JP4655055B2 - 部品実装装置の立ち吸着検査装置及び方法 - Google Patents

Description

本発明は、搭載ヘッドが備える複数のノズルが部品を立ち吸着しているどうかを検査する部品実装装置の立ち吸着検査装置及び方法に関するものである。

部品実装装置は基板に対して移動自在な搭載ヘッドを備えており、搭載ヘッドには部品吸着用の複数のノズルが設けられている。ここで各ノズルは部品を吸着して所定位置に位置決めされた基板に搭載するが、ノズルが部品を正常に吸着し損ねた場合には、部品を立った状態に吸着する、いわゆる立ち吸着が発生することがある。ノズルが部品を立ち吸着すると、その部品は基板に対して正常に搭載することができず、また誤って基板に搭載してしまった場合にはその基板全体が不良品となってしまうおそれがあるため、立ち吸着された部品は基板に搭載される前にノズルから排除される。

ノズルが部品を立ち吸着しているかどうかの検査としては、例えば、ノズルの配列方向に検査光を投光する投光器とその検査光を受光する受光器から成る光センサを用いて行うものが知られている（特許文献１）。これは、部品を吸着した複数のノズルを個別に上下動させてその部品が検査光を上下方向に通過するようにし、このときの受光器の検査光の受光状態の変化に基づいてそのノズルが部品を立ち吸着しているかどうかをノズルごとに個別検査していくというものである。
特開２００６−１０８５４０号公報

しかしながら、上記手順による検査では、ノズルが部品を立ち吸着する率はさほど高くないにも拘らず、部品を吸着した全てのノズルについて個別に検査を行うことから検査全体に要する時間が多大となり、部品実装工程全体の作業効率が低下してしまうという問題点があった。また、部品を吸着した状態のノズルを画像認識することによってそのノズルが部品を立ち吸着しているかどうかの判断を行うことも考えられるが、この場合にはノズルと画像認識手段とを近接させる必要があるため搭載ヘッドの移動等に時間がかかり（ノズル本数が多い場合等には特に）、生産性が低下するおそれがある。また、部品が微小化するほど画像認識による立ち吸着の判別は難しくなるという難点もある。

そこで本発明は、検査全体に要する時間を従来に比べて短縮することができ、部品実装工程全体の作業効率を向上させることができる部品実装装置の立ち吸着検査装置及び方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の部品実装装置の立ち吸着検査装置は、搭載ヘッドに列状に並んで設けられた複数の部品吸着用のノズルと、ノズルの配列方向に検査光を投光する投光器及び投光器が投光する検査光を受光する受光器から成る光センサと、部品を吸着した各ノズルを個別に上下動させてその部品が前記検査光を上下方向に通過するようにし、このときの受光器の検査光の受光状態の変化に基づいてそのノズルが部品を立ち吸着しているかどうかをノズルごとに検査する個別検査を全ノズルについて行う検査実行手段とを備えた部品実装装置の立ち吸着検査装置であって、検査実行手段は、全ノズルについての個別検査を行う前に、部品を吸着した全ノズルを、ノズルが部品を立ち吸着している場合にのみその部品によって前記検査光が遮断される所定の検査位置に移動させ、このとき受光器が検査光を受光するか否かに基づいて全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在するか
どうかを検査し、その結果全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在していた場合にのみ、全ノズルについての個別検査を行う。

請求項２に記載の部品実装装置の立ち吸着検査装置は、請求項１に記載の部品実装装置の立ち吸着検査装置であって、光センサを構成する投光器と受光器が、搭載ヘッドに設けられた複数のノズルが形成するノズル列を両側から挟む位置に対向して設けられている。

請求項３に記載の部品実装装置の立ち吸着検査装置は、請求項１又は２に記載の部品実装装置の立ち吸着検査装置であって、前記検査位置は吸着対象とする部品のサイズに応じて可変に設定される。

