 231 so that the substrate R on the main table 231 is flattened while tension is applied to the substrate R. [ The main table 231 adsorbs the substrate R. [

이와 같은 상태에서 기판 촬영 유닛(330)의 제1방향 이송부(332)와 제2방향 이송부(333)가 작동하여 기판 카메라(331)를 기판(R)에 대해 제1방향 및 제2방향으로 움직인다. 일반적으로 기판(R)에는 적어도 2개의 마크가 표시되어 있다. 기판 카메라(331)는 기판(R)의 마크를 촬영하여 그 영상을 제어부(600)로 전달한다. 제어부(600)는 기판 카메라(331)에서 전달받은 영상을 이용하여 기판(R)의 위치와 각도를 계산한다.The first direction transfer unit 332 and the second direction transfer unit 333 of the substrate shooting unit 330 operate to move the substrate camera 331 in the first direction and the second direction with respect to the substrate R . In general, at least two marks are displayed on the substrate R. The substrate camera 331 photographs the mark of the substrate R and delivers the image to the controller 600. [ The control unit 600 calculates the position and angle of the substrate R using the image transferred from the substrate camera 331.

이와 같이 기판 촬영 유닛(330)의 제1방향 이송부(332)와 제2방향 이송부(333)가 작동하는 동안 테이블 이송부(232)는 작동하지 않고 메인 테이블(231)을 정지 상태로 유지한다. 기판 카메라(331)는 제2방향 뿐만 아니라 제1방향으로도 움직일 수 있으므로, 메인 테이블(231)이 고정된 상태에서도 기판 카메라(331)와 제어부(600)는 기판(R)의 위치와 각도를 측정하는 것이 가능하다.While the first direction transfer unit 332 and the second direction transfer unit 333 of the substrate photographing unit 330 are operated, the table transfer unit 232 is not operated and the main table 231 is kept stationary. The substrate camera 331 can move in the first direction as well as in the second direction so that even when the main table 231 is fixed, the substrate camera 331 and the control unit 600 can detect the position and angle of the substrate R It is possible to measure.

한편, 기판 카메라(331)는 메인 헤드(321)에 결합되지 않고 메인 헤드(321)와는 독립적으로 움직이는 것이 가능하므로, 기판 카메라(331)가 기판(R)을 촬영하는 동안에 커버레이 이송 유닛(320)은 커버레이 공급 장치(400)로부터 커버레이 필름(C)을 전달받아 기판(R)으로 이송하는 작업을 수행할 수 있다. 이와 같이 기판 카메라(331)에 의해 기판(R)을 촬영하는 동안 커버레이 이송 유닛(320)은 기다리지 않고 독자적으로 작동하여 커버레이 필름(C)을 운반할 수 있으므로, 작업 시간을 단축시킬 수 있는 장점이 있다.Since the substrate camera 331 can move independent of the main head 321 without being coupled to the main head 321, the substrate camera 331 can be moved independently of the main head 321, May receive the coverlay film C from the coverlay supply device 400 and transfer the coverlay film C to the substrate R. [ As described above, since the cover-laying unit 320 can operate independently and can carry the coverlay film C while photographing the substrate R by the substrate camera 331, it is possible to reduce the work time There are advantages.

다음으로 메인 헤드(321)가 커버레이 필름(C)을 기판(R)에 부착할 수 있도록 메인 헤드(321)에 커버레이 필름(C)을 공급하는 과정을 설명한다.A process of supplying the cover film C to the main head 321 so that the main head 321 can attach the cover film C to the substrate R will be described.

커버레이 필름(C)은 이형 필름에 부착된 상태로 롤러에 감겨 있다. 커버레이 필름(C)은 기판(R)에 부착하기 위한 형상으로 미리 커버레이 블랭킹되어 이형 필름에 부착된 상태이다. 롤러에서 풀려나와 웨지 테이블(402)로 공급되는 커버레이 필름(C)은 웨지 테이블(402)에서 이형 필름으로부터 분리되어 롤피더(404)에 의해 당겨진다. 절단 장치(403)에 의해 일정한 길이로 절단된 커버레이 필름(C)은 커버레이 클램프(405)에 의해 보조 테이블(410)로 이송되고, 보조 테이블(410)은 커버레이 필름(C)을 흡착한다. The coverlay film (C) is wound around the rollers while being attached to the release film. The coverlay film (C) is in a state of being covered with a coverlay blank in a shape for attachment to the substrate (R) and attached to the release film. The coverlay film C released from the rollers and supplied to the wedge table 402 is separated from the release film in the wedge table 402 and pulled by the roll feeder 404. The cover film C cut to a predetermined length by the cutting device 403 is conveyed to the sub table 410 by the cover layer clamp 405 and the sub table 410 sucks the cover film C do.

