TW201420971A - 氣流控制器和靜電電荷減少系統 - Google Patents

Abstract

本發明公開了一種氣流控制器和靜電電荷減少系統。所述氣流控制器包括具有第一表面和第二表面的閉合空心體，在所述第一表面上具有面向靜電電荷減少裝置的進口管的開口以從所述靜電電荷減少裝置接收氣流，所述靜電電荷減少裝置的出口管附連到所述閉合空心體的所述第二表面從而將所述氣流排出。這樣，本發明更加有效地阻止了“氣流通道洩漏”，並通過多孔結構設計在擴大其氣流吸收覆蓋面積的同時不會增加在出口管處的原始吸力。

Description

氣流控制器和靜電電荷減少系統

本發明涉及用於減少靜電電荷的技術，更具體地說，涉及一種氣流控制器和靜電電荷減少系統

在典型的半導體製造工業之中，測試儀機(test handler)處的微晶片通常在測試單元之後通過沿著被稱為流道的金屬道運送出去。激烈的市場競爭以及電子消費品(如電視機、錄影機、電腦、移動電話和其他電子設備的主機等等)的持續降價給製造商增加了巨大的壓力，使其迫切需要通過更快的生產速度和製造更小的晶片來降低成本。這轉化成要求IC晶片沿測試儀機更快地運動。不幸地是，生產速度的加快將造成摩擦起電，從而導致更多的靜電電荷生成，因而造成在測試操作之後，沿著流道運送的IC晶片由於靜電引力相互粘連。在製造小體積IC晶片時，這一問題更加顯著。微小的靜電生成將造成大量的IC晶片粘連，因為此時IC晶片的重量很輕。這種粘連將造成機器故障並嚴重影響製造過程的產量和產率。

在先的未公佈的申請PCT/CN2011/076825公開了一種靜電電荷減少裝置，其能夠解決上述問題。

然而，在所述在先的未公佈的申請PCT/CN2011/076825提供的技術方案在所述濕氣控制閉合系統外的開放空間體系中的應用受到限制。然而實際上，很多工作操作是在開放空間的工作區域內執行的。所述 在先的未公佈的申請中的靜電電荷減少裝置的使用僅僅限於閉合系統內的局部空氣。

為了克服上述缺陷，本領域技術人員可以設計一種系統，使得穩定的受控氣流以位於管路上高吸力通過空間間隔的氣隙將從進口管12吹出的氣流吸入到出口管22從而形成氣體通道，進而形成如圖1A所示的自由洩漏通道控制系統。

然而，在面對較大或者是古怪形狀的目標物體時，使用上述系統中的吹出和吸入產生的從進口管12到出口管22的受控氣流通道的效率很難準確地覆蓋整個目標物體，因而會影響將要被處理的目標的整個靜電電荷中和。

可以通過提供多個隔開設置的出口管以試圖獲得覆蓋整個要處理的目標物體完整的氣流通道。但是製造這一複雜系統的費用很高因此缺乏商業吸引力。

因此，需要進行進一步的研究和開發以克服上述缺陷。

本發明的首要目地是提供一種能夠更加有效地阻止氣流通道洩漏以在不影響工作環境的周圍相對濕度的情況下、更加全面地減少靜電電荷的氣流控制器。

根據本發明的氣流控制器包括具有第一表面和第二表面的閉合空心體。在所述第一表面上具有面向靜電電荷減少裝置的進口管的開口以從所述靜電電荷減少裝置接收氣流。所述靜電電荷減少裝置的出口管附連到所述閉合空心體的所述第二表面從而將所述氣流排出。

優選地，所述開口包括多個縫隙或多個孔。

優選地，所述多個孔連接在一起從而形成長縫狀開口、彎曲 縫狀開口或圓形縫狀開口以指向特定區域。

優選地，所述閉合空心體配置成立方體結構、矩形結構、橢圓形結構、五邊形結構、六邊形結構、圓形結構或不規則形結構。

優選地，所述閉合空心體配置成L形結構。所述開口至少設置在所述L形結構的垂直部分的第一表面，且所述出口管附連到所述L形結構的所述垂直部分的與所述第一表面相對的第二表面從而將所述氣流排出。

優選地，所述閉合空心體配置成第一U形結構。所述第一U形結構包括兩個垂直部分和一個水準部分。所述開口至少設置在所述第一U形結構的所述兩個垂直部分的第一表面，且所述出口管附連到所述第一U形結構的所述水準部分的第一表面從而將所述氣流排出。

