CN104396349B - 气流控制器和静电电荷减少系统 - Google Patents

Abstract

公开了一种气流控制器和静电电荷减少系统。所述气流控制器包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体，在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管的开口以从所述静电电荷减少装置接收气流，所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述闭合空心体的所述第二表面从而将所述气流排出。这样，本发明更加有效地阻止了“气流通道泄漏”，并通过多孔结构设计在扩大其气流吸收覆盖面积的同时不会增加在出口管处的原始吸力。

Description

气流控制器和静电电荷减少系统

技术领域

本发明涉及用于减少静电电荷的技术，更具体地说，涉及一种气流控制器和静电电荷减少系统。

背景技术

在典型的半导体制造工业之中，测试仪机(test handler)处的微芯片通常在测试单元之后通过沿着被称为流道的金属道运送出去。激烈的市场竞争以及电子消费品(如电视机、录像机、计算机、移动电话和其他电子设备的主机等等)的持续降价给制造商增加了巨大的压力，使其迫切需要通过更快的生产速度和制造更小的芯片来降低成本。这转化成要求IC芯片沿测试仪机更快地运动。不幸地是，生产速度的加快将造成摩擦起电，从而导致更多的静电电荷生成，因而造成在测试操作之后，沿着流道运送的IC芯片由于静电引力相互粘连。在制造小体积IC芯片时，这一问题更加显著。微小的静电生成将造成大量的IC芯片粘连，因为此时IC芯片的重量很轻。这种粘连将造成机器故障并严重影响制造过程的产量和产率。

在先的未公布的申请PCT/CN2011/076825公开了一种静电电荷减少装置，其能够解决上述问题。

然而，在所述在先的未公布的申请PCT/CN2011/076825提供的技术方案在所述湿气控制闭合系统外的开放空间体系中的应用受到限制。然而实际上，很多工作操作是在开放空间的工作区域内执行的。所述在先的未公布的申请中的静电电荷减少装置的使用仅仅限于闭合系统内的局部空气。

为了克服上述缺陷，本领域技术人员可以设计一种系统，使得稳定的受控气流以位于管路上高吸力通过空间间隔的气隙将从进口管12吹出的气流吸入到出口管22从而形成气体通道，进而形成如图1A所示的自由泄漏通道控制系统。

然而，在面对较大或者是古怪形状的目标物体时，使用上述系统中的吹出和吸入产生的从进口管12到出口管22的受控气流通道的效率很难准确地覆盖整个目标物体，因而会影响将要被处理的目标的整个静电电荷中和。

可以通过提供多个隔开设置的出口管以试图获得覆盖整个要处理的目标物体完整的气流通道。但是制造这一复杂系统的费用很高因此缺乏商业吸引力。

因此，需要进行进一步的研究和开发以克服上述缺陷。

发明内容

本发明的首要目地是提供一种能够更加有效地阻止气流通道泄漏以在不影响工作环境的周围相对湿度的情况下、更加全面地减少静电电荷的气流控制器。

根据本发明的气流控制器包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体。在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管的开口以从所述静电电荷减少装置接收气流。所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述闭合空心体的所述第二表面从而将所述气流排出。

优选地，所述开口包括多个缝隙或多个孔。

优选地，所述多个孔连接在一起从而形成长缝状开口、弯曲缝状开口或圆形缝状开口以指向特定区域。

优选地，所述闭合空心体配置成立方体结构、矩形结构、椭圆形结构、五边形结构、六边形结构、圆形结构或不规则形结构。

优选地，所述闭合空心体配置成L形结构。所述开口至少设置在所述L形结构的垂直部分的第一表面，且所述出口管附连到所述L形结构的所述垂直部分的与所述第一表面相对的第二表面从而将所述气流排出。

优选地，所述闭合空心体配置成第一U形结构。所述第一U形结构包括两个垂直部分和一个水平部分。所述开口至少设置在所述第一U形结构的所述两个垂直部分的第一表面，且所述出口管附连到所述第一U形结构的所述水平部分的第一表面从而将所述气流排出。