이와 같이 커버레이 필름(C)이 보조 테이블(410)에 흡착된 상태에서 커버레이 이송부(323)는 메인 헤드(321)를 보조 테이블(410)의 상측으로 이송하고, 커버레이 승강부(322)는 메인 헤드(321)를 하강시킨다. 메인 헤드(321)가 보조 테이블(410)에 근접하여 블랭킹된 커버레이 필름(C)을 전달받아 흡착하면, 커버레이 승강부(322)는 메인 헤드(321)를 다시 상승시킨다. 커버레이 이송부(323)는 메인 헤드(321)를 메인 테이블(231)로 제2방향을 따라 이동시킨다. 이때, 메인 헤드(321)의 이동 경로 하측에 배치된 커버레이 촬영 유닛(340)은 커버레이를 촬영하여 그 영상을 제어부(600)로 전달한다. 커버레이 이송부(323)는 커버레이를 제2방향으로 이송하고, 커버레이 카메라 이송부(342)는 커버레이 카메라(341)를 제1방향으로 이송한다. 커버레이 이송부(323)와 커버레이 카메라 이송부(342)의 상호 작용에 의해 커버레이 카메라(341)와 커버레이 필름(C)은 전후좌우로 상대이동하면서 커버레이 필름(C)에 표시된 마크의 위치를 제어부(600)가 파악할 수 있도록 커버레이 카메라(341)로 촬영한다. The cover tray transfer section 323 transfers the main head 321 to the upper side of the sub table 410 while the cover ray film C is sucked to the sub table 410. The cover tray transfer section 323 transfers the main head 321 to the upper side of the sub table 410, The main head 321 is lowered. When the main head 321 receives and absorbs the blanked coverlay film C close to the auxiliary table 410, the coverlay elevation portion 322 raises the main head 321 again. The cover tray transfer unit 323 moves the main head 321 to the main table 231 along the second direction. At this time, the cover-ray photographing unit 340 disposed under the movement path of the main head 321 photographs the cover-lay and transmits the image to the controller 600. The coverlay transferring unit 323 transfers the coverlay in the second direction, and the coverlay camera transferring unit 342 transfers the coverlay camera 341 in the first direction. The cover ray camera 341 and the cover ray film C are moved relative to each other in the front, back, right and left directions by the interaction of the cover ray transfer section 323 and the cover ray camera transfer section 342, The control unit 600 captures the image by the cover-ray camera 341.

제어부(600)는 기판 카메라(331)의 영상과 커버레이 카메라(341)의 영상을 비교하여 기판(R)과 커버레이 필름(C) 사이의 상대 위치와 각도를 계산한다. 제어부(600)는 커버레이 이송부(323)를 작동시켜 제2방향 오차를 보정하고, 테이블 이송부(232)를 작동시켜 제1방향 오차를 보정한다. 기판(R)과 커버레이 필름(C) 사이의 제1방향 오차는 리니어 피더(223)에 의해 1mm 이내로 매우 작게 조절될 수 있으므로, 언와인더(211)와 리와인더(221)가 고정된 상태에서 메인 테이블(231)만 오차 보정을 위해 제1방향으로 움직이더라도 기판(R)은 파손되지 않는다. 제어부(600)는 커버레이 회전부(324)를 작동시켜 메인 헤드(321)를 회전시킴으로써 커버레이 필름(C)과 기판(R) 사이의 각도를 보정한다. 제어부(600)는 커버레이 승강부(322)를 작동시켜 커버레이 필름(C)을 메인 테이블(231) 위의 기판(R)에 대하 가압함으로써, 커버레이 필름(C)을 기판(R)에 대해 부착한다. 커버레이 필름(C)의 하면에는 점착제(Adhesive)가 도포되어 있으므로, 열이 가해지면 점착제가 녹아 커버레이 필름(C)이 기판(R)에 부착된다. The control unit 600 compares the image of the substrate camera 331 with the image of the coverlay camera 341 to calculate the relative position and angle between the substrate R and the coverlay film C. [ The control unit 600 corrects the second direction error by operating the cover-laying unit 323, and operates the table transfer unit 232 to correct the first direction error. The error in the first direction between the substrate R and the coverlay film C can be adjusted to be very small within 1 mm by the linear feeder 223 so that the unwinder 211 and the rewinder 221 are fixed Even if only the main table 231 moves in the first direction for error correction, the substrate R is not damaged. The control unit 600 corrects the angle between the cover film C and the substrate R by operating the cover ray rotating unit 324 to rotate the main head 321. [ The control unit 600 operates the coverlay elevating unit 322 to press the coverlay film C against the substrate R on the main table 231 so as to cover the coverlay film C onto the substrate R . Adhesive is applied to the lower surface of the coverlay film C so that when the heat is applied, the adhesive film melts and the coverlay film C is attached to the substrate R.

