JP2008108520A - 送風式除電装置 - Google Patents

Abstract

【課題】平板状の帯電物体の表面または裏面の各所に、その除電に要する十分な量の空気イオンを安定して供給し、該帯電物体の表面または裏面の除電を短時間で効果的に行なう。
【解決手段】帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１の両側辺Ｘ３，Ｘ４のうちの第１の辺Ｘ３側にイオン生成・送風手段２を配置し、第２の辺Ｘ４側に空気吸引手段３を配置する。イオン生成・送風手段２は、その筐体２の吸引口１２から送風機１１により空気を吸引し、イオン生成手段９により生成された空気イオンを含む空気を吹出し口８から除電対象面Ｘ１に沿って第２の辺Ｘ４側に向かって吹出す。空気吸引手段３は、吹出し口８から吹出された空気を筐体１３の吸引口から送風機１６により吸引し、吹出し口１５から吹出す。吹出し口１５から吹出された空気は、イオン生成・送風手段２の吸引口１２に還流する。
【選択図】図２

Description

本発明は、液晶パネル用のガラス板など、平板状の帯電物体の除電を行なう送風式除電装置に関する。

除電装置では、放電針とこれに対向する対向電極との間に高電圧を印加することにより、コロナ放電を発生させ、このコロナ放電によって、帯電物体の電荷を中和するための正および負の空気イオンを生成するものが一般に知られている。そして、この種の除電装置では、除電装置から帯電物体に向かう気流をファンにより発生し、その気流によって空気イオンを帯電物体に供給するようにした送風式のものも知られている（例えば特許文献１を参照）。

また、平板状の帯電物体、例えば液晶パネル用のガラス板の除電を行なう技術としては、非特許文献１に見られるように、ガラス板の両側に除電装置を配置する技術が知られている。
特開２０００−３３１７９２号公報 「液晶ディスプレイ製造工程における静電気対策」，大石 貴之，第６回ＥＯＳ／ＥＳＤ信頼性シンポジウム講演予稿集，p15-20（1996)

ところで、近年の液晶パネル用のガラス板の大型化に伴い、比較的大面積の平板状の帯電物体の除電を短時間で効果的に行なうことが望まれている。この場合、前記非特許文献１に見られるように、除電装置を平板状の帯電物体の両側に配置しただけでは、特に、帯電物体の中央付近に十分な量の空気イオンを速やかに到達させることができず、該帯電物体の中央付近の除電が不十分となったり、あるいは、その除電を十分に行なうのに要する時間が長くなるという不都合がある。

また、非特許文献１に見られる技術で、平板状の帯電物体の両側の除電装置として、例えば特許文献１に見られるような送風式の除電装置を用いると、それぞれの除電装置からの送風の向きが逆向きとなる。このため、それぞれの送風が干渉し合って、帯電物体の各所への空気イオンの移動を妨げる気流が発生するなどして、平板状の帯電物体の除電が局所的に不十分となるなどの不都合が生じやすい。

そこで、例えば平板状の帯電物体の両側の一方側にのみ送風式の除電装置を配置し、その除電装置で生成した空気イオンを当該一方側から他方側に向かって該帯電物体の表面または裏面沿いに送風することが考えられる。

しかしながら、本願発明者等の各種実験によれば、除電装置からの空気の吹出し速度が遅いと、帯電物体の表面または裏面のうちの除電装置の吹出し口から離れた箇所には、十分な量の空気イオンを移送できず、その箇所の除電が不十分となったり、その箇所の除電に要する時間が長くなるなどの不都合があった。また、逆に、除電装置からの空気の吹出し速度を高くすると、その空気の気流に乱流が発生しやすい。その結果、特に、帯電物体の表面または裏面のうちの除電装置から離れた箇所では、供給される空気イオンの量のばらつきが発生しやすい。ひいては、帯電物体の除電が局所的に不十分となったり、帯電物体の部位毎に、除電に要する時間のばらつきが大きなものとなりやすいという不都合があった。

本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、平板状の帯電物体の表面または裏面の各所に、その除電に要する十分な量の空気イオンを安定して供給することができ、ひいては、該帯電物体の表面または裏面の除電を短時間で効果的に行なうことができる送風式除電装置を提供することを目的とする。

