KR20150112931A - 기류 제어기 및 정 전하 감소를 위한 시스템 - Google Patents

Abstract

기류 제어기 및 이러한 기류 제어기를 포함하는 정 전하 감소를 위한 시스템이 개시된다. 기류 제어기는 제1 표면 및 제2 표면을 가지는 둘러싸인 중공형 몸체를 포함하며, 여기서 개구는 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관과 직면하는 제1 표면상에 있으며, 여기서 정 전하 감소를 위한 장치로부터 기류를 수용하기 위한 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 중공형 몸체의 제2 표면상에 부착된다. "기류 통로의 누출"을 더 효율적으로 방지하는 기술적 해법은 원래의 흡입 파워를 증가시키지 않으면서 이의 공기 흡입 영역 범위를 더 넓게 확대하도록 공기 통로에서 다-구멍 구조의 설계를 통하여 달성될 수 있다.

Description

기류 제어기 및 정 전하 감소를 위한 시스템{AIR STREAM CONTROLLER AND SYSTEM FOR STATIC CHARGE REDUCTION}

본 발명은 정 전하 감소 기술에 관한 것으로, 더 상세하게는 기류 제어기 및 이러한 기류 제어기를 포함하는 정 전하 감소를 위한 시스템에 관한 것이다.

전형적인 반도체 제조 산업에서, 테스트 핸들러(test handler)에 있는 마이크로칩은 테스팅 유닛이 유동 채널로 지칭되는 금속 샤프트를 통하여 미끄러져 내려간 후 정상적으로 운반된다. 치열한 시장 경쟁 및 TV, 비디오, 컴퓨터, 휴대폰 및 다수의 다른 전자 디바이스와 같은 가전 제품의 거듭되는 가격 하락은 제조자에게 압박감을 가하여 더 빠른 생산으로 처리량을 증가시키고 더 작은 IC 칩을 제조함으로써 비용 하락을 적극적으로 추구한다. 이는 테스트 핸들러를 따른 IC 칩의 더 빠른 이동에 대한 요구로 바뀐다. 불행하게는, 마찰 대전성을 통해 정전기의 더 많은 발생을 유발하는 제조 공정의 속도에서의 이러한 증가는 정전기 인력에 의한 테스팅 작동 후 유동 채널을 따라 IC 칩의 들러붙음(sticking)을 초래한다. 칩의 질량이 이제 매우 가벼워서 매우 극미한 정전기 발생에도 들러붙음을 유발하기 때문에 더 작은 IC 칩을 제조하는 요구는 이 문제를 더 악화시킨다. 이 같은 둘러붙음은 기계의 고장(jamming)을 유발하여 제조 작동의 출력 및 생산성을 심각하게 방해한다.

공개되지 않은 선 출원 PCT/CN/2011/076825호는 전술된 문제점을 극복할 수 있는 정 전하 감소를 위한 장치를 공개하고 있다.

그러나, 공개되지 않은 선 출원 PCT/CN/2011/076825호에서 제공되는 해법은 상기 습기 제어 인클로저(enclosure) 발명 외부의 개방 공간 시스템에서의 사용이 제한된다. 다수의 작업 작동은 실제로 개방 공간 조립체 작업 영역에서 수행된다. 공개되지 않은 선 출원의 정 전하 감소를 위한 장치의 사용은 인클로저 내측에 국한된 공기만으로 제한한다.

이 같은 제한을 극복하기 위해, 당업자는 제어된 기류의 계속되는 흐름이 배출된 기류를 흡입하도록 공간 이격된 공극을 가지고 일렬로 위치되는 더 높은 흡입 파워에 의해 유입 배관(12)으로부터 유출 배관(22)으로 배출되어 통풍로를 유입 배관(12)으로부터 유출 배관까지 이동시켜 도 A에 도시된 바와 같이 누출 없는 통풍로 제어 시스템을 형성하도록 시스템을 설계할 수 있다.

그러나, 크거나 특이한 모양이 될 때, 앞의 문단에서 설명된 시스템에서 이같은 배출 및 흡인 시스템을 사용하여 유입 배관(12)으로부터 유출 배관(22)으로의 제어된 기류 통과의 유효성은 전체 대상을 적절히 다루는데 어려움이 생기게 되어 처리될 대상의 완전한 정 전하 중화의 유효성을 어렵게 한다.

처리될 대상의 완전한 통풍구 범위를 달성하기 위한 시도시 넓은 배열로 위치 설정되는 더 많은 유출 배관 스테이션을 제시함으로써 해법이 될 수 있지만 이 같은 복잡한 시스템에 대한 비용이 비경제적이어서 상업적 매력이 부족하다.

따라서, 상기 한계를 극복하기 위한 추가 연구 및 개발이 요구되었다.

본 발명의 주요 목적은 작업 환경의 주변 상대 습도에 영향을 미치지 않으면서 더 완전한 정 전하 감소를 달성하도록 "기류 통로 누출(air stream passage leakage)"을 방지하는데 더 효율적인 기류 제어기를 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 기류 제어기는 제1 표면 및 제2 표면을 가지는 둘러싸인 중공형 몸체를 포함하는 기류 제어기를 포함하며, 여기서 개구는 정 전하 감소를 위한 장치로부터 기류를 수용하기 위한 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관과 직면하는 제1 표면상에 있으며, 여기서 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 중공형 몸체의 제2 표면상에 부착된다. 선택적으로, 개구는 복수의 슬릿 또는 구멍을 포함한다. 선택적으로, 복수의 구멍은 구체적 영역을 겨냥하도록 긴 슬릿 개구 또는 구부러진 또는 원형 슬릿을 형성하기 위해 서로 이어진다.

선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 정육면체 형상 구조, 직사각형 형상 구조, 타원형 형상 구조, 오각형 형상 구조, 육각형 형상 구조, 원형 형상 구조 또는 불규칙 형상 구조로 구성된다.

