KR20150077259A

KR20150077259A - 검사 장치

Info

Publication number: KR20150077259A
Application number: KR1020140061744A
Authority: KR
Inventors: 케이수케 사카키바라
Original assignee: 야마하하쓰도키 가부시키가이샤
Priority date: 2013-12-27
Filing date: 2014-05-22
Publication date: 2015-07-07
Also published as: JP2015126222A; KR101682038B1; JP6285714B2

Abstract

본 발명의 검사 장치는 리플로우 후의 기판을 소정의 검사 위치에서 촬상하여 화상을 취득하는 촬상부와, 촬상된 화상에 기초하여 기판의 검사를 행하는 제어부와, 기판 상의 땜납으로서 발생하는 플럭스를 흡인하기 위한 플럭스 흡인 팬을 구비한다.

Description

검사 장치{INSPECTION DEVICE}

본 발명은 검사 장치에 관한 것이고, 특히 리플로우 후의 기판을 검사하는 검사 장치에 관한 것이다.

종래, 리플로우 후의 기판을 검사하는 검사 장치가 알려져 있다. 이러한 검사 장치는 예를 들면, 일본국 특허공개 2012-18082호 공보에 개시되어 있다

상기 일본국 특허공개 2012-18082호 공보에는 리플로우 후의 기판을 소정의 검사 위치에서 촬상해서 화상을 취득하는 촬상부와 촬상된 화상에 기초하여 기판의 검사를 행하는 제어부를 구비하는 검사 장치가 일본국 특허공개 2012-18082호 공보에 개시되어 있다.

그러나, 상기 일본국 특허공개 2012-18082호 공보에 기재된 검사 장치에서는 기판이 리플로우된 때의 열에 기인해서 기판 상의 땜납으로부터 발생(기화)하는 플럭스에 의해 촬상부가 오염되어버리고, 그 결과, 검사 정밀도가 저하한다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위한 것이고, 본 발명의 1개의 목적은 플럭스에 기인하는 검사 정밀도의 저하를 억제하는 것이 가능한 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 하나의 국면에 있어서의 검사 장치는 리플로우 후의 기판을 소정의 검사 위치에서 촬상해서 화상을 취득하는 촬상부와, 촬상된 화상에 기초하여 기판의 검사를 행하는 제어부와, 기판 상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하기 위한 플럭스 흡인 팬을 구비한다.

본 발명의 하나의 국면에 의한 검사 장치에서는 상기한 바와 같이, 기판상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하기 위한 플럭스 흡인 팬을 설치함으로써, 기판상의 땜납으로부터 발생(기화)한 플럭스를 적극적으로 제거할 수 있으므로, 촬상부가 기화한 플럭스에 노출되는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해 촬상부가 플럭스에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있으므로 플럭스에 기인하는 검사 정밀도의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 땜납으로부터 플럭스가 발생하는 것을 억제하기 위해서 기판을 냉각하는 냉각 장치를 기판의 반송 방향에 있어서의 검사 장치의 상류측에 설치하는 구성과 비교하여, 공간 절약화를 꾀할 수 있다. 또한, 촬상부가 기화한 플럭스에 노출되는 것을 억제하기 위해서 케이스에 의해 촬상부를 덮는 구성과 달리 촬상부에 열이 가해지는 것을 억제할 수 있다.

상기 하나의 국면에 의한 검사 장치에 있어서, 바람직하게는 검사 위치로 기판을 반송하는 제 1 컨베이어와 검사 위치로 반송된 기판의 상방을 향해서 송풍하는 제 1 송풍 팬을 더 구비하고, 플럭스 흡인 팬은 검사 위치로 반송된 기판을 제 1 송풍 팬과의 사이에 두고, 제 1 송풍 팬과 대향하도록 배치된 제 1 플럭스 흡인 팬을 포함한다. 이렇게 구성하면, 제 1 송풍 팬에 의해, 기판 상의 땜납으로부터 발생(기화)한 플럭스를 제 1 플럭스 흡인 팬에 적극적으로 송입할 수 있으므로 기화한 플럭스를 제 1 플럭스 흡인 팬에 확실하게 흡인시킬 수 있다. 또한, 제 1 송풍 팬에 의해, 검사 위치로 반송된 기판의 상방에 공기의 흐름이 형성되므로, 그 공기의 흐름에 의해 기판을 냉각할 수 있다. 이것에 의해 기판으로부터 발생하는 플럭스의 양을 서서히 저감할 수 있다.

상기 하나의 국면에 의한 검사 장치에 있어서, 바람직하게는 기판이 검사 위치로 반송된 것을 검출하는 검출 센서를 더 구비하고, 제어부는 검출 센서에 의해 기판이 검출되었다고 판단한 경우에 플럭스 흡인 팬을 동작시키도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면, 검사 위치(촬상부의 근방의 위치)에 기판이 반송되었을 때에만 플럭스 흡인 팬을 동작시킬 수 있으므로, 촬상부가 오염되는 것을 억제하면서, 전력 절약화를 꾀할 수 있다.

이 경우, 바람직하게는 촬상부와 촬상부에 의해 촬상이 행해질 때에 광을 조사하는 조명부를 포함하는 검사 헤드를 더 구비하고, 검사 헤드는 검사 위치의 상방과 기판의 상방과는 다른 퇴피 위치로 이동 가능하게 구성되고, 제어부는 기판이 검사 위치로 반송되었다고 판단한 경우에 플럭스 흡인 팬을 동작시킨 후, 검사 헤드를 퇴피 위치로부터 검사 위치의 상방으로 이동시키고, 촬상부로 기판을 촬상시키도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 기판의 촬상이 행해지지 않을 경우에는 기판 상의 땜납으로부터 발생한 플럭스에 노출되기 어려운 퇴피 위치에 검사 헤드를 퇴피시켜 둠으로써, 촬상부가 오염되는 것을 보다 억제할 수 있다.

상기 제 1 컨베이어를 구비하는 구성에 있어서, 바람직하게는 제 1 컨베이어는 기판의 반송 방향에 대하여 수직 방향으로 이동 가능한 가동 컨베이어이고, 플럭스 흡인 팬 및 제 1 송풍 팬 중 적어도 일방은 가동 컨베이어에 배치됨과 아울러, 가동 컨베이어의 이동과 함께 배치 위치가 변경되도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 반송되는 기판에 가까운 위치에 플럭스 흡인 팬 및 제 1 송풍 팬 중 적어도 일방을 배치할 수 있으므로, 기판상의 땜납으로부터 발생한 플럭스를 효율적으로 제거할 수 있다.

상기 하나의 국면에 의한 검사 장치에 있어서, 바람직하게는 촬상부를 둘러싸도록 설치된 하우징과 하우징에 설치되고 하우징의 외부로부터 내부로 공기를 흡인하는 외부 공기 흡인 팬을 더 구비한다. 이렇게 구성하면, 외부 공기 흡인 팬에 의해 하우징의 내부를 정압으로 할 수 있으므로, 플럭스 흡인 팬에 의해 흡인된 플럭스를 용이하게 하우징의 외부로 배출할 수 있다.

이 경우, 바람직하게는 플럭스 흡인 팬은 흡인한 플럭스를 하우징의 외부로 배기하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 흡인한 플럭스를 하우징의 내부에 저장할 필요가 없는 만큼, 검사 장치를 소형화할 수 있다.

상기 하나의 국면에 의한 검사 장치에 있어서, 바람직하게는 검사 위치보다 기판의 반송 방향의 상류측의 기판 대기 위치로 기판을 반송하는 제 2 컨베이어와 기판 대기 위치로 반송된 기판의 상방을 향해서 송풍하는 제 2 송풍 팬을 더 구비하고, 플럭스 흡인 팬은 기판 대기 위치로 반송된 기판을 제 2 송풍 팬과의 사이에 두고, 제 2 송풍 팬과 대향하도록 배치된 제 2 플럭스 흡인 팬을 포함한다. 이와 같이 구성하면, 기판 대기 위치에 있어서도 제 2 송풍 팬에 의해 기판상의 땜납으로부터 발생(기화)한 플럭스를 제 2 플럭스 흡인 팬에 적극적으로 송입할 수 있으므로, 기화한 플럭스에 촬상부가 노출되는 것을 더욱 억제할 수 있다. 또한, 제 2 송풍 팬에 의해, 기판 대기 위치로 반송된 기판의 상방에 공기의 흐름이 형성되므로, 그 공기의 흐름에 의해 기판을 냉각할 수 있다. 이것에 의해 기판이 검사 위치로 반송되기 전에 기판으로부터 발생하는 플럭스의 양을 저감할 수 있다.