本発明の除電システムは、かかる目的を達成するために、平板状の帯電物体の表裏面のうちの一方を除電対象面とし、その除電対象面の除電を行なう除電システムであって、前記帯電物体の除電対象面の両側辺のうちの第１の辺側で該第１の辺に近接して配置され、該第１の辺に沿って延在する第１の筐体と、該第１の筐体に設けられた吸引口から該第１の筐体内に空気を吸引し、その吸引した空気を、前記除電対象面の両側辺のうちの第１の辺側から第２の辺側に向かって開口するように該第１の筐体に設けられた吹出し口から前記除電対象面に沿わせて吹出す第１の送風機と、前記第１の筐体内に吸引された空気をイオン化して正および負の空気イオンを生成するイオン生成手段とを有するイオン生成・送風手段と、前記除電対象面の両側辺のうちの第２の辺側で該第２の辺に近接して配置され、該第２の辺に沿って延在する第２の筐体と、前記第１の筐体の吹出し口に対向して該第２の筐体に形成された吸引口から該第２の筐体内に空気を吸引し、その吸引した空気を該第２の筐体に設けられた吹出し口から吹出す第２の送風機とを有する空気吸引手段とを備えたことを特徴とする（第１発明）。

この第１発明の除電システムによれば、前記イオン生成・送風手段の第１の筐体の吹出し口から吹出される空気には、該第１の筐体の内部で前記イオン生成手段により生成された正および負の空気イオンが含まれる。そして、この空気イオンを含んで第１の筐体の吹出し口から吹出された空気は、帯電物体の除電対象面の第１の辺側から第２の辺側に向かって該除電対象面に沿って流れる。このとき、空気吸引手段の第２の送風機は、第１の筐体の吹出し口に対向する第２の筐体の吸引口から空気を吸引するので、第１の筐体の吹出し口から吹出された空気（空気イオンを含む空気）は、その気流の乱れや流速の低下をほとんど生じることなく、第２の筐体の吸引口に到達する。従って、前記第１の筐体の吹出し口と第２の筐体の吸引口との間で、前記除電対象面に沿って前記第１の辺側から第２の辺側に向かう定常的な気流（空気イオンを含む空気の気流）が形成される。このため、帯電物体の除電対象面の各所に、十分な量の空気イオンを安定して供給することが可能となる。ひいては、該帯電物体の除電対象面の除電を短時間で効果的に行なうことが可能となる。

かかる第１発明では、前記第２の筐体の吹出し口から吹出される空気の少なくとも一部を前記第１の筐体の吸引口に還流させる空気還流路が設けられていることが好ましい（第２発明）。

この第２発明によれば、第１の筐体と第２の筐体との間で空気を、前記空気還流路を介して循環させることとなるので、その循環する気流の一部として、第１の筐体の吹出し口から第２の筐体の吸引口に至る空気の気流の流速や安定性を高めることができる。その結果、帯電物体の除電対象面の除電を、より一層短時間で効果的に行なうことが可能となる。

この第２発明では、前記空気還流路は、前記帯電物体の表面側の空間と裏面側の空間とのうち、除電対象面と異なる面側の空間に設けられていることが好ましい（第３発明）。

この第３発明によれば、第１の筐体の吹出し口から第２の筐体の吸引口に至る、除電対象面に沿った気流に影響を及ぼさないように、空気還流路を設けることが可能となる。

補足すると、帯電物体の「表面側の空間」は、該表面を含む平面によって区画される２つの空間のうちの該表面に接する空間を意味し、「裏面側の空間」は、該裏面を含む平面によって区画される２つの空間のうちの該裏面に接する空間を意味する。例えば、帯電物体を水平姿勢で配置し、その上面を表面、下面を裏面としたとき、該帯電物体の上面の上側の空間が該帯電物体の「表面側の空間」に相当し、該帯電物体の下面の下側に空間が、該帯電物体の「裏面側の空間」に相当する。

前記空気還流路は、第１の筐体の吸引口と、第２の筐体の吹出し口とを接続するダクトなどによって構成される流路（周囲に壁面を有する流路）であってもよいが、開放的な流路であってもよい。