선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 L자 형상 구조로 구성되고, 개구는 적어도 L자 형상 구조의 수직 부분의 제1 표면상에 있고, 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 제1 표면과 마주하는 L자 형상 구조의 수직 부분의 제2 표면상에 부착된다.

선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1 U자 형상 구조로 구성되고, 개구는 적어도 U자 형상 구조의 두 개의 수직 부분의 제1 표면상에 있고, 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 U자 형상의 수평 부분의 제1 표면상에 부착된다.

선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 U자 형상 튜브로 형성된 제2 U자 형상 구조로 구성되고, 개구는 U자 형상 튜브의 내향 직면 표면을 따라 위치 설정되고 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 U자 형상 튜브의 외측 표면상에 부착된다.

선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 링-형상 튜브로 형성된 링-형상 구조로 형성되고, 여기서 개구는 링-형상 튜브의 내측 표면을 따라 위치 설정되고 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 링-형상 튜브의 외측 표면상에 부착된다.

선택적으로, 외부 공기 커버 또는 인클로저는 유입 배관 또는 유출 배관 또는 양자 모두 위에 배치되어 특정 양의 분열성 공기-유동을 차단하거나 봉쇄하며, 여기서 외부 공기 커버 또는 인클로저는 연장가능하고 조정가능하다.

선택적으로, 유입 배관은 둘러싸인 중공형 몸체의 제1 표면에 대해 공간 갭을 가지고 위치 설정되거나 제1 표면상의 개구와 직면하도록 둘러싸인 중공형 몸체의 제3 표면에 부착된다.

선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 더 넓거나 더 작은 영역을 덮기 위한 가요성을 제공하도록 연장가능하고 조정가능하며, 둘러싸인 중공형 몸체는 기류를 더 많이 제어하도록 하나 이상의 공기 흡입 장치가 설치되고, 기류 제어기는 인클로저와 함께 제작된다.

본 발명의 제2 목적은 둘러싸인 제1 중공형 몸체 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체를 포함하는 기류 제어기를 제공하는 것이고, 여기서 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관이 둘러싸인 제1 중공형 몸체의 제1 표면과 유동가능하게 연통되며, 제1 개구는 둘러싸인 중공형 몸체의 제2 표면상에 있고, 제2 개구는 정 전하 감소를 위해 장치의 유입 배관으로부터 나오는 기류를 수용하도록 둘러싸인 제1 중공형 몸체의 제2 표면과 직면하는 둘러싸인 제2 중공형 몸체의 제1 표면상에 있으며, 여기서 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 제2 중공형 몸체의 제2 표면상에 부착된다. 선택적으로, 제1 개구 및 제2 개구는 복수의 슬릿 또는 구멍을 포함한다. 선택적으로, 복수의 구멍은 구체적 영역을 겨냥하도록 긴 슬릿 개구 또는 구부러진 또는 원형 슬릿을 형성하기 위해 서로 이어진다.

선택적으로, 유입 배관은 둘러싸인 제1 중공형 몸체의 제1 표면으로 공간 갭을 가지고 위치 설정되며, 여기서 제3 개구는 둘러싸인 제1 중공형 몸체의 제1 표면상에 있거나, 유입 배관은 둘러싸인 제1 중공형 몸체의 제1 표면에 부착되어 둘러싸인 제1 중공형 몸체의 제2 표면상의 제1 개구와 직면한다.

선택적으로, 둘러싸인 제1 또는 제2 중공형 몸체는 정육면체 형상 구조, 직사각형 형상 구조, 타원형 형상 구조, 오각형 형상 구조, 육각형 형상 구조, 원형 형상 구조 또는 불규칙 형상 구조로 구성되며 둘러싸인 제1 중공형 몸체 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체는 개별적으로 또는 구조적으로 함께 연결된다.

선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1 U자 형상 구조로 구성되고, 제1 개구는 적어도 제1 U자 형상 구조의 서로 직면하는 두 개의 수직 부분의 제1 표면상에 있고, 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 제1 U자 형상 구조의 수평 부분상에 위치 설정된다.

선택적으로, 둘러싸인 제2 중공형 몸체는 정육면체 형상 구조, 직사각형 형상 구조, 타원형 형상 구조, 오각형 형상 구조, 육각형 형상 구조, 원형 형상 구조 또는 불규칙 형상 구조로 구성된다.

선택적으로, 둘러싸인 제2 중공형 몸체는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1 U자 형상 구조로 구성되고, 여기서 제2 개구는 적어도 제1 U자 형상 구조의 두 개의 수직 부분의 제1 표면상에 있고, 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 U자 형상의 수평 부분의 제2 표면상에 부착된다.

선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 더 넓거나 더 작은 영역을 덮기 위한 가요성을 제공하도록 연장가능하고 조정가능하며, 둘러싸인 중공형 몸체는 기류를 더 많이 제어하도록 하나 이상의 공기 흡입 장치가 설치되고, 기류 제어기는 인클로저와 함께 제작된다.

선택적으로, 외부 공기 커버 또는 인클로저는 유입 배관 또는 유출 배관 또는 양자 모두 위에 배치되어 특정 양의 분열성 공기-유동을 차단하거나 봉쇄한다.

본 발명의 제3 목적은 기류를 발생시키기 위한 기류 발생기; 기류 발생기로부터 둘러싸이지 않은 개방 기류 통로 영역으로 기류를 연결하고 전달하기 위한 유입 배관, 유동 경로에서 기류 수준을 감지하기 위한 유동 경로를 따라 기류 유동 통로의 임의의 지점 내에 위치 설정되는 기류 수준 제어 유닛의 기류 수준 센서, 폐쇄 루프 제어식 기류 전달 시스템을 형성하기 위한 기류 발생기에 연결되는 설치된 기류 유닛을 구비한 유출 배관; 및 전술된 하나 이상의 기류 제어기를 포함하는 정 전하 감소를 위한 시스템을 제공하는 것이다.