優選地，所述閉合空心體配置成由U形管構成的第二U形結構。所述開口沿著所述U形管的內側表面設置，且所述出口管附連在所述U形管的外側表面從而將所述氣流排出。

優選地，所述閉合空心體配置成由環形管構成的環形結構。所述開口沿著所述環形管的內側表面設置，且所述出口管附連在所述環形管的外側表面從而將所述氣流排出。

優選地，在所述進口管、所述出口管或者兩者上設置外部氣罩或外殼以封鎖或阻止適量的分裂氣流。在此，所述外部氣罩或外殼是伸縮可調的。

優選地，所述進口管設置成與所述閉合空心體之間存在氣隙空間或者所述進口管直接附連到所述閉合空心體的第三表面從而面向所述第一表面上的開口。

優選地，所述閉合空心體伸縮可調以覆蓋更大或更小的區 域。所述閉合空心體安裝有至少一個吸氣裝置以對所述氣流進行更多的控制。優選地，所述氣流控制器具有外殼。

本發明的次要目地是提供一種氣流控制器，包括第一閉合空心體和第二閉合空心體。靜電電荷減少裝置的進口管與所述第一閉合空心體的第一表面流體連通。所述第一閉合空心體的第二表面上有第一開口。所述第二閉合空心體的面向所述第一閉合空心體的所述第二表面的第一表面上有第二開口以接收從所述靜電電荷減少裝置的進口管流出的氣流。靜電電荷減少裝置的出口管附連到所述第二閉合空心體的第二表面從而將所述氣流排出。

優選地，所述第一開口包括多個縫隙或多個孔，所述第二開口包括多個縫隙或多個孔。

優選地，所述多個孔連接在一起從而形成長縫狀開口、彎曲縫狀開口或圓形縫狀開口以指向特定區域。

優選地，所述進口管設置成與所述第一閉合空心體的第一表面之間存在氣隙空間，且在所述第一閉合空心體的第一表面上有第三開口，或者所述進口管直接附連到所述第一閉合空心體的第一表面從而面向所述第一閉合空心體的第二表面上的第一開口。

優選地，所述第一或第二閉合空心體配置成立方體結構、矩形結構、橢圓形結構、五邊形結構、六邊形結構、圓形結構或不規則形結構。

優選地，所述第一和第二閉合空心體是彼此分離的，或者是彼此結構連結的。

優選地，所述第一閉合空心體配置成第一U形結構。所述第一U形結構包括兩個垂直部分和一個水準部分。所述第一開口至少設置在所 述第一U形結構的所述兩個垂直部分的彼此面向對方的第一表面，且所述進口管位於所述第一U形結構的所述水準部分。

優選地，所述第二閉合空心體配置成立方體結構、矩形結構、橢圓形結構、五邊形結構、六邊形結構、圓形結構或不規則形結構。

優選地，所述第二閉合空心體配置成第一U形結構。所述第一U形結構包括兩個垂直部分和一個水準部分。所述第二開口至少設置在所述第一U形結構的所述兩個垂直部分的第一表面，且所述出口管附連在所述第一U形結構的所述水準部分的第二表面從而將所述氣流排出。

優選地，所述第一和第二閉合空心體伸縮可調以覆蓋更大或更小的區域。所述第一和第二閉合空心體安裝有至少一個吸氣裝置以對所述氣流進行更多的控制。所述氣流控制器具有外殼。

優選地，在所述進口管、所述出口管或者兩者上設置外部氣罩或外殼以封鎖或阻止適量的分裂氣流。在此所述外部氣罩或外殼是伸縮可調的。

本發明的第三目地是提供一種靜電電荷減少系統，包括用於生成氣流的氣流生成器、用於連接所述氣流生成器到非閉合開放氣流通道區域以將所述氣流從所述氣流生成器輸送到非閉合開放氣流通道區域的進口管，沿著氣流路徑在所述氣流路徑的任何位元點設置的氣流控制單元的氣流水準感測器，具有吸氣單元的出口管，以及至少一個上述的氣流控制器。其中所述氣流水準感測器用於感應氣流路徑中的氣流水準。所述出口管附連到所述氣流生成器以形成密閉環路的受控氣流輸送系統。