例えば、前記第１発明において、前記第２の筐体の吹出し口を、前記帯電物体の表面側の空間と裏面側の空間とのうち、前記除電対象面と異なる面側の空間で前記第２の辺側から第１の辺側に向かって開口するように前記第２の筐体に設け、前記第１の筐体の吸引口を、当該除電対象面と異なる面側の空間で前記第２の筐体の吹出し口に対向して設ける。（第４発明）。

この第４発明によれば、第２の筐体の吹出し口から吹き出された空気の大部分は、該吹出し口に対向する第１の筐体の吸引口に向かって流れる。従って、第２の筐体の吹出し口と第１の筐体の吸引口との間の空間が前記空気還流路として機能することとなる。そして、この場合、該空気還流路は、前記帯電物体の表面側の空間と裏面側の空間とのうち、前記除電対象面と異なる面側の空間で形成されることとなるので、除電対象面の沿った空気の流路（第１の筐体の吹出し口から第２の筐体の吸引口に至る流路）と帯電物体によって隔てられ、該空気還流路を流れる空気が、除電対象面に沿った空気の流路を乱すことがない。

従って、前記第２発明および第３発明と同等の効果を奏することができる。また、この場合、空気還流路を形成するためのダクトなどが不要であるので、除電システムの構成をコンパクトにすることができる。

あるいは、前記第１発明において、前記第１の筐体の吸引口を、前記帯電物体の法線方向で、前記帯電物体の表面側の空間と裏面側の空間とのうち、前記除電対象面と異なる面側の空間に向かって開口するように前記第１の筐体に設け、前記第２の筐体の吹出し口を、当該除電対象面と異なる面側の空間で前記第１の辺側から前記第１の筐体の吸引口の正面箇所に向かって開口するように前記第２の筐体に設けるようにしてもよい（第５発明）。

この第５発明によれば、第２の筐体の吹出し口から吹き出された空気が、第１の筐体の吸引口の正面箇所に到達するので、その空気の一部が、前記第２の送風機の吸引力によって進路を変更し、第１の筐体の吸引口から該第１の筐体内に吸引される。従って、第２の筐体の吹出し口と第１の筐体の吸引口の正面箇所との間の空間が前記空気還流路として機能することとなる。そして、この場合、該空気還流路は、前記第４発明の場合と同様に、前記帯電物体の表面側の空間と裏面側の空間とのうち、前記除電対象面と異なる面側の空間で形成されることとなるので、該空気還流路を流れる空気が、除電対象面に沿った空気の流路を乱すことがない。従って、第５発明においても、前記第２発明および第３発明と同等の効果を奏することができる。さらに、第４発明と同様に、空気還流路を形成するためのダクトなどが不要であるので、除電システムを構成をコンパクトにすることができる。

本発明の第１実施形態を図１および図２を参照して説明する。図１は本実施形態の除電システムの概略的な外観構成を示す斜視図、図２は図１のII−II線断面図である。

図１および図２を参照して、２はイオン生成・送風手段としてのエアイオナイザ、３は空気吸引手段としての空気吸引装置、Ｘは平板状（方形板状）の帯電物体である。エアイオナイザ２と空気吸引装置３とにより、本実施形態の除電システム１が構成される。なお、本実施形態の説明では、便宜上、図１に示すように左右方向、前後方向を定義する。

帯電物体Ｘは、例えば液晶パネル用のガラス板である。この帯電物体Ｘは、複数の脚４を介して床上に設置された作業台５上に水平姿勢で載置されている。この場合、図２に示すように作業台５の上面に突設された複数の支持ピン６上に帯電物体Ｘが支承されている。本実施形態の除電システム１は、このように作業台５上に載置された帯電物体Ｘの表裏面、すなわち、該帯電物体Ｘの厚さ方向で対向する２つの面Ｘ１，Ｘ２のうち、上面Ｘ１を除電対象面とし、この除電対象面Ｘ１の除電を行なう。