이 경우, 바람직하게는 제어부는 기판을 기판 대기 위치에 대기시켜 미리 설정된 대기 시간보다 검사 위치에 있어서의 기판의 검사 시간쪽이 긴 경우에는, 대기 시간 경과 후에도 기판을 기판 대기 위치에 대기시켜서 제 2 송풍 팬 및 제 2 플럭스 흡인 팬의 동작을 계속시키도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면, 검사 대기의 시간을 이용하여, 보다 장시간, 기화한 플럭스를 제 2 플럭스 흡인 팬에 적극적으로 송입할 수 있음과 아울러 기판 대기 위치로 반송된 기판을 냉각할 수 있다.

상기 하나의 국면에 의한 검사 장치에 있어서, 바람직하게는 제어부는 검사되는 기판의 정보에 기초하여 플럭스 흡인 팬의 회전수를 제어하도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면, 예를 들면, 기판 치수의 정보에 기초하여 대형 기판을 검사하는 경우(기화하는 플럭스의 양이 많을 경우)에 회전수를 높게 설정하는 제어 을 행함으로써, 대형의 기판으로부터 발생한 플럭스를 확실하게 제거할 수 있다. 이와 같이, 기판의 정보에 기초하여 플럭스 흡인 팬의 적절한 회전수를 설정함으로써, 촬상부가 오염되는 것을 더욱 효과적으로 억제할 수 있다.

상기 플럭스 흡인 팬의 회전수를 제어하는 구성에 있어서, 바람직하게는 제어부는 기판의 반송 방향에 수직인 방향의 폭의 크기에 따라 플럭스 흡인 팬의 회전수를 증감하는 제어를 하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 플럭스 흡인 팬의 회전수를 기판의 사이즈에 따라 증감하고, 적절한 회전수로 설정할 수 있다.

상기 기판이 검사 위치로 반송된 것을 검출하는 검출 센서를 구비하는 구성에 있어서, 바람직하게는 기판이 검사 위치로부터 하류측으로 반송된 것을 검출하는 기판 반출 검출 센서를 더 구비하고, 제어부는 기판 반출 검출 센서에 의해 기판이 반출되었다고 판단한 경우에 플럭스 흡인 팬의 동작을 정지시키도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면, 전력 절약화를 꾀할 수 있음과 아울러, 플럭스 흡인 팬에 기인하는 소음을 저감할 수 있다.

본 발명에 의하면, 상기한 바와 같이, 플럭스에 기인하는 검사 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 외관을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 내부를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 내부를 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치가 기화한 플럭스를 흡인하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 검사 장치의 검사 처리를 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 검사 장치가 기화한 플럭스를 흡인하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 검사 장치의 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 검사 장치의 검사 처리를 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 10은 도 9에 나타낸 검사 처리에 있어서의 제 1 대기 처리(서브 루틴)를 나타낸 플로우 차트이다.
도 11은 도 9에 나타낸 검사 처리에 있어서의 제 2 대기 처리(서브 루틴)를 나타낸 플로우 차트이다.
도 12는 도 9에 나타낸 검사 처리(서브 루틴)를 나타낸 플로우 차트이다.
도 13은 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 검사 장치의 내부를 나타낸 측면도이다.
도 14는 본 발명의 제 1 실시형태의 변형예에 의한 검사 장치가 기화한 플럭스를 흡인하는 상태를 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

(제 1 실시형태)

우선, 도 1∼도 5을 참조하고, 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 검사 장치(100)의 구조에 관하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타내는 검사 장치(100)는 리플로우 후의 기판(110)(도 2 참조)을 소정의 검사 위치에서 검사를 행하기 위한 장치이다. 구체적으로는 검사 장치(100)는 땜납이 기판(110)에 정확하게 인쇄되어 있는지의 여부, 부품이 기판(110)에 정확하게 실장되어 있는지 등의 각종 검사를 행하기 위한 장치이다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 검사 장치(100)는 기대(1) 상에 설치된 기판 반송 컨베이어(이하, 컨베이어라고 한다)(10)와 X빔(20)과, Y빔(30)과, 검사 헤드(40)와, 팬 장치(50)(도 3 참조)를 구비하고 있다. 또한, 검사 장치(100)는 도 5에 나타내는 바와 같이, CPU(60)와, 기억부(70)와, 표시부(80)(도 1참조)를 구비하고 있다. 또한, 검사 장치(100)는 하우징(1OOa)(도 1참조)의 X1방향측의 개구부(101)(도 1 참조)로부터 기판(110)이 반입되고, 검사가 완료된 기판(110)을 X2 방향측으로부터 반출하도록 구성되어 있다. 또한, 컨베이어(10)는 본 발명의 「제 1 컨베이어」의 일례이다. 또한 CPU(60)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.

컨베이어(10)는 도 2에 나타내는 바와 같이 기판(110)을 유지해서 X1방향측의 개구부(101)(도 1참조)로부터 X2방향을 향해서 반송하는 기능을 갖는다. 또한, 컨베이어(10)는 한 쌍의 레일(10a 및 10b)을 포함하고 있다. 또한, 한 쌍의 레일(10a 및 10b) 사이에는 검출 센서(11)와 스토퍼(12)가 설치되어 있다. 컨베이어(10)는 검사 위치까지 기판(110)을 반송하고, 유지 기구(도시하지 않음)에 의하여 기판(110)을 검사 위치에 고정하도록 구성되어 있다. 이 검사 위치에 있어서, 기판(110)의 검사가 행해진다. 또한, 컨베이어(160)는 레일(10b)이 Y방향으로 이동가능한 가동 컨베이어이다. 이것에 의해, 반송 방향과 수직 방향(Y방향)의 폭이 다른 기판(110)도 반송하는 것이 가능하다.

검출 센서(11)는 기판(110)이 검사 위치로 반송(반입)된 것을 검출하는 기능을 갖고 있다. 또한, 검출 센서(11)는 기판(110)이 검사 위치로부터 반송(반출)된 것을 검출하는 기능을 갖고 있다. 또한, 검출 센서(11)는 본 발명의 「기판 반출 검출 센서」의 일례이다.

스토퍼(12)는 반송되는 기판(110)을 검사 위치에서 정지시키는 기능을 갖고 있다. 스토퍼(12)에 당접한 상태에 있어서 기판(110)이 검출 센서(11)에 의해 검출되면, 스토퍼(12)는 기판(110)에 당접하지 않는 높이 위치까지 하강한다. 또한, 스토퍼(12)는 검사 위치로부터 기판(110)이 반송(반출)되면 기판(110)에 당접 가능한 높이 위치까지 상승한다.

X빔(20)은 검사 헤드(40)를 X방향으로 이동 가능하게 지지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 X빔(20)은 X빔 모터(21)를 포함하고 있다. 이 X빔 모터(21)가 구동함으로써, 검사 헤드(40)가 X빔(20)에 따라 이동된다. 또한, Y빔(30)은 X빔(20)을 통하여 검사 헤드(40)를 Y방향으로 이동 가능하게 지지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 Y빔(30)은 Y빔 모터(31)를 포함하고 있다. 이 Y빔 모터(31)가 구동함으로써 X빔(20)을 통하여 검사 헤드(40)가 Y빔(30)을 따라서 이동된다. 이들에 의해, 검사 헤드(40)를 검사 위치의 상방(도 3 참조)과 검사 위치에 배치된 기판(110)의 상방과는 다른 퇴피 위치(도 2참조)로 이동시키는 것이 가능하다. 또한, 퇴피 위치란 검사 위치에 배치된 기판(110)의 상방과는 다른 위치임과 아울러, 컨베이어(10)의 한 쌍의 레일(1Oa 및 1Ob)에 끼워져 있는 위치와는 다른 위치이다.

검사 헤드(40)는 도 3에 나타내는 바와 같이 촬상부(41)와 촬상부(41)에 의해 촬상이 행해질 때에 광을 조사하는 조명부(42)를 포함한다. 또한, 검사 헤드(40)는 돔 형상의 케이스(40a)를 포함하고 있다. 이 케이스(40a)의 내면측에 조명부(42)와 촬상부(41)의 렌즈부(도시 생략)가 배치되어 있다. 또한, 검사 헤드(40)는 기판(110)의 상방으로 이동된 상태에서, 기판(110)의 검사를 행한다.