선택적으로, 기류 발생기는 미리 결정된 습기 수준으로 습한 기류를 발생시키기 위한 습기 발생기 또는 미리 결정된 이온화 수준으로 이온화된 기류를 생성시키기 위한 이온화기이며 기류 수준 센서는 유동 경로 내의 습기 수준을 감지하기 위한 습기 수준 센서 또는 유동 경로 내의 이온화 수준을 감지하기 위한 이온화 수준 센서이다.

이러한 방식으로, 본 발명은 유출 배관에서 원래의 흡입 파워를 증가시키지 않으면서 이의 기류 흡입 영역 범위를 더 넓게 확대하도록 다-구멍 구조의 설계를 통하여 "기류 통로의 누출"을 더 효율적으로 방지한다. 이러한 유일한 구조 설계는 대상을 추가의 흡입 파워 없이 더 용이하게 적절히 "감싸는(wrap up)" 유효 수단을 기술적으로 제공한다. 동시에, 설계는 작업 환경의 주변 상대 습도에 영향을 미치지 않으면서 더 완전한 정 전하 감소를 달성하도록 "기류 통로 누출"을 방지하는데 더 효율적이다.

본 발명을 더 설명하도록, 본 발명의 예시적인 실시예는 아래 도면을 참조하여 설명될 것이다.
도 A는 기류 제어기의 공통 설계의 도면이다.
도 1(a) 내지 도 1(c)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제1 실시예의 도면들이며;
도 2는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제2 실시예의 도면들이며;
도 3(a)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제3 실시예의 도면들이며;
도 3(b)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제4 실시예의 도면들이며;
도 4는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제5 실시예의 도면들이며;
도 5(a) 내지 도 5b는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제6 실시예의 도면들이며;
도 6은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제7 실시예의 도면들이며;
도 7는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제8 실시예의 도면들이며;
도 8은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제9 실시예의 도면들이며;
도 9(a) 및 도 9(b)는 본 발명에 따른 유입 배관 및 유출 배관을 도시하며;
도 10(a)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제10 실시예의 도면들이며;
도 10(b)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제11 실시예의 도면들이며;
도 11은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제12 실시예의 도면들이며;
도 12는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제13 실시예의 도면들이며;
도 13은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제14 실시예의 도면들이며;
도 14는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제15 실시예의 도면들이며;
도 15는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제16 실시예의 도면들이며;
도 16은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제17 실시예의 도면들이며;
도 17(a) 및 도 17(b)는 본 발명에 따른 기류 제어기로의 부가 외부 커버를 도시하며;
도 18은 본 발명에 따른 정 전하 감소를 위한 시스템의 제1 실시예의 도면이며;
도 19는 본 발명에 따른 정 전하 감소를 위한 시스템의 제2 실시예의 도면이며;
도 20은 본 발명에 따른 정 전하 감소를 위한 시스템의 제3 실시예의 도면이다.

본 발명의 이러한 및 다른 장점, 양태 및 신규한 특징, 뿐만 아니라 본 발명의 예시된 실시예의 세부 사항은 아래 설명 및 도면으로부터 더 충분히 이해될 것이지만, 본 발명의 다양한 실시예는 제한적인 것이 아니라 단지 예로서 제시된다. 아래 도면에서, 화살표 머리는 공기의 방향을 나타낸다.

도 1(a)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제1 실시예의 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기류 제어기는 제1 표면 및 제2 표면을 가지는 둘러싸인 중공형 몸체(3)를 포함한다. 복수의 구멍(4)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 기류를 수용하기 위한 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)에 직면하는 제1 표면상에 있다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 중공형 몸체(3)의 제2 표면상으로 부착된다.

당업자는 기류가 수조 기포 유닛(water bath air bubbling unit)으로 구성된 습기 발생기에 의해 발생된 미리 결정된 습기 수준에서 습한 기류일 수 있다는 것을 알아야 한다. 또는 다른 실시예에서, 기류는 미리 결정된 이온화 수준에서 공기 이온화기에 의해 발생된 이온화 기류일 수 있다. 더욱이, 기류는 다른 습한 가스 또는 이온화 가스를 포함할 수 있다.

본 적용에 따라, "기류 통로의 누출"을 더 효과적으로 방지하는 기술적 해법은 유출 배관에서 원래의 흡입 파워를 증가시키지 않으면서 이의 공기 흡입 영역 범위를 더 넓게 확대하도록 공기 통로에서의 다-구멍 구조의 설계를 통하여 달성될 수 있다. 이러한 유일한 구조 설계는 대상을 추가의 흡입 파워 없이 더 용이하게 적절히 "감싸는" 유효 수단을 기술적으로 제공한다. 동시에, 설계는 작업 환경의 주변 상대 습도에 영향을 미치지 않으면서 더 완전한 정 전하 감소를 달성하도록 "기류 통로 누출"을 방지하는데 더 효율적이다. 선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체는 정육면체 형상 구조, 직사각형 형상 구조, 타원형 형상 구조, 오각형 형상 구조, 육각형 형상 구조, 원형 형상 구조 또는 불규칙 형상 구조로 구성된다.

당업자는 복수의 구멍(4)이 원형 형상, 직사각형 형상, 타원형 형상, 다각형 형상, 또는 다른 규칙 형상 또는 불규칙 형상과 같은 동일한 또는 상이한 형상으로 구성된다. 한편, 복수의 구멍(4)은 개별적으로 배열되거나 부분적으로 겹쳐질 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 구멍은 더 넓은 영역을 덮도록 긴 슬릿 개구를 형성하기 위해 서로 이어진다. 당업자는 비록 단지 하나의 유입 배관(12) 및 유출 배관(22)이 도시되지만, 여전히 더 많은 유입 배관 및 유출 배관이 있을 수 있다는 것을 추가로 알아야한다.