エアイオナイザ２は、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１の左右の両側辺（除電対象面Ｘ１の４辺のうちの、左右方向に間隔を存して前後方向に延在する一対の対辺）Ｘ３，Ｘ４のうち、第１の辺としての左側辺Ｘ３側（帯電物体Ｘの左側）で該左側辺Ｘ３に近接して配置された筐体７を備える。該筐体７は、本発明における第１の筐体に相当する。この筐体７は、概略、直方体状に形成されており、帯電物体Ｘの左側側面と左右方向に一定の間隔を存し、該帯電物体Ｘの左側辺Ｘ３に沿って前後方向に延在している。すなわち、筐体７は、帯電物体Ｘの左側面とほぼ平行に延在している。なお、筐体７は、作業台５の上側に配置されている。この場合、筐体７の帯電物体Ｘ寄りの部分（右側部）は、作業台５の直上に存するが、左側部は作業台５の直上から左側に張り出している。また、筐体７は、図示を省略するブラケットなどを介して作業台５あるいは床に固定されている。

この筐体７の帯電物体Ｘ寄りの側面、すなわち、右側面には、空気の吹出し口８が開設されている。この吹出し口８は、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１の第２の辺としての右側辺Ｘ４に向かって（すなわち、右向きに）開口している。そして、該吹出し口８は、筐体７の長手方向に帯電物体Ｘの左側辺Ｘ３に沿って延在している。なお、吹出し口８は、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１を含む平面よりも若干上側の位置に設けられている。

筐体７の内部には、コロナ放電を発生するイオン生成手段としての放電電極９と、この放電電極９に交流高電圧を印加する高圧電源１０と、送風機としてのファン１１とが収容されている。放電電極９は、詳細な図示は省略するが、放電針とこれに対向する対向電極とから構成され、その放電針と対向電極との間に高圧電源１０から交流高電圧が印加されるように該高圧電源１０にケーブル等を介して接続されている。そして、放電電極９は、その放電針と対向電極との間に高圧電源１０から交流高電圧を印加したとき、コロナ放電を発生し、そのコロナ放電により正および負の空気イオンを交互に生成する。なお、高圧電源１０は、筐体７の外部に設けられていてもよい。

筐体７の下面には、下方に向かって開口する空気の吸引口１２が開設されている。換言すれば、該吸引口１２は、帯電物体Ｘの法線方向（上下方向）で、帯電物体Ｘの表裏面のうちの除電対象面Ｘ１と異なる面（下面）Ｘ２側の空間（面Ｘ２を含む平面の下側の空間）に向かって開口している。この吸引口１２は、筐体７の、作業台５の直上から張り出した部分で該筐体７の下面に設けられている。従って、該吸引口１２の真下には作業台５が存在しないようになっている。なお、吸引口１２は、筐体７の長手方向に延在する。そして、前記ファン１１は、この吸引口１２に臨んで筐体７の内部に設けられている。このファン１１は、図示を省略する電動モータで回転駆動され、その回転駆動によって、筐体７の外部から吸引口１２を介して空気を吸引し、その吸引した空気を前記吹出し口８から吹出す。この場合、前記放電電極９は、筐体７の内部における吸引口１２から吹出し口８への空気流路の途中で、該吹出し口８に臨んで設けられている。従って、吹出し口８から吹出される空気は、放電電極９のコロナ放電によって生成される正および負の空気イオンを含む。

なお、ファン１１を複数備え、それらのファンを吸引口１２に沿って該筐体７の長手方向に並設してもよい。また、ファン１１は筐体７の外面側に設けられていてもよい。また、吸引口１２は筐体７の下面に局所的に設けた穴により構成してもよい。

前記空気吸引装置３は、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１の左右の両側辺Ｘ３，Ｘ４のうちの、第２の辺としての右側辺Ｘ４側（帯電物体Ｘの右側）で該左側辺Ｘ４に近接して配置された筐体１３を備える。この筐体１３は、本発明における第２の筐体に相当する。この筐体１３は、その横断面（前後方向に直行する断面）が、コの字状に形成されており、該帯電物体Ｘの右側辺Ｘ４に沿って前後方向に延在している。この場合、筐体１３は、その上部が作業台５の上側の空間に存し、下部が作業台５の下側の空間（これは、帯電物体Ｘの表裏面のうちの除電対象面Ｘ１と異なる面（下面）Ｘ２側の空間に含まれる）に存するように配置されている。そして、筐体１３の上部は、帯電物体Ｘの右側面と左右方向に一定の間隔を存して前後方向に延在している。なお、筐体１３は、図示を省略するブラケットなどを介して作業台５あるいは床に固定されている。