조명부(42)는 예를 들면, 복수의 LED 광원을 포함하고 있다.

여기서, 제 1 실시형태서는 팬 장치(50)는 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)과 송풍 팬(52)과, 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 포함하고 있다. 또한, 송풍 팬(52)은 본 발명의 「제 1 송풍 팬」의 일례이다. 또한, 플럭스 흡인 팬(53a)은 본 발명의 「제 1 플럭스 흡인 팬」의 일례이다. 또한, 도 3에 있어서, 사선이 있는 화살표는 공기의 흐름을 나타내고, 흑색의 화살표는 기화 플럭스의 흐름을 나타내고 있다.

외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)은 도 3에 나타내는 바와 같이 하우징(100a)의 외부로부터 내부로 공기를 흡인하는 기능을 갖고 있다, 이것에 의해 하우징(100a)의 내부를 정압하는 것이 가능하다. 외부 공기 흡인 팬(51a)은 하우징(100a)의 상면에 설치되어 있다. 또한, 외부 공기 흡인 팬(51b 및 51c)은 각각 하우징(100a)의 측면의 하방에 설치되어 있어 기대(1) 하방의 부실(도시 생략)로 공기를 흡인한다. 이 공기는 기대(1)에 설치된 개구(1a)를 통해 기대(1) 상방의 부실(3)로 들어간다. 또한, 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)에는 각각 교환 가능한 필터(55)가 설치되어 있다. 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)에 설치되어 있는 필터(55)는 먼지 등이 하우징(100a)의 외부로부터 내부로 침입하는 것을 억제하는 기능을 갖고 있다.

송풍 팬(52)은 검사 위치로 반송된 기판(110)을 향해서 송풍함으로써, 기판(110)으로부터 발생하는 플럭스를 플럭스 흡인 팬(53a)을 향해서 기판(110) 상측을 따라서 송입하는 기능을 갖고 있다. 송풍 팬(52)은 도 2∼도 4에 나타내는 바와 같이, 컨베이어(10)의 레일(10b)에 설치되어 있다. 또한, 송풍 팬(52)은 플럭스 흡인 팬(53a)과 대향(정대)하도록 배치되어 있다. 또한, 송풍 팬(52)은 컨베이어(10)의 레일(10b)과 함께 Y방향으로 이동 가능하다. 구체적으로는 송풍 팬(52)과 플럭스 흡인 팬(53a)은 서로 기판(110)의 반송 방향과 수직인 방향(Y방향)에 있어서, 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 송풍 팬(52) 및 플럭스 흡인 팬(53a)은 각각 레일(10b 및 10a)에 평행하게 배치되어 있다. 바꿔 말하면, 송풍 팬(52)(플럭스 흡인 팬(53a))은 송풍(흡인)방향이 레일(1Ob(1Oa))에 수직이 되도록 레일(1Ob(1Oa))에 배치되어 있다.

플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)은 기판(110)상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하는 기능을 갖고 있다. 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)은 서로 덕트(54)를 통하여 연결되어 있다.

플럭스 흡인 팬(53a)은 컨베이어(10)의 레일(10a)에 설치되어 있다. 플럭스 흡인 팬(53a)은 송풍 팬(52)과의 사이에 검사 위치로 반송된 기판(110)을 끼우도록 송풍 팬(52)과 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 플럭스 흡인 팬(53a)의 기판(110)측(Y1방향측)에는 교환 가능한 필터(55)가 설치되어 있다. 플럭스 흡인 팬(53a)에 설치되어 있는 필터(55)는 플럭스 흡인 팬(53a)에 의해 흡인된 플럭스가 직접, 하우징(100a)의 외부로 배기되는 것을 억제하는 기능을 갖고 있다. 즉, 플럭스 흡인 팬(53a)에 의해 흡인되어, 필터(55)에 포착(흡착)되지 않은 플럭스가 공기와 함께 하우징(100a)의 외부로 배기된다.

플럭스 흡인 팬(53b)은 하우징(100a)의 측면에 설치되어 있다. 플럭스 흡인 팬(53b)은 플럭스 흡인 팬(53a)에 의해 흡인되어 덕트(54)를 통하여 송입된 플럭스를 하우징(100a)의 외부로 배출하도록 구성되어 있다.

CPU(60)는 도 5에 나타내는 바와 같이, 검사 장치(100) 전체의 제어를 행하도록 구성되어 있다. 또한, CPU(60)는 촬상부(41)에 의해 촬상된 화상에 기초해서 기판(110)의 검사를 행한다. 또한, CPU(60)는 기판(110)이 검사 장치(100)에 반입될 때까지는 팬 장치(50)(외부 공기 흡인 팬(51a∼51c), 송풍 팬(52), 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b))을 정지시키도록 구성되어 있다. 또한, CPU(60)는 검출 센서(11)에 의해 기판(110)이 검출되었다고 판단한 경우에 팬 장치(50)를 동작시키도록 구성되어 있다. 또한, CPU(60)는 검사되는 기판(110)의 정보(예를 들면, 사이즈 등의 정보)에 기초하여, 팬 장치(50)의 회전수를 제어하도록 구성되어 있다. 구체적으로는 CPU(60)는 기판(110)의 Y방향의 폭의 크기(컨베이어(10)의 레일(1Oa 및 1Ob)의 간격의 크기)에 따라 팬 장치(50)의 회전수를 증감하는 제어를 행한다. 상세하게는 CPU(60)는 기판(110)의 Y방향의 폭의 크기에 비례하도록 팬 장치(50)의 회전수를 설정한다.

기억부(70)는 검사에 관한 데이터 등을 격납하도록 구성되어 있다.

표시부(80)는 검사 결과 등을 표시하도록 구성되어 있다.

다음에, 도 2∼도 4 및 도 6을 참조하고, 검사 장치(100)의 검사 처리에 관하여 설명한다. 이 검사 처리는 CPU(60)에 의해 실시된다.

우선, 스텝(S1)에 있어서, CPU(60)는 스토퍼(12)를 하강 위치로부터 상승시킨 후, 검사 위치로 기판(110)을 반송시킨다.

다음에, 스텝(S2)에 있어서, CPU(60)는 검사 위치로 기판(110)이 반송된 것인지의 여부를 판단한다. 구체적으로는 CPU(60)는 검출 센서(11)에 의해 기판(110)이 검출된 것에 기초하여, 검사 위치로 기판(110)이 반송되었다고 판단한다. CPU(60)는 검사 위치로 기판(110)이 반송될 때까지 이 판단을 반복하고, 검사 위치로 기판(110)이 반송되면, 스텝(S3)으로 처리를 행한다.

다음에, 스텝(S3)에 있어서, CPU(60)는 팬 장치(50)의 전원을 온으로 한다. 구체적으로는 CPU(60)는 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)과 송풍 팬(52)과 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)의 전원을 온으로 한다. 이것에 의해 팬 장치(50)에 의한 송풍(흡인 및 배기)이 개시된다. 또한, 단계(S3)에 있어서, CPU(60)는 검사되는 기판(110)(검사 장치(100)에 반입되는 기판(110))의 사이즈의 정보에 기초하여 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)과, 송풍 팬(52)과, 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 소정의 회전수로 동작시킨다.

다음에, 스텝(S4)에 있어서, CPU(60)는 검사 헤드(40)를 검사 위치로 이동시킨다. 구체적으로는 검사 헤드(40)는 퇴피 위치(도 2참조)로부터 검사 위치(도 3참조)로 이동된다.

다음에, 스텝(S5)에 있어서, CPU(60)는 검사 장치(100)의 각 부를 제어해서 검사를 개시한다. 이와 같이, 스텝(S3)∼스텝(S5)의 처리에 의해, CPU(60)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판(110)이 검사 위치로 반송되었다고 판단된 경우에 팬 장치(50)를 동작시킨 후, 검사 헤드(40)를 퇴피 위치로부터 검사 위치의 상방으로 이동시킨다. 그리고, CPU(60)는 촬상부(41)에 기판(110)을 촬상시켜서 검사를 행한다.

다음에, 스텝(S6)에 있어서, CPU(60)는 검사가 종료되었는지의 여부를 판단한다. CPU(60)는 검사가 종료될 때까지 이 판단을 반복하고, 검사가 종료되면, 스텝(S7)으로 처리를 진행시킨다.