优选地，所述闭合空心体配置成由U形管构成的第二U形结构。所述开口沿着所述U形管的内侧表面设置，且所述出口管附连在所述U形管的外侧表面从而将所述气流排出。

优选地，所述闭合空心体配置成由环形管构成的环形结构。所述开口沿着所述环形管的内侧表面设置，且所述出口管附连在所述环形管的外侧表面从而将所述气流排出。

优选地，在所述进口管、所述出口管或者两者上设置外部气罩或外壳以封锁或阻止适量的分裂气流。在此，所述外部气罩或外壳是伸缩可调的。

优选地，所述进口管设置成与所述闭合空心体的第一表面之间存在气隙空间或者所述进口管直接附连到所述闭合空心体的第三表面从而面向所述第一表面上的开口。

优选地，所述闭合空心体伸缩可调以覆盖更大或更小的区域。所述闭合空心体安装有至少一个吸气装置以对所述气流进行更多的控制。优选地，所述气流控制器具有外壳。

本发明的次要目地是提供一种气流控制器，包括第一闭合空心体和第二闭合空心体。静电电荷减少装置的进口管与所述第一闭合空心体的第一表面流体连通。所述第一闭合空心体的第二表面上有第一开口。所述第二闭合空心体的面向所述第一闭合空心体的所述第二表面的第一表面上有第二开口以接收从所述静电电荷减少装置的进口管流出的气流。静电电荷减少装置的出口管附连到所述第二闭合空心体的第二表面从而将所述气流排出。

优选地，所述第一开口包括多个缝隙或多个孔，所述第二开口包括多个缝隙或多个孔。

优选地，所述多个孔连接在一起从而形成长缝状开口、弯曲缝状开口或圆形缝状开口以指向特定区域。

优选地，所述进口管设置成与所述第一闭合空心体的第一表面之间存在气隙空间，且在所述第一闭合空心体的第一表面上有第三开口，或者所述进口管直接附连到所述第一闭合空心体的第一表面从而面向所述第一闭合空心体的第二表面上的第一开口。

优选地，所述第一或第二闭合空心体配置成立方体结构、矩形结构、椭圆形结构、五边形结构、六边形结构、圆形结构或不规则形结构。

优选地，所述第一和第二闭合空心体是彼此分离的，或者是彼此结构连结的。

优选地，所述第一闭合空心体配置成第一U形结构。所述第一U形结构包括两个垂直部分和一个水平部分。所述第一开口至少设置在所述第一U形结构的所述两个垂直部分的彼此面向对方的第一表面，且所述进口管位于所述第一U形结构的所述水平部分。

优选地，所述第二闭合空心体配置成立方体结构、矩形结构、椭圆形结构、五边形结构、六边形结构、圆形结构或不规则形结构。

优选地，所述第二闭合空心体配置成第一U形结构。所述第一U形结构包括两个垂直部分和一个水平部分。所述第二开口至少设置在所述第一U形结构的所述两个垂直部分的第一表面，且所述出口管附连在所述第一U形结构的所述水平部分的第二表面从而将所述气流排出。

优选地，所述第一和第二闭合空心体伸缩可调以覆盖更大或更小的区域。所述第一和第二闭合空心体安装有至少一个吸气装置以对所述气流进行更多的控制。所述气流控制器具有外壳。

优选地，在所述进口管、所述出口管或者两者上设置外部气罩或外壳以封锁或阻止适量的分裂气流。在此所述外部气罩或外壳是伸缩可调的。

本发明的第三目地是提供一种静电电荷减少系统，包括用于生成气流的气流生成器、用于连接所述气流生成器到非闭合开放气流通道区域以将所述气流从所述气流生成器输送到非闭合开放气流通道区域的进口管，沿着气流路径在所述气流路径的任何位点设置的气流控制单元的气流水平传感器，具有吸气单元的出口管，以及至少一个上述的气流控制器。其中所述气流水平传感器用于感应气流路径中的气流水平。所述出口管附连到所述气流生成器以形成密闭环路的受控气流输送系统。

优选地，所述气流生成器是用于生成具有预定湿气水平的湿气流的湿气生成器，所述气流水平传感器是用于感应气流路径中的湿气水平的湿气水平感应器。

优选地，所述气流生成器是用于生成具有预定离子化水平的离子化气流的离子化气流生成器，所述气流水平传感器是用于感应气流路径中的离子化水平的离子化水平感应器。

这样，本发明更加有效地阻止了“气流通道泄漏”，并通过多孔结构设计在扩大其气流吸收覆盖面积的同时不会增加在出口管处的原始吸力。这一独特的结构设计技术地提供了更加简便且无需额外的吸力的充分包围目标物体的有效方法。同时，所述设计更加有效地阻止了“气流通道泄漏”以在不影响工作环境的相对湿度的前提下，获得更加完善的静电电荷减少。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：