この筐体１３の上部の、帯電物体Ｘ寄りの側面、すなわち、左側面には、空気の吸引口１４が開設されている。この吸引口１４は、前記エアイオナイザ２の吹出し口８に対向して、筐体１３の長手方向に帯電物体Ｘの右側辺Ｘ４に沿って延在している。また、筐体１３の下部の左側面には、空気の吹出し口１５が開設されている。この吹出し口１５は、帯電物体Ｘの両側辺Ｘ３，Ｘ４の間隔方向（左右方向）で、前記エアイオナイザ２の吸引口１２の直下の箇所（吸引口１２の正面箇所）に向かって開口している。なお、吹出し口１５は、筐体１３の長手方向（前後方向）に延在している。

筐体１３の内部には、第２の送風機としてのファン１６が収容されている。このファン１６は、筐体１３の吸引口１４に臨んで、筐体１３の上部に設けられている。このファン１６は、図示を省略する電動モータで回転駆動され、その回転駆動によって、筐体１３の外部から吸引口１４を介して空気を吸引し、その吸引した空気を前記吹出し口１５から吹出す。

なお、ファン１６を複数備え、それらのファンを吸引口１４に沿って該筐体１３の長手方向に並設してもよい。また、ファン１６を筐体１３の吹出し口１５に臨ませて配置してもよい。また、ファン１６は、筐体１３の外面側に設けられてもよい。また、吹出し口１５は、筐体１３の下部の左側面に局所的に形成した穴によって構成してもよい。

次に、本実施形態の除電システム１の作動を説明する。

前記したように作業台５上に帯電物体Ｘを載置した状態で、除電システム１が起動される。すなわち、エアイオナイザ２にあっては、ファン１１の回転駆動と、放電電極９のコロナ放電とが行なわれる。そして、これと並行して、空気吸引装置３のファン１６の回転駆動が行なわれる。

このとき、エアイオナイザ２の放電電極９のコロナ放電によって生成された正および負の空気イオンを含む空気が、筐体７の吹出し口８から吹出される。その空気イオンを含む空気は、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１に沿って（除電対象面Ｘ１に接触しながら）空気吸引装置３に向かって流れる。この場合、該空気は、空気吸引装置３のファン１６の吸引作用によって筐体１３の吸引口１４から該筐体１３内に吸引される。これにより、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１側では、図２に矢印Ｙ１で示すように、該除電対象面Ｘ１沿いに左側辺Ｘ３から右側辺Ｘ４に向かって右向きに流れる気流（空気イオンを含む気流）が形成される。

空気吸引装置３の筐体１３内に吸引された空気は、その向きを該筐体１３内で反転させた後、該筐体１３の吹出し口１５から吹出される。そして、該筐体１３の吹出し口１５から吹出された空気は、図２に矢印Ｙ２で示すように、作業台５の下側を左向きに流れる気流を形成し、エアイオナイザ２の筐体７の吸引口１２の直下（吸引口１２の正面）に達する。さらに、該筐体７の吸引口１２の直下に達した空気の多くは、エアイオナイザ２のファン１１の吸引作用によって、筐体７の吸引口１２を介して筐体７の内部に吸引され、該筐体７の吹出し口８から再び吹出される。

このようにして、エアイオナイザ２の筐体７の吹出し口８から吹出された空気は、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１に沿って空気吸引装置３に向かって流れた後、該空気吸引装置３の筐体１３の内部、作業台５の下側の空間を経てエアイオナイザ２の筐体７内に還流する。この場合、本実施形態では、作業台５の下側の空間（空気吸引装置３の吹出し口１５からエアイオナイザ２の吸引口１２に至る経路）によって、すなわち、図２に矢印Ｙ２で示す流路によって本発明における空気還流路が形成される。