다음에, 스텝(S7)에 있어서, CPU(60)는 스토퍼(12)를 상승 위치로부터 하강시킨 후 검사 위치로부터 기판(110)을 반송한다.

다음에, 스텝(S8)에 있어서, CPU(60)는 검사 위치부터 기판(110)이 반송(반출)되었는지의 여부를 판단한다. 구체적으로는 CPU(60)는 검출 센서(11)에 의해 기판(110)이 검출되어 있는 상태로부터 검출되지 않게 된 상태로 변화된 것에 기초하여 기판(110)이 검사 위치로부터 반송되었다고 판단한다. 즉, 검출 센서(11)는 기판(110)이 검사 위치로부터 하류측으로 반출된 것을 검출하는 기판 반출 검출 센서로서도 기능한다. CPU(60)는 기판(110)이 검사 위치로부터 반송될 때까지 이 판단을 반복하고, 기판(110)이 검사 위치로부터 반송되면, 스텝(S9)으로 처리를 진행시킨다.

다음에, 스텝(S9)에 있어서, CPU(60)는 팬 장치(50)의 전원을 오프한다. 구체적으로는 CPU(60)는 스토퍼(12)를 하강 위치로부터 상승시킨 후, 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)과 송풍 팬(52)과, 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)의 전원을 오프한다. 이것에 의해 팬 장치(50)에 의한 송풍(흡인 및 배기)이 정지된다.

다음에, 스텝(S10)에 있어서, CPU(60)는 검사 헤드(40)를 퇴피 위치로 이동(퇴피)시킨다. 그 후, CPU(60)는 검사 처리를 종료한다.

제 1 실시형태에서는 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 기판(110)상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하기 위한 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 설치한다. 이것에 의해 기판(110)상의 땜납으로부터 발생(기화)한 플럭스를 적극적으로 제거할 수 있으므로, 촬상부(41)가 기화한 플럭스에 노출되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 촬상부(41)가 플럭스에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있으므로, 플럭스에 기인하는 검사 정밀도의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 기판(110) 상의 땜납으로부터 플럭스가 발생하는 것을 억제하기 위해서 검사 장치(100)의 기판(110)의 반송 방향에 있어서의 상류측에 기판(110)을 냉각하는 냉각 장치를 설치하는 구성과 달리 공간 절약화를 꾀할 수 있다. 또한, 촬상부(41)가 기화한 플럭스에 노출되는 것을 억제하기 위해서 케이스에 의해 촬상부(41)를 덮는 구성과 비교하여, 촬상부(41)에 열이 가해지는 것을 억제할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 송풍 팬(52)과의 사이에 검사 위치로 반송된 기판(110)을 끼워, 송풍 팬(52)과 대향하도록 배치된 플럭스 흡인 팬(53a)을 설치한다. 이것에 의해 송풍 팬(52)에 의해, 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생(기화)한 플럭스를 플럭스 흡인 팬(53a)에 적극적으로 송입할 수 있으므로, 기화한 플럭스를 플럭스 흡인 팬(53a)에 확실하게 흡인시킬 수 있다. 또한, 송풍 팬(52)에 의해, 검사 위치로 반송된 기판(110)의 상방에 공기의 흐름이 형성되므로, 그 공기의 흐름에 의해 기판(110)을 냉각할 수 있다. 이것에 의해, 기판(110)으로부터 발생하는 플럭스의 양을 서서히 저감할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, CPU(60)를 검출 센서(11)에 의해 기판(110)이 검출되었다고 판단한 경우에 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 동작시키도록 구성한다. 이것에 의해, 검사 위치(촬상부(41)의 근방 위치)에 기판(110)이 반송되었을 때에만 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 동작시킬 수 있으므로, 촬상부(41)가 오염되는 것을 억제하면서, 전력 절약화를 꾀할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 검사 헤드(40)를 검사 위치 상방과 기판(110)의 상방과는 다른 퇴피 위치를 이동 가능하게 구성한다. 또한, CPU(60)를 기판(110)이 검사 위치로 반송되었다고 판단한 경우에 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 동작시킨 후, 검사 헤드(40)를 퇴피 위치로부터 검사 위치의 상방으로 이동시키고, 촬상부(41)에 기판(110)을 촬상시키도록 구성한다. 이것에 의해 기판(110)의 촬상이 행해지지 않는 경우에는 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생한 플럭스에 노출되기 어려운 퇴피 위치에 검사 헤드(40)를 퇴피시켜 둠으로써, 촬상부(41)가 오염되는 것을 보다 억제할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 기판(110)의 반송 방향에 대하여 수직 방향으로 이동 가능한 컨베이어(10)를 설치하고, 컨베이어(10)에 배치된 송풍 팬(52)을 가동 컨베이어의 이동과 함께 배치 위치가 변경되도록 구성한다. 이것에 의해, 반송되는 기판(110)에 가까운 위치에 송풍 팬(52)을 배치할 수 있으므로, 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생한 플럭스를 효율적으로 제거할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 하우징(100a)에 설치되고, 하우징(100a)의 외부로부터 내부로 공기를 흡인하는 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)을 설치한다. 이것에 의해 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)에 의해 하우징(100a)의 내부를 정압으로 할 수 있으므로, 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)에 의해 흡인된 플럭스를 용이하게 하우징(100a)의 외부로 배출할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 흡인한 플럭스를 하우징(100a)의 외부로 배기하도록 구성한다. 이것에 의해 흡인한 플럭스를 하우징(100a)의 내부에 저장할 필요가 없는 만큼, 검사 장치(100)를 소형화할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, CPU(60)를 검사되는 기판(100)의 정보에 기초하여 플럭스 흡인 팬(53b)의 회전수를 제어하도록 구성한다. 이것에 의해, 예를 들면 기판(110) 치수의 정보에 기초하여, 대형의 기판(110)을 검사하는 경우(기화하는 플럭스의 양이 많은 경우)에 회전수를 높게 설정하는 제어를 행함으로써 대형 기판(110)으로부터 발생한 플럭스를 확실하게 제거할 수 있다. 이렇게, 기판(110)의 정보에 기초하여 플럭스 흡인 팬의 적절한 회전수를 설정함으로써 촬상부(41)가 오염되는 것을 더욱 효과적으로 억제할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, CPU(60)를 기판(110)의 반송 방향에 수직인 방향의 폭의 크기에 따라 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)의 회전수를 증감하는 제어를 행하도록 구성한다. 이것에 의해, 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)의 회전수를 기판(110)의 사이즈에 따라 증감하고, 적절한 회전수로 설정할 수 있다.

또한, 제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, CPU(60)를 검출 센서(11)에 의해 검사 위치로부터 기판(110)이 하류측에 반출되었다고 판단한 경우에 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 정지시키도록 구성한다. 이것에 의해, 전력 절약화를 꾀할 수 있음과 아울러 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)에 기인하는 소음을 저감할 수 있다.

또한, 스텝(S1) 후 스텝(S3)을 실시하고, 이 스텝(S3) 후에 스텝(S2)를 실시하고, 스텝(S2) 후에 스텝(S4)를 실시하도록 해도 된다. 이것에 의해 기판(110)이 검사 위치로 도달하기 전에 팬 장치의 전원을 온으로 해서 플럭스 흡인 팬(53b)의 회전수를 높이고, 기판(110)이 검사 위치에 도달한 시점에서는 플럭스를 확실하게 제거할 수 있는 회전수로 할 수 있다.

(제 2 실시형태)

이하, 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 검사 장치(200)의 구성에 관하여 설명한다.

이 제 2 실시형태에서는 검사 위치의 반송 방향의 상류(X1방향)에 기판(110)의 대기 위치를 설치하지 않는 제 1 실시형태와 달리 검사 위치의 반송 방향의 상류에 기판(110)의 대기 위치를 설치한 검사 장치(200)에 관하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상기 제 1 실시형태에 있어서의 참조 부호와 같은 참조 부호가 붙은 부재는 상기 제 1 실시형태와 동일한 구성이기 때문에 그 설명을 생략한다.