상술한 바와 같이 기판 촬영 유닛(330)과 커버레이 이송 유닛(320) 및 커버레이 촬영 유닛(340)이 서로 독립적으로 작동하므로, 종래에 비해 빠른 속도로 커버레이 부착 작업을 수행할 수 있다. 특히, 기판 카메라(331)가 메인 헤드(321)와 분리되어 제2방향 뿐만 아니라 제1방향으로도 움직일 수 있으므로, 작업 속도가 더욱 빨라지게 된다.As described above, since the substrate photographing unit 330, the cover-laying unit 320, and the cover-lay photographing unit 340 operate independently of each other, the cover-lay attaching operation can be performed at a higher speed than in the past. Particularly, since the board camera 331 can be moved not only in the second direction but also in the first direction separated from the main head 321, the operation speed is further increased.

또한, 언와인더(211)와 메인 테이블(231)과 리와인더(221)가 일체로 움직이지 않고 각각 개별적으로 움직이는 것이 가능하도록 구성되어 있으므로, 비교적 좁은 면적을 차지하는 커버레이 필름 부착 장치를 구성할 수 있는 장점이 있다. 커버레이 필름(C)을 부착하는 커버레이 필름 부착 장치는 클린룸에 설치되어 사용되므로 커버레이 필름 부착 장치를 작게 제작하는 것은 커버레이 필름 부착 공정의 원가를 절감할 수 있는 요인이 된다.Since the unwinder 211, the main table 231, and the rewinder 221 are configured to move independently of each other without moving integrally, it is possible to constitute a coverlay film attaching device occupying a relatively small area There is an advantage. Since the apparatus for attaching the coverlay film (C) is installed in a clean room, it is possible to reduce the cost of the coverlay film attaching process by making the coverlay film attaching apparatus small.

기판(R)의 한 행(row)에 대한 커버레이 필름(C)의 부착이 완료되면, 고정 클램프(233)와 장력 클램프(234)가 열리면서 리니어 피더(223)는 기판(R)을 다음 부착 위치까지 이송한다.When the attachment of the coverlay film C to one row of the substrate R is completed, the fixed clamp 233 and the tension clamp 234 are opened so that the linear feeder 223 moves the substrate R to the next To the position.

본 실시예의 커버레이 필름 부착 장치는 롤 타입의 기판(R)뿐만 아니라 시트 형태의 기판(R)에 커버레이 필름(C)을 부착하는 용도로 사용하는 것도 가능하다. 도 5 및 도 6은 시트 형태의 기판(S)에 대해 커버레이 필름(C)을 부착하는 경우를 설명하기 위한 도면이다.The apparatus for attaching the coverlay film of the present embodiment can be used not only for the roll type substrate R but also for the purpose of attaching the coverlay film C to the sheet type substrate R. [ Figs. 5 and 6 are views for explaining a case where a coverlay film C is attached to a sheet-like substrate S. Fig.