かかる本実施形態の除電システム１では、上記の如く、エアイオナイザ２の吹出し口８から吹出された空気（空気イオンを含む空気）は、空気吸引装置３の筐体１３内に吸引される。このため、該空気は、その流速の低下や乱流を生じ難い定常的な気流となって、エアイオナイザ２の吹出し口８から空気吸引装置３の吸引口１４まで帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１に沿って流れる。特に、本実施形態の除電システム１では、空気吸引装置３で吸引された空気は、エアイオナイザ２に還流する。そして、この場合、その還流する空気の気流（図２の矢印Ｙ２の気流）は、帯電物体Ｘの表裏面のうちの除電対象面Ｘ１とは異なる面側の空間（本実施形態では、作業台５の下側の空間）に形成されるため、該空気の還流は、除電対象面Ｘ１に沿って流れる気流（図２の矢印Ｙ１の気流）を乱すことなく行なわれる。このため、除電対象面Ｘ１に沿って流れる気流（空気イオンを含む気流）の流速を高速に保ちつつ、その気流の安定性を高めることができる。

この結果、本実施形態の除電システム１によれば、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１のうち、エアイオナイザ２の吹出し口８から離れた箇所（右側辺Ｘ４寄りの箇所）にも、その除電に十分な量の空気イオンを供給できる。ひいては、該除電対象面Ｘ１に沿って流れる空気の気流に含まれる空気イオンによって、該除電対象面Ｘ１の各所の除電（電荷の中和）を効果的に行なうことができる。

次に、本発明の第２実施形態を図３を参照して説明する。図３は本実施形態の除電システム１’の断面図である。なお、本実施形態は、エアイオナイザ（イオン生成・送風手段）の構成のみが、前記第１実施形態のものと相違するので、第１実施形態と同一の構成部分については、第１実施形態と同一の参照符号を用いて説明を省略する。

本実施形態では、エアイオナイザ２２の筐体２７（第１の筐体）は、その横断面（前後方向に直交する断面）が逆コ字形状（空気吸引装置３の筐体１３の左右を反転させたような形状）に形成され、帯電物体Ｘの左側辺Ｘ３に沿って前後方向に延在している。この場合、筐体２７は、その上部が作業台５の上側の空間に存し、下部が作業台５の下側の空間（これは、帯電物体Ｘの表裏面のうちの除電対象面Ｘ１と異なる面（下面）Ｘ２側の空間に含まれる）に存するように配置されている。そして、筐体２７の上部は、前記第１実施形態の筐体７と同様に、帯電物体Ｘの左側面と左右方向に一定の間隔を存して前後方向に延在している。

この筐体２７の上部の、帯電物体Ｘ寄りの側面（右側面）には、空気の吹出し口２８が開設されている。この吹出し口２８は、筐体２７の長手方向に帯電物体Ｘの左側辺Ｘ３に沿って延在している。また、筐体２７の下部の右側面には、空気吸引装置３の吹出し口１５に対向して、空気の吸引口３２が開設されている。この吸引口３２は、筐体２７の長手方向（前後方向）に延在している。そして、筐体２７の上部の内部には、前記第１実施形態と同様に、放電電極９および高圧電源１０が収容されている。また、筐体２７の下部の内部には、吸引口３２に臨んで、ファン１１が設けられている。このファン１１の回転駆動によって、吸引口３２から筐体２７の内部に空気が吸引され、その吸引された空気が吹出し口２８から吹出されるようになっている。

以上説明した以外の構成は、前記第１実施形態の除電システム１と同じである。

本実施形態では、エアイオナイザ２２の吸引口３２が、空気吸引装置３の吹出し口１５に対向するため、空気吸引装置３の吹出し口１５から吹出された空気の大部分は、エアイオナイザ２２の吸引口３２を介して筐体２７内にスムーズに還流する。そのため、帯電物体Ｘの除電対象面Ｘ１に沿った空気の気流（空気イオンを含む気流）の安定性をより一層高めることができる。ひいては、該除電対象面Ｘ１に沿って流れる空気の気流に含まれる空気イオンによって、該除電対象面Ｘ１の各所の除電（電荷の中和）をより効果的に行なうことができる。