여기서, 제 2 실시형태에서는 도 7에 나타내는 바와 같이, 기판(110)을 유지해서 X1방향부터 X2방향으로 반송하는 제 1 컨베이어(210)와 제 2 컨베이어(215)가 설치되어 있다. 또한, 제 1 컨베이어(210)는 기판(110)의 반송 방향(X2방향)에 있어서의 제 2 컨베이어(215)의 하류측(X2방향측)에 설치되어 있다. 또한, 제 1 컨베이어(210)는 한 쌍의 레일(210a 및 210b)을 포함하고 있다. 또한, 제 2 컨베이어(215)는 한 쌍의 레일(215a 및 215b)을 포함하고 있다. 또한, 제 1 컨베이어(210)(제 2 컨베이어(215))는 레일(210b), (215b))이 Y방향으로 이동 가능한 가동 컨베이어이다. 또한, 검사 장치(200)는 제 2 컨베이어 CPU(260)(도 8 참조)를 구비하고 있다. 제 2 컨베이어 CPU(260)에 의해, 제 2 컨베이어(215)의 구동이 제어된다.

제 1 컨베이어(210)의 한 쌍의 레일(210a 및 210b) 사이에는, 검출 센서(11c)와 스토퍼(12c)가 설치되어 있다. 제 1 컨베이어(210)는 검사 위치까지 기판(110)을 반송하고, 유지 기구(도시 생략)에 의해, 기판(110)을 검사 위치에 고정하도록 구성되어 있다. 또한, 검출 센서(11c)는 본 발명의 「기판 반출 검출 센서」의 일례이다.

제 2 컨베이어(215)의 한 쌍의 레일(215a 및 215b) 사이에는, 검출 센서(11a), (1lb) 및 스토퍼(12a), (12b)가 형성되어 있다. 구체적으로는 기판(110)의 반송 방향의 상류측(X1방향측)으로부터 순차적으로, 검출 센서(11a) 및 스토퍼(12a)와 검출 센서(11b) 및 스토퍼(12b)가 각각 설치되어 있다. 또한, 제 2 컨베이어(215)는 기판(110)의 반송 방향의 상류의 위치인 제 1 기판 대기 위치(이하, 제 1 대기 위치라고 한다)부터 제 2 기판 대기 위치(이하, 제 2 대기 위치라고 한다)를 향해서 기판(110)을 반송하도록 구성되어 있다. 검출 센서(11a)는 제 1 대기 위치로 기판이 반송된 것을 검출하고, 검출 센서(11b)는 제 2 대기 위치로 기판이 반송된 것을 검출하도록 구성되어 있다. 검출 센서(11a∼11c) 및 스토퍼(12a∼12c)는 각각 제 1 실시형태의 검출 센서(11) 및 스토퍼(12)와 동일한 구성이기 때문에 상세한 설명은 생략한다. 또한, 제 2 기판 대기 위치는 본 발명의 「기판 대기 위치」의 일례이다.

여기서, 제 2 실시형태에서는 팬 장치(250)는 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c) (도3 참조)과 송풍 팬(52)과 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)에 더해서, 송풍 팬(252a 및 252b)과 플럭스 흡인 팬(253a 및 253b)을 포함하고 있다. 또한, 송풍 팬(252b) 은 본 발명의 「제 2 송풍 팬」의 일례이다. 또한, 플럭스 흡인 팬(253b)은 본 발명의 「제 2 플럭스 흡인 팬」의 일례이다.

송풍 팬(252a)(송풍 팬(252b))은 제 1 대기 위치(제 2 대기 위치)로 반송된 기판(110)을 향해서 송풍함으로써, 기판(110)으로부터 발생하는 플럭스를 플럭스 흡인 팬(253a)(플럭스 흡인 팬(253b))을 향해서 송입하는 기능을 갖고 있다. 송풍 팬(252a 및 252b)은 모두 제 2 컨베이어(215)의 레일(215b)에 설치되어 있다. 또한, 송풍 팬(252a 및 252b)은 각각 플럭스 흡인 팬(253a 및 253b)과 대향(정대)하도록 배치되어 있다. 또한, 송풍 팬(252a 및 252b)은 제 2 컨베이어(215)의 레일(215b)과 함께 Y방향으로 이동 가능하다.

플럭스 흡인 팬(253a 및 253b)은 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하는 기능을 갖고 있다. 플럭스 흡인 팬(253a), (253b) 및 플럭스 흡인 팬(53a)은 모두 공통의 덕트(254)를 통하여 플럭스 흡인 팬(53b)에 연결되어 있다.

플럭스 흡인 팬(253a 및 253b)은 제 2 컨베이어(215)의 레일(215a)에 설치되어 있다. 플럭스 흡인 팬(253a)은 송풍 팬(252a)과의 사이에 제 1 대기 위치로 반송된 기판(110)을 끼우도록 송풍 팬(252a)과 대향하도록 배치되어 있다. 플럭스 흡인 팬(253b)은 송풍 팬(252b)과의 사이에 제 2 대기 위치로 반송된 기판(110)을 끼우도록 송풍 팬(252b)과 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 플럭스 흡인 팬(253a 및 253b)의 기판(110)측(Y1방향측)에는 교환 가능한 필터(55)가 설치되어 있다.

플럭스 흡인 팬(53b)은 플럭스 흡인 팬(53a)과 플럭스 흡인팬(253a 및 253b) 에 의해 흡인되어서 덕트(254)를 통하여 송입된 플럭스를 하우징(100a)의 외부로 배출하도록 구성되어 있다.

다음에 도 7 및 도 9을 참조하여 검사 장치(200)의 검사 처리에 관해서 설명한다. 이 검사 처리는 CPU(60) 및 제 2 컨베이어 CPU(260)에 의해 실시된다.

우선, 스텝(S100)에 있어서, CPU(60) 및 제 2 컨베이어 CPU(260)는 제 1 대기 처리를 행한다. 구체적으로는, 제 2 컨베이어 CPU(260)는 기판(110)을 제 1 대기 위치(도 7참조)로 반송한다. 그리고, CPU(60)는 송풍 팬(252a) 및 플럭스 흡인 팬(253a)을 동작시킨다. 또한, 제 2 컨베이어 CPU(260)는 기판(110)을 제 1 대기 위치에 소정 시간 대기시킨 후, 제 1 대기 위치로부터 반송한다. 스텝 S100의 상세(서브루틴)에 대해서는 후에 상세하게 설명한다.

다음에 스텝(S200)에 있어서, CPU(60) 및 제 2 컨베이어 CPU(260)는 제 2 대기 처리를 행한다. 구체적으로는 제 2 컨베이어 CPU(260)는 기판(110)을 제 2 대기 위치(도 7참조)로 반송한다. 그리고, CPU(60)는 송풍 팬(252b) 및 플럭스 흡인 팬(253b)을 동작시킨다. 또한, 제 2 컨베이어 CPU(260)는 기판(110)을 제 2 대기 위치에 소정 시간 대기시킨 후, 제 2 대기 위치로부터 반송한다. 스텝(S200)의 상세(서브 루틴)에 관해서는 후에 상세하게 설명한다.

다음에, 스텝(S300)에 있어서, CPU(60)는 검사 처리를 행한다. 구체적으로는 CPU(60)는 기판(110)을 검사 위치(도 7참조)로 반송한다. 그리고, CPU(60)는 송풍 팬(52) 및 플럭스 흡인 팬(53)을 동작시킨다. 또한, CPU(60)는 기판(110)의 검사가 종료하면, 검사 위치로부터 기판(110)을 반송한다. 스텝(S300)의 상세(서브 루틴)에 대해서는 후에 상세하게 설명한다.

다음에 도 7 및 도 10을 참조하여 도 9에 나타낸 제 1 대기 처리(서브루틴)에 관해서 설명한다. 제 2 컨베이어 CPU(260)는 제 2 컨베이어(215)의 구동을 제어하고, CPU(60)는 그 이외의 제어를 행한다.

우선, 스텝(S101)에 있어서, 제 2 컨베이어 CPU(260)는 스토퍼(12a)를 하강 위치로부터 상승시킨 후, 제 1 대기 위치(도 7참조)에 기판(110)을 반송시킨다.

다음에, 스텝 S102에 있어서, CPU(60)는 제 1 대기 위치로 기판(11O)이 반송되었는지의 여부를 판단한다. 구체적으로는 CPU(60)는 검출 센서(11a)에 의해 기판(110)이 검출된 것에 기초하여 제 1 대기 위치로 기판(110)이 반송되었다고 판단한다. CPU(60)는 제 1 대기 위치로 기판(110)이 반송될 때까지 이 판단을 반복하고, 제 1 대기 위치로 기판(110)이 반송되면, 스텝(S103)으로 처리를 진행시킨다.

