KR20150077259A - 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 내부를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 내부를 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치가 기화한 플럭스를 흡인하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 검사 처리를 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 검사 장치가 기화한 플럭스를 흡인하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 검사 장치의 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 검사 장치의 검사 처리를 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 10은 도 9에 나타낸 검사 처리에 있어서의 제 1 대기 처리(서브 루틴)를 나타낸 플로우 차트이다.
도 11은 도 9에 나타낸 검사 처리에 있어서의 제 2 대기 처리(서브 루틴)를 나타낸 플로우 차트이다.
도 12는 도 9에 나타낸 검사 처리(서브 루틴)를 나타낸 플로우 차트이다.
도 13은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 검사 장치의 내부를 나타낸 측면도이다.
도 14는 본 발명의 제 1 실시형태의 변형예에 의한 검사 장치가 기화한 플럭스를 흡인하는 상태를 나타낸 도면이다.
Claims (12)
- 리플로우 후의 기판을 소정의 검사 위치에서 촬상해서 화상을 취득하는 촬상부와,
촬상된 화상에 기초하여 상기 기판의 검사를 행하는 제어부와,
상기 기판상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하기 위한 플럭스 흡인 팬을 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 검사 위치로 상기 기판을 반송하는 제 1 컨베이어와,
상기 검사 위치로 반송된 상기 기판의 상방을 향해서 송풍하는 제 1 송풍 팬을 더 구비하고,
상기 플럭스 흡인 팬은 상기 검사 위치로 반송된 상기 기판을 상기 제 1 송풍 팬과의 사이에 두고, 상기 제 1 송풍 팬과 대향하도록 배치된 제 1 플럭스 흡인 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 기판은 상기 검사 위치로 반송된 것을 검출하는 검출 센서를 더 구비하고,
상기 제어부는 상기 검출 센서에 의해 상기 기판이 검출되었다고 판단한 경우에 상기 플럭스 흡인 팬을 동작시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 촬상부와 상기 촬상부에 의해 촬상이 행해질 때에 광을 조사하는 조명부를 포함하는 검사 헤드를 더 구비하고,
상기 검사 헤드는 상기 검사 위치의 상방과 상기 기판의 상방과는 다른 퇴피 위치로 이동 가능하게 구성되고,
상기 제어부는 상기 기판이 상기 검사 위치로 반송되었다고 판단한 경우에 상기 플럭스 흡인 팬을 동작시킨 후, 상기 검사 헤드를 상기 퇴피 위치로부터 상기검사 위치의 상방으로 이동시키고, 상기 촬상부로 상기 기판을 촬상하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 컨베이어는 상기 기판의 반송 방향에 대하여 수직 방향으로 이동가능한 가동 컨베이어이고,
상기 플럭스 흡인 팬 및 상기 제 1 송풍 팬 중 적어도 하나는 상기 가동 컨베이어에 배치됨과 아울러 상기 가동 컨베이어의 이동과 함께 배치 위치가 변경되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 촬상부를 둘러싸도록 설치된 하우징과,
상기 하우징에 설치되고, 상기 하우징의 외부로부터 내부로 공기를 흡인하는 외부 공기 흡인 팬을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 플럭스 흡인 팬은 흡인한 플럭스를 상기 하우징의 외부로 배기하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사 위치보다 상기 기판의 반송 방향의 상류측의 기판 대기 위치로 상기 기판을 반송하는 제 2 컨베이어와,
상기 기판 대기 위치로 반송된 상기 기판의 상방을 향해서 송풍하는 제 2 송풍 팬을 더 구비하고,
상기 플럭스 흡인 팬은 상기 기판 대기 위치로 반송된 상기 기판을 상기 제 2 송풍 팬과의 사이에 두고, 상기 제 2 송풍 팬과 대향하도록 배치된 제 2 플럭스 흡인 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 기판을 상기 기판 대기 위치에 대기시키는 미리 설정된 대기 시간보다 상기 검사 위치에 있어서의 상기 기판의 검사 시간쪽이 긴 경우에는 상기 대기 시간 경과 후에도 상기 기판을 상기 기판 대기 위치에 대기시켜서 상기 제 2 송풍 팬 및 상기 제 2 플럭스 흡인 팬의 동작을 계속시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어부는 검사되는 상기 기판의 정보에 기초하여 상기 플럭스 흡인 팬의 회전수를 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 기판의 반송 방향에 수직인 방향의 폭의 크기에 따라서 상기 플럭스 흡인 팬의 회전수를 증감하는 제어를 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 기판은 상기 검사 위치로부터 하류측으로 반송된 것을 검출하는 기판 반출 검출 센서를 더 구비하고,
상기 제어부는 상기 기판 반출 검출 센서에 의해 상기 기판이 반출되었다고 판단한 경우에 상기 플럭스 흡인 팬의 동작을 정지시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
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