優選地，所述氣流生成器是用於生成具有預定濕氣水準的濕氣流的濕氣生成器，所述氣流水準感測器是用於感應氣流路徑中的濕氣水準的濕氣水準感應器。

優選地，所述氣流生成器是用於生成具有預定離子化水準的離子化氣流的離子化氣流生成器，所述氣流水準感測器是用於感應氣流路徑中的離子化水準的離子化水準感應器。

這樣，本發明更加有效地阻止了“氣流通道洩漏”，並通過多孔結構設計在擴大其氣流吸收覆蓋面積的同時不會增加在出口管處的原始吸力。這一獨特的結構設計技術地提供了更加簡便且無需額外的吸力的充分包圍目標物體的有效方法。同時，所述設計更加有效地阻止了“氣流通道洩漏”以在不影響工作環境的相對濕度的前提下，獲得更加完善的靜電電荷減少。

12‧‧‧進口管

22‧‧‧出口管

3‧‧‧閉合空心體

4‧‧‧多個孔

44‧‧‧多個縫隙

45‧‧‧L形縫隙

46‧‧‧線性縫隙

31‧‧‧第一閉合空心體

32‧‧‧第二閉合空心體

41‧‧‧第一多個孔

42‧‧‧第二多個孔

50‧‧‧第一閉合空心體的第一表面

51‧‧‧第三多個孔

52‧‧‧第一閉合空心體的第二表面

53‧‧‧第二閉合空心體的第一表面

54‧‧‧第二閉合空心體的第二表面

80‧‧‧氣流控制器

90‧‧‧氣流控制器

81‧‧‧閉合空心體

91‧‧‧第一閉合空心體

92‧‧‧第二閉合空心體

121‧‧‧進口管

122‧‧‧管

123‧‧‧管

125‧‧‧濕氣水準感測器

124‧‧‧濕氣生成器

221‧‧‧出口管

222‧‧‧管

223‧‧‧離子化氣流生成器

225‧‧‧離子化水準感測器

下面將結合附圖及實施例對本發明作進一步說明，附圖中：圖A是氣流控制器的常用設計示意圖；圖1(a)-(c)是根據本發明的氣流控制器的第一實施例的示意圖；圖2是根據本發明的氣流控制器的第二實施例的示意圖；圖3(a)是根據本發明的氣流控制器的第三實施例的示意圖；圖3(b)是根據本發明的氣流控制器的第四實施例的示意圖；圖4是根據本發明的氣流控制器的第五實施例的示意圖；圖5(a)-(b)是根據本發明的氣流控制器的第六實施例的示意圖；圖6是根據本發明的氣流控制器的第七實施例的示意圖；圖7是根據本發明的氣流控制器的第八實施例的示意圖；圖8是根據本發明的氣流控制器的第九實施例的示意圖；圖9(a)-(b)示出了根據本發明的進口管和出口管；圖10(a)是根據本發明的氣流控制器的第十實施例的示意圖； 圖10(b)是根據本發明的氣流控制器的第十一實施例的示意圖；圖11是根據本發明的氣流控制器的第十二實施例的示意圖；圖12是根據本發明的氣流控制器的第十三實施例的示意圖；圖13是根據本發明的氣流控制器的第十四實施例的示意圖；圖14是根據本發明的氣流控制器的第十五實施例的示意圖；圖15是根據本發明的氣流控制器的第十六實施例的示意圖；圖16是根據本發明的氣流控制器的第十七實施例的示意圖；圖17(a)-(b)示出了根據本發明的氣流控制器的附加外蓋；圖18是根據本發明的靜電電荷減少系統的第一實施例的示意圖；圖19是根據本發明的靜電電荷減少系統的第二實施例的示意圖；圖20是根據本發明的靜電電荷減少系統的第三實施例的示意圖。

下面參照以下描述和附圖可以更好地理解本發明的各個優點、方面和新穎特徵以及示出的實施例。然而在此列出的本發明的各個實施例僅僅是用於示例而非限制目地的。在下圖中，箭頭代表氣流方向。

圖1(a)是根據本發明的氣流控制器的第一實施例的示意圖。參照圖1(a)，氣流控制器包括具有第一表面和第二表面的閉合空心體3。在所述第一表面上具有面向靜電電荷減少裝置的進口管12的多個孔4以從所述靜電電荷減少裝置的進口管12接收氣流。所述靜電電荷減少裝置的出口管22附連到所述閉合空心體3的所述第二表面從而將所述氣流排出。