다음에 스텝(S103)에 있어서, CPU(60)는 제 1 대기 위치에 배치되는 팬의 전원을 온으로 한다. 구체적으로는 CPU(60)는 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)과 송풍 팬(252a)과, 플럭스 흡인 팬(253a), (53b)의 전원을 온으로 하고, 송풍(흡인 및 배기)을 개시한다. 또한, 2장째 이후의 기판(110)이 제 1 대기 위치로 반송되었을 때에 스텝(S1O3)의 처리를 행하는 경우에는 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)과 플럭스 흡인 팬(53b)의 전원은 이미 온 상태이고, CPU(60)는 송풍 팬(252a)과 플럭스 흡인 팬(253a)의 전원을 온으로 한다.

다음에, 스텝(S104)에 있어서, CPU(60)는 제 1 대기 위치로 기판(110)이 반송되고 나서 소정 시간이 경과했는지의 여부를 판단한다. CPU(60)는 제 1 대기 위치로 기판(110)이 반송되고 나서 소정 시간이 경과할 때까지 이 판단을 반복하고, 제 1 대기 위치로 기판(110)이 반송되고 나서 소정 시간이 경과하면, 스텝 S105로 처리를 진행시킨다. 즉, 소정 시간은 제 1 대기 위치에 기판(110)이 대기하는 시간이고, 미리 유저(사용자)에 의해 설정되어 있다.

다음에 스텝(S105)에 있어서, CPU(60)는 제 2 대기 위치에 기판(110)이 있는지의 여부를 판단한다. 즉, CPU(60)는 제 2 대기 위치로부터 기판(110)이 반송된 것인지의 여부를 판단한다. 구체적으로는 CPU(60)는 검출 센서(11b)에 의해 기판(110)이 검출되지 않게 된 것에 기초하여 기판(110)이 제 2 대기 위치로부터 반송되었다고 판단한다. 또한, CPU(60)는 제 2 대기 위치로부터 기판(110)이 반송될때까지 이 판단을 반복하고, 제 2 대기 위치로부터 기판(110)이 반송되면, 스텝(S106)으로 처리를 진행시킨다.

다음에, 스텝(S106)에 있어서, 제 2 컨베이어 CPU(260)는 스토퍼(12a)를 상승 위치로부터 하강시킨 후 제 1 대기 위치로부터 기판(110)을 반송한다.

다음에, 스텝(S107)에 있어서, CPU(60)는 제 1 대기 위치로부터 기판(11O)이 반송되었는지의 여부를 판단한다. 구체적으로는 CPU(60)는 검출 센서(11a)에 의해 기판(110)이 검출되지 않게 된 것에 기초하여 기판(110)이 제 1 대기 위치로부터 반송되었다고 판단한다. CPU(60)는 기판(110)이 제 1 대기 위치로부터 반송될 때까지 이 판단을 반복하고, 기판(110)이 제 1 대기 위치로부터 반송되면, 스텝(S108)으로 처리를 진행시킨다.

다음에, 스텝(S108)에 있어서, CPU(60)는 제 1 대기 위치에 배치되는 팬의 전원을 오프한다. 구체적으로는 CPU(60)는 송풍 팬(252a)과 플럭스 흡인 팬(253a)의 전원을 오프한다.

다음에, 스텝(S109)에 있어서, CPU(60)는 다음 기판(110)이 있는지의 여부를 판단한다. 구체적으로는 CPU(60)는 다음에 검사 장치(200)에 반입되는 기판(110)이 있는지의 여부를 판단한다. 다음에, 검사 장치(200)에 반입되는 기판(110)이 있다고 판단했을 경우에는 스텝(S101)로 처리를 돌려보낸다. 한편, 다음에 검사 장치(200)에 반입되는 기판(110)이 없다고 판단했을 경우에는, 제 1 대기 처리(서브 루틴)를 종료한다.

다음에, 도 7 및 도 11을 참조하고, 도 9에 나타낸 제 2 대기 처리(서브 루틴)에 관하여 설명한다. 또한, 제 2 대기 처리에 있어서의 스텝(S201), 스텝(S202), 스텝(S204), 스텝(S206) 및 스텝(S207)의 처리는 각각 제 1 대기 처리에 있어서의 스텝(S101), 스텝(S102), 스텝(S104), 스텝(S106) 및 스텝(S107)의 처리와 실질적으로 같은 처리가 제 2 대기 위치에서 행해진다. 이 때문에, 스텝(S201), 스텝(S202), 스텝(S204), 스텝(S206) 및 스텝(S207)의 처리에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.

스텝(S201)에서는 CPU(60)는 스토퍼(12b)를 하강 위치로부터 상승시킨 후, 제 2 대기 위치로 기판(110)을 반송시킨다. 스텝(S202)에 있어서, 제 2 대기 위치로 기판(110)이 반송되었다고 CPU(60)가 판단하면, CPU(60)는 스텝(S203)에 있어서, 제 2 대기 위치에 배치되는 팬의 전원을 온으로 하고, 송풍(흡인 및 배기)을 개시한다. 구체적으로는 CPU(60)는 송풍 팬(252b)과 플럭스 흡인 팬(253b)의 전원을 온으로 한다.

다음에 스텝(S2O4)에 있어서, CPU(60)는 제 2 대기 위치로 기판(110)이 반송되고 나서 소정 시간이 경과한 것인지의 여부를 판단한다. CPU(60)는 제 2 대기 위치로 기판(110)이 반송되고 나서 소정 시간이 경과할 때까지 이 판단을 반복하고, 제 2 대기 위치로 기판(110)이 반송되고 나서 소정 시간이 경과하면, 스텝 S205로 처리를 진행시킨다.

다음에, 스텝(S205)에 있어서, CPU(60)는 검사 위치에 기판(110)이 있는지의 여부를 판단한다. 즉, CPU(60)는 검사 위치로부터 기판(110)이 반송되었는지의 여부를 판단한다. 구체적으로는 CPU(60)는 검출 센서(11c)에 의해 기판(110)이 검출되지 않게 된 것에 기초하여 기판(110)이 검사 위치로부터 반송되었다고 판단한다. 또한, CPU(60)는 검사 위치로부터 기판(110)이 반송될 때까지 이 판단을 반복하고, 검사 위치로부터 기판(110)이 반송되면, 스텝(S206)으로 처리를 진행시킨다.

이 스텝(S204) 및 스텝(S205)의 처리에 의해, CPU(60)는 기판(110)을 제 2 대기 위치에 대기시키는 미리 설정된 대기 시간보다 검사 위치에 있어서의 기판(110)의 검사 시간쪽이 긴 경우에는, 대기 시간 경과 후에도 기판(110)을 제 2 대기 위치에 대기시켜서 송풍 팬(252b) 및 플럭스 흡인 팬(253b)의 동작을 계속시키는 제어를 행한다. 또한, CPU(60)는 스텝(S204) 및 스텝(S205)의 처리에 의해, 검사 시간이 대기 시간 이하인 경우(소정 시간이 경과했을 때에 검사가 종료하고 있는 경우)에는 미리 설정된 대기 시간, 기판(110)을 제 2 대기 위치에 대기시키고 나서, 스텝(S206)으로 처리를 진행시킨다. 스텝(S206)에서는 CPU(60)는 스토퍼(12b)를 상승 위치로부터 하강시킨 후, 제 2 대기 위치로부터 기판(110)을 반송시킨다.

또한, 스텝(S207)에 있어서 제 2 대기 위치로부터 기판(110)이 반송되었다고 CPU(60)가 판단하면 CPU(60)는 스텝(S208)에 있어서, 제 2 대기 위치에 배치되는 팬의 전원을 오프한다. 구체적으로는 CPU(60)는 송풍 팬(252b)과 플럭스 흡인 팬(253b)의 전원을 오프한다.

다음에, 스텝(S209)에 있어서, CPU(60)는 다음 기판(110)이 있는지의 여부를 판단한다. CPU(60)는 다음에 제 2 대기 위치에 반입되는 기판(110)이 있는 경우에는 스텝(S201)로 처리를 되돌린다. 한편, 다음에 제 2 대기 위치에 반입되는 기판(110)이 없다고 판단한 경우에는, 제 2 대기 처리(서브 루틴)를 종료한다.