图A是气流控制器的常用设计示意图；

图1(a)-(c)是根据本发明的气流控制器的第一实施例的示意图；

图2是根据本发明的气流控制器的第二实施例的示意图；

图3(a)是根据本发明的气流控制器的第三实施例的示意图；

图3(b)是根据本发明的气流控制器的第四实施例的示意图；

图4是根据本发明的气流控制器的第五实施例的示意图；

图5(a)-(b)是根据本发明的气流控制器的第六实施例的示意图；

图6是根据本发明的气流控制器的第七实施例的示意图；

图7是根据本发明的气流控制器的第八实施例的示意图；

图8是根据本发明的气流控制器的第九实施例的示意图；

图9(a)-(b)示出了根据本发明的进口管和出口管；

图10(a)是根据本发明的气流控制器的第十实施例的示意图；

图10(b)是根据本发明的气流控制器的第十一实施例的示意图；

图11是根据本发明的气流控制器的第十二实施例的示意图；

图12是根据本发明的气流控制器的第十三实施例的示意图；

图13是根据本发明的气流控制器的第十四实施例的示意图；

图14是根据本发明的气流控制器的第十五实施例的示意图；

图15是根据本发明的气流控制器的第十六实施例的示意图；

图16是根据本发明的气流控制器的第十七实施例的示意图；

图17(a)-(b)示出了根据本发明的气流控制器的附加外盖；

图18是根据本发明的静电电荷减少系统的第一实施例的示意图；

图19是根据本发明的静电电荷减少系统的第二实施例的示意图；

图20是根据本发明的静电电荷减少系统的第三实施例的示意图。

具体实施方式

下面参照以下描述和附图可以更好地理解本发明的各个优点、方面和新颖特征以及示出的实施例。然而在此列出的本发明的各个实施例仅仅是用于示例而非限制目地的。在下图中，箭头代表气流方向。

图1(a)是根据本发明的气流控制器的第一实施例的示意图。参照图1(a)，气流控制器包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体3。在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管12的多个孔4以从所述静电电荷减少装置的进口管12接收气流。所述静电电荷减少装置的出口管22附连到所述闭合空心体3的所述第二表面从而将所述气流排出。

本领域技术人员知悉，所述气流可以是用于生成具有预定湿气水平的湿气流的湿气生成器所生成的湿气流。或者所述气流可以是用于生成具有预定离子化水平的离子化气流的离子化气流生成器所生成的离子化气流。此外，所述气流还可以包括以其他方式生成的湿气流或离子化气流。

根据本发明，提供了一种更加有效地阻止“气流通道泄漏”的技术方案。通过气流通道上的多孔结构设计在扩大其气流吸收覆盖面积的同时不会增加在出口管处的原始吸力。这一独特的结构设计技术地提供了更加简便且无需额外的吸力的充分包围目标物体的有效方法。同时，所述设计更加有效地阻止了“气流通道泄漏”以在不影响工作环境的相对湿度的前提下，获得更加完善的静电电荷减少。优选地，所述闭合空心体可以配置成立方体结构、矩形结构、椭圆形结构、五边形结构、六边形结构、圆形结构或不规则形结构。

本领域技术人员知悉，多个孔4可以配置成相同或者不同的形状，例如圆形、矩形、椭圆形、多边形或者其他规则或是不规则形状。同时，所述多个孔4还可以单独设置或者彼此重叠设置。在一个实施例中，所述多个孔连接在一起从而形成长缝状开口、弯曲缝状开口或圆形缝状开口以指向特定区域。本领域技术人员知悉，虽然仅仅示出了一个进口管12和一个出口管22，但是本发明可以包括多个进口管和出口管。

图1(b)依然是根据本发明的气流控制器的第一实施例的示意图。与图1(a)相比，图1(b)所示的气流控制器的区别仅仅在于，多个缝隙44设置在面向进口管12的第一表面上。本领域技术人员知悉，所述多个缝隙44可以配置成相同或者不同的形状，例如圆形、矩形、椭圆形、多边形或者其他规则或是不规则形状。