도 1b는 또한 본 발명에 따른 기류 제어기의 제1 실시예의 도면이다. 도 1(a)와 비교하면, 기류 제어기는 복수의 슬릿 또는 구멍(44)이 유입 배관(12)과 직면하는 제1 표면상에 있다는 점에서만 상이하다. 당업자는 복수의 구멍(44)이 원형 형상, 직사각형 형상, 타원형 형상, 다각형 형상, 또는 다른 규칙 형상 또는 불규칙 형상과 같은 동일한 또는 상이한 형상으로 구성된다.

도 1(c)는 또한 본 발명에 따른 기류 제어기의 제1 실시예의 도면이다. 도 1(a)와 비교하면, 기류 제어기는 직사각형 프레임을 형성하는 두 개의 L자 형상 슬릿(45)들이 유입 배관(12)과 직면하는 제1 표면상에 있다는 점에서만 상이하다. 또한, 교차 형상의 4개의 선형 슬릿(46)은 또한 유입 배관(12)과 직면하는 제1 표면상에 있다. 당업자는 슬릿(44 내지 46) 및 구멍(4) 외에, 그리드와 같은 다른 종류의 개구가 또한 유입 배관(12)과 직면하는 둘러싸인 중공형 몸체(3)의 제1 표면상에 있을 수 있다는 것을 안다.

도 2는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제2 실시예의 도면이다. 도 2를 참조하면, 기류 제어기는 제1 표면 및 제2 표면을 가지는 둘러싸인 중공형 몸체(3)를 포함한다. 본 실시예에서, 둘러싸인 중공형 몸체(3)는 L자 형상 구조로 구성된다. 복수의 구멍(4)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 기류를 수용하기 위한 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)에 직면하는 L자 형상 구조의 수직 부분의 제1 표면상에 있다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 기류를 방출하기 위한 제1 표면과 대향하는 L자 형상 구조의 수직 부분의 제2 표면상에 부착된다. 당업자는 추가 실시예에서 복수의 구멍, 그리드 또는 슬릿이 유입 배관(12)과 직면하는 L자 형상 구조의 수평 부분의 제1 표면상에 있다는 것을 안다.

도 3(a)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제3 실시예의 도면이다. 도 3(a)를 참조하면, 기류 제어기는 제1 표면 및 제2 표면을 가지는 둘러싸인 중공형 몸체(3)를 포함한다. 본 실시예에서, 둘러싸인 중공형 몸체(3)는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1 U자 형상 구조에 구성된다. 복수의 구멍(4)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 기류를 수용하기 위한 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)에 직면하는 U자 형상 구조의 수직 부분의 제1 표면상에 있다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 기류를 배출하기 위한 U자-형상의 수평 부분의 제1 표면상에 부착된다. 당업자는 추가 실시예에서 복수의 구멍, 그리드 또는 슬릿이 유입 배관(12)과 직면하는 제1 U자-형상 구조의 수평 부분의 제1 표면상에 있다는 것을 안다.

도 3(b)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제4 실시예의 도면이다. 도 3(b)를 참조하면, 둘러싸인 중공형 몸체(3)는 U자 형상 튜브에 의해 형성된 제2 U자 형상 구조로 구성된다. 복수의 구멍(4)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 기류를 수용하기 위한 U자 형상 튜브의 내측으로 직면하는 표면을 따라 위치 설정된다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 기류를 방출하기 위한 U자-형상 튜브의 외측 표면상으로 부착된다.

도 4는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제5 실시예의 도면이다. 도 4를 참조하면, 기류 제어기는 링-형상 튜브에 의해 형성된 링-형상 구조로 구성되는 둘러싸인 중공형 몸체(3)를 포함한다. 복수의 구멍(4)은 정 전하 감소를 위한 이러한 장치의 유입 배관(12)으로부터 기류를 수용하기 위한 링 형상 튜브의 내측 표면을 따라 위치 설정된다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 기류를 방출하기 위한 링-형상 튜브의 외측 표면상으로 부착된다.

도 5(a)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제6 실시예의 도면이다. 도 5(a)를 참조하면, 기류 제어기는 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31) 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)를 포함한다. 본 실시예에서, 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)은 둘러싸인 제1의 중공형 몸체(31)의 제1 표면상으로 연결된다. 복수의 제1 구멍(41)은 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제2 표면상에 있다. 복수의 제2 구멍(42)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 나오는 기류를 수용하기 위한 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제2 표면과 직면하는 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)의 제1 표면상에 있다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 기류를 배출하기 위한 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)의 제2 표면상으로 부착된다.

본 실시예에서, 둘러싸인 제1 및 제2 중공형 몸체는 원형 형상 구조로 구성된다. 다른 실시예에서, 둘러싸인 제1 및 제2 중공형 몸체는 정육면체 형상 구조, 직사각형 형상 구조, 타원형 형상 구조, 오각형 형상 구조, 육각형 형상 구조, 원형 형상 구조 또는 불규칙 형상 구조로 구성될 수 있다. 둘러싸인 제1 및 제2 중공형 몸체는 동일할 수 있거나 상이할 수 있다. 당업자는 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)가 작업 테이블의 부분일 수 있고, 작업 테이블은 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제2 표면과 직면하는 이의 표면의 모두 또는 일 부분 상에 복수의 구멍들을 구비한 평편한 테이블 상부의 둘러싸인 중공형 플랭크를 포함하여, 둘러싸인 제1 부분의 제2 표면으로부터 나오는 기류를 수용하고 유출 배관(22)은 작업 테이블로부터 기류를 방출하기 위한 작업 테이블의 제2 표면에 부착된다.

도 5b는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제6 실시예의 도면이다. 도 5b를 참조하면, 기류 제어기는 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31) 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)를 포함한다. 본 실시예에서, 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)은 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제1 표면 (50)으로부터 먼 거리에 배열된다. 복수의 구멍(51)은 유입 배관(12)으로부터 기류를 수용하기 위한 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제1 표면상에 있다. 복수의 구멍(41)은 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제2 표면상에 있다. 복수의 구멍(42)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 나오는 기류를 수용하기 위한 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제2 표면(52)과 직면하는 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)의 제1 표면(53) 상에 있다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)의 제2 표면(54) 상으로 부착된다.