다음에, 도 7 및 도 12를 참조하여 도 9에 나타낸 검사 처리(서브 루틴)에 관하여 설명한다. 또한, 도 9에 나타낸 검사 처리에 있어서, 상기 제 1 실시형태의 검사 처리에 있어서의 처리 번호가 붙은 처리는 제 1 실시예와 같은 처리이기 때문에 그 설명을 생략한다.

스텝(S1)에 있어서, CPU(60)는 스토퍼(12c)를 하강 위치로부터 상승시킨 후, 검사 위치로 기판(110)을 반송시킨다. 이 때, CPU(60)는 검사 헤드(40)를 퇴피 위치로부터 검사 위치로 이동시킴과 동시에, 검사 처리가 종료될 때까지 검사 위치에 배치(정류)시킨다. 또한, 제 2 실시형태에서는 제 1 대기 위치 및 제 2 대기 위치에서 플럭스를 흡수하는 것이 가능하다. 이것에 의해, 기판(110)이 반송될 때마다 검사 헤드(40)를 퇴피 위치와 검사 위치의 상방을 교대로 이동시키지 않고, 검사 헤드(40)를 검사 위치의 상방에 정류시킨 채로도 검사 헤드(40)(촬상부(41) 및 조명부(42))가 플럭스에 의해 오염되는 것을 억제하면서 검사를 행하는 것이 가능하다.

스텝(S2)에 있어서 검사 위치로 기판(110)이 반송되었다고 판단하면, 스텝(S301)에 있어서, CPU(60)는 검사 위치에 배치되는 팬의 전원을 온으로 한다. 구체적으로는 CPU(60)는 송풍 팬(52)과 플럭스 흡인 팬(53a)의 전원을 온으로 한다.

스텝(S5)∼스텝(S8)의 처리에 의해 검사가 종료된 기판(110)이 검사 위치로부터 반송되면, 스텝(S302)에 있어서, CPU(60)는 검사 위치에 배치되는 팬의 전원을 오프로 한다. 구체적으로는 CPU(60)는 송풍 팬(52)과 플럭스 흡인 팬(53a)의 전원을 오프로 한다.

다음에, 스텝(S303)에 있어서, CPU(60)는 다음 기판(110)이 있는지의 여부를 판단한다. CPU(60)는 다음에 검사 위치에 반입되는 기판(110)이 있는 경우에는 스텝(S1)으로 처리를 되돌린다. 한편, 다음에 검사 위치에 반입되는 기판(110)이 없다고 판단한 경우에는, 스텝(S304)로 처리를 진행시킨다.

다음에, 스텝 S304에 있어서, CPU(60)는 모든 팬을 정지한다. 구체적으로는 CPU(60)는 외부 공기 흡인 팬(51a∼51c)과 플럭스 흡인 팬(53b)의 전원을 오프로 한다. 그 후, CPU(60)는 검사 처리(서브 루틴)를 종료한다. 이상의 스텝(S100)∼스텝(S300)에 의해, 기판(110)의 검사가 실시된다.

제 2 실시형태에서는 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하기 위한 플럭스 흡인 팬(53a, 53b, 253a 및 253b)을 설치한다. 이것에 의해, 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생(기화)한 플럭스를 적극적으로 제거할 수 있으므로, 촬상부(41)가 기화한 플럭스에 노출되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 촬상부(41)가 플럭스에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있으므로, 플럭스에 기인하는 검사 정밀도의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 기판(110) 상의 땜납으로부터 플럭스가 발생하는 것을 억제하기 위해서 검사 장치(100)의 기판(110)의 반송 방향에 있어서의 상류측에 기판(110)을 냉각하는 냉각 장치를 설치하는 구성과 달리 공간 절약화를 꾀할 수 있다. 또한, 촬상부(41)가 기화한 플럭스에 노출되는 것을 억제하기 위해서 케이스에 의해 촬상부(41)를 덮는 구성과 비교하여 촬상부(41)에 열이 가해지는 것을 억제할 수 있다.

또한, 제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 송풍 팬(252b)과의 사이에 제1 대기 위치로 반송된 기판(110)을 끼워서, 송풍 팬(252b)과 대향하도록 배치된 플럭스 흡인 팬(253b)을 설치한다. 이것에 의해, 제 1 대기 위치에 있어서도, 송풍 팬(252b)에 의해 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생(기화)한 플럭스를 플럭스 흡인 팬(253b)에 적극적으로 송입할 수 있으므로, 기화한 플럭스에 촬상부(41)가 노출되는 것을 더욱 억제할 수 있다. 또한, 송풍 팬(252b)에 의해, 제 1 대기 위치로 반송된 기판(110)의 상방에 공기의 흐름이 형성되므로, 그 공기의 흐름에 의해 기판(11O)을 냉각할 수 있다. 이것에 의해 기판(110)이 검사 위치로 반송되기 전에 기판(110)으로부터 발생하는 플럭스의 양을 저감할 수 있다.

또한, 제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 기판(110)을 제 1 대기 위치에 대기시키는 미리 설정된 대기 시간보다 검사 위치에 있어서의 기판(110)의 검사 시간쪽이 긴 경우에는, 대기 시간 경과 후에도 기판(110)을 제 1 대기 위치에 대기시키도록 제 2 컨베이어 CPU(260)를 구성하고, 송풍 팬(252b) 및 플럭스 흡인 팬(253b)의 동작을 계속하도록 CPU(60)를 구성한다. 이것에 의해, 검사 대기 시간을 이용하고, 보다 장시간, 기화한 플럭스를 플럭스 흡인 팬(253b)에 적극적으로 송입할 수 있음과 아울러 제 1 대기 위치로 반송된 기판(110)을 냉각할 수 있다.

또한, 제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 제 1 대기 위치에 있어서, CPU(60)는 검출 센서(11a)에 의해 제 1 대기 위치로부터 기판(110)이 하류측에 반출되었다고 판단한 경우에 송풍 팬(252a) 및 플럭스 흡인 팬(253a)을 정지시키도록 구성되어 있다. 이것에 의해 전력 절약화를 꾀할 수 있음과 아울러, 송풍 팬(252a) 및 플럭스 흡인 팬(253a)에서 기인하는 소음을 저감할 수 있다.

동일하게, CPU(60)는 검출 센서(11b)에 의해 제 2 대기 위치로부터 기판(110)이 하류측에 반출되었다고 판단한 경우에 송풍 팬(252b) 및 플럭스 흡인 팬(253b)을 정지하고, 검출 센서(11c)에 의해 검사 위치로부터 기판(110)이 하류측에 반출되었다고 판단한 경우에 송풍 팬(52) 및 플럭스 흡인 팬(53a)을 정지시키도록 구성되어 있다. 이것에 의해 전력 절약화를 꾀할 수 있음과 아울러, 팬에 기인하는 소음을 저감할 수 있다.

(제 3 실시형태)

이하, 도 13을 참조하여 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 검사 장치(300)의 구성에 관하여 설명한다.

이 제 3 실시형태에서는 외부 공기 흡인 팬(51a)을 하우징(100a)의 상면에 설치한 제 1 실시형태와 달리 외부 공기 흡인 팬(51a)을 하우징(100a)의 측면에 설치한 검사 장치(300)에 관하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상기 제 1 실시형태에 있어서의 참조 부호와 같은 참조 부호가 붙은 부재는 상기 제 1 실시형태와 동일한 구성이기 때문에 그 설명을 생략한다.

여기서, 제 3 실시형태에서는 외부 공기 흡인 팬(51a)은 도 13에 나타내는 바와 같이 하우징(100a)의 Y1방향측의 측면에 형성되어 있다. 구체적으로는 외부 공기 흡인 팬(51a)은 송풍 팬(52)과 대향(정대)하도록 배치되어 있다. 또한, 외부 공기 흡인 팬(51a)과 송풍 팬(52)은 서로 덕트(310)를 통하여 연결되어 있다. 이것에 의해 기판(110)의 상방 및 플럭스 흡인 팬(53a)을 향해서, 공기를 효율적으로 공기를 보낼 수 있다.