图1(c)依然是根据本发明的气流控制器的第一实施例的示意图。与图1(a)相比，图1(c)所示的气流控制器的区别仅仅在于，两个L形缝隙45在面向进口管12的第一表面上形成矩形框架结构。另外，在所述第一表面上还设置有交叉的4条线性缝隙46。本领域技术人员知悉，除了缝隙44-46和孔4以外，还可以在所述闭合空心体3的面向进口管12的第一表面上设置其他的开口(例如网格)。

图2是根据本发明的气流控制器的第二实施例的示意图。参照图2，所述气流控制器包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体3。在本实施例中，所述闭合空心体3配置成L形结构。多个孔4设置在所述L形结构的垂直部分的第一表面上，面向静电电荷减少装置的进口管12以从所述静电电荷减少装置的进口管12接收气流。静电电荷减少装置的出口管22附连到所述L形结构的所述垂直部分的与所述第一表面相对的第二表面从而将所述气流排出。本领域技术人员知悉，在本发明的另一实施例中，多个孔、缝隙或网格设置在所述L形结构的水平部分的第一表面上以面向静电电荷减少装置的进口管12。

图3(a)是根据本发明的气流控制器的第三实施例的示意图。参照图3(a)，所述气流控制器包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体3。在本实施例中，所述闭合空心体3配置成第一U形结构。所述第一U形结构包括两个垂直部分和一个水平部分。多个孔4至少设置在所述第一U形结构的所述两个垂直部分的第一表面，面向静电电荷减少装置的进口管12以从所述静电电荷减少装置的进口管12接收气流。所述静电电荷减少装置的出口管22附连到所述第一U形结构的所述水平部分的第一表面从而将所述气流排出。本领域技术人员知悉，在本发明的另一实施例中，多个孔、缝隙或网格设置在所述U形结构的水平部分的第一表面上以面向静电电荷减少装置的进口管12。

图3(b)是根据本发明的气流控制器的第四实施例的示意图。参照图3(b)，所述闭合空心体3配置成由U形管构成的第二U形结构。所述多个孔4沿着所述U形管的内侧表面设置，以从静电电荷减少装置的进口管12接收气流。所述静电电荷减少装置的出口管22附连在所述U形管的外侧表面从而将所述气流排出。

图4是根据本发明的气流控制器的第五实施例的示意图。参照图4，所述气流控制器包括配置成由环形管构成的环形结构的闭合空心体3。多个孔4沿着所述环形管的内侧表面设置，以从静电电荷减少装置的进口管12接收气流。所述静电电荷减少装置的出口管22附连在所述环形管的外侧表面从而将所述气流排出。

图5(a)是根据本发明的气流控制器的第六实施例的示意图。参照图5(a)，所述气流控制器包括第一闭合空心体31和第二闭合空心体32。在本实施例中，静电电荷减少装置的进口管12连接到所述第一闭合空心体31的第一表面。在所述第一闭合空心体31的第二表面上设置第一多个孔41。在所述第二闭合空心体32的第一表面上同样设置第二多个孔42以面向所述第一闭合空心体31的第二表面从而接收来自所述静电电荷减少装置的进口管12的气流。所述静电电荷减少装置的出口管22附连在所述第二闭合空心体32的第二表面从而将所述气流排出。

在本实施例中，所述第一和第二闭合空心体配置成圆环形结构。在其他实施例中，所述第一和第二闭合空心体可以配置成立方体结构、矩形结构、椭圆形结构、五边形结构、六边形结构、圆形结构或不规则形结构。所述第一和第二闭合空心体可以相同，也可以不同。本领域技术人员知悉，所述第二闭合空心体可以是工作台的一部分，其包括平坦桌顶的闭合空心坯。在所述闭合空心坯的部分或者全部表面上具有多个孔，面向所述第一闭合空心体31的第二表面从而接收从所述第一闭合空心体31的第二表面流出的气流。另一出口管22附连在所述工作台的第二表面以从工作台排出气流。