本領域技術人員知悉，所述氣流可以是用於生成具有預定濕氣水準的濕氣流的濕氣生成器所生成的濕氣流。或者所述氣流可以是用於生成具有預定離子化水準的離子化氣流的離子化氣流生成器所生成的離子 化氣流。此外，所述氣流還可以包括以其他方式生成的濕氣流或離子化氣流。

根據本發明，提供了一種更加有效地阻止“氣流通道洩漏”的技術方案。通過氣流通道上的多孔結構設計在擴大其氣流吸收覆蓋面積的同時不會增加在出口管處的原始吸力。這一獨特的結構設計技術地提供了更加簡便且無需額外的吸力的充分包圍目標物體的有效方法。同時，所述設計更加有效地阻止了“氣流通道洩漏”以在不影響工作環境的相對濕度的前提下，獲得更加完善的靜電電荷減少。

優選地，所述閉合空心體可以配置成立方體結構、矩形結構、橢圓形結構、五邊形結構、六邊形結構、圓形結構或不規則形結構。

本領域技術人員知悉，多個孔4可以配置成相同或者不同的形狀，例如圓形、矩形、橢圓形、多邊形或者其他規則或是不規則形狀。同時，所述多個孔4還可以單獨設置或者彼此重疊設置。在一個實施例中，所述多個孔連接在一起從而形成長縫狀開口、彎曲縫狀開口或圓形縫狀開口以指向特定區域。本領域技術人員知悉，雖然僅僅示出了一個進口管12和一個出口管22，但是本發明可以包括多個進口管和出口管。

圖1(b)依然是根據本發明的氣流控制器的第一實施例的示意圖。與圖1(a)相比，圖1(b)所示的氣流控制器的區別僅僅在於，多個縫隙44設置在面向進口管12的第一表面上。本領域技術人員知悉，所述多個縫隙44可以配置成相同或者不同的形狀，例如圓形、矩形、橢圓形、多邊形或者其他規則或是不規則形狀。

圖1(c)依然是根據本發明的氣流控制器的第一實施例的示意圖。與圖1(a)相比，圖1(c)所示的氣流控制器的區別僅僅在於，兩個L形縫隙45在面向進口管12的第一表面上形成矩形框架結構。另外，在所述第一 表面上還設置有交叉的4條線性縫隙46。

本領域技術人員知悉，除了縫隙44-46和孔4以外，還可以在所述閉合空心體3的面向進口管12的第一表面上設置其他的開口(例如網格)。

圖2是根據本發明的氣流控制器的第二實施例的示意圖。參照圖2，所述氣流控制器包括具有第一表面和第二表面的閉合空心體3。在本實施例中，所述閉合空心體3配置成L形結構。多個孔4設置在所述L形結構的垂直部分的第一表面上，面向靜電電荷減少裝置的進口管12以從所述靜電電荷減少裝置的進口管12接收氣流。靜電電荷減少裝置的出口管22附連到所述L形結構的所述垂直部分的與所述第一表面相對的第二表面從而將所述氣流排出。

本領域技術人員知悉，在本發明的另一實施例中，多個孔、縫隙或網格設置在所述L形結構的水準部分的第一表面上以面向靜電電荷減少裝置的進口管12。

圖3(a)是根據本發明的氣流控制器的第三實施例的示意圖。參照圖3(a)，所述氣流控制器包括具有第一表面和第二表面的閉合空心體3。在本實施例中，所述閉合空心體3配置成第一U形結構。所述第一U形結構包括兩個垂直部分和一個水準部分。多個孔4至少設置在所述第一U形結構的所述兩個垂直部分的第一表面，面向靜電電荷減少裝置的進口管12以從所述靜電電荷減少裝置的進口管12接收氣流。所述靜電電荷減少裝置的出口管22附連到所述第一U形結構的所述水準部分的第一表面從而將所述氣流排出。

本領域技術人員知悉，在本發明的另一實施例中，多個孔、縫隙或網格設置在所述U形結構的水準部分的第一表面上以面向靜電電荷 減少裝置的進口管12。

圖3(b)是根據本發明的氣流控制器的第四實施例的示意圖。參照圖3(b)，所述閉合空心體3配置成由U形管構成的第二U形結構。所述多個孔4沿著所述U形管的內側表面設置，以從靜電電荷減少裝置的進口管12接收氣流。所述靜電電荷減少裝置的出口管22附連在所述U形管的外側表面從而將所述氣流排出。