請求項４に記載の部品実装装置の立ち吸着検査方法は、搭載ヘッドに列状に並んで設けられた複数の部品吸着用のノズルと、ノズルの配列方向に検査光を投光する投光器及び投光器が投光する検査光を受光する受光器から成る光センサとを備えた部品実装装置において、部品を吸着した各ノズルを個別に上下動させてその部品が前記検査光を上下方向に通過するようにし、このときの受光器の検査光の受光状態の変化に基づいてそのノズルが部品を立ち吸着しているかどうかをノズルごとに検査する個別検査を全ノズルについて行う部品実装装置の立ち吸着検査方法であって、全ノズルについての個別検査を行う前に、部品を吸着した全ノズルを、ノズルが部品を立ち吸着している場合にのみその部品によって前記検査光が遮断される所定の検査位置に移動させ、このとき受光器が検査光を受光するか否かに基づいて全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在するかどうかを検査し、その結果全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在していた場合にのみ、全ノズルについての個別検査を行う。

本発明では、搭載ヘッドが備える複数のノズルが部品を立ち吸着しているかどうかを検査するにおいて、全ノズルについての個別検査を行う前に、全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在するかどうかを検査するようになっており、その結果全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在しないことが分かったときには個別検査を一切行わないので、部品を立ち吸着しているノズルが存在しないにも拘らず全ノズルについての個別検査を行う無駄が省かれる。このため検査全体に要する時間を従来に比べて短縮することができ、部品実装工程全体の作業効率を向上させることができる。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図、図２は本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える搭載ヘッドの斜視図、図３は本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統図、図４及び図５は本発明の一実施の形態における部品実装工程の手順を示すフローチャート、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）、図７（ａ），（ｂ），（ｃ）及び図８（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の一実施の形態における立ち吸着検査方法の工程説明図、図９（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態における光センサを用いた部品寸法の計測手順を示す搭載ヘッドの部分拡大図である。

図１において、部品実装装置１は基台２上に一の水平方向（Ｘ軸方向）に延びた基板搬送路３を有しており、基板搬送路３の上方には一対のＹ軸テーブル４が基板搬送路３と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に延びている。一対のＹ軸テーブル４にはＸ軸方向に延びた２つのＸ軸テーブル５それぞれの両端が支持されており、各Ｘ軸テーブル５はそれぞれＹ軸テーブル４に沿ってＹ軸方向に移動自在になっている。

各Ｘ軸テーブル５にはＸ軸テーブル５に沿ってＸ軸方向に移動自在な移動ステージ６が
設けられており、各移動ステージ６には搭載ヘッドが取り付けられている。また、基台２の基板搬送路３の両側にはＹ軸方向に延びたパーツフィーダ９がＸ軸方向に複数並んで取り付けられている。

基板搬送路３は基板１０を所定の位置に位置決めし、各パーツフィーダ９は部品（電子部品）Ｐ（後述の図６（ｂ）参照）を所定のピックアップ位置に供給する。移動ステージ６は、Ｘ軸テーブル５のＹ軸方向への移動と移動ステージ６自身のＸ軸方向への移動とによって基板搬送路３に位置決めされた基板１０に対して相対移動し、搭載ヘッド７を基板１０に対して移動させる。

図２において、搭載ヘッド７は列状に並んで設けられた複数の部品吸着用のノズル８を備えている。本実施の形態では、ノズル８は搭載ヘッド７に対してＸ軸方向及びＹ軸方向の２次元に配列されており、Ｘ軸方向に６本のノズル８が並んで成るノズル列がＹ軸方向に２列設けられた構成となっている。

図３において、部品実装装置１が備える制御装置２０は、基板搬送路３を駆動する搬送路駆動機構２１、Ｘ軸テーブル５をＹ軸テーブル４に沿って移動させるＸ軸テーブル駆動機構２２、移動ステージ６をＸ軸テーブル５に沿って移動させる移動ステージ駆動機構２３、各ノズル８を搭載ヘッド７に対して個別に上下動させるノズル駆動機構２４、各ノズル８に部品Ｐを吸着させる吸着機構２５、基台２に備えられた部品カメラ１１、搭載ヘッド７に設けられた光センサ１２及びノズル高さ検出手段１３の各動作制御のほか、前述のパーツフィーダ９の動作制御を行う。