次に、前記第１実施形態の除電システム１による帯電物体の除電効果の検証試験について説明する。

図４はその検証試験のためのシステム構成を示す図である。同図４を参照して、このシステムでは、エアイオナイザ２と、空気吸引装置３との間に３台の帯電プレートモニタ装置５０が配列されている。各帯電プレートモニタ装置５０はいずれも同一構成であり、その筐体５１上に絶縁物５２を介して、擬似的な帯電物体を構成する金属製の帯電プレート５３が水平姿勢で取り付けられている。帯電プレート５３のサイズは例えば１５０ｍｍ角である。また、各帯電プレートモニタ装置５０の筐体５１には、帯電プレート５３に所定の電圧を付与して該帯電プレート５３を帯電させる高圧電源５４と、帯電プレート５３の電位の減衰時間を計測するタイマ５５と、帯電プレート５３の電位を計測する表面電位測定器５６とが内蔵されている。タイマ５５が計測する減衰時間は、表面電位測定器５６により計測される帯電プレート５３の電位が、高圧電源５４による帯電初期の電位から、所定の電位に減衰するまでの時間である。また、帯電プレート５３の定常状態での電位（十分に時間が経過した状態での電位）が、オフセット電圧として、表面電位測定器５６により計測することが可能となっている。

なお、本検証試験では、エアイオナイザ２の吹出し口８と、空気吸引装置３の吸引口１４の間隔を１２００ｍｍとし、その間隔方向で、吹出し口８側から３００ｍｍ、６００ｍｍ、９００ｍｍの間隔を存する位置で各帯電プレートモニタ装置５０が配列されている。また、各帯電プレート５３の高さは、エアイオナイザ２の吹出し口８の中心から下方に６５ｍｍだけ下がった高さとされている。また、エアイオナイザ２のファン１１の風量は、３．３ｍ³／min、空気吸引装置３のファン１６の風量は、６．６ｍ³／minである。

本検証試験では、各帯電プレートモニタ装置５０の帯電プレート５３を高圧電源５４により＋１０００［Ｖ］と−１０００［Ｖ］との２種類の電位に帯電させた。そして、除電システム１のエアイオナイザ２および空気吸引装置３の両者を作動させた状態と、エアイオナイザ２のみを作動させた状態（空気吸引装置３のファン１６をＯＦＦにした状態）とで、各帯電プレート５３の電位が＋１０００Ｖから＋１００Ｖまで減衰する時間（以下、＋側減衰時間という）と、−１０００［Ｖ］から＋１００［Ｖ］に減衰するまでの時間（以下、−側減衰時間という）と、その減衰後の定常状態でのオフセット電圧とを計測した。

その計測結果を次の表１に示す。なお、３台の帯電プレートモニタ装置５０の番号は、エアイオナイザ２に近いものから順番に１，２，３とする。

上記表１に見られるように、空気吸引装置３をＯＦＦにした場合とＯＮにした場合とのいずれの場合とを比較すると、各減衰時間は、前者の場合よりも、後者の場合の方が、短くなっている。このことから、帯電物体Ｘを迅速に除電する上で、空気吸引装置３を作動させることが有効であることが判る。

なお、エアイオナイザ２に近いものほど、短くなっている。これは、エアイオナイザ２に近い方が、供給される正負の空気イオンが多いからである。また、空気吸引装置３をＯＦＦにした場合とＯＮにした場合とのいずれの場合でも、−側減衰時間は、＋側減衰時間よりも長くなっている。これは、負の空気イオンの方が正の空気イオンよりも、質量が小さいことなどに起因して、よりエアイオナイザ２からより遠くまで到達しやすく、その結果、帯電プレート５３が負側に帯電しやすいためであると考えられる。実際、表１のオフセット電圧を見ても、帯電プレート５３は、定常状態において、負側の電位に若干偏る傾向がある。ただし、オフセット電圧は、いずれの場合でも十分に小さく、十分な除電がなされていると言える。

補足すると、前記した各実施形態では、エアイオナイザ２，２２の吸引口１２，３２と、空気吸引装置３の吹出し口１５とをダクトを介して接続し、そのダクトによって空気還流路を形成するようにしてもよい。また、前記各実施形態では、平板状の帯電物体Ｘを水平配置して除電を行なう除電システム１，１’を示したが、帯電物体Ｘを垂直姿勢で配置して、該帯電物体Ｘの表裏面の一方の除電を行なうようにしてもよい。この場合、例えば空気イオンを含む空気を上下方向あるいは水平方向で帯電物体Ｘの除電対象面に沿って流すようにして、それを帯電物体Ｘの表裏面のうちの除電対象面と異なる面側で還流させるようにすればよい。