시트 형태의 기판(S)에 커버레이 필름(C)을 부착할 때에는 도 5 및 도 6에 도시한 것과 같이 언와인딩 유닛(210)과 리와인딩 유닛(220)은 기판 지지 유닛(230)으로부터 후퇴한 위치로 이동한다. 테이블 이송부(232)는 메인 테이블(231)을 기판 로딩부(510)에 가까운 위치로 이동시킨다. 도시하지 않는 기판 공급 장치가 기판(S)을 메인 테이블(231)에 공급하면 테이블 이송부(232)는 메인 테이블(231)을 기판 카메라(331)의 하측으로 이송한다. 기판 촬영 유닛(330)은 기판(S)을 촬영하고 커버레이 이송부(323)는 커버레이 필름(C)을 커버레이 공급 장치에서 전달 받아 기판(S)에 부착한다. 커버레이 필름(C)의 부착이 모두 완료되면 테이블 이송부(232)는 메인 테이블(231)을 기판 언로딩부(520)에 근접한 위치로 도시하지 않은 기판 배출 장치가 기판(S)을 메인 테이블(231)에서 기판 언로딩부(520)로 전달한다. When the cover film C is attached to the sheet-shaped substrate S, the unwinding unit 210 and the rewinding unit 220 are retracted from the substrate supporting unit 230 as shown in Figs. 5 and 6 Move to one position. The table transfer unit 232 moves the main table 231 to a position close to the substrate loading unit 510. When the substrate supplying apparatus (not shown) supplies the substrate S to the main table 231, the table transferring unit 232 transfers the main table 231 to the lower side of the substrate camera 331. The substrate photographing unit 330 photographs the substrate S and the coverlay transferring unit 323 receives the coverlay film C from the coverlay supply unit and attaches the coverlay film C to the substrate S. The table transfer unit 232 transfers the substrate S to the main table (not shown) in a position close to the substrate unloading unit 520, 231 to the substrate unloading unit 520.

이와 같이 본 실시예의 커버레이 필름 부착 장치는 하나의 커버레이 필름 부착 장치로 롤 타입의 기판과 시트 타입의 기판에 대한 커버레이 필름 부착 공정을 수행할 수 있는 장점이 있다. 상술한 바와 같이 언와인더(211)와 리와인더(221)를 각각 독립적으로 메인 테이블(231)에 대해 제1방향을 따라 이동시킬 수 있으므로, 롤 타입과 시트 타입의 기판에 대해 겸용으로 사용하는 것이 가능하다. As described above, the apparatus for attaching a coverlay film of the present embodiment is advantageous in that it can perform a process of attaching a coverlay film to a roll-type substrate and a sheet-type substrate with one coverlay film attaching device. As described above, since the unwinder 211 and the rewinder 221 can be independently moved along the first direction with respect to the main table 231, it is possible to use both the roll type and the sheet type substrates It is possible.

이상, 본 발명에 따른 커버레이 가접 장치를 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명의 커버레이 가접 장치가 앞에서 설명되고 도면에 도시된 형태로 한정되는 것은 아니다. Although the coverlay attaching device according to the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, the coverlay attaching device of the present invention is not limited to the form described above and shown in the drawings.

앞에서 언와인더(211)와 리와인더(221)는 베이스(101)에 대해 제1방향을 따라 이동 가능한 것으로 설명하였으나, 경우에 따라서는 언와인더와 리와인더 중 적어도 하나는 베이스에 대해 고정되도록 구성하는 것도 가능하다.Although the unwinder 211 and the rewinder 221 are described as movable along the first direction with respect to the base 101 in the foregoing description, at least one of the unwinder and the rewinder may be fixed to the base It is also possible.

또한, 커버레이 촬영 유닛(340)은 커버레이 카메라 이송부(342)를 구비하는 것을 설명하였으나, 커버레이 카메라 이송부를 구비하지 않는 커버레이 촬영 유닛을 구성하는 것도 가능하다. 이 경우 커버레이 카메라는 메인 헤드에 흡착된 커버레이 필름을 전체적으로 촬영하여 커버레이 필름의 위치를 파악하도록 한다.In addition, although the cover-ray photographing unit 340 has been described as having a cover-ray camera transferring unit 342, it is also possible to construct a cover-ray photographing unit without a cover-ray camera transferring unit. In this case, the coverlay camera captures the coverlay film adsorbed on the main head as a whole to grasp the position of the coverlay film.