본 실시예에서, 둘러싸인 제1 및 제2 중공형 몸체는 원형 형상 구조로 구성된다. 다른 실시예에서, 둘러싸인 제1 및 제2 중공형 몸체는 정육면체 형상 구조, 직사각형 형상 구조, 타원형 형상 구조, 오각형 형상 구조, 육각형 형상 구조, 원형 형상 구조 또는 불규칙 형상 구조로 구성될 수 있다. 둘러싸인 제1 및 제2 중공형 몸체는 동일할 수 있거나 상이할 수 있다.

도 6은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제7 실시예의 도면이다. 기류 제어기의 제7 실시예는 도 1의 제1 실시예의 기류 제어기와 유사하고, 둘러싸인 중공형 몸체(3)가 더 구체적인 적용을 달성하기 위해 수용하는 기류 범위를 최대화하도록 매우 더 긴 길이를 구비한 직사각형 형상이라는 점에서만 차이가 있다. 선택적으로, 둘러싸인 중공형 몸체(3)의 구멍은 함께 조인트될 수 있어 더 넓은 영역을 포함하도록 긴 슬릿 개구 또는 더욱 더 구체적인 적용(도면에 도시안됨)을 달성하도록 구체적인 영역을 겨냥하기 위한 구브러진 또는 원형 슬릿을 형성한다. 선택적으로, 유입 배관(12)은 더욱 더 구체적인 적용(도면에 도시 안됨)을 달성하기 위해 더 넓은 영역을 포함하도록 긴 슬릿 개구를 형성하도록 재설계될 수 있다.

도 7는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제8 실시예의 도면이다. 기류 제어기의 제8 실시예는 도 6의 제7 실시예의 기류 제어기와 유사하며, 둘러싸인 중공형 몸체(3)가 구체적인 적용을 달성하는데 우수한 융통성을 가지고 더 넓거나 더 작은 영역의 범위를 포함하도록 하나 또는 둘 이상의 방향으로 연장 컬럼(들) 또는 암(들)을 구비한 연장가능하거나 조정가능한 구조로서 설계된다는 점에만 차이가 있다.

도 8은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제9 실시예의 도면이다. 도 8을 참조하면, 기류 제어기는 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31) 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)를 포함한다. 본 실시예에서, 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)은 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제1 표면상으로 연결된다. 복수의 제1 구멍(41)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제2 표면상에 있다. 복수의 제2 구멍(42)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 나오는 기류를 수용하기 위한 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)의 제2 표면과 직면하는 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)의 제1 표면상에 있다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)의 제2 표면상으로 부착된다.

본 실시예에서, 둘러싸인 제1 및 제2 중공형 몸체(31 및 32)는 직사각형 형상으로 구성된다. 당업자는 둘러싸인 제1 및 제2 중공형 몸체(31 및 32)가 반-원 형상 또는 현 발명의 다양한 단락에서 인용된 임의의 다른 형상일 수 있다는 것을 안다. 더욱이, 둘러싸인 제1 중공형 몸체 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체(31 및 32)는 구조적으로 함께 연결된다. 선택적으로, 본 출원의 각각의 실시예에서, 유입 배관(12), 유출 배관(22)은 개방 공간 기류 통로 사이의 유입 배관(12), 유출 배관(22)의 이동을 허용하는 단단히 조립하는 (도 9(a) 및 도 9(b)에 도시된 바와 같은)튜브 고정 구조물과 연결된다. 본 발명의 다른 실시예에서, 하나 이상의 공기 흡입 장치(도시 안됨)는 기류에 대해 더 많이 제어되도록 유동 경로를 따라 임의의 지점에 설치된다.

도 10(a)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제10 실시예의 도면이고 도 10(b)는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제11 실시예의 도면이다. 도 10(a) 및 도 10(b)에 도시된 바와 같이, 둘러싸인 중공형 몸체(3)는 특정의 임계적 부분 조립체를 위한 기류 통로 내의 작업 이동을 위한 더 많은 공간을 제공하도록 추가 원통형 중공형 공간으로 제작되거나 구성되며, 여기서 조립체 부분은 어떠한 인근의 대상 또는 작업 표면과도 접촉할 어떠한 위험도 갖는 것을 허용하지 않는다.

도 11은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제12 실시예의 도면이다. 기류 제어기의 제12 실시예는 도 1의 제1 실시예의 기류 제어기와 유사하며, 차이는 단지 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)이 더 많은 구체적으로 더 넓은 적용을 달성하도록 두 쌍의 출구 헤드로 제작될 수 있다는 것이다.

도 12는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제13 실시예의 도면이다. 도 12에 도시된 바와 같이, 기류 제어기는 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31) 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)를 포함한다. 본 실시예에서, 둘러싸인 제1 중공형 몸체(31)는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1의 U자 형상 구조로 구성된다. 복수의 제1 구멍(41)은 U자 형상의 제1 구조에서 서로 직면하는 두 개의 수직 부분의 제1 표면상에 있다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)은 제1 U자 형상 구조의 수평 부분 상에 위치된다. 도 12에 도시된 바와 같이, 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)는 직사각형 형상으로 구성된다. 다른 실시예에서, 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)는 (도 13 등에서와 같은) 정사각형 형상, 타원 형상, 오각형 형상, 육각형 형상 또는 다른 규칙적 형상 또는 불규칙적 형상으로 구성될 수 있다.

도 13에 도시된 다른 실시예에서, 둘러싸인 제2 중공형 몸체(32)는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1 U자 형상 구조로 구성될 수 있고, 복수의 제2 구멍(42)은 제1 U자 형상의 구조의 두 개의 수직 부분 및 수평 부분의 제1 평면 상에 있고, 유출 배관(22)은 제1 U자 형상 구조의 수평 부분의 제2 표면상에 부착된다.