また、前記各実施形態では、帯電物体Ｘを平板状の作業台５上に載置するようにしたが、例えば、帯電物体Ｘの４隅を棒状の部材で支持するようにしてもよい。

また、前記各実施形態では、エアイオナイザ２において、放電電極９に交流高電圧を印加することで、正および負の空気イオンを生成するようにしたが、正の直流高電圧を印加する放電電極と負の直流高電圧を印加する放電電極とを備え、それらの放電電極のコロナ放電によって、それぞれ正の空気イオン、負の空気イオンを生成するようにしてもよい。

本発明の第１実施形態の除電システムの概略的な外観構成を示す斜視図。 図１のII−II線断面図。 本発明の第２実施形態の除電システムの断面図。 第１実施形態の除電システムの検証試験のためのシステム構成を示す図。

符号の説明

１，１’…除電システム、２，２２…エアイオナイザ（イオン生成・送風手段）、３…空気吸引装置（空気吸引手段）、７，２７…第１の筐体、８，２８…第１の筐体の吹出し口、９…放電電極（イオン生成手段）、１１…ファン（第１の送風機）、１２，３２…第１の筐体の吸引口、１３…第２の筐体、１４…第２の筐体の吸引口、１５…第２の筐体の吹出し口、１６…ファン（第２の送風機）。

Claims (5)

1. 平板状の帯電物体の表裏面のうちの一方を除電対象面とし、その除電対象面の除電を行なう除電システムであって、
   前記帯電物体の除電対象面の両側辺のうちの第１の辺側で該第１の辺に近接して配置され、該第１の辺に沿って延在する第１の筐体と、該第１の筐体に設けられた吸引口から該第１の筐体内に空気を吸引し、その吸引した空気を、前記除電対象面の両側辺のうちの第１の辺側から第２の辺側に向かって開口するように該第１の筐体に設けられた吹出し口から前記除電対象面に沿わせて吹出す第１の送風機と、前記第１の筐体内に吸引された空気をイオン化して正および負の空気イオンを生成するイオン生成手段とを有するイオン生成・送風手段と、
   前記除電対象面の両側辺のうちの第２の辺側で該第２の辺に近接して配置され、該第２の辺に沿って延在する第２の筐体と、前記第１の筐体の吹出し口に対向して該第２の筐体に形成された吸引口から該第２の筐体内に空気を吸引し、その吸引した空気を該第２の筐体に設けられた吹出し口から吹出す第２の送風機とを有する空気吸引手段とを備えたことを特徴とする除電システム。
2. 前記第２の筐体の吹出し口から吹出される空気の少なくとも一部を前記第１の筐体の吸引口に還流させる空気還流路が設けられていることを特徴とする請求項１記載の除電システム。
3. 前記空気還流路は、前記帯電物体の表面側の空間と裏面側の空間とのうち、除電対象面と異なる面側の空間に設けられていることを特徴とする請求項２記載の除電システム。
4. 前記第２の筐体の吹出し口は、前記帯電物体の表面側の空間と裏面側の空間とのうち、前記除電対象面と異なる面側の空間で前記第２の辺側から第１の辺側に向かって開口するように前記第２の筐体に設けられ、前記第１の筐体の吸引口は、当該除電対象面と異なる面側の空間で前記第２の筐体の吹出し口に対向して設けられていることを特徴とする請求項１記載の除電システム。
5. 前記第１の筐体の吸引口は、前記帯電物体の法線方向で、前記帯電物体の表面側の空間と裏面側の空間とのうち、前記除電対象面と異なる面側の空間に向かって開口するように前記第１の筐体に設けられ、前記第２の筐体の吹出し口は、当該除電対象面と異なる面側の空間で前記第１の辺側から前記第１の筐体の吸引口の正面箇所に向かって開口するように前記第２の筐体に設けられていることを特徴とする請求項１記載の除電システム。

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