기판 지지 유닛(230)의 고정 클램프(233) 및 장력 클램프(234)의 구성도 리와인더(221)의 리니어 피더(223)와 함께 다양하게 변형하거나 생략하는 것이 가능하다.The configuration of the fixing clamp 233 and the tension clamp 234 of the substrate supporting unit 230 can be variously modified or omitted together with the linear feeder 223 of the rewinder 221. [

앞에서 롤 타입의 기판(R)과 시트 타입의 기판(S)에 대해 겸용으로 사용할 수 있는 커버레이 필름 부착 장치를 예로 들어 설명하였으나, 기판 로딩부(510)와 기판 언로딩부(520)를 구비하지 않고 롤 타입의 기판(R)에 대해서만 사용할 수 있는 커버레이 필름 부착 장치를 구성하는 것도 가능하다.A cover-lay film attaching device that can be used both as a roll-type substrate R and as a sheet-type substrate S has been described as an example. However, the substrate-loading unit 510 and the substrate unloading unit 520 are provided It is also possible to construct a device for attaching a cover-lay film which can be used only for a roll-type substrate R without using a roll-type film.

또한, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 실시예의 경우, 언와인더 이송부(212), 테이블 이송부(232) 및 리와인더 이송부(222)는 각각 한쌍의 가이드 레일(102, 103)을 공유하여 작동하도록 구성된 것을 알 수 있다. 즉, 언와인더 이송부(212), 테이블 이송부(232) 및 리와인더 이송부(222)는 서로 가이드 레일(102, 103)을 이용하여 각각 언와인더(211), 메인 테이블(231) 및 리와인더(221)를 베이스(101)에 대해 이송하도록 구성되어 있다. 경우에 따라서는 언와인더 이송부, 테이블 이송부 및 리와인더 이송부가 각각 별도로 마련된 가이드 레일을 이용하여 각각 언와인더, 메인 테이블 및 리와인더 이송부를 베이스에 대해 이송하도록 구성하는 것도 가능하다.1 and 2, the unwinder feeder 212, the table feeder 232, and the rewinder feeder 222 are configured to operate by sharing a pair of guide rails 102 and 103, respectively . The unwinder feeder 212, the table feeder 232 and the rewinder feeder 222 are connected to each other via the guide rails 102 and 103 by means of the unwinder 211, the main table 231 and the rewinder 221 To the base 101. In this embodiment, In some cases, the unwinder, the main table, and the rewinder transfer unit may be respectively transferred to the base using guide rails provided separately from the unwinder transfer unit, the table transfer unit, and the rewinder transfer unit.

또한, 앞에서 언와인딩 유닛(210)은 언와인더(211)를 제1방향으로 이송하는 언와인더 이송부(212)를 구비하고 리와인딩 유닛(220)은 리와인더(221)를 제1방향으로 이송하는 리와인더 이송부(222)를 구비하는 것으로 설명하였으나, 경우에 따라서는 언와인더 이송부(212)와 리와인더 이송부(222)를 각각 구비하지 않는 언와인딩 유닛과 리와인딩 유닛을 구성하는 것도 가능하다. 이러한 경우 언와인더와 리와인더를 각각 베이스에 대해 제1방향으로 슬라이딩 가능하도록 설치하고 사용자가 수작업으로 필요에 따라 언와인더와 리와인더를 각각 적당한 위치로 슬라이딩시킨 후 고정장치에 의해 베이스에 위치 고정하여 사용하도록 할 수 있다.The unwinding unit 210 includes a unwinder feeding unit 212 for feeding the unwinder 211 in the first direction and the rewinding unit 220 feeds the rewinder 221 in the first direction It is also possible to constitute an unwinding unit and a rewinding unit which do not include the unwinder conveying unit 212 and the rewinder conveying unit 222, respectively. In this case, the unwinder and the rewinder are respectively installed so as to be slidable in the first direction relative to the base, and the user manually adjusts the unwinder and the rewinder to the appropriate positions respectively, Can be used.