圖4是根據本發明的氣流控制器的第五實施例的示意圖。參照圖4，所述氣流控制器包括配置成由環形管構成的環形結構的閉合空心體3。多個孔4沿著所述環形管的內側表面設置，以從靜電電荷減少裝置的進口管12接收氣流。所述靜電電荷減少裝置的出口管22附連在所述環形管的外側表面從而將所述氣流排出。

圖5(a)是根據本發明的氣流控制器的第六實施例的示意圖。參照圖5(a)，所述氣流控制器包括第一閉合空心體31和第二閉合空心體32。在本實施例中，靜電電荷減少裝置的進口管12連接到所述第一閉合空心體31的第一表面。在所述第一閉合空心體31的第二表面上設置第一多個孔41。在所述第二閉合空心體32的第一表面上同樣設置第二多個孔42以面向所述第一閉合空心體31的第二表面從而接收來自所述靜電電荷減少裝置的進口管12的氣流。所述靜電電荷減少裝置的出口管22附連在所述第二閉合空心體32的第二表面從而將所述氣流排出。

在本實施例中，所述第一和第二閉合空心體配置成圓環形結構。在其他實施例中，所述第一和第二閉合空心體可以配置成立方體結構、矩形結構、橢圓形結構、五邊形結構、六邊形結構、圓形結構或不規則形結構。所述第一和第二閉合空心體可以相同，也可以不同。

本領域技術人員知悉，所述第二閉合空心體可以是工作臺的 一部分，其包括平坦桌頂的閉合空心坯。在所述閉合空心坯的部分或者全部表面上具有多個孔，面向所述第一閉合空心體31的第二表面從而接收從所述第一閉合空心體31的第二表面流出的氣流。另一出口管22附連在所述工作臺的第二表面以從工作臺排出氣流。

圖5(b)也是根據本發明的氣流控制器的第六實施例的示意圖。參照圖5(b)，所述氣流控制器包括第一閉合空心體31和第二閉合空心體32。在本實施例中，靜電電荷減少裝置的進口管12與所述第一閉合空心體31的第一表面50間隔一定距離設置。在所述第一閉合空心體31的第一表面50上設置第三多個孔51以從進口管12接收氣流。在所述第一閉合空心體31的第二表面52上設置多個孔41。在所述第二閉合空心體32的第一表面53上同樣設置第二多個孔42以面向所述第一閉合空心體31的第二表面52從而接收來自所述靜電電荷減少裝置的進口管12的氣流。所述靜電電荷減少裝置的出口管22附連在所述第二閉合空心體32的第二表面54從而將所述氣流排出。

在本實施例中，所述第一和第二閉合空心體配置成圓環形結構。在其他實施例中，所述第一和第二閉合空心體可以配置成立方體結構、矩形結構、橢圓形結構、五邊形結構、六邊形結構、圓形結構或不規則形結構。所述第一和第二閉合空心體可以相同，也可以不同。

圖6是根據本發明的氣流控制器的第七實施例的示意圖。所述氣流控制器的第七實施例與圖1所示的第一實施例相同，其區別僅在於，閉合空心體3是矩形形狀，其長度非常長從而可以最大化氣流覆蓋面積，從而獲得特定的應用。優選地，所述閉合空心體3的孔可以是連接到一起從而形成長縫狀開口從而覆蓋更寬的區域，或者形成彎曲縫狀開口或圓形縫狀開口以指向特定區域，從而獲得特定的應用(未示出)。優選地，所述進口 管12可以重新設計從而形成長條狀開口以覆蓋更寬的面積，從而獲得特定的應用(未示出)。

圖7是根據本發明的氣流控制器的第八實施例的示意圖。所述氣流控制器的第八實施例與圖6所示的第七實施例相同，其區別僅在於，所述閉合空心體3設計成具有在一個或多個方向上的延長柱或臂的伸縮可調結構，從而覆蓋更寬或者更窄的區域。這一設計使其具有良好的彈性以獲得更好的應用。