도 14는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제15 실시예의 도면이다. 기류 제어기의 제15 실시예는 둘러싸인 중공형 몸체(3)에는 유입 공기-유동 제어 형판의 위치를 미끄럼시키거나 시프팅시킴으로써 유입 공기의 양을 조정 또는 제어하기 위해 동일하거나 동일하지 않은 다수의 구멍 패턴을 구비한 형판으로서 유입 공기-유동 제어 판 또는 시트가 조립된다는 점을 제외하고 도 1의 제1 실시예에서의 기류 제어기와 유사하다. 물론, 도 14의 실시예는 실제 요건에 따른 본 출원의 각각의 실시예에서 구현될 수 있다.

도 15는 본 발명에 따른 기류 제어기의 제16 실시예의 도면이다. 도 15의 기류 제어기의 제16 실시예는 도 11의 제1 실시예의 기류 제어기와 유사하며, 차이는 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)이 더욱더 넓고 구체적인 적용을 달성하도록 회전 가능하거나 조정 가능한 출구 헤드로 제작될 수 있다는 것이다.

도 16은 본 발명에 따른 기류 제어기의 제17 실시예의 도면이다. 도 16의 기류 제어기의 제17 실시예는 도 11의 제12 실시예의 기류 제어기와 유사하며, 차이는 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)이 더욱더 넓고 구체적인 적용을 달성하도록 회전 가능하거나 조정 가능한 두 쌍의 출구 헤드로 제작된다는 것이다. 선택적으로, 외부 공기 커버 또는 인클로저는 유입 배관(12) 및 유출 배관(22) 둘다 위에 배치되어 RH 제어식 대전 방지 시스템의 주변 근처에 존재할 수 있어 도 17(a) 및 도 17(b)에 도시된 바와 같이 개방 공간 페쇄 루프 RH 제어 시스템의 향상된 제어를 위해 난기류의 양을 최소화하는 특정 양의 파열성 기류를 차단 또는 봉쇄한다.

도 18은 본 발명에 따른 정 전하 감소를 위한 시스템의 제1 실시예의 도면이다. 도 18에 도시된 바와 같이, 정 전하 감소를 위한 시스템은 미리 결정된 습기 수준에서 습한 기류를 발생시키기 위한 습기 발생기, 습기 발생기로부터 둘러싸이지 않은 개방된 습한 기류 통로 영역으로 습한 기류를 연결 및 전달하기 위한 유입 배관(12), 유동 경로 내의 습기 수준을 감지하기 위한 유동 경로를 따라 기류 유동 통로의 임의의 지점 내에 위치 설정되는 습기 수준 제어의 습기 수준 센서, 폐쇄 루프 제어식 기류 전달 시스템을 형성하기 위한 습기 발생기에 연결하는 설치된 공기 흡입 유닛을 구비한 유출 배관(31)을 포함한다. 정 전하 감소를 위한 시스템은 제1 표면 및 제2 표면을 가지는 둘러싸인 중공형 몸체(3)를 포함하는 기류 제어기를 더 포함한다. 복수의 구멍(4)은 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)으로부터 습한 기류를 수용하기 위한 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관(12)에 직면하는 제1 표면상에 있다. 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관(22)은 습한 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 중공형 몸체(3)의 제2 표면상으로 부착된다. 당업자는 도 1 내지 도 16으로 상기 것의 두 개 또는 세 개 이상의 조합이 본 발명의 유용성을 최대화하도록 적용들의 변화 및 더욱 더 많은 가요성을 달성하도록 사용될 수 있다. 당업자는 기류 제어기가 동일하거나 동일하지 않은 구조의 둘러싸인 제1 몸체 및 둘러싸인 제2 몸체로 구성될 수 있다는 것을 이해할 수 있다.

도 19는 본 발명에 따른 정 전하 감소를 위한 시스템의 제2 실시예의 도면이다. 도 19에 도시된 바와 같이, 정 전하 감소를 위한 시스템은 미리 결정된 습기 수준에서 습한 기류를 발생시키기 위한 습기 발생기(124), 습기 발생기로부터 둘러싸이지 않은 개방된 기류 통로 영역으로 습한 기류를 연결 및 전달하기 위한 유입 배관(121), 유동 경로 내의 습기 수준을 감지하기 위한 유동 경로를 따라 기류 유동 통로의 임의의 지점 내에 위치 설정되는 습기 수준 제어 유니의 습기 수준 센서(125), 폐쇄 루프 제어식 기류 전달 시스템을 형성하기 위한 습기 발생기(124)에 연결하는 설치된 공기 흡입 유닛을 구비한 유출 배관(221)을 포함한다. 정 전하 감소를 위한 시스템은 두 개의 기류 제어기(80 및 90)를 더 포함한다. 일 실시예에서, 습기 발생기(124)는 수조 기포 유닛으로 구성된다. 다른 실시예에서, 습기 발생기(124)는 습한 기류를 발생시키기 위한 젖은 표면 또는 초음파 수증기 발생기를 통하여 공기를 취입하도록 배열된다.

도 19에 도시된 바와 같이, 기류 제어기(80)는 제1 표면 및 제2 표면을 가지는 둘러싸인 중공형 몸체(81)를 포함한다. 복수의 구멍은 유입 배관(121)과 연결되는 배관(123)과 직면하는 제1 표면상에 있다. 유출 배관(21)은 습한 기류를 배출하기 위한 둘러싸인 중공형 몸체(80)의 제2 표면상으로 부착된다.