光センサ１２はノズル８の配列方向に検査光を投光する投光器１２ａ及び投光器１２ａが投光する検査光を受光する受光器１２ｂから成っており、搭載ヘッド７の下部の２列のノズル列を両側から挟む位置に投光器１２ａと受光器１２ｂが対向して配置されている。受光器１２ｂは投光器１２ａが投光する検査光を受光しているときに受光信号を制御装置２０に出力する。なお、本実施の形態では、上述のように２つのノズル列を備えているため、投光器１２ａは各ノズル列に対応した２本の検査光を投光し、受光器１２ｂはその各ノズル列に対応して投光された２本の検査光をそれぞれ受光するものとする。

ノズル高さ検出手段１３は例えばノズル駆動機構２４においてノズル８を上下動させるモータエンコーダから成り、光センサ１２の検査光の光軸１２ｃ（後掲の図９参照）に対する各ノズル８の相対高さを検出し、その検出結果を制御装置２０に出力する。

制御装置２０とデータのやり取りが可能なプログラム格納部２６には実装動作プログラムが記憶されており、制御装置２０はこの実装動作プログラムに基づいて部品実装装置１の各部の動作制御を行い、部品Ｐをピックアップして基板１０に実装する部品実装工程を実行する。以下、図４〜図７を用いて制御装置２０が行う部品Ｐの基板１０への実装手順を説明する。ここで、図４及び図５は部品実装工程の一例の手順を示すフローチャートであり、図４はメインルーチンのフローチャート、図５はそのサブルーチンのフローチャートである。

制御装置２０は、先ず、基板搬送路３の駆動制御を行って基板１０を所定の位置に位置決めする（ステップＳ１）。基板１０を所定の位置に位置決めしたら、搭載ヘッド７を部品Ｐのピックアップ位置（パーツフィーダ９の上方）に移動させる（ステップＳ２）。このとき各ノズル８は初期位置に位置している（図６（ａ））。初期位置は、各ノズル８の下端部が検査光の光軸１２ｃの上方に十分に離れる位置として任意に設定される。

搭載ヘッド７を部品Ｐのピックアップ位置に移動させたら、図５のサブルーチンに入っ
て、部品Ｐのピックアップ工程を行う（ステップＳ３）。この工程では、先ず全ノズル８をピックアップ開始位置に移動させる（ステップＳ１１）。ピックアップ開始位置は、ノズル８の下端部が部品Ｐに接触しない位置として任意に設定されるが、ノズル８の下端部ができるだけ部品Ｐのピックアップ位置に近接するような位置が好ましい（図６（ｂ））。これは、全ノズル８がその下端部をピックアップ位置に近接させた状態で部品Ｐのピックアップを開始すれば、全ノズル８が部品Ｐのピックアップ位置よりもかなり上方にある位置から部品Ｐのピックアップを開始するよりも全ノズル８について部品Ｐのピックアップに要する時間を短縮できるからである。なお、ノズル８をピックアップ開始位置に位置させた状態において、ノズル８によって光センサ１２の検査光が遮断されることになっても構わない。

全ノズル８をピックアップ開始位置に移動させたら、部品Ｐを吸着していない（すなわち部品未吸着の）ノズル８を下降させて部品Ｐを吸着させ（図６（ｃ））、部品Ｐの吸着後はそのノズル８を所定の検査位置に移動させ（図７（ａ））、この工程を部品未吸着のノズル８がなくまるまで繰り返す（ステップＳ１２，Ｓ１３）。ここで検査位置とは、ノズル８が部品Ｐを立ち吸着している場合にのみその部品Ｐによって検査光が遮断される位置である。