圖8是根據本發明的氣流控制器的第九實施例的示意圖。參照圖8，所述氣流控制器包括第一閉合空心體31和第二閉合空心體32。在本實施例中，靜電電荷減少裝置的進口管12與所述第一閉合空心體31的第一表面連接。在所述第一閉合空心體31的第二表面上設置第一多個孔41以釋放靜電電荷減少裝置的進口管12的氣流。在所述第二閉合空心體32的第一表面上同樣設置第二多個孔42以面向所述第一閉合空心體31的第二表面從而接收來自所述靜電電荷減少裝置的進口管12的氣流。所述靜電電荷減少裝置的出口管22附連在所述第二閉合空心體32的第二表面從而將所述氣流排出。

在本實施例中，所述第一閉合空心體31和第二閉合空心體32配置成矩形形狀。本領域技術人員知悉，所述第一閉合空心體31和第二閉合空心體32可以是半圓環形或本發明的各個段落中的其他形狀。此外，所述第一閉合空心體31和第二閉合空心體32可以是結構連接到一起的。優選地，在本發明的各個實施例中，進口管12、出口管22與緊密配合的夾持結構(如圖9(a)-(b)所示)連接，從而允許進口管12和出口管22在開放空間的氣流通道中移動。在本發明的另一實施例中，至少一個吸氣裝置(未示出)安裝在氣流路徑的任何位元點從而更好地控制氣流。

圖10(a)是根據本發明的氣流控制器的第十實施例的示意圖。圖10(b)是根據本發明的氣流控制器的第十一實施例的示意圖。如圖10(a)和10(b)所示，所述閉合空心體3製造或構造成具有附加圓環空間以為氣流通道中的工作運動提供更大的空間，以適應某些關鍵部件組裝操作。在此這些組裝部件不會存在接觸任何鄰近目標物體或是工作面的風險。

圖11是根據本發明的氣流控制器的第十二實施例的示意圖。所述氣流控制器的第十二實施例與圖1所示的第一實施例相同，其區別僅在於，靜電電荷減少裝置的進口管12製造成具有雙頭出口以獲得更廣泛的應用。

圖12是根據本發明的氣流控制器的第十三實施例的示意圖。如圖12所示，所述氣流控制器包括第一閉合空心體31和第二閉合空心體32。在本實施例中，所述第一閉合空心體31配置成包括兩個垂直部分和一個水準部分的第一U形結構。第一多個孔位於所述第一U形結構的兩個垂直部分的彼此面對的第一表面。靜電電荷減少裝置的進口管12位於所述第一U形結構的水準部分。如圖12所示，第二閉合空心體32配置成矩形形狀。在另一實施例中，第二閉合空心體32可配置成正方形形狀、橢圓形狀、六邊形形狀、八邊形形狀或其他規則或不規則形狀(如圖13所示等等)。

在圖13所示的另一實施例中，所述第二閉合空心體32同樣配置成包括兩個垂直部分和一個水準部分的第一U形結構。第二多個孔42位於所述第一U形結構的兩個垂直部分和一個水準部分的第一表面。所述出口管22附連到所述第一U形結構的水準部分的第二表面。

圖14是根據本發明的氣流控制器的第十五實施例的示意圖。所述氣流控制器的第十五實施例與圖1所示的第一實施例相同，其區別僅在於，所述閉合空心體3安裝有內部氣流控制板或內部氣流控制片。所述 內部氣流控制板或內部氣流控制片具有相同數量或者不同數量的孔。通過滑動或者移動所述內部氣流控制板或內部氣流控制片的位置，可以調節和控制流入的氣體的量。當然，圖14中所示的實施例可以根據實際需要在本發明的每個實施例中實現。

圖15是根據本發明的氣流控制器的第十六實施例的示意圖。圖15中的所述氣流控制器的第十六實施例與圖1所示的第一實施例相同，其區別僅在於，靜電電荷減少裝置的進口管12製造成具有可旋轉或可調出口頭以獲得更廣泛的應用。

圖16是根據本發明的氣流控制器的第十七實施例的示意圖。圖16中的所述氣流控制器的第十七實施例與圖11所示的第十二實施例相同，其區別僅在於，靜電電荷減少裝置的進口管12製造成具有可旋轉或可調出口頭以獲得更廣泛的應用。

優選地，圖17(a)和17(b)示出了在所述進口管12和所述出口管22上設置外部氣罩或外殼以封鎖或阻止在減少靜電電荷的系統周圍環境中出現適量的分裂氣流，從而最小化氣流紊亂量，進而更好地控制所述減少靜電電荷的系統。