제 3 실시형태에서는 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

제 3 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하기 위한 플럭스 흡인 팬(53a 및 53b)을 설치한다. 이것에 의해 기판(110) 상의 땜납으로부터 발생(기화)한 플럭스를 적극적으로 제거할 수 있으므로, 촬상부(41)가 기화한 플럭스에 노출되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 촬상부(41)가 플럭스에 의해 오염되는 것을 억제할 수 있으므로, 플럭스에 기인하는 검사 정밀도의 저하를 억제할 수 있다. 또한, 기판(110)상의 땜납으로부터 플럭스가 발생하는 것을 억제하기 위해서 검사 장치(100)의 기판(110)의 반송 방향에 있어서의 상류측에 기판(110)을 냉각하는 냉각 장치를 설치하는 구성과 달리 공간 절약화를 꾀할 수 있다. 또한, 촬상부(41)가 기화한 플럭스에 노출되는 것을 억제하기 위해서 케이스에 의해 촬상부(41)를 덮는 구성과 비교하여 촬상부(41)에 열이 가해지는 것을 억제할 수 있다.

또한, 금회 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이고 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 실시형태의 설명이 아니라 특허청구범위에 의해 나타내어지고, 또한 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위내에서의 모든 변경이 포함된다.

예를 들면, 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는 외부 공기 흡인 팬과, 송풍 팬(제 1 송풍 팬, 제 2 송풍 팬)과, 플럭스 흡인 팬을 설치했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 적어도 플럭스 흡인 팬을 설치하면, 다른 팬은 설치하지 않아도 된다.

또한, 상기 제 1 실시형태에서는 검사 위치로 기판이 반송되는 것에 기초하여 외부 공기 흡인 팬과, 송풍 팬(제 1 송풍 팬)과, 플럭스 흡인 팬의 전원을 온으로 하는 예를 게시했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 외부 공기 흡인 팬과, 제 1 송풍 팬과, 플럭스 흡인 팬의 전원을 상시 온으로 하고 있어도 된다.

또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 검사 헤드를 퇴피 위치로 이동시키는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 검사 헤드를 퇴피 위치에 이동시키지 않아도 된다.

또한, 상기 제 2 실시형태에서는 기판 대기 위치를 2개(제 1 대기 위치 및 제 2 대기 위치)를 설치한 예를 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 기판 대기 위치를 1개 또는 3개 이상 형성해도 된다.

또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 플럭스 흡인 팬을 컨베이어의 레일에 설치한 예를 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 도 14에 나타내는 바와 같이, 플럭스 흡인 팬의 전방(컨베이어측, Y1방향측)에 공기를 가이드하는 가이드 판(5OO)을 통하여, 플럭스 흡인 팬을 컨베이어의 레일에 형성해도 된다. 이것에 의해 기판상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 효율적으로 플럭스 흡인 팬에 흡인시킬 수 있다. 또한, 가이드 판(500)은 예를 들면, 도 14에 나타내는 바와 같이, 플럭스 흡인 팬의 X방향의 양측부에 설치하거나, 플럭스 흡인 팬의 상부 및 하부에 설치할 수 있다.

또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 조명부에 의해 조사된 광을 이용하여 기판을 촬상하는 검사 장치에 본 발명을 적용하는 예를 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. X선원을 설치하고, X선을 이용하여 기판을 촬상하는 검사 장치에 본 발명을 적용해도 된다. 또한, 조명부에 의해 조사된 광 및 X선을 이용하여 기판을 촬상하는 것이 가능한 하이브리드형의 검사 장치에 본 발명을 적용해도 된다.

또한, 상기 제 1 및 제 3 실시형태에서는 기판 사이즈에 기초하여 팬 장치(50)의 회전수를 제어하고, 상기 제 2 실시형태에서는 검사되는 기판 사이즈에 기초하여 팬 장치(250)의 회전수를 제어하는 예를 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 기판의 사이즈 이외의 정보(기판에 도포된 땜납의 양 등의 정보)에 기초하여 팬 장치의 회전수를 제어해도 된다.

또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 Y1방향측의 레일이 가동되도록 컨베이어를 구성하고, 송풍 팬을 Y1방향측의 레일에 설치한 예를 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 Y2방향측의 레일이 가동되도록 컨베이어를 구성하고, 플럭스 흡인 팬을 Y2방향측의 레일에 설치해도 된다.

또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 설명의 편의상, 제어부의 처리를 처리 플로우에 따라 순차로 처리를 행하는 플로우 구동형의 플로우를 사용하여 설명했지만, 예를 들면, 제어부의 처리 동작을 이벤트 단위로 처리를 실행하는 이벤트구동형(이벤트 드리븐형)의 처리에 의해 행해도 된다. 이 경우, 완전한 이벤트 구동형으로 행해도 되고, 이벤트 구동 및 플로우 구동을 조합하여 행해도 된다.

Claims

리플로우 후의 기판을 소정의 검사 위치에서 촬상해서 화상을 취득하는 촬상부와,
촬상된 화상에 기초하여 상기 기판의 검사를 행하는 제어부와,
상기 기판상의 땜납으로부터 발생하는 플럭스를 흡인하기 위한 플럭스 흡인 팬을 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 검사 위치로 상기 기판을 반송하는 제 1 컨베이어와,
상기 검사 위치로 반송된 상기 기판의 상방을 향해서 송풍하는 제 1 송풍 팬을 더 구비하고,
상기 플럭스 흡인 팬은 상기 검사 위치로 반송된 상기 기판을 상기 제 1 송풍 팬과의 사이에 두고, 상기 제 1 송풍 팬과 대향하도록 배치된 제 1 플럭스 흡인 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 기판은 상기 검사 위치로 반송된 것을 검출하는 검출 센서를 더 구비하고,
상기 제어부는 상기 검출 센서에 의해 상기 기판이 검출되었다고 판단한 경우에 상기 플럭스 흡인 팬을 동작시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 촬상부와 상기 촬상부에 의해 촬상이 행해질 때에 광을 조사하는 조명부를 포함하는 검사 헤드를 더 구비하고,
상기 검사 헤드는 상기 검사 위치의 상방과 상기 기판의 상방과는 다른 퇴피 위치로 이동 가능하게 구성되고,
상기 제어부는 상기 기판이 상기 검사 위치로 반송되었다고 판단한 경우에 상기 플럭스 흡인 팬을 동작시킨 후, 상기 검사 헤드를 상기 퇴피 위치로부터 상기검사 위치의 상방으로 이동시키고, 상기 촬상부로 상기 기판을 촬상하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 컨베이어는 상기 기판의 반송 방향에 대하여 수직 방향으로 이동가능한 가동 컨베이어이고,
상기 플럭스 흡인 팬 및 상기 제 1 송풍 팬 중 적어도 하나는 상기 가동 컨베이어에 배치됨과 아울러 상기 가동 컨베이어의 이동과 함께 배치 위치가 변경되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 촬상부를 둘러싸도록 설치된 하우징과,
상기 하우징에 설치되고, 상기 하우징의 외부로부터 내부로 공기를 흡인하는 외부 공기 흡인 팬을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 플럭스 흡인 팬은 흡인한 플럭스를 상기 하우징의 외부로 배기하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사 위치보다 상기 기판의 반송 방향의 상류측의 기판 대기 위치로 상기 기판을 반송하는 제 2 컨베이어와,
상기 기판 대기 위치로 반송된 상기 기판의 상방을 향해서 송풍하는 제 2 송풍 팬을 더 구비하고,
상기 플럭스 흡인 팬은 상기 기판 대기 위치로 반송된 상기 기판을 상기 제 2 송풍 팬과의 사이에 두고, 상기 제 2 송풍 팬과 대향하도록 배치된 제 2 플럭스 흡인 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 8 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 기판을 상기 기판 대기 위치에 대기시키는 미리 설정된 대기 시간보다 상기 검사 위치에 있어서의 상기 기판의 검사 시간쪽이 긴 경우에는 상기 대기 시간 경과 후에도 상기 기판을 상기 기판 대기 위치에 대기시켜서 상기 제 2 송풍 팬 및 상기 제 2 플럭스 흡인 팬의 동작을 계속시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 1 항, 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어부는 검사되는 상기 기판의 정보에 기초하여 상기 플럭스 흡인 팬의 회전수를 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 기판의 반송 방향에 수직인 방향의 폭의 크기에 따라서 상기 플럭스 흡인 팬의 회전수를 증감하는 제어를 행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 기판은 상기 검사 위치로부터 하류측으로 반송된 것을 검출하는 기판 반출 검출 센서를 더 구비하고,
상기 제어부는 상기 기판 반출 검출 센서에 의해 상기 기판이 반출되었다고 판단한 경우에 상기 플럭스 흡인 팬의 동작을 정지시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.