图5(b)也是根据本发明的气流控制器的第六实施例的示意图。参照图5(b)，所述气流控制器包括第一闭合空心体31和第二闭合空心体32。在本实施例中，静电电荷减少装置的进口管12与所述第一闭合空心体31的第一表面50间隔一定距离设置。在所述第一闭合空心体31的第一表面50上设置多个孔51以从进口管12接收气流。在所述第一闭合空心体31的第二表面52上设置多个孔41。在所述第二闭合空心体32的第一表面53上同样设置第二多个孔42以面向所述第一闭合空心体31的第二表面52从而接收来自所述静电电荷减少装置的进口管12的气流。所述静电电荷减少装置的出口管22附连在所述第二闭合空心体32的第二表面54从而将所述气流排出。

在本实施例中，所述第一和第二闭合空心体配置成圆环形结构。在其他实施例中，所述第一和第二闭合空心体可以配置成立方体结构、矩形结构、椭圆形结构、五边形结构、六边形结构、圆形结构或不规则形结构。所述第一和第二闭合空心体可以相同，也可以不同。

图6是根据本发明的气流控制器的第七实施例的示意图。所述气流控制器的第七实施例与图1所示的第一实施例相同，其区别仅在于，闭合空心体3是矩形形状，其长度非常长从而可以最大化气流覆盖面积，从而获得特定的应用。优选地，所述闭合空心体3的孔可以是连接到一起从而形成长缝状开口从而覆盖更宽的区域，或者形成弯曲缝状开口或圆形缝状开口以指向特定区域，从而获得特定的应用(未示出)。优选地，所述进口管12可以重新设计从而形成长条状开口以覆盖更宽的面积，从而获得特定的应用(未示出)。

图7是根据本发明的气流控制器的第八实施例的示意图。所述气流控制器的第八实施例与图6所示的第七实施例相同，其区别仅在于，所述闭合空心体3设计成具有在一个或多个方向上的延长柱或臂的伸缩可调结构，从而覆盖更宽或者更窄的区域。这一设计使其具有良好的弹性以获得更好的应用。

图8是根据本发明的气流控制器的第九实施例的示意图。参照图8，所述气流控制器包括第一闭合空心体31和第二闭合空心体32。在本实施例中，静电电荷减少装置的进口管12与所述第一闭合空心体31的第一表面连接。在所述第一闭合空心体31的第二表面上设置第一多个孔41以释放静电电荷减少装置的进口管12的气流。在所述第二闭合空心体32的第一表面上同样设置第二多个孔42以面向所述第一闭合空心体31的第二表面从而接收来自所述静电电荷减少装置的进口管12的气流。所述静电电荷减少装置的出口管22附连在所述第二闭合空心体32的第二表面从而将所述气流排出。

在本实施例中，所述第一闭合空心体31和第二闭合空心体32配置成矩形形状。本领域技术人员知悉，所述第一闭合空心体31和第二闭合空心体32可以是半圆环形或本发明的各个段落中的其他形状。此外，所述第一闭合空心体31和第二闭合空心体32可以是结构连接到一起的。优选地，在本发明的各个实施例中，进口管12、出口管22与紧密配合的夹持结构(如图9(a)-(b)所示)连接，从而允许进口管12和出口管22在开放空间的气流通道中移动。在本发明的另一实施例中，至少一个吸气装置(未示出)安装在气流路径的任何位点从而更好地控制气流。

图10(a)是根据本发明的气流控制器的第十实施例的示意图。图10(b)是根据本发明的气流控制器的第十一实施例的示意图。如图10(a)和10(b)所示，所述闭合空心体3制造或构造成具有附加圆环空间以为气流通道中的工作运动提供更大的空间，以适应某些关键部件组装操作。在此这些组装部件不会存在接触任何邻近目标物体或是工作面的风险。

图11是根据本发明的气流控制器的第十二实施例的示意图。所述气流控制器的第十二实施例与图1所示的第一实施例相同，其区别仅在于，静电电荷减少装置的进口管12制造成具有双头出口以获得更广泛的应用。