圖18是根據本發明的靜電電荷減少系統的第一實施例的示意圖。如圖18所示。本發明的靜電電荷減少系統包括用於生成具有預定濕氣水準的濕氣流的濕氣生成器、用於連接所述濕氣生成器到非閉合開放氣流通道區域以將所述濕氣流從所述濕氣生成器輸送到非閉合開放氣流通道區域的進口管12，沿著氣流路徑在所述氣流路徑的任何位元點設置的濕氣水準控制單元的濕氣水準感測器，具有吸氣單元的出口管22。其中所述濕氣水準感測器用於感應氣流路徑中的濕氣水準。所述出口管33附連到所述氣流生成器以形成密閉環路的受控氣流輸送系統。所述靜電電荷減少系統 進一步包括氣流控制器。所述氣流控制器包括具有第一表面和第二表面的閉合空心體3。在所述第一表面上具有面向進口管12的多個孔4以從所述進口管12接收氣流。出口管22附連到所述閉合空心體3的所述第二表面從而將所述氣流排出。

本領域技術人員知悉，圖1-16中所示的氣流控制器，或其一個或多個組合均可以用於本發明的靜電電荷減少系統從而使得本發明更加靈活多變，以最大化本發明的使用。本領域技術人員可以瞭解所述氣流控制器可以由相同或者不同的第一和第二閉合空心體組成。

圖19是根據本發明的靜電電荷減少系統的第二實施例的示意圖。如圖19所示，本發明的靜電電荷減少系統包括用於生成具有預定濕氣水準的濕氣流的濕氣生成器124、用於連接所述濕氣生成器124到非閉合開放氣流通道區域以將所述濕氣流從所述濕氣生成器124輸送到非閉合開放氣流通道區域的進口管121，沿著氣流路徑在所述氣流路徑的任何位元點設置的濕氣水準控制單元的濕氣水準感測器125，具有吸氣單元的出口管221。其中所述濕氣水準感測器125用於感應氣流路徑中的濕氣水準。所述出口管221附連到所述濕氣生成器124以形成密閉環路的受控氣流輸送系統。所述靜電電荷減少系統進一步包括兩個氣流控制器80和90。在一個實施例中，所述濕氣生成器124由水浴氣泡生成單元組成。在另一實施例中，所述濕氣生成器124設置成鼓吹氣體通過濕表面或者超聲水蒸氣生成器以生成濕氣流。

如圖19所示，所述氣流控制器80包括具有第一表面和第二表面的閉合空心體81。多個孔位於閉合空心體81的面向管123的第一表面。所述管123連接進口管121。出口管221附連到閉合空心體81的第二表面以排出濕氣流。

氣流控制器90包括第一閉合空心體91和第二閉合空心體92。在本實施例中，連接到進口管121的管122連接到第一閉合空心體91的第一表面。第一多個孔設置在第一閉合空心體91的第二表面。第二多個孔設置在所述第二閉合空心體92的第一表面，面向所述第一閉合空心體91的第二表面以接收從進口管121流出的濕氣流。管222附連到第二閉合空心體92的第二表面已將濕氣流排出。所述管222進一步附連到所述閉合空心體81的第三表面。

在本發明的另一實施例中，所述進口管121、管122、管123可以製造成具有如圖11所示的雙頭出口管。

圖20是根據本發明的靜電電荷減少系統的第三實施例的示意圖。如圖20所示，本發明的靜電電荷減少系統包括用於生成具有預定離子化水準的離子化氣流的離子化氣流生成器223、用於連接所述離子化氣流生成器223到非閉合開放氣流通道區域以將所述離子化氣流從所述離子化氣流生成器223輸送到非閉合開放氣流通道區域的進口管121，沿著氣流路徑在所述氣流路徑的任何位元點設置的離子化水準控制單元的離子化水準感測器225，具有吸氣單元的出口管221。其中所述離子化水準感測器225用於感應氣流路徑中的離子化水準。所述出口管221附連到所述離子化氣流生成器223以形成密閉環路的受控氣流輸送系統。所述靜電電荷減少系統進一步包括如圖19所示的兩個氣流控制器80和90。

根據本發明，提供了一種更加有效地阻止“氣流通道洩漏”的技術方案。通過氣流通道上的多孔結構設計在擴大其氣流吸收覆蓋面積的同時不會增加在出口管處的原始吸力。這一獨特的結構設計技術地提供了更加簡便且無需額外的吸力的充分包圍目標物體的有效方法。同時，所述設計更加有效地阻止了“氣流通道洩漏”以在不影響工作環境的相對濕 度的前提下，獲得更加完善的靜電電荷減少。