ここで、上記検査位置は現在吸着対象となっている部品Ｐのサイズ（立ち吸着されたときの上下方向寸法）に応じて異なるので、検査位置のデータは検査開始前に吸着対象とする部品Ｐのサイズに応じた値に可変に設定することができるようになっている。制御装置２０とデータのやり取りが可能な部品データライブラリ２７（図３）には、この部品実装装置１において実装対象（すなわちノズル８の吸着対象）となり得る部品Ｐのサイズデータが記憶されており、部品Ｐの実装工程開始前に、部品実装装置１に備えられた入力装置等（図示せず）からこれから実装しようとする部品Ｐの種類を入力（例えばタッチパネルなどで）すれば、その入力した部品Ｐの種類に応じたサイズデータが部品データライブラリ２７から読み出され、自動的に設定される。

ステップＳ１２，Ｓ１３の繰り返し処理が終了し、全ノズル８が検査位置に位置したら（図７（ｂ））、この時点で光センサ１２が受光信号を出力するか否か（すなわち受光器１２ｂが検査光を受光するか否か）に基づいて、全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在するかどうかの検査（以下、前検査と称する）を行う（ステップＳ１４）。この前検査では、全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在するかどうかが分かるに過ぎず、立ち吸着しているノズル８が存在することが分かった場合であっても、どのノズル８が立ち吸着しているかの特定を行うことはできない。図７（ｂ）では、図の左から２番目のノズル８が部品Ｐを立ち吸着しているノズル８となっている。

前検査が終了したら、前検査において全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在していることが分かったかどうかの判断を行い（ステップＳ１５）、前検査において部品Ｐを立ちしているノズル８が存在していないことが分かった場合にはこのサブルーチンを抜けてメインルーチンに復帰する。一方、前検査において部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在していることが分かった場合には、引き続きどのノズル８が部品Ｐを立ち吸着しているかの特定を行うために、全ノズル８を上動させて一旦待機位置に移動させる（ステップＳ１６。図７（ｃ））。待機位置は、立ち吸着された部品Ｐであっても検査光を遮断しない位置として任意に設定される。

制御装置２０は、全ノズル８を待機位置に位置させたら、各ノズル８を個別に上下動させてそのノズル８が部品Ｐを立ち吸着しているかどうかをノズル８ごとに検査する個別検査を行い、その結果を制御装置２０とデータのやり取りが可能な検査データ記憶部２８（図３）に記憶させる。そして、このような個別検査工程を個別検査が未終了のノズル８が
なくなるまで繰り返す（ステップＳ１７，Ｓ１８。図８（ａ），（ｂ），（ｃ））。

個別検査は、全ノズル８を個別に上下動させてその部品Ｐが検査光を上下方向に通過するようにし、このときの受光器１２ｂの検査光の受光状態の変化に基づいて行う。例えば、ノズル８の下端部が光センサ１２の検査光の光軸１２ｃ上にあるときのノズル８の高さ（このノズル８の高さはノズル８の下端部を光センサ１２の検査光の光軸１２ｃ上に位置させたときのノズル高さ検出手段１３の出力から知ることができる）がｄ１であり（図９（ａ））、部品Ｐを吸着したノズル８を待機位置から下降させていったときに、最初に光センサ１２の受光信号が出力されなくなった（受光器１２ｂの検査光の受光状態が受光から非受光に切り替わった）ときのノズル８の高さがｄ２であれば（図９（ｂ））、ノズル８に吸着されている状態におけるその部品Ｐの上下方向寸法ΔはΔ＝ｄ２−ｄ１となる。そして、この寸法Δを部品データライブラリ２７が予め記憶している、現在吸着対象となっている部品Ｐの厚さｔと比較し、Δがｔとほぼ同じ（許容値内）であれば部品Ｐはノズル８に正常に吸着されていると判断することができ、Δがｔよりも大きい（許容値外）であれば部品Ｐはノズル８に立ち吸着されていると判断することができる。