图12是根据本发明的气流控制器的第十三实施例的示意图。如图12所示，所述气流控制器包括第一闭合空心体31和第二闭合空心体32。在本实施例中，所述第一闭合空心体31配置成包括两个垂直部分和一个水平部分的第一U形结构。第一多个孔位于所述第一U形结构的两个垂直部分的彼此面对的第一表面。静电电荷减少装置的进口管12位于所述第一U形结构的水平部分。如图12所示，第二闭合空心体32配置成矩形形状。在另一实施例中，第二闭合空心体32可配置成正方形形状、椭圆形状、六边形形状、八边形形状或其他规则或不规则形状(如图13所示等等)。

在图13所示的另一实施例中，所述第二闭合空心体32同样配置成包括两个垂直部分和一个水平部分的第一U形结构。第二多个孔42位于所述第一U形结构的两个垂直部分和一个水平部分的第一表面。所述出口管22附连到所述第一U形结构的水平部分的第二表面。

图14是根据本发明的气流控制器的第十五实施例的示意图。所述气流控制器的第十五实施例与图1所示的第一实施例相同，其区别仅在于，所述闭合空心体3安装有内部气流控制板或内部气流控制片。所述内部气流控制板或内部气流控制片具有相同数量或者不同数量的孔。通过滑动或者移动所述内部气流控制板或内部气流控制片的位置，可以调节和控制流入的气体的量。当然，图14中所示的实施例可以根据实际需要在本发明的每个实施例中实现。

图15是根据本发明的气流控制器的第十六实施例的示意图。图15中的所述气流控制器的第十六实施例与图1所示的第一实施例相同，其区别仅在于，静电电荷减少装置的进口管12制造成具有可旋转或可调出口头以获得更广泛的应用。

图16是根据本发明的气流控制器的第十七实施例的示意图。图16中的所述气流控制器的第十七实施例与图11所示的第十二实施例相同，其区别仅在于，静电电荷减少装置的进口管12制造成具有可旋转或可调出口头以获得更广泛的应用。优选地，图17(a)和17(b)示出了在所述进口管12和所述出口管22上设置外部气罩或外壳以封锁或阻止在减少静电电荷的系统周围环境中出现适量的分裂气流，从而最小化气流紊乱量，进而更好地控制所述减少静电电荷的系统。

图18是根据本发明的静电电荷减少系统的第一实施例的示意图。如图18所示，本发明的静电电荷减少系统包括用于生成具有预定湿气水平的湿气流的湿气生成器、用于连接所述湿气生成器到非闭合开放气流通道区域以将所述湿气流从所述湿气生成器输送到非闭合开放气流通道区域的进口管12，沿着气流路径在所述气流路径的任何位点设置的湿气水平控制单元的湿气水平传感器，具有吸气单元的出口管22。其中所述湿气水平传感器用于感应气流路径中的湿气水平。所述出口管33附连到所述气流生成器以形成密闭环路的受控气流输送系统。所述静电电荷减少系统进一步包括气流控制器。所述气流控制器包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体3。在所述第一表面上具有面向进口管12的多个孔4以从所述进口管12接收气流。出口管22附连到所述闭合空心体3的所述第二表面从而将所述气流排出。本领域技术人员知悉，图1-16中所示的气流控制器，或其一个或多个组合均可以用于本发明的静电电荷减少系统从而使得本发明更加灵活多变，以最大化本发明的使用。本领域技术人员可以了解所述气流控制器可以由相同或者不同的第一和第二闭合空心体组成。

图19是根据本发明的静电电荷减少系统的第二实施例的示意图。如图19所示，本发明的静电电荷减少系统包括用于生成具有预定湿气水平的湿气流的湿气生成器124、用于连接所述湿气生成器124到非闭合开放气流通道区域以将所述湿气流从所述湿气生成器124输送到非闭合开放气流通道区域的进口管121，沿着气流路径在所述气流路径的任何位点设置的湿气水平控制单元的湿气水平传感器125，具有吸气单元的出口管221。其中所述湿气水平传感器125用于感应气流路径中的湿气水平。所述出口管221附连到所述湿气生成器124以形成密闭环路的受控气流输送系统。所述静电电荷减少系统进一步包括两个气流控制器80和90。在一个实施例中，所述湿气生成器124由水浴气泡生成单元组成。在另一实施例中，所述湿气生成器124设置成鼓吹气体通过湿表面或者超声水蒸气生成器以生成湿气流。

如图19所示，所述气流控制器80包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体81。多个孔位于闭合空心体81的面向管123的第一表面。所述管123连接进口管121。出口管221附连到闭合空心体81的第二表面以排出湿气流。