雖然沒有公開，但是本領域技術人員可以理解，圖2-17所示的其他實施例中的其他氣流控制器可以結合到圖18-20中所示的靜電電荷減少系統。

本發明是通過一些實施例進行描述的，本領域技術人員知悉，在不脫離本發明的精神和範圍的情況下，可以對這些特徵和實施例進行各種改變或等效替換。另外，在本發明的教導下，可以對這些特徵和實施例進行修改以適應具體的情況及材料而不會脫離本發明的精神和範圍。因此，本發明不受此處所公開的具體實施例的限制，所有落入本申請的權利要求範圍內的實施例都屬於本發明的保護範圍。

3‧‧‧閉合空心體

4‧‧‧多個孔

12‧‧‧進口管

22‧‧‧出口管

Claims (10)

1. 一種氣流控制器，其中，包括具有第一表面和第二表面的閉合空心體，在所述第一表面上具有面向靜電電荷減少裝置的進口管的開口以從所述靜電電荷減少裝置接收氣流，所述靜電電荷減少裝置的出口管附連到所述閉合空心體的所述第二表面從而將所述氣流排出。
2. 如申請專利範圍第1項所述的氣流控制器，其中，所述開口包括多個縫隙或多個孔。
3. 如申請專利範圍第2項所述的氣流控制器，其中，所述多個孔連接在一起從而形成長縫狀開口、彎曲縫狀開口或圓形縫狀開口以指向特定區域。
4. 如申請專利範圍第1項所述的氣流控制器，其中，所述閉合空心體配置成L形結構，所述開口至少設置在所述L形結構的垂直部分的第一表面，且所述出口管附連到所述L形結構的所述垂直部分的與所述第一表面相對的第二表面從而將所述氣流排出。
5. 如申請專利範圍第1項所述的氣流控制器，其中，所述閉合空心體配置成第一U形結構，所述第一U形結構包括兩個垂直部分和一個水準部分，所述開口至少設置在所述第一U形結構的所述兩個垂直部分的第一表面，且所述出口管附連到所述第一U形結構的所述水準部分的第一表面從而將所述氣流排出。
6. 如申請專利範圍第1項所述的氣流控制器，其中，所述閉合空心體配置成由U形管構成的第二U形結構，所述開口沿著所述U形管的內側表面設置，且所述出口管附連在所述U形管的外側表面從而將所述氣流排出。
7. 如申請專利範圍第1項所述的氣流控制器，其中，所述閉合空心體配置 成由環形管構成的環形結構，所述開口沿著所述環形管的內側表面設置，且所述出口管附連在所述環形管的外側表面從而將所述氣流排出。
8. 一種氣流控制器，其中，包括第一閉合空心體和第二閉合空心體，其中靜電電荷減少裝置的進口管與所述第一閉合空心體的第一表面流體連通，所述第一閉合空心體的第二表面上有第一開口，所述第二閉合空心體的面向所述第一閉合空心體的所述第二表面的第一表面上有第二開口以接收從所述靜電電荷減少裝置的進口管流出的氣流，所述靜電電荷減少裝置的出口管附連到所述第二閉合空心體的第二表面從而將所述氣流排出。
9. 一種靜電電荷減少系統，包括：用於生成氣流的氣流生成器、用於連接所述氣流生成器到非閉合開放氣流通道區域以將所述氣流從所述氣流生成器輸送到所述非閉合開放氣流通道區域的進口管，沿著氣流路徑在所述氣流路徑的任何位元點設置的氣流控制單元的氣流水準感測器，具有吸氣單元的出口管，其中所述氣流水準感測器用於感應所述氣流路徑中的氣流水準，所述出口管附連到所述氣流生成器以形成密閉環路的受控氣流輸送系統；以及至少一個申請專利範圍1-8中任意一項所述的氣流控制器。
10. 如申請專利範圍第9項所述的靜電電荷減少系統，其中，所述氣流生成器是用於生成具有預定濕氣水準的濕氣流的濕氣生成器，所述氣流水準感測器是用於感應所述氣流路徑中的濕氣水準的濕氣水準感應器；或者所述氣流生成器是用於生成具有預定離子化水準的離子化氣流的離子化氣流生成器，所述氣流水準感測器是用於感應所述氣流路徑中的離子化水準的離子化水準感應器。