ステップＳ１７，Ｓ１８の繰り返し処理が終了したら、制御装置２０は検査データ記憶部２８に記憶した全ノズル８についての個別検査の結果を参照し、全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８があったかどうかの判断を行い（ステップＳ１９）、その結果、全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８がなかった場合には（ステップＳ１４の前検査において、何らかの理由により光センサ１２から受光信号が出力されなかったような場合にはこのようなケースがあり得る）、このサブルーチンを抜けてメインルーチンに復帰し、全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８があった場合には、更にどのノズル８が部品Ｐを立ち吸着しているかの特定を行う。そして、部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が特定されたら、その特定されたノズル８が吸着している部品Ｐを廃棄する（ステップＳ２０）。この部品Ｐの廃棄は、搭載ヘッド８を基台２上に設置された廃棄ボックス１４（図１）の上方に移動させ、部品Ｐを立ち吸着しているノズル８の吸着力を解除することによって行う。

立ち吸着されていた部品Ｐが廃棄されたら、搭載ヘッド７を再びピックアップ位置（パーツフィーダ９の上方）に移動させ、全ノズル８を前述の検査位置に位置させる（ステップＳ２１）。そしてステップＳ１２に戻り、ステップＳ２０において部品Ｐを廃棄したノズル８に改めて部品Ｐを吸着させたうえで（ステップＳ１２，Ｓ１３）、ステップＳ１４の前検査を行う。その結果、部品Ｐを立ち吸着しているノズル８がなかった場合には、このサブルーチンを抜けてメインルーチンに復帰する。

ステップＳ３が終了したら、制御装置２０は搭載ヘッド７を部品カメラ１１の上方に移動させて、各ノズル８が吸着している部品Ｐのそれぞれについて画像認識を行う（ステップＳ４）。そして、画像認識によって得られた情報に基づいた所要の補正を行って、各ノズル８が吸着している部品Ｐをそれぞれ基板１０上の所定位置に搭載させる（ステップＳ５）。ステップＳ５の後には所定の終了条件が満たされているか否かの判断が行われ（ステップＳ６）、その結果終了条件が満たされなかったときはステップＳ１〜Ｓ５の工程が繰り返される。一方、ステップＳ６において終了条件が満たされていたときには一連の部品実装工程を終了する。

上記のように、本実施の形態における部品実装装置１では、列状に並んで設けられた複数のノズル８の各々に部品Ｐをピックアップさせた後、これらの部品Ｐを基板１０に搭載させる前に、各ノズル８が部品Ｐを立ち吸着しているかどうかの検査を行うようになっている。このような立ち吸着の検査を行う立ち吸着検査装置は、複数のノズル８及び光センサ１２のほか、部品Ｐを吸着した全ノズル８を個別に上下動させて部品Ｐが光センサ１２
の検査光を上下方向に通過するようにし、このときの受光器１２ｂの検査光の受光状態の変化に基づいてそのノズル８が部品Ｐを立ち吸着を起こしているかどうかをノズル８ごとに検査する個別検査を全ノズル８について行う検査実行手段を備えた構成となっている。そして、この検査実行手段は、全ノズル８について個別検査を行う前に、部品Ｐを吸着した全ノズル８を、ノズル８が部品Ｐを立ち吸着している場合にのみその部品によって光センサ１２の検査光が遮断される所定の検査位置に移動させ、このとき受光器１２ｂが検査光を受光するか否かに基づいて全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在するかどうかを検査し、その結果全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在していた場合にのみ、全ノズル８についての個別検査を行うようになっている。ここで検査実行手段は、制御装置２０及びこの制御装置２０によって動作制御がなされるノズル駆動機構２４、吸着機構２５等から成るものである。

以上説明したように、本実施の形態における部品実装装置１の立ち吸着検査装置及びこの立ち吸着検査装置が行う立ち吸着検査方法では、搭載ヘッド７が備える複数のノズル８が部品Ｐを立ち吸着しているかどうかを検査するにおいて、全ノズル８についての個別検査を行う前に、全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在するかどうかを検査するようになっており、その結果全ノズル８の中に部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在しないことが分かったときには個別検査を一切行わないので、部品Ｐを立ち吸着しているノズル８が存在しないにも拘らず全ノズル８についての個別検査を行う無駄が省かれる。このため検査全体に要する時間を従来に比べて短縮することができ、部品実装工程全体の作業効率を向上させることができる。