气流控制器90包括第一闭合空心体91和第二闭合空心体92。在本实施例中，连接到进口管121的管122连接到第一闭合空心体91的第一表面。第一多个孔设置在第一闭合空心体91的第二表面。第二多个孔设置在所述第二闭合空心体92的第一表面，面向所述第一闭合空心体91的第二表面以接收从进口管121流出的湿气流。管222附连到第二闭合空心体92的第二表面已将湿气流排出。所述管222进一步附连到所述闭合空心体81的第三表面。在本发明的另一实施例中，所述进口管121、管122、管123可以制造成具有如图11所示的双头出口管。

图20是根据本发明的静电电荷减少系统的第三实施例的示意图。如图20所示，本发明的静电电荷减少系统包括用于生成具有预定离子化水平的离子化气流的离子化气流生成器223、用于连接所述离子化气流生成器223到非闭合开放气流通道区域以将所述离子化气流从所述离子化气流生成器223输送到非闭合开放气流通道区域的进口管121，沿着气流路径在所述气流路径的任何位点设置的离子化水平控制单元的离子化水平传感器，具有吸气单元的出口管221。其中所述离子化水平传感器125用于感应气流路径中的离子化水平。所述出口管221附连到所述离子化气流生成器223以形成密闭环路的受控气流输送系统。所述静电电荷减少系统进一步包括如图19所示的两个气流控制器80和90。

根据本发明，提供了一种更加有效地阻止“气流通道泄漏”的技术方案。通过气流通道上的多孔结构设计在扩大其气流吸收覆盖面积的同时不会增加在出口管处的原始吸力。这一独特的结构设计技术地提供了更加简便且无需额外的吸力的充分包围目标物体的有效方法。同时，所述设计更加有效地阻止了“气流通道泄漏”以在不影响工作环境的相对湿度的前提下，获得更加完善的静电电荷减少。虽然没有公开，但是本领域技术人员可以理解，图2-17所示的其他实施例中的其他气流控制器可以结合到图18-20中所示的静电电荷减少系统。

本发明是通过一些实施例进行描述的，本领域技术人员知悉，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外，在本发明的教导下，可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本发明的精神和范围。因此，本发明不受此处所公开的具体实施例的限制，所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本发明的保护范围。

Claims (19)

1.一种气流控制器，其特征在于，包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体，在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管的开口以从所述静电电荷减少装置接收气流，所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述闭合空心体的所述第二表面从而将所述气流排出；所述闭合空心体配置成L形结构，所述开口至少设置在所述L形结构的垂直部分的第一表面，且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连到所述L形结构的所述垂直部分的与所述第一表面相对的第二表面从而将所述气流排出。

2.根据权利要求1所述的气流控制器，其特征在于，所述开口包括多个缝隙或多个孔。

3.根据权利要求2所述的气流控制器，其特征在于，所述多个孔连接在一起从而形成长缝状开口、弯曲缝状开口或圆形缝状开口以指向所述进口管。

4.一种气流控制器，其特征在于，包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体，在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管的开口以从所述静电电荷减少装置接收气流，所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述闭合空心体的所述第二表面从而将所述气流排出；所述闭合空心体配置成第一U形结构，所述第一U形结构包括两个垂直部分和一个水平部分，所述开口至少设置在所述第一U形结构的所述两个垂直部分的第一表面，且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连到所述第一U形结构的所述水平部分的第一表面从而将所述气流排出。

5.一种气流控制器，其特征在于，包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体，在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管的开口以从所述静电电荷减少装置接收气流，所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述闭合空心体的所述第二表面从而将所述气流排出；所述闭合空心体配置成由U形管构成的第二U形结构，所述开口沿着所述U形管的内侧表面设置，且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连在所述U形管的外侧表面从而将所述气流排出。

6.一种气流控制器，其特征在于，包括具有第一表面和第二表面的闭合空心体，在所述第一表面上具有面向静电电荷减少装置的进口管的开口以从所述静电电荷减少装置接收气流，所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述闭合空心体的所述第二表面从而将所述气流排出；所述闭合空心体配置成由环形管构成的环形结构，所述开口沿着所述环形管的内侧表面设置，且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连在所述环形管的外侧表面从而将所述气流排出。