C: 커버레이 필름 R: 롤 타입 기판
S: 시트 타입 기판 101: 베이스
102, 103: 가이드 레일 210: 언와인딩 유닛
211: 언와인더 212: 언와인더 이송부
220: 리와인딩 유닛 221: 리와인더
222: 리와인더 이송부 223: 리니어 피더
230: 기판 지지 유닛 231: 메인 테이블
232: 테이블 이송부 233: 고정 클램프
234: 장력 클램프 310: 지지 프레임
311: 다리부 312: 지지 가이드
320: 커버레이 이송 유닛 321: 메인 헤드
322: 커버레이 승강부 323: 커버레이 이송부
324: 커버레이 회전부 330: 기판 촬영 유닛
331: 기판 카메라 332: 제1방향 이송부
333: 제2방향 이송부 340: 커버레이 촬영 유닛
341: 커버레이 카메라 342: 커버레이 카메라 이송부
400: 커버레이 공급 장치 401: 커버레이 롤러
402: 웨지 테이블 403: 절단 장치
404: 롤피더 405: 커버레이 클램프
410: 보조 테이블 510: 기판 로딩부
520: 기판 언로딩부 600: 제어부C: Coverage film R: Roll type substrate
S: sheet type substrate 101: base
102, 103: Guide rail 210: Unwinding unit
211: Unwinder 212: Unwinders transfer part
220: rewinding unit 221: rewinder
222: Rewinder conveying section 223: Linear feeder
230: substrate holding unit 231: main table
232: table feed portion 233: fixed clamp
234: tension clamp 310: support frame
311: leg portion 312: support guide
320: coverlay transfer unit 321: main head
322: coverlay elevating portion 323: coverlay conveying portion
324: coverlay rotating part 330:
331: Substrate camera 332: First direction conveying part
333: second direction transfer unit 340: cover ray photographing unit
341: a cover-ray camera 342: a cover-
400: Coverage feeder 401: Covered roller
402: Wedge table 403: Cutting device
404: Roll feeder 405: Cover lay clamp
410: ancillary table 510: substrate loading section
520: Substrate unloading unit 600:

Claims (13)