기류 제어기(90)는 둘러싸인 제1 중공형 몸체(91) 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체(92)를 포함한다. 본 실시예에서, 유입 배관(121)과 연결되는 배관(122)은 둘러싸인 제1 중공형 몸체(91)의 제1 표면상으로 연결된다. 복수의 제1 구멍은 둘러싸인 제1 중공형 몸체(91)의 제2 표면상에 있다. 복수의 제2 구멍은 유입 배관(121)으로부터 나오는 습한 기류를 수용하기 위한 둘러싸인 제1 중공형 몸체(91)의 제2 표면과 직면하는 둘러싸인 제2 중공형 몸체(92)의 제1 표면상에 있다. 배관(222)은 습한 기류를 방출하기 위한 둘러싸인 제2 중공형 몸체(92)의 제2 표면상으로 부착된다. 배관(222)은 둘러싸인 중공형 몸체(81)의 제3 표면에 추가로 부착된다. 이러한 방식으로, 유출 배관(221)은 기류 제어기(90)로부터 습한 기류를 추가로 방출할 수 있다. 당업자는 두 개의 기류 제어기들이 위에서 논의된 임의의 종류의 기류 제어기에 따라 구성될 수 있다는 점이 추가로 이해될 수 있다. 본 출원의 다른 실시예에서, 유입 배관(121), 배관(122) 및 배관(123)은 도 11에서와 같이 두 쌍의 유출 헤드를 구비한 유입 배관으로서 제작될 수 있다.

도 20은 본 발명에 따른 정 전하 감소를 위한 시스템의 제3 실시예의 도면이다. 도 20에 도시된 바와 같이, 정 전하 감소를 위한 시스템은 미리 결정된 이온화 수준에서 이온화된 기류를 발생시키기 위한 공기 이온화기(124), 공기 이온화기(124)로부터 둘러싸이지 않은 개방된 기류 통로 영역으로 이온화 기류를 연결 및 전달하기 위한 유입 배관(121), 유동 경로 내의 이온화 수준을 감지하기 위한 유동 경로를 따라 이온화된 기류 유동 통로의 임의의 지점 내에 위치 설정되는 이온화 수준 제어의 이온화 수준 센서, 폐쇄 루프 제어식 기류 전달 시스템을 형성하기 위한 공기 이온화기(223)에 연결하는 설치된 공기 흡입 유닛을 구비한 유출 배관(221)을 포함한다. 정 전하 감소를 위한 시스템은 도 19에 따라 구성될 수 있는 두 개의 기류 제어기(80 및 90)를 더 포함한다.

본 적용에 따라, "기류 통로의 누출"을 더 효율적으로 방지하는 기술적 해법은 유출 배관에서 원래의 흡입 파워를 증가시키지 않으면서 이의 공기 흡입 영역 범위를 더 넓게 확대하도록 공기 유입 수용 단부에서 다-구멍 구조의 설계를 통하여 달성될 수 있다. 이러한 유일한 구조 설계는 추가의 흡입 파워 없이 대상을 더 용이하게 적절히 "감싸는" 유효 수단을 기술적으로 제공한다. 동시에, 설계는 작업 환경의 주변 상대 습도에 영향을 미치지 않으면서 더 완전한 정 전하 감소를 달성하도록 "기류 통로 누출"을 방지하는데 더 효율적이다. 개시되지 않았지만, 당업자는 도 2 내지 도 17의 다른 실시예에서 기류 제어기가 또한 도 18 내지 도 20에 도시된 정 전하 감소를 위한 시스템에 조합될 수 있다는 것을 이해할 수 있다.

본 발명이 수 개의 실시예를 참조하여 설명되었지만, 다양한 변화들이 이루어질 수 있고 등가예가 본 발명의 범주로부터 벗어나지 않으면서 대체될 수 있다는 것이 당업자에 의해 이해될 것이다. 또한, 다수의 변형예는 이의 범주로부터 벗어나지 않으면서 본 발명의 사상에 대한 특별한 환경 또는 재료를 적용하도록 이루어 질 수 있다. 따라서, 본 발명이 개시된 특별한 실시예로 제한되지 않지만, 본 발명은 첨부된 청구범위의 범주 내에 있는 모든 실시예를 포함할 것이다.

Claims (20)