7.根据权利要求1所述的气流控制器，其特征在于，在所述进口管、所述出口管或者两者上设置外部气罩或外壳以封锁或阻止适量的分裂气流，其中所述外部气罩或外壳是伸缩可调的。

8.根据权利要求1所述的气流控制器，其特征在于，所述进口管设置成与所述闭合空心体的第一表面之间存在气隙空间或者所述进口管直接附连到所述闭合空心体的第三表面从而面向所述第一表面上的开口。

9.根据权利要求1-8中任一权利要求所述的气流控制器，其特征在于，所述闭合空心体伸缩可调以覆盖更大或更小的区域，所述闭合空心体安装有至少一个吸气装置以对所述气流进行更多的控制，其中所述气流控制器具有外壳。

10.一种气流控制器，其特征在于，包括第一闭合空心体和第二闭合空心体，其中静电电荷减少装置的进口管与所述第一闭合空心体的第一表面流体连通，所述第一闭合空心体的第二表面上有第一开口，所述第二闭合空心体的面向所述第一闭合空心体的所述第二表面的第一表面上有第二开口以接收从所述静电电荷减少装置的进口管流出的气流，所述静电电荷减少装置的出口管附连到所述第二闭合空心体的第二表面从而将所述气流排出。

11.根据权利要求10所述的气流控制器，其特征在于，所述第一开口包括多个缝隙或多个孔，所述第二开口包括多个缝隙或多个孔。

12.根据权利要求11所述的气流控制器，其特征在于，所述多个孔连接在一起从而形成长缝状开口、弯曲缝状开口或圆形缝状开口以指向所述进口管。

13.根据权利要求10所述的气流控制器，其特征在于，所述第一或第二闭合空心体配置成立方体结构、矩形结构、椭圆形结构、五边形结构、六边形结构、圆形结构或不规则形结构；且所述第一和第二闭合空心体是彼此分离的，或者是彼此结构连结的。

14.根据权利要求12所述的气流控制器，其特征在于，所述第一闭合空心体配置成第一U形结构；所述第一U形结构包括两个垂直部分和一个水平部分，所述第一开口至少设置在所述第一U形结构的所述两个垂直部分的彼此面向对方的第一表面，且所述静电电荷减少装置的所述进口管位于所述第一U形结构的所述水平部分。

15.根据权利要求14所述的气流控制器，其特征在于，所述第二闭合空心体配置成立方体结构、矩形结构、椭圆形结构、五边形结构、六边形结构、圆形结构或不规则形结构。

16.根据权利要求14所述的气流控制器，其特征在于，所述第二闭合空心体配置成第一U形结构，所述第一U形结构包括两个垂直部分和一个水平部分，所述第二开口至少设置在所述第一U形结构的所述两个垂直部分的第一表面，且所述静电电荷减少装置的所述出口管附连在所述第一U形结构的所述水平部分的第二表面从而将所述气流排出。

17.根据权利要求10-16中任一权利要求所述的气流控制器，其特征在于，所述闭合空心体伸缩可调以覆盖更大或更小的区域，所述闭合空心体安装有至少一个吸气装置以对所述气流进行更多的控制，其中所述气流控制器具有外壳。

18.一种静电电荷减少系统，包括：

用于生成气流的气流生成器、用于连接所述气流生成器到非闭合开放气流通道区域以将所述气流从所述气流生成器输送到所述非闭合开放气流通道区域的进口管，沿着气流路径在所述气流路径的任何位点设置的气流控制单元的气流水平传感器，具有吸气单元的出口管，其中所述气流水平传感器用于感应所述气流路径中的气流水平，所述出口管附连到所述气流生成器以形成密闭环路的受控气流输送系统；

以及至少一个根据权利要求1-17中任意一项所述的气流控制器。

19.根据权利要求18所述的静电电荷减少系统，其特征在于，所述气流生成器是用于生成具有预定湿气水平的湿气流的湿气生成器，所述气流水平传感器是用于感应所述气流路径中的湿气水平的湿气水平感应器；或者所述气流生成器是用于生成具有预定离子化水平的离子化气流的离子化气流生成器，所述气流水平传感器是用于感应所述气流路径中的离子化水平的离子化水平感应器。