기판에 커버레이 필름을 순차적으로 가압하여 부착하는 커버레이 필름 부착 장치에 있어서,
베이스;
롤 형태로 감겨 있는 상기 기판을 풀어서 제1방향으로 공급하는 언와인더를 구비하고 상기 베이스에 설치되는 언와인딩 유닛;
상기 제1방향을 따라 상기 언와인더와 마주하도록 배치되어 상기 언와인더에서 공급되는 기판을 되감는 리와인더를 구비하고 상기 베이스에 설치되는 리와인딩 유닛;
상기 언와인딩 유닛과 리와인딩 유닛의 사이에 배치되어 상기 언와인더에서 풀려 나온 기판이 배치되어 흡착되는 메인 테이블, 상기 메인 테이블을 상기 베이스에 대해 상기 제1방향으로 이송하는 테이블 이송부를 구비하는 기판 지지 유닛;
상기 제1방향에 수직하는 제2방향으로 연장되도록 상기 베이스의 상측에 배치되는 지지 가이드와, 상기 지지 가이드를 상기 베이스에 대해 각각 지지하는 한쌍의 다리부를 구비하는 지지 프레임;
커버레이 필름을 흡착하는 메인 헤드와, 상기 메인 헤드를 승강시키는 커버레이 승강부와, 상기 커버레이 승강부를 상기 지지 가이드를 따라 상기 제2방향으로 이송하는 커버레이 이송부를 구비하고 상기 지지 프레임에 설치되는 커버레이 이송 유닛;
상기 메인 테이블에 고정된 기판을 촬영할 수 있도록 상기 기판 지지 유닛의 상측에 배치되는 기판 카메라와, 상기 기판 카메라를 상기 제1방향으로 이송하는 제1방향 이송부와, 상기 기판 카메라를 상기 제2방향으로 이송하는 제2방향 이송부를 구비하며 상기 지지 프레임의 지지 가이드에 설치되는 기판 촬영 유닛;
상기 커버레이 이송 유닛의 메인 헤드에 흡착된 상기 커버레이 필름을 촬영할 수 있도록 상기 메인 헤드의 하측에 배치되는 커버레이 카메라를 구비는 커버레이 촬영 유닛; 및
상기 기판 카메라와 커버레이 카메라에서 전달 받은 영상을 이용하여 상기 기판과 커버레이 필름의 위치를 파악한 후 그 위치 오차를 보정하여 상기 커버레이 필름을 상기 기판에 부착하도록 상기 기판 지지 유닛과 커버레이 이송 유닛과 기판 촬영 유닛과 커버레이 촬영 유닛을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.An apparatus for attaching a coverlay film which sequentially pressurizes and attaches a coverlay film to a substrate,
Base;
An unwinding unit provided on the base and having an unwinder for unwinding the substrate wound in a roll form and feeding the substrate in a first direction;
A rewinding unit disposed on the base and having a rewinder arranged to face the unwinder along the first direction and rewinding the substrate fed from the unwinder;
A main table disposed between the unwinding unit and the rewinding unit and arranged and adsorbed by the substrate unwound from the unwinder; a table transferring unit for transferring the main table to the base in the first direction; A support unit;
A support frame disposed above the base so as to extend in a second direction perpendicular to the first direction, and a pair of legs each supporting the support guide with respect to the base;
A cover raising and lowering portion for raising and lowering the main head; and a cover lay transferring portion for carrying the cover raising and lowering portion in the second direction along the support guide, A cover-laying unit that is provided with a cover;
A substrate camera disposed above the substrate supporting unit so as to take a picture of the substrate fixed to the main table; a first direction transferring unit for transferring the substrate camera in the first direction; A substrate photographing unit having a second direction transferring unit for transferring the first directional transferring unit and installed on a support guide of the support frame;
A cover ray photographing unit having a cover ray camera disposed below the main head so as to photograph the cover ray film attracted to the main head of the cover raythening unit; And
The position of the substrate and the coverlay film is detected using the image transferred from the substrate camera and the coverlay camera, and the positional error of the substrate and the coverlay film is corrected to attach the coverlay film to the substrate. And a control unit for controlling the substrate photographing unit and the cover-ray photographing unit. 제1항에 있어서,
상기 언와인딩 유닛은 상기 베이스에 대해 상기 제1방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.The method according to claim 1,
Wherein the unwinding unit is slidably installed along the first direction with respect to the base. 제2항에 있어서,
상기 언와인딩 유닛은, 상기 언와인더를 상기 베이스에 대해 상기 제1방향을 따라 이송하는 언와인더 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the unwinding unit further comprises an unwinder feeding part for feeding the unwinder along the first direction with respect to the base. 제1항에 있어서,
상기 리와인딩 유닛은 상기 베이스에 대해 상기 제1방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.The method according to claim 1,
Wherein the rewinding unit is slidably installed along the first direction with respect to the base. 제3항에 있어서,
상기 리와인딩 유닛은, 상기 리와인더를 상기 베이스에 대해 상기 제1방향으로 이송하는 리와인더 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.The method of claim 3,
Wherein the rewinding unit further comprises a rewinder transferring unit for transferring the rewinder in the first direction with respect to the base. 제4항에 있어서,
상기 리와인딩 유닛은, 상기 리와인더를 상기 베이스에 대해 상기 제1방향으로 이송하는 리와인더 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the rewinding unit further comprises a rewinder transferring unit for transferring the rewinder in the first direction with respect to the base. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 커버레이 이송 유닛은, 상기 커버레이 필름과 기판 사이의 각도를 조절할 수 있도록 상기 메인 헤드를 회전시킬 수 있는 커버레이 회전부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
Wherein the cover laying unit further comprises a cover lay rotating part capable of rotating the main head so as to adjust an angle between the cover lay film and the substrate. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 커버레이 촬영 유닛은, 상기 커버레이 카메라를 상기 베이스에 대해 상기 제1방향으로 이송하도록 상기 베이스에 설치되는 커버레이 카메라 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
Wherein the cover ray photographing unit further comprises a cover ray camera transferring unit installed on the base to transfer the cover ray camera in the first direction with respect to the base. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 리와인딩 유닛은, 상기 기판을 정해진 길이만큼 피치 이송시키는 리니어 피더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
Wherein the rewinding unit further comprises a linear feeder for feeding a pitch of the substrate by a predetermined length. 제9항에 있어서,
상기 기판 지지 유닛은, 상기 메인 테이블의 일측에서 상기 기판을 고정하는 고정 클램프와, 상기 메인 테이블의 타측에서 상기 기판을 상기 고정 클램프에서 멀어지는 방향으로 잡아 당겨 상기 기판에 장력을 가하는 장력 클램프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.10. The method of claim 9,
The substrate supporting unit may further include a fixing clamp for fixing the substrate on one side of the main table and a tension clamp for pulling the substrate on the other side of the main table in a direction away from the fixing clamp to apply tension to the substrate And the cover film is attached to the cover film. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 메인 헤드에 상기 커버레이 필름을 공급하는 커버레이 필름 공급 장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
And a coverlay film feeder for feeding the coverray film to the main head. 제11항에 있어서,
상기 커버레이 필름 공급 장치는, 상기 커버레이 필름을 흡착하고 있다가 상기 메인 헤드에 상기 커버레이 필름을 넘겨주는 보조 테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.12. The method of claim 11,
Wherein the coverlay film feeding device includes an auxiliary table for holding the coverlay film and delivering the coverray film to the main head. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
시트 형태의 기판도 상기 기판 지지 유닛의 메인 테이블에 고정하여 상기 커버레이 필름을 부착할 수 있도록 상기 기판 지지 유닛의 메인 테이블에 공급할 시트 형태의 기판이 적재되는 기판 로딩부; 및
상기 기판 지지 유닛에서 상기 커버레이 필름의 부착이 완료된 후 전달 받은 시트 형태의 기판을 적재하는 기판 언로딩부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 커버레이 필름 부착 장치.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
A substrate loading unit in which a sheet-shaped substrate to be supplied to the main table of the substrate holding unit is loaded so that the sheet-shaped substrate is fixed to the main table of the substrate holding unit and can attach the coverlay film; And
And a substrate unloading unit for loading the sheet-shaped substrate transferred after the cover-laying film is attached to the substrate supporting unit.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101554840B1 (en) 2015-01-27 2015-09-21 엘피티 주식회사 The Using the elastic thin plate Film sticking appointed Pallet way step corresponding unit
KR101621020B1 (en) * 2015-03-02 2016-05-16 (주)우리엔지니어링 Apparatus for attaching automatic
WO2020262979A1 (en) * 2019-06-25 2020-12-30 주식회사 두산 System and method for manufacturing composite board