1. 기류 제어기로서,
   제1 표면 및 제2 표면을 가지는 둘러싸인 중공형 몸체를 포함하며, 개구는 정 전하 감소를 위한 장치로부터 기류를 수용하기 위한 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관과 직면하는 제1 표면상에 있으며, 상기 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 상기 둘러싸인 중공형 몸체의 상기 제2 표면상에 부착되는,
   기류 제어기.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 개구는 복수의 슬릿 또는 구멍을 포함하는,
   기류 제어기.
3. 제 2항에 있어서,
   복수의 구멍은 구체적인 영역을 겨냥하도록 긴 슬릿 개구 또는 구부러진 또는 원형 슬릿을 형성하기 위해 서로 이어지는,
   기류 제어기.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 둘러싸인 중공형 몸체는 L자 형상 구조로 구성되고, 개구는 적어도 L자 형상 구조의 수직 부분의 제1 표면상에 있고, 상기 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 제1 표면과 마주하는 L자 형상 구조의 수직 부분의 제2 표면상에 부착되는,
   기류 제어기.
5. 제 1항에 있어서,
   상기 둘러싸인 중공형 몸체는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1 U자 형상 구조로 구성되고, 상기 개구는 적어도 상기 U자 형상 구조의 두 개의 수직 부분의 제1 표면상에 있고, 상기 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 U자 형상의 수평 부분의 제1 표면상에 부착되는,
   기류 제어기.
6. 제 1항에 있어서,
   상기 둘러싸인 중공형 몸체는 U자 형상 튜브로 형성된 제2 U자 형상 구조로 구성되고, 상기 개구는 상기 U자 형상 튜브의 내측과 직면하는 표면을 따라 위치 설정되고, 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 U자 형상 튜브의 외측 표면상에 부착되는,
   기류 제어기.
7. 제 1항에 있어서,
   상기 둘러싸인 중공형 몸체는 링-형상 튜브로 형성된 링 형상 구조로 형성되고 상기 개구는 링-형상 튜브의 내측 표면을 따라 위치 설정되고 상기 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 링-형상 튜브의 외측 표면상에 부착되는,
   기류 제어기.
8. 제 1항에 있어서,
   외부 공기 커버 또는 인클로저는 유입 배관 또는 유출 배관 또는 양자 모두 위에 배치되어 특정 양의 분열성 공기-유동을 차단하거나 봉쇄하며, 외부 공기 커버 또는 인클로저는 연장 가능하고 조정 가능한,
   기류 제어기.
9. 제 1항에 있어서,
   상기 유입 배관은 둘러싸인 중공형 몸체의 제1 표면에 대해 공간 갭을 가지고 위치 설정되거나 상기 제1 표면상의 개구와 직면하도록 상기 둘러싸인 중공형 몸체의 제3 표면에 부착되는,
   기류 제어기.
10. 제1 항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기, 둘러싸인 중공형 몸체는 더 넓거나 더 작은 영역을 덮기 위한 가요성을 제공하도록 연장가능하고 조정가능하며, 상기 둘러싸인 중공형 몸체는 기류를 더 많이 제어하도록 하나 이상의 공기 흡입 장치가 설치되고, 상기 기류 제어기는 인클로저로 제작되는,
    기류 제어기.
11. 기류 제어기로서,
    둘러싸인 제1 중공형 몸체 및 둘러싸인 제2 중공형 몸체를 포함하며, 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관이 상기 둘러싸인 제1 중공형 몸체의 제1 표면과 유동가능하게 연통되며, 제1 개구는 상기 둘러싸인 중공형 몸체의 제2 표면상에 있고, 제2 개구는 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관으로부터 나오는 기류를 수용하도록 상기 둘러싸인 제1 중공형 몸체의 제2 표면과 직면하는 상기 둘러싸인 제2 중공형 몸체의 제1 표면상에 있으며, 상기 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 상기 둘러싸인 제2 중공형 몸체의 제2 표면상에 부착되는,
    기류 제어기.
12. 제 11항에 있어서,
    상기 제1 개구 및 제2 개구는 복수의 슬릿 또는 구멍을 포함하는,
    기류 제어기.
13. 제 12항에 있어서,
    상기 복수의 구멍은 구체적 영역을 겨냥하도록 긴 슬릿 개구 또는 구부러진 또는 원형 슬릿을 형성하기 위해 서로 이어지는,
    기류 제어기.
14. 제 11항에 있어서,
    상기 둘러싸인 제1 또는 제2 중공형 몸체는 정육면체 형상 구조, 직사각형 형상 구조, 타원형 형상 구조, 오각형 형상 구조, 육각형 형상 구조, 원형 형상 구조 또는 불규칙 형상 구조로 구성되며 상기 둘러싸인 제1 중공형 몸체 및 상기 둘러싸인 제2 중공형 몸체는 개별적으로 또는 구조적으로 함께 연결되는,
    기류 제어기.
15. 제 13항에 있어서,
    상기 둘러싸인 제1 중공형 몸체는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1 U자 형상 구조로 구성되고, 제1 개구는 적어도 제1 U자 형상 구조로 서로 직면하는 두 개의 수직 부분의 제1 표면상에 있고, 상기 정 전하 감소를 위한 장치의 유입 배관은 상기 제1 U자 형상 구조의 수평 부분상에 부착되는,
    기류 제어기.
16. 제 15항에 있어서,
    상기 둘러싸인 제2 중공형 몸체는 정육면체 형상 구조, 직사각형 형상 구조, 타원형 형상 구조, 오각형 형상 구조, 육각형 형상 구조, 원형 형상 구조 또는 불규칙 형상 구조로 구성되는,
    기류 제어기.
17. 제 15항에 있어서,
    상기 둘러싸인 제2 중공형 몸체는 두 개의 수직 부분 및 하나의 수평 부분을 포함하는 제1 U자 형상 구조로 구성되고, 제2 개구는 적어도 제1 U자 형상 구조의 두 개의 수직 부분의 제1 표면상에 있고, 상기 정 전하 감소를 위한 장치의 유출 배관은 기류를 방출하기 위한 상기 제1 U자 형상 구조의 수평 부분의 제2 표면상에 부착되는,
    기류 제어기.
18. 제 11항 내지 제 17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 둘러싸인 중공형 몸체는 더 넓거나 더 작은 영역을 덮도록 가요성을 제공하도록 연장 가능하고 조정 가능하며, 상기 둘러싸인 중공형 몸체에는 기류를 더 많이 제어하도록 하나 이상의 공기 흡입 장치가 설치되고, 상기 기류 제어기는 인클로저로 제작되는,
    기류 제어기.
19. 정 전하 감소를 위한 시스템으로서,
    기류 발생을 위한 기류 발생기;
    상기 기류 발생기로부터 둘러싸이지 않은 개방 기류 통로 영역으로 기류를 연결하고 전달하기 위한 유입 배관, 유동 경로에서 기류 수준을 감지하기 위한 유동 경로를 따라 기류 유동 통로의 임의의 지점 내에 위치 설정되는 기류 수준 제어 유닛의 기류 수준 센서, 폐쇄 루프 제어식 기류 전달 시스템을 형성하기 위한 기류 발생기에 연결하는 설치된 공기 흡입 수단을 구비한 유출 배관; 및
    제1 항 내지 제18 항 중 어느 한 항에 따른 하나 이상의 기류 제어기를 포함하는,
    정 전하 감소를 위한 시스템.
20. 제 19항에 있어서,
    상기 기류 발생기는 미리 결정된 습기 수준에서 습한 기류를 발생시키기 위한 습기 발생기 또는 미리 결정된 이온화 수준에서 이온화된 기류를 발생시키기 위한 공기 이온화기이며, 상기 기류 수준 센서는 유동 경로 내의 습기 수준을 감지하기 위한 습기 수준 센서 또는 유동 경로 내의 이온화 수준을 감지하기 위한 이온화 수준 센서인,
    정 전하 감소를 위한 시스템.

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