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に記載したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、光センサ１２を構成する投光器１２ａと受光器１２ｂが搭載ヘッド７に設けられた複数のノズル８が形成するノズル列を両側から挟む位置に対向して設けられていたが、光センサ１２は必ずしも搭載ヘッド７に設けられていなくてもよく、基台２上に工程設置されていてもよい。しかし、上述の実施の形態のように光センサ１２が搭載ヘッド７に設けられていれば、部品Ｐをピックアップした後、立ち吸着の検査を迅速に行うことができるという利点がある。

検査全体に要する時間を従来に比べて短縮することができ、部品実装工程全体の作業効率を向上させることができる。

本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える搭載ヘッドの斜視図 本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統図 本発明の一実施の形態における部品実装工程の手順を示すフローチャート 本発明の一実施の形態における部品実装工程の手順を示すフローチャート （ａ），（ｂ），（ｃ）本発明の一実施の形態における立ち吸着検査方法の工程説明図 （ａ），（ｂ），（ｃ）本発明の一実施の形態における立ち吸着検査方法の工程説明図 （ａ），（ｂ），（ｃ）本発明の一実施の形態における立ち吸着検査方法の工程説明図 （ａ），（ｂ）本発明の一実施の形態における光センサを用いた部品寸法の計測手順を示す搭載ヘッドの部分拡大図

符号の説明

１ 部品実装装置
７ 搭載ヘッド
８ ノズル
１２ 光センサ
１２ａ 投光器
１２ｂ 受光器
２０ 制御装置（検査実行手段）
２４ ノズル駆動機構（検査実行手段）
２５ 吸着機構（検査実行手段）
Ｐ 部品

Claims (4)

1. 搭載ヘッドに列状に並んで設けられた複数の部品吸着用のノズルと、ノズルの配列方向に検査光を投光する投光器及び投光器が投光する検査光を受光する受光器から成る光センサと、部品を吸着した各ノズルを個別に上下動させてその部品が前記検査光を上下方向に通過するようにし、このときの受光器の検査光の受光状態の変化に基づいてそのノズルが部品を立ち吸着しているかどうかをノズルごとに検査する個別検査を全ノズルについて行う検査実行手段とを備えた部品実装装置の立ち吸着検査装置であって、
   検査実行手段は、全ノズルについての個別検査を行う前に、部品を吸着した全ノズルを、ノズルが部品を立ち吸着している場合にのみその部品によって前記検査光が遮断される所定の検査位置に移動させ、このとき受光器が検査光を受光するか否かに基づいて全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在するかどうかを検査し、その結果全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在していた場合にのみ、全ノズルについての個別検査を行うことを特徴とする部品実装装置の立ち吸着検査装置。
2. 光センサを構成する投光器と受光器が、搭載ヘッドに設けられた複数のノズルが形成するノズル列を両側から挟む位置に対向して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の部品実装装置の立ち吸着検査装置。
3. 前記検査位置は吸着対象とする部品のサイズに応じて可変に設定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の部品実装装置の立ち吸着検査装置。
4. 搭載ヘッドに列状に並んで設けられた複数の部品吸着用のノズルと、ノズルの配列方向に検査光を投光する投光器及び投光器が投光する検査光を受光する受光器から成る光センサとを備えた部品実装装置において、部品を吸着した各ノズルを個別に上下動させてその部品が前記検査光を上下方向に通過するようにし、このときの受光器の検査光の受光状態の変化に基づいてそのノズルが部品を立ち吸着しているかどうかをノズルごとに検査する個別検査を全ノズルについて行う部品実装装置の立ち吸着検査方法であって、
   全ノズルについての個別検査を行う前に、部品を吸着した全ノズルを、ノズルが部品を立ち吸着している場合にのみその部品によって前記検査光が遮断される所定の検査位置に移動させ、このとき受光器が検査光を受光するか否かに基づいて全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在するかどうかを検査し、その結果全ノズルの中に部品を立ち吸着しているノズルが存在していた場合にのみ、全ノズルについての個別検査を行うことを特徴とする部品実装装置の立ち吸着検査方法。

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