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100575559B1 (en) 2005-12-27 2006-05-03 세호로보트산업 주식회사 Coverlay attach system
KR20090099695A (en) * 2008-03-18 2009-09-23 세호로보트산업 주식회사 Apparatus for attaching coverlay
KR100933043B1 (en) 2008-03-19 2009-12-21 (주)인터플렉스 Coverlay film punching method
KR101145187B1 (en) 2010-09-08 2012-05-14 (주)우리엔지니어링 Laminating apparatus and method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100575559B1 (en) 2005-12-27 2006-05-03 세호로보트산업 주식회사 Coverlay attach system
KR20090099695A (en) * 2008-03-18 2009-09-23 세호로보트산업 주식회사 Apparatus for attaching coverlay
KR100933043B1 (en) 2008-03-19 2009-12-21 (주)인터플렉스 Coverlay film punching method
KR101145187B1 (en) 2010-09-08 2012-05-14 (주)우리엔지니어링 Laminating apparatus and method

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101554840B1 (en) 2015-01-27 2015-09-21 엘피티 주식회사 The Using the elastic thin plate Film sticking appointed Pallet way step corresponding unit
WO2016122126A1 (en) * 2015-01-27 2016-08-04 박효중 Pallet type process corresponding unit for film attaching device using resilient sheet
CN107207107A (en) * 2015-01-27 2017-09-26 朴孝中 Utilize the film hapteron pellet type technique corresponding unit of elastic sheet
CN107207107B (en) * 2015-01-27 2019-12-06 朴孝中 pallet type process corresponding unit for film adhering device using elastic sheet
KR101621020B1 (en) * 2015-03-02 2016-05-16 (주)우리엔지니어링 Apparatus for attaching automatic
WO2020262979A1 (en) * 2019-06-25 2020-12-30 주식회사 두산 System and method for manufacturing composite board
CN114271037A (en) * 2019-06-25 2022-04-01 株式会社斗山 Manufacturing system and manufacturing method of composite substrate
CN114271037B (en) * 2019-06-25 2024-01-30 株式会社斗山 System and method for manufacturing composite substrate

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